JP2520950Y2 - 二光束干渉用対物レンズ - Google Patents
二光束干渉用対物レンズInfo
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- JP2520950Y2 JP2520950Y2 JP1988032326U JP3232688U JP2520950Y2 JP 2520950 Y2 JP2520950 Y2 JP 2520950Y2 JP 1988032326 U JP1988032326 U JP 1988032326U JP 3232688 U JP3232688 U JP 3232688U JP 2520950 Y2 JP2520950 Y2 JP 2520950Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば顕微鏡に取り付けて使用する、二光
束干渉用対物レンズ装置に関するものである。
束干渉用対物レンズ装置に関するものである。
従来、対物レンズと、該対物レンズ前方に配設した光
路分割部材と、該光路分割部材の一方の分割光路中に配
設された参照ミラーと、該参照ミラーの反射光と前記光
路分割部材による他方の分割光路中に配設された標本か
らの反射光とから生ずる干渉縞の間隔、方向を調整する
ために前記参照ミラーを傾角する装置とを有する二光束
干渉用対物レンズ装置が知られている。
路分割部材と、該光路分割部材の一方の分割光路中に配
設された参照ミラーと、該参照ミラーの反射光と前記光
路分割部材による他方の分割光路中に配設された標本か
らの反射光とから生ずる干渉縞の間隔、方向を調整する
ために前記参照ミラーを傾角する装置とを有する二光束
干渉用対物レンズ装置が知られている。
従来のこの種の対物レンズ装置の傾角装置は、干渉縞
の幅、方向を調整するため参照ミラーを傾角させる調整
つまみ２個と、参照ミラーを標本面と共役の位置に移動
させるための調整つまみ１個を有していた。
の幅、方向を調整するため参照ミラーを傾角させる調整
つまみ２個と、参照ミラーを標本面と共役の位置に移動
させるための調整つまみ１個を有していた。
また、観察装置本体への取付用部材としての対物ねじ
部と干渉縞調整のための傾角装置の操作部が対物レンズ
光軸を中心とする回転方向に対して固定であった。
部と干渉縞調整のための傾角装置の操作部が対物レンズ
光軸を中心とする回転方向に対して固定であった。
従来の技術は標本に対して像のピントを合わせたあと
参照ミラーを標本と共役の位置にするために調整つまみ
を操作して干渉縞を出現させ、干渉縞の幅、方向を調整
するため別の２個の調整つまみを操作していた。ところ
が、前記の干渉縞の幅、方向を調整している最中に視野
内から視野外へ干渉縞が移動してしまう傾向があり、再
び参照ミラーを標本と共役な位置まで移動して、視野内
に干渉縞を戻し、もう一度干渉縞の幅、方向を調整する
という操作を数回繰り返す必要があり、操作性に問題が
あった。
参照ミラーを標本と共役の位置にするために調整つまみ
を操作して干渉縞を出現させ、干渉縞の幅、方向を調整
するため別の２個の調整つまみを操作していた。ところ
が、前記の干渉縞の幅、方向を調整している最中に視野
内から視野外へ干渉縞が移動してしまう傾向があり、再
び参照ミラーを標本と共役な位置まで移動して、視野内
に干渉縞を戻し、もう一度干渉縞の幅、方向を調整する
という操作を数回繰り返す必要があり、操作性に問題が
あった。
また、干渉縞調整の操作部が回転しないため、観察者
に対して操作部が対物レンズ光軸を中心にしていかなる
方向を向くかが対物ねじのオス、メスの関係により決ま
ってしまうため、操作性が悪かった。
に対して操作部が対物レンズ光軸を中心にしていかなる
方向を向くかが対物ねじのオス、メスの関係により決ま
ってしまうため、操作性が悪かった。
そこで本考案は干渉縞の幅、間隔を調整した場合に、
干渉縞が視野からはずれずに、視野の中央部を中心とし
て変化する、操作性の良い二光束干渉用対物レンズ装置
を得ることを目的とする。
干渉縞が視野からはずれずに、視野の中央部を中心とし
て変化する、操作性の良い二光束干渉用対物レンズ装置
を得ることを目的とする。
第１図は本考案の干渉対物レンズ装置の原理を説明す
るための光学系の要部であり、対物レンズ１の上側ある
いは光路分割プリズム２の左側からの照明光が光路分割
プリズム２により標本３と参照ミラー４に分割されて照
射され、それぞれにおいて反射した光がプリズム２によ
り重ね合せられて干渉し、対物レンズ１を通り、観察装
置本体に導かれる。このとき、対物レンズ１の光軸上
