[go: up one dir, main page]

JP2021044342A - Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film - Google Patents

Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film Download PDF

Info

Publication number
JP2021044342A
JP2021044342A JP2019164400A JP2019164400A JP2021044342A JP 2021044342 A JP2021044342 A JP 2021044342A JP 2019164400 A JP2019164400 A JP 2019164400A JP 2019164400 A JP2019164400 A JP 2019164400A JP 2021044342 A JP2021044342 A JP 2021044342A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
film
electromagnetic wave
wave shielding
adhesive layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019164400A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
吉田 一義
Kazuyoshi Yoshida
一義 吉田
航 片桐
Wataru Katagiri
航 片桐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd, Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority to JP2019164400A priority Critical patent/JP2021044342A/en
Publication of JP2021044342A publication Critical patent/JP2021044342A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

To provide a simpler and lower-cost method of manufacturing an electromagnetic wave shield film, which includes a reduced number of manufacturing steps and with which it is possible to manufacture an electromagnetic wave shield film, which excels in adhesive property between an insulation resin layer and a metal thin film layer as well as adhesive property between the metal thin film layer and an adhesive layer, and also manufacture an electromagnetic wave shield film, which excels in shield property and transmission characteristic regarding an FPC.SOLUTION: A method of manufacturing an electromagnetic wave shield film, which includes an insulation resin layer, an electrolytic plated copper thin film layer adjacent to the insulation resin layer, and an adhesive layer adjacent to a side opposite to the insulation resin layer of the electrolytic plated copper thin film layer, comprises: a step (b) for providing the adhesive layer for a surface of the electrolytic plated copper thin film layer provided for a surface of a carrier copper foil by an electrolytic plating method; and a step (c) for providing the insulation resin layer for a surface on a side opposite to the adhesive layer of the electrolytic plated copper thin film layer by peeling the carrier copper foil from the electrolytic plated copper thin film layer.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、電磁波シールドフィルムの製造方法、及び電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film and a method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.

フレキシブルプリント配線板(以下、FPCともいう)から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する、金属薄膜層及び導電性接着剤層から構成される導電層とからなる電磁波シールドフィルムを、フレキシブルプリント配線板の表面に設けることがある(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1においては、電磁波シールドフィルムにおける絶縁樹脂層は、第1の離型フィルムの片面に、熱硬化性樹脂と硬化剤と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させて形成される。また、金属薄膜層は、絶縁樹脂層の表面に金属を蒸着することによって形成される。
しかし、熱硬化性樹脂の硬化物からなる絶縁樹脂層は、硬度が高すぎるため、絶縁樹脂層の表面に金属を蒸着することによって形成された金属薄膜層は、絶縁樹脂層との接着性が不十分である。そのため、第1の離型フィルムを絶縁樹脂層から剥離する際に、絶縁樹脂層と金属薄膜層との界面で剥離が生ずることがある。
From the insulating resin layer, the metal thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and the conductive adhesive layer in order to shield the electromagnetic noise generated from the flexible printed wiring board (hereinafter, also referred to as FPC) and the electromagnetic noise from the outside. An electromagnetic wave shielding film composed of a constituent conductive layer may be provided on the surface of a flexible printed wiring board (see, for example, Patent Document 1).
In Patent Document 1, the insulating resin layer in the electromagnetic wave shielding film is formed by applying a coating liquid containing a thermosetting resin, a curing agent, and a solvent to one side of the first release film and drying it. .. Further, the metal thin film layer is formed by depositing metal on the surface of the insulating resin layer.
However, since the insulating resin layer made of a cured product of a thermosetting resin has too high hardness, the metal thin film layer formed by depositing metal on the surface of the insulating resin layer has adhesiveness to the insulating resin layer. Insufficient. Therefore, when the first release film is peeled from the insulating resin layer, peeling may occur at the interface between the insulating resin layer and the metal thin film layer.

そこで、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性に優れ、さらに導電性接着剤層からなる接着剤層と金属薄膜層との接着性にも優れた電磁波シールドフィルムの製造方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特許文献2には、キャリアフィルムの表面に設けられた金属薄膜層の表面に接着剤層を設け、その後、キャリアフィルムを金属薄膜層から剥離し、金属薄膜層の接着剤層とは反対側の表面に絶縁樹脂層を設ける電磁波シールドフィルムの製造方法が記載されている。
Therefore, a method for producing an electromagnetic wave shielding film has been proposed, which has excellent adhesiveness between an insulating resin layer and a metal thin film layer, and also has excellent adhesiveness between an adhesive layer composed of a conductive adhesive layer and a metal thin film layer. (See, for example, Patent Document 2).
In Patent Document 2, an adhesive layer is provided on the surface of the metal thin film layer provided on the surface of the carrier film, and then the carrier film is peeled off from the metal thin film layer on the side opposite to the adhesive layer of the metal thin film layer. A method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film in which an insulating resin layer is provided on the surface is described.

特開2016−86120号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-86120 特開2018−56424号公報JP-A-2018-56424

ところで、FPCに対するシールド性の向上や伝送特性の向上のためには、金属薄膜層の厚みはある程度厚い方が好ましい。そこで、例えば、1μm以上の厚みの金属薄膜層を精度よく安定して作製できるメッキ法により金属薄膜層を作製することが望ましい。
しかし、上記特許文献2に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法では、金属薄膜層はポリエチレンテレフタレート(PET)のキャリアフィルム上に設けられており、上記特許文献2に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法では、メッキ法を用いて金属薄膜層を形成しようとすると、PETのキャリアフィルム上にスパッタ法等により一旦金属層を設け、その上に金属のメッキ層を形成させる必要がある。
By the way, in order to improve the shielding property against FPC and the transmission characteristics, it is preferable that the thickness of the metal thin film layer is thick to some extent. Therefore, for example, it is desirable to prepare the metal thin film layer by a plating method capable of accurately and stably producing a metal thin film layer having a thickness of 1 μm or more.
However, in the method for producing an electromagnetic wave shield film described in Patent Document 2, the metal thin film layer is provided on a carrier film of polyethylene terephthalate (PET), and in the method for producing an electromagnetic wave shield film described in Patent Document 2, the metal thin film layer is provided. When an attempt is made to form a metal thin film layer by using a plating method, it is necessary to once provide a metal layer on a PET carrier film by a sputtering method or the like, and to form a metal plating layer on the metal layer.

そこで、本発明は、製造工程数を減らし、より簡便、かつより低コストな電磁波シールドフィルムの製造方法であって、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性も接着剤層と金属薄膜層との接着性も優れた電磁波シールドフィルムを製造することができ、さらに、FPCに対するシールド性及び伝送特性に優れた電磁波シールドフィルムを製造することができる、電磁波シールドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention is a method for producing an electromagnetic wave shielding film that is simpler and less costly by reducing the number of manufacturing steps, and the adhesiveness between the insulating resin layer and the metal thin film layer is also the adhesive layer and the metal thin film layer. It is an object of the present invention to provide a method for producing an electromagnetic wave shielding film, which can produce an electromagnetic wave shielding film having excellent adhesiveness, and further can produce an electromagnetic wave shielding film having excellent shielding property against FPC and transmission characteristics. And.

本発明は、以下の態様を包含するものである。
[1]絶縁樹脂層と、
前記絶縁樹脂層に隣接する電解メッキ銅薄膜層と、
前記電解メッキ銅薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する接着剤層と
を有する電磁波シールドフィルムを製造する方法であり、
下記の工程(b)及び工程(c)を有する、電磁波シールドフィルムの製造方法。
工程(b):キャリア銅箔の表面に電解メッキ法により設けられた電解メッキ銅薄膜層に対して、前記電解メッキ銅薄膜層の表面に前記接着剤層を設ける工程。
工程(c):前記キャリア銅箔を前記電解メッキ銅薄膜層から剥離し、前記電解メッキ銅薄膜層の前記接着剤層とは反対側の表面に前記絶縁樹脂層を設ける工程。
[2]前記電解メッキ銅薄膜層の厚さが、1μm以上3μm以下である、前記[1]に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[3]前記電解メッキ銅薄膜層の前記接着剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)が、0.5μm以上2.5μm以下である、前記[1]又は[2]に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[4]前記絶縁樹脂層が、芳香族ポリエーテルケトンを含有するフィルム状の絶縁樹脂層である、前記[1]〜[3]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[5]前記絶縁樹脂層が、層中に絶縁粒子を含有する、前記[1]〜[4]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[6]前記電磁波シールドフィルムが、前記絶縁樹脂層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、
前記第1の離型フィルムは、基材層と、前記基材層の前記絶縁樹脂層側の表面に設けられた粘着剤層又は離型剤層とを有し、
前記基材層の表面は、凹凸形状を有する、前記[1]〜[5]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[7]前記電磁波シールドフィルムが、前記絶縁樹脂層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、
前記第1の離型フィルムは、基材層と、前記基材層の前記絶縁樹脂層側の表面に設けられた粘着剤層又は離型剤層とを有し、
前記粘着剤層又は離型剤層は、層中に絶縁粒子を含有する、前記[1]〜[6]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[8]前記電磁波シールドフィルムが、前記接着剤層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第2の離型フィルムを有する場合、
前記電解メッキ銅薄膜層と前記キャリア銅箔との界面における剥離力が、前記接着剤層と前記第2の離型フィルムとの界面における剥離力より小さい、前記[1]〜[7]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[9]前記電解メッキ銅薄膜層と前記キャリア銅箔との界面における剥離力が、0.1N/cm以上1.5N/cm以下であり、前記接着剤層と前記第2の離型フィルムとの界面における剥離力が、0.2N/cm以上2.5N/cm以下である、前記[8]に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
[10]前記[1]〜[9]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムの製造方法によって、電磁波シールドフィルムを製造した後、
下記の工程(d)及び工程(e)を実施する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
工程(d):プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(e):前記電磁波シールドフィルムが第2の離型フィルムを有する場合は、前記電磁波シールドフィルムから前記第2の離型フィルムを剥離した後、前記絶縁フィルム付きプリント配線板と前記電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムの表面に前記接着剤層が接触するように重ね、これらをプレスすることによって、前記絶縁フィルムの表面に前記接着剤層を接着し、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を得る工程。
The present invention includes the following aspects.
[1] Insulating resin layer and
The electroplated copper thin film layer adjacent to the insulating resin layer and
This is a method for producing an electromagnetic wave shielding film having an adhesive layer adjacent to the insulating resin layer of the electroplated copper thin film layer on the opposite side.
A method for producing an electromagnetic wave shielding film, which comprises the following steps (b) and (c).
Step (b): A step of providing the adhesive layer on the surface of the electroplated copper thin film layer with respect to the electroplated copper thin film layer provided on the surface of the carrier copper foil by the electroplating method.
Step (c): A step of peeling the carrier copper foil from the electroplated copper thin film layer and providing the insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer opposite to the adhesive layer.
[2] The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to the above [1], wherein the thickness of the electroplated copper thin film layer is 1 μm or more and 3 μm or less.
[3] The electromagnetic wave according to the above [1] or [2], wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the electroplated copper thin film layer on the adhesive layer side is 0.5 μm or more and 2.5 μm or less. Manufacturing method of shield film.
[4] The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [3] above, wherein the insulating resin layer is a film-shaped insulating resin layer containing an aromatic polyetherketone.
[5] The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [4] above, wherein the insulating resin layer contains insulating particles in the layer.
[6] When the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side of the insulating resin layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
The first release film has a base material layer and a pressure-sensitive adhesive layer or a mold release agent layer provided on the surface of the base material layer on the insulating resin layer side.
The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [5], wherein the surface of the base material layer has an uneven shape.
[7] When the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side of the insulating resin layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
The first release film has a base material layer and a pressure-sensitive adhesive layer or a mold release agent layer provided on the surface of the base material layer on the insulating resin layer side.
The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [6] above, wherein the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer contains insulating particles in the layer.
[8] When the electromagnetic wave shielding film has a second release film adjacent to the side of the adhesive layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
Any of the above [1] to [7], wherein the peeling force at the interface between the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier copper foil is smaller than the peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film. A method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film described in Crab.
[9] The peeling force at the interface between the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier copper foil is 0.1 N / cm or more and 1.5 N / cm or less, and the adhesive layer and the second release film The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to the above [8], wherein the peeling force at the interface between the two is 0.2 N / cm or more and 2.5 N / cm or less.
[10] After manufacturing the electromagnetic wave shield film by the method for manufacturing the electromagnetic wave shield film according to any one of [1] to [9] above,
A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, which carries out the following steps (d) and (e).
Step (d): A step of providing an insulating film on the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided to obtain a printed wiring board with the insulating film.
Step (e): When the electromagnetic wave shielding film has a second release film, after peeling the second release film from the electromagnetic wave shielding film, the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film. The adhesive layer is laminated on the surface of the insulating film so that the adhesive layer is in contact with the surface of the insulating film, and by pressing these, the adhesive layer is adhered to the surface of the insulating film to obtain a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film. Process.

本発明によれば、製造工程数を減らし、より簡便、かつより低コストな電磁波シールドフィルムの製造方法であって、絶縁樹脂層と金属薄膜層との接着性も接着剤層と金属薄膜層との接着性も優れた電磁波シールドフィルムを製造することができ、さらに、FPCに対するシールド性及び伝送特性に優れた電磁波シールドフィルムを製造することができる、電磁波シールドフィルムの製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is a method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film that is simpler and less costly by reducing the number of manufacturing steps, and the adhesiveness between the insulating resin layer and the metal thin film layer is also the adhesive layer and the metal thin film layer. It is possible to provide a method for producing an electromagnetic wave shielding film, which can produce an electromagnetic wave shielding film having excellent adhesiveness, and further can produce an electromagnetic wave shielding film having excellent shielding property against FPC and transmission characteristics. ..

図1は、電磁波シールドフィルムの一実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of an electromagnetic wave shielding film. 図2は、電磁波シールドフィルムの他の実施形態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing another embodiment of the electromagnetic wave shielding film. 図3は、電磁波シールドフィルムの他の実施形態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the electromagnetic wave shielding film. 図4は、電磁波シールドフィルムの他の実施形態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the electromagnetic wave shielding film. 図5は、図1の電磁波シールドフィルムの製造工程のうち、工程(a)、工程(b1)及び工程(b2)を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a step (a), a step (b1), and a step (b2) in the manufacturing process of the electromagnetic wave shielding film of FIG. 図6は、図1の電磁波シールドフィルムの製造工程のうち、工程(c1)〜(c3)を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing steps (c1) to (c3) of the manufacturing process of the electromagnetic wave shielding film of FIG. 図7は、図3の電磁波シールドフィルムの製造工程のうち、工程(c1)〜(c3)を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing steps (c1) to (c3) of the manufacturing process of the electromagnetic wave shielding film of FIG. 図8は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一実施形態を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing an embodiment of a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film. 図9は、図8の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of FIG. 図10は、電磁波シールドフィルムの他の実施形態を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing another embodiment of the electromagnetic wave shielding film. 図11は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の他の実施形態を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing another embodiment of the printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film. 図12は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の他の実施形態を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing another embodiment of the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film.

