JP2576284Y2 - 静圧気体スライドテーブル - Google Patents
静圧気体スライドテーブルInfo
- Publication number
- JP2576284Y2 JP2576284Y2 JP1990053314U JP5331490U JP2576284Y2 JP 2576284 Y2 JP2576284 Y2 JP 2576284Y2 JP 1990053314 U JP1990053314 U JP 1990053314U JP 5331490 U JP5331490 U JP 5331490U JP 2576284 Y2 JP2576284 Y2 JP 2576284Y2
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- Japan
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- static pressure
- pressure gas
- slide table
- exhaust
- porous
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、ベース部材とテーブル部材の嵌合面の一方
を多孔質部材で形成し、該多孔質部材から供給される気
体圧力によって嵌合面を非接触状態としてベース部材に
よってテーブル部材を移動可能に支持する静圧気体スラ
イドテーブルに関する。
を多孔質部材で形成し、該多孔質部材から供給される気
体圧力によって嵌合面を非接触状態としてベース部材に
よってテーブル部材を移動可能に支持する静圧気体スラ
イドテーブルに関する。
［従来技術］ 従来より、回転軸を保持する軸受構造として、ハウジ
ング部材の内周に焼結金属やセラミックス等の多孔質材
料により形成された軸受部材を配置し、該軸受部材を介
して加圧気体を噴出させてこの気体圧力で軸を浮遊状態
で回転自在に保持する静圧気体軸受が知られている。こ
のような静圧気体軸受は始動摩擦抵抗及び回転摩擦抵抗
が小さくて効率が良く、又、給油の必要がないことから
特に高速回転する装置や潤滑油による油汚れを嫌う精密
機器等に用いられている。
ング部材の内周に焼結金属やセラミックス等の多孔質材
料により形成された軸受部材を配置し、該軸受部材を介
して加圧気体を噴出させてこの気体圧力で軸を浮遊状態
で回転自在に保持する静圧気体軸受が知られている。こ
のような静圧気体軸受は始動摩擦抵抗及び回転摩擦抵抗
が小さくて効率が良く、又、給油の必要がないことから
特に高速回転する装置や潤滑油による油汚れを嫌う精密
機器等に用いられている。
この静圧気体軸受構造を、テーブル部材をベース部材
によって所定方向に移動可能に保持する所謂スライドテ
ーブルに利用することもできる。つまり、テーブル部材
をベース部材の嵌合面（摺動面）の一方を多孔質部材で
形成し、該多孔質部材から供給される気体圧力によって
嵌合面を非接触状態としてテーブル部材を浮遊状態とし
て移動可能とするものである。これは、前述の軸受と同
様に潤滑油が不要で精密な移動か可能なことから、検査
装置や測定装置の顕微鏡装置のステージ等に利用され
る。
によって所定方向に移動可能に保持する所謂スライドテ
ーブルに利用することもできる。つまり、テーブル部材
をベース部材の嵌合面（摺動面）の一方を多孔質部材で
形成し、該多孔質部材から供給される気体圧力によって
嵌合面を非接触状態としてテーブル部材を浮遊状態とし
て移動可能とするものである。これは、前述の軸受と同
様に潤滑油が不要で精密な移動か可能なことから、検査
装置や測定装置の顕微鏡装置のステージ等に利用され
る。
［考案が解決しようとする課題］ ところで、一般的なスライドテーブルは、ベース部材
にテーブル部材の移動方向にガイド部を延設すると共
に、テーブル部材に該ガイド部に摺動可能に嵌合する嵌
合部を形成し、ベース部材のガイド部にテーブル部材を
その嵌合部で嵌合させて構成されるが、このようなスラ
イドテーブルを静圧気体軸受構造とする場合、ベース部
材とテーブル部材の嵌合面の一方（即ちガイド部又は嵌
合部）を多孔質部材で形成することとなる。
にテーブル部材の移動方向にガイド部を延設すると共
に、テーブル部材に該ガイド部に摺動可能に嵌合する嵌
合部を形成し、ベース部材のガイド部にテーブル部材を
