JP2023537427A - 光電子チップに接触する接触モジュール - Google Patents

Abstract

本発明は、ガラスでできた光学ブロック（１．１）を含む光モジュール（１）と、電子モジュール（２）とを有する接触モジュール及び接触モジュールを組み立てる方法に関する。前記光学ブロック（１．２）が、接着接続を介して電子モジュール（２）に接続しており、又は前記光モジュール（１）が、前記電子モジュール（２）に設置された設置板（１．２）を有し、設置板は、そこから繰り返し解除可能に電子モジュール（２）に設置され、接着接続により前記光学ブロック（１．１）に接続している。接着接続は、少なくとも３つの円柱ピン（５）により作られ、それらはそれぞれ接着剤（９）により前記光学ブロック（１．１）に第１端面（５．１）で当接し、前記キャリヤ板（２．１）又は前記設置板（１．２）における貫通孔（７）に案内されている。

Description

本発明は、特許文献１から一般に知られているように、光電子チップを検査する接触モジュールに関する。

本発明は、ウェーハレベルで、ＰＩＣ（光電集積回路）として知られる光電集積回路を有するチップを検査及び試験する分野に関する。純粋な電気集積回路、いわゆるＩＣ（集積回路）を有する従来のチップとは対照的に、ＰＩＣは光学機能と電気回路を集積する。

例えばＣＭＯＳ技術を用いたＩＣの製造において、一方で工程を監視するために、他方で品質管理を実行するために、検査及び測定が様々な製造ステップにおいて実行される。確立された検査は、ウェーハの完成後の電気的なウェーハレベル検査である。ここで、機能的及び非機能的チップ（公知のＫＧＤ（known good dies））がウェーハマップにおいて識別され、記録され、それにより生産量が決定される。ウェーハを個々のチップに分割するとき、非機能的チップは排斥される。ウェーハレベル検査に必要な検査装置は、関連する接触モジュール（プローブカード）を備えたウェーハプローバ及びウェーハテスターの形式で入手できる。接触モジュールは、ウェーハテスターの装置側のインターフェース（入力及び出力）をウェーハプローバに固定されたウェーハのチップの個々のインターフェース（入力及び出力）に接続する。一般的に、接触モジュールは、それが１つのチップのみに接触するように構成されるが、それはまた同時に幾つかのチップに接触するように構成され得る。接触用チップがウェーハ複合物内に依然として存在することは必ずしも必要でない。同時に又は次々にウェーハの幾つかのチップに接触するために、チップは単に、互いに対して固定された定義された位置を有する必要がある。このマージンは従来技術の接触モジュールのために及び本発明に従う接触モジュールのために与えられる。

純粋な電子チップ（ＩＣを有する半導体チップ）を検査する検査装置は、数十年にわたり最適化され、多様化されてきており、コスト最適化のための高生産性をもって大量の最も多様なＩＣを試験することができる。

ＰＩＣは通常、同じ確立された半導体プロセス、例えばＣＭＯＳ技術を用いて製造される。最初、ＩＣ製造と比較してＰＩＣの非常に少ない生産量の結果、プロセス特性化のための検査だけが半導体工場にて通常実行され、ＰＩＣの機能検査は実行されなかった。機能的特性化は最終顧客の責任であって、しばしばカットされたチップに実行された。使用される検査装置のために、別個の電気及び光接触モジュールが使用された。

ウェーハレベルでＰＩＣを検査することは、通常は結合ポイントとして集積された格子結合器により、光をＰＩＣレベルに結合及び切り離すことを要する。格子結合器は、ウェーハ上のチップ又は犠牲構造における、例えば刻みレーンにおける又は隣接するチップ上の機能部品であり得る。

前述した特許文献２は、接触板（プローブサブストレート）及び再分配板（再分配サブストレート）を含む、電気的及び光学的入力及び出力（非試験体－ＤＵＴ）を有するチップを検査する光電接触モジュールを開示している。接触モジュールは、検査装置（自動化検査装置－ＡＴＥ）とＤＵＴの間のインターフェースを構成し、電気接点（電気プローブ）、光学端子（光プローブ）、光学素子及びそれらの組み合わせによって設計され、ＤＵＴから及びＤＵＴへ信号を導き、これら信号をインターフェースのために検査装置に再分配する。

