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JP2020086317A - Photosensitive resin composition, production method of patterned cured film, and patterned cured film - Google Patents

Photosensitive resin composition, production method of patterned cured film, and patterned cured film Download PDF

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JP2020086317A JP2018224231A JP2018224231A JP2020086317A JP 2020086317 A JP2020086317 A JP 2020086317A JP 2018224231 A JP2018224231 A JP 2018224231A JP 2018224231 A JP2018224231 A JP 2018224231A JP 2020086317 A JP2020086317 A JP 2020086317A
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Abstract

【課題】直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成可能である感光性樹脂組成物と、当該感光性樹脂組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、当該製造方法により製造され得るパターン化された硬化膜とを提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)とを含む、感光性樹脂組成物において、ニトロ化されたカルバゾール環を含む特定の構造のオキシムエステル化合物である光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを組み合わせて用いる。【選択図】なしPROBLEM TO BE SOLVED: To form a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape, and patterning using the photosensitive resin composition. To provide a method for producing a cured film, and a patterned cured film that can be produced by the production method. In a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C), a specific structure containing a nitrated carbazole ring. Of the oxime ester compound (C-I) and a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-II) are used in combination. [Selection diagram] None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、パターン化された硬化膜の製造方法、及びパターン化された硬化膜に関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition, a method for producing a patterned cured film, and a patterned cured film.

例えば、液晶表示装置のような表示装置では、絶縁膜や、スペーサーのような透光性の部材や、ブラックマトリックスのような遮光性の部材が多数使用されている。このような部材は、パターン化された膜として形成されることが多い。パターン化された膜を形成するためには、露光により硬化膜を与える感光性樹脂組成物が広く用いられている。このような、感光性樹脂組成物を位置選択的に露光した後に現像することにより、パターン化された硬化膜を形成できる。 For example, in a display device such as a liquid crystal display device, many insulating films, translucent members such as spacers, and light-shielding members such as black matrix are used. Such members are often formed as patterned films. In order to form a patterned film, a photosensitive resin composition that gives a cured film by exposure is widely used. A patterned cured film can be formed by developing the photosensitive resin composition by exposing the photosensitive resin composition in a position-selective manner.

例えば、透明な硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物としては、樹脂と、重合性化合物と、特定の構造の重合開始剤と、溶剤とを含む組成物が提案されている(特許文献1)。具体的には、特許文献1の実施例には、メタクリル酸と脂環式エポキシ基を有するアクリレートとの共重合体と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートと、下記式のいずれかで表される重合開始剤と、3−メトキシ−1−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、及び3−メトキシブチルアセテートからなる混合溶剤と、を含む感光性樹脂組成物が開示されている。 For example, as a photosensitive resin composition capable of forming a transparent cured film, a composition containing a resin, a polymerizable compound, a polymerization initiator having a specific structure, and a solvent has been proposed (Patent Document 1). ). Specifically, in the example of Patent Document 1, a copolymer of methacrylic acid and an acrylate having an alicyclic epoxy group, dipentaerythritol hexaacrylate, and a polymerization initiation represented by any of the following formulas Disclosed is a photosensitive resin composition containing an agent and a mixed solvent of 3-methoxy-1-butanol, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl 3-ethoxypropionate, and 3-methoxybutyl acetate.

Figure 2020086317
Figure 2020086317

特開2012−58728号公報JP2012-58728A

ところで、感光性樹脂組成物全般について、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成可能であることが要求されることが多い。しかし、特許文献1に記載される感光性樹脂組成物等の従来知られる感光性樹脂組成物を用いる場合、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成できないことがしばしばある。 By the way, it is often required that a photosensitive resin composition as a whole be capable of forming a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape. However, when a conventionally known photosensitive resin composition such as the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 is used, it is patterned to have excellent straightness and adhesion to a substrate and a good cross-sectional shape. Often, a cured film cannot be formed.

本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであって、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成可能である感光性樹脂組成物と、当該感光性樹脂組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、当該製造方法により製造され得るパターン化された硬化膜とを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and is a photosensitive resin composition capable of forming a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape. And a method for producing a patterned cured film using the photosensitive resin composition, and a patterned cured film that can be produced by the production method.

本発明者らは、アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)とを含む、感光性樹脂組成物において、ニトロ化されたカルバゾール環を含む特定の構造のオキシムエステル化合物である光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを組み合わせて用いることにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。より具体的には、本発明は以下のものを提供する。 The present inventors have identified a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C), which contains a nitrated carbazole ring. By using a photopolymerization initiator (C-I) which is an oxime ester compound having a structure of and a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-II) in combination, They have found that they can solve the problems and have completed the present invention. More specifically, the present invention provides the following.

本発明の第1の態様は、アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)とを含む、感光性樹脂組成物であって
光重合開始剤(C)が、下記式(C1):

Figure 2020086317
(式(C1)中、X01は、下記式(C1−1):
Figure 2020086317
で表される構造において、芳香族環上に結合する水素原子のうち、t2+t3個の水素原子を除いた基であり、X02及びX03は、それぞれ独立に1価の有機基であり、X04及びX05は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、t0〜t3は、それぞれ独立に、0又は1であり、t2及びt3の少なくとも一方は1であり、
式(C1−1)中、X06は、カルバゾール環中の窒素原子にC−N結合で結合する1価の有機基であり、t4及びt5は、それぞれ独立に0又は1であり、t4及びt5の少なくとも一方は1である。)
で表される光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを含み、
光重合開始剤(C)の質量における、前記光重合開始剤(C−I)の質量の比率が、20質量%以上95質量%以下である、感光性樹脂組成物である。 A first aspect of the present invention is a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C), which is a photopolymerization initiator ( C) is the following formula (C1):
Figure 2020086317
(In formula (C1), X 01 is the following formula (C1-1):
Figure 2020086317
In the structure represented by, a hydrogen atom bonded to the aromatic ring, excluding t2+t3 hydrogen atoms, X 02 and X 03 are each independently a monovalent organic group, 04 and X 05 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent, and t0 to t3 are Each independently, 0 or 1, at least one of t2 and t3 is 1,
In formula (C1-1), X 06 is a monovalent organic group bonded to the nitrogen atom in the carbazole ring by a C—N bond, t4 and t5 are each independently 0 or 1, and t4 and At least one of t5 is 1. )
A photopolymerization initiator (C-I) represented by and a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-I),
The photosensitive resin composition is such that the ratio of the mass of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is 20% by mass or more and 95% by mass or less.

本発明の第2の態様は、
第1の態様にかかる感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
塗布膜を、位置選択的に露光することと、
露光された塗布膜を現像することと、
を含む、パターン化された硬化膜の製造方法である。
The second aspect of the present invention is
Forming a coating film by coating the photosensitive resin composition according to the first aspect on a substrate;
Position-selectively exposing the coating film,
Developing the exposed coating film,
A method for producing a patterned cured film, comprising:

本発明の第3の態様は、第1の態様にかかる感光性樹脂組成物の硬化物からなる、パターン化された硬化膜である。 A third aspect of the present invention is a patterned cured film made of a cured product of the photosensitive resin composition according to the first aspect.

本発明によれば、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成可能である感光性樹脂組成物と、当該感光性樹脂組成物を用いるパターン化された硬化膜の製造方法と、当該製造方法により製造され得るパターン化された硬化膜とを提供することができる。 According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of forming a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape, and the photosensitive resin composition, It is possible to provide a method for producing a patterned cured film to be used, and a patterned cured film that can be produced by the production method.

順テーパーの断面形状を備える、感光性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜のパターン幅方向断面形状を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross-sectional shape of the pattern width direction of the cured film formed using the photosensitive resin composition provided with the cross-sectional shape of a forward taper. 逆テーパーの断面形状を備える、感光性樹脂組成物を用いて形成された硬化膜のパターン幅方向断面形状を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross-sectional shape of the pattern width direction of the cured film formed using the photosensitive resin composition provided with the reverse taper cross-sectional shape.

≪感光性樹脂組成物≫
感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)とを含む。
感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)として、後述する式(C1)で表される光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを組み合わせて含む。光重合開始剤(C)の質量における、光重合開始剤(C−I)の質量の比率は、20質量%以上95質量%以下である。
感光性樹脂組成物が、所定の量の光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)とを組み合わせて含むことにより、感光性樹脂組成物を用いて、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成できる。
<<Photosensitive resin composition>>
The photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C).
The photosensitive resin composition includes a photopolymerization initiator (C) other than the photopolymerization initiator (C-I) represented by the formula (C1) described below as the photopolymerization initiator (C). It contains in combination with a photopolymerization initiator (C-II). The ratio of the mass of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is 20% by mass or more and 95% by mass or less.
When the photosensitive resin composition contains a predetermined amount of the photopolymerization initiator (C-I) and the photopolymerization initiator (C-II) in combination, the photosensitive resin composition is used to move straight ahead. Further, it is possible to form a patterned cured film having excellent adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape.

以下、感光性樹脂組成物に含まれる、必須又は任意の成分について説明する。 The essential or optional components contained in the photosensitive resin composition will be described below.

<アルカリ可溶性樹脂(A)>
感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)を含む。アルカリ可溶性樹脂(A)としては特に限定されず、従来から種々の感光性樹脂組成物に配合されているアルカリ可溶性樹脂から適宜選択できる。
ここで、本明細書において、アルカリ可溶性樹脂(A)とは、分子内にアルカリ可溶性を持たせる官能基(例えば、フェノール性水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基等)を備える樹脂を指す。
<Alkali-soluble resin (A)>
The photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin (A). The alkali-soluble resin (A) is not particularly limited and can be appropriately selected from the alkali-soluble resins that have been conventionally blended in various photosensitive resin compositions.
Here, in the present specification, the alkali-soluble resin (A) refers to a resin having a functional group (for example, a phenolic hydroxyl group, a carboxy group, a sulfonic acid group, etc.) that imparts alkali solubility in the molecule.

アルカリ可溶性樹脂(A)として好適な樹脂としては、カルド構造を有する樹脂(a−1)(以下、「カルド樹脂(a−1)」とも記す。)が挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂としてカルド構造を有する樹脂(a−1)を用いる場合、解像性に優れる感光性樹脂組成物を得やすく、感光性樹脂組成物を用いて加熱により過度にフローしにくい硬化膜を形成しやすい。このため、形状の良好な硬化膜を形成しやすい。
Examples of the resin suitable as the alkali-soluble resin (A) include a resin (a-1) having a cardo structure (hereinafter, also referred to as “cardo resin (a-1)”).
When the resin (a-1) having a cardo structure is used as the alkali-soluble resin, it is easy to obtain a photosensitive resin composition having excellent resolution, and a cured film that hardly flows when heated by using the photosensitive resin composition is formed. Easy to form. Therefore, it is easy to form a cured film having a good shape.

〔カルド構造を有する樹脂(a−1)〕
カルド骨格を有する樹脂(a−1)としては、その構造中にカルド骨格を有し、所定のアルカリ可溶性を有する樹脂を用いることができる。カルド骨格とは、第1の環状構造を構成している1つの環炭素原子に、第2の環状構造と第3の環状構造とが結合した骨格をいう。なお、第2の環状構造と、第3の環状構造とは、同一の構造であっても異なった構造であってもよい。
カルド骨格の代表的な例としては、フルオレン環の9位の炭素原子に2つの芳香環(例えばベンゼン環)が結合した骨格が挙げられる。
[Resin (a-1) having a cardo structure]
As the resin (a-1) having a cardo skeleton, a resin having a cardo skeleton in its structure and having a predetermined alkali solubility can be used. The cardo skeleton refers to a skeleton in which a second ring structure and a third ring structure are bonded to one ring carbon atom forming the first ring structure. The second annular structure and the third annular structure may have the same structure or different structures.
A representative example of the cardo skeleton is a skeleton in which two aromatic rings (for example, a benzene ring) are bonded to the carbon atom at the 9-position of the fluorene ring.

カルド樹脂(a−1)としては、特に限定されず、従来公知の樹脂を用いることができる。その中でも、下記式(a−1)で表される樹脂が好ましい。

Figure 2020086317
The cardo resin (a-1) is not particularly limited, and a conventionally known resin can be used. Among them, the resin represented by the following formula (a-1) is preferable.
Figure 2020086317

式(a−1)中、Xは、下記式(a−2)で表される基を示す。m1は0以上20以下の整数を示す。

Figure 2020086317
In the formula (a-1), X a represents a group represented by the following formula (a-2). m1 represents an integer of 0 or more and 20 or less.
Figure 2020086317

上記式(a−2)中、Ra1は、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数1以上6以下の炭化水素基、又はハロゲン原子を示し、Ra2は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ra3は、それぞれ独立に直鎖又は分岐鎖のアルキレン基を示し、m2は、0又は1を示し、Wは、下記式(a−3)で表される基を示す。 In the formula (a-2), R a1 independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, and R a2 independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R a3 independently represents a linear or branched alkylene group, m 2 represents 0 or 1, and W a represents a group represented by the following formula (a-3).

Figure 2020086317
Figure 2020086317

式(a−2)中、Ra3としては、炭素原子数1以上20以下のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1以上10以下のアルキレン基がより好ましく、炭素原子数1以上6以下のアルキレン基が特に好ましく、エタン−1,2−ジイル基、プロパン−1,2−ジイル基、及びプロパン1,3−ジイル基が最も好ましい。 In formula (a-2), R a3 is preferably an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. Is particularly preferable, and an ethane-1,2-diyl group, a propane-1,2-diyl group, and a propane-1,3-diyl group are the most preferable.

式(a−3)中の環Aは、芳香族環と縮合していてもよく置換基を有していてもよい脂肪族環を示す。脂肪族環は、脂肪族炭化水素環であっても、脂肪族複素環であってもよい。
脂肪族環としては、モノシクロアルカン、ビシクロアルカン、トリシクロアルカン、テトラシクロアルカン等が挙げられる。
具体的には、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタン、シクロオクタン等のモノシクロアルカンや、アダマンタン、ノルボルナン、イソボルナン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカンが挙げられる。
脂肪族環に縮合してもよい芳香族環は、芳香族炭化水素環でも芳香族複素環でもよく、芳香族炭化水素環が好ましい。具体的にはベンゼン環、及びナフタレン環が好ましい。
Ring A in formula (a-3) represents an aliphatic ring which may be condensed with an aromatic ring and may have a substituent. The aliphatic ring may be an aliphatic hydrocarbon ring or an aliphatic heterocycle.
Examples of the aliphatic ring include monocycloalkane, bicycloalkane, tricycloalkane, tetracycloalkane and the like.
Specific examples thereof include monocycloalkanes such as cyclopentane, cyclohexane, cycloheptane and cyclooctane, adamantane, norbornane, isobornane, tricyclodecane and tetracyclododecane.
The aromatic ring which may be condensed with the aliphatic ring may be an aromatic hydrocarbon ring or an aromatic heterocycle, and is preferably an aromatic hydrocarbon ring. Specifically, a benzene ring and a naphthalene ring are preferable.

式(a−3)で表される2価基の好適な例としては、下記の基が挙げられる。

Figure 2020086317
The following groups are mentioned as a suitable example of the divalent group represented by Formula (a-3).
Figure 2020086317

式(a−1)中の2価基Xは、残基Zを与えるテトラカルボン酸二無水物と、下式(a−2a)で表されるジオール化合物とを反応させることにより、カルド樹脂(a−1)中に導入される。

Figure 2020086317
The divalent group X a in the formula (a-1) is a cardo group by reacting a tetracarboxylic acid dianhydride giving a residue Z a with a diol compound represented by the following formula (a-2a). It is introduced into the resin (a-1).
Figure 2020086317

式(a−2a)中、Ra1、Ra2、Ra3、及びm2は、式(a−2)について説明した通りである。式(a−2a)中の環Aについては、式(a−3)について説明した通りである。 In formula (a-2a), R a1 , R a2 , R a3 , and m2 are as described for formula (a-2). The ring A in formula (a-2a) is as described for formula (a-3).

式(a−2a)で表されるジオール化合物は、例えば、以下の方法により製造し得る。
まず、下記式(a−2b)で表されるジオール化合物が有するフェノール性水酸基中の水素原子を、必要に応じて、常法に従って、−Ra3−OHで表される基に置換した後、エピクロルヒドリン等を用いてグリシジル化して、下記式(a−2c)で表されるエポキシ化合物を得る。
次いで、式(a−2c)で表されるエポキシ化合物を、アクリル酸又はメタクリル酸と反応させることにより、式(a−2a)で表されるジオール化合物が得られる。
式(a−2b)及び式(a−2c)中、Ra1、Ra3、及びm2は、式(a−2)について説明した通りである。式(a−2b)及び式(a−2c)中の環Aについては、式(a−3)について説明した通りである。
なお、式(a−2a)で表されるジオール化合物の製造方法は、上記の方法に限定されない。

Figure 2020086317
The diol compound represented by the formula (a-2a) can be produced, for example, by the following method.
First, after replacing the hydrogen atom in the phenolic hydroxyl group of the diol compound represented by the following formula (a-2b) with a group represented by -R a3 -OH, if necessary, according to a conventional method, Glycidylation is performed using epichlorohydrin or the like to obtain an epoxy compound represented by the following formula (a-2c).
Then, the epoxy compound represented by the formula (a-2c) is reacted with acrylic acid or methacrylic acid to obtain the diol compound represented by the formula (a-2a).
In formula (a-2b) and formula (a-2c), R a1 , R a3 , and m2 are as described for formula (a-2). The ring A in formulas (a-2b) and (a-2c) is as described for formula (a-3).
The method for producing the diol compound represented by formula (a-2a) is not limited to the above method.
Figure 2020086317

式(a−2b)で表されるジオール化合物の好適な例としては、以下のジオール化合物が挙げられる。

Figure 2020086317
Suitable examples of the diol compound represented by the formula (a-2b) include the following diol compounds.
Figure 2020086317

上記式(a−1)中、Ra0は水素原子又は−CO−Y−COOHで表される基である。ここで、Yは、ジカルボン酸無水物から酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基を示す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。 In the formula (a-1), R a0 is a hydrogen atom or a group represented by —CO—Y a —COOH. Here, Y a represents a residue obtained by removing an acid anhydride group (—CO—O—CO—) from a dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic acid anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydro. Examples thereof include phthalic anhydride and glutaric anhydride.

また、上記式(a−1)中、Zは、テトラカルボン酸二無水物から2個の酸無水物基を除いた残基を示す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、下記式(a−4)で表されるテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。
また、上記式(a−1)中、mは、0以上20以下の整数を示す。
In the formula (a-1), Z a represents a residue obtained by removing two acid anhydride groups from tetracarboxylic dianhydride. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include a tetracarboxylic dianhydride represented by the following formula (a-4), pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and biphenyltetracarboxylic dianhydride. And biphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride.
In addition, in the above formula (a-1), m represents an integer of 0 or more and 20 or less.

Figure 2020086317
(式(a−4)中、Ra4、Ra5、及びRa6は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上10以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される1種を示し、m3は、0以上12以下の整数を示す。)
Figure 2020086317
(In formula (a-4), R a4 , R a5 , and R a6 each independently represent one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and a fluorine atom. , M3 represents an integer of 0 or more and 12 or less.)

式(a−4)中のRa4として選択され得るアルキル基は、炭素原子数が1以上10以下のアルキル基である。アルキル基の備える炭素原子数をこの範囲に設定することで、得られるカルボン酸エステルの耐熱性を一段と向上させることができる。Ra4がアルキル基である場合、その炭素原子数は、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、1以上6以下が好ましく、1以上5以下がより好ましく、1以上4以下がさらに好ましく、1以上3以下が特に好ましい。
a4がアルキル基である場合、当該アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。
The alkyl group that can be selected as R a4 in formula (a-4) is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. By setting the number of carbon atoms included in the alkyl group within this range, the heat resistance of the obtained carboxylic acid ester can be further improved. When R a4 is an alkyl group, the number of carbon atoms is preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, still more preferably 1 or more and 4 or less, from the viewpoint of easily obtaining a cardo resin having excellent heat resistance. It is particularly preferably 1 or more and 3 or less.
When R a4 is an alkyl group, the alkyl group may be linear or branched.

式(a−4)中のRa4としては、耐熱性に優れるカルド樹脂を得やすい点から、それぞれ独立に、水素原子又は炭素原子数1以上10以下のアルキル基がより好ましい。式(a−4)中のRa4は、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基又はイソプロピル基がより好ましく、水素原子又はメチル基が特に好ましい。
式(a−4)中の複数のRa4は、高純度のテトラカルボン酸二無水物の調製が容易であることから、同一の基であるのが好ましい。
As R a4 in the formula (a-4), a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is more preferably each independently from the viewpoint of easily obtaining a cardo resin having excellent heat resistance. R a4 in formula (a-4) is more preferably a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group or an isopropyl group, and particularly preferably a hydrogen atom or a methyl group.
It is preferable that the plurality of R a4 in the formula (a-4) are the same group because the preparation of high-purity tetracarboxylic dianhydride is easy.

式(a−4)中のm3は0以上12以下の整数を示す。m3の値を12以下とすることによって、テトラカルボン酸二無水物の精製を容易にすることができる。
テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、m3の上限は5が好ましく、3がより好ましい。
テトラカルボン酸二無水物の化学的安定性の点から、m3の下限は1が好ましく、2がより好ましい。
式(a−4)中のm3は、2又は3が特に好ましい。
M3 in Formula (a-4) shows the integer of 0-12. By setting the value of m3 to 12 or less, the purification of the tetracarboxylic dianhydride can be facilitated.
From the viewpoint of easy purification of the tetracarboxylic dianhydride, the upper limit of m3 is preferably 5, and more preferably 3.
From the viewpoint of the chemical stability of tetracarboxylic dianhydride, the lower limit of m3 is preferably 1, and more preferably 2.
2 or 3 is particularly preferable for m3 in the formula (a-4).

式(a−4)中のRa5、及びRa6として選択され得る炭素原子数1以上10以下のアルキル基は、Ra4として選択され得る炭素原子数1以上10以下のアルキル基と同様である。
a5、及びRa6は、テトラカルボン酸二無水物の精製が容易である点から、水素原子、又は炭素原子数1以上10以下(好ましくは1以上6以下、より好ましくは1以上5以下、さらに好ましくは1以上4以下、特に好ましくは1以上3以下)のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのが特に好ましい。
The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which can be selected as R a5 and R a6 in the formula (a-4) is the same as the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which can be selected as R a4. ..
R a5 and R a6 are each a hydrogen atom or a carbon atom number of 1 or more and 10 or less (preferably 1 or more and 6 or less, more preferably 1 or more and 5 or less), because purification of the tetracarboxylic dianhydride is easy. It is more preferably 1 or more and 4 or less, particularly preferably 1 or more and 3 or less), and particularly preferably a hydrogen atom or a methyl group.

