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JP2023068209A - Range finder and light emitting device - Google Patents

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JP2023068209A
JP2023068209A JP2020061427A JP2020061427A JP2023068209A JP 2023068209 A JP2023068209 A JP 2023068209A JP 2020061427 A JP2020061427 A JP 2020061427A JP 2020061427 A JP2020061427 A JP 2020061427A JP 2023068209 A JP2023068209 A JP 2023068209A
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Japan
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light
light emitting
emitting elements
subject
distance measuring
Prior art date
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Application number
JP2020061427A
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Japanese (ja)
Inventor
交司 馬渕
Koji Mabuchi
貴弘 内村
Takahiro Uchimura
仁 中村
Hitoshi Nakamura
文彦 半澤
Fumihiko Hanzawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Semiconductor Solutions Corp
Sony Group Corp
Original Assignee
Sony Semiconductor Solutions Corp
Sony Group Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Sony Semiconductor Solutions Corp, Sony Group Corp filed Critical Sony Semiconductor Solutions Corp
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Priority to PCT/JP2021/009860 priority patent/WO2021200016A1/en
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    • GPHYSICS
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Abstract

To provide a ranging device and a light-emitting device, capable of irradiating an object with appropriate illumination light.SOLUTION: A ranging device is provided, comprising a light-emitting unit provided with multiple light-emitting elements for generating light and configured to irradiate an object with light form the light-emitting elements, a light reception unit for receiving the light reflected from the object, and a ranging unit configured to measure distance to the object based on the light received by the light reception unit, where the light-emitting unit irradiates the object with the light from the light-emitting elements by sequentially turning on the light-emitting elements one-by-one or in multiples.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本開示は、測距装置および発光装置に関する。 The present disclosure relates to range finding devices and light emitting devices.

被写体との距離を三角測量により測定する測距方法が知られている。測距方法の一例として、光切断法が挙げられる。光切断法では、被写体をシート状のレーザー光でスキャンしながら撮像し、撮像により得られた撮像信号を用いて被写体との距離を算出する。この場合、レーザー光を何らかの手段により振動させることで、振動するレーザー光を被写体に照射する必要がある。レーザー光を振動させることで、被写体をレーザー光でスキャンすることが可能となる。 2. Description of the Related Art A range finding method is known that measures the distance to a subject by triangulation. An example of the distance measuring method is the light section method. In the light-section method, an object is imaged while being scanned with a sheet of laser light, and the distance to the object is calculated using an imaging signal obtained by the imaging. In this case, it is necessary to oscillate the laser beam by some means to irradiate the object with the oscillating laser beam. By vibrating the laser beam, it is possible to scan the subject with the laser beam.

特開2017-187386号公報JP 2017-187386 A 国際公開WO2019/053998号公報International publication WO2019/053998

そこで、レーザー光を振動させるためのアクチュエータを測距装置内に搭載することが考えられる。この場合、レーザー光を反射するミラーや、レーザー光を成形するレンズをアクチュエータにより振動させることで、レーザー光を振動させることができる。 Therefore, it is conceivable to mount an actuator for vibrating the laser beam in the distance measuring device. In this case, the laser light can be vibrated by vibrating a mirror that reflects the laser light or a lens that shapes the laser light using an actuator.

しかしながら、測距装置内にアクチュエータを搭載する場合には、測距装置の部品数がアクチュエータにより増えることや、精度の高い振動を得るために小型のアクチュエータが必要となることなどが問題となる。このように、被写体との距離を三角測量により測定する際には、どのような手法で被写体に好適な光を照射するかが問題となる。 However, when an actuator is mounted in the distance measuring device, there are problems such as an increase in the number of parts of the distance measuring device due to the actuator and a need for a small actuator in order to obtain highly accurate vibration. In this way, when measuring the distance to the subject by triangulation, the question arises as to what method is used to irradiate the subject with suitable light.

そこで、本開示は、好適な照射光を被写体に照射可能な測距装置および発光装置を提供する。 Accordingly, the present disclosure provides a distance measuring device and a light emitting device capable of irradiating a subject with suitable irradiation light.

本開示の第1の側面の測距装置は、光を発生させる複数の発光素子を含み、前記発光素子からの光を被写体に照射する発光装置と、前記被写体から反射した光を受光する受光装置と、前記受光装置により受光された光に基づいて、前記被写体との距離を測定する測距部とを備え、前記発光装置は、前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する。これにより例えば、小型のアクチュエータなどの部品を用いずに、測距にとって好適な照射光を被写体に照射することが可能となり、具体的には、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 A distance measuring device according to a first aspect of the present disclosure includes a plurality of light-emitting elements that generate light, a light-emitting device that irradiates a subject with light from the light-emitting elements, and a light-receiving device that receives light reflected from the subject. and a distance measuring unit for measuring the distance to the subject based on the light received by the light receiving device, wherein the light emitting device sequentially turns on the light emitting elements one by one or each of a plurality of the light emitting elements. and irradiates the subject with the light from the light emitting element. As a result, for example, it is possible to irradiate a subject with illumination light that is suitable for distance measurement without using parts such as small actuators. It becomes possible to

また、この第1の側面において、前記発光素子は、ライン状に配置されていてもよい。これにより例えば、ラインに沿って発光素子を順次点灯させることで、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 Moreover, this 1st side surface WHEREIN: The said light emitting element may be arrange|positioned at linear form. As a result, for example, by sequentially lighting the light emitting elements along the line, it is possible to irradiate the object with irradiation light that moves on the surface of the object.

また、この第1の側面において、前記発光素子は、2次元アレイ状に配置されていてもよい。これにより例えば、2次元アレイ内で発光素子を順次点灯させることで、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the light emitting elements may be arranged in a two-dimensional array. As a result, for example, by sequentially turning on the light-emitting elements in the two-dimensional array, it is possible to irradiate the object with irradiation light that moves on the surface of the object.

また、この第1の側面において、前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子がライン状に配置された複数のライン部分を含んでいてもよい。これにより例えば、ライン部分ごとに発光素子を順次点灯させることで、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the two-dimensional array of light emitting elements may include a plurality of line portions in which the light emitting elements are arranged in a line. As a result, for example, by sequentially turning on the light-emitting elements for each line portion, it is possible to irradiate the object with irradiation light that moves on the surface of the object.

また、この第1の側面において、前記ライン部分は、第1方向に延び、かつ前記第1方向に垂直な第2方向に互いに隣接しており、前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子が前記第2方向に連続しないように千鳥配列状に配置されていてもよい。これにより例えば、ライン部分間の幅を狭くすることで、ライン部分の本数を増やすことが可能となる。 Further, on the first side surface, the line portions extend in a first direction and are adjacent to each other in a second direction perpendicular to the first direction, and the two-dimensional array of the light emitting elements includes the The light emitting elements may be arranged in a zigzag arrangement so as not to be continuous in the second direction. As a result, for example, by narrowing the width between line portions, it is possible to increase the number of line portions.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子を1本のライン部分ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射してもよい。これにより例えば、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 In the first aspect, the light-emitting device may irradiate the object with light from the light-emitting elements by sequentially lighting the light-emitting elements for each line portion. This makes it possible, for example, to irradiate the object with irradiation light that moves on the surface of the object.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子を駆動する複数のスイッチを備え、各スイッチは、対応する1本のライン部分内の複数の発光素子に電気的に接続されていてもよい。これにより例えば、ライン部分ごとの発光素子の点灯を、対応するスイッチのオン・オフにより制御することが可能となる。 Further, in this first aspect, the light-emitting device includes a plurality of switches for driving the light-emitting elements, each switch being electrically connected to a plurality of light-emitting elements in a corresponding one line portion. may As a result, for example, it is possible to control the lighting of the light-emitting element for each line portion by turning on/off the corresponding switch.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記被写体に、第3方向に延びる1本以上のライン光を含む光を照射してもよい。これにより例えば、ライン光による測距を実現することが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the light emitting device may irradiate the subject with light including one or more line lights extending in a third direction. As a result, for example, distance measurement using line light can be realized.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記被写体に、前記第3方向に延びる前記1本以上のライン光と第4方向に延びる1本以上のライン光とを含む光を照射してもよい。これにより例えば、複数方向に拡がりを持つ光による測距を実現することが可能となる。 Further, in this first aspect, the light emitting device irradiates the subject with light including the one or more line lights extending in the third direction and one or more line lights extending in the fourth direction. may As a result, for example, it is possible to realize distance measurement using light that spreads in a plurality of directions.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記受光装置の光軸に対して前記発光装置の光軸を傾けて、前記発光素子からの光を前記被写体に照射してもよい。これにより例えば、測距に対する0次光の悪影響を抑制することが可能となる。 Further, in this first aspect, the light emitting device may irradiate the subject with light from the light emitting element by tilting the optical axis of the light emitting device with respect to the optical axis of the light receiving device. As a result, for example, it is possible to suppress the adverse effect of zero-order light on distance measurement.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子からの光の0次光が、前記受光装置の受光範囲外の領域に照射されるように、前記発光装置の光軸を傾けてもよい。これにより例えば、0次光を撮像信号から排除して、測距に対する0次光の悪影響を抑制することが可能となる。 In the first aspect, the light emitting device tilts the optical axis so that the zero-order light from the light emitting element is irradiated onto a region outside the light receiving range of the light receiving device. may This makes it possible, for example, to exclude the 0th order light from the imaging signal and suppress the adverse effect of the 0th order light on distance measurement.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子からの光が0次光の複数のスポットを含み、かつ、前記複数のスポットが前記受光装置の受光範囲内の領域に照射されるように、前記発光素子からの光を前記被写体に照射してもよい。これにより例えば、発光装置の光軸を傾ける代わりに0次光の明るさを抑えることで、測距に対する0次光の悪影響を抑制することが可能となる。 Further, according to the first aspect, in the light emitting device, the light from the light emitting element includes a plurality of spots of 0th order light, and the plurality of spots are applied to a region within the light receiving range of the light receiving device. The object may be irradiated with light from the light-emitting element as in the above. As a result, for example, by suppressing the brightness of the 0th order light instead of tilting the optical axis of the light emitting device, it is possible to suppress the adverse effect of the 0th order light on distance measurement.

また、この第1の側面において、前記発光素子の順次点灯のタイミングと、前記受光装置における露光のタイミングとを同期させてもよい。これにより例えば、発光装置および受光装置の動作の無駄を減らすことが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the timing of sequential lighting of the light-emitting elements and the timing of exposure in the light-receiving device may be synchronized. This makes it possible, for example, to reduce wasteful operations of the light-emitting device and the light-receiving device.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを備えていてもよい。これにより例えば、測距用の光の形状を所望の形状に成形することが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the light-emitting device may include a collimating lens that collimates light from the light-emitting element and irradiates the subject with the light. As a result, for example, the shape of light for distance measurement can be formed into a desired shape.

また、この第1の側面において、前記発光装置は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を備えていてもよい。これにより例えば、測距用の光を所望の態様で回折させることが可能となる。 Moreover, in this first aspect, the light-emitting device may include a diffraction optical element that forms light from the light-emitting element by diffraction and irradiates the subject with the light. This makes it possible, for example, to diffract light for distance measurement in a desired manner.

また、この第1の側面において、前記受光装置は、前記被写体に照射された光を撮像する撮像部を備え、前記測距部は、前記撮像部により撮像された光に基づいて、前記被写体との距離を測定してもよい。これにより例えば、撮像信号の処理に基づいて測距を行うことが可能となる。 Further, in this first aspect, the light receiving device includes an imaging section that captures an image of the light irradiated to the subject, and the distance measuring section measures the distance between the subject and the subject based on the light captured by the imaging section. may be measured. As a result, for example, distance measurement can be performed based on the processing of the imaging signal.