接触板及び再分配板への分割は接触モジュールのモジュール設計をもたらし、それは、電気接点が損傷した場合に、接触板が交換できる一方、再分配板は比較的高価な電気及び光配信網によって使用し続けられるという利点を有する。

光学的入力及び出力（光インターフェース）に関して、これらが、接触板及び／又は再分配板上に位置する光学素子を介して創出され、様々な結合機構、例えば自由放射線、準自由放射線又は導波管に適合されることが開示されている。上述した適切な光学素子は、回折素子及び屈折素子を含む。光検出器又は光源がＤＵＴとのインターフェースに直接位置してもよく、その際接触板上の光学的入力及び出力を構成し得ることも記述されている。

前述の特許文献２の例示の実施形態によれば、光学的及び電気的信号線（光学的及び電気的配信網）は別個の再分配板に具体化される。ＤＵＴから電気信号を接触板のエッジ領域に案内し、それにより接触板上の第１再分配板において電気信号がエッジ領域の上で結合されることが提案されている。これは、開口を第１再分配板に形成することを可能とし、そこでは電気信号だけが再分配され、前記開口を介して光信号が第１再分配板の上の別個の第２再分配板に案内される。

要約すると、前述の特許文献２は、ある理由のため、例えば電気信号伝送用の機械的接点の摩耗のために接触板及び再分配板に分けられた接触モジュールがどのようにして光信号線を追加的に装備され得るかについて複数のアイデアを示している。これは、ＤＵＴへの接触モジュールの電気的入力及び出力の機械的接点に可能な公差（許容差）が光学的入力及び出力に転移できないことを無視している。

電気的インターフェースを介する絶え間ない電気信号の伝送が、全ての３つの空間方向における数μｍの比較的大きい位置公差内で保証されうる、ＤＵＴ上に存在する接触板（接触パッド）を有する接触モジュール上に存在する針の機械的接点を必要とする一方、光信号伝送の品質はその目標位置からの、サブミクロン範囲のずっと小さいずれによって既に影響される。

光インターフェースの位置公差に無反応な接触モジュールが特許文献１から知られている。本発明に従う接触モジュールと同様に及び従来技術から知られた接触モジュールと同様に、そこに記載される接触モジュールは、検査中の光電チップを有するウェーハが固定されるウェーハプラットフォーム、例えばウェーハプローバと、光信号及び電気信号を生成及び評価する検査装置との間に配置される。接触モジュールは、検査中の光電チップの個々の光学的及び電気的インターフェースと、検査装置の規定の装置に関連する光学的及び電気的インターフェースの間の信号関連接続部を確立する。それらインターフェースはそれぞれ電気的又は光学的入力及び出力であり、それらに又はそれらから電気又は光信号がそれぞれ入力され又は出力され、電気又は光信号線を介して検査中の光電チップに又はからそれぞれ伝送される。

接触モジュール１上の電気的インターフェースは各々、接触針の先端で形成され、接触針は各々、電気信号を伝送するため、検査中の光電チップの１つの電気的インターフェースと機械接触しており、その各々は電気接触パッドで形成されている。従来技術の明細書に詳細に説明されているように、確実な電気接触に必要な公差限界は光接触に必要な公差に比べて大きい。

前述の特許文献１から、接触モジュールは、電気的インターフェースが配置される電子モジュールと、光インターフェースが配置される光モジュールを含むことも知られている。光モジュールは、機械的インターフェースを介して定められた方法で電子モジュールに取り付けられ、電気的インターフェースの装置は光インターフェースの装置に対して定義された相対位置を有する。

モノリシックな接触モジュールに比べた利点は特に、電気信号線及び光信号線が互いに独立的に異なる製造プロセスで、及び異なる材料で作られたサブストレート内に又は上に製造され得ることである。光学的又は電気的でも等しく、全てのインターフェースが検査中の光電チップに対して調節され得る共通の装置を形成することを保証するために、光学ブロックが電子ブロックに対して調節されて固定される。

接触モジュールの有利な実施形態では、光学ブロックは有利には、ブレークスルー及び／又は開口を含むその寸法及び形状を具体化され、それにより電子モジュール上にある全ての接触針は光学ブロックを過ぎて、その周りに及び／又は場合によりそこに形成された開口を介してチップ２に接触し得る。