その嵌合部で嵌合させて構成されるが、このようなスラ
イドテーブルを静圧気体軸受構造とする場合、ベース部
材とテーブル部材の嵌合面の一方（即ちガイド部又は嵌
合部）を多孔質部材で形成することとなる。
ここで、スライドテーブルでは、嵌合面のテーブル部
材の移動方向（ガイド方向）に於る長さを長くする程そ
の移動の直進精度を高めることができるものであるが、
静圧気体軸受構造の場合、嵌合面の間隔（ガイド部と嵌
合部の間隔：即ち嵌合公差）が均一でないとエア溜りが
生じて気体の圧縮性に起因する自励現象（所謂エアハン
マ）が発生し、振動を生ずるという問題があった。
材の移動方向（ガイド方向）に於る長さを長くする程そ
の移動の直進精度を高めることができるものであるが、
静圧気体軸受構造の場合、嵌合面の間隔（ガイド部と嵌
合部の間隔：即ち嵌合公差）が均一でないとエア溜りが
生じて気体の圧縮性に起因する自励現象（所謂エアハン
マ）が発生し、振動を生ずるという問題があった。
つまり、ガイド部と嵌合部の嵌合公差は高い精度で一
定でなければならず、その結果、直進精度を高める為に
嵌合面を長くすれば嵌合公差の維持が困難となってエア
ハンマが生じ、エアハンマが生じないように嵌合面長さ
（ガイド長さ）を設定すれば直進精度が劣ることとなっ
て精度の高い静圧気体スライドテーブルを構成すること
は極めて難しいものであった。
定でなければならず、その結果、直進精度を高める為に
嵌合面を長くすれば嵌合公差の維持が困難となってエア
ハンマが生じ、エアハンマが生じないように嵌合面長さ
（ガイド長さ）を設定すれば直進精度が劣ることとなっ
て精度の高い静圧気体スライドテーブルを構成すること
は極めて難しいものであった。
［考案の目的］ 本考案は、上記の如き事情に鑑み、エアハンマを防止
しつつ直進精度の向上を可能とする精度の高い静圧気体
スライドテーブルの提供、を目的とする。
しつつ直進精度の向上を可能とする精度の高い静圧気体
スライドテーブルの提供、を目的とする。
［課題を解決する為の手段］ 上記目的達成の為、本考案による静圧気体スライドテ
ーブルは、多孔質部材をテーブル部材の移動方向に複数
に分割配置すると共に、該複数の多孔質部材の間に、外
部に連通する複数の排気通路と、該複数の排気通路を連
通する連通路を設けたものである。なお、上記複数の排
気通路をテーブルの表面に対し平行に形成し、連通路を
テーブルの表面に対し垂直に形成することもできる。ま
た、上記複数の排気通路を、テーブルの移動方向に直交
する面内において複数箇所に配置することもできる。さ
らに、上記複数の排気通路を、排気孔及び排気溝として
構成することも可能である。
ーブルは、多孔質部材をテーブル部材の移動方向に複数
に分割配置すると共に、該複数の多孔質部材の間に、外
部に連通する複数の排気通路と、該複数の排気通路を連
通する連通路を設けたものである。なお、上記複数の排
気通路をテーブルの表面に対し平行に形成し、連通路を
テーブルの表面に対し垂直に形成することもできる。ま
た、上記複数の排気通路を、テーブルの移動方向に直交
する面内において複数箇所に配置することもできる。さ
らに、上記複数の排気通路を、排気孔及び排気溝として
構成することも可能である。
［考案の実施例］ 以下、本考案に係る静圧気体スライドテーブルの一実
施例を図面に基づいて説明する。
施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案に係る静圧気体スライドテーブルの一
実施例の一部破断斜視図、第２図はその一部断面平面
図、第３図は一部断面正面図、第４図は側面図である。
実施例の一部破断斜視図、第２図はその一部断面平面
図、第３図は一部断面正面図、第４図は側面図である。
図示静圧気体スライドテーブルは、ベース部材として
のベース10に、テーブル部材としてのテーブル20が図中
矢印方向に移動可能に保持されている。
のベース10に、テーブル部材としてのテーブル20が図中
矢印方向に移動可能に保持されている。
ベース10は、ベース板11の上面に、テーブル20の移動
方向と平行に所定幅のガイド溝11Aが二条形成されると
共に、両側端側にガイド部として固定側ガイドプレート
12が夫々固定されて構成されている。
方向と平行に所定幅のガイド溝11Aが二条形成されると
共に、両側端側にガイド部として固定側ガイドプレート