本開示の第2の側面の発光装置は、光を発生させる複数の発光素子を含む光源と、前記発光素子からの光を被写体に照射する光学素子とを備え、前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する。これにより例えば、小型のアクチュエータなどの部品を用いずに、被写体の表面上を移動する照射光を被写体に照射することが可能となる。 A light-emitting device according to a second aspect of the present disclosure includes a light source including a plurality of light-emitting elements that generate light, and an optical element that irradiates a subject with light from the light-emitting elements. Light from the light-emitting elements is applied to the subject by sequentially lighting each of the plurality of light-emitting elements. As a result, for example, it is possible to irradiate an object with irradiation light that moves on the surface of the object without using a component such as a small actuator.

また、この第2の側面において、前記光学素子は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを含んでいてよい。これにより例えば、被写体に照射する光を所望の態様で回折させることが可能となる。 Moreover, in this second aspect, the optical element may include a collimating lens that collimates the light from the light emitting element and illuminates the subject. This makes it possible, for example, to diffract the light with which the subject is irradiated in a desired manner.

また、この第2の側面において、前記光学素子は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を含んでいてもよい。これにより例えば、被写体に照射する光を所望の態様で回折させることが可能となる。 Moreover, in this second aspect, the optical element may include a diffraction optical element that shapes the light from the light emitting element by diffraction and irradiates the subject with the light. This makes it possible, for example, to diffract the light with which the subject is irradiated in a desired manner.

また、この第2の側面において、前記被写体から反射した光は、受光装置により受光されてもよい。これにより例えば、発光装置から被写体に照射された好適な照射光を、測距などに使用することが可能となる。 Moreover, in this second aspect, the light reflected from the subject may be received by a light receiving device. This makes it possible to use, for example, suitable irradiation light emitted from the light-emitting device to the subject for distance measurement or the like.

第1実施形態の測距装置の構成を示すブロック図である。1 is a block diagram showing the configuration of a distance measuring device according to a first embodiment; FIG. 第1実施形態の測距装置の構造を示す斜視部である。4 is a perspective view showing the structure of the distance measuring device of the first embodiment; 第1実施形態の発光装置の構造を示す縦断面図である。1 is a longitudinal sectional view showing the structure of a light emitting device according to a first embodiment; FIG. 第1実施形態の受光装置の構造を示す横断面図である。It is a cross-sectional view showing the structure of the light receiving device of the first embodiment. 第1実施形態の発光装置の構造を示す別の縦断面図である。4 is another longitudinal sectional view showing the structure of the light emitting device of the first embodiment; FIG. 第1実施形態の発光素子の配置例を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an arrangement example of light emitting elements according to the first embodiment; 第1実施形態の発光素子の動作例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an operation example of the light emitting device of the first embodiment; 第1実施形態の発光素子の接続例を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an example of connection of light emitting elements according to the first embodiment; 第1実施形態の照射光のパターンの例を示す図である。It is a figure which shows the example of the pattern of irradiation light of 1st Embodiment. 第1実施形態の回折光学素子の作用を説明するための断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the action of the diffractive optical element of the first embodiment; 第1実施形態の照射光のパターンの例を示す別の図である。FIG. 5 is another diagram showing an example of a pattern of irradiation light according to the first embodiment; 第1実施形態の測距装置の動作例を示すタイミングチャートである。4 is a timing chart showing an operation example of the distance measuring device of the first embodiment; 第1実施形態の測距装置の別の動作例を示すタイミングチャートである。7 is a timing chart showing another operation example of the distance measuring device of the first embodiment; 第1実施形態の測距装置の測距方式を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the range-finding system of the range finder of 1st Embodiment.

以下、本開示の実施形態を、図面を参照して説明する。 Embodiments of the present disclosure will be described below with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の測距装置の構成を示すブロック図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the distance measuring device of the first embodiment.

図1の測距装置は、発光装置1と、受光装置2と、測距部3とを備えている。発光装置1は、光を発生させる複数の発光素子(後述)を含み、これらの発光素子からの光を被写体Pに照射する。受光装置2は、被写体Pから反射した光を受光する。測距部3は、受光装置2により受光された光に基づいて、被写体Pとの距離を測定(算出)する。図1の測距装置は、例えば人間が手を用いて行うジェスチャを認識するために使用されるが、それ以外の用途(例えば人間の顔の認証)に使用されてもよい。 The distance measuring device of FIG. 1 includes a light emitting device 1, a light receiving device 2, and a distance measuring section 3. As shown in FIG. The light-emitting device 1 includes a plurality of light-emitting elements (described later) that generate light, and irradiates a subject P with light from these light-emitting elements. The light receiving device 2 receives the light reflected from the subject P. As shown in FIG. The distance measurement unit 3 measures (calculates) the distance to the subject P based on the light received by the light receiving device 2 . The distance measuring device in FIG. 1 is used, for example, to recognize gestures made by humans using their hands, but it may also be used for other uses (for example, recognition of human faces).

発光装置1は、光源駆動部11と、光源12と、コリメートレンズ13と、回折光学素子(DOE:Diffractive Optical Element)14とを備えている。コリメートレンズ13および回折光学素子14は、本開示の光学素子の例である。受光装置2は、レンズユニット21と、撮像部22と、撮像信号処理部23とを備えている。 The light emitting device 1 includes a light source driver 11 , a light source 12 , a collimator lens 13 , and a diffractive optical element (DOE) 14 . Collimating lens 13 and diffractive optical element 14 are examples of optical elements of the present disclosure. The light receiving device 2 includes a lens unit 21 , an imaging section 22 and an imaging signal processing section 23 .

光源駆動部11は、光源12を駆動して、光源12から光を発生させる。光源12は、上述の複数の発光素子を含んでいる。本実施形態の光源駆動部11は、これらの発光素子を駆動して、これらの発光素子から光を発生させる。本実施形態の各発光素子は例えば、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)構造を有しており、レーザー光を発生させる。光源12から発生する光は、例えば可視光または赤外線である。この赤外線の例は、近赤外光(NIR)や短波長赤外光(SWIR)である。 The light source driver 11 drives the light source 12 to generate light from the light source 12 . The light source 12 includes the plurality of light emitting elements described above. The light source driver 11 of this embodiment drives these light emitting elements to generate light from these light emitting elements. Each light-emitting element of this embodiment has, for example, a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) structure, and generates laser light. The light emitted from the light source 12 is visible light or infrared light, for example. Examples of this infrared light are near infrared light (NIR) and short wavelength infrared light (SWIR).

コリメートレンズ13は、光源12からの光をコリメートして、回折光学素子14へと出射する。これにより、光源12からの光が平行光に成形される。回折光学素子14は、コリメートレンズ13からの光を回折により成形して、発光装置1から出射する。これにより、光源12からの光が平行光に成形された後、所望のパターン形状を有する光に成形される。発光装置1は、この所望のパターン形状を有する光(照射光)を被写体Pに照射する。被写体Pに投影されたパターンは、投影像とも呼ばれる。被写体Pに照射された光は、被写体Pで反射して受光装置2により受光される。 The collimator lens 13 collimates the light from the light source 12 and emits it to the diffractive optical element 14 . Thereby, the light from the light source 12 is formed into parallel light. The diffractive optical element 14 shapes the light from the collimator lens 13 by diffraction and emits the light from the light emitting device 1 . As a result, after the light from the light source 12 is shaped into parallel light, the light is shaped into light having a desired pattern shape. The light emitting device 1 irradiates the subject P with light (irradiation light) having this desired pattern shape. The pattern projected onto the subject P is also called a projected image. The light irradiated to the subject P is reflected by the subject P and received by the light receiving device 2 .

レンズユニット21は、複数のレンズ(後述)を含み、被写体Pから反射した光をこれらのレンズにより集光する。これらのレンズの表面には、光の反射を防止する反射防止膜が設けられている。当該反射防止膜は、光源12から出射される光と同じ波長の光を透過するBPF(バンドパスフィルタ)として機能してもよい。 The lens unit 21 includes a plurality of lenses (described later), and collects light reflected from the subject P by these lenses. The surfaces of these lenses are provided with an antireflection film that prevents reflection of light. The antireflection film may function as a BPF (bandpass filter) that transmits light having the same wavelength as the light emitted from the light source 12 .

撮像部22は、レンズユニット21により集光された光を撮像し、撮像により得られた撮像信号を出力する。撮像部22は例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ、またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサである。 The imaging unit 22 captures an image of the light condensed by the lens unit 21 and outputs an imaging signal obtained by imaging. The imaging unit 22 is, for example, a CCD (Charge Coupled Device) image sensor or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) image sensor.

撮像信号処理部23は、撮像部22から出力された撮像信号に対して所定の信号処理を施す。撮像信号処理部23は例えば、撮像部22により撮像された画像に対して所定の画像処理を施す。撮像信号処理部23は、上記の信号処理が施された撮像信号を測距部3に出力する。 The imaging signal processing unit 23 performs predetermined signal processing on the imaging signal output from the imaging unit 22 . The imaging signal processing unit 23 performs predetermined image processing on the image captured by the imaging unit 22, for example. The imaging signal processing unit 23 outputs the imaging signal subjected to the above signal processing to the distance measuring unit 3 .

測距部3は、種々の情報処理を実行するためのCPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)などを備えている。測距部3は例えば、光源ドライバ(不図示)を介して光源駆動部11の動作を制御する。また、測距部3は例えば、被写体Pに照射された光の撮像信号に基づいて、三角測量の原理により被写体Pとの距離を測定する。このように、測距部3は、図1の測距装置の種々の動作を制御する。 The distance measuring unit 3 includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like for executing various information processing. The distance measuring unit 3 controls the operation of the light source driving unit 11 via, for example, a light source driver (not shown). Further, the distance measuring unit 3 measures the distance to the subject P based on the imaging signal of the light irradiated to the subject P, for example, based on the principle of triangulation. In this manner, the distance measuring section 3 controls various operations of the distance measuring apparatus of FIG.

図2は、第1実施形態の測距装置の構造を示す斜視部である。 FIG. 2 is a perspective view showing the structure of the distance measuring device of the first embodiment.

図2は、互いに垂直なX軸、Y軸、およびZ軸を示している。X方向およびY方向は横方向(水平方向)に相当し、Z方向は縦方向(垂直方向)に相当する。また、+Z方向は上方向に相当し、-Z方向は下方向に相当する。-Z方向は、厳密に重力方向に一致していてもよいし、厳密には重力方向に一致していなくてもよい。 FIG. 2 shows X, Y, and Z axes that are perpendicular to each other. The X and Y directions correspond to the lateral direction (horizontal direction), and the Z direction corresponds to the longitudinal direction (vertical direction). The +Z direction corresponds to the upward direction, and the -Z direction corresponds to the downward direction. The -Z direction may or may not exactly match the direction of gravity.

図2は、発光装置1に設けられた回折光学素子14と、受光装置2に設けられたレンズユニット21とを示している。図2では、レンズユニット21がY方向を向いているのに対し、回折光学素子14の向きがY方向に対して下向きに傾いている。 FIG. 2 shows the diffractive optical element 14 provided in the light emitting device 1 and the lens unit 21 provided in the light receiving device 2. As shown in FIG. In FIG. 2, the lens unit 21 faces the Y direction, while the direction of the diffractive optical element 14 is tilted downward with respect to the Y direction.

図3は、第1実施形態の発光装置1の構造を示す縦断面図である。 FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing the structure of the light emitting device 1 of the first embodiment.

図3は、発光装置1に設けられた光源12と、コリメートレンズ13と、回折光学素子14と、反射プリズム15とを示している。本実施形態の発光装置1では、光源12から発生した光が、反射プリズム15により反射された後、コリメートレンズ13と回折光学素子14とを通過して、被写体Pに照射される。 FIG. 3 shows the light source 12, the collimating lens 13, the diffractive optical element 14, and the reflecting prism 15 provided in the light emitting device 1. FIG. In the light emitting device 1 of this embodiment, the light emitted from the light source 12 is reflected by the reflecting prism 15, passes through the collimating lens 13 and the diffraction optical element 14, and is irradiated onto the subject P.

