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JP2578749Y2 - 液体の光化学反応処理装置 - Google Patents

液体の光化学反応処理装置

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JP2578749Y2
JP2578749Y2 JP1991095888U JP9588891U JP2578749Y2 JP 2578749 Y2 JP2578749 Y2 JP 2578749Y2 JP 1991095888 U JP1991095888 U JP 1991095888U JP 9588891 U JP9588891 U JP 9588891U JP 2578749 Y2 JP2578749 Y2 JP 2578749Y2
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JP
Japan
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liquid
photocatalyst
anatase
type titanium
photochemical reaction
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JP1991095888U
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浩二 中野
裕司 山越
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Photoscience Japan Corp
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Photoscience Japan Corp
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  • Physical Water Treatments (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、紫外線、太陽光線等の
光照射によって、液体に含まれている有機物の酸化分
解、細菌の殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処理
を、アナタース型チタンの光触媒またはアナタース型チ
タンに白金等の金属を担持させた光触媒の存在下におい
て行い、有機物、細菌、有害物質を除去する光化学反応
処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最近、半導体製造工程、医薬品製造工
程、電力発電工程において、超純水等の高純度の液体
使用されている。例えば、LSI等の半導体を製造する
際には、半導体の洗浄水として超純水が使用されている
が、この超純水は、光化学反応処理装置としての紫外線
照射装置、イオン交換装置、超濾過膜装置、逆浸透膜装
置等を適宜組み合わせた超純水製造システムによって製
造されている。この超純水製造システムにおいては、紫
外線照射装置は、原水である一次純水に含まれている有
機物を酢酸等の有機酸、二酸化炭素等に酸化分解処理、
そして処理水に含まれている有機酸、二酸化炭素等を、
イオン交換装置、超濾過膜装置、逆浸透膜装置等で除去
して超純水を製造している。また、超純水を半導体の洗
浄に一度使用してイソプロピールアルコール等の有機物
で汚染された洗浄水(超純水の純度より悪いが高純度の
純水)を、前述した超純水製造システムで処理して超純
水として再度使用することも多い。
【0003】そして紫外線照射装置は、原水中に細菌や
有害物質が含まれている場合には、原水中の細菌の殺
菌、有害物質の分解をし、超純水製造システムの後段の
イオン交換樹脂、超濾過膜、逆浸透膜等が細菌、有害物
質で汚染されるのを防止するためにも使用されている。
また紫外線照射装置は、超純水製造システムで製造した
超純水が細菌で汚染された場合には、半導体の細菌汚染
を防止するために、超純水中の殺菌用に使用されること
もある。しかし、昨今の技術革新や技術の高度化に伴っ