以下、本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の一実施態様としての一例であり、これらの内容に特定されるものではない。
以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
「等方導電性接着剤層」とは、厚さ方向及び面方向に導電性を有する導電性接着剤層を意味する。
「異方導電性接着剤層」とは、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない導電性接着剤層を意味する。
「面方向に導電性を有しない導電性接着剤層」とは、表面抵抗が1×10Ω以上である導電性接着剤層を意味する。
導電性粒子の平均粒子径は、導電性粒子の顕微鏡像から30個の導電性粒子を無作為に選び、それぞれの導電性粒子について、最小径及び最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した30個の導電性粒子の粒子径を算術平均して得た値である。
フィルム(離型フィルム、絶縁フィルム等)、塗膜(絶縁樹脂層、接着剤層、導電性接着剤層等)、電解メッキ銅薄膜層等の厚さは、顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
表面抵抗は、石英ガラス上に金を蒸着して形成した、2本の薄膜金属電極(長さ10mm、幅5mm、電極間距離10mm)を用い、この電極上に被測定物を置き、被測定物上から、被測定物の10mm×20mmの領域を0.049Nの荷重で押し付け、1mA以下の測定電流で測定される電極間の抵抗である。
剥離力は、引張り試験機を用い、180度剥離試験を行って測定される剥離力である。
算術平均粗さRaは、試験片についてレーザー顕微鏡を用いて粗さ曲線を測定し、この粗さ曲線から、JIS B 0601:2013(ISO 4287:1997 Amd.1:2009)に基づいて求めた値である。
Hereinafter, the method for producing the electromagnetic wave shielding film of the present invention will be described in detail, but the description of the constituent requirements described below is an example as an embodiment of the present invention, and is not specified in these contents. ..
The definitions of the following terms apply throughout the specification and claims.
The "isotropic conductive adhesive layer" means a conductive adhesive layer having conductivity in the thickness direction and the surface direction.
The "anisotropic adhesive layer" means a conductive adhesive layer having conductivity in the thickness direction and not in the plane direction.
The “conductive adhesive layer having no conductivity in the plane direction” means a conductive adhesive layer having a surface resistance of 1 × 10 4 Ω or more.
For the average particle size of the conductive particles, 30 conductive particles were randomly selected from the microscopic image of the conductive particles, and the minimum and maximum diameters of each conductive particle were measured. The median value of is taken as the particle size of one particle, and the measured particle size of the 30 conductive particles is calculated and averaged.
For the thickness of the film (release film, insulating film, etc.), coating film (insulating resin layer, adhesive layer, conductive adhesive layer, etc.), electrolytically plated copper thin film layer, etc., use a microscope to measure the cross section of the object to be measured. It is an average value obtained by observing and measuring the thickness at 5 points.
For the surface resistance, two thin film metal electrodes (length 10 mm, width 5 mm, distance between electrodes 10 mm) formed by depositing gold on quartz glass are used, and an object to be measured is placed on the electrodes to be measured. It is the resistance between the electrodes measured with a measurement current of 1 mA or less by pressing a region of 10 mm × 20 mm of the object to be measured with a load of 0.049 N from above the object.
The peeling force is a peeling force measured by performing a 180-degree peeling test using a tensile tester.
The arithmetic mean roughness Ra is a value obtained by measuring a roughness curve of a test piece using a laser microscope and obtaining from this roughness curve based on JIS B 0601: 2013 (ISO 4287: 1997 Amd.1: 2009). Is.

[電磁波シールドフィルムの製造方法]
本発明は、電磁波シールドフィルムを製造する方法について規定する。
電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する電解メッキ銅薄膜層と、電解メッキ銅薄膜層の絶縁樹脂層とは反対側に隣接する接着剤層とを有する。
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、下記の工程(b)及び工程(c)を有する。
工程(b):キャリア銅箔の表面に電解メッキ法により設けられた電解メッキ銅薄膜層に対して、電解メッキ銅薄膜層の表面に接着剤層を設ける工程。
工程(c):キャリア銅箔を電解メッキ銅薄膜層から剥離し、電解メッキ銅薄膜層の接着剤層とは反対側の表面に絶縁樹脂層を設ける工程。
[Manufacturing method of electromagnetic wave shield film]
The present invention defines a method for producing an electromagnetic wave shielding film.
The electromagnetic wave shield film has an insulating resin layer, an electroplated copper thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and an adhesive layer adjacent to the side opposite to the insulating resin layer of the electroplated copper thin film layer.
The method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention has the following steps (b) and (c).
Step (b): A step of providing an adhesive layer on the surface of the electroplated copper thin film layer with respect to the electroplated copper thin film layer provided on the surface of the carrier copper foil by the electroplating method.
Step (c): A step of peeling the carrier copper foil from the electroplated copper thin film layer and providing an insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer opposite to the adhesive layer.

本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法については、後で詳しく説明する。まず先に本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法の対象である電磁波シールドフィルムについて説明する。 The method for producing the electromagnetic wave shielding film of the present invention will be described in detail later. First, the electromagnetic wave shielding film which is the target of the method for producing the electromagnetic wave shielding film of the present invention will be described.

(電磁波シールドフィルム)
図1は、本発明の製造方法で得られる電磁波シールドフィルムの第1の実施形態を示す断面図であり、図2は、本発明の製造方法で得られる電磁波シールドフィルムの第2の実施形態を示す断面図である。
第1の実施形態及び第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、絶縁樹脂層10と;絶縁樹脂層10に隣接する電解メッキ銅薄膜層20と;電解メッキ銅薄膜層20の絶縁樹脂層10とは反対側に隣接する接着剤層22と;絶縁樹脂層10の電解メッキ銅薄膜層20とは反対側に隣接する第1の離型フィルム30と;接着剤層22の電解メッキ銅薄膜層20とは反対側に隣接する第2の離型フィルム40とを有する。
(Electromagnetic wave shield film)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the electromagnetic wave shielding film obtained by the manufacturing method of the present invention, and FIG. 2 shows a second embodiment of the electromagnetic wave shielding film obtained by the manufacturing method of the present invention. It is sectional drawing which shows.
The electromagnetic wave shield film 1 of the first embodiment and the second embodiment has an insulating resin layer 10; an electrolytically plated copper thin film layer 20 adjacent to the insulating resin layer 10; and an insulating resin layer 10 of the electrolytically plated copper thin film layer 20. With the adhesive layer 22 adjacent to the opposite side; with the first release film 30 adjacent to the electrolytically plated copper thin film layer 20 of the insulating resin layer 10; and the electrolytically plated copper thin film layer of the adhesive layer 22. It has a second release film 40 adjacent to the opposite side of the 20.

第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、接着剤層22が異方導電性接着剤層24である例である。
第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、接着剤層22が等方導電性接着剤層26である例である。
The electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment is an example in which the adhesive layer 22 is an anisotropic conductive adhesive layer 24.
The electromagnetic wave shielding film 1 of the second embodiment is an example in which the adhesive layer 22 is an isotropic conductive adhesive layer 26.

<絶縁樹脂層>
絶縁樹脂層10は、電磁波シールドフィルム1をフレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に貼着し、第1の離型フィルム30を剥離した後には、電解メッキ銅薄膜層20の保護層となる。
<Insulating resin layer>
In the insulating resin layer 10, the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to the surface of the insulating film provided on the surface of the flexible printed wiring board, and after the first release film 30 is peeled off, the electrolytically plated copper thin film layer 20 is formed. It becomes a protective layer.

絶縁樹脂層10としては、硬化性樹脂と硬化剤とを含む組成物を塗布し、半硬化または硬化させて形成された塗膜;硬化性樹脂と硬化剤と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させ、半硬化または硬化させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。絶縁樹脂層10としては、絶縁樹脂層10と電解メッキ銅薄膜層20との接着性がさらに良好となる点から、樹脂材料(硬化性樹脂と硬化剤との組み合わせ、または熱可塑性樹脂)と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させ、必要に応じて半硬化または硬化させて形成された塗膜が好ましい。 As the insulating resin layer 10, a coating film formed by applying a composition containing a curable resin and a curing agent and semi-curing or curing; a coating liquid containing a curable resin, a curing agent and a solvent is applied. A coating film formed by drying, semi-curing or curing; a coating film formed by applying a coating liquid containing a thermoplastic resin and a solvent; and drying the coating film; melting the composition containing the thermoplastic resin. Examples thereof include a layer made of a molded film. The insulating resin layer 10 is a resin material (combination of a curable resin and a curing agent, or a thermoplastic resin) and a solvent from the viewpoint that the adhesiveness between the insulating resin layer 10 and the electrolytically plated copper thin film layer 20 is further improved. A coating film formed by applying a coating liquid containing the above, drying, and semi-curing or curing as needed is preferable.

硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。硬化性樹脂としては、絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層との接着性がさらに良好となる点から、紫外線硬化アクリレート樹脂が好ましい。
硬化剤としては、硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。硬化性樹脂が紫外線硬化アクリレート樹脂の場合、硬化剤としては、光ラジカル開始剤等が挙げられる。
Examples of the curable resin include amide resin, epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, and ultraviolet curable acrylate resin. As the curable resin, an ultraviolet curable acrylate resin is preferable because the adhesiveness between the insulating resin layer and the electroplated copper thin film layer is further improved.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of curable resin. When the curable resin is an ultraviolet curable acrylate resin, examples of the curing agent include a photoradical initiator and the like.

絶縁樹脂層10は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板のプリント回路を隠蔽したり、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板に意匠性を付与したりするために、着色剤およびフィラーのいずれか一方または両方を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、難燃剤を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The insulating resin layer 10 uses one or both of a colorant and a filler in order to conceal the printed circuit of the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film and to impart design to the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film. It may be included.
The insulating resin layer 10 may contain a flame retardant.
The insulating resin layer 10 may contain other components, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired.

絶縁樹脂層の表面における光の反射を抑えるために、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。例えば、絶縁樹脂層中に絶縁粒子を含有させて、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。あるいは、電磁波シールドフィルムが、絶縁樹脂層の電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、第1の離型フィルムの表面の凹凸が転写されるようにして、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。
絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させることにより、絶縁樹脂層の表面における光の反射が抑えられた電磁波シールドフィルムが得られることについては、下記<絶縁樹脂層の表面における光の反射が抑えられた電磁波シールドフィルム>の欄で詳しく説明する。
In order to suppress the reflection of light on the surface of the insulating resin layer, an uneven shape may be formed on the surface of the insulating resin layer. For example, insulating particles may be contained in the insulating resin layer to form an uneven shape on the surface of the insulating resin layer. Alternatively, when the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side opposite to the electrolytically plated copper thin film layer of the insulating resin layer, the irregularities on the surface of the first release film are transferred. , An uneven shape may be formed on the surface of the insulating resin layer.
Regarding the fact that an electromagnetic wave shield film in which light reflection on the surface of the insulating resin layer is suppressed can be obtained by forming an uneven shape on the surface of the insulating resin layer, the following <Suppression of light on the surface of the insulating resin layer is suppressed. It will be explained in detail in the column of Electromagnetic wave shield film>.

絶縁樹脂層10の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。絶縁樹脂層10の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
絶縁樹脂層10の厚さは、0.1μm以上30μm以下が好ましく、0.5μm以上20μm以下がより好ましく、3μm以上15μm以下がさらに好ましい。絶縁樹脂層10の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、絶縁樹脂層10が保護層としての機能を十分に発揮できる。絶縁樹脂層10の厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。
The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1 × 10 19 Ω or less from a practical point of view.
The thickness of the insulating resin layer 10 is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 20 μm or less, and further preferably 3 μm or more and 15 μm or less. When the thickness of the insulating resin layer 10 is at least the lower limit of the above range, the insulating resin layer 10 can sufficiently exert the function as a protective layer. When the thickness of the insulating resin layer 10 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned.

<<フィルム状の絶縁樹脂層>>
本発明においては、上記絶縁樹脂層をフィルム状の絶縁樹脂層とすることができる。
フィルム状の絶縁樹脂層としては、例えば、芳香族ポリエーテルケトンを含有するフィルム状の絶縁樹脂層を挙げることができる。
絶縁樹脂層が、芳香族ポリエーテルケトンを含有するフィルム状の絶縁樹脂層である場合、絶縁樹脂層を薄い膜厚で形成することができ、さらに、薄い膜厚の絶縁樹脂層であっても、絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層からなる金属薄膜層との接着性を良好に維持することができる。
<< Film-shaped insulating resin layer >>
In the present invention, the insulating resin layer can be a film-shaped insulating resin layer.
Examples of the film-shaped insulating resin layer include a film-shaped insulating resin layer containing an aromatic polyetherketone.
When the insulating resin layer is a film-shaped insulating resin layer containing an aromatic polyetherketone, the insulating resin layer can be formed with a thin film thickness, and even if the insulating resin layer has a thin film thickness. , The adhesiveness between the insulating resin layer and the metal thin film layer composed of the electrolytically plated copper thin film layer can be well maintained.

図3は、本発明に係る電磁波シールドフィルムの第3の実施形態を示す断面図であり、図4は、本発明に係る電磁波シールドフィルムの第4の実施形態を示す断面図である。
図3で示す第3の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、図1で示す第1の実施形態の電磁波シールドフィルムにおいて、絶縁樹脂層10が、フィルム状の絶縁樹脂層10aに変わっている点が違っている。尚、図3においては、フィルム状の絶縁樹脂層10aと電解メッキ銅薄膜層20との間に絶縁樹脂層用の接着剤層10bを配しているが、フィルム状の絶縁樹脂層10aと電解メッキ銅薄膜層20との接着状況によっては、絶縁樹脂層用の接着剤層10bは設けなくてもよい。
絶縁樹脂層用の接着剤層10bとしては、後述する<接着剤層>の欄で説明する接着剤と同様なものが使用できる。
図4で示す第4の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、図2で示す第2の実施形態の電磁波シールドフィルムにおいて、絶縁樹脂層10が、フィルム状の絶縁樹脂層10aに変わっている点が違っている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a third embodiment of the electromagnetic wave shielding film according to the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment of the electromagnetic wave shielding film according to the present invention.
The electromagnetic wave shield film 1 of the third embodiment shown in FIG. 3 is the electromagnetic wave shield film of the first embodiment shown in FIG. 1 in that the insulating resin layer 10 is changed to a film-shaped insulating resin layer 10a. Are different. In FIG. 3, the adhesive layer 10b for the insulating resin layer is arranged between the film-shaped insulating resin layer 10a and the electrolytically plated copper thin film layer 20, but the film-shaped insulating resin layer 10a and the electrolytic. Depending on the state of adhesion with the plated copper thin film layer 20, the adhesive layer 10b for the insulating resin layer may not be provided.
As the adhesive layer 10b for the insulating resin layer, the same adhesive as that described in the column of <Adhesive layer> described later can be used.
In the electromagnetic wave shielding film 1 of the fourth embodiment shown in FIG. 4, the insulating resin layer 10 is changed to a film-shaped insulating resin layer 10a in the electromagnetic wave shielding film of the second embodiment shown in FIG. Are different.

フィルム状の絶縁樹脂層10aは、芳香族ポリエーテルケトンを含有する。芳香族ポリエーテルケトンは、エーテル結合を介してベンゼン環同士を結合した構造と、ケトン基を介してベンゼン環同士を結合した構造とを有するポリマーである。
芳香族ポリエーテルケトンとしては、例えば、化学式(1)で表される化学構造を有するポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、化学式(2)で表される化学構造を有するポリエーテルケトン(PEK)、化学式(3)で表される化学構造を有するポリエーテルケトンケトン(PEKK)、化学式(4)で表される化学構造を有するポリエーテルエーテルケトンケトン(PEEKK)、化学式(5)で表される化学構造を有するポリエーテルケトンエーテルケトンケトン(PEKEKK)が挙げられる。フィルム状の絶縁樹脂層10aに含まれる芳香族ポリエーテルケトンは1種単独でもよいし、2種以上でもよい。
また、芳香族ポリエーテルケトンは、化学式(1)〜(5)で表される化学構造を2つ以上有する共重合体であってもよい。
なお、芳香族ポリエーテルケトンの両末端は水素原子となっている。
The film-shaped insulating resin layer 10a contains an aromatic polyetherketone. The aromatic polyetherketone is a polymer having a structure in which benzene rings are bonded to each other via an ether bond and a structure in which benzene rings are bonded to each other via a ketone group.
Examples of the aromatic polyetherketone include a polyetheretherketone (PEEK) having a chemical structure represented by the chemical formula (1), a polyetherketone (PEK) having a chemical structure represented by the chemical formula (2), and a chemical formula. Polyetheretherketoneketone (PEKK) having a chemical structure represented by (3), polyetheretherketoneketone (PEEKK) having a chemical structure represented by chemical formula (4), and chemical structure represented by chemical formula (5). Polyetherketone etherketoneketone (PEKEKK) having the above can be mentioned. The aromatic polyetherketone contained in the film-shaped insulating resin layer 10a may be used alone or in combination of two or more.
Further, the aromatic polyetherketone may be a copolymer having two or more chemical structures represented by the chemical formulas (1) to (5).
Both ends of the aromatic polyetherketone are hydrogen atoms.