前述の特許文献１に記載された接触モジュールの１つの実施形態例では、電子モジュールはその技術設計において純粋に電子チップ用の従来の接触モジュールに一致する。それは、プリント回路基板、例としてここで片持ち針（cantilever needles）として具体化される接触針の装置、及び検査装置との機械的インターフェースが載置されるキャリヤ板を含む。電気接触は、チップの電気接触パッドを有する接触針の物理的接触によって電子モジュールを介して確立される。

光モジュールは、各々が導波管及び各導波管の前に配置された一体ミラーの形態の光信号線を有する光学ブロック、Ｖ溝を有するファイバーホルダー、並びにガラス繊維及び単繊維コネクタ又は多繊維コネクタから成る。導波管は、直接レーザー書き込み法で製造され、ミラーはレーザーエッチング法で製造される。したがって、導波管は、局所的に限定された変更されたサブストレート素材によってレーザーエネルギーの入力の結果形成され、それは特に、サブストレート素材の屈折率に比べて局所的な屈折率変更により特徴付けられる。ミラーはサブストレート素材におけるエッチング凹部のインターフェースによって形成される。光学ブロックのサブストレート素材はガラス、好ましくはホウ酸フロートガラスであり、数百μｍ～数ミリメートル、好ましくは０．５～１ｍｍの範囲の厚さを有する。光接触は、チップと接触モジュールの間の距離にわたりチップとの直接接触無しに生じる。ミラー及び導波管を製造するために使用される方法によって、特に光インターフェースが互いに対して及び光学ブロック上の機械インターフェースに対して高精度で製造され得る。さらに、サブストレート素材の内部でミラー及び導波管の自由な位置決めが可能になる。

好ましくは、光モジュールは、例えば３つの固定位置を介して、電子モジュールにおけるキャリヤ板（支持板）に接着されることで電子モジュールに接続される。例えば接触針としての片持ち針を有する電子モジュールを製造する際、針のＺ高さは通常、ウェーハプラットフォームに対する固定基準を有する接触モジュールの締め付け位置を参照する。キャリヤ板としての金属フレームを用いて、これら基準点が、光モジュール用の固定位置が高精度に一体化される金属フレームに位置付けられる。したがって、光モジュールは、Ｚ方向において固定位置への位置的に正確な接着によって接触針の先端の基準平面に関して正に平行平面に且つ精密に設置され得る。電子モジュールに関する光モジュールの平行平面設置はまた、光モジュールが小さい作動距離のために接触中に動作中にチップと接触することを防止する。キャリヤ板への固定の代替案として、光学ブロックもまたプリント回路基板に直接取り付けられ得る。

前述の特許文献１は、接着剤を介して光学ブロックと電子モジュールの間の機械的インターフェースを接続することを開示、提案しているだけである。なぜここで接着剤が平坦な機械的インターフェースの間に挿入されることが自明であるのかについてさらなる詳細は示されていない。

ＷＯ２０１９／０２９７６５Ａ１ ＵＳ２００６／０１０９０１５Ａ１

本発明の目的は、光学ブロックと電子モジュールの間の、又は光学ブロックと電子ブロックに接続される設置板の間の機械的インターフェースの新規で費用効率の高い設計を有する接触モジュールであって、それによって光学ブロックが調節位置において電子モジュールに関する全ての６つの自由度で自由に位置決めでき、よってこの調節位置に正確に永続的に固定できる接触モジュールを提供することである。

さらに本発明の目的は、全ての６つの自由度で調節可能な光学ブロックを電子モジュールに又は電子ブロックに接続される設置板に設置する方法であって、光学ブロックを高精度で且つ簡単に調節位置に固定できる方法を提供することである。

接触モジュールに関して、本目的は、光インターフェース平面において光インターフェースの装置を有する、ガラスでできた光学ブロックを含む光モジュールと、電気インターフェース平面において電気インターフェースの装置を形成する、キャリヤ板、プリント回路基板及び針先端を備えた接触針の装置を有する針キャリヤ（針担体）を含む電子モジュールとを有し、光インターフェースの装置及び電気インターフェースの装置がデカルト座標系の全ての６つの自由度に関して互いに対して定められた調節位置を有するように、光モジュール及び電子モジュールが互いに対して配置されている、接触モジュールによって達成される。本発明にとって、第１選択肢によれば、光学ブロックが、少なくとも３つの円柱ピンを介してキャリヤ板に永続的に接続されており、又は第２選択肢によれば、光モジュールが、光学ブロックが少なくとも３つの円柱ピンを介して永続的に接続されている設置板を有することが本質的である。円柱ピンはそれぞれ、接着剤を介して第１端面で光学ブロックに接触する。キャリヤ板に又は設置板に、互いに平行に配置された複数の貫通孔があり、そこには円柱ピンがそれぞれ、接着剤を介してキャリヤ板に又は設置板に接続している。

