JP2025042783A - 保管・搬送容器 - Google Patents

Abstract

【課題】シェル内から基板を取り出すときに、基板と基板リテイナーの接触に起因する基板の損傷及びパーティクルの発生を防止可能な保管・搬送容器を提供する。【解決手段】底面部に開口が設けられた箱状の形状を有するシェルと、シェルに着脱可能なドアとを有し、ドアは、開口を塞ぐようにシェルに取り付けられ、シェルの内部に、基板リテイナーが、基板に接触する接触位置と、基板から離れる離間位置との間を移動可能に設けられ、基板リテイナーは、弾性変形可能に形成される板バネ部を有し、板バネ部は、基板リテイナーが接触位置に保持されているときに、基板リテイナーを接触位置から離間位置に向けて付勢する保管・搬送容器が提供される。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造工程で搬送される半導体ウェハ等の基板を内部空間に収容して保管する保管・搬送容器に関する。

半導体の製造においては、半導体ウェハ等の基板が高清浄な環境下で処理されており、クリーンルームの清浄度を保つために、又は局所クリーン化を実現するために、複数の基板を、内部空間が高清浄な専用の保管・搬送容器に収容して搬送することが行われている。このような基板を収容する専用の保管・搬送容器としては、ＳＭＩＦポッド（ＳＭＩＦ ＰＯＤ）、ＦＯＵＰ等が知られている。

ＳＭＩＦポッドは、一般的に、基板を収容する内部空間を備えた箱状のシェルと、シェルに着脱可能なドアとを有する。シェルの底面部には、開口が設けられている。シェルの内部には、複数の基板を支持する基板リテイナーが設置されている。ＳＭＩＦポッドのドアは、シェルの開口を塞ぐようにシェルの底面部に取り付けられる。ドアには、複数の基板を収容して支持するキャリアが取り付けられている。このような構造を有するＳＭＩＦポッドは、例えばロードポートに設けられた開閉機構等を用いて、シェルに対してドアの取り付け及び取り外しが行われる。

例えば特開２０１８－１９０８２７号公報（特許文献１）には、ＳＭＩＦポッドとして用いられる基板収納容器が記載されている。特許文献１の基板収納容器は、下面に開口を有する上蓋（シェル）と、上蓋の開口に嵌合可能な受け台（ドア）と、受け台に載置されるキャリアと、上蓋の内壁に取り付けられるリテイナーとを有する。特許文献１のリテイナーは、上蓋の内壁に連結されるリテイナー本体と、リテイナー本体の両側部に設けられる複数組の左右一対の基板押さえとを有する。各一対の基板押さえは、上下方向において、キャリアに支持される基板の位置に対応して設置されている。

特許文献１では、リテイナーが複数組の基板押さえを備えることにより、キャリアに支持される複数の基板を、１つずつ、一対の基板押さえで確実に固定できる。また特許文献１には、複数組の基板押さえが設けられていることにより、例えば複数の基板を一対の基板押さえで同時に固定する場合に比べて、基板押さえが変形し難く、長時間の使用に耐えられることが説明されている。

特開２０１８－１９０８２７号公報

従来のＳＭＩＦポッドにおいて、シェル内に保管されている複数の基板は、シェルをドアに対して上昇させること（又は、ドアをシェルに対して下降させること）によって取り出される。また、シェル内で複数の基板を支持している基板リテイナーは、シェル又はドアが上下方向に移動するときに、基板リテイナーの自重を利用して基板から離れるように設けられている。これにより、シェル又はドアの移動時に、基板リテイナーが基板に対してシェルとともに上昇しても、基板リテイナーが基板の外周縁を擦りながら移動することを防いでいる。

しかしながら、シェル又はドアの移動時に基板リテイナーの自重を利用して基板リテイナーを移動させる構造では、シェル又はドアの移動に対して基板リテイナーの動き出しが遅れる場合や、重心のバランス等で基板リテイナーが基板から離れない場合がある。このような場合、基板リテイナーが基板に接触した状態のままシェルとともに上下方向に動くことになるため、基板リテイナーが基板を傷付けること、また、リテイナーと基板の接触部からパーティクルを発生させて、基板及びＳＭＩＦポッドを汚染させることがあった。

