JP2023023042A - 定温液体供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】運転コストが低く簡易で小型の構成により液体を所定の温度に調節する。
【解決手段】加工具が装着されたスピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、を有する加工ユニットを備える加工装置に温度が調節された液体を供給する定温液体供給装置であって、該液体を収容するタンクと、該タンクに収容された該液体の温度を測定する温度計と、圧縮ガスを貯留する圧縮ガス源に一端が接続され、他端が該タンクに達し、該圧縮ガス源から該タンクに該圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給管と、を備え、該圧縮ガスの気泡によって該タンクに収容された該液体を冷却し、冷却された該液体を該加工装置に供給する。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置に所定の温度の液体を供給する定温液体供給装置に関する。

携帯電話やパソコン等の電子機器に使用されるデバイスチップの製造工程では、まず、半導体等の材料からなるウェーハの表面に複数の交差する分割予定ライン（ストリート）を設定する。そして、該分割予定ラインで区画される各領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスを形成する。その後、ウェーハを該分割予定ラインに沿って分割すると、個々のデバイスチップが形成される。

ウェーハの分割には、切削装置が使用される。切削装置は、スピンドルと、該スピンドルの先端に装着された円環状の切削ブレードと、を有する。ウェーハを切削する際には、スピンドルを回転させることで切削ブレードを回転させるとともに切削ブレードを所定の高さ位置に下降させる。そして、ウェーハと、切削ブレードと、を相対移動させ、分割予定ラインに沿って切削ブレードでウェーハに切り込む。

また、最終的に薄型のデバイスチップを得るために、分割される前のウェーハが研削装置で裏面側から研削されて薄化される。研削装置は、スピンドルと、該スピンドルの下端に装着された円環状の研削ホイールと、を有する。研削ホイールは、円環状に並ぶ研削砥石を備える。スピンドルを回転させることで研削ホイールを回転させ、研削ホイールを被加工物の裏面に向けて下降させ、研削砥石を被加工物に接触させると、被加工物が研削される。

これらの加工装置で被加工物を加工していると、加工ユニットを構成するスピンドル、切削ブレードや研削ホイール等の加工具、及び被加工物の温度が摩擦の影響により上昇し、スピンドルや加工具、被加工物等に熱膨張が生じて加工結果が変化してしまう。そこで、加工装置において少ないばらつきで被加工物を加工するには、加工ユニットの温度や被加工物の温度を高い精度で制御して熱膨張の影響を生じさせないことが重要である。

そこで、加工ユニットには、所定の温度に調節された冷却水等の液体が循環供給され、加工具及び被加工物には、所定の温度に調節された液体が供給される。加工装置には、所定の温度の液体を供給するための定温液体供給装置が接続され使用される（例えば、特許文献１から特許文献３参照）。

特開２００７－１２７３４３号公報 特開２０１７－２１５０６３号公報 特開２０１７－１５６０１７号公報

定温液体供給装置は、液体の温度を調節するための冷却手段または温度調節手段を備えるが、これらは主に電力により駆動されるため、定温液体供給装置の運転には無視できないコストがかかる。

また、これらの定温液体供給装置は、しばしば、複数の加工装置に同時に所定の温度の水等の液体を供給する能力を有し、これを実現するための出力を有する冷却手段等を備える。そのため、例えば、１台の加工装置に定温液体を供給する場合においても大出力の冷却手段を稼働させなければならず、運転コストが相対的に大きくなるとの問題がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、運転コストが低く簡易で小型の構成により液体を所定の温度に調節できる定温液体供給装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、加工具が装着されたスピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、を有する加工ユニットを備える加工装置に温度が調節された液体を供給する定温液体供給装置であって、該液体を収容するタンクと、該タンクに収容された該液体の温度を測定する温度計と、圧縮ガスを貯留する圧縮ガス源に一端が接続され、他端が該タンクに達し、該圧縮ガス源から該タンクに該圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給管と、を備え、該圧縮ガスの気泡によって該タンクに収容された該液体を冷却し、冷却された該液体を該加工装置に供給することを特徴とする定温液体供給装置が提供される。