図4は、第1実施形態の受光装置2の構造を示す横断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of the light receiving device 2 of the first embodiment.

図4は、受光装置2に設けられたレンズユニット21と、撮像部22とを示している。本実施形態のレンズユニット21は、複数(ここでは2つ)のレンズ21a、21bを含んでいる。レンズユニット21は、被写体Pから反射した光を、これらのレンズ21a、21bにより集光する。 FIG. 4 shows the lens unit 21 provided in the light receiving device 2 and the imaging section 22 . The lens unit 21 of this embodiment includes a plurality of (here, two) lenses 21a and 21b. The lens unit 21 converges the light reflected from the subject P with these lenses 21a and 21b.

図3と図4は、発光装置1の光軸A1と、受光装置2の光軸A2とを示している。発光装置1の光軸A1は、回折光学素子14やコリメートレンズ13の中心を通過しており、受光装置2の光軸A2は、レンズ21a、21bの中心を通過している。図3では、発光装置1の光軸A1がY方向に対して傾いており、回折光学素子14の向きがY方向に対して下向きに傾いている(図2も参照)。図4では、受光装置2の光軸A2がY方向に平行となっており、レンズユニット21がY方向を向いている(図2も参照)。よって、発光装置1の光軸A1が、受光装置2の光軸A2に対して傾いている。 3 and 4 show the optical axis A1 of the light emitting device 1 and the optical axis A2 of the light receiving device 2. FIG. The optical axis A1 of the light emitting device 1 passes through the centers of the diffractive optical element 14 and the collimator lens 13, and the optical axis A2 of the light receiving device 2 passes through the centers of the lenses 21a and 21b. In FIG. 3, the optical axis A1 of the light emitting device 1 is tilted with respect to the Y direction, and the orientation of the diffractive optical element 14 is tilted downward with respect to the Y direction (see also FIG. 2). In FIG. 4, the optical axis A2 of the light receiving device 2 is parallel to the Y direction, and the lens unit 21 faces the Y direction (see also FIG. 2). Therefore, the optical axis A1 of the light emitting device 1 is tilted with respect to the optical axis A2 of the light receiving device 2 .

本実施形態の測距装置は例えば、発光装置1を駆動することで、発光装置1の光軸A1を受光装置2の光軸A2に対して傾けることができるように構成されていてもよい。この場合、発光装置1は、受光装置2の光軸A2に対して発光装置1の光軸A1を傾けて、光源12からの光を被写体Pに照射する。これにより、光源12からの光に含まれる0次光を、受光装置2の受光範囲外の領域に照射することが可能となり、測距に対する0次光の悪影響を抑制することが可能となる。このような光軸A1の制御の詳細については、後述する。 For example, the distance measuring device of the present embodiment may be configured such that the optical axis A1 of the light emitting device 1 can be tilted with respect to the optical axis A2 of the light receiving device 2 by driving the light emitting device 1 . In this case, the light emitting device 1 irradiates the subject P with light from the light source 12 with the optical axis A1 of the light emitting device 1 tilted with respect to the optical axis A2 of the light receiving device 2 . This makes it possible to irradiate the area outside the light receiving range of the light receiving device 2 with the 0th order light contained in the light from the light source 12, and it is possible to suppress the adverse effect of the 0th order light on distance measurement. The details of such control of the optical axis A1 will be described later.

図5は、第1実施形態の発光装置1の構造を示す別の縦断面図である。 FIG. 5 is another longitudinal sectional view showing the structure of the light emitting device 1 of the first embodiment.

図5は、発光装置1に設けられた光源駆動部11と、光源12とを示している。図5に示すように、光源12は、基板31と、積層膜32と、複数の発光素子33と、複数のアノード電極34と、複数のカソード電極35とを備えている。また、光源駆動部11は、基板41と、複数の接続パッド42とを備えている。本実施形態の光源12は、基板31を含む半導体チップであり、基板41を含む光源駆動部11上に、複数のバンプ16を介して積載されている。 FIG. 5 shows the light source drive section 11 and the light source 12 provided in the light emitting device 1 . As shown in FIG. 5 , the light source 12 includes a substrate 31 , a laminated film 32 , a plurality of light emitting elements 33 , a plurality of anode electrodes 34 and a plurality of cathode electrodes 35 . Also, the light source driving section 11 includes a substrate 41 and a plurality of connection pads 42 . The light source 12 of this embodiment is a semiconductor chip including a substrate 31 and is mounted on the light source driving section 11 including the substrate 41 via a plurality of bumps 16 .

図5は、互いに垂直なX’軸、Y’軸、およびZ軸’を示している。X’方向とY’方向は、基板31を水平に配置した場合の横方向(水平方向)に相当し、Z’方向は、基板31を水平に配置した場合の縦方向(垂直方向)に相当する。また、+Z’方向と-Z’方向はそれぞれ、基板31を水平に配置した場合の上方向と下方向に相当する。図3に示す光源12の傾きから分かるように、X’方向、Y’方向、およびZ’方向は一般に、X方向、Y方向、およびZ方向とは一致しない。 FIG. 5 shows X', Y', and Z' axes which are perpendicular to each other. The X' and Y' directions correspond to the lateral direction (horizontal direction) when the substrate 31 is horizontally arranged, and the Z' direction corresponds to the vertical direction (vertical direction) when the substrate 31 is horizontally arranged. do. The +Z' direction and the -Z' direction respectively correspond to the upward direction and the downward direction when the substrate 31 is arranged horizontally. As can be seen from the tilt of the light source 12 shown in FIG. 3, the X', Y', and Z' directions generally do not coincide with the X, Y, and Z directions.

以下、図5を参照して、光源駆動部11および光源12の構造の詳細を説明する。図5の説明では、+Z’方向と-Z’方向をそれぞれ上方向と下方向として、光源駆動部11および光源12の構造を説明する。 The details of the structures of the light source driver 11 and the light source 12 will be described below with reference to FIG. In the description of FIG. 5, the structures of the light source driving section 11 and the light source 12 will be described with the +Z′ direction and the −Z′ direction as the upward direction and the downward direction, respectively.

基板31は、例えばGaAs(ガリウムヒ素)基板などの半導体基板である。図5は、-Z’方向を向いている基板31の表面S1と、+Z’方向を向いている基板31の裏面S2とを示している。 The substrate 31 is, for example, a semiconductor substrate such as a GaAs (gallium arsenide) substrate. FIG. 5 shows the front surface S1 of the substrate 31 facing the -Z' direction and the back surface S2 of the substrate 31 facing the +Z' direction.

積層膜32は、基板31の表面S1に積層された複数の層を含んでいる。これらの層の例は、n型半導体層、活性層、p型半導体層、光反射層、光の射出窓を有する絶縁層などである。積層膜32は、-Z’方向に突出した複数のメサ部Mを含んでいる。これらのメサ部Mの一部が、複数の発光素子33となっている。 Laminated film 32 includes a plurality of layers laminated on surface S<b>1 of substrate 31 . Examples of these layers are n-type semiconductor layers, active layers, p-type semiconductor layers, light reflecting layers, insulating layers with light exit windows, and the like. The laminated film 32 includes a plurality of mesa portions M projecting in the -Z' direction. A part of these mesa portions M are a plurality of light emitting elements 33 .

複数の発光素子33は、積層膜32の一部として、基板31の表面S1側に設けられている。本実施形態の各発光素子33は、VCSEL構造を有しており、光を+Z’方向に出射する。各発光素子33から出射された光は、基板31内を表面S1から裏面S2へと透過し、基板31の裏面S2から出射される。このように、本実施形態の光源12は、裏面照射型のVCSELチップとなっている。 The plurality of light emitting elements 33 are provided on the surface S1 side of the substrate 31 as part of the laminated film 32 . Each light emitting element 33 of this embodiment has a VCSEL structure and emits light in the +Z' direction. Light emitted from each light emitting element 33 passes through the substrate 31 from the surface S1 to the rear surface S2 and is emitted from the rear surface S2 of the substrate 31 . Thus, the light source 12 of this embodiment is a back-illuminated VCSEL chip.

アノード電極34は、発光素子33の下面に形成されている。カソード電極35は、発光素子33以外のメサ部Mの下面に形成されており、メサ部M間にある積層膜32の下面まで延びている。各発光素子33は、そのアノード電極34と対応するカソード電極35との間に電流が流れることで光を出射する。 The anode electrode 34 is formed on the bottom surface of the light emitting element 33 . The cathode electrode 35 is formed on the lower surface of the mesa portion M other than the light emitting element 33 and extends to the lower surface of the laminated film 32 between the mesa portions M. As shown in FIG. Each light emitting element 33 emits light when a current flows between its anode electrode 34 and corresponding cathode electrode 35 .

上述のように、光源12は、光源駆動部11上にバンプ16を介して配置され、バンプ16により光源駆動部11と電気的に接続されている。具体的には、光源駆動部11に含まれる基板41上に接続パッド42が形成され、接続パッド42上にバンプ16を介してメサ部Mが配置されている。各メサ部Mは、アノード電極34またはカソード電極35を介してバンプ16上に配置されている。基板41は、例えばSi(シリコン)基板などの半導体基板である。 As described above, the light source 12 is arranged on the light source driving section 11 via the bumps 16 and electrically connected to the light source driving section 11 by the bumps 16 . Specifically, a connection pad 42 is formed on a substrate 41 included in the light source driving section 11 , and a mesa section M is arranged on the connection pad 42 via the bump 16 . Each mesa portion M is arranged on the bump 16 via the anode electrode 34 or the cathode electrode 35 . The substrate 41 is, for example, a semiconductor substrate such as a Si (silicon) substrate.

光源駆動部11は、光源12を駆動する駆動回路を含んでいる。図5は、この駆動回路に含まれる複数のスイッチSWを模式的に示している。各スイッチSWは、バンプ16を介して、対応する発光素子33と電気的に接続されている。本実施形態の光源駆動部11は、これらのスイッチSWを個々のスイッチSWごとに制御(オン・オフ)することができる。よって、光源駆動部11は、複数の発光素子33を個々の発光素子33ごとに駆動させることができる。これにより、例えば測距に必要な発光素子33のみを発光させるなど、光源12から出射される光を精密に制御することが可能となる。このような発光素子33の個別制御は、光源駆動部11を光源12の下方に配置することにより、各発光素子33とこれに対応するスイッチSWとを電気的に接続しやすくなったことで実現可能となっている。なお、このようなスイッチSWの変形例については、後述する。 The light source drive section 11 includes a drive circuit that drives the light source 12 . FIG. 5 schematically shows a plurality of switches SW included in this drive circuit. Each switch SW is electrically connected to the corresponding light emitting element 33 via the bump 16 . The light source driver 11 of the present embodiment can control (turn on/off) these switches SW individually. Therefore, the light source driving section 11 can drive the plurality of light emitting elements 33 individually. This makes it possible to precisely control the light emitted from the light source 12, for example, by causing only the light emitting element 33 required for distance measurement to emit light. Such individual control of the light emitting elements 33 is realized by arranging the light source driving section 11 below the light source 12 to facilitate electrical connection between each light emitting element 33 and the corresponding switch SW. It is possible. A modified example of such a switch SW will be described later.

図6は、第1実施形態の発光素子33の配置例を示す平面図である。 FIG. 6 is a plan view showing an arrangement example of the light emitting elements 33 of the first embodiment.

図6のAの例では、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、ライン状(1次元アレイ状)に配置されている。具体的には、これらの発光素子33は、X’方向に等間隔で並んでいる。図6のAは、一例として5個の発光素子33を示しているが、基板31上にライン状に配置される発光素子33の個数は、5個以外でもよい。なお、これらの発光素子33は、X’方向以外の方向に並んでいてもよいし、非等間隔に並んでいてもよい。このような配置例については、後述する。 In the example of A of FIG. 6, a plurality of light emitting elements 33 are arranged in a line (one-dimensional array) on the surface S1 of the substrate 31 . Specifically, these light emitting elements 33 are arranged at equal intervals in the X' direction. Although FIG. 6A shows five light emitting elements 33 as an example, the number of light emitting elements 33 arranged in a line on the substrate 31 may be other than five. Note that these light emitting elements 33 may be arranged in a direction other than the X' direction, or may be arranged at non-equidistant intervals. An example of such arrangement will be described later.