て、超純水の純度、特に超純水中に最後まで残留する微
量の有機物、細菌、有害物質の除去が重要な技術課題に
なり、現在用いられている紫外線照射装置の紫外線照射
効率の向上が求められている。
【0004】近年、紫外線照射処理において液体の光化
学反応処理を行う場合に、酸化チタン(TiO2)また
は酸化チタンに白金(Pt)等の金属を担持した光触媒
を用い、触媒の活性度を高めて超純水の純度を一段と高
める工夫や改善が提案なされている。しかし、これまで
の光触媒を用いた液体の光化学反応処理は、学問的アイ
デアや実験的提案が多く、工業的な技術として完成され
ているものが少なく、実装置として運転されているもの
は、光触媒と液体の接触面積が小さいものが多く、光化
学反応処理効率が悪いという欠点があった。
【0005】また、光触媒と液体の接触面積を大きくす
るものとして、被処理水中に含まれる有機物を、白金担
持酸化チタン等の光触媒粒子の存在下で、紫外線照射し
て酸化分解して除去するという超純水製造方法が、特許
出願公開(特開昭62−193696号)になってい
る。しかし、この公開公報には、紫外線照射による液体
の光化学反応処理を行うことについては記載されている
が、処理液である超純水より、白金担持酸化チタン等の
光触媒粒子を分離する手段にいて記載がない。超純水
として使用する限り、最終段階で超純水より白金担持酸
化チタン等の光触媒粒子を分離することは必須の技術条
件であるが、このような重要な分離技術について記載が
ないことより判断すると、工業技術として完成されてい
るとはいえない。
【0006】この出願公開された技術における超純水と
光触媒との分離手段について想像すると、光触媒粒子の
沈殿による分離が考えられるが、沈殿に長時間を要する
とともに分離性が悪くて実用的でなく、また光触媒粒子
を濾過機、ストレーナー分離膜装置で濾別して分離する
ことも考えられるが、光触媒粒子によって濾過機、スト
レーナー、分離膜装置が目詰まりし易く、これらの装置
の洗浄をたびたび行う必要があるために光化学反応処理
効率が悪くなる欠点がありに、また濾過機、ストレーナ
ー、分離膜装置の設置の必要があるために、設置費用が
増大する等種々の不都合があった。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、液体の光化
学反応処理を行うについて、アナタース型チタンの光触
媒またはアナタース型チタンに白金等の金属を担持させ
た光触媒を液体と効率的接触させることにより、紫外
線等と光触媒との接触面積を飛躍的に大きくし、光化学
反応処理反応効率を高めて、処理液体の純度を向上させ
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本考案は、紫外線、太陽
光線等の光照射によって、液体に含まれている有機物の
酸化分解、細菌の殺菌、有害物質の分解等を行う光化学
反応処理装置に関するものであって、アナタース型チタ
ンの光触媒またはアナタース型チタンに白金等の金属を
担持させた光触媒を、担体にコーティングすることな
く、それ自体をネット状やラシリング状等の接触面積
が大きく、かつ液体の通過性のよい形状にして処理容器
の内部に充填して、光化学反応処理を行う主体処理材と
して使用するとともに、さらにアナタース型チタンの光
触媒またはアナタース型チタンに白金等の金属を担持さ
せた光触媒を、処理容器(たとえば光触媒が充填されて
いないが液体は接触する処理容器の上方部分)の内面や
構成部品(たとえば透過筒3や整流板5)の側面等の液
体の接触個所に、貼り付けまたはコーティングして光化
学反応処理を行う補足的処理材として使用することに特
徴がある。
【0009】また、本考案は、前述したアナタース型チ
タンの光触媒またはアナタース型チタンに白金等の金属
を担持させた光触媒を、ネット状やラシヒリング状等の
接触面積が大きく、かつ液体の通過性のよい形状にして
処理容器の内部に充填するとともに、さらに、金属製ま
たは非金属製のネット状やラシヒリング状等の接触面積
が大きく、かつ液体の通過性のよい形状にした物体に石
英ガラスや硬質ガラス等を被覆した担体に、前述した光
触媒をコーティングした状態で処理容器の内部に充填
(光化学反応処理を行う主体処理材として2種類充填)