式(a−4)で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物(別名「ノルボルナン−2−スピロ−2’−シクロペンタノン−5’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物」)、メチルノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタノン−α’−スピロ−2’’−(メチルノルボルナン)−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロヘキサノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物(別名「ノルボルナン−2−スピロ−2’−シクロヘキサノン−6’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物」)、メチルノルボルナン−2−スピロ−α−シクロヘキサノン−α’−スピロ−2’’−(メチルノルボルナン)−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロプロパノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロブタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロヘプタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロオクタノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロノナノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロウンデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロドデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロトリデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロテトラデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−シクロペンタデカノン−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−(メチルシクロペンタノン)−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物、ノルボルナン−2−スピロ−α−(メチルシクロヘキサノン)−α’−スピロ−2’’−ノルボルナン−5,5’’,6,6’’−テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride represented by the formula (a-4) include, for example, norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α′-spiro-2″-norbornane-5,5″, 6,6"-tetracarboxylic dianhydride (also known as "norbornane-2-spiro-2'-cyclopentanone-5'-spiro-2"-norbornane-5,5",6,6" -Tetracarboxylic dianhydride"), methylnorbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2''-(methylnorbornane)-5,5'',6,6''-tetra Carboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclohexanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride (also known as "norbornane- 2-spiro-2′-cyclohexanone-6′-spiro-2″-norbornane-5,5″,6,6″-tetracarboxylic dianhydride”), methylnorbornane-2-spiro-α- Cyclohexanone-α'-spiro-2''-(methylnorbornane)-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclopropanone-α'- Spiro-2″-norbornane-5,5″,6,6″-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclobutanone-α′-spiro-2″-norbornane-5, 5″,6,6″-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cycloheptanone-α′-spiro-2″-norbornane-5,5″,6,6′ '-Tetracarboxylic acid dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclooctanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride , Norbornane-2-spiro-α-cyclononanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclodecanone -Α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cycloundecanone-α'-spiro-2' '-Norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclododecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5' ',6,6''-Tetracarboxylic dianhydride, norbol Nan-2-spiro-α-cyclotridecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α- Cyclotetradecanone-α'-spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-cyclopentadecanone-α' -Spiro-2''-norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-(methylcyclopentanone)-α'-spiro-2' '-Norbornane-5,5'',6,6''-tetracarboxylic dianhydride, norbornane-2-spiro-α-(methylcyclohexanone)-α'-spiro-2''-norbornane-5,5 ″,6,6″-Tetracarboxylic acid dianhydride and the like can be mentioned.

カルド樹脂(a−1)の重量平均分子量は、1000以上40000以下であることが好ましく、1500以上30000以下であることがより好ましく、2000以上10000以下であることがさらに好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜について十分な耐熱性と、機械的強度とを得ることができる。 The cardo resin (a-1) has a weight average molecular weight of preferably 1,000 or more and 40,000 or less, more preferably 1,500 or more and 30,000 or less, and further preferably 2,000 or more and 10,000 or less. Within the above range, sufficient heat resistance and mechanical strength can be obtained for the cured film formed using the photosensitive resin composition while obtaining good developability.

〔ノボラック樹脂(a−2)〕
加熱により過度にフローしにくい硬化膜を形成しやすい点から、アルカリ可溶性樹脂(A)がノボラック樹脂(a−2)を含むのも好ましい。
ノボラック樹脂(a−2)としては、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々のノボラック樹脂を用いることができる。ノボラック樹脂(a−2)としては、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(以下、単に「フェノール類」という。)とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られるものが好ましい。
[Novolak resin (a-2)]
It is also preferable that the alkali-soluble resin (A) contains the novolac resin (a-2) from the viewpoint of easily forming a cured film that does not flow excessively by heating.
As the novolac resin (a-2), various novolac resins conventionally blended in the photosensitive resin composition can be used. As the novolac resin (a-2), those obtained by addition-condensing an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group (hereinafter, simply referred to as “phenols”) and an aldehyde with an acid catalyst are preferable.

(フェノール類)
ノボラック樹脂(a−2)を作製する際に用いられるフェノール類としては、例えば、フェノール;o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール等のクレゾール類;2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール等のキシレノール類;o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール等のエチルフェノール類;2−イソプロピルフェノール、3−イソプロピルフェノール、4−イソプロピルフェノール、o−ブチルフェノール、m−ブチルフェノール、p−ブチルフェノール、並びにp−tert−ブチルフェノール等のアルキルフェノール類;2,3,5−トリメチルフェノール、及び3,4,5−トリメチルフェノール等のトリアルキルフェノール類;レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、及びフロログリシノール等の多価フェノール類;アルキルレゾルシン、アルキルカテコール、及びアルキルハイドロキノン等のアルキル多価フェノール類(いずれのアルキル基も炭素原子数1以上4以下である。);α−ナフトール;β−ナフトール;ヒドロキシジフェニル;並びにビスフェノールA等が挙げられる。これらのフェノール類は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Phenols)
Examples of the phenols used when producing the novolac resin (a-2) include phenol; cresols such as o-cresol, m-cresol, and p-cresol; 2,3-xylenol, 2,4-xylenol. , 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol and other xylenols; o-ethylphenol, m-ethylphenol, p-ethylphenol and other ethylphenols; 2 -Alkylphenols such as isopropylphenol, 3-isopropylphenol, 4-isopropylphenol, o-butylphenol, m-butylphenol, p-butylphenol, and p-tert-butylphenol; 2,3,5-trimethylphenol, and 3,4 , Trialkylphenols such as 5-trimethylphenol; polyhydric phenols such as resorcinol, catechol, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, and phloroglysinol; alkyl polyhydric phenols such as alkylresorcinol, alkylcatechol, and alkylhydroquinone (Each alkyl group has 1 to 4 carbon atoms.); α-naphthol; β-naphthol; hydroxydiphenyl; and bisphenol A. These phenols may be used alone or in combination of two or more.

これらのフェノール類の中でも、m−クレゾール及びp−クレゾールが好ましく、m−クレゾールとp−クレゾールとを併用することがより好ましい。この場合、両者の配合割合を調整することにより、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性等の諸特性を調節することができる。
m−クレゾールとp−クレゾールの配合割合は特に限定されるものではないが、m−クレゾール/p−クレゾールのモル比で、3/7以上8/2以下が好ましい。m−クレゾール及びp−クレゾールをかかる範囲の比率で用いることにより、耐熱性に優れる硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を得やすい。
Among these phenols, m-cresol and p-cresol are preferable, and it is more preferable to use m-cresol and p-cresol together. In this case, various properties such as heat resistance of the cured film formed using the photosensitive resin composition can be adjusted by adjusting the mixing ratio of the both.
The mixing ratio of m-cresol and p-cresol is not particularly limited, but the molar ratio of m-cresol/p-cresol is preferably 3/7 or more and 8/2 or less. By using m-cresol and p-cresol in such a ratio, it is easy to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a cured film having excellent heat resistance.

また、m−クレゾールと、2,3,5−トリメチルフェノールとを併用して製造されるノボラック樹脂も好ましい。かかるノボラック樹脂を用いる場合、耐熱性に優れる硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物を、特に得やすい。
m−クレゾールと2,3,5−トリメチルフェノールの配合割合は特に限定されるものではないが、m−クレゾール/2,3,5−トリメチルフェノールのモル比で、70/30以上95/5以下が好ましい。
A novolac resin produced by using m-cresol and 2,3,5-trimethylphenol in combination is also preferable. When such a novolac resin is used, it is particularly easy to obtain a photosensitive resin composition capable of forming a cured film having excellent heat resistance.
The mixing ratio of m-cresol and 2,3,5-trimethylphenol is not particularly limited, but is 70/30 or more and 95/5 or less in terms of a molar ratio of m-cresol/2,3,5-trimethylphenol. Is preferred.

(アルデヒド類)
ノボラック樹脂(a−2)を作製する際に用いられるアルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、及びアセトアルデヒド等が挙げられる。これらのアルデヒド類は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Aldehydes)
Examples of aldehydes used in producing the novolac resin (a-2) include formaldehyde, paraformaldehyde, furfural, benzaldehyde, nitrobenzaldehyde, and acetaldehyde. These aldehydes may be used alone or in combination of two or more.

(酸触媒)
ノボラック樹脂(a−2)を作製する際に用いられる酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、及び亜リン酸等の無機酸類;蟻酸、シュウ酸、酢酸、ジエチル硫酸、及びパラトルエンスルホン酸等の有機酸類;並びに酢酸亜鉛等の金属塩類等が挙げられる。これらの酸触媒は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(Acid catalyst)
Examples of the acid catalyst used in producing the novolac resin (a-2) include inorganic acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, and phosphorous acid; formic acid, oxalic acid, acetic acid, diethylsulfuric acid, and Examples thereof include organic acids such as paratoluenesulfonic acid; and metal salts such as zinc acetate. These acid catalysts may be used alone or in combination of two or more kinds.

(分子量)
ノボラック樹脂(a−2)のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw;以下、単に「重量平均分子量」ともいう。)は、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性の観点から、下限値として2000が好ましく、5000がより好ましく、10000が特に好ましく、15000がさらに好ましく、20000が最も好ましく、上限値として50000が好ましく、45000がより好ましく、40000がさらに好ましく、35000が最も好ましい。
(Molecular weight)
The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw; hereinafter also simply referred to as "weight average molecular weight") of the novolac resin (a-2) is from the viewpoint of heat resistance of a cured film formed using the photosensitive resin composition. , The lower limit is preferably 2000, more preferably 5000, particularly preferably 10,000, further preferably 15,000, most preferably 20,000, and the upper limit is preferably 50,000, more preferably 45,000, further preferably 40,000, most preferably 35,000.

ノボラック樹脂(a−2)としては、ポリスチレン換算の重量平均分子量が異なるものを少なくとも2種組み合わせて用いることができる。重量平均分子量が異なるものを大小組み合わせて用いることにより、感光性樹脂組成物の現像性と、感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜の耐熱性とのバランスをとることができる。 As the novolak resin (a-2), it is possible to use a combination of at least two resins having different polystyrene-equivalent weight average molecular weights. By using those having different weight average molecular weights in a combination of large and small, it is possible to balance the developability of the photosensitive resin composition with the heat resistance of the cured film formed using the photosensitive resin composition.

〔変性エポキシ樹脂(a−3)〕
アルカリ可溶性樹脂(A)は、エポキシ化合物(a−3a)と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)との反応物の、多塩基酸無水物(a−3c)付加体(a−3)を含んでいてもよい。かかる付加体について、「変性エポキシ樹脂(a−3)」とも記す。
なお、本出願の明細書及び特許請求の範囲において、上記の定義に該当する化合物であって、前述のカルド構造を有する樹脂(a−1)に該当しない化合物を、変性エポキシ樹脂(a−3)とする。
[Modified epoxy resin (a-3)]
The alkali-soluble resin (A) is a polybasic acid anhydride (a-3c) adduct (a-3) of a reaction product of an epoxy compound (a-3a) and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b). May be included. Such an adduct is also referred to as "modified epoxy resin (a-3)".
In addition, in the specification and claims of the present application, a compound which corresponds to the above definition and which does not correspond to the resin (a-1) having a cardo structure is referred to as a modified epoxy resin (a-3). ).

以下、エポキシ化合物(a−3a)、不飽和基含有カルボン酸(a−3b)、及び多塩基酸無水物(a−3c)について説明する。 Hereinafter, the epoxy compound (a-3a), the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b), and the polybasic acid anhydride (a-3c) will be described.

<エポキシ化合物(a−3a)>
エポキシ化合物(a−3a)は、エポキシ基を有する化合物であれば特に限定されず、芳香族基を有する芳香族エポキシ化合物であっても、芳香族基を含まない脂肪族エポキシ化合物であってもよく、芳香族基を有する芳香族エポキシ化合物が好ましい。
エポキシ化合物(a−3a)は、単官能エポキシ化合物であっても、2官能以上の多官能エポキシ化合物であってもよく、多官能エポキシ化合物が好ましい。
<Epoxy compound (a-3a)>
The epoxy compound (a-3a) is not particularly limited as long as it is a compound having an epoxy group, and may be an aromatic epoxy compound having an aromatic group or an aliphatic epoxy compound not containing an aromatic group. Well, an aromatic epoxy compound having an aromatic group is preferable.
The epoxy compound (a-3a) may be a monofunctional epoxy compound or a bifunctional or higher functional polyfunctional epoxy compound, and a polyfunctional epoxy compound is preferable.

エポキシ化合物(a−3a)の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂;ダイマー酸グリシジルエステル、及びトリグリシジルエステル等のグリシジルエステル型エポキシ樹脂;テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、トリグリシジル−p−アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、及びテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ樹脂;フロログリシノールトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシビフェニルトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシフェニルメタントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、2−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−2−[4−[1,1−ビス[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]エチル]フェニル]プロパン、及び1,3−ビス[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチル]フェノキシ]−2−プロパノール等の3官能型エポキシ樹脂;テトラヒドロキシフェニルエタンテトラグリシジルエーテル、テトラグリシジルベンゾフェノン、ビスレゾルシノールテトラグリシジルエーテル、及びテトラグリシドキシビフェニル等の4官能型エポキシ樹脂が挙げられる。 Specific examples of the epoxy compound (a-3a) include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin. Functional epoxy resin; glycidyl ester type epoxy resin such as dimer acid glycidyl ester and triglycidyl ester; tetraglycidyl aminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidyl metaxylylenediamine, tetraglycidyl bisaminomethylcyclohexane Glycidylamine type epoxy resin; Heterocyclic epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate; Phlorogricinol triglycidyl ether, trihydroxybiphenyl triglycidyl ether, trihydroxyphenylmethane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, 2-[4- (2,3-Epoxypropoxy)phenyl]-2-[4-[1,1-bis[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]ethyl]phenyl]propane, and 1,3-bis[4- [1-[4-(2,3-Epoxypropoxy)phenyl]-1-[4-[1-[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]-1-methylethyl]phenyl]ethyl]phenoxy] 2-functional epoxy resins such as 2-propanol; tetrahydroxyphenylethane tetraglycidyl ether, tetraglycidyl benzophenone, bisresorcinol tetraglycidyl ether, and tetrafunctional epoxy resins such as tetraglycidoxy biphenyl.

また、エポキシ化合物(a−3a)としては、ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物が好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物は、主鎖に下記式(a−3a−1)で表されるビフェニル骨格を少なくとも1つ以上有するのが好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物は、2以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物であるのが好ましい。
ビフェニル骨格を有するエポキシ化合物を用いることにより、感度と現像性とのバランスに優れ、基板への密着性に優れる硬化膜を形成できる樹脂組成物を得やすい。
Moreover, as the epoxy compound (a-3a), an epoxy compound having a biphenyl skeleton is preferable.
The epoxy compound having a biphenyl skeleton preferably has at least one biphenyl skeleton represented by the following formula (a-3a-1) in the main chain.
The epoxy compound having a biphenyl skeleton is preferably a polyfunctional epoxy compound having two or more epoxy groups.
By using an epoxy compound having a biphenyl skeleton, it is easy to obtain a resin composition which has an excellent balance between sensitivity and developability and which can form a cured film having excellent adhesion to a substrate.

Figure 2020086317
(式(a−3a−1)中、Ra7は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上12以下のアルキル基、ハロゲン原子、又は置換基を有してもよいフェニル基であり、jは1以上4以下の整数である。)
Figure 2020086317
(In formula (a-3a-1), R a7 is each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a halogen atom, or a phenyl group which may have a substituent, j is an integer of 1 or more and 4 or less.)

a7が炭素原子数1以上12以下のアルキル基である場合、アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、イソデシル基、n−ウンデシル基、及びn−ドデシル基が挙げられる。 When R a7 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl. Group, tert-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert- Examples include octyl group, n-nonyl group, isononyl group, n-decyl group, isodecyl group, n-undecyl group, and n-dodecyl group.

a7がハロゲン原子である場合、ハロゲン原子の具体例としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。 When R a7 is a halogen atom, specific examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

a7が置換基を有してもよいフェニル基である場合、フェニル基上の置換基の数は特に限定されない。フェニル基上の置換基の数は、0以上5以下であり、0又は1が好ましい。
置換基の例としては、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上4以下の脂肪族アシル基、ハロゲン原子、シアノ基、及びニトロ基が挙げられる。
When R a7 is a phenyl group which may have a substituent, the number of substituents on the phenyl group is not particularly limited. The number of substituents on the phenyl group is 0 or more and 5 or less, preferably 0 or 1.
Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, an aliphatic acyl group having 2 to 4 carbon atoms, a halogen atom, a cyano group, and a nitro group. Groups.

上記式(a−3a−1)で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ化合物(a−3a)としては特に限定されないが、例えば、下記式(a−3a−2)で表されるエポキシ化合物を挙げることができる。

Figure 2020086317
(式(a−3a−2)中、Ra7及びjは、式(a−3a−1)と同様であり、kは括弧内の構成単位の平均繰り返し数であって0以上10以下である。) The epoxy compound (a-3a) having a biphenyl skeleton represented by the above formula (a-3a-1) is not particularly limited, but examples thereof include an epoxy compound represented by the following formula (a-3a-2). be able to.
Figure 2020086317
(In formula (a-3a-2), R a7 and j are the same as those in formula (a-3a-1), and k is the average number of repeating structural units in parentheses and is 0 or more and 10 or less. .)

式(a−3a−2)で表されるエポキシ化合物の中では、感度と現像性とのバランスに優れる感光性樹脂組成物を特に得やすいことから、下記式(a−3a−3)で表される化合物が好ましい。

Figure 2020086317
(式(a−3a−3)中、kは、式(a−3a−2)と同様である。) Among the epoxy compounds represented by the formula (a-3a-2), it is particularly easy to obtain a photosensitive resin composition having a good balance between sensitivity and developability. Compounds are preferred.
Figure 2020086317
(In the formula (a-3a-3), k is the same as the formula (a-3a-2).)

(不飽和基含有カルボン酸(a−3b))
変性エポキシ化合物(a−3)と調製するにあたって、エポキシ化合物(a−3a)と、不飽和基含有カルボン酸(a−3b)とを反応させる。
不飽和基含有カルボン酸(a−3b)としては、分子中にアクリル基やメタクリル基等の反応性の不飽和二重結合を含有するモノカルボン酸が好ましい。このような不飽和基含有カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸等を挙げることができる。また、不飽和基含有カルボン酸(a−3b)は、単独又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
(Unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b))
In preparing the modified epoxy compound (a-3), the epoxy compound (a-3a) is reacted with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b).
As the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b), a monocarboxylic acid having a reactive unsaturated double bond such as an acryl group or a methacryl group in the molecule is preferable. Examples of the unsaturated group-containing carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, β-styryl acrylic acid, β-furfuryl acrylic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid and the like. In addition, the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) may be used alone or in combination of two or more kinds.

エポキシ化合物(a−3a)と、不飽和基含有カルボン酸(a−3b)とは、公知の方法により反応させることができる。好ましい反応方法としては、例えば、エポキシ化合物(a−3a)と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)とを、トリエチルアミン、ベンジルエチルアミン等の3級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、ピリジン、又はトリフェニルホスフィン等を触媒として、有機溶剤中、反応温度50℃以上150℃以上で数時間以上数十時間以下の間反応させる方法が挙げられる。 The epoxy compound (a-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) can be reacted by a known method. As a preferred reaction method, for example, an epoxy compound (a-3a) and an unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b), a tertiary amine such as triethylamine, benzylethylamine, dodecyltrimethylammonium chloride, tetramethylammonium chloride, The reaction is carried out in an organic solvent at a reaction temperature of 50° C. or higher and 150° C. or higher for several hours to several tens of hours using a quaternary ammonium salt such as tetraethylammonium chloride or benzyltriethylammonium chloride, pyridine or triphenylphosphine as a catalyst. There is a method.

エポキシ化合物(a−3a)と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)との反応における両者の使用量の比率は、エポキシ化合物(a−3a)のエポキシ当量と、不飽和基含有カルボン酸(a−3b)のカルボン酸当量との比として、通常1:0.5〜1:2が好ましく、1:0.8〜1:1.25がより好ましく、1:0.9〜1:1.1が特に好ましい。
エポキシ化合物(a−3a)の使用量と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)の使用量との比率が、前記の当量比で1:0.5〜1:2であると、架橋効率が向上する傾向があり好ましい。
The ratio of the amounts of both used in the reaction of the epoxy compound (a-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) is such that the epoxy equivalent of the epoxy compound (a-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid ( The ratio of a-3b) to the carboxylic acid equivalent is usually 1:0.5 to 1:2, preferably 1:0.8 to 1:1.25, more preferably 1:0.9 to 1:1. .1 is particularly preferred.
When the ratio of the amount of the epoxy compound (a-3a) used to the amount of the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) used is 1:0.5 to 1:2 in the above equivalent ratio, the crosslinking efficiency is Is preferred, which is preferable.

(多塩基酸無水物(a−3c))
多塩基酸無水物(a−3c)は、2個以上のカルボキシル基を有するカルボン酸の無水物である。
多塩基酸無水物(a−3c)としては、特に限定されないが、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3−メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、3−エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、4−エチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、3−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−メチルテトラヒドロ無水フタル酸、3−エチルテトラヒドロ無水フタル酸、4−エチルテトラヒドロ無水フタル酸、下記式(a−3c−1)で表される化合物、及び下記式(a−3c−2)で表される化合物を挙げることができる。また、多塩基酸無水物(a−3c)は、単独又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
(Polybasic acid anhydride (a-3c))
The polybasic acid anhydride (a-3c) is a carboxylic acid anhydride having two or more carboxyl groups.
The polybasic acid anhydride (a-3c) is not particularly limited, and examples thereof include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydroanhydride. Phthalic acid, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3-methylhexahydrophthalic anhydride, 4-methylhexahydrophthalic anhydride, 3-ethylhexa Hydrophthalic anhydride, 4-ethylhexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, 3-methyltetrahydrophthalic anhydride, 4-methyltetrahydrophthalic anhydride, 3-ethyltetrahydrophthalic anhydride, 4-ethyltetrahydrophthalic anhydride , A compound represented by the following formula (a-3c-1), and a compound represented by the following formula (a-3c-2). The polybasic acid anhydrides (a-3c) may be used alone or in combination of two or more.

Figure 2020086317
(式(a−3c−2)中、Ra8は、炭素原子数1以上10以下の置換基を有してもよいアルキレン基を示す。)
Figure 2020086317
(In formula (a-3c-2), R a8 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a substituent.)

多塩基酸無水物(a−3c)としては、感度と現像性とのバランスに優れる感光性樹脂組成物を得やすいことから、ベンゼン環を2個以上有する化合物であることが好ましい。また、多塩基酸無水物(a−3c)は、上記式(a−3c−1)で表される化合物、及び上記式(a−3c−2)で表される化合物の少なくとも一方を含むのがより好ましい。 As the polybasic acid anhydride (a-3c), a compound having two or more benzene rings is preferable because it is easy to obtain a photosensitive resin composition having an excellent balance between sensitivity and developability. The polybasic acid anhydride (a-3c) contains at least one of the compound represented by the above formula (a-3c-1) and the compound represented by the above formula (a-3c-2). Is more preferable.

