JP2020194014A - Optical fiber and laser device - Google Patents
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 258
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract description 43
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 220
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 29
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 29
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 25
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 18
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 18
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 14
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010042209 Stress Diseases 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N thulium atom Chemical compound [Tm] FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/024—Optical fibres with cladding with or without a coating with polarisation maintaining properties
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
- G02B6/036—Optical fibres with cladding with or without a coating core or cladding comprising multiple layers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/063—Waveguide lasers, i.e. whereby the dimensions of the waveguide are of the order of the light wavelength
- H01S3/067—Fibre lasers
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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Abstract
Description
本発明は、光ファイバ、及びレーザ装置に関する。 The present invention relates to optical fibers and laser devices.
ファイバレーザ装置は、集光性に優れ、パワー密度が高く、小さなビームスポットとなる光が得られることから、レーザ加工分野、医療分野等の様々な分野において用いられている。 Fiber laser devices are used in various fields such as laser processing fields and medical fields because they have excellent light-collecting properties, high power density, and can obtain light that becomes a small beam spot.
このようなファイバレーザ装置では、断面における光の強度が概ね均一な光の出射を求められることがある。このような光を出射するためには、光ファイバの出射端において、コアを伝搬する光の断面の強度が概ね均一であれば、光ファイバから出射した光に対して、特別な光学素子を用いることなく、ファイバレーザ装置から断面における光の強度が概ね均一な光を出射することができる。しかし、一般的に光源から出射する光の断面における強度は均一ではない。このため、下記特許文献1では、光ファイバのコアを多角形にして、光ファイバのコアを伝搬する光の断面における強度を均一化している。
In such a fiber laser device, it may be required to emit light having a substantially uniform light intensity in a cross section. In order to emit such light, if the intensity of the cross section of the light propagating in the core is substantially uniform at the emission end of the optical fiber, a special optical element is used for the light emitted from the optical fiber. It is possible to emit light having a substantially uniform light intensity in the cross section from the fiber optic laser device. However, in general, the intensity of the light emitted from the light source in the cross section is not uniform. Therefore, in
しかし、光ファイバのコアの形状が多角形であると、当該コアから出射する光の断面形状も多角形となり、コアから出射する光の直径が方向により異なる。このため、他の方法により、伝搬する光の断面における強度を概ね均一にし得る光ファイバが求められている。 However, when the shape of the core of the optical fiber is polygonal, the cross-sectional shape of the light emitted from the core is also polygonal, and the diameter of the light emitted from the core differs depending on the direction. Therefore, there is a demand for an optical fiber capable of making the intensity of the propagating light in the cross section substantially uniform by another method.
そこで、本発明は、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る光ファイバ、及びそれを用いたレーザ装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide an optical fiber capable of uniformly approaching the intensity in a cross section of propagating light, and a laser apparatus using the same.
上記課題を解決するため、本発明の光ファイバは、マルチモードの光が伝搬するコアと、前記コアの外周面を囲うクラッドと、前記クラッド内に配置され前記コアに応力を付与する少なくとも1つの応力付与部と、を備え、前記応力付与部は、前記コアの中心軸を基準として周方向に不均一な応力を付与することを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, the optical fiber of the present invention includes a core through which multimode light propagates, a clad that surrounds the outer peripheral surface of the core, and at least one that is arranged in the clad and applies stress to the core. A stress applying portion is provided, and the stress applying portion is characterized in that a non-uniform stress is applied in the circumferential direction with reference to the central axis of the core.
このような光ファイバでは、少なくとも一部の高次モードの光はコアとクラッドとの界面で反射しながらコアを伝搬する。また、それぞれの応力付与部がコアの中心軸を基準として周方向に不均一な応力を付与するため、コアの中心軸を基準とした周方向に沿った屈折率が変化する。従って、コアを伝搬する少なくとも一部の高次モードの光は、コアの周方向における位置により異なる角度で屈折をする。このため、コアの周方向における屈折率が均一な場合と比べて、少なくとも一部の高次モードの光は、外周面で反射する際にコアの周方向における位置により当該外周面への入射角が異なる。このため、本発明の光ファイバによれば、コアの周方向における屈折率が均一な場合と比べて、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る。 In such an optical fiber, at least some higher-order mode light propagates through the core while being reflected at the interface between the core and the cladding. Further, since each stress applying portion applies non-uniform stress in the circumferential direction with reference to the central axis of the core, the refractive index changes along the circumferential direction with reference to the central axis of the core. Therefore, at least some of the higher mode light propagating through the core is refracted at different angles depending on its position in the circumferential direction of the core. Therefore, as compared with the case where the refractive index in the circumferential direction of the core is uniform, at least a part of the light in the higher-order mode is incident on the outer peripheral surface depending on the position in the circumferential direction of the core when reflected on the outer peripheral surface. Is different. Therefore, according to the optical fiber of the present invention, the intensity in the cross section of the propagating light can be made uniform as compared with the case where the refractive index in the circumferential direction of the core is uniform.
また、前記光ファイバは、前記応力付与部を複数備え、複数の前記応力付与部は、前記コアの中心軸を基準として回転対称な応力を付与することが好ましい。 Further, it is preferable that the optical fiber includes a plurality of the stress applying portions, and the plurality of stress applying portions apply rotationally symmetric stress with respect to the central axis of the core.
この場合であっても、それぞれの応力付与部がコアの中心軸を基準として周方向に不均一な応力を付与するため、コアに付与される応力は、コアの中心軸を基準とした周方向に沿って周期的に変化する。このため、コアの周方向に沿った屈折率が周期的に変化する。このため、上記のように、コアの周方向における屈折率が均一な場合と比べて、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る。また、このような複数の応力付与部は、一般的に、互いに同じ熱膨張係数を有し同じ大きさであり、コアの中心から等距離で、コアの中心を基準として回転対称の位置に設けられる。この場合には、応力が釣り合い、光ファイバに対する曲がり応力が生じることを抑制できる。 Even in this case, since each stress applying portion applies non-uniform stress in the circumferential direction with reference to the central axis of the core, the stress applied to the core is in the circumferential direction with reference to the central axis of the core. It changes periodically along. Therefore, the refractive index along the circumferential direction of the core changes periodically. Therefore, as described above, the intensity in the cross section of the propagating light can be made uniform as compared with the case where the refractive index in the circumferential direction of the core is uniform. Further, such a plurality of stress applying portions are generally provided at positions equidistant from the center of the core and rotationally symmetric with respect to the center of the core, having the same coefficient of thermal expansion and the same size. Be done. In this case, the stress is balanced and it is possible to suppress the occurrence of bending stress on the optical fiber.
また、前記クラッドは、内側クラッドと外側クラッドとを含み、前記応力付与部の少なくとも1つは、前記外側クラッド内に配置されることが好ましい。 Further, it is preferable that the clad includes an inner clad and an outer clad, and at least one of the stress applying portions is arranged in the outer clad.
