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JP2023141666A - センサモジュール、その製造方法およびセンサシステム - Google Patents

センサモジュール、その製造方法およびセンサシステム Download PDF

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JP2023141666A JP2022048106A JP2022048106A JP2023141666A JP 2023141666 A JP2023141666 A JP 2023141666A JP 2022048106 A JP2022048106 A JP 2022048106A JP 2022048106 A JP2022048106 A JP 2022048106A JP 2023141666 A JP2023141666 A JP 2023141666A
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Abstract

【課題】レンズユニットを実装するマウント部およびレンズユニットの整合性を解消し、アタッチメント部の整合機能によりレンズユニットやマウント部の選択や設計の自由度を高める。【解決手段】レンズユニット(4)と、前記レンズユニットから光を受けるセンサ(20)が設置される基盤部(6)と、前記基盤部に設置されたマウント部(8)と、前記マウント部と前記レンズユニットを整合させるアタッチメント部(10)とを備える。【選択図】図1

Description

本開示はたとえば、被写体からの反射光や画像などの検出に用いられるセンサ技術に関する。
被写体から反射光や画像などを検出するためのセンサモジュールは、当該センサが設置される基盤部にマウント部を設置してレンズユニットが実装されている。レンズユニットは用途や目的とする機能などにより選択されるが、その外径は区々である。このため、マウント部は用いられるレンズユニットに整合させる必要がある。
このようなレンズユニットの装着に関し、レンズ装着部に小さい外径のレンズを装着する場合、大きい外径のレンズに対応するアダプタを用意し、アダプタに雄ねじおよび雌ねじを形成して異なるレンズを装着可能にしたことが開示されている(たとえば、特許文献1)。これは、アダプタを用いて単に異径レンズの装着をしているにすぎない。
特開2006-276420号公報
センサモジュールは、基盤部、光学フィルタ、イメージセンサなどを備え、距離計やカメラなどに用いられる。このセンサモジュールでは用途や目的に向けた外径の異なるレンズユニットの他、適合する仕様の光学フィルタが必要である。つまり、特定のセンサを用いても異なるレンズユニットや光学フィルタを用いれば、その光学特性によって異なる機能を得ることができた。レンズユニットを共通化した場合にも異なる光学フィルタによって異なる機能を得ることができる。
そこで、所望の機能を実現するためにレンズユニットが選択されると、このレンズユニットを実装するためのマウント部をレンズユニットに整合させる必要がある。つまり、レンズユニットの外径に応じたマウント部が必要である。このため、レンズユニットをマウント部に整合させるため、特定のレンズユニットが選択されると、これに対応するマウント部が必要となる。つまり、レンズユニットに整合させたマウント部が特定されると、外径の異なった他のレンズユニットを取り付けることができないし、特定のレンズユニットのためのマウント部に異径のレンズユニットを自由に整合させることはできないという課題がある。
目的に応じて光学フィルタをレンズユニットに設置すると、レンズユニットごとに異なる光学特性が得られる点で有効である。しかしながら、異なる光学フィルタを含むレンズユニットを個別に実現することは容易でないし、しかも、光学フィルタのバリエーションの増加はコスト高になるという課題がある。
本開示の発明者は、レンズユニットおよびマウント部の機械的な整合性を排し、レンズユニットの選択の自由度を高め、しかもアプリに応じた機能設定をレンズユニットとは別に設定可能にすることが有効であるとの知見を得た。
そこで、本開示の目的は上記課題および上記知見に鑑み、レンズユニットを実装するマウント部およびレンズユニットの整合性を解消し、アタッチメント部の整合機能によりレンズユニットやマウント部の選択や設計の自由度を高めることにある。
また、本開示の他の目的は上記課題および上記知見に鑑み、レンズユニットおよびマウント部を整合させるアタッチメント部でセンサ機能に必要な機能設定を可能にすることにある。