本発明は上記従来の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、シェル内から基板を取り出すときに、基板と基板リテイナーの接触に起因する基板の損傷及びパーティクルの発生を防止可能な保管・搬送容器を提供することにある。

本発明において、上述の課題を解決するための手段は、以下の通りである。
１．半導体製造工程で搬送される基板を収容して保管する保管・搬送容器であって、
内部空間を備えるとともに底面部に開口が設けられた箱状の形状を有するシェルと、前記シェルに着脱可能なドアとを有し、
前記ドアは、前記開口を塞ぐように前記シェルに取り付けられ、
前記シェルの内部に、前記基板に接触して前記基板を支持する基板リテイナーが、前記基板に接触する接触位置と、前記基板から離れる離間位置との間を移動可能に設けられ、
前記基板リテイナーは、リテイナー本体部と、前記リテイナー本体部から延びるとともに弾性変形可能に形成される板バネ部とを有し、
前記板バネ部は、前記基板リテイナーが前記接触位置に保持されているときに、前記基板リテイナーを前記接触位置から前記離間位置に向けて付勢する
ことを特徴とする保管・搬送容器。
２．前記板バネ部は、前記基板リテイナーが前記離間位置から前記接触位置に移動するときに弾性変形し、且つ、前記板バネ部の弾性復元力により前記接触位置の前記基板リテイナーを付勢する
ことを特徴とする１．に記載の保管・搬送容器。
３．前記板バネ部は、前記リテイナー本体部に連結する基端部と、前記基端部の反対側に配される先端部とを有し、
前記シェルは、前記板バネ部の前記先端部を接触させる接触壁部を有し、
前記板バネ部の前記先端部は、前記接触壁部に接触するとともに曲面に形成される接触面を有する
ことを特徴とする１．に記載の保管・搬送容器。

本発明の保管・搬送容器では、シェル内で基板を固定している基板リテイナーが、板バネ部によって、基板に接触する接触位置から、基板から離れる離間位置に向けて付勢されている。これにより、保管・搬送容器から基板を取り出すためにシェル又はドアを移動させるときに、基板リテイナーを、板バネ部の付勢力によって基板から速やかに離間させることができる。このため、シェル又はドアの移動時に、基板と基板リテイナーの接触に起因する基板の損傷及びパーティクルの発生を防止できる。

本発明の実施例に係る保管・搬送容器の要部を模式的に示す斜視図である。 保管・搬送容器のウェハリテイナーを示す側面図である。 ウェハリテイナーが（ａ）に示す離間位置と（ｃ）に示す接触位置の間を移動するときのウェハリテイナーの動きと板バネ部の変形を示す模式図である。 離間位置に配されるウェハリテイナーと基板との位置関係を示す模式図である。 接触位置に配されるウェハリテイナーと基板との位置関係を示す模式図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について、実施例を挙げて図面を参照しながら説明する。

図１は、本実施例に係る保管・搬送容器の要部を模式的に示す斜視図である。図２は、保管・搬送容器のウェハリテイナーを示す側面図である。なお図１では、本実施例の保管・搬送容器の特徴的な部分を判り易く示すために、シェルにおける後述するシェル本体部の図示を省略している。また図２では、ウェハリテイナーにおける車輪部材の図示を省略している。

また、以下の説明において、上下方向は、基板（半導体ウェハ）が重ねられる方向に沿った方向である。この場合、ドアから基板に近付く向きを上方とし、その反対側の向きを下方とする。前後方向は、キャリアに対して基板を出し入れする方向に沿った方向である。この場合、基板をキャリアから引き出す方向を前方とし、基板をキャリアに挿し込む方向を後方とする。左右方向は、上下方向と前後方向とに直交する方向である。

（保管・搬送容器１の構造について）
本実施例の保管・搬送容器１は、ＳＭＩＦポッドとして形成されおり、保管・搬送容器１の内部に、基板として２００ｍｍの直径を有する複数の半導体ウェハ５を収容して保管可能に形成されている。保管・搬送容器１は、内部空間を備えたシェルと、シェルの内部に移動可能に取り付けられるウェハリテイナー（基板リテイナー）２０と、シェルに着脱可能に形成されるドア３０と、ドア３０の上面に取り付けられるキャリア４０とを有する。

