JP2597042B2

JP2597042B2 - 差圧測定装置

Info

Publication number: JP2597042B2
Application number: JP2266593A
Authority: JP
Inventors: カールハインツ・バンホルツアー; ペーター・ゲルスト; ペーター・ユング
Original assignee: エンドレス・ウント・ハウザー・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー
Priority date: 1989-10-06
Filing date: 1990-10-05
Publication date: 1997-04-02
Anticipated expiration: 2012-04-02
Also published as: DE59008839D1; EP0421394B1; FI904734A0; JPH03210446A; DE3933512C2; EP0421394A2; EP0421394A3; DE3933512A1; US5111698A; FI100361B

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、液体が充填されている容積を閉鎖している
２つの弾性的なセンサ振動板を含んでおり、かつ該２つ
のセンサ振動板に作用する圧力の間にあるセンサ差圧に
依存して容量が反対方向に変化する２つの測定コンデン
サが形成されている一室形差圧センサと、前記測定コン
デンサの容量からセンサ差圧を計算しかつセンサ温度お
よびセンサパラメータの、前記計算されたセンサ差圧に
対する影響を補償する第１の補償装置を含んでいる評価
回路とを備えており、ここにおいて前記一室形差圧セン
サは、少なくとも１つの前置体に接続されており、該前
置体は前記２つのセンサ振動板の１つの外側および前置
体振動板の内側によって形成されている容積を含んでお
り、該容積には液体が充填されており、該液体を介し
て、前記前置体振動板の外側に直接作用する圧力が前記
所属のセンサ振動板に伝達される、差圧測定装置に関す
る。

従来の技術この形式の差圧測定装置は西独国特許第3509329号明
細書から公知である。この公知の差圧測定装置では、セ
ンサ差圧が近似的に、２つの測定コンデンサの容量値の
逆数の差に比例しかつセンサ温度が近似的に、２つの測
定コンデンサの容量値の逆数の和に比例するという事実
が利用される。この特許明細書において、容量値と、セ
ンサパラメータと、センサ差圧ないしセンサ温度との間
の関係式も示されている。例えば、製造偏差に基づく零
点のずれ、種々異なった大きさの温度依存性、センサの
感度等に関するセンサパラメータが測定技術的に求めら
れかつ記憶される。補償装置は計算されたセンサ差圧
を、記憶されたパラメータ並びに求められたセンサ温度
を用いて補正する。センサ温度は計算されたセンサ差圧
を用いて、最終的にセンサ温度およびセンサパラメータ
の影響に無関係である、センサ差圧に対する測定結果が
生じるまで、補正される。

比較すべき２つの圧力の１つを所属のセンサ振動板に
直接作用させることが望ましくないかまたは不可能です
らある用途がある。このことは例えば、圧力が生じる媒
体が化学的に侵食性であるかまたはセンサ振動板が媒体
と直接接触するとき、センサ振動板を破壊することにな
るほど高い温度を有する場合に生じる。別の場合におい
て一室形差圧センサは圧力検出箇所に直接組み立てるこ
とができない。その理由は、そこで生じている条件がこ
のことを許容しないからである。このような場合におい
て一室形差圧測定を可能にするために、一室形差圧セン
サは、液体が充填されている容積を含んでいる前置体に
接続される。この容積は一方において２つのセンサ振動
板の１つによって閉塞されておりかつ他方において弾性
的な前置体振動板によって閉鎖されている。その場合圧
力が比較されるべきである媒体は、前置体振動板に作用
し、かつ前置体振動板に作用した圧力は、液体を介して
この前置体に結合されたセンサ振動板に伝達される。そ
の際化学的に侵食性の媒体の場合、前置体振動板を、媒
体によって侵食作用を受けない材料から製造することが
できる。更に、一室形差圧センサを圧力検出箇所から離
れた好都合な箇所に組み付けかつ液体が充填されている
管を介して圧力検出箇所に組み付けられた前置体振動板
に結合することができる。その場合測定すべき差圧は、
前置体振動板に作用する圧力と前置体とは反対側にある
センサ振動板に作用する圧力との間の差に相応する。数
多くの場合において、一室形差圧センサのそれぞれの側
に前置体を配設することも必要になってくることがあ
る。

