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JP2025014358A - Method for calculating correction value for industrial robot and method for controlling industrial robot - Google Patents

Method for calculating correction value for industrial robot and method for controlling industrial robot Download PDF

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JP2025014358A
JP2025014358A JP2023116852A JP2023116852A JP2025014358A JP 2025014358 A JP2025014358 A JP 2025014358A JP 2023116852 A JP2023116852 A JP 2023116852A JP 2023116852 A JP2023116852 A JP 2023116852A JP 2025014358 A JP2025014358 A JP 2025014358A
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康一 戸崎
Koichi Tozaki
卓也 水谷
Takuya Mizutani
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Original Assignee
Nidec Instruments Corp
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Abstract

To provide a specific method for calculating correction values for correcting positions and orientations of hands of an industrial robot that comprises the hands loaded with two transport objects not overlapping each other vertically and transports the two transport, objects not overlapping each other vertically, together.SOLUTION: A method for calculating correction values for an industrial robot comprises: a first correction value calculation step of calculating, as unloading side correction values, a deviation amount of an unloading side detection midpoint M1 with respect to an unloading side reference midpoint M11 when viewed from a vertical direction, and an inclination Δθ1 of an unloading side detection line segment L1 with respect to an unloading side reference line segment L11 when viewed from the vertical direction; and a second correction value calculation step of calculating, as loading side correction values, a deviation amount of a loading side detection midpoint with respect to a loading side reference midpoint when viewed from the vertical direction, and an inclination of a loading side detection line segment with respect to a loading side reference line segment when viewed from the vertical direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、産業用ロボットのハンドの位置および向きを補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法に関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットの補正値算出方法で算出された補正値に基づいて産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法に関する。 The present invention relates to a method for calculating a correction value for an industrial robot, which calculates a correction value for correcting the position and orientation of the hand of the industrial robot. The present invention also relates to a method for controlling an industrial robot, which controls the industrial robot based on the correction value calculated by the method for calculating a correction value for an industrial robot.

従来、半導体ウエハを搬送するための産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、上下方向で重なっていない状態の２枚の半導体ウエハが搭載される第１ハンドと、上下方向で重なっていない状態の２枚の半導体ウエハが搭載される第２ハンドと、第１ハンドおよび第２ハンドが回動可能に連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、受渡しチャンバーと処理チャンバーとの間で２枚の半導体ウエハを一緒に搬送する。すなわち、この産業用ロボットは、受渡しチャンバーと処理チャンバーとの間で２枚の半導体ウエハを同時に搬送する。 Conventionally, industrial robots for transporting semiconductor wafers are known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand on which two semiconductor wafers that do not overlap in the vertical direction are mounted, a second hand on which two semiconductor wafers that do not overlap in the vertical direction are mounted, an arm to which the first hand and the second hand are rotatably connected, and a main body to which the arm is rotatably connected. This industrial robot transports two semiconductor wafers together between a transfer chamber and a processing chamber. In other words, this industrial robot transports two semiconductor wafers simultaneously between a transfer chamber and a processing chamber.

また、従来、半導体ウエハを搬送するための産業用ロボットとして、１枚の半導体ウエハが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部を水平方向に直線的に移動させるＸ軸テーブルとを備える産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の産業用ロボットは、ロードポートに設置されるウエハ収納容器とウエハ処理装置との間で半導体ウエハを１枚ずつ搬送する。 Conventionally, as an industrial robot for transporting semiconductor wafers, there has been known an industrial robot that includes a hand on which one semiconductor wafer is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected at its tip end, a main body to which the base end of the arm is rotatably connected, and an X-axis table that moves the main body linearly in the horizontal direction (see, for example, Patent Document 2). The industrial robot described in Patent Document 2 transports semiconductor wafers one by one between a wafer storage container installed in a load port and a wafer processing device.

特許文献２に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムでは、たとえば、ウエハ収納容器やウエハ処理装置を構成する部品のばらつき等の影響で、産業用ロボットによってウエハ収納容器やウエハ処理装置に搬入されて正規の位置に配置される半導体ウエハの位置が設計上の位置からずれることがある。そのため、特許文献２に記載の産業用ロボットが組み込まれる半導体製造システムでは、センサ治具と遮光治具とを用いて、ウエハ収納容器やウエハ処理装置においてハンドの位置および向きを補正するための補正値を予め算出し、半導体ウエハを搬送するときにこの補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正している。 In a semiconductor manufacturing system incorporating the industrial robot described in Patent Document 2, for example, due to the influence of variations in the components that make up the wafer storage container or wafer processing device, the position of the semiconductor wafer that is carried into the wafer storage container or wafer processing device by the industrial robot and placed in the correct position may deviate from the designed position. For this reason, in the semiconductor manufacturing system incorporating the industrial robot described in Patent Document 2, a sensor jig and a light-shielding jig are used to calculate in advance a correction value for correcting the position and orientation of the hand in the wafer storage container or wafer processing device, and the position and orientation of the hand are corrected based on this correction value when transporting the semiconductor wafer.

特開２００９－５６５４５号公報JP 2009-56545 A 国際公開第２００９／１４５０８２号International Publication No. 2009/145082

特許文献２では、ウエハ収納容器とウエハ処理装置との間で半導体ウエハを１枚ずつ搬送する産業用ロボットのハンドの位置および向きを補正するための補正値の算出方法が提案されている。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットのように、上下方向で重なっていない状態の２枚の半導体ウエハが搭載されるハンドを備え、上下方向で重なっていない状態の２枚の半導体ウエハを一緒に搬送する産業用ロボットのハンドの位置および向きを補正するための補正値の具体的な算出方法は従来提案されていない。 Patent Document 2 proposes a method for calculating a correction value for correcting the position and orientation of the hand of an industrial robot that transports semiconductor wafers one by one between a wafer storage container and a wafer processing device. However, no specific method has been proposed so far for calculating a correction value for correcting the position and orientation of the hand of an industrial robot that has a hand on which two semiconductor wafers that do not overlap in the vertical direction are mounted and transports two semiconductor wafers that do not overlap in the vertical direction together, such as the industrial robot described in Patent Document 1.

そこで、本発明の課題は、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が搭載されるハンドを備え、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を一緒に搬送する産業用ロボットのハンドの位置および向きを補正するための補正値の具体的な算出方法を提案することにある。また、本発明の課題は、かかる算出方法で算出された補正値に基づいて産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法を提案することにある。 The present invention aims to propose a specific method for calculating a correction value for correcting the position and orientation of the hand of an industrial robot that has a hand on which two transport objects that do not overlap in the vertical direction can be mounted and that transports the two transport objects together that do not overlap in the vertical direction. The present invention also aims to propose a method for controlling an industrial robot that controls the industrial robot based on the correction value calculated by this calculation method.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法は、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が搭載されるハンドを備える産業用ロボットのハンドの位置および向きを補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、産業用ロボットは、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が配置可能な搬出部から上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が配置可能な搬入部に２個の搬送対象物を一緒に搬送し、ハンドは、１個の搬送対象物が搭載される第１搭載部と、１個の搬送対象物が搭載される第２搭載部とを備え、第１搭載部に搭載される搬送対象物を第１搬送対象物とし、第２搭載部に搭載される搬送対象物を第２搬送対象物とし、搬出部の、第１搬送対象物が配置される位置を搬出側第１配置位置とし、搬出部の、第２搬送対象物が配置される位置を搬出側第２配置位置とし、搬入部の、第１搬送対象物が配置される位置を搬入側第１配置位置とし、搬入部の、第２搬送対象物が配置される位置を搬入側第２配置位置とすると、産業用ロボットの補正値算出方法は、第１搭載部および第２搭載部に取り付けられる検知機構によって、搬出側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、搬出側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第１検知ステップと、検知機構によって、搬入側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、搬入側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第２検知ステップとを備えるとともに、第１検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの搬出側第１基準ピンの中心と搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側検知線分とし、搬出側検知線分の中点を搬出側検知中点とし、第２検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの搬入側第１基準ピンの中心と搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側検知線分とし、搬入側検知線分の中点を搬入側検知中点とし、搬出部において搬出側第１基準ピンおよび搬出側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの搬出側第１基準ピンの中心と搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側基準線分とし、搬出側基準線分の中点を搬出側基準中点とし、搬入部において搬入側第１基準ピンおよび搬入側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの搬入側第１基準ピンの中心と搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側基準線分とし、搬入側基準線分の中点を搬入側基準中点とすると、少なくとも、上下方向から見たときの搬出側基準中点に対する搬出側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾きとを搬出側補正値として算出する第１補正値算出ステップと、少なくとも、上下方向から見たときの搬入側基準中点に対する搬入側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾きとを搬入側補正値として算出する第２補正値算出ステップを備えることを特徴とする。 In order to solve the above problem, the correction value calculation method for an industrial robot of the present invention is a method for calculating a correction value for correcting the position and orientation of a hand of an industrial robot having a hand on which two transport objects that do not overlap in the vertical direction can be placed, in which the industrial robot transports two transport objects together from an output section where two transport objects that do not overlap in the vertical direction can be placed to an input section where two transport objects that do not overlap in the vertical direction can be placed, the hand has a first mounting section on which one transport object is placed and a second mounting section on which one transport object is placed, the transport object placed on the first mounting section is the first transport object, the transport object placed on the second mounting section is the second transport object, and the position of the output section where the first transport object is placed is referred to as the output side first transport object. A correction value calculation method for an industrial robot includes a first detection step of detecting, by a detection mechanism attached to the first mounting unit and the second mounting unit, at least a horizontal position of the first reference pin disposed at a predetermined position in the first placement position of the unloading side, and at least a horizontal position of the second reference pin disposed at a predetermined position in the second placement position of the unloading side, the first mounting unit being a placement position, a position of the second object to be transported in the unloading unit being a placement position, a position of the second object to be transported in the load unit being a placement position, a position of the first object to be transported in the unloading unit being a placement position, a position of the second object to be transported in the load unit being a placement position, a second detection step of detecting a horizontal position of the ejection-side first reference pin and an ejection-side second reference pin when viewed from a top-bottom direction, the second detection step being a line segment connecting the center of the ejection-side first reference pin and the center of the ... Assuming that the first and second reference pins in the loading section are positioned at the design positions, the loading section has a quasi-midpoint, a line segment connecting the center of the first and second reference pins when viewed from the top and bottom directions as the loading section's loading section's loading section's center and the midpoint of the loading section's reference line segment as the loading section's loading section's reference midpoint, the method is characterized by comprising a first correction value calculation step for calculating, as loading section correction values, at least the amount of deviation of the loading section's detection midpoint from the loading section's reference midpoint when viewed from the top and bottom directions and the inclination of the loading section's detection line segment from the loading section's reference midpoint when viewed from the top and bottom directions, and a second correction value calculation step for calculating, as loading section correction values, at least the amount of deviation of the loading section's detection midpoint from the loading section's reference midpoint when viewed from the top and bottom directions and the inclination of the loading section's detection line segment from the loading section's reference midpoint when viewed from the top and bottom directions.

本発明の産業用ロボットの補正値算出方法では、第１補正値算出ステップにおいて、上下方向から見たときの搬出側基準中点に対する搬出側検知中点のずれ量と上下方向から見たときの搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾きとを搬出側補正値として算出するとともに、第２補正置算出ステップにおいて、上下方向から見たときの搬入側基準中点に対する搬入側検知中点のずれ量と上下方向から見たときの搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾きとを搬入側補正値として算出している。 In the correction value calculation method for an industrial robot of the present invention, in a first correction value calculation step, the amount of deviation of the unloading side detection midpoint from the unloading side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction and the inclination of the unloading side detection line segment from the unloading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction are calculated as unloading side correction values, and in a second correction value calculation step, the amount of deviation of the unloading side detection midpoint from the unloading side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction and the inclination of the unloading side detection line segment from the unloading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction are calculated as unloading side correction values.

そのため、本発明では、上下方向から見たときの搬出側基準中点に対する搬出側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾きと、上下方向から見たときの搬入側基準中点に対する搬入側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾きとに基づいて、搬出部や搬入部においてハンドの位置や向きを補正することが可能になる。 Therefore, in the present invention, it becomes possible to correct the position and orientation of the hand in the unloading section and the loading section based on the amount of deviation of the unloading-side detection midpoint from the unloading-side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction, the inclination of the unloading-side detection line segment from the unloading-side reference line segment when viewed from the top-bottom direction, the amount of deviation of the unloading-side detection midpoint from the unloading-side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction, and the inclination of the unloading-side detection line segment from the unloading-side reference line segment when viewed from the top-bottom direction.

したがって、本発明では、搬出部や搬送部を構成する部品のばらつき等の影響で、搬出部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチと、搬入部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチとが異なっている場合に、たとえば、搬出部から搬入部まで搬送されて搬入部に配置された第１搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量と、搬出部から搬入部まで搬送されて搬入部に配置された第２搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量とを等しくすることが可能になる。 Therefore, in the present invention, when the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in their correct positions in the transport section differs from the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in their correct positions in the transport section due to the influence of variations in the parts that make up the transport section and the transport section, it becomes possible to equalize, for example, the horizontal deviation from the correct position of the first transport object transported from the transport section to the transport section and placed in the transport section, and the horizontal deviation from the correct position of the second transport object transported from the transport section to the transport section and placed in the transport section.

その結果、本発明では、搬出部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチと、搬入部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチとが異なっている場合に、たとえば、搬入部に配置された第１搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量、および、搬入部に配置された第２搬送対象物の正規の位置からの水平方向のずれ量の両方のずれ量を小さくすることが可能になる。 As a result, in the present invention, when the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in the correct positions in the unloading section is different from the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in the correct positions in the loading section, it is possible to reduce both the horizontal deviation from the correct position of the first transport object placed in the loading section and the horizontal deviation from the correct position of the second transport object placed in the loading section.

