JP2025030193A - 樹脂シート密閉品の漏れ検査方法及び漏れ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】内蔵品が樹脂シートによって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品に対し探査ガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証を行うことが可能な漏れ検査装置及び漏れ検査方法を提供する。
【解決手段】中央部に凹部が形成された上下２つの樹脂シート４,４で内蔵品３を包装し、且つ樹脂シート４,４の出っ張り部でニードル接続治具１４の扁平部を挟み込む。第１段階の樹脂シート溶着工程では、樹脂シート４,４の外周に「内周面同士が溶着した」第１溶着シール部４ａと、「樹脂シート４,４の内周面と扁平部の外周面が溶着した」第２溶着シール部４ｂとから成る凸形状の溶着シール部を形成する。そして第２段階の樹脂シート溶着工程では、第１溶着シール部４ａの２つの凹角部の間に挟まれた樹脂シート開口部を溶着シールして線状の第３溶着シール部４ｃを形成する。
【選択図】図２

Description

本発明は、樹脂シート密閉品の漏れ検査方法及び漏れ検査装置に関し、更に詳細には内蔵品が樹脂シートによって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品に対し探査ガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証を行うことが可能な樹脂シート密閉品の漏れ検査方法及び漏れ検査装置に関する。

食品や医薬品そして機械部品や電気部品では、これらの劣化を防ぐ観点から、これら食品・医薬品や部品（以下「内蔵品」という。）を樹脂シートの袋内に入れ密閉することが行われる。樹脂シート袋で内蔵品を密閉封止する手段として、樹脂シート袋内に大気圧以上の窒素ガスや二酸化炭素ガスなどの不活性ガスを導入して封止する場合（以下「正圧密閉封止」という。）と、樹脂シート袋内を大気圧未満の真空として封止する場合（以下「負圧密閉封止」という。）の２通りがある。

正圧密閉封止の漏れ検査は、樹脂シート袋内から外部に漏れ出た不活性ガスを検出することで行われている（例えば、特許文献１、２及び３を参照。）。

一方、負圧密閉封止の漏れ検査については、内部を大気圧未満の真空とすることで樹脂シートと内蔵品が相互に密着した樹脂シート密閉品に対し、加圧容器内に入れヘリウムガスの加圧雰囲気中で一定時間保持し、その後、真空容器内に入れ真空下で一定時間保持し、そして大気圧にした後、樹脂シート密閉品の樹脂シートに形成されたピンホールなどによる変形を目視または触診により確認することで行われている（例えば、特許文献４を参照。）。

実全昭６３－３３４４０号公報 特開２０２３－８７７９号公報 特開平１０－１８５７５２号公報 特開２００４－９３２０８号公報

上記特許文献４に記載の目視または触診が行われているのは、従来の漏れ検査方法、例えばヘリウム漏れ試験（ＪＩＳ Ｚ ２３３１：２００６）の浸漬法や圧力変化漏れ試験（ＪＩＳ Ｚ ２３３２：２０１２）の密封品チャンバ法、を内部を真空とした樹脂シート密閉品の漏れ検査に適用することが困難なためである。

ヘリウム漏れ試験（ＪＩＳ Ｚ ２３３１：２００６）の浸漬法は、ヘリウムガスで満たした密閉容器中に被試験体を一定時間浸漬し、被試験体の内部にヘリウムガスを侵入させ、へリウムガスが侵入した被試験体を真空容器の中に入れ、ヘリウム漏れ試験の真空容器法によりヘリウムガスを検出することで漏れ検査するものである。

このヘリウム漏れ試験の浸漬法を、内部を真空とした樹脂シート密閉品に適用する場合、ヘリウムガスで満たした容器中に樹脂シート密閉品を浸漬した時に仮に樹脂シートにピンホールが形成されていたとしても、密着した樹脂シートと内蔵品との隙間にヘリウムガス侵入し難いということがある。また、ヘリウムガスの浸漬中に一定量のヘリウムガスが樹脂シートに溶解してしまい、次のヘリウム漏れ試験の時に、漏れが無いにも拘わらずヘリウムガスを検出してしまうことがある。以上のことから、内部を真空とした樹脂シート密閉品の漏れ検査手段として、ヘリウム漏れ試験の浸漬法は余り適していないことがわかる。

なお、ヘリウム漏れ試験の浸漬法は、ヘリウム浸漬した被試験体を真空容器に入れ真空排気してヘリウム漏れ検査を行うが、漏れ孔が大きく多量の漏れがあった場合に侵入したヘリウムガスが真空排気されてしまい、漏れ検出が不可能となってしまうことがある。すなわち、浸漬法は大きな漏れの漏れ検査には不適であり、微小な漏れの漏れ検査に限られるという欠点がある。

圧力変化漏れ試験（ＪＩＳ Ｚ ２３３２：２０１２）の密封品チャンバ法は、被試験体を容器の中に収納して密封し、容器内をガス加圧した後、一定時間保持したときの容器内の圧力変化から漏れ量を測定する方法である。すなわち、密閉した内部が真空の被試験体に漏れ孔があると、加圧した容器内のガスが被試験体に侵入することで、容器の圧力が減少する。この容器の圧力変化から漏れを検出するものである。

この圧力変化漏れ試験の密封品チャンバ法を、内部を真空とした樹脂シートと内蔵品が相互に密着した樹脂シート密閉品に適用する場合、密着した樹脂シートと内蔵品の隙間空間が非常に小さいことと、樹脂シートに漏れがあってもガス加圧により侵入するガス量が非常に少ないことから、漏れ検出のための容器の圧力変化が小さく、漏れ検出が困難となってしまう。すなわち、樹脂シート密閉品の漏れ検査手段として、圧力変化漏れ試験の密封品チャンバ法は余り適していないことがわかる。

ところで、内蔵品を樹脂シートで溶着シールした場合、樹脂シート密閉品の内部の圧力を正確に検知することは殆ど不可能である。なぜなら、溶着シール後は圧力検出プローブを樹脂シート密閉品の内部に挿入することができないからである。

同様に内蔵品を樹脂シートで溶着シールする直前の樹脂シート密閉品の内部の圧力についても正確に検知することは殆ど不可能である。なぜなら、溶着シール予定箇所は溶着装置（ヒートシーラー）によって上下方向からプレスされることになるため、溶着直前に圧力検出プローブを溶着シール予定箇所に近接させることができないからである。

つまり、内蔵品を樹脂シートによって真空状態で密着シールする場合、樹脂シート溶着時の樹脂シート密閉品の内部の圧力を検知すること、ひいては溶着時の樹脂シート密閉品の内部の圧力を制御することは不可能であった。

そのため、樹脂シート密閉品の漏れ検査方法として「所定の真空度に維持された真空容器の内部に設置された被試験体の内部を探査ガスで加圧しながら被試験体から真空容器の内部に漏れ出る探査ガスを検出する」真空容器法を適用する場合、樹脂シート密閉品の内部と外部との間の圧力差が分からず、漏れ検査におけるヘリウム漏れ流量の閾値［Ｐａ・ｍ^３/ｓ］を設定することができないという問題点があった。このように、内部を真空とした樹脂シート密閉品については、ヘリウムガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証（例えば、１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓ未満）を行うことが可能な漏れ検査方法は存在していないものと考えられる。

そこで、本発明は上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであり、その目的は、内蔵品が樹脂シートによって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品に対し探査ガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証を行うことが可能な樹脂シート密閉品の漏れ検査方法及び漏れ検査装置を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法は、内蔵品（３）が上下２つの樹脂シート（４、４）の溶着によって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品（１０）を、所定の真空度に維持された真空容器（１）の内部に設置し探査ガスを用いて漏れ検査を行う樹脂シート密閉品漏れ検査方法であって、前記内蔵品（３）を樹脂シート（４、４）で被覆する際、真空排気または探査ガス導入の為の配管接続治具（１４）を前記樹脂シート（４、４）の一部で挟み込んで、「前記内蔵品（３）を内側に含み且つ一部分が外側に張り出した出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）を形成するように」溶着シール部（４ａ、４ｂ）を形成し、前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）に形成された狭小の樹脂シート開口部（４ａ１）から前記樹脂シート（４、４）と前記内蔵品（３）及び前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）との間に形成された隙間空間（５）に探査ガスを導入し、前記溶着シール部（４ａ、４ｂ）から外部の前記真空容器（１）内に漏れ出る探査ガスを検出する第１漏れ検査を実施し、そして、前記隙間空間（５）を「漏れ流量を検出可能な大気圧未満の探査ガスが十分残留する」圧力まで真空排気して、次に前記樹脂シート開口部（４ａ１）を密閉する溶着シール部（４ｃ）を形成し、該溶着シール部（４ｃ）から前記配管接続治具（１４）の下流側に漏れ出る探査ガスを検出する第２漏れ検査を実施することを特徴とする。

上記構成では、溶着シール部（４ａ、４ｂ）は出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）を有し、全体が凸形状を成すようになる。そのため、溶着シール部（４ａ、４ｂ）は２つの凹角部（ｂ２、ｂ２）を有し、凹角部（ｂ２、ｂ２）の間には狭小の開口部（樹脂シート開口部（４ａ１））が形成されることになる。樹脂シート開口部（４ａ１）は出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）の開口でもあるため、樹脂シート開口部（４ａ１）を間に挟んで一方の側には内蔵品（３）を有する隙間空間（５）が形成され、その反対側には配管接続治具（１４）を有する配管導入空間（６）が形成されることとなる。