エポキシ化合物(a−3a)と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)とを反応させた後、多塩基酸無水物(a−3c)を反応させる方法は、公知の方法から適宜選択できる。
また、使用量比は、エポキシ化合物(a−3a)と不飽和基含有カルボン酸(a−3b)との反応後の成分中のOH基のモル数と、多塩基酸無水物(a−3c)の酸無水物基の当量比で、通常1:1〜1:0.1であり、好ましくは1:0.8〜1:0.2である。上記範囲とすることにより、現像性が良好である感光性樹脂組成物を得やすい。
The method of reacting the epoxy compound (a-3a) with the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) and then the polybasic acid anhydride (a-3c) can be appropriately selected from known methods.
In addition, the usage ratio is such that the molar number of OH groups in the component after the reaction of the epoxy compound (a-3a) and the unsaturated group-containing carboxylic acid (a-3b) and the polybasic acid anhydride (a-3c). The equivalent ratio of the acid anhydride group of 1) is usually 1:1 to 1:0.1, preferably 1:0.8 to 1:0.2. Within the above range, it is easy to obtain a photosensitive resin composition having good developability.

また、変性エポキシ樹脂(a−3)の酸価は、樹脂固形分で、10mgKOH/g以上150mgKOH/g以下であることが好ましく、より好ましくは、70mgKOH/g以上110mgKOH/g以下である。樹脂の酸価を10mgKOH/g以上にすることにより現像液に対する充分な溶解性が得られ、また、酸価を150mgKOH/g以下にすることにより充分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができる。 The acid value of the modified epoxy resin (a-3) is preferably 10 mgKOH/g or more and 150 mgKOH/g or less, more preferably 70 mgKOH/g or more and 110 mgKOH/g or less in terms of resin solid content. When the acid value of the resin is 10 mgKOH/g or more, sufficient solubility in the developing solution can be obtained, and when the acid value is 150 mgKOH/g or less, sufficient curability can be obtained and surface property is improved. Can be good.

また、変性エポキシ樹脂(a−3)の重量平均分子量は、1000以上40000以下であることが好ましく、より好ましくは、2000以上30000以下である。重量平均分子量が1000以上であることにより耐熱性、及び強度に優れる硬化膜を形成しやすい。また、40000以下であることにより現像液に対する十分な溶解性を示す感光性樹脂組成物を得やすい。 The weight average molecular weight of the modified epoxy resin (a-3) is preferably 1,000 or more and 40,000 or less, more preferably 2,000 or more and 30,000 or less. When the weight average molecular weight is 1000 or more, it is easy to form a cured film having excellent heat resistance and strength. Further, when it is 40,000 or less, it is easy to obtain a photosensitive resin composition exhibiting sufficient solubility in a developing solution.

〔アクリル系樹脂(a−4)〕
アクリル系樹脂(a−4)もまたアルカリ可溶性樹脂(A)を構成する成分として好ましい。
アクリル系樹脂(a−4)としては、(メタ)アクリル酸に由来する構成単位、及び/又は(メタ)アクリル酸エステル等の他のモノマーに由来する構成単位を含むものを用いることができる。(メタ)アクリル酸は、アクリル酸、又はメタクリル酸である。(メタ)アクリル酸エステルは、下記式(a−4−1)で表されるものであって、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。
[Acrylic resin (a-4)]
Acrylic resin (a-4) is also preferable as a component constituting the alkali-soluble resin (A).
As the acrylic resin (a-4), a resin containing a structural unit derived from (meth)acrylic acid and/or a structural unit derived from another monomer such as (meth)acrylic acid ester can be used. (Meth)acrylic acid is acrylic acid or methacrylic acid. The (meth)acrylic acid ester is represented by the following formula (a-4-1) and is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention.

Figure 2020086317
Figure 2020086317

上記式(a−4−1)中、Ra9は、水素原子又はメチル基であり、Ra10は、1価の有機基である。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。 In the above formula (a-4-1), R a9 is a hydrogen atom or a methyl group, and R a10 is a monovalent organic group. This organic group may contain a bond or a substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be linear, branched or cyclic.

a10の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシ基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、ヒドロキシイミノ基、アルキルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基、アミノ基(−NH、−NHR、−NRR’:R及びR’はそれぞれ独立に炭化水素基を示す)等が挙げられる。上記置換基に含まれる水素原子は、炭化水素基によって置換されていてもよい。また、上記置換基に含まれる炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。 The substituent other than the hydrocarbon group in the organic group of R a10 is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a cyano group, an isocyano group, a cyanato group. , Isocyanato group, thiocyanato group, isothiocyanato group, silyl group, silanol group, alkoxy group, alkoxycarbonyl group, carbamoyl group, thiocarbamoyl group, nitro group, nitroso group, carboxy group, carboxylate group, acyl group, acyloxy group, sulfino Group, sulfo group, sulfonato group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonato group, hydroxyimino group, alkyl ether group, alkyl thioether group, aryl ether group, aryl thioether group, amino group (-NH 2 , -NHR, —NRR′: R and R′ each independently represent a hydrocarbon group) and the like. The hydrogen atom contained in the above substituent may be substituted with a hydrocarbon group. The hydrocarbon group contained in the above-mentioned substituent may be linear, branched or cyclic.

また、Ra10としての有機基は、アクリロイルオキシ基、メタアクリロイルオキシ基、エポキシ基、オキセタニル基等の反応性の官能基を有していてもよい。
アクリロイルオキシ基やメタアクリロイルオキシ基等の、不飽和二重結等を有するアシル基は、例えば、エポキシ基を有する構成単位を含むアクリル系樹脂(a−4)における、エポキシ基の少なくとも一部に、アクリル酸やメタクリル酸等の不飽和カルボン酸を反応させることにより製造することができる。
Moreover, the organic group as R a10 may have a reactive functional group such as an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, an epoxy group, or an oxetanyl group.
The acyl group having an unsaturated double bond, such as an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group, is, for example, at least a part of the epoxy group in the acrylic resin (a-4) containing a structural unit having an epoxy group. It can be produced by reacting an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid or methacrylic acid.

a10としては、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は複素環基が好ましく、これらの基は、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、又は複素環基で置換されていてもよい。また、これらの基がアルキレン部分を含む場合、アルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。 R a10 is preferably an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, and these groups may be substituted with a halogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group or a heterocyclic group. When these groups include an alkylene moiety, the alkylene moiety may be interrupted by an ether bond, a thioether bond or an ester bond.

アルキル基が、直鎖状又は分岐鎖状のものである場合、その炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上15以下がより好ましく、1以上10以下が特に好ましい。好適なアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、イソデシル基等が挙げられる。 When the alkyl group is linear or branched, the number of carbon atoms is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 15 or less, and particularly preferably 1 or more and 10 or less. Examples of suitable alkyl groups include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, isopentyl group, sec. -Pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, n-decyl group, An isodecyl group etc. are mentioned.

アルキル基が、脂環式基、又は脂環式基を含む基である場合、アルキル基に含まれる好適な脂環式基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基等単環の脂環式基や、アダマンチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、及びテトラシクロドデシル基等の多環の脂環式基が挙げられる。 When the alkyl group is an alicyclic group, or a group containing an alicyclic group, suitable alicyclic groups contained in the alkyl group include a cyclopentyl group, and a monocyclic alicyclic group such as a cyclohexyl group or Examples thereof include polycyclic alicyclic groups such as adamantyl group, norbornyl group, isobornyl group, tricyclononyl group, tricyclodecyl group, and tetracyclododecyl group.

式(a−4−1)で表される化合物が、エポキシ基を有する鎖状の基をRa10として有する場合の、式(a−4−1)で表される化合物の具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エポキシアルキルエステル類が挙げられる。 Specific examples of the compound represented by the formula (a-4-1) when the compound represented by the formula (a-4-1) has a chain group having an epoxy group as R a10 include: Examples of (meth)acrylic acid epoxyalkyl esters such as glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, and 6,7-epoxyheptyl (meth)acrylate. ..

また、式(a−4−1)で表される化合物は、脂環式エポキシ基含有(メタ)アクリル酸エステルであってもよい。脂環式エポキシ基を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。 Further, the compound represented by the formula (a-4-1) may be an alicyclic epoxy group-containing (meth)acrylic acid ester. The alicyclic group constituting the alicyclic epoxy group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Further, examples of the polycyclic alicyclic group include a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group.

式(a−4−1)で表される化合物が脂環式エポキシ基含有(メタ)アクリル酸エステルである場合の具体例としては、例えば下記式(a−4−1a)〜(a−4−1o)で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、現像性を適度なものするためには、下記式(a−4−1a)〜(a−4−1e)で表される化合物が好ましく、下記式(a−4−1a)〜(a−4−1c)で表される化合物がより好ましい。 Specific examples of the case where the compound represented by the formula (a-4-1) is an alicyclic epoxy group-containing (meth)acrylic acid ester include, for example, the following formulas (a-4-1a) to (a-4). -1o). Among these, the compounds represented by the following formulas (a-4-1a) to (a-4-1e) are preferable and the following formulas (a-4-1a) to The compound represented by (a-4-1c) is more preferable.

Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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上記式中、Ra20は水素原子又はメチル基を示し、Ra21は炭素原子数1以上6以下の2価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Ra22は炭素原子数1以上10以下の2価の炭化水素基を示し、tは0以上10以下の整数を示す。Ra21としては、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Ra22としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、−CH−Ph−CH−(Phはフェニレン基を示す)が好ましい。 In the above formula, R a20 represents a hydrogen atom or a methyl group, R a21 represents a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R a22 represents 2 having 1 to 10 carbon atoms. Represents a valent hydrocarbon group, and t represents an integer of 0 or more and 10 or less. As R a21 , a linear or branched alkylene group such as a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. Examples of R a22 include methylene group, ethylene group, propylene group, tetramethylene group, ethylethylene group, pentamethylene group, hexamethylene group, phenylene group, cyclohexylene group, —CH 2 —Ph—CH 2 — (Ph is A phenylene group) is preferred.

また、アクリル系樹脂(a−4)は、(メタ)アクリル酸エステル以外のモノマーを重合させたものであってもよい。このようなモノマーとしては、(メタ)アクリルアミド類、不飽和カルボン酸類、アリル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチレン類等が挙げられる。これらのモノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Further, the acrylic resin (a-4) may be a polymer of a monomer other than the (meth)acrylic acid ester. Examples of such a monomer include (meth)acrylamides, unsaturated carboxylic acids, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters, styrenes and the like. These monomers can be used alone or in combination of two or more kinds.

(メタ)アクリルアミド類としては、(メタ)アクリルアミド、N−アルキル(メタ)アクリルアミド、N−アリール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジアルキル(メタ)アクリルアミド、N,N−アリール(メタ)アクリルアミド、N−メチル−N−フェニル(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシエチル−N−メチル(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。 Examples of (meth)acrylamides include (meth)acrylamide, N-alkyl(meth)acrylamide, N-aryl(meth)acrylamide, N,N-dialkyl(meth)acrylamide, N,N-aryl(meth)acrylamide, N. -Methyl-N-phenyl(meth)acrylamide, N-hydroxyethyl-N-methyl(meth)acrylamide and the like can be mentioned.

不飽和カルボン酸類としては、クロトン酸等のモノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸;これらジカルボン酸の無水物;等が挙げられる。 Examples of unsaturated carboxylic acids include monocarboxylic acids such as crotonic acid; dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; and anhydrides of these dicarboxylic acids.

アリル化合物としては、酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル等のアリルエステル類;アリルオキシエタノール;等が挙げられる。 As the allyl compound, allyl esters such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetate, allyl lactate; allyloxyethanol; Can be mentioned.

ビニルエーテル類としては、ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、1−メチル−2,2−ジメチルプロピルビニルエーテル、2−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル等のアルキルビニルエーテル;ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル−2,4−ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、ビニルアントラニルエーテル等のビニルアリールエーテル;等が挙げられる。 Examples of vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2-dimethylpropyl vinyl ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether. , Alkyl vinyl ethers such as diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether; vinyl phenyl ether, vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether And vinyl aryl ethers such as vinyl naphthyl ether and vinyl anthranyl ether;

ビニルエステル類としては、ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロロ安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニル等が挙げられる。 Examples of vinyl esters include vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl dichloroacetate, vinyl methoxy acetate, vinyl butoxy acetate, vinyl phenyl. Examples thereof include acetate, vinyl acetoacetate, vinyl lactate, vinyl-β-phenylbutyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate and vinyl naphthoate.

スチレン類としては、スチレン;メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン等のアルキルスチレン;メトキシスチレン、4−メトキシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレン等のアルコキシスチレン;クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、2−ブロモ−4−トリフルオロメチルスチレン、4−フルオロ−3−トリフルオロメチルスチレン等のハロスチレン;等が挙げられる。 Styrenes include styrene; methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, cyclohexylstyrene, decylstyrene, benzylstyrene, chloromethylstyrene, trifluoromethylstyrene, ethoxy. Alkyl styrene such as methyl styrene and acetoxymethyl styrene; alkoxy styrene such as methoxy styrene, 4-methoxy-3-methyl styrene and dimethoxy styrene; chloro styrene, dichloro styrene, trichloro styrene, tetrachloro styrene, pentachloro styrene, bromo styrene, Halostyrenes such as dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene, 4-fluoro-3-trifluoromethylstyrene; and the like.

アクリル系樹脂(a−4)における、(メタ)アクリル酸に由来する構成単位の量と、他のモノマーに由来する構成単位の量とは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。アクリル系樹脂(a−4)における、(メタ)アクリル酸に由来する構成単位の量は、アクリル系樹脂(a−4)の質量に対して、5質量%以上50質量%以下が好ましく、10質量%以上30質量%以下がより好ましい。 In the acrylic resin (a-4), the amount of the structural unit derived from (meth)acrylic acid and the amount of the structural unit derived from another monomer are not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. The amount of the structural unit derived from (meth)acrylic acid in the acrylic resin (a-4) is preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less with respect to the mass of the acrylic resin (a-4). More preferably, it is not less than 30% by mass and not more than 30% by mass.

アクリル系樹脂(a−4)が、不飽和二重結合を有する構成単位を有する場合、アクリル系樹脂(a−4)における、不飽和二重結合を有する構成単位の量は、1質量%以上50質量%以下が好ましく、1質量%以上30質量%以上がより好ましく、1質量%以上20質量%以下が特に好ましい。
アクリル系樹脂(a−4)が、上記の範囲内の量の不飽和二重結合を有する構成単位を含むことにより、アクリル系樹脂をレジスト膜内の架橋反応に取り込んで均一化できるためカラムスペーサの耐熱性、機械特性の向上に有効である。
When the acrylic resin (a-4) has a structural unit having an unsaturated double bond, the amount of the structural unit having an unsaturated double bond in the acrylic resin (a-4) is 1% by mass or more. 50 mass% or less is preferable, 1 mass% or more and 30 mass% or more is more preferable, and 1 mass% or more and 20 mass% or less is particularly preferable.
Since the acrylic resin (a-4) contains the structural unit having an unsaturated double bond in an amount within the above range, the acrylic resin can be incorporated into the cross-linking reaction in the resist film to be uniformized, and thus the column spacer. It is effective in improving the heat resistance and mechanical properties of.

アクリル系樹脂(a−4)の重量平均分子量は、2000以上50000以下であることが好ましく、3000以上30000以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性樹脂組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The weight average molecular weight of the acrylic resin (a-4) is preferably 2,000 or more and 50,000 or less, and more preferably 3,000 or more and 30,000 or less. Within the above range, the film forming ability of the photosensitive resin composition and the developability after exposure tend to be easily balanced.

アルカリ可溶性樹脂(A)の含有量は、後述する有機溶剤(S)の質量を除いた感光性樹脂組成物の質量(固形分全体)に対して20質量%以上85質量%以下であることが好ましく、25質量%以上75質量%以下であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、現像性に優れる感光性樹脂組成物を得やすい。 The content of the alkali-soluble resin (A) is 20% by mass or more and 85% by mass or less with respect to the mass (total solid content) of the photosensitive resin composition excluding the mass of the organic solvent (S) described below. It is preferably 25% by mass or more and 75% by mass or less. By setting it as the said range, it is easy to obtain the photosensitive resin composition excellent in developability.

<光重合性モノマー(B)>
光重合性モノマー(B)としては、エチレン性不飽和基を有するモノマーを好ましく用いることができる。このエチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。
<Photopolymerizable monomer (B)>
As the photopolymerizable monomer (B), a monomer having an ethylenically unsaturated group can be preferably used. The monomer having an ethylenically unsaturated group includes a monofunctional monomer and a polyfunctional monomer.

単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of monofunctional monomers include (meth)acrylamide, methylol (meth)acrylamide, methoxymethyl (meth)acrylamide, ethoxymethyl (meth)acrylamide, propoxymethyl (meth)acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth)acrylamide, N-methylol ( (Meth)acrylamide, N-hydroxymethyl(meth)acrylamide, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-methylpropanesulfonic acid, tert-butylacrylamide sulfonic acid, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (Meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-(meth)acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, Glycerin mono(meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate, dimethylaminoethyl(meth)acrylate, glycidyl(meth)acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl(meth)acrylate, 2,2,3,3 -Tetrafluoropropyl (meth)acrylate, a phthalic acid derivative half (meth)acrylate, and the like. These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート(すなわち、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、又はヘキサメチレンジイソシアネート等と2−ビドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応物)、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとN−メチロール(メタ)アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 On the other hand, as the polyfunctional monomer, ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, butylene glycol Di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexane glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, glycerin di(meth)acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipenta Erythritol hexa(meth)acrylate, 2,2-bis(4-(meth)acryloxydiethoxyphenyl)propane, 2,2-bis(4-(meth)acryloxypolyethoxyphenyl)propane, 2-hydroxy-3 -(Meth)acryloyloxypropyl (meth)acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, phthalic acid diglycidyl ester di(meth)acrylate, glycerin triacrylate, glycerin poly Glycidyl ether poly(meth)acrylate, urethane (meth)acrylate (that is, a reaction product of tolylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, or hexamethylene diisocyanate and the like and 2-bidroxyethyl (meth)acrylate), methylenebis(meth)acrylamide, Examples thereof include polyfunctional monomers such as (meth)acrylamide methylene ether, a condensation product of polyhydric alcohol and N-methylol(meth)acrylamide, and triacrylformal. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらのエチレン性不飽和基を有するモノマーの中でも、感光性樹脂組成物の基板への密着性、感光性樹脂組成物の硬化後の強度を高める傾向にある点から、3官能以上の多官能モノマーが好ましく、4官能以上の多官能モノマーがより好ましく、5官能以上の多官能モノマーがさらに好ましい。 Among these monomers having an ethylenically unsaturated group, a trifunctional or higher polyfunctional monomer from the viewpoint of increasing the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate and the strength of the photosensitive resin composition after curing. Is preferable, a polyfunctional monomer having 4 or more functional groups is more preferable, and a polyfunctional monomer having 5 or more functional groups is further preferable.

光重合性モノマー(B)の感光性樹脂組成物中の含有量は、後述する有機溶剤(S)の質量を除いた感光性樹脂組成物の質量(固形分全体)に対して1質量%以上50質量%以下が好ましく、5質量%以上40質量%以下がより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The content of the photopolymerizable monomer (B) in the photosensitive resin composition is 1% by mass or more based on the mass (total solid content) of the photosensitive resin composition excluding the mass of the organic solvent (S) described below. 50 mass% or less is preferable, and 5 mass% or more and 40 mass% or less is more preferable. Within the above range, the sensitivity, developability and resolution tend to be easily balanced.

<光重合開始剤(C)>
感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)として、下記式(C1)で表される光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを含む。光重合開始剤(C)の質量における、光重合開始剤(C−I)の質量の比率が、20質量%以上95質量%以下である。
前述の通り、感光性樹脂組成物が、上記の所定範囲内の量の光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)とを組み合わせて含むことにより、感光性樹脂組成物を用いて、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成できる。
光重合開始剤(C)の質量における、光重合開始剤(C−I)の質量の比率は、25質量%以上90質量%以下がより好ましく、30質量%以上85質量%以下がさらに好ましい。
<Photopolymerization initiator (C)>
The photosensitive resin composition contains a photopolymerization initiator (C-I) represented by the following formula (C1) as a photopolymerization initiator (C), and a light other than the photopolymerization initiator (C-I). And a polymerization initiator (C-II). The ratio of the mass of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is 20% by mass or more and 95% by mass or less.
As described above, the photosensitive resin composition contains the photopolymerization initiator (C-I) and the photopolymerization initiator (C-II) in an amount within the above-mentioned predetermined range in combination, whereby the photosensitive resin composition The composition can be used to form a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape.
The mass ratio of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is more preferably 25% by mass or more and 90% by mass or less, and further preferably 30% by mass or more and 85% by mass or less.

〔光重合開始剤(C−I)〕
光重合開始剤(C−I)は、下記式(C1)で表されるオキシムエステル化合物である。

Figure 2020086317
[Photopolymerization initiator (C-I)]
The photopolymerization initiator (CI) is an oxime ester compound represented by the following formula (C1).
Figure 2020086317

式(C1)中、X01は、下記式(C1−1):

Figure 2020086317
で表される構造において、芳香族環上に結合する水素原子のうち、t2+t3個の水素原子を除いた基である。X02及びX03は、それぞれ独立に1価の有機基である。X04及びX05は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。t0〜t3は、それぞれ独立に、0又は1である。t2及びt3の少なくとも一方は1である。
式(C1−1)中、X06は、カルバゾール環中の窒素原子にC−N結合で結合する1価の有機基である。t4及びt5は、それぞれ独立に0又は1であり、t4及びt5の少なくとも一方は1である。 In formula (C1), X 01 is the following formula (C1-1):
Figure 2020086317
In the structure represented by, it is a group obtained by removing t2+t3 hydrogen atoms from the hydrogen atoms bonded to the aromatic ring. X 02 and X 03 are each independently a monovalent organic group. X 04 and X 05 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. t0 to t3 are 0 or 1 independently of each other. At least one of t2 and t3 is 1.
In formula (C1-1), X 06 is a monovalent organic group bonded to the nitrogen atom in the carbazole ring by a C—N bond. t4 and t5 are each independently 0 or 1, and at least one of t4 and t5 is 1.