で、プリズム２と標本３との距離d1、プリズム２と参照
ミラー４との距離d2がd1＝d2であるときに０次の干渉縞
が発生し、d1とd2の差がλ/2、λ、3/2λ…とλ/2ずつ
増すに従がって、１次、２次、３次…の干渉縞が発生す
る。なお、λは照明光の波長を示す。
るための光学系の要部であり、対物レンズ１の上側ある
いは光路分割プリズム２の左側からの照明光が光路分割
プリズム２により標本３と参照ミラー４に分割されて照
射され、それぞれにおいて反射した光がプリズム２によ
り重ね合せられて干渉し、対物レンズ１を通り、観察装
置本体に導かれる。このとき、対物レンズ１の光軸上
で、プリズム２と標本３との距離d1、プリズム２と参照
ミラー４との距離d2がd1＝d2であるときに０次の干渉縞
が発生し、d1とd2の差がλ/2、λ、3/2λ…とλ/2ずつ
増すに従がって、１次、２次、３次…の干渉縞が発生す
る。なお、λは照明光の波長を示す。
本考案では前記問題点を解決するため、対物レンズ
（１）と、該対物レンズと標本との間に配設した光路分
割部材（２）と、該光路分割部材の一方の分割光路中に
配設された参照ミラー（４）と、該参照ミラーの反射光
と光路分割部材による他方の分割光路中に配設された標
本からの反射光とから生ずる干渉縞の間隔、方向を調整
するために参照ミラー（４）を傾角する装置とを有する
二光束干渉用対物レンズ装置において、傾角装置は、参
照ミラー（４）を保持する保持部材（14）と、保持部材
（14）に一端が固設され一方の分割光路の光軸に平行な
方向に延びた軸（15）と、軸（15）が貫通する貫通孔を
有し参照ミラー表面の対物レンズの光軸との交点（Ａ）
を対物レンズの合焦位置に一致するように保持部材を支
持する支持部材（16）と、軸の他端（15′）を軸の長手
方向に垂直な任意の方向に移動させる調整部材（19a、1
9b、20）とを有し、調整部材によって軸の他端を移動さ
せたときに交点（Ａ）を中心として参照ミラー（４）が
回転するために、保持部材（14）と支持部材（16）との
間に、交点（Ａ）を中心とした回転案内面を形成した。
（１）と、該対物レンズと標本との間に配設した光路分
割部材（２）と、該光路分割部材の一方の分割光路中に
配設された参照ミラー（４）と、該参照ミラーの反射光
と光路分割部材による他方の分割光路中に配設された標
本からの反射光とから生ずる干渉縞の間隔、方向を調整
するために参照ミラー（４）を傾角する装置とを有する
二光束干渉用対物レンズ装置において、傾角装置は、参
照ミラー（４）を保持する保持部材（14）と、保持部材
（14）に一端が固設され一方の分割光路の光軸に平行な
方向に延びた軸（15）と、軸（15）が貫通する貫通孔を
有し参照ミラー表面の対物レンズの光軸との交点（Ａ）
を対物レンズの合焦位置に一致するように保持部材を支
持する支持部材（16）と、軸の他端（15′）を軸の長手
方向に垂直な任意の方向に移動させる調整部材（19a、1
9b、20）とを有し、調整部材によって軸の他端を移動さ
せたときに交点（Ａ）を中心として参照ミラー（４）が
回転するために、保持部材（14）と支持部材（16）との
間に、交点（Ａ）を中心とした回転案内面を形成した。
上記の如き構成によって、参照ミラー４を傾角させて
も参照ミラー面上の所定位置（点Ａ）は常に光路分割プ
リズム２から所定距離d2の位置にあるので、所定位置が
対物レンズの光軸上にあれば、視野の中央を通る干渉縞
は、参照ミラー４を傾角させても、視野の中央を通った
状態で方向と他の縞との間隔を変化させるようになる。
よってd1＝d2の関係になるように参照ミラーの位置を設
定し、参照ミラー４を所定位置を中心に傾角するように
しておくと、従来の参照ミラー４を光軸方向に調整する
操作は不要になり、常に０次の干渉縞が視野中央を通る
ようにすることができる。
も参照ミラー面上の所定位置（点Ａ）は常に光路分割プ
リズム２から所定距離d2の位置にあるので、所定位置が
対物レンズの光軸上にあれば、視野の中央を通る干渉縞
は、参照ミラー４を傾角させても、視野の中央を通った
状態で方向と他の縞との間隔を変化させるようになる。
よってd1＝d2の関係になるように参照ミラーの位置を設
定し、参照ミラー４を所定位置を中心に傾角するように
しておくと、従来の参照ミラー４を光軸方向に調整する
操作は不要になり、常に０次の干渉縞が視野中央を通る
ようにすることができる。
第２図および第２図のＡ−Ａ矢視断面図である第３図
は、本考案の実施例である。不図示の顕微鏡レボルバー
にねじ込まれる対物ねじを有し、内部に対物レンズ１を
保持する外筒11はプリズム保持部材12と嵌合し回転可能