従って、溶着シール部（４ａ、４ｂ）と配管接続治具（１４）の内部（１４ｃａ、１４ｃｂ）における気密性が確保される場合、隙間空間（５）の圧力と配管導入空間（６）の圧力は相互に等しいと見なすことができるようになる。これにより、隙間空間（５）の圧力を直接的に又は配管導入空間（６）の圧力を介して間接的に制御すること並びに測定することが可能となる。

また、配管接続治具（１４）は凸形状の出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）に配置されているため、樹脂シート開口部（４ａ１）を溶着シールする際、配管接続治具（１４）が溶着シールの妨げとなることは起こらない。これにより、樹脂シート開口部（４ａ１）の溶着シールの直前まで隙間空間（５）に対する圧力制御および圧力測定が可能となる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第２の特徴は、前記第１漏れ検査は、前記第２漏れ検査の終了まで継続することで、前記溶着シール部（４ａ、４ｂ）に加えて「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」から外部の前記真空容器（１）内に漏れ出る探査ガスを検出することである。

上記構成では、第２漏れ検査の実行中において先に封止した溶着シール部（４ａ、４ｂ）の密封状態が正常に維持されていることを確認することができると共に、「樹脂シート開口部（４ａ１）に係る溶着シール部（４ｃ）」から真空容器（１）内への探査ガスの漏れ流量を確認することができるようになる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第３の特徴は、前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）が前記配管接続治具（１４）を横切るように前記樹脂シート（４、４）を溶着シールすると共に、前記樹脂シート（４、４）によって挟み込まれる前記配管接続治具（１４）の部分（１４ａ）は扁平部（１４ａ）となるように形成することである。

上記構成では、樹脂シート（４、４）によって挟み込まれる配管接続治具（１４）の部位が扁平部（１４ａ）であるため、樹脂シート（４、４）の内周面と配管接続治具（１４）の外周面との間の溶着シール部（４ｂ）において気密性を確保することが極めて容易となる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第４の特徴は、前記配管接続治具（１４）の内部を配管（１５ａ）が気密性を保持しながら前後に移動することができることである。

上記構成では、配管（１５ａ）を隙間空間（５）に近接前進させることにより、隙間空間（５）に対する真空排気、或いは探査ガスの導入等の圧力制御が極めて容易となる。一方、配管（１５ａ）を隙間空間（５）から離隔後退させることにより、溶着シール工程において配管（１５ａ）と溶着装置（２－２）との干渉を避けることが可能となる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第５の特徴は、前記樹脂シート（４）の中央部に前記内蔵品（３）が嵌まる凹部（４ｒ）を形成し、該凹部（４ｒ）の裾部（４ｆ、４ｆ）を四角フレーム部（４ｆ１）と出っ張り部（４ｆ２）が組み合わされた凸形状としたことである。

上記構成では、樹脂シート（４、４）、内蔵品（３）及び配管接続治具（１４）の真空容器（１）内へのセットアップが極めて容易となる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第６の特徴は、前記隙間空間（５）を所定の圧力まで真空排気し、前記樹脂シート開口部（４ａ１）を溶着する際、前記隙間空間（５）の圧力変動が真空排気開始時の圧力変動よりも小さくなる状態にした後に溶着シールすることである。

上記構成では、溶着時の隙間空間（５）の圧力の推移と、下流側（第２真空計（１７））での圧力の推移が殆ど同じと見なすことが可能となる。その結果、溶着時の隙間空間（５）の圧力を高精度で推定することが可能となり、信頼性の高い探査ガスの漏れ流量の閾値を設定することが可能となる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第７の特徴は、前記第２漏れ検査を実施する際、探査ガスの漏れ流量を測定する探査ガス検出器（１８）に導入される探査ガスの流量が、「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」を真空排気する真空ポンプ（１６）に導入される探査ガスの流量よりも少なくなるようにすることである。

上記構成では、探査ガス検出器（１８）に導入される配管に残留する探査ガスの量は減少するため、測定される探査ガスの漏れ流量についての信頼性が維持されることになる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査方法の第８の特徴は、「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」から前記配管接続治具（１４）の下流側へ漏れ出る探査ガスの漏れ流量を測定した後に、真空排気系統および漏れ流量測定系統を探査ガス以外の不活性ガスで掃気することである。

上記構成では、真空排気系統および漏れ流量測定系統において残留探査ガスが強制的に掃気されることになるため、測定される探査ガスの漏れ流量についての信頼性が大幅に向上されることになる。

上記目的を達成するための本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置は、樹脂シート（４、４）によって被覆された内蔵品（３）と、前記樹脂シート（４、４）の一部によって挟み込まれた配管接続治具（１４）を所定の真空環境下で収容する真空容器（１）と、前記内蔵品（３）の周囲に形成された前記真空容器（１）の内部空間を真空排気する第１真空ポンプ（１１）と、前記樹脂シート（４、４）の重複部分（４ｆ、４ｆ）を外周に沿って凸形状に溶着し、凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）を形成する一対の第１溶着装置（２－１）と、前記樹脂シート（４、４）と前記内蔵品（３）との間に形成される隙間空間（５）を真空排気する第２真空ポンプ（１６）と、前記隙間空間（５）に探査ガスを導入する探査ガス源（１９）と、前記隙間空間（５）、前記第２真空ポンプ（１６）及び前記探査ガス源（１９）に各々連通した第１配管（１５）と、前記凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）から外部の前記真空容器（１）の内部に漏れ出る前記探査ガスの漏れ流量を検出する第１探査ガス検出器（１３）と、前記凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）の２つの凹角部（ｂ２、ｂ２）の間に挟まれた狭小の樹脂シート開口部（４ａ１）を溶着し、線状の溶着シール部（４ｃ）を形成する一対の第２溶着装置（２－２）と、前記線状の溶着シール部（４ｃ）から前記第１配管（１５）側に漏れ出る前記探査ガスの漏れ流量を検出する第２探査ガス検出器（１８）とを備えたことを特徴とする。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の特徴及び第２の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第２の特徴は、前記配管接続治具（１４）は、内部に貫通部（１４ａａ、１４ｂａ）を有する「扁平部（１４ａ）と円筒部（１４ｂ）が前記樹脂シート（４、４）と相溶性のある樹脂で一体成形された」成形品を備え、前記扁平部（１４ａ）は、前記樹脂シート（４、４）の重複部分（４ｆ、４ｆ）のうちで前記樹脂シート開口部（４ａ１）から外側に張り出した部位（４ｆ２、４ｆ２）によって挟み込まれることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第３の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第３の特徴は、前記第１配管（１５）に可撓性を有する可動配管（１５ｂ）を介して接続された配管（１５ａ）が、前記貫通部（１４ａａ、１４ｂａ）に前後移動自在に配置されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第４の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第４の特徴は、前記扁平部（１４ａ）の内部に前記配管（１５ａ）が前後移動可能な貫通した貫通孔（１４ａａ）が形成されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第４の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第５の特徴は、前記配管接続治具（１４）は、前記円筒部（１４ｂ）が嵌まる大径部（１４ｃａ）と前記配管（１５ａ）が通る小径部（１４ｃｂ）とを備えた金属製のメス型円筒部（１４ｃ）を別途有し、前記円筒部（１４ｂ）と前記大径部（１４ｃａ）との間、並びに前記配管（１５ａ）と前記小径部（１４ｃｂ）との間には気密性を保持するシール部材（１４ｃｃ、１４ｃｄ）がそれぞれ設けられていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第４の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第６の特徴は、前記樹脂シート（４）の裾部（４ｆ）は四角フレーム部（４ｆ１）と出っ張り部（４ｆ２）が組み合わされた凸形状を成し、前記裾部（４ｆ）の内側には前記内蔵品（３）が嵌まる凹部（４ｒ）が形成されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第５の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第７の特徴は、前記第１配管（１５）と前記第２真空ポンプ（１６）を連結する第２配管（１６ａ）に対し、該第２配管（１６ａ）より小さいコンダクタンス値を有する１又は複数の小コンダクタンス部品（４１）が並列に接続されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第６の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第８の特徴は、前記第１配管（１５）と前記第２探査ガス検出器（１８）を連結する第３配管（１８ａ）に対し、該第３配管（１８ａ）より小さいコンダクタンス値を有する１又は複数の小コンダクタンス部品（４２、４３）が並列に接続されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第７の特徴を好適に実施することができる。

本発明に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の第９の特徴は、探査ガス以外の不活性ガスが前記第２真空ポンプ（１６）及び前記第２探査ガス検出器（１８）に対し並列に供給可能に構成されていることである。

上記構成では、上記「樹脂シート密閉品漏れ検査方法」の第８の特徴を好適に実施することができる。

本発明の樹脂シート密閉品漏れ検査方法及び漏れ検査装置によれば、内蔵品（３）が樹脂シート（４、４）によって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品（１０）に対し探査ガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証を行うことが可能となる。