上記芳香族ポリエーテルケトンのなかでも、フィルム状の絶縁樹脂層10aを形成しやすい点では、ポリエーテルエーテルケトンが好ましい。
電磁波シールドフィルム1に耐熱性が求められる場合には、芳香族ポリエーテルケトンのなかでも、ポリエーテルケトン、ポリエーテルケトンケトン、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトンが好ましい。ポリエーテルケトンのガラス転移温度は152℃、ポリエーテルケトンケトンのガラス転移温度は154℃、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトンのガラス転移温度は162℃であり、いずれも、ポリエーテルエーテルケトンのガラス転移温度143℃より高い。そのため、耐熱性が求められる用途に適している。樹脂のガラス転移温度は、示差熱走査熱量測定(DSC)によって求められる。
Among the above aromatic polyetherketones, the polyetheretherketone is preferable in that a film-shaped insulating resin layer 10a can be easily formed.
When the electromagnetic wave shield film 1 is required to have heat resistance, among aromatic polyetherketones, polyetherketone, polyetherketoneketone, and polyetherketoneetherketoneketone are preferable. The glass transition temperature of polyetherketone is 152 ° C, the glass transition temperature of polyetherketoneketone is 154 ° C, and the glass transition temperature of polyetherketone etherketoneketone is 162 ° C. Higher than 143 ° C. Therefore, it is suitable for applications that require heat resistance. The glass transition temperature of the resin is determined by differential thermal calorimetry (DSC).

Figure 2021044342
Figure 2021044342

上記化学式(1)〜(5)の各々のnは、機械的特性の観点から、10以上が好ましく、20以上がより好ましい。一方、芳香族ポリエーテルケトンを容易に製造できる点では、nは5000以下であることが好ましく、1000以下であることがより好ましい。すなわち、10以上5000以下が好ましく、20以上1000以下がより好ましい。
芳香族ポリエーテルケトンは、本発明の効果を損なわない範囲において、エーテルサルホン等の他の共重合可能な単量体とのブロック共重合体、ランダム共重合体又は変性体であってもよい。
芳香族ポリエーテルケトンは、上記化学式(1)〜(5)のいずれかで表されるポリエーテルケトン単位の割合が、芳香族ポリエーテルケトン100モル%に対し、50モル%以上100モル%以下であることが好ましく、70モル%以上100モル%以下であることがより好ましく、80モル%以上100モル%以下であることがさらに好ましく、100モル%であることが最も好ましい。芳香族ポリエーテルケトンにおいて上記芳香族ポリエーテルケトン単位の割合が上記下限値以上であれば、フィルム状の絶縁樹脂層10aと電解メッキ銅薄膜層20との接着力をより強くできる。
Each n of the above chemical formulas (1) to (5) is preferably 10 or more, more preferably 20 or more, from the viewpoint of mechanical properties. On the other hand, from the viewpoint that the aromatic polyetherketone can be easily produced, n is preferably 5000 or less, and more preferably 1000 or less. That is, it is preferably 10 or more and 5000 or less, and more preferably 20 or more and 1000 or less.
The aromatic polyetherketone may be a block copolymer, a random copolymer or a modified product with another copolymerizable monomer such as ether sulfone as long as the effect of the present invention is not impaired. ..
In the aromatic polyetherketone, the ratio of the polyetherketone unit represented by any of the above chemical formulas (1) to (5) is 50 mol% or more and 100 mol% or less with respect to 100 mol% of the aromatic polyetherketone. It is preferably 70 mol% or more and 100 mol% or less, more preferably 80 mol% or more and 100 mol% or less, and most preferably 100 mol%. When the ratio of the aromatic polyetherketone unit in the aromatic polyetherketone is at least the above lower limit value, the adhesive force between the film-shaped insulating resin layer 10a and the electroplated copper thin film layer 20 can be further strengthened.

芳香族ポリエーテルケトンの製造方法、とりわけポリエーテルエーテルケトンの製造方法としては、例えば、特開昭50−27897号公報、特開昭51−119797号公報、特開昭52−38000号公報、特開昭54−90296号公報、特公昭55−23574号公報、特公昭56−2091号公報に開示されている。 Examples of the method for producing an aromatic polyetherketone, particularly the method for producing a polyetheretherketone, include JP-A-50-27897, JP-A-51-119797, and JP-A-52-38000. It is disclosed in Kaisho 54-90296, Tokusho 55-23574, and Tokusho 56-2091.

フィルム状の絶縁樹脂層10aには、芳香族ポリエーテルケトン以外に他の樹脂が含まれてもよい。他の樹脂としては、例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルホン、ポリフェニレンサルフィド、ポリフェニレンサルフィドサルホン、ポリフェニレンサルフィドケトン等が挙げられる。
フィルム状の絶縁樹脂層10aにおける芳香族ポリエーテルケトンの含有量は50質量%以上100質量%以下であることが好ましく、70質量%以上100質量%以下であることがより好ましく、80質量%以上100質量%以下であることがさらに好ましい。フィルム状の絶縁樹脂層10aが芳香族ポリエーテルケトンのみからなってもよい。フィルム状の絶縁樹脂層10aにおける芳香族ポリエーテルケトンの含有量が上記下限値以上であれば、電解メッキ銅薄膜層20に対するフィルム状の絶縁樹脂層10aの接着力をより強くすることができる。
The film-shaped insulating resin layer 10a may contain other resins in addition to the aromatic polyetherketone. Examples of other resins include polyimide, polyamideimide, polyamide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene sulfide, polyphenylene sulfide, polyphenylene sulfide sulfide, polyphenylene sulfide ketone and the like.
The content of the aromatic polyetherketone in the film-shaped insulating resin layer 10a is preferably 50% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 70% by mass or more and 100% by mass or less, and 80% by mass or more. It is more preferably 100% by mass or less. The film-shaped insulating resin layer 10a may be composed of only aromatic polyetherketone. When the content of the aromatic polyetherketone in the film-shaped insulating resin layer 10a is at least the above lower limit value, the adhesive force of the film-shaped insulating resin layer 10a to the electroplated copper thin film layer 20 can be further strengthened.

フィルム状の絶縁樹脂層10aの厚さは、0.1μm以上30μm以下が好ましく、2.0μm以上10μm以下がより好ましく、2.0μm以上5.0μm以下がさらに好ましく、3.0μm以上5.0μm以下が特に好ましい。フィルム状の絶縁樹脂層10aの厚さが上記範囲の下限値以上であれば、フィルム状の絶縁樹脂層10aが保護層としての機能を十分に発揮できる。フィルム状の絶縁樹脂層10aの厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。 The thickness of the film-shaped insulating resin layer 10a is preferably 0.1 μm or more and 30 μm or less, more preferably 2.0 μm or more and 10 μm or less, further preferably 2.0 μm or more and 5.0 μm or less, and 3.0 μm or more and 5.0 μm. The following are particularly preferred. When the thickness of the film-shaped insulating resin layer 10a is equal to or greater than the lower limit of the above range, the film-shaped insulating resin layer 10a can sufficiently exhibit the function as a protective layer. When the thickness of the film-shaped insulating resin layer 10a is equal to or less than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned.

<電解メッキ銅薄膜層>
電解メッキ銅薄膜層20は、電解メッキ法により形成された銅薄膜からなる層である。電解メッキ銅薄膜層20は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波シールド層等として機能する。
<Electroplated copper thin film layer>
The electroplated copper thin film layer 20 is a layer made of a copper thin film formed by an electrolytic plating method. Since the electroplated copper thin film layer 20 is formed so as to spread in the surface direction, it has conductivity in the surface direction and functions as an electromagnetic wave shield layer or the like.

電解メッキ銅薄膜層20は、電解メッキ法で形成しているため、1μm以上の厚みの金属薄膜層を精度よく安定して作製できる。よって、電解メッキ法により形成された銅薄膜からなる層を金属薄膜層として使用する本発明に係る電磁波シールドフィルムは、FPCに対するシールド性、及び伝送特性に優れている。 Since the electroplated copper thin film layer 20 is formed by the electroplating method, a metal thin film layer having a thickness of 1 μm or more can be produced accurately and stably. Therefore, the electromagnetic wave shield film according to the present invention, which uses a layer made of a copper thin film formed by an electrolytic plating method as a metal thin film layer, is excellent in shielding properties against FPC and transmission characteristics.

電解メッキ銅薄膜層20の表面抵抗は、0.001Ω以上1Ω以下が好ましく、0.001Ω以上0.1Ω以下がより好ましい。電解メッキ銅薄膜層20の表面抵抗が上記範囲の下限値以上であれば、電解メッキ銅薄膜層20を十分に薄くできる。電解メッキ銅薄膜層20の表面抵抗が上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールド層として十分に機能できる。 The surface resistance of the electroplated copper thin film layer 20 is preferably 0.001 Ω or more and 1 Ω or less, and more preferably 0.001 Ω or more and 0.1 Ω or less. When the surface resistance of the electroplated copper thin film layer 20 is at least the lower limit of the above range, the electroplated copper thin film layer 20 can be sufficiently thinned. When the surface resistance of the electroplated copper thin film layer 20 is not more than the upper limit of the above range, it can sufficiently function as an electromagnetic wave shielding layer.

電解メッキ銅薄膜層20の厚さは、0.01μm以上5μm以下が好ましく、0.05μm以上5μm以下がより好ましく、1μm以上3μm以下がさらに好ましく、1μm以上2μm以下が特に好ましい。電解メッキ銅薄膜層20の厚さが0.01μm以上であれば、面方向の導電性がさらに良好になる。電解メッキ銅薄膜層20の厚さが0.05μm以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。電解メッキ銅薄膜層20の厚さが1μm以上であれば、FPCの伝送特性がさらに良好になる。電解メッキ銅薄膜層20の厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の生産性、可とう性がよくなる。 The thickness of the electroplated copper thin film layer 20 is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less, more preferably 0.05 μm or more and 5 μm or less, further preferably 1 μm or more and 3 μm or less, and particularly preferably 1 μm or more and 2 μm or less. When the thickness of the electroplated copper thin film layer 20 is 0.01 μm or more, the conductivity in the plane direction is further improved. When the thickness of the electroplated copper thin film layer 20 is 0.05 μm or more, the shielding effect of electromagnetic noise is further improved. When the thickness of the electroplated copper thin film layer 20 is 1 μm or more, the transmission characteristics of the FPC are further improved. When the thickness of the electroplated copper thin film layer 20 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shield film 1 can be thinned. In addition, the productivity and flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 are improved.

<接着剤層>
接着剤層22は、電磁波シールドフィルム1を絶縁フィルム付きプリント配線板に貼り付けるための層である。
接着剤層22は、導電性を有さない単なる接着剤層であってもよく、電磁波シールドフィルム1とプリント配線板とを電気的に接続するための導電性を有する導電性接着剤層であってもよい。接着剤層22としては、電解メッキ銅薄膜層20を電磁波シールド層として十分に機能させる点から、導電性接着剤層が好ましい。
<Adhesive layer>
The adhesive layer 22 is a layer for attaching the electromagnetic wave shielding film 1 to a printed wiring board with an insulating film.
The adhesive layer 22 may be a simple adhesive layer having no conductivity, and is a conductive adhesive layer having conductivity for electrically connecting the electromagnetic wave shielding film 1 and the printed wiring board. You may. As the adhesive layer 22, a conductive adhesive layer is preferable from the viewpoint that the electroplated copper thin film layer 20 sufficiently functions as an electromagnetic wave shielding layer.

<<導電性接着剤層>>
導電性接着剤層は、少なくとも厚さ方向に導電性を有し、かつ接着性を有する。
導電性接着剤層としては、厚さ方向に導電性を有し、面方向には導電性を有さない異方導電性接着剤層24、または厚さ方向および面方向に導電性を有する等方導電性接着剤層26が挙げられる。導電性接着剤層としては、導電性接着剤層を薄くでき、導電性粒子の量が少なくなり、その結果、電磁波シールドフィルム1を薄くでき、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる点からは、異方導電性接着剤層24が好ましい。導電性接着剤層としては、電磁波シールド層として十分に機能できる点からは、等方導電性接着剤層26が好ましい。
<< Conductive Adhesive Layer >>
The conductive adhesive layer has at least conductivity in the thickness direction and has adhesiveness.
As the conductive adhesive layer, the anisotropic conductive adhesive layer 24 which has conductivity in the thickness direction and does not have conductivity in the surface direction, or has conductivity in the thickness direction and the surface direction, etc. The anisotropic conductive adhesive layer 26 can be mentioned. As the conductive adhesive layer, the conductive adhesive layer can be thinned and the amount of conductive particles is reduced, and as a result, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned and the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved. , The anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferable. As the conductive adhesive layer, the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferable from the viewpoint that it can sufficiently function as an electromagnetic wave shielding layer.

導電性接着剤層としては、接着剤と導電性粒子とを含む層が挙げられる。
異方導電性接着剤層24は、例えば、接着剤24aと導電性粒子24bとを含む。
等方導電性接着剤層26は、例えば、接着剤26aと導電性粒子26bとを含む。
Examples of the conductive adhesive layer include a layer containing an adhesive and conductive particles.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 contains, for example, an adhesive 24a and conductive particles 24b.
The isotropic conductive adhesive layer 26 contains, for example, an adhesive 26a and conductive particles 26b.

接着剤としては、溶剤揮散型接着剤、熱硬化性接着剤、及び、これらの混合物等が挙げられる。
溶剤揮散型接着剤としては、熱可塑性樹脂と溶剤とを含むものが挙げられる。
熱硬化性接着剤としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含むものが挙げられる。
Examples of the adhesive include a solvent volatilization type adhesive, a thermosetting adhesive, and a mixture thereof.
Examples of the solvent volatilization type adhesive include those containing a thermoplastic resin and a solvent.
Examples of the thermosetting adhesive include those containing a thermosetting resin and a curing agent.

熱可塑性樹脂としては、酢酸ビニル樹脂、エチレン酢酸ビニル樹脂、ポリビニルアルコール、塩化ビニル樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリスチレン樹脂、シアノアクリレート、セルロース等が挙げられる。 Examples of the thermoplastic resin include vinyl acetate resin, ethylene vinyl acetate resin, polyvinyl alcohol, vinyl chloride resin, acrylic resin, polyamide resin, polystyrene resin, cyanoacrylate, and cellulose.

熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
熱硬化性接着剤を含む導電性接着剤層は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, ultraviolet curable acrylate resin and the like. As the thermosetting resin, an epoxy resin is preferable because it has excellent heat resistance.
Examples of the curing agent include known curing agents depending on the type of thermosetting resin.
The conductive adhesive layer containing the thermosetting adhesive may be in an uncured state or in a B-staged state.

接着剤は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム、アクリルゴム等)、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
接着剤は、必要に応じて難燃剤を含んでいてもよい。
接着剤は、導電性接着剤層の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル(ガラス繊維等)を含んでいてもよい。
接着剤は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The adhesive may contain a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility, a tackifier, and the like.
The adhesive may contain a flame retardant, if desired.
The adhesive may contain a cellulose resin, microfibrils (glass fiber, etc.) in order to increase the strength of the conductive adhesive layer and improve the punching characteristics.
The adhesive may contain other components, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired.

導電性粒子としては、金属(銀、白金、金、銅、ニッケル、パラジウム、アルミニウム、ハンダ等)の粒子、黒鉛粉、焼成カーボン粒子、めっきされた焼成カーボン粒子等が挙げられる。導電性粒子としては、導電性接着剤層が適度の硬さを有するようになり、熱プレスの際の導電性接着剤層における圧力損失を低減できる点からは、金属粒子が好ましく、銅粒子がより好ましい。 Examples of the conductive particles include metal (silver, platinum, gold, copper, nickel, palladium, aluminum, solder, etc.) particles, graphite powder, calcined carbon particles, plated calcined carbon particles, and the like. As the conductive particles, metal particles are preferable, and copper particles are preferable from the viewpoint that the conductive adhesive layer has an appropriate hardness and the pressure loss in the conductive adhesive layer during hot pressing can be reduced. More preferred.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの平均粒子径は、2μm以上26μm以下が好ましく、4μm以上16μm以下がより好ましい。導電性粒子24bの平均粒子径が上記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の厚さを確保することができ、十分な接着強度を得ることができる。導電性粒子24bの平均粒子径が上記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。 The average particle diameter of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 2 μm or more and 26 μm or less, and more preferably 4 μm or more and 16 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is at least the lower limit of the above range, the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be secured, and sufficient adhesive strength can be obtained. When the average particle diameter of the conductive particles 24b is equal to or less than the upper limit of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 (following the shape of the through holes of the insulating film) can be ensured, and the insulating film The inside of the through hole can be sufficiently filled with the conductive adhesive.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの平均粒子径は、0.1μm以上10μm以下が好ましく、0.2μm以上1μm以下がより好ましい。導電性粒子26bの平均粒子径が上記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの接触点数が増えることになり、3次元方向の導通性を安定的に高めることができる。導電性粒子26bの平均粒子径が上記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。 The average particle diameter of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, and more preferably 0.2 μm or more and 1 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is equal to or greater than the lower limit of the above range, the number of contact points of the conductive particles 26b increases, and the conductivity in the three-dimensional direction can be stably increased. When the average particle diameter of the conductive particles 26b is equal to or less than the upper limit of the above range, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through holes of the insulating film) can be ensured, and the insulating film The inside of the through hole can be sufficiently filled with the conductive adhesive.