であり、さらに軸方向への制限を互いに有する。また弾
性を有するリング13はプリズム保持部材12の回転トル
ク出し、および光路分割プリズム２の対物レンズ光軸方
向のガタを除去するために、外筒11と保持部材12の間に
挿入される。
は、本考案の実施例である。不図示の顕微鏡レボルバー
にねじ込まれる対物ねじを有し、内部に対物レンズ１を
保持する外筒11はプリズム保持部材12と嵌合し回転可能
であり、さらに軸方向への制限を互いに有する。また弾
性を有するリング13はプリズム保持部材12の回転トル
ク出し、および光路分割プリズム２の対物レンズ光軸方
向のガタを除去するために、外筒11と保持部材12の間に
挿入される。
以上の構成により、プリズム保持部材12は外筒11に対
して対物レンズ１の光軸を中心として回転可能となる。
して対物レンズ１の光軸を中心として回転可能となる。
一方、参照ミラー４はその表面の所定位置を中心とす
る半球面を回転案内面として形成されたミラー保持部材
14に固定され、その半球面がプリズム保持部材12の内空
部に固定された円筒16の一方の側に設けられた内径テー
パー部に接触した状態で参照ミラー４が傾角する。ミラ
ー保持部材14には円筒16の軸方向の貫通孔に隙間を有し
て貫入する軸15の一端が連結し、軸15の他端には第３図
に示すようなかまぼこ型の部材15′が固設されている。
円筒16の他方の側には前記所定位置を中心とする凸面が
形成され、この凸面と同曲率の凹面を形成された摺動部
材17が軸15に嵌入している。軸15のかまぼこ型の部材1
5′と摺動部材17の間には圧縮コイルバネ18が配設さ
れ、その結果バネ18はミラー保持部材14の半球面を円筒
16の内径テーパー部に押し付ける役目をしている。円筒
16と摺動部材17の接触面を参照ミラー４の回転中心（所
定位置）を中心とする球面としているので、上記押し付
ける力は円筒16の凸面を摺動部材17が摺動しても変化す
ることなく一定である。
る半球面を回転案内面として形成されたミラー保持部材
14に固定され、その半球面がプリズム保持部材12の内空
部に固定された円筒16の一方の側に設けられた内径テー
パー部に接触した状態で参照ミラー４が傾角する。ミラ
ー保持部材14には円筒16の軸方向の貫通孔に隙間を有し
て貫入する軸15の一端が連結し、軸15の他端には第３図
に示すようなかまぼこ型の部材15′が固設されている。
円筒16の他方の側には前記所定位置を中心とする凸面が
形成され、この凸面と同曲率の凹面を形成された摺動部
材17が軸15に嵌入している。軸15のかまぼこ型の部材1
5′と摺動部材17の間には圧縮コイルバネ18が配設さ
れ、その結果バネ18はミラー保持部材14の半球面を円筒
16の内径テーパー部に押し付ける役目をしている。円筒
16と摺動部材17の接触面を参照ミラー４の回転中心（所
定位置）を中心とする球面としているので、上記押し付
ける力は円筒16の凸面を摺動部材17が摺動しても変化す
ることなく一定である。
軸15のかまぼこ型の部材15′はその底面（直線部分）
が圧縮コイルバネ20により上方に付勢されて、プリズム
保持部材12の外部から操作可能な操作部を有する２つの
調整ねじ19a、19bのねじ先端部に当接している。
が圧縮コイルバネ20により上方に付勢されて、プリズム
保持部材12の外部から操作可能な操作部を有する２つの
調整ねじ19a、19bのねじ先端部に当接している。
なお、円筒16の軸方向位置は、参照ミラー４の所定位
置が対物レンズ１の合焦位置にあるように調整され、接
着等により固定されている。
置が対物レンズ１の合焦位置にあるように調整され、接
着等により固定されている。
このような構成であるから、調整ねじ19a、19bの操作
部を回転させるとかまぼこ型の部材15′が調整ねじ19
a、19bの出入りに応じて移動して、その結果軸15を介し
て参照ミラー４が所定位置（光路分割プリズム２で折り
曲げられた対物レンズ１の光軸との交点位置）を中心に
傾角（回動）し、参照ミラー４の所定位置が円筒16の軸
方向へ移動することはない。従って、標本３と対物レン
ズ装置（11、12等）との間隔を相対的に変化させて、標
本３に合焦すると、常に干渉縞の０次の縞を視野の中央
に固定した状態で、干渉縞の間隔、方向の調整を行なう
ことができる。
部を回転させるとかまぼこ型の部材15′が調整ねじ19
a、19bの出入りに応じて移動して、その結果軸15を介し
て参照ミラー４が所定位置（光路分割プリズム２で折り
曲げられた対物レンズ１の光軸との交点位置）を中心に
傾角（回動）し、参照ミラー４の所定位置が円筒16の軸
