JP2586121B2 - ロータリーエンコーダの原点検出系 - Google Patents
ロータリーエンコーダの原点検出系Info
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- JP2586121B2 JP2586121B2 JP63246650A JP24665088A JP2586121B2 JP 2586121 B2 JP2586121 B2 JP 2586121B2 JP 63246650 A JP63246650 A JP 63246650A JP 24665088 A JP24665088 A JP 24665088A JP 2586121 B2 JP2586121 B2 JP 2586121B2
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- light
- light receiving
- light beam
- rotation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は回転物体の回転状態を光電的に測定するロー
タリーエンコーダーの原点検出系に関し、例えば回転ス
ケールに取付けた回折格子に可干渉性光束を入射させ該
回折格子からの回折光を互いに干渉させて干渉縞を形成
し、干渉縞の明暗の縞を計数することによって回転物体
の回転状態を測定する際の原点位置信号を効率的に、か
つ高精度に得るようにしたロータリーエンコーダーの原
点検出系に関するものである。
タリーエンコーダーの原点検出系に関し、例えば回転ス
ケールに取付けた回折格子に可干渉性光束を入射させ該
回折格子からの回折光を互いに干渉させて干渉縞を形成
し、干渉縞の明暗の縞を計数することによって回転物体
の回転状態を測定する際の原点位置信号を効率的に、か
つ高精度に得るようにしたロータリーエンコーダーの原
点検出系に関するものである。
（従来の技術） 従来よりサブミクロンの単位で変位を測定することの
できる測定器としては、レーザー等の可干渉性光束を用
い移動物体に設けた回転回折格子からの回折光より干渉
縞を形成し、該干渉縞の明暗変化をモニターするリニア
エンコーダーやロータリーエンコーダーが良く知られて
いる。
できる測定器としては、レーザー等の可干渉性光束を用
い移動物体に設けた回転回折格子からの回折光より干渉
縞を形成し、該干渉縞の明暗変化をモニターするリニア
エンコーダーやロータリーエンコーダーが良く知られて
いる。
ロータリーエンコーダのうちインクリメンタル方式の
エンコーダはスケールの回転に伴ない発生するパルス数
を計数して被検出物体の回転量を検出している。又、被
検出物体の絶対回転位置は原点回転位置からのずれ量及
び方向を求めることにより行っている。
エンコーダはスケールの回転に伴ない発生するパルス数
を計数して被検出物体の回転量を検出している。又、被
検出物体の絶対回転位置は原点回転位置からのずれ量及
び方向を求めることにより行っている。
一般にインクリメンタルタイプのロータリーエンコー
ダは１回転中に１回だけ原点位置を示す原点信号を発生
するようなパターンが設けられている。
ダは１回転中に１回だけ原点位置を示す原点信号を発生
するようなパターンが設けられている。
このときの原点信号は光や磁気等を利用したパターン
検出系を用いて該パターンの有無（又は遠近）を検知し
て発生される。
検出系を用いて該パターンの有無（又は遠近）を検知し
て発生される。
本出願人は先に特開昭62-200223号公報において、回
転ディスクの直径が20mm、１回転当りのパルス数（正弦
波周波数）81000程度のロータリーエンコーダを提案し
た。同公報のロータリーエンコーダは１パルス当りの回
転ディスク周上の長さは0.78μである。一般には原点位
置検出装置の繰り返し再現性精度もこの程度必要とな
る。
転ディスクの直径が20mm、１回転当りのパルス数（正弦
波周波数）81000程度のロータリーエンコーダを提案し
た。同公報のロータリーエンコーダは１パルス当りの回
転ディスク周上の長さは0.78μである。一般には原点位
置検出装置の繰り返し再現性精度もこの程度必要とな
る。
そこで高精度な原点位置検出を可能とする為に同公報
においては例えば矩形状反射スリットを回転ディスク上
に設け、そこに矩形状又は長楕円状断面を有する光束を
照射し、そこからの反射光束を検出タイミングが異なる
ように位置をずらした２つの受光素子によって検知して
いる。そして同公報では両受光素子からの出力信号を比
較することによって原理的に矩形状反射スリットの幅よ
りも高分解能に原点位置を求めることのできるロータリ
ーエンコーダを提案している。
においては例えば矩形状反射スリットを回転ディスク上
に設け、そこに矩形状又は長楕円状断面を有する光束を
照射し、そこからの反射光束を検出タイミングが異なる
ように位置をずらした２つの受光素子によって検知して
いる。そして同公報では両受光素子からの出力信号を比
較することによって原理的に矩形状反射スリットの幅よ
