JP2021086913A - カセット - Google Patents

Abstract

【課題】任意のカセットユニットを取り外す作業にかかる所要時間を抑制することができるカセットを提供すること。
【解決手段】カセット１は、板状の被加工物１００を収容するためのカセットである。カセット１は、天板１１と一対の側壁１２と底板１３とによって形成され内部に収納空間１４を有する本体１０と、本体１０に対し前後方向であるＺ−及びＺ＋方向にスライドすることで収納空間１４に進退可能な複数の引出しユニット２０と、引出しユニット２０内に着脱自在に配設され被加工物１００を収容するカセットユニット３０と、を含む。
【選択図】図２

Description

本発明は、板状の被加工物を収容するカセットに関する。

被加工物を収納するカセットは、複数の被加工物を収納できるようになっている。カセットの構成としては、例えば天板と側板と底板とによって構成されているものがあり、カセットの側板の内側には、対向する溝が複数形成され、複数の被加工物が収納できるようになっている。このように構成されたカセットは、被加工物を２５枚程度収容するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、少量多品種の被加工物を加工する場合に、カセット内に収容する被加工物の数が、カセット内に収容可能な被加工物の数より少なくなることがある。この場合、カセットが、不必要に設置領域を占領するという問題が生じる。そこで、少量の被加工物を品種ごとに収容したカセットユニットを複数組み合わせて構成されるカセットが提供されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１３−１９７３４７号公報 特開２０１４−１５７９７１号公報

しかしながら、特許文献２に示されたカセットは、積み重ねられて互いに固定されたカセットユニットのうち１つだけを取り出す際に、係止部材の係止を外す必要があり作業が煩雑である。特に、特許文献２に示されたカセットは、カセットユニットが３つ以上積み重ねられた際に、３つ以上のカセットユニットのうち最上方又は最下方のカセットユニット以外のカセットユニットを一つだけ取り出す際には、取り出したいカセットユニット以外のカセットユニットも取り外す必要が生じる。このように、特許文献２に示されたカセットは、任意のカセットユニットを取り外す作業にかかる時間が長時間となる虞があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その目的は、任意のカセットユニットを取り外す作業にかかる所要時間を抑制することができるカセットを提供することにある。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のカセットは、板状の被加工物を収容するためのカセットであって、天板と一対の側壁と底板とによって形成され内部に収納空間を有する本体と、本体に対し前後方向にスライドすることで該収納空間に進退可能な複数の引出しユニットと、該引出しユニット内に着脱自在に配設され被加工物を収容するカセットユニットと、を含むことを特徴とする。

また、前記カセットにおいて、該カセットユニットは、対向する側板に複数形成された被加工物を収容する収容棚と、被加工物が出し入れできる開口部と、被加工物を背部で支持する背止部と、を含んでも良い。

本願発明は、任意のカセットユニットを取り外す作業にかかる所要時間を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るカセットの構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示されたカセットの一つの引き出しユニットが引き出された状態を示す斜視図である。 図３は、図１に示されたカセットの本体の概略の構成を示す斜視図である。 図４は、図１に示されたカセットのカセットユニットの構成例を示す斜視図である。 図５は、図４に示されたカセットユニットの要部を断面で示す斜視図である。 図６は、図４中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 図７は、図６に示されたカセットユニットが引出しユニットに収納された状態を示す断面図である。 図８は、図１に示されたカセットの天板上にカセットユニットを位置決めする状態を示す平面図である。 図９は、実施形態２に係るカセットの構成例を示す斜視図である。 図１０は、図９に示されたカセットの一つの引き出しユニットが引き出された状態を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るカセットを図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係るカセットの構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示されたカセットの一つの引き出しユニットが引き出された状態を示す斜視図である。図３は、図１に示されたカセットの本体の概略の構成を示す斜視図である。

実施形態１に係るカセット１は、板状の被加工物１００を複数収容可能なカセットであって、複数の被加工物１００を半導体製造工程等で用いられる各種の加工装置間で搬送するためのものである。加工装置は、例えば、被加工物１００を切削する切削装置、被加工物１００を研削する研削装置、被加工物１００を研磨する研磨装置、又は被加工物１００をレーザー加工するレーザー加工装置である。被加工物１００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハ、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板である。実施形態１に係るカセット１は、複数種の被加工物１００を収容して、少量多品種のデバイス等の製造に適したものである。