好ましくは、該圧縮ガス供給管の該他端に接続され、供給された該圧縮ガスを該気泡として該液体中に放出するフィルターをさらに備える。

より好ましくは、該加工装置に供給された該液体は、該加工ユニットを冷却し、その後、該タンクに戻り、該気泡により冷却され再び該加工装置に供給される。

また、好ましくは、該加工装置に供給された該液体は、該加工具に供給され加工液として利用される。

また、好ましくは、該液体は、純水であり、該圧縮ガスは、圧縮空気である。

本発明の一態様に係る定温液体供給装置は、液体を収容するタンクと、該タンクに一端が接続された圧縮ガス供給管と、を備える。そして、圧縮ガス供給管からタンクに収容された液体に圧縮ガスを供給すると、圧縮ガスの気泡が液体中に生じる。このとき、圧縮ガスの膨張に伴い気泡の温度が下がるため、気泡がタンク中を上昇する間に該気泡に触れる液体が冷却される。

すなわち、圧縮ガスをタンクに収容された液体に供給するとの簡便な構成だけで該液体を冷却できるため、大掛かりな冷却手段が不要であり、定温液体供給装置を小型化できる。また、定温液体供給装置を稼働させるための電力や動力も極めて少なく済むため、運転コストも小さくなる。

このように、本発明の一態様によると、運転コストが低く簡易で小型の構成により液体を所定の温度に調節できる定温液体供給装置が提供される。

加工装置と定温液体供給装置を模式的に示す斜視図である。 加工装置で被加工物を加工する様子を模式的に示す斜視図である。 タンクの一例を模式的に示す断面図である。 タンクの他の一例を模式的に示す断面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る定温液体供給装置は、例えば、被加工物を加工する各種の加工装置に接続されて使用される。加工装置は、例えば、半導体ウェーハ等の薄板状の被加工物を切削する切削装置、研削する研削装置、研磨する研磨装置、または、レーザ加工するレーザ加工装置等である。

切削装置は、加工具として環状の切削ブレードを有し、先端に該切削ブレードが装着されたスピンドルを回転させ、回転する切削ブレードを被加工物に接触させることで被加工物を切削する。研削装置は、複数の研削砥石が環状に配設された研削ホイールを加工具として備え、下端に研削ホイールが装着されたスピンドルを回転させ、環状軌道上を移動する研削砥石を被加工物に接触させることで被加工物を研削する。

研磨装置は、加工具として円板状の研磨パッドを有し、下端に研磨パッドが装着されたスピンドルを回転させ、回転する研磨パッドを被加工物に接触させることで被加工物を研磨する。以下、本実施形態に係る定温液体供給装置が接続される加工装置が切削装置である場合を例に本実施形態について説明するが、定温液体供給装置はこれに限定されず、他の加工装置に接続されてもよく、加工装置以外の装置に接続されてもよい。

加工装置で加工される被加工物は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体材料から形成される略円板状のウェーハである。または、被加工物は、サファイア、石英、ガラス、セラミックス等の材料からなる板状の基板等である。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。ただし、被加工物に特に制限はない。

図２には、被加工物１の一例である円板状の半導体ウェーハを模式的に示す斜視図が含まれている。例えば、被加工物１の表面１ａには、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイス５が形成されている。被加工物１には、デバイス５間に分割予定ライン３が設定される。そして、切削装置で被加工物１を分割予定ライン３に沿って切削し分割溝３ａを形成して被加工物１を分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。

切削装置に搬入される前に、被加工物１は、ダイシングテープ９と、リングフレーム７と、と一体化されてフレームユニット１１が形成される。リングフレーム７の開口を塞ぐようにダイシングテープ９がリングフレーム７に貼着され、該開口中に露出したダイシングテープ９に被加工物１の裏面１ｂ側が貼着される。