りも高分解能に原点位置を求めることのできるロータリ
ーエンコーダを提案している。
これにより数μｍ幅の矩形状反射スリットを用いて16
角度秒程度の原点位置再現性を得ている。
角度秒程度の原点位置再現性を得ている。
２つの受光素子の信号出力の比較精度は信号のS/N比
で決定されるがそのゆらぎが原点信号検出系そのものの
繰り返し再現精度に相当するはずである。
で決定されるがそのゆらぎが原点信号検出系そのものの
繰り返し再現精度に相当するはずである。
しかし電気信号の高いS/N比によってサブミクロンの
繰り返し再現精度が得られても、回転ディスクの回転中
の平行軸ずれや軸のたおれがあると、例えば第３、第
４、第５図に示すように検出タイミングがずれて原点信
号検出にエラーが生じる。
繰り返し再現精度が得られても、回転ディスクの回転中
の平行軸ずれや軸のたおれがあると、例えば第３、第
４、第５図に示すように検出タイミングがずれて原点信
号検出にエラーが生じる。
例えば第３図に示すように回転ディスク板５がＸ−
Ｘ′軸方向に0.5μｍ横ずれして破線の位置になったと
すると、回転ディスク板５上の矩形反射スリット６によ
る反射光束の検出タイミング（受光素子８の出力をＡ、
受光素子９の出力をＢとする。）は第５図に示すように
なる。即ち、出力Ａ、Ｂの交点のタイミングt1がt1′に
ずれてくる。
Ｘ′軸方向に0.5μｍ横ずれして破線の位置になったと
すると、回転ディスク板５上の矩形反射スリット６によ
る反射光束の検出タイミング（受光素子８の出力をＡ、
受光素子９の出力をＢとする。）は第５図に示すように
なる。即ち、出力Ａ、Ｂの交点のタイミングt1がt1′に
ずれてくる。
原点信号が周上で0.5μｍずれたことに相当している
からエラーは直径20mmの回転ディスクで｛tan-1（0.5/1
0000）×3600｝＝10角度秒になる。
からエラーは直径20mmの回転ディスクで｛tan-1（0.5/1
0000）×3600｝＝10角度秒になる。
回転ディスク５の倒れに関しても第４図に示すように
回転軸７が倒れると受光素子８、９上の反射光束の照射
位置がずれ出力Ａ、Ｂのタイミングがずれてくる。例え
ば焦点距離5mmのシリンドリカルレンズを用いた場合、
回転軸７の倒れ20角度秒に対しエラーは 角度秒になる。
回転軸７が倒れると受光素子８、９上の反射光束の照射
位置がずれ出力Ａ、Ｂのタイミングがずれてくる。例え
ば焦点距離5mmのシリンドリカルレンズを用いた場合、
回転軸７の倒れ20角度秒に対しエラーは 角度秒になる。
一般に小型のベアリング等を用いた回転機構において
0.5μｍ以下の軸ずれや10角度秒以下の軸の倒れを抑制
するのは非常に困難である。
0.5μｍ以下の軸ずれや10角度秒以下の軸の倒れを抑制
するのは非常に困難である。
このように従来のロータリーエンコーダにおいては１
角度秒程度の繰り返し再現性精度を満たす原点位置信号
を得ることは大変難しかった。
角度秒程度の繰り返し再現性精度を満たす原点位置信号
を得ることは大変難しかった。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は、被検回転物体の回転状態を測定する際に回
転物体に関する原点位置信号を回転機構のガタや倒れが
あっても高精度にしかも効率的に検出することを可能と
した簡易な構成のロータリーエンコーダーの原点検出系
の提供を目的とする。
転物体に関する原点位置信号を回転機構のガタや倒れが
あっても高精度にしかも効率的に検出することを可能と
した簡易な構成のロータリーエンコーダーの原点検出系
の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段） 回転物体に連結された回転ディスクの所定面上に入射
させた入射光束の反射光束又は透過光束を利用して、該
回転物体の回転状態を測定する際、前記回転ディスクの
回転中心を含む直線上であって、該回転中心を中心にし
て互いに対向する第１と第２のパターンを設け、第1,第
２の受光素子によって、各々のパターンからの光を互い
にタイミングをずらして検出し、前記第1,第２の受光素
子の検出信号の交点によって前記回転ディスクの回転に
関する原点位置信号を形成したことを特徴としている。
させた入射光束の反射光束又は透過光束を利用して、該
回転物体の回転状態を測定する際、前記回転ディスクの
回転中心を含む直線上であって、該回転中心を中心にし
て互いに対向する第１と第２のパターンを設け、第1,第
２の受光素子によって、各々のパターンからの光を互い
にタイミングをずらして検出し、前記第1,第２の受光素
子の検出信号の交点によって前記回転ディスクの回転に
関する原点位置信号を形成したことを特徴としている。
特に、前記第1,第２の受光素子は、各々パターンに入
射する光束の中心線から前記回転ディスクの回転方向に
対して互いに逆向きに設けられたことを特徴としてい
る。
射する光束の中心線から前記回転ディスクの回転方向に
対して互いに逆向きに設けられたことを特徴としてい
る。
（実施例） 第１図（Ａ）は本発明の一実施例の光学系の要部概略