クラッドが内側クラッドと外側クラッドとを含むことで、クラッドに機能を付加させることや、内側クラッド及び外側クラッドの構成によってはコストを軽減することができる。一般的に応力付与部の屈折率はクラッドの屈折率と異なる。このため、応力付与部の少なくとも1つが外側クラッド内に配置されることで、クラッドを伝搬するクラッドモード光が外側クラッド内を伝搬する場合にクラッドモード光の強度分布を均一に近づけることができる。このため、クラッドの一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得、光ファイバの接続部や被覆層の一部等が加熱することを抑制し得る。例えば、本光ファイバが加工用レーザ光を伝搬するデリバリ光ファイバとして用いられる場合、加工体で反射するレーザ光がクラッドに戻り光として入射する場合がある。この場合において、クラッドの一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得ることで、戻り光による光学部品等の損傷を抑制することができる。また、本光ファイバを製造するための光ファイバ用母材を製造する際、クラッドとなるガラス体に応力付与部となるガラス体の挿入用の孔を形成する場合がある。この場合、孔が内側クラッドとなるガラス体と外側クラッドとなるガラス体とに亘って設けられる場合には、孔の形成の際に内側クラッドとなるガラス体と外側クラッドとなるガラス体との界面にクラックが生じ易い。しかし、応力付与部が外側クラッド内に配置される場合、外側クラッドとなるガラス体に設けられる孔に応力付与部となるガラス体が挿入されるため、外側クラッドとなるガラス体に形成される。従って、孔の形成の際に上記のようなクラックが生じることを抑制することができる。 By including the inner clad and the outer clad in the clad, it is possible to add a function to the clad and reduce the cost depending on the configuration of the inner clad and the outer clad. Generally, the refractive index of the stressed portion is different from the refractive index of the clad. Therefore, by arranging at least one of the stress applying portions in the outer clad, the intensity distribution of the clad mode light can be made uniform when the clad mode light propagating in the clad propagates in the outer clad. Therefore, it is possible to suppress the propagation of the clad mode light having a high power density in a part of the clad, and it is possible to suppress the heating of the connection portion of the optical fiber, a part of the coating layer, and the like. For example, when this optical fiber is used as a delivery optical fiber that propagates a laser beam for processing, the laser beam reflected by the processed body may return to the cladding and be incident as light. In this case, it is possible to suppress the propagation of the clad mode light having a high power density in a part of the clad, so that the damage of the optical component or the like due to the return light can be suppressed. Further, when the base material for an optical fiber for manufacturing the present optical fiber is manufactured, a hole for inserting the glass body as a stress applying portion may be formed in the glass body to be a clad. In this case, when the hole is provided over the glass body that becomes the inner clad and the glass body that becomes the outer clad, the interface between the glass body that becomes the inner clad and the glass body that becomes the outer clad when forming the hole. Is prone to cracks. However, when the stress applying portion is arranged in the outer clad, the glass body to be the stress applying portion is inserted into the hole provided in the glass body to be the outer clad, so that the glass body to be the outer clad is formed. Therefore, it is possible to prevent the above-mentioned cracks from occurring during the formation of the holes.
或いは、前記クラッドは、内側クラッドと外側クラッドとを含み、前記応力付与部の少なくとも1つは、前記内側クラッドと前記外側クラッドとに亘って配置されることが好ましい。 Alternatively, the clad includes an inner clad and an outer clad, and it is preferable that at least one of the stress applying portions is arranged over the inner clad and the outer clad.
応力付与部が内側クラッドと外側クラッドとに亘って配置されることで、内側クラッド内を伝搬するクラッドモード光及び外側クラッドを伝搬するクラッドモード光のそれぞれの強度分布を均一に近づけることができる。このため、クラッドの一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得、光ファイバの接続部や被覆層の一部等が加熱することを抑制し得る。 By arranging the stress applying portion over the inner clad and the outer clad, the intensity distributions of the clad mode light propagating in the inner clad and the clad mode light propagating in the outer clad can be made uniform. Therefore, it is possible to suppress the propagation of the clad mode light having a high power density in a part of the clad, and it is possible to suppress the heating of the connection portion of the optical fiber, a part of the coating layer, and the like.
また、上記課題を解決するため、本発明のレーザ装置は、上記のいずれかに記載の光ファイバと、前記光ファイバに入射する光を出射する光源と、を備えることを特徴とするものである。 Further, in order to solve the above problems, the laser apparatus of the present invention is characterized by including the optical fiber according to any one of the above and a light source that emits light incident on the optical fiber. ..
上記のように、本発明の光ファイバは、コアの周方向における屈折率が均一な場合と比べて、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る。従って、この光ファイバを備えるレーザ装置は、この光ファイバを介して出射する光の断面における強度を均一に近づけ得る。 As described above, in the optical fiber of the present invention, the intensity in the cross section of the propagating light can be made uniform as compared with the case where the refractive index in the circumferential direction of the core is uniform. Therefore, the laser device provided with this optical fiber can uniformly approach the intensity in the cross section of the light emitted through the optical fiber.
また、前記レーザ装置は、前記コアに加えられる応力を変化させる応力変化部を更に備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the laser device further includes a stress changing portion that changes the stress applied to the core.
コアに加えられる応力を変化させることで、コアの屈折率分布が変化し、コアを伝搬する光の強度分布を変化させることができる。従って、コアに加えられる応力が変化しない場合と比べて、光ファイバから出射する光の断面における強度分布を変化させることができる。例えば、応力付与部からコアに付与される応力が強められる場合、伝搬する光の断面における強度をより均一に近づけ得る。また、応力付与部からコアに付与される応力が弱められる場合、伝搬する光の断面における強度が均一になりすぎることを抑制し得る。 By changing the stress applied to the core, the refractive index distribution of the core can be changed, and the intensity distribution of light propagating through the core can be changed. Therefore, the intensity distribution in the cross section of the light emitted from the optical fiber can be changed as compared with the case where the stress applied to the core does not change. For example, when the stress applied to the core from the stress applying portion is increased, the intensity in the cross section of the propagating light can be made closer to uniform. Further, when the stress applied to the core from the stress applying portion is weakened, it is possible to prevent the intensity of the propagating light in the cross section from becoming too uniform.
さらに、前記応力変化部は、前記コアに加えられる応力を変化させる状態と、前記コアに加えられる応力を変化させない状態とに切り替え可能であることが好ましい。 Further, it is preferable that the stress changing portion can be switched between a state in which the stress applied to the core is changed and a state in which the stress applied to the core is not changed.
応力変化部が上記のように切り替え可能であることで、光ファイバから出射する光の断面における強度分布を切り替えることができる。 Since the stress changing portion can be switched as described above, the intensity distribution in the cross section of the light emitted from the optical fiber can be switched.
また、前記応力変化部は、前記コアに加えられる応力の変化の度合いを変えられることが好ましい。 Further, it is preferable that the stress changing portion can change the degree of change in stress applied to the core.
この場合、コアの屈折率分布の変化を調節することができるため、コアを伝搬する光の強度分布を調節することができる。このため、光ファイバから出射する光の断面における強度分布を調節することができる。 In this case, since the change in the refractive index distribution of the core can be adjusted, the intensity distribution of the light propagating in the core can be adjusted. Therefore, the intensity distribution in the cross section of the light emitted from the optical fiber can be adjusted.
