JP2560991B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
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- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタに関
し、特に表面波の伝搬方向と同一の方向に励振される複
数の縦モードを利用する弾性表面波フィルタに関する。
し、特に表面波の伝搬方向と同一の方向に励振される複
数の縦モードを利用する弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】この種の弾性表面波フィルタの一例とし
て、圧電基板上に入力IDT(Interdigita
l Transducer)と出力IDTとを対向配置
すると共に、これらの外側にそれぞれグレーティング反
射器を配置して成る2ポート弾性表面波共振器を使用し
たものが知られている(例えば、特開昭63−1944
06号)。ところで、図5(a)又は図5(b)のよう
に、3つの異なる縦モード、すなわち入力及び出力ID
T間の多重反射31,34、入力及び出力IDT自身の
内部反射32,35、2つのグレーティング反射器間の
多重反射33,36が生じる弾性表面波共振器2組を、
周波数軸上で、高域側と低域側に配置し、図5(a)の
入力及び出力IDT間の多重反射31と、図5(b)の
入力及び出力のIDT自身の内部反射35が一致するよ
うに合成することによって、図5(c)のフィルタ特性
を得られることが知られている。
て、圧電基板上に入力IDT(Interdigita
l Transducer)と出力IDTとを対向配置
すると共に、これらの外側にそれぞれグレーティング反
射器を配置して成る2ポート弾性表面波共振器を使用し
たものが知られている(例えば、特開昭63−1944
06号)。ところで、図5(a)又は図5(b)のよう
に、3つの異なる縦モード、すなわち入力及び出力ID
T間の多重反射31,34、入力及び出力IDT自身の
内部反射32,35、2つのグレーティング反射器間の
多重反射33,36が生じる弾性表面波共振器2組を、
周波数軸上で、高域側と低域側に配置し、図5(a)の
入力及び出力IDT間の多重反射31と、図5(b)の
入力及び出力のIDT自身の内部反射35が一致するよ
うに合成することによって、図5(c)のフィルタ特性
を得られることが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、弾性表
面波フィルタは、低域側及び高域側それぞれの共振器の
グレーティング反射器間の多重反射による共振が通過域
近傍に存在している。特に、高域側の共振は通過域に隣
接しているため、広帯域化の妨げになっていた。
面波フィルタは、低域側及び高域側それぞれの共振器の
グレーティング反射器間の多重反射による共振が通過域
近傍に存在している。特に、高域側の共振は通過域に隣
接しているため、広帯域化の妨げになっていた。
【0004】このような問題点に鑑み、本発明の課題
は、2ポート共振器2組を同一圧電基板上に配置して成
る弾性表面波フィルタの通過域近傍の特性改善を実現で
きるようにすることにある。
は、2ポート共振器2組を同一圧電基板上に配置して成
る弾性表面波フィルタの通過域近傍の特性改善を実現で
きるようにすることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明による弾性表面波
フィルタは、入力及び出力IDTとその外側にグレーテ
ィング反射器を備えた2ポート共振器2組を、同一圧電
基板上に配置すると共に、電気的に並列に接続し、一方
の高域側の共振点2つと、他方の低域側の共振点2つが
同時に一致するように構成したことを特徴とする。
フィルタは、入力及び出力IDTとその外側にグレーテ
ィング反射器を備えた2ポート共振器2組を、同一圧電
基板上に配置すると共に、電気的に並列に接続し、一方
の高域側の共振点2つと、他方の低域側の共振点2つが
同時に一致するように構成したことを特徴とする。
【0006】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図1は本発明による弾性表面波フィルタの平
面図である。入力IDT13及び出力IDT14と、こ
れらの外側に配置された2つのグレーティング反射器1
5とがアルミ等の金属膜で形成されてなる2組の2ポー
ト共振器11及び12が圧電基板16上に配置され電気
的に並列に接続されている。
説明する。図1は本発明による弾性表面波フィルタの平
面図である。入力IDT13及び出力IDT14と、こ
れらの外側に配置された2つのグレーティング反射器1
5とがアルミ等の金属膜で形成されてなる2組の2ポー
ト共振器11及び12が圧電基板16上に配置され電気
的に並列に接続されている。
【0007】図2(a)及び図2(b)は、共振器11
及び12の特性であり、それぞれ3つの異なる縦モード
が発生している。すなわち、入力及び出力IDT間の多
重反射による共振点21,24、入力及び出力IDT自
身の内部反射による共振点22,25、グレーティング
反射器間の多重反射による共振点23,26である。こ
こで(21−22)の共振間隔と(25−26)の共振
間隔が等しくなるように、入力及び出力IDT間の距離
や入力及び出力IDTとグレーティング反射器間の距離
による共振条件、及び入力、出力IDTの指状電極本数
等の設計パラメータを選択し、それぞれの共振器特性を
周波数軸上で低域側、高域側にずらして配置することに
より、共振点21と25、共振点22と26を合成させ
て図2(c)のようなフィルタ特性を得ている。
及び12の特性であり、それぞれ3つの異なる縦モード
が発生している。すなわち、入力及び出力IDT間の多
重反射による共振点21,24、入力及び出力IDT自
身の内部反射による共振点22,25、グレーティング
反射器間の多重反射による共振点23,26である。こ
こで(21−22)の共振間隔と(25−26)の共振
間隔が等しくなるように、入力及び出力IDT間の距離
や入力及び出力IDTとグレーティング反射器間の距離