し、また、この光触媒を、処理容器の内面や構成部品の
側面等の液体の接触個所に貼り付けまたはコーティング
(光化学反応処理を行う補足的処理材として使用)した
ことに特徴がある。
【0010】さらに、本考案は、前述した光触媒を処理
容器の内部に充填するとともに、さらに光触媒を、処理
容器の内面や構成部品の側面等の液体の接触個所に石英
ガラスや硬質ガラス等を被覆したものに、コーティング
したことに特徴がある。さらに、本考案は、前述した光
触媒を処理容器の内部に装填するとともに、処理容器の
液体の接触個所のみをアナタース型チタン製にし、その
他の処理容器部分をチタン製とすることに特徴がある。
さらに、本考案は、前述した光触媒を処理容器の内部に
充填するとともに、処理容器および光源の保護管を光透
過性物質製とし、この処理容器の内側または外側あるい
は両側より光照射を行い、また処理容器および光源の保
護管の液体が接触する個所に、アナタース型チタンまた
はアナタース型チタンに白金等の金属を担持させた光触
媒をコーティングしたことに特徴がある。
【0011】
【実施例】図1に示すように、光化学反応処理装置のス
テンレス製の処理容器1内に、光化学反応処理の光源と
して、例えば紫外線ランプ2を内臓した石英ガラス製の
透過筒3を配置し、この透過筒3の付近に、アナタース
型チタンまたはアナタース型チタンに白金等の金属を担
持させた光触媒(以下光触媒という)4をネット状に重
ね、これを透過筒3を中心として同心円的に充填する。
なお、光触媒4をネット状に充填するについては、処理
容器1内に整流板5を間隔をおいて配置させて、これら
の整流板5と整流板5との間に光触媒4を分離状態で充
填させ、液体を蛇行状に通過するようにすると、光化学
反応処理効率はよくなる。
【0012】光触媒4の形状は、ネット状に重ねるほ
か、ラシリング状にしてもよく、要すれば、接触面積
が大きく、かつ液体の通過性のよい形状であれば、どの
ような形状であってもよい。光触媒4のネットを構成す
る細線の太さは1000〜100μ程度が望ましく、ネ
ットのメッシュとしては、2〜50程度が望ましく、ま
たネットの重ね枚数は1〜50枚程度が望ましい。光触
媒4のラシリングの形状は、通常の液体処理に使用さ
れている形状のものであればどんなものでもよい。
【0013】なお、光触媒4としてのチタン(Ti
)としては、アナタース型を使用し、光触媒に半導
体を担持するときは、白金(pt)が一般的に使用され
るが、これ以外に、ニッケル(Ni)、ロジュム(R
h)の金属が使用でき、例えばチタンと白金(TiO
/Pt)の混合割合は、1:0.002〜15%にする
ことが望ましく、チタンに対する白金の担持法として
は、公知の含浸法、混練法による他、光析出法(光電析
法)、コロイド混合法でもよい。
【0014】紫外線ランプ2を使用するときは、主波長
254nmの低圧殺菌ランプ、主波長185nm、25
4nmの低圧オゾンランプ、主波長185nm、254
nm、365nmの中・高圧ランプを使用し、また紫外
線ランプ2以外にも、光化学反応処理の目的に応じて、
太陽光ランプ、ケミカルランプ、ブラックライトラン
プ、メタルハライドランプ、ナトリウムランプ等、その
他700nm以下の波長を有するものを使用する。
【0015】光触媒4は、処理容器1に充填した金属製
または非金属製のネット状に石英ガラスや硬質ガラス等
を被覆した担体に、100 A(オングストローム)〜
1mm程度にコーティングしてもよく、さらに光触媒4
を、金属製または非金属製のラシヒリング状のものに石
英ガラスや硬質ガラス等を被覆した担体5に、同様にコ
ーティングしてもよい。前述したように、担体5の形状
は、ネット状に重ねもの、ラシヒリング状にしたもの
以外、接触面積が大きく、かつ液体の通過性のよい形状
であれば、どのような形状であってもよい。
【0016】図2は、光触媒4を100A(オングスト
ローム)〜1mm程度の膜状または100A(オングス
トローム)〜1mm程度の薄板状にし、これらをステン
レス製の処理容器1の内側面や構成部品である整流板5
の側面等の液体の接触個所に貼り付けたものである。
【0017】図3は、光触媒4を、チタン製、石英ガラ
ス製、セラミック製の処理容器1の内側面や構成部品で
ある整流板5の側面等の液体の接触個所に、100A