異方導電性接着剤層24における導電性粒子24bの割合は、異方導電性接着剤層24の100体積%のうち、1体積%以上30体積%以下が好ましく、2体積%以上10体積%以下がより好ましい。導電性粒子24bの割合が上記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の導電性が良好になる。導電性粒子24bの割合が上記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着剤層24の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The proportion of the conductive particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1% by volume or more and 30% by volume or less, preferably 2% by volume or more and 10% by volume, out of 100% by volume of the anisotropic conductive adhesive layer 24. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 24b is equal to or higher than the lower limit of the above range, the conductivity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 becomes good. When the proportion of the conductive particles 24b is not more than the upper limit of the above range, the adhesiveness and fluidity (following the shape of the through hole of the insulating film) of the anisotropic conductive adhesive layer 24 are improved. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着剤層26における導電性粒子26bの割合は、等方導電性接着剤層26の100体積%のうち、50体積%以上80体積%以下が好ましく、60体積%以上70体積%以下がより好ましい。導電性粒子26bの割合が上記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になる。導電性粒子26bの割合が上記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The proportion of the conductive particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 50% by volume or more and 80% by volume or less, preferably 60% by volume or more and 70% by volume, out of 100% by volume of the isotropic conductive adhesive layer 26. The following is more preferable. When the ratio of the conductive particles 26b is equal to or higher than the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 becomes good. When the proportion of the conductive particles 26b is not more than the upper limit of the above range, the adhesiveness and fluidity (following the shape of the through hole of the insulating film) of the isotropic conductive adhesive layer 26 are improved. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

異方導電性接着剤層24の表面抵抗は、1×10Ω以上1×1016Ω以下が好ましく、1×10Ω以上1×1014Ω以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が上記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子24bの含有量が低く抑えられる。異方導電性接着剤層24の表面抵抗が上記範囲の上限値以下であれば、実用上、異方性に問題がない。 The surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1 × 10 4 Ω or more and 1 × 10 16 Ω or less, and more preferably 1 × 10 6 Ω or more and 1 × 10 14 Ω or less. When the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is at least the lower limit of the above range, the content of the conductive particles 24b can be suppressed to a low level. If the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is equal to or less than the upper limit of the above range, there is no problem in anisotropy in practical use.

等方導電性接着剤層26の表面抵抗は、0.05Ω以上2.0Ω以下が好ましく、0.1Ω以上1.0Ω以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が上記範囲の下限値以上であれば、導電性粒子26bの含有量が低く抑えられ、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)をさらに確保できる。等方導電性接着剤層26の表面抵抗が上記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着剤層26の全面が均一な導電性を有するものとなる。 The surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.05 Ω or more and 2.0 Ω or less, and more preferably 0.1 Ω or more and 1.0 Ω or less. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or higher than the lower limit of the above range, the content of the conductive particles 26b is suppressed to a low level, the viscosity of the conductive adhesive does not become too high, and the coatability is further improved. It will be good. Further, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be further ensured. When the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or less than the upper limit of the above range, the entire surface of the isotropic conductive adhesive layer 26 has uniform conductivity.

異方導電性接着剤層24の厚さは、3μm以上25μm以下が好ましく、5μm以上15μm以下がより好ましい。異方導電性接着剤層24の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着剤層24の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。異方導電性接着剤層24の厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 3 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 15 μm or less. When the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the fluidity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be ensured. The inside of the through hole of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive. When the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着剤層26の厚さは、5μm以上20μm以下が好ましく、7μm以上17μm以下がより好ましい。等方導電性接着剤層26の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着剤層26の導電性が良好になり、電磁波シールド層として十分に機能できる。また、等方導電性接着剤層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができ、耐折性も確保でき繰り返し折り曲げても等方導電性接着剤層26が断裂することはない。等方導電性接着剤層26の厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 5 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 7 μm or more and 17 μm or less. When the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is at least the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 becomes good, and the isotropic conductive adhesive layer 26 can sufficiently function as an electromagnetic wave shielding layer. Further, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (following the shape of the through hole of the insulating film) can be ensured, and the inside of the through hole of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive, so that the resistance can be improved. Foldability can be ensured, and the isotropic conductive adhesive layer 26 does not tear even if it is repeatedly bent. When the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is not more than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be thinned. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

<第1の離型フィルム>
第1の離型フィルム30は、絶縁樹脂層10の保護フィルムとなるものであり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。第1の離型フィルム30は、電磁波シールドフィルム1を絶縁フィルム付きプリント配線板に貼り付けた後には、絶縁樹脂層10から剥離される。
<First release film>
The first release film 30 serves as a protective film for the insulating resin layer 10, and improves the handleability of the electromagnetic wave shielding film 1. The first release film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10 after the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to the printed wiring board with the insulating film.

第1の離型フィルム30は、例えば、基材層32と、基材層32の絶縁樹脂層10側の表面に設けられた粘着剤層又は離型剤層34とを有する。尚、本明細書においては、粘着剤層又は離型剤層34を粘着剤層/離型剤層34とも表す。
第1の離型フィルム30は、基材層32の表面に粘着剤層/離型剤層34を直接設けたものであってもよく;絶縁樹脂層10の表面に粘着剤層/離型剤層34を設けた後、粘着剤層/離型剤層34の表面に基材層32を貼り付けることによって、基材層32の表面に粘着剤層/離型剤層34を設けたものであってもよい。
The first release film 30 has, for example, a base material layer 32 and a pressure-sensitive adhesive layer or a mold release agent layer 34 provided on the surface of the base material layer 32 on the insulating resin layer 10 side. In the present specification, the pressure-sensitive adhesive layer or the mold release agent layer 34 is also referred to as the pressure-sensitive adhesive layer / mold release agent layer 34.
The first release film 30 may have the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer 34 directly provided on the surface of the base material layer 32; the pressure-sensitive adhesive layer / release agent on the surface of the insulating resin layer 10. After the layer 34 is provided, the base material layer 32 is attached to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer 34, whereby the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer 34 is provided on the surface of the base material layer 32. There may be.

基材層32の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(以下、PETとも記す。)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられる。樹脂材料としては、電磁波シールドフィルム1を製造する際の耐熱性(寸法安定性)および価格の点から、PETが好ましい。
基材層32は、着色剤またはフィラーを含んでいてもよい。
Examples of the resin material of the base material layer 32 include polyethylene terephthalate (hereinafter, also referred to as PET), polyethylene naphthalate, polyethylene isophthalate, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyacetate, polycarbonate, polyvinylidene sulfide, polyamide, and ethylene-vinyl acetate. Examples thereof include polymers, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, synthetic rubber, and liquid crystal polymers. As the resin material, PET is preferable from the viewpoint of heat resistance (dimensional stability) and price when manufacturing the electromagnetic wave shielding film 1.
The base material layer 32 may contain a colorant or a filler.

基材層32の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、25μm以上100μm以下がさらに好ましい。基材層32の厚さが上記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性が良好となる。基材層32の厚さが上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を絶縁フィルム付きプリント配線板に熱プレスする際に接着剤層22に熱が伝わりやすい。 The thickness of the base material layer 32 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and further preferably 25 μm or more and 100 μm or less. When the thickness of the base material layer 32 is at least the lower limit of the above range, the handleability of the electromagnetic wave shielding film 1 is good. When the thickness of the base material layer 32 is not more than the upper limit of the above range, heat is easily transferred to the adhesive layer 22 when the electromagnetic wave shielding film 1 is hot-pressed on the printed wiring board with an insulating film.

基材層と絶縁樹脂層との間には、粘着剤層34又は離型剤層34が配される。
第1の離型フィルム30が粘着剤層又は離型剤層34を有することによって、第2の離型フィルム40を接着剤層22から剥離する際や電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に熱プレスによって貼り付ける際に、第1の離型フィルム30が絶縁樹脂層10から剥離することが抑えられ、第1の離型フィルム30が保護フィルムとしての役割を十分に果たすことができる。
粘着剤としては、公知の粘着剤を用いればよい。
また、離型剤層34は、基材層32の表面に、離型剤による離型処理が施して形成されたものである。第1の離型フィルム30が離型剤層34を有することによって、第1の離型フィルム30を絶縁樹脂層10から剥離する際に、第1の離型フィルム30を剥離しやすく、絶縁樹脂層10が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
A pressure-sensitive adhesive layer 34 or a release agent layer 34 is arranged between the base material layer and the insulating resin layer.
Since the first release film 30 has the adhesive layer or the release agent layer 34, when the second release film 40 is peeled from the adhesive layer 22, the electromagnetic wave shield film 1 is heated to a printed wiring board or the like. When affixed by a press, the first release film 30 is prevented from peeling from the insulating resin layer 10, and the first release film 30 can sufficiently serve as a protective film.
As the pressure-sensitive adhesive, a known pressure-sensitive adhesive may be used.
Further, the mold release agent layer 34 is formed by subjecting the surface of the base material layer 32 to a mold release treatment with a mold release agent. Since the first release film 30 has the release agent layer 34, when the first release film 30 is peeled from the insulating resin layer 10, the first release film 30 can be easily peeled off, and the insulating resin. The layer 10 is less likely to break.
As the release agent, a known release agent may be used.

粘着剤層34の厚さは、0.05μm以上50.0μm以下が好ましく、0.1μm以上25.0μm以下がより好ましい。粘着剤層34の厚さが上記範囲内であれば、第1の離型フィルム30の表面が適度な粘着性を有する。
離型剤層34の厚さは、0.05μm以上2.0μm以下が好ましく、0.1μm以上1.5μm以下がより好ましい。離型剤層34の厚さが前記範囲内であれば、第1の離型フィルムをさらに剥離しやすくなる。
The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 34 is preferably 0.05 μm or more and 50.0 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 25.0 μm or less. When the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer 34 is within the above range, the surface of the first release film 30 has appropriate adhesiveness.
The thickness of the release agent layer 34 is preferably 0.05 μm or more and 2.0 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 1.5 μm or less. When the thickness of the release agent layer 34 is within the above range, the first release film can be more easily peeled off.

<第2の離型フィルム>
第2の離型フィルム40は、接着剤層22を保護するものであり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。第2の離型フィルム40は、電磁波シールドフィルム1を絶縁フィルム付きプリント配線板に貼り付ける前に、接着剤層22から剥離される。
<Second release film>
The second release film 40 protects the adhesive layer 22 and improves the handleability of the electromagnetic wave shielding film 1. The second release film 40 is peeled off from the adhesive layer 22 before the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to the printed wiring board with an insulating film.

第2の離型フィルム40は、例えば、基材層42と、基材層42の導電性接着剤層側の表面に設けられた離型剤層又は粘着剤層44とを有する。
尚、本明細書においては、離型剤層又は粘着剤層44を、離型剤層/粘着剤層44とも表す。
The second release film 40 has, for example, a base material layer 42 and a release agent layer or a pressure-sensitive adhesive layer 44 provided on the surface of the base material layer 42 on the conductive adhesive layer side.
In the present specification, the release agent layer or the pressure-sensitive adhesive layer 44 is also referred to as a release agent layer / pressure-sensitive adhesive layer 44.

基材層42の樹脂材料としては、第1の離型フィルム30の基材層32の樹脂材料と同様なものが挙げられる。
基材層42は、着色剤またはフィラーを含んでいてもよい。
基材層42の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、25μm以上100μm以下がさらに好ましい。
Examples of the resin material of the base material layer 42 include the same resin materials as those of the base material layer 32 of the first release film 30.
The base material layer 42 may contain a colorant or a filler.
The thickness of the base material layer 42 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and further preferably 25 μm or more and 100 μm or less.

基材層42と接着剤層22との間には、離型剤層44又は粘着剤層44が配される。
離型剤層44は、基材層42の表面に、離型剤による離型処理が施して形成されたものである。第2の離型フィルム40が離型剤層44を有することによって、第2の離型フィルム40を接着剤層22から剥離する際に、第2の離型フィルム40を剥離しやすく、接着剤層22が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
A mold release agent layer 44 or an adhesive layer 44 is arranged between the base material layer 42 and the adhesive layer 22.
The release agent layer 44 is formed by subjecting the surface of the base material layer 42 to a mold release treatment with a release agent. Since the second release film 40 has the release agent layer 44, when the second release film 40 is peeled from the adhesive layer 22, the second release film 40 can be easily peeled off, and the adhesive. The layer 22 is less likely to break.
As the release agent, a known release agent may be used.

離型剤層44の厚さは、0.05μm以上2.0μm以下が好ましく、0.1μm以上1.5μm以下がより好ましい。離型剤層44の厚さが前記範囲内であれば、第2の離型フィルム40をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 44 is preferably 0.05 μm or more and 2.0 μm or less, and more preferably 0.1 μm or more and 1.5 μm or less. When the thickness of the release agent layer 44 is within the above range, the second release film 40 can be more easily peeled off.

粘着剤層44としては、上記<第1の離型フィルム>の欄で説明した粘着剤層34と同様なものが使用できる。 As the pressure-sensitive adhesive layer 44, the same pressure-sensitive adhesive layer 34 as described in the above section <1st release film> can be used.

<電磁波シールドフィルムの構成>
本発明において、電磁波シールドフィルムは、少なくとも、絶縁樹脂層、電解メッキ銅薄膜層、及び接着剤層を有していればよい。電磁波シールドフィルムには、第1の離型フィルムや第2の離型フィルムが、含まれている場合もあれば、そうでない場合もある。
そこで、本明細書においては、絶縁樹脂層、電解メッキ銅薄膜層、及び接着剤層に、第1の離型フィルム及び/又は第2の離型フィルムも含めて電磁波シールドフィルムという場合と、これら離型フィルムは含めずに電磁波シールドフィルムという場合とがある。
<Structure of electromagnetic wave shield film>
In the present invention, the electromagnetic wave shielding film may have at least an insulating resin layer, an electroplated copper thin film layer, and an adhesive layer. The electromagnetic wave shielding film may or may not include a first release film and a second release film.
Therefore, in the present specification, the case where the insulating resin layer, the electrolytically plated copper thin film layer, and the adhesive layer include the first release film and / or the second release film is referred to as an electromagnetic wave shielding film, and these Sometimes it is called an electromagnetic wave shield film without including the release film.

<電磁波シールドフィルムの厚さ>
電磁波シールドフィルム1の厚さ(離型フィルムを除く)は、5μm以上45μm以下が好ましく、5μm以上30μm以下がより好ましい。電磁波シールドフィルム1の厚さ(離型フィルムを除く)が上記範囲の下限値以上であれば、第1の離型フィルム30を剥離する際に破断しにくい。電磁波シールドフィルム1の厚さ(離型フィルムを除く)が上記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を薄くできる。
<Thickness of electromagnetic wave shield film>
The thickness of the electromagnetic wave shield film 1 (excluding the release film) is preferably 5 μm or more and 45 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 30 μm or less. If the thickness of the electromagnetic wave shielding film 1 (excluding the release film) is at least the lower limit of the above range, it is unlikely to break when the first release film 30 is peeled off. When the thickness of the electromagnetic wave shielding film 1 (excluding the release film) is equal to or less than the upper limit of the above range, the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film can be thinned.