本発明の第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の要部構成を示す説明図である。 樹脂シート密閉品の真空容器への設置と樹脂シートの溶着シール部を示す説明図である。 樹脂シート密閉品に係る樹脂シート切断とニードル接続治具分離を示す説明図である 本発明に係るニードル接続治具の構成を示す説明図である。 本発明の第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置による漏れ検査工程を示すプロセス図である。 第１漏れ検査前の樹脂シート溶着工程を示す説明図である。 第２漏れ検査前の樹脂シート溶着工程を示す説明図である。 本発明の第１実施形態に係る樹脂シート開口部の溶着前後の圧力と第３溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の測定結果を示すグラフである。 本発明の第２実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の要部構成を示す説明図である。 本発明の第２実施形態に係る樹脂シート開口部の溶着前後の圧力と第３溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の測定結果を示すグラフである。 本発明の第３実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の要部構成を示す説明図である。 本発明の第３実施形態に係る樹脂シート開口部の溶着前後の圧力と第３溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の測定結果を示すグラフである。 本発明の第４実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の配管接続治具の要部構成を示す説明図である。 本発明の第４実施形態に係る樹脂シート開口部の溶着前後の圧力と第３溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の測定結果を示すグラフである。 本発明の第４実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の配管接続治具の要部構成を示す説明図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明について説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００の要部構成を示す説明図である。なお、ニードル接続治具１４については断面で表されている。図１（ａ）は樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００の平面図である。また、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ断面図である。

この樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００は、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で溶着シールする際に、その樹脂シート４,４と内蔵品３との間に形成される隙間空間５の圧力を測定し且つその圧力を所定の値になるように圧力制御しながら、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で溶着シールすることができるように構成されている。これにより、樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００は樹脂シート密閉品１０に対し、ヘリウムガスを用いて定量的な漏れ評価・気密保証を行うことが可能となる。なお、ここで言う「定量的な漏れ評価」とは、隙間空間５の内部と外部（真空容器１内）の圧力差に基づいてその溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量の閾値（例えば、１０^－７［Ｐａ・ｍ^３/ｓ］以下）を設定することを意味している。また、「気密保証」とは、その溶着シール部から漏れ出るヘリウム漏れ流量を測定し、予め設定した閾値に基づいて溶着シール部の良否を判定することを意味している。

詳細については後述するが、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で溶着シールする樹脂シート溶着工程が二段階で行われ、樹脂シート溶着工程に対応して溶着シール部に対する漏れ検査については「第１漏れ検査」と「第２漏れ検査」の二段階で行われるように構成されている。因みに、図１は第２漏れ検査時の樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００を表している。以下、樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００の構成について説明する。

この樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００は、内部が真空保持可能な真空容器１と、内蔵品３を包装する上下２つの樹脂シート４,４と、上下２つの樹脂シート４,４の外周を溶着する第１溶着装置２－１と、上下２つの樹脂シート４,４の樹脂シート開口部４ａ１（図２（ｂ））を溶着する第２溶着装置２－２と、真空容器１の内部を所定の圧力まで真空排気する第１真空ポンプ１１と、真空容器１の内部の真空度を計測する第１真空計１２と、第１溶着シール部４ａと第２溶着シール部４ｂ等から漏れ出るヘリウムガスを検出する第１ヘリウムガス検出器１３と、隙間空間５を真空排気又はヘリウムガス導入するニードルパイプ１５ａを接続するためのニードル接続治具１４と、ニードルパイプ１５ａと直結した可撓性を有する可動配管１５ｂを備えた第１配管１５と、隙間空間５をニードルパイプ１５ａを介して真空排気する第２真空ポンプ１６と、第１配管１５と第２真空ポンプ１６を連結する第２配管１６ａと、隙間空間５の真空度を計測する第２真空計１７と、第３溶着シール部４ｃ等から漏洩するヘリウムガスを検出する第２ヘリウムガス検出器１８と、第１配管１５と第２ヘリウムガス検出器１８を連結する第３配管１８ａと、隙間空間５にヘリウムガスを供給するヘリウムガスボンベ１９と、第１配管１５とヘリウムガスボンベ１９を連結する第４配管１９ａと、真空容器１と第１真空ポンプ１１との間の連通を遮断する第１真空バルブ２１と、真空容器１と第１ヘリウムガス検出器１３との間の連通を遮断する第２真空バルブ２２と、隙間空間５と第１配管１５との間の連通を遮断する第３真空バルブ２３と、第１配管１５と第２真空ポンプ１６との間の連通を遮断する第４真空バルブ２４と、真空容器１を大気開放するための第１ガスバルブ３１と、第１配管１５とヘリウムガスボンベ１９との間の連通を遮断する第２ガスバルブ３２とを具備して構成されている。以下各構成について更に説明する。

第１溶着装置２－１は、例えば凸形状のフレーム構造を成し、凸形状の溶着シール部を形成する。凸形状の溶着シール部は、上下２つの樹脂シート４,４の内周面同士の溶着シール部である第１溶着シール部４ａと、上下２つの樹脂シート４,４の内周面とニードル接続治具１４の外周面の溶着シール部である第２溶着シール部４ｂとから構成されている。また、第１溶着装置２－１は、内蔵品３の上方と下方にそれぞれ配置され、昇降装置（図示せず）によって上下方向に沿って移動可能に構成されている。フレームの内部にはヒータ（図示せず）が内蔵されている。

同様に第２溶着装置２－２は、例えば線状のフレーム構造を成し、線状の溶着シール部を形成する。線状の溶着シール部は、樹脂シート開口部４ａ１（図２（ｂ））に位置する樹脂シート４,４の内周面同士が溶着した第３溶着シール部４ｃである。また、第２溶着装置２－２は、内蔵品３の上方と下方にそれぞれ配置され、昇降装置（図示せず）によって上下方向に沿って移動可能に構成されている。フレームの内部にはヒータ（図示せず）が内蔵されている。

図２（ａ）に示されるように、樹脂シート４は、内蔵品３の外形の半分を模した凹部４ｒが中央部に形成されている。また、凹部４ｒの周囲は裾部４ｆを成し、裾部４ｆは大部分が四角フレーム部４ｆ１を成し、ニードル接続治具１４を挟み込む部位は出っ張り部４ｆ２を成している。樹脂シート４は、例えば容易溶着樹脂フィルムと金属フィルムの積層構造から成る樹脂フィルム、或いは容易溶着樹脂フィルムと低ガス透過性フィルムの積層構造から成る樹脂フィルムを使用することが可能である。

図２（ｂ）に示されるように、第１溶着装置２－１は、上下２つの樹脂シート４,４の外周（図２（ａ）の四角フレーム部４ｆ１,４ｆ１と出っ張り部４ｆ２,４ｆ２）を上下方向から溶融圧着して、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で密閉する。従って、樹脂シート４,４と内蔵品３との間に形成される隙間空間５の気密性は、第１溶着シール部４ａ（点線部）と第２溶着シール部４ｂ（実線部）とニードル接続治具１４によって確保されることになる。ニードル接続治具１４のシール手段（ヘリウム漏洩防止手段）については図４を参照しながら後述する。

因みに前述の「第１漏れ検査」は、第１溶着シール部４ａ、第２溶着シール部４ｂ及びニードル接続治具１４から外部の真空容器１内へ漏れ出るヘリウムガスを第１ヘリウムガス検出器１３によって検出することになる。

図２（ｃ）に示されるように、第２溶着装置２－２は、樹脂シート開口部４ａ１を上下方向から溶融圧着して、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で密閉する。従って、最終形態の樹脂シート密閉品１０の気密性は、第１溶着シール部４ａ（点線部）と第３溶着シール部４ｃによって確保されることになる。

因みに前述の「第２漏れ検査」は、第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出るヘリウムガスを第２ヘリウムガス検出器１８によって検出することになる。なお、「第１漏れ検査」である第１溶着シール部４ａから外部の真空容器１内に漏れ出るヘリウムガスについては第１ヘリウムガス検出器１３によって検出されることになる。なお、「第２漏れ検査」の実行時においても、「第１漏れ検査」を継続して実行し、第１溶着シール部４ａと新たに溶着した第３溶着シール部４ｃから外部の真空容器１内に漏れ出るヘリウムガスを第１ヘリウムガス検出器１３によって検出する。

隙間空間５は、上下２つの樹脂シート４,４と内蔵品３との間に形成される極僅かな空間で、第１漏れ検査時ではニードルパイプ１５ａを介して、ヘリウムガスボンベ１９からヘリウムガスが導入されることになる。更に第２漏れ検査では、第１漏れ検査時に導入されたヘリウムガスのうち１００Ｐａ以上に相当するヘリウムガスが隙間空間５に残留するように、ニードルパイプ１５ａを介して第２真空ポンプ１６によって真空排気されることになる。

また図３（ａ）に示されるように、上下２つの樹脂シート４,４の裾部４ｆ,４ｆのうちで出っ張り部４ｆ２,４ｆ２は、第２漏れ検査終了後に切断され、四角フレーム部４ｆ１,４ｆ１は残されることになる。

また図３（ｂ）に示されるように、切断された出っ張り部４ｆ２,４ｆ２に挟み込まれた扁平部１４ａ及びオス嵌合部１４ｂについては、第２溶着シール４ｂ,４ｂが形成されているため再利用することは出来ず、メス嵌合部１４ｃから分離され出っ張り部４ｆ２,４ｆ２といっしょに廃棄されることになる。ニードル接続治具１４のメス嵌合部１４ｃは真空容器１に固定されたまま再利用されることになる。

