JP2596793Y2 - リニア直流モータ - Google Patents
リニア直流モータInfo
- Publication number
- JP2596793Y2 JP2596793Y2 JP1993043943U JP4394393U JP2596793Y2 JP 2596793 Y2 JP2596793 Y2 JP 2596793Y2 JP 1993043943 U JP1993043943 U JP 1993043943U JP 4394393 U JP4394393 U JP 4394393U JP 2596793 Y2 JP2596793 Y2 JP 2596793Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- armature coil
- secondary side
- linear
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 13
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 48
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 5
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば工作機械や産業
用ロボットなどの運動機構部において、移動させるべき
物体を高精度に移動させるために多用されるリニア直流
モータに関する。
用ロボットなどの運動機構部において、移動させるべき
物体を高精度に移動させるために多用されるリニア直流
モータに関する。
【0002】
【従来の技術】図15に、従来のリニア直流モータを含
む駆動ユニットを示す。なお、この駆動ユニットは、リ
ニア直流モータに、物体案内用の案内ユニットを付加し
たものである。
む駆動ユニットを示す。なお、この駆動ユニットは、リ
ニア直流モータに、物体案内用の案内ユニットを付加し
たものである。
【0003】図示のように、この案内ユニットは、長尺
のベース部材201と、該ベース部材201に沿って移
動する可動体202とを有している。詳しくは、可動体
202には複数のローラ(図示せず)が設けられてお
り、ベース部材201に長手方向に沿って形成された軌
道(図示せず)上をこれらのローラが転動する。
のベース部材201と、該ベース部材201に沿って移
動する可動体202とを有している。詳しくは、可動体
202には複数のローラ(図示せず)が設けられてお
り、ベース部材201に長手方向に沿って形成された軌
道(図示せず)上をこれらのローラが転動する。
【0004】一方、上記した案内ユニットと共に駆動ユ
ニットを構成するリニア直流モータについては、下記の
ように構成されている。
ニットを構成するリニア直流モータについては、下記の
ように構成されている。
【0005】図示のように、当該リニア直流モータは、
ベース部材201上に該ベース部材201の長手方向に
おいて並設された多数の電機子コイル207を具備する
一次側と、該各電機子コイル207と対向すべく可動体
202の下面側に取り付けられた界磁マグネット(図示
せず)を有する二次側とから成る。該界磁マグネット
は、可動体202が移動すべき方向、すなわちベース部
材202の長手方向に沿ってN及びSの複数の磁極が交
互に並ぶように着磁されている。
ベース部材201上に該ベース部材201の長手方向に
おいて並設された多数の電機子コイル207を具備する
一次側と、該各電機子コイル207と対向すべく可動体
202の下面側に取り付けられた界磁マグネット(図示
せず)を有する二次側とから成る。該界磁マグネット
は、可動体202が移動すべき方向、すなわちベース部
材202の長手方向に沿ってN及びSの複数の磁極が交
互に並ぶように着磁されている。
【0006】ベース部材201の一側部には張出部20
1aが形成されており、該張出部201a上には、その
略全長にわたって、リニアスケール204が設けられて
いる。このリニアスケール204には、その長手方向に
おいて、光を反射する反射部と非反射部とが交互にかつ
微細に形成されている。これに対し、可動体202の側
部には小ブラケット202aが設けられ、該小ブラケッ
ト202a上に、発光素子205a及び受光素子205
bが取り付けられている。
1aが形成されており、該張出部201a上には、その
略全長にわたって、リニアスケール204が設けられて
いる。このリニアスケール204には、その長手方向に
おいて、光を反射する反射部と非反射部とが交互にかつ
微細に形成されている。これに対し、可動体202の側
部には小ブラケット202aが設けられ、該小ブラケッ
ト202a上に、発光素子205a及び受光素子205
bが取り付けられている。
【0007】かかる構成の駆動ユニットにおいては、電
機子コイル207に所定の電流を供給することにより、
一次側及び二次側の両者間にフレミングの左手の法則に
基づく推力が生じ、例えば一次側が結合したベース部材
201を固定とすれば、二次側と一体の可動体202が
この推力によって移動する。
機子コイル207に所定の電流を供給することにより、
一次側及び二次側の両者間にフレミングの左手の法則に
基づく推力が生じ、例えば一次側が結合したベース部材
201を固定とすれば、二次側と一体の可動体202が
この推力によって移動する。
【0008】また、一次側に対する二次側の位置の検知
については、前述したリニアスケール204が用いられ
る。すなわち、二次側の移動に伴って発光素子205a
によりリニアスケール204に向けて光を照射し、リニ
アスケール204の各反射部からの反射光を受光素子2
05bにより受光させてパルス信号を得、このパルス信
号を計数することを行う。
については、前述したリニアスケール204が用いられ
る。すなわち、二次側の移動に伴って発光素子205a
によりリニアスケール204に向けて光を照射し、リニ
アスケール204の各反射部からの反射光を受光素子2
05bにより受光させてパルス信号を得、このパルス信
号を計数することを行う。
【0009】
【考案が解決しようとする課題】ところで、パルス信号
の計数に際し、基準となる位置を設定しておかねばなら
ず、そのために下記の構成が多用される。
の計数に際し、基準となる位置を設定しておかねばなら
ず、そのために下記の構成が多用される。
【0010】図16に示すように、ベース部材201上
において、基準とすべく定めた位置に遮光プレート21
0を設置する。そして、この遮光プレート210を検知
するため、例えば透過型のフォトセンサ211を可動体
202に取り付ける。フォトセンサ211は、発光素子
と受光素子とを備え、該発光素子から発せられる照射光
が遮光プレート210により遮られることに基づく受光
素子からの出力の断を以て検知信号とする。この検知信
号を基準位置信号とし、上記パルス信号を計数するので
ある。
において、基準とすべく定めた位置に遮光プレート21
0を設置する。そして、この遮光プレート210を検知
するため、例えば透過型のフォトセンサ211を可動体
202に取り付ける。フォトセンサ211は、発光素子
と受光素子とを備え、該発光素子から発せられる照射光
が遮光プレート210により遮られることに基づく受光
素子からの出力の断を以て検知信号とする。この検知信
号を基準位置信号とし、上記パルス信号を計数するので
ある。
【0011】上記から明らかなように、従来のリニア直
流モータにおいては、一次側及び二次側の相対運動の基
準位置信号を得るためにフォトセンサ211及び遮光プ
レート210を設けている。これらフォトセンサ211
及び遮光プレート210はその占有スペースが比較的大
きく、リニア直流モータの小型化を図る上で解決される
べき問題となっている。
流モータにおいては、一次側及び二次側の相対運動の基
準位置信号を得るためにフォトセンサ211及び遮光プ
レート210を設けている。これらフォトセンサ211
及び遮光プレート210はその占有スペースが比較的大
きく、リニア直流モータの小型化を図る上で解決される
べき問題となっている。
【0012】そこで本考案は、上記従来技術の欠点に鑑
みてなされたものであって、小型化を達成したリニア直
流モータを提供することを目的としている。
みてなされたものであって、小型化を達成したリニア直
流モータを提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】本考案によるリニア直流
モータは、長手方向に並設された多数の電機子コイルを
担持するコイル基板と前記電機子コイルに対して給電等
を行う回路基板とを有する固定側である一次側と、前記
長手方向に沿って異なる磁極が交互に配設着磁され、か
つ、前記電機子コイルに対向して配置されて前記電機子
コイルが給電制御されることにより前記電機子コイルに
対して相対運動する界磁マグネットを有する可動側であ
る二次側と、前記電機子コイルの各々に対応して前記電
機子コイルの外周縁に配設されて、前記界磁マグネット
が接近したときに前記界磁マグネットが発する磁力線の
量に応じて前記電機子コイルを給電制御する信号を発す
る磁電変換素子と、前記一次側に対する前記二次側の相
対位置を検知する検知手段とを備えた可動マグネット型
のリニア直流モータにおいて、前記検知手段は、前記電
機子コイル内の基準位置に設けられて被検知素子である
前記界磁マグネットに感応して基準位置信号を発する検
知素子である磁気センサと、前記一次側に対する前記二
次側の所定ストロークの両端に位置する前記電機子コイ
ル内に設けられて前記界磁マグネットに感応して前記一
次側に対して前記二次側が前記所定ストロークを逸脱し
て作動したことを検知して信号を発する限界センサとを
有し、前記コイル基板及び前記回路基板は、単位化され
分割可能に区割りされた区割部を有してなり、さらに、
前記区割部は前記基準位置信号を発する前記磁気センサ
をいずれの前記電機子コイル内にも装着可能な接続端子
を備えているものである。
モータは、長手方向に並設された多数の電機子コイルを
担持するコイル基板と前記電機子コイルに対して給電等
を行う回路基板とを有する固定側である一次側と、前記
長手方向に沿って異なる磁極が交互に配設着磁され、か
つ、前記電機子コイルに対向して配置されて前記電機子
コイルが給電制御されることにより前記電機子コイルに
対して相対運動する界磁マグネットを有する可動側であ
る二次側と、前記電機子コイルの各々に対応して前記電
機子コイルの外周縁に配設されて、前記界磁マグネット
が接近したときに前記界磁マグネットが発する磁力線の
量に応じて前記電機子コイルを給電制御する信号を発す
る磁電変換素子と、前記一次側に対する前記二次側の相
対位置を検知する検知手段とを備えた可動マグネット型
のリニア直流モータにおいて、前記検知手段は、前記電
機子コイル内の基準位置に設けられて被検知素子である
前記界磁マグネットに感応して基準位置信号を発する検
知素子である磁気センサと、前記一次側に対する前記二