図6のBの例でも、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、ライン状(1次元アレイ状)に配置されている。ただし、これらの発光素子33は、Y’方向に等間隔で並んでいる。このように、本実施形態の発光素子33は、様々な態様でライン状に配置することが可能である。 In the example of B of FIG. 6 as well, a plurality of light emitting elements 33 are arranged in a line (one-dimensional array) on the surface S1 of the substrate 31 . However, these light emitting elements 33 are arranged at equal intervals in the Y' direction. In this manner, the light emitting elements 33 of this embodiment can be arranged in a line in various manners.

図6のCの例では、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、規則的な2次元アレイ状に配置されている。具体的には、これらの発光素子33は、X’方向およびY’方向に等間隔で配置されており、正方格子状に配置されている。図6のCは、一例として25個の発光素子33を示しているが、基板31上に2次元アレイ状に配置される発光素子33の個数は、25個以外でもよい。なお、これらの発光素子33は、正方格子以外の配列で規則的な2次元アレイ状に配置されていてもよいし、不規則な2次元アレイ状に配置されていてもよい。このような配置例については、後述する。 In the example of FIG. 6C, a plurality of light emitting elements 33 are arranged in a regular two-dimensional array on the surface S1 of the substrate 31 . Specifically, these light emitting elements 33 are arranged at equal intervals in the X' direction and the Y' direction, and are arranged in a square lattice. Although FIG. 6C shows twenty-five light-emitting elements 33 as an example, the number of light-emitting elements 33 arranged in a two-dimensional array on the substrate 31 may be other than twenty-five. These light emitting elements 33 may be arranged in a regular two-dimensional array in an arrangement other than a square lattice, or may be arranged in an irregular two-dimensional array. An example of such arrangement will be described later.

図6のCに示す複数の発光素子33は、複数のライン部分L1を含んでおり、ここでは25個の発光素子33が、5本のライン部分L1を含んでいる。各ライン部分L1では、複数(ここでは5個)の発光素子33がライン状に配置されている。これらのライン部分L1は、Y’方向に延びており、かつX’方向に互いに隣接している。このようなライン部分L1の詳細については、図6のEを参照して後述する。 A plurality of light emitting elements 33 shown in FIG. 6C includes a plurality of line portions L1, here 25 light emitting elements 33 include 5 line portions L1. In each line portion L1, a plurality of (here, five) light emitting elements 33 are arranged in a line. These line portions L1 extend in the Y' direction and are adjacent to each other in the X' direction. Details of such a line portion L1 will be described later with reference to FIG. 6E.

別の見方をすると、図6のCに示す複数(25個)の発光素子33は、複数(5本)のライン部分L2を含んでいる。各ライン部分L2では、複数(5個)の発光素子33がライン状に配置されている。これらのライン部分L2は、X’方向に延びており、かつY’方向に互いに隣接している。このようなライン部分L2の詳細については、図6のFを参照して後述する。 From another point of view, the plurality (25) of light emitting elements 33 shown in FIG. 6C includes a plurality (5) of line portions L2. In each line portion L2, a plurality of (five) light emitting elements 33 are arranged in a line. These line portions L2 extend in the X' direction and are adjacent to each other in the Y' direction. Details of such a line portion L2 will be described later with reference to FIG. 6F.

図6のDの例では、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、不規則な2次元アレイ状に配置されている。このように、本実施形態の発光素子33は、様々な態様で2次元アレイに配置することが可能である。 In the example of FIG. 6D, a plurality of light emitting elements 33 are arranged on the surface S1 of the substrate 31 in an irregular two-dimensional array. Thus, the light-emitting elements 33 of this embodiment can be arranged in a two-dimensional array in various ways.

図6のEの例では、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、規則的な2次元アレイ状に配置されている。これらの発光素子33は、図6のCの例と同様に、Y’方向に延びる複数のライン部分L1を含んでいる。ただし、これらの発光素子33は、発光素子33がX’方向に連続しないように千鳥配列状に配置されている。例えば、図6のCにおいては、あるライン部分L1の発光素子33とその隣のライン部分L1の発光素子33がX’方向に並んでいる(連続している)が、図6のEにおいては、あるライン部分L1の発光素子33とその隣のライン部分L1の発光素子33がX’方向に並んでいない(連続していない)。つまり、図6のEでは、発光素子33のY’方向の位置が、あるライン部分L1とその隣のライン部分L1との間でずれている。図6のEにおいて、Y’方向は、本開示の第1方向の例であり、X’方向は、本開示の第2方向の例である。 In the example of FIG. 6E, a plurality of light emitting elements 33 are arranged on the surface S1 of the substrate 31 in a regular two-dimensional array. These light emitting elements 33 include a plurality of line portions L1 extending in the Y' direction, as in the example of C of FIG. However, these light emitting elements 33 are arranged in a zigzag arrangement so that the light emitting elements 33 are not continuous in the X' direction. For example, in FIG. 6C, the light emitting element 33 of a certain line portion L1 and the light emitting element 33 of the adjacent line portion L1 are arranged (continuously) in the X′ direction, but in FIG. , the light emitting element 33 of a certain line portion L1 and the light emitting element 33 of the adjacent line portion L1 are not arranged in the X′ direction (not continuous). That is, in E of FIG. 6, the position of the light emitting element 33 in the Y' direction is shifted between a certain line portion L1 and the adjacent line portion L1. In FIG. 6E, the Y' direction is an example of the first direction of the present disclosure, and the X' direction is an example of the second direction of the present disclosure.

図6のFの例では、複数の発光素子33が、基板31の表面S1に、規則的な2次元アレイ状に配置されている。これらの発光素子33は、図6のCの例と同様に、X’方向に延びる複数のライン部分L2を含んでいる。ただし、これらの発光素子33は、発光素子33がY’方向に連続しないように千鳥配列状に配置されている。例えば、図6のCにおいては、あるライン部分L2の発光素子33とその隣のライン部分L2の発光素子33がY’方向に並んでいる(連続している)が、図6のFにおいては、あるライン部分L2の発光素子33とその隣のライン部分L2の発光素子33がY’方向に並んでいない(連続していない)。つまり、図6のFでは、発光素子33のX’方向の位置が、あるライン部分L2とその隣のライン部分L2との間でずれている。図6のFにおいて、X’方向は、本開示の第1方向の例であり、Y’方向は、本開示の第2方向の例である。 In the example of FIG. 6F, a plurality of light emitting elements 33 are arranged on the surface S1 of the substrate 31 in a regular two-dimensional array. These light emitting elements 33 include a plurality of line portions L2 extending in the X' direction, similar to the example of C in FIG. However, these light emitting elements 33 are arranged in a zigzag arrangement so that the light emitting elements 33 are not continuous in the Y' direction. For example, in FIG. 6C, the light emitting element 33 of a certain line portion L2 and the light emitting element 33 of the adjacent line portion L2 are arranged (continuously) in the Y′ direction, but in FIG. , the light emitting element 33 of a certain line portion L2 and the light emitting element 33 of the adjacent line portion L2 are not arranged in the Y′ direction (not continuous). In other words, in FIG. 6F, the position of the light emitting element 33 in the X' direction is shifted between a certain line portion L2 and the adjacent line portion L2. In FIG. 6F, the X' direction is an example of the first direction of the present disclosure, and the Y' direction is an example of the second direction of the present disclosure.

本実施形態では、基板31に設けられた複数の発光素子33を、1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、これらの発光素子33からの光を被写体Pに照射する。例えば、図6のAに示す配置例を採用する場合には、図6のAの左から1番目、2番目、3番目、4番目、5番目の発光素子33を順次点灯させることで、5個の発光素子33を5段階に分けて点灯させてもよい。この場合、発光素子33は1個ずつ点灯する。一方、図6のCに示す配置例を採用する場合には、図6のCの左から1本目、2本目、3本目、4本目、5本目のライン部分L1内の発光素子33を順次点灯させることで、25個の発光素子33を5段階に分けて点灯させてもよい。この場合、発光素子33は複数個(ここでは5個)ずつ点灯する。 In this embodiment, the subject P is irradiated with the light from these light emitting elements 33 by sequentially turning on the plurality of light emitting elements 33 provided on the substrate 31 one by one or by a plurality of them. For example, when adopting the arrangement example shown in A of FIG. The individual light-emitting elements 33 may be lit in five stages. In this case, the light emitting elements 33 are lit one by one. On the other hand, when adopting the arrangement example shown in FIG. 6C, the light emitting elements 33 in the first, second, third, fourth, and fifth line portions L1 from the left in FIG. 6C are sequentially turned on. The 25 light-emitting elements 33 may be lighted in 5 steps. In this case, a plurality of light emitting elements 33 (five in this case) are turned on.

本実施形態によれば、複数の発光素子33を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、被写体Pの表面上を移動する照射光を被写体Pに照射することが可能となる。すなわち、被写体Pを照射光でスキャンすることが可能となる。これにより、光切断法による測距を実現することが可能となる。 According to the present embodiment, it is possible to irradiate the subject P with the irradiation light that moves on the surface of the subject P by sequentially lighting the plurality of light emitting elements 33 one by one or a plurality of the light emitting elements 33 . That is, it becomes possible to scan the subject P with the irradiation light. This makes it possible to realize distance measurement by the light section method.

被写体Pを照射光でスキャンするために、照射光を振動させるためのアクチュエータを測距装置内に搭載することが考えられる。しかしながら、測距装置内にアクチュエータを搭載する場合には、測距装置の部品数がアクチュエータにより増えることや、精度の高い振動を得るために小型のアクチュエータが必要となることなどが問題となる。本実施形態によれば、アクチュエータを用いずに照射光を移動させることができるため、測距装置の部品数の増加を抑制することが可能となる。また、本実施形態によれば、発光素子33の点灯箇所を移動させることで照射光を移動させることができるため、照射光の移動を、精度の低い機械的手段(アクチュエータ等)ではなく、精度の高い光学的手段(発光素子33)により制御することが可能となる。さらには、アクチュエータを動作させるための電力も不要となる。これにより、照射光の移動を、安価かつ高精度に実現することが可能となる。このように、本実施形態によれば、好適な照射光を被写体Pに照射することが可能となる。 In order to scan the object P with the irradiation light, it is conceivable to mount an actuator for vibrating the irradiation light in the distance measuring device. However, when an actuator is mounted in the distance measuring device, there are problems such as an increase in the number of parts of the distance measuring device due to the actuator and a need for a small actuator in order to obtain highly accurate vibration. According to the present embodiment, the irradiation light can be moved without using an actuator, so it is possible to suppress an increase in the number of parts of the distance measuring device. In addition, according to the present embodiment, since the irradiation light can be moved by moving the lighting position of the light emitting element 33, the movement of the irradiation light can be performed with precision rather than mechanical means (such as an actuator) with low accuracy. can be controlled by an optical means (light-emitting element 33) having a high power. Furthermore, no electric power is required to operate the actuator. This makes it possible to realize the movement of the irradiation light at low cost and with high precision. Thus, according to the present embodiment, it is possible to irradiate the subject P with suitable irradiation light.

