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JP2020157775A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

Liquid jet head and liquid jet device Download PDF

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JP2020157775A
JP2020157775A JP2020113963A JP2020113963A JP2020157775A JP 2020157775 A JP2020157775 A JP 2020157775A JP 2020113963 A JP2020113963 A JP 2020113963A JP 2020113963 A JP2020113963 A JP 2020113963A JP 2020157775 A JP2020157775 A JP 2020157775A
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勇 富樫
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Abstract

【課題】小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクが噴射される液体噴射面20aを有する複数のヘッド本体110と、ヘッド本体110ごとに接続されたCOF基板98と、ヘッド本体110ごとにインクを供給する流路240が設けられた流路部材200とを備え、流路部材200は、COF基板98を挿通する開口部201を複数有し、COF基板98は、ヘッド本体110に対して流路部材200側に延設され、かつ、ヘッド本体110と流路部材200との間において、COF基板98の両面のうち第1面98a側に傾けられ、流路240は、COF基板98の両面のうち第2面98b側で、ヘッド本体110に接続されている。【選択図】図17PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid injection head and a liquid injection device provided with a flow path member capable of reducing the size and securing a larger area in which a liquid flow path can be arranged. SOLUTION: A plurality of head main bodies 110 having a liquid jet surface 20a on which ink is jetted, a COF substrate 98 connected to each head main body 110, and a flow path 240 for supplying ink to each head main body 110 are provided. The flow path member 200 has a plurality of openings 201 through which the COF substrate 98 is inserted, and the COF substrate 98 is extended toward the flow path member 200 with respect to the head body 110. Further, between the head body 110 and the flow path member 200, the flow path 240 is tilted toward the first surface 98a of both sides of the COF substrate 98, and the flow path 240 is on the second surface 98b side of both sides of the COF substrate 98. It is connected to the head body 110. [Selection diagram] FIG. 17

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid injection head and a liquid injection device, and more particularly to an inkjet recording head and an inkjet recording device that inject ink as a liquid.

液体噴射ヘッドとして、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室を圧電素子等の圧力発生手段により変形させ、ノズル開口からインク滴を吐出させるヘッド本体と、該ヘッド本体に供給されるインクの流路を構成する流路部材とを備えたインクジェット式記録ヘッドが知られている。 As the liquid injection head, for example, a head body in which a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting ink droplets is deformed by a pressure generating means such as a piezoelectric element and ink droplets are ejected from the nozzle opening, and the head body is supplied to the head body. An inkjet recording head including a flow path member constituting a flow path of ink is known.

ヘッド本体は流路部材に接続され、流路からのインクがヘッド本体に供給され、又はヘッド本体からのインクが流路に排出されるようになっている。また、流路部材には、厚さ方向に貫通して、フレキシブル配線基板が挿通される開口部が設けられている。フレキシブル配線基板は、当該開口部を挿通してヘッド本体の圧力発生手段にリード電極を介して接続されている。さらに、フレキシブル配線基板は、流路部材のヘッド本体とは反対側に配置された接続基板に接続されている。接続基板は制御部に接続されており、該制御部の制御信号が接続基板、フレキシブル配線基板を介して圧力発生手段に伝達されるようになっている(例えば、特許文献1参照)。 The head body is connected to a flow path member so that ink from the flow path is supplied to the head body or ink from the head body is discharged to the flow path. Further, the flow path member is provided with an opening through which the flexible wiring board is inserted so as to penetrate in the thickness direction. The flexible wiring board is connected to the pressure generating means of the head body via the lead electrode through the opening. Further, the flexible wiring board is connected to a connection board arranged on the side opposite to the head main body of the flow path member. The connection board is connected to the control unit, and the control signal of the control unit is transmitted to the pressure generating means via the connection board and the flexible wiring board (see, for example, Patent Document 1).

特開2012−81644号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-81644

一方、液体噴射ヘッドは、高解像度とともに小型化が要求されており、流路部材も特に液体噴射面に平行な水平面における大きさを小型化することが要求されている。 On the other hand, the liquid injection head is required to have high resolution and miniaturization, and the flow path member is also required to be particularly miniaturized in the horizontal plane parallel to the liquid injection surface.

しかしながら、流路部材の小型化により、流路部材のうち、フレキシブル配線基板が挿通される開口部を除いた、流路を形成可能な領域が狭くなってしまう。すなわち、前記水平面内でインクが流通するような水平流路を流路部材に設けることが困難となる。また、流路部材の流路を形成可能な領域が狭いと、流路を引き回す自由度が制約されるため、例えば、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することも困難となる。 However, due to the miniaturization of the flow path member, the area in which the flow path can be formed becomes narrower, excluding the opening through which the flexible wiring board is inserted. That is, it becomes difficult to provide the flow path member with a horizontal flow path through which ink flows in the horizontal plane. Further, if the region where the flow path of the flow path member can be formed is narrow, the degree of freedom of routing the flow path is restricted, so that it is difficult to construct an optimum flow path according to the arrangement of the head body, for example. Become.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置においても同様に存在する。 It should be noted that such a problem exists not only in the inkjet recording head that ejects ink, but also in the liquid injection head that ejects a liquid other than ink and the liquid injection device.

本発明はこのような事情に鑑み、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, the present invention provides a liquid injection head and a liquid injection device provided with a flow path member capable of reducing the size and securing a larger area in which a liquid flow path can be arranged. With the goal.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
An aspect of the present invention for solving the above problems is a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is jetted, a flexible wiring board connected to each head body, and a flow for supplying liquid to each head body. The flow path member includes a flow path member provided with a path, the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board is located on the flow path member side with respect to the head body. It is extended and tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head body and the flow path member, and the flow path is the second of both sides of the flexible wiring board. On the surface side, it has a portion provided along the liquid injection surface, and the first flow path and the second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is the first flow path. On the one-side side, the first branch flow path is provided along the liquid injection surface, and the second flow path is provided on the second surface side along the liquid injection surface. The liquid injection head has a branch flow path, and the first branch flow path is closer to the head body in a direction orthogonal to the liquid injection surface than the second branch flow path.
In such an embodiment, by inclining the flexible wiring board toward the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the flow path of the flow path member is densely distributed in the area where the flow path can be formed. Can be provided. Let P be a dense region on the first surface side of the opening of the flow path member, and Q be a sparse region on the second surface side. In this way, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow path according to the arrangement of the head body and the like. In particular, when the flow path along the liquid injection surface is provided, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid injection head in the above direction is smaller than that in the case where the flow path along the liquid injection surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be transformed into.
Further, in the region Q, the second branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the first branch flow path close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid injection surface. .. Further, since a plurality of flow paths can be arranged so as to be stacked in a direction orthogonal to the liquid injection surface, the shape of the liquid injection head in the liquid injection surface can be miniaturized.
Here, the first flow path has a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head body on the first surface side and is along a direction perpendicular to the liquid injection surface. It is preferable that the second flow path has a second vertical flow path on the second surface side that connects the second branch flow path and the head body and runs in a direction perpendicular to the liquid injection surface. .. According to this, the ranges of the first vertical flow path and the second vertical flow path occupying the flow path member in the plan view seen from the direction perpendicular to the liquid injection surface are the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths that connect the head body at an angle. That is, by connecting the first branch flow path and the second branch flow path and the head main body by the first vertical flow path and the second vertical flow path, respectively, the size of the flow path member in the plan view is reduced. It becomes possible.
Further, a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each head body, and a flow path member provided with a flow path for supplying liquid to each head body. The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board extends toward the flow path member with respect to the head body and is head body. And the flow path member are tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board, and the flow path is directed to the liquid injection surface on the second surface side of both sides of the flexible wiring board. A first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is provided on the first surface side of the flexible wiring board. The second flow path has a first branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface and a first cross flow path connected to the plurality of the first branch flow paths. On the second surface side of the flexible wiring board, a second branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface, and a second cross flow path connected to the plurality of the second branch flow paths. It is preferable that the first crossing flow path and the second crossing flow path are on opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board. According to this, the branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the branch flow path is provided in the region P. Further, since the intersecting flow paths are opposite to each other in the surface direction of the flexible wiring board, a plurality of flow paths can be arranged without overlapping in the direction orthogonal to the liquid injection surface. The shape of the liquid injection head in the direction orthogonal to the liquid injection surface can be miniaturized.
Further, the flexible wiring board has one end portion close to the head body and the other end portion far from the head body in a direction perpendicular to the liquid injection surface, and the other end portion is more than the one end portion. It is preferable that the width of the flexible wiring board in the surface direction is narrowed, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through the outer region of the other end in the surface direction. According to this, a region for forming the second flow path can be provided on the outside of the flexible wiring board in the plane direction (direction parallel to the plane) of the flexible wiring board. As a result, the degree of freedom in arranging the second flow path in the flow path member is further improved.
Further, it is preferable that the drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, by widening the width of the opening toward the first surface side, it is possible to more effectively suppress the drive circuit from coming into contact with the inner surface of the opening, and it is possible to protect the drive circuit. Even if the width of the opening is widened to the first surface side, the above-mentioned dense region P side is only further narrowed, and it is possible to avoid narrowing the sparse region Q side.
Another aspect of the present invention is a liquid injection device including the above liquid injection head.
In such an embodiment, there is provided a liquid injection device provided with a flow path member capable of reducing the size and securing a larger area in which the liquid flow path can be arranged.
Another aspect of the present invention for solving the above problems is to supply a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is jetted, a flexible wiring board connected to each head body, and a liquid for each head body. The flow path member is provided with a flow path member to be provided, the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board has the flow path member with respect to the head main body. It extends to the side and is tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head body and the flow path member, and the flow path is of both sides of the flexible wiring board. The liquid injection head is characterized by having a portion provided along the liquid injection surface on the second surface side.
In such an embodiment, by inclining the flexible wiring board toward the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the flow path of the flow path member is densely distributed in the area where the flow path can be formed. Can be provided. Let P be a dense region on the first surface side of the opening of the flow path member, and Q be a sparse region on the second surface side. In this way, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow path according to the arrangement of the head body and the like. In particular, when the flow path along the liquid injection surface is provided, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid injection head in the above direction is smaller than that in the case where the flow path along the liquid injection surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be transformed into.

ここで、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことが好ましい。これによれば、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。 Here, the first flow path and the second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is provided on the first surface side along the liquid injection surface. The second branch flow path has one branch flow path, the second branch flow path has a second branch flow path provided along the liquid injection surface on the second surface side, and the first branch flow path has the said. It is preferable that the head body is closer to the head body in a direction orthogonal to the liquid injection surface than the second branch flow path. According to this, in the region Q, the second branch flow path is formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the first branch flow path close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid injection surface. be able to. Further, since a plurality of flow paths can be arranged so as to be stacked in a direction orthogonal to the liquid injection surface, the shape of the liquid injection head in the liquid injection surface can be miniaturized.

また、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。 Further, the first flow path has a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head main body on the first surface side and is along a direction perpendicular to the liquid injection surface. The second flow path preferably has a second vertical flow path on the second surface side that connects the second branch flow path and the head body and runs in a direction perpendicular to the liquid injection surface. According to this, the ranges of the first vertical flow path and the second vertical flow path occupying the flow path member in the plan view seen from the direction perpendicular to the liquid injection surface are the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths that connect the head body at an angle. That is, by connecting the first branch flow path and the second branch flow path and the head main body by the first vertical flow path and the second vertical flow path, respectively, the size of the flow path member in the plan view is reduced. It becomes possible.

また、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。 Further, a first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is parallel to the liquid injection surface on the second surface side of the flexible wiring board. It has a first branch flow path provided in a direction and a first cross flow path connected to a plurality of the first branch flow paths, and the second flow path is the second flow path of the flexible wiring board. On the surface side, it has a second branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface and a second cross flow path connected to the plurality of the second branch flow paths, and the first cross flow path is provided. It is preferable that the flow path and the second crossing flow path are on the opposite side of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board. According to this, the branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the branch flow path is provided in the region P. Further, since the intersecting flow paths are opposite to each other in the surface direction of the flexible wiring board, a plurality of flow paths can be arranged without overlapping in the direction orthogonal to the liquid injection surface. The shape of the liquid injection head in the direction orthogonal to the liquid injection surface can be miniaturized.

また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。 Further, the flexible wiring board has one end portion close to the head body and the other end portion far from the head body in a direction perpendicular to the liquid injection surface, and the other end portion is more than the one end portion. It is preferable that the width of the flexible wiring board in the surface direction is narrowed, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through the outer region of the other end in the surface direction. According to this, a region for forming the second flow path can be provided on the outside of the flexible wiring board in the plane direction (direction parallel to the plane) of the flexible wiring board. As a result, the degree of freedom in arranging the second flow path in the flow path member is further improved.

また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。 Further, it is preferable that the drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, by widening the width of the opening toward the first surface side, it is possible to more effectively suppress the drive circuit from coming into contact with the inner surface of the opening, and it is possible to protect the drive circuit. Even if the width of the opening is widened to the first surface side, the above-mentioned dense region P side is only further narrowed, and it is possible to avoid narrowing the sparse region Q side.

本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
Another aspect of the present invention is a liquid injection device including the above liquid injection head.
In such an embodiment, there is provided a liquid injection device provided with a flow path member capable of reducing the size and securing a larger area in which the liquid flow path can be arranged.

本発明の実施形態1に係る記録装置の概略斜視図。The schematic perspective view of the recording apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図。An exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係るヘッドユニットの底面図。The bottom view of the head unit which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの平面図。The plan view of the recording head which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの底面図。The bottom view of the recording head which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図4のA−A’線断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA'in FIG. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の分解斜視図。An exploded perspective view of a head body according to the first embodiment of the present invention. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の断面図。Sectional drawing of the head body which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1のノズル開口の配置を模式的に示した図。The figure which showed typically the arrangement of the nozzle opening of Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る流路部材(第1流路部材)の平面図。The plan view of the flow path member (first flow path member) which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る第2流路部材の平面図。The plan view of the 2nd flow path member which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の平面図。The plan view of the 3rd flow path member which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施形態1に係る第3流路部材の底面図。The bottom view of the 3rd flow path member which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図11〜図13のB−B’線断面図。BB'line cross-sectional views of FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のC−C’線断面図。Cross-sectional view taken along the line CC'of FIGS. 11 to 13. 図11〜図13のD−D’線断面図。11 to 13 are cross-sectional views taken along the line DD'. 図11〜図13のE−E’線断面図及び従来のヘッド本体の断面図。The cross-sectional view taken along the line EE'of FIGS. 11 to 13 and the cross-sectional view of the conventional head body. 本発明の実施形態1に係るヘッド本体の概略平面図。The schematic plan view of the head body which concerns on Embodiment 1 of this invention.

〈実施形態1〉
本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。インクジェット式記録ヘッドは液体噴射ヘッドの一例であり、単に記録ヘッドともいう。インクジェット式記録ヘッドユニットは、液体噴射ヘッドユニットの一例であり、単にヘッドユニットともいう。インクジェット式記録装置は、液体噴射装置の一例である。図1は、本実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。
<Embodiment 1>
The present invention will be described in detail based on the embodiments. The inkjet recording head is an example of a liquid injection head, and is also simply referred to as a recording head. The inkjet recording head unit is an example of a liquid injection head unit, and is also simply referred to as a head unit. The inkjet recording device is an example of a liquid injection device. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an inkjet recording device according to the present embodiment.

図1に示すように、インクジェット式記録装置1は、ヘッドユニット101を備え、被噴射媒体である紙などの記録シートSを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。 As shown in FIG. 1, the inkjet recording device 1 is a so-called line-type recording device including a head unit 101 and performing printing by transporting a recording sheet S such as paper as an injection medium.

具体的には、インクジェット式記録装置1は、装置本体2と、複数の記録ヘッド100を有するヘッドユニット101と、記録シートSを搬送する搬送手段4と、ヘッドユニット101と相対向する記録シートSを支持する支持部材7とを具備する。なお、本実施形態では、記録シートSの搬送方向をX方向とする。また、ヘッドユニット101のノズル開口が設けられた液体噴射面内において、X方向と直交する方向をY方向とする。さらに、X方向及びY方向に直交する方向をZ方向とする。また、X方向において、記録シートSを搬送する上流側をX1側、下流側をX2側とし、Y方向において一方をY1側、他方をY2側とし、Z方向において液体噴射方向側(記録シートS側)をZ1側、反対側をZ2側とする。 Specifically, the inkjet recording device 1 includes a device main body 2, a head unit 101 having a plurality of recording heads 100, a transport means 4 for transporting the recording sheet S, and a recording sheet S facing the head unit 101. A support member 7 for supporting the device 7 is provided. In this embodiment, the transport direction of the recording sheet S is the X direction. Further, in the liquid injection surface provided with the nozzle opening of the head unit 101, the direction orthogonal to the X direction is defined as the Y direction. Further, the direction orthogonal to the X direction and the Y direction is defined as the Z direction. Further, in the X direction, the upstream side for transporting the recording sheet S is the X1 side, the downstream side is the X2 side, one is the Y1 side in the Y direction, the other is the Y2 side, and the liquid injection direction side in the Z direction (recording sheet S). The side) is the Z1 side, and the opposite side is the Z2 side.

ヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。 The head unit 101 includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100.

複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に交差する方向であるY方向に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。なお、本実施形態では、複数の記録ヘッド100は、Y方向の直線上に並設されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。 The plurality of recording heads 100 are arranged side by side in the Y direction, which is a direction intersecting the X direction, which is the transport direction, and are fixed to the head fixing substrate 102. In this embodiment, the plurality of recording heads 100 are arranged side by side on a straight line in the Y direction. That is, the plurality of recording heads 100 are not arranged so as to be displaced in the X direction. As a result, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed to reduce the size of the head unit 101.

ヘッド固定基板102は、複数の記録ヘッド100のノズル開口が記録シートS側に向くように、複数の記録ヘッド100を保持するものであり、装置本体2に固定されている。 The head fixing substrate 102 holds the plurality of recording heads 100 so that the nozzle openings of the plurality of recording heads 100 face the recording sheet S side, and is fixed to the apparatus main body 2.

搬送手段4は、記録シートSをヘッドユニット101に対して、X方向に搬送する。搬送手段4は、例えば、ヘッドユニット101に対して記録シートSの搬送方向であるX方向の両側に設けられた第1の搬送ローラー5と、第2の搬送ローラー6とを具備する。このような第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とによって、記録シートSをX方向に搬送する。なお、記録シートSを搬送する搬送手段4は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。 The transport means 4 transports the recording sheet S to the head unit 101 in the X direction. The transport means 4 includes, for example, a first transport roller 5 provided on both sides of the recording sheet S in the X direction, which is the transport direction of the recording sheet S, and a second transport roller 6. The recording sheet S is conveyed in the X direction by the first transfer roller 5 and the second transfer roller 6. The transporting means 4 for transporting the recording sheet S is not limited to the transport roller, and may be a belt, a drum, or the like.

支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、搬送手段4によって搬送される記録シートSを支持する。支持部材7は、例えば、断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなり、第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6との間にヘッドユニット101に相対向して設けられている。 The support member 7 supports the recording sheet S transported by the transport means 4 at a position facing the head unit 101. The support member 7 is made of, for example, a metal or resin having a rectangular cross section, and is provided between the first transfer roller 5 and the second transfer roller 6 so as to face the head unit 101.

なお、支持部材7には、搬送された記録シートSを支持部材7上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートSを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートSを静電吸着するもの等が挙げられる。また、例えば、搬送手段4がベルトやドラムである場合、支持部材7は、ヘッドユニット101に相対向する位置で、ベルト上やドラム上に記録シートSを支持する。 The support member 7 may be provided with a suction means for sucking the conveyed recording sheet S on the support member 7. Examples of the suction means include those that suck and suck the recording sheet S by sucking it, those that electrostatically suck the recording sheet S by electrostatic force, and the like. Further, for example, when the transport means 4 is a belt or a drum, the support member 7 supports the recording sheet S on the belt or the drum at a position facing the head unit 101.

ヘッドユニット101の各記録ヘッド100には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段がインクを供給可能に接続されている。液体貯留手段は、例えば、ヘッドユニット101上に保持されていても、また、装置本体2内のヘッドユニット101とは異なる位置に保持されていてもよい。また、液体貯留手段から供給されたインクを記録ヘッド100に供給するための流路等をヘッド固定基板102の内部に設けるようにしてもよく、ヘッド固定基板102にインク流路部材を設け、インク流路部材を介して液体貯留手段からのインクを記録ヘッド100に供給するようにしてもよい。もちろん、液体貯留手段からヘッド固定基板102又はヘッド固定基板102に固定されたインク流路部材等を介さずに、記録ヘッド100に直接インクが供給されてもよい。 Although not shown, each recording head 100 of the head unit 101 is connected to a liquid storage means such as an ink tank or an ink cartridge in which ink is stored so that ink can be supplied. The liquid storage means may be held on the head unit 101, for example, or may be held at a position different from that of the head unit 101 in the apparatus main body 2. Further, a flow path or the like for supplying the ink supplied from the liquid storage means to the recording head 100 may be provided inside the head fixing substrate 102, or an ink flow path member may be provided on the head fixing substrate 102 to provide ink. Ink from the liquid storage means may be supplied to the recording head 100 via the flow path member. Of course, ink may be directly supplied from the liquid storage means to the recording head 100 without going through the head fixing substrate 102 or the ink flow path member fixed to the head fixing substrate 102.

このようなインクジェット式記録装置1では、第1の搬送ローラー5によって記録シートSがX方向に搬送され、ヘッドユニット101によって支持部材7上で支持された記録シートSに印刷が実行される。印刷された記録シートSは、第2の搬送ローラー6によってX方向に搬送される。 In such an inkjet recording device 1, the recording sheet S is conveyed in the X direction by the first conveying roller 5, and printing is executed on the recording sheet S supported on the support member 7 by the head unit 101. The printed recording sheet S is conveyed in the X direction by the second conveying roller 6.

ヘッドユニット101について図2及び図3を参照して詳細に説明する。図2は本実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図3はヘッドユニットの液体噴射面側の底面図である。 The head unit 101 will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is an exploded perspective view showing the head unit according to the present embodiment, and FIG. 3 is a bottom view of the head unit on the liquid injection surface side.

本実施形態のヘッドユニット101は、複数の記録ヘッド100と、複数の記録ヘッド100を保持するヘッド固定基板102とを具備する。記録ヘッド100は、ノズル開口21が設けられた液体噴射面20aをZ方向のZ1側に有する。各記録ヘッド100は、ヘッド固定基板102の記録シートSに相対向する面側、すなわち、Z方向の記録シートS側であるZ1側に固定されている。 The head unit 101 of the present embodiment includes a plurality of recording heads 100 and a head fixing substrate 102 that holds the plurality of recording heads 100. The recording head 100 has a liquid injection surface 20a provided with a nozzle opening 21 on the Z1 side in the Z direction. Each recording head 100 is fixed to the surface side of the head fixing substrate 102 facing the recording sheet S, that is, the Z1 side which is the recording sheet S side in the Z direction.