次側の所定ストロークの両端に位置する前記電機子コイ
ル内に設けられて前記界磁マグネットに感応して前記一
次側に対して前記二次側が前記所定ストロークを逸脱し
て作動したことを検知して信号を発する限界センサとを
有し、前記コイル基板及び前記回路基板は、単位化され
分割可能に区割りされた区割部を有してなり、さらに、
前記区割部は前記基準位置信号を発する前記磁気センサ
をいずれの前記電機子コイル内にも装着可能な接続端子
を備えているものである。
【0014】
【実施例】次に、本考案に係るリニア直流モータを含む
駆動ユニットについて添付図面を参照しつつ説明する。
なお、このリニア直流モータは可動マグネット型のもの
である。
駆動ユニットについて添付図面を参照しつつ説明する。
なお、このリニア直流モータは可動マグネット型のもの
である。
【0015】本考案に係るリニア直流モータは、一次側
及び二次側から成り、本実施例においては一次側を給電
側にしてしかも固定側とし、二次側を可動側として説明
する。
及び二次側から成り、本実施例においては一次側を給電
側にしてしかも固定側とし、二次側を可動側として説明
する。
【0016】以下、まず、これら一次側及び二次側の相
互の案内をなす案内ユニットから説明する。
互の案内をなす案内ユニットから説明する。
【0017】図1乃至図3に示すように、この案内ユニ
ットは、全体として例えば略矩形板状に形成されたベッ
ド1と、該ベッド1の長手方向に沿って移動すべきテー
ブル2とを有している。図1及び図3に示すように、ベ
ッド1の上面には、略矩形板状に形成されて該ベッド1
とほぼ同じ長さを有するコイルヨーク3が配置されてお
り、複数本のボルト(六角穴つき:図3参照)5によっ
て該ベッド1に対して締結されている。
ットは、全体として例えば略矩形板状に形成されたベッ
ド1と、該ベッド1の長手方向に沿って移動すべきテー
ブル2とを有している。図1及び図3に示すように、ベ
ッド1の上面には、略矩形板状に形成されて該ベッド1
とほぼ同じ長さを有するコイルヨーク3が配置されてお
り、複数本のボルト(六角穴つき:図3参照)5によっ
て該ベッド1に対して締結されている。
【0018】該コイルヨーク3の上面両側部には、軌道
台としての2本のトラックレール7が該コイルヨーク3
の長手方向に沿って配置されており、かつ、複数本の平
小ねじ8(図3参照)によって該コイルヨーク3に締結
されている。
台としての2本のトラックレール7が該コイルヨーク3
の長手方向に沿って配置されており、かつ、複数本の平
小ねじ8(図3参照)によって該コイルヨーク3に締結
されている。
【0019】図4に示すように、上記トラックレール7
の外側部には、軌道として、断面形状が略半円状の軌道
溝7aが1条形成されている。そして、図1及び図3か
ら明らかなように、該トラックレール7の外側には該ト
ラックレール7に対して相対運動自在な摺動台としての
スライドメンバー10が配置されており、且つ、例えば
2本のボルト(六角穴つき)12によってテーブル2の
下面側に締結されている。なお、図3に示すように、テ
ーブル2には、このボルト12の頭部及びねじ部が夫々
挿通される座ぐり部2a及び挿通孔2bが形成されてお
り、ボルト12はこれら座ぐり部2a、挿通孔2b内に
埋没せられ、テーブル2の上面に突出してはいない。
の外側部には、軌道として、断面形状が略半円状の軌道
溝7aが1条形成されている。そして、図1及び図3か
ら明らかなように、該トラックレール7の外側には該ト
ラックレール7に対して相対運動自在な摺動台としての
スライドメンバー10が配置されており、且つ、例えば
2本のボルト(六角穴つき)12によってテーブル2の
下面側に締結されている。なお、図3に示すように、テ
ーブル2には、このボルト12の頭部及びねじ部が夫々
挿通される座ぐり部2a及び挿通孔2bが形成されてお
り、ボルト12はこれら座ぐり部2a、挿通孔2b内に
埋没せられ、テーブル2の上面に突出してはいない。
【0020】上記スライドメンバー10には転動体循環
路(図示せず)が形成されており、該転動体循環路内に
は転動体としての多数のボール13が配列収容されてい
る。これらのボール13は、トラックレール7に対する
スライドメンバー10の移動に伴ってトラックレール7
の軌道溝7a上を転動しつつ循環してトラックレール7
及びスライドメンバー10の間で荷重を負荷する。
路(図示せず)が形成されており、該転動体循環路内に
は転動体としての多数のボール13が配列収容されてい
る。これらのボール13は、トラックレール7に対する
スライドメンバー10の移動に伴ってトラックレール7
の軌道溝7a上を転動しつつ循環してトラックレール7
及びスライドメンバー10の間で荷重を負荷する。
【0021】図4に示すように、上記スライドメンバー
10は、ケーシング14と、該ケーシング14の両端部
になべ小ねじ15により結合された一対のエンドキャッ
プ16a、16bと、該両エンドキャップ16a、16
bの外面に共締めされた2枚のシール17a及び17b
とを有している。上記転動体循環路は、ケーシング14
を直線的に貫くようにかつ互いに平行に形成された負荷
軌道溝及びリターン路と、両エンドキャップ16a、1
6bに形成されて該負荷軌道溝及びリターン路の両端部
同士を連通させる一対の略円弧状の方向転換路とから成
る。なお、該負荷軌道溝がトラックレール7の軌道溝7
aと対向している。
10は、ケーシング14と、該ケーシング14の両端部
になべ小ねじ15により結合された一対のエンドキャッ
プ16a、16bと、該両エンドキャップ16a、16
bの外面に共締めされた2枚のシール17a及び17b
とを有している。上記転動体循環路は、ケーシング14
を直線的に貫くようにかつ互いに平行に形成された負荷
軌道溝及びリターン路と、両エンドキャップ16a、1
6bに形成されて該負荷軌道溝及びリターン路の両端部
同士を連通させる一対の略円弧状の方向転換路とから成
る。なお、該負荷軌道溝がトラックレール7の軌道溝7
aと対向している。
【0022】上記した構成の案内ユニットは、例えば工
作機械(図示せず)が装備する平坦な取付面に対して複
数のボルト(六角穴つき:図示せず)によって締結され
る。このため、図3に示すように、ベッド1は、これを
該取付面に固定するための平坦な取付底面1aを有して
いる。図1乃至図3に示すように、ベッド1の両側部に
は、該ベッドを締結するための上記ボルトの頭部及びね
じ部が夫々挿通される座ぐり部1b及び挿通孔1cが形
成されており、該ボルトはこれら座ぐり部1b、挿通孔
1c内に埋没し、ベッド1の上面に突出することはな
い。また、図1及び図2に示すように、このベッド1に
対して可動なテーブル2の上面側には、例えば4つのね
じ孔2cが四偶に形成されており、当該駆動ユニットが
装備される装置が具備するテーブル(図示せず)がこれ
らのねじ孔2cに螺合するボルト(図示せず)によって
締結される。
作機械(図示せず)が装備する平坦な取付面に対して複
数のボルト(六角穴つき:図示せず)によって締結され
る。このため、図3に示すように、ベッド1は、これを
該取付面に固定するための平坦な取付底面1aを有して
いる。図1乃至図3に示すように、ベッド1の両側部に
は、該ベッドを締結するための上記ボルトの頭部及びね
じ部が夫々挿通される座ぐり部1b及び挿通孔1cが形
成されており、該ボルトはこれら座ぐり部1b、挿通孔
1c内に埋没し、ベッド1の上面に突出することはな
い。また、図1及び図2に示すように、このベッド1に
対して可動なテーブル2の上面側には、例えば4つのね
じ孔2cが四偶に形成されており、当該駆動ユニットが
装備される装置が具備するテーブル(図示せず)がこれ
らのねじ孔2cに螺合するボルト(図示せず)によって
締結される。
【0023】続いて、上記した構成の案内ユニットによ
って相互の案内がなされるリニア直流モータの一次側及
び二次側について詳述する。
って相互の案内がなされるリニア直流モータの一次側及
び二次側について詳述する。
【0024】まず、一次側については、図1乃至図3並
びに図5に示すように、ベッド1上に搭載された前述の
コイルヨーク3と、該コイルヨーク3の上面側に該コイ
ルヨークの長手方向に沿って配置されたコイル基板20
と、該コイル基板20の下面側、すなわちコイルヨーク
3側に、上記テーブル2が移動すべき方向に沿って一列
に並べて貼着されることにより担持された例えば14個
の電機子コイル22とを有している。なお、各電機子コ
イル22は、略矩形環状に巻回されている。また、図3
及び図5に示すように、コイル基板20には、各電機子
コイル22に対応して前記電機子コイルの外側に配置さ
れた磁電変換素子としてのホール効果素子43が設けら
れている。これらのホール効果素子43は、後述する回
路基板上に設けられた各電子部品等と共に駆動回路を構
成する。該駆動回路は、上記した各電機子コイル22に
対する給電等を行うためのものである。各ホール効果素
子43は、二次側(後述する)が具備する界磁マグネッ
トが接近したとき、該界磁マグネットが発する磁力線の
量に応じた信号を発生する。この信号に基づいて上記各
電機子コイル22に対する給電及びその断を制御するも
のである。
びに図5に示すように、ベッド1上に搭載された前述の
コイルヨーク3と、該コイルヨーク3の上面側に該コイ
ルヨークの長手方向に沿って配置されたコイル基板20
と、該コイル基板20の下面側、すなわちコイルヨーク
3側に、上記テーブル2が移動すべき方向に沿って一列
に並べて貼着されることにより担持された例えば14個
の電機子コイル22とを有している。なお、各電機子コ
イル22は、略矩形環状に巻回されている。また、図3
及び図5に示すように、コイル基板20には、各電機子
コイル22に対応して前記電機子コイルの外側に配置さ
れた磁電変換素子としてのホール効果素子43が設けら
れている。これらのホール効果素子43は、後述する回
路基板上に設けられた各電子部品等と共に駆動回路を構
成する。該駆動回路は、上記した各電機子コイル22に
対する給電等を行うためのものである。各ホール効果素
子43は、二次側(後述する)が具備する界磁マグネッ
トが接近したとき、該界磁マグネットが発する磁力線の
量に応じた信号を発生する。この信号に基づいて上記各
電機子コイル22に対する給電及びその断を制御するも
のである。
【0025】上記各電機子コイル22及びコイル基板2
0の双方は、該各電機子コイル22の個々について例え
ば2本ずつ挿通された締結部材としてのさら小ねじ24
により、該コイル基板20を外側にしてコイルヨーク3
に共締めされている。
0の双方は、該各電機子コイル22の個々について例え
ば2本ずつ挿通された締結部材としてのさら小ねじ24
により、該コイル基板20を外側にしてコイルヨーク3
に共締めされている。
【0026】そして、図3及び図5に示すように、さら
小ねじ24によって締付けられるコイル基板20と該さ
ら小ねじ24が螺合するコイルヨーク3との間には、間
座アセンブリ26が介装されている。これらの間座アセ