発明が解決しようとする問題点しかし冒頭に述べた形式の差圧測定装置におけるこの
種の前置体の使用では、前置体に属するセンサ振動板に
作用する圧力が常に、前置体振動板に作用する圧力と正
確に同じであるときにしか正確な測定結果が得られな
い。しかし通例はこれら圧力は同じではない。というの
は、前置体に含まれている液体の温度により生じる容積
変化によって殊に、センサ振動板に作用する圧力と前置
体振動板に作用する圧力との差に相応する前置体差圧が
生じる。この前置体差圧は一方において、時としてセン
サ温度とは異なっている前置体温度に依存しており、か
つ他方において前置体の構造により決められるパラメー
タに依存している。これらの影響のために計算されかつ
第１の補償装置によって補正されたセンサ差圧は測定す
べき差圧とは異なっている。

本発明の課題は、一室形差圧センサに接続されている
前置体を使用する際にも正確な測定結果を発生する、冒
頭に述べた形式の差圧測定装置を提供することである。

問題点を解決するための手段１つないしそれぞれの前置体に、前置体温度を測定す
るための温度センサが設けられており、かつ前記１つな
いしそれぞれの前置体に対する評価回路において別の補
償装置が設けられており、該別の補償装置は、前置体振
動板および所属のセンサ振動板に作用する圧力によって
決まってくる前置体差圧を前置体温度および記憶されて
いる前置体パラメータに基づいて計算する前置体差圧計
算機、並びに第１の補償装置によって補正されたセンサ
差圧と前記計算された前置体差圧との間の差を形成しか
つ測定結果として出力する減算回路を含んでいることに
よって解決される。

本発明により構成された差圧測定装置では、第１の補
償装置によって行われる、センサ温度およびセンサパラ
メータの影響の補償に続いて、前置体温度および前置体
パラメータの、計算された差圧に対する影響を補償する
第２の補償が行われる。差圧を計算する容量値は依然と
してセンサ差圧によってのみ決められているにも拘わら
ず、第２の補償によって、補正された計算された差圧が
測定すべき差圧に正確に相応するようになる。２段階で
行われる補償の実施により、第１の補償が、前置体なし
の一室形差圧センサに対して当てはまる公知の補償であ
ってよいという利点が得られる。従って第１の補償に対
して必要であるセンサパラメータは、一室形差圧センサ
に対して、それが後から前置体とともに使用されるのか
どうかということを考慮せずに、検出しかつ記憶するこ
とができる。第２の補償に対して必要であるパラメータ
は、使用の前置体の形式、組み込み条件等に応じて、種
々様々であってよい。すなわちそれらは場合に応じて別
個に検出しかつ記憶することができる。

本発明の有利な実施例および構成はその他の請求項に
記載されている。

実施例次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて詳細に
説明する。

図示の差圧測定装置は、公知の形式の一室形の差圧セ
ンサ10を含んでいる。一室形差圧センサ10はシリンダ状
の基体11を有しており、この基体の両方の端面に、シリ
ンダの周囲の回りに延在しているスペーサリング14ない
し15を介挿して２つの弾性の振動板12および13が圧力密
に固定されている。基体11および振動板12,13は電気的
に絶縁性の材料、有利には酸化金属セラミックから成っ
ている。同様スペーサリング14および15も有利には、基
体11と振動板12との圧力密な連結作用をする電気的な絶
縁材料、有利にはガラスフリットから成っている。スペ
ーサリング14,15を介して振動板12,13は基体11から距離
をおいて保持されているので、それぞれの振動板12,13
と各振動板の方の側の、基体11の端面との間に、へん平
な中空室16ないし17が生じる。２つの中空室16および17
は基体11中に形成された軸方向の通路18によって相互に
連結されているので、それらは外部に対して圧力密に閉
鎖されている共通の室を形成している。室の全容積に
は、非圧縮性の、絶縁性液体20、例えばシリコーンオイ
ルが充填されている。

振動板12の、基体11の方の側の内面には膜電極21が被
着されている。この電極はリング状の膜電極22と、基体
11の、このリング状の膜電極の方の側の端面において対
向している。同様に振動板13の内面には、膜電極23が被
着されており、この膜電極は、リング状の膜電極24に、
基体11の、リング状の膜電極の方の側の端面において対
向している。膜電極21,22,23,24は外部から接近可能な
接続部25,26,27,28に、例えば所属の膜電極21ないし24
と共通に厚膜技術において被着されておりかつスペーサ
リング14,15と基体11ないし振動板12,13との間で外周ま
で延在している膜状の導体ストリップを介して接続され
ている。

