JP2525838B2 - 反射防止膜付着透明板 - Google Patents
反射防止膜付着透明板Info
- Publication number
- JP2525838B2 JP2525838B2 JP62289005A JP28900587A JP2525838B2 JP 2525838 B2 JP2525838 B2 JP 2525838B2 JP 62289005 A JP62289005 A JP 62289005A JP 28900587 A JP28900587 A JP 28900587A JP 2525838 B2 JP2525838 B2 JP 2525838B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- antireflection film
- oxide
- layer
- transparent plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜
付着透明板、特に光を吸収する金属層または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
付着透明板、特に光を吸収する金属層または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］ 従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
着透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみから
なる多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が
30％〜80％となるような厚みの光吸収のある金属層を形
成したものが特開昭62−58202で公知である。この金属
層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反射防止膜
により透明板の反射率を下げると共に金属層により光を
吸収して透明基板の透過率を調整しようとするものであ
る。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このような金属層を有する多層反射防
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
止膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止
膜により、その表面反射は極めて小さくすることができ
るが、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射
等により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低
下できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明
板をCRT等のガラス製ディスプレイに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.6％程度にまで
しか下げることができなかった。
［問題を解決するための手段］ この発明は、このような従来の問題点を解決すべくな
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
されたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さく
した反射防止膜付着透明板を提供することを目的とした
ものである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.40
〜1.70の透明基板の光の反射を防止するための反射防止
膜を付着した透明板において、該反射防止膜が2.00〜2.
40の屈折率で、且つ0.10×λ0/4〜0.55×λ0/4（λ０は
中心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の高屈折率誘電
体層と、1.37〜1.50の屈折率で、且つ0.6×λ0/4〜1.6
×λ0/4の光学膜厚の第１の低屈折率融電体層と、2.00
〜2.40で、且つ0.04×λ0/4〜0.5×λ0/4の光学膜厚の
第２の高屈折率誘電体層と、10〜60Åの膜厚のチタン、
クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケ
ル・クロム合金、またはステンレスのいずれかの金属層
または合金層と、1.37〜1.50の屈折率で、且つ0.9×λ0
/4〜1.3×λ0/4の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層と
からなり、該各層が該透明基板表面から順次形成されて
いる。
〜1.70の透明基板の光の反射を防止するための反射防止
膜を付着した透明板において、該反射防止膜が2.00〜2.
40の屈折率で、且つ0.10×λ0/4〜0.55×λ0/4（λ０は
中心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の高屈折率誘電
体層と、1.37〜1.50の屈折率で、且つ0.6×λ0/4〜1.6
×λ0/4の光学膜厚の第１の低屈折率融電体層と、2.00
〜2.40で、且つ0.04×λ0/4〜0.5×λ0/4の光学膜厚の
第２の高屈折率誘電体層と、10〜60Åの膜厚のチタン、
クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケ
ル・クロム合金、またはステンレスのいずれかの金属層
または合金層と、1.37〜1.50の屈折率で、且つ0.9×λ0
/4〜1.3×λ0/4の光学膜厚の第２の低屈折率誘電体層と
からなり、該各層が該透明基板表面から順次形成されて
いる。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基板とし
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
ては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられる。合
成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネイト樹
脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いられる。
また、本発明において前記第１及び第２の高屈折率誘
電体層として酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニ
ウム、チタン酸プラセオジム、酸化ハフニウム、硫化亜
鉛、酸化錫、酸化インジウム、及び錫をドープした酸化
インジウム（例えば酸化インジウムと酸化スズの重量比
95:5であるITO）のいずれかを用いることができる。
電体層として酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニ
ウム、チタン酸プラセオジム、酸化ハフニウム、硫化亜
鉛、酸化錫、酸化インジウム、及び錫をドープした酸化
インジウム（例えば酸化インジウムと酸化スズの重量比
95:5であるITO）のいずれかを用いることができる。
更にまた、本発明において前記第１及び第２の低屈折
率誘電体層としてフッ化マグネシウム、または酸化シリ
コンのいずれかを用いることができる。
率誘電体層としてフッ化マグネシウム、または酸化シリ
コンのいずれかを用いることができる。
［作 用］ このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
合金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光