ンブリ26は、さら小ねじ24を締付けることによりコ
イル基板20が反り等の変形を生じぬように設けられた
ものであり、各電機子コイル22の内側に嵌挿されてい
る。
小ねじ24によって締付けられるコイル基板20と該さ
ら小ねじ24が螺合するコイルヨーク3との間には、間
座アセンブリ26が介装されている。これらの間座アセ
ンブリ26は、さら小ねじ24を締付けることによりコ
イル基板20が反り等の変形を生じぬように設けられた
ものであり、各電機子コイル22の内側に嵌挿されてい
る。
【0027】次に、上記した各電機子コイル22に対す
る給電等を行うための回路基板について説明する。
る給電等を行うための回路基板について説明する。
【0028】図1、図3及び図5に示すように、この回
路基板30は、上面側にてコイルヨーク3を介してコイ
ル基板20を搭載したベッド1の下面側に該コイル基板
20と平行に配置されており、且つ、複数のボルト(六
角穴つき)5により該ベース部材1に対して締結されて
いる。なお、これらのボルト5は、上記コイルヨーク3
のベッド1に対する締結をもなすものである。
路基板30は、上面側にてコイルヨーク3を介してコイ
ル基板20を搭載したベッド1の下面側に該コイル基板
20と平行に配置されており、且つ、複数のボルト(六
角穴つき)5により該ベース部材1に対して締結されて
いる。なお、これらのボルト5は、上記コイルヨーク3
のベッド1に対する締結をもなすものである。
【0029】図5に示すように、上記回路基板30は、
電子部品33、34等で構成された駆動回路を夫々設け
た複数の区割部35を連ねて成る。これらの区割部35
は、14個並設された各電機子コイル22のうち、2つ
ずつの電機子コイルを単位としてこれに対応して設けら
れ、その数はこの場合7となっている。
電子部品33、34等で構成された駆動回路を夫々設け
た複数の区割部35を連ねて成る。これらの区割部35
は、14個並設された各電機子コイル22のうち、2つ
ずつの電機子コイルを単位としてこれに対応して設けら
れ、その数はこの場合7となっている。
【0030】上記各区割部35に設けられた駆動回路
は、1つの電機子コイル22に対して励磁電流を供給す
る回路部分を1組、すなわち2つの電機子コイル22に
対応する回路を含んでいる。
は、1つの電機子コイル22に対して励磁電流を供給す
る回路部分を1組、すなわち2つの電機子コイル22に
対応する回路を含んでいる。
【0031】続いて、上記回路基板30と、その上方に
配置されたコイル基板20の区割りの構成について詳述
する。
配置されたコイル基板20の区割りの構成について詳述
する。
【0032】まず、回路基板30について説明する。
【0033】この回路基板30を製作する場合、図6乃
至図8に示す基本長さを有する基本基板54を用意す
る。図6及び図8から明らかなように、この基本基板5
4は、図5に基づいて説明した区割部35を例えば6
つ、一体に連ねてなる。前述したように、これらの区割
部35には、単位化された2つずつの電機子コイル22
に対して給電等を行う駆動回路が設けられている。な
お、図6及び図8に示すように、基本基板54の表裏両
面には、各区割部35を判別するためのマークとして例
えば破線55が印刷されている。また、図8に示すよう
に、各区割部35の駆動回路が有する接続端子35a
は、各区割部35の接続方向端部に配置されており、且
つ、互いに隣接する区割部35間、具体的には上記破線
55上において一体に接続されている。
至図8に示す基本長さを有する基本基板54を用意す
る。図6及び図8から明らかなように、この基本基板5
4は、図5に基づいて説明した区割部35を例えば6
つ、一体に連ねてなる。前述したように、これらの区割
部35には、単位化された2つずつの電機子コイル22
に対して給電等を行う駆動回路が設けられている。な
お、図6及び図8に示すように、基本基板54の表裏両
面には、各区割部35を判別するためのマークとして例
えば破線55が印刷されている。また、図8に示すよう
に、各区割部35の駆動回路が有する接続端子35a
は、各区割部35の接続方向端部に配置されており、且
つ、互いに隣接する区割部35間、具体的には上記破線
55上において一体に接続されている。
【0034】前述した回路基板30は、上記区割部35
を7つ連ねなければならないから、上記の基本基板54
が有する6つの区割部35のうち1つを破線55にて切
断して分割し、この分割した区割部35を図5に示すよ
うに未分割の基本基板54の一端に列設し、相互の接続
端子同士を接続することにより完成する。
を7つ連ねなければならないから、上記の基本基板54
が有する6つの区割部35のうち1つを破線55にて切
断して分割し、この分割した区割部35を図5に示すよ
うに未分割の基本基板54の一端に列設し、相互の接続
端子同士を接続することにより完成する。
【0035】なお、図5において、上記分割された区割
部35と基本基板54との接続は、例えば、両者の接続
端子35a(図8参照)部分に設けられたスルーホール
35b(図6及び図8にも図示)に嵌入する端子57a
を有する単一の接続部品57により行われる。なお、こ
の接続端子35a同士の接続は銅線等を用いて行っても
よいが、上記のように区割部35の接続端子35aを各
々の接続方向端部に配置してこのような接続部品57を
用いて接続を行うようになしたことにより、すべての接
続端子35aについて一度に接続することができると共
に、該接続部品57が有する剛性によって接続部の補強
がなされる。また、接続部品57としては、単に導通接
続作用のみをなす部品を用いてもよい他、IC等の電子
部品を共用してもよい。
部35と基本基板54との接続は、例えば、両者の接続
端子35a(図8参照)部分に設けられたスルーホール
35b(図6及び図8にも図示)に嵌入する端子57a
を有する単一の接続部品57により行われる。なお、こ
の接続端子35a同士の接続は銅線等を用いて行っても
よいが、上記のように区割部35の接続端子35aを各
々の接続方向端部に配置してこのような接続部品57を
用いて接続を行うようになしたことにより、すべての接
続端子35aについて一度に接続することができると共
に、該接続部品57が有する剛性によって接続部の補強
がなされる。また、接続部品57としては、単に導通接
続作用のみをなす部品を用いてもよい他、IC等の電子
部品を共用してもよい。
【0036】次いで、コイル基板20について説明す
る。
る。
【0037】全体としては図示していないが、このコイ
ル基板20を製作する場合、図5に示すように、上記し
た回路基板30用の基本基板54とほぼ同じ長さの基本
基板59を用意する。この基本基板59は、回路基板3
0用の基本基板54と同様に6つの区割部60を一体に
連ねてなる。図示のように、これら6つの区割部60に
は、2つずつの電機子コイル22が単位化されて貼着さ
れており、基本基板59上に並設された電機子コイル2
2の総数は12となっている。なお、図5及び図2に示
すように、基本基板59の表面には、これらの区割部6
0を判別するためのマークとして例えば破線61が印刷
されている。図5に示すように、この未分割の基本基板
59の一端に対して、他の図示しない基本基板から分割
した1つの区割部60を連ねて接続することにより回路
基板30が形成される。なお、図5において、参照符号
60aは、該各区割部60に設けられた接続端子を示し
ている。
ル基板20を製作する場合、図5に示すように、上記し
た回路基板30用の基本基板54とほぼ同じ長さの基本
基板59を用意する。この基本基板59は、回路基板3
0用の基本基板54と同様に6つの区割部60を一体に
連ねてなる。図示のように、これら6つの区割部60に
は、2つずつの電機子コイル22が単位化されて貼着さ
れており、基本基板59上に並設された電機子コイル2
2の総数は12となっている。なお、図5及び図2に示
すように、基本基板59の表面には、これらの区割部6
0を判別するためのマークとして例えば破線61が印刷
されている。図5に示すように、この未分割の基本基板
59の一端に対して、他の図示しない基本基板から分割
した1つの区割部60を連ねて接続することにより回路
基板30が形成される。なお、図5において、参照符号
60aは、該各区割部60に設けられた接続端子を示し
ている。
【0038】ところで、これまでの記載では、コイル基
板20及び回路基板30について、2つずつの電機子コ
イル22とこれらを駆動するための駆動回路とを単位化
して区割りしているが、3つ以上の電機子コイル及びそ
の駆動回路について夫々単位化して区割りしてもよい。
また、本実施例においては、総数14の電機子コイル2
2を備える駆動ユニットを製造する際、12個の電機子
コイル22を担持させた基本基板59とこれら電機子コ
イル22のうち2つずつに対応する駆動回路を複数並設
させた基本基板54とを用意するものとしているが、こ
れら基本基板54、59の全長、すなわちこれらに具備
させるべき電機子コイル及び駆動回路の数についてはそ
の設定を適宜変え得ることは勿論である。
板20及び回路基板30について、2つずつの電機子コ
イル22とこれらを駆動するための駆動回路とを単位化
して区割りしているが、3つ以上の電機子コイル及びそ
の駆動回路について夫々単位化して区割りしてもよい。
また、本実施例においては、総数14の電機子コイル2
2を備える駆動ユニットを製造する際、12個の電機子
コイル22を担持させた基本基板59とこれら電機子コ
イル22のうち2つずつに対応する駆動回路を複数並設
させた基本基板54とを用意するものとしているが、こ
れら基本基板54、59の全長、すなわちこれらに具備
させるべき電機子コイル及び駆動回路の数についてはそ
の設定を適宜変え得ることは勿論である。
【0039】また、本実施例においては、基本基板5
4、59に設けられた区割部35、60のうち1以上を
分割し、これを未分割の基本基板54、59に継ぎ足す
ことによりコイル基板20及び回路基板30を構成して
いるが、製作すべき駆動ユニットの作動ストロークが基
本基板54、59の全長よりも短い場合は、該各基本基
板54、59に設けられた各区割部35、60のうち1
以上を必要に応じて切除すればよい。
4、59に設けられた区割部35、60のうち1以上を
分割し、これを未分割の基本基板54、59に継ぎ足す
ことによりコイル基板20及び回路基板30を構成して
いるが、製作すべき駆動ユニットの作動ストロークが基
本基板54、59の全長よりも短い場合は、該各基本基
板54、59に設けられた各区割部35、60のうち1
以上を必要に応じて切除すればよい。
【0040】なお、図3、図5並びに図6乃至図8に示
すように、ベッド1及びコイルヨーク3を介して互いに
離間して配置されたコイル基板20及び回路基板30
は、該両基板の相互対向面側に設けられた複数、この場
合7つずつの接続手段としての雌雄両コネクタ63及び
64同士を接続させることにより接続される。これらの