有利な実施形態は後述する従属請求項２～６に示される。

方法に関して、本目的は、光インターフェース平面において光インターフェースの装置を有する、ガラスでできた光学ブロックを含む光モジュールと、電気インターフェース平面において電気インターフェースの装置を形成する、キャリヤ板、プリント回路基板及び針先端を備えた接触針の装置を有する針キャリヤを含む電子モジュールとを有する接触モジュールを組み立てる方法であって、光インターフェースの装置及び電気インターフェースの装置が互いに対して定められた調節位置を有するように、光モジュール及び電子モジュールが互いに対して配置されている方法によって達成される。

第１選択肢によれば、まず光インターフェースの装置が電気インターフェースの装置に対して調節され、次に光学ブロックが本発明に従う接着接続によりキャリヤ板に永続的に接続される。

第２選択肢によれば、まず設置板が、繰り返し確立可能な相対位置で取り外し可能接続を介してキャリヤ板に接続され、次いで光インターフェースの装置が電気インターフェースの装置に対して調節され、次に光学ブロックが本発明に従う接着接続により設置板に永続的に接続される。

本発明にとって、互いに平行な少なくとも３つの貫通孔をキャリヤ板に又は設置板に先に作り、少なくとも３つの貫通孔の各々を、光学ブロックと接触するまで貫通孔の１つを通して挿入することで、上述の両方の選択肢のための接着接続が創出されることが本質的である。まず接着剤が、光学ブロックに面する円柱ピンの第１端面に塗布され、それでそれらは光学ブロックを接着する。円柱ピンは、貫通孔を通過間又は通過後にキャリヤ板又は設置板に接着される。

本発明を例示の実施形態及び図面を参照して以下により詳細に説明する。

光モジュールの光学ブロックが接着接続を介して電子モジュールのキャリヤ板に接続している第１選択肢に従う接触モジュールを示す図である（平面図）。 光モジュールの光学ブロックが接着接続を介して電子モジュールのキャリヤ板に接続している第１選択肢に従う接触モジュールを示す図である（断面図）。 光学ブロックが接着接続を介して光モジュールの設置板に接続している第２選択肢に従う接触モジュールを示す図である（平面図）。 光学ブロックが接着接続を介して光モジュールの設置板に接続している第２選択肢に従う接触モジュールを示す図である（断面図）。 本発明に従う接着接続の第１実施形態を示す図である。 本発明に従う接着接続の第２実施形態を示す図である。 取り外し可能接続の第１実施形態を有する第２選択肢に従う接触モジュールを示す図である。 取り外し可能接続の第１実施形態を有する第２選択肢に従う接触モジュールを示す図である。

図１ａ及び１ｂに示されるように、本発明に従う接触モジュールは、光インターフェース平面Ｅ_ｏｐｔに光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置を有する、ガラスから作られた光学ブロック１．１を含む光モジュール１、及び電気インターフェース平面Ｅ_ｅｌｅに電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置を形成する、キャリヤ板２．１、プリント回路基板２．２及び針先端を備えた接触針２．３．１の装置を有する針キャリヤ２．３を含む電子モジュール２を有する。キャリヤ板２．１及び針キャリヤ２．３は互いにしっかり接続している又はモノリシックユニットを形成する。光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置及び電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置がデカルト座標系の全ての６つの自由度に関して互いに対して定められた調節位置を有するように、光モジュール１及び電子モジュール２は互いに対して配置されている。光学ブロック１．１は接着接続を介して調節位置に固定されている。本発明に従う接触モジュールの第１選択肢によれば、調節層が、光学ブロック１．１とキャリヤ板２．１が機械的基礎を形成する電子モジュール２の間に直接、本発明に従う接着接続によって固定され得（図１ａ及び図１ｂ参照）又は第２選択肢によれば、それは光学ブロック１．１と場合により光モジュール１によって包含される設置板１．２の間に、本発明に従う接着接続を介して間接的に固定でき、接着接続は、電子モジュール２に、より正確にはキャリヤ板２．１に再現可能な取り外し可能接続を介して接続される（図２ａ及び図２ｂ参照）。