方向へ移動することはない。従って、標本３と対物レン
ズ装置（11、12等）との間隔を相対的に変化させて、標
本３に合焦すると、常に干渉縞の０次の縞を視野の中央
に固定した状態で、干渉縞の間隔、方向の調整を行なう
ことができる。
また、不図示の顕微鏡レボルバーに外筒11の対物ねじ
をねじ込んだ状態において、２つの調整ねじ19a、19bの
操作部の位置が操作しずらい位置にある場合には、外筒
11に対してプリズム保持部材12を回転し、２つの調整ね
じ19a、19bの操作部を操作し易い位置に持ってくること
ができる。
をねじ込んだ状態において、２つの調整ねじ19a、19bの
操作部の位置が操作しずらい位置にある場合には、外筒
11に対してプリズム保持部材12を回転し、２つの調整ね
じ19a、19bの操作部を操作し易い位置に持ってくること
ができる。
以上のように本考案によれば、標本にピントを合わせ
た状態で常に干渉縞の０次の縞が視野の中央にあるよう
にできるので、干渉縞の間隔、方向の調整に専念でき、
なおかつコントラストの強い干渉縞が常時観察可能であ
るので従来の方法に比べて操作性が向上する。
た状態で常に干渉縞の０次の縞が視野の中央にあるよう
にできるので、干渉縞の間隔、方向の調整に専念でき、
なおかつコントラストの強い干渉縞が常時観察可能であ
るので従来の方法に比べて操作性が向上する。
さらに、干渉縞調整操作部が任意の方向に回転可能な
ので上述した効果と合わせてより操作性が向上する利点
がある。
ので上述した効果と合わせてより操作性が向上する利点
がある。
第１図は本考案の原理を説明するための光学系の要部を
示す図、第２図は本考案の実視例の断面図、第３図は第
２図のＡ−Ａ矢視断面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １……対物レンズ ２……光路分割プリズム ３……標本 ４……参照ミラー 11……外筒 12……プリズム保持部材 14……ミラー保持部材 16……円筒
示す図、第２図は本考案の実視例の断面図、第３図は第
２図のＡ−Ａ矢視断面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １……対物レンズ ２……光路分割プリズム ３……標本 ４……参照ミラー 11……外筒 12……プリズム保持部材 14……ミラー保持部材 16……円筒
Claims (3)
- 【請求項１】対物レンズと、該対物レンズと標本との間
に配設した光路分割部材と、該光路分割部材の一方の分
割光路中に配設された参照ミラーと、該参照ミラーの反
射光と前記光路分割部材による他方の分割光路中に配設
された標本からの反射光とから生ずる干渉縞の間隔、方
向を調整するために前記参照ミラーを傾角する装置とを
有する二光束干渉用対物レンズ装置において、 前記傾角装置は、前記参照ミラーを保持する保持部材
と、前記保持部材に一端が固設され前記一方の分割光路
の光軸に平行な方向に延びた軸と、前記軸が貫通する貫
通孔を有し前記参照ミラー表面の前記対物レンズの光軸
との交点を前記対物レンズの合焦位置に一致するように
前記保持部材を支持する支持部材と、前記軸の他端を前
記軸の長手方向に垂直な任意の方向に移動させる調整部
材とを有し、 前記調整部材によって前記軸の他端を移動させたときに
前記交点を中心として前記参照ミラーが回転するため
に、前記保持部材と前記支持部材との間に、前記交点を
中心とした回転案内面を形成したことを特徴とする二光
束干渉用対物レンズ装置。 - 【請求項２】前記調整部材は、前記軸の他端に対して前
記軸の長手方向に垂直な所定の方向に付勢力を与える付
勢部材と、前記軸に当接し、前記付勢力に抗する異なる
方向から前記軸の他端の位置を変位させる少なくとも２
つの調整ネジとを有することを特徴とする請求項（１）
に記載の二光束干渉用対物レンズ装置。 - 【請求項３】前記対物レンズ装置は、さらに観察装置本
体への取付用部材を有すると共に、少なくとも前記光路
分割部材と前記参照ミラーと前記傾角装置とを保持する
保持鏡体が前記対物レンズの光軸を中心として回転自在
に前記取付用部材に係合していることを特徴とする請求
項（１）又は（２）に記載の二光束干渉用対物レンズ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988032326U JP2520950Y2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 二光束干渉用対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988032326U JP2520950Y2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 二光束干渉用対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01136913U JPH01136913U (ja) | 1989-09-19 |