前述のように、複数の記録ヘッド100は、搬送方向であるX方向に直交するY方向に直線上に並設されてヘッド固定基板102に固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド100は、X方向にずれて配置されていない。これにより、ヘッドユニット101のX方向の幅を狭くして、ヘッドユニット101の小型化を図ることができる。もちろん、Y方向に並設された記録ヘッド100をX方向にずらして配置するようにしてもよいが、記録ヘッド100をX方向に大きくずらすと、ヘッド固定基板102等のX方向の幅が広くなってしまう。このようにヘッドユニット101のX方向の大きさが大きくなると、インクジェット式記録装置1における第1の搬送ローラー5と第2の搬送ローラー6とのX方向の距離が遠くなり、記録シートSの姿勢の固定が困難になる。また、ヘッドユニット101及びインクジェット式記録装置1が大型化してしまう。 As described above, the plurality of recording heads 100 are arranged side by side in a straight line in the Y direction orthogonal to the X direction, which is the transport direction, and fixed to the head fixing substrate 102. That is, the plurality of recording heads 100 are not arranged so as to be displaced in the X direction. As a result, the width of the head unit 101 in the X direction can be narrowed to reduce the size of the head unit 101. Of course, the recording heads 100 arranged side by side in the Y direction may be arranged so as to be displaced in the X direction, but if the recording heads 100 are largely displaced in the X direction, the width of the head fixing substrate 102 or the like in the X direction becomes wider. turn into. When the size of the head unit 101 in the X direction becomes large in this way, the distance between the first transport roller 5 and the second transport roller 6 in the inkjet recording device 1 in the X direction becomes long, and the posture of the recording sheet S becomes large. It becomes difficult to fix. In addition, the head unit 101 and the inkjet recording device 1 become large in size.

なお、本実施形態では、ヘッド固定基板102に4個の記録ヘッド100を固定するようにしたが、記録ヘッド100の数は2個以上であれば、特にこれに限定されるものではない。 In the present embodiment, four recording heads 100 are fixed to the head fixing substrate 102, but the number of recording heads 100 is not particularly limited as long as it is two or more.

図2、図4〜図6を用いて記録ヘッド100について説明する。図4は記録ヘッドの平面図であり、図5は記録ヘッドの底面図であり、図6は図4のA−A’線断面図である。なお、図4は記録ヘッド100のZ方向のZ2側の平面図であり、保持部材120の図示を省略している。 The recording head 100 will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 6. 4 is a plan view of the recording head, FIG. 5 is a bottom view of the recording head, and FIG. 6 is a sectional view taken along line AA'of FIG. Note that FIG. 4 is a plan view of the recording head 100 on the Z2 side in the Z direction, and the holding member 120 is not shown.

記録ヘッド100は、複数のヘッド本体110と、各ヘッド本体110に接続されたCOF基板98と、各ヘッド本体にインクを供給する流路が設けられた流路部材200とを備えている。さらに、本実施形態では、記録ヘッド100は複数のヘッド本体110を保持する保持部材120と、ヘッド本体110の液体噴射面20a側に設けられた固定板130と、中継基板140とを備えている。 The recording head 100 includes a plurality of head main bodies 110, a COF substrate 98 connected to each head main body 110, and a flow path member 200 provided with a flow path for supplying ink to each head main body. Further, in the present embodiment, the recording head 100 includes a holding member 120 for holding a plurality of head main bodies 110, a fixing plate 130 provided on the liquid injection surface 20a side of the head main body 110, and a relay board 140. ..

ヘッド本体110は、インクの流路が設けられた保持部材120及び流路部材200からインクが供給され、インクジェット式記録装置1に設けられた制御部(図示せず)から中継基板140及びCOF基板98を介して制御信号が伝達され、該制御信号に基づいてインク滴を吐出するものである。ヘッド本体110の詳細な構成は後述する。 In the head body 110, ink is supplied from the holding member 120 and the flow path member 200 provided with the ink flow path, and the relay board 140 and the COF board are supplied from a control unit (not shown) provided in the inkjet recording device 1. A control signal is transmitted via 98, and ink droplets are ejected based on the control signal. The detailed configuration of the head body 110 will be described later.

各ヘッド本体110は、Z方向のZ1側にノズル開口21が設けられた液体噴射面20aを有する。また、複数のヘッド本体110のZ2側が、流路部材200のZ1側の面に接着されている。 Each head body 110 has a liquid injection surface 20a provided with a nozzle opening 21 on the Z1 side in the Z direction. Further, the Z2 side of the plurality of head main bodies 110 is adhered to the Z1 side surface of the flow path member 200.

流路部材200は、ヘッド本体110に供給されるインクの液体流路が設けられた部材である。流路部材200の詳細な構成は後述するが、流路部材200には、Z1側の面に、複数のヘッド本体110がY方向に並設されて接着されている。また、流路部材200に設けられた液体流路は、各ヘッド本体110の液体流路に連通しており、流路部材200から各ヘッド本体110にインクが供給されるようになっている。 The flow path member 200 is a member provided with a liquid flow path for ink supplied to the head body 110. The detailed configuration of the flow path member 200 will be described later, but a plurality of head main bodies 110 are arranged side by side in the Y direction and adhered to the flow path member 200 on the surface on the Z1 side. Further, the liquid flow path provided in the flow path member 200 communicates with the liquid flow path of each head main body 110, and ink is supplied from the flow path member 200 to each head main body 110.

本実施形態では、1つの流路部材200に6個のヘッド本体110が接着されている。もちろん、1つの流路部材200に固定するヘッド本体110の数は上述したものに限定されず、1つの流路部材200に対してヘッド本体110が1個であっても、また、2個以上の複数であってもよい。 In this embodiment, six head bodies 110 are adhered to one flow path member 200. Of course, the number of head main bodies 110 fixed to one flow path member 200 is not limited to those described above, and even if there is one head main body 110 for one flow path member 200, or two or more. It may be a plurality of.

また、流路部材200には、Z方向に貫通した開口部201が設けられており、該開口部201には、一端がヘッド本体110に接続されたCOF基板98が挿通している。 Further, the flow path member 200 is provided with an opening 201 penetrating in the Z direction, and a COF substrate 98 having one end connected to the head main body 110 is inserted through the opening 201.

COF基板98は、フレキシブル配線基板の一例である。フレキシブル配線基板は、可撓性を有する基板上に配線が形成されたものである。また、COF基板98は、ヘッド本体110に設けられた圧力発生手段を駆動する駆動回路97(図7参照)を備えている。 The COF substrate 98 is an example of a flexible wiring board. The flexible wiring board is a board in which wiring is formed on a flexible substrate. Further, the COF substrate 98 includes a drive circuit 97 (see FIG. 7) for driving the pressure generating means provided in the head main body 110.

中継基板140は、表面に配線、IC、抵抗等の電装部品が実装された基板であり、保持部材120と流路部材200との間に配置されている。中継基板140には、流路部材200に設けられた開口部201と連通した貫通部141が形成されている。各貫通部141の開口形状は、流路部材200の開口部201よりも大きく形成されている。 The relay board 140 is a board on which electrical components such as wiring, ICs, and resistors are mounted on the surface, and is arranged between the holding member 120 and the flow path member 200. The relay board 140 is formed with a penetrating portion 141 communicating with the opening 201 provided in the flow path member 200. The opening shape of each penetrating portion 141 is formed to be larger than the opening portion 201 of the flow path member 200.

ヘッド本体110の圧力発生手段に接続されたCOF基板98は、開口部201及び貫通部141を挿通し、中継基板140のZ2側の面に設けられた端子(図示せず)に接続されている。 The COF board 98 connected to the pressure generating means of the head body 110 is connected to a terminal (not shown) provided on the Z2 side surface of the relay board 140 through the opening 201 and the through portion 141. ..

特に図示しないが、中継基板140には、インクジェット式記録装置1の制御部に接続されている。このため、当該制御部から送られる駆動信号等を中継基板140を通じてCOF基板98の駆動回路97に伝達され、駆動回路97によりヘッド本体110の圧力発生手段が駆動されるようになっている。これにより、記録ヘッド100のインクの噴射動作が制御されている。 Although not particularly shown, the relay board 140 is connected to the control unit of the inkjet recording device 1. Therefore, the drive signal or the like sent from the control unit is transmitted to the drive circuit 97 of the COF board 98 through the relay board 140, and the pressure generating means of the head body 110 is driven by the drive circuit 97. As a result, the ink ejection operation of the recording head 100 is controlled.

保持部材120は、Z1側に溝状の空間を形成する保持部121を有する。保持部121は、保持部材120のZ1側の面に、Y方向に亘って連続して設けられることで、Y方向の両側面に開口して設けられている。また、保持部材120は、保持部121をX方向の略中央部に設けることで、当該保持部121のX方向の両側には、足部122が形成されている。すなわち、足部122は、保持部材120のZ1側の面に、X方向の両端部のみに設けられており、Y方向の両端部には設けられていない。なお、本実施形態では保持部材120は一部材からなるが、このような態様に限定されず、複数の部材がZ方向に積層されて構成されていてもよい。 The holding member 120 has a holding portion 121 that forms a groove-like space on the Z1 side. The holding portion 121 is continuously provided on the Z1 side surface of the holding member 120 in the Y direction, so that the holding portion 121 is provided so as to be open on both side surfaces in the Y direction. Further, in the holding member 120, by providing the holding portion 121 at a substantially central portion in the X direction, foot portions 122 are formed on both sides of the holding portion 121 in the X direction. That is, the foot portions 122 are provided on the Z1 side surface of the holding member 120 only at both end portions in the X direction, and are not provided at both end portions in the Y direction. In the present embodiment, the holding member 120 is composed of one member, but the present invention is not limited to such an embodiment, and a plurality of members may be laminated in the Z direction.

このような保持部121内に、中継基板140、流路部材200、複数のヘッド本体110が収容されている。具体的には、流路部材200のZ1側の面に各ヘッド本体110が接着剤等で接合され、流路部材200のZ2側の面に中継基板140が固定されている。このように一体的に構成された中継基板140、流路部材200及び複数のヘッド本体110が保持部121内に収容されている。 A relay board 140, a flow path member 200, and a plurality of head main bodies 110 are housed in such a holding portion 121. Specifically, each head body 110 is joined to the Z1 side surface of the flow path member 200 with an adhesive or the like, and the relay board 140 is fixed to the Z2 side surface of the flow path member 200. The relay board 140, the flow path member 200, and the plurality of head main bodies 110 integrally configured in this way are housed in the holding portion 121.

保持部材120と流路部材200とは、保持部121及び流路部材200のZ方向で相対向する面同士が接着剤によって接着されている。中継基板140は、保持部121と流路部材200とで挟まれた空間に収容されている。なお、接着剤による接着に代わり、ネジなどの固定手段により保持部材120と流路部材200とを一体化してもよい。 In the holding member 120 and the flow path member 200, the surfaces of the holding portion 121 and the flow path member 200 facing each other in the Z direction are adhered to each other by an adhesive. The relay board 140 is housed in a space sandwiched between the holding portion 121 and the flow path member 200. Instead of bonding with an adhesive, the holding member 120 and the flow path member 200 may be integrated by a fixing means such as a screw.

また、保持部材120には、特に図示しないが、インクが流通する流路や異物等を捕獲するフィルター等が形成されている。これらの保持部材120の流路は、流路部材200の液体流路に連通している。これにより、インクジェット式記録装置1に設けられた液体貯留手段からのインクが保持部材120及び流路部材200を介してヘッド本体110に供給されるようになっている。 Further, although not particularly shown, the holding member 120 is formed with a flow path through which ink flows, a filter for capturing foreign matter, and the like. The flow path of these holding members 120 communicates with the liquid flow path of the flow path member 200. As a result, the ink from the liquid storage means provided in the inkjet recording device 1 is supplied to the head main body 110 via the holding member 120 and the flow path member 200.

固定板130は、記録ヘッド100の液体噴射面20a側、すなわち、記録ヘッド100のZ方向のZ1側に設けられ、各記録ヘッド100を保持する部材である。固定板130は、例えば、金属等の板状部材を折り曲げることで形成されたものである。具体的には固定板130は、液体噴射面20a側に設けられたベース部131と、ベース部131のY方向の両端部がZ方向のZ2側に屈曲して設けられた折り曲げ部132とを具備する。 The fixing plate 130 is a member provided on the liquid injection surface 20a side of the recording head 100, that is, on the Z1 side of the recording head 100 in the Z direction, and holds each recording head 100. The fixing plate 130 is formed by bending a plate-shaped member such as metal. Specifically, the fixing plate 130 includes a base portion 131 provided on the liquid injection surface 20a side and a bent portion 132 provided with both ends of the base portion 131 in the Y direction bent toward the Z2 side in the Z direction. Equipped.

また、ベース部131には、各ヘッド本体110のノズル開口21を露出するための開口である露出開口部133が設けられている。本実施形態では、露出開口部133は、ヘッド本体110毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド100は、6個のヘッド本体110を有するため、ベース部131には6個の独立した露出開口部133が設けられている。もちろん、ヘッド本体110の構成等によっては、複数のヘッド本体110で構成されるヘッド本体群に対して1つの共通する露出開口部133を設けるようにしてもよい。 Further, the base portion 131 is provided with an exposed opening 133, which is an opening for exposing the nozzle opening 21 of each head body 110. In the present embodiment, the exposed opening 133 is provided so as to open independently for each head body 110. That is, since the recording head 100 of the present embodiment has six head main bodies 110, the base portion 131 is provided with six independent exposed openings 133. Of course, depending on the configuration of the head main body 110 and the like, one common exposed opening 133 may be provided for the head main body group composed of a plurality of head main bodies 110.

このようなベース部131によって、保持部材120の保持部121のZ1側が覆われている。ベース部131は、図6に示すように、保持部材120のZ方向のZ1側の面、すなわち、足部122のZ1側の端面に接着剤を介して接合されている。 The Z1 side of the holding portion 121 of the holding member 120 is covered by such a base portion 131. As shown in FIG. 6, the base portion 131 is joined to the Z1 side surface of the holding member 120 in the Z direction, that is, to the Z1 side end surface of the foot portion 122 via an adhesive.

また、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の両端部に設けられており、保持部121のY方向の側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。すなわち、折り曲げ部132は、ベース部131のY方向の端部から固定板130の縁部までの領域のことである。そして、このような折り曲げ部132は、保持部材120のY方向の側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部121のY方向の側面への開口は、折り曲げ部132によって覆われて封止されている。 Further, the bent portions 132 are provided at both ends of the base portion 131 in the Y direction, and are formed in a size that covers the opening area of the holding portion 121 that opens on the side surface in the Y direction. That is, the bent portion 132 is a region from the end portion of the base portion 131 in the Y direction to the edge portion of the fixing plate 130. Then, such a bent portion 132 is joined to the side surface of the holding member 120 in the Y direction via an adhesive. As a result, the opening of the holding portion 121 to the side surface in the Y direction is covered and sealed by the bent portion 132.

このように、固定板130が保持部材120に接着剤により接着されることで、保持部材120と固定板130との間の空間である保持部121内にヘッド本体110が配置される。 By adhering the fixing plate 130 to the holding member 120 with an adhesive in this way, the head body 110 is arranged in the holding portion 121 which is a space between the holding member 120 and the fixing plate 130.

上述したように、本実施形態に係る記録ヘッド100は、1つの記録ヘッド100に対して複数のヘッド本体110を設けてノズル列の多列化を図ることで、1つの記録ヘッド100に対して1つのヘッド本体110のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて、歩留まりを向上することができる。すなわち、単体のヘッド本体110でのノズル列の多列化を行うのは、ヘッド本体110の歩留まりが低下すると共に製造コストが高価になってしまう。これに対して、複数のヘッド本体110によってノズル列の多列化を行うことで、ヘッド本体110の歩留まりを向上して製造コストを低減することができる。 As described above, the recording head 100 according to the present embodiment is provided with a plurality of head main bodies 110 for one recording head 100 to increase the number of nozzle rows, so that the recording head 100 has one recording head 100. The yield can be improved as compared with the case where a plurality of nozzle rows are provided only in one head main body 110 and the number of nozzle rows is increased. That is, increasing the number of nozzle rows in the single head main body 110 lowers the yield of the head main body 110 and increases the manufacturing cost. On the other hand, by increasing the number of nozzle rows by a plurality of head main bodies 110, the yield of the head main bodies 110 can be improved and the manufacturing cost can be reduced.

また、保持部材120のY方向の側面の開口は、固定板130の折り曲げ部132により封止される。これにより、保持部材120のY方向の両側(図3に示したハッチ部分)に固定板130のベース部131と接着するために足部がなくても、保持部121のY方向の側面に設けられた開口からの水分蒸発を抑制することができる。 Further, the opening on the side surface of the holding member 120 in the Y direction is sealed by the bent portion 132 of the fixing plate 130. As a result, the holding member 120 is provided on both sides of the holding member 120 in the Y direction (the hatch portion shown in FIG. 3) on the side surface of the holding portion 121 in the Y direction even if there are no feet for adhering to the base portion 131 of the fixing plate 130. It is possible to suppress the evaporation of water from the opened opening.

したがって、Y方向に記録ヘッド100を並設したヘッドユニット101は、Y方向において隣り合う記録ヘッド100側に足部122が存在しないことから、Y方向で隣り合う記録ヘッド100の間隔を狭くすることができる。これにより、Y方向で隣り合う記録ヘッド100のヘッド本体110同士を近接して設けることができ、隣り合う記録ヘッド100の各ヘッド本体110に設けられたノズル開口21をY方向で近接させて設けることができる。 Therefore, in the head unit 101 in which the recording heads 100 are arranged side by side in the Y direction, since the foot portions 122 do not exist on the side of the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction, the distance between the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction should be narrowed. Can be done. As a result, the head bodies 110 of the recording heads 100 adjacent to each other in the Y direction can be provided close to each other, and the nozzle openings 21 provided in the head main bodies 110 of the adjacent recording heads 100 are provided close to each other in the Y direction. be able to.

なお、本実施形態に係る記録ヘッド100は、保持部材120のX方向の両側に足部122を設けるようにしたが、足部122を設けないようにしてもよい。すなわち、保持部材120のZ1側の面にヘッド本体110が接着され、固定板130のX方向及びY方向の両側に折り曲げ部132を設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130には、液体噴射面20aの面内方向における全周に亘って折り曲げ部132が設けられており、保持部材120の側面の全周に亘って固定板130が接着されていてもよい。ただし、本実施形態のように保持部材120のX方向の両側に足部122を設けることで、足部122のZ1側の端面を固定板130のベース部131に接着することにより、インクジェット式記録ヘッド100のZ方向の強度を向上することができるとともに、足部122からの水分蒸発を抑制することができる。 The recording head 100 according to the present embodiment is provided with foot portions 122 on both sides of the holding member 120 in the X direction, but the foot portions 122 may not be provided. That is, the head main body 110 may be adhered to the Z1 side surface of the holding member 120, and the bent portions 132 may be provided on both sides of the fixing plate 130 in the X direction and the Y direction. That is, the fixing plate 130 is provided with a bent portion 132 over the entire circumference of the liquid injection surface 20a in the in-plane direction, and the fixing plate 130 is adhered over the entire circumference of the side surface of the holding member 120. May be good. However, by providing the foot portions 122 on both sides of the holding member 120 in the X direction as in the present embodiment, the end faces of the foot portion 122 on the Z1 side are adhered to the base portion 131 of the fixing plate 130, thereby performing inkjet recording. The strength of the head 100 in the Z direction can be improved, and the evaporation of water from the foot portion 122 can be suppressed.

図7及び図8を用いて、ヘッド本体110について説明する。図7は本実施形態に係るヘッド本体の斜視図であり、図8はヘッド本体のY方向の断面図である。もちろん、ヘッド本体110の構成は以下の構成に限定されない。 The head main body 110 will be described with reference to FIGS. 7 and 8. FIG. 7 is a perspective view of the head body according to the present embodiment, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the head body in the Y direction. Of course, the configuration of the head body 110 is not limited to the following configuration.

本実施形態のヘッド本体110は、圧力発生室12、ノズル開口21、マニホールド95、圧力発生手段等を備える。そのために、流路形成基板10、連通板15、ノズルプレート20、保護基板30、コンプライアンス基板45、ケース40等の複数の部材が接着剤等によって接合されている。 The head body 110 of the present embodiment includes a pressure generating chamber 12, a nozzle opening 21, a manifold 95, a pressure generating means, and the like. Therefore, a plurality of members such as the flow path forming substrate 10, the communication plate 15, the nozzle plate 20, the protective substrate 30, the compliance substrate 45, and the case 40 are joined by an adhesive or the like.

流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が複数のノズル開口21の並設方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室12の並設方向は、Xa方向と称する。また、流路形成基板10には、圧力発生室12がXa方向に並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力発生室12の列が複数列設された列設方向を、以降、Ya方向と称する。なお、本実施形態では、Xa方向及びYa方向に直交する方向は、Z方向と一致する。また、本実施形態のヘッド本体110は、ノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜した方向となるようにヘッドユニット101に搭載される。 On the flow path forming substrate 10, pressure generating chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are juxtaposed along the juxtaposed direction of the plurality of nozzle openings 21 by anisotropic etching from one side. In the present embodiment, the side-by-side direction of the pressure generating chambers 12 is referred to as the Xa direction. Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a plurality of rows in which pressure generating chambers 12 are arranged side by side in the Xa direction, and in the present embodiment, two rows are provided. The rowing direction in which a plurality of rows of the pressure generating chambers 12 are arranged is hereinafter referred to as the Ya direction. In the present embodiment, the directions orthogonal to the Xa direction and the Ya direction coincide with the Z direction. Further, the head body 110 of the present embodiment is mounted on the head unit 101 so that the Xa direction, which is the parallel direction of the nozzle openings 21, is inclined with respect to the X direction, which is the transport direction of the recording sheet S. To.

また、流路形成基板10には、圧力発生室12のYa方向の一端部側に、当該圧力発生室12よりも開口面積が狭く、圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。 Further, the flow path forming substrate 10 is provided with a flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 on one end side of the pressure generation chamber 12 in the Ya direction, which has a smaller opening area than the pressure generation chamber 12. A supply channel or the like may be provided.

