JP2024126892A - Vent Tank - Google Patents
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Abstract
【課題】エアベント処理によりベントタンクに排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能なベントタンクを提供する。【解決手段】塗布器２０から排出される塗布液を回収するベントタンク１０であって、塗布液を貯留するタンク本体１１と、タンク本体１１に挿入され、塗布器２０から排出された塗布液を、タンク本体１１に導くベント配管１２と、タンク本体１１に挿入され、洗浄液をタンク本体１１内に噴出する洗浄ノズル１３とを備え、洗浄ノズル１３は、洗浄液をタンク本体１１内に全方位に噴出するノズル部１３ａを備えている。【選択図】図２[Problem] To provide a vent tank that can reuse, in a clean state, coating liquid discharged into the vent tank by air vent processing. [Solution] A vent tank 10 that collects coating liquid discharged from an applicator 20, includes a tank body 11 that stores the coating liquid, a vent pipe 12 that is inserted into the tank body 11 and directs the coating liquid discharged from the applicator 20 to the tank body 11, and a cleaning nozzle 13 that is inserted into the tank body 11 and sprays cleaning liquid into the tank body 11, the cleaning nozzle 13 having a nozzle portion 13a that sprays cleaning liquid into the tank body 11 in all directions. [Selected Figure] Figure 2
Description
本発明は、塗布器から排出される塗布液を回収するベントタンクに関する。 The present invention relates to a vent tank that collects coating liquid discharged from an applicator.
ガラス基板等の基板に塗布液を塗布する装置として、塗布液を吐出するスリットノズルを有する塗布器を備えた塗布装置が知られている。スリットノズルは、塗布器の幅方向に長く形成されており、塗布器を基板に対して相対的に移動させながら、スリットノズルから塗布液を吐出することによって、基板の表面に塗布膜が形成される。 As a device for applying a coating liquid to a substrate such as a glass substrate, a coating device equipped with an applicator having a slit nozzle that ejects the coating liquid is known. The slit nozzle is formed long in the width direction of the applicator, and a coating film is formed on the surface of the substrate by ejecting the coating liquid from the slit nozzle while moving the applicator relative to the substrate.
塗布器内には、塗布液を一時的に貯留するマニホールドが設けられているが、マニホールドに気泡等のエアが混入した状態で塗布を行うと、塗布液を吐出する圧力が変動するため、塗布ムラの要因になる。 The applicator is equipped with a manifold that temporarily stores the coating liquid, but if coating is performed with air bubbles or other air mixed in the manifold, the pressure at which the coating liquid is discharged will fluctuate, resulting in uneven coating.
特許文献１には、マニホールドに混入する気泡を含む塗布液を、吸引ポンプで吸引して、塗布液貯蔵タンク（ベントタンク）に排出する方法（以下、「エアベント処理」という）が記載されている。 Patent document 1 describes a method in which coating liquid containing air bubbles that have entered a manifold is sucked up by a suction pump and discharged into a coating liquid storage tank (vent tank) (hereinafter referred to as "air vent processing").
エアベント処理によりベントタンクに排出された塗布液を、塗布器に循環して、再利用を図りたいという要望がある。 There is a demand to recycle the coating liquid discharged into the vent tank by air vent processing back into the applicator.
しかしながら、例えば、液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタは、３種類（ＲＧＢ）のカラーレジスト（塗布液）を、ガラス基板上に塗布する工程を繰り返し行うことによって製造される。そのため、ベントタンクに排出された塗布液を、塗布器に循環して再利用を図る場合、塗布液を交換する毎に、ベントタンク内を洗浄する必要がある。 However, for example, color filters used in liquid crystal displays are manufactured by repeatedly applying three types (RGB) of color resist (coating liquid) onto a glass substrate. Therefore, if the coating liquid discharged into the vent tank is to be recycled by circulating it back to the applicator, it is necessary to clean the inside of the vent tank every time the coating liquid is replaced.