は無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または
合金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全
体の反射光は小さくなる。
［実施例１］ 以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第１図において、１は屈折率1.51のガラス板であっ
て、ガラス板１の表面に反射防止膜７が形成されてい
る。反射防止膜７はガラス板１側から順次屈折率が2.40
で、光学膜厚が28.65nm（中心波長λ０＝504nm、0.2274
×λ0/4の酸化チタン（TiO2）層２と、屈折率が1.46
で、光学膜厚が156.66nm（1.2433×λ0/4）の酸化シリ
コン（SiO2）層３と、屈折率が2.40で、光学膜厚が27.6
3nm（0.2193×λ0/4）の酸化チタン（TiO2）層４と、膜
厚が42Åのステンレス層４（ステンレスは72重量％のニ
ッケル、16重量％のクロム及び８重量％の鉄の合金）
と、屈折率が1.46で、光学膜厚が133.89nm（1.0626×λ
0/4）の酸化シリコン（SiO2）層６とからなり、各層は
ガラス板１面上に順次スパッタリング法で形成された。
て、ガラス板１の表面に反射防止膜７が形成されてい
る。反射防止膜７はガラス板１側から順次屈折率が2.40
で、光学膜厚が28.65nm（中心波長λ０＝504nm、0.2274
×λ0/4の酸化チタン（TiO2）層２と、屈折率が1.46
で、光学膜厚が156.66nm（1.2433×λ0/4）の酸化シリ
コン（SiO2）層３と、屈折率が2.40で、光学膜厚が27.6
3nm（0.2193×λ0/4）の酸化チタン（TiO2）層４と、膜
厚が42Åのステンレス層４（ステンレスは72重量％のニ
ッケル、16重量％のクロム及び８重量％の鉄の合金）
と、屈折率が1.46で、光学膜厚が133.89nm（1.0626×λ
0/4）の酸化シリコン（SiO2）層６とからなり、各層は
ガラス板１面上に順次スパッタリング法で形成された。
反射防止膜７を形成したガラス板１のガラス面側をガ
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３に、視感度反射率及び視感
度透過率を第１表に夫々示した。
ラスと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３に、視感度反射率及び視感
度透過率を第１表に夫々示した。
［実施例２］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変え
た。
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変え
た。
すなわち、反射防止膜７は屈折率が2.40で、光学膜厚
が24.18nm（0.1919×λ0/4）の酸化チタン層２と、屈折
率が1.37で、光学膜厚が191.36nm（1.5187×λ0/4）の
弗化マグネシウム（MgF2）層３と、屈折率が2.40で、光
学膜厚が5.24（0.0416×λ0/4）の酸化チタン層４と、
膜厚が37Åのニッケル・クロム合金（90重量％のニッケ
ルと10重量％のクロムとの合金）層５と、屈折率が1.37
で、光学厚みが122.48（0.9721×λ0/4）の弗化マグネ
シウム層６とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。このようにして得られ
た反射防止膜付着ガラス板を実施例１と同様にして光学
特性を測定したところ第１表に示したとおり視感度反射
率が0.06％、視感度透過率が60％であった。
が24.18nm（0.1919×λ0/4）の酸化チタン層２と、屈折
率が1.37で、光学膜厚が191.36nm（1.5187×λ0/4）の
弗化マグネシウム（MgF2）層３と、屈折率が2.40で、光
学膜厚が5.24（0.0416×λ0/4）の酸化チタン層４と、
膜厚が37Åのニッケル・クロム合金（90重量％のニッケ
ルと10重量％のクロムとの合金）層５と、屈折率が1.37
で、光学厚みが122.48（0.9721×λ0/4）の弗化マグネ
シウム層６とからなり、これらの層はガラス板１上に順
次真空蒸着法により形成された。このようにして得られ
た反射防止膜付着ガラス板を実施例１と同様にして光学
特性を測定したところ第１表に示したとおり視感度反射
率が0.06％、視感度透過率が60％であった。
［実施例３］ 第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜は屈折率が2.15で、光学膜厚が2
7.28（0.2165×λ0/4）のチタン酸プラセオジム（PrTiO
3）層２と、屈折率が1.37で、光学膜厚が157.17（1.247
4×λ0/4）の弗化マグネシウム層３と、屈折率が2.15
で、光学膜厚が23.51（0.1866×λ0/4）のチタン酸プラ
セオジム層４と、膜厚が35Aのニッケル・クロム合金
（ニッケル:90重量％、クロム:10重量％）層５と、屈折
率が1.37で、光学膜厚が134.01（1.0636×λ0/4）の弗
化マグネシウム層６とからなり、各層はガラス板１上に
順次真空蒸着法により形成された。このようにして得ら
れた反射防止膜付着ガラス板を実施例１と同様にして光
学特性を測定したところ第１表に示したとおり視感度反
射率が0.06％、視感度透過率が60％であった。
板であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜は屈折率が2.15で、光学膜厚が2
7.28（0.2165×λ0/4）のチタン酸プラセオジム（PrTiO
3）層２と、屈折率が1.37で、光学膜厚が157.17（1.247
4×λ0/4）の弗化マグネシウム層３と、屈折率が2.15
で、光学膜厚が23.51（0.1866×λ0/4）のチタン酸プラ
セオジム層４と、膜厚が35Aのニッケル・クロム合金
（ニッケル:90重量％、クロム:10重量％）層５と、屈折
率が1.37で、光学膜厚が134.01（1.0636×λ0/4）の弗
化マグネシウム層６とからなり、各層はガラス板１上に
順次真空蒸着法により形成された。このようにして得ら
れた反射防止膜付着ガラス板を実施例１と同様にして光
学特性を測定したところ第１表に示したとおり視感度反
射率が0.06％、視感度透過率が60％であった。
［発明の効果］ 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防
止膜中に光吸収のある金属層または合金層を組入れるこ
とにより、CRT等の反射防止板として使用した場合には
視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さくすることが
できる。
止膜中に光吸収のある金属層または合金層を組入れるこ
とにより、CRT等の反射防止板として使用した場合には
視感度反射率を0.1％以下のきわめて小さくすることが
できる。
従って、CRTの画面が身やすくなり更に光吸収の金属
層または合金層により、CRTの蛍光面に入射する光が吸
収され、コントラストがよくなる。また前記金属層また
合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電防止
機能を付与することができる。
層または合金層により、CRTの蛍光面に入射する光が吸
収され、コントラストがよくなる。また前記金属層また
合金層をアースすることにより、前記透明板に帯電防止
機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の高屈折率誘電体層、 3:第１の低屈折率誘電体層 4:第２の高屈折率誘電体層 5:金属層または合金層 6:第２の低屈折率誘電体層、7:反射防止膜
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第１の高屈折率誘電体層、 3:第１の低屈折率誘電体層 4:第２の高屈折率誘電体層 5:金属層または合金層 6:第２の低屈折率誘電体層、7:反射防止膜