また、本発明では、第１補正値算出ステップにおいて、上下方向から見たときの搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾きを搬出側補正値として算出するとともに、第２補正値算出ステップにおいて、上下方向から見たときの搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾きとを搬入側補正値として算出しているため、上下方向から見たときの搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾きと、上下方向から見たときの搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾きとに基づいて、搬出部や搬入部においてハンドの向きを補正することが可能になる。したがって、本発明では、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を一緒に搬送しても、ハンドの向きを適切に補正することが可能になる。 In addition, in the present invention, in the first correction value calculation step, the inclination of the unloading side detection line segment relative to the unloading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction is calculated as the unloading side correction value, and in the second correction value calculation step, the inclination of the unloading side detection line segment relative to the load-in side reference line segment when viewed from the top-bottom direction is calculated as the load-in side correction value. This makes it possible to correct the orientation of the hand in the unloading section or the load-in section based on the inclination of the unloading side detection line segment relative to the unloading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction and the inclination of the load-in side detection line segment relative to the load-in side reference line segment when viewed from the top-bottom direction. Therefore, in the present invention, even if two transport objects that do not overlap vertically are transported together, it is possible to appropriately correct the orientation of the hand.

本発明において、搬出側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、搬出側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの第１搬送対象物の中心と搬出側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、搬出側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、搬出側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの第２搬送対象物の中心と搬出側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、搬入側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、搬入側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの第１搬送対象物の中心と搬入側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、搬入側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、搬入側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの第２搬送対象物の中心と搬入側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置されていることが好ましい。このように構成すると、搬出側補正値や搬入側補正値に基づくハンドの位置や向きの補正を容易に行うことが可能になる。 In the present invention, the first reference pin on the unloading side is preferably arranged at a position where the center of the first transport object and the center of the first reference pin on the unloading side coincide when viewed from the top-bottom direction, the second reference pin on the unloading side coincides when viewed from the top-bottom direction, the center of the second transport object and the center of the second reference pin on the unloading side coincide when viewed from the top-bottom direction, the first reference pin on the loading side coincides when viewed from the top-bottom direction, and the second reference pin on the loading side coincides when viewed from the top-bottom direction. This configuration makes it possible to easily correct the position and orientation of the hand based on the unloading side correction value and the loading side correction value.

本発明において、たとえば、第１検知ステップでは、検知機構によって、搬出側第１基準ピンの上端の高さと搬出側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、第２検知ステップでは、搬入側第１基準ピンの上端の高さと搬入側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、第１補正値算出ステップでは、第１検知ステップで検知された搬出側第１基準ピンの上端の高さと搬出側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される搬出側検知中点の高さの、搬出側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を搬出側補正値として算出し、第２補正値算出ステップでは、第２検知ステップで検知された搬入側第１基準ピンの上端の高さと搬入側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される搬入側検知中点の高さの、搬入側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を搬入側補正値として算出する。この場合には、搬出部や搬入部において、搬出側補正値や搬入側補正値に基づくハンドの上下方向の位置の補正を行うことが可能になる。 In the present invention, for example, in the first detection step, the detection mechanism detects the height of the upper end of the first reference pin on the unloading side and the height of the upper end of the second reference pin on the unloading side, in the second detection step, the height of the upper end of the first reference pin on the unloading side and the height of the upper end of the second reference pin on the unloading side are detected, in the first correction value calculation step, the deviation of the height of the unloading side detection midpoint calculated based on the height of the upper end of the first reference pin on the unloading side and the height of the upper end of the second reference pin detected in the first detection step from the design height of the unloading side reference midpoint is calculated as the unloading side correction value, and in the second correction value calculation step, the deviation of the height of the unloading side detection midpoint calculated based on the height of the upper end of the first reference pin on the unloading side and the height of the upper end of the second reference pin detected in the second detection step from the design height of the unloading side reference midpoint is calculated as the unloading side correction value. In this case, it becomes possible to correct the vertical position of the hand at the unloading section and the loading section based on the unloading side correction value and the loading side correction value.

本発明の産業用ロボットは、たとえば、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法で算出された補正値に基づいて産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法によって制御される。この産業用ロボットの制御方法では、たとえば、搬出部および搬入部のいずれか一方では、ハンドの位置および向きを補正せず、搬出部および搬入部のいずれか他方では、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンドの位置および向きを補正する。 The industrial robot of the present invention is controlled, for example, by an industrial robot control method for controlling the industrial robot based on the correction value calculated by the industrial robot correction value calculation method of the present invention. In this industrial robot control method, for example, the position and orientation of the hand is not corrected at either the carry-out section or the carry-in section, and the position and orientation of the hand is corrected at the other of the carry-out section or the carry-in section based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value.

この場合には、たとえば、搬出部または搬入部の設置位置や、搬出部または搬入部の構造や、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって、搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置や向きを適切に補正することができなくても、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置や向きを適切に補正することが可能になる。したがって、機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置や向きを適切に補正することができなくても、搬出部から搬入部に搬送対象物を適切に搬送することが可能になる。 In this case, even if the position or orientation of the hand cannot be properly corrected in either the outgoing or incoming part due to mechanical constraints arising from, for example, the installation position of the outgoing or incoming part, the structure of the outgoing or incoming part, or the structure of the industrial robot, it is possible to properly correct the position or orientation of the hand in the other of the outgoing or incoming part. Therefore, even if the position or orientation of the hand cannot be properly corrected in either the outgoing or incoming part due to mechanical constraints, it is possible to properly transport the transport object from the outgoing to the incoming part.

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、ハンドが回動可能に連結されるアームと、アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように本体部を保持する本体保持部と、本体保持部に対して本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として本体部に対してアームを回動させるとともにハンドが一定方向を向いた状態で本体部に対して水平方向に直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構とを備える水平多関節型のロボットであり、本体保持部に対する本体部の移動方向を第１方向とし、第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、ハンドは、設計上、搬出部および搬入部のいずれか一方に対して第１方向に直線的に移動するとともに、搬出部および搬入部のいずれか他方に対して第２方向に直線的に移動する。 In the present invention, for example, the industrial robot is a horizontal multi-joint robot that includes an arm to which a hand is rotatably connected, a main body to which the arm is rotatably connected, a main body holding part that holds the main body so that linear movement in the horizontal direction is possible, a horizontal movement mechanism that moves the main body relative to the main body holding part, and an arm drive mechanism that rotates the arm relative to the main body with the vertical direction as the axial direction of rotation and expands and contracts the arm so that the hand moves linearly in the horizontal direction relative to the main body while facing a certain direction, and if the direction of movement of the main body relative to the main body holding part is defined as a first direction and a direction perpendicular to the first direction and the vertical direction is defined as a second direction, the hand, by design, moves linearly in the first direction relative to either the discharge part or the load part, and moves linearly in the second direction relative to the other of the discharge part or the load part.

この場合には、本体保持部に対する本体部の移動方向が第１方向となっており、設計上、ハンドが搬出部および搬入部のいずれか一方に対して第１方向に直線的に移動するため、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置や向きを適切に補正することができないが、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置や向きを適切に補正することが可能になる。 In this case, the direction of movement of the main body part relative to the main body holding part is a first direction, and by design, the hand moves linearly in the first direction relative to either the unloading part or the loading part. Therefore, although it is not possible to appropriately correct the position or orientation of the hand in either the unloading part or the loading part due to mechanical constraints resulting from the structure of the industrial robot, it becomes possible to appropriately correct the position or orientation of the hand in the other of the unloading part or the loading part.

以上のように、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値を算出すれば、搬出部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチと、搬入部において正規の位置に配置される第１搬送対象物と第２搬送対象物との水平方向のピッチとが異なっている場合に、たとえば、搬入部に配置された第１搬送対象物の正規の位置からのずれ量、および、搬入部に配置された第２搬送対象物の正規の位置からのずれ量の両方のずれ量を小さくすることが可能になる。また、本発明の産業用ロボットの補正値算出方法によって補正値を算出すれば、上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物を一緒に搬送しても、ハンドの向きを適切に補正することが可能になる。 As described above, when the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in the correct positions at the unloading section is different from the horizontal pitch between the first and second transport objects placed in the correct positions at the loading section, the correction value is calculated using the correction value calculation method for an industrial robot of the present invention, and it is possible to reduce the amount of deviation from the correct position of both the first transport object placed in the loading section and the second transport object placed in the loading section. In addition, when the correction value is calculated using the correction value calculation method for an industrial robot of the present invention, it is possible to appropriately correct the orientation of the hand even when two transport objects that do not overlap vertically are transported together.

また、本発明の産業用ロボットの制御方法で産業用ロボットを制御すれば、たとえば、搬出部または搬入部の設置位置や、搬出部または搬入部の構造や、産業用ロボットの構造等に起因する機械的な制約によって、搬出部および搬入部のいずれか一方においてハンドの位置や向きを適切に補正することができなくても、搬出部および搬入部のいずれか他方においてハンドの位置や向きを適切に補正することが可能になる。 In addition, by controlling an industrial robot using the industrial robot control method of the present invention, even if it is not possible to appropriately correct the position or orientation of the hand in either the unloading section or the loading section due to mechanical constraints resulting from, for example, the installation position of the unloading section or the loading section, the structure of the unloading section or the loading section, or the structure of the industrial robot, it becomes possible to appropriately correct the position or orientation of the hand in the other of the unloading section or the loading section.

本発明の実施の形態に係る産業用ロボットの構成を説明するための平面図である。1 is a plan view for explaining a configuration of an industrial robot according to an embodiment of the present invention. 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するための側面図である。FIG. 2 is a side view for explaining the configuration of the industrial robot shown in FIG. 1 . 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。FIG. 2 is a block diagram for explaining a configuration of the industrial robot shown in FIG. 1 . 図１に示すハンドの位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。2 is a diagram for explaining a method of calculating a correction value for correcting the position and orientation of the hand shown in FIG. 1 . FIG. 図１に示すハンドの位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。2 is a diagram for explaining a method of calculating a correction value for correcting the position and orientation of the hand shown in FIG. 1 . FIG. 図１に示すハンドの補正値を算出するときに実行される第１検知ステップを説明するための図である。1. FIG. 4 is a diagram for explaining a first detection step executed when calculating a correction value of the hand shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットの制御方法を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a control method of the industrial robot shown in FIG. 1 . 図１に示す産業用ロボットの制御方法を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a control method of the industrial robot shown in FIG. 1 .

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態に係る産業用ロボット１の構成を説明するための平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するための側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。 (Configuration of industrial robots)
Fig. 1 is a plan view for explaining the configuration of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a side view for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in Fig. 1. Fig. 3 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in Fig. 1.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。具体的には、ロボット１は、水平多関節型のロボットである。ウエハ２は、薄い円板状に形成されている。ロボット１は、半導体製造システム３に組み込まれて使用される。半導体製造システム３は、ウエハ２に対して所定の処理を行う複数のウエハ処理装置４と、処理前または処理後のウエハ２が一時的に収容されるウエハ収容部（バッファ）５とを備えている。図１では、２個のウエハ処理装置４が図示されている。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a robot for transporting a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as "wafer 2"), which is an object to be transported. Specifically, the robot 1 is a horizontal articulated robot. The wafer 2 is formed in a thin, disk-like shape. The robot 1 is incorporated into a semiconductor manufacturing system 3 for use. The semiconductor manufacturing system 3 includes a plurality of wafer processing devices 4 that perform predetermined processing on the wafers 2, and a wafer storage section (buffer) 5 in which the wafers 2 are temporarily stored before or after processing. Two wafer processing devices 4 are shown in FIG. 1.

ロボット１は、ウエハ収容部５とウエハ処理装置４との間でウエハ２を搬送する。本形態では、ロボット１は、ウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送する。ウエハ収容部５には、ウエハ処理装置４で処理される前のウエハ２が収容されている。ウエハ処理装置４およびウエハ収容部５には、上下方向（鉛直方向）で重なっていない状態の２枚（２個）のウエハ２が配置可能になっている。すなわち、ウエハ処理装置４およびウエハ収容部５には、水平方向で隣り合う２枚のウエハ２が配置可能になっている。ウエハ収容部５およびウエハ処理装置４は、たとえば、ウエハ２を下側から支持する複数の支持ピンを備えており、ウエハ２は、複数の支持ピンに載置される。本形態のウエハ収容部５は、ウエハ２が搬出される搬出部であり、ウエハ処理装置４は、ウエハ２が搬入される搬入部である。 The robot 1 transports the wafer 2 between the wafer storage unit 5 and the wafer processing device 4. In this embodiment, the robot 1 transports the wafer 2 from the wafer storage unit 5 to the wafer processing device 4. The wafer storage unit 5 stores the wafer 2 before it is processed by the wafer processing device 4. The wafer processing device 4 and the wafer storage unit 5 can accommodate two wafers 2 that are not overlapped in the up-down direction (vertical direction). That is, the wafer processing device 4 and the wafer storage unit 5 can accommodate two wafers 2 that are adjacent to each other in the horizontal direction. The wafer storage unit 5 and the wafer processing device 4 are provided with, for example, a number of support pins that support the wafer 2 from below, and the wafer 2 is placed on the multiple support pins. In this embodiment, the wafer storage unit 5 is an unloading unit from which the wafer 2 is unloaded, and the wafer processing device 4 is an loading unit from which the wafer 2 is loaded.

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド７、８と、ハンド７、８が連結されるアーム９と、アーム９が連結される本体部１０と、水平方向への直線的な移動が可能となるように本体部１０を保持する本体保持部１１と、ロボット１を制御するための制御部１２とを備えている。本形態のロボット１は、２個のハンド７、８を備えている。ハンド７、８は、アーム９に回動可能に連結されており、上下方向を回動の軸方向としてアーム９に対して回動可能となっている。アーム９は、本体部１０に回動可能に連結されており、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対して回動可能となっている。本形態のハンド７は第１ハンドであり、ハンド８は第２ハンドである。なお、図２では、本体保持部１１の図示を省略している。 The robot 1 includes hands 7, 8 on which the wafer 2 is mounted, an arm 9 to which the hands 7, 8 are connected, a main body 10 to which the arm 9 is connected, a main body holder 11 that holds the main body 10 so as to enable linear movement in the horizontal direction, and a control unit 12 for controlling the robot 1. The robot 1 in this embodiment includes two hands 7, 8. The hands 7, 8 are rotatably connected to the arm 9 and can be rotated relative to the arm 9 with the vertical direction as the axis of rotation. The arm 9 is rotatably connected to the main body 10 and can be rotated relative to the main body 10 with the vertical direction as the axis of rotation. The hand 7 in this embodiment is the first hand, and the hand 8 is the second hand. Note that the main body holder 11 is not shown in FIG. 2.