ベントタンク内の洗浄は、ベントタンク内を洗浄液で置換することによって一定の効果は得られるが、エアベント処理を行う際に、塗布液の液跳ねによりベントタンクの内壁（特に天井蓋）に付着した塗布液を完全に除去することは難しい。もし、洗浄液で除去されずに残った塗布液が、交換した塗布液に混ざると、品質を低下させる要因となる。 Cleaning the inside of the vent tank can be effective to a certain extent by replacing the contents of the vent tank with a cleaning liquid, but it is difficult to completely remove the coating liquid that has adhered to the inner walls of the vent tank (especially the ceiling lid) due to splashing of the coating liquid during air vent processing. If the coating liquid that was not removed by the cleaning liquid mixes with the replaced coating liquid, it can cause a decrease in quality.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、エアベント処理によりベントタンクに排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能なベントタンクを提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of these points, and aims to provide a vent tank that allows the coating liquid discharged into the vent tank by air vent processing to be reused in a clean state.
本発明に係るベントタンクは、塗布器から排出される塗布液を回収するベントタンクであって、塗布液を貯留するタンク本体と、タンク本体に挿入され、塗布器から排出された塗布液を、タンク本体に導くベント配管と、タンク本体に挿入され、洗浄液をタンク本体内に噴出する洗浄ノズルとを備え、洗浄ノズルは、洗浄液をタンク本体内に全方位に噴出するノズル部を備えている。 The vent tank according to the present invention is a vent tank that collects the coating liquid discharged from the applicator, and is equipped with a tank body that stores the coating liquid, a vent pipe that is inserted into the tank body and directs the coating liquid discharged from the applicator to the tank body, and a cleaning nozzle that is inserted into the tank body and sprays cleaning liquid into the tank body, and the cleaning nozzle has a nozzle portion that sprays cleaning liquid into the tank body in all directions.
本発明によれば、エアベント処理によりベントタンクに排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能なベントタンクを提供することができる。 The present invention provides a vent tank that allows the coating liquid discharged into the vent tank by air vent processing to be reused in a clean state.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。 The following describes in detail an embodiment of the present invention with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the following embodiment.
図１は、本実施形態におけるベントタンクを備えた塗布装置を模式的に示した図である。 Figure 1 is a schematic diagram of a coating device equipped with a vent tank in this embodiment.
図１に示すように、塗布装置は、塗布液を吐出するスリットノズル２１を有する塗布器２０と、塗布器２０内に設けられたマニホールド２２から排出される塗布液を回収するベントタンク１０を備えている。 As shown in FIG. 1, the coating device includes an applicator 20 having a slit nozzle 21 that ejects the coating liquid, and a vent tank 10 that collects the coating liquid discharged from a manifold 22 provided within the applicator 20.
スリットノズル２１は、塗布器２０の幅方向に長く形成されており、塗布器２０を基板（不図示）に対して相対的に移動させながら、スリットノズル２１から塗布液を吐出することによって、基板の表面に塗布膜が形成される。 The slit nozzle 21 is formed long in the width direction of the applicator 20, and a coating film is formed on the surface of the substrate by ejecting the coating liquid from the slit nozzle 21 while moving the applicator 20 relative to the substrate (not shown).
塗布器２０内には、塗布液を一時的に貯留するマニホールド２２が設けられており、塗布液は、バルブ６０を開けて、供給ポンプ４０を作動することによって、供給配管５０、５１を通って、供給孔２３からマニホールド２２内に供給される。マニホールド２２の下側は、スリットノズル２１に連通しており、マニホールド２２に供給された塗布液は、スリットノズル２１から吐出される。なお、塗布時には、バルブ６１、６２、６３、６６は閉じられている。 A manifold 22 that temporarily stores the coating liquid is provided within the applicator 20, and the coating liquid is supplied from the supply hole 23 through the supply pipes 50 and 51 into the manifold 22 by opening the valve 60 and operating the supply pump 40. The lower side of the manifold 22 is connected to the slit nozzle 21, and the coating liquid supplied to the manifold 22 is discharged from the slit nozzle 21. During coating, the valves 61, 62, 63, and 66 are closed.