<絶縁樹脂層の表面における光の反射が抑えられた電磁波シールドフィルム>
上述した本発明に係る電磁波シールドフィルムのさらなる好ましい態様として、以下の電磁波シールドフィルムを挙げることができる。
絶縁樹脂層の表面における光の反射を抑えるために、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。例えば、絶縁樹脂層中に絶縁粒子を含有させて、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。あるいは、電磁波シールドフィルムが、絶縁樹脂層の電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、第1の離型フィルムの表面の凹凸が転写されるようにして、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させてもよい。
第1の離型フィルムの表面の凹凸が絶縁樹脂層の表面に転写されるようにする方法としては、例えば、第1の離型フィルム中の基材層に対し、基材層の表面に凹凸形状を形成させたり、第1の離型フィルム中の粘着剤層又は離型剤層に対し、層中に絶縁粒子を含有させたりすることができる。
<Electromagnetic wave shield film with suppressed light reflection on the surface of the insulating resin layer>
As a further preferable embodiment of the electromagnetic wave shielding film according to the present invention described above, the following electromagnetic wave shielding film can be mentioned.
In order to suppress the reflection of light on the surface of the insulating resin layer, an uneven shape may be formed on the surface of the insulating resin layer. For example, insulating particles may be contained in the insulating resin layer to form an uneven shape on the surface of the insulating resin layer. Alternatively, when the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side opposite to the electrolytically plated copper thin film layer of the insulating resin layer, the irregularities on the surface of the first release film are transferred. , An uneven shape may be formed on the surface of the insulating resin layer.
As a method for causing the unevenness of the surface of the first release film to be transferred to the surface of the insulating resin layer, for example, the unevenness on the surface of the base material layer with respect to the base material layer in the first release film. The shape can be formed, and insulating particles can be contained in the layer with respect to the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer in the first release film.

絶縁樹脂層の表面における光の反射をできるだけ抑えた方がよい理由は、次のとおりである。
フレキシブルプリント配線板の表面に電磁波シールドフィルムを貼り付けた後、第1の離型フィルムは絶縁樹脂層から剥離されるが、その際、第1の離型フィルムを剥離した後の絶縁樹脂層の表面は、第1の離型フィルムの表面形状が転写されて平滑であり、鏡面光沢度が高い。しかし、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の最表面となる絶縁樹脂層の表面の鏡面光沢度が高い場合、以下のような不具合がある。
・絶縁樹脂層の表面に印刷を行った場合、光の反射によって印刷された文字や絵柄の視認性が悪くなる。
・光学センサ(カメラモジュールのCCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)等の周辺にある絶縁樹脂層からの光の反射によって光学センサ等が影響を受けるおそれがある。
・絶縁樹脂層の表面に生じた傷等が目立ちやすい。
そこで、これらの不具合を生じさせないために、上述したように、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させ、絶縁樹脂層の表面における光の反射を抑えることが有効である。
The reason why it is better to suppress the reflection of light on the surface of the insulating resin layer as much as possible is as follows.
After the electromagnetic wave shielding film is attached to the surface of the flexible printed wiring board, the first release film is peeled from the insulating resin layer. At that time, the insulating resin layer after the first release film is peeled off. The surface is smooth by transferring the surface shape of the first release film, and has a high mirror gloss. However, when the surface glossiness of the surface of the insulating resin layer, which is the outermost surface of the flexible printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film, is high, there are the following problems.
-When printing is performed on the surface of the insulating resin layer, the visibility of the printed characters and patterns deteriorates due to the reflection of light.
-The optical sensor or the like may be affected by the reflection of light from the insulating resin layer around the optical sensor (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc. of the camera module).
-Scratches on the surface of the insulating resin layer are easily noticeable.
Therefore, in order not to cause these problems, it is effective to form an uneven shape on the surface of the insulating resin layer and suppress the reflection of light on the surface of the insulating resin layer as described above.

上述した絶縁樹脂層中あるいは粘着剤層/離型剤層中に含有させる絶縁粒子としては、絶縁樹脂層や粘着剤層/離型剤層の表面に凹凸を付与することができれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、無機粒子、ポリマー粒子等を使用することができる。
無機粒子としては、例えば、シリカ粒子、炭酸カルシウム粒子、酸化チタン粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。
ポリマー粒子としては、例えば、アクリル粒子、メラミン粒子等が挙げられる。
The insulating particles contained in the above-mentioned insulating resin layer or the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer are particularly limited as long as the surfaces of the insulating resin layer and the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer can be provided with irregularities. However, it can be appropriately selected depending on the intended purpose, but for example, inorganic particles, polymer particles and the like can be used.
Examples of the inorganic particles include silica particles, calcium carbonate particles, titanium oxide particles, alumina particles and the like.
Examples of the polymer particles include acrylic particles and melamine particles.

基材層の表面に凹凸形状を形成させるには、例えば、以下の方法により、基材層の表面を粗面化することが挙げられる。
基材層32の表面に砥粒を吹き付ける方法(ブラスト処理)、基材層32の表面にエンボスロールの凹凸を転写する方法(エンボス処理)、基材層32に粒子を含ませる方法等が挙げられる。
その他、例えば、特開2018−166167号公報に開示されている方法を用いて、絶縁樹脂層の表面に凹凸形状を形成させた電磁波シールドフィルム1を作製することができる。
In order to form an uneven shape on the surface of the base material layer, for example, the surface of the base material layer may be roughened by the following method.
Examples include a method of spraying abrasive grains on the surface of the base material layer 32 (blast treatment), a method of transferring the unevenness of the embossing roll to the surface of the base material layer 32 (embossing treatment), a method of including particles in the base material layer 32, and the like. Be done.
In addition, for example, the electromagnetic wave shield film 1 having an uneven shape formed on the surface of the insulating resin layer can be produced by using the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-166167.

図10は、本発明に係る電磁波シールドフィルムの第5の実施形態を示す断面図である。
図10で示す第5の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、図1で示す第1の実施形態の電磁波シールドフィルムに対して、粘着剤層34が、粘着剤34a及び絶縁粒子34bで構成されており、粘着剤層34の表面が、絶縁粒子34bにより凹凸が形成されている点が違っている。また、図10で示す第5の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、図1で示す第1の実施形態の電磁波シールドフィルムに対して、基材層32の粘着剤層とは反対側の表面が粗面化処理され凹凸形状を有している点が違っている。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a fifth embodiment of the electromagnetic wave shielding film according to the present invention.
In the electromagnetic wave shielding film 1 of the fifth embodiment shown in FIG. 10, the pressure-sensitive adhesive layer 34 is composed of the pressure-sensitive adhesive 34a and the insulating particles 34b with respect to the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment shown in FIG. The difference is that the surface of the pressure-sensitive adhesive layer 34 is unevenly formed by the insulating particles 34b. Further, the electromagnetic wave shielding film 1 of the fifth embodiment shown in FIG. 10 has a surface of the base material layer 32 opposite to the adhesive layer of the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment shown in FIG. The difference is that it is roughened and has an uneven shape.

(電磁波シールドフィルムの製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、電解メッキ法により形成した電解メッキ銅薄膜層に対して、一方の表面に絶縁樹脂層を設け、他方の表面に接着剤層を設けることに特徴がある。絶縁樹脂層の表面に金属を蒸着して金属薄膜層を形成する場合に比べ、電解メッキ銅薄膜層の表面に絶縁樹脂層を設けた方が、絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層との接着性が良好となる。また、本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、接着剤層と電解メッキ銅薄膜層との接着性が良好な電磁波シールドフィルムを製造することができる。
さらに、本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、銅薄膜層を電解メッキ法により形成しているため、1μm以上の膜厚でも良好な成膜状態の銅薄膜層を得ることができ、FPCに対するシールド性及び伝送特性に優れた電磁波シールドフィルムを製造することができる。そのうえ、本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、電磁波シールドフィルムを、簡便かつ低コストな方法で製造することができる。
(Manufacturing method of electromagnetic wave shield film)
The method for producing an electromagnetic wave shield film of the present invention is characterized in that an insulating resin layer is provided on one surface and an adhesive layer is provided on the other surface of the electroplated copper thin film layer formed by the electroplating method. .. Compared to the case where metal is vapor-deposited on the surface of the insulating resin layer to form a metal thin film layer, it is better to provide the insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer to adhere the insulating resin layer to the electrolytically plated copper thin film layer. The property becomes good. Further, the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention can produce an electromagnetic wave shielding film having good adhesiveness between an adhesive layer and an electroplated copper thin film layer.
Further, in the method for producing an electromagnetic wave shield film of the present invention, since the copper thin film layer is formed by an electrolytic plating method, a copper thin film layer in a good film-forming state can be obtained even with a film thickness of 1 μm or more, and the copper thin film layer can be obtained for FPC. An electromagnetic wave shield film having excellent shielding properties and transmission characteristics can be manufactured. Moreover, the method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention can produce an electromagnetic wave shielding film by a simple and low-cost method.

本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法は、下記の工程(a)〜(c)を有する。
工程(a):必要に応じて、キャリア銅箔の表面に電解メッキ法により電解メッキ銅薄膜層を設ける工程。
工程(b):キャリア銅箔の表面に電解メッキ法により設けられた電解メッキ銅薄膜層に対して、電解メッキ銅薄膜層の表面に接着剤層を設ける工程。
工程(c):キャリア銅箔を電解メッキ銅薄膜層から剥離し、電解メッキ銅薄膜層の接着剤層とは反対側の表面に絶縁樹脂層を設ける工程。
The method for producing an electromagnetic wave shielding film of the present invention has the following steps (a) to (c).
Step (a): A step of providing an electroplated copper thin film layer on the surface of the carrier copper foil by an electroplating method, if necessary.
Step (b): A step of providing an adhesive layer on the surface of the electroplated copper thin film layer with respect to the electroplated copper thin film layer provided on the surface of the carrier copper foil by the electroplating method.
Step (c): A step of peeling the carrier copper foil from the electroplated copper thin film layer and providing an insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer opposite to the adhesive layer.

<工程(a)>
キャリア銅箔の表面には、必要に応じて離型剤層が配されていてもよい。
離型剤層の離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
<Step (a)>
A mold release agent layer may be arranged on the surface of the carrier copper foil, if necessary.
As the release agent of the release agent layer, a known release agent may be used.

電解メッキ銅薄膜層の作製方法としては、例えば、以下のような方法を用いることができる。
表面に離型剤層104が設けられたキャリア銅箔102を用意する。ここで、離型剤層は、キャリア銅箔を三酸化クロム水溶液に浸漬してキャリア銅箔表面をクロメート処理する等の公知の方法により、キャリア銅箔表面に形成させることができる。
次に、このキャリア銅箔102を硫酸/硫酸銅浴液に浸漬して、電解メッキ法によりキャリア銅箔102の離型剤層104上に電解メッキ銅薄膜層(電解銅箔)20を形成する。
このように、電解メッキ法によると、析出された銅が積層され、銅皮膜が形成されるため、電解メッキ法で作製することにより、表面が粗面化された銅薄膜層を形成することができる。この電解メッキ銅薄膜層の表面が所望な大きさの凹凸形状を有しているということも、電解メッキ銅薄膜層と接着剤層との接着性をより高めるうえで、効果を発揮している。
尚、電解メッキ銅薄膜層の接着剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)は、例えば、0.5μm以上2.5μm以下であることが好ましい。算術平均粗さ(Ra)が、0.5μm以上2.5μm以下の範囲であれば、より電解メッキ銅薄膜層と接着剤層との接着性を向上できるという効果が期待できる。
As a method for producing the electroplated copper thin film layer, for example, the following method can be used.
A carrier copper foil 102 provided with a release agent layer 104 on the surface is prepared. Here, the release agent layer can be formed on the surface of the carrier copper foil by a known method such as immersing the carrier copper foil in an aqueous solution of chromium trioxide to chromate the surface of the carrier copper foil.
Next, the carrier copper foil 102 is immersed in a sulfuric acid / copper sulfate bath solution to form an electrolytically plated copper thin film layer (electrolytic copper foil) 20 on the mold release agent layer 104 of the carrier copper foil 102 by an electrolytic plating method. ..
As described above, according to the electroplating method, the precipitated copper is laminated to form a copper film. Therefore, by producing by the electroplating method, a copper thin film layer having a roughened surface can be formed. it can. The fact that the surface of the electroplated copper thin film layer has an uneven shape of a desired size is also effective in further enhancing the adhesiveness between the electroplated copper thin film layer and the adhesive layer. ..
The arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the electroplated copper thin film layer on the adhesive layer side is preferably, for example, 0.5 μm or more and 2.5 μm or less. When the arithmetic mean roughness (Ra) is in the range of 0.5 μm or more and 2.5 μm or less, the effect of further improving the adhesiveness between the electroplated copper thin film layer and the adhesive layer can be expected.

キャリア銅箔に電解銅箔を設けた市販の積層体を入手することによって、工程(a)を省略してもよい。 The step (a) may be omitted by obtaining a commercially available laminate in which the electrolytic copper foil is provided on the carrier copper foil.

<工程(b)>
工程(b)においては、第2の離型フィルムの表面に接着剤層を設けた接着剤層付き第2の離型フィルムを、電解メッキ銅薄膜層の表面に、電解メッキ銅薄膜層と接着剤層とが接するように貼り付けてもよく;電解メッキ銅薄膜層の表面に接着剤層を直接設けてもよい。また、電解メッキ銅薄膜層の表面に接着剤層を設けた後、接着剤層の表面に第2の離型フィルムを貼り付けてもよい。
<Step (b)>
In the step (b), the second release film with an adhesive layer provided with an adhesive layer on the surface of the second release film is adhered to the surface of the electrolytically plated copper thin film layer with the electrolytically plated copper thin film layer. It may be attached so as to be in contact with the agent layer; the adhesive layer may be provided directly on the surface of the electrolytically plated copper thin film layer. Further, after the adhesive layer is provided on the surface of the electroplated copper thin film layer, a second release film may be attached to the surface of the adhesive layer.

第2の離型フィルムまたは電解メッキ銅薄膜層の表面に接着剤層を設ける方法としては、第2の離型フィルムまたは電解メッキ銅薄膜層の表面に、接着剤と溶剤と必要に応じて導電性粒子とを含む塗工液を塗布し、乾燥させる方法が挙げられる。 As a method of providing an adhesive layer on the surface of the second release film or electroplated copper thin film layer, an adhesive, a solvent and, if necessary, conductivity are provided on the surface of the second release film or electroplated copper thin film layer. Examples thereof include a method of applying a coating liquid containing sex particles and drying the coating liquid.

<工程(c)>
工程(c)においては、キャリア銅箔を電解メッキ銅薄膜層から剥離する。この際、電磁波シールドフィルムが、接着剤層の電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第2の離型フィルムを有する場合、本発明の製造方法によれば、電解メッキ銅薄膜層とキャリア銅箔との界面における剥離力を、接着剤層と第2の離型フィルムとの界面における剥離力より小さくする調整を容易に行うことができる。
電解メッキ銅薄膜層とキャリア銅箔との界面における剥離力を、接着剤層と第2の離型フィルムとの界面における剥離力より小さくことで、電解メッキ銅薄膜層と接着剤層と第2の離型フィルムとの積層体に過度な負荷を与えることなく、キャリア銅箔を無理なく剥がすことができる。これにより、電解メッキ銅薄膜層、接着剤層、及び第2の離型フィルムの各層間の剥離がより生じにくい電磁波シールドフィルムを形成することができる。
電解メッキ銅薄膜層とキャリア銅箔との界面における剥離力としては、例えば、0.1N/cm以上1.5N/cm以下であると好ましい。一方、接着剤層と第2の離型フィルムとの界面における剥離力としては、例えば、0.2N/cm以上2.5N/cm以下であると好ましい。尚、第2の離型フィルムが、基材層42上に離型剤層/粘着剤層44を有する場合には、上記「接着剤層と第2の離型フィルムとの界面における剥離力」とは、「接着剤層と離型剤層/粘着剤層44との界面における剥離力」と読み替えることとする。
<Step (c)>
In the step (c), the carrier copper foil is peeled off from the electroplated copper thin film layer. At this time, when the electromagnetic wave shielding film has a second release film adjacent to the side opposite to the electrolytically plated copper thin film layer of the adhesive layer, according to the production method of the present invention, the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier It is possible to easily adjust the peeling force at the interface with the copper foil to be smaller than the peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film.
By making the peeling force at the interface between the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier copper foil smaller than the peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film, the electrolytically plated copper thin film layer, the adhesive layer, and the second The carrier copper foil can be peeled off reasonably without giving an excessive load to the laminate with the release film. As a result, it is possible to form an electromagnetic wave shielding film in which peeling between each layer of the electroplated copper thin film layer, the adhesive layer, and the second release film is less likely to occur.
The peeling force at the interface between the electroplated copper thin film layer and the carrier copper foil is preferably, for example, 0.1 N / cm or more and 1.5 N / cm or less. On the other hand, the peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film is preferably, for example, 0.2 N / cm or more and 2.5 N / cm or less. When the second release film has the release agent layer / adhesive layer 44 on the base material layer 42, the above-mentioned "peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film". Is read as "peeling force at the interface between the adhesive layer and the release agent layer / adhesive layer 44".