シェルは、箱状の形状を有するシェル本体部（不図示）と、シェル本体部内に設けられる左右一対の支持柱１１と、左右の支持柱１１に回転可能に保持される２つのリンク部材１５とを有する（図１を参照）。シェル本体部は、天面部、前壁部、後壁部、左壁部、及び右壁部を有する。シェル本体部の内部には、半導体ウェハ５を収容する内部空間が、天面部、前壁部、後壁部、左壁部、及び右壁部に囲まれて設けられている。

例えば図３に前壁部の一部を示すように、シェル本体部の前壁部には、ウェハリテイナー２０の後述する板バネ部２５の一部を挿入する挿入凹部１２と、その板バネ部２５の一部を接触させる接触壁部１３とが設けられている。挿入凹部１２は、下方に開口するとともに、上下方向に沿って設けられている。挿入凹部１２は、板バネ部２５の一部を挿入凹部１２内に遊挿可能な大きさで形成されている。なお、遊挿とは、空間的に余裕のある状態に挿入することを意味する。

接触壁部１３は、上下方向に沿って配されており、また、板バネ部２５が弾性変形したときに板バネ部２５の後述する先端係合部２５ｂを接触させて支持する支持面を有する。接触壁部１３の支持面は、挿入凹部１２の内壁面の一部を形成し、また、前方に向いて配されている。接触壁部１３には、板バネ部２５の後述するバネ本体部２５ａを挿通させるためのスリットが、接触壁部１３の下端から上側に向けて形成されている。

シェル本体部の底面部には、内部空間に対して半導体ウェハ５の挿入と取り出しを行うための開口が形成されている。シェル本体部の開口は、シェル本体部の底面部からドア３０を取り外すこと、及びシェル本体部の底面部にドア３０を取り付けることによって、開閉される。

シェル本体部の下端部には、ドア３０を嵌合させるフランジ部が設けられている。フランジ部は、シェル本体部の前壁部、後壁部、左壁部、及び右壁部から連続して形成されており、また、前壁部、後壁部、左壁部、及び右壁部よりも外側に膨らんで形成されている。フランジ部の内周面には、ドア３０に設けられる後述の係合爪部３２が挿入される爪用凹部が設けられている。本実施例のシェル本体部には、４つの爪用凹部が、ドア３０に設けられる４つの係合爪部３２の位置に対応して設けられている。なお本発明において、シェル本体部の形状及び材質は特に限定されない。

左右一対の支持柱１１は、例えば図１に示すように、シェル本体部の前壁部の近傍に、上下方向に沿って互いに平行に配されている。左右の各支持柱１１の上端部は、上側固定部１１ａを介して、シェル本体部の天面部に固定されている。左右の各支持柱１１の下端部は、下側固定部１１ｂを介して、シェル本体部の前壁部に固定されている。左右の各支持柱１１には、リンク部材１５の回転軸部を回転可能に保持する２つの軸受け部（不図示）がそれぞれ設けられている。２つの軸受け部は、支持柱１１の上下方向の互いに異なる位置に配されている。

２つのリンク部材１５は、互いに同じ形状及び同じ大きさで形成されている。各リンク部材１５は、シェルの左右の支持柱１１とウェハリテイナー２０とに連結されている。各リンク部材１５は、リンク本体部１６と、リンク本体部１６の左右側縁部から突出する左右一対の回転軸部１７とを有しており、左右の支持柱１１に、回転軸部１７を中心として回転可能に取り付けられている。リンク本体部１６には、ウェハリテイナー２０に回転可能に保持されるリンク取付軸部と、ウェハリテイナー２０の一部を挿通させる２つの矩形状の孔部とが設けられている。

ウェハリテイナー２０は、左右方向に関して、左右の支持柱１１の間の位置に配されており、また、２つのリンク部材１５を介して、左右の支持柱１１に接続されている。これにより、ウェハリテイナー２０は、後述するように離間位置（図３（ａ）を参照）と接触位置（図３（ｃ）を参照）との間を一定の経路で移動するように、左右の支持柱１１に保持されている。ウェハリテイナー２０は、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂により形成されている。なお本発明において、ウェハリテイナー２０の材質は特に限定されない。

ウェハリテイナー２０は、図２に示すように、上下方向に長く形成されているリテイナー本体部２１と、２つのリンク部材１５の取付軸部を保持する上下の軸保持部２２と、リテイナー本体部２１の左右両側に配される左右一対のウェハ支持部２３と、リテイナー本体部２１及びウェハ支持部２３間を接続する左右のアーム部２４と、リテイナー本体部２１の下端部から延びる板バネ部２５と、リテイナー本体部２１の下端部に設けられる車輪部２６とを有する。