フレームユニット１１を形成すると、被加工物１をリングフレーム７及びダイシングテープ９を介して扱えるため、被加工物１の取り扱いが容易となる。その上、被加工物１が分割されて形成されるデバイスチップはダイシングテープ９にそのまま固定されるため、デバイスチップの取り扱いも容易となる。被加工物１を分割した後、リングフレーム７の開口の内側においてダイシングテープ９を径方向外向きに拡張すると、個々のデバイスチップ間に隙間が生じるため、デバイスチップのピックアップも容易である。

次に、定温液体供給装置が接続される加工装置の一例として切削装置について説明する。図１は、切削装置２を模式的に示す斜視図である。切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を有する。基台４の上面には、矩形状の開口４ａが形成されており、被加工物１を切削する切削ユニット１６を支持する門型の支持構造１２が開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１２の前面上部には、切削ユニット１６を割り出し送り方向及び鉛直方向に移動させる切削ユニット移動機構１４が設けられている。

基台４の開口４ａは、割り出し送り方向に垂直であり鉛直方向に垂直な加工送り方向に長い矩形状に形成されている。この開口４ａ内には、移動テーブル（不図示）と、該移動テーブルを加工送り方向に移動させる移動機構（不図示）、及び該移動機構等を覆う防塵防滴カバー６，８が設けられている。

該移動テーブル上には、被加工物１を吸引保持するためのチャックテーブル１０が配置されている。チャックテーブル１０の上面側には多孔質部材が配されており、該多孔質部材には、一端が吸引源に接続された吸引路（不図示）に接続されている。そして、多孔質部材の上面は保持面１０ａとなる。また、チャックテーブル１９は、保持面１０ａの径方向の外側に、フレームユニット１１を構成するリングフレーム７を固定するためのクランプ１０ｂをさらに備える。

フレームユニット１１をチャックテーブル１０の保持面１０ａに載せ、クランプ１０ｂでリングフレーム７を固定し、該吸引源を作動させると、被加工物１に負圧が作用して、ダイシングテープ９を介して被加工物１がチャックテーブル１０に吸引保持される。

切削ユニット（加工ユニット）１６は、割り出し送り方向に沿ったスピンドル（不図示）と、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジング１８と、スピンドルの一端側に装着された円環状の切削ブレード（加工具）２２と、を備える。切削ブレード２２は、ブレードカバー２０に覆われている。スピンドルの他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、切削ブレード２２は、スピンドルを介して回転駆動源から伝達される回転力によって回転する。

図２は、切削ユニット１６で被加工物１を切削する様子を模式的に示す斜視図である。切削ブレード２２で被加工物１を切削する際には、切削ブレード２２を被加工物１の分割予定ライン３の延長線上に位置付け、回転駆動源を作動させて切削ブレード２２の回転を開始し、切削ブレード２２を下降させてダイシングテープ９の表面に切り込ませる。その後、チャックテーブル１０を移動させることでフレームユニット１１を加工送り方向に移動させ、切削ブレード２２を被加工物１に切り込ませ、分割溝３ａを形成する。

その後、切削ブレード２２を引き上げ、他の分割予定ライン３の延長線上に切削ブレード２２を移動させ、同様に該他の分割予定ライン３を切削ブレード２２に切り込ませる。同じ方向に並ぶすべての分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削した後、チャックテーブル１０を回転させ、他の方向に沿った分割予定ライン３を切削装置２の加工送り方向に合わせる。そして、同様に被加工物１を切削すると、被加工物１が個々のデバイスチップに分割される。

ここで、切削ブレード２２を被加工物１に切り込ませると、被加工物１及び切削ブレード２２の砥石部から加工屑が発生する。また、被加工物１と切削ブレード２２の摩擦熱が生じる。そこで、切削ユニット１６は、被加工物１が切削される間に該被加工物１及び切削ブレード２２に純水等の切削水を供給する一対の切削水供給ノズル２８を備える。一対の切削水供給ノズル２８は、切削ブレード２２を側方で挟むように切削ブレード２２の側方で伸長している。