また、前記応力変化部は、前記クラッドの外周側から前記光ファイバの径方向に力を加えることで前記コアに加えられる応力を変化させることが好ましい。 Further, it is preferable that the stress changing portion changes the stress applied to the core by applying a force in the radial direction of the optical fiber from the outer peripheral side of the clad.
この場合、光ファイバの外周側から加える力の方向を選択することで、コアに加えられる応力の変化の方向を選択することができる。 In this case, the direction of change in stress applied to the core can be selected by selecting the direction of the force applied from the outer peripheral side of the optical fiber.
また、前記応力変化部は、前記光ファイバの温度を変化させることで前記コアに加えられる応力を変化させることが好ましい。 Further, it is preferable that the stress changing portion changes the stress applied to the core by changing the temperature of the optical fiber.
一般的に光ファイバ内の応力付与部は、クラッドと異なる熱膨張係数を有する。従って、光ファイバの温度を変化させること応力付与部の膨張率や収縮率とクラッドの膨張率や収縮率とが互いに異なる。このため、光ファイバの外側から力を加えずともコアに加えられる応力を変化させることができる。 Generally, the stress-applied portion in the optical fiber has a coefficient of thermal expansion different from that of the clad. Therefore, changing the temperature of the optical fiber causes the expansion and contraction rates of the stressed portion and the expansion and contraction rates of the clad to be different from each other. Therefore, the stress applied to the core can be changed without applying a force from the outside of the optical fiber.
以上説明したように、本発明によれば、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る光ファイバ、及びそれを用いたレーザ装置が提供される。 As described above, according to the present invention, there is provided an optical fiber capable of uniformly approaching the intensity in a cross section of propagating light, and a laser apparatus using the same.
以下、本発明に係る光ファイバ及びレーザ装置の好適な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。以下に例示する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良することができる。なお、理解の容易のため、それぞれの図において一部が誇張して記載される場合等がある。 Hereinafter, preferred embodiments of the optical fiber and laser apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments illustrated below are for facilitating the understanding of the present invention, and are not for limiting the interpretation of the present invention. The present invention can be modified and improved without departing from the spirit of the present invention. For ease of understanding, some parts may be exaggerated in each figure.
(第1実施形態)
図1は、本発明にかかるレーザ装置を示す図である。図1に示すように、本実施形態のレーザ装置1は、複数の光源2と、それぞれの光源2から出射する光を伝搬する光ファイバ21と、光ファイバ21からの光が入射するデリバリ光ファイバ10と、コンバイナ25と、デリバリ光ファイバ10に接続される光ファイバ50と、出射部55と、を主な構成として備える。
(First Embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a laser device according to the present invention. As shown in FIG. 1, the
図2は、レーザ装置1におけるそれぞれの光源2を示す図である。図2に示すように、本実施形態では、それぞれの光源2は、ファイバレーザ装置から成り、励起光を出射する励起光源40と、励起光源40から出射する励起光が入射し、励起光により励起される活性元素が添加される増幅用光ファイバ30と、増幅用光ファイバ30の一端に接続される光ファイバ31と、光ファイバ31に設けられる第1FBG33と、光ファイバ31に励起光を入射するためのコンバイナ35と、増幅用光ファイバ30の他端に接続される光ファイバ32と、光ファイバ32に設けられる第2FBG34と、を主な構成として備える。増幅用光ファイバ30と第1FBG33と第2FBG34とで共振器が形成され、本実施形態の光源2は共振器型のファイバレーザ装置とされる。
FIG. 2 is a diagram showing each
励起光源40は、複数のレーザダイオード41から構成され、増幅用光ファイバ30に添加される活性元素を励起する波長の励起光を出射する。励起光源40のそれぞれのレーザダイオード41は、励起光用光ファイバ45に接続されており、レーザダイオード41から出射する光は、それぞれのレーザダイオード41に光学的に接続される励起光用光ファイバ45を伝搬する。励起光用光ファイバ45としては、例えば、マルチモードファイバを挙げることができ、この場合、励起光は励起光用光ファイバ45をマルチモード光として伝搬する。本実施形態では、励起光の波長は、例えば915nmとされる。
The
増幅用光ファイバ30は、コアと、コアの外周面を隙間なく囲む内側クラッドと、内側クラッドの外周面を被覆する外側クラッドと、外側クラッドの外周面を被覆する被覆層とから構成されている。本実施形態では、増幅用光ファイバ30のコアは活性元素としてイッテルビウム(Yb)が添加された石英から成り、必要に応じて屈折率を上昇させるゲルマニウム等の元素が添加されている。なお、本実施形態とは異なるが、増幅する光の波長に合わせて、活性元素としてイッテルビウム以外の希土類元素が添加されても良い。この様な希土類元素としては、ツリウム(Tm)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ユーロピウム(Eu)、エルビウム(Er)等が挙げられる。さらに活性元素として、希土類元素の他に、ビスマス(Bi)等が挙げられる。また、増幅用光ファイバ30の内側クラッドを構成する材料としては、例えば、何らドーパントが添加されていない純粋石英が挙げられる。なお、内側クラッドに例えばフッ素等の屈折率を低下させる元素が添加されてもよい。また、増幅用光ファイバ30の外側クラッドを構成する材料としては、例えば、内側クラッドより屈折率の低い樹脂が挙げられ、増幅用光ファイバ30の被覆層を構成する材料としては、例えば、外側クラッドを構成する樹脂とは異なる樹脂が挙げられる。増幅用光ファイバは、シングルモードファイバとされるが、パワーの大きな信号光が増幅用光ファイバのコアを伝搬可能なように、コアの直径がマルチモードファイバと同様とされつつも、シングルモードの光を伝搬する構成とされても良い。また、増幅用光ファイバ30はマルチモードファイバとされても良い。
The amplification
光ファイバ31は、コアに活性元素が添加されていない点を除き増幅用光ファイバ30と同じ構成とされる。光ファイバ31は、増幅用光ファイバ30の一端に接続されている。従って、増幅用光ファイバ30のコアと光ファイバ31のコアとが光学的に結合し、増幅用光ファイバ30の内側クラッドと光ファイバ31の内側クラッドとが光学的に結合している。
The