(オングストローム)〜1mm程度にコーティングした
ものである。なお、処理容器1がステンレス製やプラス
チック製等の溶融物が溶出する素材よりなるときは、処
理容器1の内側面や構成部品の側面等の液体の接触個所
に、石英ガラスや硬質ガラス等を被覆し、これに光触媒
4をコーティングする。また処理容器1の内側面であ
液体の接触個所のみをアナタース型チタン製にし、そ
の他の処理容器部分をチタン製にしてもよい。
【0018】図4は、処理容器1を石英ガラス製にする
とともに、光源の保護管、例えば紫外線ランプ2の透過
筒3を石英ガラス製にし、この処理容器1の内側または
外側あるいは両側より紫外線照射を行い、また処理容器
1および紫外線ランプ2の透過筒3の液体が接触する個
所に、アナタース型チタンまたばアナタース型チタンに
白金等の金属を担持させた光触媒をコーティングしたも
のである。光触媒4は、図5に示すよな0.01〜5m
m程度の粒子状やビーズ状の担体にコーティングして用
いると、液体との接触面積が大きくなるので、このよう
な光触媒4を処理容器1に充填して光化学反応処理を行
うとよく、さらにはアナタース型チタンまたはアナター
ス型チタンに白金等の金属を担持させた光触媒を、粒子
状やビーズ状で処理容器1に充填すると、一層液体との
接触面積が大きくなる。
【0019】本考案の液体紫外線照射装置の流入管6よ
り、有機物、細菌、有害物質等を含む液体を処理容器1
に導入し、以上のべたような接触面積を増大させたアナ
タース型チタンまたはアナタース型チタンに白金等の金
属を担持させた光触媒4の存在において、液体に光照
射、例えば紫外線ランプ2より紫外線を照射し、液体に
含まれている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害物質
の分解等の光化学反応処を効率的に行い、有機物、細
菌、有害物質等を除去した液体を流出管7より処理容器
1外に流出させ、これを貯留して各用途に使用する。
【0020】
【考案の効果】本考案においては、光触媒と液体の接触
面積を大きくし、液体を光触媒と十分に接触させること
により、液体に含まれている有機物の酸化分解、細菌の
殺菌、有害物質の分解等の光化学反応処理を効果的に行
うために、処理液体の純度を従来より格段に向上させる
ことができ、特に液体中に最後まで残留する微量の有機
物、細菌、有害物質の除去には顕著な効果がある。ま
た、本考案においては、処理液体より光触媒を分離する
という面倒な分離操作が必要がなく、かつ光触媒による
目詰まりもないために、繁雑な洗浄操作も行う必要もな
く、光化学反応処理効率を大幅に向上させることができ
る。特に処理容器の接液部分を、光触媒で構成したり、
プレコートして、かつ粒子状やビーズの担体に光触媒を
プレコートしたものを併用した場合には、液体と光触媒
との接触面積は飛躍的に増大するために、光化学反応処
理効率はこれまでになく高まり、高純度の超純水等の
を得ることができる。本考案においては、光触媒を処
理液体より分離する必要がなくなり、従来、時間がかか
って面倒な沈殿分離処理装置や濾過機、ストレーナーの
設置も不要になり、装置コストを安価にできるメリット
もある。本考案の装置は、半導体、液晶、医薬品等の製
造の際に用いられる超純水等の液体の精製に使用され、
また原子力発電所等において用いられる純水や超純水等
液体の精製にも使用できる以上の用途の他に、本考案
の装置は、トリハロメタン等の塩素有機化合物やその前
駆物質の分解除去、地下水や工業用水中のトリクレン等
の汚染水の処理、上下水や廃水のCODの低減、飲料水
の殺菌や有害物質低減、医薬品用水よりのパイロジェン
の除去、プールや浴場用水の浄化、各種用水中の毒性物
質、難分解性物質の分解除去、TOCアナライザー、水
溶性切削油の殺菌、牛乳や異性化糖等の光透過性の低い
液体の殺菌にも活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の処理容器内に設けた紫外線ランプの透
過筒を中心として、ネット状の光触媒を重ねて充填した
光化学反応処理装置の断面図である。
【図2】本考案の処理容器の内側面や構成部品の側面等
液体の接触個所に、光触媒を膜状または薄板状にして
貼り付けた光化学反応処理装置の断面図である。