流路形成基板10の一方面側には、連通板15が接合されている。また、連通板15には、各圧力発生室12に連通する複数のノズル開口21が設けられたノズルプレート20が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート20のノズル開口21が開口するZ方向のZ1側が液体噴射面20aとなっている。 A communication plate 15 is joined to one side of the flow path forming substrate 10. Further, a nozzle plate 20 provided with a plurality of nozzle openings 21 communicating with each pressure generating chamber 12 is joined to the communication plate 15. In the present embodiment, the liquid injection surface 20a is on the Z1 side in the Z direction in which the nozzle opening 21 of the nozzle plate 20 opens.

連通板15には、圧力発生室12とノズル開口21とを連通するノズル連通路16が設けられている。連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート20の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。 The communication plate 15 is provided with a nozzle communication passage 16 that communicates the pressure generating chamber 12 and the nozzle opening 21. The communication plate 15 has a larger area than the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 has a smaller area than the flow path forming substrate 10. By making the area of the nozzle plate 20 relatively small in this way, the cost can be reduced.

また、連通板15には、マニホールド95の一部を構成する第1マニホールド17と、第2マニホールド18とが設けられている。第1マニホールド17は、連通板15をZ方向に貫通して設けられている。第2マニホールド18は、連通板15をZ方向に貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口してZ方向の途中まで設けられている。 Further, the communication plate 15 is provided with a first manifold 17 and a second manifold 18 that form a part of the manifold 95. The first manifold 17 is provided so as to penetrate the communication plate 15 in the Z direction. The second manifold 18 is provided halfway in the Z direction by opening to the nozzle plate 20 side of the communication plate 15 without penetrating the communication plate 15 in the Z direction.

さらに、連通板15には、圧力発生室12のY方向の一端部に連通する供給連通路19が、圧力発生室12毎に独立して設けられている。この供給連通路19は、第2マニホールド18と圧力発生室12とを連通する。 Further, the communication plate 15 is provided with a supply communication passage 19 that communicates with one end of the pressure generation chamber 12 in the Y direction independently for each pressure generation chamber 12. The supply communication passage 19 communicates the second manifold 18 with the pressure generating chamber 12.

ノズルプレート20には、各圧力発生室12とノズル連通路16を介して連通するノズル開口21が形成されている。複数のノズル開口21がXa方向に並設され、それぞれの並設されたノズル開口21が2つのノズル列a及びノズル列bをなし、このノズル列a、ノズル列bがYa方向に並設されている。なお、本実施形態では、詳細は後述するが、ノズル列a及びノズル列bのそれぞれは、2つに分割して1列で2種類の液体を噴射できるようになっている。 The nozzle plate 20 is formed with nozzle openings 21 that communicate with each pressure generating chamber 12 via the nozzle communication passage 16. A plurality of nozzle openings 21 are arranged side by side in the Xa direction, and each of the arranged nozzle openings 21 forms two nozzle rows a and nozzle rows b, and the nozzle rows a and nozzle rows b are arranged side by side in the Ya direction. ing. In this embodiment, although the details will be described later, each of the nozzle row a and the nozzle row b is divided into two so that two types of liquids can be injected in one row.

一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、振動板50が形成されている。また、振動板50上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター300が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室12毎にパターニングして構成する。 On the other hand, a diaphragm 50 is formed on the side of the flow path forming substrate 10 opposite to the communication plate 15. Further, the piezoelectric actuator 300, which is the pressure generating means of the present embodiment, is configured by sequentially stacking the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 on the diaphragm 50. Generally, one electrode of the piezoelectric actuator 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer are patterned for each pressure generating chamber 12.

また、流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。また、保護基板30には、Z方向に貫通する貫通孔32が設けられている。圧電アクチュエーター300の電極から引き出されたリード電極90の端部は、この貫通孔32内に露出するように延設され、リード電極90とCOF基板98とが、貫通孔32内で電気的に接続されている。 Further, a protective substrate 30 having substantially the same size as the flow path forming substrate 10 is bonded to the surface of the flow path forming substrate 10 on the piezoelectric actuator 300 side. The protective substrate 30 has a holding portion 31 which is a space for protecting the piezoelectric actuator 300. Further, the protective substrate 30 is provided with a through hole 32 penetrating in the Z direction. The end of the lead electrode 90 drawn from the electrode of the piezoelectric actuator 300 is extended so as to be exposed in the through hole 32, and the lead electrode 90 and the COF substrate 98 are electrically connected in the through hole 32. Has been done.

また、保護基板30及び連通板15には、複数の圧力発生室12に連通するマニホールド95を画成するケース40が固定されている。ケース40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。具体的には、ケース40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの凹部41を有する。この凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって封止されている。これにより、流路形成基板10の外周部には、ケース40と流路形成基板10及び保護基板30とによって第3マニホールド42が画成されている。そして、この第3マニホールド42と、連通板15に設けられた第1マニホールド17及び第2マニホールド18とによって本実施形態のマニホールド95が構成されている。なお、上述したように1列のノズル列で2種類の液体を噴射できるようになっているので、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列方向、すなわち、Xa方向で2つに分割されている。例えば、第1マニホールド17は、図7に示すように、第1マニホールド17aと第1マニホールド17bとからなる。第2マニホールド18及び第3マニホールド42も同様に2つに分割され、マニホールド95全体としてもXa方向に2つ分割されている。 Further, a case 40 defining a manifold 95 communicating with a plurality of pressure generating chambers 12 is fixed to the protective substrate 30 and the communicating plate 15. The case 40 has substantially the same shape as the above-mentioned communication plate 15 in a plan view, and is joined to the protective substrate 30 and also to the above-mentioned communication plate 15. Specifically, the case 40 has a recess 41 having a depth for accommodating the flow path forming substrate 10 and the protective substrate 30 on the protective substrate 30 side. The recess 41 has an opening area wider than the surface of the protective substrate 30 joined to the flow path forming substrate 10. Then, the opening surface of the recess 41 on the nozzle plate 20 side is sealed by the communication plate 15 in a state where the flow path forming substrate 10 and the like are housed in the recess 41. As a result, a third manifold 42 is defined on the outer peripheral portion of the flow path forming substrate 10 by the case 40, the flow path forming substrate 10, and the protective substrate 30. The manifold 95 of the present embodiment is composed of the third manifold 42 and the first manifold 17 and the second manifold 18 provided on the communication plate 15. As described above, since two types of liquids can be injected with one row of nozzle rows, the first manifold 17, the second manifold 18, and the third manifold 42 constituting the manifold 95 are nozzle rows, respectively. It is divided into two in the direction, that is, in the Xa direction. For example, the first manifold 17 includes a first manifold 17a and a first manifold 17b, as shown in FIG. The second manifold 18 and the third manifold 42 are also divided into two in the same manner, and the entire manifold 95 is also divided into two in the Xa direction.

本実施形態では、マニホールド95を構成する第1マニホールド17、第2マニホールド18及び第3マニホールド42は、それぞれノズル列a及びノズル列bを挟んで対称に配置されている。これによれば、ノズル列a及びノズル列b毎に異なる液体を噴射することも可能となる。勿論、マニホールドの配置はこれに限定されるものではない。 In the present embodiment, the first manifold 17, the second manifold 18, and the third manifold 42 constituting the manifold 95 are arranged symmetrically with the nozzle row a and the nozzle row b, respectively. According to this, it is possible to inject different liquids for each of the nozzle row a and the nozzle row b. Of course, the arrangement of the manifold is not limited to this.

また、本実施形態では、後述するように4種の液体を噴射できるように、各ノズル列に対応するマニホールドをXa方向で2つに分割して合計4つのマニホールド95としているが、ノズル列a及びノズル列b毎に形成されたマニホールドとしてもよいし、また、ノズル列a及びノズル列bの2列に対して共通の1つのマニホールドとしてもよい。 Further, in the present embodiment, the manifold corresponding to each nozzle row is divided into two in the Xa direction to form a total of four manifolds 95 so that four types of liquids can be injected as described later. It may be a manifold formed for each nozzle row b, or it may be a common manifold for the two rows of the nozzle row a and the nozzle row b.

また、連通板15の第1マニホールド17及び第2マニホールド18が開口する面には、コンプライアンス基板45が設けられている。このコンプライアンス基板45が、第1マニホールド17と第2マニホールド18の開口を封止している。 Further, a compliance board 45 is provided on the surface of the communication plate 15 where the first manifold 17 and the second manifold 18 open. The compliance board 45 seals the openings of the first manifold 17 and the second manifold 18.

このようなコンプライアンス基板45は、本実施形態では、封止膜46と、固定基板47とを具備する。封止膜46は、可撓性を有する薄膜(例えば、ポリフェニレンサルファイド(PPS)やステンレス鋼(SUS)等)により形成されている。また、固定基板47は、ステンレス鋼(SUS)等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板47のマニホールド95に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部48となっているため、マニホールド95の一方面は可撓性を有する封止膜46のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部49となっている。 In this embodiment, such a compliance substrate 45 includes a sealing film 46 and a fixed substrate 47. The sealing film 46 is formed of a flexible thin film (for example, polyphenylene sulfide (PPS), stainless steel (SUS), etc.). Further, the fixed substrate 47 is formed of a hard material such as a metal such as stainless steel (SUS). Since the region of the fixed substrate 47 facing the manifold 95 is an opening 48 completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 95 is sealed only with the flexible sealing film 46. It is a compliance unit 49, which is a flexible portion.

また、固定板130は、コンプライアンス基板45の連通板15とは反対面側に接着される。すなわち、固定板130のベース部131に設けられた露出開口部133は、ノズルプレート20の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部133内でノズルプレート20の液体噴射面20aを露出する。もちろん、固定板130は、これに限定されず、例えば、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とし、固定板130をノズルプレート20の液体噴射面20aに当接又は接着するようにしてもよい。また、固定板130の露出開口部133をノズルプレート20の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、固定板130と液体噴射面20aとが接しないように設けるようにしてもよい。すなわち、固定板130が液体噴射面20a側に設けられているとは、液体噴射面20aに接していないものも、また、液体噴射面20aに接するものも含むものである。 Further, the fixing plate 130 is adhered to the side of the compliance substrate 45 opposite to the communication plate 15. That is, the exposed opening 133 provided in the base 131 of the fixing plate 130 has an opening area wider than the area of the nozzle plate 20, and exposes the liquid injection surface 20a of the nozzle plate 20 in the exposed opening 133. .. Of course, the fixing plate 130 is not limited to this, for example, the exposed opening 133 of the fixing plate 130 has an opening area smaller than the outer shape of the nozzle plate 20, and the fixing plate 130 hits the liquid injection surface 20a of the nozzle plate 20. It may be brought into contact or adhered. Further, even when the exposed opening 133 of the fixing plate 130 has an opening area smaller than the outer shape of the nozzle plate 20, the fixing plate 130 and the liquid injection surface 20a may be provided so as not to come into contact with each other. That is, the fact that the fixing plate 130 is provided on the liquid injection surface 20a side includes those that are not in contact with the liquid injection surface 20a and those that are in contact with the liquid injection surface 20a.

なお、ケース40には、マニホールド95に連通して各マニホールド95にインクを供給するための導入路44が設けられている。また、ケース40には、保護基板30の貫通孔32に連通してCOF基板98が挿通される接続口43が設けられている。 The case 40 is provided with an introduction path 44 for communicating with the manifold 95 and supplying ink to each manifold 95. Further, the case 40 is provided with a connection port 43 through which the COF substrate 98 is inserted so as to communicate with the through hole 32 of the protective substrate 30.

このような構成のヘッド本体110では、インクを噴射する際に、貯留手段から導入路44を介してインクを取り込み、マニホールド95からノズル開口21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路97からの信号に従い、圧力発生室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室12内の圧力が高まり所定のノズル開口21からインク滴が噴射される。 In the head body 110 having such a configuration, when the ink is ejected, the ink is taken in from the storage means via the introduction path 44, and the inside of the flow path is filled with the ink from the manifold 95 to the nozzle opening 21. After that, according to the signal from the drive circuit 97, a voltage is applied to each piezoelectric actuator 300 corresponding to the pressure generating chamber 12, so that the diaphragm is flexed and deformed together with the piezoelectric actuator 300. As a result, the pressure in the pressure generating chamber 12 increases, and ink droplets are ejected from the predetermined nozzle opening 21.

ここで、図5及び図9を用いて、ヘッド本体110のノズル列を構成するノズル開口21の並設方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられている点について詳細に説明する。図9は本実施形態に係るヘッド本体のノズル開口の配置を模式的に示した説明図である。 Here, using FIGS. 5 and 9, the parallel arrangement direction of the nozzle openings 21 constituting the nozzle row of the head main body 110 is provided so as to be inclined with respect to the X direction which is the transport direction of the recording sheet S. The points will be described in detail. FIG. 9 is an explanatory view schematically showing the arrangement of the nozzle openings of the head body according to the present embodiment.

複数のヘッド本体110は、液体噴射面20aの面内方向において、記録シートSの搬送方向であるX方向に対してノズル列a、ノズル列bが傾斜するように固定されている。ここでいうノズル列は複数のノズル開口21が所定の方向に並設されたものをいう。本実施形態では、液体噴射面20aには、所定の方向としてXa方向に複数のノズル開口21が並設された2列のノズル列a及びノズル列bが液体噴射面20aに設けられている。Xa方向は、前記X方向に対して、0度より大きく90度未満の角度で交差した方向となっている。ここで、X方向とXa方向とは、0度より大きく45度未満の角度で交差することが好ましい。これによると、45度より大きく90度未満の角度で交差する場合と比較すると、Y方向におけるノズル開口21同士の間隔D1をより小さくでき、Y方向に高解像度の記録ヘッド100を実現することができる。もちろん、X方向とXa方向とを、45度より大きく90度未満の角度で交差するようにしてもよい。 The plurality of head main bodies 110 are fixed so that the nozzle row a and the nozzle row b are inclined with respect to the X direction, which is the transport direction of the recording sheet S, in the in-plane direction of the liquid injection surface 20a. The nozzle row referred to here refers to a plurality of nozzle openings 21 arranged side by side in a predetermined direction. In the present embodiment, the liquid injection surface 20a is provided with two rows of nozzle rows a and nozzle rows b in which a plurality of nozzle openings 21 are arranged side by side in the Xa direction as a predetermined direction on the liquid injection surface 20a. The Xa direction is a direction that intersects the X direction at an angle greater than 0 degrees and less than 90 degrees. Here, it is preferable that the X direction and the Xa direction intersect at an angle larger than 0 degrees and less than 45 degrees. According to this, the distance D1 between the nozzle openings 21 in the Y direction can be made smaller than the case where the nozzle openings 21 intersect at an angle larger than 45 degrees and less than 90 degrees, and a high-resolution recording head 100 can be realized in the Y direction. it can. Of course, the X direction and the Xa direction may intersect at an angle larger than 45 degrees and less than 90 degrees.

なお、X方向とXa方向とが0度より大きく45度未満の角度で交差するとは、液体噴射面20aの面内においてX方向と45度で交差する直線よりも、ノズル列がX方向に向けてより傾斜している状態をいう。また、ここでいう間隔D1は、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21を、Y方向の仮想線に対して、X方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔である。また、ノズル列a及びノズル列bのノズル開口21をX方向の仮想線に対して、Y方向に投影した場合のノズル開口21同士の間隔をD2とする。 When the X direction and the Xa direction intersect at an angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees, the nozzle row faces the X direction rather than a straight line intersecting the X direction at 45 degrees in the plane of the liquid injection surface 20a. The state of being more inclined. Further, the interval D1 referred to here is an interval between the nozzle openings 21 when the nozzle openings 21 of the nozzle row a and the nozzle row b are projected in the X direction with respect to the virtual line in the Y direction. Further, the distance between the nozzle openings 21 when the nozzle openings 21 of the nozzle row a and the nozzle row b are projected in the Y direction with respect to the virtual line in the X direction is set to D2.

また、図9に示すように、本実施形態では、1つのノズル列で2種類、2つのノズル列で4種類の液体を噴射できるようになっている。すなわち、4色のインクを使用すると仮定すると、例えば、ノズル列aでは、ブラックBkとマゼンタM、ノズル列bでは、シアンCとイエローYを噴射できるようになっている。また、ノズル列aとノズル列bとは同じ数のノズル開口21を有し、ノズル列aのノズル開口21のY方向の位置と、ノズル列bのノズル開口21のY方向の位置とは、X方向で重なっている。 Further, as shown in FIG. 9, in the present embodiment, one nozzle row can inject two types of liquids, and two nozzle rows can inject four types of liquids. That is, assuming that four colors of ink are used, for example, black Bk and magenta M can be ejected in the nozzle row a, and cyan C and yellow Y can be jetted in the nozzle row b. Further, the nozzle row a and the nozzle row b have the same number of nozzle openings 21, and the position of the nozzle opening 21 of the nozzle row a in the Y direction and the position of the nozzle opening 21 of the nozzle row b in the Y direction are different. It overlaps in the X direction.

ヘッド本体110a〜110cは、同様なノズル列a、bを有しており、ヘッド本体110a〜110cがY方向に近接して設けられることにより、Y方向に隣接するヘッド本体110の各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。よって、例えばヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aとイエローYのノズル列bとが、ヘッド本体110bのブラックBkのノズル列aとシアンCのノズル列bとにX方向で重なることで、X方向の一列に4色が並ぶようになり、カラーイメージを印刷することができる。また、Y方向に隣接するヘッド本体110bとヘッド本体110cについても、同様に、各ノズル開口21が、互いにX方向で重なるように並設されている。 The head bodies 110a to 110c have similar nozzle rows a and b, and the head bodies 110a to 110c are provided close to each other in the Y direction, so that each nozzle opening 21 of the head body 110 adjacent to the head body 110 is provided. Are juxtaposed so as to overlap each other in the X direction. Therefore, for example, the magenta M nozzle row a of the head body 110a and the yellow Y nozzle row b overlap the black Bk nozzle row a of the head body 110b and the cyan C nozzle row b in the X direction. Four colors are lined up in a row in the direction, and a color image can be printed. Similarly, with respect to the head main body 110b and the head main body 110c adjacent to each other in the Y direction, the nozzle openings 21 are arranged side by side so as to overlap each other in the X direction.

さらに、隣接するヘッド本体110が有する同じ色のノズル列のうち少なくとも一部のノズル開口21が互いにX方向で重なるように配置されていることで、ヘッド本体110間のつなぎ目の画質を向上することができる。すなわち、例えば、ヘッド本体110aのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とヘッド本体110bのマゼンタMのノズル列aの1つのノズル開口21とが、互いにX方向で重なるように配置されており、この互いに重なる2つのノズル開口21からの噴射を制御することにより、隣接するヘッド本体110間のつなぎ目においてバンディングや筋といった画質の劣化を防ぐことができる。また、図9に示す例では、1つのノズル開口21のみがX方向に重なっているが、2つ以上のノズル開口21がX方向に重なっていてもよい。 Further, by arranging at least a part of the nozzle openings 21 of the same color of the adjacent head main bodies 110 so as to overlap each other in the X direction, the image quality of the joint between the head main bodies 110 is improved. Can be done. That is, for example, one nozzle opening 21 of the magenta M nozzle row a of the head body 110a and one nozzle opening 21 of the magenta M nozzle row a of the head body 110b are arranged so as to overlap each other in the X direction. By controlling the injection from the two nozzle openings 21 that overlap each other, it is possible to prevent deterioration of image quality such as banding and streaks at the joint between the adjacent head main bodies 110. Further, in the example shown in FIG. 9, only one nozzle opening 21 overlaps in the X direction, but two or more nozzle openings 21 may overlap in the X direction.

このような色の配置は、勿論これに限定されるものではない。例えば、特に図示しないが、1つのノズル列で、ブラックBk、マゼンタM、シアンC及びイエローYの4色を噴射できるように配置してもよい。 Of course, such a color arrangement is not limited to this. For example, although not particularly shown, one nozzle row may be arranged so that four colors of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y can be injected.

上述したように、ヘッド本体110を複数有する記録ヘッド100をヘッド固定基板102に4個固定してヘッドユニット101を構成しているが、図5の直線Lに示すように、隣接する記録ヘッド100同士でノズル列の一部がX方向で重なるように配置されている。すなわち、1つの記録ヘッド100において隣接するヘッド本体110の関係と同様に、Y方向に隣接する記録ヘッド100間において隣接するヘッド本体110がY方向に近接して設けられることにより、隣接する記録ヘッド100間において、カラーイメージを印刷できるとともに、隣接する記録ヘッド100間のつなぎ目の画質を向上することができる。もちろん、隣接する記録ヘッド100間においてX方向に重なるノズル開口21の数は、1つの記録ヘッド100におけるヘッド本体110間においてX方向に重なるノズル開口21の数と同じである必要はない。 As described above, four recording heads 100 having a plurality of head main bodies 110 are fixed to the head fixing substrate 102 to form the head unit 101, but as shown by the straight line L in FIG. 5, adjacent recording heads 100 are formed. A part of the nozzle rows is arranged so as to overlap each other in the X direction. That is, similar to the relationship between the adjacent head main bodies 110 in one recording head 100, the adjacent head main bodies 110 are provided close to each other in the Y direction between the adjacent recording heads 100 in the Y direction, so that the adjacent recording heads are adjacent to each other. A color image can be printed between the 100 recording heads, and the image quality of the joint between the adjacent recording heads 100 can be improved. Of course, the number of nozzle openings 21 overlapping in the X direction between adjacent recording heads 100 does not have to be the same as the number of nozzle openings 21 overlapping in the X direction between the head bodies 110 in one recording head 100.

このように、ヘッド本体110間のノズル列と、記録ヘッド100間のノズル列とがX方向で一部重なることにより、つなぎ目の画質を向上することができる。 In this way, the image quality of the joint can be improved by partially overlapping the nozzle rows between the head bodies 110 and the nozzle rows between the recording heads 100 in the X direction.

また、各ノズル列のXa方向において隣接するノズル開口21間において、X方向の間隔D1とY方向の間隔D2とは整数比となるように、ノズルピッチやX方向とXa方向の角度を設定するのが好ましい。これによれば、X方向及びY方向にマトリクス状に配置された画素から構成されるイメージデータを印刷する場合に、各ノズルと画素との対応付けが容易となる。なお、もちろん、このような整数比に限定されるものではない。 Further, the nozzle pitch and the angle between the X direction and the Xa direction are set so that the interval D1 in the X direction and the interval D2 in the Y direction are integer ratios between the nozzle openings 21 adjacent to each other in the Xa direction of each nozzle row. Is preferable. According to this, when printing image data composed of pixels arranged in a matrix in the X direction and the Y direction, it becomes easy to associate each nozzle with the pixel. Of course, the ratio is not limited to such an integer ratio.