本実施形態の発光素子33は、図6のCに示すように正方格子状に配置するよりも、図6のE(またはF)に示すように千鳥配列状に配置することが望ましい。これにより、発光素子33を高密度に配置することが可能となる。図6のCでは、基板31に25個の発光素子33が配置されているのに対し、図6のE(またはF)では、基板31に45個の発光素子33を配置されていることに留意されたい。発光素子33を高密度に配置することには、例えば、照射光による被写体Pのスキャン精度を向上させることができるという利点がある。 The light emitting elements 33 of this embodiment are preferably arranged in a staggered arrangement as shown in E (or F) of FIG. 6 rather than in a square lattice as shown in C of FIG. This makes it possible to arrange the light emitting elements 33 at a high density. In FIG. 6C, 25 light emitting elements 33 are arranged on the substrate 31, whereas in FIG. 6E (or F), 45 light emitting elements 33 are arranged on the substrate 31. Please note. Arranging the light-emitting elements 33 at a high density has the advantage that, for example, the accuracy of scanning the subject P with the irradiation light can be improved.

図7は、第1実施形態の発光素子33の動作例を示す平面図である。 FIG. 7 is a plan view showing an operation example of the light emitting element 33 of the first embodiment.

図7のA~Eでは、複数の発光素子33が、図6のEの例と同様に、複数のライン部分L1を含む千鳥配列状に配置されている。図7のA~Eは、これらの発光素子33を、1本のライン部分L1ごとに順次点灯させる様子を示している。具体的には、図7のA~Eはそれぞれ、左から1本目、2本目、3本目、4本目、5本目のライン部分L1内の発光素子33を点灯させる様子を示している。符号33aは、点灯中の発光素子33を示している。この例では、左から1本目、2本目、3本目、4本目、5本目のライン部分L1内の発光素子33を順次点灯させることで、これらの発光素子33からの光を被写体Pに照射する。この例ではその後、左から6本目、7本目、8本目、9本目のライン部分L1内の発光素子33を順次点灯させてもよい。 7A to 7E, a plurality of light emitting elements 33 are arranged in a zigzag pattern including a plurality of line portions L1, similar to the example of FIG. 6E. FIGS. 7A to 7E show how these light emitting elements 33 are sequentially lit for each line portion L1. Specifically, A to E of FIG. 7 show how the light emitting elements 33 in the first, second, third, fourth, and fifth line portions L1 from the left are lit. Reference numeral 33a indicates the light-emitting element 33 during lighting. In this example, the light emitting elements 33 in the first, second, third, fourth, and fifth line portions L1 from the left are sequentially turned on, so that the subject P is irradiated with the light from these light emitting elements 33. . In this example, after that, the light-emitting elements 33 in the sixth, seventh, eighth, and ninth line portions L1 from the left may be sequentially turned on.

この例によれば、複数の発光素子33を1本のライン部分L1ごとに順次点灯させることで、被写体Pの表面上を移動する照射光を被写体Pに照射することが可能となる。すなわち、被写体Pを照射光でスキャンすることが可能となる。これにより、光切断法による測距を実現することが可能となる。 According to this example, it is possible to irradiate the object P with irradiation light that moves on the surface of the object P by sequentially lighting the plurality of light emitting elements 33 for each line portion L1. That is, it becomes possible to scan the subject P with the irradiation light. This makes it possible to realize distance measurement by the light section method.

この例では、正方格子の代わりに千鳥配列を採用することで、ライン部分L1の本数が5本から9本に増えている。ライン部分L1の本数が5本の場合には、照射光の照射位置を5段階に変化させることができる。一方、ライン部分L1の本数が9本の場合には、照射光の照射位置を9段階に変化させることができる。よって、この例によれば、正方格子の代わりに千鳥配列を採用することで、照射光による被写体Pのスキャン精度を向上させることが可能となる。 In this example, the number of line portions L1 is increased from five to nine by adopting a staggered arrangement instead of a square lattice. When the number of line portions L1 is five, the irradiation position of the irradiation light can be changed in five steps. On the other hand, when the number of line portions L1 is nine, the irradiation position of the irradiation light can be changed in nine steps. Therefore, according to this example, by adopting the staggered arrangement instead of the square lattice, it is possible to improve the accuracy of scanning the subject P with the irradiation light.

図8は、第1実施形態の発光素子33の接続例を示す平面図である。 FIG. 8 is a plan view showing a connection example of the light emitting element 33 of the first embodiment.

図7のA~Eの動作例を採用する場合には、本実施形態のスイッチSWは、図8に示すように発光素子33と接続してもよい。図8の各スイッチSWは、対応する1本のライン部分L1内の複数(5個)の発光素子33に電気的に接続されている。符号Eは、各スイッチSWとこれらの発光素子33とを接続する配線を示す。図8は、6本のライン部分L1に接続された6個のスイッチSWを示している。 When the operation examples of A to E in FIG. 7 are adopted, the switch SW of this embodiment may be connected to the light emitting element 33 as shown in FIG. Each switch SW in FIG. 8 is electrically connected to a plurality of (five) light emitting elements 33 in one corresponding line portion L1. Reference character E denotes wiring that connects each switch SW and these light emitting elements 33 . FIG. 8 shows six switches SW connected to six line segments L1.

この例によれば、1個のスイッチSWのオン・オフを制御することで、1本のライン部分L1内のすべての発光素子33の点灯・消灯を制御することができる。これにより、スイッチSWの個数を低減することや、ライン部分L1ごとの発光素子33の制御を簡易化することが可能となる。 According to this example, by controlling the ON/OFF of one switch SW, it is possible to control the ON/OFF of all the light emitting elements 33 in one line portion L1. This makes it possible to reduce the number of switches SW and to simplify the control of the light emitting elements 33 for each line portion L1.

図9は、第1実施形態の照射光51のパターンの例を示す図である。 FIG. 9 is a diagram showing an example of a pattern of irradiation light 51 according to the first embodiment.

本実施形態の光源12からの光は、コリメートレンズ13により平行光に成形され、回折光学素子14により所望のパターン光に成形され、発光装置1から出射される。発光装置1は、この所望のパターン形状を有する光(照射光51)を被写体Pに照射する。図9のA~Fは、照射光51のパターンの様々な例を示している。X方向、Y方向、およびZ方向については、図2等を参照されたい。 Light from the light source 12 of this embodiment is shaped into parallel light by the collimating lens 13 , shaped into desired pattern light by the diffractive optical element 14 , and emitted from the light emitting device 1 . The light emitting device 1 irradiates the subject P with light (irradiation light 51) having this desired pattern shape. 9A to 9F show various examples of patterns of illumination light 51. FIG. For the X direction, Y direction, and Z direction, see FIG. 2 and the like.

図9のAの例では、照射光51が、Z方向に延びる複数本(ここでは3本)のライン光52を含んでいる。この場合、発光装置1は、照射光51の照射位置をX方向に移動させることが望ましい。例えば、図6のEに示す配置例と、図7のA~Eに示す動作例とを採用する場合には、点灯中の発光素子33aを図7のA~Eのように変化させると、照射光51の照射位置がX方向に移動するように、発光装置1を構成することが望ましい。これにより、被写体Pを照射光51でスキャンすることが可能となる。図9のAにおいて、Z方向は、本開示の第3方向の例である。 In the example of A of FIG. 9, the irradiation light 51 includes a plurality of (here, three) line lights 52 extending in the Z direction. In this case, the light emitting device 1 preferably moves the irradiation position of the irradiation light 51 in the X direction. For example, when adopting the arrangement example shown in E of FIG. 6 and the operation examples shown in A to E of FIG. It is desirable to configure the light emitting device 1 so that the irradiation position of the irradiation light 51 moves in the X direction. This makes it possible to scan the subject P with the irradiation light 51 . In FIG. 9A, the Z direction is an example of the third direction of the present disclosure.

図9のBの例では、照射光51が、X方向に延びる複数本(ここでは3本)のライン光52を含んでいる。この場合、発光装置1は、照射光51の照射位置をZ方向に移動させることが望ましい。例えば、図6のEに示す配置例と、図7のA~Eに示す動作例とを採用する場合には、点灯中の発光素子33aを図7のA~Eのように変化させると、照射光51の照射位置がZ方向に移動するように、発光装置1を構成することが望ましい。これにより、被写体Pを照射光51でスキャンすることが可能となる。図9のBにおいて、X方向は、本開示の第3方向の例である。 In the example of B of FIG. 9, the irradiation light 51 includes a plurality of (here, three) line lights 52 extending in the X direction. In this case, the light emitting device 1 preferably moves the irradiation position of the irradiation light 51 in the Z direction. For example, when adopting the arrangement example shown in E of FIG. 6 and the operation examples shown in A to E of FIG. It is desirable to configure the light emitting device 1 so that the irradiation position of the irradiation light 51 moves in the Z direction. This makes it possible to scan the subject P with the irradiation light 51 . In FIG. 9B, the X direction is an example of the third direction of the present disclosure.

図9のCの例では、照射光51が、Z方向に延びる複数本のライン光52と、X方向に延びる複数本のライン光52とを含み、グリッド状の形状を有している。この場合の照射光51の照射位置は、X方向に移動させてもZ方向に移動させてもよい。図9のCにおいて、Z方向およびX方向の一方は、本開示の第3方向の例であり、Z方向およびX方向の他方は、本開示の第4方向の例である。 In the example of C of FIG. 9, the irradiation light 51 includes a plurality of line lights 52 extending in the Z direction and a plurality of line lights 52 extending in the X direction, and has a grid-like shape. In this case, the irradiation position of the irradiation light 51 may be moved in the X direction or in the Z direction. In FIG. 9C, one of the Z direction and the X direction is an example of the third direction of the present disclosure, and the other of the Z direction and the X direction is an example of the fourth direction of the present disclosure.

図9のDの例では、照射光51が、図9のBの例と同様に、X方向に延びる複数本のライン光52を含んでいる。図9のEの例では、照射光51が、図9のAの例と同様に、Z方向に延びる複数本のライン光52を含んでいる。図9のFの例では、照射光51が、Z方向に延びる1本のライン光52と、X方向に延びる1本のライン光52とを含み、十字型の形状を有している。このように、照射光51に含まれるライン光52の本数は、何本でもよい。 In the example of D of FIG. 9, the irradiation light 51 includes a plurality of line lights 52 extending in the X direction, as in the example of B of FIG. In the example of E in FIG. 9, the illumination light 51 includes a plurality of line lights 52 extending in the Z direction, as in the example of A in FIG. In the example of FIG. 9F, the irradiation light 51 includes one line light 52 extending in the Z direction and one line light 52 extending in the X direction, and has a cross shape. In this manner, any number of line lights 52 may be included in the irradiation light 51 .

本実施形態によれば、コリメートレンズ13および回折光学素子14により、光源12からの光を様々な形状に成形することが可能となる。例えば、1個のドット光または1本のライン光を含む光が光源12から発生した場合に、光源12からの光を、2次元的な拡がりを有する光に成形することが可能となる。図9のA~Fの示す照射光51は、いずれもZ方向およびX方向に拡がっている。 According to this embodiment, the collimating lens 13 and the diffractive optical element 14 can shape the light from the light source 12 into various shapes. For example, when light including one dot light or one line light is generated from the light source 12, the light from the light source 12 can be shaped into light having a two-dimensional spread. Irradiation light 51 shown in FIGS. 9A to 9F spreads in both the Z direction and the X direction.

なお、図9のA~Fの示す照射光51は、いずれも直線状の光を含んでいるが、非直線状の光を含んでいてもよい。例えば、照射光51は、曲線状の光を含んでいてもよいし、ランダムな形状の光を含んでいてもよい。 The irradiation light 51 indicated by A to F in FIG. 9 includes linear light, but may also include non-linear light. For example, the irradiation light 51 may include curved light or randomly shaped light.

図10は、第1実施形態の回折光学素子14の作用を説明するための断面図である。 FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the action of the diffractive optical element 14 of the first embodiment.

回折光学素子14への入射光の入射角をφとし、回折光学素子14からの回折光の回折角をθとする場合、φとθとの間には式(1)が成り立つ。 Let φ be the angle of incidence of light incident on the diffractive optical element 14, and θ be the angle of diffraction of the diffracted light from the diffractive optical element 14. Equation (1) holds between φ and θ.