式(C1−1)中、X06は、カルバゾール環中の窒素原子にC−N結合で結合する1価の有機基である。当該1価の有機基は、O、S、N、P、Si、及びハロゲン原子等のヘテロ原子を含んでいてもよい。X06としての有機基の炭素原子数は特に限定されない。X06としての有機基の炭素原子数は、例えば、1以上50以下が好ましく、1以上30以下がより好ましく、1以上20以下が特に好ましい。 In formula (C1-1), X 06 is a monovalent organic group bonded to the nitrogen atom in the carbazole ring by a C—N bond. The monovalent organic group may contain O, S, N, P, Si, and a hetero atom such as a halogen atom. The number of carbon atoms of the organic group as X 06 is not particularly limited. The number of carbon atoms of the organic group as X 06 is, for example, preferably 1 or more and 50 or less, more preferably 1 or more and 30 or less, and particularly preferably 1 or more and 20 or less.

06としての有機基の好ましい例としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、脂肪族環式炭化水素基、アリール基、脂肪族複素環基、ヘテロアリール基、脂肪族アシル基、芳香族アシル基、及びこれらの基の組み合わせが挙げられる。これらの基の組み合わせの好ましい例としては、アラルキル基、及びシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。 Preferable examples of the organic group as X 06 include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an aliphatic cyclic hydrocarbon group, an aryl group, an aliphatic heterocyclic group, a heteroaryl group, an aliphatic acyl group and an aromatic acyl group. Groups and combinations of these groups. Preferable examples of the combination of these groups include an aralkyl group, a cycloalkylalkyl group and the like.

06としての有機基が、アルキル基、アルケニル基、又はアルキニル基である場合、これらの基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。X06としての有機基が、脂肪族アシル基である場合、当該脂肪族アシル基におけるカルボニル基以外の部分は、直鎖状であっても、分岐鎖状であっても、環状であっても、これらの構造の組み合わせであってもよい。 When the organic group as X 06 is an alkyl group, an alkenyl group or an alkynyl group, these groups may be linear or branched. When the organic group as X 06 is an aliphatic acyl group, the portion other than the carbonyl group in the aliphatic acyl group may be linear, branched, or cyclic. Alternatively, a combination of these structures may be used.

06としての有機基は置換基を有していてもよい。X06としての有機基が有していてもよい置換基の例としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数1以上20以下のアルコキシ基、炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基、炭素原子数3以上10以下のシクロアルコキシ基、炭素原子数2以上20以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上20以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2以上20以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいフェニルチオ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数7以上20以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよい炭素原子数11以上20以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、アミノ基、1、又は2の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−1−イル基、及びピペラジン−1−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。 The organic group as X 06 may have a substituent. Examples of the substituent which the organic group as X 06 may have include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkyl group having 3 to 10 carbon atoms. Cycloalkyl group, cycloalkoxy group having 3 to 10 carbon atoms, saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, and 2 to 20 carbon atoms Saturated aliphatic acyloxy group, phenyl group which may have a substituent, phenoxy group which may have a substituent, phenylthio group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, A phenoxycarbonyl group which may have a substituent, a benzoyloxy group which may have a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent Naphthyl group, optionally substituted naphthoxy group, optionally substituted naphthoyl group, optionally substituted naphthoxycarbonyl group, optionally substituted naphthoyl group An oxy group, a naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group, 1 Or an amino group substituted with an organic group of 2, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, a cyano group and the like.

06としての上記の基の中では、光重合開始剤(C−I)の合成及び入手の容易性等から、アルキル基、アリール基、及びアラルキル基が好ましい。 Among the above groups as X 06 , an alkyl group, an aryl group, and an aralkyl group are preferable from the viewpoint of the ease of synthesis and availability of the photopolymerization initiator (CI).

06がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、ネオペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基、n−トリデシル基、n−テトラデシル基、n−ペンタデシル基、n−ヘキサデシル基、n−ヘプタデシル基、n−オクタデシル基、n−ノナデシル基、及びn−イコシル基が挙げられる。 Specific examples of the case where X 06 is an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, an n-pentyl group. , Neopentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, 2-ethylhexyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group Group, n-dodecyl group, n-tridecyl group, n-tetradecyl group, n-pentadecyl group, n-hexadecyl group, n-heptadecyl group, n-octadecyl group, n-nonadecyl group, and n-icosyl group. ..

06がアリール基である場合の好適な例としては、フェニル基、ナフタレン−1−イル基、ナフタレン−2−イル基、2−フェニルフェニル基、3−フェニルフェニル基、及び4−フェニルフェニル基が挙げられる。 Preferable examples when X 06 is an aryl group include a phenyl group, a naphthalene-1-yl group, a naphthalen-2-yl group, a 2-phenylphenyl group, a 3-phenylphenyl group, and a 4-phenylphenyl group. Is mentioned.

06がアラルキル基である場合の好適な例としては、ベンジル基、フェネチル基、3−フェニル−n−プロピル基、4−フェニル−n−ブチル基、ナフタレン−1−イルメチル基、及びナフタレン−2−イルメチル基が挙げられる。 Preferable examples when X 06 is an aralkyl group include a benzyl group, a phenethyl group, a 3-phenyl-n-propyl group, a 4-phenyl-n-butyl group, a naphthalen-1-ylmethyl group, and a naphthalene-2. And -ylmethyl group.

以上説明したX06の具体例の中でも、メチル基、エチル基、フェニル基、ナフタレン−1−イル基、及びナフタレン−2−イル基が好ましく、エチル基、及びフェニル基がより好ましい。 Among the specific examples of X 06 described above, a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, a naphthalen-1-yl group, and a naphthalen-2-yl group are preferable, and an ethyl group and a phenyl group are more preferable.

01は、上記式(C1−1)で表される構造において、芳香族環上に結合する水素原子のうち、t2+t3個の水素原子を除いた基であれば特に限定されない。上記式(C1−1)で表される基としては、下記式(C1−1a)〜式(C1−1c)で表される1価又は2価の基が好ましい。

Figure 2020086317
X 01 is not particularly limited as long as it is a group obtained by removing t2+t3 hydrogen atoms from the hydrogen atoms bonded to the aromatic ring in the structure represented by the formula (C1-1). As the group represented by the formula (C1-1), monovalent or divalent groups represented by the following formulas (C1-1a) to (C1-1c) are preferable.
Figure 2020086317

式(C1−1a)〜式(C1−c)において、t4、t5、及びX06は、式(C1−1)と同様である。X07は、カルバゾール環中の窒素原子にC−N結合で結合する2価の有機基である。X07は、芳香族環を含む2価の有機基である。X07が有する2つの結合手のうち、式(C1−1a)及び式(C1−1c)においてカルバゾール環に結合する結合手の他方の結合手は、X07中の芳香族環に結合する。
なお、X07は、前述のX06としての芳香族環を含む1価の有機基から、芳香族環上に結合する1つの水素原子を除いた2価の基に相当する。
In formulas (C1-1a) to (C1-c), t4, t5, and X 06 are the same as in formula (C1-1). X 07 is a divalent organic group bonded to the nitrogen atom in the carbazole ring by a C—N bond. X 07 is a divalent organic group containing an aromatic ring. Two coupling hands, the other bonds of bond that binds to the carbazole ring in Formula (C1-1a) and formula (C1-1c) that X 07 has is bonded to the aromatic ring in X 07.
In addition, X 07 corresponds to a divalent group obtained by removing one hydrogen atom bonded to the aromatic ring from the above-mentioned monovalent organic group containing an aromatic ring as X 06 .

式(C1−1a)を一例として、X07の好ましい具体例を以下に記す。下記構造における、X07に相当する2価の基は、式(C1−1c)におけるX07としても好ましい。

Figure 2020086317
Taking formula (C1-1a) as an example, preferred specific examples of X 07 are described below. The divalent group corresponding to X 07 in the following structure is also preferable as X 07 in the formula (C1-1c).
Figure 2020086317

式(C1−1a)〜式(C1−1c)において、カルバゾール環上でのニトロ基の結合位置は特に限定されない。
式(C1)で表される化合物の合成及び入手が容易である点等から、式(C1−1a)で表される基、(C1−1b)で表される基、及び式(C1−1c)で表される基の好ましい例としては、それぞれ、式(C1−1aa)で表される基、式(C1−1ba)で表される基、及び式(C1−1ca)で表される基が挙げられる。

Figure 2020086317
In formulas (C1-1a) to (C1-1c), the bonding position of the nitro group on the carbazole ring is not particularly limited.
From the viewpoint of easy synthesis and availability of the compound represented by the formula (C1), the group represented by the formula (C1-1a), the group represented by (C1-1b), and the formula (C1-1c). As preferred examples of the group represented by the formula (), a group represented by the formula (C1-1aa), a group represented by the formula (C1-1ba), and a group represented by the formula (C1-1ca). Is mentioned.
Figure 2020086317

式(C1)中、X02及びX03は、それぞれ独立に1価の有機基である。X02及びX03のとしての好適な有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、1、又は2の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−1−イル基、及びピペラジン−1−イル基等が挙げられる。 In formula (C1), X 02 and X 03 are each independently a monovalent organic group. Examples of suitable organic groups as X 02 and X 03 include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, and a substituent. A phenyl group which may have a substituent, a phenoxy group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent which may have a substituent. Benzoyloxy group, optionally substituted phenylalkyl group, optionally substituted naphthyl group, optionally substituted naphthoxy group, optionally substituted naphthoyl group, substituted A naphthoxycarbonyl group which may have a group, a naphthoyloxy group which may have a substituent, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a heterocyclyl group which may have a substituent, a substituent A heterocyclylcarbonyl group which may have 1 or 2, an amino group substituted with an organic group of 1 or 2, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group and the like.

02及びX03がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。また、X02及びX03がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。X02及びX03がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、X02及びX03がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are an alkyl group, the number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When X 02 and X 03 are alkyl groups, they may be linear or branched. When X 02 and X 03 are alkyl groups, specific examples thereof include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n. -Pentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, Examples thereof include isononyl group, n-decyl group, and isodecyl group. When X 02 and X 03 are alkyl groups, the alkyl groups may contain an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

02及びX03がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。また、X02及びX03がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。X02及びX03がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、sec−ペンチルオキシ基、tert−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、sec−オクチルオキシ基、tert−オクチルオキシ基、n−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、n−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、X02及びX03がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are an alkoxy group, the number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When X 02 and X 03 are alkoxy groups, they may be linear or branched. Specific examples of the case where X 02 and X 03 are alkoxy groups include methoxy group, ethoxy group, n-propyloxy group, isopropyloxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, sec-butyloxy group, tert-butyloxy group. Group, n-pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec- Examples thereof include an octyloxy group, a tert-octyloxy group, an n-nonyloxy group, an isononyloxy group, an n-decyloxy group, and an isodecyloxy group. Further, when X 02 and X 03 are an alkoxy group, the alkoxy group may include an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propyloxyethoxyethoxy group, and a methoxypropyloxy group.

02及びX03がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、3以上10以下が好ましく、3以上6以下がより好ましい。X02及びX03がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。X02及びX03がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group preferably has 3 or more and 10 or less carbon atoms, and more preferably has 3 or more and 6 or less carbon atoms. Specific examples of the case where X 02 and X 03 are cycloalkyl groups include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. When X 02 and X 03 are cycloalkoxy groups, specific examples thereof include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, and a cyclooctyloxy group. ..

02及びX03が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、2以上21以下が好ましく、2以上7以下がより好ましい。Rc7が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、n−ブタノイル基、2−メチルプロパノイル基、n−ペンタノイル基、2,2−ジメチルプロパノイル基、n−ヘキサノイル基、n−ヘプタノイル基、n−オクタノイル基、n−ノナノイル基、n−デカノイル基、n−ウンデカノイル基、n−ドデカノイル基、n−トリデカノイル基、n−テトラデカノイル基、n−ペンタデカノイル基、及びn−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。X02及びX03が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、n−ブタノイルオキシ基、2−メチルプロパノイルオキシ基、n−ペンタノイルオキシ基、2,2−ジメチルプロパノイルオキシ基、n−ヘキサノイルオキシ基、n−ヘプタノイルオキシ基、n−オクタノイルオキシ基、n−ノナノイルオキシ基、n−デカノイルオキシ基、n−ウンデカノイルオキシ基、n−ドデカノイルオキシ基、n−トリデカノイルオキシ基、n−テトラデカノイルオキシ基、n−ペンタデカノイルオキシ基、及びn−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group preferably has 2 or more and 21 or less carbon atoms, and 2 or more and 7 or less. More preferable. When R c7 is a saturated aliphatic acyl group, specific examples thereof include acetyl group, propanoyl group, n-butanoyl group, 2-methylpropanoyl group, n-pentanoyl group, 2,2-dimethylpropanoyl group, n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca group Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. When X 02 and X 03 are saturated aliphatic acyloxy groups, specific examples thereof include acetyloxy group, propanoyloxy group, n-butanoyloxy group, 2-methylpropanoyloxy group, n-pentanoyloxy group. , 2,2-dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group Group, n-dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, and n-hexadecanoyloxy group.

02及びX03がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、2以上20以下が好ましく、2以上7以下がより好ましい。X02及びX03がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、n−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、sec−ブチルオキシカルボニル基、tert−ブチルオキシカルボニル基、n−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、sec−ペンチルオキシカルボニル基、tert−ペンチルオキシカルボニル基、n−ヘキシルオキシカルボニル基、n−ヘプチルオキシカルボニル基、n−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、sec−オクチルオキシカルボニル基、tert−オクチルオキシカルボニル基、n−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、n−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are alkoxycarbonyl groups, the number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group is preferably 2 or more and 20 or less, and more preferably 2 or more and 7 or less. When X 02 and X 03 are alkoxycarbonyl groups, specific examples thereof include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propyloxycarbonyl group, isopropyloxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, sec-butyloxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n- Heptyloxycarbonyl group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxycarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group Group, an isodecyloxycarbonyl group, and the like.

02及びX03がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、7以上20以下が好ましく、7以上10以下がより好ましい。また、X02及びX03がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、11以上20以下が好ましく、11以上14以下がより好ましい。X02及びX03がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、2−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、及び4−フェニルブチル基が挙げられる。X02及びX03がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、2−(α−ナフチル)エチル基、及び2−(β−ナフチル)エチル基が挙げられる。X02及びX03が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Rc7は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。 When X 02 and X 03 are phenylalkyl groups, the number of carbon atoms in the phenylalkyl group is preferably 7 or more and 20 or less, and more preferably 7 or more and 10 or less. When X 02 and X 03 are naphthylalkyl groups, the number of carbon atoms in the naphthylalkyl group is preferably 11 or more and 20 or less, more preferably 11 or more and 14 or less. When X 02 and X 03 are phenylalkyl groups, specific examples include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. When X 02 and X 03 are naphthylalkyl groups, specific examples thereof include α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, 2-(α-naphthyl)ethyl group, and 2-(β-naphthyl)ethyl group. Is mentioned. When X 02 and X 03 are a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R c7 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

02及びX03がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、1以上のN、S、Oを含む5員又は6員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合、当該縮合環を構成する単環の数は3までとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基(ヘテロアリール基)であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Rc7がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When X 02 and X 03 are a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, and O, such monocycles, or such monocycle and a benzene ring. And is a condensed heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of monocycles constituting the condensed ring is up to 3. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. The heterocyclic ring constituting the heterocyclyl group, furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole, Examples include isoindole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyran, and tetrahydrofuran. Be done. When R c7 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

02及びX03がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、X02及びX03がヘテロシクリル基である場合と同様である。 When X 02 and X 03 are heterocyclylcarbonyl groups, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as when X 02 and X 03 are heterocyclyl groups.

02及びX03が1又は2の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基、炭素原子数2以上21以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数7以上20以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数11以上20以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、X02及びX03と同様である。1、又は2の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、n−プロピルアミノ基、ジ−n−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、n−ブチルアミノ基、ジ−n−ブチルアミノ基、n−ペンチルアミノ基、n−ヘキシルアミノ基、n−ヘプチルアミノ基、n−オクチルアミノ基、n−ノニルアミノ基、n−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、n−ブタノイルアミノ基、n−ペンタノイルアミノ基、n−ヘキサノイルアミノ基、n−ヘプタノイルアミノ基、n−オクタノイルアミノ基、n−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When X 02 and X 03 are amino groups substituted with 1 or 2 organic groups, preferred examples of the organic groups include alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, cyclo groups having 3 to 10 carbon atoms. Alkyl group, saturated aliphatic acyl group having 2 to 21 carbon atoms, optionally substituted phenyl group, optionally substituted benzoyl group, optionally substituted carbon atom number 7 to 20 phenylalkyl group, optionally substituted naphthyl group, optionally substituted naphthoyl group, optionally substituted naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms , And a heterocyclyl group. Specific examples of these suitable organic groups are the same as X 02 and X 03 . Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include methylamino group, ethylamino group, diethylamino group, n-propylamino group, di-n-propylamino group, isopropylamino group, n- Butylamino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, Naphthylamino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n- Examples thereof include a decanoylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, and a β-naphthoylamino group.

02及びX03に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上7以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。 In the case where the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in X 02 and X 03 each further have a substituent, the substituent is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. Alkoxy group, saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, 1 to 6 carbon atoms A monoalkylamino group having an alkyl group, a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, a cyano group and the like. Can be mentioned.

これらの置換基が、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上7以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、及び炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基である場合、これらの置換基中の炭素鎖中にエーテル結合(−O−)が含まれていてもよい。 These substituents are alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms, alkoxy groups having 1 to 6 carbon atoms, saturated aliphatic acyl groups having 2 to 7 carbon atoms, and 2 to 7 carbon atoms. Alkoxycarbonyl group, saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and dialkylamino having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms When it is a group, an ether bond (—O—) may be contained in the carbon chain of these substituents.

02及びX03に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、1以上4以下が好ましい。X02及びX03に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in X 02 and X 03 further have a substituent, the number of the substituents is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 or more and 4 or less. Is preferred. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in X 02 and X 03 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

02及びX03としてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。フェノキシアルキル基、及びフェニルチオアルキル基が有していてもよい置換基は、フェニル基が有していてもよい置換基として前述した通りである。 As X 02 and X 03 , a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, and a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring are also preferable. The substituent that the phenoxyalkyl group and the phenylthioalkyl group may have is as described above as the substituent that the phenyl group may have.

有機基の中でも、X02及びX03としては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数1以上8以下のアルキル基がより好ましく、炭素原子数1以上4以下のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、2−メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、5以上10以下が好ましく、5以上8以下がより好ましく、5又は6が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1以上8以下が好ましく、1以上4以下がより好ましく、2が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1以上8以下が好ましく、1以上4以下がより好ましく、2が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、2−(4−クロロフェニルチオ)エチル基が好ましい。 Among the organic groups, as X 02 and X 03 , an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, or a cycloalkylalkyl group, which may have a substituent on the aromatic ring A good phenylthioalkyl group is preferred. As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is particularly preferable, and a methyl group is most preferable. preferable. Among the phenyl groups which may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. The number of carbon atoms of the cycloalkyl group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 5 or more and 10 or less, more preferably 5 or more and 8 or less, and particularly preferably 5 or 6. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the cycloalkylalkyl group is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Of the cycloalkylalkyl groups, the cyclopentylethyl group is preferred. The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring is preferably 1 or more and 8 or less, more preferably 1 or more and 4 or less, and particularly preferably 2. Among the phenylthioalkyl groups which may have a substituent on the aromatic ring, a 2-(4-chlorophenylthio)ethyl group is preferable.

また、X02及びX03としては、−A−CO−O−Aで表される基も好ましい。Aは、2価の有機基であり、2価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのが好ましい。Aは、1価の有機基であり、1価の炭化水素基であるのが好ましい。 Further, as X 02 and X 03 , a group represented by —A 1 —CO—O—A 2 is also preferable. A 1 is a divalent organic group, preferably a divalent hydrocarbon group, and more preferably an alkylene group. A 2 is a monovalent organic group, preferably a monovalent hydrocarbon group.

がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Aがアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましく、1以上4以下が特に好ましい。 When A 1 is an alkylene group, the alkylene group may be linear or branched, and is preferably linear. When A 1 is an alkylene group, the number of carbon atoms in the alkylene group is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 6 or less, and particularly preferably 1 or more and 4 or less.

の好適な例としては、炭素原子数1以上10以下のアルキル基、炭素原子数7以上20以下のアラルキル基、及び炭素原子数6以上20以下の芳香族炭化水素基が挙げられる。Aの好適な具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、及びβ−ナフチルメチル基等が挙げられる。 Preferable examples of A 2 include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. Preferable specific examples of A 4 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group. Group, phenyl group, naphthyl group, benzyl group, phenethyl group, α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group and the like.

−A−CO−O−Aで表される基の好適な具体例としては、2−メトキシカルボニルエチル基、2−エトキシカルボニルエチル基、2−n−プロピルオキシカルボニルエチル基、2−n−ブチルオキシカルボニルエチル基、2−n−ペンチルオキシカルボニルエチル基、2−n−ヘキシルオキシカルボニルエチル基、2−ベンジルオキシカルボニルエチル基、2−フェノキシカルボニルエチル基、3−メトキシカルボニル−n−プロピル基、3−エトキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−プロピルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ブチルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ペンチルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ヘキシルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−ベンジルオキシカルボニル−n−プロピル基、及び3−フェノキシカルボニル−n−プロピル基等が挙げられる。 Specific preferred examples of the group represented by -A 1 -CO-O-A 2 include 2-methoxycarbonylethyl group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 2-n-propyloxycarbonylethyl group, 2-n. -Butyloxycarbonylethyl group, 2-n-pentyloxycarbonylethyl group, 2-n-hexyloxycarbonylethyl group, 2-benzyloxycarbonylethyl group, 2-phenoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl Group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-propyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-butyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-pentyloxycarbonyl-n-propyl group , 3-n-hexyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-benzyloxycarbonyl-n-propyl group, and 3-phenoxycarbonyl-n-propyl group.

以上、X02及びX03について説明したが、X02及びX03としては、下記式(C1a)又は(C1b)で表される基が好ましい。

Figure 2020086317
式(C1a)及び(C1b)中、X08及びX09はそれぞれ有機基である。t6は0以上4以下の整数である。X08及びX09がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、X08及びX09が互いに結合して環を形成してもよい。t7は1以上8以下の整数である。t8は1以上5以下の整数である。t9は0以上(t8+3)以下の整数である。X010は有機基である。 Although X 02 and X 03 have been described above, a group represented by the following formula (C1a) or (C1b) is preferable as X 02 and X 03 .
Figure 2020086317
In formulas (C1a) and (C1b), X 08 and X 09 are organic groups, respectively. t6 is an integer of 0 or more and 4 or less. When X 08 and X 09 are present at adjacent positions on the benzene ring, X 08 and X 09 may combine with each other to form a ring. t7 is an integer of 1 or more and 8 or less. t8 is an integer of 1 or more and 5 or less. t9 is an integer of 0 or more and (t8+3) or less. X 010 is an organic group.