図１（ｂ）に戻って、ニードル接続治具１４は内部をニードルパイプ１５ａが自在に前後移動することができるように構成されている。ニードルパイプ１５ａは内部に流路が形成され、隙間空間５と、可動配管１５ｂを介して第１配管１５にそれぞれ連通している。なお、可動配管１５ｂは例えばベローズ構造等から成る可撓性を有するフレキシブル配管である。従って、ニードルパイプ１５ａを隙間空間５の樹脂シート開口部４ａ１に近接させることが可能となり、これによりニードルパイプ１５ａを介して隙間空間５に対する圧力制御が可能となると共に、圧力測定が可能となる。ニードル接続治具１４の詳細については図４を参照しながら後述する。

第１真空ポンプ１１は、真空容器１を真空排気するための真空ポンプであり、例えばルーツ型真空ポンプ（図示せず）と、ルーツ型真空ポンプの後段に接続される油回転型真空ポンプ（図示せず）とから構成される複合ポンプを使用することができる。

図１（ａ）に戻って第１真空計１２は、真空容器１の真空度を計測するための真空計であり、例えばピラニ真空計を使用することができる。

第１ヘリウムガス検出器１３は、第１漏れ検査において使用される。「第１漏れ検査」とは、第１溶着シール部４ａ及び第２溶着シール部４ｂ、更にはニードル接続治具１４から外部の真空容器１内へ漏れ出るヘリウムガスを検出する漏れ検査である。この第１漏れ検査は第２漏れ検査が終了する迄続けられる。

第１配管１５は、隙間空間５に対する圧力制御および圧力測定用の配管である。そのため、第１配管１５は真空排気系の第２真空ポンプ１６、圧力計測系の第２真空計１７、漏れ流量測定系の第２ヘリウムガス検出器１８、およびヘリウムガス導入系のヘリウムガスボンベ１９にそれぞれ連通している。

第２真空ポンプ１６は、隙間空間５を真空排気するための真空ポンプであり、例えば油回転型ポンプなど低真空で稼働する容積移送式真空ポンプを使用することができる。

第２ヘリウムガス検出器１８は、第２漏れ検査において使用される。「第２漏れ検査」とは、樹脂シート開口部４ａ１（図２（ｂ）が溶着シールされた第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出るヘリウムガスを検出する漏れ検査である。

第２真空計１７は、隙間空間５の真空度を計測するための真空計であり、第１真空計１２と同様にピラニ真空計を使用することができる。

図４は、本発明に係るニードル接続治具１４の構成を示す説明図である。図４（ａ）は第１段階の溶着シール工程後のニードル接続治具１４の状態を表している。図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ矢視を表している。図４（ｃ）は隙間空間５のヘリウム漏洩防止手段を表している。

ニードル接続治具１４は、上下２つの樹脂シート４,４の間に挟み込まれる扁平部１４ａと、扁平部１４ａと一体成形されたオス嵌合部１４ｂと、オス嵌合部１４ｂが圧入されるメス嵌合部１４ｃとから構成されている。

扁平部１４ａは、樹脂シート４と同一または相溶性のある高硬度の樹脂で作られ、例えば矩形かつ扁平形の形状を成している。扁平部１４ａの内部にはニードルパイプ１５ａが負荷なく前進・後退可能な貫通孔１４ａａが貫通している。なお、扁平部１４ａは、上記の高硬度の樹脂に限らず、弾力性を有する樹脂であっても良い。

オス嵌合部１４ｂは、扁平部１４ａと一体成形され、円筒形を成している。オス嵌合部１４ｂは内部をニードルパイプ１５ａが通る貫通孔１４ｂａが形成されている。

メス嵌合部１４ｃは金属製で、内部が大径部１４ｃａと小径部１４ｃｂとから成る二段円筒構造を成している。大径部１４ｃａにはオス嵌合部１４ｂが圧入される。小径部１４ｃｂにはニードルパイプ１５ａが挿通される。

大径部１４ｃａにはＯリング１４ｃｃが設けられ、オス嵌合部１４ｂの外周面とメス嵌合部１４ｃの大径部１４ｃａとの間の気密性が確保されている。同様に小径部１４ｃｂにもＯリング１４ｃｄが設けられ、ニードルパイプ１５ａの外周面とメス嵌合部１４ｃの小径部１４ｃｂとの間の気密性が確保されている。従って、図４（ｃ）に示されるように、隙間空間５は、第１溶着シール部４ａおよび第２溶着シール部４ｂ、並びにＯリング１４ｃｃ,１４ｃｄによって気密性が確保されている。

また、メス嵌合部１４ｃは、真空容器１に固定され、再利用されるようになっている。以下に、樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００による漏れ検査工程を説明する。

図５は、本発明の第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００による漏れ検査工程を示す説明図である。

プロセスＰ１では、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４で包装し、ニードル接続治具１４の扁平部１４ａを挟み込んで真空容器１内にセットする。図２（ａ）に示されるように、ニードル接続治具１４の扁平部１４ａは、上下２つの樹脂シート４,４の出っ張り部４ｆ２,４ｆ２で挟み込まれるようにする。また、上下２つの樹脂シート４,４は、第１溶着装置２－１で仮止めし動かないようにする。

プロセスＰ２では、第１真空バルブ２１を開とし、真空容器１を第１真空ポンプ１１により真空排気する。真空容器１の到達圧力は、例えば１００Ｐａ未満である。

プロセスＰ３では、第１溶着装置２－１により、上下２つの樹脂シート４,４の外周を溶着シールする。図６に示されるように、第１溶着装置２－１による溶着シール箇所は、樹脂シート４の内周面同士が溶着する第１溶着シール部４ａと、「樹脂シート４の内周面」と「ニードル接続治具１４の扁平部１４ａの外周面」が溶着する第２溶着シール部４ｂ（区間ｂ１－ｂ１）とから成っている。この第２溶着シール部４ｂは上下２箇所に形成されている。プロセスＰ３の溶着シール工程において、内蔵品３は、上下２つの樹脂シート４,４とニードル接続治具１４によって密閉されることになる。

なお、上下２つの樹脂シート４,４の内周面同士が接合する内で、区間ｂ２－ｂ２に相当する部位は、第１溶着装置２－１により溶着されない非溶着部（樹脂シート開口部４ａ１）として残ることになる。この樹脂シート開口部４ａ１については、第２漏れ検査の前に第２溶着装置２－２により溶着シールされることになる。

プロセスＰ４では、第３真空バルブ２３及び第４真空バルブ２４を開とし、隙間空間５（図６の右上がり斜線部分）とニードル導入空間６（右下がりの斜線部分、矩形ｂ１－ｂ２－ｂ２－ｂ１部分）を第２真空ポンプ１６によって真空排気する。隙間空間５の真空度は第２真空計１７によって測定される。

プロセスＰ５では、第１真空バルブ２１を閉じると共に、第２真空バルブ２２を開とし第１ヘリウムガス検出器１３によって真空容器１を真空排気するとともに漏れ無測定を行う。

プロセスＰ６では、第４真空バルブ２４を閉じると共に、第２ガスバルブ３２を開としヘリウムガスボンベ１９から隙間空間５にヘリウムガスを導入する。

プロセスＰ７では、第１ヘリウムガス検出器１３によって隙間空間５から第１溶着部４ａ及び第２溶着部４ｂを介して真空容器１内に漏れ出るヘリウムガス並びにニードル接続治具１４を介して真空容器１内に漏れ出るヘリウムガスを第１ヘリウムガス検出器１３によって検出する（第１漏れ検査）。なお、この第１漏れ検査は、後述する第２漏れ検査が終了する迄続けられる。

プロセスＰ８では、第２ガスバルブ３２を閉とし、第４真空バルブ２４を開とし第２真空ポンプ１６によって隙間空間５を再び真空排気する。隙間空間５の到達圧力は、第２漏れ検査を実施することができる十分なヘリウムガスが残量する真空圧、例えば１００Ｐａ以上である。

プロセスＰ９では、ニードルパイプ１５ａを後退させ、樹脂シート開口部４ａ１を第２溶着装置２－２によって溶着する。図７に示されるように、区間ｂ２－ｂ２で表された樹脂シート開口部４ａ１が溶着され、第３溶着シール部４ｃが形成される。これにより、隙間空間５は、内部に第２漏れ検査を実施することができる十分なヘリウムガスが残量する状態で、区間ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２を除く第１溶着シール部４ａと、区間ｂ２－ｂ２から成る第３溶着シール部４ｃによって気密に密閉されたことになる。

プロセスＰ１０では、第２真空ポンプ１６によって、第３溶着シール部４ｃから第２真空ポンプ１６に到る配管内部（ニードル導入空間６、ニードルパイプ１５ａ、第１配管１５および第２配管１６ａの各内部）を真空排気する。配管内部の到達圧力は、例えば１０Ｐａ未満である。

プロセスＰ１１では、第４真空バルブ２４を閉とすると共に第５真空バルブ２５を開とし、第２ヘリウムガス検出器１８によって第３溶着シール部４ｃから上記配管内部に漏れ出るヘリウムガスを検出する（第２漏れ検査）。なお、第２漏れ検査時においても第１漏れ検査は継続して実施される。すなわち、上下２つの樹脂シート４,４の内周面同士が溶着している溶着シール部のうちで、第３溶着シール部４ｃから上記配管内部への漏れの無いことは第２ヘリウムガス検出器１８によって保証され、第１溶着シール部４ａと第２溶着シール部４ｂと第３溶着シール部４ｃから外部の真空容器１内への漏れの無いことは第１ヘリウムガス検出器１３によって保証されることになる。