リテイナー本体部２１は、薄い板状に形成されており、また、ウェハリテイナー２０を前側から見た平面視において、長方形を有する。リテイナー本体部２１には、リテイナー本体部２１の前面から後面に貫通する複数の貫通孔が設けられている。

上下の軸保持部２２は、リテイナー本体部２１における最も大きい貫通孔の上側と下側とに、互いに同じ構造で設けられている。各軸保持部２２は、図２に示すように、リテイナー本体部２１に左右方向に沿って凹設される保持溝部２２ａと、リテイナー本体部２１から略Ｌ字状に延びる左右の軸押さえ部２２ｂと、各軸押さえ部２２ｂを補強する補強リブ２２ｃとを有する。このように上下の軸保持部２２が設置されていることにより、各軸保持部２２で、リンク部材１５の取付軸部を回転可能に保持できる。

左右のウェハ支持部２３は、ウェハリテイナー２０が接触位置に移動したときに複数の半導体ウェハ５に直接接触して支持することにより、半導体ウェハ５を固定する。左右のウェハ支持部２３は、互いに左右対称の形状を有する。左右のウェハ支持部２３は、例えば上下方向に直交する断面を見たときに（図４及び図５を参照）、それぞれ、ウェハ支持部２３の中央部が後方に突出するように屈曲した形状を有する。

板バネ部２５は、リテイナー本体部２１に一体的に、且つ弾性変形可能に設けられている。板バネ部２５は、リテイナー本体部２１の下端部から前方に向けて延びるバネ本体部２５ａと、バネ本体部２５ａの先端に設けられる先端係合部２５ｂとを有する。

バネ本体部２５ａは、例えば図２に示すように、リテイナー本体部２１から前方に向けて斜め上側に延びる傾斜部と、傾斜部から上側に向けて上下方向に沿って延びる直線部とを有する。バネ本体部２５ａは、先端係合部２５ｂがリテイナー本体部２１に対して接近及び離間するように、前後方向に弾性変形可能である。

板バネ部２５の先端係合部２５ｂは、バネ本体部２５ａと一体的に形成されている。先端係合部２５ｂは、左右方向に長い円柱の形状に形成されている。先端係合部２５ｂは、左右の側端縁に配される円形で平らな左右の側面と、左右の側面間に左右方向に沿って配される曲面状の外周面とを有する。円柱状の先端係合部２５ｂは、シェル本体部の前壁部に設けた挿入凹部１２に挿入される。また、先端係合部２５ｂは、シェル本体部の接触壁部１３に接触する接触面を有する。

この場合、先端係合部２５ｂの接触面は、円柱の外周面である曲面により形成されている。これにより、板バネ部２５の先端係合部２５ｂがシェル本体部の接触壁部１３に接触しながら板バネ部２５が弾性変形するときに、先端係合部２５ｂが接触壁部１３に引っ掛かること、及び、先端係合部２５ｂが接触壁部１３を傷付けることを防止できる。また、先端係合部２５ｂが左右方向に長い円柱の形状を有しており、且つ、接触壁部１３に板バネ部２５のバネ本体部２５ａを挿通させるスリットが設けられていることにより、ウェハリテイナー２０が後述するように図３（ｂ）の中間位置から図３（ｃ）の接触位置に移動するときに、先端係合部２５ｂをシェル本体部の接触壁部１３に安定して接触させることができる。

ウェハリテイナー２０の車輪部２６は、リテイナー本体部２１に一体的に設けられている。車輪部２６は、車輪部材２６ａと、車輪部材２６ａを回転可能に保持する車輪保持部２６ｂと、車輪保持部２６ｂ及びリテイナー本体部２１間を連結する連結部２６ｃとを有する。車輪部材２６ａは、１つの車輪と、車輪から突出する左右一対の回転軸とを有する。車輪保持部２６ｂは、車輪部材２６ａの左右の回転軸を保持する。