カセット１は、図１及び図２に示すように、本体１０と、複数の引出しユニット２０と、カセットユニット３０とを含む。本体１０は、図１、図２及び図３に示すように、天板１１と、一対の側壁１２と底板１３とによって形成され、内部に収納空間１４を有する。天板１１と、一対の側壁１２，１２と、底板１３とは、平板状に形成されている。天板１１と底板１３とは、鉛直方向であるＹ−（マイナス）及びＹ＋（プラス）方向（図中に矢印で示す）に互いに間隔をあけて配置されている。一対の側壁１２，１２は、水平方向であるＸ−（マイナス）及びＸ＋（プラス）方向（図中に矢印で示す）に互いに間隔をあけて配置されている。一対の側壁１２，１２は、天板１１の端と底板１３の端とを連結している。また、本体１０の図１、図２及び図３の手前側の開口１５は、引出しユニット２０を本体１０内から引き出すための開口であり、本体１０の図３の奥側の開口１６は、加工装置が被加工物１００を出し入れするための開口である。

複数の引出しユニット２０は、レールユニット４０により本体１０に図１及び図２中の前後方向であるＺ−（マイナス）及びＺ＋（プラス）方向（図中に矢印で示す）にスライド自在に設けられ、Ｚ−（マイナス）及びＺ＋（＋）方向にスライドすることで、収納空間１４に進退可能なものである。複数の引出しユニット２０は、レールユニット４０により図１に示す本体１０内の収納空間１４内に収容される位置と、図２に示す本体１０の外側の位置とに亘って、Ｚ−（マイナス）及びＺ＋（プラス）方向にスライド自在に設けられている。また、複数の引出しユニット２０は、収納空間１４内に収容されると、Ｙ−（マイナス）及びＹ＋（プラス）方向に並ぶ。引出しユニット２０は、平板状の底板２１と、底板２１の外縁から立設した複数の周板２２とを備えて、上方に開口２３が設けられた扁平な箱状に形成されている。

引出しユニット２０をスライド自在に支持するレールユニット４０は、各引出しユニット２０に対応して二つ設けられている。各レールユニット４０は、図２に示すように、本体１０の側壁１２に固定された枠体レールユニット４１と、引出しユニット２０の周板２２に取り付けられた引出しレールユニット４２とを備える。枠体レールユニット４１及び引出しレールユニット４２は、それぞれ、Ｚ−方向及びＺ＋方向と平行な直線状に形成されている。引出しレールユニット４２は、枠体レールユニット４１と引出しユニット２０の周板２２との双方とＺ−方向及びＺ＋方向にスライド自在に設けられている。レールユニット４０は、引出しレールユニット４２が枠体レールユニット４１と引出しユニット２０の周板２２との双方とＺ−方向及びＺ＋方向にスライド自在に設けられていることにより、引出しユニット２０を収納空間１４に進退可能に設けている。

次に、カセットユニット３０を図面に基いて説明する。図４は、図１に示されたカセットのカセットユニットの構成例を示す斜視図である。図５は、図４に示されたカセットユニットの要部を断面で示す斜視図である。図６は、図４中のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。図７は、図６に示されたカセットユニットが引出しユニットに収納された状態を示す断面図である。

カセットユニット３０は、引出しユニット２０内に着脱自在に配設されかつ被加工物１００を収容するものである。なお、図１及び図４に示すカセットユニット３０は、被加工物１００を三枚収容するものであり、図２に示された引出しユニット２０内に収容されたカセットユニット３０は、被加工物１００を二枚収容するものである。カセットユニット３０は、引出しユニット２０の底板２１上に重ねられて、引出しユニット２０内に収容される。実施形態１において、カセットユニット３０は、引出しユニット２０の底板２１に設けられた位置決め部材２４により位置決めされている。位置決め部材２４は、引出しユニット２０の底板２１から凸に設けられ、かつカセットユニット３０の外縁に沿って形成されている。