第１漏れ検査および第２漏れ検査の終了後に第１ガスバルブ３１を開とし、真空容器１を大気暴露し、上下２つの樹脂シート４,４を内蔵品３に密着させる。その後、図３（ａ）に示されるように、樹脂シート４,４の出っ張り部４ｆ２を切断し樹脂シート密封品１０を取り出す。

本発明の第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００の漏れ検査性能について以下のように調べた。

内蔵品３は比較的大型の電気製品を準備した。そのサイズは１０００ｍｍ×７５０ｍｍ×３０ｍｍの直方体であり、電気製品であることから数年以上の長期間の対候性が必要であり大気の遮断が求められるものである。このため樹脂シート４は数年以上の長期間の大気の透過を防御する必要があることから、大気成分ガスのガス透過率の低い材質から構成されている。したがって、樹脂シート４と内蔵品３の漏れ検査の漏れ流量の閾値（判定値）は１×１０^５Ｐａの大気圧に等しいヘリウムガスに対して１×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓと比較的低い漏れ流量である。

上記プロセスＰ１において内蔵品３及び上下２つの樹脂シート４,４は、図２（ａ）に示される形態で問題なく真空容器１内に設置することができた。同様に上記プロセスＰ２において第１真空ポンプ１１によって真空容器１を所望圧力（１００Ｐａ未満）に真空排気することができた。ここで上記プロセスＰ２において、真空容器１の圧力を１００Ｐａ未満とした理由は１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓの低い漏れ流量を検出するためと、第２漏れ検査のための樹脂シート４,４の袋内（隙間空間５）の圧力を１００Ｐａ以上に設定するためである。

また、上記プロセスＰ３における上下２つの樹脂シート４,４の内周面同士の溶着シール（第１溶着シール部４ａ）と、上下２つの樹脂シート４,４の各内周面とニードル接続治具１４（扁平部１４ａ）の各外周面との溶着シール（第２溶着シール部４ｂ）は、問題無く形成することができた。

また、上記プロセスＰ４における隙間空間５に対する真空排気、上記プロセスＰ６における隙間空間５に対するヘリウムガスの導入、並びに第１溶着シール部４ａ及び第２溶着シール部４ｂから外部の真空容器１内に漏れ出るヘリウムガスの検知（第１漏れ検査）についても問題無く実施することができた。

この第１漏れ検査は第２漏れ検査の終了まで継続して実施し、第１溶着シール部４ａと第２溶着シール部４ｂと、そして第３溶着シール部４ｃから外部の真空容器１内へ漏れ出るヘリウムガスの漏れを検出した。

上記プロセスＰ８からプロセスＰ１１に係る樹脂シート開口部４ａ１の溶着とその漏れ検査、すなわち隙間空間５の圧力と、第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側に漏れ出るヘリウム漏れ流量［Ｐａ・ｍ^３/ｓ］についての時間推移の結果について図８に示す。隙間空間５の圧力については、ニードルパイプ１５ａ、第１配管１５及び第３配管１８ａを介して第２真空計１７によって計測される。ヘリウム漏れ流量［Ｐａ・ｍ^３/ｓ］については、ニードルパイプ１５ａ及び第１配管１５を介して第２ヘリウムガス検出器１８によって検出される。なお、図８は、第３溶着シール部４ｃに漏れが無い場合の結果である。

以降では、樹脂シート開口部４ａ１を溶着して生じた第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側（ニードル導入空間６、ニードルパイプ１５ａ、可動配管１５ｂ、第１配管１５の各内部）へ漏れ出るヘリウムガスの漏れ検査（第２漏れ検査）について記述する。

図８に示されるように、第２真空ポンプ１６による真空排気開始から第２真空計１７の圧力が１０００Ｐａに達した２秒後に、樹脂シート開口部４ａ１に対する溶着を開始した。溶着の完了は７秒後であった。この時の第２真空計１７の圧力は２４０Ｐａであった。ここで、樹脂シート４袋内（隙間空間５）の圧力が２４０Ｐａと仮定した場合、漏れ閾値は１．０×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓと見積もられた。

その後、第２真空ポンプ１６による真空排気を継続し、開始１５秒後に第５真空バルブ２５を開きヘリウムガス検出器１８によるヘリウム漏れ流量の測定を開始した。なお、開始から２７秒後まで第２真空ポンプ１６と第２ヘリウムガス検出器１８により真空排気を継続した。この間ヘリウム漏れ流量は１０^－５Ｐａ・ｍ^３/ｓから１０^－９Ｐａ・ｍ^３/ｓに低下した。

そして、第２漏れ検査の開始から２７秒後に第４真空バルブ２４を閉じ第２ヘリウムガス検出器１８のみの真空排気としヘリウム漏れ流量の検出を継続した。ヘリウム漏れ流量は３４秒後に１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに、約４５秒後に１×１０^－１１Ｐａ・ｍ^３/ｓに到達した。漏れ閾値は１.０×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓであるが、１０^－１１Ｐａ・ｍ^３／ｓを安定に示すまで待機すると、第２漏れ検査は樹脂シート開口部４ａ１の溶着シールに係る時間を含めても、約４５秒で完了できることがわかる。なお、第１漏れ検査は約３０秒であったことから、第１実施形態の樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００による漏れ検査時間は、約７５秒（＝３０秒＋４５秒）であった。

以上の通り、第２漏れ検査は問題無く実施できた。

しかしながら、第１実施形態の第２漏れ検査には、以下の２つの課題がある。その一つは、真空排気開始から７秒後に樹脂シート開口部４ａ１に対する溶着が完了するが、溶着時における圧力低下（圧力変動）が大きくなる事態が起こり得る。この場合、「隙間空間５の圧力」と「第２真空計１７での圧力」との圧力差も大きくなることになる。「溶着時の隙間空間５の圧力」は直接的に計測することが出来ないため、「隙間空間５の圧力の推移」を「第２真空計１７での圧力の推移」に殆ど等しいと見なして、「溶着時の第２真空計１７での圧力」を基にヘリウム漏れ流量の閾値を設定している。従って、溶着時における第２真空計１７での圧力低下が大きくなることは、最悪の場合、設定したヘリウム漏れ流量の閾値の妥当性を欠くことになり、漏れ検査の信頼性を低下させることが発現する。

もう一つは、ニードル接続治具１４、第１配管１５、及び第２ヘリウムガス検出器１８の残留ヘリウムの影響である。これは第２漏れ検査において、真空排気の開始１５秒から２８秒のところで、第２ヘリウムガス検出器１８は漏れ流量１０^－４Ｐａ・ｍ^３/ｓから１０^－９Ｐａ・ｍ^３/ｓでヘリウムガスを検出したが、この時にニードル接続治具１４、第１配管１５、及び第２ヘリウムガス検出器１８にヘリウムが残留することがあり、多数回の検査の実行を困難にする。以下では、上記２つの課題を解決する樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００について説明する。

（第２実施形態）
図９は、本発明の第２実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００の要部構成を示す説明図である。
この樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００は、上記第２漏れ検査の課題を解決するために、第１実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００に対して、以下に記す改善を施した。

先ず、真空排気後の樹脂シート開口部４ａ１の溶着時の圧力変動（圧力低下）を小さくするために、即ち、溶着時の圧力勾配を小さくするために、第４真空バルブ２４から第２真空ポンプ１６に到る真空排気流路（第２配管１６ａ）と並列に、第６真空バルブ２６と第１小コンダクタンス部品４１が直列に接続された真空排気流路を第２真空ポンプ１６に別途接続し、真空排気による圧力低下が緩やかになるようにした。

ここで、第１小コンダクタンス部品４１のコンダクタンス値［ｍ^３/ｓ］については、第１小コンダクタンス部品４１が有る場合のニードルパイプ１５ａの入口での実効排気速度Ｓ’_ｅｆｆ［ｍ^３/ｓ］が無い場合の実効排気速度Ｓ_ｅｆｆ［ｍ^３/ｓ］に比べ小さくなるような小さい値に設定した。このように第１小コンダクタンス部品４１のコンダクタンス値［ｍ^３/ｓ］を小さく設定することにより、溶着時における排気の時定数τ（＝Ｖ/Ｓ’_ｅｆｆ）が長くなり、これにより溶着時の圧力低下を緩やかにでき、その結果、溶着時の第２真空計１７の圧力と溶着時の隙間空間５の封入圧力をほぼ同じと見なすことができるようになる。

次に、多数回の検査の実行を困難にする漏れ検査装置内での残留ヘリウムガスを低減するために、第１配管１５に対し第３ガスバルブ３３を介し且つヘリウムガス検出器１８には第４ガスバルブ３４を介し、窒素ガスボンベ４０を接続した。これにより、真空容器１から樹脂シート密閉品１０を取り出した後に、真空排気系統に残留するヘリウムガスの大部分を窒素ガスで掃気することが可能となる。

上記改良を施した樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００を用いて、実施形態１と同一の漏れ検査工程を実施した。ここで真空排気開始２秒後から７秒後の溶着工程の真空排気において、緩やかな圧力低下を実現するために、第４真空バルブ２４を閉とし、第６真空バルブ２６を開とし第１小コンダクタンス部品４１を介した真空排気とした。