（エアベント処理）
塗布器２０は、マニホールド２２に存在する気泡等のエアを含む塗布液を排出させるベント孔２４、２５、２６を有している。エアベント処理は、バルブ６０、６１、６２、６３を開けて、マニホールド２２に、供給孔２３から塗布液を供給することによって行われ、エアを含む塗布液は、ベント孔２４、２５、２６から、それぞれ、排出配管５２、５３、５４、５５を通って、ベントタンク１０に排出される。
(Air vent treatment)
The applicator 20 has vent holes 24, 25, and 26 for discharging coating liquid containing air such as air bubbles present in the manifold 22. The air vent process is performed by opening valves 60, 61, 62, and 63 and supplying the coating liquid from the supply hole 23 to the manifold 22, and the coating liquid containing air is discharged from the vent holes 24, 25, and 26 through discharge pipes 52, 53, 54, and 55, respectively, to the vent tank 10.
ベントタンク１０の底部には、排出ポート５７が設けられており、ベントタンク１０に溜まった塗布液を、バルブ６５を開けて、排出ポート５７から外部に排出することができる。また、ベントタンク１０に所定量の塗布液が溜まると、塗布液を、バルブ６６を開けて、排出ポート５７から配管５８を通じて供給ポンプ４０に循環させることによって、エアベント処理でベントタンク１０に排出された塗布液を再利用することができる。 A discharge port 57 is provided at the bottom of the vent tank 10, and the coating liquid accumulated in the vent tank 10 can be discharged to the outside from the discharge port 57 by opening a valve 65. In addition, when a predetermined amount of coating liquid accumulates in the vent tank 10, the coating liquid discharged to the vent tank 10 during the air vent process can be reused by opening a valve 66 and circulating the coating liquid from the discharge port 57 through a pipe 58 to the supply pump 40.
（ベントタンクの構成）
図２は、本実施形態におけるベントタンク１０の構成を模式的に示した断面図である。
(Configuration of vent tank)
FIG. 2 is a cross-sectional view that illustrates a schematic configuration of the vent tank 10 in this embodiment.
図２に示すように、ベントタンク１０は、塗布液を貯留するタンク本体１１と、タンク本体１１に挿入され、マニホールド２２から排出された塗布液を、タンク本体１１に導くベント配管１２と、タンク本体１１に挿入され、洗浄液をタンク本体１１内に噴出する洗浄ノズル１３とを備えている。ベント配管１２及び洗浄ノズル１３は、それぞれ、天井蓋１１ａに固定され、排出配管５５及び洗浄液供給配管５６に連結している。また、タンク本体１１の底部１１ｂには、排出ポート５７が設けられている。 As shown in FIG. 2, the vent tank 10 includes a tank body 11 that stores the coating liquid, a vent pipe 12 that is inserted into the tank body 11 and guides the coating liquid discharged from the manifold 22 to the tank body 11, and a cleaning nozzle 13 that is inserted into the tank body 11 and sprays cleaning liquid into the tank body 11. The vent pipe 12 and cleaning nozzle 13 are fixed to the ceiling lid 11a and connected to a discharge pipe 55 and a cleaning liquid supply pipe 56, respectively. In addition, a discharge port 57 is provided in the bottom 11b of the tank body 11.
洗浄ノズル１３は、洗浄液供給配管５６から供給された洗浄液を、タンク本体１１内に全方位に噴出するノズル部１３ａを備えている。ここで、「全方位に噴出する」とは、図２の点線の矢印に示すように、タンク本体１１の内壁の全領域に洗浄液が届くように、ノズル部１３ａから３６０°の方向に洗浄液を噴出することを意味する。 The cleaning nozzle 13 has a nozzle portion 13a that sprays the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply pipe 56 in all directions into the tank body 11. Here, "spraying in all directions" means that the cleaning liquid is sprayed in a 360° direction from the nozzle portion 13a so that the cleaning liquid reaches the entire area of the inner wall of the tank body 11, as shown by the dotted arrows in Figure 2.
ノズル部１３ａの構造は特に限定されず、例えば、ノズル部１３ａに複数の噴出孔を設け、各噴出孔からの洗浄液の噴出方向を、タンク本体１１内の全方位に向くように調整しておけばよい。あるいは、ノズル部１３ａに、少なくとも１つ以上の噴出孔を設け、ノズル部１３ａを回転させながら、噴出孔から噴出する洗浄液が、タンク本体１１の内壁の全領域に届くように行ってもよい。 The structure of the nozzle portion 13a is not particularly limited, and for example, multiple nozzle holes may be provided in the nozzle portion 13a, and the direction of the cleaning liquid sprayed from each nozzle hole may be adjusted to face in all directions within the tank body 11. Alternatively, at least one or more nozzle holes may be provided in the nozzle portion 13a, and the cleaning liquid sprayed from the nozzle holes may be rotated while the nozzle portion 13a is rotated so that it reaches the entire area of the inner wall of the tank body 11.