本実施形態の記録ヘッド100は、図5に示すように、液体噴射面20a側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッド本体110のノズル列a、ノズル列bを構成するノズル開口21の並設方向であるXa方向が、記録シートSの搬送方向であるX方向に対して傾斜して設けられており、このノズル列a、ノズル列bの傾斜する方向であるXa方向と同じように記録ヘッド100の外形、すなわち、固定板130を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、記録ヘッド100の液体噴射面20a側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、台形の矩形状や多角形状等であってもよい。 As shown in FIG. 5, the recording head 100 of the present embodiment has a shape of a substantially parallelogram when viewed in a plan view from the liquid injection surface 20a side. This is because, as described above, the Xa direction, which is the parallel direction of the nozzle rows a and the nozzle openings 21 forming the nozzle row b of each head body 110, is inclined with respect to the X direction, which is the transport direction of the recording sheet S. The outer shape of the recording head 100, that is, the fixing plate 130 is formed to be a substantially parallel quadrilateral in the same direction as the Xa direction, which is the direction in which the nozzle row a and the nozzle row b are inclined. Is. Of course, the shape of the recording head 100 when viewed in a plan view from the liquid injection surface 20a side is not limited to a substantially parallelogram, and may be a trapezoidal rectangle, a polygon, or the like.

なお、以上説明した実施形態では、1つのヘッド本体に2列のノズル列を設けた例を説明したが、3列以上のノズル列を有するものであっても同様に上述した効果を奏することはいうまでもない。なお、本実施形態のように、1つのヘッド本体110に設けられたノズル列が2列であれば、図7のように、それぞれのノズル列に対応した2つのマニホールド95の間に、それぞれのノズル列のノズル開口21を配置することができるので、複数のノズル列のノズル開口21がそれぞれのノズル列に対応したマニホールドに対して同じ側に配置される場合と比較すると、2列のノズル列のYa方向の間隔を狭めることができる。ゆえに、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20に要する面積を小さくすることができる。また、2列のノズル列のそれぞれの圧電アクチュエーター300とCOF基板98との接続も容易になる。 In the embodiment described above, an example in which two rows of nozzle rows are provided in one head body has been described, but even if the head body has three or more rows of nozzles, the above-mentioned effect can be similarly obtained. Needless to say. If there are two rows of nozzles provided in one head body 110 as in the present embodiment, as shown in FIG. 7, between the two manifolds 95 corresponding to the respective nozzle rows, each Since the nozzle openings 21 of the nozzle row can be arranged, two rows of nozzle rows are compared with the case where the nozzle openings 21 of a plurality of nozzle rows are arranged on the same side with respect to the manifold corresponding to each nozzle row. The interval in the Ya direction can be narrowed. Therefore, the area required for one nozzle plate 20 can be reduced for two rows of nozzle rows. In addition, the connection between the piezoelectric actuators 300 in each of the two nozzle rows and the COF substrate 98 becomes easy.

また、本実施形態では、各ノズル列a、bは、同じ数のノズル開口21を有している。これによれば、各ノズル列間のX方向におけるオーバーラップ数を同じにでき、効率的な液体噴射ができる。しかしながら、各ノズル列のノズル開口の数は、必ずしも同じである必要はない。さらに、ノズル列a、bが噴射する液体の種類は全て同じであってもよく、例えば全て同じ色のインクを使用してもよい。 Further, in the present embodiment, each of the nozzle rows a and b has the same number of nozzle openings 21. According to this, the number of overlaps in the X direction between the nozzle rows can be made the same, and efficient liquid injection can be performed. However, the number of nozzle openings in each nozzle row does not necessarily have to be the same. Further, the types of liquids ejected by the nozzle rows a and b may all be the same, and for example, inks of the same color may be used.

また、本実施形態では、ヘッド本体110は、2列のノズル列に対して1つのノズルプレート20を有することが好ましい。これによれば、各ノズル列の配置がさらに高精度に実現できる。もちろん、ノズル列毎に別のノズルプレート20を設けてもよい。なお、ノズルプレート20は、ステンレス鋼(SUS)板やシリコン基板などから構成される。 Further, in the present embodiment, it is preferable that the head main body 110 has one nozzle plate 20 for two rows of nozzle rows. According to this, the arrangement of each nozzle row can be realized with higher accuracy. Of course, a separate nozzle plate 20 may be provided for each nozzle row. The nozzle plate 20 is made of a stainless steel (SUS) plate, a silicon substrate, or the like.

図10〜図16を用いて、本実施形態に係る流路部材200について詳細に説明する。図10は流路部材200としての第1流路部材の平面図であり、図11は流路部材200としての第2流路部材の平面図であり、図12は流路部材200としての第3流路部材の平面図であり、図13は第3流路部材の底面図であり、図14は図10〜図13のB−B’線断面図であり、図15は図10〜図13のC−C’線断面図であり、図16は図10〜図15のD−D’線断面図である。なお、図10〜図12はZ2側の平面図であり、図13はZ1側の底面図である。 The flow path member 200 according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS. 10 to 16. 10 is a plan view of the first flow path member as the flow path member 200, FIG. 11 is a plan view of the second flow path member as the flow path member 200, and FIG. 12 is a plan view of the second flow path member 200. 3 is a plan view of the flow path member, FIG. 13 is a bottom view of the third flow path member, FIG. 14 is a sectional view taken along line BB'of FIGS. 10 to 13, and FIG. 15 is a view of FIGS. 10 to 10. 13 is a cross-sectional view taken along the line CC', and FIG. 16 is a cross-sectional view taken along the line DD' of FIGS. 10 to 15. 10 to 12 are plan views on the Z2 side, and FIG. 13 is a bottom view on the Z1 side.

流路部材200は、インクが流通する流路240が設けられた部材である。本実施形態では、Z方向に積層された3つの第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230と、複数の流路240とを備えている。Z方向において、保持部材120側(図2参照)からヘッド本体110側に向かって、第1流路部材210、第2流路部材220、第3流路部材230の順で積層されている。特に図示しないが、接着剤により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230は接着固定されているが、このような態様に限定されず、例えばネジなどの固定手段により第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230を一体化してもよい。また、特に材料の限定はないが、例えばSUSなどの金属や樹脂により形成することができる。 The flow path member 200 is a member provided with a flow path 240 through which ink flows. In the present embodiment, three first flow path members 210, second flow path members 220, third flow path members 230, and a plurality of flow paths 240 are provided, which are laminated in the Z direction. In the Z direction, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are laminated in this order from the holding member 120 side (see FIG. 2) toward the head body 110 side. Although not particularly shown, the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 are adhesively fixed by an adhesive, but the present invention is not limited to this mode, and for example, a screw or the like is fixed. The first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 may be integrated by means. Further, although the material is not particularly limited, it can be formed of a metal or resin such as SUS.

流路240は、上流の部材(本実施形態では保持部材120)から供給されるインクが導入される導入流路280と、該インクをヘッドに供給する出口となる接続部290とを両端とする流路である。本実施形態では、4つの流路240が形成されており、各流路240は、一つの導入流路280にインクが供給され、途中で分岐して複数の接続部290からインクがヘッド本体110に供給するように構成されている。 The flow path 240 has an introduction flow path 280 into which ink supplied from an upstream member (holding member 120 in the present embodiment) is introduced, and a connecting portion 290 as an outlet for supplying the ink to the head. It is a flow path. In the present embodiment, four flow paths 240 are formed, and ink is supplied to one introduction flow path 280 in each flow path 240, and the ink is branched in the middle and ink is discharged from the plurality of connection portions 290 to the head main body 110. It is configured to supply to.

4つの流路240のうち一部は第1流路241、残りは第2流路242とされている。本実施形態では、第1流路241及び第2流路242は2つずつ形成されている。2つの第1流路241のそれぞれを第1流路241a、第1流路241bとする。以降、第1流路241と記載した際には、第1流路241a及び第1流路241bの双方を指しているものとする。第2流路242についても同様である。 Of the four flow paths 240, a part is a first flow path 241 and the rest is a second flow path 242. In this embodiment, two first flow paths 241 and two second flow paths 242 are formed. Each of the two first flow paths 241 is referred to as a first flow path 241a and a first flow path 241b. Hereinafter, when the term "first flow path 241" is used, it means that both the first flow path 241a and the first flow path 241b are referred to. The same applies to the second flow path 242.

第1流路241は、第1導入流路281を備えている。第1導入流路281は、第1流路241のうち、後述する第1交差流路251と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第1流路241a及び第1流路241bは、それぞれ第1導入流路281a及び第1導入流路281bを有している。 The first flow path 241 includes a first introduction flow path 281. The first introduction flow path 281 includes a first cross flow path 251 described later and a flow path upstream of the flow path member 200 (a flow path included in the holding member 120 in the present embodiment) among the first flow paths 241. It is a flow path for connecting. In the present embodiment, the two first flow paths 241a and the first flow path 241b have a first introduction flow path 281a and a first introduction flow path 281b, respectively.

具体的には、第1導入流路281aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部212の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔211と、第2流路部材220のZ方向に貫通した貫通孔221とが連通したものである。第1導入流路281bも同様である。以降、第1導入流路281と記載した際には、第1導入流路281a及び第1導入流路281bを指すものとする。 Specifically, the first introduction flow path 281a includes a through hole 211 that opens at the top surface of the protrusion 212 provided on the surface of the first flow path member 210 on the Z2 side and penetrates in the Z direction, and a second. The through hole 221 penetrating in the Z direction of the flow path member 220 communicates with the through hole 221. The same applies to the first introduction flow path 281b. Hereinafter, when the term "first introduction flow path 281" is used, it means the first introduction flow path 281a and the first introduction flow path 281b.

第2流路242は、第2導入流路282を備えている。第2導入流路282は、第2流路242のうち、後述する第2交差流路252と、流路部材200よりも上流の流路(本実施形態では保持部材120が有する流路)とを接続する流路である。本実施形態では、2つの第2流路242a及び第2流路242bは、それぞれ第2導入流路282a及び第2導入流路282bを有している。 The second flow path 242 includes a second introduction flow path 282. The second introduction flow path 282 includes a second cross flow path 252, which will be described later, and a flow path upstream of the flow path member 200 (a flow path included in the holding member 120 in this embodiment) among the second flow paths 242. It is a flow path for connecting. In the present embodiment, the two second flow paths 242a and the second flow path 242b have a second introduction flow path 282a and a second introduction flow path 282b, respectively.

具体的には、第2導入流路282aは、第1流路部材210のZ2側の表面に設けられた突部213の頂面に開口してZ方向に貫通した貫通孔である。第2導入流路282bも同様である。以降、第2導入流路282と記載した際には、第2導入流路282a及び第2導入流路282bを指すものとする。 Specifically, the second introduction flow path 282a is a through hole that opens at the top surface of the protrusion 213 provided on the surface of the first flow path member 210 on the Z2 side and penetrates in the Z direction. The same applies to the second introduction flow path 282b. Hereinafter, when the term "second introduction flow path 282" is used, it means the second introduction flow path 282a and the second introduction flow path 282b.

さらに、導入流路280と記載した際には、上述した4つの導入流路の全てを指しているものとする。 Further, when the term "introduction channel 280" is used, it means all of the above-mentioned four introduction channels.

本実施形態では、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の左上隅の近傍に第1導入流路281aが配置され、第1流路部材210の右下隅の近傍に第1導入流路281bが配置されている。また、図10に示す平面視においては、第1流路部材210の右上隅の近傍に第2導入流路282aが配置され、第1流路部材210の左下隅の近傍に第2導入流路282bが配置されている。 In the present embodiment, in the plan view shown in FIG. 10, the first introduction flow path 281a is arranged near the upper left corner of the first flow path member 210, and the first introduction flow path 281a is located near the lower right corner of the first flow path member 210. The introduction flow path 281b is arranged. Further, in the plan view shown in FIG. 10, the second introduction flow path 282a is arranged near the upper right corner of the first flow path member 210, and the second introduction flow path is located near the lower left corner of the first flow path member 210. 282b is arranged.

第1流路241は、第2流路部材220と第3流路部材230とで形成された第1交差流路251を含む。第1交差流路251は、第1流路241のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第1流路241が形成されているため、第1交差流路251も2つ形成されている。2つの第1交差流路251のそれぞれを第1交差流路251a、第1交差流路251bとする。 The first flow path 241 includes a first cross flow path 251 formed by a second flow path member 220 and a third flow path member 230. The first crossing flow path 251 is a part of the first flow path 241 that allows ink to flow in a direction parallel to the liquid injection surface 20a. In the present embodiment, since the two first flow paths 241 are formed, two first cross flow paths 251 are also formed. Each of the two first crossing flow paths 251 is referred to as a first crossing flow path 251a and a first crossing flow path 251b.

第1交差流路251aは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226aと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231aとを合わせて封止することにより形成されている。第1交差流路251bは、第2流路部材220のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部226bと、第3流路部材230のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部231bとを合わせて封止することにより形成されている。 The first crossing flow path 251a has a crossing groove portion 226a formed on the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side along the Y direction and a surface of the third flow path member 230 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing together with the formed cross groove portion 231a. The first crossing flow path 251b has a crossing groove portion 226b formed on the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side along the Y direction and a surface of the third flow path member 230 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by combining and sealing the formed cross groove portion 231b.

いずれの第1交差流路251a、251bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に交差溝部226a、226b、231a、231bをそれぞれ形成することで、第1交差流路251a、251bそれぞれの断面積を広げ、第1交差流路251a、251bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1交差流路251a、251bは、第2流路部材220のみに形成された交差溝部226a、226b、により形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部231a、231bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第2流路部材220のみに交差溝部226a、226bを形成することで、後述するように、Xa方向の幅がZ1側からZ2側に向けて狭くなるCOF基板98と、これらの第1交差流路251a、251bとの干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the first cross-section flow paths 251a and 251b, by forming the cross-section grooves 226a, 226b, 231a and 231b in the second flow path member 220 and the third flow path member 230, respectively, the first cross-section flow path 251a, The cross section of each of the 251b is widened to reduce the pressure loss in the first crossing flow paths 251a and 251b. The first crossing flow paths 251a and 251b may be formed by the crossing groove portions 226a and 226b formed only in the second flow path member 220, or may be formed only in the third flow path member 230. It may be formed by the cross groove portions 231a and 231b. For example, by forming the intersecting groove portions 226a and 226b only in the second flow path member 220 on the Z2 side, the width in the Xa direction becomes narrower from the Z1 side to the Z2 side as described later, and the COF substrate 98. It is possible to improve the degree of freedom in arranging the first flow path 241 while preventing interference with these first cross flow paths 251a and 251b.

第1交差流路251aと第1交差流路251bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第3開口部235)のX方向における両外側に配置されている。 The first crossing flow path 251a and the first crossing flow path 251b are arranged on both outer sides of the opening 201 (third opening 235) through which the COF substrate 98 is inserted in the X direction.

第2流路242は、第1流路部材210と第2流路部材220とで形成された第2交差流路252を含む。第2交差流路252は、第2流路242のうち、液体噴射面20aに平行な方向にインクを流通させる一部分である。本実施形態では、2つの第2流路242が形成されているため、第2交差流路252も2つ形成されている。2つの第2交差流路252のそれぞれを第2交差流路252a、第2交差流路252bとする。 The second flow path 242 includes a second cross flow path 252 formed by the first flow path member 210 and the second flow path member 220. The second crossing flow path 252 is a part of the second flow path 242 that allows ink to flow in a direction parallel to the liquid injection surface 20a. In the present embodiment, since the two second flow paths 242 are formed, two second cross flow paths 252 are also formed. Each of the two second crossing flow paths 252 is referred to as a second crossing flow path 252a and a second crossing flow path 252b.

第2交差流路252aは、第1流路部材210のZ1側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部213aと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222aとを合わせて封止することにより形成されている。第2交差流路252bは、第1流路部材210のZ1側の表面に形成された交差溝部213bと、第2流路部材220のZ2側の表面にY方向に沿って形成された交差溝部222bとを合わせて封止することにより形成されている。 The second crossing flow path 252a includes a crossing groove portion 213a formed on the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side along the Y direction and the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side along the Y direction. It is formed by sealing the formed intersecting groove portion 222a together. The second crossing flow path 252b includes a crossing groove portion 213b formed on the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side and a crossing groove portion formed along the Y direction on the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side. It is formed by sealing together with 222b.

いずれの第2交差流路252a、252bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に交差溝部213a、213b、222a、222bをそれぞれ形成することで、第2交差流路252a、252bそれぞれの断面積を広げ、第2交差流路252a、252bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2交差流路252a、252bは、第1流路部材210のみに形成された交差溝部213a、213bのみにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された交差溝部222a、222bにより形成されていてもよい。例えば、Z2側にある第1流路部材210のみに交差溝部222a、222bを形成することで、上述した第1交差流路251a、251bと同様に、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the second cross-section flow paths 252a and 252b, by forming the cross-section grooves 213a, 213b, 222a and 222b in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, respectively, the second cross-section flow path 252a, The cross section of each of the 252b is widened to reduce the pressure loss in the second crossing flow paths 252a and 252b. The second crossing flow paths 252a and 252b may be formed only by the crossing groove portions 213a and 213b formed only in the first flow path member 210, or may be formed only in the second flow path member 220. It may be formed by the cross groove portions 222a and 222b. For example, by forming the intersecting groove portions 222a and 222b only in the first flow path member 210 on the Z2 side, the first crossing flow path 251a and 251b described above can be prevented from interfering with the COF substrate 98. The degree of freedom in arranging the two flow paths 242 can be improved.

第2交差流路252aと第2交差流路252bとは、COF基板98が挿通する開口部201(第2開口部225)のX方向における両外側に配置されている。 The second crossing flow path 252a and the second crossing flow path 252b are arranged on both outer sides of the opening 201 (second opening 225) through which the COF substrate 98 is inserted in the X direction.

以降、第1交差流路251と記載した際には、第1交差流路251a及び第1交差流路251bの双方を指しているものとする。第2交差流路252と記載した際には、第2交差流路252a及び第2交差流路252bの双方を指しているものとする。また、交差流路250と記載した際には、上述した4つの交差流路の全てを指しているものとする。 Hereinafter, when the term "first crossing flow path 251" is used, it is assumed that both the first crossing flow path 251a and the first crossing flow path 251b are referred to. When the term "second crossing flow path 252" is used, it means both the second crossing flow path 252a and the second crossing flow path 252b. Further, when the term "intersection flow path 250" is used, it means all of the above-mentioned four intersection flow paths.

また、本実施形態では、第1流路241は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。すなわち、第1交差流路251から、複数の第1分岐流路261が第1交差流路251と同じ平面(第2流路部材220と第3流路部材230とが接合された境界面)において分岐している。 Further, in the present embodiment, the first flow path 241 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connection portions 290. That is, from the first crossing flow path 251, a plurality of first branch flow paths 261 are on the same plane as the first crossing flow path 251 (the boundary surface where the second flow path member 220 and the third flow path member 230 are joined). Branches at.

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第2流路部材220と第3流路部材230との境界面)において、第1交差流路251から6つの第1分岐流路261が分岐している。第1交差流路251aから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6とする。以降、第1分岐流路261aと記載した際には、第1分岐流路261aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。 In the present embodiment, in the plane parallel to the liquid injection surface 20a (the boundary surface between the second flow path member 220 and the third flow path member 230), the first cross flow path 251 to the six first branch flow paths 261 Is branched. Each of the six first branch flow paths 261 branched from the first cross flow path 251a is referred to as a first branch flow path 261a1 to a first branch flow path 261a6. Hereinafter, when the term "first branch flow path 261a" is used, it is assumed that all six branch flow paths connected to the first branch flow path 261a are referred to.

同様に、第1交差流路251bから分岐した6つの第1分岐流路261のそれぞれを第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6とする。以降、第1分岐流路261bと記載した際には、第1分岐流路261bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、第1分岐流路261と記載した際には、第1分岐流路261a及び第1分岐流路261bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。 Similarly, each of the six first branch flow paths 261 branched from the first cross flow path 251b is referred to as a first branch flow path 261b1 to a first branch flow path 261b6. Hereinafter, when the term "first branch flow path 261b" is used, it means all of the six branch flow paths connected to the first branch flow path 261b. Further, when the term "first branch flow path 261" is used, it means all 12 branch flow paths connected to the first branch flow path 261a and the first branch flow path 261b.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1分岐流路261a1〜第1分岐流路261a6のうち、第1分岐流路261a2〜第1分岐流路261a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1分岐流路261b1〜第1分岐流路261b6についても同様である。 In the figure, of the six first branch flow paths 261a1 to 261a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the first branch flow paths 261a2 to the first branch flow path 261a5 are omitted. , It is assumed that they are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the first branch flow path 261b1 to the first branch flow path 261b6.

具体的には、第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232aが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227aが設けられている。第1分岐流路261aは、分岐溝部227aに分岐溝部232aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 Specifically, on the surface of the third flow path member 230 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 232a communicating with the cross groove portion 231a and extending toward the opening 201 side are provided. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227a communicating with the cross groove portion 226a and extending toward the opening 201 side are provided. The first branch flow path 261a is formed by sealing the branch groove portions 227a with the branch groove portions 232a facing each other.

第3流路部材230のZ2側の表面には、交差溝部231bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部232bが設けられている。第2流路部材220のZ1側の表面には、交差溝部226bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部227bが設けられている。第1分岐流路261bは、分岐溝部227bに分岐溝部232bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 On the surface of the third flow path member 230 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 232b communicating with the cross groove portion 231b and extending toward the opening 201 side are provided. On the surface of the second flow path member 220 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 227b communicating with the cross groove portion 226b and extending toward the opening 201 side are provided. The first branch flow path 261b is formed by sealing the branch groove portions 227b with the branch groove portions 232b facing each other.

いずれの第1分岐流路261a、261bについても、第2流路部材220及び第3流路部材230に分岐溝部227a、227b、232a、232bをそれぞれ形成することで、第1分岐流路261a、261bそれぞれの断面積を広げ、第1分岐流路261a、261bにおける圧力損失を低減させている。なお、第1分岐流路261a、261bは、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部227a、227bにより形成されていてもよいし、又は、第3流路部材230のみに形成された交差溝部232a、232bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第2流路部材220のみに分岐溝部227a、227bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第3流路部材230のみに分岐溝部232a、232bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第1流路241を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the first branch flow paths 261a and 261b, by forming branch groove portions 227a, 227b, 232a and 232b in the second flow path member 220 and the third flow path member 230, respectively, the first branch flow path 261a, The cross section of each of the 261b is widened to reduce the pressure loss in the first branch flow paths 261a and 261b. The first branch flow paths 261a and 261b may be formed by the branch groove portions 227a and 227b formed only in the second flow path member 220, or may be formed only in the third flow path member 230. It may be formed by the intersecting groove portions 232a and 232b. For example, as will be described later, in the region Q where the width in the Ya direction expands from the Z1 side to the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 227a and 227b are provided only in the second flow path member 220 on the Z2 side. By forming it, it is possible to improve the degree of freedom in arranging the first flow path 241 while preventing interference with the COF substrate 98. Further, in the region P where the width in the Ya direction widens from the Z2 side to the Z1 side, the branch groove portions 232a and 232b are formed only in the third flow path member 230 on the Z1 side to prevent interference with the COF substrate 98. While preventing it, the degree of freedom in arranging the first flow path 241 can be improved.