アーム９は、ハンド７が回動可能に連結される先端側アーム部１５と、ハンド８が回動可能に連結される先端側アーム部１６と、先端側アーム部１５、１６が回動可能に連結されるとともに本体部１０に回動可能に連結される共通アーム部１７とを備えている。本形態のアーム９は、先端側アーム部１５、１６と共通アーム部１７とによって構成されている。先端側アーム部１５、１６は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して回動可能となっている。本形態の先端側アーム部１５は第１先端側アーム部であり、先端側アーム部１６は第２先端側アーム部である。 The arm 9 includes a tip arm section 15 to which the hand 7 is rotatably connected, a tip arm section 16 to which the hand 8 is rotatably connected, and a common arm section 17 to which the tip arm sections 15, 16 are rotatably connected and which is also rotatably connected to the main body section 10. The arm 9 in this embodiment is composed of the tip arm sections 15, 16 and the common arm section 17. The tip arm sections 15, 16 are rotatable relative to the common arm section 17 with the vertical direction as the axial direction of rotation. The tip arm section 15 in this embodiment is a first tip arm section, and the tip arm section 16 is a second tip arm section.

先端側アーム部１５、１６は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状をなすとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。共通アーム部１７は、上下方向から見たときの形状が二等辺三角形状をなすとともに上下方向の厚さが比較的薄いブロック状に形成されている。共通アーム部１７は、本体部１０よりも上側に配置されている。先端側アーム部１５、１６は、共通アーム部１７よりも上側に配置されている。先端側アーム部１６は、先端側アーム部１５よりも上側に配置されている。ハンド７は、先端側アーム部１５の先端側に回動可能に連結されている。ハンド８は、先端側アーム部１６の先端側に回動可能に連結されている。 The tip side arm sections 15 and 16 are formed in a block shape that has an elongated oval shape when viewed from above and below and is relatively thin in thickness in the vertical direction. The common arm section 17 is formed in a block shape that has an isosceles triangle shape when viewed from above and is relatively thin in thickness in the vertical direction. The common arm section 17 is disposed above the main body section 10. The tip side arm sections 15 and 16 are disposed above the common arm section 17. The tip side arm section 16 is disposed above the tip side arm section 15. The hand 7 is rotatably connected to the tip side of the tip side arm section 15. The hand 8 is rotatably connected to the tip side of the tip side arm section 16.

先端側アーム部１５、１６の基端側は、共通アーム部１７に回動可能に連結されている。具体的には、先端側アーム部１５の基端側は、上下方向から見たときの形状が二等辺三角形状をなす共通アーム部１７の、一方の斜辺と底辺とが交わる角部の近傍に回動可能に連結され、先端側アーム部１６の基端側は、共通アーム部１７の、他方の斜辺と底辺とが交わる角部の近傍に回動可能に連結されている。共通アーム部１７は、本体部１０に回動可能に連結されている。具体的には、二等辺三角形状をなす共通アーム部１７の、２個の斜辺が交わる角部を頂角部とすると、上下方向から見たときに、共通アーム部１７の、中心部よりも若干頂角部に近い部分が本体部１０に回動可能に連結されている。 The base end side of the tip side arm parts 15 and 16 is rotatably connected to the common arm part 17. Specifically, the base end side of the tip side arm part 15 is rotatably connected to the vicinity of the corner part where one oblique side and the base side of the common arm part 17, which has a shape of an isosceles triangle when viewed from the top-bottom direction, intersects, and the base end side of the tip side arm part 16 is rotatably connected to the vicinity of the corner part where the other oblique side and the base side of the common arm part 17 intersects. The common arm part 17 is rotatably connected to the main body part 10. Specifically, if the corner part where the two oblique sides of the common arm part 17, which has a shape of an isosceles triangle, intersects is the apex corner, a part of the common arm part 17 slightly closer to the apex corner than the center part is rotatably connected to the main body part 10 when viewed from the top-bottom direction.

ハンド７は、ハンド８よりも下側に配置されている。先端側アーム部１５は、ハンド７よりも下側に配置されている。先端側アーム部１６は、ハンド８よりも上側に配置されている。ハンド７、８には、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２が搭載される。ロボット１は、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２をウエハ収容部５からウエハ処理装置４に一緒に（同時に）搬送する。 The hand 7 is disposed below the hand 8. The tip arm portion 15 is disposed below the hand 7. The tip arm portion 16 is disposed above the hand 8. The hands 7 and 8 are loaded with two wafers 2 that do not overlap in the vertical direction. The robot 1 transports the two wafers 2 that do not overlap in the vertical direction together (simultaneously) from the wafer storage portion 5 to the wafer processing device 4.

ハンド７、８は、１枚のウエハ２が搭載される搭載部２０と、１枚のウエハ２が搭載される搭載部２１と、搭載部２０の基端と搭載部２１の基端とが固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド７、８は、搭載部２０、２１とハンド基部２２とによって構成されている。ハンド基部２２は、上下方向から見たときの形状が略二等辺三角形状をなすとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。ハンド基部２２は、先端側アーム部１５、１６の先端側に回動可能に連結されている。本形態の搭載部２０は第１搭載部であり、搭載部２１は第２搭載部である。 The hands 7 and 8 each include a mounting portion 20 on which one wafer 2 is mounted, a mounting portion 21 on which one wafer 2 is mounted, and a hand base 22 to which the base end of the mounting portion 20 and the base end of the mounting portion 21 are fixed. The hands 7 and 8 in this embodiment are composed of the mounting portions 20 and 21 and the hand base 22. The hand base 22 is formed in a block shape that is approximately isosceles triangular when viewed from the top and bottom and has a thin thickness in the top and bottom directions. The hand base 22 is rotatably connected to the tip side of the tip-side arm portions 15 and 16. The mounting portion 20 in this embodiment is the first mounting portion, and the mounting portion 21 is the second mounting portion.

搭載部２０、２１は、薄板状の部材である。ウエハ２は、搭載部２０、２１の先端側に搭載される。搭載部２０、２１の先端側は、略Ｅ形状に形成されている。搭載部２０、２１の先端側の中心部には、搭載部２０、２１に搭載されたウエハ２を吸着するためのウエハ吸着部２３が設置されている。搭載部２０と搭載部２１とは、水平方向に間隔をあけた状態で配置されている。また、搭載部２０と搭載部２１とは、ハンド７、８の長手方向（基端から先端に向かう方向）に直交する方向におけるハンド基部２２の中心線に対して対称に配置されている。 The mounting parts 20 and 21 are thin plate-like members. The wafer 2 is mounted on the tip side of the mounting parts 20 and 21. The tip side of the mounting parts 20 and 21 is formed in a roughly E-shape. A wafer suction part 23 for suctioning the wafer 2 mounted on the mounting parts 20 and 21 is provided at the center of the tip side of the mounting parts 20 and 21. The mounting parts 20 and 21 are arranged with a gap between them in the horizontal direction. In addition, the mounting parts 20 and 21 are arranged symmetrically with respect to the center line of the hand base part 22 in a direction perpendicular to the longitudinal direction (direction from the base end to the tip) of the hands 7 and 8.

本形態では、本体部１０に対する共通アーム部１７の回動中心と共通アーム部１７に対する先端側アーム部１５の回動中心との水平方向の距離と、本体部１０に対する共通アーム部１７の回動中心と共通アーム部１７に対する先端側アーム部１６の回動中心との水平方向の距離と、共通アーム部１７に対する先端側アーム部１５の回動中心と先端側アーム部１５に対するハンド７の回動中心との水平方向の距離と、共通アーム部１７に対する先端側アーム部１６の回動中心と先端側アーム部１６に対するハンド８の回動中心との水平方向の距離とが等しくなっている。 In this embodiment, the horizontal distance between the rotation center of the common arm portion 17 relative to the main body portion 10 and the rotation center of the tip arm portion 15 relative to the common arm portion 17, the horizontal distance between the rotation center of the common arm portion 17 relative to the main body portion 10 and the rotation center of the tip arm portion 16 relative to the common arm portion 17, the horizontal distance between the rotation center of the tip arm portion 15 relative to the common arm portion 17 and the rotation center of the hand 7 relative to the tip arm portion 15, and the horizontal distance between the rotation center of the tip arm portion 16 relative to the common arm portion 17 and the rotation center of the hand 8 relative to the tip arm portion 16 are equal.

本体部１０は、筐体２５と、筐体２５に対して昇降可能な昇降体２６とを備えている。共通アーム部１７は、昇降体２６の上端部に回動可能に連結されている。上述のように、本体部１０は、本体保持部１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。本体保持部１１は、本体部１０の移動方向に細長いブロック状に形成されている。以下の説明では、本体保持部１１に対する本体部１０の移動方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する図１等のＹ方向を「前後方向」とする。本形態の左右方向（Ｘ方向）は第１方向であり、前後方向（Ｙ方向）は第２方向である。 The main body 10 includes a housing 25 and a lifting body 26 that can be raised and lowered relative to the housing 25. The common arm 17 is rotatably connected to the upper end of the lifting body 26. As described above, the main body 10 is capable of moving horizontally and linearly relative to the main body holder 11. The main body holder 11 is formed in a block shape that is elongated in the direction of movement of the main body 10. In the following description, the direction of movement of the main body 10 relative to the main body holder 11 (X direction in FIG. 1, etc.) is referred to as the "left-right direction," and the Y direction in FIG. 1, etc. that is perpendicular to the up-down direction and left-right direction is referred to as the "front-rear direction." In this embodiment, the left-right direction (X direction) is the first direction, and the front-rear direction (Y direction) is the second direction.

本体保持部１１は、本体部１０の後ろ側に配置されている。ウエハ収容部５は、本体部１０および本体保持部１１よりも左側に配置されている。２個のウエハ処理装置４は、本体部１０および本体保持部１１よりも前側に配置されている。２個のウエハ処理装置４は、左右方向で隣接している。ウエハ収容部５に配置される２枚のウエハ２は、前後方向で隣接し、ウエハ処理装置４に配置される２枚のウエハ２は、左右方向で隣接している。 The main body holding section 11 is disposed behind the main body section 10. The wafer storage section 5 is disposed to the left of the main body section 10 and the main body holding section 11. The two wafer processing devices 4 are disposed in front of the main body section 10 and the main body holding section 11. The two wafer processing devices 4 are adjacent in the left-right direction. The two wafers 2 disposed in the wafer storage section 5 are adjacent in the front-to-back direction, and the two wafers 2 disposed in the wafer processing device 4 are adjacent in the left-to-right direction.

ロボット１は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して先端側アーム部１５を回動させるとともに先端側アーム部１５に対してハンド７を回動させる先端側アーム部駆動機構２８と、上下方向を回動の軸方向として共通アーム部１７に対して先端側アーム部１６を回動させるとともに先端側アーム部１６に対してハンド８を回動させる先端側アーム部駆動機構２９と、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対して共通アーム部１７を回動させる共通アーム部駆動機構３０と、筐体２５に対して昇降体２６を昇降させる昇降機構３１と、本体保持部１１に対して本体部１０を左右方向に移動させる水平移動機構３２とを備えている。 The robot 1 is equipped with a tip arm drive mechanism 28 that rotates the tip arm 15 relative to the common arm 17 with the vertical direction as the axis of rotation and rotates the hand 7 relative to the tip arm 15, a tip arm drive mechanism 29 that rotates the tip arm 16 relative to the common arm 17 with the vertical direction as the axis of rotation and rotates the hand 8 relative to the tip arm 16, a common arm drive mechanism 30 that rotates the common arm 17 relative to the main body 10 with the vertical direction as the axis of rotation, a lift mechanism 31 that raises and lowers the lift body 26 relative to the housing 25, and a horizontal movement mechanism 32 that moves the main body 10 left and right relative to the main body holder 11.

先端側アーム部駆動機構２８は、モータ３３と、モータ３３の動力を先端側アーム部１５およびハンド７に伝達するための動力伝達機構と、モータ３３の回転位置を検知するためのエンコーダ３８とを備えている。先端側アーム部駆動機構２９は、モータ３４と、モータ３４の動力を先端側アーム部１６およびハンド８に伝達するための動力伝達機構と、モータ３４の回転位置を検知するためのエンコーダ３９とを備えている。共通アーム部駆動機構３０は、モータ３５と、モータ３５の動力を共通アーム部１７に伝達するための動力伝達機構と、モータ３５の回転位置を検知するためのエンコーダ４０とを備えている。 The tip arm drive mechanism 28 includes a motor 33, a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor 33 to the tip arm 15 and the hand 7, and an encoder 38 for detecting the rotational position of the motor 33. The tip arm drive mechanism 29 includes a motor 34, a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor 34 to the tip arm 16 and the hand 8, and an encoder 39 for detecting the rotational position of the motor 34. The common arm drive mechanism 30 includes a motor 35, a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor 35 to the common arm 17, and an encoder 40 for detecting the rotational position of the motor 35.

昇降機構３１は、モータ３６と、モータ３６の動力を昇降体２６に伝達するための動力伝達機構と、モータ３６の回転位置を検知するためのエンコーダ４１とを備えている。水平移動機構３２は、モータ３７と、モータ３７の動力を本体部１０に伝達するための動力伝達機構と、モータ３７の回転位置を検知するためのエンコーダ４２とを備えている。モータ３３～３７およびエンコーダ３８～４２は、制御部１２に電気的に接続されている。 The lifting mechanism 31 includes a motor 36, a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor 36 to the lifting body 26, and an encoder 41 for detecting the rotational position of the motor 36. The horizontal movement mechanism 32 includes a motor 37, a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor 37 to the main body 10, and an encoder 42 for detecting the rotational position of the motor 37. The motors 33 to 37 and the encoders 38 to 42 are electrically connected to the control unit 12.

アーム９は、本体部１０と共通アーム部１７との連結部である関節部からハンド７、８の先端が離れるように伸びる位置と、ハンド７、８の先端がこの関節部に近づくように縮む位置との間で本体部１０に対して伸縮可能となっている。本形態では、アーム９の、先端側アーム部１５側の部分が伸縮するときには、アーム９の、先端側アーム部１６側の部分は縮んだ状態で停止している。また、アーム９の、先端側アーム部１６側の部分が伸縮するときには、アーム９の、先端側アーム部１５側の部分は縮んだ状態で停止している（図１の二点鎖線参照）。 The arm 9 is extendable relative to the main body 10 between a position where the tips of the hands 7, 8 extend away from the joint that connects the main body 10 and the common arm 17, and a position where the tips of the hands 7, 8 retract toward the joint. In this embodiment, when the part of the arm 9 on the tip arm 15 side retracts, the part of the arm 9 on the tip arm 16 side is stopped in a retracted state. Also, when the part of the arm 9 on the tip arm 16 side retracts, the part of the arm 9 on the tip arm 15 side is stopped in a retracted state (see the two-dot chain line in Figure 1).