第1FBG33は、光ファイバ31のコアに設けられている。第1FBG33は、光ファイバ31の長手方向に沿って一定の周期で屈折率が高くなる部分が繰り返されることで構成されている。この周期が調整されることにより、第1FBG33は、励起状態とされた増幅用光ファイバ30の活性元素が放出する光のうち所定の波長帯域の光を反射する。
The first FBG 33 is provided in the core of the
また、コンバイナ35において、光ファイバ31の内側クラッドに励起光用光ファイバ45のコアが接続されている。こうして、励起光源40と接続される励起光用光ファイバ45と増幅用光ファイバ30の内側クラッドとは、光ファイバ31の内側クラッドを介して、光学的に結合される。
Further, in the
また、コンバイナ35において、光ファイバ31に光ファイバ36が接続されている。光ファイバ36は、例えば、光ファイバ31のコアと同じ直径のコアを有する光ファイバとされる。光ファイバ36の一端は光ファイバ31に接続されており、光ファイバ36のコアと光ファイバ31のコアとが光学的に結合している。また、光ファイバ36のコンバイナ35側と反対側には熱変換部Eが接続されている。
Further, in the
光ファイバ32は、活性元素が添加されていないことを除いて増幅用光ファイバ30のコアと同様のコアと、当該コアの外周面を隙間なく囲み増幅用光ファイバ30の内側クラッドと同様の構成のクラッドと、クラッドの外周面を被覆する被覆層とから構成されている。光ファイバ32は、増幅用光ファイバ30の他端に接続されており、増幅用光ファイバ30のコアと光ファイバ32のコアとが光学的に結合している。
The
第2FBG34は光ファイバ32のコアに設けられている。第2FBG34は、光ファイバ32の長手方向に沿って一定の周期で屈折率が高くなる部分が繰り返されており、第1FBG33が反射する光の少なくとも一部の波長の光を第1FBG33よりも低い反射率で反射するように構成されている。
The
また、光ファイバ32の増幅用光ファイバ30側と反対側には、図1に示す光ファイバ21が接続されている。光ファイバ21の構成は、光ファイバ32と同様とされる。なお、光ファイバ32が延長されることにより、光ファイバ32の一部が光ファイバ21とされても良い。
Further, the
それぞれの光ファイバ21のコアはデリバリ光ファイバ10のコアとコンバイナ25により光学的に結合されている。コンバイナ25は、例えば、テーパ状に加工されたブリッジファイバとされる。この場合、それぞれの光ファイバ21のコアは、コンバイナ25であるブリッジファイバの大口径側の端面に接続され、デリバリ光ファイバ10のコアは、コンバイナ25であるブリッジファイバの小口径側の端面に接続される。こうして、コンバイナ25を介して、それぞれの光ファイバ21のコアとデリバリ光ファイバ10のコアとが光学的に結合される。なお、コンバイナ25は、それぞれの光ファイバ21のコアとデリバリ光ファイバ10のコアとを光学的に結合させるものであれば、上記のブリッジファイバに限らず、例えば、それぞれの光ファイバ21のコアがデリバリ光ファイバ10のコアに直接接続されてもよい。
The core of each
図3は、デリバリ光ファイバ10の断面の様子を示す図である。図3に示すように、デリバリ光ファイバ10は、コア11と、コア11の外周面を隙間なく囲うクラッド12と、クラッド12の外周面を被覆する被覆層13と、クラッド12内に配置される応力付与部15とを備える。コア11の屈折率はクラッド12の屈折率よりも高い。コア11は、クラッド12の中心に配置され、例えばゲルマニウム等の屈折率を上昇させる元素が添加された石英から成る。この場合、クラッド12は、例えば何らドーパントが添加されていない純粋石英や、例えばフッ素等の屈折率を低下させるドーパントが添加された石英から成る。また、コア11が、例えば何らドーパントが添加されていない純粋石英から成る場合、クラッド12は、例えばフッ素等の屈折率を低下させるドーパントが添加された石英から成る。被覆層13は、例えば熱硬化樹脂や紫外線硬化樹脂から成る。
FIG. 3 is a diagram showing a cross section of the delivery
デリバリ光ファイバ10は、例えば、10以上の導波モードの光が伝搬するマルチコアファイバである。例えば、コア11の直径が50μmであり、コア11とクラッド12との比屈折率差が0.5%とされる。この場合、デリバリ光ファイバ10を伝搬する光のモード数は50程度である。
The delivery
応力付与部15は、クラッド12と異なる熱膨張係数を有し、コア11に対してコア11の中心軸Cを基準として周方向に不均一な応力を付与する部位である。クラッド12が何らドーパントが添加されていない石英から成る場合、応力付与部15がフッ素やホウ素が添加された石英から成れば、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも高くなり、応力付与部15がチタンが添加された石英から成れば、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも低くなる。本実施形態では、応力付与部は1つのみ配置されている。
The
図4は、図3に示すコア11の周囲の様子を示す図であり、図3において破線で囲まれた領域を示す拡大図である。なお、図が見にくくなることを避けるため、図4ではハッチングが省略されている。応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも大きい場合、デリバリ光ファイバ10が線引きされて製造される際に、ガラスが固化していない状態で応力付与部15はクラッド12よりも大きく膨張し、温度が下がりガラスが固化する際に応力付与部15はクラッド12よりも収縮する。従って、応力付与部15は、コア11に対して、矢印で示すような引っ張り応力を付与する。応力付与部15がコア11に付与する応力の大きさは、コア11内で連続的に変化する。図4では、応力付与部15による応力が比較的大きな部位を破線で囲んでいる。
FIG. 4 is a diagram showing a state around the
また、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも小さい場合、デリバリ光ファイバ10が線引きされて製造される際に、ガラスが固化していない状態で応力付与部15の膨張率はクラッド12の膨張率よりも小さく、温度が下がりガラスが固化する際に応力付与部15はクラッド12よりも収縮の度合いが小さくなる。従って、この場合、応力付与部15は、コア11に対して、図4の矢印と逆側を向く圧縮応力を付与する。
Further, when the coefficient of thermal expansion of the
図4に示すように、コア11には、応力付与部15からコア11の中心軸Cを基準として周方向に不均一な応力が付与される。
As shown in FIG. 4, a non-uniform stress is applied to the core 11 from the
図5は、コア11を伝搬する光の様子を示す図である。なお、図が見にくくなることを避けるため、図5ではハッチングが省略されている。図5では、ある高次モードの光の伝搬の様子を示している。図4において破線で示した応力付与部15による応力が比較的大きな部位を図5でも破線で示している。応力付与部15により付与される応力が大きな部位では、コア11を構成するガラスの結晶の状態が他の部位と異なり、屈折率が変化する。応力付与部15によりコア11に引っ張り応力が付与される場合、コア11における応力の大きな部位では結晶の密度が低くなり、当該部位における屈折率は他の部位の屈折率よりも低くなる。上記のように、コア11に付与される応力の大きさは、コア11の中心軸Cを基準とした周方向に沿って不均一であるため、コア11の屈折率分布は、コア11の中心軸Cを基準とした周方向に沿って不均一となる。
FIG. 5 is a diagram showing a state of light propagating through the
図5に示すように、この高次モードの光は、コア11に付与される応力が変化する部位において屈折し、コア11とクラッド12との界面で反射しながらコア11を伝搬する。従って、この高次モードの光は、コア11の周方向の位置に応じて、コア11の外周面への入射角の大きさが異なる。図5では、2カ所における高次モードの光のコア11の外周面への入射角θ1、θ2が示されており、入射角θ1、θ2は互いに異なる大きさである。なお、応力付与部15によりコア11に圧縮応力が付与される場合、高次モードの光は、コア11に付与される応力が変化する部位において図5とは異なる方向に屈折し、コア11とクラッド12との界面で反射しながらコア11を伝搬する。
As shown in FIG. 5, the light of this higher order mode is refracted at the portion where the stress applied to the core 11 changes, and propagates through the core 11 while being reflected at the interface between the core 11 and the clad 12. Therefore, the magnitude of the incident angle of the light in the higher-order mode on the outer peripheral surface of the