本実施形態によれば、タンク本体１１に挿入された洗浄ノズル１３のノズル部１３ａから、洗浄液をタンク本体１１内に全方位に噴出することによって、タンク本体１１の天井蓋１１ａを含む全ての内壁に付着した塗布液を確実に除去することができる。これにより、エアベント処理によりベントタンク１０に排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能となる。 According to this embodiment, the cleaning liquid is sprayed in all directions into the tank body 11 from the nozzle portion 13a of the cleaning nozzle 13 inserted into the tank body 11, so that the coating liquid adhering to all the inner walls of the tank body 11, including the ceiling lid 11a, can be reliably removed. This makes it possible to reuse the coating liquid discharged into the vent tank 10 by the air vent process in a clean state.
（ベントタンクの変型例）
図３は、ベントタンク１０の変型例を示した図である。
(Example of modified vent tank)
FIG. 3 is a diagram showing a modified example of the vent tank 10.
図３に示すように、本変型例におけるベントタンク１０は、図２に示したベントタンク１０の構成に加え、タンク本体１１内の液面を検出する液面センサ１４をさらに備えている。この場合、ノズル部１３ａは、ノズル部１３ａの下端部が、液面センサ１４の設置位置よりも上方に位置するように、タンク本体１１内に配置される。 As shown in Figure 3, the vent tank 10 in this modified example includes, in addition to the configuration of the vent tank 10 shown in Figure 2, a liquid level sensor 14 that detects the liquid level in the tank body 11. In this case, the nozzle portion 13a is disposed in the tank body 11 so that the lower end of the nozzle portion 13a is located above the installation position of the liquid level sensor 14.
このような構成により、ベントタンク１０に溜まった塗布液の液面が、液面センサ１４の設置位置に達した時点で、エアベント処理による塗布液の排出を停止することによって、ノズル部１３ａが、塗布液に浸漬するのを避けることができる。これにより、ノズル部１３ａに設けた噴出孔が塗布液で詰まるのを防止することができるため、噴出孔からの洗浄液の噴出を正常に維持することができる。また、ノズル部１３ａが回転機構を有している場合、ノズル部１３ａの回転を正常に維持することができる。 With this configuration, when the level of the coating liquid accumulated in the vent tank 10 reaches the installation position of the liquid level sensor 14, the discharge of the coating liquid by the air vent process is stopped, thereby preventing the nozzle portion 13a from being immersed in the coating liquid. This prevents the nozzle hole provided in the nozzle portion 13a from being clogged with the coating liquid, so that the spraying of the cleaning liquid from the spray hole can be maintained normally. Furthermore, if the nozzle portion 13a has a rotation mechanism, the rotation of the nozzle portion 13a can be maintained normally.
図４Ａは、ベントタンク１０の他の変型例を示した図で、図４Ｂは、図４ＡのIVＢ－IVＢ線に沿った断面図である。 FIG. 4A is a diagram showing another modified example of the vent tank 10, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IV B - IV B in FIG. 4A.
図４Ａ及び図４Ｂに示すように、本変型例におけるベントタンク１０は、図２に示したベントタンク１０の構成に加え、洗浄液を噴出するノズル部１５ａを有する補助洗浄ノズル１５をさらに備えている。なお、補助洗浄ノズル１５は、天井蓋１１ａに固定され、洗浄液供給配管５９に連結している。 As shown in Figures 4A and 4B, the vent tank 10 in this modified example includes, in addition to the configuration of the vent tank 10 shown in Figure 2, an auxiliary cleaning nozzle 15 having a nozzle portion 15a that sprays cleaning liquid. The auxiliary cleaning nozzle 15 is fixed to the ceiling lid 11a and connected to the cleaning liquid supply pipe 59.