光学ブロック１．１と設置板１．２の間又は光学ブロック１．１とキャリヤ板２．１の間の接着接続が少なくとも３つの円柱ピン５を介して間接的に作られることが、本発明にとって本質的である。図３ａ及び図３ｂにより明瞭に見られるように、円柱ピン５は各々、接着剤９を介して光学ブロック１．１に接触する第１端面５．１を有する。キャリヤ板２．１には又は設置板１．２には複数の貫通孔７があり、そこに円柱ピン５がそれぞれ、接着剤９を介してキャリヤ板２．１に又は設置板１．２に固定されている。

１つの実施形態では、それぞれの第２端面５．２が貫通孔７を越えて突出するように円柱ピン５及び貫通孔７は互いに適合するように寸法決めされており、それでこれが組み立ての間光学ブロック１．１に当接するまで適所に保持され得る。この場合、接着剤９は円柱ピン５のそれぞれの突出周面に塗布される（図３ａ参照）。

図３ｂに示される別な実施形態では、円柱ピン５の各々の第２端面５．２は貫通孔７の１つに内部に位置しており、貫通孔７内のその上に残っているどの自由体積も接着剤９で満たされている。

本発明に従い光学ブロック１．１が設置板１．２に接着される場合、設置板１．２は有利には繰り返し取り外し可能な接続を介してキャリヤ板２．１に接続している。当該取り外し可能接続は、電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置に関する光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置の調節位置の繰り返しの創出を保証する。

取り外し可能接続の第１実施形態が図４ａ及び４ｂに示されているが、本発明に従う接着接続はここに示されていない。設置板の一方の端面１．２．１に、設置平面を定める３つの突起１．２．１．１がここに存在しており、それらはキャリヤ板２．１の設置面２．１．１に当接する。キャリヤ板２．１に対するデカルト座標系のｘ方向及びｙ方向周りのｚ方向における設置板１．２の相対位置は固定されている。設置平面と平行に整列された３つの合わせピン２．１．２（dowel pins）が設置板１．２．２の外周にある。これらの２つは互いに直角に整列され、それぞれ、キャリヤ板２．１に設けられたそれぞれのストッパピン１．２．２．１に当接している。これは、ｘ方向及びｙ方向における設置板１．２のキャリヤ板２．１に対する相対位置を決定する。第３の合わせピン２．１．２は、キャリヤ板２．１上に存在する別なストッパピン１．２．２．１に当接し、したがってｚ方向周りの設置板１．２のキャリヤ板２．１に対する相対位置を固定する。設置板１．２がキャリヤ板２．１に繰り返し設置されても、設置板１．２はキャリヤ板２．１に対して同じ相対位置を占める。ストッパピン１．２．２．１を合わせピン２．１．２に対して配置するために、例えば接触圧ユニット８がキャリヤ板２．１に一時的に配置され得る。相対位置を固定するために、設置板１．２は少なくとも１つのねじ接続２．１．３を介してキャリヤ板２．１に接続している。

取り外し可能接続の第２実施形態が図２ａ及び２ｂに示されている。

ここでも、ｘ方向及びｙ方向における並びにｚ方向周りの設置板１．２のキャリヤ板２．１に対する相対位置が、第１実施形態と同様に、三点支持によって決定される。第１実施形態とは異なり、設置板１．２は、設置板１．２を貫通する、例えば電食によって形成される２つの屈曲構造４を有する。２つの締め付けピン３がキャリヤ板２．１に設置され、設置面２．１．１と垂直に整列され、キャリヤ板２．１にしっかり接続している。それらピンは、有利にはセラミックで作られた例えば針キャリヤ２．３にて、キャリヤ板に直接又は間接的に接続可能である。設置板１．２のキャリヤ板２．１への取り外し可能接続のために、２つの締め付けピン３は各々、屈曲構造４の１つに締め付けられる。２つの屈曲構造４のうちの第１構造では、２つの締め付けピン３の第１ピンがその横表面にわたって周囲を締め付けられ、よってｘ方向及びｙ方向における設置板１．２のキャリヤ板２．１に対する相対位置を固定している。有利には、２つの屈曲構造４の第１構造はパイプクランプ（管押え）の形状を有する。２つの屈曲構造４の第２構造では、２つの締め付けピン３の第２ピンがその横表面を介して接線方向に締め付けられ、従ってｚ方向周りの設置板１．２のキャリヤ板２．１に対する相対位置を固定している。屈曲構造４を締め付けピン３の１つにそれぞれ締め付けるために、応力無く、それらが締め付けピン３の断面より小さい開口を有し、それでそれらが締め付けピン３の挿入前に又は挿入によって締め付けられ、締め付けピン３を締め付けるように、それは寸法決めされ得る。