コネクタ63、64は、前述のように単位化された2つ
ずつの電機子コイル22及びその駆動回路が夫々設けら
れた各区割部35及び60の各々に対して1つずつ配置
されており、図3に示すように、ベッド1及びコイルヨ
ーク3に形成された開口部1e及び3eを通じて相互接
続される。このように、コイル基板20及び回路基板3
0の各区割部35、60について1つずつのコネクタ6
3、64を設けたので、該両区割部35、60同士を互
いに組付ける際に両者の方向性を迅速かつ容易に認識す
ることができ、作業が容易となる。なお、両区割部3
5、60同士の接続については、上記のようにコネクタ
によらず、導電線によってもよい。また、設けるコネク
タの数は、上記のように各区割部35、60について1
つのみ設ける他、2つずつ以上設けることとしてもよ
い。
すように、ベッド1及びコイルヨーク3を介して互いに
離間して配置されたコイル基板20及び回路基板30
は、該両基板の相互対向面側に設けられた複数、この場
合7つずつの接続手段としての雌雄両コネクタ63及び
64同士を接続させることにより接続される。これらの
コネクタ63、64は、前述のように単位化された2つ
ずつの電機子コイル22及びその駆動回路が夫々設けら
れた各区割部35及び60の各々に対して1つずつ配置
されており、図3に示すように、ベッド1及びコイルヨ
ーク3に形成された開口部1e及び3eを通じて相互接
続される。このように、コイル基板20及び回路基板3
0の各区割部35、60について1つずつのコネクタ6
3、64を設けたので、該両区割部35、60同士を互
いに組付ける際に両者の方向性を迅速かつ容易に認識す
ることができ、作業が容易となる。なお、両区割部3
5、60同士の接続については、上記のようにコネクタ
によらず、導電線によってもよい。また、設けるコネク
タの数は、上記のように各区割部35、60について1
つのみ設ける他、2つずつ以上設けることとしてもよ
い。
【0041】一方、二次側に関しては、下記のように構
成されている。
成されている。
【0042】図1及び図3に示すように、該二次側は、
テーブル2の下面側に固着されたマグネットヨーク68
と、上記一次側の電機子コイル22の各々と対向すべく
該マグネットヨーク68の下面に固設された界磁マグネ
ット69とを有している。図9に示すように、界磁マグ
ネット69は、全体として略矩形板状に形成され、一次
側及び二次側の相対移動がなされる方向A、すなわちベ
ッド1の長手方向に沿って、N及びSの磁極が複数、例
えば5極が交互に並ぶように着磁されている。
テーブル2の下面側に固着されたマグネットヨーク68
と、上記一次側の電機子コイル22の各々と対向すべく
該マグネットヨーク68の下面に固設された界磁マグネ
ット69とを有している。図9に示すように、界磁マグ
ネット69は、全体として略矩形板状に形成され、一次
側及び二次側の相対移動がなされる方向A、すなわちベ
ッド1の長手方向に沿って、N及びSの磁極が複数、例
えば5極が交互に並ぶように着磁されている。
【0043】かかる構成のリニア直流モータを含む駆動
ユニットにおいては、電機子コイル22に所定の電流を
供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフレ
ミングの左手の法則に基づく推力が生じ、例えば一次側
が結合したベッド1を固定とすれば、二次側と一体のテ
ーブル2がこの推力によって移動する。
ユニットにおいては、電機子コイル22に所定の電流を
供給することにより、一次側及び二次側の両者間にフレ
ミングの左手の法則に基づく推力が生じ、例えば一次側
が結合したベッド1を固定とすれば、二次側と一体のテ
ーブル2がこの推力によって移動する。
【0044】当該リニア直流モータにおいては、上記一
次側及び二次側の相対位置を検知する検知手段として、
下記の構成のものが設けられている。
次側及び二次側の相対位置を検知する検知手段として、
下記の構成のものが設けられている。
【0045】すなわち、該検知手段は、図1乃至図3に
示すリニア磁気スケール71と、図3に示す磁気センサ
部72とを有している。該リニア磁気スケール71は、
上記二次側の移動方向において延在せられ、図10から
明らかなように、その長手方向に沿ってN、Sの磁極が
交互に微細ピッチで多極着磁されている。
示すリニア磁気スケール71と、図3に示す磁気センサ
部72とを有している。該リニア磁気スケール71は、
上記二次側の移動方向において延在せられ、図10から
明らかなように、その長手方向に沿ってN、Sの磁極が
交互に微細ピッチで多極着磁されている。
【0046】なお、図1乃至図3に示すように、上記磁
気センサ部72から信号の取出しをなすためのケーブル
74と、該ケーブル74を覆うカバー75とが設けられ
ている。該ケーブル74はフレキシブル基板からなる。
気センサ部72から信号の取出しをなすためのケーブル
74と、該ケーブル74を覆うカバー75とが設けられ
ている。該ケーブル74はフレキシブル基板からなる。
【0047】また、図10に示すように、上記磁気セン
サ部72については、上記リニア磁気スケール71の各
磁極を検知するためのホール効果素子等からなる2つの
磁電変換素子129及び130を有している。
サ部72については、上記リニア磁気スケール71の各
磁極を検知するためのホール効果素子等からなる2つの
磁電変換素子129及び130を有している。
【0048】上記磁電変換素子130は、磁電変換素子
129に対して、リニア磁気スケールの各磁極間のピッ
チPの1/2だけずれて設けられており、これにより図
12の(A)に示す波形に対してπ/2だけ位相の異な
る波形が得られる。なお、図12に示すように、磁電変
換素子129及び磁電変換素子130により得られる波
形はOレベルを基準として正・負の連続した正弦波が得
られるが、図11に示すように増幅回路131a及び1
31bを通すことによってOレベルからVmaxのレベ
ルになるように増幅処理がなされている。これは後段に
おける信号処理を容易にするためである。
129に対して、リニア磁気スケールの各磁極間のピッ
チPの1/2だけずれて設けられており、これにより図
12の(A)に示す波形に対してπ/2だけ位相の異な
る波形が得られる。なお、図12に示すように、磁電変
換素子129及び磁電変換素子130により得られる波
形はOレベルを基準として正・負の連続した正弦波が得
られるが、図11に示すように増幅回路131a及び1
31bを通すことによってOレベルからVmaxのレベ
ルになるように増幅処理がなされている。これは後段に
おける信号処理を容易にするためである。
【0049】ここで、上記磁電変換素子129、130
等により発せられる信号に基づいて一次側及び二次側の
相対位置の制御をなす制御系の構成について説明する。
等により発せられる信号に基づいて一次側及び二次側の
相対位置の制御をなす制御系の構成について説明する。
【0050】図11に示すように、磁電変換素子129
及び磁電変換素子130より出力された波形は増幅回路
131a及び131bに入力される。この増幅回路13
1a及び131bは、A/D変換回路132a及び13
2b、ラッチ回路133a及び133b、マルチプレク
サ(MPX)134が順次接続され、このマルチプレク
サ134の出力がCPU(制御回路)135に入力され
る構成となっている。また、CPU135にはメモリ
(ROM)137及びメモリ(RAM)140並びに計
数手段としてのアップダウンカウンタ138、D/A変
換回路139が接続されている。
及び磁電変換素子130より出力された波形は増幅回路
131a及び131bに入力される。この増幅回路13
1a及び131bは、A/D変換回路132a及び13
2b、ラッチ回路133a及び133b、マルチプレク
サ(MPX)134が順次接続され、このマルチプレク
サ134の出力がCPU(制御回路)135に入力され
る構成となっている。また、CPU135にはメモリ
(ROM)137及びメモリ(RAM)140並びに計
数手段としてのアップダウンカウンタ138、D/A変
換回路139が接続されている。
【0051】上記A/D変換回路132a及び132b
は、前段の増幅回路131a及び131bによりレベル
増幅されたアナログ波形を二値化データに変換してラッ
チ回路133a及び133bに夫々のデータを入力す
る。このラッチ回路133a及び133bは、前段のA
/D変換回路132a及び132bによって刻刻変換さ
れるデータを同期処理するために該A/D変換回路13
2aと132bのデータをラッチしてホールドさせる。
このホールドされたデータはマルチプレクサ(MPX)
134に入力される。このマルチプレクサ(MPX)1
34は、後段のCPU135に出力する場合にラッチ回
路133a及び133bでラッチ処理されたデータを同
時に出力することができないので、時分割処理して別々
にCPU135に出力して演算処理がなされる。
は、前段の増幅回路131a及び131bによりレベル
増幅されたアナログ波形を二値化データに変換してラッ
チ回路133a及び133bに夫々のデータを入力す
る。このラッチ回路133a及び133bは、前段のA
/D変換回路132a及び132bによって刻刻変換さ
れるデータを同期処理するために該A/D変換回路13
2aと132bのデータをラッチしてホールドさせる。
このホールドされたデータはマルチプレクサ(MPX)
134に入力される。このマルチプレクサ(MPX)1
34は、後段のCPU135に出力する場合にラッチ回
路133a及び133bでラッチ処理されたデータを同
時に出力することができないので、時分割処理して別々
にCPU135に出力して演算処理がなされる。
【0052】一方、前述の検知手段は、一次側及び二次
側がその相対運動の基準位置に達したことを検知するた
め、下記の構成を含んでいる。
側がその相対運動の基準位置に達したことを検知するた
め、下記の構成を含んでいる。
【0053】すなわち、図2、図3、図5、図9及び図
13に示すように、基準位置に達したことを検知するた
めの基準位置信号を発する検知素子として、電機子コイ
ル22内に新たに配設されたホール効果素子等からなる
磁電変換素子151が設けられている。図2及び図5か
ら明らかなように、この磁電変換素子151は具体的に
は、一次側が具備する14個の電機子コイル22のう
ち、例えば右端から2つ目に位置する電機子コイル22
の内部空間に配設されており、かつ、コイル基板20に
固着されている。そして、該磁電変換素子151により
検知される被検知素子として作用するのは、二次側が有
する界磁マグネット(図9及び図13に図示)69の右
端の磁極69aとなされている。上記磁電変換素子15
1は、この磁極69aに感応して信号を発する。この信
号が基準位置信号とされる。なお、磁電変換素子151
に代えて、磁気抵抗素子を使用してもよい。
13に示すように、基準位置に達したことを検知するた
めの基準位置信号を発する検知素子として、電機子コイ
ル22内に新たに配設されたホール効果素子等からなる