本体部１０に対してアーム９が伸縮するときには、設計上、ハンド７、８は、本体部１０に対して一定方向を向いた状態で水平方向に直線的に移動する。本形態では、先端側アーム部駆動機構２８と先端側アーム部駆動機構２９と共通アーム部駆動機構３０とによって、上下方向を回動の軸方向として本体部１０に対してアーム９を回動させるとともにハンド７、８が一定方向を向いた状態で本体部１０に対して水平方向に直線的に移動するようにアーム９を伸縮させるアーム駆動機構４６が構成されている。 When the arm 9 extends or retracts relative to the main body 10, the hands 7 and 8 are designed to move linearly in the horizontal direction while facing a fixed direction relative to the main body 10. In this embodiment, the arm drive mechanism 46 is configured by the tip arm drive mechanism 28, the tip arm drive mechanism 29, and the common arm drive mechanism 30 to rotate the arm 9 relative to the main body 10 with the vertical direction as the axial direction of rotation, and to extend or retract the arm 9 so that the hands 7 and 8 move linearly in the horizontal direction relative to the main body 10 while facing a fixed direction.

ハンド７がウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、ハンド７は、設計上、ウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動する。同様に、ハンド８がウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、ハンド８は、設計上、ウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動する。ハンド７がウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときには、ハンド７は、設計上、ウエハ処理装置４に対して前後方向に直線的に移動する。同様に、ハンド８がウエハ処理装置４からウエハ２を搬出するときには、ハンド８は、設計上、ウエハ処理装置４に対して前後方向に直線的に移動する。 When the hand 7 transports the wafer 2 out of the wafer storage section 5, the hand 7 moves linearly in the left-right direction relative to the wafer storage section 5 by design. Similarly, when the hand 8 transports the wafer 2 out of the wafer storage section 5, the hand 8 moves linearly in the left-right direction relative to the wafer storage section 5 by design. When the hand 7 transports the wafer 2 into the wafer processing device 4, the hand 7 moves linearly in the front-to-back direction relative to the wafer processing device 4 by design. Similarly, when the hand 8 transports the wafer 2 out of the wafer processing device 4, the hand 8 moves linearly in the front-to-back direction relative to the wafer processing device 4 by design.

（産業用ロボットの補正値算出方法）
図４、図５は、図１に示すハンド７、８の位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明するための図である。図６は、図１に示すハンド７、８の補正値を算出するときに実行される第１検知ステップを説明するための図である。 (Calculation method for correction value of industrial robot)
Fig. 4 and Fig. 5 are diagrams for explaining a method of calculating correction values for correcting the positions and orientations of the hands 7 and 8 shown in Fig. 1. Fig. 6 is a diagram for explaining a first detection step executed when calculating the correction values of the hands 7 and 8 shown in Fig. 1.

半導体製造システム３では、たとえば、ウエハ収容部５を構成する部品のばらつきやウエハ収容部５の組立誤差等の影響で、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置からずれることがある。たとえば、図４（Ａ）の二点鎖線で示す位置が、ウエハ収容部５に配置されるウエハ２の設計上の位置であるのに対して、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が図４（Ａ）の実線で示す位置になることがある。 In the semiconductor manufacturing system 3, for example, due to the influence of variations in the parts that make up the wafer storage unit 5 or assembly errors in the wafer storage unit 5, the position of the wafer 2 placed in the correct position in the wafer storage unit 5 may deviate from the designed position. For example, the position shown by the two-dot chain line in FIG. 4(A) is the designed position of the wafer 2 placed in the wafer storage unit 5, whereas the position of the wafer 2 placed in the correct position in the wafer storage unit 5 may be the position shown by the solid line in FIG. 4(A).

同様に、たとえば、ウエハ処理装置４を構成する部品のばらつき等の影響で、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置からずれることがある。たとえば、図５（Ａ）の二点鎖線で示す位置が、ウエハ処理装置４に配置されるウエハ２の設計上の位置であるのに対して、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が図５（Ａ）の実線で示す位置になることがある。 Similarly, for example, due to the influence of variations in the components that make up the wafer processing device 4, the position of the wafer 2 placed at the correct position in the wafer processing device 4 may deviate from the design position. For example, the position shown by the two-dot chain line in FIG. 5(A) is the design position of the wafer 2 placed in the wafer processing device 4, whereas the position of the wafer 2 placed at the correct position in the wafer processing device 4 may be the position shown by the solid line in FIG. 5(A).

本形態では、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きを補正するための補正値が予め算出されて制御部１２に記憶されている。具体的には、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬出側補正値と、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の、設計上の位置からのずれに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するための搬入側補正値とが予め算出されて制御部１２に記憶されている。 In this embodiment, correction values for correcting the position and orientation of the hands 7 and 8 in the wafer processing device 4 are calculated in advance and stored in the control unit 12. Specifically, an unloading side correction value for correcting the position and orientation of the hands 7 and 8 based on the deviation from the designed position of the wafer 2 placed in the correct position in the wafer storage unit 5, and an loading side correction value for correcting the position and orientation of the hands 7 and 8 based on the deviation from the designed position of the wafer 2 placed in the correct position in the wafer processing device 4 are calculated in advance and stored in the control unit 12.

また、本形態では、制御部１２に記憶される搬出側補正値と搬入側補正値とに基づいて、ロボット１がウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送するときに、ハンド７、８の位置および向きが補正される。制御部１２は、搬出側補正値および搬入側補正値を算出する補正値算出部４９と、搬出側補正値および搬入側補正値を記憶する補正値記憶部５０とを備えている（図３参照）。 In this embodiment, the positions and orientations of the hands 7 and 8 are corrected when the robot 1 transports the wafer 2 from the wafer storage unit 5 to the wafer processing device 4 based on the unloading side correction value and the loading side correction value stored in the control unit 12. The control unit 12 includes a correction value calculation unit 49 that calculates the unloading side correction value and the loading side correction value, and a correction value storage unit 50 that stores the unloading side correction value and the loading side correction value (see FIG. 3).

以下、搬出側補正値および搬入側補正値の算出方法を説明する。なお、ハンド７の位置および向きを補正するための補正値の算出方法とハンド８の位置および向きを補正するための補正値の算出方法とは同じであるため、以下では、ハンド７の位置および向きを補正するための補正値の算出方法を説明する。また、図４～図６等では、説明の便宜上、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置を設計上の位置から大きくずらすとともに、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置を設計上の位置から大きくずらしているが、実際には、ウエハ２の位置がこれほど大きくずれることはない。 Below, a method for calculating the unloading side correction value and the loading side correction value will be described. Note that since the method for calculating the correction value for correcting the position and orientation of the hand 7 is the same as the method for calculating the correction value for correcting the position and orientation of the hand 8, the method for calculating the correction value for correcting the position and orientation of the hand 7 will be described below. Also, in Figures 4 to 6, for convenience of explanation, the position of the wafer 2 placed in the normal position in the wafer storage unit 5 is significantly shifted from the design position, and the position of the wafer 2 placed in the normal position in the wafer processing device 4 is significantly shifted from the design position, but in reality, the position of the wafer 2 does not shift this much.

以下の説明では、搭載部２０に搭載されるウエハ２と搭載部２１に搭載されるウエハ２とを区別して表す場合には、搭載部２０に搭載されるウエハ２を「ウエハ２Ａ」とし、搭載部２１に搭載されるウエハ２を「ウエハ２Ｂ」とする。本形態のウエハ２Ａは第１搬送対象物であり、ウエハ２Ｂは第２搬送対象物である。また、以下の説明では、ウエハ収容部５の、ウエハ２Ａが配置される位置を第１配置位置５５ａとし、ウエハ収容部５の、ウエハ２Ｂが配置される位置を第２配置位置５５ｂとし、ウエハ処理装置４の、ウエハ２Ａが配置される位置を第１配置位置５４ａとし、ウエハ処理装置４の、ウエハ２Ｂが配置される位置を第２配置位置５４ｂとする。本形態の第１配置位置５５ａは搬出側第１配置位置であり、第２配置位置５５ｂは搬出側第２配置位置であり、第１配置位置５４ａは搬入側第１配置位置であり、第２配置位置５４ｂは搬入側第２配置位置である。 In the following description, when distinguishing between the wafer 2 mounted on the mounting portion 20 and the wafer 2 mounted on the mounting portion 21, the wafer 2 mounted on the mounting portion 20 will be referred to as the "wafer 2A" and the wafer 2 mounted on the mounting portion 21 will be referred to as the "wafer 2B". In this embodiment, the wafer 2A is the first transport object, and the wafer 2B is the second transport object. In addition, in the following description, the position of the wafer storage portion 5 where the wafer 2A is placed will be referred to as the first placement position 55a, the position of the wafer storage portion 5 where the wafer 2B is placed will be referred to as the second placement position 55b, the position of the wafer processing device 4 where the wafer 2A is placed will be referred to as the first placement position 54a, and the position of the wafer processing device 4 where the wafer 2B is placed will be referred to as the second placement position 54b. In this embodiment, the first position 55a is the first position on the unloading side, the second position 55b is the second position on the unloading side, the first position 54a is the first position on the loading side, and the second position 54b is the second position on the loading side.

搬出側補正値および搬入側補正値を算出するときには、検知用治具６０と被検知用治具６１とを使用する。被検知用治具６１は、円柱状の基準ピン６２を備えている。被検知用治具６１は、補正値の算出時に第１配置位置５４ａ、５５ａおよび第２配置位置５４ｂ、５５ｂに載置されて使用される。第１配置位置５４ａ、５５ａおよび第２配置位置５４ｂ、５５ｂに被検知用治具６１が配置された状態では、基準ピン６２の軸方向は上下方向と一致している。 When calculating the carry-out side correction value and the carry-in side correction value, a detection jig 60 and a detectable jig 61 are used. The detectable jig 61 has a cylindrical reference pin 62. The detectable jig 61 is placed at the first placement positions 54a, 55a and the second placement positions 54b, 55b when calculating the correction values. When the detectable jig 61 is placed at the first placement positions 54a, 55a and the second placement positions 54b, 55b, the axial direction of the reference pin 62 coincides with the up-down direction.

ウエハ収容部５では、基準ピン６２は、第１配置位置５５ａの所定の箇所と第２配置位置５５ｂの所定の箇所とに配置される。以下の説明では、第１配置位置５５ａに配置される基準ピン６２を「第１基準ピン６２Ａ」とし、第２配置位置５５ｂに配置される基準ピン６２を「第２基準ピン６２Ｂ」とする。本形態の第１基準ピン６２Ａは搬出側第１基準ピンであり、第２基準ピン６２Ｂは搬出側第２基準ピンである。 In the wafer storage section 5, the reference pin 62 is placed at a predetermined location in the first placement position 55a and a predetermined location in the second placement position 55b. In the following description, the reference pin 62 placed in the first placement position 55a is referred to as the "first reference pin 62A," and the reference pin 62 placed in the second placement position 55b is referred to as the "second reference pin 62B." In this embodiment, the first reference pin 62A is the first reference pin on the unloading side, and the second reference pin 62B is the second reference pin on the unloading side.

ウエハ処理装置４では、基準ピン６２は、第１配置位置５４ａの所定の箇所と第２配置位置５４ｂの所定の箇所とに配置される。以下の説明では、第１配置位置５４ａに配置される基準ピン６２を「第１基準ピン６２Ｃ」とし、第２配置位置５４ｂに配置される基準ピン６２を「第２基準ピン６２Ｄ」とする。本形態の第１基準ピン６２Ｃは搬入側第１基準ピンであり、第２基準ピン６２Ｄは搬入側第２基準ピンである。 In the wafer processing apparatus 4, the reference pin 62 is placed at a predetermined location in the first placement position 54a and a predetermined location in the second placement position 54b. In the following description, the reference pin 62 placed at the first placement position 54a is referred to as the "first reference pin 62C," and the reference pin 62 placed at the second placement position 54b is referred to as the "second reference pin 62D." In this embodiment, the first reference pin 62C is the first reference pin on the loading side, and the second reference pin 62D is the second reference pin on the loading side.

第１基準ピン６２Ａは、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１（図４（Ａ）参照）と第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２（図４（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。第２基準ピン６２Ｂは、上下方向から見たときに、第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ３（図４（Ａ）参照）と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４（図４（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。 When viewed from the top-bottom direction, the first reference pin 62A is positioned at a location where the center C1 (see FIG. 4(A)) of the wafer 2A when placed in the correct position of the first placement position 55a coincides with the center C2 (see FIG. 4(B)) of the first reference pin 62A. When viewed from the top-bottom direction, the second reference pin 62B is positioned at a location where the center C3 (see FIG. 4(A)) of the wafer 2B when placed in the correct position of the second placement position 55b coincides with the center C4 (see FIG. 4(B)) of the second reference pin 62B.

第１基準ピン６２Ｃは、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５（図５（Ａ）参照）と第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６（図５（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。第２基準ピン６２Ｄは、上下方向から見たときに、第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ７（図５（Ａ）参照）と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８（図５（Ｂ）参照）とが一致する箇所に配置される。 When viewed from the top-bottom direction, the first reference pin 62C is positioned at a location where the center C5 (see FIG. 5(A)) of the wafer 2A when placed in the correct position of the first placement position 54a coincides with the center C6 (see FIG. 5(B)) of the first reference pin 62C. When viewed from the top-bottom direction, the second reference pin 62D is positioned at a location where the center C7 (see FIG. 5(A)) of the wafer 2B when placed in the correct position of the second placement position 54b coincides with the center C8 (see FIG. 5(B)) of the second reference pin 62D.