上記目的を達成するため、本開示のセンサモジュールの一側面によれば、レンズユニットと、前記レンズユニットから光を受けるセンサが設置される基盤部と、前記基盤部に設置されたマウント部と、前記マウント部と前記レンズユニットを整合させるアタッチメント部とを備える。
このセンサモジュールにおいて、少なくとも前記マウント部に前記アタッチメント部を摺動可能に支持させる第一摺動部、または前記アタッチメント部に前記レンズユニットを摺動可能に支持させる第二摺動部の何れか一方を備え、または前記第一摺動部および前記第二摺動部の双方を備えてもよい。
このセンサモジュールにおいて、前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部を備えてもよい。
このセンサモジュールにおいて、前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの光を通過させる光学フィルタを備えてもよい。
このセンサモジュールにおいて、前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部に光学フィルタを一体に備えたフィルタ部を備えてもよい。
このセンサモジュールにおいて、前記マウント部に前記センサを防塵する防塵フィルタを備えてもよい。
このセンサモジュールにおいて、前記絞り部の開口径が前記レンズユニットのイメージサークル径より径大であるか、イメージサークル径とほぼ同径または同径であってもよい。
上記目的を達成するため、本開示のセンサモジュールの製造方法の一側面によれば、レンズユニットから光を受けるセンサが設置される基盤部に前記レンズユニットを実装するためのマウント部を形成する工程と、前記マウント部に前記レンズユニットを支持するためのアタッチメント部を形成する工程と、少なくとも、前記マウント部に前記アタッチメント部を摺動可能に支持させる第一摺動部、または前記アタッチメント部に前記レンズユニットを摺動可能に支持させる第二摺動部の何れか一方を形成し、または前記第一摺動部および前記第二摺動部の双方を形成する工程とを含む。
このセンサモジュールの製造方法において、前記アタッチメント部に前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部を形成する工程を含んでもよい。
このセンサモジュールの製造方法において、前記アタッチメント部に、前記レンズユニットからの光を通過させる光学フィルタを設置する工程を含んでもよい。
上記目的を達成するため、本開示のセンサシステムの一側面によれば、このセンサモジュールの製造方法において、前記センサモジュールを備えて被写体から少なくとも反射光を受光し、該反射光を用いて距離情報を取得する。
本開示によれば、次の何れかの効果が得られる。
(1) レンズユニットとマウント部をアタッチメント部で整合させるので、マウント部とレンズユニットを整合させるための整合性を排することができ、外径の異なるレンズユニットの実装が容易になるなど、レンズユニットおよびマウント部の自由度を高めることができる。
(2) マウント部を共通化して異なるレンズユニットを実装できるなど、設計の自由度を高めることができる。
図1は、第一の実施の形態に係るセンサモジュールを示す分解斜視図である。 図2は、センサモジュールの整合機能を示す部分断面図である。 図3は、共通化されたマウント部とレンズユニットの整合を示す図である。 図4は、第二の実施の形態に係るセンサモジュールを示す部分断面図である。 図5は、第三の実施の形態に係るセンサモジュールを示す部分断面図である。 図6は、第四の実施の形態に係るセンサシステムを示すブロック図である。
〔第一の実施の形態〕
図1は、第一の実施の形態に係るセンサモジュール2を示している。図1に示す構成は一例であり、斯かる構成に本開示が限定されるものではない。
センサモジュール2は図示しないたとえば、被写体からの光、反射光または画像を受けて距離情報や画像情報を取得するために用いられるセンサ手段である。このセンサモジュール2はレンズユニット4、基盤部6、マウント部8およびアタッチメント部10を備えている。
レンズユニット4は、円筒状の筒部12に対物レンズなどの各種のレンズ14を備え、被写体からの光、反射光または画像を受ける。筒部12の外周には光軸16方向にレンズユニット4を摺動させるための雄ねじ部18が形成されている。
基盤部6は、イメージセンサなどのセンサ20を備え、図示しない制御入力を受けて動作し、レンズユニット4を通して光を受け、受光信号を生成する。この基盤部6にはセンサ20に駆動信号を入力し、センサ出力を取り出すためのコネクタ22が接続されている。
マウント部8は、基盤部6に固定されてレンズユニット4などを実装するための部材であって、センサ20を包囲してレンズユニット4からの光以外を遮断するハウジング機能を備える。このマウント部8には基体部24が備えられ、この基体部24を以て基盤部6に固定される。この基体部24に一体に形成された筒部26には、光軸16方向にアタッチメント部10を摺動させるための雌ねじ部28が形成されている。