磁電変換素子151が設けられている。図2及び図5か
ら明らかなように、この磁電変換素子151は具体的に
は、一次側が具備する14個の電機子コイル22のう
ち、例えば右端から2つ目に位置する電機子コイル22
の内部空間に配設されており、かつ、コイル基板20に
固着されている。そして、該磁電変換素子151により
検知される被検知素子として作用するのは、二次側が有
する界磁マグネット(図9及び図13に図示)69の右
端の磁極69aとなされている。上記磁電変換素子15
1は、この磁極69aに感応して信号を発する。この信
号が基準位置信号とされる。なお、磁電変換素子151
に代えて、磁気抵抗素子を使用してもよい。
【0054】このように、当該リニア直流モータにおい
ては、一次側の電機子コイル22内に検知素子としての
磁電変換素子151を配置し、該磁電変換素子151が
二次側の界磁マグネット69に感応して発する信号を、
一次側及び二次側の相対運動の基準位置信号として得て
いる。かかる構成によれば、該基準位置信号を得るため
の構成部品として特別に設けるべきは磁電変換素子15
1のみであり、しかもその設置スペースとして電機子コ
イル22の内部空間を有効に利用しているために占有ス
ペースは実質的にゼロである。従って、リニア直流モー
タ全体としての小型化が図られる。
ては、一次側の電機子コイル22内に検知素子としての
磁電変換素子151を配置し、該磁電変換素子151が
二次側の界磁マグネット69に感応して発する信号を、
一次側及び二次側の相対運動の基準位置信号として得て
いる。かかる構成によれば、該基準位置信号を得るため
の構成部品として特別に設けるべきは磁電変換素子15
1のみであり、しかもその設置スペースとして電機子コ
イル22の内部空間を有効に利用しているために占有ス
ペースは実質的にゼロである。従って、リニア直流モー
タ全体としての小型化が図られる。
【0055】図13において、参照符号Sは上記一次側
及び二次側の相対運動を可とするストロークを表すもの
であるが、該図に示すように、上記磁電変換素子151
はこのストロークSの端若しくはその近傍に位置してい
る。但し、本実施例ではストロークSの端よりも内側に
配置されている。また、該一次側及び二次側がこのスト
ロークSを逸脱して作動したことを検知して信号を発す
る2つの限界センサ153及び154が設けられてい
る。これら限界センサ153、154は、磁電変換素子
あるいは磁気抵抗素子等の磁気センサからなり、一次側
が具備する14個の電機子コイル22のうち、左右両端
に位置する電機子コイル22の内部空間に各々配置され
ており、かつ、コイル基板20に固着されている。そし
て、テーブル2が上記ストロークSからTだけ逸脱した
際に、二次側が有する界磁マグネット(図9及び図13
に図示)69の左右両端の磁極に夫々感応して信号を発
する。このように、限界センサ153、154について
も、界磁マグネット69に感応して信号を発する磁気セ
ンサを採用し、しかもその設置スペースを電機子コイル
22内としているので、前述の磁電変換素子151と同
様にその実質的な占有スペースがゼロとなり、リニア直
流モータの更なる小型化が図られている。
及び二次側の相対運動を可とするストロークを表すもの
であるが、該図に示すように、上記磁電変換素子151
はこのストロークSの端若しくはその近傍に位置してい
る。但し、本実施例ではストロークSの端よりも内側に
配置されている。また、該一次側及び二次側がこのスト
ロークSを逸脱して作動したことを検知して信号を発す
る2つの限界センサ153及び154が設けられてい
る。これら限界センサ153、154は、磁電変換素子
あるいは磁気抵抗素子等の磁気センサからなり、一次側
が具備する14個の電機子コイル22のうち、左右両端
に位置する電機子コイル22の内部空間に各々配置され
ており、かつ、コイル基板20に固着されている。そし
て、テーブル2が上記ストロークSからTだけ逸脱した
際に、二次側が有する界磁マグネット(図9及び図13
に図示)69の左右両端の磁極に夫々感応して信号を発
する。このように、限界センサ153、154について
も、界磁マグネット69に感応して信号を発する磁気セ
ンサを採用し、しかもその設置スペースを電機子コイル
22内としているので、前述の磁電変換素子151と同
様にその実質的な占有スペースがゼロとなり、リニア直
流モータの更なる小型化が図られている。
【0056】なお、前述した各磁電変換素子129、1
30及び151並びに上記両限界センサ153、154
より発せられる信号は当該リニア直流モータの作動制御
を図る制御部(図示せず)に送られ、該制御部はこれら
の信号に基づいて後述のタイミングにて作動制御を行
う。
30及び151並びに上記両限界センサ153、154
より発せられる信号は当該リニア直流モータの作動制御
を図る制御部(図示せず)に送られ、該制御部はこれら
の信号に基づいて後述のタイミングにて作動制御を行
う。
【0057】次に、上記した構成のリニア直流モータを
含む駆動ユニットの動作について説明する。
含む駆動ユニットの動作について説明する。
【0058】作業者が操作スイッチ等を操作することに
よって上記制御部(図示せず)より作動指令が発せられ
ると、まず、初期動作として、任意の位置に停止してい
た二次側がその作動ストロークS(図13参照)の一端
側、この場合、図13における右端側に設定された基準
位置に向けて移動せられる。二次側が該基準位置に至る
と、図13などに示す磁電変換素子151が界磁マグネ
ット69の端部磁極69aに感応することにより発する
基準位置信号に応じてメモリ(RAM)140にメモリ
されたスケール位置データがリセットされる。
よって上記制御部(図示せず)より作動指令が発せられ
ると、まず、初期動作として、任意の位置に停止してい
た二次側がその作動ストロークS(図13参照)の一端
側、この場合、図13における右端側に設定された基準
位置に向けて移動せられる。二次側が該基準位置に至る
と、図13などに示す磁電変換素子151が界磁マグネ
ット69の端部磁極69aに感応することにより発する
基準位置信号に応じてメモリ(RAM)140にメモリ
されたスケール位置データがリセットされる。
【0059】ここで、この基準位置信号の発信までの動
作を更に詳しく説明する。
作を更に詳しく説明する。
【0060】上記のように、作動指令に応じて二次側が
任意の位置から基準位置に向かって移動するのである
が、図13に示すように、一旦はストロークSの端を距
離Tだけ通過して逸脱することが行われる。これによっ
て限界センサ153より信号が発せられ、これに応じて
二次側は停止せられる。この逸脱動作の際、上記界磁マ
グネット69の端部磁極69aが磁電変換素子151を
通過するので該磁電変換素子151から信号が発せられ
るのであるが、該信号については制御部がこれを信号と
して取り込まないように設定されている。従って、上記
限界センサ153より発せられた信号のみが制御部に取
り込まれる。この限界センサ153からの信号は、この
後に上記磁電変換素子151より発せられる信号の認識
を制御部に促すための誘発信号として作用する。
任意の位置から基準位置に向かって移動するのである
が、図13に示すように、一旦はストロークSの端を距
離Tだけ通過して逸脱することが行われる。これによっ
て限界センサ153より信号が発せられ、これに応じて
二次側は停止せられる。この逸脱動作の際、上記界磁マ
グネット69の端部磁極69aが磁電変換素子151を
通過するので該磁電変換素子151から信号が発せられ
るのであるが、該信号については制御部がこれを信号と
して取り込まないように設定されている。従って、上記
限界センサ153より発せられた信号のみが制御部に取
り込まれる。この限界センサ153からの信号は、この
後に上記磁電変換素子151より発せられる信号の認識
を制御部に促すための誘発信号として作用する。
【0061】上記限界センサ153よりの誘発信号を受
信した制御部は、これに応じて二次側をそれまでとは反
対方向に作動させる。すると、上記界磁マグネット69
の端部磁極69aが再び磁電変換素子151上を通過
し、該磁電変換素子151より信号が発せられる。制御
部はこの信号を前述した基準位置信号として取り入れ、
二次側を停止させる。かくして二次側が基準位置に位置
決めされ、前述したようにメモリ(RAM)140にメ
モリされたスケール位置データがリセットされる。
信した制御部は、これに応じて二次側をそれまでとは反
対方向に作動させる。すると、上記界磁マグネット69
の端部磁極69aが再び磁電変換素子151上を通過
し、該磁電変換素子151より信号が発せられる。制御
部はこの信号を前述した基準位置信号として取り入れ、
二次側を停止させる。かくして二次側が基準位置に位置
決めされ、前述したようにメモリ(RAM)140にメ
モリされたスケール位置データがリセットされる。
【0062】なお、上記のように、磁電変換素子151
よりの基準位置信号を得るべく二次側をそれまでとは反
対方向に移動させる際の速度は低速とし、それ以前まで
は高速にて作動させる。かかる構成の故、基準位置まで
の移動が短時間にて行われると共に、基準位置信号を確
実に得ることができる。
よりの基準位置信号を得るべく二次側をそれまでとは反
対方向に移動させる際の速度は低速とし、それ以前まで
は高速にて作動させる。かかる構成の故、基準位置まで
の移動が短時間にて行われると共に、基準位置信号を確
実に得ることができる。
【0063】上述のリセット指令により二次側が所望の
位置に移動を開始する。これに応じて磁電変換素子12
9及び磁電変換素子130から図12(A)及び(B)
に示すようなレベル増幅された位相の異なる連続波形が
得られる。
位置に移動を開始する。これに応じて磁電変換素子12
9及び磁電変換素子130から図12(A)及び(B)
に示すようなレベル増幅された位相の異なる連続波形が
得られる。
【0064】図12(A)及び(B)に示すように、例
えばmの領域についてみると、磁電変換素子129及び
磁電変換素子130の出力データは図12の(A)と
(B)とでは対応する波形が異なることがわかる。その
結果、CPU135はこの異なるデータを比較すること
によって二次側の移動方向を判定することができる。
えばmの領域についてみると、磁電変換素子129及び
磁電変換素子130の出力データは図12の(A)と
(B)とでは対応する波形が異なることがわかる。その
結果、CPU135はこの異なるデータを比較すること
によって二次側の移動方向を判定することができる。
【0065】次に、二次側の基準位置からの移動量につ
いては下記のように求まる。
いては下記のように求まる。
【0066】すなわち、図10において、磁電変換素子
129、130の基準位置からの移動量をXとすると、
これが二次側の移動量となる。
129、130の基準位置からの移動量をXとすると、
これが二次側の移動量となる。
【0067】上記の移動量Xは、図12の(A)及び