【図3】本考案の処理容器の内側面や構成部品の側面等
の液体の接触個所に、光触媒をコーティングした光化学
反応処理装置の断面図である。
【図4】本考案の処理容器と紫外線ランプの透過筒を石
英ガラス製にし、処理容器の内側または外側あるいは両
側より紫外線照射を行い、また処理容器および紫外線ラ
ンプの透過筒の液体が接触する個所に、光触媒をコーテ
ィングした光化学反応処理装置の断面図である。
【図5】本考案の処理容器内に、粒子状やビーズ状の担
体にコーティングした光触媒を充填した光化学反応処理
装置の断面図である。
【符号の説明】
1 処理容器 2 紫外線ランプ 3 透過筒 4 光触媒 5 整流板
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−97234(JP,A) 特開 昭64−90035(JP,A) 特開 平3−157125(JP,A) 特開 平2−251241(JP,A) 特開 平2−107339(JP,A) 特開 平3−228639(JP,A) 特開 平1−262944(JP,A) 特開 平3−106420(JP,A) 特開 昭60−118236(JP,A) 特開 平1−169866(JP,A) 実開 平5−26187(JP,U) 特公 平2−9850(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C02F 1/72 101 B01J 35/02 C02F 1/32

Claims (5)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】紫外線、太陽光線等の光照射によって、
    に含まれている有機物の酸化分解、細菌の殺菌、有害
    物質の分解等の光化学反応処理を行うについて、アナタ
    ース型チタンの光触媒またはアナタース型チタンに白金
    等の金属を担持させた光触媒を、担体にコーティングす
    ることなく、ネット状やラシリング状等の接触面積が
    大きく、かつ液体の通過性のよい形状にして処理容器の
    内部に充填するとともに、さらに、アナタース型チタン
    の光触媒またはアナタース型チタンに白金等の金属を担
    持させた光触媒を、別途に、膜状、薄板状にし、これを
    処理容器の内面や構成部品の側面等の液体の接触個所に
    貼り付けるか、あるいは、アナタース型チタンの光触媒
    またはアナタース型チタンに白金等の金属を担持させた
    光触媒を、別途に、処理容器の内面や構成部品の側面等
    液体の接触個所にコーティングした液体の光化学反応
    処理装置。
  2. 【請求項2】アナタース型チタンの光触媒またはアナタ
    ース型チタンに白金等の金属を担持させた光触媒を、金
    属製または非金属製のネット状やラシヒリング状等の接
    触面積が大きく、かつ液体の通過性のよい形状にした物
    体に石英ガラスや硬質ガラスを被覆した担体に、コーテ
    ィングして処理容器の内部に充填する請求項1記載の液
    体の光化学反応処理装置。
  3. 【請求項3】アナタース型チタンの光触媒またはアナタ
    ース型チタンに白金等の金属を担持させた光触媒を、処
    理容器の内面や構成部品の側面等の液体の接触個所に石
    英ガラスや硬質ガラスを被覆したものに、コーティング
    した請求項1または請求項2記載の液体の光化学反応処
    理装置。
  4. 【請求項4】処理容器の液体の接触個所のみをアナター
    ス型チタン製にし、その他の処理容器部分をチタン製と
    する請求項1、請求項2または請求項3記載の液体の光
    化学反応処理装置。
  5. 【請求項5】処理容器および光源の保護管を光透過性物
    質製とし、この処理容器の内側または外側あるいは両側
    より光照射を行い、また処理容器および光源の保護管の
    液体が接触する個所に、アナタース型チタンまたはアナ
    タース型チタンに白金等の金属を担持させた光触媒を
    ーティングした請求項1、請求項2、請求項3または請
    求項4記載の液体の光化学反応処理装置。
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