図４Ｂに示すように、タンク本体１１内には、ベント配管１２が配置されているため、タンク本体１１の内壁は、ノズル部１３ａから噴射される洗浄液が、ベント配管１２によって遮られて届かない死角領域Ａを有している。補助洗浄ノズル１５のノズル部１５ａは、少なくとも、死角領域Ａを含む内壁に向かって洗浄液を噴出するように構成されている。 As shown in FIG. 4B, since the vent pipe 12 is disposed inside the tank body 11, the inner wall of the tank body 11 has a blind spot area A where the cleaning liquid sprayed from the nozzle portion 13a is blocked by the vent pipe 12 and cannot reach. The nozzle portion 15a of the auxiliary cleaning nozzle 15 is configured to spray the cleaning liquid at least toward the inner wall including the blind spot area A.
このような構成により、タンク本体１１の死角領域Ａを含む全ての内壁に付着した塗布液を確実に除去することができる。これにより、エアベント処理によりベントタンク１０に排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能となる。 This configuration ensures that all coating liquid adhering to the inner walls of the tank body 11, including the blind spot area A, is removed. This makes it possible to reuse the coating liquid discharged into the vent tank 10 by the air vent process in a clean state.
なお、本変型例では、タンク本体１１内に、１つのベント配管１２が配置されている例を示したが、複数のベント配管１２が配置されている場合、ノズル部１３ａから噴射される洗浄液が届かない死角領域Ａが複数ある場合もある。このような場合は、全ての死角領域Ａを含む内壁に向かって洗浄液が噴出するように、複数の補助洗浄ノズル１５を設ければよい。 In this modified example, one vent pipe 12 is arranged inside the tank body 11, but if multiple vent pipes 12 are arranged, there may be multiple blind spots A that cannot be reached by the cleaning liquid sprayed from the nozzle portion 13a. In such a case, multiple auxiliary cleaning nozzles 15 can be provided so that the cleaning liquid is sprayed toward the inner wall including all of the blind spots A.
図５Ａは、ベントタンク１０の他の変型例を示した図で、図５Ｂは、図５ＡのVＢ－VＢ線に沿った断面図である。 FIG. 5A is a diagram showing another modified example of the vent tank 10, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line VB - VB in FIG. 5A.
図５Ａ及び図５Ｂに示すように、本変型例におけるベントタンク１０は、洗浄ノズル１３が、タンク本体１１の中央部に鉛直方向に挿入された軸部１３ｂと、軸部１３ｂに連結して、水平方向に延びる連結部１３ｃと、連結部１３ｃの先端部に取り付けられ、洗浄液を噴出する噴出孔を有するノズル部１３ａとを備えている。 As shown in Figures 5A and 5B, the vent tank 10 in this modified example has a cleaning nozzle 13 that includes a shaft portion 13b that is inserted vertically into the center of the tank body 11, a connecting portion 13c that is connected to the shaft portion 13b and extends horizontally, and a nozzle portion 13a that is attached to the tip of the connecting portion 13c and has an ejection hole for ejecting cleaning liquid.
軸部１３ｂ及び連結部１３ｃは、内部に洗浄液が流れる流路を有し、図５Ｂに示すように、連結部１３ｃが、軸部１３ｂを中心に回転しながら、ノズル部１３ａの噴出孔から洗浄液を噴出する。 The shaft portion 13b and the connecting portion 13c have a flow path through which the cleaning liquid flows, and as shown in FIG. 5B, the connecting portion 13c rotates around the shaft portion 13b while spraying the cleaning liquid from the nozzle hole of the nozzle portion 13a.
このような構成により、連結部１３ｃの先端部に取り付けられたノズル部１３ａは、軸部１３ｂを中心に回転しながら洗浄液を噴出するため、タンク本体１１の内壁に、ノズル部１３ａから噴射される洗浄液が、ベント配管１２によって遮られて届かない死角領域を生じさせない。そのため、タンク本体１１の内壁に付着した塗布液を確実に除去することができる。これにより、エアベント処理によりベントタンク１０に排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能となる。 With this configuration, the nozzle portion 13a attached to the tip of the connecting portion 13c sprays the cleaning liquid while rotating around the shaft portion 13b, so that no blind spots are created on the inner wall of the tank body 11 where the cleaning liquid sprayed from the nozzle portion 13a is blocked by the vent piping 12 and cannot reach it. This makes it possible to reliably remove the coating liquid adhering to the inner wall of the tank body 11. This makes it possible to reuse the coating liquid discharged into the vent tank 10 by the air vent process in a clean state.