D×(sinφ-sinθ)=mλ ・・・(1)
ただし、Dは、回折光学素子14の開口間隔を表し、λは、入射光および回折光の波長を表し、mは、回折次数(整数値)を表す。
D×(sin φ−sin θ)=mλ (1)
Here, D represents the aperture interval of the diffractive optical element 14, λ represents the wavelengths of incident light and diffracted light, and m represents the diffraction order (integer value).

ここで、入射光が回折光学素子14に垂直に入射する場合には、φ=0°となり、sinφ=0となる。さらに、回折角が小さい場合には、sinθ≒θとなる。これらの結果を式(1)に代入すると、式(2)が成り立つ。 Here, when incident light enters the diffractive optical element 14 perpendicularly, φ=0° and sin φ=0. Furthermore, when the diffraction angle is small, sin θ≈θ. Substituting these results into equation (1) yields equation (2).

θ≒-mλ/D ・・・(2)
図10は、回折角θが式(2)で表される場合に関し、回折光に含まれる0次光、±1次光、および±2次光を示している。この場合、0次光は、回折光学素子14の法線方向に現れる。この0次光は輝度が高いため、測距時に誤認識の原因となるおそれがある。
θ≈−mλ/D (2)
FIG. 10 shows 0th-order light, ±1st-order light, and ±2nd-order light included in diffracted light when the diffraction angle θ is represented by Equation (2). In this case, the zero-order light appears in the normal direction of the diffractive optical element 14 . Since the 0th-order light has a high luminance, it may cause erroneous recognition during distance measurement.

図11は、第1実施形態の照射光51のパターンの例を示す別の図である。 FIG. 11 is another diagram showing an example of the pattern of the irradiation light 51 of the first embodiment.

図11のAは、図9のEの例と同様に、Z方向に延びる複数本のライン光52を含む照射光51を示している。図11のAはさらに、照射光51に含まれる0次光53のスポットと、受光装置2の受光範囲(撮像範囲)54とを示している。本実施形態の受光装置2は、受光範囲54内の領域に照射された照射光51を受光して、この照射光51を撮像することができる。 FIG. 11A shows irradiation light 51 including a plurality of line lights 52 extending in the Z direction, as in the example of FIG. 9E. FIG. 11A further shows a spot of 0th order light 53 included in the irradiation light 51 and a light receiving range (imaging range) 54 of the light receiving device 2 . The light-receiving device 2 of the present embodiment can receive the irradiation light 51 with which the region within the light-receiving range 54 is irradiated, and can take an image of the irradiation light 51 .

図11のAでは、受光範囲54内に0次光53のスポットが存在する。そのため、0次光53が受光装置2により撮像される。0次光53の輝度は高いため、0次光53が受光装置2により撮像されると、測距時に誤認識の原因となるおそれがある。そこで、本実施形態では、図11のBに示す第1の手法と、図11のCに示す第2の手法のいずれかを用いて、測距に対する0次光53の悪影響を抑制することが望ましい。 In A of FIG. 11 , a spot of 0th-order light 53 exists within the light receiving range 54 . Therefore, the 0th order light 53 is imaged by the light receiving device 2 . Since the brightness of the 0th-order light 53 is high, if the 0th-order light 53 is imaged by the light receiving device 2, it may cause erroneous recognition during distance measurement. Therefore, in this embodiment, either the first method shown in FIG. 11B or the second method shown in FIG. desirable.

第1の手法(図11のB)では、図3および図4を参照して説明したように、発光装置1の光軸A1を受光装置2の光軸A2に対して傾ける。これにより、0次光53を、図11のBに示すように、受光範囲54外の領域に照射することが可能となる。図11のBでは、0次光53のスポットが受光範囲54外に存在している。これにより、測距に対する0次光53の悪影響を抑制することが可能となる。 In the first method (B in FIG. 11), the optical axis A1 of the light emitting device 1 is tilted with respect to the optical axis A2 of the light receiving device 2, as described with reference to FIGS. This makes it possible to irradiate the zero-order light 53 onto a region outside the light receiving range 54 as shown in FIG. 11B. In B of FIG. 11 , the spot of the zero-order light 53 exists outside the light receiving range 54 . This makes it possible to suppress the adverse effect of the zero-order light 53 on distance measurement.

第2の手法(図11のC)では、基板31に設けられた複数の発光素子33を、複数個ごとに順次点灯させる。例えば、これらの発光素子33を、1本のライン部分L1ごとに順次点灯させる(図7のA~Eを参照)。この場合、5個の発光素子33が同時に点灯されることとなる。 In the second method (C in FIG. 11), the plurality of light emitting elements 33 provided on the substrate 31 are sequentially turned on. For example, these light emitting elements 33 are sequentially lit for each line portion L1 (see A to E in FIG. 7). In this case, five light-emitting elements 33 are lit at the same time.

図11のCは、5個の発光素子33が同時に点灯された様子を示している。この場合、照射光51は、0次光53の5個のスポットを含むことになる。図11のCは、受光範囲54内に存在する0次光53の5個のスポットを示している。 C of FIG. 11 shows a state in which five light emitting elements 33 are lit at the same time. In this case, the illumination light 51 will contain five spots of zero-order light 53 . C of FIG. 11 shows five spots of 0th order light 53 existing within the light receiving range 54 .

同時に点灯する発光素子33の個数を1個から5個に増やす場合、各発光素子33に供給する電力を一定とすると、照射光51の強度は5倍になると考えられる。しかし、1個の発光素子33の点灯で測距を十分に行える場合、照射光51の強度を5倍にすることは無駄である。 When increasing the number of simultaneously lit light emitting elements 33 from one to five, if the power supplied to each light emitting element 33 is constant, the intensity of the irradiation light 51 is considered to increase five times. However, if the distance measurement can be sufficiently performed by lighting one light emitting element 33, it is useless to increase the intensity of the irradiation light 51 by a factor of five.

そこで、同時に点灯する発光素子33の個数を1個から5個に増やす場合には、各発光素子33に供給する電力を低減してもよく、例えば、各発光素子33に供給する電力を5分の1に低減してもよい。この場合、同時に点灯される5個の発光素子33に供給される合計電力は、単独で点灯される1個の発光素子33に供給される電力と同じになる。その結果、同時に点灯する発光素子33の個数を1個から5個に増やしても、照射光51の強度は当該個数を増やす前と同じになると考えられる。これにより、照射光51の強度を高める無駄を抑制することが可能となる。 Therefore, when increasing the number of light-emitting elements 33 that are lit at the same time from one to five, the power supplied to each light-emitting element 33 may be reduced. may be reduced to 1. In this case, the total power supplied to the five light emitting elements 33 that are lit simultaneously is the same as the power that is supplied to the single light emitting element 33 that is lit alone. As a result, even if the number of simultaneously lit light emitting elements 33 is increased from one to five, the intensity of the irradiation light 51 is considered to be the same as before the increase in the number. This makes it possible to reduce the waste of increasing the intensity of the irradiation light 51 .

この場合、各発光素子33に供給する電力を5分の1に低減することで、0次光53の各スポットの輝度も低減されると考えられる。そのため、0次光53の各スポットの輝度を十分に低減することができれば、受光範囲54内の領域に0次光53が照射されても、測距に対する0次光53の悪影響を抑制することができる。 In this case, it is considered that the brightness of each spot of the zero-order light 53 is also reduced by reducing the power supplied to each light emitting element 33 to one-fifth. Therefore, if the brightness of each spot of the 0th order light 53 can be sufficiently reduced, even if the area within the light receiving range 54 is irradiated with the 0th order light 53, the adverse effect of the 0th order light 53 on distance measurement can be suppressed. can be done.

よって、第2の手法(図11のC)では、基板31に設けられた複数の発光素子33を複数個ごとに順次点灯させ、かつ、各発光素子33に供給する電力を小さく設定する。例えば、これらの発光素子33を5個ごとに順次点灯させ、かつ、各発光素子33に供給する電力を、1個の発光素子33を単独で点灯する場合の電力の5分の1に設定する。これにより、受光範囲54内の領域に0次光53を照射しても、測距に対する0次光53の悪影響を抑制することが可能となる。 Therefore, in the second method (C in FIG. 11), the plurality of light emitting elements 33 provided on the substrate 31 are sequentially turned on, and the power supplied to each light emitting element 33 is set to be small. For example, the light-emitting elements 33 are sequentially turned on every five, and the power supplied to each light-emitting element 33 is set to 1/5 of the power for lighting one light-emitting element 33 alone. . As a result, even if the area within the light receiving range 54 is irradiated with the 0th order light 53, it is possible to suppress the adverse effect of the 0th order light 53 on distance measurement.

図12は、第1実施形態の測距装置の動作例を示すタイミングチャートである。 FIG. 12 is a timing chart showing an operation example of the distance measuring device of the first embodiment.

図12は、フレーム同期信号のオン・オフのタイミングと、撮像部22の露光のタイミング(グローバルシャッタ)と、発光素子33の点灯のタイミング(ドライバ出力)と、発光素子33の発光位置(点灯位置)とを示している。 FIG. 12 shows the ON/OFF timing of the frame synchronization signal, the exposure timing of the imaging unit 22 (global shutter), the lighting timing of the light emitting element 33 (driver output), and the light emitting position of the light emitting element 33 (lighting position). ).

本実施形態のフレーム同期信号は、負論理を採用している。よって、フレーム同期信号が1回立ち下がると、測距装置の1サイクルの動作が開始される。図12は、第Nサイクルから第N+Mサイクルの動作を示している(N、Mは1以上の整数)。 The frame synchronization signal of this embodiment employs negative logic. Therefore, when the frame synchronization signal falls once, one cycle of operation of the distance measuring device is started. FIG. 12 shows operations from the Nth cycle to the N+Mth cycle (N and M are integers equal to or greater than 1).

本実施形態の撮像部22は、2次元アレイ状に配置された複数の画素を含んでいる。図12に示す露光のタイミングは、レンズユニット21からの光でこれらの画素を露光するタイミング、すなわち、シャッタを開くタイミングを示している。 The imaging unit 22 of this embodiment includes a plurality of pixels arranged in a two-dimensional array. The timing of exposure shown in FIG. 12 indicates the timing of exposing these pixels with the light from the lens unit 21, that is, the timing of opening the shutter.

図12は、1サイクルごとにM個の円を示している。M個の円は、発光素子33を1個ごとに点灯する場合のM個の発光素子33、または、発光素子33を1本のライン部分ごとに点灯する場合のM本のライン部分を示している。各サイクルの黒丸は、点灯中の発光素子33またはライン部分を示している。 FIG. 12 shows M circles per cycle. The M circles represent the M light emitting elements 33 when the light emitting elements 33 are lit one by one, or the M line portions when the light emitting elements 33 are lit for each line portion. there is A black dot in each cycle indicates the light-emitting element 33 or line portion during lighting.

本実施形態の光源12は、1個の発光素子33ごとまたは1本のライン部分ごとに発光素子33を順次点灯させる。図12に示す点灯のタイミングは、発光素子33を1個の発光素子33ごとまたは1本のライン部分ごとに順次点灯させるタイミングを示している。 The light source 12 of this embodiment sequentially lights the light emitting elements 33 for each light emitting element 33 or for each line portion. The lighting timing shown in FIG. 12 indicates the timing of sequentially lighting the light emitting elements 33 for each light emitting element 33 or for each line portion.