式(C1a)中のX08及びX09についての有機基の例は、X02及びX03と同様である。X08としては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。X08がアルキル基である場合、その炭素原子数は、1以上10以下が好ましく、1以上5以下がより好ましく、1以上3以下が特に好ましく、1が最も好ましい。つまり、X08はメチル基であるのが最も好ましい。X08及びX09が結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式(C1a)で表される基であって、X08及びX09が環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン−1−イル基や、1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−5−イル基等が挙げられる。上記式(C1a)中、t6は0以上4以下の整数であり、0又は1であるのが好ましく、0であるのがより好ましい。 Examples of the organic group for X 08 and X 09 in formula (C1a) are the same as X 02 and X 03 . As X 08 , an alkyl group or a phenyl group is preferable. When X 08 is an alkyl group, the number of carbon atoms thereof is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, particularly preferably 1 or more and 3 or less, and most preferably 1. That is, it is most preferable that X 08 is a methyl group. When X 08 and X 09 are combined to form a ring, the ring may be an aromatic ring or an aliphatic ring. Suitable examples of the group represented by the formula (C1a), in which X 08 and X 09 form a ring, include naphthalen-1-yl group and 1,2,3,4-tetrahydro. Examples thereof include naphthalen-5-yl group. In the above formula (C1a), t6 is an integer of 0 or more and 4 or less, preferably 0 or 1, and more preferably 0.

上記式(C1b)中、X010は有機基である。有機基としては、X02及びX03について説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は1以上10以下が好ましく、1以上5以下がより好ましく、1以上3以下が特に好ましい。X010としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基がより好ましい。 In the above formula (C1b), X 010 is an organic group. Examples of the organic group include groups similar to the organic groups described for X 02 and X 03 . Among the organic groups, an alkyl group is preferred. The alkyl group may be linear or branched. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 5 or less, and particularly preferably 1 or more and 3 or less. Preferred examples of X 010 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group and a butyl group, and among these, a methyl group is more preferred.

上記式(C1b)中、t8は1以上5以下の整数であり、1以上3以下の整数が好ましく、1又は2がより好ましい。上記式(C1b)中、t9は0以上(t8+3)以下であり、0以上3以下の整数が好ましく、0以上2以下の整数がより好ましく、0が特に好ましい。上記式(C1b)中、t7は1以上8以下の整数であり、1以上5以下の整数が好ましく、1以上3以下の整数がより好ましく、1又は2が特に好ましい。 In the above formula (C1b), t8 is an integer of 1 or more and 5 or less, preferably an integer of 1 or more and 3 or less, and more preferably 1 or 2. In the formula (C1b), t9 is 0 or more and (t8+3) or less, preferably an integer of 0 or more and 3 or less, more preferably an integer of 0 or more and 2 or less, and particularly preferably 0. In the above formula (C1b), t7 is an integer of 1 or more and 8 or less, preferably an integer of 1 or more and 5 or less, more preferably an integer of 1 or more and 3 or less, and particularly preferably 1 or 2.

式(C1)中、X04及びX05は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。X04及びX05がアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、X04及びX05がアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数1以上5以下のアルキル基、炭素原子数1以上5以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子等が好ましく例示される。 In formula (C1), X 04 and X 05 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. is there. Preferable examples of the substituent that X 04 and X 05 may have when X 04 and X 05 are alkyl groups include a phenyl group and a naphthyl group. Further, when X 04 and X 05 are aryl groups, the substituent that may be possessed is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, a halogen atom, or the like. Are preferably exemplified.

式(C1)中、X04及びX05としては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。 In formula (C1), as X 04 and X 05 , hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, phenyl group, benzyl group, methylphenyl group, naphthyl group and the like can be mentioned. It is preferably exemplified, and among these, a methyl group or a phenyl group is more preferable.

前述の通り、X01としては、式(C1−1aa)で表される基、式(C1−1ba)で表される基、及び式(C1−1ca)で表される基が好ましい。
01が、式(C1−1aa)で表される基である場合の、式(C1)で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては以下の化合物が挙げられる。

Figure 2020086317
As described above, X 01 is preferably a group represented by formula (C1-1aa), a group represented by formula (C1-1ba), or a group represented by formula (C1-1ca).
When X 01 is a group represented by the formula (C1-1aa), suitable examples of the oxime ester compound represented by the formula (C1) include the following compounds.
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

01が、式(C1−1ba)で表される基である場合の、式(C1)で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては以下の化合物が挙げられる。

Figure 2020086317
When X 01 is a group represented by the formula (C1-1ba), the following compounds can be given as preferred specific examples of the oxime ester compound represented by the formula (C1).
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

01が、式(C1−1ca)で表される基である場合の、式(C1)で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては以下の化合物が挙げられる。

Figure 2020086317
When X 01 is a group represented by the formula (C1-1ca), the following compounds can be given as preferred specific examples of the oxime ester compound represented by the formula (C1).
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

<光重合開始剤(C−II)>
感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)として、前述の光重合開始剤(C−II)とともに、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)を含む。
他の光重合開始剤(C−II)としては、光重合開始剤(C−I)に該当しない光重合開始剤であれば特に限定されない。
<Photopolymerization initiator (C-II)>
The photosensitive resin composition contains, as the photopolymerization initiator (C), a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-II) together with the above-mentioned photopolymerization initiator (C-II). )including.
The other photopolymerization initiator (C-II) is not particularly limited as long as it is a photopolymerization initiator that does not correspond to the photopolymerization initiator (CI).

光重合開始剤(C−II)の好適な例としては、前述の式(C1)に該当しない構造を有するオキシムエステル化合物;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−ジメチルアミノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−ジエチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−メチル−1−フェニル−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(ヘキシル)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−エチル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン等のα−アミノケトン系化合物;1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα−ヒドロキシケトン系光重合開始剤;ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンジルメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤;ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル、4’−メチルジフェニルサルファイド、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系光重合開始剤;チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系光重合開始剤;2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペニル−4.6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン、2−[4−(4−メトキシスチリル)フェニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤;カルバゾール系光重合開始剤;2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等のビイミダゾール系光重合開始剤;下記式で表されるようなベンズイミダゾリン系光重合開始剤等が例示される。

Figure 2020086317
Suitable examples of the photopolymerization initiator (C-II) include oxime ester compounds having a structure not corresponding to the above formula (C1); 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butane. -1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-dimethylaminophenyl)butane-1. -One, 2-(4-methylbenzyl)-2-diethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butan-1-one, 2-methyl-1-phenyl-2-morpholinopropan-1-one, 2-methyl Α-aminoketone compounds such as -1-[4-(hexyl)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one and 2-ethyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butan-1-one 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4-(2-hydroxyethoxy)phenyl- Α-Hydroxyketone photoinitiators such as (2-hydroxy-2-propyl)ketone and 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone; benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether and benzyl methyl ketal Photopolymerization initiator; benzophenone such as benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl, 4'-methyldiphenyl sulfide, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone -Based photopolymerization initiators; thioxanthone-based photopolymerization initiators such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2- Phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6 -Bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-pipenyl-4.6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-( Naphth-1-yl)-4,6- Bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxy-naphth-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-trichloromethyl-(piperonyl)-6 -Triazine, 2,4-trichloromethyl-(4'-methoxystyryl)-6-triazine, 2-[4-(4-methoxystyryl)phenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3. Triazine-based photopolymerization initiator such as 5-triazine; carbazole-based photopolymerization initiator; 2,2′-bis(2-chlorophenyl)-4,4′,5,5′-tetrakis(4-ethoxycarbonylphenyl)- 1,2′-biimidazole, 2,2′-bis(2-bromophenyl)-4,4′,5,5′-tetrakis(4-ethoxycarbonylphenyl)-1,2′-biimidazole, 2, 2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis(2,4-dichlorophenyl)-4,4', 5,5'-Tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis(2,4,6-trichlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl-1,2' -Biimidazole, 2,2'-bis(2-bromophenyl)-4,4,5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis(2,4-dibromophenyl) )-4,4',5,5'-Tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis(2,4,6-tribromophenyl)-4,4',5,5' -Biimidazole-based photopolymerization initiators such as tetraphenyl-1,2'-biimidazole; benzimidazoline-based photopolymerization initiators represented by the following formulas and the like are exemplified.
Figure 2020086317

所望する効果を得やすいことから、感光性樹脂組成物が光重合開始剤(C−II)として、オキシムエステル化合物、及び/又はα−アミノケトン系化合物を含むのが好ましく、オキシムエステル化合物、及びα−アミノケトン系化合物を組み合わせて含むのがより好ましい。 The photosensitive resin composition preferably contains an oxime ester compound and/or an α-aminoketone compound as the photopolymerization initiator (C-II) because the desired effect is easily obtained, and the oxime ester compound and α It is more preferable to include a combination of aminoketone compounds.

光重合開始剤(C−II)としてのオキシムエステル化合物としては、下記式(C2)で表されるオキシムエステル化合物が特に好ましい。

Figure 2020086317
As the oxime ester compound as the photopolymerization initiator (C-II), an oxime ester compound represented by the following formula (C2) is particularly preferable.
Figure 2020086317

式(C2)中、Rc1は、1価の有機基である。Rc2は、下記式(C2−1)〜(C2−3):

Figure 2020086317
のいずれか1つで表される基である。Rc3は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。
式(C2−1)中、Rc4は、1価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基である。AはS又はOである。n2は、0以上4以下の整数である。
式(C2−2)中、Rc5及びRc6は、それぞれ独立に1価の有機基である。
式(C2−3)中、Rc7は、水素原子、ニトロ基又は1価の有機基である。Rc8及びRc9は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Rc8とRc9とは相互に結合して環を形成してもよい。n3は0以上4以下の整数である。 In the formula (C2), R c1 is a monovalent organic group. R c2 is represented by the following formulas (C2-1) to (C2-3):
Figure 2020086317
Is a group represented by any one of R c3 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent.
In formula (C2-1), R c4 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group, and a cyano group. A is S or O. n2 is an integer of 0 or more and 4 or less.
In formula (C2-2), R c5 and R c6 are each independently a monovalent organic group.
In formula (C2-3), R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group. R c8 and R c9 are each a chain alkyl group which may have a substituent, a cyclic organic group which may have a substituent, or a hydrogen atom. R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring. n3 is an integer of 0 or more and 4 or less.

式(C2)中のRc1としての1価の有機基は、式(C1)中のX02及びX03について前述した1価の有機基と同様である。
c1としての1価の有機基は、下記式(C2a)又は(C2b)で表される基が好ましい。

Figure 2020086317
The monovalent organic group as R c1 in the formula (C2) is the same as the monovalent organic group described above for X 02 and X 03 in the formula (C1).
The monovalent organic group as R c1 is preferably a group represented by the following formula (C2a) or (C2b).
Figure 2020086317

式(C2a)及び(C2b)中、Rc10及びRc11はそれぞれ1価の有機基である。n4は0以上4以下の整数である。Rc10及びRc11がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Rc10とRc11とが互いに結合して環を形成してもよい。n5は1以下8以下の整数である。n6は1以上5以下の整数である。n7は0以上(n6+3)以下の整数である。Rc12は1価の有機基である。 In formulas (C2a) and (C2b), R c10 and R c11 are each a monovalent organic group. n4 is an integer of 0 or more and 4 or less. When R c10 and R c11 are present at adjacent positions on the benzene ring, R c10 and R c11 may combine with each other to form a ring. n5 is an integer of 1 or less and 8 or less. n6 is an integer of 1 or more and 5 or less. n7 is an integer of 0 or more and (n6+3) or less. R c12 is a monovalent organic group.

式(C2a)中の、Rc10、Rc11、及びn4は、それぞれ、式(C1)について前述した式(C1a)中のX08、X09、及びt6と同様である。式(C2b)中の、Rc12、n5、n6、及びn7は、それぞれ、式(C1)について前述した式(C1b)中のX010、t7、t8、及びt9と同様である。 R c10 , R c11 , and n4 in the formula (C2a) are respectively the same as X 08 , X 09 , and t6 in the formula (C1a) described above for the formula (C1). R c12 , n5, n6, and n7 in the formula (C2b) are respectively the same as X 010 , t7, t8, and t9 in the formula (C1b) described above for the formula (C1).

以下、Rc2について、式(C2−1)で表される基、式(C2−2)で表される基、及び式(C2−3)で表される基についてそれぞれ説明する。 Hereinafter, for R c2 , the group represented by formula (C2-1), the group represented by formula (C2-2), and the group represented by formula (C2-3) will be described.

式(C2−1)で表される基は、下記構造の1価の有機基である。

Figure 2020086317
The group represented by the formula (C2-1) is a monovalent organic group having the following structure.
Figure 2020086317

式(C2−1)におけるRc4が有機基である場合、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。式(C2−1)においてRc4が有機基である場合の好適な例としては、炭素原子数1以上6以下のアルキル基;炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基;炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシル基;炭素原子数2以上7以下のアルコキシカルボニル基;炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシルオキシ基;フェニル基;ナフチル基;ベンゾイル基;ナフトイル基;炭素原子数1以上6以下のアルキル基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基;炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基;炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基;モルホリン−1−イル基;ピペラジン−1−イル基;ハロゲン;ニトロ基;シアノ基が挙げられる。 When R c4 in the formula (C2-1) is an organic group, it can be selected from various organic groups as long as the object of the present invention is not impaired. When R c4 in the formula (C2-1) is an organic group, preferable examples thereof include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms; and 2 to 7 carbon atoms. The following saturated aliphatic acyl groups; alkoxycarbonyl groups having 2 to 7 carbon atoms; saturated aliphatic acyloxy groups having 2 to 7 carbon atoms; phenyl group; naphthyl group; benzoyl group; naphthoyl group; 1 carbon atom A benzoyl group substituted by a group selected from the group consisting of an alkyl group having 6 or less, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, and a phenyl group; an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms A monoalkylamino group having; a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms; a morpholin-1-yl group; a piperazin-1-yl group; a halogen; a nitro group; a cyano group.

c4の中では、ベンゾイル基;ナフトイル基;炭素原子数1以上6以下のアルキル基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、及びフェニル基からなる群より選択される基により置換されたベンゾイル基;ニトロ基が好ましく、ベンゾイル基;ナフトイル基;2−メチルフェニルカルボニル基;4−(ピペラジン−1−イル)フェニルカルボニル基;4−(フェニル)フェニルカルボニル基がより好ましい。 In R c4 , substituted with a group selected from the group consisting of a benzoyl group; a naphthoyl group; an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, and a phenyl group. A benzoyl group; a nitro group, and a benzoyl group; a naphthoyl group; a 2-methylphenylcarbonyl group; a 4-(piperazin-1-yl)phenylcarbonyl group; and a 4-(phenyl)phenylcarbonyl group are more preferable.

また、式(C2−1)において、n2は、0以上3以下の整数が好ましく、0以上2以下の整数がより好ましく、0、又は1が特に好ましい。n2が1である場合、Rc4の結合する位置は、Rc4が結合するフェニル基が酸素原子又は硫黄原子と結合する結合手に対して、パラ位であるのが好ましい。 In the formula (C2-1), n2 is preferably an integer of 0 or more and 3 or less, more preferably an integer of 0 or more and 2 or less, and particularly preferably 0 or 1. If n2 is 1, the binding position of R c4, to the bond to the phenyl group R c4 is bonded is bonded to an oxygen atom or a sulfur atom, it is preferably in the para position.

式(C2−2)で表される基は、下記構造の1価の有機基である。

Figure 2020086317
The group represented by the formula (C2-2) is a monovalent organic group having the following structure.
Figure 2020086317

式(C2−2)におけるRc5は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の有機基から選択できる。Rc5の好適な例としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基、炭素原子数2以上20以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上20以下のアルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数7以上20以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよい炭素原子数11以上20以下のナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基等が挙げられる。 R c5 in the formula (C2-2) can be selected from various organic groups as long as the object of the present invention is not impaired. Preferable examples of R c5 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 20 carbon atoms, and 2 carbon atoms. 20 or less alkoxycarbonyl group, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent which may have a substituent. A phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, and a substituent Examples thereof include a naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may have, a heterocyclyl group which may have a substituent, and a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent.

c5の中では、炭素原子数1以上20以下のアルキル基が好ましく、炭素原子数1以上6以下のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。 Among R c5 , an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an ethyl group is particularly preferable.

式(C2−2)におけるRc6は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Rc6として好適な基の具体例としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Rc6として、これらの基の中では置換基を有してもよいフェニル基がより好ましく、2−メチルフェニル基が特に好ましい。 R c6 in formula (C2-2) is not particularly limited as long as it does not hinder the object of the present invention, and can be selected from various organic groups. Specific examples of the group suitable as R c6 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. And optionally includes a heterocyclyl group. As R c6 , a phenyl group which may have a substituent is more preferable among these groups, and a 2-methylphenyl group is particularly preferable.

c5、又はRc6に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上7以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Rc5、又はRc6に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、1以上4以下が好ましい。Rc5、又はRc6に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c5 or R c6 further have a substituent, the substituent is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or 1 to 6 carbon atoms. Alkoxy group, saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, 1 to 6 carbon atoms Monoalkylamino group having the following alkyl group, dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, morpholin-1-yl group, piperazin-1-yl group, halogen, nitro group, cyano group, etc. Is mentioned. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c5 or R c6 further have a substituent, the number of the substituents is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but 1 or more and 4 The following are preferred. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c5 or R c6 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

式(C2−3)で表される基は、下記構造の1価の有機基である。

Figure 2020086317
The group represented by the formula (C2-3) is a monovalent organic group having the following structure.
Figure 2020086317

式(C2−3)中、Rc7は水素原子、ニトロ基又は1価の有機基である。Rc8及びRc9は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Rc8とRc9とは相互に結合して環を形成してもよい。n3は0以上4以下の整数である。 In formula (C2-3), R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group. R c8 and R c9 are each a chain alkyl group which may have a substituent, a cyclic organic group which may have a substituent, or a hydrogen atom. R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring. n3 is an integer of 0 or more and 4 or less.

式(C2−3)中、Rc7は、水素原子、ニトロ基又は1価の有機基である。Rc7は、式(C2−3)中のフルオレン環上で、−(CO)n1−で表される基に結合する6員芳香環とは、異なる6員芳香環に結合する。式(C2−3)中、Rc7のフルオレン環に対する結合位置は特に限定されない。式(C2−3)で表される化合物が1以上のRc7を有する場合、式(C2−3)で表される化合物の合成が容易であること等から、1以上のRc7のうちの1つがフルオレン環中の2位に結合するのが好ましい。Rc7が複数である場合、複数のRc7は同一であっても異なっていてもよい。 In formula (C2-3), R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group. R c7 is bonded to a 6-membered aromatic ring different from the 6-membered aromatic ring bonded to the group represented by —(CO) n1 — on the fluorene ring in the formula (C2-3). In formula (C2-3), the bonding position of R c7 with respect to the fluorene ring is not particularly limited. When the compound represented by the formula (C2-3) has one or more R c7, since such that the synthesis of the compound represented by the formula (C2-3) is easy, of 1 or more R c7 It is preferred that one is attached at the 2-position in the fluorene ring. If R c7 is more, a plurality of R c7 is independently in may be the same or different.

c7が有機基である場合、Rc7は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から適宜選択される。Rc7が有機基である場合の好適な例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、アルコキシカルボニル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、1、又は2の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−1−イル基、及びピペラジン−1−イル基等が挙げられる。 When R c7 is an organic group, R c7 is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and is appropriately selected from various organic groups. Preferable examples of R c7 being an organic group include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, an alkoxycarbonyl group and a substituent. Optionally phenyl group, optionally substituted phenoxy group, optionally substituted benzoyl group, optionally substituted phenoxycarbonyl group, optionally substituted benzoyloxy Group, a phenylalkyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, a naphthoxy group which may have a substituent, a naphthoyl group which may have a substituent, a substituent An optionally substituted naphthoxycarbonyl group, an optionally substituted naphthoyloxy group, an optionally substituted naphthylalkyl group, an optionally substituted heterocyclyl group, an optionally substituted There may be mentioned a heterocyclylcarbonyl group, an amino group substituted with 1 or 2 organic groups, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group and the like.

c7がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。また、Rc7がアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Rc7がアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Rc7がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R c7 is an alkyl group, the number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When R c7 is an alkyl group, it may be linear or branched. When R c7 is an alkyl group, specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, an n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include n-decyl group and isodecyl group. When R c7 is an alkyl group, the alkyl group may include an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

c7がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。また、Rc7がアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Rc7がアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、sec−ペンチルオキシ基、tert−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、sec−オクチルオキシ基、tert−オクチルオキシ基、n−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、n−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Rc7がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is an alkoxy group, the number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 or more and 20 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When R c7 is an alkoxy group, it may be linear or branched. When R c7 is an alkoxy group, specific examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, a tert-butyloxy group, and n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octyloxy group , Tert-octyloxy group, n-nonyloxy group, isononyloxy group, n-decyloxy group, and isodecyloxy group. Further, when R c7 is an alkoxy group, the alkoxy group may include an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propyloxyethoxyethoxy group, and a methoxypropyloxy group.

c7がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、3以上10以下が好ましく、3以上6以下がより好ましい。Rc7がシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Rc7がシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the number of carbon atoms in the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group is preferably 3 or more and 10 or less, and more preferably 3 or more and 6 or less. Specific examples of the case where R c7 is a cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. Specific examples of the case where R c7 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, and a cyclooctyloxy group.

c7が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、2以上21以下が好ましく、2以上7以下がより好ましい。Rc7が飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、n−ブタノイル基、2−メチルプロパノイル基、n−ペンタノイル基、2,2−ジメチルプロパノイル基、n−ヘキサノイル基、n−ヘプタノイル基、n−オクタノイル基、n−ノナノイル基、n−デカノイル基、n−ウンデカノイル基、n−ドデカノイル基、n−トリデカノイル基、n−テトラデカノイル基、n−ペンタデカノイル基、及びn−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Rc7が飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、n−ブタノイルオキシ基、2−メチルプロパノイルオキシ基、n−ペンタノイルオキシ基、2,2−ジメチルプロパノイルオキシ基、n−ヘキサノイルオキシ基、n−ヘプタノイルオキシ基、n−オクタノイルオキシ基、n−ノナノイルオキシ基、n−デカノイルオキシ基、n−ウンデカノイルオキシ基、n−ドデカノイルオキシ基、n−トリデカノイルオキシ基、n−テトラデカノイルオキシ基、n−ペンタデカノイルオキシ基、及びn−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When R c7 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the saturated aliphatic acyl group or saturated aliphatic acyloxy group preferably has 2 or more and 21 or less carbon atoms, and more preferably has 2 or more and 7 or less carbon atoms. When R c7 is a saturated aliphatic acyl group, specific examples thereof include acetyl group, propanoyl group, n-butanoyl group, 2-methylpropanoyl group, n-pentanoyl group, 2,2-dimethylpropanoyl group, n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca group Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. When R c7 is a saturated aliphatic acyloxy group, specific examples thereof include acetyloxy group, propanoyloxy group, n-butanoyloxy group, 2-methylpropanoyloxy group, n-pentanoyloxy group, 2, 2-dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group, etc. are mentioned.