有利には、屈曲構造４は、それらが締め付けピン３の横断面より大きい開口を有するように寸法決めされる。締め付けピン３が挿入された後でのみ、屈曲構造４は締め付けピン３を締め付けるように張架される。これは有利には図示のように位置決めねじ６を介して行われ得る。

有利には、固定の相対位置を確保するために、設置板１．２は、少なくとも１つのねじ接続２．１．３を介してキャリヤ板２．１に接続している。

本発明に従う接触モジュールを組み立てるための本発明に従う方法を以下により詳細に説明する。従来技術と同様に、調節及び組み立ての最後に、光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置及び電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置が全ての６つの自由度で互いに対して定められた調節位置を有するように、光モジュール１及び電子モジュール２が互いに対して配置される。

本発明に従う方法は、光モジュール１及び電子モジュール２を有する接触モジュールを組み立てるために使用される。光モジュール１は、ガラスでできた光学ブロック１．１を含み、それは光インターフェース平面Ｅ_ｏｐｔにおいて光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置を有する。電子モジュール２は、キャリヤ板２．１、プリント回路基板２．２及び針先端を備えた接触針２．３．１の装置を有する針キャリヤ２．３を含む。それらは、電気インターフェース平面Ｅ_ｅｌｅにおいて電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置を形成する。光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置及び電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置が互いに対して定められた調節位置を有するように、光モジュール１及び電子モジュール２は互いに対して配置されている。

本方法は、光モジュール１が接着接続を介して電子モジュール２に固定的に接続される、上述した接触モジュールのアセンブリの第１選択肢において、又は光モジュール１が電子モジュール２に繰り返し取り外し可能に接続される、上述した接触モジュールのアセンブリの第２選択肢において選択的に使用され得る。第２選択肢の場合、光モジュール１はさらに設置板１．２を含む。設置板１．２には、接着接続によりそこにしっかり接続された光学ブロック１．１が配置され、設置板１．２、従って光モジュール１は電子モジュール２に取り外し可能に接続される。

第１選択肢の場合、光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置は電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置に対して調節され、次に光学ブロック１．１は接着接続によりキャリヤ板２．１に永続的に接続される。

第２選択肢の場合、光モジュール１の設置板１．２はまず、繰り返し確立可能な相対位置で取り外し可能接続を介して電子モジュール２のキャリヤ板２．１に接続される。次いで、光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置は電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置に対して調節され、次に光学ブロック１．１は接着接続によりキャリヤ板２．１に永続的に接続される。

接着接続の実施形態は本発明に本質的である。

本発明に従う接着接続を創出するために、互いに平行な少なくとも３つの貫通孔７がキャリヤ板２．１に又は設置板１．２に先に作られる。ちょうど３つの貫通孔７の場合、これらは互いに関して三角形を形成して配置される。貫通孔７は円柱ピン５（これらを介して接着接続が間接的な接着接続として作られる）を後で収容するために使用される。

光学ブロック１．１とキャリヤ板２．１又は設置板１．２の間の接着接続が作られる前に、光インターフェースＳ_ｏｐｔの装置が電気インターフェースＳ_ｅｌｅの装置に関して調節されるように、光学ブロック１．１が整列される。これは、光学ブロック１．１のキャリヤ板２．１又は設置板１．２に対する相対位置を創出し、接着接続により全ての６つの自由度で固定される。

少なくとも３つの円柱ピン５が各々、貫通孔７の１つを通して案内され、その後それらは各々、光学ブロック１．１と接触する。接着剤９が、それぞれ光学ブロック１．１に面する円柱ピン５の第１端面５．１に先に塗布されており、それにより円柱ピン５が光学ブロック１．１に接合する。円柱ピン５は、貫通孔７を通過する間又は通過後にキャリヤ板２．１に又は設置板１．２に接合される。