(B)に示すように例えば、磁電変換素子129の出力
をVA 、磁電変換素子130の出力をVB とすると、V
A /VB の電圧の比を求める。これは例えば、磁電変換
素子129及び磁電変換素子130と、これらに検知さ
れるべき各磁極とのギャップの変化により、α×VA 及
びα×VB の電圧が得られるが、このようなギャップが
変化したにもかかわらず恰も移動したような演算処理が
なされる恐れがある。そこで、このような機械的な誤差
を防ぐためα×VA /α×VB として処理すると、αは
位置データとは関係しないものとしてVA /VB として
求めることができる。
(B)に示すように例えば、磁電変換素子129の出力
をVA 、磁電変換素子130の出力をVB とすると、V
A /VB の電圧の比を求める。これは例えば、磁電変換
素子129及び磁電変換素子130と、これらに検知さ
れるべき各磁極とのギャップの変化により、α×VA 及
びα×VB の電圧が得られるが、このようなギャップが
変化したにもかかわらず恰も移動したような演算処理が
なされる恐れがある。そこで、このような機械的な誤差
を防ぐためα×VA /α×VB として処理すると、αは
位置データとは関係しないものとしてVA /VB として
求めることができる。
【0068】しかして、メモリ137内にはVA /VB
に対応する1ピッチ(P)内の微細な位置データが予め
メモリされているので、CPU135は、上記のような
演算処理によって求められたVA /VB の値と一値する
値をメモリ(ROM)137から読み出して比較するこ
とによって図10に示す距離αを求めることができる。
この求められた距離αの位置データは、それ以前に求め
られた位置データが既にメモリ140にメモリ(前記基
準位置から最初に書き込まれる時点ではメモリされてい
ない。)されているから、該データをCPU135は読
み出した後今回求められた距離αを加算し、これによっ
て算出された距離Xを位置データとしてメモリ140に
書き込む。
に対応する1ピッチ(P)内の微細な位置データが予め
メモリされているので、CPU135は、上記のような
演算処理によって求められたVA /VB の値と一値する
値をメモリ(ROM)137から読み出して比較するこ
とによって図10に示す距離αを求めることができる。
この求められた距離αの位置データは、それ以前に求め
られた位置データが既にメモリ140にメモリ(前記基
準位置から最初に書き込まれる時点ではメモリされてい
ない。)されているから、該データをCPU135は読
み出した後今回求められた距離αを加算し、これによっ
て算出された距離Xを位置データとしてメモリ140に
書き込む。
【0069】このような演算処理を繰り返すことによっ
て上記距離Xが前記メモリ140内に位置データとして
メモリされることになる。
て上記距離Xが前記メモリ140内に位置データとして
メモリされることになる。
【0070】ところで、CPU135には、図示せぬ制
御部によって与えられるパルスをアップダウンするアッ
プダウンカウンタ138が接続されている。このアップ
ダウンカウンタ138は、メモリ140のリセット指令
に対応して作動するように構成されており、また図10
に示す1ピッチ(P)に発生するパルス数が予め求めら
れているので、CPU135は、このアップダウンカウ
ンタ138から出力されるパルス数を計数することによ
って距離X’を算出することができる。
御部によって与えられるパルスをアップダウンするアッ
プダウンカウンタ138が接続されている。このアップ
ダウンカウンタ138は、メモリ140のリセット指令
に対応して作動するように構成されており、また図10
に示す1ピッチ(P)に発生するパルス数が予め求めら
れているので、CPU135は、このアップダウンカウ
ンタ138から出力されるパルス数を計数することによ
って距離X’を算出することができる。
【0071】この求められる距離X’と前記メモリ14
0内にメモリされた距離Xとを比較して偏差量を求め
る。この求められた偏差量をCPU135はD/A変換
器139により出力する。この出力に基づいて二次側
は、正規の位置まで駆動される。
0内にメモリされた距離Xとを比較して偏差量を求め
る。この求められた偏差量をCPU135はD/A変換
器139により出力する。この出力に基づいて二次側
は、正規の位置まで駆動される。
【0072】続いて、本考案の第2実施例としてのリニ
ア直流モータについて図14に基づいて説明する。な
お、当該リニア直流モータは以下に説明する構成以外に
ついては図1乃至図13に示した第1実施例としてのリ
ニア直流モータを含む駆動ユニットと同様に構成されて
いる故、駆動ユニット全体としての説明は省略し、要部
のみの説明に留める。また、以下の説明において、該第
1実施例としてのリニア直流モータを含む駆動ユニット
の構成部材と同一の構成部材については同じ参照符号を
付して示している。
ア直流モータについて図14に基づいて説明する。な
お、当該リニア直流モータは以下に説明する構成以外に
ついては図1乃至図13に示した第1実施例としてのリ
ニア直流モータを含む駆動ユニットと同様に構成されて
いる故、駆動ユニット全体としての説明は省略し、要部
のみの説明に留める。また、以下の説明において、該第
1実施例としてのリニア直流モータを含む駆動ユニット
の構成部材と同一の構成部材については同じ参照符号を
付して示している。
【0073】図示のように、当該リニア直流モータにお
いては、基準位置信号を発する検知素子である磁電変換
素子151が、二次側の作動ストロークSの中央に配置
されている。但し、電機子コイル22(図1乃至図3並
びに図5等を参照)内に配置されている。
いては、基準位置信号を発する検知素子である磁電変換
素子151が、二次側の作動ストロークSの中央に配置
されている。但し、電機子コイル22(図1乃至図3並
びに図5等を参照)内に配置されている。
【0074】そして、前述した第1実施例たるリニア直
流モータにおいては、制御部(図示せず)をして該磁電
変換素子151よりの基準位置信号の認識を促すための
誘発信号を発する誘発信号発生手段として限界センサ1
53が利用されたが、本実施例においては、該磁電変換
素子151自体が誘発信号発生手段としても活用され
る。
流モータにおいては、制御部(図示せず)をして該磁電
変換素子151よりの基準位置信号の認識を促すための
誘発信号を発する誘発信号発生手段として限界センサ1
53が利用されたが、本実施例においては、該磁電変換
素子151自体が誘発信号発生手段としても活用され
る。
【0075】すなわち、任意の位置に停止していた二次
側を、基準位置信号を得るべく、作動ストロークSの一
端側(図14における右端側でも左端側でもどちらでも
よい)に向けて移動させる。すると、被検知素子として
の界磁マグネット69の端部磁極69aが上記磁電変換
素子151上を通過し、該磁電変換素子151より信号
が発せられる。この信号すなわち第1の信号が誘発信号
として制御部に送られ、制御部はこれに応じて、例えば
時間管理により、上記端部磁極69aが磁電変換素子1
51を僅かな距離だけ行き過ぎた時点で二次側を停止さ
せる。
側を、基準位置信号を得るべく、作動ストロークSの一
端側(図14における右端側でも左端側でもどちらでも
よい)に向けて移動させる。すると、被検知素子として
の界磁マグネット69の端部磁極69aが上記磁電変換
素子151上を通過し、該磁電変換素子151より信号
が発せられる。この信号すなわち第1の信号が誘発信号
として制御部に送られ、制御部はこれに応じて、例えば
時間管理により、上記端部磁極69aが磁電変換素子1
51を僅かな距離だけ行き過ぎた時点で二次側を停止さ
せる。
【0076】この後、制御部は、二次側をそれまでとは
反対方向に作動させる。すると、上記界磁マグネット6
9の端部磁極69aが再び磁電変換素子151上を通過
し、該磁電変換素子151より信号が発せられる。制御
部はこの信号すなわち第2の信号を前述した基準位置信
号として取り入れ、二次側を停止させる。かくして二次
側が基準位置に位置決めされ、前述したようにメモリ
(RAM)140にメモリされたスケール位置データが
リセットされる。
反対方向に作動させる。すると、上記界磁マグネット6
9の端部磁極69aが再び磁電変換素子151上を通過
し、該磁電変換素子151より信号が発せられる。制御
部はこの信号すなわち第2の信号を前述した基準位置信
号として取り入れ、二次側を停止させる。かくして二次
側が基準位置に位置決めされ、前述したようにメモリ
(RAM)140にメモリされたスケール位置データが
リセットされる。
【0077】なお、以後に行われる二次側の所望位置ま
での移動は第1実施例の動作と同様であるのでその説明
は省略する。
での移動は第1実施例の動作と同様であるのでその説明
は省略する。
【0078】上記磁電変換素子151の配置位置に関し
ては、第1実施例及び第2実施例において設定した位置
に限らず必要に応じた位置に配置してもよい。
ては、第1実施例及び第2実施例において設定した位置
に限らず必要に応じた位置に配置してもよい。
【0079】ところで、前述したリニア直流モータにお
いては、コイル基板20及び回路基板30について、2
以上の電機子コイル22及びその駆動回路ごとに区割り
している。かかる構成によれば、このコイル基板20及
び回路基板30の各区割部のうち少なくとも1を分割し
て未分割の長尺のものと接続したり、1以上の区割部を
切除して長尺のものを短くすることにより、当該リニア
直流モータが装備されるべき装置などが必要とする作動
ストロークに合致した最適なストロークを得ることがで
き、該装置等の小型化及びコストの低減に寄与するとい
う効果が奏されると同時に、下記の効果が得られる。
いては、コイル基板20及び回路基板30について、2
以上の電機子コイル22及びその駆動回路ごとに区割り
している。かかる構成によれば、このコイル基板20及
び回路基板30の各区割部のうち少なくとも1を分割し
て未分割の長尺のものと接続したり、1以上の区割部を
切除して長尺のものを短くすることにより、当該リニア
直流モータが装備されるべき装置などが必要とする作動
ストロークに合致した最適なストロークを得ることがで
き、該装置等の小型化及びコストの低減に寄与するとい
う効果が奏されると同時に、下記の効果が得られる。
【0080】すなわち、上記磁電変換素子151はコイ
ル基板20に取り付けられるのであるが、該コイル基板
20の各区割部にこの磁電変換素子151を接続するた
めの接続端子を含む回路部をそれぞれ個別に設けておく
ことにより、磁電変換素子151を任意の区割部に装着
することができるのである。また、磁電変換素子151
は、これら区割部各々内において、その位置を自在に設
定することが可能であり、これにより、自由度が増大す
る。
ル基板20に取り付けられるのであるが、該コイル基板
20の各区割部にこの磁電変換素子151を接続するた
めの接続端子を含む回路部をそれぞれ個別に設けておく