12が夫々固定されて構成されている。
テーブル20は、テーブル板21の下面中央に可動側ガイ
ドプレート22が固定されると共に、該可動側ガイドプレ
ート22の下面左右側端側に、保持板23がその側端を夫々
側方に突出させて固定されており、該テーブル板21の下
面と可動側ガイドプレート22の側端面及び保持板23の上
面とで、ベース10の固定側ガイドプレート12に嵌合する
嵌合部が構成されているものである。
ドプレート22が固定されると共に、該可動側ガイドプレ
ート22の下面左右側端側に、保持板23がその側端を夫々
側方に突出させて固定されており、該テーブル板21の下
面と可動側ガイドプレート22の側端面及び保持板23の上
面とで、ベース10の固定側ガイドプレート12に嵌合する
嵌合部が構成されているものである。
ここで、固定側ガイドプレート12の厚さは可動側ガイ
ドプレート22より僅かに薄く、両側の固定側ガイドプレ
ート12,12の対向する端部間間隔は可動側ガイドプレー
ト22の幅より僅かに広く設定されている。又、ガイド溝
11Aは保持板23が遊嵌可能に充分大きく形成されてい
る。
ドプレート22より僅かに薄く、両側の固定側ガイドプレ
ート12,12の対向する端部間間隔は可動側ガイドプレー
ト22の幅より僅かに広く設定されている。又、ガイド溝
11Aは保持板23が遊嵌可能に充分大きく形成されてい
る。
そして、テーブル20の可動側ガイドプレート22がベー
ス10の両側の固定側ガイドプレート12,12の間に、又、
両側の保持板23,23が夫々両側のガイド溝11A,11Aに夫々
嵌合し、固定側ガイドプレート12をテーブル板21と保持
板23,23とで上下に挟む形でベース10にテーブル20が嵌
合しているものである。
ス10の両側の固定側ガイドプレート12,12の間に、又、
両側の保持板23,23が夫々両側のガイド溝11A,11Aに夫々
嵌合し、固定側ガイドプレート12をテーブル板21と保持
板23,23とで上下に挟む形でベース10にテーブル20が嵌
合しているものである。
固定側ガイドプレート12の内側（可動側ガイドプレー
ト22と対向する側）には、その長手方向中心振り分けで
切欠12A,12Aが形成されており、この切欠12A,12Aに、第
１図乃至第２図に示す如く、多孔質部材13,13がネジ14
…により装着されて、全体としては一枚の板状となって
いる。つまり、多孔質部材13は、固定側ガイドプレート
12の長手方向に沿って不連続に二個装着されており、両
多孔質部材13,13間は、固定側ガイドプレート12から延
設された隔壁12Bによって仕切られている。
ト22と対向する側）には、その長手方向中心振り分けで
切欠12A,12Aが形成されており、この切欠12A,12Aに、第
１図乃至第２図に示す如く、多孔質部材13,13がネジ14
…により装着されて、全体としては一枚の板状となって
いる。つまり、多孔質部材13は、固定側ガイドプレート
12の長手方向に沿って不連続に二個装着されており、両
多孔質部材13,13間は、固定側ガイドプレート12から延
設された隔壁12Bによって仕切られている。
多孔質部材13は、ブロンズを焼成したものであり、内
部には一方側に開放する空気室13Aが形成されて、該空
気室13Aの開放側を固定側ガイドプレート12側に向けて
該固定側ガイドプレート12に装着されている。
部には一方側に開放する空気室13Aが形成されて、該空
気室13Aの開放側を固定側ガイドプレート12側に向けて
該固定側ガイドプレート12に装着されている。
固定側ガイドプレート12の隔壁12Bは、固定側ガイド
プレート12及び多孔質部材13よりも一段薄く、又、その
内側端面（可動側ガイドプレート22側端面）の先端は固
定側ガイドプレート12及び多孔質部材13の内側端面より
所定量引っ込んだ状態となるように形成されている。こ
れにより、隔壁12Bとテーブル板21の下面及びベース板1
1の上面との間には、多孔質部材13と可動側ガイドプレ
ート22との対向面間の隙間を外部に連通させる排気孔と
しての排気溝12F,12Fが形成されるようになっている。
プレート12及び多孔質部材13よりも一段薄く、又、その
内側端面（可動側ガイドプレート22側端面）の先端は固
定側ガイドプレート12及び多孔質部材13の内側端面より