による共振条件、及び入力、出力IDTの指状電極本数
等の設計パラメータを選択し、それぞれの共振器特性を
周波数軸上で低域側、高域側にずらして配置することに
より、共振点21と25、共振点22と26を合成させ
て図2(c)のようなフィルタ特性を得ている。
【0008】本構成による実験結果を図3に示す。それ
ぞれ共振特性は合成され、図2(c)と同様な振幅特性
が得られている。これをインピーダンス整合すると、図
4に示すようなフィルタの振幅特性が得られる。
ぞれ共振特性は合成され、図2(c)と同様な振幅特性
が得られている。これをインピーダンス整合すると、図
4に示すようなフィルタの振幅特性が得られる。
【0009】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、3つの異
なる縦モードが生じる2ポート共振器2組を電気的に並
列接続し、一方の高域側2つの共振点と他方の低域側2
つの共振点とが一致するように合成することによって、
通過域近傍のフィルタ特性を改善できる。特に、通過域
の隣接部で不要なスプリアスとなっていたモードを通過
域内に配置することによって広帯域化が可能となる。
なる縦モードが生じる2ポート共振器2組を電気的に並
列接続し、一方の高域側2つの共振点と他方の低域側2
つの共振点とが一致するように合成することによって、
通過域近傍のフィルタ特性を改善できる。特に、通過域
の隣接部で不要なスプリアスとなっていたモードを通過
域内に配置することによって広帯域化が可能となる。
【図1】本発明による弾性表面波フィルタの平面図であ
る。
る。
【図2】本発明による弾性表面波フィルタにおける周波
数特性の合成を説明するための図である。
数特性の合成を説明するための図である。
【図3】本発明による弾性表面波フィルタの周波数特性
の実験結果を示した図である。
の実験結果を示した図である。
【図4】本発明による弾性表面波フィルタのインピーダ
ンス整合の実験結果を示した図である。
ンス整合の実験結果を示した図である。
【図5】従来の弾性表面波フィルタにおける周波数特性
の合成を説明するための図である。
の合成を説明するための図である。
11,12 2ポート共振器 13 入力IDT 14 出力IDT 15 グレーティング反射器 16 圧電基板
Claims (2)
- 【請求項1】 同一圧電基板上に、入力IDTと出力I
DTとを対向配置すると共に、これらの外側にそれぞれ
グレーティング反射器を備えており、3つの異なる縦モ
ードが励振される2ポート弾性表面波共振器2組を電気
的に並列接続して構成した弾性表面波フィルタにおい
て、これらの弾性表面波共振器の一方の高域側2つの共
振点と、他方の低域側2つの共振点とが同時に一致する
ように構成したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 請求項1記載の弾性表面波フィルタにお
いて、前記各共振点の一致を、入力IDTと出力IDT
との間の距離や入力及び出力IDTとグレーティング反
射器との間の距離あるいは入力及び出力IDTの指状電
極の本数等の設計パラメータの選択によりとることを特
徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5206219A JP2560991B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
US08/292,038 US5559483A (en) | 1993-08-20 | 1994-08-18 | Two-port triple-mode saw resonators parallel connected into a saw filter on a substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5206219A JP2560991B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0758585A JPH0758585A (ja) | 1995-03-03 |
JP2560991B2 true JP2560991B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=16519743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5206219A Expired - Lifetime JP2560991B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5559483A (ja) |
JP (1) | JP2560991B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69319977T3 (de) * | 1992-08-24 | 2006-06-14 | Nihon Dempa Kogyo Co | Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter |
JP3204112B2 (ja) * | 1996-08-28 | 2001-09-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子フィルタ |
JP3068035B2 (ja) * | 1997-05-26 | 2000-07-24 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波装置 |
CN1108661C (zh) * | 1997-07-18 | 2003-05-14 | 东芝株式会社 | 弹性表面波滤波器 |
WO2000070758A1 (fr) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif d'onde acoustique de surface |
DE60038096T2 (de) * | 1999-10-04 | 2009-03-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba, Kawasaki | Obreflächenwellenanordnung |