被加工物１を切削ブレード２２で切削する間に切削水供給ノズル２８から切削水を被加工物及び切削ブレード２２に供給すると、切削で生じた加工屑及び摩擦熱が切削水で除去される。そのため、被加工物１を安定的に切削できる。

なお、切削ブレード２２を回転させる回転駆動源を作動させると、スピンドル等の回転に伴う摩擦熱が生じる。スピンドル等の温度が上昇して熱膨張すると切削ブレード２２の位置が変化して被加工物１を適切に切削できなくなるため、回転駆動源を作動させている間、該回転駆動源を冷却して一定の温度に保つ必要がある。

そこで、切削装置（加工装置）２には定温液体供給装置２４（図１参照）が接続され、切削ユニット１６には、定温液体供給装置２４から一定の温度の液体が送られる。そして、切削装置（加工装置）２に送られて温度が上昇した該液体は、定温液体供給装置２４に戻され、所定の温度に冷却されて再び切削装置（加工装置）２に送られる。すなわち、切削ユニット１６は、循環する液体により冷却される。

次に、本実施形態に係る定温液体供給装置２４について説明する。図３は、定温液体供給装置２４の構成要素を模式的に示す断面図である。定温液体供給装置２４は、液体３２を収容するタンク３０と、タンク３０に収容された液体３２の温度を測定する温度計５０と、タンク３０に接続された圧縮ガス供給管３６，４０と、を備える。

圧縮ガス供給管３６，４０は、一端が圧縮ガスを貯留する圧縮ガス源３４に接続され、他端がタンク３０に達する。圧縮ガス供給管３６，４０には、レギュレータ３８が設けられる。レギュレータ３８は、圧縮ガス源３４からタンク３０に供給される圧縮ガスの供給及びその停止を切り替え可能であり、圧縮ガスの供給圧力を調節できる。

タンク３０に収容された液体３２は、切削装置（加工装置）２に送られ、所定の対象の熱を奪って冷却する過程で温度が上昇し、再びタンク３０に戻される。すなわち、液体３２は、冷媒として機能する。液体３２の種別には特に制限はなく、冷却対象物の温度として維持されるべき温度に基づいて選択されるとよい。例えば、冷却対象物の温度を室温程度の温度で維持したい場合、液体３２として純水を使用するとよい。また、冷却対象物の温度を１００℃以上の温度で維持したい場合、液体３２としてオイルを使用するとよい。

一端が圧縮ガス源３４に接続された圧縮ガス供給管３６，４０はタンク３０の内部に伸長し、その他端に多孔質状のフィルター４２が接続されている。フィルター４２は、例えば、樹脂で形成された中空糸フィルターである。または、セラミックス等の材料で形成されてもよい。フィルター４２は、０．１μｍ程度の大きさの無数の細孔を備えることが好ましい。フィルター４２はタンク３０の底部付近に配設され、液体３２の中に沈められる。タンク３０の上部には、通気口３０ａが形成されている。

タンク３０に収容された液体３２の温度を下げる際には、レギュレータ３８が操作され圧縮ガス供給管３６，４０を通じて圧縮ガス源３４から圧縮ガスがフィルター４２に供給される。フィルター４２に供給された圧縮ガスは、フィルター４２の細孔から液体３２中に放出され気泡４４となる。このとき、圧縮ガスが高圧状態から解放されて急激に膨張するため、ガスの温度が急激に低下する。

そのため、タンク３０の内部では、フィルター４２から噴出した温度の低い気泡４４が液体３２中を上昇することとなる。この過程で気泡４４に触れた液体３２が気泡４４により冷却され、液体３２の温度が下げられる。すなわち、本実施形態に係る定温液体供給装置２４は、膨張に伴い温度が低下した圧縮ガスの気泡４４によってタンク３０に収容された液体３２を冷却する。そして、冷却された液体３２は、タンク３０から切削装置（加工装置）２に供給される。