ノズル部１３ａの構造は特に限定されず、図２に示したノズル部１３ａと同様に、例えば、洗浄液をタンク本体１１内に全方位に噴出する構造や、回転機構を備えた構造であってもよい。 The structure of the nozzle portion 13a is not particularly limited, and may be, for example, a structure that sprays the cleaning liquid in all directions into the tank body 11, or a structure that includes a rotation mechanism, similar to the nozzle portion 13a shown in FIG. 2.
また、図５Ｂに示すように、ベント配管１２が、連結部１３ｃの回転と干渉する位置にある場合は、連結部１３ｃを、ベント配管１２と干渉しない範囲で、回転させればよい。 Also, as shown in FIG. 5B, if the vent pipe 12 is in a position that interferes with the rotation of the connecting part 13c, the connecting part 13c can be rotated within a range that does not interfere with the vent pipe 12.
図６Ａは、ベントタンク１０の他の変型例を示した図で、図６Ｂは、図６ＡのVIＢ－VIＢ線に沿った断面図である。 FIG. 6A is a diagram showing another modified example of the vent tank 10, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line VIB - VIB in FIG. 6A.
図６Ａ及び図６Ｂに示すように、本変型例におけるベントタンク１０は、図５Ａ及び図５Ｂに示したベントタンク１０において、連結部１３ｃを、その中心部で、軸部１３ｂに連結し、連結部１３ｃの両先端部に、それぞれ、ノズル部１３ａ、１３ａを取り付け点が異なる。 As shown in Figures 6A and 6B, the vent tank 10 in this modified example is the vent tank 10 shown in Figures 5A and 5B, in which the connecting part 13c is connected to the shaft part 13b at its center, and the nozzle parts 13a, 13a are attached to both ends of the connecting part 13c at different attachment points.
このような構成により、連結部１３ｃの両先端部に取り付けられたノズル部１３ａ、１３ａは、軸部１３ｂを中心に回転しながら、洗浄液を噴出するため、タンク本体１１の内壁に、ノズル部１３ａ、１３ａから噴射される洗浄液が、ベント配管１２によって遮られて届かない死角領域を生じさせない。そのため、タンク本体１１の内壁に付着した塗布液を確実に除去することができる。これにより、エアベント処理によりベントタンク１０に排出された塗布液を、清浄な状態で再利用することが可能となる。 With this configuration, the nozzles 13a, 13a attached to both ends of the connecting portion 13c spray the cleaning liquid while rotating around the shaft 13b, so there are no blind spots on the inner wall of the tank body 11 where the cleaning liquid sprayed from the nozzles 13a, 13a is blocked by the vent piping 12 and cannot reach the tank body 11. This makes it possible to reliably remove the coating liquid adhering to the inner wall of the tank body 11. This makes it possible to reuse the coating liquid discharged into the vent tank 10 by the air vent process in a clean state.
なお、図６Ｂに示すように、ベント配管１２が、連結部１３ｃの回転と干渉する位置にある場合は、連結部１３ｃを、ベント配管１２と干渉しない範囲で、回転させればよい。 As shown in FIG. 6B, if the vent pipe 12 is in a position that interferes with the rotation of the connecting part 13c, the connecting part 13c can be rotated within a range that does not interfere with the vent pipe 12.
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、もちろん、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態では、塗布器２０内のマニホールド２２から排出される塗布液を、ベントタンク１０に回収する場合を例に説明したが、マニホールド２２以外の塗布器２０内に存在する塗布液を、ベントタンク１０に回収してもよい。 The present invention has been described above in terms of preferred embodiments, but these descriptions are not limiting and various modifications are of course possible. For example, in the above embodiment, the coating liquid discharged from the manifold 22 in the applicator 20 is collected in the vent tank 10, but the coating liquid present in the applicator 20 other than the manifold 22 may be collected in the vent tank 10.