円柱ピン５が貫通孔７を通して案内されるときそれらを接合するために、接着剤９は、第２端面５．２に面するそれらの周面に又は貫通孔７に前もって塗布される。

円柱ピン５のための定められた接合表面が、有利には円柱ピン５及び貫通孔７を寸法決めすることで得られ、それにより第２端面５．１は貫通孔７内に位置する。貫通孔７内の残りの自由体積は接着剤９で満たされる。

光学ブロック１．１とキャリヤ板２．１又は設置板１．２が調節される相対位置に互いに平行に整列される場合、全ての円柱ピン５は貫通孔７に等しい深さで接着される。これは、ｘ方向に、ｙ方向に、ｚ方向に又はｚ方向周りに異なる相対位置に対して変化しない。ｘ方向周り又はｙ方向周りの傾きは、円柱ピン５を光学ブロックに配置された貫通孔に多かれ少なかれ深く置くことで補償される。従来技術から公知の多くの接着接続とは異なり、傾斜は接着剤９の量によって補償される必要はない。接続が形成される全ての位置での等量の接着剤は、接着剤９の挙動、例えば固化中の収縮がどこでも同じになるという利点を有し、従って調節される相対位置を高精度で固定することができる。

１ 光モジュール
１．１ 光学ブロック
１．２ 設置板
１．２．１ 設置板の端面
１．２．１．１ 突起
１．２．２ 設置板の周囲
１．２．２．１ ストッパピン
２ 電子モジュール
２．１ キャリヤ板
２．１．１ 設置面
２．１．２ 合わせピン
２．２ プリント回路基板
２．３ 針キャリヤ
２．３．１． 接触針
３ 締め付けピン
４ 屈曲構造
５ 円柱ピン
５．１ 円柱ピンの第１端面
５．２ 円柱ピンの第２端面
６ 位置決めねじ
７ 貫通孔
８ 接触圧ユニット
９ 接着剤
Ｓ_ｏｐｔ 光インターフェース
Ｓ_ｅｌｅ 電気インターフェース
Ｅ_ｏｐｔ （接触モジュールの）光インターフェース平面
Ｅ_ｅｌｅ （接触モジュールの）電気インターフェース平面

Claims (7)