アタッチメント部10は、レンズユニット4とマウント部8の間に設置され、レンズユニット4およびマウント部8を整合させるための整合部材であって、レンズユニット4以外からの光を遮る光遮断機能を持つ。このアタッチメント部10に備えた筒部30には、外周部にマウント部8の雌ねじ部28と整合する雄ねじ部32が形成され、その内周部にレンズユニット4の雄ねじ部18と整合する雌ねじ部34が形成されている。
この実施の形態では、マウント部8およびアタッチメント部10にはマウント部8側の雌ねじ部28とアタッチメント部10側の雄ねじ部32を以て第一摺動部36-1が構成され、また、レンズユニット4およびアタッチメント部10にはレンズユニット4側の雄ねじ部18とアタッチメント部10側の雌ねじ部34を以て第二摺動部36-2が構成されている。したがって、センサモジュール2には、第一摺動部36-1、第二摺動部36-2の何れか一方または双方を用いてレンズユニット4を光軸16方向に摺動させることにより、レンズユニット4から受けた光によりセンサ20の受光面に結像させるための合焦機構38を構成している。
図2は、組み立てられたセンサモジュール2の断面を示している。マウント部8にはセンサ20を防塵するための防塵フィルタ40が設置されている。
アタッチメント部10には絞り部42が設置されており、この絞り部42にはアプリに応じた光学機能を設定するための光学フィルタ44が設置されている。この実施の形態では、絞り部42の背面に光学フィルタ44が一体化されており、この光学フィルタ44を以て絞り部42の開口46が閉塞されている。
図2において、R1は第一摺動部36-1の径、R2は第二摺動部36-2の径、W1はアタッチメント部10の肉厚であり、この肉厚W1は式1で表される。
W1=R1-R2>Wx ・・・(式1)
アタッチメント部10の肉厚W1は、第一摺動部36-1によってアタッチメント部10がマウント部8に摺動可能に支持され、第二摺動部36-2によってレンズユニット4がアタッチメント部10に摺動可能に支持される程度の厚みWx以上である。
言い換えれば、径R1、R2の大小関係はR1>R2であって、径R1にはレンズユニット4を摺動させる第二摺動部36-2を含むアタッチメント部10が摺動可能な大きさが必要である。つまり、アタッチメント部10に第一摺動部36-1および第二摺動部36-2が形成可能な厚みWx以上であることが必要である。
<アタッチメント部10によるレンズユニット4およびマウント部8の整合>
図3は、共通のマウント部8と異径のレンズユニット4の整合を示している。レンズユニット4は図2に示すレンズユニット4より径小であり、マウント部8は既述のマウント部8(図2)と共通である。したがって、アタッチメント部10はこれらレンズユニット4とマウント部8とを整合する形態である。
この場合、マウント部8が図2に示すマウント部8と共通化されていれば、第一摺動部36-1の径R3は径R1と同径(R3=R1)である。マウント部8に対してアタッチメント部10を摺動可能に支持させることができる。これに対し、第二摺動部36-2の径R4をレンズユニット4に整合する大きさに設定すれば、レンズユニット4をアタッチメント部10に摺動可能に支持させることができる。
このような摺動関係を得るには、第一摺動部36-1の径をR3(=R1)、第二摺動部36-2の径をR4とすれば、アタッチメント部10の肉厚W2は式1と同様に式2で表すことができる。
W2=R3-R4=R1-R4 ・・・(式2)
アタッチメント部10の肉厚W2についても、第一摺動部36-1によってアタッチメント部10がマウント部8に摺動可能に支持され、第二摺動部36-2によってレンズユニット4がアタッチメント部10に摺動可能に支持される程度の厚みWx以上である。
そして、式1および式2から、アタッチメント部10の肉厚W1、W2の肉厚差ΔWは、式3で表すことができる。
ΔW=W2-W1=R2-R4 ・・・(式3)
したがって、マウント部8を共通化して第一摺動部36-1の径R3を径R1(図2)と共通化した場合(R3=R1)、アタッチメント部10の肉厚W2を調整して第二摺動部36-2の径R4を実現すればよい。
<センサモジュール2の製造方法>
この実施の形態に係るセンサモジュール2の製造には、レンズユニット4の選択工程または形成工程、マウント部8の形成工程、センサ20およびマウント部8の実装工程、アタッチメント部10の形成工程、これらレンズユニット4、マウント部8およびアタッチメント部10を用いたセンサモジュール2の組立工程などが含まれる。