図12は、グローバルシャッタ方式の動作例を示している。この場合、測距装置は、図12に示すように、発光素子33の順次点灯のタイミングと、撮像部22における露光のタイミングとを同期させる。そのため、1個または複数個の発光素子33が1回点灯すると、点灯と同期して撮像部22の各画素が1回露光される。これにより、測距装置の動作の無駄を減らすことが可能となる。例えば、発光素子33の無駄な点灯や撮像部22の無駄な露光を減らすことが可能となり、測距装置の消費電力を低減することが可能となる。なお、点灯と露光の同期のための制御は、例えば測距部3により行われる。 FIG. 12 shows an operation example of the global shutter method. In this case, the distance measuring device synchronizes the timing of the sequential lighting of the light emitting elements 33 and the timing of the exposure in the imaging section 22, as shown in FIG. Therefore, when one or a plurality of light emitting elements 33 are lit once, each pixel of the imaging section 22 is exposed once in synchronization with the lighting. This makes it possible to reduce wasteful operation of the rangefinder. For example, it is possible to reduce unnecessary lighting of the light emitting element 33 and unnecessary exposure of the imaging unit 22, and it is possible to reduce the power consumption of the distance measuring device. Note that control for synchronizing lighting and exposure is performed by the distance measuring unit 3, for example.

図13は、第1実施形態の測距装置の別の動作例を示すタイミングチャートである。 FIG. 13 is a timing chart showing another operation example of the distance measuring device of the first embodiment.

図13は、フレーム同期信号のオン・オフのタイミングと、撮像部22の露光のタイミングと、発光素子33の点灯のタイミング(ドライバ出力)とを示している。図13の例におけるフレーム同期信号の性質や、発光素子33の点灯の態様は、図12の例と同様である。 FIG. 13 shows the ON/OFF timing of the frame synchronization signal, the exposure timing of the imaging unit 22, and the lighting timing (driver output) of the light emitting element 33. FIG. The properties of the frame synchronization signal and the lighting mode of the light emitting element 33 in the example of FIG. 13 are the same as in the example of FIG.

本実施形態の撮像部22は、上述のように、2次元アレイ状に配置された複数の画素を含んでいる。例えば、本実施形態の撮像部22は、m行n列の画素を含んでいる(m、nは2以上の整数)。 The imaging unit 22 of this embodiment includes a plurality of pixels arranged in a two-dimensional array as described above. For example, the imaging unit 22 of the present embodiment includes m rows and n columns of pixels (m and n are integers of 2 or more).

図13は、ローリングシャッタ方式の動作例を示している。この場合、測距装置は、m行n列の画素を露光するタイミング、すなわち、シャッタを開くタイミングを、1行の画素(n個の画素)ごとに変化させる。図13に示す2つの平行四辺形は、露光のタイミングが行ごとに変化する様子を示している。これらの平行四辺形は、これらの画素が露光されるタイミングを示している。 FIG. 13 shows an operation example of the rolling shutter method. In this case, the distance measuring device changes the timing of exposing the pixels of m rows and n columns, that is, the timing of opening the shutter for each row of pixels (n pixels). The two parallelograms shown in FIG. 13 show how the exposure timing changes from row to row. These parallelograms indicate the timings at which these pixels are exposed.

一方、各平行四辺形内の長方形は、これらの画素が露光され、かつ、発光素子33が点灯されるタイミングを示している。別言すると、各平行四辺形内の長方形は、これらの画素が、光源12からの光の反射光と外光の反射光とで露光されているタイミングを示し、各平行四辺形内のその他の領域は、これらの画素が、外光の反射光のみで露光されているタイミングを示している。 On the other hand, the rectangles within each parallelogram indicate the timings at which these pixels are exposed and the light-emitting elements 33 are lit. In other words, the rectangles in each parallelogram show the timings at which these pixels are exposed to the reflected light from the light source 12 and the reflected light from the external light, and the other The regions indicate the timings when these pixels are exposed only with the reflected light of the external light.

図13の動作例を採用する場合には、上記長方形のタイミングで、これらの画素を、光源12からの光の反射光と外光の反射光とで露光するサイクルと、上記長方形のタイミングで、これらの画素を、外光の反射光のみで露光するサイクルとを設けてもよい。この場合、前者のサイクルの撮像信号と、後者のサイクルの撮像信号との差分をとることで、前者のサイクルの撮像信号から外光の影響を除去することが可能となる。 When the operation example of FIG. 13 is adopted, at the timing of the rectangle, these pixels are exposed with the reflected light from the light source 12 and the reflected light of the external light, and at the timing of the rectangle, A cycle may be provided in which these pixels are exposed only with reflected light of external light. In this case, by taking the difference between the imaging signal of the former cycle and the imaging signal of the latter cycle, it is possible to remove the influence of external light from the imaging signal of the former cycle.

図14は、第1実施形態の測距装置の測距方式を説明するための図である。 FIG. 14 is a diagram for explaining the distance measurement method of the distance measurement device of the first embodiment.

図14は、被写体(対象)Pの位置と、レンズ21aの位置と、光源12の位置(より正確には回折光学素子14の位置)との間の三角形を示している。本実施形態の三角測量は、この三角形について適用される。 FIG. 14 shows a triangle between the position of the subject (target) P, the position of the lens 21a, and the position of the light source 12 (more precisely, the position of the diffractive optical element 14). The triangulation of this embodiment is applied to this triangle.

図14はさらに、被写体Pの座標(x,y,z)と、撮像部(センサ)22のセンサ中心の座標(x,y,z)と、撮像部22における結像点の座標(x,y,z)とを示している。なお、本実施形態のx軸は、レンズ21aの位置と光源12の位置とを結ぶ直線(ベースライン)と平行になるように設定され、本実施形態のxz平面は、上記三角形と平行になるように設定されている。本実施形態のx軸、y軸、およびz軸は、互いに垂直である。 FIG. 14 further shows the coordinates (x P , y P , z P ) of the subject P, the coordinates (x L , y L , z L ) of the sensor center of the imaging unit (sensor) 22, and the imaging unit 22. The coordinates of the point (x 1 , y 1 , z 1 ) are shown. The x-axis of this embodiment is set to be parallel to the straight line (base line) connecting the position of the lens 21a and the position of the light source 12, and the xz plane of this embodiment is parallel to the triangle. is set to The x-, y-, and z-axes of this embodiment are perpendicular to each other.

図14はさらに、レンズ21aの位置における上記三角形の角度αと、光源12の位置における上記三角形の角度βと、ベースラインの長さdとを示している。ベースラインの長さdは、上記三角形の底辺の長さに相当する。図14はさらに、レンズ21aと被写体Pとの間のx方向の距離dと、光源12と被写体Pとの間のx方向の距離dとを示している。 FIG. 14 also shows the angle α of the triangle at the position of the lens 21a, the angle β of the triangle at the position of the light source 12, and the baseline length d. The length d of the baseline corresponds to the length of the base of the triangle. FIG. 14 further shows the distance d1 in the x direction between the lens 21a and the subject P and the distance d2 in the x direction between the light source 12 and the subject P. FIG.

この場合、d=d+d、tanα=z/d、およびtanβ=z/dの関係が成り立つため、dは次の式(3)で表される。
d=z/tanα+z/tanβ ・・・(3)
式(3)を変形すると、zは次の式(4)で表される。
=d・tanα・tanβ/(tanα+tanβ) ・・・(4)
ここで、レンズユニット21のレンズ21a、21bの焦点距離をfとすると、上記のtanαは次の式(5)で表される。
tanα=f/x ・・・(5)
式(4)に式(5)を代入すると、次の式(6)が得られる。
=d・f・tanβ/(f+x・tanβ) ・・・(6)
式(6)において、d、f、βの値は既知である。よって、撮像信号からxの値を検出すれば、zの値を算出することができる。zの値は、被写体Pと測距装置との間の距離に相当する。
In this case, since the relationships d=d 1 +d 2 , tan α=z p /d 1 , and tan β=z p /d 2 are established, d is represented by the following equation (3).
d= zp /tanα+ zp /tanβ (3)
By transforming the equation (3), zp is expressed by the following equation (4).
z P =d·tanα·tanβ/(tanα+tanβ) (4)
Here, assuming that the focal length of the lenses 21a and 21b of the lens unit 21 is f, the above tan α is expressed by the following equation (5).
tanα=f/x 1 (5)
Substituting equation (5) into equation (4) yields the following equation (6).
z P =d·f·tan β/(f+x 1 ·tan β) (6)
In equation (6), the values of d, f, and β are known. Therefore, the value of zp can be calculated by detecting the value of x1 from the imaging signal. The value of zp corresponds to the distance between the object P and the rangefinder.

以上のように、本実施形態の発光装置1は、基板31に設けられた発光素子33を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、これらの発光素子33からの光を被写体Pに照射する。よって、本実施形態によれば、小型のアクチュエータなどの部品を用いずに、測距にとって好適な照射光51を被写体Pに照射することが可能となり、例えば、被写体Pの表面上を移動する照射光51を被写体Pに照射することが可能となる。 As described above, the light-emitting device 1 of the present embodiment sequentially turns on the light-emitting elements 33 provided on the substrate 31 one by one or a plurality of the light-emitting elements 33, so that the light from these light-emitting elements 33 is projected onto the subject P. Irradiate. Therefore, according to the present embodiment, it is possible to irradiate the subject P with the irradiation light 51 suitable for distance measurement without using a component such as a small actuator. It becomes possible to irradiate the subject P with the light 51 .

なお、本実施形態の発光装置1と受光装置2は、同じ装置(測距装置)内に設けられているが、同じ装置内に設けられていなくてもよい。例えば、発光装置1、受光装置2、および測距部3がネットワークで接続された測距システムを構築してもよい。この場合、発光装置1、受光装置2、および測距部3の間の信号の授受は、ネットワークを介した通信により行われる。このネットワークは、有線ネットワークでもよいし、無線ネットワークでもよい。 Although the light-emitting device 1 and the light-receiving device 2 of this embodiment are provided in the same device (distance measuring device), they do not have to be provided in the same device. For example, a distance measuring system in which the light emitting device 1, the light receiving device 2, and the distance measuring section 3 are connected via a network may be constructed. In this case, transmission and reception of signals between the light emitting device 1, the light receiving device 2, and the distance measuring section 3 are performed by communication via a network. This network may be a wired network or a wireless network.

以上、本開示の実施形態について説明したが、これらの実施形態は、本開示の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の変更を加えて実施してもよい。例えば、2つ以上の実施形態を組み合わせて実施してもよい。 Although the embodiments of the present disclosure have been described above, these embodiments may be implemented with various modifications without departing from the gist of the present disclosure. For example, two or more embodiments may be combined and implemented.

なお、本開示は、以下のような構成を取ることもできる。 In addition, this disclosure can also take the following configurations.

(1)
光を発生させる複数の発光素子を含み、前記発光素子からの光を被写体に照射する発光装置と、
前記被写体から反射した光を受光する受光装置と、
前記受光装置により受光された光に基づいて、前記被写体との距離を測定する測距部とを備え、
前記発光装置は、前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、測距装置。
(1)
a light-emitting device that includes a plurality of light-emitting elements that generate light and irradiates a subject with light from the light-emitting elements;
a light receiving device that receives light reflected from the subject;
a distance measuring unit that measures the distance to the subject based on the light received by the light receiving device;
The light-emitting device is a distance measuring device that irradiates the subject with light from the light-emitting elements by sequentially turning on the light-emitting elements one by one or by a plurality of the light-emitting elements.

(2)
前記発光素子は、ライン状に配置されている、(1)に記載の測距装置。
(2)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting elements are arranged in a line.

(3)
前記発光素子は、2次元アレイ状に配置されている、(1)に記載の測距装置。
(3)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting elements are arranged in a two-dimensional array.

(4)
前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子がライン状に配置された複数のライン部分を含む、(3)に記載の測距装置。
(4)
The distance measuring device according to (3), wherein the two-dimensional array of light emitting elements includes a plurality of line portions in which the light emitting elements are arranged in a line.

(5)
前記ライン部分は、第1方向に延び、かつ前記第1方向に垂直な第2方向に互いに隣接しており、
前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子が前記第2方向に連続しないように千鳥配列状に配置されている、(4)に記載の測距装置。
(5)
the line portions extend in a first direction and are adjacent to each other in a second direction perpendicular to the first direction;
The distance measuring device according to (4), wherein the two-dimensional array of light emitting elements is arranged in a zigzag arrangement so that the light emitting elements are not continuous in the second direction.