なお、圧縮ガス源３４からフィルター４２に供給され液体３２中に放出される圧縮ガスは、液体３２との反応性に乏しく、液体３２への溶解性の低いガスであることが好ましい。圧縮ガスが液体３２中に放出されたときに液体３２と反応するガスや溶け込むガスであると、液体３２を十分に冷却できない場合や、液体３２の性質を大きく変化させて定温液体供給装置２４や切削装置（加工装置）２に損傷を生じさせる場合も考えられる。

そこで、圧縮ガスは、例えば、圧縮空気や圧縮窒素であることが好ましく、圧縮された希ガス、圧縮酸素、圧縮水素等でもよい。ただし、調達や管理の容易性や安全性のために、圧縮ガスは、圧縮空気や圧縮窒素であることが最も好ましい。

液体３２の上面に気泡４４が到達すると、気泡４４に含まれたガスが液体３２から脱出してタンク３０の余剰空間に進み、通気口３０ａからタンク３０の外部に放出される。そのため、タンク３０の内圧が過剰に上昇することはない。ここで、液体３２中を気泡４４が移動する時間が長いほど気泡４４及び液体３２の間の熱交換が進行しやすく、液体３２が効率的に冷却される。そこで、液体３２から気泡４４が離脱するまでの時間が長くなるように、タンク３０の寸法が工夫されるとよい。

すなわち、タンク３０は鉛直方向に沿って長いことが好ましく、例えば、タンク３０が直方体状である場合、底面のそれぞれの辺よりも高さが大きいことが好ましい。タンク３０が円柱状である場合、底面の直径よりも高さが大きいことが好ましい。タンク３０がその他の形状である場合、タンク３０の断面積の平方根よりも高さが大きいことが好ましい。ただし、タンク３０の寸法はこれに限定されない。

また、フィルター４２の配設位置がタンク３０の底面に近いほど、気泡４４が液体３２の外に脱出するまでの時間が長くなる。そのため、例えば、フィルター４２は、タンク３０の底面に埋め込まれてもよい。

図４は、変形例に係る定温液体供給装置２４ａを模式的に示す断面図である。変形例に係る定温液体供給装置２４ａでは、フィルター４２ａがタンク３０の底面に埋め込まれており、タンク３０に達する圧縮ガス供給管３６，４０はこのフィルター４２ａに接続されている。フィルター４２ａから放出された気泡４４は、タンク３０の底面から液体３２の上面までの全高さを移動するため、液体３２が気泡４４により高効率に冷却される。

図３に戻り、定温液体供給装置２４についてさらに説明する。フィルター４２から液体３２中に気泡４４を放出させると、気泡４４の移動に伴う流れが液体３２中に生じる。そのため、タンク３０に収容された液体３２が攪拌されて温度が均一になりやすい。そして、タンク３０の内部には温度計５０が設けられており、この温度計５０により液体３２の温度が監視される。

例えば、温度計５０で測定される液体３２の温度が目標とされる温度よりも大幅に高い場合、レギュレータ３８の開度を上げて圧縮ガスの供給圧力を上げ、気泡４４の量を増やして液体３２を強く冷却する。また、温度計５０で測定される液体３２の温度が目標とされる温度よりも僅かに高い場合、液体３２の過剰な冷却を避けるためにレギュレータ３８の開度を下げて圧縮ガスの供給圧力を低下させ、液体３２の冷却を緩やかにする。

このように、レギュレータ３８を操作してフィルター４２への圧縮ガスの供給圧力を変えることで気泡４４による液体３２の冷却効果の強さを変更できる。基本的に、圧縮ガスの供給圧力を上げることで該冷却効果を強められる。