カセットユニット３０は、図４に示すように、Ｘ−方向及びＸ＋方向に対向する一対の側板３１と、一対の側板３１の上端（Ｙ＋方向の端）同士を連結する天板３２と、一対の側板３１の下端（Ｙ−方向の端）同士を連結する底板３３と、一対の側板３１と天板３２と底板３３のＺ＋方向の端同士を連結する背止部である背止板３４とを含む。一対の側板３１、天板３２、底板３３及び背止板３４は、平板状に形成されている。また、カセットユニット３０は、一対の側板３１、天板３２及び底板３３により囲まれて、被加工物１００が出し入れできる開口部３５を備えている。

また、カセットユニット３０は、図４及び図５に示すように、対向する一対の側板３１に複数形成された収容棚３６を備えている。収容棚３６は、各側板３１から一対の側板３１が互いに近づく方向に突出し、かつＺ−方向及びＺ＋方向と平行な直線状に形成されている。また、一対の側板３１に設けられた収容棚３６は、互いにＸ−方向及びＸ＋方向に対向する位置に配置されている。各側板３１に設けられた複数の収容棚３６は、Ｙ−方向及びＹ＋方向に間隔をあけて配置されている。収容棚３６は、互いにＸ−方向及びＸ＋方向に対向する収容棚３６とともに被加工物１００が上に置かれて、被加工物１００をカセットユニット３０内に収容する。背止板３４は、開口部３５を通してカセット１内に収容された被加工物１００に接触して、被加工物１００をカセット１の背部で支持する。前述した構成のカセットユニット３０は、背止板３４が開口１５側に位置する状態で位置決め部材２４に位置決めされて、引出しユニット２０に収容される。カセットユニット３０は、開口２３を通して引出しユニット２０に出し入れされる。このために、カセット１は、引出しユニット２０のスライド方向と引出しユニット２０にカセットユニット３０を出し入れする方向とが互いに交差（実施形態１では、直交）している。

また、カセットユニット３０は、天板１１に設けられてオペレータが掴むことができる持ち手３７と、ストッパ機構５０とを備える。ストッパ機構５０は、カセットユニット３０を引出しユニット２０に設置した際などにおいて被加工物１００がカセットユニット３０に出し入れされることを許容し、カセットユニット３０自体を搬送する際などにおいてカセットユニット３０内の被加工物１００がカセットユニット３０外に搬出されることを規制するものである。

ストッパ機構５０は、図６及び図７に示すように、カセットユニット３０の一方の側板３１の開口部３５寄りの端部に設けられかつＹ−方向及びＹ＋方向に一方の側板３１にスライド自在に設けられたスライド部材５１と、スライド部材５１から他方の側板３１に向かって突出した複数の規制棚５２と、スライド部材５１の上端であるＹ＋方向の端に設けられた規制棚５２とカセットユニット３０の天板３２に設けられた凹部３８とに取り付けられたばね５３とを備える。ストッパ機構５０は、カセットユニット３０自体が搬送される際に、図６に示すように、ばね５３の付勢力により、ストッパ機構５０の下端であるＹ−方向の端に設けられた規制棚５２をカセットユニット３０の底板３３に設けられた貫通穴３９を通して底板１３の下面から突出させる。カセットユニット３０自体が搬送される際に、図６に示すように、下端であるＹ−方向の端に設けられた規制棚５２以外の規制棚５２を収容棚３６間に位置付けて、被加工物１００がカセットユニット３０から搬出されることを規制する。

ストッパ機構５０は、カセットユニット３０が引出しユニット２０に設置される際に、図７に示すように、下端であるＹ−方向の端に設けられた規制棚５２が底板３３と面一になるまでばね５３の付勢力に抗して底板２１から押圧される。ストッパ機構５０は、カセットユニット３０が引出しユニット２０に設置される際に、図７に示すように、上端であるＹ＋方向の端に設けられた規制棚５２が天板１１の下面と面一になる。ストッパ機構５０は、カセットユニット３０が引出しユニット２０に設置される際に、図７に示すように、上端であるＹ＋方向の端に設けられた収容棚３６以外の規制棚５２を収容棚３６と面一に位置付けて、被加工物１００が開口部３５を通してカセットユニット３０から出し入れされることを許容する。