c7がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、2以上20以下が好ましく、2以上7以下がより好ましい。Rc7がアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、n−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、sec−ブチルオキシカルボニル基、tert−ブチルオキシカルボニル基、n−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、sec−ペンチルオキシカルボニル基、tert−ペンチルオキシカルボニル基、n−ヘキシルオキシカルボニル基、n−ヘプチルオキシカルボニル基、n−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、sec−オクチルオキシカルボニル基、tert−オクチルオキシカルボニル基、n−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、n−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When R c7 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group is preferably 2 or more and 20 or less, and more preferably 2 or more and 7 or less. Specific examples of the case where R c7 is an alkoxycarbonyl group include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propyloxycarbonyl group, isopropyloxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxycarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include isodecyloxycarbonyl group.

c7がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、7以上20以下が好ましく、7以上10以下がより好ましい。また、Rc7がナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、11以上20以下が好ましく、11以上14以下がより好ましい。Rc7がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、2−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、及び4−フェニルブチル基が挙げられる。Rc7がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、2−(α−ナフチル)エチル基、及び2−(β−ナフチル)エチル基が挙げられる。Rc7が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Rc7は、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。 When R c7 is a phenylalkyl group, the phenylalkyl group preferably has 7 or more and 20 or less carbon atoms, and more preferably has 7 or more and 10 or less carbon atoms. When R c7 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms in the naphthylalkyl group is preferably 11 or more and 20 or less, more preferably 11 or more and 14 or less. Specific examples when R c7 is a phenylalkyl group include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group. When R c7 is a naphthylalkyl group, specific examples thereof include an α-naphthylmethyl group, a β-naphthylmethyl group, a 2-(α-naphthyl)ethyl group, and a 2-(β-naphthyl)ethyl group. . When R c7 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R c7 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

c7がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、1以上のN、S、Oを含む5員又は6員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数3までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基(ヘテロアリール基)であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Rc7がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When R c7 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, and O, or such monocycles are condensed with each other or such monocycles and benzene rings are condensed. Is a heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, it has up to 3 rings. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. The heterocyclic ring constituting the heterocyclyl group, furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole, Examples include isoindole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyran, and tetrahydrofuran. Be done. When R c7 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

c7がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Rc7がヘテロシクリル基である場合と同様である。 When R c7 is a heterocyclylcarbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as the case where R c7 is a heterocyclyl group.

c7が1又は2の有機基で置換されたアミノ基である場合、有機基の好適な例は、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基、炭素原子数2以上21以下の飽和脂肪族アシル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数7以上20以下のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数11以上20以下のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。これらの好適な有機基の具体例は、Rc7と同様である。1、又は2の有機基で置換されたアミノ基の具体例としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、n−プロピルアミノ基、ジ−n−プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、n−ブチルアミノ基、ジ−n−ブチルアミノ基、n−ペンチルアミノ基、n−ヘキシルアミノ基、n−ヘプチルアミノ基、n−オクチルアミノ基、n−ノニルアミノ基、n−デシルアミノ基、フェニルアミノ基、ナフチルアミノ基、アセチルアミノ基、プロパノイルアミノ基、n−ブタノイルアミノ基、n−ペンタノイルアミノ基、n−ヘキサノイルアミノ基、n−ヘプタノイルアミノ基、n−オクタノイルアミノ基、n−デカノイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、α−ナフトイルアミノ基、及びβ−ナフトイルアミノ基等が挙げられる。 When R c7 is an amino group substituted with an organic group having 1 or 2, preferred examples of the organic group include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, A saturated aliphatic acyl group having 2 to 21 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, and a carbon atom having 7 to 20 which may have a substituent The following phenylalkyl groups, naphthyl groups which may have a substituent, naphthoyl groups which may have a substituent, naphthylalkyl groups which may have a substituent and have 11 to 20 carbon atoms, and heterocyclyl. Groups and the like. Specific examples of these suitable organic groups are the same as R c7 . Specific examples of the amino group substituted with 1 or 2 organic groups include methylamino group, ethylamino group, diethylamino group, n-propylamino group, di-n-propylamino group, isopropylamino group, n- Butylamino group, di-n-butylamino group, n-pentylamino group, n-hexylamino group, n-heptylamino group, n-octylamino group, n-nonylamino group, n-decylamino group, phenylamino group, Naphthylamino group, acetylamino group, propanoylamino group, n-butanoylamino group, n-pentanoylamino group, n-hexanoylamino group, n-heptanoylamino group, n-octanoylamino group, n- Examples thereof include a decanoylamino group, a benzoylamino group, an α-naphthoylamino group, and a β-naphthoylamino group.

c7に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2以上7以下のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2以上7以下の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数1以上6以下のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Rc7に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、1以上4以下が好ましい。Rc7に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c7 further have a substituent, the substituent is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, Saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, alkyl group having 1 to 6 carbon atoms And a dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, and a cyano group. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c7 further have a substituent, the number of the substituents is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but is preferably 1 or more and 4 or less. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R c7 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

以上説明した基の中でも、Rc7としては、ニトロ基、又はRc12−CO−で表される基であると、感度が向上する傾向があり好ましい。Rc12は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、種々の有機基から選択できる。Rc12として好適な基の例としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいナフチル基、及び置換基を有してもよいヘテロシクリル基が挙げられる。Rc12として、これらの基の中では、2−メチルフェニル基、チオフェン−2−イル基、及びα−ナフチル基が特に好ましい。 Among the groups described above, R c7 is preferably a nitro group or a group represented by R c12 —CO— because the sensitivity tends to improve. R c12 is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired , and can be selected from various organic groups. Examples of groups suitable as R c12 include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a phenyl group which may have a substituent, a naphthyl group which may have a substituent, and a substituent. And optionally include a heterocyclyl group. Of these groups, R c12 is particularly preferably a 2-methylphenyl group, a thiophen-2-yl group, or an α-naphthyl group.

式(C2−3)中、Rc8及びRc9は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子である。Rc8とRc9とは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、Rc8及びRc9として、置換基を有してもよい鎖状アルキル基が好ましい。Rc8及びRc9が置換基を有してもよい鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。 In formula (C2-3), R c8 and R c9 are each a chain alkyl group which may have a substituent, a cyclic organic group which may have a substituent, or a hydrogen atom. R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring. Among these groups, R c8 and R c9 are preferably chain alkyl groups which may have a substituent. When R c8 and R c9 are chain alkyl groups which may have a substituent, the chain alkyl group may be a straight chain alkyl group or a branched chain alkyl group.

c8及びRc9が置換基を持たない鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上10以下がより好ましく、1以上6以下が特に好ましい。Rc8及びRc9が鎖状アルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Rc8及びRc9がアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are chain alkyl groups having no substituent, the number of carbon atoms of the chain alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less. preferable. When R c8 and R c9 are chain alkyl groups, specific examples thereof include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group. , N-pentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group Group, an isononyl group, an n-decyl group, an isodecyl group and the like. Moreover, when R c8 and R c9 are alkyl groups, the alkyl groups may contain an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

c8及びRc9が置換基を有する鎖状アルキル基である場合、鎖状アルキル基の炭素原子数は、1以上20以下が好ましく、1以上10以下がより好ましく、1以上6以下が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有する鎖状アルキル基は、直鎖状であるのが好ましい。
アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。シクロアルキル基の具体例としては、Rc7がシクロアルキル基である場合の好適な例と同様である。芳香族炭化水素基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。ヘテロシクリル基の具体例としては、Rc7がヘテロシクリル基である場合の好適な例と同様である。Rc7がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。
When R c8 and R c9 are chain alkyl groups having a substituent, the number of carbon atoms of the chain alkyl group is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 10 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less. .. In this case, the number of carbon atoms of the substituent is not included in the number of carbon atoms of the chain alkyl group. The chain alkyl group having a substituent is preferably linear.
The substituent that the alkyl group may have is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. Preferable examples of the substituent include a cyano group, a halogen atom, a cyclic organic group, and an alkoxycarbonyl group. Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Among these, a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are preferable. Examples of the cyclic organic group include a cycloalkyl group, an aromatic hydrocarbon group and a heterocyclyl group. Specific examples of the cycloalkyl group are the same as the preferable examples when R c7 is a cycloalkyl group. Specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group. Specific examples of the heterocyclyl group are the same as the preferred examples when R c7 is a heterocyclyl group. When R c7 is an alkoxycarbonyl group, the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group may be linear or branched, and is preferably linear. The number of carbon atoms of the alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less.

鎖状アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、1以上20以下であり、1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。 When the chain alkyl group has a substituent, the number of substituents is not particularly limited. The preferred number of substituents depends on the number of carbon atoms in the chain alkyl group. The number of substituents is typically 1 or more and 20 or less, preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less.

c8及びRc9が環状有機基である場合、環状有機基は、脂環式基であっても、芳香族基であってもよい。環状有機基としては、脂肪族環状炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。Rc8及びRc9が環状有機基である場合に、環状有機基が有してもよい置換基は、Rc8及びRc9が鎖状アルキル基である場合と同様である。 When R c8 and R c9 are cyclic organic groups, the cyclic organic group may be an alicyclic group or an aromatic group. Examples of the cyclic organic group include an aliphatic cyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a heterocyclyl group. When R c8 and R c9 are cyclic organic groups, the substituent that the cyclic organic group may have is the same as when R c8 and R c9 are chain alkyl groups.

c8及びRc9が芳香族炭化水素基である場合、芳香族炭化水素基は、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が炭素−炭素結合を介して結合して形成される基であるか、複数のベンゼン環が縮合して形成される基であるのが好ましい。芳香族炭化水素基が、フェニル基であるか、複数のベンゼン環が結合又は縮合して形成される基である場合、芳香族炭化水素基に含まれるベンゼン環の環数は特に限定されず、3以下が好ましく、2以下がより好ましく、1が特に好ましい。芳香族炭化水素基の好ましい具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are aromatic hydrocarbon groups, is the aromatic hydrocarbon group a phenyl group or a group formed by bonding a plurality of benzene rings through carbon-carbon bonds? It is preferably a group formed by condensing a plurality of benzene rings. When the aromatic hydrocarbon group is a phenyl group or a group formed by combining or condensing a plurality of benzene rings, the number of benzene rings contained in the aromatic hydrocarbon group is not particularly limited, 3 or less is preferable, 2 or less is more preferable, and 1 is particularly preferable. Preferable specific examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.

c8及びRc9が脂肪族環状炭化水素基である場合、脂肪族環状炭化水素基は、単環式であっても多環式であってもよい。脂肪族環状炭化水素基の炭素原子数は特に限定されないが、3以上20以下が好ましく、3以上10以下がより好ましい。単環式の環状炭化水素基の例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基、及びアダマンチル基等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are aliphatic cyclic hydrocarbon groups, the aliphatic cyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic. The number of carbon atoms of the aliphatic cyclic hydrocarbon group is not particularly limited, but is preferably 3 or more and 20 or less, more preferably 3 or more and 10 or less. Examples of monocyclic cyclic hydrocarbon groups include cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, norbornyl group, isobornyl group, tricyclononyl group, tricyclodecyl group, A tetracyclododecyl group, an adamantyl group, etc. are mentioned.

c8及びRc9がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、1以上のN、S、Oを含む5員又は6員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、環数3までのものとする。ヘテロシクリル基は、芳香族基(ヘテロアリール基)であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。 When R c8 and R c9 are heterocyclyl groups, the heterocyclyl groups are 5-membered or 6-membered monocycles containing one or more N, S, O, such monocycles, or such monocycles and benzene rings. And is a condensed heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, it has up to 3 rings. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. The heterocyclic ring constituting the heterocyclyl group, furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole, Examples include isoindole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyran, and tetrahydrofuran. Be done.

c8とRc9とは相互に結合して環を形成してもよい。Rc8とRc9とが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。Rc8とRc9とが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、5員環〜6員環であるのが好ましく、5員環であるのがより好ましい。 R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring. The group consisting of the ring formed by R c8 and R c9 is preferably a cycloalkylidene group. When R c8 and R c9 are bonded to each other to form a cycloalkylidene group, the ring forming the cycloalkylidene group is preferably a 5-membered ring to a 6-membered ring, and more preferably a 5-membered ring.

c8とRc9とが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、1以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。 When the group formed by combining R c8 and R c9 is a cycloalkylidene group, the cycloalkylidene group may be condensed with one or more other rings. Examples of the ring which may be condensed with the cycloalkylidene group include a benzene ring, a naphthalene ring, a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclooctane ring, a furan ring, a thiophene ring, a pyrrole ring and a pyridine ring. And a ring, a pyrazine ring, a pyrimidine ring and the like.

以上説明したRc8及びRc9の中でも好適な基の例としては、式−A01−A02で表される基が挙げられる。式中、A01は直鎖アルキレン基であり、A02は、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である挙げられる。 Among the groups described above among R c8 and R c9 , examples of suitable groups include groups represented by the formula —A 01 —A 02 . In the formula, A 01 is a linear alkylene group, and A 02 is an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, a halogenated alkyl group, a cyclic organic group, or an alkoxycarbonyl group.

01の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。A02がアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、1以上10以下が好ましく、1以上6以下がより好ましい。A02がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。A02がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。A02が環状有機基である場合、環状有機基の例は、Rc8及びRc9が置換基として有する環状有機基と同様である。A02がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、Rc8及びRc9が置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。 The number of carbon atoms of the linear alkylene group of A 01 is preferably 1 or more and 10 or less, and more preferably 1 or more and 6 or less. When A 02 is an alkoxy group, the alkoxy group may be linear or branched, and is preferably linear. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 or more and 10 or less, more preferably 1 or more and 6 or less. When A 02 is a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom are preferable, and a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are more preferable. When A 02 is a halogenated alkyl group, the halogen atom contained in the halogenated alkyl group is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, more preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom. The halogenated alkyl group may be linear or branched, and is preferably linear. When A 02 is a cyclic organic group, examples of the cyclic organic group are the same as the cyclic organic groups which R c8 and R c9 have as a substituent. When A 02 is an alkoxycarbonyl group, examples of the alkoxycarbonyl group are the same as the alkoxycarbonyl group which R c8 and R c9 have as a substituent.

c8及びRc9の好適な具体例としては、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、及びn−オクチル基等のアルキル基;2−メトキシエチル基、3−メトキシ−n−プロピル基、4−メトキシ−n−ブチル基、5−メトキシ−n−ペンチル基、6−メトキシ−n−ヘキシル基、7−メトキシ−n−ヘプチル基、8−メトキシ−n−オクチル基、2−エトキシエチル基、3−エトキシ−n−プロピル基、4−エトキシ−n−ブチル基、5−エトキシ−n−ペンチル基、6−エトキシ−n−ヘキシル基、7−エトキシ−n−ヘプチル基、及び8−エトキシ−n−オクチル基等のアルコキシアルキル基;2−シアノエチル基、3−シアノ−n−プロピル基、4−シアノ−n−ブチル基、5−シアノ−n−ペンチル基、6−シアノ−n−ヘキシル基、7−シアノ−n−ヘプチル基、及び8−シアノ−n−オクチル基等のシアノアルキル基;2−フェニルエチル基、3−フェニル−n−プロピル基、4−フェニル−n−ブチル基、5−フェニル−n−ペンチル基、6−フェニル−n−ヘキシル基、7−フェニル−n−ヘプチル基、及び8−フェニル−n−オクチル基等のフェニルアルキル基;2−シクロヘキシルエチル基、3−シクロヘキシル−n−プロピル基、4−シクロヘキシル−n−ブチル基、5−シクロヘキシル−n−ペンチル基、6−シクロヘキシル−n−ヘキシル基、7−シクロヘキシル−n−ヘプチル基、8−シクロヘキシル−n−オクチル基、2−シクロペンチルエチル基、3−シクロペンチル−n−プロピル基、4−シクロペンチル−n−ブチル基、5−シクロペンチル−n−ペンチル基、6−シクロペンチル−n−ヘキシル基、7−シクロペンチル−n−ヘプチル基、及び8−シクロペンチル−n−オクチル基等のシクロアルキルアルキル基;2−メトキシカルボニルエチル基、3−メトキシカルボニル−n−プロピル基、4−メトキシカルボニル−n−ブチル基、5−メトキシカルボニル−n−ペンチル基、6−メトキシカルボニル−n−ヘキシル基、7−メトキシカルボニル−n−ヘプチル基、8−メトキシカルボニル−n−オクチル基、2−エトキシカルボニルエチル基、3−エトキシカルボニル−n−プロピル基、4−エトキシカルボニル−n−ブチル基、5−エトキシカルボニル−n−ペンチル基、6−エトキシカルボニル−n−ヘキシル基、7−エトキシカルボニル−n−ヘプチル基、及び8−エトキシカルボニル−n−オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基;2−クロロエチル基、3−クロロ−n−プロピル基、4−クロロ−n−ブチル基、5−クロロ−n−ペンチル基、6−クロロ−n−ヘキシル基、7−クロロ−n−ヘプチル基、8−クロロ−n−オクチル基、2−ブロモエチル基、3−ブロモ−n−プロピル基、4−ブロモ−n−ブチル基、5−ブロモ−n−ペンチル基、6−ブロモ−n−ヘキシル基、7−ブロモ−n−ヘプチル基、8−ブロモ−n−オクチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基、及び3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−n−ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。 Preferable specific examples of R c8 and R c9 include alkyl groups such as ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, and n-octyl group; 2-methoxyethyl Group, 3-methoxy-n-propyl group, 4-methoxy-n-butyl group, 5-methoxy-n-pentyl group, 6-methoxy-n-hexyl group, 7-methoxy-n-heptyl group, 8-methoxy -N-octyl group, 2-ethoxyethyl group, 3-ethoxy-n-propyl group, 4-ethoxy-n-butyl group, 5-ethoxy-n-pentyl group, 6-ethoxy-n-hexyl group, 7- Alkoxyalkyl groups such as ethoxy-n-heptyl group and 8-ethoxy-n-octyl group; 2-cyanoethyl group, 3-cyano-n-propyl group, 4-cyano-n-butyl group, 5-cyano-n -Cyanoalkyl groups such as pentyl group, 6-cyano-n-hexyl group, 7-cyano-n-heptyl group, and 8-cyano-n-octyl group; 2-phenylethyl group, 3-phenyl-n-propyl group Group, 4-phenyl-n-butyl group, 5-phenyl-n-pentyl group, 6-phenyl-n-hexyl group, 7-phenyl-n-heptyl group, 8-phenyl-n-octyl group, and other phenyl groups Alkyl group; 2-cyclohexylethyl group, 3-cyclohexyl-n-propyl group, 4-cyclohexyl-n-butyl group, 5-cyclohexyl-n-pentyl group, 6-cyclohexyl-n-hexyl group, 7-cyclohexyl-n -Heptyl group, 8-cyclohexyl-n-octyl group, 2-cyclopentylethyl group, 3-cyclopentyl-n-propyl group, 4-cyclopentyl-n-butyl group, 5-cyclopentyl-n-pentyl group, 6-cyclopentyl- Cycloalkylalkyl groups such as n-hexyl group, 7-cyclopentyl-n-heptyl group, and 8-cyclopentyl-n-octyl group; 2-methoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl group, 4-methoxy Carbonyl-n-butyl group, 5-methoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-methoxycarbonyl-n-hexyl group, 7-methoxycarbonyl-n-heptyl group, 8-methoxycarbonyl-n-octyl group, 2-ethoxy Carbonylethyl group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 4-ethoxycarbonyl-n-butyl group, 5-ethoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-ethoxycarbonyl-n-hexyl group, 7-ethoxy group Alkoxycarbonylalkyl groups such as cycarbonyl-n-heptyl group and 8-ethoxycarbonyl-n-octyl group; 2-chloroethyl group, 3-chloro-n-propyl group, 4-chloro-n-butyl group, 5- Chloro-n-pentyl group, 6-chloro-n-hexyl group, 7-chloro-n-heptyl group, 8-chloro-n-octyl group, 2-bromoethyl group, 3-bromo-n-propyl group, 4- Bromo-n-butyl group, 5-bromo-n-pentyl group, 6-bromo-n-hexyl group, 7-bromo-n-heptyl group, 8-bromo-n-octyl group, 3,3,3-tri Fluoropropyl group and halogenated alkyl groups such as 3,3,4,4,5,5,5-heptafluoro-n-pentyl group.

c8及びRc9として、上記の中でも好適な基は、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、2−メトキシエチル基、2−シアノエチル基、2−フェニルエチル基、2−シクロヘキシルエチル基、2−メトキシカルボニルエチル基、2−クロロエチル基、2−ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基、及び3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−n−ペンチル基である。 As R c8 and R c9 , preferable groups among the above are ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, 2-methoxyethyl group, 2-cyanoethyl group, 2-phenylethyl group, 2-cyclohexylethyl group, 2-methoxycarbonylethyl group, 2-chloroethyl group, 2-bromoethyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group, and 3,3,4,4,5,5,5-hepta It is a fluoro-n-pentyl group.

式(C2)で表されるオキシムエステル化合物の中でも、Rc1が式(C2a)で表される基であって、且つRc10がメチル基であり、Rc2が式(C2−1)で表される基である化合物が好ましい。このようなオキシムエステル化合物は、具体的には、下記式(C2−I)で表される化合物である。

Figure 2020086317
Among the oxime ester compounds represented by formula (C2), R c1 is a group represented by formula (C2a), R c10 is a methyl group, and R c2 is represented by formula (C2-1). Compounds which are groups are preferred. Such an oxime ester compound is specifically a compound represented by the following formula (C2-I).
Figure 2020086317

式(C2−I)中、Rc3は、式(C2)におけるRc3と同様である。式(C2−II)中、Rc4、A、及びn2は、式(C2−1)におけるRc4、A、及びn2と同様である。式(C2−I)中、Rc11、及びn4は、式(C2a)におけるRc11、及びn4と同様である。 Wherein (C2-I), R c3 is the same as R c3 in formula (C2). Wherein (C2-II), R c4 , A, and n2 are the same as R c4, A, and n2 in the formula (C2-1). Wherein (C2-I), R c11 , and n4 are the same as R c11, and n4 in formula (C2a).

また、式(C2)で表されるオキシムエステル化合物の中でも、Rc3が式(C2−3)で表される化合物も好ましい。このようなオキシムエステル化合物は、具体的には、下記式(C2−II)で表される化合物である。

Figure 2020086317
Further, among the oxime ester compounds represented by the formula (C2), compounds in which R c3 is represented by the formula (C2-3) are also preferable. Such an oxime ester compound is specifically a compound represented by the following formula (C2-II).
Figure 2020086317

式(C2−II)中、Rc1及びRc3は、式(C2)におけるRc1及びRc3と同様である。式(C2−II)中、Rc7及びRは、式(C2)におけるRc1及びRc3と同様である。 Wherein (C2-II), R c1 and where R c3 is the same in R c1 and R c3 in formula (C2). In formula (C2-II), R c7 and R c are the same as R c1 and R c3 in formula (C2).