JP2003133889A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Murata Mfg Co Ltd | 縦結合型弾性表面波共振子フィルタ |
JP4155104B2 (ja) | 2003-05-19 | 2008-09-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP2007142703A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Epson Toyocom Corp | フィルタ |
US20100007444A1 (en) * | 2006-04-20 | 2010-01-14 | Anis Nurashikin Nordin | GHz Surface Acoustic Resonators in RF-CMOS |
US8143681B2 (en) * | 2006-04-20 | 2012-03-27 | The George Washington University | Saw devices, processes for making them, and methods of use |
US8018010B2 (en) * | 2007-04-20 | 2011-09-13 | The George Washington University | Circular surface acoustic wave (SAW) devices, processes for making them, and methods of use |
US20090124513A1 (en) * | 2007-04-20 | 2009-05-14 | Patricia Berg | Multiplex Biosensor |
DE102009009484B4 (de) * | 2009-02-19 | 2014-07-17 | Epcos Ag | Zweikanal-SAW Filter |
US8960004B2 (en) | 2010-09-29 | 2015-02-24 | The George Washington University | Synchronous one-pole surface acoustic wave resonator |
US11211676B2 (en) | 2019-10-09 | 2021-12-28 | Com Dev Ltd. | Multi-resonator filters |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2078042B (en) * | 1980-06-13 | 1984-08-08 | Nippon Telegraph & Telephone | Surface acoustic wave resonator |
US4731595A (en) * | 1986-01-24 | 1988-03-15 | Rf Monolithics, Inc. | Resonator structure |
JPS63194406A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-11 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
JPS6392123A (ja) * | 1987-09-24 | 1988-04-22 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振器複合型フィルタ |
JPS6484909A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-30 | Nec Corp | Surface acoustic wave device |
JPH02189015A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-25 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
US5296824A (en) * | 1991-12-02 | 1994-03-22 | Motorola, Inc. | Low loss wide bandwidth parallel channel acoustic filter |
JPH05251986A (ja) * | 1992-03-03 | 1993-09-28 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
CA2069369C (en) * | 1992-05-25 | 1995-12-05 | Robert C. Peach | Filterbank using surface acoustic wave technology |
US5392013A (en) * | 1992-07-17 | 1995-02-21 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter capable of widening a bandwidth |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP5206219A patent/JP2560991B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-08-18 US US08/292,038 patent/US5559483A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0758585A (ja) | 1995-03-03 |
US5559483A (en) | 1996-09-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960730 |