所定量引っ込んだ状態となるように形成されている。こ
れにより、隔壁12Bとテーブル板21の下面及びベース板1
1の上面との間には、多孔質部材13と可動側ガイドプレ
ート22との対向面間の隙間を外部に連通させる排気孔と
しての排気溝12F,12Fが形成されるようになっている。
更に、隔壁12Bには、その長手方向に外部と連通する
排気孔12Cが縦設されると共に、所定位置に該排気孔12C
と直交して上下の排気溝12F,12Fを連通させる連通孔12D
が貫通形成されている。
排気孔12Cが縦設されると共に、所定位置に該排気孔12C
と直交して上下の排気溝12F,12Fを連通させる連通孔12D
が貫通形成されている。
ベース板11には、そのテーブル20の移動方向と直交す
る方向の中央に、直交給気通路11Bが穿設されると共
に、テーブル20の移動方向と平行する両側に平行給気通
路11C,11Cが穿設されており、該平行給気通路11C,11Cは
直交給気通路11Bと交差している。又、各多孔質部材13
の長手方向中央と対応する位置に於て平行給気通路11C
から上方に垂直給気通路11Dが形成されており、該垂直
給気通路11Dは、固定側ガイドプレート12に形成された
給気通路12Eを介して多孔質部材13の空気室13Aに連通す
るようになっている。
る方向の中央に、直交給気通路11Bが穿設されると共
に、テーブル20の移動方向と平行する両側に平行給気通
路11C,11Cが穿設されており、該平行給気通路11C,11Cは
直交給気通路11Bと交差している。又、各多孔質部材13
の長手方向中央と対応する位置に於て平行給気通路11C
から上方に垂直給気通路11Dが形成されており、該垂直
給気通路11Dは、固定側ガイドプレート12に形成された
給気通路12Eを介して多孔質部材13の空気室13Aに連通す
るようになっている。
尚、第２図及び第４図中に示されている30は、テーブ
ル20の移動量を測定するマイクロメータである。
ル20の移動量を測定するマイクロメータである。
而して、上記の如く構成された静圧気体スライドテー
ブル20では、直交給気通路11Bに加圧気体（空気）を供
給することにより、加圧気体は平行給気通路11C,垂直給
気通路11D及び給気通路12Eを介して多孔質部材13の空気
室13A内に至り、該多孔質部材13の細孔を介して固定側
ガイドプレート12への装着面以外の面から外部に噴出す
る。この多孔質部材13の固定側ガイドプレート12への装
着面以外の面は、テーブル20の構成要素（即ちテーブル
板21,可動側ガイドプレート22及び保持板23）に面して
おり、多孔質部材13から噴出作用する気体圧力によって
テーブル20は浮遊状態となってベース10によってスライ
ド移動可能に保持される。つまり、多孔質部材13の上面
からの気体圧力はテーブル板21の下面に、多孔質部材13
の固定側ガイドプレート12側の端面からの気体圧力は固
定側ガイドプレート12の側端面に、多孔質部材13の下面
からの気体圧力は保持板23の上面に、夫々作用し、供給
源が同じであることから全ての供給気体圧力は同一であ
って夫々の対向部分の間隔は気体圧力のバランスで一定
にとなり、その結果、テーブル20は安定的に非接触状態
で保持される。
ブル20では、直交給気通路11Bに加圧気体（空気）を供
給することにより、加圧気体は平行給気通路11C,垂直給
気通路11D及び給気通路12Eを介して多孔質部材13の空気
室13A内に至り、該多孔質部材13の細孔を介して固定側
ガイドプレート12への装着面以外の面から外部に噴出す
る。この多孔質部材13の固定側ガイドプレート12への装
着面以外の面は、テーブル20の構成要素（即ちテーブル
板21,可動側ガイドプレート22及び保持板23）に面して
おり、多孔質部材13から噴出作用する気体圧力によって
テーブル20は浮遊状態となってベース10によってスライ
ド移動可能に保持される。つまり、多孔質部材13の上面
からの気体圧力はテーブル板21の下面に、多孔質部材13
の固定側ガイドプレート12側の端面からの気体圧力は固
定側ガイドプレート12の側端面に、多孔質部材13の下面
からの気体圧力は保持板23の上面に、夫々作用し、供給
源が同じであることから全ての供給気体圧力は同一であ
って夫々の対向部分の間隔は気体圧力のバランスで一定
にとなり、その結果、テーブル20は安定的に非接触状態