A)レンズユニット4の選択工程または形成工程
センサモジュール2に必要なセンサ20が選択されると、このセンサ20に対応したレンズユニット4が選択される。このレンズユニット4の選択に代えて、アプリやセンサ20に対応した光学特性を備えたレンズユニット4を形成してもよい。レンズユニット4の筒部12はアルミニウムなどの金属、PET(ポリエチレンテレフタレート)などの硬質の合成樹脂で形成すればよい。このレンズユニット4の外周部には第二摺動部36-2の雄ねじ部18を形成する。
B)マウント部8の形成工程
レンズユニット4が選択または形成されると、このレンズユニット4に適合させるためのマウント部8を形成する。このマウント部8は、基盤部6に搭載されるセンサ20を包囲して暗室空間を形成するとともに、センサ20を含むアタッチメント部10を摺動可能に支持する第一摺動部36-1と整合可能な大きさを持つマウント筐体を備えた形態に形成する。マウント部8はアルミニウムなどの金属、PETなどの硬質の合成樹脂で形成すればよい。このマウント部8の内周部には第一摺動部36-1の雌ねじ部28を形成する。
このマウント部8の第一摺動部36-1の径R1は、レンズユニット4を摺動可能に支持するアタッチメント部10の外径と整合させることが必要である。そして、このマウント部8には、防塵フィルタ40を一体的に取り付け、基盤部6に実装されるセンサ20の受光面の防塵化を図る。
C)センサ20およびマウント部8の実装工程
予めプリント基板などで基盤部6を形成し、この基盤部6にセンサ20を実装した後、このセンサ20を覆ってマウント部8が基盤部6に実装される。この実装によって、センサ20はマウント部8で包囲され、暗室化が図られる。同時に、マウント部8にある防塵フィルタ40によって防塵化される。
D)アタッチメント部10の形成工程
内周部側でレンズユニット4と整合し、外周部側でマウント部8と整合するアタッチメント部10を成形または切削によって形成する。アタッチメント部10にはアルミニウムなどの金属材料、PETなどの硬質の合成樹脂材料を用いればよい。このアタッチメント部10には外周部側に第一摺動部36-1の雄ねじ部32を形成し、内周部側に第二摺動部36-2の雌ねじ部34を形成する。
したがって、アタッチメント部10の肉厚W1は、既述したように、第一摺動部36-1によってアタッチメント部10がマウント部8に摺動可能に支持され、第二摺動部36-2によってレンズユニット4がアタッチメント部10に摺動可能に支持される程度の厚みWx以上に設定される。
アタッチメント部10には絞り部42が設置され、この絞り部42の下面側には光学フィルタ44が設置され、この光学フィルタ44で開口46を閉塞する。たとえば、アタッチメント部10の切削加工や成形加工でアタッチメント部10の内周部にフランジ部を形成し、このフランジ部に円形の開口46を形成して絞り部42とすればよい。
絞り部42をアタッチメント部10と別部材とし、予め形成された絞り部42に一体に光学フィルタ44を設置したフィルタユニットを用いてもよい。そして、光学フィルタ44はアプリで指定される所望の光学特性が設定される。したがって、アタッチメント部10はアプリに適合する光学特性を備えた光学部品を構成している。
E)センサモジュール2の組立工程
基盤部6の所定位置にセンサ20が実装された後、マウント部8、アタッチメント部10およびレンズユニット4を実装する。アタッチメント部10とレンズユニット4を予め一体化して単一の部品としてマウント部8に実装してもよく、また、マウント部8にアタッチメント部10を実装してマウント部8と一体化し、そのアタッチメント部10にレンズユニット4を装着してもよい。
<レンズユニット4のイメージサークル径と絞り部42の開口46の関係>
レンズユニット4のイメージサークル径をic、絞り部42の開口径をrとすると、イメージサークル径icおよび開口径rの大小関係は次のとおりである。
a)イメージサークル径icより径大: r>ic
b)ほぼ同径: r≒ic
c)同径: r=ic
の何れでもよい。
つまり、絞り部42の開口径rとイメージサークル径icの大小関係がr>icであればよいが、ほぼ同径のr≒icであれば好ましく、または同径のr=icであればより好ましい。
<第一の実施の形態の効果>
この第一の実施の形態によれば、次の何れかの効果が得られる。
(1) マウント部8およびレンズユニット4の整合性を排することができ、マウント部8およびレンズユニット4の自由度を高めることができる。
(2) マウント部8を共通化しても、任意のレンズユニット4をアタッチメント部10で整合させることができる。
(3) マウント部8とレンズユニット4を別個に製造しても、アタッチメント部10を介して精緻に両者を整合させることができる。