膜電極21はそれに対向している膜電極22とともに、接
続部25および26の間において測定可能である容量C₁の第
１の測定コンデンサを形成し、かつ膜電極23はこの電極
に対向している膜電極24とともに、接続部27および28の
間において測定可能である容量C₂の第２の測定コンデン
サを形成する。

大抵の場合において図示の形式の一室形差圧センサ
は、２つの振動板12および13に直接作用する２つの圧力
間の差圧を測定するために使用される。これら両方の圧
力が等しくないとき、非圧縮性液体を介して接続されて
いる両方の振動板12および13はより大きい圧力の方向に
おいて振れ、これにより一方における膜電極21,22間の
距離および他方における膜電極23,24間の距離、ひいて
は２つの測定電極の容量C₁およびC₂も反対方向に変化す
る。それ故に容量C₁およびC₂の測定によって差圧が求め
られる。しかし数多くの用途において、比較すべき圧力
の一方を一室形差圧センサの対応する振動板に直接作用
させることは不都合であるかまたは不可能ですらある。
このことは例えば、圧力を及ぼす媒体が、例えば、それ
が化学的に侵食性であるという理由から、振動板を破壊
するおそれがあるとき、または圧力検出箇所における周
囲条件が一室形差圧センサを媒体との直接的な接触領域
に組込むことを許容しないときである。

差圧測定をこの種の条件下でも可能にするために、一
室形差圧センサ10は振動板12を支持する側が、前置体30
に連結されている。前置体30は、細い管33を介して相互
に連結されている２つのケーシングディスク31,32から
成っている。ケーシングディスク31は、振動板35で覆わ
れているへん平な凹部34を有している。振動板35は周囲
の回りを環状に圧力密にケーシングディスクの縁に連結
されている。これにより凹部34は外側に対して閉鎖され
ているへん平な中空室を形成し、この中空室はケーシン
グディスク31中に設けられた中央孔を介して管33の内部
に接続されている。ケーシングディスク32はへん平な凹
部37を有しておりかつ周囲の回りに環状に圧力密に一室
形差圧センサ10に連結されているので、へん平な凹部37
は振動板12によって被覆されている。これにより凹部37
は、１室形差圧センサ10に対して圧力密に閉鎖されてい
るへん平な中空室を形成し、この中空室はケーシングデ
ィスク32に設けられた中央孔38を介して管33の内部に接
続されている。このようにして２つの中空室34および37
は管33を介して相互に接続されている。２つのへん平な
中空室34および37並びに管33の外側に対して閉鎖されて
いる容積全体には、一室形差圧センサ10内に含まれてい
る液体と同じ種類とすることができる非圧縮性液体39、
例えばシリコーンオイルが充填されている。前置体30
は、この容積が出来るだけ小さいかないし一室形差圧セ
ンサまたは使用条件に最適化されているように形成され
ている。

前置体30を備えている一室形差圧センサ10の組込み
は、振動板35が振動板12に代わって媒体と接触するよう
に行われ、その際媒体の圧力P₁を振動板13に作用する圧
力P₂と比較しようというものである。この媒体が振動板
12を侵食するおそれがある場合には、この振動板35は、
媒体によって侵食されない材料から製造される。圧力検
出箇所における状況が、一室形差圧センサ10の組込みが
不可能であるようであれば、振動板35のケーシングディ
スク31を圧力検出箇所に組込みさえすればよく、一方一
室形差圧センサ10はそことは離れた有利な箇所に配設さ
れかつ著しい長さであってよい管33を介してケーシング
ディスク31に接続される。いずれの場合にも、振動板35
に作用する圧力P₁は非圧縮性液体39を介して振動板12に
伝達され、これによりこの振動板12に、後で更に説明す
るように必ずしも圧力P₁と同じである必要はない圧力P
_1Sが作用する。