で保持される。
ここで、多孔質部材13から噴出した後の気体は、テー
ブル20の移動方向側の端部近くの部位からは夫々の対向
面間の隙間を介して端部に至って逃げ、テーブル20の中
央寄りの部位からは、排気溝12F,12F及び隔壁12Bに形成
された排気孔12Cを通って外部に逃げることとなる。
ブル20の移動方向側の端部近くの部位からは夫々の対向
面間の隙間を介して端部に至って逃げ、テーブル20の中
央寄りの部位からは、排気溝12F,12F及び隔壁12Bに形成
された排気孔12Cを通って外部に逃げることとなる。
つまり、本構成によれば、スライドテーブルの中央近
傍の加圧気体を排気溝12F,12F及び排気孔12Cから効率良
く逃がすことができ、又、多孔質部材13がテーブル20の
移動方向に連続していない為に該多孔質部材13の嵌合公
差を高精度とすることが容易となり、従って、テーブル
20との隙間を均一としてエア溜りを生じないように構成
でき、エアハンマの発生を防ぐことができる。
傍の加圧気体を排気溝12F,12F及び排気孔12Cから効率良
く逃がすことができ、又、多孔質部材13がテーブル20の
移動方向に連続していない為に該多孔質部材13の嵌合公
差を高精度とすることが容易となり、従って、テーブル
20との隙間を均一としてエア溜りを生じないように構成
でき、エアハンマの発生を防ぐことができる。
尚、上記実施例は、多孔質部材をベース部材側に配置
して構成したものであるが、テーブル側に配置して構成
しても良いものである。又、多孔質部材の分割数も二分
割に限るものではなく、適宜変更可能なものであること
は勿論である。
して構成したものであるが、テーブル側に配置して構成
しても良いものである。又、多孔質部材の分割数も二分
割に限るものではなく、適宜変更可能なものであること
は勿論である。
［考案の効果］ 以上述べたように、本考案に係る静圧気体スライドテ
ーブルによれば、スライドテーブルの中央近傍の加圧気
体を効率良く逃がすことができ、又、多孔質部材をテー
ブル部材の移動方向に複数に分割した為、個々の多孔質
部材の嵌合公差を高精度としてエア溜りを生じないよう
に構成でき、エアハンマの発生を防ぐことができる。
ーブルによれば、スライドテーブルの中央近傍の加圧気
体を効率良く逃がすことができ、又、多孔質部材をテー
ブル部材の移動方向に複数に分割した為、個々の多孔質
部材の嵌合公差を高精度としてエア溜りを生じないよう
に構成でき、エアハンマの発生を防ぐことができる。
更に、多孔質部材を直列に並べることによってテーブ
ル部材の移動方向に於る嵌合面を長くしてその移動の直
進精度を高めることも可能となる。
ル部材の移動方向に於る嵌合面を長くしてその移動の直
進精度を高めることも可能となる。
つまり、エアハンマの防止しつつ直進精度の向上を可
能とする精度の高い静圧気体スライドテーブルを構成で
きるものである。
能とする精度の高い静圧気体スライドテーブルを構成で
きるものである。
第１図は本考案に係る静圧気体スライドテーブルの一実
施例の一部破断斜視図、第２図はその一部断面平面図、
第３図は一部断面正面図、第４図は側面図である。 10……ベース（ベース部材） 12……固定側ガイドプレート（ガイド部） 12C……排気孔 12F……排気溝（排気口） 13……多孔質部材 20……テーブル（テーブル部材） 21……テーブル板（嵌合部） 22……可動側ガイドプレート（嵌合部） 23……保持板（嵌合部）
施例の一部破断斜視図、第２図はその一部断面平面図、
第３図は一部断面正面図、第４図は側面図である。 10……ベース（ベース部材） 12……固定側ガイドプレート（ガイド部） 12C……排気孔 12F……排気溝（排気口） 13……多孔質部材 20……テーブル（テーブル部材） 21……テーブル板（嵌合部） 22……可動側ガイドプレート（嵌合部） 23……保持板（嵌合部）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16C 32/06 B23Q 1/26 B65G 7/06 B65H 5/22 G12B 5/00
Claims (4)
- 【請求項１】ガイド部を有するベース部材と、前記ガイ
ド部に嵌合する嵌合部を有するテーブル部材とを備え、
前記ガイド部又は前記嵌合部の何れか一方を多孔質部材
により形成し該多孔質部材から供給される気体圧力によ