また、第2流路242は一つの導入流路280から複数の接続部290に分岐するように構成されている。詳細は後述するが、第2交差流路252から、複数の第2分岐流路262が第2交差流路252と同じ平面(第1流路部材210と第2流路部材220とが接合された境界面)において分岐している。 Further, the second flow path 242 is configured to branch from one introduction flow path 280 to a plurality of connection portions 290. Although the details will be described later, from the second crossing flow path 252, a plurality of second branch flow paths 262 are joined in the same plane as the second crossing flow path 252 (the first flow path member 210 and the second flow path member 220 are joined. It branches at the boundary surface).

本実施形態では、液体噴射面20aに平行な平面内(第1流路部材210と第2流路部材220との境界面)において、第2交差流路252から6つの第2分岐流路262が分岐している。第2交差流路252aから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6とする。 In the present embodiment, in the plane parallel to the liquid injection surface 20a (the boundary surface between the first flow path member 210 and the second flow path member 220), the second cross flow path 252 to the six second branch flow paths 262. Is branched. Each of the six second branch flow paths 262 branched from the second cross flow path 252a is referred to as a second branch flow path 262a1 to a second branch flow path 262a6.

同様に、第2交差流路252bから分岐した6つの第2分岐流路262のそれぞれを第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6とする。 Similarly, each of the six second branch flow paths 262 branched from the second cross flow path 252b is referred to as a second branch flow path 262b1 to a second branch flow path 262b6.

以降、第2分岐流路262aと記載した際には、第2分岐流路262aに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。第2分岐流路262bと記載した際には、第2分岐流路262bに接続された6つの分岐流路の全てを指しているものとする。また、第2分岐流路262と記載した際には、第2分岐流路262a及び第2分岐流路262bに接続された12個の分岐流路の全てを指しているものとする。さらに、分岐流路260と記載した際には、上述した24個の分岐流路の全てを指しているものとする。 Hereinafter, when the term "second branch flow path 262a" is used, it means all six branch flow paths connected to the second branch flow path 262a. When the term "second branch flow path 262b" is used, it means all six branch flow paths connected to the second branch flow path 262b. Further, when the term "second branch flow path 262" is used, it means all 12 branch flow paths connected to the second branch flow path 262a and the second branch flow path 262b. Further, when the term "branch flow path 260" is used, it means all of the above-mentioned 24 branch flow paths.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第2分岐流路262a1〜第2分岐流路262a6のうち、第2分岐流路262a2〜第2分岐流路262a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第2分岐流路262b1〜第2分岐流路262b6についても同様である。 In the figure, of the six second branch flow paths 262a1 to 262a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the second branch flow paths 262a2 to the second branch flow paths 262a5 are omitted. , It is assumed that they are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the second branch flow path 262b1 to the second branch flow path 262b6.

具体的には、第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222aに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223aが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213aに連通して開口部201側とは反対側に向けて延設された複数の分岐溝部214aが設けられている。第2分岐流路262aは、分岐溝部223aに分岐溝部214aが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 Specifically, on the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 223a communicating with the cross groove portion 222a and extending toward the opening 201 side are provided. On the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 214a communicating with the cross groove portion 213a and extending toward the side opposite to the opening 201 side are provided. The second branch flow path 262a is formed by sealing the branch groove portions 214a in the branch groove portions 223a so as to face each other.

第2流路部材220のZ2側の表面には、交差溝部222bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部223bが設けられている。第1流路部材210のZ1側の表面には、交差溝部213bに連通して開口部201側に向けて延設された複数の分岐溝部214bが設けられている。第2分岐流路262bは、分岐溝部223bに分岐溝部214bが互いに相対向して封止されることにより形成されている。 On the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side, a plurality of branch groove portions 223b communicating with the cross groove portion 222b and extending toward the opening 201 side are provided. On the surface of the first flow path member 210 on the Z1 side, a plurality of branch groove portions 214b communicating with the cross groove portion 213b and extending toward the opening 201 side are provided. The second branch flow path 262b is formed by sealing the branch groove portions 214b in the branch groove portions 223b so as to face each other.

いずれの第2分岐流路262a、262bについても、第1流路部材210及び第2流路部材220に分岐溝部214a、214b、223a、223bをそれぞれ形成することで、第2分岐流路262a、262bそれぞれの断面積を広げ、第2分岐流路262a、262bにおける圧力損失を低減させている。なお、第2分岐流路262a、262bは、第1流路部材210のみに形成された分岐溝部214a、214bにより形成されていてもよいし、又は、第2流路部材220のみに形成された分岐溝部223a、223bにより形成されていてもよい。例えば、後述するように、Ya方向に傾斜することでZ1側からZ2側に向けてYa方向の幅が広がる領域Qにおいて、Z2側にある第1流路部材210のみに分岐溝部214a、214bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。また、Z2側からZ1側に向けてYa方向の幅が広がる領域Pにおいて、Z1側にある第2流路部材220のみに分岐溝部223a、223bを形成することで、COF基板98との干渉を防ぎつつ、第2流路242を配置する自由度を向上させることができる。 For any of the second branch flow paths 262a and 262b, by forming branch groove portions 214a, 214b, 223a and 223b in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, respectively, the second branch flow path 262a, The cross section of each of the 262b is widened to reduce the pressure loss in the second branch flow paths 262a and 262b. The second branch flow paths 262a and 262b may be formed by the branch groove portions 214a and 214b formed only in the first flow path member 210, or may be formed only in the second flow path member 220. It may be formed by the branch groove portions 223a and 223b. For example, as will be described later, in the region Q in which the width in the Ya direction expands from the Z1 side to the Z2 side by inclining in the Ya direction, the branch groove portions 214a and 214b are provided only in the first flow path member 210 on the Z2 side. By forming it, it is possible to improve the degree of freedom in arranging the second flow path 242 while preventing interference with the COF substrate 98. Further, in the region P where the width in the Ya direction widens from the Z2 side to the Z1 side, the branch groove portions 223a and 223b are formed only on the second flow path member 220 on the Z1 side to prevent interference with the COF substrate 98. While preventing it, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 can be improved.

第1分岐流路261には、第1交差流路251とは反対側の端部に第1垂直流路271が接続されている。具体的には、第3流路部材230をZ方向に貫通した貫通孔として第1垂直流路271が形成されている。 A first vertical flow path 271 is connected to the first branch flow path 261 at an end opposite to the first cross flow path 251. Specifically, the first vertical flow path 271 is formed as a through hole penetrating the third flow path member 230 in the Z direction.

本実施形態では、第1分岐流路261a1〜261a6、第1分岐流路261b1〜261b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6が接続されている。 In the present embodiment, one for each of the first branch flow paths 261a1 to 261a6 and the first branch flow paths 261b1 to 261b6, that is, 12 first vertical flow paths 271a1 to 271a6 and the first vertical flow as a whole. Roads 271b1 to 271b6 are connected.

同様に、第2分岐流路262には、第2交差流路252とは反対側の端部に第2垂直流路272が接続されている。具体的には、第2流路部材220には、Z方向に貫通した貫通孔224が設けられ、第3流路部材230にはZ方向に貫通した貫通孔233が設けられている。これらの貫通孔224及び貫通孔233が連通して第2垂直流路272が形成されている。 Similarly, a second vertical flow path 272 is connected to the second branch flow path 262 at an end opposite to the second cross flow path 252. Specifically, the second flow path member 220 is provided with a through hole 224 penetrating in the Z direction, and the third flow path member 230 is provided with a through hole 233 penetrating in the Z direction. These through holes 224 and through holes 233 communicate with each other to form a second vertical flow path 272.

本実施形態では、第2分岐流路262a1〜262a6、第2分岐流路262b1〜262b6のそれぞれに対して1個ずつ、すなわち全体として12個の第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6が接続されている。 In the present embodiment, one for each of the second branch flow paths 262a1 to 262a6 and the second branch flow paths 262b1 to 262b6, that is, 12 second vertical flow paths 272a1 to 272a6 and the second vertical flow as a whole. Roads 272b1 to 272b6 are connected.

以降、第1垂直流路271aと記載した際には、第1垂直流路271a1〜271a6を指し、第1垂直流路271bと記載した際には、第1垂直流路271b1〜271b6を指し、第1垂直流路271と記載した際には、第1垂直流路271a及び第1垂直流路271bの全てを指すものとする。 Hereinafter, when the first vertical flow path 271a is described, it refers to the first vertical flow path 271a1 to 271a6, and when it is described as the first vertical flow path 271b, it refers to the first vertical flow path 271b1 to 271b6. When the term "first vertical flow path 271" is used, it means all of the first vertical flow path 271a and the first vertical flow path 271b.

同様に、第2垂直流路272aと記載した際には、第2垂直流路272a1〜272a6を指し、第2垂直流路272bと記載した際には、第2垂直流路272b1〜272b6を指し、第2垂直流路272と記載した際には、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bの全てを指すものとする。 Similarly, the description of the second vertical flow path 272a refers to the second vertical flow path 272a1 to 272a6, and the description of the second vertical flow path 272b refers to the second vertical flow path 272b1 to 272b6. , The second vertical flow path 272 refers to all of the second vertical flow path 272a and the second vertical flow path 272b.

さらに、垂直流路270と記載した際には、上述した24個の垂直流路の全てを指しているものとする。 Further, when the term "vertical flow path 270" is used, it means all of the above-mentioned 24 vertical flow paths.

なお、図ではY方向に並んだ6つの第1垂直流路271a1〜第1垂直流路271a6のうち、第1垂直流路271a2〜第1垂直流路271a5の符号の図示は省略しているが、Y1側からY2側に順番に並んでいるものとする。第1垂直流路271b1〜第1垂直流路271b6、第2垂直流路272a1〜第2垂直流路272b6、第2垂直流路272b1〜第2垂直流路272b6についても同様である。 In the figure, of the six first vertical flow paths 271a1 to 271a6 arranged in the Y direction, the reference numerals of the first vertical flow path 271a2 to the first vertical flow path 271a5 are omitted. , It is assumed that they are arranged in order from the Y1 side to the Y2 side. The same applies to the first vertical flow path 271b1 to the first vertical flow path 271b6, the second vertical flow path 272a1 to the second vertical flow path 272b6, and the second vertical flow path 272b1 to the second vertical flow path 272b6.

上述した垂直流路270は、第3流路部材230のZ1側の開口である接続部290を有している。詳細は後述するが、接続部290は、ヘッド本体110に設けられた導入路44に連通している。 The vertical flow path 270 described above has a connection portion 290 which is an opening on the Z1 side of the third flow path member 230. Although details will be described later, the connection portion 290 communicates with the introduction path 44 provided in the head main body 110.

本実施形態では、第1垂直流路271a1〜271a6、第1垂直流路271b1〜271b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第1接続部291a1〜291a6、第1接続部291b1〜291b6をそれぞれ有している。同様に、第2垂直流路272a1〜272a6、第2垂直流路272b1〜272b6は、第3流路部材230のZ1側の開口である第2接続部292a1〜292a6、第2接続部292b1〜292b6をそれぞれ有している。 In the present embodiment, the first vertical flow paths 271a1 to 271a6 and the first vertical flow paths 271b1 to 271b6 are the first connection portions 291a1 to 291a6 and the first connection portions 291b1 which are openings on the Z1 side of the third flow path member 230. It has ~ 291b6 respectively. Similarly, the second vertical flow paths 272a1 to 272a6 and the second vertical flow paths 272b1 to 272b6 are the second connection portions 292a1 to 292a6 and the second connection portions 292b1 to 292b6, which are openings on the Z1 side of the third flow path member 230. Each has.

第1接続部291a1、第1接続部291b1、第2接続部292a1、第2接続部292b1は、6つのヘッド本体110のうちの一つに接続される。その他、第1接続部291a2〜291a6、第1接続部291b2〜291b6、第2接続部292a2〜292a6、第2接続部292b2〜292b6についても同様である。すなわち、一つのヘッド本体110に対して、第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bが接続されている。 The first connection portion 291a1, the first connection portion 291b1, the second connection portion 292a1, and the second connection portion 292b1 are connected to one of the six head main bodies 110. The same applies to the first connection portion 291a2-291a6, the first connection portion 291b2-291b6, the second connection portion 292a2-292a6, and the second connection portion 292b2-292b6. That is, the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b are connected to one head main body 110.

以降、第1接続部291aと記載した際には、第1接続部291a1〜291a6を指し、第1接続部291bと記載した際には、第1接続部291b1〜291b6を指し、第1接続部291と記載した際には、第1接続部291a及び第1接続部291bの全てを指すものとする。 Hereinafter, when the description is described as the first connection portion 291a, it refers to the first connection portions 291a1 to 291a6, and when the description is described as the first connection portion 291b, it refers to the first connection portions 291b1 to 291b6. When described as 291, it shall refer to all of the first connection portion 291a and the first connection portion 291b.

同様に、第2接続部292aと記載した際には、第2接続部292a1〜292a6を指し、第2接続部292bと記載した際には、第2接続部292b1〜292b6を指し、第2接続部292と記載した際には、第2接続部292a及び第2接続部292bの全てを指すものとする。 Similarly, when described as the second connection portion 292a, it refers to the second connection portions 292a1 to 292a6, and when it is described as the second connection portion 292b, it refers to the second connection portions 292b1 to 292b6, and the second connection. When the term "part 292" is used, it means all of the second connection part 292a and the second connection part 292b.

さらに、接続部290と記載した際には、上述した24個の接続部の全てを指しているものとする。 Further, when the term "connecting portion 290" is used, it means all of the above-mentioned 24 connecting portions.

上述したように、本実施形態に係る流路部材200は、4つの流路240、すなわち第1流路241a及び第1流路241bと、第2流路242a及び第2流路242bとを備えている。そして、各流路240は、インクの入口となる導入流路280から交差流路250までが一本の流路として構成され、交差流路250から分岐流路260に分岐し、垂直流路270及び接続部290を経由して複数のヘッド本体110に接続されている。 As described above, the flow path member 200 according to the present embodiment includes four flow paths 240, that is, a first flow path 241a and a first flow path 241b, and a second flow path 242a and a second flow path 242b. ing. Each of the flow paths 240 is configured as a single flow path from the introduction flow path 280 to the cross flow path 250, which is the inlet of the ink, and branches from the cross flow path 250 to the branch flow path 260, and the vertical flow path 270. And, it is connected to a plurality of head main bodies 110 via the connection portion 290.

本実施形態では、ブラックBk、マゼンタM、シアンC、イエローYの4色のインクを用いる。図示しない液体貯留手段から、シアンCは第1流路241aに、イエローYは第1流路241bに、ブラックBkは第2流路242aに、マゼンタMは第2流路242bに供給される。そして、各色のインクは第1流路241a、第1流路241b、第2流路242a及び第2流路242bを流通し、各ヘッド本体110に供給される。 In this embodiment, four color inks of black Bk, magenta M, cyan C, and yellow Y are used. Cyan C is supplied to the first flow path 241a, yellow Y is supplied to the first flow path 241b, black Bk is supplied to the second flow path 242a, and magenta M is supplied to the second flow path 242b from a liquid storage means (not shown). Then, the ink of each color circulates in the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b, and is supplied to each head main body 110.

また、流路部材200には、ヘッド本体110に設けられたCOF基板98が挿通する開口部201が設けられている。本実施形態では、第1流路部材210には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第1開口部215が形成されている。第2流路部材220には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第2開口部225が形成されている。第3流路部材230には、Z方向に対して傾斜し、かつ貫通した第3開口部235が形成されている。 Further, the flow path member 200 is provided with an opening 201 through which the COF substrate 98 provided in the head main body 110 is inserted. In the present embodiment, the first flow path member 210 is formed with a first opening 215 that is inclined and penetrates in the Z direction. The second flow path member 220 is formed with a second opening 225 that is inclined and penetrates in the Z direction. The third flow path member 230 is formed with a third opening 235 that is inclined and penetrates in the Z direction.

これらの第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は互いに連通しており、一つの開口部201を構成している。開口部201は、Xa方向に長尺な開口形状を有しており、6個の開口部201がY方向に並設されている。 The first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 communicate with each other to form one opening 201. The opening 201 has a long opening shape in the Xa direction, and six openings 201 are arranged side by side in the Y direction.

ここで、図16に示すように、本実施形態に係るCOF基板98は、Z方向においてヘッド本体110に近い一端部である下側端部98cと、Z方向においてヘッド本体110から遠い他端部である上側端部98dとを有している。上側端部98dのXa方向の幅は、下側端部98cのXa方向の幅よりも狭くなるように形成されている。すなわち、フレキシブル配線基板98の面方向の幅について、他端部は一端部よりも狭くなるように形成されている。 Here, as shown in FIG. 16, the COF substrate 98 according to the present embodiment has a lower end portion 98c which is one end portion close to the head main body 110 in the Z direction and the other end portion far from the head main body 110 in the Z direction. It has an upper end portion 98d which is. The width of the upper end portion 98d in the Xa direction is formed to be narrower than the width of the lower end portion 98c in the Xa direction. That is, the other end of the flexible wiring board 98 is formed so as to be narrower than one end in the plane direction.

本実施形態では、COF基板98の第1開口部215及び第3開口部235に挿通された部分はXa方向の幅は一定の矩形状であり、第2開口部225に挿通された部分はZ1側からZ2側に向けてXa方向の幅が狭くなるように形成された台形状に形成されている。 In the present embodiment, the portion of the COF substrate 98 inserted through the first opening 215 and the third opening 235 has a rectangular shape having a constant width in the Xa direction, and the portion inserted through the second opening 225 is Z1. It is formed in a trapezoidal shape formed so that the width in the Xa direction becomes narrower from the side toward the Z2 side.

一方、流路部材200の開口部201は、液体噴射面20aに垂直なZ方向においてヘッド本体110に近い第1開口236(すなわち、第3開口部235のZ1側の開口)及びヘッド本体110から遠い第2開口216(すなわち、第1開口部215のZ2側の開口)を有している。 On the other hand, the opening 201 of the flow path member 200 is from the first opening 236 (that is, the opening on the Z1 side of the third opening 235) and the head body 110 that are close to the head body 110 in the Z direction perpendicular to the liquid injection surface 20a. It has a distant second opening 216 (ie, the opening on the Z2 side of the first opening 215).

第2開口216は、第1開口236よりもXa方向に狭く形成されている。すなわち、開口部201としては、Z方向のZ1からZ2に向けてXa方向の幅が狭くなっている。具体的には、開口部201は、COF基板98が収容される形状とされており、開口部201のXa方向の幅がCOF基板98のXa方向の幅よりも若干広く形成されている。 The second opening 216 is formed narrower in the Xa direction than the first opening 236. That is, the width of the opening 201 in the Xa direction becomes narrower from Z1 to Z2 in the Z direction. Specifically, the opening 201 has a shape for accommodating the COF substrate 98, and the width of the opening 201 in the Xa direction is formed to be slightly wider than the width of the COF substrate 98 in the Xa direction.

図17を用いて、流路部材200の開口部201に挿通したCOF基板98の傾斜について説明する。図17(a)は、図10〜図13のE−E’線断面図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。また、図17(b)は比較例に係るヘッド本体をXa方向のXa2側からXa1側をみた概略側面図である。 The inclination of the COF substrate 98 inserted through the opening 201 of the flow path member 200 will be described with reference to FIG. 17 (a) is a cross-sectional view taken along the line EE'of FIGS. 10 to 13, and is a schematic side view of one of the recording heads according to the present embodiment as viewed from the Xa2 side to the Xa1 side in the Xa direction. Is. Further, FIG. 17B is a schematic side view of the head body according to the comparative example as viewed from the Xa2 side to the Xa1 side in the Xa direction.

図17(a)に示すように、流路部材200には、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235が連通して一つの開口部201が設けられている。ここで、流路部材200の開口部201のうちヘッド本体110側の第1開口236と、ヘッド本体110とは反対側の第2開口216とを通るCOF基板98の面を平面B(ただし、図17(a)には直線として示してある。)とし、第1開口236において平面Bと交わり、Xa方向に平行であり、かつ液体噴射面20aに垂直な平面を平面A(ただし、図17には直線として示してある。)とすると、COF基板98の面である平面Bは、液体噴射面20aに垂直な平面Aに対して交差している。 As shown in FIG. 17A, the flow path member 200 is provided with one opening 201 in which the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 communicate with each other. Here, the surface of the COF substrate 98 passing through the first opening 236 on the head body 110 side and the second opening 216 on the side opposite to the head body 110 of the opening 201 of the flow path member 200 is a plane B (however, however). (A) is shown as a straight line in FIG. 17 (a), and a plane that intersects the plane B at the first opening 236, is parallel to the Xa direction, and is perpendicular to the liquid injection surface 20a is the plane A (however, FIG. 17). Is shown as a straight line), the plane B, which is the surface of the COF substrate 98, intersects the plane A perpendicular to the liquid injection surface 20a.

具体的には、第2開口216と第1開口236とは、Ya方向において異なる位置に設けられている。本実施形態では、6個の開口部201の各第2開口216は、対応する各第1開口236よりもYa方向のYa2側に所定距離だけずれて配置されている。すなわち、開口部201は、平面Bの第2開口216側がYa方向のYa1側からYa2側に向けて平面Aから遠ざかるように傾斜している。 Specifically, the second opening 216 and the first opening 236 are provided at different positions in the Ya direction. In the present embodiment, each of the second openings 216 of the six openings 201 is arranged on the Ya2 side in the Ya direction with a predetermined distance from each of the corresponding first openings 236. That is, the opening 201 is inclined so that the second opening 216 side of the plane B is away from the plane A from the Ya1 side in the Ya direction toward the Ya2 side.