このような車輪部２６がウェハリテイナー２０に設けられていることにより、車輪部２６がドア３０の上面に接触しながら、ドア３０の上面上を前後方向に円滑に移動できる。また、車輪部２６の移動時にパーティクルの発生を防止できる。従って、例えばシェルの開口にドア３０を取り付けて塞ぐときに、ウェハリテイナー２０の車輪部２６がドア３０に接触することにより、ドア３０によって、ウェハリテイナー２０をシェル本体部に対して持ち上げながら、半導体ウェハ５に向けて移動させることができる（図３を参照）。なお本発明において、車輪部２６の形状、構造、及び大きさ等は特に限定されない。

保管・搬送容器１のドア３０は、シェル本体部の上述したフランジ部（不図示）に対して取り付け及び取り外し可能に形成されている。また、ドア３０は、シェル本体部のフランジ部に取り付けられたときに、シェル本体部の開口を隙間なく塞ぐように形成されている。

本実施例のドア３０は、ドア本体部３１と、ドア本体部３１に移動可能に設けられる係合爪部３２と、係合爪部３２の操作を行う操作部（不図示）とを有する。
ドア本体部３１は、内側に空間部が設けられている。このドア本体部３１の空間部に、４つの係合爪部３２と、操作部とが搭載されている。

係合爪部３２は、ドア本体部３１の前面部から前方に突出する２つの前側係合爪部と、ドア本体部３１の後面部から後方に突出する２つの後側係合爪部（不図示）とを有する。各係合爪部３２は、ドア本体部３１から突出させる２つの突片部３３をそれぞれ有する。

各係合爪部３２は、２つの突片部３３をドア本体部３１から突出させ、及び、突出させた突片部３３を後退させてドア本体部３１内に収容することが可能に設置されている。各係合爪部３２は、ドア本体部３１内に設けられた付勢部材（不図示）により、２つの突片部３３をドア本体部３１から突出させる方向に付勢されている。すなわち、各係合爪部３２の２つの突片部３３は、付勢部材により、ドア３０の操作部が操作されない限り、ドア本体部３１から突出した状態で保持されている。

係合爪部３２の操作部（不図示）は、ドア本体部３１の下面に、また、ドア本体部３１の中心部に、回転可能に設けられている。操作部は、操作部が一方の回転方向に回転すること、及び他方の回転方向に回転することによって、４つの係合爪部３２をドア本体部３１内に後退させること、及びドア本体部３１から突出させることができる。

操作部には、例えば保管・搬送容器１の開閉機構（不図示）等に設置された２つの挿入ピンを挿入可能なピン挿入孔（不図示）が設けられている。これにより、開閉機構等は、２つの挿入ピンを用いて、ドア３０に設けた操作部を容易に回転させることができる。

このような本実施例のドア３０では、４つ係合爪部３２の突片部３３がドア本体部３１から突出した状態から、例えば開閉機構の２つの挿入ピンによって操作部が回転操作されることにより、４つ係合爪部３２の突片部３３を、付勢部材の付勢力に抗して後退させて、ドア本体部３１内に収容できる。また、操作部が回転した状態が開閉機構の操作ピンによって保持されることにより、係合爪部３２の突片部３３がドア本体部３１内に収容された状態を維持できる。一方、例えば開閉機構の挿入ピンで回転操作した後に操作部から挿入ピンが引き抜かれることにより、係合爪部３２は付勢部材により付勢されるため、ドア本体部３１内に収容されている突片部３３をドア本体部３１の外側に突出させることができる。

ドア本体部３１の上面には、キャリア４０をドア３０に取り付けるためのキャリア取り付け部３４が設けられている。このキャリア取り付け部３４により、ドア３０の所定の位置に、キャリア４０を、取り外し可能に取り付けることができる。
なお本発明において、ドア３０の係合爪部３２、操作部、キャリア取り付け部３４の形状及び構造等は特に限定されない。

キャリア４０は、左右一対のウェハ支持部４１と、左右のウェハ支持部４１の上端部間を接続する上板接続部４２と、上板接続部４２に一体的に形成されるハンドル部４３とを有する。左右のウェハ支持部４１は、互いに左右対称に形成されている。左右のウェハ支持部４１には、半導体ウェハ５が挿入される複数の収容スロットが、上下方向に一定の間隔で設けられている。なお本発明において、キャリア４０は、複数枚の半導体ウェハ５を収容可能であれば、キャリア４０の形状、構造、大きさ等は特に限定されない。