(4) 実行するアプリに応じて所望の光学フィルタ44をアタッチメント部10に設定でき、アプリによる束縛からレンズユニット4を開放し、レンズユニット4の選択の自由度を高めることができる。
(5) レンズユニット4の外径に合わせてアタッチメント部10の内径を調整すれば、外径の異なるレンズユニット4であってもマウント部8を変更することなく、マウント部8にレンズユニット4を整合させることができる。
(6) 光学フィルタ44は、アタッチメント部10に配置されているので、従来のマウント部8に組み込む構成に比較し、アタッチメント部10を以て容易に変更できる。
(7) アタッチメント部10に配置した絞り部42の開口径rおよびレンズユニット4のイメージサークル径icをアタッチメント部10とともに変更することができる。
(8) アタッチメント部10に光学機能部として絞り部42を備えたので、レンズユニット4を通して侵入するノイズ光や光路外の不要光をアタッチメント部10で抑制できる。この結果、不必光の反射や散乱(迷光)が抑制できるので、必要光の集光やシャープな画像を実現できる。
〔第二の実施の形態〕
図4は、第二の実施の形態に係るセンサモジュール2を示している。図4において、図1および図2と同一部分には同一符号を付してある。
この実施の形態のセンサモジュール2では第一摺動部36-1のみでアタッチメント部10とマウント部8を摺動可能にし、レンズユニット4にアタッチメント部10を固定して単一化して第二摺動部36-2を省略した構成である。
<第二の実施の形態の効果>
この第二の実施の形態によれば、次の何れかの効果が得られる。
(1) 第二摺動部36-2を省略して第一摺動部36-1のみでレンズユニット4を摺動させ、合焦させることができる。
(2) 摺動範囲は、マウント部8とアタッチメント部10との間の第一摺動部36-1のみで第一の実施の形態と同等の摺動幅を実現できる。
〔第三の実施の形態〕
図5は、第三の実施の形態に係るセンサモジュール2を示している。図5において、図1、図2および図3と同一部分には同一符号を付してある。
この実施の形態のセンサモジュール2では第二摺動部36-2のみでレンズユニット4とアタッチメント部10を摺動可能にし、マウント部8とアタッチメント部10を固定し単一化して第一摺動部36-1を省略した構成である。
<第三の実施の形態の効果>
この第三の実施の形態によれば、次の何れかの効果が得られる。
(1) 第一摺動部36-1を省略して第二摺動部36-2のみでレンズユニット4を摺動させることができる。
(2) 摺動範囲は第二の実施の形態と同様に、レンズユニット4とアタッチメント部10との間の第二摺動部36-2のみで第一の実施の形態または第二の実施の形態と同等の摺動幅を実現できる。
〔第四の実施の形態〕
図6は、第四の実施の形態に係るセンサシステム50を示している。図6において、図1と同一部分には同一符号を付してある。このセンサシステム50は既述のセンサモジュール2を用いてたとえば、距離情報を取得するシステムである。
図6に示すセンサシステム50では、センサモジュール2、光源52、制御部54および情報提示部56を備えている。
光源52は、制御部54によって制御され、たとえば、レーザ光Liを被写体58に照射する。
制御部54は、コンピュータで構成され、光源52の発光制御とともに、被写体58からの反射光Lrのセンサモジュール2による受光制御を行い、レーザ光Liの発光時点から反射光Lrの時間を計測し、被写体58の距離情報を取得し、提示情報を生成する。
情報提示部56はたとえば、LCD(Liquid Crystal Display)表示器を備え、制御部54の提示制御により、被写体58の距離情報を表すたとえば、濃淡情報を含む画像情報を提示する。たとえば、遠ざかった位置を暗く、近い位置を明るくした被写体画像を表すコントラスト情報はその一例である。
<第四の実施の形態の効果>
この第四の実施の形態によれば、次の何れかの効果が得られる。
(1) センサモジュール2を用いて距離計などのセンサシステム50を構成することができる。
(2) このセンサシステム50を用いて被写体58の距離を容易に認識することができる。
〔他の実施の形態〕
以下、他の実施形態について言及する。
(1) 上記実施の形態では、第一摺動部36-1、第二摺動部36-2は、雄ねじおよび雌ねじによる回転摺動を用いているが、摩擦による摺動機構などの他の摺動機構を用いてもよい。
(2) 上記実施の形態では、単一のアタッチメント部10を備えているが、2以上のアタッチメント部10を備えてもよい。
(3) 上記実施の形態では、絞り部42および光学フィルタ44を備えたアタッチメント部10を用いているが、アタッチメント部10には絞り部42および光学フィルタ44の双方を備えていないアタッチメント部材、絞り部42または光学フィルタ44の何れか一方を備えたアタッチメント部材の何れを用いてもよい。つまり、このようなアタッチメント部材をアタッチメント部10に用いてもレンズユニット4とマウント部8を整合させることができる。