COF基板98は、ヘッド本体110側に設けられた接続口43(図8参照)から、流路部材200に向けて延設されており、ヘッド本体110と中継基板140(図2参照)との間にある流路部材200において、COF基板98の一方面の側に傾斜している。ここで、COF基板98の両面のうち、この一方面を第1面98a、他方面を第2面98bとする。この場合、COF基板98の第1面98aは、平面Aと向かい合わない側、すなわちYa方向のYa2側の面となる。COF基板98の第2面98bは、平面Aと向かい合う側、すなわちYa方向のYa1側の面となる。 The COF substrate 98 extends from the connection port 43 (see FIG. 8) provided on the head body 110 side toward the flow path member 200, and the head body 110 and the relay board 140 (see FIG. 2) are connected to each other. The flow path member 200 in between is inclined toward one side of the COF substrate 98. Here, of both surfaces of the COF substrate 98, one surface thereof is referred to as a first surface 98a and the other surface is referred to as a second surface 98b. In this case, the first surface 98a of the COF substrate 98 is the side that does not face the plane A, that is, the surface on the Ya2 side in the Ya direction. The second surface 98b of the COF substrate 98 is a surface facing the plane A, that is, a surface on the Ya1 side in the Ya direction.

また、「COF基板98がヘッド本体110と中継基板140との間にある流路部材200において第1面98a側に傾斜する」とは、COF基板98のうち、ヘッド本体110から流路部材200の開口部201の出口にあたる第2開口216に至るまでの部分が第1面98a側に傾斜していることをいう。したがって、第2開口216から突出して中継基板140の表面に接続される部分についてはどの様な方向に傾斜していても構わない。 Further, "the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a in the flow path member 200 between the head main body 110 and the relay board 140" means that the flow path member 200 from the head main body 110 of the COF substrate 98. It means that the portion up to the second opening 216, which corresponds to the exit of the opening 201, is inclined toward the first surface 98a. Therefore, the portion protruding from the second opening 216 and connected to the surface of the relay board 140 may be inclined in any direction.

開口部201のYa方向の幅は、傾斜したCOF基板98のうち開口部201に最も近い部分からの間隔が、Ya1側及びYa2側の間でほぼ一定になるようになっている。具体的には、第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230毎に、傾斜したCOF基板98からほぼ一定の間隔を取るように、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235のそれぞれのYa方向の幅が決められている。流路部材200の加工を容易にするために、第1開口部215、第2開口部225及び第3開口部235は、Z方向に沿って貫通した開口となっており、Xa方向から見た開口部201の形状は、図17のように階段形状になっている。もちろんCOF基板98の傾斜に沿って、開口部201も傾斜させてもよい。開口部201に挿通されたCOF基板98は、このような開口部201に挿通されることで、平面Aに対して第1面98a側(すなわち、Ya2側)に傾斜している。 The width of the opening 201 in the Ya direction is such that the distance from the portion of the inclined COF substrate 98 closest to the opening 201 is substantially constant between the Ya1 side and the Ya2 side. Specifically, the first opening 215, the first opening 215, each of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 so as to keep a substantially constant distance from the inclined COF substrate 98. The widths of the two openings 225 and the third opening 235 in the Ya direction are determined. In order to facilitate the processing of the flow path member 200, the first opening 215, the second opening 225, and the third opening 235 are openings penetrating along the Z direction, and are viewed from the Xa direction. The shape of the opening 201 is a staircase shape as shown in FIG. Of course, the opening 201 may also be tilted along the tilt of the COF substrate 98. The COF substrate 98 inserted through the opening 201 is inclined toward the first surface 98a side (that is, the Ya2 side) with respect to the plane A by being inserted through such an opening 201.

なお、図8に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に導入路44が形成されており、COF基板98の接続口43に対して、Ya1側に設けられた導入路44とYa2側に設けられた導入路44とは、接続口43とのYa方向の間隔が互いにほぼ同じになるように配置されている。対して、COF基板98は、COF基板98のYa方向において両側からのリード電極90との電気的な接続を容易に行うため、その接続部分が接続口43のほぼ中央に来るように配置されている。言い換えると、COF基板98はYa方向において接続口43の一方側の側面に寄せて配置されており(図8ではYa1側)、その結果、COF基板98はYa方向においていずれかの導入路44に寄せて配置されている。しかし、流路部材200においては、COF基板98とのYa方向の間隔を、Ya1側及びYa2側のいずれにおいてもほぼ一定とすることで、流路部材200とCOF基板98との接触を防ぐとともに、Ya方向の小型化を図っている。 As shown in FIG. 8, an introduction path 44 is formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side, and is provided on the Ya1 side with respect to the connection port 43 of the COF substrate 98. The introduction path 44 provided and the introduction path 44 provided on the Ya2 side are arranged so that the distance between the introduction path 44 and the connection port 43 in the Ya direction is substantially the same. On the other hand, the COF substrate 98 is arranged so that the connection portion thereof is substantially in the center of the connection port 43 in order to facilitate electrical connection with the lead electrodes 90 from both sides in the Ya direction of the COF substrate 98. There is. In other words, the COF substrate 98 is arranged closer to one side surface of the connection port 43 in the Ya direction (Ya1 side in FIG. 8), and as a result, the COF substrate 98 is placed in either introduction path 44 in the Ya direction. They are placed close together. However, in the flow path member 200, the distance between the flow path member 200 and the COF substrate 98 in the Ya direction is made substantially constant on both the Ya1 side and the Ya2 side, thereby preventing contact between the flow path member 200 and the COF substrate 98. , We are trying to reduce the size in the Ya direction.

流路部材200に設けられた第1流路241は、上述したように傾斜したCOF基板98の第1面98a側の第1分岐流路261を介して、対応するヘッド本体110に接続され、第2流路242は、第2面98b側の第2分岐流路262を介して、対応するヘッド本体110に接続されている。 The first flow path 241 provided in the flow path member 200 is connected to the corresponding head main body 110 via the first branch flow path 261 on the first surface 98a side of the inclined COF substrate 98 as described above. The second flow path 242 is connected to the corresponding head main body 110 via the second branch flow path 262 on the second surface 98b side.

このことを図17及び図18を用いて詳細に説明する。図18は本実施形態に係る記録ヘッドのうち一つのヘッド本体をZ方向のZ2側からZ1側をみた概略平面図である。 This will be described in detail with reference to FIGS. 17 and 18. FIG. 18 is a schematic plan view of one of the recording heads according to the present embodiment as viewed from the Z2 side to the Z1 side in the Z direction.

図18に示すように、ヘッド本体110のZ2側の表面には、接続口43の周囲に4つの導入路44が形成されている(図7参照)。具体的には、2つの導入路44a、導入路44bが接続口43よりもYa方向のYa1側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44aは導入路44bよりもXa方向においてXa1側に配置されている。また、残り2つの導入路44c、導入路44dは接続口43よりもYa方向のYa2側に開口し、かつXa方向の位置は接続口43に包含される位置である。導入路44cは導入路44dよりもXa方向においてXa1側に配置されている。なお、接続口43は第1開口236とほぼ同形状に形成され、接続口43及び第1開口236は連通している。 As shown in FIG. 18, four introduction paths 44 are formed around the connection port 43 on the surface of the head body 110 on the Z2 side (see FIG. 7). Specifically, the two introduction paths 44a and the introduction path 44b are open on the Ya1 side in the Ya direction with respect to the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44a is arranged on the Xa1 side in the Xa direction with respect to the introduction path 44b. Further, the remaining two introduction paths 44c and 44d are open on the Ya2 side in the Ya direction with respect to the connection port 43, and the position in the Xa direction is a position included in the connection port 43. The introduction path 44c is arranged on the Xa1 side in the Xa direction with respect to the introduction path 44d. The connection port 43 is formed to have substantially the same shape as the first opening 236, and the connection port 43 and the first opening 236 communicate with each other.

導入路44aは、第2流路242a、すなわち第2導入流路282a(図14参照)、第2交差流路252a、第2分岐流路262a、第2垂直流路272a及び第2接続部292aに接続されている。 The introduction path 44a includes a second flow path 242a, that is, a second introduction flow path 282a (see FIG. 14), a second intersection flow path 252a, a second branch flow path 262a, a second vertical flow path 272a, and a second connection portion 292a. It is connected to the.

導入路44bは、第2流路242b、すなわち第2導入流路282b(図15参照)、第2交差流路252b、第2分岐流路262b、第2垂直流路272b及び第2接続部292bに接続されている。 The introduction path 44b includes a second flow path 242b, that is, a second introduction flow path 282b (see FIG. 15), a second crossing flow path 252b, a second branch flow path 262b, a second vertical flow path 272b, and a second connection portion 292b. It is connected to the.

導入路44cは、第1流路241a、すなわち第1導入流路281a(図14参照)、第1交差流路251a、第1分岐流路261a、第1垂直流路271a及び第1接続部291aに接続されている。 The introduction path 44c includes a first flow path 241a, that is, a first introduction flow path 281a (see FIG. 14), a first crossing flow path 251a, a first branch flow path 261a, a first vertical flow path 271a, and a first connection portion 291a. It is connected to the.

導入路44dは、第1流路241b、すなわち第1導入流路281b(図15参照)、第1交差流路251b、第1分岐流路261b、第1垂直流路271b及び第1接続部291bに接続されている。 The introduction path 44d includes a first flow path 241b, that is, a first introduction flow path 281b (see FIG. 15), a first intersection flow path 251b, a first branch flow path 261b, a first vertical flow path 271b, and a first connection portion 291b. It is connected to the.

これらの導入路44a〜導入路44dと、第1流路241及び第2流路242との関係は6つのヘッド本体110について同様である。 The relationship between these introduction paths 44a to 44d and the first flow path 241 and the second flow path 242 is the same for the six head main bodies 110.

このように、第1流路241は、COF基板98の第1面98a側にてヘッド本体110に接続されている。また、第2流路242は、COF基板98の第2面98b側にてヘッド本体110に接続されている。 In this way, the first flow path 241 is connected to the head main body 110 on the first surface 98a side of the COF substrate 98. Further, the second flow path 242 is connected to the head main body 110 on the second surface 98b side of the COF substrate 98.

ここで、図17(a)に示すように、COF基板98は第1面98a側に傾斜しており、また、開口部201も第1面98a(Y2側)に傾斜させている。このように開口部201が第1面98a側に傾斜すると、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。 Here, as shown in FIG. 17A, the COF substrate 98 is inclined toward the first surface 98a, and the opening 201 is also inclined toward the first surface 98a (Y2 side). When the opening 201 is inclined toward the first surface 98a in this way, sparse and dense can be provided in the region where the flow path 240 of the flow path member 200 can be formed.

「流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密が設けられている」とは、流路部材200のヘッド本体110に対向した領域Tが、COF基板98が傾斜するYa方向において、COF基板98が挿通する開口部201を挟んで、COF基板98の第1面98a側の領域Pと、第2面98b側の領域Qとに分割され、Z方向の同一平面内においては領域QのYa方向の幅が領域PのYa方向の幅よりも広いことをいう。 "The region where the flow path 240 of the flow path member 200 can be formed is provided with sparse density" means that the region T of the flow path member 200 facing the head body 110 is in the Ya direction in which the COF substrate 98 is inclined. The area P on the first surface 98a side and the area Q on the second surface 98b side of the COF substrate 98 are divided with the opening 201 through which the COF substrate 98 is inserted, and the area Q is in the same plane in the Z direction. The width of the area P in the Ya direction is wider than the width of the region P in the Ya direction.

本実施形態では、流路部材200を構成する第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230のヘッド本体110に対向した領域Tのうち、Ya方向において第1面98a側が領域Pであり、第2面98b側が領域Qである。図にはこれら領域P、Qを示すハッチを施してある。 In the present embodiment, of the region T of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230 facing the head main body 110 constituting the flow path member 200, the first surface in the Ya direction. The 98a side is the region P, and the second surface 98b side is the region Q. The figure is hatched to indicate these areas P and Q.

本実施形態では、図17(a)に示すように、COF基板98の傾斜により、上述した同一面の一つである第1流路部材210のZ1側の表面においては、領域QはYa方向の幅U1の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。同様に、上述した同一面の一つである第2流路部材220のZ2側の表面においては、領域QはYa方向の幅U2の分だけ広がり、その分、領域PはYa方向の幅が狭くなっている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 17A, due to the inclination of the COF substrate 98, the region Q is in the Ya direction on the Z1 side surface of the first flow path member 210, which is one of the same surfaces described above. The width of the region P is widened by the width U1 of the region P, and the width of the region P is narrowed by that amount in the Ya direction. Similarly, on the surface of the second flow path member 220 on the Z2 side, which is one of the same surfaces described above, the region Q expands by the width U2 in the Ya direction, and the region P has the width in the Ya direction by that amount. It's getting narrower.

領域QのYa方向の幅は、Z方向のZ1側からZ2側に向かうほど広くなっている。本実施形態では、第1流路部材210の方が第2流路部材220よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。同様に、第2流路部材220の方が第3流路部材230よりも領域P及び領域Qの疎密の差は大きい。すなわち、流路部材200は、ヘッド本体110から中継基板140へ向かうほど、領域P及び領域Qの疎密の差が大きくなっている。 The width of the region Q in the Ya direction becomes wider from the Z1 side to the Z2 side in the Z direction. In the present embodiment, the difference in density between the area P and the area Q is larger in the first flow path member 210 than in the second flow path member 220. Similarly, the difference in sparseness and density of the region P and the region Q of the second flow path member 220 is larger than that of the third flow path member 230. That is, in the flow path member 200, the difference in density between the area P and the area Q increases as the flow path member 200 moves from the head body 110 to the relay board 140.

そして、このように疎な領域Qでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262が位置する。「疎な領域Qで第2流路242が液体噴射面20aに沿って設けられた部分を有する」とは、少なくとも第2流路242を構成する流路の一部が、上述した領域Qにおいて、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられてからヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。 Then, in such a sparse region Q, the second branch flow path 262 provided in a plane parallel to the liquid injection surface 20a is located. "The second flow path 242 has a portion provided along the liquid injection surface 20a in the sparse region Q" means that at least a part of the flow paths constituting the second flow path 242 is in the above-mentioned region Q. , It means that it is provided in a plane parallel to the liquid injection surface 20a and then connected to the introduction path 44 of the head main body 110.

本実施形態では、第2流路242aのうち第2分岐流路262aが領域Qに設けられている。また、第2流路242bのうち第2分岐流路262bが領域Qに設けられている。 In the present embodiment, the second branch flow path 262a of the second flow path 242a is provided in the region Q. Further, of the second flow path 242b, the second branch flow path 262b is provided in the region Q.

本実施形態に係る記録ヘッド100では、COF基板98を第1面98a側に傾斜させたことで、流路部材200の開口部201も第1面98a側に移動させて設けることができ、流路部材200の流路240を形成可能な領域に疎密を設けることができる。これにより、第2流路242を構成する第2分岐流路262を、領域Pよりも広い領域Qに配置することができる。すなわち、第2分岐流路262をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体110の配置などに応じた最適な第2流路242を構成することが容易となる。換言すれば、領域Qが広いほど、第2流路242の配置の自由度が高い。ここでいう第2流路242の配置の自由度とは、領域QのYa方向の幅に比例する概念であり、自由度が高いほど、第2流路242を領域Qに形成しやすいことを意味する。なお、本実施形態の第2流路242は、本発明の第2面側において、液体噴射面に沿って設けられた部分を有する流路に相当し、本実施形態の第2分岐流路262は、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。 In the recording head 100 according to the present embodiment, by inclining the COF substrate 98 toward the first surface 98a, the opening 201 of the flow path member 200 can also be provided by moving it toward the first surface 98a. Denseness can be provided in the region where the flow path 240 of the road member 200 can be formed. As a result, the second branch flow path 262 constituting the second flow path 242 can be arranged in a region Q wider than the region P. That is, since the second branch flow path 262 can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure the optimum second flow path 242 according to the arrangement of the head body 110 and the like. In other words, the wider the region Q, the higher the degree of freedom in arranging the second flow path 242. The degree of freedom in arranging the second flow path 242 referred to here is a concept proportional to the width of the region Q in the Ya direction, and the higher the degree of freedom, the easier it is to form the second flow path 242 in the region Q. means. The second flow path 242 of the present embodiment corresponds to a flow path having a portion provided along the liquid injection surface on the second surface side of the present invention, and is the second branch flow path 262 of the present embodiment. Corresponds to a flow path provided along the liquid injection surface.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100によれば、COF基板98を傾斜させることで、Ya方向に幅が拡幅した疎な領域Qを形成することができる。このようにYa方向の幅が広がったことで、第2流路242の一部を構成する第2分岐流路262を、Ya方向にCOF基板98に干渉することなく形成することができる。 Further, according to the recording head 100 according to the present embodiment, by inclining the COF substrate 98, it is possible to form a sparse region Q whose width is widened in the Ya direction. Since the width in the Ya direction is widened in this way, the second branch flow path 262 forming a part of the second flow path 242 can be formed in the Ya direction without interfering with the COF substrate 98.

これにより、第2流路部材220のYa方向において、後述の比較例と比較すると、第2分岐流路262と平面Aとの間隔を狭くすることができるので、第2流路部材220、すなわち流路部材200をYa方向に小型化することができ、これにより記録ヘッド100のYa方向の幅を小型化することができる。 As a result, in the Ya direction of the second flow path member 220, the distance between the second branch flow path 262 and the plane A can be narrowed as compared with the comparative example described later, so that the second flow path member 220, that is, The flow path member 200 can be miniaturized in the Ya direction, whereby the width of the recording head 100 in the Ya direction can be miniaturized.

さらに、上述したように、本実施形態ではCOF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されており、その結果、接続口43のYa1側にある導入路44にCOF基板98が寄せて配置されている。そして、垂直流路270を介して導入路44と接続される分岐流路260が、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度が狭まっている。しかしながら、COF基板98をその反対側であるYa2側に傾斜させることで、このような場合であっても、COF基板98のYa1側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。 Further, as described above, in the present embodiment, the COF substrate 98 is arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, and as a result, the COF substrate 98 is arranged in the introduction path 44 on the Ya1 side of the connection port 43. They are placed close together. Then, in order for the branch flow path 260 connected to the introduction path 44 via the vertical flow path 270 to have a constant distance from the COF substrate 98 in the Ya direction, the branch flow path 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is arranged. The degree of freedom is narrowing. However, by inclining the COF substrate 98 toward the Ya2 side, which is the opposite side thereof, even in such a case, the degree of freedom in arranging the branch flow path 260 on the Ya1 side of the COF substrate 98 is increased, and the flow path member. It is possible to reduce the size of 200 in the Ya direction.

ちなみに、COF基板98が傾斜していない記録ヘッドでは、上述したような小型化を図ることができない。このことを図17(a)及び図17(b)を用いて説明する。 Incidentally, with a recording head in which the COF substrate 98 is not tilted, the above-mentioned miniaturization cannot be achieved. This will be described with reference to FIGS. 17 (a) and 17 (b).

図17(a)に示した第2開口部225と第2分岐流路262aとのYa方向の間隔をVとする。一方、図17(b)に、比較例に係る記録ヘッドの概略側面図を示す。比較例に係る記録ヘッド100’は、COF基板98の傾斜と、COF基板98に沿った開口部201の配置と、ヘッド本体110に対向した領域Tの大きさ以外は記録ヘッド100と同じ構成であるとする。 Let V be the distance between the second opening 225 and the second branch flow path 262a shown in FIG. 17A in the Ya direction. On the other hand, FIG. 17B shows a schematic side view of the recording head according to the comparative example. The recording head 100'according to the comparative example has the same configuration as the recording head 100 except for the inclination of the COF substrate 98, the arrangement of the opening 201 along the COF substrate 98, and the size of the region T facing the head main body 110. Suppose there is.

記録ヘッド100’において、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第2分岐流路262a’を、Ya方向においてCOF基板98に干渉することなく形成するために、記録ヘッド100と同じ間隔Vを保って形成すると、記録ヘッド100において拡幅した幅Uの分だけ、Ya方向のYa1側に第2分岐流路262a’を設けなければならない。したがって、比較例に係る記録ヘッド100’においては、流路部材200のYa方向において、第2分岐流路262a’と平面Aとの間隔が広くなってしまい、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができない。換言すれば、図17(a)に示すように、COF基板98を第1面98a側に傾斜したために、間隔Vを保ちながらも、幅U1又は幅U2の分だけ第2垂直流路272aをCOF基板98側に近づけることができる。すなわち、流路部材200のYa方向の小型化を図ることができる。 In the recording head 100', in order to form the second branch flow path 262a' provided in a plane parallel to the liquid injection surface 20a in the Ya direction without interfering with the COF substrate 98, the interval is the same as that of the recording head 100. If V is maintained and formed, the second branch flow path 262a'must be provided on the Ya1 side in the Ya direction by the amount of the widened width U in the recording head 100. Therefore, in the recording head 100'according to the comparative example, the distance between the second branch flow path 262a'and the plane A becomes wide in the Ya direction of the flow path member 200, and the flow path member 200 is compact in the Ya direction. It cannot be converted. In other words, as shown in FIG. 17A, since the COF substrate 98 is tilted toward the first surface 98a, the second vertical flow path 272a is provided by the width U1 or the width U2 while maintaining the interval V. It can be brought closer to the COF substrate 98 side. That is, the flow path member 200 can be miniaturized in the Ya direction.

また、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第1流路241及び第2流路242の第1交差流路251a及び第2交差流路252aを、また、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、それぞれ液体噴射面20aに直交するZ方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置した。これにより、複数の交差流路を全て同一平面内に形成する場合に比較して、記録ヘッド100の液体噴射面20aの面方向における形状を小型化することができる。 Further, in the recording head 100 according to the present embodiment, the first crossing flow path 251a and the second crossing flow path 252a of the first flow path 241 and the second flow path 242, and the first crossing flow path 251b and the second The intersecting flow paths 252b were arranged so as to overlap each other in the Z direction by changing their positions in the Z direction orthogonal to the liquid injection surface 20a. As a result, the shape of the liquid injection surface 20a of the recording head 100 in the surface direction can be reduced as compared with the case where a plurality of intersecting flow paths are all formed in the same plane.

さらに、本実施形態に係る記録ヘッド100では、第2分岐流路262とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第2垂直流路272により接続している。よって、液体噴射面20aに垂直なZ方向から見た平面視において、第2垂直流路272の範囲は、液体噴射面20aに垂直な方向に傾斜した流路により第2分岐流路262とヘッド本体110とを接続する場合において、この傾斜した流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、本実施形態のように、第2交差流路252とヘッド本体110とを第2垂直流路272で接続することで、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。同様に、第1分岐流路261とヘッド本体110とを、液体噴射面20aに垂直な方向に沿う第1垂直流路271により接続したので、これによっても、流路部材200の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。 Further, in the recording head 100 according to the present embodiment, the second branch flow path 262 and the head main body 110 are connected by a second vertical flow path 272 along the direction perpendicular to the liquid injection surface 20a. Therefore, in a plan view seen from the Z direction perpendicular to the liquid injection surface 20a, the range of the second vertical flow path 272 includes the second branch flow path 262 and the head due to the flow path inclined in the direction perpendicular to the liquid injection surface 20a. When connecting to the main body 110, it is smaller than the range occupied by this inclined flow path. That is, as in the present embodiment, by connecting the second crossing flow path 252 and the head main body 110 by the second vertical flow path 272, the size of the flow path member 200 in the plan view can be reduced. It will be possible. Similarly, since the first branch flow path 261 and the head main body 110 are connected by the first vertical flow path 271 along the direction perpendicular to the liquid injection surface 20a, this also causes the flow path member 200 in the plan view. It is possible to reduce the size.