電解メッキ銅薄膜層の接着剤層とは反対側の表面に絶縁樹脂層を設ける方法としては、電解メッキ銅薄膜層の表面に、硬化性樹脂と硬化剤とを含む組成物を塗布し、半硬化または硬化させる方法;電解メッキ銅薄膜層の表面に、硬化性樹脂と硬化剤と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させた後、半硬化または硬化させる方法;電解メッキ銅薄膜層の表面に、熱可塑性樹脂と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させる方法;電解メッキ銅薄膜層の表面に、熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形する方法等が挙げられる。電解メッキ銅薄膜層の表面に絶縁樹脂層を設ける方法としては、絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層との接着性がさらに良好となる点から、電解メッキ銅薄膜層の表面に、樹脂材料(硬化性樹脂と硬化剤との組み合わせ、または熱可塑性樹脂)と溶剤とを含む塗工液を塗布し、乾燥させた後、必要に応じて半硬化または硬化させる方法が好ましい。 As a method of providing an insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer opposite to the adhesive layer, a composition containing a curable resin and a curing agent is applied to the surface of the electroplated copper thin film layer. Method of curing or curing; A method of applying a coating liquid containing a curable resin, a curing agent and a solvent to the surface of an electroplated copper thin film layer, drying the film, and then semi-curing or curing the electroplated copper thin film layer. A method of applying a coating liquid containing a thermoplastic resin and a solvent to the surface of the sheet and drying the surface; a method of melt-molding a composition containing the thermoplastic resin on the surface of the electroplated copper thin film layer and the like can be mentioned. As a method of providing the insulating resin layer on the surface of the electrolytically plated copper thin film layer, a resin material ( A method in which a coating liquid containing a combination of a curable resin and a curing agent or a thermoplastic resin) and a solvent is applied, dried, and then semi-cured or cured as necessary is preferable.

工程(c)においては、絶縁樹脂層の表面に第1の離型フィルムを設けてもよい。
絶縁樹脂層の表面に第1の離型フィルムを設ける方法としては、絶縁樹脂層の表面に、基材層と粘着剤層又は離型剤層とを有する第1の離型フィルムを、絶縁樹脂層と粘着剤層又は離型剤層とが接するように貼り付ける方法;絶縁樹脂層の表面に粘着剤層又は離型剤層を設けた後、粘着剤層又は離型剤層の表面に第1の離型フィルムの基材層を貼り付けることによって、絶縁樹脂層の表面に第1の離型フィルムを設ける方法等が挙げられる。
In the step (c), the first release film may be provided on the surface of the insulating resin layer.
As a method of providing the first release film on the surface of the insulating resin layer, a first release film having a base material layer and an adhesive layer or a release agent layer on the surface of the insulating resin layer is provided with an insulating resin. A method of sticking the layer so that the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer is in contact with each other; after providing the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer on the surface of the insulating resin layer, the first surface of the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer is formed. A method of providing the first release film on the surface of the insulating resin layer by attaching the base material layer of the release film of 1 can be mentioned.

<電磁波シールドフィルムの製造方法の一実施形態>
以下、図1に示す第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1を製造する方法について、図5および図6を参照しながら説明する。
<One Embodiment of Manufacturing Method of Electromagnetic Wave Shield Film>
Hereinafter, a method for manufacturing the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

工程(a):
図5に示すように、キャリア銅箔102に離型剤層104を配し、離型剤層104側の表面に、電解メッキ法により電解メッキ銅薄膜層20を設ける。このようにして、電解メッキ銅薄膜層付きキャリア銅箔(電解銅箔付きキャリア銅箔)を得る。
Step (a):
As shown in FIG. 5, the release agent layer 104 is arranged on the carrier copper foil 102, and the electroplated copper thin film layer 20 is provided on the surface on the release agent layer 104 side by an electroplating method. In this way, a carrier copper foil with an electrolytically plated copper thin film layer (carrier copper foil with an electrolytic copper foil) is obtained.

工程(b1):
図5に示すように、電解メッキ銅薄膜層付きキャリア銅箔の電解メッキ銅薄膜層側の表面に接着剤24aと導電性粒子24bと溶剤とを含む接着剤層形成用塗工液を塗布し、乾燥させて、異方導電性接着剤層24(接着剤層22)を設ける。このようにして、接着剤層付き電解メッキ銅薄膜層付きキャリア銅箔を得る。
Step (b1):
As shown in FIG. 5, a coating liquid for forming an adhesive layer containing an adhesive 24a, conductive particles 24b, and a solvent is applied to the surface of the carrier copper foil with an electrolytically plated copper thin film layer on the electrolytically plated copper thin film layer side. , Dry to provide the heteroconductive adhesive layer 24 (adhesive layer 22). In this way, a carrier copper foil with an electrolytically plated copper thin film layer with an adhesive layer is obtained.

工程(b2):
図5に示すように、基材層42と離型剤層/粘着剤層44とを有する第2の離型フィルム40の離型剤層44側と、接着剤層付き電解メッキ銅薄膜層付きキャリア銅箔とを離型剤層44と異方導電性接着剤層24とが接するように貼り合わせ、積層体を得る。
Step (b2):
As shown in FIG. 5, the release agent layer 44 side of the second release film 40 having the base material layer 42 and the release agent layer / adhesive layer 44, and the electrolytically plated copper thin film layer with the adhesive layer are attached. The carrier copper foil is bonded to each other so that the release agent layer 44 and the anisotropic conductive adhesive layer 24 are in contact with each other to obtain a laminate.

工程(c1):
図6に示すように、工程(b2)で得られた積層体において、キャリア銅箔102を電解メッキ銅薄膜層20から剥離する。
Step (c1):
As shown in FIG. 6, in the laminate obtained in the step (b2), the carrier copper foil 102 is peeled off from the electroplated copper thin film layer 20.

工程(c2):
図6に示すように、電解メッキ銅薄膜層20の表面に、樹脂材料および溶剤を含む絶縁樹脂層形成用塗工液を塗布し、乾燥させて絶縁樹脂層10を設ける。
Step (c2):
As shown in FIG. 6, a coating liquid for forming an insulating resin layer containing a resin material and a solvent is applied to the surface of the electroplated copper thin film layer 20 and dried to provide the insulating resin layer 10.

工程(c3):
図6に示すように、絶縁樹脂層10の表面に、基材層32と粘着剤層34とを有する第1の離型フィルム30を、絶縁樹脂層10と粘着剤層34とが接するように貼り付け、電磁波シールドフィルム1を得る。
Step (c3):
As shown in FIG. 6, the first release film 30 having the base material layer 32 and the adhesive layer 34 is brought into contact with the surface of the insulating resin layer 10 so that the insulating resin layer 10 and the adhesive layer 34 are in contact with each other. Attach to obtain an electromagnetic wave shield film 1.

尚、電磁波シールドフィルム1が、図3に示す第3の実施形態の電磁波シールドフィルム1である場合には、図7の工程(c1)〜(c3)に従い、製造することができる。
この場合、工程(c2)において、図7で示すように、電解メッキ銅薄膜層20の表面には、絶縁樹脂層用の接着剤層10bが配され、さらに絶縁樹脂層用の接着剤層10bの上にはフィルム状の絶縁樹脂層10aが配される。
When the electromagnetic wave shielding film 1 is the electromagnetic wave shielding film 1 of the third embodiment shown in FIG. 3, it can be manufactured according to the steps (c1) to (c3) of FIG.
In this case, in the step (c2), as shown in FIG. 7, an adhesive layer 10b for the insulating resin layer is arranged on the surface of the electrolytically plated copper thin film layer 20, and an adhesive layer 10b for the insulating resin layer is further arranged. A film-shaped insulating resin layer 10a is arranged on the film.

<作用効果>
以上説明した電磁波シールドフィルム1の製造方法にあっては、電解メッキ銅薄膜層20の表面に絶縁樹脂層10を設けているため、従来のように、硬度が高い絶縁樹脂層の表面に金属を蒸着して金属薄膜層を形成する場合に比べ、絶縁樹脂層10と電解メッキ銅薄膜層20との接着性が良好な電磁波シールドフィルム1を製造できる。
また、本発明の電磁波シールドフィルム1の製造方法は、接着剤層22と電解メッキ銅薄膜層20との接着性が良好な電磁波シールドフィルム1を製造することができる。
<Effect>
In the method for producing the electromagnetic wave shield film 1 described above, since the insulating resin layer 10 is provided on the surface of the electroplated copper thin film layer 20, metal is applied to the surface of the insulating resin layer having high hardness as in the conventional case. An electromagnetic wave shielding film 1 having better adhesion between the insulating resin layer 10 and the electroplated copper thin film layer 20 can be manufactured as compared with the case where the metal thin film layer is formed by thin film deposition.
Further, the method for producing the electromagnetic wave shielding film 1 of the present invention can produce the electromagnetic wave shielding film 1 having good adhesiveness between the adhesive layer 22 and the electroplated copper thin film layer 20.

<他の実施形態>
本発明における電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する電解メッキ銅薄膜層と、電解メッキ銅薄膜層の絶縁樹脂層とは反対側に隣接する接着剤層とを有するものであればよく、図示例の実施形態に限定はされない。
例えば、絶縁樹脂層は、2層以上であってもよい。
第1の離型フィルムは、粘着剤層の代わりに離型剤層を有していてもよい。
第2の離型フィルムは、離型剤層の代わりに粘着剤層を有していてもよい。
第1の離型フィルムまたは第2の離型フィルムは、粘着剤層または離型剤層を有さず、基材層のみからなるものであってもよい。
絶縁樹脂層が十分な柔軟性や強度を有する場合は、第1の離型フィルムを省略しても構わない。
接着剤層の表面のタック性が少ない場合は、第2の離型フィルムを省略しても構わない。
<Other Embodiments>
The electromagnetic wave shield film in the present invention has an insulating resin layer, an electrolytically plated copper thin film layer adjacent to the insulating resin layer, and an adhesive layer adjacent to the side opposite to the insulating resin layer of the electrolytically plated copper thin film layer. It suffices, and is not limited to the embodiment of the illustrated example.
For example, the insulating resin layer may be two or more layers.
The first release film may have a release agent layer instead of the pressure-sensitive adhesive layer.
The second release film may have a pressure-sensitive adhesive layer instead of the release agent layer.
The first release film or the second release film may have no pressure-sensitive adhesive layer or release agent layer and may consist only of a base material layer.
If the insulating resin layer has sufficient flexibility and strength, the first release film may be omitted.
If the surface of the adhesive layer has little tackiness, the second release film may be omitted.

[電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法]
本発明は、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造する方法について規定する。
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法は、上記の本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法によって、電磁波シールドフィルムを製造した後、下記の工程(d)及び工程(e)を実施する。
工程(d):プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(e):電磁波シールドフィルムが第2の離型フィルムを有する場合は、電磁波シールドフィルムから第2の離型フィルムを剥離した後、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムの表面に接着剤層が接触するように重ね、これらをプレスすることによって、絶縁フィルムの表面に接着剤層を接着し、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を得る工程。
[Manufacturing method of printed wiring board with electromagnetic wave shield film]
The present invention defines a method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.
In the method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention, the following steps (d) and (e) are carried out after manufacturing the electromagnetic wave shielding film by the above-mentioned manufacturing method for the electromagnetic wave shielding film of the present invention. ..
Step (d): A step of providing an insulating film on the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided to obtain a printed wiring board with the insulating film.
Step (e): When the electromagnetic wave shielding film has a second release film, after peeling the second release film from the electromagnetic wave shielding film, the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film are separated from each other by the insulating film. A process of obtaining a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film by adhering an adhesive layer to the surface of an insulating film by stacking the adhesive layers on the surface of the film so as to make contact with each other and pressing them.

本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法については、後で詳しく説明する。まず先に本発明の製造方法において、電磁波シールドフィルムを接着する対象である電磁波シールドフィルム付きプリント配線板について説明する。 The method for manufacturing the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of the present invention will be described in detail later. First, in the manufacturing method of the present invention, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film to which the electromagnetic wave shielding film is adhered will be described.

(電磁波シールドフィルム付きプリント配線板)
図8は、本発明の製造方法で得られる電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の第1の実施形態を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2は、フレキシブルプリント配線板50と、絶縁フィルム60と、第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1とを備える。
フレキシブルプリント配線板50は、ベースフィルム52の少なくとも片面にプリント回路54が設けられたものである。
絶縁フィルム60は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60の表面に接着されている。また、異方導電性接着剤層24は、絶縁フィルム60に形成された貫通孔(図示略)を通ってプリント回路54に電気的に接続されている。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2においては、第2の離型フィルム40は、異方導電性接着剤層24から剥離されている。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2において第1の離型フィルム30が不要になった際には、第1の離型フィルム30は、絶縁樹脂層10から剥離される。
(Printed wiring board with electromagnetic wave shield film)
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film obtained by the manufacturing method of the present invention.
The flexible printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film includes a flexible printed wiring board 50, an insulating film 60, and an electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment.
The flexible printed wiring board 50 is provided with a printed circuit 54 on at least one side of the base film 52.
The insulating film 60 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on the side where the printed circuit 54 is provided.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic wave shielding film 1 is adhered to the surface of the insulating film 60. Further, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is electrically connected to the print circuit 54 through a through hole (not shown) formed in the insulating film 60.
In the flexible printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film, the second release film 40 is peeled off from the anisotropic conductive adhesive layer 24.
When the first release film 30 is no longer needed in the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film, the first release film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10.

貫通孔のある部分を除くプリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)の近傍には、電磁波シールドフィルム1の電解メッキ銅薄膜層20が、絶縁フィルム60および異方導電性接着剤層24を介して離間して対向配置される。
貫通孔のある部分を除くプリント回路54と電解メッキ銅薄膜層20との離間距離は、絶縁フィルム60の厚さと異方導電性接着剤層24の厚さの総和とほぼ等しい。離間距離は、30μm以上200μm以下が好ましく、60μm以上200μm以下がより好ましい。離間距離が30μmより小さいと、信号回路のインピーダンスが低くなるため、100Ω等の特性インピーダンスを有するためには、信号回路の線幅を小さくしなければならず、線幅のバラツキが特性インピーダンスのバラツキとなって、インピーダンスのミスマッチによる反射共鳴ノイズが電気信号に乗りやすくなる。離間距離が200μmより大きいと、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2が厚くなり、可とう性が不足する。
In the vicinity of the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) excluding the portion having a through hole, the electroplated copper thin film layer 20 of the electromagnetic wave shielding film 1 is formed with the insulating film 60 and the anisotropic conductive adhesive layer. They are arranged so as to face each other apart from each other via 24.
The separation distance between the printed circuit 54 and the electroplated copper thin film layer 20 excluding the portion having the through hole is substantially equal to the sum of the thickness of the insulating film 60 and the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24. The separation distance is preferably 30 μm or more and 200 μm or less, and more preferably 60 μm or more and 200 μm or less. If the separation distance is smaller than 30 μm, the impedance of the signal circuit becomes low. Therefore, in order to have a characteristic impedance such as 100Ω, the line width of the signal circuit must be reduced, and the variation in the line width is the variation in the characteristic impedance. Therefore, the reflected resonance noise due to the impedance mismatch can easily get on the electric signal. If the separation distance is larger than 200 μm, the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film becomes thick, and the flexibility becomes insufficient.