デリバリ光ファイバ10の光源2側と反対側の端部には光ファイバ50が接続されている。光ファイバ50は、応力付与部15を有さない点を除きデリバリ光ファイバ10と同様とされる。従って、光ファイバ50のコアは、当該コア11の中心軸Cを基準とした周方向に不均一な応力が付与されておらず、コアの屈折率はコア11の中心軸Cを基準とした周方向において均一である。
An
光ファイバ50のデリバリ光ファイバ10側と反対側の端部には出射部55が接続されている。出射部55は、光ファイバ50のコアよりも直径の大きなガラスロッドから成る。このガラスロッドの径方向の屈折率は、一定であってもよく、外周側に向かって低くされてもよい。
An
次にレーザ装置1の動作について説明する。
Next, the operation of the
まず、それぞれの光源2において、励起光源40のそれぞれのレーザダイオード41から励起光が出射する。励起光源40から出射した励起光は、励起光用光ファイバ45、光ファイバ31を介して、増幅用光ファイバ30の内側クラッドに入射する。増幅用光ファイバ30の内側クラッドに入射した励起光は主にこの内側クラッドを伝搬して、増幅用光ファイバ30のコアを通過する際にコアに添加されている活性元素を励起する。励起状態とされた活性元素は自然放出光を放出し、この自然放出光のうち一部の波長の光が第1FBG33により反射され、反射された光のうち第2FBG34が反射する波長の光が第2FBG34で反射される。このため、第1FBG33と第2FBG34との間、すなわち共振器内を光が往復し、増幅用光ファイバ30のコアを伝搬するときの誘導放出により光が増幅され、レーザ発振状態が生じる。このときの光の波長は、例えば1070nmとされる。そして、増幅された光のうち一部の光は、第2FBG34を透過して光ファイバ32から出射する。この光は、光ファイバ21からコンバイナ25を介してデリバリ光ファイバ10のコア11に入射する。
First, in each
上記のようにデリバリ光ファイバ10はマルチモードファイバであるため、デリバリ光ファイバ10のコア11に入射した光は、コア11をマルチモードで伝搬する。このとき、少なくとも一部の高次モードの光はコア11とクラッド12との界面で反射しながらコア11を伝搬する。そして、コア11を伝搬する光が、デリバリ光ファイバ10から光ファイバ50に伝搬して、光ファイバ50から出射し、出射部55に入射する。出射部55に入射した光は径が広げられて、出射部55から出射する。この出射光は、加工体等に照射される。
Since the delivery
以上説明したように、本実施形態の光ファイバであるデリバリ光ファイバは、マルチモードの光が伝搬するコア11と、コア11の外周面を囲うクラッド12と、クラッド12内に配置されコア11に応力を付与する少なくとも1つの応力付与部15と、を備え、応力付与部15は、コア11の中心軸Cを基準として周方向に不均一な応力を付与する。
As described above, the delivery optical fiber, which is the optical fiber of the present embodiment, has a core 11 through which multimode light propagates, a clad 12 surrounding the outer peripheral surface of the core 11, and a clad 12 arranged in the clad 12 on the
従って、コア11の屈折率分布は、当該周方向に沿って不均一となる。上記のようにコア11を伝搬する光のうち少なくとも一部の高次モードの光は、応力付与部15から付与される応力を受ける部位において屈折し、コア11とクラッド12との界面で反射しながらコア11を伝搬する。このような高次モードの光は、コア11の周方向における屈折率が均一な場合と比べて、コア11の周方向に沿った位置によって外周面への入射角が異なるため、コア11の周方向に沿った位置によって異なる方向に反射する。このため、本実施形態のデリバリ光ファイバ10によれば、コア11の周方向における屈折率が均一な場合と比べて、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る。
Therefore, the refractive index distribution of the
また、本実施形態では、応力付与部15が1つであり、コア11が受ける応力付与部15からの全応力は、中心軸Cを基準として非回転対称である。従って、コア11の中心軸Cを基準として回転対称な応力が付与される場合と比べて、少なくとも一部の高次モードの光がコア11の外周面で反射する際に外周面への入射角がよりランダムとなる。このため、伝搬する光の断面における強度をより均一に近づけ得る。
Further, in the present embodiment, there is one
また、本発明のレーザ装置1は、上記デリバリ光ファイバ10と、デリバリ光ファイバ10に入射する光を出射する光源2と、を備える。上記のようにデリバリ光ファイバ10は、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得るため、デリバリ光ファイバ10を備えるレーザ装置1は、デリバリ光ファイバ10を介して出射する光の断面における強度を均一に近づけ得る。
Further, the
また、本発明のレーザ装置1では、上記デリバリ光ファイバ10から出射する光は、伝搬する光ファイバ50を介してレーザ装置1から出射する。上記のように光ファイバ50には応力付与部が設けられていない。従って、デリバリ光ファイバ10において、応力付与部15がコア11を伝搬する光に何らかの影響を与える場合であっても、この影響を光ファイバ50で軽減することができる。なお、デリバリ光ファイバ10において、伝搬する光の断面における強度が均一に近づけられると、光ファイバ50においても、伝搬する光の断面における強度が均一に近づけられた状態が概ね維持される。
Further, in the
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図6を参照して詳細に説明する。なお、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, the second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same or equivalent components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
本実施形態のレーザ装置は、デリバリ光ファイバ10の構成が第1実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。図6は、本実施形態のデリバリ光ファイバの断面の様子を示す図である。本実施形態のデリバリ光ファイバ10は、クラッド12が内側クラッド12aと外側クラッド12bとを含む点において第1実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。内側クラッド12aの屈折率は第1実施形態のクラッド12と同様でありコア11の屈折率よりも低い。外側クラッド12bの屈折率は、内側クラッド12aと異なっているが、内側クラッド12aよりも低くても高くてもよい。例えば、コア11が特にドーパントが添加されない純粋な石英から成り、内側クラッド12aがフッ素が添加された石英から成る場合、外側クラッド12bがコア11と同様の石英から成れば、フッ素が添加された高価な石英の使用量を減らすことができ、デリバリ光ファイバ10を安価にすることができる。
In the laser apparatus of the present embodiment, the configuration of the delivery
本実施形態では、応力付与部15は、内側クラッド12aと外側クラッド12bとに亘って配置される。また、本実施形態では、応力付与部15は、外側クラッド12b側に偏在している。ただし、図6と異なり、応力付与部15が内側クラッド12a側に偏在してもよい。
In the present embodiment, the
本実施形態のデリバリ光ファイバ10によれば、クラッド12が内側クラッド12aと外側クラッド12bとを含むことで、クラッド12に機能を付加させることや、内側クラッド12a及び外側クラッド12bの構成によってはコストを軽減することができる。
According to the delivery
なお、一般的に応力付与部15の屈折率はクラッド12の屈折率と異なる。このため、応力付与部15の内側クラッド12aと外側クラッド12bとに亘って配置されることで、クラッド12を伝搬するクラッドモード光が内側クラッド12aと外側クラッド12bの少なくとも一方を伝搬する場合にクラッドモード光の強度分布を均一に近づけることができる。このため、クラッド12の一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得、デリバリ光ファイバ10の接続部や被覆層13の一部等が加熱することを抑制し得る。例えば、レーザ装置1の使用時において、加工体で反射するレーザ光がクラッド12に戻り光として入射する場合がある。この場合において、クラッド12の一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得ることで、戻り光による光源2等の光学部品の損傷を抑制することができる。
In general, the refractive index of the