なお、垂直流路270のYa方向の幅を、分岐流路260のYa方向の幅よりも小さくしてもよい。その場合には、そうでない場合よりも、開口部201と間隔Vを保ちつつ垂直流路270や分岐流路260の配置の自由度をさらに高めることができる。加えて、垂直流路270の断面積を、分岐流路260の断面積よりも小さくしてもよい。その場合には、垂直流路270における流速を速めることができ、垂直流路270における気泡を効率的に排出することが可能となる。 The width of the vertical flow path 270 in the Ya direction may be smaller than the width of the branch flow path 260 in the Ya direction. In that case, the degree of freedom in arranging the vertical flow path 270 and the branch flow path 260 can be further increased while maintaining the distance V from the opening 201 as compared with the case where this is not the case. In addition, the cross section of the vertical flow path 270 may be smaller than the cross section of the branch flow path 260. In that case, the flow velocity in the vertical flow path 270 can be increased, and the bubbles in the vertical flow path 270 can be efficiently discharged.

ここで、仮に、領域Pに第2流路242を形成するとする。この場合、上述したように、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなり、領域PのYa方向における幅が狭くなる。特に、COF基板98が接続口43のYa2側の側面に対して寄せて配置されていると仮定すると、COF基板98とYa方向に一定の間隔を取るために、領域PのYa方向における幅が一層狭くなる。このため、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa2側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とが一致する場合に、領域Pに第2流路242を配置する自由度は低く、第2流路242の配置が非常に困難となってしまう。しかしながら、本実施形態では、第2分岐流路262を領域Qに形成することで、第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側(例えばYa1側)と、Ya方向においてCOF基板98が傾斜する側(同様に、例えばYa2側)とを一致させないことで、Ya方向において接続口43の側面にCOF基板98が近接する側の分岐流路260の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。 Here, it is assumed that the second flow path 242 is formed in the region P. In this case, as described above, the farther the flow path member 200 is from the head body 110 in the Z direction, the wider the width of the region Q in the Ya direction and the narrower the width of the region P in the Ya direction. In particular, assuming that the COF substrate 98 is arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya2 side, the width of the region P in the Ya direction is increased in order to maintain a constant distance from the COF substrate 98 in the Ya direction. It becomes even narrower. Therefore, when the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya2 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (similarly, for example, the Ya2 side) coincide with each other. , The degree of freedom of arranging the second flow path 242 in the region P is low, and the arrangement of the second flow path 242 becomes very difficult. However, in the present embodiment, by forming the second branch flow path 262 in the region Q, the degree of freedom in the arrangement of the second branch flow path 262 is increased, and the flow path member 200 is miniaturized in the Ya direction. .. Further, by not matching the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction (for example, the Ya1 side) and the side where the COF substrate 98 is inclined in the Ya direction (similarly, for example, the Ya2 side). The degree of freedom in arranging the branch flow path 260 on the side where the COF substrate 98 is close to the side surface of the connection port 43 in the Ya direction is increased, and the flow path member 200 is miniaturized in the Ya direction.

一方、仮に、領域Qに第1流路241を形成したとする。この場合、流路部材200は、ヘッド本体110からZ方向に遠いほど、領域QのYa方向における幅は広くなるものの、Z方向においてヘッド本体110に近い側に第1流路241を形成することになるので、Ya方向に拡幅した領域Qを十分に活用できない。特に、本実施形態のように、液体噴射面20aの面方向における形状を小型化するために、第1交差流路251a及び第2交差流路252aや、第1交差流路251b及び第2交差流路252bを、Z方向における位置を変えてZ方向に重ねて配置することを前提とすると、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の両方を領域Qに形成する場合は、第2分岐流路262を領域Qに形成し、かつ、第1分岐流路261を領域Pに形成する場合に比べて自由度は高くない。しかしながら、本実施形態では、第1分岐流路261を領域Pに形成することで、第1分岐流路261の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。また、Z方向に重ねて配置される第1交差流路251及び第2交差流路252について、それぞれの第1分岐流路261及び第2分岐流路262をZ方向に重ねて配置しないことで、第1分岐流路261及び第2分岐流路262の配置の自由度を高め、流路部材200のYa方向の小型化を図っている。 On the other hand, it is assumed that the first flow path 241 is formed in the region Q. In this case, the flow path member 200 forms the first flow path 241 on the side closer to the head body 110 in the Z direction, although the width of the region Q in the Ya direction becomes wider as the distance from the head body 110 in the Z direction increases. Therefore, the region Q widened in the Ya direction cannot be fully utilized. In particular, as in the present embodiment, in order to reduce the shape of the liquid injection surface 20a in the plane direction, the first crossing flow path 251a and the second crossing flow path 252a, the first crossing flow path 251b, and the second crossing flow path 251b and the second crossing flow path 251b. Assuming that the flow paths 252b are arranged so as to be overlapped in the Z direction by changing their positions in the Z direction, when both the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 are formed in the region Q, the first The degree of freedom is not high as compared with the case where the two-branch flow path 262 is formed in the region Q and the first branch flow path 261 is formed in the region P. However, in the present embodiment, by forming the first branch flow path 261 in the region P, the degree of freedom in the arrangement of the first branch flow path 261 is increased, and the flow path member 200 is miniaturized in the Ya direction. .. Further, with respect to the first crossing flow path 251 and the second crossing flow path 252 which are overlapped in the Z direction, the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 are not arranged so as to overlap in the Z direction. , The degree of freedom of arrangement of the first branch flow path 261 and the second branch flow path 262 is increased, and the flow path member 200 is miniaturized in the Ya direction.

また、上述したように、本実施形態に係るCOF基板98は、上側端部98dの面方向(Xa方向)の幅が下側端部98c(図16参照)の面方向の幅よりも狭い。そして、COF基板98にあわせて開口部201が形成されている。したがって、COF基板98の上側端部98dが面方向に狭くなっている分、流路部材200には第2開口216の面方向の両外側に第2流路242を形成可能な領域Wが形成されている。 Further, as described above, in the COF substrate 98 according to the present embodiment, the width of the upper end portion 98d in the surface direction (Xa direction) is narrower than the width of the lower end portion 98c (see FIG. 16) in the surface direction. Then, the opening 201 is formed in accordance with the COF substrate 98. Therefore, since the upper end portion 98d of the COF substrate 98 is narrowed in the surface direction, the flow path member 200 is formed with regions W on which the second flow path 242 can be formed on both outer sides of the second opening 216 in the surface direction. Has been done.

本実施形態では、第2流路242の第2交差流路252や第2分岐流路262は、第1流路部材210と第2流路部材220とに形成されている。したがって、第1流路部材210と第2流路部材220とにおいて、開口部215、225のXa方向の外側部分が領域Wとなる(図16参照)。本実施形態では、第1交差流路251と第2交差流路252とが、Z方向に重なるように配置されている(図14,図15参照)。この場合に、第1交差流路251と第2交差流路252とをそれぞれZ方向へ液体噴射面20aに射影した場合に、それぞれの像が完全に一致しなくてもよく、互いの像の一部が重なるような配置であってもよく、さらに、第2交差流路252の像の少なくとも一部が第1交差流路251の像よりも、X方向において第1交差流路251の像の内側にあってもよい。すなわち、第2流路242aの第2交差流路252aが領域Wを通るように形成されていてもよい。なお、第2交差流路252aに限らず、第2交差流路252bや第2分岐流路262が領域Wを通るように形成してもよい。これらの場合、例えば第2交差流路252や第2分岐流路262が、Z方向から見た場合に、COF基板98の一端部である下側端部98cと干渉する位置に設けられていたとしても、Z方向において第2交差流路252や第2分岐流路262が設けられた位置ではCOF基板98との干渉を避けることができる。 In the present embodiment, the second crossing flow path 252 and the second branch flow path 262 of the second flow path 242 are formed in the first flow path member 210 and the second flow path member 220. Therefore, in the first flow path member 210 and the second flow path member 220, the outer portion of the openings 215 and 225 in the Xa direction becomes the region W (see FIG. 16). In the present embodiment, the first crossing flow path 251 and the second crossing flow path 252 are arranged so as to overlap each other in the Z direction (see FIGS. 14 and 15). In this case, when the first crossing flow path 251 and the second crossing flow path 252 are projected onto the liquid injection surface 20a in the Z direction, the images do not have to completely match each other. The arrangement may be such that some of them overlap, and further, at least a part of the image of the second crossing flow path 252 is an image of the first crossing flow path 251 in the X direction rather than the image of the first crossing flow path 251. It may be inside. That is, the second crossing flow path 252a of the second flow path 242a may be formed so as to pass through the region W. Not limited to the second crossing flow path 252a, the second crossing flow path 252b and the second branch flow path 262 may be formed so as to pass through the region W. In these cases, for example, the second crossing flow path 252 and the second branch flow path 262 are provided at positions that interfere with the lower end portion 98c, which is one end portion of the COF substrate 98, when viewed from the Z direction. Even so, interference with the COF substrate 98 can be avoided at the position where the second crossing flow path 252 and the second branch flow path 262 are provided in the Z direction.

このように、下側端部98cよりも上側端部98dが狭いCOF基板98を形成し、COF基板98にあわせて開口部201を設けることで、Xa方向においてCOF基板98の外側に第2流路242aを形成する領域Wを設けることができる。第2流路242bについても同様である。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。 In this way, by forming the COF substrate 98 whose upper end 98d is narrower than the lower end 98c and providing the opening 201 in accordance with the COF substrate 98, the second flow is outside the COF substrate 98 in the Xa direction. A region W forming the road 242a can be provided. The same applies to the second flow path 242b. As a result, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 on the flow path member 200 is further improved.

また、図17(a)に示すように、流路部材200の開口部201には、駆動回路97が設けられたCOF基板98が挿通されている。本実施形態では、COF基板98の第2面98b側に駆動回路97が設けられている。 Further, as shown in FIG. 17A, a COF substrate 98 provided with a drive circuit 97 is inserted through the opening 201 of the flow path member 200. In this embodiment, the drive circuit 97 is provided on the second surface 98b side of the COF substrate 98.

ここで、駆動回路97が開口部201の内面に接触する虞がある。そこで、駆動回路97と開口部201の内面との接触を避けるべく、開口部201のYa方向の幅は駆動回路97の厚さの分だけ広くなっている。開口部201のYa方向の幅を拡幅することにより、駆動回路97と開口部201の内面との接触を効果的に抑制することができる。また、このとき、駆動回路97は、Z方向において、第2流路部材220の第2開口部225と、第3流路部材230の第3開口部235に収容される位置に配置され、第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置されていない。これにより、Ya方向において、第1開口部215の幅を、第2開口部225の幅や第3開口部235の幅よりも小さくすることができる。すなわち、Ya方向においてCOF基板98の外側に第2流路242を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材200に第2流路242を配置する自由度が向上する。 Here, the drive circuit 97 may come into contact with the inner surface of the opening 201. Therefore, in order to avoid contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201, the width of the opening 201 in the Ya direction is widened by the thickness of the drive circuit 97. By widening the width of the opening 201 in the Ya direction, the contact between the drive circuit 97 and the inner surface of the opening 201 can be effectively suppressed. At this time, the drive circuit 97 is arranged at a position accommodated in the second opening 225 of the second flow path member 220 and the third opening 235 of the third flow path member 230 in the Z direction. 1 It is not arranged at a position accommodated in the first opening 215 of the flow path member 210. Thereby, in the Ya direction, the width of the first opening 215 can be made smaller than the width of the second opening 225 and the width of the third opening 235. That is, a region for forming the second flow path 242 can be provided on the outside of the COF substrate 98 in the Ya direction. As a result, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 on the flow path member 200 is further improved.

なお、仮に、駆動回路97を第1流路部材210の第1開口部215に収容される位置に配置すると、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることができない。そのため、流路部材200に第2流路242を配置する自由度を向上させることができない。 If the drive circuit 97 is arranged at a position accommodated in the first opening 215 of the first flow path member 210, the width of the first opening 215 in the Ya direction cannot be reduced. Therefore, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 on the flow path member 200 cannot be improved.

一方、本実施形態に係る記録ヘッド100では、駆動回路97を、Z方向において第2開口部225と第3開口部235とに収容される位置に配置し、第1開口部215のYa方向の幅を小さくすることで、第2交差流路252や第2分岐流路262といった第2流路242を流路部材200に配置する自由度を向上させている。 On the other hand, in the recording head 100 according to the present embodiment, the drive circuit 97 is arranged at a position accommodated in the second opening 225 and the third opening 235 in the Z direction, and is arranged in the Ya direction of the first opening 215. By reducing the width, the degree of freedom in arranging the second flow path 242 such as the second crossing flow path 252 and the second branch flow path 262 on the flow path member 200 is improved.

ここで、密な領域Pにおいてヘッド本体110に接続された第1流路241について説明する。密な領域Pでは、液体噴射面20aに平行な平面内に設けられた第1分岐流路261が位置する。「密な領域Pで第1流路241がヘッド本体110に接続されている」とは、少なくとも第1流路241を構成する流路の一部が上述した領域Pに形成されてヘッド本体110の導入路44に接続されていることをいう。なお、本実施形態の第1分岐流路261は、本発明の第1面側において、液体噴射面に沿って設けられた流路に相当する。 Here, the first flow path 241 connected to the head main body 110 in the dense region P will be described. In the dense region P, the first branch flow path 261 provided in a plane parallel to the liquid injection surface 20a is located. "The first flow path 241 is connected to the head main body 110 in a dense region P" means that at least a part of the flow paths constituting the first flow path 241 is formed in the above-mentioned region P and the head main body 110 is formed. It means that it is connected to the introduction path 44 of. The first branch flow path 261 of the present embodiment corresponds to a flow path provided along the liquid injection surface on the first surface side of the present invention.

密な領域Pでは、Ya方向の幅が縮小したため、第1分岐流路261を配置するのに十分な幅の領域Pが確保できない場合がある。しかしながら、本実施形態では、Z方向において、第1流路241を第2流路242よりもヘッド本体110側に配置している。 In the dense region P, since the width in the Ya direction is reduced, it may not be possible to secure a region P having a width sufficient for arranging the first branch flow path 261. However, in the present embodiment, the first flow path 241 is arranged closer to the head body 110 than the second flow path 242 in the Z direction.

これにより、COF基板98の傾斜により領域PのYa方向の幅が狭くなったとしても、それに影響されずに、第1流路241をヘッド本体110に接続することができる。 As a result, even if the width of the region P in the Ya direction is narrowed due to the inclination of the COF substrate 98, the first flow path 241 can be connected to the head body 110 without being affected by it.

〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
<Other Embodiments>
Although one embodiment of the present invention has been described above, the basic configuration of the present invention is not limited to the above.

例えば、実施形態1に係る記録ヘッド100の各ヘッド本体110は、ノズル列a及びノズル列bがXa方向に沿い、かつ、ノズル列a及びノズル列bを搬送方向であるX方向に対して傾斜させる場合は、上述したようにX方向とXa方向とが0度より大きく90度未満で交差させればよいが、交差させない態様の記録ヘッド100も本発明に含む。あるいは、搬送方向であるX方向に対して、ノズル列の方向であるXa方向が垂直になるようにヘッド本体110を備えた記録ヘッドを構成してもよい。この場合、Xa方向はY方向に一致し、Ya方向はX方向に一致することになる。したがって、実施形態1に係る記録ヘッド100では、Ya方向に小型化されたが、Ya方向をX方向に一致させた態様の記録ヘッド100では、Ya方向に一致するX方向、すなわち記録シートSの搬送方向に小型化できることになる。 For example, in each head body 110 of the recording head 100 according to the first embodiment, the nozzle row a and the nozzle row b are inclined in the Xa direction, and the nozzle row a and the nozzle row b are inclined with respect to the X direction which is the transport direction. In the case of making the recording head 100, the X direction and the Xa direction may intersect at more than 0 degrees and less than 90 degrees as described above, but the recording head 100 in a mode in which they do not intersect is also included in the present invention. Alternatively, the recording head provided with the head body 110 may be configured so that the Xa direction, which is the direction of the nozzle row, is perpendicular to the X direction, which is the transport direction. In this case, the Xa direction coincides with the Y direction, and the Ya direction coincides with the X direction. Therefore, in the recording head 100 according to the first embodiment, the size is reduced in the Ya direction, but in the recording head 100 in which the Ya direction is matched with the X direction, the X direction corresponding to the Ya direction, that is, the recording sheet S It will be possible to reduce the size in the transport direction.

他に、実施形態1に係る記録ヘッド100は、第1流路241及び第2流路242を有し、それぞれがZ方向に異なる位置で第1交差流路251及び第2交差流路252を有していたが、このような態様に限定されない。例えば、液体噴射面20aに平行な流路は同一平面にのみ設けられた流路部材を備えた記録ヘッドであってもよい。例えば、上述した実施形態であれば、第1流路部材210及び第2流路部材220を備えた流路部材に第2流路のみを設けた記録ヘッドであってもよい。このように、第1流路241と第2流路242とのいずれかを設けない記録ヘッドであれば、記録ヘッド100をZ方向に小型化することができる。 In addition, the recording head 100 according to the first embodiment has a first flow path 241 and a second flow path 242, and has a first cross flow path 251 and a second cross flow path 252 at different positions in the Z direction, respectively. It had, but is not limited to such aspects. For example, the flow path parallel to the liquid injection surface 20a may be a recording head provided with a flow path member provided only on the same plane. For example, in the above-described embodiment, the recording head may be a recording head in which only the second flow path is provided in the flow path member provided with the first flow path member 210 and the second flow path member 220. As described above, if the recording head is not provided with either the first flow path 241 or the second flow path 242, the recording head 100 can be miniaturized in the Z direction.

また、実施形態1に係る記録ヘッド100では、第1流路241a,第1流路241b、第2流路242a、第2流路242bに対して、それぞれ導入路44c、44d、44a、44bが接続されていたが、このような態様に限定されない。例えば、第1流路241a、第1流路241bに対して、それぞれ導入路44c、44bが接続され、第2流路242a、242bに対して、それぞれ導入路44a、44dが接続されてもよい。また、この場合に、上述のように第2流路のみを有し、第1流路を有さない記録ヘッドであってもよい。ヘッド本体110の配置などに応じた最適な流路を構成することができる。 Further, in the recording head 100 according to the first embodiment, the introduction paths 44c, 44d, 44a, 44b are provided with respect to the first flow path 241a, the first flow path 241b, the second flow path 242a, and the second flow path 242b, respectively. It was connected, but is not limited to such an embodiment. For example, the introduction paths 44c and 44b may be connected to the first flow path 241a and the first flow path 241b, respectively, and the introduction paths 44a and 44d may be connected to the second flow paths 242a and 242b, respectively. .. Further, in this case, as described above, the recording head may have only the second flow path and not the first flow path. An optimum flow path can be configured according to the arrangement of the head body 110 and the like.

また、第1流路部材210及び第2流路部材220を接着して第2流路242を形成し、第2流路部材220及び第3流路部材230を接着して第1流路241を形成したが、第1流路241及び第2流路242を形成する方法はこれらに限られない。例えば、三次元造型が可能な積層造形法により、2つ以上の流路部材を接着することなく一体的に造形してもよい。あるいは、個々の流路部材を三次元造型、金型成形(射出成形等)、切削加工、プレス加工により形成してもよい。 Further, the first flow path member 210 and the second flow path member 220 are adhered to form the second flow path 242, and the second flow path member 220 and the third flow path member 230 are adhered to form the first flow path 241. However, the method of forming the first flow path 241 and the second flow path 242 is not limited to these. For example, it may be integrally molded without adhering two or more flow path members by a layered manufacturing method capable of three-dimensional molding. Alternatively, each flow path member may be formed by three-dimensional molding, die molding (injection molding, etc.), cutting, or pressing.

また、流路部材200には、第1流路241として2つの第1流路241a及び第1流路241bを有していたが、2つに限定されず、1本又は3本以上であってもよい。第2流路242についても同様である。 Further, the flow path member 200 has two first flow paths 241a and first flow path 241b as the first flow path 241 but is not limited to two and may be one or three or more. You may. The same applies to the second flow path 242.

第1交差流路251aは6つの第1分岐流路261aに分岐していたがこれに限定されず、分岐せずに一つのヘッド本体110に接続されていてもよいし、分岐する数も6つに限定されず2つ以上の複数に分岐してもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。また、第1面98a側に傾斜させるCOF基板98の数も6つに限定されず、一部のCOF基板98のみを傾斜させてもよい。 The first crossing flow path 251a was branched into six first branch flow paths 261a, but the present invention is not limited to this, and the first crossing flow path 251a may be connected to one head body 110 without branching, and the number of branches may be six. It is not limited to one, and may be branched into two or more. The same applies to the first crossing flow path 251b, the second crossing flow path 252a, and the second crossing flow path 252b. Further, the number of COF substrates 98 tilted toward the first surface 98a is not limited to 6, and only a part of the COF substrates 98 may be tilted.

また、第1交差流路251aは、第2流路部材220と第3流路部材230との間で水平にインクを流通させる流路としたがこのような態様に限定されない。すなわち、Z平面に対して傾斜した流路としてもよい。第1交差流路251b、第2交差流路252a及び第2交差流路252bについても同様である。 Further, the first crossing flow path 251a is a flow path for horizontally flowing ink between the second flow path member 220 and the third flow path member 230, but the present invention is not limited to this mode. That is, the flow path may be inclined with respect to the Z plane. The same applies to the first crossing flow path 251b, the second crossing flow path 252a, and the second crossing flow path 252b.

さらに、第1垂直流路271aは液体噴射面20aに対して垂直に形成されていたがこのような態様に限定されない。すなわち、液体噴射面20aに対して傾斜していてもよい。第1垂直流路271b、第2垂直流路272a及び第2垂直流路272bについても同様である。 Further, the first vertical flow path 271a is formed perpendicular to the liquid injection surface 20a, but is not limited to such an embodiment. That is, it may be inclined with respect to the liquid injection surface 20a. The same applies to the first vertical flow path 271b, the second vertical flow path 272a, and the second vertical flow path 272b.