図11は、本発明の製造方法で得られる電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の第2の実施形態を示す断面図である。
図11で示す第2の実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、図8で示す第1の実施形態の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板において、電磁波シールドフィルム1が、第5の実施形態の電磁波シールドフィルムに変わっている点が違っている。
また、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2において第1の離型フィルム30が不要になった際には、図12に示すように、第1の離型フィルム30は、絶縁樹脂層10から剥離される。第1の離型フィルム30を剥離した後、絶縁樹脂層10の表面には、第1の離型フィルム30の粘着剤層/離型剤層34の表面の凹凸が転写されて形成された凹凸が露出する。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film obtained by the manufacturing method of the present invention.
The printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of the second embodiment shown in FIG. 11 is the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film of the first embodiment shown in FIG. The difference is that it is changed to an electromagnetic wave shield film.
Further, when the first release film 30 is no longer needed in the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film, the first release film 30 is peeled from the insulating resin layer 10 as shown in FIG. Will be done. After peeling off the first release film 30, the surface of the insulating resin layer 10 is formed by transferring the unevenness of the surface of the pressure-sensitive adhesive layer / release agent layer 34 of the first release film 30. Is exposed.

<フレキシブルプリント配線板>
フレキシブルプリント配線板50は、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路(電源回路、グランド回路、グランド層等)としたものである。
銅張積層板としては、ベースフィルム52の片面または両面に接着剤層(図示略)を介して銅箔を貼り付けたもの;銅箔の表面にベースフィルム52を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、0.5μm以上30μm以下が好ましい。
<Flexible printed wiring board>
The flexible printed wiring board 50 is a printed circuit (power supply circuit, ground circuit, ground layer, etc.) obtained by processing a copper foil of a copper-clad laminate into a desired pattern by a known etching method.
As the copper-clad laminate, a copper foil is attached to one or both sides of the base film 52 via an adhesive layer (not shown); a resin solution or the like forming the base film 52 is cast on the surface of the copper foil. Things etc. can be mentioned.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamide-imide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin and the like.
The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less.

<<ベースフィルム>>
ベースフィルム52としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
ベースフィルム52の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。ベースフィルム52の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
ベースフィルム52の厚さは、5μm以上200μm以下が好ましく、屈曲性の点から、6μm以上25μm以下がより好ましく、10μm以上25μm以下がより好ましい。
<< Base film >>
As the base film 52, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the base film 52 is preferably 1 × 10 19 Ω or less from a practical point of view.
The thickness of the base film 52 is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, more preferably 6 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 10 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.

<<プリント回路>>
プリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。
銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下が好ましく、18μm以上35μm以下がより好ましい。
プリント回路54の長さ方向の端部(端子)は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム60や電磁波シールドフィルム1に覆われていない。
<< Print circuit >>
Examples of the copper foil constituting the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) include rolled copper foil, electrolytic copper foil, and the like, and rolled copper foil is preferable from the viewpoint of flexibility.
The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 18 μm or more and 35 μm or less.
The end (terminal) of the print circuit 54 in the length direction is not covered with the insulating film 60 or the electromagnetic wave shielding film 1 because of solder connection, connector connection, component mounting, and the like.

<絶縁フィルム>
絶縁フィルム60は、絶縁フィルム本体(図示略)の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層(図示略)を形成したものである。
絶縁フィルム本体の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω以上が好ましい。絶縁フィルム本体の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω以下が好ましい。
絶縁フィルム本体としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
絶縁フィルム本体の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、可とう性の点から、3μm以上25μm以下がより好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(カルボキシ変性ニトリルゴム等)を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、1.5μm以上60μm以下がより好ましい。
<Insulation film>
The insulating film 60 has an adhesive layer (not shown) formed on one side of the insulating film main body (not shown) by applying an adhesive, attaching an adhesive sheet, or the like.
The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 6 Ω or more from the viewpoint of electrical insulation. The surface resistance of the insulating film body is preferably 1 × 10 19 Ω or less from a practical point of view.
As the insulating film main body, a film having heat resistance is preferable, a polyimide film and a liquid crystal polymer film are more preferable, and a polyimide film is further preferable.
The thickness of the insulating film body is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 3 μm or more and 25 μm or less from the viewpoint of flexibility.
Examples of the material of the adhesive layer include epoxy resin, polyester, polyimide, polyamide-imide, polyamide, phenol resin, urethane resin, acrylic resin, melamine resin, polystyrene, polyolefin and the like. The epoxy resin may contain a rubber component (carboxy-modified nitrile rubber, etc.) for imparting flexibility.
The thickness of the adhesive layer is preferably 1 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 1.5 μm or more and 60 μm or less.

貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔62の開口部の形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。 The shape of the opening of the through hole is not particularly limited. Examples of the shape of the opening of the through hole 62 include a circular shape, an elliptical shape, and a quadrangle shape.

(電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法)
本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法は、下記の工程(d)〜(g)を有する。
工程(d):プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(e):電磁波シールドフィルムが第2の離型フィルムを有する場合は、電磁波シールドフィルムから第2の離型フィルムを剥離した後、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムの表面に接着剤層が接触するように重ね、これらをプレスすることによって、絶縁フィルムの表面に接着剤層を圧着し、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(f):電磁波シールドフィルムが第1の離型フィルムを有する場合は、工程(e)の後、第1の離型フィルムが不要になった際に電磁波シールドフィルムから第1の離型フィルムを剥離する工程。
工程(g):接着剤層に含まれる接着剤が熱硬化性接着剤である場合は、必要に応じて、工程(e)と工程(f)との間、または工程(f)の後に接着剤層を本硬化させる工程。
(Manufacturing method of printed wiring board with electromagnetic wave shield film)
The method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention has the following steps (d) to (g).
Step (d): A step of providing an insulating film on the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided to obtain a printed wiring board with the insulating film.
Step (e): When the electromagnetic wave shielding film has a second release film, after peeling the second release film from the electromagnetic wave shielding film, the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film are separated from each other by the insulating film. The process of obtaining a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film by crimping the adhesive layer to the surface of the insulating film by stacking the adhesive layers on the surface of the film so that they are in contact with each other and pressing them.
Step (f): When the electromagnetic wave shield film has the first release film, after the step (e), when the first release film is no longer needed, the first release film is removed from the electromagnetic wave shield film. The process of peeling off.
Step (g): When the adhesive contained in the adhesive layer is a thermosetting adhesive, it is bonded between steps (e) and step (f) or after step (f), if necessary. The process of main curing the agent layer.

以下、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を製造する方法について、図9を参照しながら説明する。 Hereinafter, a method of manufacturing a flexible printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film will be described with reference to FIG.

<工程(d)>
図9に示すように、フレキシブルプリント配線板50に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を重ね、フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層(図示略)を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3を得る。フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層を仮接着し、工程(g)にて接着剤層を本硬化させてもよい。
接着剤層の接着および硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
<Step (d)>
As shown in FIG. 9, an insulating film 60 having a through hole 62 formed at a position corresponding to the printed circuit 54 is superposed on the flexible printed wiring board 50, and an adhesive layer of the insulating film 60 is formed on the surface of the flexible printed wiring board 50. A flexible printed wiring board 3 with an insulating film is obtained by adhering (not shown) and curing the adhesive layer. The adhesive layer of the insulating film 60 may be temporarily adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer may be mainly cured in the step (g).
The adhesive layer is adhered and cured by, for example, hot pressing with a press machine (not shown) or the like.

<工程(e)>
図9に示すように、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板3に、第2の離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1を重ね、プレスする(好ましくは熱プレスする)ことによって、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着剤層24が圧着され、かつ異方導電性接着剤層24が、貫通孔62を通ってプリント回路54に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2を得る。
<Step (e)>
As shown in FIG. 9, the insulating film 60 is formed by superimposing the electromagnetic wave shielding film 1 from which the second release film 40 has been peeled off on the flexible printed wiring plate 3 with the insulating film and pressing (preferably heat pressing) the insulating film 60. Flexible printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film in which the anisotropic conductive adhesive layer 24 is crimped to the surface and the anisotropic conductive adhesive layer 24 is electrically connected to the printed circuit 54 through the through hole 62. To get.

異方導電性接着剤層24の接着は、例えば、プレス機(図示略)等による熱プレスによって行う。
熱プレスの時間は、20秒以上60分以下が好ましく、30秒以上30分以下がより好ましい。
熱プレスの温度(プレス機の熱盤の温度)は、140℃以上190℃以下が好ましく、150℃以上175℃以下がより好ましい。
熱プレスの圧力は、0.5MPa以上20MPa以下が好ましく、1MPa以上16MPa以下がより好ましい。
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is bonded by, for example, a hot press using a press machine (not shown) or the like.
The heat pressing time is preferably 20 seconds or more and 60 minutes or less, and more preferably 30 seconds or more and 30 minutes or less.
The temperature of the hot press (the temperature of the hot plate of the press machine) is preferably 140 ° C. or higher and 190 ° C. or lower, and more preferably 150 ° C. or higher and 175 ° C. or lower.
The pressure of the hot press is preferably 0.5 MPa or more and 20 MPa or less, and more preferably 1 MPa or more and 16 MPa or less.

<工程(f)>
図9に示すように、第1の離型フィルム30が不要になった際に、絶縁樹脂層10から第1の離型フィルム30を剥離する。
<Step (f)>
As shown in FIG. 9, when the first release film 30 is no longer needed, the first release film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10.

<作用効果>
以上説明した電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2の製造方法にあっては、電磁波シールドフィルム1を用いているため、電磁波シールドフィルム1における絶縁樹脂層10と電解メッキ銅薄膜層20との接着性にも、接着剤層22と電解メッキ銅薄膜層20との接着性にも優れた電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板2を製造できる。
<Effect>
In the method for manufacturing the flexible printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film described above, since the electromagnetic wave shielding film 1 is used, the adhesiveness between the insulating resin layer 10 and the electrolytically plated copper thin film layer 20 in the electromagnetic wave shielding film 1 In addition, a flexible printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film having excellent adhesiveness between the adhesive layer 22 and the electrolytically plated copper thin film layer 20 can be manufactured.

<他の実施形態>
尚、本発明における電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、プリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、接着剤層が絶縁フィルムに隣接した電磁波シールドフィルムを有するものであればよく、図示例の実施形態に限定はされない。
例えば、フレキシブルプリント配線板は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板は、両面にプリント回路を有し、両面に絶縁フィルムおよび電磁波シールドフィルムが貼り付けられたものであってもよい。
フレキシブルプリント配線板の代わりに、柔軟性のないリジッドプリント基板を用いてもよい。
第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1の代わりに、第2〜第5の実施形態の電磁波シールドフィルム1等を用いてもよい。
<Other Embodiments>
The printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film in the present invention includes a printed wiring board, an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided, and an electromagnetic wave shield having an adhesive layer adjacent to the insulating film. Anything may have a film, and the embodiment is not limited to the illustrated example.
For example, the flexible printed wiring board may have a ground layer on the back surface side. Further, the flexible printed wiring board may have printed circuits on both sides, and an insulating film and an electromagnetic wave shielding film may be attached to both sides.
An inflexible rigid printed circuit board may be used instead of the flexible printed wiring board.
Instead of the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment, the electromagnetic wave shielding film 1 of the second to fifth embodiments may be used.

以下に実施例を挙げて本発明を更に詳述するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail with reference to Examples below, but the scope of the present invention is not limited to these Examples.

(接着性)
絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層との接着性は、以下のように評価した。
JIS K 5600−5−6:1999(ISO 2409:1992)に準拠して付着性の試験(クロスカット法)を実施した。切込みは電解メッキ銅薄膜層側から行った。5×5=25個のマスのうちの残存数から接着性を評価した。
(Adhesiveness)
The adhesiveness between the insulating resin layer and the electroplated copper thin film layer was evaluated as follows.
Adhesion test (cross-cut method) was carried out in accordance with JIS K 5600-5-6: 1999 (ISO 2409: 1992). The cut was made from the electroplated copper thin film layer side. Adhesiveness was evaluated from the remaining number of 5 × 5 = 25 cells.

(実施例1)
接着剤層形成用塗工液として、熱硬化性接着剤(エポキシ樹脂(DIC社製、EXA−4816)の100質量部と硬化剤(味の素ファインテクノ社製、PN−23)の20質量部とを混合してなる潜在硬化性エポキシ樹脂)、および導電性粒子(平均粒子径B:5.02μmの銅粒子)の6質量部を、溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に溶解または分散させたものを用意した。
(Example 1)
As a coating liquid for forming an adhesive layer, 100 parts by mass of a thermosetting adhesive (epoxy resin (DIC, EXA-4816)) and 20 parts by mass of a curing agent (Ajinomoto Fine Techno, PN-23). 6 parts by mass of conductive particles (copper particles having an average particle diameter B: 5.02 μm) dissolved or dispersed in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone). I prepared.

絶縁樹脂層形成用塗工液として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製、jER(登録商標)828)の100質量部、硬化剤(昭和電工社製、ショウアミンX(登録商標))の20質量部、2−エチル−4−メチルイミダゾールの2質量部、カーボンブラックの2質量部を溶剤(メチルエチルケトン)の200質量部に溶解した塗料を用意した。 As a coating liquid for forming an insulating resin layer, 100 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., jER® 828) and a curing agent (manufactured by Showa Denko Co., Ltd., Shoamine X (registered trademark)) A coating material was prepared in which 20 parts by mass, 2 parts by mass of 2-ethyl-4-methylimidazole, and 2 parts by mass of carbon black were dissolved in 200 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone).

工程(b1):
銅キャリア付き電解銅箔(キャリア銅箔:18μm、電解銅箔:3μm、接着剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)1.2μm)の表面に、接着剤層形成用塗工液をコンマコーターを用いて25μmの厚さで塗布した。塗膜を100℃で1分間乾燥して、異方導電性接着剤層(厚さ:10μm、表面抵抗:1.0×1012Ω以上)を設け、接着剤層付き銅キャリア付き電解銅箔を得た。
Step (b1):
An adhesive layer forming coating solution is applied to the surface of an electrolytic copper foil with a copper carrier (carrier copper foil: 18 μm, electrolytic copper foil: 3 μm, arithmetic mean roughness (Ra) 1.2 μm on the surface on the adhesive layer side). It was applied to a thickness of 25 μm using a comma coater. The coating film is dried at 100 ° C. for 1 minute to provide an anisotropic conductive adhesive layer (thickness: 10 μm, surface resistance: 1.0 × 10 12 Ω or more), and an electrolytic copper foil with a copper carrier with an adhesive layer. Got

工程(b2):
第2の離型フィルム(パナック社製、パナプロテクト(登録商標)GN、粘着フィルム、PET厚さ:75μm)と、接着剤層付き銅キャリア付き電解銅箔とを、離型剤層と異方導電性接着剤層とが接するように貼り合わせ、積層体を得た。
Step (b2):
The second release film (manufactured by Panac, PanaProtect (registered trademark) GN, adhesive film, PET thickness: 75 μm) and the electrolytic copper foil with a copper carrier with an adhesive layer are different from the release agent layer. The laminate was obtained by laminating them so as to be in contact with the conductive adhesive layer.

工程(c1):
工程(b2)で得られた積層体において、キャリア銅箔を電解メッキ銅薄膜層から剥離した。
光学顕微鏡を用いて電解メッキ銅薄膜層の状態を確認したところ、電解メッキ銅薄膜層にクラックは発生していなかった。
Step (c1):
In the laminate obtained in the step (b2), the carrier copper foil was peeled off from the electroplated copper thin film layer.
When the state of the electroplated copper thin film layer was confirmed using an optical microscope, no cracks were generated in the electroplated copper thin film layer.

尚、上記工程(b2)で得られた接着剤層付き電解メッキ銅薄膜層付きキャリア銅箔と第2の離型フィルムとの積層体における接着剤層と第2の離型フィルムの離型剤層との界面における剥離力は、0.6N/cmであった。
一方、上記工程(b1)で使用した銅キャリア付き電解銅箔における電解メッキ銅薄膜層とキャリア銅箔との界面における剥離力は、0.5N/cmであった。
The release agent for the adhesive layer and the second release film in the laminate of the carrier copper foil with the electrolytically plated copper thin film layer with the adhesive layer obtained in the above step (b2) and the second release film. The release force at the interface with the layer was 0.6 N / cm.
On the other hand, the peeling force at the interface between the electroplated copper thin film layer and the carrier copper foil in the electrolytic copper foil with a copper carrier used in the above step (b1) was 0.5 N / cm.