図、第１図（Ｂ）は同図（Ａ）の一部分の平面図であ
る。
図、第１図（Ｂ）は同図（Ａ）の一部分の平面図であ
る。
図中１は光源で例えばレーザダイオードである。２は
コリメーターレンズで光源１からの光束を平行光束とし
ている。3aはビームスプリッターでコリメーターレンズ
２からの光束を２つに分割している。10は反射鏡、3b、
3cはビームスプリッター、５は被検出物体としての回転
ディスクであり、回転軸７を中心に回転している。
コリメーターレンズで光源１からの光束を平行光束とし
ている。3aはビームスプリッターでコリメーターレンズ
２からの光束を２つに分割している。10は反射鏡、3b、
3cはビームスプリッター、５は被検出物体としての回転
ディスクであり、回転軸７を中心に回転している。
4a、4bは各々シリンドリカルレンズであり、ビームス
プリッター3b、3cからの光束を回転ディスク５の円周方
向に収束し長楕円状にして入射させている。6a、6bは各
々原点位置検出用の第１のパターン，第２のパターン
（パターン）であり矩形反射スリットより成っており、
第１図（Ｂ）に示すように回転ディスク５の回転中心Ｏ
を通る直線上の回転中心Ｏに対向して異った半径（距
離）γａ、γｂ上に各々設けられている。８、９は各々
第１の受光素子，第２の受光素子（受光素子）であり矩
形反射スリット6a（6b）で反射し、シリンドリカルレン
ズ4a（4b）、ビームスプリッター3b（3c）を通過してき
た光束を受光している。又受光素子８、９の位置は光束
の中心線11からディスクの回転方向に対して互いに逆向
きに設定されている。
プリッター3b、3cからの光束を回転ディスク５の円周方
向に収束し長楕円状にして入射させている。6a、6bは各
々原点位置検出用の第１のパターン，第２のパターン
（パターン）であり矩形反射スリットより成っており、
第１図（Ｂ）に示すように回転ディスク５の回転中心Ｏ
を通る直線上の回転中心Ｏに対向して異った半径（距
離）γａ、γｂ上に各々設けられている。８、９は各々
第１の受光素子，第２の受光素子（受光素子）であり矩
形反射スリット6a（6b）で反射し、シリンドリカルレン
ズ4a（4b）、ビームスプリッター3b（3c）を通過してき
た光束を受光している。又受光素子８、９の位置は光束
の中心線11からディスクの回転方向に対して互いに逆向
きに設定されている。
これにより受光素子８、９による光束のタイミングを
所定時間ずらしている。即ち両パターンを結ぶ直線近傍
において一方の受光素子８に対応するビームスポットに
対しパターン6aがはなれる方向に移動する時、他方の受
光素子７に対応するビームスポットに対しパターン6bが
近づくように構成されている。
所定時間ずらしている。即ち両パターンを結ぶ直線近傍
において一方の受光素子８に対応するビームスポットに
対しパターン6aがはなれる方向に移動する時、他方の受
光素子７に対応するビームスポットに対しパターン6bが
近づくように構成されている。
本実施例では光源１からの光束をコリメーターレンズ
２により略平行光束とし、ビームスプリッタ3a、3b、3c
そしてミラー10等を介して回転軸７に対し互いに反対側
に配置したシリンドリカルレンズ4a、4bにより長楕円状
光束にして回転ディスク５面上を照射している。そして
回転ディスク５上に設けた矩形反射リット6a、6bが光束
下に位置したとき受光素子８、９による該光束を所定時
間タイミングをずらして検出している。
２により略平行光束とし、ビームスプリッタ3a、3b、3c
そしてミラー10等を介して回転軸７に対し互いに反対側
に配置したシリンドリカルレンズ4a、4bにより長楕円状
光束にして回転ディスク５面上を照射している。そして
回転ディスク５上に設けた矩形反射リット6a、6bが光束
下に位置したとき受光素子８、９による該光束を所定時
間タイミングをずらして検出している。
第２図（Ａ）はこのときの２つの受光素子８、９で得
られる出力信号Ａ、Ｂの説明図である。受光素子８は時
刻tAより検出が始まり、受光素子９は時刻tBより検出が
始まる。このとき出力信号Ａ、Ｂの曲線の交点に相当す
る時刻t1が原点位置に相当している。
られる出力信号Ａ、Ｂの説明図である。受光素子８は時
刻tAより検出が始まり、受光素子９は時刻tBより検出が
始まる。このとき出力信号Ａ、Ｂの曲線の交点に相当す
る時刻t1が原点位置に相当している。
今回転ディスク５が第３図に示すようにＸ−Ｘ′軸方
向に横ずれを起こしたとすると第２図（Ｂ）に示すよう
に受光素子８の検出タイミングは遅れ信号A2となるが逆
に受光素子９の検出タイミングは進み信号B2となり結果
として同図に示すような信号出力が得られる。このとき
出力信号A2、B2の交点に相当する時刻t2は同図（Ａ）の
時刻t1と同じになる。
向に横ずれを起こしたとすると第２図（Ｂ）に示すよう
に受光素子８の検出タイミングは遅れ信号A2となるが逆
に受光素子９の検出タイミングは進み信号B2となり結果
として同図に示すような信号出力が得られる。このとき
出力信号A2、B2の交点に相当する時刻t2は同図（Ａ）の
時刻t1と同じになる。