ことにより、磁電変換素子151を任意の区割部に装着
することができるのである。また、磁電変換素子151
は、これら区割部各々内において、その位置を自在に設
定することが可能であり、これにより、自由度が増大す
る。
【0081】なお、上記の各実施例では、一次側及び二
次側の相互の案内をなす案内手段として機械的構成の案
内ユニットを示したが、流体(空気や油)の圧力やマグ
ネットの磁力により該両者を相対的に浮揚させる構成の
案内手段とすることもできる。
次側の相互の案内をなす案内手段として機械的構成の案
内ユニットを示したが、流体(空気や油)の圧力やマグ
ネットの磁力により該両者を相対的に浮揚させる構成の
案内手段とすることもできる。
【0082】また、上記各実施例においては電機子コイ
ル22側を固定として界磁マグネット69側が移動する
可動マグネット型のリニア直流モータを示したが、電機
子コイル22側が移動する可動側であってもよい。
ル22側を固定として界磁マグネット69側が移動する
可動マグネット型のリニア直流モータを示したが、電機
子コイル22側が移動する可動側であってもよい。
【0083】更に、他の実施例として、ベッド1がある
曲率を持っており、曲線運動を行う場合にも同様に適用
できる。
曲率を持っており、曲線運動を行う場合にも同様に適用
できる。
【0084】また、本考案は、前述した各実施例の構成
に限らず、これら各実施例が含む構成の一部ずつを互い
に組み合わせることなどにより、多岐に亘る構成を実現
できることは勿論である。
に限らず、これら各実施例が含む構成の一部ずつを互い
に組み合わせることなどにより、多岐に亘る構成を実現
できることは勿論である。
【0085】
【考案の効果】以上説明したように、本考案によるリニ
ア直流モータにおいては、一次側の電機子コイル内に検
知素子である磁気センサを配置し、該磁気センサが二次
側の界磁マグネットに感応して発する信号を該一次側及
び二次側の相対運動の基準位置信号として得ている。か
かる構成によれば、該基準位置信号を得るための構成部
品として特別に設けるべきは上記磁気センサのみであ
り、しかも該磁気センサの設置スペースとして電機子コ
イル内の内部空間を活用しているために占有スペースは
実質的にゼロである。よって、リニア直流モータ全体と
しての小型化が達成され、延いては当該リニア直流モー
タが組み込まれるべき工作機械や産業用ロボット等の省
スペース化に寄与素するという効果が奏される。
ア直流モータにおいては、一次側の電機子コイル内に検
知素子である磁気センサを配置し、該磁気センサが二次
側の界磁マグネットに感応して発する信号を該一次側及
び二次側の相対運動の基準位置信号として得ている。か
かる構成によれば、該基準位置信号を得るための構成部
品として特別に設けるべきは上記磁気センサのみであ
り、しかも該磁気センサの設置スペースとして電機子コ
イル内の内部空間を活用しているために占有スペースは
実質的にゼロである。よって、リニア直流モータ全体と
しての小型化が達成され、延いては当該リニア直流モー
タが組み込まれるべき工作機械や産業用ロボット等の省
スペース化に寄与素するという効果が奏される。
【図1】図1は、本考案に係るリニア直流モータを含む
駆動ユニットの、一部断面を含む斜視図である。
駆動ユニットの、一部断面を含む斜視図である。
【図2】図2は、図1に示した駆動ユニットの、一部断
面を含む平面図である。
面を含む平面図である。
【図3】図3は、図2に関するB−B矢視にて、一部断
面を含む図である。
面を含む図である。
【図4】図4は、図1乃至図3に示した駆動ユニットが
具備するトラックレール及びスライドメンバーの、一部
断面を含む斜視図である。
具備するトラックレール及びスライドメンバーの、一部
断面を含む斜視図である。
【図5】図5は、図1乃至図3に示した駆動ユニットが
含むリニア直流モータの要部の、一部断面を含む拡散分
解斜視図である。
含むリニア直流モータの要部の、一部断面を含む拡散分
解斜視図である。
【図6】図6は、図1乃至図3に示した駆動ユニットに
組込まれるべき基本基板の平面図である。
組込まれるべき基本基板の平面図である。
【図7】図7は、図6に示した基本基板の正面図であ
る。
る。
【図8】図8は、図6及び図7に示した基本基板の底面
図である。
図である。
【図9】図9は、図1乃至図3に示した駆動ユニットが
含むリニア直流モータの要部の、一部断面を含む斜視図
である。
含むリニア直流モータの要部の、一部断面を含む斜視図
である。
【図10】図10は、図1乃至図3に示したリニア直流
モータに設けられたリニア磁気スケールと、該リニア磁
気スケールの検知をなす磁気センサ部とを示す平面図で
ある。
モータに設けられたリニア磁気スケールと、該リニア磁
気スケールの検知をなす磁気センサ部とを示す平面図で
ある。
【図11】図11は、図1乃至図3に示したリニア直流
モータの作動制御を行う制御系のブロック図である。
モータの作動制御を行う制御系のブロック図である。
【図12】図12は、図10に示した磁気センサ部によ
り得られる波形を示す図である。
り得られる波形を示す図である。
【図13】図13は、図1乃至図3に示したリニア直流
モータの動作説明図である。
モータの動作説明図である。
【図14】図14は、本考案の第2実施例としてのリニ
ア直流モータの動作説明図である。
ア直流モータの動作説明図である。
【図15】図15は、従来のリニア直流モータを含む駆
動ユニットの要部の斜視図である。
動ユニットの要部の斜視図である。
【図16】図16は、図15に示した駆動ユニットに組
み込まれるべき検知手段の斜視図である。
み込まれるべき検知手段の斜視図である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−106084(JP,A) 特開 平3−155362(JP,A) 特開 平4−308450(JP,A) 特開 平5−64487(JP,A) 実開 昭63−164374(JP,U) 実開 平2−97863(JP,U) 実公 平1−45264(JP,Y2) 実公 平2−43646(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H02K 41/00 - 41/06
Claims (1)
- 【請求項1】 長手方向に並設された多数の電機子コイ
ルを担持するコイル基板と前記電機子コイルに対して給
電等を行う回路基板とを有する固定側である一次側と、 前記長手方向に沿って異なる磁極が交互に配設着磁さ
れ、かつ、前記電機子コイルに対向して配置されて前記
電機子コイルが給電制御されることにより前記電機子コ
イルに対して相対運動する界磁マグネットを有する可動
側である二次側と、 前記電機子コイルの各々に対応して前記電機子コイルの
外周縁に配設されて、前記界磁マグネットが接近したと
きに前記界磁マグネットが発する磁力線の量に応じて前
記電機子コイルを給電制御する信号を発する磁電変換素
子と、 前記一次側に対する前記二次側の相対位置を検知する検
知手段とを備えた可動マグネット型のリニア直流モータ
において、 前記検知手段は、 前記電機子コイル内の基準位置に設けられて被検知素子
である前記界磁マグネットに感応して基準位置信号を発
する検知素子である磁気センサと、 前記一次側に対する前記二次側の所定ストロークの両端
に位置する前記電機子コイル内に設けられて前記界磁マ
グネットに感応して前記一次側に対して前記二次側が前
記所定ストロークを逸脱して作動したことを検知して信
号を発する限界センサとを有し、 前記コイル基板及び前記回路基板は、単位化され分割可
能に区割りされた区割部を有してなり、 さらに、前記区割部は前記基準位置信号を発する前記磁
気センサをいずれの前記電機子コイル内にも装着可能な
接続端子を備えていることを特徴とするリニア直流モー
タ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993043943U JP2596793Y2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | リニア直流モータ |
US08/276,461 US5530303A (en) | 1993-07-16 | 1994-07-18 | Linear direct current motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993043943U JP2596793Y2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | リニア直流モータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0711890U JPH0711890U (ja) | 1995-02-21 |
JP2596793Y2 true JP2596793Y2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=12677786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993043943U Expired - Lifetime JP2596793Y2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | リニア直流モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5530303A (ja) |
JP (1) | JP2596793Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004010566A1 (ja) * | 2002-07-18 | 2004-01-29 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | リニアモータ装置 |
JP2008527964A (ja) * | 2005-01-17 | 2008-07-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 移動装置 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4830069U (ja) * | 1971-08-12 | 1973-04-12 | ||
JPS52171461U (ja) * | 1976-06-18 | 1977-12-27 | ||
US5600188A (en) * | 1990-02-26 | 1997-02-04 | Maudal; Inge | Low stiction, dual drive, motive system |
JPH07143728A (ja) * | 1993-11-19 | 1995-06-02 | Nippon Thompson Co Ltd | リニア直流モータ |