一室形差圧センサ10の働きは公知である。それは、２
つの測定コンデンサの容量C₁およびC₂が、次式に示す、
振動板12および13に作用する圧力の間にあるセンサ差圧
ΔP_Sに依存していることに基づいている： ΔP_S＝P_1S−P₂ （１）２つの圧力P_1SおよびP₂が同じ大きさであり、その結
果差圧ΔP_Sが零であるとき、差圧センサ10は、製造偏差
のない完全な対称的な構造をしていることを前提とする
とき、２つの測定コンデンサの容量C₁およびC₂が同じ大
きさである平衡状態にある。すなわち２つの振動板12お
よび13間の容積全体を完全に満たす非圧縮性液体20のた
めに、両振動板はそこに作用する圧力P_1SおよびP₂によ
って、これら圧力が同じ大きさであるとき、振れること
はない。しかし例えば圧力P_1Sが圧力P₂より大きくなる
とき、圧力P_1Sが振動板12を基体11の方に振らすことが
でき、その際非圧縮性液体20の一部は中空室16から通路
18を通って中空室17に押し流されるので、振動板13は圧
力P₂に抗して基体11から外方向に振れる。２つの振動板
12および13のこの振れのために、膜電極21および22間の
距離は小さくなりかつ膜電極23および24間の距離は大き
くなる。これに応じて容量C₁は大きくなり、容量C₂は小
さくなる。従って２つの容量C₁およびC₂の測定によって
センサ差圧ΔP_Sが測定される。非直線性および外乱量の
影響を無視するとき、差圧ΔP_Sは近似的に容量値の逆数
の差に比例する：差圧測定に影響する重要な外乱量は温度である。その
理由は２つの測定コンデンサの容量C₁およびC₂はセンサ
差圧ΔP_Sの他に、センサ温度T_Sにも依存しているからで
ある。すなわち温度変化の際２つの振動板12および13の
間に閉じ込められた液体20の容積も変化する。温度上昇
の際に液体20の容積が大きくなるとき、２つの振動板12
および13は外側に振れ、その結果一方における膜電極21
および22間の距離および他方における膜電極23および24
間の距離が同時に大きくなる。これに応じて容量C₁およ
びC₂は同時に小さくなる。逆に温度低下によって生じ
る、液体容積の縮小の際に、容量値C₁およびC₂は同時に
大きくなる。近似的に温度変化は容量値の逆数の和に比
例する：この事実に基づいて、測定された容量値C₁およびC₂か
ら一室形差圧センサ10の温度T_Sを測定しかつセンサ差圧
ΔP_Sの温度依存性の補正のために使用することができ
る。このことは以下に説明する、図示の差圧測定装置の
評価回路において行われる。

評価回路は、容量C₁の測定のために接続部25,26に接
続されている第１の容量測定回路41と、容量C₂の測定の
ために接続部27,28に接続されている第２の容量測定回
路42とを含んでいる。それぞれの容量測定回路は、それ
はが出力側において、測定された容量の逆数値に比例す
る測定信号を送出するように、構成されている。従って
容量測定回路41は1/C₁に比例している測定信号を送出
し、かつ容量測定回路42は、1/C₂に比例する測定信号を
送出する。

２つの容量測定回路41および42から送出される測定信
号は計算回路43に供給され、この計算回路はそこからセ
ンサ差圧ΔP_Sを計算する。わかりやすくするために図に
は、計算回路43が減算回路44を含んでおり、この減算回
路が２つの容量測定回路41および42から測定信号を受信
しかつ出力側に、容量値の逆数の差1/C₁−1/C₂に比例す
る信号を送出することが示されている。この信号はセン
サ差圧計算機45に供給される。

更に、計算回路43が加算回路46を含んでおり、この計
算回路が同様２つの容量測定回路41および42から測定信
号を受信しかつ出力側に、容量値の逆数の和1/C₁＋1/C₂
に比例する信号を送出することが示されている。この信
号はセンサ温度計算機47に供給され、この計算機はそこ
から一室形差圧センサ10のセンサ温度T_Sを計算する。こ
の温度T_Sは同様、センサ差圧計算機45に伝送される。

センサ温度計算機47におけるセンサ温度T_Sの計算およ
びセンサ差圧計算機45におけるセンサ差圧ΔP_Sの計算
は、センサ温度およびその他のセンサパラメータの、セ
ンサ差圧に及ぼす影響が補償され、その結果センサ差圧
計算機45によって計算されるセンサ差圧ΔP_Sがセンサ振
動板12および13に作用する圧力P_1SとP₂との間の差に正
確に相応するように、行われる。西独国特許第3504329
号明細書から公知の方法によればこのことは例えば、セ
ンサ温度T_Sおよびセンサ差圧ΔP_Sを次の式に従って計算
することによって行うことができる：上記中の記号は次のような意味を有している： a,f:一室形差圧センサの製造偏差に基づいた測定値の零
点シフトに相応する量、 b,c:温度変化の際の充填液体の容積変化に依存する、温
度検出の際の感度に相応する量、 d,e:センサの製造時に生じる非対称性に依存する量、 g,h:製造時に生じる零点シフトの温度依存性に相応する
量、 i,k:一室形差圧センサの感度を決める、振動板12および
13のばね定数に依存する量、 l,m:振動板12および13のばね定数の温度依存性に相応す
る量。