ところが、この冷却効果は所定の圧力となると頭打ちとなる傾向が確認される。これは、フィルター４２の内部構造に起因して、フィルター４２が放出できる気泡４４の量に限界があることが一因であると考えられる。フィルター４２の耐圧限界を超えてフィルター４２への圧縮ガスの供給圧力を上げると、フィルター４２が破損する場合や圧縮ガス供給管３６，４０が破損することもある。

その一方で、フィルター４２への圧縮ガスの供給圧力が低すぎると、液体３２に放出された圧縮ガスの膨張による温度降下が小さくなりすぎ、液体３２を十分に冷却できない。そこで、フィルター４２への圧縮ガスの供給圧力は、例えば、０．２５ＭＰａ以上０．３８ＭＰａ以下であることが好ましい。ただし、該供給圧力はこれに限定されない。

そして、温度計５０で測定される液体３２の温度が許容される範囲となったとき、タンク３０に収容された液体３２が切削装置（加工装置）２への供給に適した状態となったことが確認される。タンク３０には、送液路４６が接続されており、送液路４６の端部にはポンプ４８が接続されている。ポンプ４８は、タンク３０から液体３２を吸い出す機能を有し、定温液体供給装置２４から外部の所定の対象に液体３２を送る機能を有する。

定温液体供給装置２４は、例えば、送液管２６を介して切削装置（加工装置）２に接続されている。液体３２が適温となったときにポンプ４８を作動させると、タンク３０から液体３２が吸い出されて送液管２６を介して切削装置（加工装置）２に液体３２を供給できる。

切削装置２に送られた液体３２は、例えば、切削ユニット１６の内部に設けられた配管を通り、切削ブレード２２を回転させる回転駆動源を冷却して所定の温度に維持する。回転駆動源から熱を奪い温度が上昇した液体３２は、図示しない環流管を通されて、定温液体供給装置２４のタンク３０に戻されるとよい。

そして、戻された液体３２は、タンク３０においてフィルター４２から放出された気泡４４により冷却され、再び、切削装置（加工装置）２に送られるとよい。すなわち、液体３２は、切削装置（加工装置）２と、定温液体供給装置２４と、の間を循環する冷媒として機能する。

ただし、定温液体供給装置２４から送られる液体３２の用途は冷媒に限定されず、他の用途として使用されてもよく、使用済みの液体３２は定温液体供給装置２４のタンク３０に戻されなくてもよい。

切削装置（加工装置）２では、被加工物１を切削する間に切削ブレード（加工具）２２及び被加工物１に切削水供給ノズル２８から切削液（加工液）が供給される。ここで、切削液が一定の温度でなければ、加工結果にばらつきを生じさせる要因となる。そこで、定温液体供給装置２４から送られた所定の温度の液体は、切削液（加工液）として使用されるとよい。

ただし、使用済みの切削液（加工液）には加工屑が多く含まれており、浄化処理をすることなく定温液体供給装置２４のタンク３０に戻すのは不適切である。そのため、使用済みの切削液は、定温液体供給装置２４に戻さなくてもよい。この場合、定温液体供給装置２４の稼働を続けるとタンク３０に収容された液体３２の量が減少する。

タンク３０に収容された液体３２の量が減少すると、フィルター４２から放出された気泡４４が液体３２の上面に到達するまでの移動経路が短くなり、気泡４４による液体３２の冷却効果が減少することも考えられる。そこで、タンク３０には外部の液体供給源から液体３２が補充されて、タンク３０における液体３２の収容量が一定に維持されることが好ましい。また、使用済みの液体３２がタンク３０に戻される場合においても液体３２が蒸発して減少するため、外部からタンク３０に液体３２が補充されることが好ましい。

なお、外部の液体供給源からタンク３０に補充される液体３２は、圧縮ガス供給管３６から圧縮ガスに混ぜ込まれてフィルター４２に供給され、フィルター４２から放出されてもよい。圧縮ガスと補充液との混合流体がフィルター４２から放出されると、タンク３０に収容された液体３２中に勢いが強められた気泡４４が噴出するため、気泡４４が液体３２中に広く拡散し、気泡４４の冷却効果が高まることもある。