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/18 Ｃ２３Ｃ 14/18 Ｇ０２Ｂ 1/11 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ａ
Claims (3)
- 【請求項１】屈折率が1.40〜1.70の透明基板の光の反射
を防止するための反射防止膜を付着した透明板におい
て、該反射防止膜が2.00〜2.40の屈折率で、且つ0.10×
λ0/4〜0.55×λ0/4（λ０は中心波長、以下同じ）の光
学膜厚の第１の高屈折率誘電体層と、1.37〜1.50の屈折
率で、且つ0.6×λ0/4〜1.6×λ0/4の光学膜厚の第１の
低屈折率融電体層と、2.00〜2.40で、且つ0.04×λ0/4
〜0.5×λ0/4の光学膜厚の第２の高屈折率誘電体層と、
10〜60Åの膜厚のチタン、クロム、ジルコニウム、モリ
ブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、またはステ
ンレスのいずれかの金属層または合金層と、1.37〜1.50
の屈折率で、且つ0.9×λ0/4〜1.3×λ0/4の光学膜厚の
第２の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明基
板表面から順次形成されてなる反射防止膜付着透明板。 - 【請求項２】前記第１及び第２の高屈折率誘電体層が酸
化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸
プラセオジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化錫、酸
化インジウム、及び錫をドープした酸化インジウムのい
ずれかである特許請求の範囲第１項に記載の反射防止膜
付着透明板。 - 【請求項３】前記第１及び第２の低屈折率誘電体層がフ
ッ化マグネシウム、または酸化シリコンのいずれかであ
る特許請求の範囲第１項または第２項に記載の反射防止
膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289005A JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289005A JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128829A JPH01128829A (ja) | 1989-05-22 |
| JP2525838B2 true JP2525838B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=17737609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62289005A Expired - Lifetime JP2525838B2 (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | 反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2525838B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998007509A1 (fr) * | 1996-08-23 | 1998-02-26 | Nikon Corporation | Procede et systeme d'alimentation en matiere liquide |
| JP3382138B2 (ja) | 1997-08-21 | 2003-03-04 | 富士通株式会社 | 薬液供給装置及び薬液供給方法 |
| WO2000040402A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Asahi Glass Company, Limited | Produit en couches |
| JP4802385B2 (ja) * | 2001-04-17 | 2011-10-26 | 日油株式会社 | タッチパネル |
| JP2008032949A (ja) | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Sony Corp | 反射防止膜、金属膜の加熱方法、及び、加熱装置 |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP62289005A patent/JP2525838B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01128829A (ja) | 1989-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3446833B2 (ja) | 導電性光減衰反射防止被覆およびそれを施した物品 | |
| JP2887530B2 (ja) | 車両特に自動車用バックミラー | |
| US20240343638A1 (en) | Sunroof glass and vehicle | |
| JPH06510382A (ja) | 導電性光減衰型反射防止被膜 | |
| JP2004534282A5 (ja) | ||
| JPH0818849B2 (ja) | 熱線遮蔽ガラス | |
| EP1777554A1 (en) | Electro-conductive anti-reflection coating | |
| JP2001209038A (ja) | 液晶表示素子用基板 | |
| US5858519A (en) | Absorbing anti-reflection coatings for computer displays | |
| JP2525838B2 (ja) | 反射防止膜付着透明板 | |
| JP2565525B2 (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| JP2590133B2 (ja) | 導電性反射防止膜を有する透明板 | |
| JP3391500B2 (ja) | 導電性反射防止膜および導電性反射防止ガラス | |
| JP2535350B2 (ja) | 高透過ソ−ラ−コントロ−ルガラス | |
| JP2531734B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP2590136B2 (ja) | 導電性反射防止膜の付着透明板 | |
| JP2565538B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JPH01168855A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JP2531722B2 (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 | |
| JP2531725B2 (ja) | 金属膜を有する反射防止膜付着透明板 | |
| JPH0756004A (ja) | 導電性反射防止膜 | |
| JP2003004902A (ja) | 最外層が透明導電膜である抗反射導電多層薄膜 | |
| JPH01168854A (ja) | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 | |
| JPH0764598B2 (ja) | 赤外線遮断ガラス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531 Year of fee payment: 12 |