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図7を参照して詳細に説明する。なお、第2実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(Third Embodiment)
Next, the third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same or equivalent components as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
本実施形態のレーザ装置は、デリバリ光ファイバ10の構成が第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。図7は、本実施形態のデリバリ光ファイバの断面の様子を示す図である。本実施形態のデリバリ光ファイバ10は、クラッド12が内側クラッド12aと外側クラッド12bとを含む点において第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と同様であるが、応力付与部15が外側クラッド12b内に配置される点において第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。
In the laser apparatus of this embodiment, the configuration of the delivery
本実施形態のデリバリ光ファイバ10によれば、応力付与部15が外側クラッド12b内に配置されることで、クラッド12を伝搬するクラッドモード光が外側クラッド12b内を伝搬する場合に当該クラッドモード光の強度分布を均一に近づけることができる。このため、クラッド12の一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得、デリバリ光ファイバ10の接続部や被覆層13の一部等が加熱することを抑制し得る。また、第2実施形態における説明と同様に、加工体で反射するレーザ光がクラッド12に戻り光として入射する場合において、クラッド12の一部においてパワー密度の高いクラッドモード光が伝搬することを抑制し得ることで、戻り光による光源2等の光学部品の損傷を抑制することができる。
According to the delivery
また、本実施形態のデリバリ光ファイバ10を製造するための光ファイバ用母材を製造する際にクラッド12となるガラス体に応力付与部15となるガラス体の挿入用の孔を形成する場合がある。この場合、孔が内側クラッド12aとなるガラス体と外側クラッド12bとなるガラス体とに亘って設けられる場合には、孔の形成の際に内側クラッド12aとなるガラス体と外側クラッド12bとなるガラス体との界面にクラックが生じ易い。しかし、本実施形態のデリバリ光ファイバ10では、応力付与部15が外側クラッド12b内に配置されるため、外側クラッド12bとなるガラス体に設けられる孔に応力付与部15となるガラス体が挿入されるため、当該孔は、外側クラッド12bとなるガラス体に形成される。このため、孔の形成の際に上記のようなクラックが生じることを抑制することができる。
Further, when the base material for the optical fiber for manufacturing the delivery
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について図8を参照して詳細に説明する。なお、第2実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(Fourth Embodiment)
Next, the fourth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same or equivalent components as those in the second embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
本実施形態のレーザ装置は、デリバリ光ファイバ10の構成が第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。図8は、本実施形態のデリバリ光ファイバの断面の様子を示す図である。本実施形態のデリバリ光ファイバ10は、クラッド12が内側クラッド12aと外側クラッド12bとを含む点において第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と同様であるが、応力付与部15が複数配置される点において第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。本実施形態では、それぞれの応力付与部15が3つであり、コア11の中心軸Cを基準として互いに回転対称の位置に配置されている。また、本実施形態では、それぞれの応力付与部15は同じ大きさで同じ材料から成る。従って、それぞれの応力付与部15は、同じ熱膨張係数を有し、コア11に同じ大きさの応力を付与する。それぞれの応力付与部15がコア11に付与する応力を合成すると、複数の応力付与部15がコア11に付与する応力はコア11の中心軸Cを基準として回転対称となる。しかし、ただし、それぞれの応力付与部15がコア11に付与する応力は、コア11の中心軸Cを基準とした周方向に沿って不均一である。従って、コア11の屈折率は、コア11の周方向に沿って変化する。
In the laser apparatus of this embodiment, the configuration of the delivery
本実施形態のデリバリ光ファイバ10によれば、複数の応力付与部15のそれぞれが、コア11の中心を基準として互いに回転対称の位置に配置され、複数の応力付与部15がコア11に付与する応力はコア11の中心軸Cを基準として回転対称である。このような複数の応力付与部15は、本実施形態のように、一般的に、互いに同じ熱膨張係数を有し同じ大きさであり、コア11の中心から等距離で、コア11の中心を基準として回転対称の位置に設けられる。この場合には、応力が釣り合い、デリバリ光ファイバ10に対する曲がり応力が生じることを抑制できる。
According to the delivery
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について図9を参照して詳細に説明する。なお、第4実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(Fifth Embodiment)
Next, the fifth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same or equivalent components as those in the fourth embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
本実施形態のレーザ装置は、デリバリ光ファイバ10の構成が第4実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。図9は、本実施形態のデリバリ光ファイバの断面の様子を示す図である。本実施形態のデリバリ光ファイバ10は、クラッド12が内側クラッド12aと外側クラッド12bとを含み、応力付与部15が複数配置される点において第4実施形態のデリバリ光ファイバ10と同様であるが、応力付与部15がコア11の中心軸Cを基準として回転対称ではない位置に配置されている点において第2実施形態のデリバリ光ファイバ10と異なる。それぞれの応力付与部15は、第4実施形態と同様にコア11に同じ大きさの応力を付与する。しかし、上記のように応力付与部15が回転対称ではない位置に配置されているため、それぞれの応力付与部15がコア11に付与する応力を合成すると、複数の応力付与部15がコア11に付与する応力はコア11の中心軸Cを基準として非回転対称となる。
In the laser apparatus of the present embodiment, the configuration of the delivery
本実施形態のデリバリ光ファイバ10によれば、コア11が受ける複数の応力付与部15からの全応力が中心軸Cを基準として非回転対称である。従って、第4実施形態のデリバリ光ファイバ10のようにコア11の中心軸Cを基準として回転対称な応力が付与される場合と比べて、少なくとも一部の高次モードの光がコア11の外周面で反射する際に外周面への入射角がよりランダムとなる。このため、伝搬する光の断面における強度をより均一に近づけ得る。
According to the delivery
(第6実施形態)
次に、本発明の第6実施形態について図10、図11を参照して詳細に説明する。なお、第1実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(Sixth Embodiment)
Next, the sixth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 10 and 11. The same or equivalent components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