（ウェハリテイナー２０の動作について）
以下に、ドア３０に取り付けられているキャリア４０に複数の半導体ウェハ５が保持されている場合において、シェルをキャリア４０に対して上側から被せることによってシェルにドア３０を取り付けるときのウェハリテイナー２０の動作について、図３を参照しながら説明する。

なお本実施例では、シェルをドア３０に向けて下降させることによって、シェルにドア３０を取り付ける場合について説明する。しかし本実施例では、例えば所定の位置に保持されたシェルに対し、ドア３０を近付けるように上昇させることによって、シェルにドア３０が取り付けられてもよい。

また、本実施例の保管・搬送容器１に関して、例えば図３（ａ）及び図４に示すように、ウェハリテイナー２０のウェハ支持部２３が複数の半導体ウェハ５から離れており、且つ、シェル本体部に対してウェハリテイナー２０（特に、ウェハリテイナー２０の車輪部２６）が最も低くなる位置を、ウェハリテイナー２０の「離間位置」と規定する。例えば図３（ｃ）及び図５に示すように、ウェハリテイナー２０が離間位置から持ち上げられて移動することにより、ウェハ支持部２３が複数の半導体ウェハ５に接触する位置を、ウェハリテイナー２０の「接触位置」と規定する。更に本実施例では、板バネ部２５のバネ本体部２５ａが弾性変形していない状態で、板バネ部２５の先端係合部２５ｂが、図３（ｂ）のように前壁部の挿入凹部１２内で接触壁部１３に接する位置を「中間位置」と規定する。

本実施例のウェハリテイナー２０は、上述したように、２つのリンク部材１５を介してシェル本体部の左右の支持柱１１に取り付けられている。これにより、ウェハリテイナー２０は、図３（ａ）に示す離間位置から図３（ｃ）に示す接触位置に移動するとき、及び、図３（ｃ）に示す接触位置から図３（ａ）に示す離間位置に移動するとき、図３（ｂ）に示す中間位置を経る一定の経路で移動する。また、ウェハリテイナー２０は、リテイナー本体部２１が上下方向と平行になる姿勢を維持しながら、離間位置と接触位置との間を移動できる。

キャリア４０に保持されている半導体ウェハ５をシェル内に収容して保管する場合、先ず、シェルを、キャリア４０及びドア３０の上方から、ドア３０に近付けるように下降させる。このとき、下降するシェル内において、ウェハリテイナー２０の車輪部２６がドア３０に接触するまでの間は、ウェハリテイナー２０が、自重により、車輪部２６が最も低い位置に配される離間位置に保持されている（図３（ａ）を参照）。

また、ウェハリテイナー２０が離間位置にある場合、ウェハリテイナー２０の板バネ部２５の先端係合部２５ｂは、シェル本体部の前壁部に設けた挿入凹部１２内に挿入されている。特に本実施例の場合、板バネ部２５の先端係合部２５ｂは、挿入凹部１２内において、挿入凹部１２の内壁面に接触しない位置に保持されている。

シェルが下降することによって、ウェハリテイナー２０の車輪部２６の車輪部材２６ａが、図３（ａ）に示したように、ドア３０の上面に接触する。また、車輪部２６がドア３０に接触した後も、シェルをドア３０に近付けるように更に下降させることにより、車輪部２６がドア３０によって持ち上げられる。これにより、ウェハリテイナー２０が、シェルの支持柱１１に対して上昇するとともに、リンク部材１５によって半導体ウェハ５に近付く方向（すなわち、図３（ａ）の右側）に移動する。

このとき、車輪部２６の車輪部材２６ａは、ドア３０に接触しながら回転するため、ウェハリテイナー２０を円滑に、また安定して半導体ウェハ５に近付けることができる。更に、車輪とドア３０の接触に起因するパーティクルの発生も防止できる。また、ウェハリテイナー２０が上昇しながら半導体ウェハ５に近付くことにより、図３（ｂ）に示すように、ウェハリテイナー２０の板バネ部２５に設けた円柱状の先端係合部２５ｂが、前壁部の挿入凹部１２内で接触壁部１３に当接する。

その後、シェルが続けて下降することによって、シェルのフランジ部内にドア３０が挿入されて、シェル本体部の開口がドア３０によって閉鎖される。それと同時に、ウェハリテイナー２０が図３（ｃ）に示す接触位置に移動する。