検知用治具６０は、補正値の算出時に搭載部２０、２１に載置されて使用される。検知用治具６０は、２個の検知機構６３、６４を備えている。検知機構６３、６４は、たとえば、発光素子を有する発光部と、受光素子を有する受光部とを備える透過型の光学式センサである。搬出側補正値および搬入側補正値を算出するときには、検知機構６３、６４は、制御部１２に電気的に接続される。 The detection jig 60 is placed on the mounting parts 20 and 21 when the correction values are calculated. The detection jig 60 is equipped with two detection mechanisms 63 and 64. The detection mechanisms 63 and 64 are, for example, transmissive optical sensors equipped with a light-emitting part having a light-emitting element and a light-receiving part having a light-receiving element. When calculating the unloading side correction value and the loading side correction value, the detection mechanisms 63 and 64 are electrically connected to the control unit 12.

搭載部２０、２１の正規の位置に検知用治具６０が配置されているときには、検知機構６３の光軸は、水平方向と平行になっているとともに、ハンド７の長手方向に直交する方向と平行になっている（図６参照）。また、搭載部２０、２１の正規の位置に検知用治具６０が配置されているときには、検知機構６４の光軸は、水平方向と平行になっているとともに、ハンド７の長手方向と検知機構６３の光軸の方向とに対して傾いた方向と平行になっている（図６参照）。 When the detection jig 60 is placed in the correct position on the mounting parts 20 and 21, the optical axis of the detection mechanism 63 is parallel to the horizontal direction and parallel to a direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand 7 (see FIG. 6). When the detection jig 60 is placed in the correct position on the mounting parts 20 and 21, the optical axis of the detection mechanism 64 is parallel to the horizontal direction and parallel to a direction inclined with respect to the longitudinal direction of the hand 7 and the direction of the optical axis of the detection mechanism 63 (see FIG. 6).

搬出側補正値を算出するときには、まず、第１基準ピン６２Ａを第１配置位置５５ａに配置するとともに、第２基準ピン６２Ｂを第２配置位置５５ｂに配置する。また、検知用治具６０をハンド７に取り付ける。すなわち、搭載部２０、２１に検知機構６３、６４を取り付ける。その後、図６に示すように、ハンド７を左右方向に移動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ａの水平方向の位置と第２基準ピン６２Ｂの水平方向の位置とを検知する（第１検知ステップ）。 When calculating the unloading side correction value, first, the first reference pin 62A is placed at the first placement position 55a, and the second reference pin 62B is placed at the second placement position 55b. In addition, the detection jig 60 is attached to the hand 7. That is, the detection mechanisms 63, 64 are attached to the mounting parts 20, 21. Then, as shown in FIG. 6, the hand 7 is moved left and right to detect the horizontal positions of the first reference pin 62A and the second reference pin 62B by the detection mechanisms 63, 64 attached to the mounting parts 20, 21 (first detection step).

第１検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第１基準ピン６２Ａの左右方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第２基準ピン６２Ｂの左右方向の位置を検知する。また、第１検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第１基準ピン６２Ａの前後方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第２基準ピン６２Ｂの前後方向の位置を検知する。第１検知ステップは、所定の制御プログラムに基づいて自動で実行される。 In the first detection step, the control unit 12 detects the left-right position of the first reference pin 62A based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 20, and detects the left-right position of the second reference pin 62B based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 21. Also, in the first detection step, the control unit 12 detects the front-rear position of the first reference pin 62A based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 20 and the detection result of the detection mechanism 64, and detects the front-rear position of the second reference pin 62B based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 21 and the detection result of the detection mechanism 64. The first detection step is automatically executed based on a predetermined control program.

同様に、搬入側補正値を算出するときには、まず、第１基準ピン６２Ｃを第１配置位置５４ａに配置するとともに、第２基準ピン６２Ｄを第２配置位置５４ｂに配置する。また、検知用治具６０をハンド７に取り付ける。その後、ハンド７を前後方向に移動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ｃの水平方向の位置と第２基準ピン６２Ｄの水平方向の位置とを検知する（第２検知ステップ）。 Similarly, when calculating the carry-in correction value, first, the first reference pin 62C is placed at the first arrangement position 54a, and the second reference pin 62D is placed at the second arrangement position 54b. In addition, the detection jig 60 is attached to the hand 7. Thereafter, the hand 7 is moved in the forward and backward directions, and the horizontal positions of the first reference pin 62C and the second reference pin 62D are detected by the detection mechanisms 63, 64 attached to the mounting parts 20, 21 (second detection step).

第２検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第１基準ピン６２Ｃの前後方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果に基づいて第２基準ピン６２Ｄの前後方向の位置を検知する。また、第２検知ステップにおいて、制御部１２は、搭載部２０に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第１基準ピン６２Ｃの左右方向の位置を検知し、搭載部２１に取り付けられる検知機構６３の検知結果と検知機構６４の検知結果とに基づいて第２基準ピン６２Ｄの左右方向の位置を検知する。第２検知ステップは、所定の制御プログラムに基づいて自動で実行される。 In the second detection step, the control unit 12 detects the front-rear position of the first reference pin 62C based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 20, and detects the front-rear position of the second reference pin 62D based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 21. In the second detection step, the control unit 12 detects the left-right position of the first reference pin 62C based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 20 and the detection result of the detection mechanism 64, and detects the left-right position of the second reference pin 62D based on the detection result of the detection mechanism 63 attached to the mounting unit 21 and the detection result of the detection mechanism 64. The second detection step is automatically executed based on a predetermined control program.

以下、第１検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４とを結ぶ線分を搬出側検知線分Ｌ１とし、搬出側検知線分Ｌ１の中点を搬出側検知中点Ｍ１とする（図４（Ｂ）参照）。また、以下では、図４（Ｂ）の二点鎖線で示すように、ウエハ収容部５において第１基準ピン６２Ａおよび第２基準ピン６２Ｂが設計上の位置に配置されていると仮定したときの（すなわち、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置と一致していると仮定したときの）、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４とを結ぶ線分を搬出側基準線分Ｌ１１とし、搬出側基準線分Ｌ１１の中点を搬出側基準中点Ｍ１１とする。 Hereinafter, the line segment connecting the center C2 of the first reference pin 62A and the center C4 of the second reference pin 62B when viewed from the top-bottom direction, which is determined based on the detection result of the first detection step, is defined as the unloading side detection line segment L1, and the midpoint of the unloading side detection line segment L1 is defined as the unloading side detection midpoint M1 (see FIG. 4(B)). In addition, in the following, as shown by the two-dot chain line in FIG. 4(B), when it is assumed that the first reference pin 62A and the second reference pin 62B are arranged at the designed position in the wafer accommodation section 5 (i.e., when it is assumed that the position of the wafer 2 arranged at the normal position in the wafer accommodation section 5 coincides with the designed position), the line segment connecting the center C2 of the first reference pin 62A and the center C4 of the second reference pin 62B when viewed from the top-bottom direction is defined as the unloading side reference line segment L11, and the midpoint of the unloading side reference line segment L11 is defined as the unloading side reference midpoint M11.

また、以下では、第２検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８とを結ぶ線分を搬入側検知線分Ｌ２とし、搬入側検知線分Ｌ２の中点を搬入側検知中点Ｍ２とする（図５（Ｂ）参照）。また、以下の説明では、図５（Ｂ）の二点鎖線で示すように、ウエハ処理装置４において第１基準ピン６２Ｃおよび第２基準ピン６２Ｄが設計上の位置に配置されていると仮定したときの（すなわち、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２の位置が設計上の位置と一致していると仮定したときの）、上下方向から見たときの第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８とを結ぶ線分を搬入側基準線分Ｌ２１とし、搬入側基準線分Ｌ２１の中点を搬入側基準中点Ｍ２１とする。 In the following description, the line segment connecting the center C6 of the first reference pin 62C and the center C8 of the second reference pin 62D when viewed from the top-bottom direction, which is determined based on the detection result of the second detection step, is defined as the loading side detection line segment L2, and the midpoint of the loading side detection line segment L2 is defined as the loading side detection midpoint M2 (see FIG. 5B). In the following description, as shown by the two-dot chain line in FIG. 5B, when it is assumed that the first reference pin 62C and the second reference pin 62D are arranged at the designed positions in the wafer processing device 4 (i.e., when it is assumed that the position of the wafer 2 arranged at the normal position in the wafer processing device 4 coincides with the designed position), the line segment connecting the center C6 of the first reference pin 62C and the center C8 of the second reference pin 62D when viewed from the top-bottom direction is defined as the loading side reference line segment L21, and the midpoint of the loading side reference line segment L21 is defined as the loading side reference midpoint M21.

第１検知ステップが実行されると、制御部１２は、上下方向から見たときの搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１のずれ量（すなわち、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量）と、上下方向から見たときの搬出側基準線分Ｌ１１に対する搬出側検知線分Ｌ１の傾きΔθ１とを搬出側補正値として算出する（第１補正値算出ステップ）。すなわち、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されるウエハ２Ａの中心Ｃ１と第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されるウエハ２Ｂの中心Ｃ３とを結ぶ線分を第１線分とすると、搬出側補正値には、搬出側検知中点Ｍ１に相当する第１線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第１線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれている。 When the first detection step is executed, the control unit 12 calculates the deviation amount of the unloading side detection midpoint M1 from the unloading side reference midpoint M11 when viewed from the top-bottom direction (i.e., the horizontal deviation amount of the unloading side detection midpoint M1 from the unloading side reference midpoint M11) and the inclination Δθ1 of the unloading side detection line segment L1 from the unloading side reference line segment L11 when viewed from the top-bottom direction as the unloading side correction value (first correction value calculation step). That is, if the line segment connecting the center C1 of the wafer 2A placed at the normal position of the first arrangement position 55a and the center C3 of the wafer 2B placed at the normal position of the second arrangement position 55b when viewed from the top-bottom direction is defined as the first line segment, the unloading side correction value includes the deviation amount in the horizontal direction from the designed position of the midpoint of the first line segment corresponding to the unloading side detection midpoint M1 and the inclination of the first line segment from the designed position when viewed from the top-bottom direction.

同様に、第２検知ステップが実行されると、制御部１２は、上下方向から見たときの搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２のずれ量（すなわち、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量）と、上下方向から見たときの搬入側基準線分Ｌ２１に対する搬入側検知線分Ｌ２の傾きΔθ２とを搬入側補正値として算出する（第２補正値算出ステップ）。すなわち、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されるウエハ２Ａの中心Ｃ５と第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されるウエハ２Ｂの中心Ｃ７とを結ぶ線分を第２線分とすると、搬入側補正値には、搬入側検知中点Ｍ２に相当する第２線分の中点の、水平方向における設計上の位置からのずれ量と、上下方向から見たときの第２線分の、設計上の位置からの傾きとが含まれている。 Similarly, when the second detection step is executed, the control unit 12 calculates the deviation amount of the loading side detection midpoint M2 from the loading side reference midpoint M21 when viewed from the top-bottom direction (i.e., the horizontal deviation amount of the loading side detection midpoint M2 from the loading side reference midpoint M21) and the inclination Δθ2 of the loading side detection line segment L2 from the loading side reference line segment L21 when viewed from the top-bottom direction as the loading side correction value (second correction value calculation step). That is, if the line segment connecting the center C5 of the wafer 2A placed at the normal position of the first arrangement position 54a and the center C7 of the wafer 2B placed at the normal position of the second arrangement position 54b when viewed from the top-bottom direction is taken as the second line segment, the loading side correction value includes the deviation amount in the horizontal direction from the design position of the midpoint of the second line segment corresponding to the loading side detection midpoint M2 and the inclination of the second line segment from the design position when viewed from the top-bottom direction.

（産業用ロボットの制御方法）
図７、図８は、図１に示すロボット１の制御方法を説明するための図である。 (Method of controlling an industrial robot)
7 and 8 are diagrams for explaining a method of controlling the robot 1 shown in FIG.

制御部１２は、ロボット１がウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送するときに、制御部１２に記憶される搬出側補正値と搬入側補正値とに基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。具体的には、制御部１２は、ウエハ収容部５では、ハンド７、８の位置および向きを補正せずに、ウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。すなわち、ウエハ収容部５からウエハ２を搬出するときには、制御部１２は、設計上の向きを向いている状態のハンド７、８をウエハ収容部５における設計上のウエハ２の搭載位置まで移動させて搭載部２０、２１にウエハ２を搭載する（図７参照）。なお、本形態では、ウエハ収容部５において、ウエハ２は正規の位置に配置されている。 When the robot 1 transports the wafer 2 from the wafer storage unit 5 to the wafer processing device 4, the control unit 12 corrects the positions and orientations of the hands 7 and 8 based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value stored in the control unit 12. Specifically, the control unit 12 does not correct the positions and orientations of the hands 7 and 8 in the wafer storage unit 5, but corrects the positions and orientations of the hands 7 and 8 in the wafer processing device 4 based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value. That is, when the wafer 2 is transported from the wafer storage unit 5, the control unit 12 moves the hands 7 and 8 facing in the designed direction to the designed wafer 2 mounting position in the wafer storage unit 5 and mounts the wafer 2 on the mounting units 20 and 21 (see FIG. 7). In this embodiment, the wafer 2 is placed in the normal position in the wafer storage unit 5.

また、ウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときには、制御部１２は、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正する。具体的には、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の左右方向のずれ量をΔＸ１とし、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の前後方向のずれ量をΔＹ１とし、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の左右方向のずれ量をΔＸ２とし、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の前後方向のずれ量をΔＹ２とすると、制御部１２は、ウエハ処理装置４にウエハ２を搬入するときに、ウエハ処理装置４における設計上のウエハ２の搭載位置からΔＸ１＋ΔＸ２の分だけ左右方向でハンド７、８の位置を補正し、ΔＹ１＋ΔＹ２の分だけ前後方向でハンド７、８の位置を補正するとともに、ウエハ処理装置４における設計上のハンド７、８の向きからΔθ１＋Δθ２の分だけハンド７、８の向きを補正する。 In addition, when the wafer 2 is loaded into the wafer processing device 4, the control unit 12 corrects the position and orientation of the hands 7, 8 based on the unloading side correction value and the loading side correction value. Specifically, the left-right deviation of the unloading-side detection midpoint M1 from the unloading-side reference midpoint M11 is ΔX1, the front-rear deviation of the unloading-side detection midpoint M1 from the unloading-side reference midpoint M11 is ΔY1, the left-right deviation of the unloading-side detection midpoint M2 from the load-in side reference midpoint M21 is ΔX2, and the front-rear deviation of the unloading-side detection midpoint M2 from the load-in side reference midpoint M21 is ΔY2. When loading the wafer 2 into the wafer processing device 4, the control unit 12 corrects the positions of the hands 7 and 8 in the left-right direction by ΔX1 + ΔX2 from the designed mounting position of the wafer 2 in the wafer processing device 4, corrects the positions of the hands 7 and 8 in the front-rear direction by ΔY1 + ΔY2, and corrects the orientation of the hands 7 and 8 by Δθ1 + Δθ2 from the designed orientation of the hands 7 and 8 in the wafer processing device 4.