図１０は、第２漏れ検査における樹脂シート開口部４ａ１の溶着前後の圧力と、第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の結果を示すグラフである。

真空排気の開始２秒後から７秒後において第２真空計１７の圧力は、開始２秒後の圧力が１３００Ｐａ、５秒後の圧力が１０００Ｐａ、７秒後の圧力が８５０Ｐａと緩やかに低下した。５秒後から７秒後の圧力の平均値は９３０Ｐａであった。これを溶着直前の第２真空計１７の圧力とした。

一方、ニードルパイプ１５ａの入口の位置での実効排気速度と第２真空計１７の位置での実効排気速度から、樹脂シート４の開口溶着部（第３溶着シール部４ｃ）の溶着直前の圧力は１１００Ｐａと算出することができた。これにより、第２漏れ検査の漏れ閾値が検査毎に大きく変化することなく、ほぼ一定値に設定することが可能となった。このことは、樹脂シート４の封止圧力が明らかになることで、樹脂シート密閉品１０の品質管理を向上することが可能になると考えられる。

図１０の真空排気の開始７秒後以降の第２真空計１７の圧力と第２ヘリウムガス検出器１８の漏れ流量の時間推移は、第１実施形態の樹脂シート密閉品漏れ検査装置１００の結果と類似した。これは、開始７秒後以降の溶着後は、排気する体積が小さく且つ排気速度が大きいことから数１００Ｐａの真空排気が１秒未満の短時間で行われるからである。

第２ヘリウムガス検出器１８による漏れ検査（第２漏れ検査）は、１５秒から開始するが、第２ヘリウムガス検出器１８のみの排気による開始から２８秒後以降のヘリウム漏れ流量は、２９秒後に１×１０^－９Ｐａ・ｍ^３/ｓに、３４秒後には１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに到達した。ここで、第２実施形態の漏れ検査では、溶着直前の樹脂シート開口部４ａ１の圧力が１１００Ｐａと判明していることから、第２漏れ検査の漏れ閾値は、５．６×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓと見積もることが可能であった。５．６×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに到達する時間は３０秒であった。これより、漏れ流量の閾値が確定できなかった第１実施形態よりも第２実施形態の検査の方が信頼性を高く且つ時間短縮もできると言える。

次に、多数回の検査の実行を困難にする漏れ検査装置内での残留ヘリウムガスを低減するために、検査終了後に第３真空バルブ２３と第４真空バルブ２４と第６真空バルブ２６と第７真空バルブ２７を閉じ、第３ガスバルブ３３を開けて窒素ガスボンベ４０から窒素ガスを流して第１配管１５を窒素ガスで大気圧まで暴露し、その後、第３ガスバルブ３３を閉じ第４真空バルブ２４を開けて第２真空ポンプ１６により窒素ガスを真空排気し、同時に第４ガスバルブ３４を開け窒素ガスボンベ４０から微量の窒素ガスを流しながら第２ヘリウムガス検出器１８を稼働した。なお、検査終了後から樹脂シート密閉品１０の交換と、第１段階の真空容器１の真空排気と、第１段階の上下２つの樹脂シート４,４の溶着工程（第１溶着シール部４ａ、第２溶着シール４ｂ）と、そして第１漏れ検査のためのヘリウムガスの導入までに要した時間は約２０秒であることから、第１配管１５の残留ヘリウム低減工程は２回実施することが可能であった。

残留ヘリウム低減工程を検査毎に２回実施し、第２漏れ検査の第２ヘリウムガス検出器１８によるヘリウム漏れ流量検出の開始時刻について、ヘリウム漏れ流量１０^－５Ｐａ・ｍ^３/ｓが検出される１５秒後から１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓが検出される２０秒後に変更し、漏れ検査を繰り返し実行したところ、１００回に及ぶ漏れ検査が実行可能であった。

以上の通り、本発明の第２実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００を用いれば、樹脂シート密閉品の漏れ検査が多数回実行することができる。

（第３実施形態）
図１１は、本発明の第３実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００の要部構成を示す説明図である。この樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００は、第２実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置２００よりもさらに第２漏れ検査について改善を施したものである。

具体的には真空排気後の樹脂シート開口部４ａ１の溶着完了の時のヘリウム濃度を決定するために、第１配管１５から第２ヘリウムガス検出器１８への真空排気流路として、第５真空バルブ２５（第３配管１８ａ）と並列に第８真空バルブ２８を介して２×１０^－１０ｍ^３/ｓの非常に小さいコンダクタンス値を持つ第２小コンダクタンス部品４２を接続した。さらに、真空排気の開始１５秒後以降の第２ヘリウムガス検出器１８によるヘリウム検出において、第２ヘリウムガス検出器１８での残留ヘリウムを低減するために、第５真空バルブ２５（第３配管１８ａ）と並列に第９真空バルブ２９を介して２×１０^－６ｍ^３/ｓの小さいコンダクタンス値を持つ第３小コンダクタンス４３を接続し、低い漏れ流量での測定とした。

このように改善した樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００を用いて、第１実施形態の工程と同一の漏れ検査を実行した。ここで、真空排気開始２秒後から１５秒後までは、第２真空ポンプ１６と、第８真空バルブ２８及び第２小コンダクタンス部品４２を介して第２ヘリウムガス検出器１８によって真空排気した。そして１５秒後から３９秒後までは、第２真空ポンプ１６と、第９真空バルブ２９及び第３小コンダクタンス部品４３を介して第２ヘリウムガス検出器１８によって真空排気した。そして３９秒後以降は第５真空バルブ２５を介して第２ヘリウムガス検出器１８のみによって真空排気した。

図１２は、樹脂シート開口部４ａ１の溶着時の隙間空間５の圧力と、第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の結果を示すグラフである。

真空排気の開始２秒後から７秒後において第２真空計１７の圧力は、開始２秒後の圧力が１３００Ｐａ、５秒後の圧力が１０００Ｐａ、７秒後の圧力が８５０Ｐａと緩やかに低下した。５秒後から７秒後の圧力の平均値は９３０Ｐａであった。これを溶着直前の第２真空計１７の圧力とした。そして、樹脂シート４の開口溶着部（樹脂シート開口部４ａ１）の溶着直前の圧力は、１０８０Ｐａと見積もられた。

一方、真空排気の開始２秒後から７秒後において第２ヘリウムガス検出器１８によって検出されたヘリウム漏れ流量は、開始２秒後の漏れ流量が２.４４×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓ、５秒後の漏れ流量が１.８８ ×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓ、７秒後の圧力が１．６０×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓと緩やかに低下した。５秒後から７秒後の漏れ流量の平均値は１．７４×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓであった。第２ヘリウムガス検出器１８に接続した第２小コンダクタンス部品４２のコンダクタンスは２×１０^－１０ｍ^３/ｓであることから、第２真空計１７の位置でのヘリウム分圧は８６９Ｐａと見積もられ、ヘリウム濃度は９４％と算出された。

樹脂シートの封止圧力が１０８０Ｐａであり、そのヘリウム濃度は９４％と推定できることから、第２漏れ検査のヘリウム漏れ流量の閾値は５．１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓと算出される。このように第３実施形態の樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００は、検査毎の漏れ流量の閾値を規定できることから高信頼な検査が実行可能である。

図１２の１５秒後から３８秒のヘリウム漏れ流量は１×１０^－６Ｐａ・ｍ^３/ｓから６×１０^－１１Ｐａ・ｍ^３/ｓに時間推移した。これは、２×１０^－６ｍ^３/ｓの小さいコンダクタンス値を持つ第３小コンダクタンス部品４３を介して第２ヘリウムガス検出器１８にヘリウムガスを導入したからであり、残留ヘリウム対策が有効に働いていることがわかる。

次に、第２ヘリウムガス検出器１８のみにヘリウムガスを導入した３８秒以降において、ヘリウム漏れ流量は４０秒後に１×１０^－９Ｐａ・ｍ^３/ｓに４６秒後に１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに到達した。この第２漏れ検査で測定されるヘリウム漏れ流量が閾値５．１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓ以下に到達する時間は約４２秒であった。この時間は、第２実施形態２のそれと比較すると約１０秒長くなっているが、これは開始１５秒後以降の真空排気において、第２小コンダクタンス部品４３を介して第２ヘリウムガス検出器１８にヘリウムガスを導入したためである。

一方、第３実施形態の工程で漏れ検査を実行し且つ検査終了後に窒素ガスによる残留ヘリウム低減工程を検査毎に２回実施して漏れ検査を繰り返し実行したところ、２００回の漏れ検査を実行しても第２ヘリウムガス検出器１８は安定していた。

以上のように、第３実施形態の樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００を用いれば、樹脂シート密閉品１０の精緻な漏れ検査が多数回実行することができる。

（第４実施形態）
第１漏れ検査の探査ガスの漏れ閾値が１０^－８Ｐａ・ｍ^３/ｓオーダー以下になると、「樹脂シート４,４と内蔵品３との間に形成される隙間空間５」と「探査ガス供給用の金属製配管（第１配管１５）」を接続するための樹脂製の配管接続治具１４のガス透過を低減する必要がある。これは、配管接続治具１４に使用される樹脂として容易溶着な樹脂が使用されるが、これらの樹脂は高いガス透過性を持つためである。