式(C2−I)で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては、下記の化合物が挙げられる。 Specific preferred examples of the oxime ester compound represented by the formula (C2-I) include the following compounds.

Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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Figure 2020086317
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Figure 2020086317
Figure 2020086317

式(C2−II)で表されるオキシムエステル化合物の好適な具体例としては、下記の化合物が挙げられる。 Specific preferred examples of the oxime ester compound represented by the formula (C2-II) include the following compounds.

Figure 2020086317
Figure 2020086317

Figure 2020086317
Figure 2020086317

光重合開始剤(C)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分全体の質量に対して0.1質量%以上30質量%以下が好ましく、0.5質量%以上20質量%以下がより好ましい。光重合開始剤(C)の含有量を上記の範囲とすることにより、硬化性が良好であり、パターン形状の不良が生じにくい感光性樹脂組成物を得ることができる。 The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably 0.1% by mass or more and 30% by mass or less, and 0.5% by mass or more and 20% by mass or less with respect to the total mass of the solid content of the photosensitive resin composition. More preferable. By setting the content of the photopolymerization initiator (C) within the above range, it is possible to obtain a photosensitive resin composition which has good curability and is less likely to cause defective pattern shape.

前述の通り、感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(C)として、下記式(C1)で表される光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを含む。光重合開始剤(C)の質量における、光重合開始剤(C−I)の質量の比率は、20質量%以上95質量%以下であり、25質量%以上90質量%以下がより好ましく、30質量%以上85質量%以下がさらに好ましい。 As described above, the photosensitive resin composition has a photopolymerization initiator (C) other than the photopolymerization initiator (C-I) represented by the following formula (C1) as the photopolymerization initiator (C). Other photopolymerization initiator (C-II). The ratio of the mass of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is 20% by mass or more and 95% by mass or less, more preferably 25% by mass or more and 90% by mass or less, and 30 More preferably, it is not less than mass% and not more than 85 mass %.

光重合開始剤(C−II)が、α−アミノケトン系化合物を含む場合、光重合開始剤(C−II)の質量における、α−アミノケトン系化合物の質量の比率は特に限定されない。光重合開始剤(C−II)が、α−アミノケトン系化合物を含む場合、光重合開始剤(C−II)の質量における、α−アミノケトン系化合物の質量の比率は、5質量%以上100質量%以下が好ましく、10質量%以上50質量%以下がより好ましく、20質量%以上40質量%以下がさらに好ましい。 When the photopolymerization initiator (C-II) contains an α-aminoketone compound, the ratio of the mass of the α-aminoketone compound to the mass of the photopolymerization initiator (C-II) is not particularly limited. When the photopolymerization initiator (C-II) contains an α-aminoketone compound, the ratio of the mass of the α-aminoketone compound to the mass of the photopolymerization initiator (C-II) is from 5% by mass to 100% by mass. % Or less is preferable, 10% by mass or more and 50% by mass or less is more preferable, and 20% by mass or more and 40% by mass or less is further preferable.

光重合開始剤(C−II)が、光重合開始剤(C−I)以外のオキシムエステル化合物と、α−アミノケトン系化合物とを組み合わせて含む場合、光重合開始剤(C−II)の質量における、オキシムエステル化合物の質量とα−アミノケトン系化合物の質量との合計の比率は特に限定されない。光重合開始剤(C−II)の質量における、オキシムエステル化合物の質量とα−アミノケトン系化合物の質量との合計の比率は、50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましく、80質量%以上がさらに好ましく、90質量%以上がさらにより好ましく、100質量%が特に好ましい。 When the photopolymerization initiator (C-II) contains a combination of an oxime ester compound other than the photopolymerization initiator (C-I) and an α-aminoketone compound, the mass of the photopolymerization initiator (C-II). In, the total ratio of the mass of the oxime ester compound and the mass of the α-aminoketone compound is not particularly limited. The total ratio of the mass of the oxime ester compound and the mass of the α-aminoketone compound in the mass of the photopolymerization initiator (C-II) is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and 80% by mass. % Or more, more preferably 90% by mass or more, still more preferably 100% by mass.

光重合開始剤(C−II)が、光重合開始剤(C−I)以外のオキシムエステル化合物と、α−アミノケトン系化合物とを組み合わせて含む場合、オキシムエステル化合物の質量と、α−アミノケトン系化合物の質量との合計に対する、α−アミノケトン系化合物の質量の比率は、5質量%以上50質量%以下が好ましく、10質量%以上45質量%以下がより好ましく、20質量%以上40質量%以下が特に好ましい。 When the photopolymerization initiator (C-II) contains a combination of an oxime ester compound other than the photopolymerization initiator (C-I) and an α-aminoketone compound, the mass of the oxime ester compound and the α-aminoketone compound The ratio of the mass of the α-aminoketone compound to the total mass of the compound is preferably 5 mass% or more and 50 mass% or less, more preferably 10 mass% or more and 45 mass% or less, and 20 mass% or more and 40 mass% or less. Is particularly preferable.

<着色剤(D)>
感光性樹脂組成物は、さらに着色剤(D)を含んでいてもよい。感光性樹脂組成物は着色剤(D)を含むことにより、例えば、液晶表示ディスプレイのカラーフィルタ形成用途として好ましく使用される。また、感光性樹脂組成物は、着色剤(D)として遮光剤(D1)を含むことにより、例えば、表示装置のカラーフィルタにおけるブラックマトリクス形成用途として好ましく使用される。
<Colorant (D)>
The photosensitive resin composition may further contain a colorant (D). The photosensitive resin composition containing the colorant (D) is preferably used, for example, for forming a color filter of a liquid crystal display. Further, the photosensitive resin composition contains the light-shielding agent (D1) as the colorant (D), and thus is preferably used, for example, for forming a black matrix in a color filter of a display device.

感光性樹脂組成物に含有される着色剤(D)としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)において、ピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを用いることが好ましい。 The colorant (D) contained in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is classified into Pigment in the color index (CI; Issued by The Society of Dyers and Colorists), for example. It is preferable to use a compound having the following color index (C.I.) number.

好適に使用できる黄色顔料の例としては、C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73,74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、及び185が挙げられる。 Examples of suitable yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Yellow” is the same, and only the numbers are described.) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53. , 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116. , 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180. , And 185.

好適に使用できる橙色顔料の例としては、C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、及び73が挙げられる。 Examples of suitable orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Orange” is the same, and only the numbers are described.) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46 , 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73.

好適に使用できる紫色顔料の例としては、C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、及び50が挙げられる。 Examples of suitable purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Violet” is the same, and only the number will be described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, and 50. Can be mentioned.

好適に使用できる赤色顔料の例としては、C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。)2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、及び265が挙げられる。 Examples of suitable red pigments include C.I. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Red” is the same, and only the numbers are described.) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49: 1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64: 1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, and 265.

好適に使用できる青色顔料の例としては、C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、及び66が挙げられる。 Examples of suitable blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, “CI Pigment Blue” is the same, and only the numbers are described.) 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64. , And 66.

好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37等の緑色顔料、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28等の茶色顔料、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等の黒色顔料が挙げられる。 Examples of pigments having other hues that can be preferably used include C.I. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Green 37, a green pigment, C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25, C.I. I. Pigment Brown 26, C.I. I. Pigment Brown 28 and the like, C.I. I. Pigment Black 1, C.I. I. Pigment Black 7 and other black pigments.

また、感光性樹脂組成物に遮光性を付与する場合は、感光性樹脂組成物が遮光剤(D1)として黒色顔料を含むことが好ましい。黒色顔料を含む感光性樹脂組成物は、液晶表示パネルにおけるブラックマトリックス又はブラックカラムスペーサーの形成や、有機EL素子における発光層の区画用のバンクの形成に好適に用いられる。 Further, in the case of imparting light shielding properties to the photosensitive resin composition, it is preferable that the photosensitive resin composition contains a black pigment as the light shielding agent (D1). The photosensitive resin composition containing a black pigment is suitably used for forming a black matrix or a black column spacer in a liquid crystal display panel and forming a bank for partitioning a light emitting layer in an organic EL element.

黒色顔料の例としては、カーボンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの黒色顔料の中でも、入手が容易であることや、遮光性に優れ且つ電気抵抗の高い硬化膜を形成しやすいことから、カーボンブラックが好ましい。
なお、黒色顔料の色相は、色彩論上の無彩色である黒色には限定されず、紫がかった黒色や、青みがかった黒色や、赤みがかった黒色であってもよい。
Examples of black pigments include carbon black, perylene pigments, lactam pigments, titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium, silver and other metal oxides, complex oxides, metal sulfides. Various pigments can be used regardless of organic substances or inorganic substances such as organic substances, metal sulfates or metal carbonates. Among these black pigments, carbon black is preferable because it is easily available and a cured film having excellent light-shielding properties and high electric resistance is easily formed.
The hue of the black pigment is not limited to black, which is an achromatic color in chromatic theory, and may be purplish black, bluish black, or reddish black.

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。 As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black, lamp black and the like can be used, but it is preferable to use channel black having excellent light-shielding properties. Alternatively, resin-coated carbon black may be used.

樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイのような液晶表示素子のブラックマトリクスとして使用した場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。 Since resin-coated carbon black has lower conductivity than carbon black without resin coating, when used as a black matrix of a liquid crystal display device such as a liquid crystal display, there is little leakage of current and high reliability. It is possible to manufacture a display with low power consumption.

カーボンブラックとしては、酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックも好ましい。カーボンブラックに導入される酸性基は、ブレンステッドの定義による酸性を示す官能基である。酸性基の具体例としては、カルボキシ基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。カーボンブラックに導入された酸性基は、塩を形成していてもよい。酸性基と塩を形成するカチオンは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カチオンの例としては、種々の金属イオン、含窒素化合物のカチオン、アンモニウムイオン等が挙げられ、ナトリウムイオン、カリウムイオン、リチウムイオン等のアルカリ金属イオンや、アンモニウムイオンが好ましい。 As the carbon black, carbon black that has been subjected to a treatment for introducing an acidic group is also preferable. The acidic group introduced into carbon black is a functional group exhibiting acidity according to Bronsted's definition. Specific examples of the acidic group include a carboxy group, a sulfonic acid group, a phosphoric acid group and the like. The acidic group introduced into carbon black may form a salt. The cation that forms a salt with an acidic group is not particularly limited as long as it does not hinder the object of the present invention. Examples of the cation include various metal ions, cations of nitrogen-containing compounds, ammonium ions, and the like, and alkali metal ions such as sodium ions, potassium ions, and lithium ions, and ammonium ions are preferable.

以上説明した酸性基を導入する処理を施されたカーボンブラックの中では、感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の高抵抗を達成する観点で、カルボン酸基、カルボン酸塩基、スルホン酸基、及びスルホン酸塩基からなる群より選択される1種以上の官能基を有するカーボンブラックが好ましい。 Among the carbon blacks that have been subjected to the treatment for introducing an acidic group described above, from the viewpoint of achieving high resistance of the light-shielding cured film formed using the photosensitive resin composition, a carboxylic acid group and a carboxylic acid are used. Carbon black having one or more functional groups selected from the group consisting of a base, a sulfonate group, and a sulfonate group is preferable.

カーボンブラックに酸性基を導入する方法は特に限定されない。酸性基を導入する方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
1)濃硫酸、発煙硫酸、クロロスルホン酸等を用いる直接置換法や、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩等を用いる間接置換法により、カーボンブラックにスルホン酸基を導入する方法。
2)アミノ基と酸性基とを有する有機化合物と、カーボンブラックとをジアゾカップリングさせる方法。
3)ハロゲン原子と酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとをウィリアムソンのエーテル化法により反応させる方法。
4)ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物と、水酸基を有するカーボンブラックとを反応させる方法。
5)ハロカルボニル基と保護基により保護された酸性基とを有する有機化合物を用いて、カーボンブラックに対してフリーデルクラフツ反応を行った後、脱保護する方法。
The method of introducing an acidic group into carbon black is not particularly limited. Examples of the method of introducing an acidic group include the following methods.
1) A method of introducing a sulfonic acid group into carbon black by a direct substitution method using concentrated sulfuric acid, fuming sulfuric acid, chlorosulfonic acid or the like, or an indirect substitution method using sulfite, hydrogen sulfite or the like.
2) A method of diazo coupling carbon black with an organic compound having an amino group and an acidic group.
3) A method of reacting an organic compound having a halogen atom and an acidic group with carbon black having a hydroxyl group by Williamson's etherification method.
4) A method of reacting an organic compound having a halocarbonyl group and an acidic group protected by a protecting group with carbon black having a hydroxyl group.
5) A method in which a Friedel-Crafts reaction is performed on carbon black using an organic compound having a halocarbonyl group and an acidic group protected by a protecting group, and then deprotection is performed.

これらの方法の中では、酸性基の導入処理が、容易且つ安全であることから、方法2)が好ましい。方法2)で使用されるアミノ基と酸性基とを有する有機化合物としては、芳香族基にアミノ基と酸性基とが結合した化合物が好ましい。このような化合物の例としては、スルファニル酸のようなアミノベンゼンスルホン酸や、4−アミノ安息香酸のようなアミノ安息香酸が挙げられる。 Among these methods, the method 2) is preferable because the acidic group introduction treatment is easy and safe. The organic compound having an amino group and an acidic group used in the method 2) is preferably a compound in which an amino group and an acidic group are bonded to an aromatic group. Examples of such compounds include aminobenzene sulfonic acids such as sulfanilic acid and aminobenzoic acids such as 4-aminobenzoic acid.

カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。カーボンブラックに導入される酸性基のモル数は、カーボンブラック100gに対して、1mmol以上200mmol以下が好ましく、5mmol以上100mmol以下がより好ましい。 The number of moles of acidic groups introduced into carbon black is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. The number of moles of acidic groups introduced into carbon black is preferably 1 mmol or more and 200 mmol or less, and more preferably 5 mmol or more and 100 mmol or less with respect to 100 g of carbon black.

酸性基を導入されたカーボンブラックは、樹脂による被覆処理を施されていてもよい。
樹脂により被覆されたカーボンブラックを含む感光性樹脂組成物を用いる場合、遮光性及び絶縁性に優れ、表面反射率が低い遮光性の硬化膜を形成しやすい。なお、樹脂による被覆処理によって、感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光性の硬化膜の誘電率に対する悪影響は特段生じない。カーボンブラックの被覆に使用できる樹脂の例としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、グリプタル樹脂、エポキシ樹脂、アルキルベンゼン樹脂等の熱硬化性樹脂や、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリスルフォン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリエーテルスルフォポリフェニレンスルフォン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。カーボンブラックに対する樹脂の被覆量は、カーボンブラックの質量と樹脂の質量との合計に対して、1質量%以上30質量%以下が好ましい。
The carbon black introduced with an acidic group may be coated with a resin.
When a photosensitive resin composition containing carbon black coated with a resin is used, a light-shielding cured film having excellent light-shielding properties and insulating properties and low surface reflectance can be easily formed. Note that the coating treatment with the resin does not cause any adverse effect on the dielectric constant of the light-shielding cured film formed using the photosensitive resin composition. Examples of resins that can be used to coat carbon black include phenol resins, melamine resins, xylene resins, diallyl phthalate resins, glyptal resins, epoxy resins, thermosetting resins such as alkylbenzene resins, polystyrene, polycarbonate, polyethylene terephthalate, and poly Examples thereof include thermoplastic resins such as butylene terephthalate, modified polyphenylene oxide, polysulfone, polyparaphenylene terephthalamide, polyamideimide, polyimide, polyaminobismaleimide, polyethersulfopolyphenylene sulfone, polyarylate and polyetheretherketone. The coating amount of the resin on the carbon black is preferably 1% by mass or more and 30% by mass or less based on the total of the mass of the carbon black and the mass of the resin.

また、黒色顔料としてはペリレン系顔料も好ましく用いることができる。ペリレン系顔料の具体例としては、下記式(d−1)で表されるペリレン系顔料、下記式(d−2)で表されるペリレン系顔料、及び下記式(d−3)で表されるペリレン系顔料が挙げられる。市販品では、BASF社製の製品名K0084、及びK0086や、ピグメントブラック21、30、31、32、33、及び34等を、ペリレン系顔料として好ましく用いることができる。 Further, as the black pigment, a perylene pigment can also be preferably used. Specific examples of the perylene-based pigment include a perylene-based pigment represented by the following formula (d-1), a perylene-based pigment represented by the following formula (d-2), and a perylene-based pigment represented by the following formula (d-3). Perylene pigments. Among commercially available products, product names K0084 and K0086 manufactured by BASF and pigment blacks 21, 30, 31, 32, 33, 34 and the like can be preferably used as the perylene-based pigment.

Figure 2020086317
式(d−1)中、Rd1及びRd2は、それぞれ独立に炭素原子数1以上3以下のアルキレン基を表し、Rd3及びRd4は、それぞれ独立に、水素原子、水酸基、メトキシ基、又はアセチル基を表す。
Figure 2020086317
In formula (d-1), R d1 and R d2 each independently represent an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and R d3 and R d4 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methoxy group, Or represents an acetyl group.

Figure 2020086317
式(d−2)中、Rd5及びRd6は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上7以下のアルキレン基を表す。
Figure 2020086317
In formula (d-2), R d5 and R d6 each independently represent an alkylene group having 1 to 7 carbon atoms.

Figure 2020086317
式(d−3)中、Rd7及びRd8は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上22以下のアルキル基であり、N,O、S、又はPのヘテロ原子を含んでいてもよい。Rd7及びRd8がアルキル基である場合、当該アルキル基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
Figure 2020086317
In formula (d-3), R d7 and R d8 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 22 carbon atoms, and containing a hetero atom of N, O, S, or P. Good. When R d7 and R d8 are alkyl groups, the alkyl groups may be linear or branched.

上記の式(d−1)で表される化合物、式(d−2)で表される化合物、及び式(d−3)で表される化合物は、例えば、特開昭62−1753号公報、特公昭63−26784号公報に記載の方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレン−3,5,9,10−テトラカルボン酸又はその二無水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒中で再結晶させることによって目的物を得ることができる。 The compound represented by the formula (d-1), the compound represented by the formula (d-2), and the compound represented by the formula (d-3) are described in, for example, JP-A No. 62-1753. It can be synthesized using the method described in JP-B-63-26784. That is, perylene-3,5,9,10-tetracarboxylic acid or its dianhydride and amines are used as raw materials, and a heating reaction is performed in water or an organic solvent. Then, the target product can be obtained by reprecipitating the obtained crude product in sulfuric acid or recrystallizing it in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof.

感光性樹脂組成物中においてペリレン系顔料を良好に分散させるためには、ペリレン系顔料の平均粒子径は10nm以上1000nm以下であるのが好ましい。 In order to favorably disperse the perylene pigment in the photosensitive resin composition, the average particle size of the perylene pigment is preferably 10 nm or more and 1000 nm or less.

また、遮光剤としては、ラクタム系顔料を含ませることもできる。ラクタム系顔料としては、例えば、下記式(d−4)で表される化合物が挙げられる。 Further, a lactam pigment can be included as the light shielding agent. Examples of lactam pigments include compounds represented by the following formula (d-4).

Figure 2020086317
Figure 2020086317

式(d−4)中、Xは二重結合を示し、幾何異性体としてそれぞれ独立にE体又はZ体であり、Rd9は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、ニトロ基、メトキシ基、臭素原子、塩素原子、フッ素原子、カルボキシ基、又はスルホ基を示し、Rd10は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、又はフェニル基を示し、Rd11は、各々独立に、水素原子、メチル基、又は塩素原子を示す。
式(d−4)で表される化合物は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
d9は、式(d−4)で表される化合物の製造が容易である点から、ジヒドロインドロン環の6位に結合するのが好ましく、Rd11はジヒドロインドロン環の4位に結合するのが好ましい。同様の観点から、Rd9、Rd10、及びRd11は、好ましくは水素原子である。
式(d−4)で表される化合物は、幾何異性体としてEE体、ZZ体、EZ体を有するが、これらのいずれかの単一の化合物であってもよいし、これらの幾何異性体の混合物であってもよい。
式(d−4)で表される化合物は、例えば、国際公開第2000/24736号、及び国際公開第2010/081624号に記載された方法により製造することができる。
In formula (d-4), X d represents a double bond, and each is a geometric isomer, which is independently an E-form or a Z-form, and R d9 is independently a hydrogen atom, a methyl group, a nitro group, or methoxy. A group, a bromine atom, a chlorine atom, a fluorine atom, a carboxy group, or a sulfo group, R d10's each independently represent a hydrogen atom, a methyl group, or a phenyl group, and R d11's each independently represent a hydrogen atom. , Methyl group or chlorine atom.
The compound represented by the formula (d-4) can be used alone or in combination of two or more kinds.
From the viewpoint of easy production of the compound represented by the formula (d-4), R d9 is preferably bonded to the 6-position of the dihydroindolone ring, and R d11 is bonded to the 4-position of the dihydroindolone ring. Preferably. From the same viewpoint, R d9 , R d10 , and R d11 are preferably hydrogen atoms.
The compound represented by the formula (d-4) has EE isomers, ZZ isomers, and EZ isomers as geometric isomers, but may be a single compound of any of these isomers, or geometric isomers of these isomers. May be a mixture of.
The compound represented by the formula (d-4) can be produced, for example, by the method described in International Publication No. 2000/24736 and International Publication No. 2010/081624.

感光性樹脂組成物中においてラクタム系顔料を良好に分散させるためには、ラクタム系顔料の平均粒子径は10nm以上1000nm以下であるのが好ましい。 In order to satisfactorily disperse the lactam pigment in the photosensitive resin composition, the average particle diameter of the lactam pigment is preferably 10 nm or more and 1000 nm or less.

さらに、銀錫(AgSn)合金を主成分とする微粒子(以下、「AgSn合金微粒子」という。)も黒色顔料として好ましく用いられる。このAgSn合金微粒子は、AgSn合金が主成分であればよく、他の金属成分として、例えば、Ni、Pd、Au等が含まれていてもよい。
このAgSn合金微粒子の平均粒子径は、1nm以上300nm以下が好ましい。
Further, fine particles containing a silver tin (AgSn) alloy as a main component (hereinafter referred to as “AgSn alloy fine particles”) are also preferably used as a black pigment. The AgSn alloy fine particles only need to contain an AgSn alloy as a main component, and may contain Ni, Pd, Au or the like as another metal component.
The average particle diameter of the AgSn alloy fine particles is preferably 1 nm or more and 300 nm or less.