ウエハ収容部５でハンド７、８に搭載された２枚のウエハ２の中心Ｃ１１を結んだ線分を線分Ｌ５０とし、線分Ｌ５０の中点を中点Ｍ５０とすると（図８参照）、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きが補正されると、図８に示すように、上下方向から見たときに、搬入側検知中点Ｍ２と中点Ｍ５０とが一致し、搬入側検知線分Ｌ２と線分Ｌ５０とが重なる。 If the line segment connecting the centers C11 of the two wafers 2 loaded on the hands 7 and 8 in the wafer storage section 5 is defined as line segment L50, and the midpoint of line segment L50 is defined as midpoint M50 (see Figure 8), when the positions and orientations of the hands 7 and 8 are corrected in the wafer processing device 4, as shown in Figure 8, when viewed from the top and bottom, the loading side detection midpoint M2 and midpoint M50 coincide, and the loading side detection line segment L2 and line segment L50 overlap.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、第１補正値算出ステップにおいて、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量と上下方向から見たときの搬出側基準線分Ｌ１１に対する搬出側検知線分Ｌ１の傾きΔθ１とを搬出側補正値として算出するとともに、第２補正置算出ステップにおいて、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量と上下方向から見たときの搬入側基準線分Ｌ２１に対する搬入側検知線分Ｌ２の傾きΔθ２とを搬入側補正値として算出している。また、本形態では、搬出側基準中点Ｍ１１に対する搬出側検知中点Ｍ１の水平方向のずれ量と、搬入側基準中点Ｍ２１に対する搬入側検知中点Ｍ２の水平方向のずれ量と、傾きΔθ１、Δθ２とに基づいて、ウエハ処理装置４でハンド７、８の位置および向きを補正している。 (Main effects of this embodiment)
As described above, in this embodiment, the first correction value calculation step calculates the horizontal deviation of the unloading-side detection midpoint M1 from the unloading-side reference midpoint M11 and the inclination Δθ1 of the unloading-side detection line segment L1 from the unloading-side reference line segment L11 when viewed from the top-bottom direction as the unloading-side correction value, and the second correction value calculation step calculates the horizontal deviation of the unloading-side detection midpoint M2 from the load-in-side reference midpoint M21 and the inclination Δθ2 of the unloading-side detection line segment L2 from the load-in-side reference line segment L21 when viewed from the top-bottom direction as the unloading-side correction value. In this embodiment, the positions and orientations of the hands 7, 8 are corrected in the wafer processing device 4 based on the horizontal deviation of the unloading-side detection midpoint M1 from the unloading-side reference midpoint M11 and the horizontal deviation of the unloading-side detection midpoint M2 from the load-in-side reference midpoint M21 and the inclinations Δθ1, Δθ2.

そのため、本形態では、ウエハ収容部５やウエハ処理装置４を構成する部品のばらつき等の影響で、たとえば、ウエハ収容部５において正規の位置に配置されるウエハ２Ａとウエハ２Ｂとの水平方向のピッチＰ１（図４（Ａ）参照）と、ウエハ処理装置４において正規の位置に配置されるウエハ２Ａとウエハ２Ｂとの水平方向のピッチＰ２（図５（Ａ）参照）とが異なっていても、図８に示すように、ウエハ処理装置４に搬入されて配置されたウエハ２Ａの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ１と、ウエハ２Ｂの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ２とを等しくすることが可能になる。 Therefore, in this embodiment, even if the horizontal pitch P1 (see FIG. 4(A)) between wafers 2A and 2B placed at their correct positions in wafer storage unit 5 and wafer processing device 4 is different from the horizontal pitch P2 (see FIG. 5(A)) between wafers 2A and 2B placed at their correct positions in wafer processing device 4 due to the influence of variations in the components that make up wafer storage unit 5 and wafer processing device 4, it is possible to make the horizontal deviation ΔS1 from the correct position of wafer 2A brought into and placed in wafer processing device 4 equal to the horizontal deviation ΔS2 from the correct position of wafer 2B, as shown in FIG. 8.

したがって、本形態では、たとえば、ピッチＰ１とピッチＰ２とが異なっていても、ウエハ処理装置４に配置されたウエハ２Ａの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ１、および、ウエハ処理装置４に配置されたウエハ２Ｂの正規の位置からの水平方向のずれ量ΔＳ２の両方のずれ量を小さくすることが可能になる。また、本形態では、傾きΔθ１と傾きΔθ２とに基づいて、ウエハ処理装置４でハンド７、８の向きを補正しているため、上下方向で重なっていない状態の２枚のウエハ２を一緒に搬送しても、ハンド７、８の向きを適切に補正することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, even if pitch P1 and pitch P2 are different, it is possible to reduce both the horizontal deviation amount ΔS1 from the normal position of wafer 2A placed on wafer processing device 4 and the horizontal deviation amount ΔS2 from the normal position of wafer 2B placed on wafer processing device 4. Also, in this embodiment, since the orientation of hands 7 and 8 is corrected in wafer processing device 4 based on inclination Δθ1 and inclination Δθ2, it is possible to appropriately correct the orientation of hands 7 and 8 even if two wafers 2 that are not overlapped in the vertical direction are transported together.

本形態では、第１基準ピン６２Ａは、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１と第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２とが一致する箇所に配置され、第２基準ピン６２Ｂは、上下方向から見たときに、第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ３と第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４とが一致する箇所に配置され、第１基準ピン６２Ｃは、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５と第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６とが一致する箇所に配置され、第２基準ピン６２Ｄは、上下方向から見たときに、第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ７と第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８とが一致する箇所に配置されている。そのため、本形態では、搬出側補正値や搬入側補正値に基づくハンド７、８の位置および向きの補正を容易に行うことが可能になる。 In this embodiment, the first reference pin 62A is arranged at a position where the center C1 of the wafer 2A and the center C2 of the first reference pin 62A coincide when viewed from the top-bottom direction, the second reference pin 62B is arranged at a position where the center C3 of the wafer 2B and the center C4 of the second reference pin 62B coincide when viewed from the top-bottom direction, the first reference pin 62C is arranged at a position where the center C5 of the wafer 2A and the center C6 of the first reference pin 62C coincide when viewed from the top-bottom direction, and the second reference pin 62D is arranged at a position where the center C7 of the wafer 2B and the center C8 of the second reference pin 62D coincide when viewed from the top-bottom direction. Therefore, in this embodiment, it is possible to easily correct the position and orientation of the hands 7 and 8 based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value.

本形態では、本体保持部１１に対する本体部１０の移動方向が左右方向となっており、設計上、ハンド７、８がウエハ収容部５に対して左右方向に直線的に移動するため、ロボット１の構造等に起因する機械的な制約によって、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができないが、制御部１２は、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置および向きを補正せずに、ウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正している。 In this embodiment, the direction of movement of the main body 10 relative to the main body holding part 11 is the left-right direction, and by design, the hands 7 and 8 move linearly in the left-right direction relative to the wafer storage part 5. Therefore, due to mechanical constraints caused by the structure of the robot 1, it is not possible to appropriately correct the positions and orientations of the hands 7 and 8 in the wafer storage part 5. However, the control part 12 does not correct the positions and orientations of the hands 7 and 8 in the wafer storage part 5, but corrects the positions and orientations of the hands 7 and 8 in the wafer processing device 4 based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value.

そのため、本形態では、機械的な制約によってウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができなくても、ウエハ処理装置４においてハンド７、８の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本形態では、機械的な制約によってウエハ収容部５においてハンド７、８の位置や向きを適切に補正することができなくても、ウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を適切に搬送することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, even if the position and orientation of the hands 7, 8 cannot be appropriately corrected in the wafer storage unit 5 due to mechanical constraints, it is possible to appropriately correct the position and orientation of the hands 7, 8 in the wafer processing device 4. Therefore, in this embodiment, even if the position and orientation of the hands 7, 8 cannot be appropriately corrected in the wafer storage unit 5 due to mechanical constraints, it is possible to appropriately transport the wafer 2 from the wafer storage unit 5 to the wafer processing device 4.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 Other Embodiments
The above-described embodiment is one example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this embodiment and various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

上述した形態において、第１検知ステップでハンド７を上下動（昇降）させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ａの上端の高さと第２基準ピン６２Ｂの上端の高さとを検知し、第２検知ステップでハンド７を上下動させて、搭載部２０、２１に取り付けられる検知機構６３、６４によって、第１基準ピン６２Ｃの上端の高さと第２基準ピン６２Ｄの上端の高さとを検知しても良い。 In the above-described embodiment, the hand 7 may be moved up and down (raised and lowered) in the first detection step to detect the height of the upper end of the first reference pin 62A and the height of the upper end of the second reference pin 62B by the detection mechanisms 63, 64 attached to the mounting parts 20, 21, and the hand 7 may be moved up and down in the second detection step to detect the height of the upper end of the first reference pin 62C and the height of the upper end of the second reference pin 62D by the detection mechanisms 63, 64 attached to the mounting parts 20, 21.

この場合には、制御部１２は、第１補正値算出ステップにおいて、第１検知ステップで検知された第１基準ピン６２Ａの上端の高さと第２基準ピン６２Ｂの上端の高さとに基づいて算出される搬出側検知中点Ｍ１の高さの、搬出側基準中点Ｍ１１の設計上の高さに対するずれ量を搬出側補正値として算出し、第２補正値算出ステップにおいて、第２検知ステップで検知された第１基準ピン６２Ｃの上端の高さと第２基準ピン６２Ｄの上端の高さとに基づいて算出される搬入側検知中点Ｍ２の高さの、搬入側基準中点Ｍ２１の設計上の高さに対するずれ量を搬入側補正値として算出する。この場合には、ウエハ収容部５やウエハ処理装置４において、搬出側補正値や搬入側補正値に基づくハンド７、８の上下方向の位置の補正を行うことが可能になる。 In this case, in the first correction value calculation step, the control unit 12 calculates the deviation amount of the height of the unloading side detection midpoint M1, which is calculated based on the height of the upper end of the first reference pin 62A and the height of the upper end of the second reference pin 62B detected in the first detection step, from the design height of the unloading side reference midpoint M11, as the unloading side correction value, and in the second correction value calculation step, calculates the deviation amount of the height of the unloading side detection midpoint M2, which is calculated based on the height of the upper end of the first reference pin 62C and the height of the upper end of the second reference pin 62D detected in the second detection step, from the design height of the unloading side reference midpoint M21, as the unloading side correction value. In this case, in the wafer storage unit 5 and the wafer processing device 4, it becomes possible to correct the vertical positions of the hands 7 and 8 based on the unloading side correction value and the unloading side correction value.

上述した形態において、上下方向から見たときに、第１配置位置５５ａに配置される第１基準ピン６２Ａの中心Ｃ２が、第１配置位置５５ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ１からずれていても良いし、第２配置位置５５ｂに配置される第２基準ピン６２Ｂの中心Ｃ４が、第２配置位置５５ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ３からずれていても良い。同様に、上下方向から見たときに、第１配置位置５４ａに配置される第１基準ピン６２Ｃの中心Ｃ６が、第１配置位置５４ａの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ａの中心Ｃ５からずれていても良いし、第２配置位置５４ｂに配置される第２基準ピン６２Ｄの中心Ｃ８が、第２配置位置５４ｂの正規の位置に配置されたときのウエハ２Ｂの中心Ｃ７からずれていても良い。 In the above-mentioned embodiment, when viewed from the top-bottom direction, the center C2 of the first reference pin 62A arranged at the first arrangement position 55a may be offset from the center C1 of the wafer 2A when arranged at the normal position of the first arrangement position 55a, and the center C4 of the second reference pin 62B arranged at the second arrangement position 55b may be offset from the center C3 of the wafer 2B when arranged at the normal position of the second arrangement position 55b. Similarly, when viewed from the top-bottom direction, the center C6 of the first reference pin 62C arranged at the first arrangement position 54a may be offset from the center C5 of the wafer 2A when arranged at the normal position of the first arrangement position 54a, and the center C8 of the second reference pin 62D arranged at the second arrangement position 54b may be offset from the center C7 of the wafer 2B when arranged at the normal position of the second arrangement position 54b.

上述した形態において、ロボット１は、ウエハ処理装置４からウエハ収容部５にウエハ２を搬送しても良い。この場合には、ウエハ処理装置４が搬出部となり、ウエハ収容部５が搬入部となる。また、この場合には、ウエハ処理装置４からウエハ収容部５にウエハ２を搬送するときに、搬出部であるウエハ処理装置４において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正し、搬入部であるウエハ収容部５では、ハンド７、８の位置および向きを補正しない。 In the above-described embodiment, the robot 1 may transport the wafer 2 from the wafer processing device 4 to the wafer accommodation section 5. In this case, the wafer processing device 4 serves as the unloading section, and the wafer accommodation section 5 serves as the loading section. In this case, when the wafer 2 is transported from the wafer processing device 4 to the wafer accommodation section 5, the wafer processing device 4, which is the unloading section, corrects the position and orientation of the hands 7, 8 based on the unloading side correction value and the loading side correction value, and the wafer accommodation section 5, which is the loading section, does not correct the position and orientation of the hands 7, 8.