以上に説明する通り、本実施形態に係る定温液体供給装置２４では、タンク３０に収容された液体３２を圧縮ガスの気泡４４で冷却できる。すなわち、簡便な構成だけで液体３２を冷却できるため、電力で稼働する大掛かりな冷却手段が不要である。そのため、定温液体供給装置２４を小型化できる。また、定温液体供給装置２４を稼働させるための電力や動力も極めて少なく済むため、運転コストも小さくなる。

なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、タンク３０に収容された液体３２を圧縮ガスの気泡４４のみで冷却する場合について説明したが、本発明の一態様に係る定温液体供給装置２４はこれに限定されない。すなわち、定温液体供給装置２４は、電力で稼働する冷却装置を備えてもよく、タンク３０に収容された液体３２を該冷却装置で冷却してもよい。

タンク３０に収容された液体３２の温度が目標とされる温度よりも極めて高い場合、気泡４４だけで液体３２を冷却するのでは液体３２の温度が所定の温度に達するまでに時間がかかる。そのため、加工装置で必要とされるタイミングに所定の温度の液体３２を該加工装置に供給できない場合が考えられる。

そこで、例えば、タンク３０の内部には、電力で稼働して液体３２を冷却するペルチェ素子が設けられてもよい。または、定温液体供給装置２４は、タンク３０の外面に風を送りタンク３０を空冷する送風機を備えてもよい。電力で稼働するこれらの冷却装置を使用すると、タンク３０に収容された液体３２を急速に冷却できる。

ただし、この場合においても、液体３２の温度が所定の温度に近づいた際に冷却装置の稼働を停止して気泡４４により液体３２を冷却することにより冷却装置の稼働を最小限にできるため、液体３２を効率的に冷却できる。

その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ 分割予定ライン
３ａ 分割溝
５ デバイス
７ リングフレーム
９ ダイシングテープ
１１ フレームユニット
２ 切削装置
４ 基台
４ａ 開口
６，８ 防塵防滴カバー
１０ チャックテーブル
１０ａ 保持面
１０ｂ クランプ
１２ 支持構造
１４ 切削ユニット移動機構
１６ 切削ユニット
１８ スピンドルハウジング
１９ チャックテーブル
２０ ブレードカバー
２２ 切削ブレード
２４，２４ａ 定温液体供給装置
２６ 送液管
２８ 切削水供給ノズル
３０ タンク
３０ａ 通気口
３２ 液体
３４ 圧縮ガス源
３６ 圧縮ガス供給管
３８ レギュレータ
４０ 圧縮ガス供給管
４２，４２ａ フィルター
４４ 気泡
４６ 送液路
４８ ポンプ
５０ 温度計

Claims (5)

1. 加工具が装着されたスピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、を有する加工ユニットを備える加工装置に温度が調節された液体を供給する定温液体供給装置であって、
   該液体を収容するタンクと、
   該タンクに収容された該液体の温度を測定する温度計と、
   圧縮ガスを貯留する圧縮ガス源に一端が接続され、他端が該タンクに達し、該圧縮ガス源から該タンクに該圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給管と、を備え、
   該圧縮ガスの気泡によって該タンクに収容された該液体を冷却し、冷却された該液体を該加工装置に供給することを特徴とする定温液体供給装置。
2. 該圧縮ガス供給管の該他端に接続され、供給された該圧縮ガスを該気泡として該液体中に放出するフィルターをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の定温液体供給装置。
3. 該加工装置に供給された該液体は、該加工ユニットを冷却し、その後、該タンクに戻り、該気泡により冷却され再び該加工装置に供給されることにより循環することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の定温液体供給装置。
4. 該加工装置に供給された該液体は、該加工具に供給され加工液として利用されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の定温液体供給装置。
5. 該液体は、純水であり、
   該圧縮ガスは、圧縮空気である
   ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の定温液体供給装置。

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