図１３は、本発明の第４実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の配管接続治具１４’の要部構成を示す説明図である。この配管接続治具１４’は、隙間空間５への探査ガスの導入・真空排気部となるオス嵌合部１４ｂ’を細いパイプ形状（小型中空円筒形）としたものであり、ガス透過面積を小さくすることでガス透過量を抑制するものである。詳細には、図１３（ａ）に示されるように、オス嵌合部１４ｂ’では上記ニードル接続治具１４が備えている扁平部１４ａを廃止し、オス嵌合部１４ｂの軸長を延伸し且つ外径を小さくして細いパイプ形状としている。他方、メス嵌合部１４ｃ’では上記ニードル接続治具１４の二段円筒形を小さい方の外径の一段の円筒形としている。

また、オス嵌合部１４ｂ’は樹脂シート４と同一または相溶性のある高硬度の樹脂（容易溶着樹脂）で作られている。メス嵌合部１４ｃ’は金属製である。

図１３（ｂ）に示されるように、オス嵌合部１４ｂ’とメス嵌合部１４ｃ’は共に小型化されガス透過面積が小さくなっていることが見て取れる。

図１３（ｃ）に示されるように、樹脂シート４開口部４ａ１の封止は、樹脂シート４の内周面同士を溶着することによって行われることになる。
従って、第２漏れ検査では
第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出る探査ガスの漏れ流量が第２ヘリウムガス検出器１８によって検出されることになる。

なお、第１配管１５は直にメス嵌合部１４ｃ’に接続されているが、ニードルパイプ１５ａと可動配管１５ｂを使用してメス嵌合部１４ｃ’に接続するようにしても良い。

細いパイプ形状の配管接続治具１４’を用いて、第１実施形態の工程と同一の漏れ検査を実行した。第１漏れ検査の漏れ閾値は１×１０^－８Ｐａ・ｍ^３/ｓと微量の漏れ流量であったが、第１漏れ検査は３０秒の時間で問題無く実施できた。

次に、樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００を使用して第２漏れ検査を実行した。ここで、真空排気開始４秒後から３０秒後までは、第２真空ポンプ１６と、第８真空バルブ２８及び第２小コンダクタンス部品４２を介して第２ヘリウムガス検出器１８によって真空排気した。そして３０秒後から６２秒後までは、第２真空ポンプ１６と、第９真空バルブ２９及び第３小コンダクタンス部品４３を介して第２ヘリウムガス検出器１８によって真空排気した。そして６２秒後以降は第５真空バルブ２５を介して第２ヘリウムガス検出器１８のみによって真空排気した。

図１４は、樹脂シート開口部４ａ１の溶着時の隙間空間５の圧力と、第４溶着シール部４ｄから第１配管１５側へ漏れ出るヘリウム漏れ流量についての時間推移の結果を示すグラフである。真空排気の開始４秒後から９秒後において第２真空計１７の圧力は、開始４秒後の圧力が９５０Ｐａ、７秒後の圧力が８７０Ｐａ、９秒後の圧力が６３０Ｐａと緩やかに低下した。７秒後から９秒後の圧力の平均値は６８０Ｐａであった。これを溶着直前の第２真空計１７の圧力とした。そして、樹脂シート開口部４ａ１の溶着直前の圧力は、１０２０Ｐａと見積もられた。

一方、真空排気の開始４秒後から９秒後において第２ヘリウムガス検出器１８によって検出されたヘリウム漏れ流量は、開始４秒後の漏れ流量が１．８２×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓ、７秒後の漏れ流量が１．４０×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓ、９秒後の圧力が１．２１×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓと緩やかに低下した。７秒後から９秒後の漏れ流量の平均値は１．３０×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓであった。第２ヘリウムガス検出器１８に接続した第２小コンダクタンス部品４２のコンダクタンスは２×１０^－１０ｍ３/ｓであることから、第２真空計１７の位置でのヘリウム分圧は６５０Ｐａと見積もられ、ヘリウム濃度は９５％と算出された。

樹脂シートの封止圧力が１０２０Ｐａであり、そのヘリウム濃度は９５％と推定できることから、第２漏れ検査のヘリウム漏れ流量の閾値は５．８×１０^－１１Ｐａ・ｍ^３/ｓと算出される。

図１４の３０秒後から６２秒のヘリウム漏れ流量は１.７×１０^－７Ｐａ・ｍ^３/ｓから１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに時間推移した。これは、２×１０^－６ｍ^３/ｓの小さいコンダクタンス値を持つ第３小コンダクタンス部品４３を介して第２ヘリウムガス検出器１８にヘリウムガスを導入したからである。

次に、第２ヘリウムガス検出器１８のみにヘリウムガスを導入した６２秒以降において、ヘリウム漏れ流量は７３秒後に１×１０^－１０Ｐａ・ｍ^３/ｓに８６秒後に１×１０^－１１Ｐａ・ｍ^３/ｓに到達した。この第２漏れ検査で測定されるヘリウム漏れ流量が閾値５．８×１０^－１１Ｐａ・ｍ^３/ｓ以下に到達する時間は約７６秒であった。この時間は、第３実施形態のそれと比較すると約３５秒長くなっているが、これは細いパイプ形状の配管接続治具１４’のコンダクタンスが小さいためである。なお、第１漏れ検査の時間は約３０秒であったことから、第４実施形態の細いパイプ形状の配管接続治具１４’を用いた樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００の漏れ検査時間は、約１０６秒（＝３０秒＋７６秒）であった。

以上のように、第４実施形態の細いパイプの配管接続治具１４’を具備した樹脂シート密閉品漏れ検査装置３００を用いれば、樹脂シート密閉品１０の精緻な漏れ検査が多数回実行することができる。

（第５実施形態）
図１５は、本発明の第５実施形態に係る樹脂シート密閉品漏れ検査装置の配管接続治具１４”の要部構成を示す説明図である。この配管接続治具１４”は、隙間空間５への探査ガスの導入・真空排気部となるオス嵌合部１４ｂ’を二重管構造とし、内管１４ｂａ’に探査ガスを供給するが、外管１４ｂｂと内管１４ｂａ’との間の空間を真空排気することで真空容器１内への探査ガスの透過を抑制するものである。詳細には、図１５（ａ）に示されるように、オス嵌合部１４ｂ”では上記ニードル接続治具１４が備えている扁平部１４ａを廃止し、オス嵌合部１４ｂの軸長を延伸し且つ内管１４ｂａ’と外管１４ｂｂから成る二重管構造としている。他方、メス嵌合部１４ｃ”では内管１４ｂａ’の外径より大きく外管１４ｂｂの内径より小さい中径部１４ｃｅを設けると共に、内管１４ｂａ’の気密性を保持するＯリング１４ｃｆを設けている。更に内管１４ｂａ’から透過する探査ガスを回収するための真空排気路１４ｃｇが中径部１４ｃｅに設けられている。

また、オス嵌合部１４ｂ”は樹脂シート４と同一または相溶性のある高硬度の樹脂（容易溶着樹脂）で作られている。メス嵌合部１４ｃ”は金属製である。

図１５（ｂ）に示されるように、オス嵌合部１４ｂ”は内管１４ｂａ’と外管１４ｂｂから成る二重管構造を成していることが見て取れる。

図１５（ｃ）に示されるように、樹脂シート４開口部４ａ１の封止は、樹脂シート４の内周面同士を溶着することによって行われることになる。従って、第２漏れ検査では第３溶着シール部４ｃから第１配管１５側へ漏れ出る探査ガスの漏れ流量が第２ヘリウムガス検出器１８によって検出されることになる。

なお、第１配管１５は直にメス嵌合部１４ｃ”に接続されているが、ニードルパイプ１５ａと可動配管１５ｂを使用してメス嵌合部１４ｃ’に接続するようにしても良い。

以上、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明してきた。本発明の実施形態は上記だけに限定されることはなく、本発明の技術的特徴を逸脱しない範囲内において種々の修正・変更を加えることが可能である。例えば、探査ガスについてはヘリウムに代えて、他のガス（例えば、水素、アルゴン、空気）を使用することも可能である。また、探査ガス検出器はヘリウムガス検出器であるヘリウムリークディテクターに代えて、四重極質量分析器や放電発光ガス分析器を使用することも可能である。

また、溶着シール部の形状については、内蔵品３を上下２つの樹脂シート４,４によって密閉し且つ扁平部１４ａを挟み込むことが可能な「出っ張り部」を有する「始点と終点が一致した」閉曲線であれば良く、上記凸角形のみに限定されない。また、溶着シール部を形成する溶着装置（ヒートシーラー）の外形についても、所望の形状で樹脂シート４,４の内周面同士、或いは樹脂シート４の内周面と扁平部１４ａの外周面を溶着シールすることができれば良く、上記実施形態の形状のみに限定されない。