同様に回転ディスク５がＹ−Ｙ′軸を中心に回転する
ような回転軸７の倒れが生じたとすると第２図（Ｃ）に
示すように受光素子８の検出タイミングの時刻tA3は遅
れるが受光素子９の検出タイミングは時刻tB3と進み、
結果的に信号出力tA3、tB3の交点に相当する時刻t3は第
１図の時刻t1と同じになる。
ような回転軸７の倒れが生じたとすると第２図（Ｃ）に
示すように受光素子８の検出タイミングの時刻tA3は遅
れるが受光素子９の検出タイミングは時刻tB3と進み、
結果的に信号出力tA3、tB3の交点に相当する時刻t3は第
１図の時刻t1と同じになる。
即ちいずれの場合も２つの受光素子８、９からの信号
出力の交点に相当する時刻は変化しない。
出力の交点に相当する時刻は変化しない。
特に本実施例では１つの光源からの光束を２つに分割
して各々の検出系に導光しているので光源からの光量が
変化しても第２図（Ｃ）に示すように何んら検出タイミ
ングがずれることはないという特長を有している。
して各々の検出系に導光しているので光源からの光量が
変化しても第２図（Ｃ）に示すように何んら検出タイミ
ングがずれることはないという特長を有している。
このように本実施例では前述の如く矩形反射スリット
6a、6bを回転ディスク面上の所定の位置に設けることに
より、回転ディスクが正規の状態から変化しても、２つ
の受光素子８、９から得られる出力信号を用いることに
より原点位置を検出する際のエラーを除去した高精度の
検出を可能としている。
6a、6bを回転ディスク面上の所定の位置に設けることに
より、回転ディスクが正規の状態から変化しても、２つ
の受光素子８、９から得られる出力信号を用いることに
より原点位置を検出する際のエラーを除去した高精度の
検出を可能としている。
本実施例において回転ディスク５の１回転で１度の原
点信号を得る為の２つの矩形反射スリットの回転軸から
の距離を僅かに変えて（例えば0.5mm）いる。そしてこ
のときの２つの矩形反射スリット6a、6bが各々別の受光
素子のみに検出されるように配置している。
点信号を得る為の２つの矩形反射スリットの回転軸から
の距離を僅かに変えて（例えば0.5mm）いる。そしてこ
のときの２つの矩形反射スリット6a、6bが各々別の受光
素子のみに検出されるように配置している。
尚、本発明に係る原点位置検出系は矩形反射スリット
以外の光学パターン、例えば円形反射スリット、３次元
的パターン等を用いてもよいことは言うまでもないが光
学式に限らずどのような原点位置検出装置にも適用する
ことができる。例えば磁気パターンを用いた時は第１図
（ａ）における２つの光束照射位置に相当する所に互い
にタイミングがずれるように磁気センサを配置すればよ
いのは明らかである。
以外の光学パターン、例えば円形反射スリット、３次元
的パターン等を用いてもよいことは言うまでもないが光
学式に限らずどのような原点位置検出装置にも適用する
ことができる。例えば磁気パターンを用いた時は第１図
（ａ）における２つの光束照射位置に相当する所に互い
にタイミングがずれるように磁気センサを配置すればよ
いのは明らかである。
（発明の効果） 本発明によれば前述の如く、回転ディスク面上の所定
位置に２つの原点信号用のパターンを設け、各原点信号
用のパターンの検出系を互いに検出タイミングがずれる
ように配置し、これにより２つの検出系から得られる信
号を比較し、双方の信号の交点によって原点信号を発生
させ、回転ディスクの回転機構の軸ずれや軸の倒れが生
じても原点位置検出のエラーを発生させずに例えば１角
度秒程度の分解能を有する高精度のロータリーエンコー
ダへの組み込みを可能としている。
位置に２つの原点信号用のパターンを設け、各原点信号
用のパターンの検出系を互いに検出タイミングがずれる
ように配置し、これにより２つの検出系から得られる信
号を比較し、双方の信号の交点によって原点信号を発生
させ、回転ディスクの回転機構の軸ずれや軸の倒れが生
じても原点位置検出のエラーを発生させずに例えば１角
度秒程度の分解能を有する高精度のロータリーエンコー
ダへの組み込みを可能としている。
第１図（Ａ）は本発明の一実施例の光学系の要部概略
図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の一部分の平面概略
図、第２図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る検出手段から
得られる出力信号の説明図、第３図、第４図は各々従来
のロータリーエンコーダの要部概略図、第５図は第３図
に示す検出系で得られる出力信号の説明図である。 図中、１は光源、２はコリメーターレンズ、3a、3b、3c
はビームスプリッター、10は反射ミラー、4a、4bはシリ
ンドリカルレンズ、５は回転ディスク、6a、6bは反射型
スリット、７は回転軸、８、９は受光素子、11は光束の
中心線、である。
図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の一部分の平面概略