本実施例において、ドア３０に設けた係合爪部３２は、上述したように、付勢部材（不図示）の付勢によって突片部３３をドア本体部３１の外側に突出させている。このため、シェルが下降してドア３０がフランジ部内に挿入されるときには、ドア３０の下面に設けられた操作部（不図示）に、例えば開閉機構の挿入ピンを挿入して操作部を回転させる。これにより、係合爪部３２の突片部３３が後退してドア本体部３１内に収容されるため、ドア３０を、係合爪部３２に干渉させることなく、シェルのフランジ部の内側に円滑に挿入して、シェル本体部の開口をドア３０で塞ぐことができる。

更に、ドア３０がフランジ部内に挿入された後には、ドア３０の操作部から挿入ピンを引き抜くことにより、係合爪部３２が付勢部材により付勢されて、係合爪部３２の突片部３３をドア本体部３１の外側に突出させることができる。これにより、係合爪部３２の各突片部３３が、シェルのフランジ部に設けた爪用凹部（不図示）に挿入されて係合するため、ドア３０を、シェル本体部の開口を塞いだ位置でシェル本体部に固定できる。またその後は、ドア３０の操作部が再び回転操作されない限り、係合爪部３２の突片部３３はフランジ部の爪用凹部に係合した状態が維持されるため、シェルにドア３０が取り付けられている状態を安定して維持できる。

上述のようにシェルにドア３０が取り付けられることによって、保管・搬送容器１が組み立てられる。また、組み立てられた保管・搬送容器１内に複数の半導体ウェハ５を収容して保持できる。保管・搬送容器１内では、ウェハリテイナー２０がドア３０によって持ち上げられて接触位置に移動しているため、ウェハリテイナー２０の左右のウェハ支持部２３が、図５に示すように、キャリア４０に保持されている複数の半導体ウェハ５に接触して、複数の半導体ウェハ５を固定している。これにより、保管・搬送容器１内に、複数の半導体ウェハ５を安定して保管できる。また、半導体ウェハ５が内部に保管されている保管・搬送容器１を搬送するとき等に、保管・搬送容器１内で半導体ウェハ５が動くこと及び半導体ウェハ５の位置がずれることを防止できる。

更に本実施例では、ウェハリテイナー２０が図３（ｂ）の中間位置から図３（ｃ）の接触位置に移動するときに、板バネ部２５の先端係合部２５ｂがシェル本体部の接触壁部１３に当接している状態が維持されている。これにより、板バネ部２５のバネ本体部２５ａは、図３（ｃ）に示すように、ウェハリテイナー２０の接触位置への移動によって、反り返るように弾性変形し、また、その弾性変形した状態が維持される。従って、接触位置に移動したウェハリテイナー２０は、板バネ部２５の弾性復元力によって、接触位置から離間位置に向けて付勢されている状態で保持される。

次に、複数の半導体ウェハ５が保管・搬送容器１内に保管されている状態から、ドア３０をシェルから取り外して、シェルを上方に移動させることによって、半導体ウェハ５を保管・搬送容器１から取り出す場合について説明する。
図３（ｃ）に示すように、保管・搬送容器１内に複数の半導体ウェハ５が収容されて保管されている場合、ウェハリテイナー２０は、上述したように、接触位置に配されており、また、板バネ部２５の弾性復元力によって離間位置に向けて付勢されている。

図３（ｃ）に示したドア３０をシェルから取り外すために、先ず、ドア３０の下面に設けられた操作部（不図示）を回転させて、係合爪部３２によるシェルとドア３０の係合を解除する。また、係合が解除された状態を維持しながら、シェルを上昇させる（又は、ドア３０を下降させる）。これにより、ドア３０をシェル本体部から取り外すことができる。

また、ドア３０に対してシェルが上昇することにより、ウェハリテイナー２０が、自重により、接触位置から離間位置に向けての移動を開始する。このとき、本実施例の保管・搬送容器１では、ウェハリテイナー２０が板バネ部２５によって付勢されているため、ドア３０に対してシェルが上昇し始めると同時に、ウェハリテイナー２０を板バネ部２５の付勢力によって接触位置から強制的に移動させて、半導体ウェハ５から速やかに離れさせることができる。