また、第１溶着シール部４ａ、第２溶着シール部４ｂ及び第３溶着シール部４ｃについては、１台の溶着装置によって形成するようにしても良い。

符合の説明

１ 真空容器
２－１ 第１溶着装置
２－２ 第２溶着装置
３ 内蔵品
４ 樹脂シート
４ 樹脂シート
４ａ 第１溶着シール部
４ａ１ 樹脂シート開口部
４ｂ 第２溶着シール部
４ｃ 第３溶着シール部
４ｆ 裾部
４ｆ１ 四角フレーム部
４ｆ２ 出っ張り部
５ 隙間空間
６ ニードル導入空間（配管導入空間）
１０ 樹脂シート密閉品
１１ 第１真空ポンプ
１２ 第１真空計
１３ 第１ヘリウムガス検出器
１４ ニードル接続治具（配管接続治具）
１４ａ 扁平部
１４ａａ 貫通孔
１４ｂ オス嵌合部
１４ｂ’ オス嵌合部
１４ｂ” オス嵌合部
１４ｂａ 貫通孔
１４ｂａ’内管
１４ｂｂ 外管
１４ｃ メス嵌合部
１４ｃ’ メス嵌合部
１４ｃ” メス嵌合部
１４ｃａ 大径部
１４ｃｂ 小径部
１４ｃｃ Ｏリング
１４ｃｄ Ｏリング
１５ 第１配管
１５ａ ニードルパイプ（配管）
１５ｂ 可動配管
１６ 第２真空ポンプ
１６ａ 第２配管
１７ 第２真空計
１８ 第２ヘリウムガス検出器
１８ａ 第３配管
１９ ヘリウムガスボンベ
１９ａ 第４配管
２１ 第１真空バルブ
２２ 第２真空バルブ
２３ 第３真空バルブ
２４ 第４真空バルブ
２５ 第５真空バルブ
２６ 第６真空バルブ
２７ 第７真空バルブ
３１ 第１ガスバルブ
３２ 第２ガスバルブ
３３ 第３ガスバルブ
３４ 第４ガスバルブ
４０ 窒素ガスボンベ
４０ａ 第５配管
４１ 第１小コンダクタンス部品
４２ 第２小コンダクタンス部品
４３ 第３小コンダクタンス部品
１００ 樹脂シート密閉品漏れ検査装置
２００ 樹脂シート密閉品漏れ検査装置
３００ 樹脂シート密閉品漏れ検査装置

Claims (17)

1. 内蔵品（３）が上下２つの樹脂シート（４、４）の溶着によって真空状態で密着シールされた樹脂シート密閉品（１０）を、所定の真空度に維持された真空容器（１）の内部に設置し探査ガスを用いて漏れ検査を行う樹脂シート密閉品漏れ検査方法であって、
   前記内蔵品（３）を樹脂シート（４、４）で被覆する際、真空排気または探査ガス導入の為の配管接続治具（１４）を前記樹脂シート（４、４）の一部で挟み込んで、
   「前記内蔵品（３）を内側に含み且つ一部分が外側に張り出した出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）を形成するように」溶着シール部（４ａ、４ｂ）を形成し、
   前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）に形成された狭小の樹脂シート開口部（４ａ１）から前記樹脂シート（４、４）と前記内蔵品（３）及び前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）との間に形成された隙間空間（５）に探査ガスを導入し、前記溶着シール部（４ａ、４ｂ）から外部の前記真空容器（１）内に漏れ出る探査ガスを検出する第１漏れ検査を実施し、
   そして、前記隙間空間（５）を「漏れ流量を検出可能な大気圧未満の探査ガスが十分残留する」圧力まで真空排気して、
   次に前記樹脂シート開口部（４ａ１）を密閉する溶着シール部（４ｃ）を形成し、該溶着シール部（４ｃ）から前記配管接続治具（１４）の下流側に漏れ出る探査ガスを検出する第２漏れ検査を実施する
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
2. 請求項１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記第１漏れ検査は、前記第２漏れ検査の終了まで継続することで、前記溶着シール部（４ａ、４ｂ）に加えて「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」から外部の前記真空容器（１）内に漏れ出る探査ガスを検出する
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
3. 請求項１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記出っ張り部（ｂ２－ｂ１－ｂ１－ｂ２）が前記配管接続治具（１４）を横切るように前記樹脂シート（４、４）を溶着シールすると共に、
   前記樹脂シート（４、４）によって挟み込まれる前記配管接続治具（１４）の部分（１４ａ）は扁平部（１４ａ）となるように形成する
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
4. 請求項１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記配管接続治具（１４）の内部を配管（１５ａ）が気密性を保持しながら前後に移動することができる
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
5. 請求項１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記樹脂シート（４）の中央部に前記内蔵品（３）が嵌まる凹部（４ｒ）を形成し、該凹部（４ｒ）の裾部（４ｆ、４ｆ）を四角フレーム部（４ｆ１）と出っ張り部（４ｆ２）が組み合わされた凸形状とした
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
6. 請求項１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記隙間空間（５）を所定の圧力まで真空排気し、前記樹脂シート開口部（４ａ１）を溶着する際、前記隙間空間（５）の圧力変動が真空排気開始時の圧力変動よりも小さくなる状態にした後に溶着シールする
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
7. 請求項６に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   前記第２漏れ検査を実施する際、探査ガスの漏れ流量を測定する探査ガス検出器（１８）に導入される探査ガスの流量が、「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」を真空排気する真空ポンプ（１６）に導入される探査ガスの流量よりも少なくなるようにする
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
8. 請求項７に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査方法において、
   「前記樹脂シート開口部（４ａ１）に係る前記溶着シール部（４ｃ）」から前記配管接続治具（１４）の下流側へ漏れ出る探査ガスの漏れ流量を測定した後に、真空排気系統および漏れ流量測定系統を探査ガス以外の不活性ガスで掃気する
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査方法。
9. 樹脂シート（４、４）によって被覆された内蔵品（３）と、前記樹脂シート（４、４）の一部によって挟み込まれた配管接続治具（１４）を所定の真空環境下で収容する真空容器（１）と、
   前記内蔵品（３）の周囲に形成された前記真空容器（１）の内部空間を真空排気する第１真空ポンプ（１１）と、
   前記樹脂シート（４、４）の重複部分（４ｆ、４ｆ）を外周に沿って凸形状に溶着し、凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）を形成する一対の第１溶着装置（２－１）と、
   前記樹脂シート（４、４）と前記内蔵品（３）との間に形成される隙間空間（５）を真空排気する第２真空ポンプ（１６）と、
   前記隙間空間（５）に探査ガスを導入する探査ガス源（１９）と、
   前記隙間空間（５）、前記第２真空ポンプ（１６）及び前記探査ガス源（１９）に各々連通した第１配管（１５）と、
   前記凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）から外部の前記真空容器（１）の内部に漏れ出る前記探査ガスの漏れ流量を検出する第１探査ガス検出器（１３）と、
   前記凸形状の溶着シール部（４ａ、４ｂ）の２つの凹角部（ｂ２、ｂ２）の間に挟まれた狭小の樹脂シート開口部（４ａ１）を溶着し、線状の溶着シール部（４ｃ）を形成する一対の第２溶着装置（２－２）と、
   前記線状の溶着シール部（４ｃ）から前記配管接続治具（１４）を介して前記第１配管（１５）の下流側に漏れ出る前記探査ガスの漏れ流量を検出する第２探査ガス検出器（１８）とを備えた
   ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
10. 請求項９に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記配管接続治具（１４）は、内部に貫通部（１４ａａ、１４ｂａ）を有する「扁平部（１４ａ）と円筒部（１４ｂ）が前記樹脂シート（４、４）と相溶性のある樹脂で一体成形された」成形品を備え、
    前記扁平部（１４ａ）は、前記樹脂シート（４、４）の重複部分（４ｆ、４ｆ）のうちで前記樹脂シート開口部（４ａ１）から外側に張り出した部位（４ｆ２、４ｆ２）によって挟み込まれる
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
11. 請求項１０に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記第１配管（１５）に可撓性を有する可動配管（１５ｂ）を介して接続された配管（１５ａ）が、前記貫通部（１４ａａ、１４ｂａ）に前後移動自在に配置されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
12. 請求項１１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記扁平部（１４ａ）の内部に前記配管（１５ａ）が前後移動可能な貫通した貫通孔（１４ａａ）が形成されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
13. 請求項１１に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記配管接続治具（１４）は、前記円筒部（１４ｂ）が嵌まる大径部（１４ｃａ）と前記配管（１５ａ）が通る小径部（１４ｃｂ）とを備えた金属製のメス型円筒部（１４ｃ）を別途有し、
    前記円筒部（１４ｂ）と前記大径部（１４ｃａ）との間、並びに前記配管（１５ａ）と前記小径部（１４ｃｂ）との間には気密性を保持するシール部材（１４ｃｃ、１４ｃｄ）がそれぞれ設けられている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
14. 請求項９に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記樹脂シート（４）の裾部（４ｆ）は四角フレーム部（４ｆ１）と出っ張り部（４ｆ２）が組み合わされた凸形状を成し、前記裾部（４ｆ）の内側には前記内蔵品（３）が嵌まる凹部（４ｒ）が形成されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
15. 請求項９に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記第１配管（１５）と前記第２真空ポンプ（１６）を連結する第２配管（１６ａ）に対し、該第２配管（１６ａ）より小さいコンダクタンス値を有する１又は複数の小コンダクタンス部品（４１）が並列に接続されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
16. 請求項９に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    前記第１配管（１５）と前記第２探査ガス検出器（１８）を連結する第３配管（１８ａ）に対し、該第３配管（１８ａ）より小さいコンダクタンス値を有する１又は複数の小コンダクタンス部品（４２、４３）が並列に接続されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。
17. 請求項９に記載の樹脂シート密閉品漏れ検査装置において、
    探査ガス以外の不活性ガスが前記第２真空ポンプ（１６）及び前記第２探査ガス検出器（１８）に対し並列に供給可能に構成されている
    ことを特徴とする樹脂シート密閉品漏れ検査装置。