図、第２図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明に係る検出手段から
得られる出力信号の説明図、第３図、第４図は各々従来
のロータリーエンコーダの要部概略図、第５図は第３図
に示す検出系で得られる出力信号の説明図である。 図中、１は光源、２はコリメーターレンズ、3a、3b、3c
はビームスプリッター、10は反射ミラー、4a、4bはシリ
ンドリカルレンズ、５は回転ディスク、6a、6bは反射型
スリット、７は回転軸、８、９は受光素子、11は光束の
中心線、である。
フロントページの続き (72)発明者 石井 哲 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−89703（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−169611（ＪＰ，Ａ) 特公 昭38−9463（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (2)
- 【請求項１】回転物体に連結された回転ディスクの所定
面上に入射させた入射光束の反射光束又は透過光束を利
用して、該回転物体の回転状態を測定する際、前記回転
ディスクの回転中心を含む直線上であって、該回転中心
を中心にして互いに対向する第１と第２のパターンを設
け、第1,第２の受光素子によって、各々のパターンから
の光を互いにタイミングをずらして検出し、前記第1,第
２の受光素子の検出信号の交点によって前記回転ディス
クの回転に関する原点位置信号を形成したことを特徴と
するロータリーエンコーダの原点検出系。 - 【請求項２】前記第1,第２の受光素子は、各々パターン
に入射する光束の中心線から前記回転ディスクの回転方
向に対して互いに逆向きに設けられたことを特徴とする
請求項１のロータリーエンコーダの原点検出系。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63246650A JP2586121B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ロータリーエンコーダの原点検出系 |
| US07/409,796 US5026985A (en) | 1988-09-30 | 1989-09-20 | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale with two sensors |
| DE89117894T DE68911255T2 (de) | 1988-09-30 | 1989-09-27 | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren einer Referenzposition einer rotierenden Skala. |
| EP89117894A EP0361457B1 (en) | 1988-09-30 | 1989-09-27 | Method and apparatus for detecting a reference position of a rotating scale |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63246650A JP2586121B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ロータリーエンコーダの原点検出系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0293324A JPH0293324A (ja) | 1990-04-04 |
| JP2586121B2 true JP2586121B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17151573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63246650A Expired - Lifetime JP2586121B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | ロータリーエンコーダの原点検出系 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5026985A (ja) |
| EP (1) | EP0361457B1 (ja) |
| JP (1) | JP2586121B2 (ja) |
| DE (1) | DE68911255T2 (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2810524B2 (ja) * | 1990-10-19 | 1998-10-15 | キヤノン株式会社 | 回転検出計 |
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