上述した形態において、機械的な制約がなくて、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置および向きを適切に補正することができるのであれば、ウエハ収容部５からウエハ処理装置４にウエハ２を搬送するときに、ウエハ収容部５において、搬出側補正値および搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正し、ウエハ処理装置４では、ハンド７、８の位置および向きを補正しなくても良い。また、機械的な制約がなくて、ウエハ収容部５においてハンド７、８の位置および向きを適切に補正することができるのであれば、ウエハ収容部５において、搬出側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正するとともに、ウエハ処理装置４において、搬入側補正値に基づいてハンド７、８の位置および向きを補正しても良い。 In the above-described embodiment, if there are no mechanical constraints and the positions and orientations of the hands 7 and 8 can be appropriately corrected in the wafer storage unit 5, when the wafer 2 is transferred from the wafer storage unit 5 to the wafer processing device 4, the positions and orientations of the hands 7 and 8 can be corrected in the wafer storage unit 5 based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value, and the positions and orientations of the hands 7 and 8 do not need to be corrected in the wafer processing device 4. Also, if there are no mechanical constraints and the positions and orientations of the hands 7 and 8 can be appropriately corrected in the wafer storage unit 5, the positions and orientations of the hands 7 and 8 can be corrected in the wafer storage unit 5 based on the carry-out side correction value, and the positions and orientations of the hands 7 and 8 can be corrected in the wafer processing device 4 based on the carry-in side correction value.

上述した形態において、検知機構６３、６４は、搭載部２０、２１に直接取り付けられていても良い。この場合には、検知用治具６０が不要になる。また、上述した形態において、ウエハ収容部５とウエハ処理装置４とが左右方向で隣接していても良い。この場合には、ハンド７、８は、設計上、ウエハ収容部５に対して前後方向に直線的に移動する。さらに、上述した形態において、共通アーム部１７は、Ｖ形状に形成されていても良いし、長円形状に形成されていても良い。また、上述した形態において、第１検知ステップおよび第２検知ステップは、オペレータによって手動で実行されても良い。 In the above-mentioned embodiment, the detection mechanisms 63, 64 may be directly attached to the mounting portions 20, 21. In this case, the detection jig 60 is not necessary. In the above-mentioned embodiment, the wafer storage portion 5 and the wafer processing device 4 may be adjacent to each other in the left-right direction. In this case, the hands 7, 8 are designed to move linearly in the front-rear direction relative to the wafer storage portion 5. Furthermore, in the above-mentioned embodiment, the common arm portion 17 may be formed in a V-shape or an elliptical shape. In the above-mentioned embodiment, the first detection step and the second detection step may be performed manually by an operator.

上述した形態において、ロボット１は、たとえば、特開２０２１－１６７０４５号公報に開示される産業用ロボットのように、２本の多関節アームを備えていても良い。また、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドの数は１個であっても良い。この場合には、ロボット１は１本の多関節アームを備えている。さらに、上述した形態において、ロボット１は、たとえば、特開２０１９－２５５８５号公報に開示される産業用ロボットように、水平多関節型以外の産業用ロボットであっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。この場合には、搬送対象物は円板状に形成されていなくても良い。 In the above-mentioned embodiment, the robot 1 may have two multi-joint arms, for example, as in the industrial robot disclosed in JP 2021-167045 A. Also, in the above-mentioned embodiment, the number of hands provided by the robot 1 may be one. In this case, the robot 1 has one multi-joint arm. Furthermore, in the above-mentioned embodiment, the robot 1 may be an industrial robot other than a horizontal multi-joint type, for example, as in the industrial robot disclosed in JP 2019-25585 A. Also, in the above-mentioned embodiment, the robot 1 may transport an object other than the wafer 2. In this case, the object does not have to be formed in a disk shape.

（本技術の構成）
なお、本技術は以下のような構成を取ることが可能である。
（１）上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が搭載されるハンドを備える産業用ロボットの前記ハンドの位置および向きを補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が配置可能な搬出部から上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が配置可能な搬入部に２個の前記搬送対象物を一緒に搬送し、
前記ハンドは、１個の前記搬送対象物が搭載される第１搭載部と、１個の前記搬送対象物が搭載される第２搭載部とを備え、
前記第１搭載部に搭載される前記搬送対象物を第１搬送対象物とし、前記第２搭載部に搭載される前記搬送対象物を第２搬送対象物とし、前記搬出部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬出側第１配置位置とし、前記搬出部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬出側第２配置位置とし、前記搬入部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬入側第１配置位置とし、前記搬入部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬入側第２配置位置とすると、
前記産業用ロボットの補正値算出方法は、
前記第１搭載部および前記第２搭載部に取り付けられる検知機構によって、前記搬出側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、前記搬出側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第１検知ステップと、
前記検知機構によって、前記搬入側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、前記搬入側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第２検知ステップとを備えるとともに、
前記第１検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの前記搬出側第１基準ピンの中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側検知線分とし、前記搬出側検知線分の中点を搬出側検知中点とし、前記第２検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの前記搬入側第１基準ピンの中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側検知線分とし、前記搬入側検知線分の中点を搬入側検知中点とし、前記搬出部において前記搬出側第１基準ピンおよび前記搬出側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの前記搬出側第１基準ピンの中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側基準線分とし、前記搬出側基準線分の中点を搬出側基準中点とし、前記搬入部において前記搬入側第１基準ピンおよび前記搬入側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの前記搬入側第１基準ピンの中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側基準線分とし、前記搬入側基準線分の中点を搬入側基準中点とすると、
少なくとも、上下方向から見たときの前記搬出側基準中点に対する前記搬出側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの前記搬出側基準線分に対する前記搬出側検知線分の傾きとを搬出側補正値として算出する第１補正値算出ステップと、
少なくとも、上下方向から見たときの前記搬入側基準中点に対する前記搬入側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの前記搬入側基準線分に対する前記搬入側検知線分の傾きとを搬入側補正値として算出する第２補正値算出ステップとを備えることを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。
（２）前記搬出側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬出側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第１搬送対象物の中心と前記搬出側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬出側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬出側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第２搬送対象物の中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬入側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬入側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第１搬送対象物の中心と前記搬入側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬入側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬入側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第２搬送対象物の中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置されていることを特徴とする（１）記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
（３）前記第１検知ステップでは、前記検知機構によって、前記搬出側第１基準ピンの上端の高さと前記搬出側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、
前記第２検知ステップでは、前記検知機構によって、前記搬入側第１基準ピンの上端の高さと前記搬入側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、
前記第１補正値算出ステップでは、前記第１検知ステップで検知された前記搬出側第１基準ピンの上端の高さと前記搬出側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される前記搬出側検知中点の高さの、前記搬出側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を前記搬出側補正値として算出し、
前記第２補正値算出ステップでは、前記第２検知ステップで検知された前記搬入側第１基準ピンの上端の高さと前記搬入側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される前記搬入側検知中点の高さの、前記搬入側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を前記搬入側補正値として算出することを特徴とする（１）または（２）記載の産業用ロボットの補正値算出方法。
（４）（１）から（３）のいずれかに記載の産業用ロボットの補正値算出方法で算出された前記補正値に基づいて前記産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法であって、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方では、前記ハンドの位置および向きを補正せず、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方では、前記搬出側補正値および前記搬入側補正値に基づいて前記ハンドの位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。
（５）前記産業用ロボットは、前記ハンドが回動可能に連結されるアームと、前記アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように前記本体部を保持する本体保持部と、前記本体保持部に対して前記本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記アームを回動させるとともに前記ハンドが一定方向を向いた状態で前記本体部に対して水平方向に直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構とを備える水平多関節型のロボットであり、
前記本体保持部に対する前記本体部の移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドは、設計上、前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方に対して前記第１方向に直線的に移動するとともに、前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方に対して前記第２方向に直線的に移動することを特徴とする（４）記載の産業用ロボットの制御方法。 (Configuration of this technology)
The present technology can be configured as follows.
(1) A correction value calculation method for an industrial robot, the method comprising: calculating a correction value for correcting a position and an orientation of a hand of an industrial robot having a hand on which two transport objects that do not overlap in a vertical direction are placed, the method comprising the steps of:
the industrial robot transports the two transport objects together from an output section in which the two transport objects can be arranged so that they are not overlapped in the vertical direction to an input section in which the two transport objects can be arranged so that they are not overlapped in the vertical direction;
the hand includes a first mounting portion on which one of the transport objects is mounted, and a second mounting portion on which one of the transport objects is mounted,
The object to be transported mounted on the first mounting section is the first object to be transported, the object to be transported mounted on the second mounting section is the second object to be transported, the position of the unloading section where the first object to be transported is the unloading-side first position, the position of the unloading section where the second object to be transported is the unloading-side second position, the position of the loading section where the first object to be transported is the load-in first position, and the position of the loading section where the second object to be transported is the load-in second position,
The method for calculating a correction value for an industrial robot includes the steps of:
a first detection step of detecting at least a horizontal position of an unloading-side first reference pin arranged at a predetermined location in the unloading-side first arrangement position and at least a horizontal position of an unloading-side second reference pin arranged at a predetermined location in the unloading-side second arrangement position by a detection mechanism attached to the first mounting portion and the second mounting portion;
a second detection step of detecting, by the detection mechanism, at least a horizontal position of a first carry-in-side reference pin arranged at a predetermined location in the first carry-in-side arrangement position and at least a horizontal position of a second carry-in-side reference pin arranged at a predetermined location in the second carry-in-side arrangement position;
A line segment connecting the center of the unloading-side first reference pin and the center of the unloading-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction, which is specified based on the detection result of the first detection step, is defined as an unloading-side detection line segment, and a midpoint of the unloading-side detection line segment is defined as an unloading-side detection midpoint; a line segment connecting the center of the unloading-side first reference pin and the center of the unloading-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction, which is specified based on the detection result of the second detection step, is defined as an unloading-side detection line segment, and a midpoint of the unloading-side detection line segment is defined as an unloading-side detection midpoint; Assuming that the load section is placed at a design position, a line segment connecting the center of the unload-side first reference pin and the center of the unload-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction is defined as the unload-side reference line segment, and the midpoint of the unload-side reference line segment is defined as the unload-side reference midpoint; assuming that the load section is placed at a design position in the load section, a line segment connecting the center of the unload-side first reference pin and the center of the unload-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction is defined as the load-in side reference line segment, and the midpoint of the load-in side reference line segment is defined as the load-in side reference midpoint;
a first correction value calculation step of calculating, as an unloading side correction value, at least a deviation amount of the unloading side detection midpoint with respect to the unloading side reference midpoint when viewed from a vertical direction and an inclination of the unloading side detection line segment with respect to the unloading side reference line segment when viewed from a vertical direction;
A correction value calculation method for an industrial robot, comprising: a second correction value calculation step of calculating, as a loading side correction value, at least the amount of deviation of the loading side detection midpoint from the loading side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction and the inclination of the loading side detection line segment from the loading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction.
(2) the unloading-side first reference pin is disposed at a position where a center of the first transport object coincides with a center of the unloading-side first reference pin when the first transport object is disposed at a normal position of the unloading-side first arrangement position when viewed from the top-bottom direction;
the unloading-side second reference pin is disposed at a position where a center of the second transport object coincides with a center of the unloading-side second reference pin when the second transport object is disposed at a normal position of the unloading-side second arrangement position when viewed from above and below;
the loading-side first reference pin is disposed at a position where a center of the first transport object coincides with a center of the loading-side first reference pin when the first transport object is disposed at a normal position of the loading-side first arrangement position when viewed from above and below;
The method for calculating a correction value for an industrial robot described in (1) is characterized in that the second reference pin on the loading side is positioned at a location where, when viewed from above and below, the center of the second transport object when placed in the correct position of the second loading side placement position coincides with the center of the second reference pin on the loading side.
(3) in the first detection step, a height of an upper end of the unloading-side first reference pin and a height of an upper end of the unloading-side second reference pin are detected by the detection mechanism;
In the second detection step, a height of an upper end of the first carry-in reference pin and a height of an upper end of the second carry-in reference pin are detected by the detection mechanism,
In the first correction value calculation step, a deviation amount of the height of the unload-side detection midpoint, which is calculated based on the height of the upper end of the unload-side first reference pin and the height of the upper end of the unload-side second reference pin detected in the first detection step, from a design height of the unload-side reference midpoint is calculated as the unload-side correction value;
The method for calculating a correction value for an industrial robot according to claim 1 or 2, characterized in that in the second correction value calculation step, a deviation of the height of the loading-side detection midpoint, which is calculated based on the height of the upper end of the loading-side first reference pin and the height of the upper end of the loading-side second reference pin detected in the second detection step, from a design height of the loading-side reference midpoint is calculated as the loading-side correction value.
(4) A method for controlling an industrial robot based on the correction value calculated by the method for calculating a correction value for an industrial robot according to any one of (1) to (3), comprising:
The position and the orientation of the hand are not corrected in either the carry-out unit or the carry-in unit,
a position and orientation of the hand are corrected based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value at the other of the carry-out unit and the carry-in unit.
(5) The industrial robot is a horizontally articulated robot including an arm to which the hand is rotatably connected, a main body to which the arm is rotatably connected, a main body holding part that holds the main body so as to enable linear movement in a horizontal direction, a horizontal movement mechanism that moves the main body relative to the main body holding part, and an arm drive mechanism that rotates the arm relative to the main body with the vertical direction as the axial direction of the rotation and extends and retracts the arm so as to move linearly in the horizontal direction relative to the main body with the hand facing in a fixed direction,
A moving direction of the main body portion relative to the main body holding portion is defined as a first direction, and a direction perpendicular to the first direction and the up-down direction is defined as a second direction.
The control method for an industrial robot described in (4), wherein the hand is designed to move linearly in the first direction relative to either the unloading section or the loading section, and to move linearly in the second direction relative to the other of the unloading section or the loading section.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
２Ａ ウエハ（第１搬送対象物）
２Ｂ ウエハ（第２搬送対象物）
４ ウエハ処理装置（搬入部）
５ ウエハ収容部（搬出部）
７、８ ハンド
９ アーム
１０ 本体部
１１ 本体保持部
２０ 搭載部（第１搭載部）
２１ 搭載部（第２搭載部）
３２ 水平移動機構
４６ アーム駆動機構
５４ａ 第１配置位置（搬入側第１配置位置）
５４ｂ 第２配置位置（搬入側第２配置位置）
５５ａ 第１配置位置（搬出側第１配置位置）
５５ｂ 第２配置位置（搬出側第２配置位置）
６２Ａ 第１基準ピン（搬出側第１基準ピン）
６２Ｂ 第２基準ピン（搬出側第２基準ピン）
６２Ｃ 第１基準ピン（搬入側第１基準ピン）
６２Ｄ 第２基準ピン（搬入側第２基準ピン）
６３、６４ 検知機構
Ｃ１ 搬出側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの第１搬送対象物の中心
Ｃ２ 搬出側第１基準ピンの中心
Ｃ３ 搬出側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの第２搬送対象物の中心
Ｃ４ 搬出側第２基準ピンの中心
Ｃ５ 搬入側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの第１搬送対象物の中心
Ｃ６ 搬入側第１基準ピンの中心
Ｃ７ 搬入側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの第２搬送対象物の中心
Ｃ８ 搬入側第２基準ピンの中心
Ｌ１ 搬出側検知線分
Ｌ２ 搬入側検知線
Ｌ１１ 搬出側基準線分
Ｌ２１ 搬入側基準線分
Ｍ１ 搬出側検知中点
Ｍ２ 搬入側検知中点
Ｍ１１ 搬出側基準中点
Ｍ２１ 搬入側基準中点
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Δθ１ 搬出側基準線分に対する搬出側検知線分の傾き
Δθ２ 搬入側基準線分に対する搬入側検知線分の傾き 1. Robots (industrial robots)
2 Wafer (semiconductor wafer, transport object)
2A Wafer (first transport object)
2B Wafer (second transport object)
4 Wafer processing device (carry-in section)
5 Wafer storage section (unloading section)
Reference Signs List 7, 8 Hand 9 Arm 10 Main body 11 Main body holding part 20 Mounting part (first mounting part)
21 Mounting section (second mounting section)
32 Horizontal movement mechanism 46 Arm drive mechanism 54a First arrangement position (carry-in first arrangement position)
54b Second arrangement position (carry-in side second arrangement position)
55a First arrangement position (first arrangement position on the unloading side)
55b Second arrangement position (export side second arrangement position)
62A First reference pin (first reference pin on the discharge side)
62B Second reference pin (unloading side second reference pin)
62C First reference pin (first reference pin on the loading side)
62D Second reference pin (carry-in side second reference pin)
63, 64 Detection mechanism C1 Center of the first transfer object when placed at the normal position of the unloading-side first placement position C2 Center of the unloading-side first reference pin C3 Center of the second transfer object when placed at the normal position of the unloading-side second placement position C4 Center of the unloading-side second reference pin C5 Center of the first transfer object when placed at the normal position of the load-in side first placement position C6 Center of the load-in side first reference pin C7 Center of the second transfer object when placed at the normal position of the load-in side second placement position C8 Center of the load-in side second reference pin L1 Unloading-side detection line L2 Load-in side detection line L11 Unloading-side reference line L21 Load-in side reference line M1 Unloading-side detection midpoint M2 Load-in side detection midpoint M11 Unloading-side reference midpoint M21 Load-in side reference midpoint X First direction Y Second direction Δθ1 Inclination of the detection line segment on the carry-out side relative to the reference line segment on the carry-out side Δθ2 Inclination of the detection line segment on the carry-in side relative to the reference line segment on the carry-in side