| JP2520950Y2 true JP2520950Y2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=31258750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988032326U Expired - Lifetime JP2520950Y2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 二光束干渉用対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2520950Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197534A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nikon Corp | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
| DE19962631B4 (de) * | 1998-12-25 | 2012-06-14 | Mitutoyo Corporation | Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung |
| DE102016200014B4 (de) | 2015-01-05 | 2023-02-02 | Mitutoyo Corporation | Interferenz-Objektivlinse und Lichtinterferenzmessvorrichtung |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4201693B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2008-12-24 | 株式会社ミツトヨ | 光干渉ユニット、光干渉対物レンズ装置および測定装置 |
| JP7041467B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2022-03-24 | 株式会社ミツトヨ | 光学装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS533807U (ja) * | 1976-06-29 | 1978-01-13 | ||
| JPS61149803A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 干渉測定装置 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP1988032326U patent/JP2520950Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19962631B4 (de) * | 1998-12-25 | 2012-06-14 | Mitutoyo Corporation | Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung |
| JP2011197534A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nikon Corp | 干渉対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
| DE102016200014B4 (de) | 2015-01-05 | 2023-02-02 | Mitutoyo Corporation | Interferenz-Objektivlinse und Lichtinterferenzmessvorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01136913U (ja) | 1989-09-19 |
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