図10は、本実施形態のレーザ装置を示す図である。図10に示すように、本実施形態のレーザ装置1は、応力変化部60を備える点において第1実施形態のレーザ装置1と異なる。応力変化部60は、デリバリ光ファイバ10に取り付けられており、デリバリ光ファイバ10のコア11に加えられる応力を変化させる部位である。
FIG. 10 is a diagram showing a laser device of this embodiment. As shown in FIG. 10, the
図11は、応力変化部60を示す図である。図11に示すように、デリバリ光ファイバ10における応力変化部60が取り付けられる位置では、被覆層13が剥離されている。本実施形態では、応力変化部60は、ケース61と、温度を変化させる温度変化素子62とを備える。本実施形態のケース61は、デリバリ光ファイバ10を囲んで温度変化素子62を内蔵しており、温度変化素子62をデリバリ光ファイバ10との間で熱を伝導させる。従って、ケース61は、金属等の熱伝導性に優れる材料から成ることが好ましい。
FIG. 11 is a diagram showing a
温度変化素子62としては、ペルチェ素子、ヒータ等を挙げることができる。温度変化素子62には不図示の電源に電気的に接続されており、この電源により温度変化素子62が動作される。
Examples of the
温度変化素子62がペルチェ素子である場合、本実施形態では、電源から印加される電圧により、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度が上昇または下降する。従って、電源から電圧が印加されない場合は、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度は変化しない。この光ファイバ側の面の温度の上昇と下降の切り替えは、温度変化素子62に印加される電圧の正と負とを切り替えることで実現し得る。また、温度変化素子62に印加される電圧の大きさが変えられることで、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度の変化の度合いが変化する。
When the
温度変化素子62がヒータである場合、本実施形態では、電源から印加される電圧により、温度変化素子62の全体の温度が上昇する。従って、電源から電圧が印加されない場合は、温度変化素子62の温度は変化しない。また、温度変化素子62に印加される電圧の大きさが変えられることで、温度変化素子62の温度の変化の度合いが変化する。
When the
上記のように、応力付与部15は、クラッド12と異なる熱膨張係数を有し、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも大きい場合、コア11に引っ張り応力を付与し、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも小さい場合、コア11に圧縮応力を付与する。
As described above, the
温度変化素子62がペルチェ素子である場合、応力変化部は、次のようにコア11に加えられる応力を変化させる。応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも大きい場合、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度が上昇すれば、クラッド12よりも応力付与部15が膨張して、コア11に付与する引っ張り応力が低減され、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度が下降すれば、クラッド12よりも応力付与部15が収縮して、コア11に付与する引っ張り応力が増加される。また、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも小さい場合、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度が上昇すれば、クラッド12よりも応力付与部15の膨張が小さいため、コア11に付与する圧縮応力が低減され、温度変化素子62の光ファイバ側の面の温度が下降すれば、クラッド12よりも応力付与部15の収縮が小さいため、コア11に付与する圧縮応力が増加される。つまり、デリバリ光ファイバ10の温度が上昇されることで、応力付与部に付与される応力が小さくされ、デリバリ光ファイバ10の温度が下降されることで、応力付与部に付与される応力が大きくされる。
When the
従って、温度変化素子62がヒータである場合、ヒータの温度が上昇することで、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも大きい場合には、コア11に付与する引っ張り応力が低減され、応力付与部15の熱膨張係数がクラッド12の熱膨張係数よりも小さい場合には、コア11に付与する圧縮応力が低減される。
Therefore, when the
デリバリ光ファイバ10の温度が下降されることで、応力付与部に付与される応力が大きくされると、コア11の中心軸を基準とした周方向における屈折率の変化が大きくなり、図5に示すコア11を伝搬する高次モードの光の屈折の度合いが大きくなる。このため、伝搬する光の断面における強度をより均一に近づけ得る。別言すれば、デリバリ光ファイバ10が短い場合であっても、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る。
When the stress applied to the stressed portion is increased by lowering the temperature of the delivery
また、デリバリ光ファイバ10の温度が上昇されることで、応力付与部に付与される応力が小さくされると、コア11の中心軸を基準とした周方向における屈折率の変化が小さくなり、図5に示すコア11を伝搬する高次モードの光の屈折の度合いが小さくなる。ところで、レーザ装置の使用によっては伝搬する光の断面における強度が均一になりすぎない方が好ましい場合がある。従って、コア11を伝搬する高次モードの光の屈折の度合いが小さくされることで、伝搬する光の断面における強度が均一になりすぎることを抑制することができる。
Further, when the stress applied to the stress applying portion is reduced by raising the temperature of the delivery
なお、温度変化素子62は、不図示の電源により動作されるため、電源から電圧が印加されれば、デリバリ光ファイバ10のコア11に加えられる応力を変化させ、電源から電圧が印加されなければ、デリバリ光ファイバ10のコア11に加えられる応力を変化させない。つまり、応力変化部60は、コア11に加えられる応力を変化させる状態と、コアに加えられる応力を変化させない状態とに切り替え可能である。また、温度変化素子62は、電源から印加される電圧の大きさによりデリバリ光ファイバ10の温度の変化の度合いを変えることができ、コア11に加えられる応力の変化の度合いを変えることができる。
Since the
以上説明したように、本実施形態のレーザ装置1は、コア11に加えられる応力を変化させる応力変化部60を備える。このため、コア11に加えられる応力が変化しない場合と比べて、デリバリ光ファイバ10から出射する光の断面における強度分布を変化させることができる。
As described above, the
さらに、本実施形態の応力変化部60は、コア11に加えられる応力を変化させる状態と、コアに加えられる応力を変化させない状態とに切り替え可能である。このため、デリバリ光ファイバ10から出射する光の断面における強度分布を切り替えることができる。
Further, the
また、本実施形態の応力変化部60は、コア11に加えられる応力の変化の度合いを変えることができるため、コア11の屈折率分布の変化の度合いを調節することができる。このため、コア11を伝搬する光の強度分布を調節することができ、デリバリ光ファイバ10から出射する光の断面における強度分布を調節することができる。
Further, since the
なお、本実施形態では、デリバリ光ファイバ10における応力変化部60が取り付けられる位置において、被覆層13が剥離されなくてもよい。ただし、デリバリ光ファイバ10における応力変化部60が取り付けられる位置において、被覆層13が剥離されることで、応力変化部60からクラッド12及び応力付与部15への熱伝導性を向上させることができる。
In the present embodiment, the
また、応力変化部60の温度変化素子62がデリバリ光ファイバ10に接してもよい。
Further, the
(第7実施形態)
次に、本発明の第6実施形態について図12を参照して詳細に説明する。なお、第6実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。
(7th Embodiment)
Next, the sixth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. The same or equivalent components as those in the sixth embodiment are designated by the same reference numerals and duplicated description will be omitted unless otherwise specified.