JP3118131B2 (ja) * | 1993-12-03 | 2000-12-18 | 日本トムソン株式会社 | 2つの可動テーブルを有する直流リニアモータ |
GB2323716B (en) * | 1997-02-10 | 2001-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Linear actuator and optical equipment using the same |
DE50003742D1 (de) | 2000-10-04 | 2003-10-23 | Nti Ag Zuerich | Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements |
JP4333979B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2009-09-16 | 日本トムソン株式会社 | リニアモータを内蔵したアライメントステージ装置 |
US6917174B2 (en) * | 2003-12-08 | 2005-07-12 | Bae Systems Controls, Inc. | Cost-effective measurement of large machine currents |
EP1732197B1 (de) * | 2005-06-09 | 2015-06-10 | Alois Jenny | Linearmotor mit integrierter Führung |
FR2887376B1 (fr) | 2005-06-15 | 2007-12-14 | Sonceboz Sa Sa Suisse | Servo-actionneur electromagnetique monophase rotatif comprenant un actionneur et un capteur de position |
DE102006010198B4 (de) * | 2006-03-06 | 2008-02-07 | Siemens Ag | Direktantriebseinbaumotor mit spezieller Sensorbefestigung |
JP5390109B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2014-01-15 | 株式会社ワコー技研 | リニアモータの原点設定方法 |
DE102011085636A1 (de) * | 2011-11-02 | 2013-05-02 | Hamilton Bonaduz Ag | Linearmotor mit mehreren Sensoreinheiten und modularem Statoraufbau |
US20150022030A1 (en) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | Nti Ag | Linear motor |
CN109690928B (zh) * | 2016-09-23 | 2021-01-08 | 雅马哈发动机株式会社 | 线性传送器及中继单元 |
DE102017220892A1 (de) * | 2017-11-22 | 2019-05-23 | Hamilton Bonaduz Ag | Pipettiervorrichtung mit doppelseitig nutzbarer Stator-Magnetanordnung als Teil eines linearmotorischen Antriebs einer Pipettiereinheit |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50106084A (ja) * | 1974-01-26 | 1975-08-21 | ||
US4638192A (en) * | 1981-12-11 | 1987-01-20 | Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg | Linear DC motor |
US4768357A (en) * | 1986-02-13 | 1988-09-06 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for knitting a flat knitted fabric, a flat knitting machine and a novel flat knitted fabric knitted by said flat knitting machine |
JPS6445264U (ja) * | 1987-09-10 | 1989-03-17 | ||
JPH01170928A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-06 | Sharp Corp | 複写機の光学系移動装置 |
JP2541993Y2 (ja) * | 1988-09-19 | 1997-07-23 | 株式会社 堀場製作所 | 化学発光式ガス分析計 |
US5087844A (en) * | 1989-11-07 | 1992-02-11 | Hitachi Metals, Ltd. | Linear motor |
JP2783620B2 (ja) * | 1989-11-13 | 1998-08-06 | 株式会社リコー | 可動コイル型リニアモータ |
US5047676A (en) * | 1990-04-02 | 1991-09-10 | Hitachi Metals, Ltd. | Brushless linear actuator with sensor-activated coils |
JPH04156263A (ja) * | 1990-10-16 | 1992-05-28 | Nippon Thompson Co Ltd | 小形リニアモータ駆動装置 |
JPH04308450A (ja) * | 1991-04-03 | 1992-10-30 | Ricoh Co Ltd | リニア直流モータ |
JPH0564487A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-12 | Canon Inc | 位置決めテーブル装置 |
JPH05272535A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-19 | Nippon Thompson Co Ltd | 案内ユニット及びこれを具備した直動ユニット |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP1993043943U patent/JP2596793Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-07-18 US US08/276,461 patent/US5530303A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004010566A1 (ja) * | 2002-07-18 | 2004-01-29 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | リニアモータ装置 |
JP2008527964A (ja) * | 2005-01-17 | 2008-07-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 移動装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5530303A (en) | 1996-06-25 |
JPH0711890U (ja) | 1995-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2596793Y2 (ja) | リニア直流モータ | |
US6100681A (en) | Linear encoding device with staggered detectors | |
JP3176002B2 (ja) | 駆動ユニット | |
JP3118131B2 (ja) | 2つの可動テーブルを有する直流リニアモータ | |
US6573623B2 (en) | Sliding means with built-in moving-magnet linear motor | |
JP3347766B2 (ja) | リニアエンコーダ及びこれを具備した案内ユニット | |
JPH09266660A (ja) | リニア電磁アクチュエータを用いたxyテーブル | |
US6917126B2 (en) | Sliding means with built-in moving-magnet linear motor | |
JP3695542B2 (ja) | リニア電磁アクチュエータを具備したxy駆動装置 | |
US5359245A (en) | Guide unit and a direct drive unit on which it is equipped | |
JPH09266659A (ja) | 小形リニアモータテーブル | |
WO2004010566A1 (ja) | リニアモータ装置 | |
JPH0953638A (ja) | 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット | |
JP3407980B2 (ja) | リニア電磁アクチュエータ及びこれを具備した駆動ユニット | |
US5416396A (en) | Linear encoder and a guide unit on which it is equipped | |
JPH07322596A (ja) | 駆動ユニット及びこれに装備されるべきスケールの製造方法 | |
JP3209644B2 (ja) | リニア直流モータ | |
JP3208259B2 (ja) | リニア直流モータ | |
JPH08122045A (ja) | 物品計測装置 | |
JPH09261943A (ja) | リニアモータ駆動装置 | |
JP3287645B2 (ja) | 直流リニアモータ及びこれを具備した駆動ユニット | |
JP2783620B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータ | |
JPH0783228A (ja) | 小型薄肉転がり案内ユニット及び駆動ユニット | |
JP2558779Y2 (ja) | 直流リニアモータ | |
JP2777214B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416 Year of fee payment: 10 |