これにより、ウェハリテイナー２０が半導体ウェハ５に接触したまま上下方向に移動することを確実に防止できるため、従来のＳＭＩＦポッドでウェハリテイナーの移動開始時に生じるような半導体ウェハの損傷やパーティクルの発生といった不具合を安定して防止できる。

その後、ドア３０に対してシェルが更に上昇することにより、板バネ部２５によって付勢されたウェハリテイナー２０は、自重により、図３（ｂ）に示す中間位置を通って、図３（ａ）に示す離間位置に移動する。更に、シェルがキャリア４０よりも上に移動することにより、シェル本体部内からキャリア４０を引き出すことができる。更に、キャリア４０を引き出した後に、例えば搬送アームを備えたウェハ搬送装置を利用すること等により、キャリア４０から半導体ウェハ５を取り出すことができる。

以上のように、ＳＭＩＦポッドとして用いられる本実施例の保管・搬送容器１においては、保管・搬送容器１から半導体ウェハ５を取り出すためにシェルを上昇させるとき又はドア３０を下降させるときに、ウェハリテイナー２０を、板バネ部２５の付勢力（弾性復元力）によって半導体ウェハ５から速やかに離間させることができる。それにより、ウェハリテイナー２０と半導体ウェハ５との接触に起因する半導体ウェハ５の損傷、及びパーティクルの発生を防止できる。

なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載した構成と実質的に同一な構成を有し、且つ、同様な作用効果を奏する範囲において多様な変更が可能である。
例えば上述の実施例では、保管・搬送容器１に半導体ウェハ５を保管する場合について説明している。しかしながら、本発明において、保管・搬送容器内に保管する基板は、半導体ウェハに限定されるものではなく、本発明の保管・搬送容器は、例えばレクチル等の半導体ウェハ以外の基板が保管されるように形成されていてもよい。

１ 保管・搬送容器
５ 半導体ウェハ
１１ 支持柱
１１ａ 上側固定部
１１ｂ 下側固定部
１２ 挿入凹部
１３ 接触壁部
１５ リンク部材
１６ リンク本体部
１７ 回転軸部
２０ ウェハリテイナー（基板リテイナー）
２１ リテイナー本体部
２２ 軸保持部
２２ａ 保持溝部
２２ｂ 軸押さえ部
２２ｃ 補強リブ
２３ ウェハ支持部
２４ アーム部
２５ 板バネ部
２５ａ バネ本体部
２５ｂ 先端係合部
２６ 車輪部
２６ａ 車輪部材
２６ｂ 車輪保持部
２６ｃ 連結部
３０ ドア
３１ ドア本体部
３２ 係合爪部
３３ 突片部
３４ キャリア取り付け部
４０ キャリア
４１ ウェハ支持部
４２ 上板接続部
４３ ハンドル部

Claims (3)

1. 半導体製造工程で搬送される基板を収容して保管する保管・搬送容器であって、
   内部空間を備えるとともに底面部に開口が設けられた箱状の形状を有するシェルと、前記シェルに着脱可能なドアとを有し、
   前記ドアは、前記開口を塞ぐように前記シェルに取り付けられ、
   前記シェルの内部に、前記基板に接触して前記基板を支持する基板リテイナーが、前記基板に接触する接触位置と、前記基板から離れる離間位置との間を移動可能に設けられ、
   前記基板リテイナーは、リテイナー本体部と、前記リテイナー本体部から延びるとともに弾性変形可能に形成される板バネ部とを有し、
   前記板バネ部は、前記基板リテイナーが前記接触位置に保持されているときに、前記基板リテイナーを前記接触位置から前記離間位置に向けて付勢する
   ことを特徴とする保管・搬送容器。
2. 前記板バネ部は、前記基板リテイナーが前記離間位置から前記接触位置に移動するときに弾性変形し、且つ、前記板バネ部の弾性復元力により前記接触位置の前記基板リテイナーを付勢する
   ことを特徴とする請求項１に記載の保管・搬送容器。
3. 前記板バネ部は、前記リテイナー本体部に連結する基端部と、前記基端部の反対側に配される先端部とを有し、
   前記シェルは、前記板バネ部の前記先端部を接触させる接触壁部を有し、
   前記板バネ部の前記先端部は、前記接触壁部に接触するとともに曲面に形成される接触面を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の保管・搬送容器。

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