本実施形態のレーザ装置1は、応力変化部60の構成が第6実施形態の応力変化部60と異なる点において第6実施形態のレーザ装置1と異なる。図12は、本実施形態の応力変化部60を示す図である。図11に示すように、本実施形態の応力変化部60は、クラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向に力を加える点において、第6実施形態の応力変化部60と異なる。
The
本実施形態の応力変化部60は、ケース61と、押圧素子64とを含む。ケース61は、デリバリ光ファイバ10側が開口しており、当該開口を介して、押圧素子64がデリバリ光ファイバ10に接している。
The
押圧素子64は、デリバリ光ファイバ10の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向を押圧する素子であり、このような素子としては、例えば、ピエゾ素子等のアクチュエータを挙げることができる。押圧素子64がアクチュエータである場合、押圧素子64は、不図示の電源に電気的に接続されており、この電源により押圧素子64が動作される。
The
本実施形態では、押圧素子64は、コア11の中心と応力付与部15とを結ぶ線上に配置されている。つまり、押圧素子64は、クラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向のうち、コア11の中心と少なくとも1つの応力付与部15とを結ぶ線上から力を加える。従って、押圧素子64が動作してクラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10を押圧する場合、応力付与部15がコア11に引っ張り応力を付与しているのであれば、コア11に付与される応力は小さくなり、応力付与部15がコア11に圧縮応力を付与しているのであれば、コア11に付与される応力は大きくなる。
In the present embodiment, the
なお、上記のように、本実施形態の押圧素子64は、不図示の電源により動作されるため、当該電源からの電圧の印加の有無により、コア11に加えられる応力を変化させる状態と、コア11に加えられる応力を変化させない状態とに切り替え可能である。また、この電源から印加される電圧の大きさにより、デリバリ光ファイバ10を押圧する力の大きさを調節することができる。つまり、電源から印加される電圧の大きさにより、コア11に加えられる応力の変化の度合いを変えることができる。
As described above, since the
以上説明したように、本実施形態の応力変化部60は、クラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向に力を加えることでコア11に加えられる応力を変化させる。このため、デリバリ光ファイバ10の外周側から加える力の方向を選択することで、コア11に加えられる応力の変化の方向を選択することができる。
As described above, the
なお、本実施形態の応力変化部60は、上記説明と異なり、スクリュー等を用いて機械的にクラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向に力を加える構成であってもよい。
The
また、応力変化部60は、クラッド12の外周側からデリバリ光ファイバ10の径方向に力を加えてコア11に加えられる応力を変化させる構成であれば、コア11の中心と応力付与部15とを結ぶ線上に配置されなくてもよい。
Further, if the
また、押圧素子64の押圧力が強すぎる場合には、例えば、デリバリ光ファイバ10と押圧素子64との間に力の緩衝層が設けられてもよい。この場合、緩衝層として被覆層13やケース61の一部が用いられてもよい。
Further, when the pressing force of the
以上、本発明について、上記実施形態を例に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、適宜変更することが可能である。 Although the present invention has been described above by taking the above-described embodiment as an example, the present invention is not limited thereto, and can be appropriately modified.
例えば、複数の応力付与部15が設けられる場合、少なくとも2つの応力付与部15の大きさや熱膨張係数等が互いに異なってもよい。
For example, when a plurality of
また、第4、第5実施形態における応力付与部15の数は特に限定されない。また、これら実施形態において、少なくとも1つの応力付与部15が外側クラッド12b内に配置されてもよい。
Further, the number of
また、第6、第7実施形態の応力変化部60は他の構成でもよく、例えば、コア11に加えられる応力を変化させる状態と、当該応力を変化させない状態との切り替えができなくてもよく、コア11に加えられる応力の変化の度合いを変えられなくてもよい。
Further, the
また、デリバリ光ファイバ10は、コア11に励起光により励起状態とされる活性元素が添加される増幅用光ファイバであってもよく、この場合、クラッド12と被覆層13との間にクラッド12よりも屈折率が低いクラッドが設けられてもよい。
Further, the delivery
また、それぞれの光源2は、ファイバレーザ装置ではなく固体レーザ装置等の他の構成のレーザ装置であってもよい。
Further, each
また、光ファイバ50は必須の構成ではなく、デリバリ光ファイバ10から出射部55に直接光が入射してもよい。また、出射部55が備えられず、デリバリ光ファイバ10や光ファイバ50から直接光が出射してもよい。
Further, the
本発明によれば、本発明によれば、伝搬する光の断面における強度を均一に近づけ得る光ファイバ、及びそれを用いたレーザ装置が提供され、ファイバレーザ加工分野、医療分野等の様々な産業において利用可能である。 According to the present invention, according to the present invention, an optical fiber capable of uniformly approaching the intensity in a cross section of propagating light and a laser device using the optical fiber are provided, and various industries such as a fiber laser processing field and a medical field are provided. Available at.
1・・・レーザ装置
2・・・光源
10・・・デリバリ光ファイバ
11・・・コア
12・・・クラッド
15・・・応力付与部
60・・・応力変化部
1 ...
Claims (10)
前記コアの外周面を囲うクラッドと、
前記クラッド内に配置され前記コアに応力を付与する少なくとも1つの応力付与部と、
を備え、
前記応力付与部は、前記コアの中心軸を基準として周方向に不均一な応力を付与する
ことを特徴とする光ファイバ。 A core through which multimode light propagates and
With the clad surrounding the outer peripheral surface of the core,
At least one stress applying portion arranged in the clad and applying stress to the core,
With
The stress applying portion is an optical fiber characterized in that a non-uniform stress is applied in the circumferential direction with reference to the central axis of the core.
複数の前記応力付与部は、前記コアの中心軸を基準として回転対称な応力を付与する
ことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ。 A plurality of the stress applying portions are provided.
The optical fiber according to claim 1, wherein the plurality of stress applying portions apply rotationally symmetric stress with respect to the central axis of the core.
前記応力付与部の少なくとも1つは、前記外側クラッド内に配置される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ。 The clad includes an inner clad and an outer clad.
The optical fiber according to claim 1 or 2, wherein at least one of the stress applying portions is arranged in the outer cladding.
前記応力付与部の少なくとも1つは、前記内側クラッドと前記外側クラッドとに亘って配置される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ。 The clad includes an inner clad and an outer clad.
The optical fiber according to claim 1 or 2, wherein at least one of the stress applying portions is arranged over the inner clad and the outer clad.
前記光ファイバに入射する光を出射する光源と、
を備える
ことを特徴とするレーザ装置。 The optical fiber according to any one of claims 1 to 4,
A light source that emits light incident on the optical fiber and
A laser device comprising.
ことを特徴とする請求項5に記載のレーザ装置。 The laser apparatus according to claim 5, further comprising a stress changing portion that changes the stress applied to the core.
ことを特徴とする請求項6に記載のレーザ装置。 The laser apparatus according to claim 6, wherein the stress changing portion can be switched between a state in which the stress applied to the core is changed and a state in which the stress applied to the core is not changed.
ことを特徴とする請求項6または7に記載のレーザ装置。 The laser apparatus according to claim 6 or 7, wherein the stress changing portion can change the degree of change in stress applied to the core.
ことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載のレーザ装置。 The stress changing portion according to any one of claims 6 to 8, wherein the stress changing portion changes the stress applied to the core by applying a force in the radial direction of the optical fiber from the outer peripheral side of the clad. Laser device.
ことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載のレーザ装置。 The laser device according to any one of claims 6 to 8, wherein the stress changing portion changes the stress applied to the core by changing the temperature of the optical fiber.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019098107A JP2020194014A (en) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | Optical fiber and laser device |
PCT/JP2020/019875 WO2020241398A1 (en) | 2019-05-24 | 2020-05-20 | Optical fiber and laser device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019098107A JP2020194014A (en) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | Optical fiber and laser device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020194014A true JP2020194014A (en) | 2020-12-03 |
Family
ID=73546479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019098107A Pending JP2020194014A (en) | 2019-05-24 | 2019-05-24 | Optical fiber and laser device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020194014A (en) |
WO (1) | WO2020241398A1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021125162A1 (en) * | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 株式会社フジクラ | Beam quality control device and laser device using same |
JP7687842B2 (en) * | 2021-03-26 | 2025-06-03 | 古河電気工業株式会社 | Optical power supply system |
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- 2019-05-24 JP JP2019098107A patent/JP2020194014A/en active Pending
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2020
- 2020-05-20 WO PCT/JP2020/019875 patent/WO2020241398A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020241398A1 (en) | 2020-12-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
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|
A02 | Decision of refusal |
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