１０ ベントタンク
１１ タンク本体
１１ａ 天井蓋
１１ｂ 底部
１２ ベント配管
１３ 洗浄ノズル
１３ａ ノズル部
１３ｂ 軸部
１３ｃ 連結部
１４ 液面センサ
１５ 補助洗浄ノズル
１５ａ ノズル部
２０ 塗布器
２１ スリットノズル
２２ マニホールド
２３ 供給孔
２４、２５、２６ ベント孔
４０ 供給ポンプ
５０、５１ 供給配管
５２、５３、５４、５５ 排出配管
５６、５９ 洗浄液供給配管
５７ 排出ポート
５８ 配管
REFERENCE SIGNS LIST 10 Vent tank 11 Tank body 11a Ceiling cover 11b Bottom 12 Vent pipe 13 Cleaning nozzle 13a Nozzle portion 13b Shaft portion 13c Connection portion 14 Liquid level sensor 15 Auxiliary cleaning nozzle 15a Nozzle portion 20 Applicator 21 Slit nozzle 22 Manifold 23 Supply hole 24, 25, 26 Vent hole 40 Supply pump 50, 51 Supply pipe 52, 53, 54, 55 Discharge pipe 56, 59 Cleaning liquid supply pipe 57 Discharge port 58 Pipe
Claims (7)
前記塗布液を貯留するタンク本体と、
前記タンク本体に挿入され、前記塗布器から排出された前記塗布液を、前記タンク本体に導くベント配管と、
前記タンク本体に挿入され、洗浄液を前記タンク本体内に噴出する洗浄ノズルと
を備え、
前記洗浄ノズルは、前記洗浄液を前記タンク本体内に全方位に噴出するノズル部を備えている、ベントタンク。 A vent tank for collecting the coating liquid discharged from the applicator,
A tank body that stores the coating liquid;
a vent pipe that is inserted into the tank body and guides the coating liquid discharged from the applicator to the tank body;
a cleaning nozzle that is inserted into the tank body and sprays a cleaning liquid into the tank body;
A vent tank, wherein the cleaning nozzle has a nozzle portion that sprays the cleaning liquid in all directions into the tank body.
前記ノズル部は、該ノズル部の下端部が、前記液面センサの設置位置よりも上方に位置するように、前記タンク本体内に配置されている、請求項１に記載のベントタンク。 A liquid level sensor is further provided to detect a liquid level in the tank body.
2. The vent tank according to claim 1, wherein the nozzle portion is disposed within the tank body such that a lower end of the nozzle portion is positioned above an installation position of the liquid level sensor.
前記死角領域に向かって洗浄液を噴出するノズル部を有する補助洗浄ノズルをさらに備えている、請求項１に記載のベントタンク。 an inner wall portion of the tank body has a blind spot area where the cleaning liquid sprayed from the nozzle portion cannot reach because the blind spot area is blocked by the vent piping;
The vent tank according to claim 1 , further comprising an auxiliary cleaning nozzle having a nozzle portion that sprays cleaning liquid toward the blind spot area.
前記タンク本体の中央部に鉛直方向に挿入された軸部と、
前記軸部に連結して、水平方向に延びる連結部と、
前記連結部の先端部に取り付けれ、洗浄液を噴出する噴出孔を有するノズル部と
を備え、
前記軸部及び前記連結部は、内部に洗浄液が流れる流路を有し、
前記連結部が、前記軸部を中心に回転しながら、前記ノズル部の噴出孔から洗浄液を噴出する、請求項１に記載のベントタンク。 The cleaning nozzle is
A shaft portion inserted vertically into the center portion of the tank body;
A connecting portion connected to the shaft portion and extending in a horizontal direction;
a nozzle portion attached to a tip end of the connecting portion and having a nozzle hole for spraying the cleaning liquid;
the shaft portion and the connecting portion have a flow path therethrough through which a cleaning liquid flows,
The vent tank according to claim 1 , wherein the connecting portion jets out the cleaning liquid from the nozzle hole while rotating around the shaft portion.
前記連結部の両先端部に、それぞれ、前記ノズル部が取り付けられている、請求項６に記載のベントタンク。 The connecting portion is connected to the shaft portion at a center thereof,
The vent tank according to claim 6 , wherein the nozzle portion is attached to each of both ends of the connecting portion.
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