(6)
前記発光装置は、前記発光素子を1本のライン部分ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、(4)に記載の測距装置。
(6)
The distance measuring device according to (4), wherein the light emitting device irradiates the subject with light from the light emitting elements by sequentially lighting the light emitting elements line by line.

(7)
前記発光装置は、前記発光素子を駆動する複数のスイッチを備え、
各スイッチは、対応する1本のライン部分内の複数の発光素子に電気的に接続されている、(4)に記載の測距装置。
(7)
The light emitting device comprises a plurality of switches for driving the light emitting elements,
The range finder according to (4), wherein each switch is electrically connected to a plurality of light emitting elements within a corresponding one line segment.

(8)
前記発光装置は、前記被写体に、第3方向に延びる1本以上のライン光を含む光を照射する、(1)に記載の測距装置。
(8)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting device irradiates the subject with light including one or more line lights extending in a third direction.

(9)
前記発光装置は、前記被写体に、前記第3方向に延びる前記1本以上のライン光と第4方向に延びる1本以上のライン光とを含む光を照射する、(8)に記載の測距装置。
(9)
The distance measurement according to (8), wherein the light emitting device irradiates the subject with light including the one or more line lights extending in the third direction and one or more line lights extending in the fourth direction. Device.

(10)
前記発光装置は、前記受光装置の光軸に対して前記発光装置の光軸を傾けて、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、(1)に記載の測距装置。
(10)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting device tilts an optical axis of the light emitting device with respect to an optical axis of the light receiving device, and irradiates the subject with light from the light emitting element.

(11)
前記発光装置は、前記発光素子からの光の0次光が、前記受光装置の受光範囲外の領域に照射されるように、前記発光装置の光軸を傾ける、(10)に記載の測距装置。
(11)
The distance measurement according to (10), wherein the light emitting device tilts its optical axis so that the zero-order light from the light emitting element is irradiated onto a region outside the light receiving range of the light receiving device. Device.

(12)
前記発光装置は、前記発光素子からの光が0次光の複数のスポットを含み、かつ、前記複数のスポットが前記受光装置の受光範囲内の領域に照射されるように、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、(1)に記載の測距装置。
(12)
The light emitting device emits light from the light emitting element such that the light from the light emitting element includes a plurality of spots of zero-order light, and the plurality of spots are irradiated to an area within a light receiving range of the light receiving device. The distance measuring device according to (1), which irradiates the subject with light.

(13)
前記発光素子の順次点灯のタイミングと、前記受光装置における露光のタイミングとを同期させる、(1)に記載の測距装置。
(13)
The distance measuring device according to (1), wherein the timing of sequential lighting of the light emitting elements and the timing of exposure in the light receiving device are synchronized.

(14)
前記発光装置は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを備える、(1)に記載の測距装置。
(14)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting device includes a collimating lens that collimates light from the light emitting element and irradiates the subject with the collimated light.

(15)
前記発光装置は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を備える、(1)に記載の測距装置。
(15)
The distance measuring device according to (1), wherein the light emitting device includes a diffractive optical element that forms light from the light emitting element by diffraction and irradiates the subject with the light.

(16)
前記受光装置は、前記被写体に照射された光を撮像する撮像部を備え、
前記測距部は、前記撮像部により撮像された光に基づいて、前記被写体との距離を測定する、(1)に記載の測距装置。
(16)
The light receiving device includes an imaging unit that captures the light irradiated to the subject,
The distance measuring device according to (1), wherein the distance measuring section measures the distance to the subject based on the light imaged by the imaging section.

(17)
光を発生させる複数の発光素子を含む光源と、
前記発光素子からの光を被写体に照射する光学素子とを備え、
前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、発光装置。
(17)
a light source including a plurality of light emitting elements that generate light;
and an optical element that irradiates a subject with light from the light emitting element,
A light-emitting device that irradiates the subject with light from the light-emitting elements by sequentially turning on the light-emitting elements one by one or each of a plurality of the light-emitting elements.

(18)
前記光学素子は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを含む、(17)に記載の発光装置。
(18)
The light emitting device according to (17), wherein the optical element includes a collimating lens for collimating light from the light emitting element and irradiating the subject with the collimated light.

(19)
前記光学素子は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を含む、(17)に記載の発光装置。
(19)
The light-emitting device according to (17), wherein the optical element includes a diffractive optical element that forms light from the light-emitting element by diffraction and irradiates the subject with the light.

(20)
前記被写体から反射した光は、受光装置により受光される、(17)に記載の発光装置。
(20)
The light-emitting device according to (17), wherein the light reflected from the subject is received by a light-receiving device.

1:発光装置、2:受光装置、3:測距部、
11:光源駆動部、12:光源、13:コリメートレンズ、
14:回折光学素子、15:反射プリズム、16:バンプ、
21:レンズユニット、21a:レンズ、21b:レンズ、
22:撮像部、23:撮像信号処理部、
31:基板、32:積層膜、33:発光素子、33a:点灯中の発光素子、
34:アノード電極、35:カソード電極、41:基板、42:接続パッド、
51:照射光、52:ライン光、53:0次光、54:受光範囲
1: light-emitting device, 2: light-receiving device, 3: rangefinder,
11: light source driver, 12: light source, 13: collimator lens,
14: diffractive optical element, 15: reflecting prism, 16: bump,
21: lens unit, 21a: lens, 21b: lens,
22: imaging unit, 23: imaging signal processing unit,
31: substrate, 32: laminated film, 33: light emitting element, 33a: light emitting element during lighting,
34: anode electrode, 35: cathode electrode, 41: substrate, 42: connection pad,
51: irradiation light, 52: line light, 53: zero-order light, 54: light receiving range

Claims (20)

光を発生させる複数の発光素子を含み、前記発光素子からの光を被写体に照射する発光装置と、
前記被写体から反射した光を受光する受光装置と、
前記受光装置により受光された光に基づいて、前記被写体との距離を測定する測距部とを備え、
前記発光装置は、前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、測距装置。
a light-emitting device that includes a plurality of light-emitting elements that generate light and irradiates a subject with light from the light-emitting elements;
a light receiving device that receives light reflected from the subject;
a distance measuring unit that measures the distance to the subject based on the light received by the light receiving device;
The light-emitting device is a distance measuring device that irradiates the subject with light from the light-emitting elements by sequentially turning on the light-emitting elements one by one or by a plurality of the light-emitting elements.
前記発光素子は、ライン状に配置されている、請求項1に記載の測距装置。 2. The rangefinder according to claim 1, wherein said light emitting elements are arranged in a line. 前記発光素子は、2次元アレイ状に配置されている、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said light emitting elements are arranged in a two-dimensional array. 前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子がライン状に配置された複数のライン部分を含む、請求項3に記載の測距装置。 4. The distance measuring device according to claim 3, wherein said two-dimensional array of said light emitting elements includes a plurality of line portions in which said light emitting elements are arranged in a line. 前記ライン部分は、第1方向に延び、かつ前記第1方向に垂直な第2方向に互いに隣接しており、
前記2次元アレイ状の前記発光素子は、前記発光素子が前記第2方向に連続しないように千鳥配列状に配置されている、請求項4に記載の測距装置。
the line portions extend in a first direction and are adjacent to each other in a second direction perpendicular to the first direction;
5. The distance measuring device according to claim 4, wherein said two-dimensional array of said light emitting elements is arranged in a zigzag arrangement so that said light emitting elements are not continuous in said second direction.
前記発光装置は、前記発光素子を1本のライン部分ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、請求項4に記載の測距装置。 5. The distance measuring apparatus according to claim 4, wherein the light emitting device irradiates the subject with light from the light emitting elements by sequentially lighting the light emitting elements for each line portion. 前記発光装置は、前記発光素子を駆動する複数のスイッチを備え、
各スイッチは、対応する1本のライン部分内の複数の発光素子に電気的に接続されている、請求項4に記載の測距装置。
The light emitting device comprises a plurality of switches for driving the light emitting elements,
5. A rangefinder according to claim 4, wherein each switch is electrically connected to a plurality of light emitting elements within a corresponding line segment.
前記発光装置は、前記被写体に、第3方向に延びる1本以上のライン光を含む光を照射する、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said light emitting device irradiates said subject with light including one or more line lights extending in a third direction. 前記発光装置は、前記被写体に、前記第3方向に延びる前記1本以上のライン光と第4方向に延びる1本以上のライン光とを含む光を照射する、請求項8に記載の測距装置。 9. The distance measurement according to claim 8, wherein said light emitting device irradiates said subject with light including said one or more line lights extending in said third direction and one or more line lights extending in said fourth direction. Device. 前記発光装置は、前記受光装置の光軸に対して前記発光装置の光軸を傾けて、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said light emitting device tilts its optical axis with respect to the optical axis of said light receiving device, and irradiates said subject with light from said light emitting element. 前記発光装置は、前記発光素子からの光の0次光が、前記受光装置の受光範囲外の領域に照射されるように、前記発光装置の光軸を傾ける、請求項10に記載の測距装置。 11. The distance measurement according to claim 10, wherein the light emitting device tilts its optical axis so that the zero-order light from the light emitting element is irradiated onto a region outside the light receiving range of the light receiving device. Device. 前記発光装置は、前記発光素子からの光が0次光の複数のスポットを含み、かつ、前記複数のスポットが前記受光装置の受光範囲内の領域に照射されるように、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、請求項1に記載の測距装置。 The light emitting device emits light from the light emitting element such that the light from the light emitting element includes a plurality of spots of zero-order light, and the plurality of spots are irradiated to an area within a light receiving range of the light receiving device. 2. The distance measuring device according to claim 1, which irradiates the subject with light. 前記発光素子の順次点灯のタイミングと、前記受光装置における露光のタイミングとを同期させる、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein timing of sequential lighting of said light emitting elements and timing of exposure in said light receiving device are synchronized. 前記発光装置は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを備える、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said light emitting device includes a collimating lens for collimating light from said light emitting element and irradiating said object with said light. 前記発光装置は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を備える、請求項1に記載の測距装置。 2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said light emitting device comprises a diffraction optical element that forms light from said light emitting element by diffraction and irradiates said subject with the light. 前記受光装置は、前記被写体に照射された光を撮像する撮像部を備え、
前記測距部は、前記撮像部により撮像された光に基づいて、前記被写体との距離を測定する、請求項1に記載の測距装置。
The light receiving device includes an imaging unit that captures the light irradiated to the subject,
2. The distance measuring device according to claim 1, wherein said distance measuring section measures the distance to said subject based on the light imaged by said imaging section.
光を発生させる複数の発光素子を含む光源と、
前記発光素子からの光を被写体に照射する光学素子とを備え、
前記発光素子を1個ごとまたは複数個ごとに順次点灯させることで、前記発光素子からの光を前記被写体に照射する、発光装置。
a light source including a plurality of light emitting elements that generate light;
and an optical element that irradiates a subject with light from the light emitting element,
A light-emitting device that irradiates the subject with light from the light-emitting elements by sequentially turning on the light-emitting elements one by one or each of a plurality of the light-emitting elements.
前記光学素子は、前記発光素子からの光をコリメートして、前記被写体に照射するコリメートレンズを含む、請求項17に記載の発光装置。 18. The light emitting device according to claim 17, wherein said optical element includes a collimating lens for collimating light from said light emitting element and irradiating said object with said light. 前記光学素子は、前記発光素子からの光を回折により成形して、前記被写体に照射する回折光学素子を含む、請求項17に記載の発光装置。 18. The light-emitting device according to claim 17, wherein said optical element includes a diffractive optical element that forms light from said light-emitting element by diffraction and irradiates said subject with the light. 前記被写体から反射した光は、受光装置により受光される、請求項17に記載の発光装置。 18. The light emitting device according to claim 17, wherein the light reflected from the subject is received by a light receiving device.
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