流路部材200に形成された開口部201の第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が狭くなっている必要はない。第2開口216と第1開口236のXa方向の幅をほぼ等しくし、長方形状のCOF基板98が収容されるような開口部であってもよい。また、逆に、第2開口216は、第1開口236よりもXa方向の幅が広くなっていてもよい。 The second opening 216 of the opening 201 formed in the flow path member 200 does not need to be narrower in the Xa direction than the first opening 236. The width of the second opening 216 and the width of the first opening 236 in the Xa direction may be substantially equal, and the opening may accommodate a rectangular COF substrate 98. On the contrary, the width of the second opening 216 in the Xa direction may be wider than that of the first opening 236.

また、フレキシブル配線基板としてCOF基板98を備えていたが、フレキシブルプリント基板(FPC)であってもよい。また、COF基板98が接続口43のYa1側の側面に寄せて配置されていなくても、COF基板98とリード電極90との電気的な接続が行われていればよい。 Further, although the COF substrate 98 is provided as the flexible wiring board, it may be a flexible printed circuit board (FPC). Further, even if the COF substrate 98 is not arranged close to the side surface of the connection port 43 on the Ya1 side, it is sufficient that the COF substrate 98 and the lead electrode 90 are electrically connected.

また、実施形態1では、保持部材120と流路部材200とを接着剤などにより固定したが、一体化してもよい。すなわち、流路部材200のZ1側に保持部121と足部122とを設けてもよい。これにより、保持部材120をZ方向に積層しない分だけZ方向に小型化できる。また、保持部121が流路部材200に設けられることにより、流路部材200が複数のヘッド本体110を収容できればよく、中継基板140を収容しなくてもよいので、XY方向にも小型化できる。さらに、複数の部材を一体化することで、部品点数を減らすことができる。なお、流路部材200を第1流路部材210、第2流路部材220及び第3流路部材230により構成する場合には、第3流路部材230のZ1側に保持部121と足部122とを設ければよい。 Further, in the first embodiment, the holding member 120 and the flow path member 200 are fixed by an adhesive or the like, but they may be integrated. That is, the holding portion 121 and the foot portion 122 may be provided on the Z1 side of the flow path member 200. As a result, the size of the holding members 120 can be reduced in the Z direction by the amount that the holding members 120 are not laminated in the Z direction. Further, since the holding portion 121 is provided in the flow path member 200, it is sufficient that the flow path member 200 can accommodate a plurality of head main bodies 110, and the relay board 140 does not have to be accommodated, so that the size can be reduced in the XY directions as well. .. Further, by integrating a plurality of members, the number of parts can be reduced. When the flow path member 200 is composed of the first flow path member 210, the second flow path member 220, and the third flow path member 230, the holding portion 121 and the foot portion are on the Z1 side of the third flow path member 230. 122 and may be provided.

また、実施形態1では、ヘッド本体110をY方向に併設して、複数のヘッド本体110により記録ヘッド100を構成したが、1つのヘッド本体110により記録ヘッド100を構成してもよい。また、ヘッドユニット101に含まれる記録ヘッド100の個数についても特に限定はなく、2個以上を搭載してあってもよいし、一つの記録ヘッド100を単体でインクジェット式記録装置1に搭載してもよい。 Further, in the first embodiment, the head main body 110 is arranged in the Y direction, and the recording head 100 is formed by a plurality of head main bodies 110, but the recording head 100 may be formed by one head main body 110. Further, the number of recording heads 100 included in the head unit 101 is not particularly limited, and two or more recording heads 100 may be mounted, or one recording head 100 may be mounted alone in the inkjet recording device 1. May be good.

なお、上述したインクジェット式記録装置1では、ヘッドユニット101が固定されて記録シートSを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン型記録装置であるが、特にこれに限定されず、ヘッドユニット101や1つ又は複数の記録ヘッド100をキャリッジに搭載して、当該ヘッドユニット101又は記録ヘッド100を記録シートSの搬送方向と交差する主走査方向に移動させると共に、記録シートSを搬送して印刷を行う所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。 The above-mentioned inkjet recording device 1 is a so-called line-type recording device in which the head unit 101 is fixed and printing is performed only by transporting the recording sheet S, but the head unit 101 is not particularly limited to this. One or a plurality of recording heads 100 are mounted on the carriage, the head unit 101 or the recording head 100 is moved in the main scanning direction intersecting the conveying direction of the recording sheet S, and the recording sheet S is conveyed for printing. The present invention can also be applied to a so-called serial type recording device.

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドユニット全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射ヘッドユニットにも適用することができる。 Further, the present invention is intended for a wide range of liquid injection head units in general, for example, manufacturing recording heads such as various inkjet recording heads used in image recording devices such as printers, and color filters such as liquid crystal displays. Also for liquid injection head units including color material injection heads used in the above, organic EL displays, electrode material injection heads used for electrode formation such as FED (field emission display), bioorganic material injection heads used for biochip production, etc. Can be applied.

また、本発明の配線基板は、液体噴射ヘッドに用いられる場合に限定されず、任意の電子回路等に適用することもできる。 Further, the wiring board of the present invention is not limited to the case where it is used for a liquid injection head, and can be applied to any electronic circuit or the like.

1 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、43 接続口、 44a、44b、44c、44d 導入路、 97 駆動回路、 98 COF基板、 98a 第1面、 98b 第2面、 98c 下側端部、 98d 上側端部、 100 記録ヘッド、 101 ヘッドユニット、 110 ヘッド本体、 140 中継基板、 200 流路部材、 201 開口部、 210 第1流路部材、 216 第2開口、 220 第2流路部材、 230 第3流路部材、 236 第1開口、 240 流路、 241 第1流路、 242 第2流路、 251 第1交差流路、 252 第2交差流路、 261 第1分岐流路、 262 第2分岐流路、 271 第1垂直流路、 272 第2垂直流路、 281 第1導入流路、 282 第2導入流路、 291 第1接続部、 292 第2接続部、 300 圧電アクチュエーター 1 Inkjet recording device (liquid injection device), 43 connection port, 44a, 44b, 44c, 44d introduction path, 97 drive circuit, 98 COF board, 98a first surface, 98b second surface, 98c lower end, 98d Upper end, 100 recording head, 101 head unit, 110 head body, 140 relay board, 200 flow path member, 201 opening, 210 first flow path member, 216 second opening, 220 second flow path member, 230th 3 flow path member, 236 first opening, 240 flow path, 241 first flow path, 242 second flow path, 251 first cross flow path, 252 second cross flow path, 261 first branch flow path, 262 second flow path. Branch flow path, 271 first vertical flow path, 272 second vertical flow path, 281 first introduction flow path, 282 second introduction flow path, 291 first connection part, 292 second connection part, 300 piezoelectric actuator

上記課題を解決する本発明の態様は、噴射方向へ液体を噴射する複数のノズル開口と、前記複数のノズル開口の一部から液体を噴射させるために変形する第1の圧電体層と、前記第1の圧電体層と電気的に接続される第1のフレキシブル配線基板と、前記噴射方向に貫通するとともに前記第1のフレキシブル配線基板が挿入される第1の開口部が設けられた流路部材と、を備え、前記流路部材は、前記複数のノズル開口の一部と連通する第1交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第2交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第3交差流路と、前記複数のノズル開口の一部と連通する第4交差流路とを画定し、前記第1、第2、第3及び第4交差流路の夫々は、前記流路部材の長手方向に延在し、前記第1及び第2交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第3及び第4交差流路は、前記噴射方向に見て少なくとも一部が重なり、前記第1の開口部は、前記長手方向と直交する方向において、前記第2交差流路と前記第4交差流路との間に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
上記課題を解決する本発明の別の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
さらに、領域Qにおいて、液体噴射面に垂直な方向においてヘッド本体に近い第1分岐流路を設ける場合に比べて、第2分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねて配置することができるので、液体噴射面内における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
ここで、前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有することが好ましい。これによれば、液体噴射面に垂直な方向から見た平面視において流路部材に占める第1垂直流路及び第2垂直流路の範囲は、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ傾斜して接続する流路が占める範囲よりも小さい。すなわち、第1分岐流路及び第2分岐流路とヘッド本体とをそれぞれ第1垂直流路及び第2垂直流路で接続することで、流路部材の前記平面視における大きさを小型化することが可能となる。
また、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、前記第1流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、前記第2流路は、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にあることが好ましい。これによれば、領域Pにおいて分岐流路を設ける場合に比べて、分岐流路をより高い自由度で流路部材に形成することができる。また、交差流路が、フレキシブル配線基板の面方向において、互いにフレキシブル配線基板に対して反対側にあるので、複数の流路を液体噴射面に直交する方向において重ねずに配置することができ、液体噴射面に直交する方向における液体噴射ヘッドの形状を小型化することができる。
また、前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されていることが好ましい。これによれば、フレキシブル配線基板の面方向(面に平行な方向)においてフレキシブル配線基板の外側に第2流路を形成する領域を設けることができる。これにより、より一層、流路部材に第2流路を配置する自由度が向上する。
また、前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられていることが好ましい。これによれば、開口部の幅を第1面側に拡幅することで駆動回路が開口部の内面に接触することをより効果的に抑制することができ、駆動回路を保護することができる。そして、開口部の幅を第1面側に拡幅しても、上述した密な領域P側がさらに狭くなるだけであり、疎な領域Q側が狭くなることを避けることができる。
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、小型化を図り、かつ、液体流路を配置可能な領域をより大きく確保することができる流路部材を備えた液体噴射装置が提供される。
上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、フレキシブル配線基板を第1面側に傾斜させたことで、流路部材の開口部も第1面側に移動させることができ、流路部材の流路を形成可能な領域に疎密を設けることができる。流路部材の開口部よりも第1面側の密な領域をP、第2面側の疎な領域をQとする。このように、流路をより広い領域Qに配置することができるので、ヘッド本体の配置などに応じた最適な流路を構成することが容易となる。特に、液体噴射面に沿った流路を設ける場合に、流路がフレキシブル配線基板に干渉することを防ぐことができる。また、フレキシブル配線基板との干渉を防ぐために、液体噴射面に沿った流路を第2面側に移動させて流路部材を拡幅する場合と比較すると、液体噴射ヘッドの前記方向の幅を小型化することができる。
Aspects of the present invention for solving the above problems include a plurality of nozzle openings for injecting liquid in the injection direction, a first piezoelectric layer deformed to inject liquid from a part of the plurality of nozzle openings, and the above. A flow path provided with a first flexible wiring board that is electrically connected to the first piezoelectric layer and a first opening that penetrates in the injection direction and into which the first flexible wiring board is inserted. The flow path member includes a first crossing flow path that communicates with a part of the plurality of nozzle openings, a second crossing flow path that communicates with a part of the plurality of nozzle openings, and the plurality of. A third crossing flow path communicating with a part of the nozzle openings of the above and a fourth crossing flow path communicating with a part of the plurality of nozzle openings are defined, and the first, second, third and fourth crossings are defined. Each of the flow paths extends in the longitudinal direction of the flow path member, and at least a part of the first and second cross flow paths overlaps in the injection direction, and the third and fourth cross flow paths overlap. Is at least partially overlapped in the injection direction, and the first opening is arranged between the second crossing flow path and the fourth crossing flow path in a direction orthogonal to the longitudinal direction. It is in a liquid injection head characterized by being
Another aspect of the present invention for solving the above problems is to supply a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is jetted, a flexible wiring board connected to each head body, and a liquid for each head body. The flow path member is provided with a flow path member to be provided, the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board has the flow path member with respect to the head body. It extends to the side and is tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head body and the flow path member, and the flow path is of both sides of the flexible wiring board. On the second surface side, there is a portion provided along the liquid injection surface, and the first flow path and the second flow path are connected to the head main body, and the first flow path is The first surface side has a first branch flow path provided along the liquid injection surface, and the second flow path is provided along the liquid injection surface on the second surface side. The liquid injection head has a second branch flow path, and the first branch flow path is closer to the head main body in a direction orthogonal to the liquid injection surface than the second branch flow path.
In such an embodiment, by inclining the flexible wiring board toward the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the flow path of the flow path member is densely distributed in the area where the flow path can be formed. Can be provided. Let P be a dense region on the first surface side of the opening of the flow path member, and Q be a sparse region on the second surface side. In this way, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow path according to the arrangement of the head body and the like. In particular, when the flow path along the liquid injection surface is provided, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid injection head in the above direction is smaller than that in the case where the flow path along the liquid injection surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be transformed into.
Further, in the region Q, the second branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the first branch flow path close to the head body is provided in the direction perpendicular to the liquid injection surface. .. Further, since a plurality of flow paths can be arranged so as to be stacked in a direction orthogonal to the liquid injection surface, the shape of the liquid injection head in the liquid injection surface can be miniaturized.
Here, the first flow path has a first vertical flow path that connects the first branch flow path and the head body on the first surface side and is along a direction perpendicular to the liquid injection surface. It is preferable that the second flow path has a second vertical flow path on the second surface side that connects the second branch flow path and the head body and runs in a direction perpendicular to the liquid injection surface. .. According to this, the ranges of the first vertical flow path and the second vertical flow path occupying the flow path member in the plan view seen from the direction perpendicular to the liquid injection surface are the first branch flow path and the second branch flow path. It is smaller than the range occupied by the flow paths that connect the head body at an angle. That is, by connecting the first branch flow path and the second branch flow path and the head main body by the first vertical flow path and the second vertical flow path, respectively, the size of the flow path member in the plan view is reduced. It becomes possible.
Further, a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which liquid is ejected, a flexible wiring board connected to each head body, and a flow path member provided with a flow path for supplying liquid to each head body. The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board extends toward the flow path member with respect to the head body and is head body. And the flow path member are tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board, and the flow path is directed to the liquid injection surface on the second surface side of both sides of the flexible wiring board. A first flow path and a second flow path are connected to the head body, and the first flow path is provided on the first surface side of the flexible wiring board. The second flow path has a first branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface and a first cross flow path connected to the plurality of the first branch flow paths. On the second surface side of the flexible wiring board, a second branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface, and a second cross flow path connected to the plurality of the second branch flow paths. It is preferable that the first crossing flow path and the second crossing flow path are on opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board. According to this, the branch flow path can be formed in the flow path member with a higher degree of freedom as compared with the case where the branch flow path is provided in the region P. Further, since the intersecting flow paths are opposite to each other in the surface direction of the flexible wiring board, a plurality of flow paths can be arranged without overlapping in the direction orthogonal to the liquid injection surface. The shape of the liquid injection head in the direction orthogonal to the liquid injection surface can be miniaturized.
Further, the flexible wiring board has one end portion close to the head body and the other end portion far from the head body in a direction perpendicular to the liquid injection surface, and the other end portion is more than the one end portion. It is preferable that the width of the flexible wiring board in the surface direction is narrowed, and the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through the outer region of the other end in the surface direction. According to this, a region for forming the second flow path can be provided on the outside of the flexible wiring board in the plane direction (direction parallel to the plane) of the flexible wiring board. As a result, the degree of freedom in arranging the second flow path in the flow path member is further improved.
Further, it is preferable that the drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board. According to this, by widening the width of the opening toward the first surface side, it is possible to more effectively suppress the drive circuit from coming into contact with the inner surface of the opening, and it is possible to protect the drive circuit. Even if the width of the opening is widened to the first surface side, the above-mentioned dense region P side is only further narrowed, and it is possible to avoid narrowing the sparse region Q side.
Another aspect of the present invention is a liquid injection device including the above liquid injection head.
In such an embodiment, there is provided a liquid injection device provided with a flow path member capable of reducing the size and securing a larger area in which the liquid flow path can be arranged.
Another aspect of the present invention for solving the above problems is to supply a plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is jetted, a flexible wiring board connected to each head body, and a liquid for each head body. The flow path member is provided with a flow path member to be provided, the flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted, and the flexible wiring board has the flow path member with respect to the head main body. It extends to the side and is tilted toward the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head body and the flow path member, and the flow path is of both sides of the flexible wiring board. The liquid injection head is characterized by having a portion provided along the liquid injection surface on the second surface side.
In such an embodiment, by inclining the flexible wiring board toward the first surface side, the opening of the flow path member can also be moved to the first surface side, and the flow path of the flow path member is densely distributed in the area where the flow path can be formed. Can be provided. Let P be a dense region on the first surface side of the opening of the flow path member, and Q be a sparse region on the second surface side. In this way, since the flow path can be arranged in a wider area Q, it becomes easy to configure an optimum flow path according to the arrangement of the head body and the like. In particular, when the flow path along the liquid injection surface is provided, it is possible to prevent the flow path from interfering with the flexible wiring board. Further, in order to prevent interference with the flexible wiring board, the width of the liquid injection head in the above direction is smaller than that in the case where the flow path along the liquid injection surface is moved to the second surface side to widen the flow path member. Can be transformed into.

Claims (6)

液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、
前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、
前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、
前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、
前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、
前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、
前記第1流路は、前記第1面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第1分岐流路を有し、
前記第2流路は、前記第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた第2分岐流路を有し、
前記第1分岐流路は、前記第2分岐流路よりも前記液体噴射面に直交する方向において前記ヘッド本体に近い
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is injected,
The flexible wiring board connected to each head body and
Each head body is provided with a flow path member provided with a flow path for supplying the liquid.
The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted.
The flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head body, and is located on the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head body and the flow path member. Tilt,
The flow path has a portion provided along the liquid injection surface on the second surface side of both surfaces of the flexible wiring board.
A first flow path and a second flow path are connected to the head body.
The first flow path has a first branch flow path provided along the liquid injection surface on the first surface side.
The second flow path has a second branch flow path provided along the liquid injection surface on the second surface side.
The liquid injection head is characterized in that the first branch flow path is closer to the head body in a direction orthogonal to the liquid injection surface than the second branch flow path.
請求項1に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第1流路は、前記第1面側において、前記第1分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第1垂直流路を有し、
前記第2流路は、前記第2面側において、前記第2分岐流路と前記ヘッド本体とを接続して前記液体噴射面に垂直な方向に沿う第2垂直流路を有する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid injection head according to claim 1,
The first flow path has a first vertical flow path on the first surface side that connects the first branch flow path and the head body and runs in a direction perpendicular to the liquid injection surface.
The second flow path is characterized by having a second vertical flow path on the second surface side that connects the second branch flow path and the head body and runs in a direction perpendicular to the liquid injection surface. Liquid injection head.
液体が噴射される液体噴射面を有する複数のヘッド本体と、
前記ヘッド本体ごとに接続されたフレキシブル配線基板と、
前記ヘッド本体ごとに液体を供給する流路が設けられた流路部材とを備え、
前記流路部材は、前記フレキシブル配線基板を挿通する開口部を複数有し、
前記フレキシブル配線基板は、前記ヘッド本体に対して前記流路部材側に延設され、かつ、前記ヘッド本体と前記流路部材との間において、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第1面側に傾けられ、
前記流路は、前記フレキシブル配線基板の両面のうち第2面側において、前記液体噴射面に沿って設けられた部分を有し、
前記ヘッド本体には、第1流路と第2流路とが接続されており、
前記第1流路は、
前記フレキシブル配線基板の前記第1面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第1分岐流路と、
複数の前記第1分岐流路と接続された第1交差流路と、を有し、
前記第2流路は、
前記フレキシブル配線基板の前記第2面側において、前記液体噴射面に平行な方向に設けられた第2分岐流路と、
複数の前記第2分岐流路と接続された第2交差流路と、を有し、
前記第1交差流路と前記第2交差流路とは、前記フレキシブル配線基板の面方向において、前記フレキシブル配線基板に対して反対側にある
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
A plurality of head bodies having a liquid injection surface on which a liquid is injected,
A flexible wiring board connected to each head body,
Each head body is provided with a flow path member provided with a flow path for supplying the liquid.
The flow path member has a plurality of openings through which the flexible wiring board is inserted.
The flexible wiring board extends to the flow path member side with respect to the head main body, and is located on the first surface side of both sides of the flexible wiring board between the head main body and the flow path member. Tilt,
The flow path has a portion provided along the liquid injection surface on the second surface side of both surfaces of the flexible wiring board.
A first flow path and a second flow path are connected to the head body.
The first flow path is
On the first surface side of the flexible wiring board, a first branch flow path provided in a direction parallel to the liquid injection surface, and
It has a first crossing flow path connected to the plurality of first branch flow paths, and has.
The second flow path is
A second branch flow path provided on the second surface side of the flexible wiring board in a direction parallel to the liquid injection surface, and
It has a second crossing flow path connected to the plurality of the second branch flow paths, and has.
A liquid injection head characterized in that the first crossing flow path and the second crossing flow path are on opposite sides of the flexible wiring board in the plane direction of the flexible wiring board.
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板は、前記液体噴射面に垂直な方向において前記ヘッド本体に近い一端部、及び前記ヘッド本体から遠い他端部を有し、
前記他端部は、前記一端部よりも前記フレキシブル配線基板の面方向の幅が狭く形成され、
前記第2流路は、前記他端部の前記面方向の外側の領域を通るように前記流路部材に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid injection head according to any one of claims 1 to 3.
The flexible wiring board has one end close to the head body and the other end far from the head body in a direction perpendicular to the liquid injection surface.
The other end portion is formed to have a narrower width in the surface direction of the flexible wiring board than the one end portion.
The liquid injection head is characterized in that the second flow path is formed in the flow path member so as to pass through a region outside the other end in the surface direction.
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記フレキシブル配線基板の前記第2面側に駆動回路が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
In the liquid injection head according to any one of claims 1 to 4.
A liquid injection head characterized in that a drive circuit is provided on the second surface side of the flexible wiring board.
請求項1〜請求項5の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。 A liquid injection device comprising the liquid injection head according to any one of claims 1 to 5.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP7639300B2 (en) 2020-10-22 2025-03-05 セイコーエプソン株式会社 LIQUID EJECT HEAD AND LIQUID EJECT APPARATUS

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4989317A (en) * 1988-11-21 1991-02-05 Hewlett-Packard Company Method for making tab circuit electrical connector supporting multiple components thereon
JP2005193673A (en) * 2004-01-10 2005-07-21 Xerox Corp Drop generator
JP2010228265A (en) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head unit and liquid ejecting apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4989317A (en) * 1988-11-21 1991-02-05 Hewlett-Packard Company Method for making tab circuit electrical connector supporting multiple components thereon
JP2005193673A (en) * 2004-01-10 2005-07-21 Xerox Corp Drop generator
JP2010228265A (en) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp Liquid ejecting head unit and liquid ejecting apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12187047B2 (en) 2020-06-17 2025-01-07 Seiko Epson Corporation Flow passage member, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method for manufacturing flow passage member
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