1. 光インターフェース平面（Ｅ_ｏｐｔ）において光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置を有する、ガラスでできた光学ブロック（１．１）を含む光モジュール（１）と、電気インターフェース平面（Ｅ_ｅｌｅ）において電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置を形成する、キャリヤ板（２．１）、プリント回路基板（２．２）及び針先端を備えた接触針（２．３．１）の装置を有する針キャリヤ（２．３）を含む電子モジュール（２）とを有し、
   前記光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置及び前記電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置がデカルト座標系の全ての６つの自由度に関して互いに対して定められた調節位置を有するように、前記光モジュール（１）及び前記電子モジュール（２）が互いに対して配置されている、接触モジュールにおいて、
   前記光学ブロック（１．１）が、少なくとも３つの円柱ピン（５）を介して前記キャリヤ板（２．１）に永続的に接続されており、又は前記光モジュール（１）が、前記光学ブロック（１．１）が少なくとも３つの円柱ピン（５）を介して永続的に接続されている設置板（１．２）を有し、
   前記円柱ピン（５）は各々、接着剤（９）を介して前記円柱ピンの第１端面（５．１）で前記光学ブロック（１．１）に接触し、前記キャリヤ板（２．１）に又は前記設置板（１．２）に、互いに平行に配置された貫通孔（７）があり、そこでは前記円柱ピン（５）が各々、接着剤（９）を介して前記キャリヤ板（２．１）に又は前記設置板（１．２）に接続している、ことを特徴とする接触モジュール。
2. 前記円柱ピンの第２端面（５．２）が前記貫通孔（７）の１つに内部に位置しており、前記貫通孔（７）内のその上に残っているどの自由体積も接着剤（９）で満たされている、ことを特徴とする請求項１に従う接触モジュール。
3. 前記設置板（１．２）が繰り返し取り外し可能な接続を介して前記キャリヤ板（２．１）に接続しており、当該取り外し可能な接続は、前記電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置に関する前記光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置の調節位置を繰り返し創出することを保証する、ことを特徴とする請求項１又は２に従う接触モジュール。
4. 前記設置板の一方の端面（１．２．１）に、設置平面を定める３つの突起（１．２．１．１）が存在しており、それら突起は前記キャリヤ板（２．１）の設置面（２．１．１）に当接し、それによりデカルト座標系のｘ方向周りの及びｙ方向周りの、ｚ方向における前記設置板（１．２）の前記キャリヤ板（２．１）に対する相対位置は固定されており、前記設置平面と平行に整列された３つの合わせピン（２．１．２）が前記設置板（１．２．２）の外周にあり、これらの２つは互いに直角に整列され、前記キャリヤ板（２．１）に設けられたそれぞれのストッパピン（１．２．２．１）にそれぞれ当接し、それによりｘ方向における及びｙ方向における前記設置板（１．２）の前記キャリヤ板（２．１）に対する相対位置が決定されており、第３の前記合わせピン（２．１．２）は、前記キャリヤ板（２．１）上に存在する別なストッパピン（１．２．２．１）に当接し、したがってｚ方向周りの前記設置板（１．２）の前記キャリヤ板（２．１）に対する相対位置が固定されている、ことを特徴とする請求項３に従う接触モジュール。
5. 前記設置板の一方の端面（１．２．１）に、設置平面を定める３つの突起（１．２．１．１）が存在しており、それら突起は前記キャリヤ板（２．１）の設置面（２．１．１）に当接し、デカルト座標系のｘ方向周りの及びｙ方向周りの、ｚ方向における前記設置板（１．２）の前記キャリヤ板（２．１）に対する相対位置が固定されており、前記設置板（１．２）は前記設置板（１．２）を貫通する２つの屈曲構造（４）を有し、２つの前記屈曲構造（４）の第１構造では、前記キャリヤ板（２．１）に取り付けられた第１締め付けピン（３）がその横表面にわたって周囲を締め付けられ、よってｘ方向及びｙ方向における前記設置板（１．２）の相対位置を固定しており、前記屈曲構造（４）の第２構造では、前記キャリヤ板（２．１）に取り付けられた第２締め付けピン（３）がその横表面を介して接線方向に締め付けられ、従ってｚ方向周りの前記設置板（１．２）の前記キャリヤ板（２．１）に対する相対位置を固定している、ことを特徴とする請求項３に従う接触モジュール。
6. 前記第１屈曲構造（４）は、前記第１締め付けピン（３）が自動調心により締め付けられるパイプクランプの形状を有する、ことを特徴とする請求項５に従う接触モジュール。
7. 光インターフェース平面（Ｅ_ｏｐｔ）において光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置を有する、ガラスでできた光学ブロック（１．１）を含む光モジュール（１）と、電気インターフェース平面（Ｅ_ｅｌｅ）において電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置を形成する、キャリヤ板（２．１）、プリント回路基板（２．２）及び針先端を備えた接触針（２．３．１）の装置を有する針キャリヤ（２．３）を含む電子モジュール（２）とを有し、
   前記光インターフェースの装置及び前記電気インターフェースの装置が互いに対して定められた調節位置を有するように、前記光モジュール（１）及び前記電子モジュール（２）が互いに対して配置されている、接触モジュールの組み立て方法において、
   まず前記光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置が前記電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置に対して調節され、次に前記光学ブロック（１．１）が接着接続により前記キャリヤ板（２．１）に永続的に接続され、
   又は、まず前記設置板（１．２）が、繰り返し確立可能な相対位置で取り外し可能接続を介して前記キャリヤ板（２．１）に接続され、次いで前記光インターフェース（Ｓ_ｏｐｔ）の装置は前記電気インターフェース（Ｓ_ｅｌｅ）の装置に対して調節され、次に前記光学ブロック（１．１）が接着接続により前記設置板（１．２）に永続的に接続され、
   上述の両方の選択肢のための前記接着接続が、互いに平行な少なくとも３つの貫通孔（７）を前記キャリヤ板（２．１）に又は前記設置板（１．２）に先に作ることで創出され、
   少なくとも３つの円柱ピン（５）が各々、前記光学ブロック（１．１）と接触するまで前記貫通孔（７）の１つを通して案内され、接着剤（９）が、それぞれ前記光学ブロック（１．１）に面する前記円柱ピンの第１端面（５．１）に前もって塗布されており、前記円柱ピン（５）が、前記貫通孔（７）を通過する間又は通過後に接着される、ことを特徴とする組み立て方法。
   

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