前述した構成のカセット１は、背止板３４を開口１５側に位置付けて、カセットユニット３０を引出しユニット２０内に収容する。カセット１は、複数のカセットユニット３０が収容する被加工物１００の品種をカセットユニット３０毎に異ならせても良い。要するに、本発明のカセット１は、全てのカセットユニット３０のうち少なくとも二つ以上のカセットユニット３０が収容する被加工物１００の品種を異ならせるのが望ましい。カセット１は、加工装置に設置されると、加工装置の図示しない搬送ユニットによりカセットユニット３０から開口部３５を通して被加工物１００が出し入れされる。

また、実施形態１において、カセット１は、天板１１に位置決め部材１７，１８を複数設けている。図８は、図１に示されたカセットの天板上にカセットユニットを位置決めする状態を示す平面図である。

実施形態１において、カセット１は、図８に示すように、本体１０の天板１１上にカセットユニットである小型カセットユニット３０（図８中に実線で示す）を位置決めするための位置決め部材１７と、小型カセットユニット３０よりも大型なカセットユニットである大型カセットユニット３０（図８中に一点鎖線で示す）を位置決めする位置決め部材１８とを備える。また、実施形態１において、カセット１は、他のカセット１の天板１１上に重ねられることを可能とするために、図３等に示すように、底板１３に位置決め部材１８と干渉することを抑制する切欠き１３１と、位置決め部材１７と干渉することを抑制する開口１３２とが設けられている。

実施形態１に係るカセット１は、１つの本体１０に複数の引出しユニット２０が配置されており、各引出しユニット２０の中にカセットユニット３０を配置して各カセットユニット３０が被加工物１００を収容できるため、設置面積を節約しながらも、少量多品種の被加工物１００を１つのカセット１に収容することができる。また、カセット１は、引出しユニット２０のスライド方向と引出しユニット２０にカセットユニット３０を出し入れする方向とが互いに交差（実施形態１では、直交）している。このために、カセット１は、１つのカセットユニット３０を取り出したい場合は、引出しユニット２０を引き出すだけで、カセットユニット３０を取り出すことができる。その結果、カセット１は、任意のカセットユニットを取り外す作業にかかる所要時間を抑制することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るカセットを図面に基いて説明する。図９は、実施形態２に係るカセットの構成例を示す斜視図である。図１０は、図９に示されたカセットの一つの引き出しユニットが引き出された状態を示す斜視図である。図９及び図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係るカセット１−２は、図９及び図１０に示すように、位置決め部材１７，１８，２４と切欠き１３１とを設けていない点を除いて、実施形態１に係るカセット１と構成が等しい。

実施形態２に係るカセット１−２は、実施形態１と同様に、１つの本体１０に複数の引出しユニット２０が配置されており、各引出しユニット２０の中にカセットユニット３０を配置して各カセットユニット３０が被加工物１００を収容できるため、設置面積を節約しながらも、少量多品種の被加工物１００を１つのカセット１−２に収容することができる。また、カセット１−２は、実施形態１と同様に、１つのカセットユニット３０を取り出したい場合は、引出しユニット２０を引き出すだけで、カセットユニット３０を取り出すことができるため、取り出しに要する時間も節約できる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１，１−２ カセット
１０ 本体
１１ 天板
１２ 側壁
１３ 底板
１４ 収納空間
２０ 引出しユニット
３０ カセットユニット
３１ 側板
３４ 背止板（背止部）
３５ 開口部
３６ 収容棚
１００ 被加工物

Claims (2)

1. 板状の被加工物を収容するためのカセットであって、
   天板と一対の側壁と底板とによって形成され内部に収納空間を有する本体と、
   本体に対し前後方向にスライドすることで該収納空間に進退可能な複数の引出しユニットと、
   該引出しユニット内に着脱自在に配設され被加工物を収容するカセットユニットと、を含むカセット。
2. 該カセットユニットは、
   対向する側板に複数形成された被加工物を収容する収容棚と、
   被加工物が出し入れできる開口部と、
   被加工物を背部で支持する背止部と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のカセット。

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