り前記ガイド部と前記嵌合部とを非接触状態とすること
によって、前記テーブル部材を前記ベース部材上で移動
可能に支持するものであって、 前記多孔質部材を前記テーブル部材の移動方向に複数に
分割配置すると共に、該複数の多孔質部材の間に、外部
に連通する複数の排気通路と、該複数の排気通路を連通
する連通路を設けたこと、を特徴とする静圧気体スライ
ドテーブル。 - 【請求項２】前記複数の排気通路は前記テーブルの表面
に対し平行に形成され、前記連通路は前記テーブルの表
面に対し垂直に形成されていること、を特徴とする請求
項１に記載の静圧気体スライドテーブル。 - 【請求項３】前記複数の排気通路は、前記テーブルの移
動方向に直交する面内において複数箇所に配置されてい
ること、を特徴とする請求項２に記載の静圧気体スライ
ドテーブル。 - 【請求項４】前記複数の排気通路は、排気孔と排気溝を
含むこと、を特徴とする請求項１から３のいずれかに記
載の静圧気体スライドテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990053314U JP2576284Y2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 静圧気体スライドテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990053314U JP2576284Y2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 静圧気体スライドテーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0411919U JPH0411919U (ja) | 1992-01-30 |
| JP2576284Y2 true JP2576284Y2 (ja) | 1998-07-09 |
Family
ID=31574394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990053314U Expired - Fee Related JP2576284Y2 (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 静圧気体スライドテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2576284Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2981459B2 (ja) | 1998-05-01 | 1999-11-22 | 株式会社日本マクシス | 水晶基板傷検査装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI327985B (en) * | 2003-04-14 | 2010-08-01 | Daifuku Kk | Apparatus for transporting plate-shaped work piece |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257722A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | Canon Inc | 直進型気体軸受の接続方法 |
| JPH0243133U (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-26 |
-
1990
- 1990-05-22 JP JP1990053314U patent/JP2576284Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2981459B2 (ja) | 1998-05-01 | 1999-11-22 | 株式会社日本マクシス | 水晶基板傷検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411919U (ja) | 1992-01-30 |
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