Claims (5)

上下方向で重なっていない状態の２個の搬送対象物が搭載されるハンドを備える産業用ロボットの前記ハンドの位置および向きを補正するための補正値を算出する産業用ロボットの補正値算出方法であって、
前記産業用ロボットは、上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が配置可能な搬出部から上下方向で重なっていない状態の２個の前記搬送対象物が配置可能な搬入部に２個の前記搬送対象物を一緒に搬送し、
前記ハンドは、１個の前記搬送対象物が搭載される第１搭載部と、１個の前記搬送対象物が搭載される第２搭載部とを備え、
前記第１搭載部に搭載される前記搬送対象物を第１搬送対象物とし、前記第２搭載部に搭載される前記搬送対象物を第２搬送対象物とし、前記搬出部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬出側第１配置位置とし、前記搬出部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬出側第２配置位置とし、前記搬入部の、前記第１搬送対象物が配置される位置を搬入側第１配置位置とし、前記搬入部の、前記第２搬送対象物が配置される位置を搬入側第２配置位置とすると、
前記産業用ロボットの補正値算出方法は、
前記第１搭載部および前記第２搭載部に取り付けられる検知機構によって、前記搬出側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、前記搬出側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬出側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第１検知ステップと、
前記検知機構によって、前記搬入側第１配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第１基準ピンの少なくとも水平方向の位置と、前記搬入側第２配置位置の所定の箇所に配置される搬入側第２基準ピンの少なくとも水平方向の位置とを検知する第２検知ステップとを備えるとともに、
前記第１検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの前記搬出側第１基準ピンの中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側検知線分とし、前記搬出側検知線分の中点を搬出側検知中点とし、前記第２検知ステップの検知結果に基づいて特定される、上下方向から見たときの前記搬入側第１基準ピンの中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側検知線分とし、前記搬入側検知線分の中点を搬入側検知中点とし、前記搬出部において前記搬出側第１基準ピンおよび前記搬出側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの前記搬出側第１基準ピンの中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬出側基準線分とし、前記搬出側基準線分の中点を搬出側基準中点とし、前記搬入部において前記搬入側第１基準ピンおよび前記搬入側第２基準ピンが設計上の位置に配置されていると仮定したときの、上下方向から見たときの前記搬入側第１基準ピンの中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とを結ぶ線分を搬入側基準線分とし、前記搬入側基準線分の中点を搬入側基準中点とすると、
少なくとも、上下方向から見たときの前記搬出側基準中点に対する前記搬出側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの前記搬出側基準線分に対する前記搬出側検知線分の傾きとを搬出側補正値として算出する第１補正値算出ステップと、
少なくとも、上下方向から見たときの前記搬入側基準中点に対する前記搬入側検知中点のずれ量と、上下方向から見たときの前記搬入側基準線分に対する前記搬入側検知線分の傾きとを搬入側補正値として算出する第２補正値算出ステップとを備えることを特徴とする産業用ロボットの補正値算出方法。 1. A correction value calculation method for an industrial robot, the method comprising: calculating a correction value for correcting a position and an orientation of a hand of an industrial robot having a hand on which two transport objects that do not overlap in a vertical direction are placed, the method comprising the steps of:
the industrial robot transports the two transport objects together from an output section in which the two transport objects can be arranged so that they are not overlapped in the vertical direction to an input section in which the two transport objects can be arranged so that they are not overlapped in the vertical direction;
the hand includes a first mounting portion on which one of the transport objects is mounted, and a second mounting portion on which one of the transport objects is mounted,
The object to be transported mounted on the first mounting section is the first object to be transported, the object to be transported mounted on the second mounting section is the second object to be transported, the position of the unloading section where the first object to be transported is the unloading-side first position, the position of the unloading section where the second object to be transported is the unloading-side second position, the position of the loading section where the first object to be transported is the load-in first position, and the position of the loading section where the second object to be transported is the load-in second position,
The method for calculating a correction value for an industrial robot includes the steps of:
a first detection step of detecting at least a horizontal position of an unloading-side first reference pin arranged at a predetermined location in the unloading-side first arrangement position and at least a horizontal position of an unloading-side second reference pin arranged at a predetermined location in the unloading-side second arrangement position by a detection mechanism attached to the first mounting portion and the second mounting portion;
a second detection step of detecting, by the detection mechanism, at least a horizontal position of a first carry-in-side reference pin arranged at a predetermined location in the first carry-in-side arrangement position and at least a horizontal position of a second carry-in-side reference pin arranged at a predetermined location in the second carry-in-side arrangement position;
A line segment connecting the center of the unloading-side first reference pin and the center of the unloading-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction, which is specified based on the detection result of the first detection step, is defined as an unloading-side detection line segment, and a midpoint of the unloading-side detection line segment is defined as an unloading-side detection midpoint; a line segment connecting the center of the unloading-side first reference pin and the center of the unloading-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction, which is specified based on the detection result of the second detection step, is defined as an unloading-side detection line segment, and a midpoint of the unloading-side detection line segment is defined as an unloading-side detection midpoint; Assuming that the load section is placed at a design position, a line segment connecting the center of the unload-side first reference pin and the center of the unload-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction is defined as the unload-side reference line segment, and the midpoint of the unload-side reference line segment is defined as the unload-side reference midpoint; assuming that the load section is placed at a design position in the load section, a line segment connecting the center of the unload-side first reference pin and the center of the unload-side second reference pin when viewed from the top-bottom direction is defined as the load-in side reference line segment, and the midpoint of the load-in side reference line segment is defined as the load-in side reference midpoint;
a first correction value calculation step of calculating, as an unloading side correction value, at least a deviation amount of the unloading side detection midpoint with respect to the unloading side reference midpoint when viewed from a vertical direction and an inclination of the unloading side detection line segment with respect to the unloading side reference line segment when viewed from a vertical direction;
A correction value calculation method for an industrial robot, comprising: a second correction value calculation step of calculating, as a loading side correction value, at least the amount of deviation of the loading side detection midpoint from the loading side reference midpoint when viewed from the top-bottom direction and the inclination of the loading side detection line segment from the loading side reference line segment when viewed from the top-bottom direction. 前記搬出側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬出側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第１搬送対象物の中心と前記搬出側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬出側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬出側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第２搬送対象物の中心と前記搬出側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬入側第１基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬入側第１配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第１搬送対象物の中心と前記搬入側第１基準ピンの中心とが一致する箇所に配置され、
前記搬入側第２基準ピンは、上下方向から見たときに、前記搬入側第２配置位置の正規の位置に配置されたときの前記第２搬送対象物の中心と前記搬入側第２基準ピンの中心とが一致する箇所に配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 the unloading-side first reference pin is disposed at a position where a center of the first transport object coincides with a center of the unloading-side first reference pin when the first transport object is disposed at a normal position of the unloading-side first arrangement position, when viewed from the top-bottom direction;
the unloading-side second reference pin is disposed at a position where a center of the second transport object coincides with a center of the unloading-side second reference pin when the second transport object is disposed at a normal position of the unloading-side second arrangement position when viewed from above and below;
the loading-side first reference pin is disposed at a position where a center of the first transport object coincides with a center of the loading-side first reference pin when the first transport object is disposed at a normal position of the loading-side first arrangement position when viewed from above and below;
2. The method for calculating a correction value for an industrial robot as described in claim 1, characterized in that the second loading-side reference pin is positioned at a location where, when viewed from above and below, the center of the second transported object coincides with the center of the second loading-side reference pin when the second transport object is positioned in its normal position at the second loading-side placement position. 前記第１検知ステップでは、前記検知機構によって、前記搬出側第１基準ピンの上端の高さと前記搬出側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、
前記第２検知ステップでは、前記検知機構によって、前記搬入側第１基準ピンの上端の高さと前記搬入側第２基準ピンの上端の高さとを検知し、
前記第１補正値算出ステップでは、前記第１検知ステップで検知された前記搬出側第１基準ピンの上端の高さと前記搬出側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される前記搬出側検知中点の高さの、前記搬出側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を前記搬出側補正値として算出し、
前記第２補正値算出ステップでは、前記第２検知ステップで検知された前記搬入側第１基準ピンの上端の高さと前記搬入側第２基準ピンの上端の高さとに基づいて算出される前記搬入側検知中点の高さの、前記搬入側基準中点の設計上の高さに対するずれ量を前記搬入側補正値として算出することを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボットの補正値算出方法。 In the first detection step, a height of an upper end of the unloading-side first reference pin and a height of an upper end of the unloading-side second reference pin are detected by the detection mechanism,
In the second detection step, a height of an upper end of the first carry-in reference pin and a height of an upper end of the second carry-in reference pin are detected by the detection mechanism,
In the first correction value calculation step, a deviation amount of the height of the unload-side detection midpoint, which is calculated based on the height of the upper end of the unload-side first reference pin and the height of the upper end of the unload-side second reference pin detected in the first detection step, from a design height of the unload-side reference midpoint is calculated as the unload-side correction value;
3. The method for calculating a correction value for an industrial robot according to claim 1, wherein in the second correction value calculation step, a deviation of the height of the loading-side detection midpoint, which is calculated based on the height of the upper end of the loading-side first reference pin and the height of the upper end of the loading-side second reference pin detected in the second detection step, from a design height of the loading-side reference midpoint is calculated as the loading-side correction value. 請求項１または２記載の産業用ロボットの補正値算出方法で算出された前記補正値に基づいて前記産業用ロボットを制御するための産業用ロボットの制御方法であって、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方では、前記ハンドの位置および向きを補正せず、
前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方では、前記搬出側補正値および前記搬入側補正値に基づいて前記ハンドの位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。 3. A method for controlling an industrial robot based on the correction value calculated by the method for calculating a correction value for an industrial robot according to claim 1, comprising the steps of:
The position and the orientation of the hand are not corrected in either the carry-out unit or the carry-in unit,
a position and orientation of the hand is corrected based on the carry-out side correction value and the carry-in side correction value at the other of the carry-out unit and the carry-in unit. 前記産業用ロボットは、前記ハンドが回動可能に連結されるアームと、前記アームが回動可能に連結される本体部と、水平方向への直線的な移動が可能となるように前記本体部を保持する本体保持部と、前記本体保持部に対して前記本体部を移動させる水平移動機構と、上下方向を回動の軸方向として前記本体部に対して前記アームを回動させるとともに前記ハンドが一定方向を向いた状態で前記本体部に対して水平方向に直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構とを備える水平多関節型のロボットであり、
前記本体保持部に対する前記本体部の移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドは、設計上、前記搬出部および前記搬入部のいずれか一方に対して前記第１方向に直線的に移動するとともに、前記搬出部および前記搬入部のいずれか他方に対して前記第２方向に直線的に移動することを特徴とする請求項４記載の産業用ロボットの制御方法。 The industrial robot is a horizontally articulated robot including an arm to which the hand is rotatably connected, a main body to which the arm is rotatably connected, a main body holder that holds the main body so as to enable linear movement in a horizontal direction, a horizontal movement mechanism that moves the main body relative to the main body holder, and an arm drive mechanism that rotates the arm relative to the main body with the vertical direction as the axial direction of rotation and extends and retracts the arm so that the arm moves linearly in the horizontal direction relative to the main body with the hand facing in a fixed direction,
A moving direction of the main body portion relative to the main body holding portion is defined as a first direction, and a direction perpendicular to the first direction and the up-down direction is defined as a second direction.
5. The control method for an industrial robot according to claim 4, characterized in that the hand is designed to move linearly in the first direction relative to either the unloading section or the loading section, and to move linearly in the second direction relative to the other of the unloading section or the loading section.
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