パラメータａないしｍは一般に周知の方法において測
定技術により求めることができかつ計算回路43に記憶さ
れる。

式（４）および（５）はT_SおよびΔP_Sに従って解くこ
とができないので、計算は巡回方法に従って行われなれ
ばならない。その際その都度計算されるセンサ差圧ΔP_S
は、センサ差圧計算機45の出力側からセンサ温度計算機
47の第２の入力側への接続によって図示されているよう
に、センサ温度計算機47に帰還されなければならない。

大抵の場合そうであるように、一室形差圧センサ10が
前置体30なしに使用されるとき、これまで説明してき
た、評価回路の部分によって得られるセンサ差圧ΔP_Sは
既に、求める測定結果を示している。前置体30が存在し
ているとき、センサ振動板12に作用する圧力P_1Sが前置
体振動板35に作用する圧力に正確に同じであれば、同様
求める差圧ΔＰに相応することになる。しかし通例はこ
のようにはならない。例えば温度上昇の際前置体30に閉
じ込められた非圧縮性液体39の容積が拡大され、これに
より付加的な圧力が前置体に生じ、この圧力分だけ圧力
P_1Sは圧力P₁より大きい。前置体差圧 ΔP_V＝P_1S−P₁ （６）はまず第１に、前置体温度T_S並びに前置体30の構造によ
り決められるパラメータに依存している。

それ故に図示の評価回路は付加的に、前置体および別
の前置体パラメータの、測定すべき差圧ΔＰへの影響が
取り除かれるように、構成されている。

前置体30に温度センサ50が、この温度センサによって
測定される温度が実質的に前置体に含まれている非圧縮
性液体39の温度に相応するように、取り付けられてい
る。温度センサ50は任意の、それ自体公知の温度セン
サ、例えば型名TP100の温度に依存する抵抗とすること
ができる。必要の場合には、温度センサ50の形式の複数
の温度センサを前置体に取り付けることもできる。

温度センサ50に温度測定回路51が接続されており、こ
の温度測定回路は出力側において、温度センサ50によっ
て検出される前置体温度T_Vに相応する測定信号を送出す
る。この測定信号は計算回路43に含まれている前置体差
圧計算機52に供給され、この計算機は、前置体差圧ΔP_V
を例えば次の式に従って計算する： ΔP_V＝ｐ＋ｑ・T_V （７）上式中、ｐおよびｑは、一室形差圧センサ10のパラメ
ータａないしｍと類似の方法において測定技術的に検出
されかつ計算回路43に記憶される前置体のパラメータで
ある。これらパラメータには例えば、前置体に含まれて
いる圧縮しない液体の熱膨張係数がある。

前置体差圧計算機52によって計算される前置体差圧Δ
P_Vは、減算回路53に供給される。この減算回路には更
に、センサ差圧計算機45によって計算されたセンサ差圧
ΔP_Sが供給されかつこの減算回路は出力側において、２
つの入力値間の差 ΔＰ＝ΔP_S−ΔP_V （８）に相応する信号を送出する。

この信号は、前置体振動板35に作用する圧力P₁とセン
サ振動板13に作用する圧力P₂との間の測定すべき差圧Δ
Ｐに正確に相応し、その際前置体およびセンサにおける
すべての温度の影響および前置体およびセンサの構造に
より生じるパラメータの影響は補償されている。差圧Δ
Ｐは、減算回路53の出力側に接続されている差圧指示部
54において指示することができる。

計算回路43における補償は２段階において行われるこ
とがわかる。センサ温度計算機47およびセンサ差圧計算
機45は、センサ温度およびセンサパラメータの影響を補
償する第１の補償装置を形成する。この第１の補償装置
は、前置体なしに使用される一室形差圧センサにおける
公知技術に相応する。この第１の補償装置に、前置体差
圧計算機52および減算回路53によって形成されている第
２の補償回路が付加接続されている。この第２の補償装
置は前置体温度および前置体パラメータの、第１の補償
装置を用いて計算されたセンサ差圧に対する付加的な影
響を補償する。