(4) 上記実施の形態では、センサモジュール2を用いて距離情報を取得するセンサシステム50を例示したが、画像情報を取得して画像を提示してもよい。
以上説明したように、本開示の最も好ましい実施例について説明した。本開示の技術は、上記記載に限定されるものではない。特許請求の範囲に記載され、又は明細書に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能である。斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
本開示のセンサモジュール、その製造方法またはセンサシステムによれば、マウント部とレンズユニットをアタッチメント部により整合させるので、マウント部およびレンズユニットの整合のための自由度を拡大できるなどの利便性があり、極めて有益である。
2 センサモジュール
4 レンズユニット
6 基盤部
8 マウント部
10 アタッチメント部
12 筒部
14 レンズ
16 光軸
18、32 雄ねじ部
20 センサ
22 コネクタ
24 基体部
26 筒部
28、34 雌ねじ部
30 筒部
36-1 第一摺動部
36-2 第二摺動部
38 合焦機構
40 防塵フィルタ
42 絞り部
44 光学フィルタ
46 開口
50 センサシステム
52 光源
54 制御部
56 情報提示部
58 被写体

Claims (11)

  1. レンズユニットと、
    前記レンズユニットから光を受けるセンサが設置される基盤部と、
    前記基盤部に設置されたマウント部と、
    前記マウント部と前記レンズユニットを整合させるアタッチメント部と、
    を備える、
    センサモジュール。
  2. 少なくとも前記マウント部に前記アタッチメント部を摺動可能に支持させる第一摺動部、または前記アタッチメント部に前記レンズユニットを摺動可能に支持させる第二摺動部の何れか一方を備え、または前記第一摺動部および前記第二摺動部の双方を備える、請求項1に記載のセンサモジュール。
  3. 前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部を備える、
    請求項1または請求項2に記載のセンサモジュール。
  4. 前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの光を通過させる光学フィルタを備える、
    請求項1ないし請求項3のいずれかの請求項に記載のセンサモジュール。
  5. 前記アタッチメント部が、前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部に光学フィルタを一体に備えたフィルタ部を備える、
    請求項1ないし請求項4のいずれかの請求項に記載のセンサモジュール。
  6. 前記マウント部に前記センサを防塵する防塵フィルタを備える、
    請求項1ないし請求項5のいずれかの請求項に記載のセンサモジュール。
  7. 前記絞り部の開口径が前記レンズユニットのイメージサークル径より径大であるか、イメージサークル径とほぼ同径または同径である、
    請求項3ないし請求項6のいずれかの請求項に記載のセンサモジュール。
  8. レンズユニットから光を受けるセンサが設置される基盤部に前記レンズユニットを実装するためのマウント部を形成する工程と、
    前記マウント部に前記レンズユニットを支持するためのアタッチメント部を形成する工程と、
    少なくとも、前記マウント部に前記アタッチメント部を摺動可能に支持させる第一摺動部、または前記アタッチメント部に前記レンズユニットを摺動可能に支持させる第二摺動部の何れか一方を形成し、または前記第一摺動部および前記第二摺動部の双方を形成する工程と、
    を含む、
    センサモジュールの製造方法。
  9. 前記アタッチメント部に前記レンズユニットからの受光量を絞る絞り部を形成する工程を含む、
    請求項8に記載のセンサモジュールの製造方法。
  10. 前記アタッチメント部に、前記レンズユニットからの光を通過させる光学フィルタを設置する工程を含む、
    請求項8または請求項9に記載のセンサモジュールの製造方法。
  11. 請求項1ないし請求項7のいずれかの請求項に記載の前記センサモジュールを備えて被写体から少なくとも反射光を受光し、該反射光を用いて距離情報を取得する、
    センサシステム。
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