工程(c2):
電解メッキ銅薄膜層の表面に、絶縁樹脂層形成用塗工液を#4のバーコーターを用いて塗布した。塗膜を100℃で1分間乾燥して、電解メッキ銅薄膜層の表面に絶縁樹脂層(厚さ:10μm、表面抵抗:1.0×1012Ω以上)を設けた。
工程(c2)で得られた積層体から切り取ったサンプルについて、クロスカット法で絶縁樹脂層と電解メッキ銅薄膜層との接着性を評価したところ、残存数は25/25であった。
Step (c2):
A coating liquid for forming an insulating resin layer was applied to the surface of the electroplated copper thin film layer using a # 4 bar coater. The coating film was dried at 100 ° C. for 1 minute, and an insulating resin layer (thickness: 10 μm, surface resistance: 1.0 × 10 12 Ω or more) was provided on the surface of the electroplated copper thin film layer.
When the adhesiveness between the insulating resin layer and the electroplated copper thin film layer was evaluated by the cross-cut method for the sample cut from the laminate obtained in the step (c2), the remaining number was 25/25.

工程(c3):
絶縁樹脂層の表面に、第1の離型フィルム(パナック社製、パナプロテクト(登録商標)GN、粘着フィルム、PET厚さ:50μm)を、絶縁樹脂層と粘着剤層とが接するように貼り付け、電磁波シールドフィルムを得た。
Step (c3):
A first release film (Panac Corporation, PanaProtect (registered trademark) GN, adhesive film, PET thickness: 50 μm) is attached to the surface of the insulating resin layer so that the insulating resin layer and the adhesive layer are in contact with each other. Then, an electromagnetic wave shielding film was obtained.

工程(d):
厚さ25μmのポリイミドフィルム(絶縁フィルム本体)の表面に絶縁性接着剤組成物を、乾燥膜厚が25μmになるように塗布し、接着剤層を形成し、絶縁フィルム(厚さ:50μm)を得た。プリント回路のグランドに対応する位置に貫通孔(孔径:800μm)を形成した。
Step (d):
An insulating adhesive composition is applied to the surface of a polyimide film (insulating film body) having a thickness of 25 μm so that the dry film thickness becomes 25 μm to form an adhesive layer, and an insulating film (thickness: 50 μm) is applied. Obtained. A through hole (hole diameter: 800 μm) was formed at a position corresponding to the ground of the printed circuit.

厚さ12μmのポリイミドフィルム(ベースフィルム)の表面にプリント回路が形成されたフレキシブルプリント配線板を用意した。
フレキシブルプリント配線板に絶縁フィルムを熱プレスにより貼り付けて、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。
A flexible printed wiring board in which a printed circuit was formed on the surface of a polyimide film (base film) having a thickness of 12 μm was prepared.
An insulating film was attached to the flexible printed wiring board by a hot press to obtain a flexible printed wiring board with an insulating film.

工程(e):
絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板に、第2の離型フィルムを剥離した電磁波シールドフィルムを重ね、ホットプレス装置を用い、熱盤温度:180℃、荷重:3MPaで1分間熱プレスし、絶縁フィルムの表面に異方導電性接着剤層を接着した。
Step (e):
An electromagnetic wave shield film from which the second release film was peeled off was placed on a flexible printed wiring board with an insulating film, and heat-pressed with a hot press device at a hot plate temperature: 180 ° C. and a load of 3 MPa for 1 minute to obtain the insulating film. An anisotropic conductive adhesive layer was adhered to the surface.

工程(f):
絶縁樹脂層から第1の離型フィルムを剥離して、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。
Step (f):
The first release film was peeled off from the insulating resin layer to obtain a flexible printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.

本発明の製造方法で得られた電磁波シールドフィルムは、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のフレキシブルプリント配線板における、電磁波シールド用部材として有用である。 The electromagnetic wave shielding film obtained by the manufacturing method of the present invention can be used as an electromagnetic wave shielding member in a flexible printed wiring board for electronic devices such as smartphones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game machines, notebook computers, and medical appliances. It is useful.

1 電磁波シールドフィルム
2 電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板
3 絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板
10 絶縁樹脂層
10a フィルム状の絶縁樹脂層
10b 絶縁樹脂層用の接着剤層
20 電解メッキ銅薄膜層
22 接着剤層
24 異方導電性接着剤層
24a 接着剤
24b 導電性粒子
26 等方導電性接着剤層
26a 接着剤
26b 導電性粒子
30 第1の離型フィルム
32 基材層
34 粘着剤層/離型剤層
40 第2の離型フィルム
42 基材層
44 離型剤層/粘着剤層
50 フレキシブルプリント配線板
52 ベースフィルム
54 プリント回路
60 絶縁フィルム
62 貫通孔
102 キャリア銅箔
104 離型剤層
1 Electromagnetic wave shield film 2 Flexible printed wiring board with electromagnetic wave shield film 3 Flexible printed wiring board with insulating film 10 Insulating resin layer 10a Film-shaped insulating resin layer 10b Adhesive layer for insulating resin layer 20 Electrolytic plated copper thin film layer 22 Adhesive Layer 24 Idiopathic Conductive Adhesive Layer 24a Adhesive 24b Conductive Particles 26 Isotropic Conductive Adhesive Layer 26a Adhesive 26b Conductive Particles 30 First Release Film 32 Base Material Layer 34 Adhesive Layer / Release Agent Layer 40 Second release film 42 Base material layer 44 Release agent layer / Adhesive layer 50 Flexible printed wiring board 52 Base film 54 Print circuit 60 Insulation film 62 Through hole 102 Carrier copper foil 104 Release agent layer

Claims (10)

絶縁樹脂層と、
前記絶縁樹脂層に隣接する電解メッキ銅薄膜層と、
前記電解メッキ銅薄膜層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する接着剤層と
を有する電磁波シールドフィルムを製造する方法であり、
下記の工程(b)及び工程(c)を有する、電磁波シールドフィルムの製造方法。
工程(b):キャリア銅箔の表面に電解メッキ法により設けられた電解メッキ銅薄膜層に対して、前記電解メッキ銅薄膜層の表面に前記接着剤層を設ける工程。
工程(c):前記キャリア銅箔を前記電解メッキ銅薄膜層から剥離し、前記電解メッキ銅薄膜層の前記接着剤層とは反対側の表面に前記絶縁樹脂層を設ける工程。
Insulating resin layer and
The electroplated copper thin film layer adjacent to the insulating resin layer and
This is a method for producing an electromagnetic wave shielding film having an adhesive layer adjacent to the insulating resin layer of the electroplated copper thin film layer on the opposite side.
A method for producing an electromagnetic wave shielding film, which comprises the following steps (b) and (c).
Step (b): A step of providing the adhesive layer on the surface of the electroplated copper thin film layer with respect to the electroplated copper thin film layer provided on the surface of the carrier copper foil by the electroplating method.
Step (c): A step of peeling the carrier copper foil from the electroplated copper thin film layer and providing the insulating resin layer on the surface of the electroplated copper thin film layer opposite to the adhesive layer.
前記電解メッキ銅薄膜層の厚さが、1μm以上3μm以下である、請求項1に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1, wherein the thickness of the electroplated copper thin film layer is 1 μm or more and 3 μm or less. 前記電解メッキ銅薄膜層の前記接着剤層側の表面の算術平均粗さ(Ra)が、0.5μm以上2.5μm以下である、請求項1又は2に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 1 or 2, wherein the arithmetic mean roughness (Ra) of the surface of the electroplated copper thin film layer on the adhesive layer side is 0.5 μm or more and 2.5 μm or less. 前記絶縁樹脂層が、芳香族ポリエーテルケトンを含有するフィルム状の絶縁樹脂層である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 3, wherein the insulating resin layer is a film-shaped insulating resin layer containing an aromatic polyetherketone. 前記絶縁樹脂層が、層中に絶縁粒子を含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 4, wherein the insulating resin layer contains insulating particles in the layer. 前記電磁波シールドフィルムが、前記絶縁樹脂層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、
前記第1の離型フィルムは、基材層と、前記基材層の前記絶縁樹脂層側の表面に設けられた粘着剤層又は離型剤層とを有し、
前記基材層の表面は、凹凸形状を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
When the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side of the insulating resin layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
The first release film has a base material layer and a pressure-sensitive adhesive layer or a mold release agent layer provided on the surface of the base material layer on the insulating resin layer side.
The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 5, wherein the surface of the base material layer has an uneven shape.
前記電磁波シールドフィルムが、前記絶縁樹脂層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第1の離型フィルムを有する場合、
前記第1の離型フィルムは、基材層と、前記基材層の前記絶縁樹脂層側の表面に設けられた粘着剤層又は離型剤層とを有し、
前記粘着剤層又は離型剤層は、層中に絶縁粒子を含有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
When the electromagnetic wave shielding film has a first release film adjacent to the side of the insulating resin layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
The first release film has a base material layer and a pressure-sensitive adhesive layer or a mold release agent layer provided on the surface of the base material layer on the insulating resin layer side.
The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 6, wherein the pressure-sensitive adhesive layer or the release agent layer contains insulating particles in the layer.
前記電磁波シールドフィルムが、前記接着剤層の前記電解メッキ銅薄膜層とは反対側に隣接する第2の離型フィルムを有する場合、
前記電解メッキ銅薄膜層と前記キャリア銅箔との界面における剥離力が、前記接着剤層と前記第2の離型フィルムとの界面における剥離力より小さい、請求項1〜7のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。
When the electromagnetic wave shielding film has a second release film adjacent to the side of the adhesive layer opposite to the electroplated copper thin film layer.
Any one of claims 1 to 7, wherein the peeling force at the interface between the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier copper foil is smaller than the peeling force at the interface between the adhesive layer and the second release film. The method for manufacturing an electromagnetic wave shielding film described in 1.
前記電解メッキ銅薄膜層と前記キャリア銅箔との界面における剥離力が、0.1N/cm以上1.5N/cm以下であり、前記接着剤層と前記第2の離型フィルムとの界面における剥離力が、0.2N/cm以上2.5N/cm以下である、請求項8に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法。 The peeling force at the interface between the electrolytically plated copper thin film layer and the carrier copper foil is 0.1 N / cm or more and 1.5 N / cm or less, and at the interface between the adhesive layer and the second release film. The method for producing an electromagnetic wave shielding film according to claim 8, wherein the peeling force is 0.2 N / cm or more and 2.5 N / cm or less. 請求項1〜9のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法によって、電磁波シールドフィルムを製造した後、
下記の工程(d)及び工程(e)を実施する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
工程(d):プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きプリント配線板を得る工程。
工程(e):前記電磁波シールドフィルムが第2の離型フィルムを有する場合は、前記電磁波シールドフィルムから前記第2の離型フィルムを剥離した後、前記絶縁フィルム付きプリント配線板と前記電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムの表面に前記接着剤層が接触するように重ね、これらをプレスすることによって、前記絶縁フィルムの表面に前記接着剤層を接着し、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を得る工程。

After manufacturing the electromagnetic wave shield film by the method for manufacturing the electromagnetic wave shield film according to any one of claims 1 to 9,
A method for manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, which carries out the following steps (d) and (e).
Step (d): A step of providing an insulating film on the surface of the printed wiring board on the side where the printed circuit is provided to obtain a printed wiring board with the insulating film.
Step (e): When the electromagnetic wave shielding film has a second release film, after peeling the second release film from the electromagnetic wave shielding film, the printed wiring board with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film. The adhesive layer is laminated on the surface of the insulating film so that the adhesive layer is in contact with the surface of the insulating film, and by pressing these, the adhesive layer is adhered to the surface of the insulating film to obtain a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film. Process.

JP2019164400A 2019-09-10 2019-09-10 Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film Pending JP2021044342A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019164400A JP2021044342A (en) 2019-09-10 2019-09-10 Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019164400A JP2021044342A (en) 2019-09-10 2019-09-10 Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021044342A true JP2021044342A (en) 2021-03-18

Family

ID=74863090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019164400A Pending JP2021044342A (en) 2019-09-10 2019-09-10 Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2021044342A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024204493A1 (en) * 2023-03-30 2024-10-03 タツタ電線株式会社 Transfer film, electromagnetic wave shield film provided with transfer film, and shield printed wiring board

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016157838A (en) * 2015-02-25 2016-09-01 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shielding sheet, electromagnetic wave shielding wiring circuit board, and electronic device
JP2017079218A (en) * 2015-10-19 2017-04-27 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shield sheet and printed wiring board
JP2017195278A (en) * 2016-04-20 2017-10-26 信越ポリマー株式会社 Electromagnetic wave shielding film and printed wiring board with the same
JP2018166180A (en) * 2017-03-28 2018-10-25 信越ポリマー株式会社 Electromagnetic wave shield film and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP2019024117A (en) * 2018-10-24 2019-02-14 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shielding wiring circuit board and electronic apparatus
WO2019167922A1 (en) * 2018-03-01 2019-09-06 Dic株式会社 Pressure-sensitive adhesive tape

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016157838A (en) * 2015-02-25 2016-09-01 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shielding sheet, electromagnetic wave shielding wiring circuit board, and electronic device
JP2017079218A (en) * 2015-10-19 2017-04-27 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shield sheet and printed wiring board
JP2017195278A (en) * 2016-04-20 2017-10-26 信越ポリマー株式会社 Electromagnetic wave shielding film and printed wiring board with the same
JP2018166180A (en) * 2017-03-28 2018-10-25 信越ポリマー株式会社 Electromagnetic wave shield film and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
WO2019167922A1 (en) * 2018-03-01 2019-09-06 Dic株式会社 Pressure-sensitive adhesive tape
JP2019024117A (en) * 2018-10-24 2019-02-14 東洋インキScホールディングス株式会社 Electromagnetic wave shielding wiring circuit board and electronic apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024204493A1 (en) * 2023-03-30 2024-10-03 タツタ電線株式会社 Transfer film, electromagnetic wave shield film provided with transfer film, and shield printed wiring board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6435540B2 (en) Electromagnetic wave shielding film, flexible printed wiring board with electromagnetic wave shielding film, and manufacturing method thereof
JP6467701B2 (en) Electromagnetic wave shielding film, flexible printed wiring board with electromagnetic wave shielding film, and manufacturing method thereof
JP6184025B2 (en) Electromagnetic wave shielding film and method for producing flexible printed wiring board with electromagnetic wave shielding film
JP6898127B2 (en) Electromagnetic wave shield film and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
CN204377241U (en) Electromagnetic shielding film
CN207124801U (en) Electromagnetic shielding film and the printing distributing board with electromagnetic shielding film
KR101739809B1 (en) Printed wiring board, printed wiring board manufacturing method, and electronic apparatus
KR20190114890A (en) Electromagnetic wave shield film, shield printed circuit board and method for manufacturing shield printed circuit
JP2019145845A (en) Electromagnetic wave shield film
JP2017195278A (en) Electromagnetic wave shielding film and printed wiring board with the same
JP6715150B2 (en) Electromagnetic wave shield film, method for producing electromagnetic wave shield film, and method for producing printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP6820782B2 (en) Carrier film and its manufacturing method, and electromagnetic wave shield film and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP6935187B2 (en) Electromagnetic wave shield film and its manufacturing method, and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP2021177505A (en) Electromagnetic wave shield film, manufacturing method thereof and printed circuit board with electromagnetic wave shield film
JP2021044342A (en) Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP2021044349A (en) Method of manufacturing electromagnetic wave shield film and method of manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP2019016782A (en) Electromagnetic wave shielding film and method of producing the same, and printed wiring board with electromagnetic wave shielding film and method of manufacturing the same
JP2020107775A (en) Method for manufacturing printed wiring board with electromagnetic wave shielding film
JP7424745B2 (en) Electromagnetic shielding film, printed wiring board with electromagnetic shielding film, and manufacturing method thereof
JP7265968B2 (en) Electromagnetic wave shielding film manufacturing method, electromagnetic wave shielding film and circuit board
JP2020064927A (en) Electromagnetic wave shield film, manufacturing method of the same, and printed wiring board with electromagnetic wave shield film
JP7228330B2 (en) Electromagnetic wave shielding film and printed wiring board with electromagnetic wave shielding film
JP2018056423A (en) Method for manufacturing electromagnetic wave shield film and method for manufacturing printed-wiring board with electromagnetic wave shield film
JP2021019012A (en) Electromagnetic wave shield film, circuit board, and manufacturing method of circuit board
JP7603372B2 (en) Electromagnetic wave shielding film, printed wiring board with electromagnetic wave shielding film, and method for producing same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220112

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221226

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230207

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20230801