補償の２段階分割により、第１の補償が一室形差圧セ
ンサの従来の補償に相応しかつ付加的に前置体が使用さ
れるか否かに関係ないという重要な利点が得られる。従
って第１の補償に対して必要であるパラメータは、後に
前置体が付加接続されかつこの前置体がどのように形成
されておりかつ組込まれるかを考慮する必要なしに、一
室形差圧センサに対して検出しかつ計算回路43に記憶す
ることができる。第２の補償に対して必要である、使用
の前置体の形式および組込み条件に応じてその都度種々
異なる可能性があるパラメータは、場合に応じて別個に
検出されかつ計算回路43に記憶される。

計算回路43は例えば周知のアナログまたはデジタル回
路を用いて、任意の、それ自体公知の方法において構成
することができる。計算回路は有利には、適当にプログ
ラミングされたマイクロプロセッサによって形成されて
いる。容量測定回路41および42から送出される測定信号
が、マイクロプロセッサによる処理に直接適している形
でない場合は勿論、当業者が通例行っているように、必
要なAD変換器またはインタフェースを挿入しなければな
らない。

温度センサ50および温度測定回路51は、前置体温度T_V
が常に、センサ温度T_Sに等しいことが保証されていると
きは省略することができる。この場合、センサ温度計算
機47によって計算されるセンサ温度T_Sは前置体差圧計算
機52にも供給される。しかし殆どの場合にはこの前提条
件は満たされていないので、前置体温度T_Vを別個に検出
することが望ましい。

数多くの用途において、例えばまた振動板13を化学的
に侵食性の媒体の作用から保護するために、一室形差圧
センサ10の他方の側に前置体30の形式の第２の前置体を
取り付けることが必要となる可能性がある。その場合測
定すべき差圧は、２つの前置体振動板に作用する圧力間
の差に相応する。既述の差圧測定装置はただちにこの例
に拡張される。すなわちこの計算回路43に、第２の前置
体の前置体差圧を既述の方法において計算する第２の前
置体差圧計算機が設けられかつ減算回路53において２つ
の前置体差圧の和がセンサ差圧から減算される。第２の
前置体の前置体温度はこの場合も１つまたは複数の温度
センサおよび所属の温度測定回路を用いて求めることが
できる。

発明の効果本発明の第２の補償により、補正された計算された差
圧は測定すべき差圧に正確に相応することになる。本発
明では２段階の補償が行われるので、第１の補償は前置
体のあるなしに拘わらず従来通り行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の差圧測定装置の概略図および所属の
電子回路装置のブロック線図である。 10……一室形差圧センサ、12,13,35……振動板、21,22,
23,24……膜電極、30……前置体、41,42……容量測定回
路、43……計算回路、45……センサ差圧計算機、47……
センサ温度計算機、42……前置体差圧計算機、54……差
圧指示部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ペーター・ユングドイツ連邦共和国シユタイネン・ヘルマン‐バルテ‐シユトラーセ 40 (56)参考文献特開昭64−16945（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−2714（ＪＰ，Ａ) 特表昭62−500542（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】液体が充填されている容積を閉鎖している
２つの弾性的な振動板を含んでおりかつ該２つの振動板
に作用する圧力の間にあるセンサ差圧に依存して容量が
反対方向に変化する２つの測定コンデンサが形成されて
いる一室形差圧センサと、前記測定コンデンサの容量か
らセンサ差圧を計算しかつセンサ温度およびセンサパラ
メータの、前記計算されたセンサ差圧に対する影響を補
償する第１の補償装置を含んでいる評価回路とを備えて
おり、ここにおいて前記一室形差圧センサは、少なくと
も１つの前置体に接続されており、該前置体は前記２つ
のセンサ振動板の１つの外側および前置体振動板の内側
によって形成されている容積を含んでおり、該容積には
液体が充填されており、該液体を介して、前記前置体振
動板の外側に直接作用する圧力が前記所属のセンサ振動
板に伝達される、差圧測定装置において、前記１つないしそれぞれの前置体に、前置体温度を測定
するための少なくとも１つの温度センサが設けられてお
り、かつ前記１つないしそれぞれの前置体に対する評価
回路において別の補償装置が設けられており、該別の補
償装置は、前置体振動板および所属のセンサ振動板に作
用する圧力によって決まってくる前置体差圧を前置体温
度および記憶されている前置体パラメータに基づいて計
算する前置体差圧計算機、並びに第１の補償装置によっ
て補正されたセンサ差圧と前記計算された前置体差圧と
の間の差を形成しかつ測定結果として出力する減算回路
を含んでいることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】前記１つないしそれぞれの前置体温度セン
サは、前置体温度を表す測定信号を前置体差圧計算機に
送出する温度測定回路に接続されている請求項１記載の
差圧測定装置。