AgSn合金は、化学式AgxSnにて表した場合、化学的に安定したAgSn合金が得られるxの範囲は1≦x≦10であり、化学的安定性と黒色度とが同時に得られるxの範囲は3≦x≦4である。
ここで、上記xの範囲でAgSn合金中のAgの質量比を求めると、
x=1の場合、 Ag/AgSn=0.4762
x=3の場合、 3・Ag/Ag3Sn=0.7317
x=4の場合、 4・Ag/Ag4Sn=0.7843
x=10の場合、10・Ag/Ag10Sn=0.9008
となる。
従って、このAgSn合金は、Agを47.6質量%以上90質量%以下含有した場合に化学的に安定なものとなり、Agを73.17質量%以上78.43質量%以下含有した場合にAg量に対し効果的に化学的安定性と黒色度とを得ることができる。
When the AgSn alloy is represented by the chemical formula AgxSn, the range of x in which a chemically stable AgSn alloy is obtained is 1≦x≦10, and the range of x in which chemical stability and blackness are simultaneously obtained is 3≦x≦4.
Here, when the mass ratio of Ag in the AgSn alloy is calculated in the range of x,
When x=1, Ag/AgSn=0.4762
When x=3, 3·Ag/Ag3Sn=0.7317
When x=4, 4·Ag/Ag4Sn=0.7843
When x=10, 10·Ag/Ag10Sn=0.908
Becomes
Therefore, this AgSn alloy becomes chemically stable when Ag is contained in an amount of 47.6% by mass or more and 90% by mass or less, and Ag is contained in an amount of 73.17% by mass or more and 78.43% by mass or less. Chemical stability and blackness can be effectively obtained with respect to the amount.

このAgSn合金微粒子は、通常の微粒子合成法を用いて作製することができる。微粒子合成法としては、気相反応法、噴霧熱分解法、アトマイズ法、液相反応法、凍結乾燥法、水熱合成法等が挙げられる。 The AgSn alloy fine particles can be produced by using an ordinary fine particle synthesis method. Examples of the fine particle synthesis method include a gas phase reaction method, a spray pyrolysis method, an atomization method, a liquid phase reaction method, a freeze-drying method, and a hydrothermal synthesis method.

AgSn合金微粒子は絶縁性の高いものであるが、感光性樹脂組成物の用途によっては、さらに絶縁性を高めるため、表面を絶縁膜で覆うようにしても構わない。このような絶縁膜の材料としては、金属酸化物又は有機高分子化合物が好適である。
金属酸化物としては、絶縁性を有する金属酸化物、例えば、酸化ケイ素(シリカ)、酸化アルミニウム(アルミナ)、酸化ジルコニウム(ジルコニア)、酸化イットリウム(イットリア)、酸化チタン(チタニア)等が好適に用いられる。
また、有機高分子化合物としては、絶縁性を有する樹脂、例えば、ポリイミド、ポリエーテル、ポリアクリレート、ポリアミン化合物等が好適に用いられる。
The AgSn alloy fine particles have a high insulating property, but the surface may be covered with an insulating film in order to further improve the insulating property depending on the use of the photosensitive resin composition. As a material of such an insulating film, a metal oxide or an organic polymer compound is suitable.
As the metal oxide, a metal oxide having an insulating property, for example, silicon oxide (silica), aluminum oxide (alumina), zirconium oxide (zirconia), yttrium oxide (yttria), titanium oxide (titania), or the like is preferably used. Be done.
Further, as the organic polymer compound, a resin having an insulating property, for example, polyimide, polyether, polyacrylate, polyamine compound or the like is preferably used.

絶縁膜の膜厚は、AgSn合金微粒子の表面の絶縁性を十分に高めるためには1nm以上100nm以下の厚みが好ましく、より好ましくは5nm以上50nm以下である。
絶縁膜は、表面改質技術あるいは表面のコーティング技術により容易に形成することができる。特に、テトラエトキシシラン、アルミニウムトリエトキシド等のアルコキシドを用いれば、比較的低温で膜厚の均一な絶縁膜を形成することができるので好ましい。
The thickness of the insulating film is preferably 1 nm or more and 100 nm or less, and more preferably 5 nm or more and 50 nm or less in order to sufficiently enhance the insulating property of the surface of the AgSn alloy fine particles.
The insulating film can be easily formed by a surface modification technique or a surface coating technique. In particular, it is preferable to use an alkoxide such as tetraethoxysilane or aluminum triethoxide because an insulating film having a uniform thickness can be formed at a relatively low temperature.

黒色顔料としては、上述のペリレン系顔料、ラクタム系顔料、AgSn合金微粒子単独でも用いてもよいし、これらを組み合わせて用いてもよい。
その他、黒色顔料は、色調の調整の目的等で、赤、青、緑、黄等の色相の色素を含んでいてもよい。黒色顔料の他の色相の色素は、公知の色素から適宜選択することができる。例えば、黒色顔料の他の色相の色素としては、上記の種々の顔料を用いることができる。黒色顔料の他の色相の色素の使用量は、黒色顔料の全質量に対して、15質量%以下が好ましく、10質量%以下がより好ましい。
As the black pigment, the above-mentioned perylene pigment, lactam pigment, and AgSn alloy fine particles may be used alone or in combination.
In addition, the black pigment may contain a dye having a hue such as red, blue, green, or yellow for the purpose of adjusting the color tone. The dye of another hue of the black pigment can be appropriately selected from known dyes. For example, the above-mentioned various pigments can be used as the dye having other hue than the black pigment. The amount of the dye of another hue of the black pigment used is preferably 15% by mass or less, and more preferably 10% by mass or less, based on the total mass of the black pigment.

以上説明した黒色顔料とともに、又は黒色顔料に変えて、黒色又は有彩色の顔料及び/又は染料を2種以上組み合わせて含む黒色組成物を用いることができる。
黒色組成物におけるカーボンブラックの含有量は3質量%以下が好ましい。カーボンブラックの含有量が3質量%以下である黒色組成物を用いることにより、現像後の浮遊物や現像残渣の発生を抑制しやすい。
黒色組成物におけるカーボンブラックの含有量は2質量%以下がより好ましく、1質量%以下がさらに好ましく、0質量%が特に好ましい。
A black composition containing two or more kinds of black or chromatic pigments and/or dyes in combination can be used together with the above-described black pigment or in place of the black pigment.
The content of carbon black in the black composition is preferably 3% by mass or less. By using a black composition having a carbon black content of 3% by mass or less, it is easy to suppress the generation of floating substances and development residues after development.
The content of carbon black in the black composition is more preferably 2% by mass or less, further preferably 1% by mass or less, and particularly preferably 0% by mass.

黒色組成物に含まれる顔料及び染料の色相は特に限定されない。黒色組成物は、黒色の顔料及び/又は染料を含んでいてもよい。黒色組成物は、複数の黒色の着色剤の組み合わせであってもよい。この場合、黒色の着色剤としては、例えば、ペリレンブラック、アニリンブラック、及び黒色アゾ化合物等を用いることができる。
黒色組成物には、組成物が黒色を呈するように、黒色以外の色相の顔料及び/又は染料が2種以上組み合わせて配合されてもよい。
The hue of the pigment and dye contained in the black composition is not particularly limited. The black composition may include a black pigment and/or dye. The black composition may be a combination of multiple black colorants. In this case, as the black colorant, for example, perylene black, aniline black, a black azo compound or the like can be used.
The black composition may be blended with two or more kinds of pigments and/or dyes having a hue other than black so that the composition exhibits a black color.

黒色の色相の微妙な調整が可能であることや、現像後の浮遊物や現像残渣の発生を抑制しやすいことから、黒色組成物は、単一種の着色剤からなる着色剤よりも、複数種の有彩色の着色剤の組み合わせであるのが好ましい。 Since it is possible to finely adjust the hue of black and it is easy to suppress the generation of floating matters and development residues after development, the black composition has a plurality of types than a colorant composed of a single type of colorant. The combination of the chromatic colorants is preferable.

黒色組成物は、例えば、青色、紫色、黄色、赤色、橙色の5色の有機顔料の中から選択された2種以上の有機顔料の組み合わせであるのが好ましい。
上記5色の有機顔料の中から2色以上の有機顔料を組み合わせることにより、擬似黒色化された色相を表することができる。ここで「擬似黒色」とは、理想的には色彩学的な黒色であるが、黒色組成物を用いて形成される黒色膜の用途において許容される色相であればよい。
The black composition is preferably, for example, a combination of two or more kinds of organic pigments selected from organic pigments of five colors of blue, purple, yellow, red, and orange.
By combining two or more organic pigments among the above five organic pigments, a pseudo-blackened hue can be obtained. Here, the "pseudo black" is ideally a chromatic black color, but may be any hue that is acceptable in the application of the black film formed using the black composition.

疑似黒色を呈する黒色組成物における各色相の有機顔料の比率(質量比)は、好ましくは、(青色有機顔料)/(黄色有機顔料+橙色有機顔料)/(赤色有機顔料+紫色有機顔料)=(30質量%以上60質量%以下)/(0質量%以上50質量%以下)/(5質量%以上70質量%以下)である。 The ratio (mass ratio) of the organic pigment of each hue in the black composition exhibiting a pseudo black is preferably (blue organic pigment)/(yellow organic pigment+orange organic pigment)/(red organic pigment+purple organic pigment)= (30 mass% or more and 60 mass% or less)/(0 mass% or more and 50 mass% or less)/(5 mass% or more and 70 mass% or less).

上記の5色の有機顔料としては、従来から使用されている公知のものが使用できる。
青色有機顔料としては、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、及びC.I.ピグメントブルー60を挙げることができる。
紫色有機顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット19、及びC.I.ピグメントバイオレット23を挙げることができる。
黄色有機顔料としては、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー180、及びC.I.ピグメントイエロー181を挙げることができる。
橙色有機顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ69、C.I.ピグメントオレンジ71、及びC.I.ピグメントオレンジ73を挙げることができる。
赤色有機顔料としては、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド256、C.I.ピグメントレッド264、及びC.I.ピグメントレッド272を挙げることができる。
Known organic pigments that have been conventionally used can be used as the above five-color organic pigments.
Examples of blue organic pigments include C.I. I. Pigment Blue 15:3, C.I. I. Pigment Blue 15:4, C.I. I. Pigment Blue 15:6, and C.I. I. Pigment Blue 60 can be mentioned.
Examples of purple organic pigments include C.I. I. Pigment Violet 19, and C.I. I. Pigment Violet 23 can be mentioned.
Examples of the yellow organic pigment include C.I. I. Pigment Yellow 83, C.I. I. Pigment Yellow 110, C.I. I. Pigment Yellow 128, C.I. I. Pigment Yellow 138, C.I. I. Pigment Yellow 139, C.I. I. Pigment Yellow 150, C.I. I. Pigment Yellow 151, C.I. I. Pigment Yellow 154, C.I. I. Pigment Yellow 155, C.I. I. Pigment Yellow 180, and C.I. I. Pigment Yellow 181 can be mentioned.
Examples of orange organic pigments include C.I. I. Pigment Orange 38, C.I. I. Pigment Orange 43, C.I. I. Pigment Orange 64, C.I. I. Pigment Orange 69, C.I. I. Pigment Orange 71, and C.I. I. Pigment Orange 73 can be mentioned.
Examples of red organic pigments include C.I. I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 166, C.I. I. Pigment Red 177, C.I. I. Pigment Red 179, C.I. I. Pigment Red 242, C.I. I. Pigment Red 224, C.I. I. Pigment Red 254, C.I. I. Pigment Red 256, C.I. I. Pigment Red 264, and C.I. I. Pigment Red 272 may be mentioned.

なかでも、青色有機顔料がC.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、及びC.I.ピグメントブルー15:6からなる群より選択される少なくとも1種であり、紫色有機顔料がC.I.ピグメントバイオレット23であり、黄色有機顔料がC.I.ピグメントイエロー83及び/又はC.I.ピグメントイエロー139であり、橙色有機顔料がC.I.ピグメントオレンジ43及び/又はC.I.ピグメントオレンジ64であり、赤色有機顔料がC.I.ピグメントレッド254及び/又はC.I.ピグメントレッド256、であるのが好ましい。
これらの有機顔料を組み合わせて用いることにより、良好な黒色の色相であり、光学濃度(OD値)に優れる黒色の硬化膜を形成しやすい。
る。
Among them, the blue organic pigment is C.I. I. Pigment Blue 15:3, C.I. I. Pigment Blue 15:4, and C.I. I. Pigment Blue 15:6, which is at least one selected from the group consisting of C.I. I. Pigment Violet 23, and the yellow organic pigment is C.I. I. Pigment Yellow 83 and/or C.I. I. Pigment Yellow 139, and the orange organic pigment is C.I. I. Pigment Orange 43 and/or C.I. I. Pigment Orange 64, and the red organic pigment is C.I. I. Pigment Red 254 and/or C.I. I. Pigment Red 256 is preferable.
By using these organic pigments in combination, it is easy to form a black cured film having a good black hue and an excellent optical density (OD value).
It

疑似黒色の黒色組成物を得るためには、青色の有機顔料、黄色の有機顔料、及び橙色の有機顔料から選ばれる少なくとも1種とを組み合わせるのが好ましく、これらの有機顔料と、赤色の有機顔料及び紫色の有機顔料から選ばれる少なくとも1種の有機顔料とをさらに組み合わせるのがより好ましい。
具体的な各色の有機顔料に属する顔料の組み合わせとしては、例えば、
・C.I.ピグメントブルー15:4とC.I.ピグメントイエロー139とC.I.ピグメントレッド254との組み合わせ、
・C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントオレンジ64とC.I.ピグメントバイオレット23との組み合わせ、
・C.I.ピグメントブルー15:4又は15:3とC.I.ピグメントイエロー83とC.I.ピグメントバイオレット23とC.I.ピグメントレッド254との組み合わせ、及び、
・C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23とC.I.ピグメントレッド256との組み合わせ等が好ましい。
In order to obtain a pseudo-black black composition, it is preferable to combine at least one selected from blue organic pigments, yellow organic pigments, and orange organic pigments. These organic pigments and red organic pigments are preferably combined. And more preferably at least one organic pigment selected from purple organic pigments.
Specific combinations of pigments belonging to organic pigments of respective colors include, for example,
C. I. Pigment Blue 15:4 and C.I. I. Pigment Yellow 139 and C.I. I. Pigment Red 254,
C. I. Pigment Blue 15:6 and C.I. I. Pigment Orange 64 and C.I. I. Pigment Violet 23,
C. I. Pigment Blue 15:4 or 15:3 and C.I. I. Pigment Yellow 83 and C.I. I. Pigment Violet 23 and C.I. I. Pigment Red 254, and
C. I. Pigment Blue 15:6 and C.I. I. Pigment Violet 23 and C.I. I. Pigment Red 256 and the like are preferable.

上記の着色剤(D)を感光性樹脂組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤(D)として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。
なお、分散剤に起因する腐食性のガスが硬化膜から生じる場合もある。このため、顔料が、分散剤を用いることなく分散処理されるのも好ましい態様の一例である。
In order to uniformly disperse the above colorant (D) in the photosensitive resin composition, a dispersant may be further used. As such a dispersant, it is preferable to use a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant. In particular, when carbon black is used as the colorant (D), it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.
Note that a corrosive gas caused by the dispersant may be generated from the cured film. Therefore, it is also an example of a preferred embodiment that the pigment is subjected to dispersion treatment without using a dispersant.

なお、感光性樹脂組成物において、顔料と染料とを組み合わせて用いてもよい。この染料は公知の材料のなかから適宜選択すればよい。
感光性樹脂組成物に適用可能な染料としては、例えば、アゾ染料、金属錯塩アゾ染料、アントラキノン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、シアニン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、フタロシアニン染料等を挙げることができる。
また、これら染料については、レーキ化(造塩化)することで有機溶媒等に分散させ、これを着色剤(D)として用いることができる。
これらの染料以外にも、例えば、特開2013−225132号公報、特開2014−178477号公報、特開2013−137543号公報、特開2011−38085号公報、特開2014−197206号公報等に記載の染料等も好ましく用いることができる。
In the photosensitive resin composition, a pigment and a dye may be used in combination. This dye may be appropriately selected from known materials.
Examples of dyes applicable to the photosensitive resin composition include azo dyes, metal complex salt azo dyes, anthraquinone dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, naphthoquinone dyes, quinoneimine dyes, methine dyes, and phthalocyanine dyes. Can be mentioned.
Further, these dyes can be used as a colorant (D) by dispersing them in an organic solvent or the like by lake formation (chlorination).
In addition to these dyes, for example, JP2013-225132A, JP2014-178477A, JP2013-137543A, JP2011-38085A, JP2014-197206A, and the like. The described dyes and the like can also be preferably used.

感光性樹脂組成物における着色剤(D)の使用量は、本発明の目的を阻害しない範囲で適宜選択できる。典型的には、着色剤(D)の使用量は、感光性樹脂組成物の固形分全体の質量に対して、2質量%以上75質量%以下が好ましく、3質量%以上70質量%以下がより好ましい。 The amount of the colorant (D) used in the photosensitive resin composition can be appropriately selected within a range that does not impair the object of the present invention. Typically, the amount of the colorant (D) used is preferably 2% by mass or more and 75% by mass or less, and 3% by mass or more and 70% by mass or less, based on the total mass of the solid content of the photosensitive resin composition. More preferable.

特に、感光性樹脂組成物を使用してブラックマトリクスを形成する場合には、ブラックマトリクスの被膜1μm当たりのOD値が4以上となるように感光性樹脂組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜1μm当たりのOD値が4以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。 Particularly, when the black matrix is formed using the photosensitive resin composition, the amount of the light-shielding agent in the photosensitive resin composition should be adjusted so that the OD value per 1 μm of the black matrix film is 4 or more. Is preferred. When the OD value per 1 μm of the coating in the black matrix is 4 or more, a sufficient display contrast can be obtained when used in the black matrix of a liquid crystal display.

着色剤(D)として顔料を用いる場合、顔料は分散剤の存在下又は不存在下に適当な濃度で分散させた分散液とした後、感光性樹脂組成物に添加することが好ましい。
尚、本明細書においては、上述の顔料の使用量について、この存在する分散剤も含む値として定義することができる。
When a pigment is used as the colorant (D), it is preferable that the pigment is dispersed in the presence or absence of a dispersant at an appropriate concentration and then added to the photosensitive resin composition.
In the present specification, the amount of the above-mentioned pigment used can be defined as a value including the existing dispersant.

<増感剤(E)>
感光性樹脂組成物は、上記の光重合開始剤とともに増感剤(E)を含有していてもよい。感光性樹脂組成物が増感剤(E)を含有することで、LED露光等の照射エネルギーの低い光源を用いても良好に硬化される。
<Sensitizer (E)>
The photosensitive resin composition may contain a sensitizer (E) together with the above photopolymerization initiator. Since the photosensitive resin composition contains the sensitizer (E), it is well cured even when using a light source with low irradiation energy such as LED exposure.

増感剤(E)としては、従来より、感光性樹脂組成物において光重合開始剤の増感目的で使用されている化合物を特に制限なく使用することができる。 As the sensitizer (E), compounds conventionally used for the purpose of sensitizing a photopolymerization initiator in a photosensitive resin composition can be used without particular limitation.

増感剤(E)としては、置換基としてアルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基(=O)からなる群より選択される1種以上を有する化合物が好ましい。当該置換基を有する化合物としては、縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物が好ましい。
縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物は、アルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基(=O)以外の置換基を有していてもよい、かかる置換基の例としては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数1以上20以下のハロゲン化アルキル基、炭素原子数2以上20以下のアルコキシアルキル基、炭素原子数2以上20以下の脂肪族アシル基、炭素原子数7以上11以下の芳香族アシル基(アロイル基)、シアノ基、ニトロ基、ニトロソ基、ハロゲン原子、水酸基、及びメルカプト基等が挙げられる。
The sensitizer (E) is preferably a compound having at least one selected from the group consisting of an alkoxy group, a substituted carbonyloxy group, and an oxo group (═O) as a substituent. The compound having the substituent is preferably a condensed polycyclic aromatic hydrocarbon compound or a condensed polycyclic aromatic heterocyclic compound.
The condensed polycyclic aromatic hydrocarbon compound or the condensed polycyclic aromatic heterocyclic compound may have a substituent other than an alkoxy group, a substituted carbonyloxy group, and an oxo group (═O). Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a halogenated alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 20 carbon atoms, and 2 to 20 carbon atoms. And aliphatic acyl groups having 7 to 11 carbon atoms (aroyl groups), cyano groups, nitro groups, nitroso groups, halogen atoms, hydroxyl groups, mercapto groups, and the like.

アルコキシ基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。アルコキシ基の炭素原子数は、特に限定されないが、1以上20以下が好ましく、1以上12以下がより好ましく、1以上6以下が特に好ましい。
アルコキシ基の好適な例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ、n−ブチルオキシ、イソブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、2−エチルヘキシル基、n−ノニルオキシ基、及びn−デシルオキシ基等が挙げられる。
The alkoxy group may be linear or branched. The number of carbon atoms of the alkoxy group is not particularly limited, but is preferably 1 or more and 20 or less, more preferably 1 or more and 12 or less, and particularly preferably 1 or more and 6 or less.
Preferable examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, n-propyloxy group, isopropyloxy, n-butyloxy, isobutyloxy group, tert-butyloxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n. -Heptyloxy group, n-octyloxy group, 2-ethylhexyl group, n-nonyloxy group, n-decyloxy group and the like.

置換カルボニルオキシ基は、−O−CO−Aで表される基である。Aは、増感剤(E)が所望する増感作用を有する限り特に限定されず、種々の有機基であってよい。Aとしては、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数6以上10以下のアリール基、炭素原子数1以上20以下のアルコキシ基、炭素原子数6以上10以下のアリールオキシ基が好ましい。 The substituted carbonyloxy group is a group represented by -O-CO- Ae . A e is not particularly limited as long as the sensitizer (E) has a desired sensitizing action, and may be various organic groups. As A, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, and an aryloxy group having 6 to 10 carbon atoms are preferable. ..

アリール基又はアリールオキシ基は、1又は複数の置換基を有していてもよい。置換基の種類は、本発明の目的を阻害しない限り特に限定されない。アリール基又はアリールオキシ基が複数の置換基を有する場合、複数の置換基は同一であっても異なっていてもよい。
置換基の好適な例としては、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数6以上10以下のアリールオキシ基、炭素原子数6以上10以下のアリールオキシ基、炭素原子数2以上7以下の脂肪族アシル基、炭素原子数7以上11以下の芳香族アシル基(アロイル基)、シアノ基、ニトロ基、ニトロソ基、ハロゲン原子、水酸基、及びメルカプト基等が挙げられる。
The aryl group or aryloxy group may have one or more substituents. The type of substituent is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. When the aryl group or aryloxy group has a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.
Preferable examples of the substituent include an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an aryloxy group having 6 to 10 carbon atoms, and 6 to 10 carbon atoms. An aryloxy group, an aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an aromatic acyl group (aroyl group) having 7 to 11 carbon atoms, a cyano group, a nitro group, a nitroso group, a halogen atom, a hydroxyl group, and Examples thereof include a mercapto group.

がアルキル基又はアルコキシ基である場合、これらの基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
アルキル基の好適な例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、及び2−エチルヘキシル基等が挙げられる。
アリール基の好適な例としては、フェニル基、o−トリル基、m−トリル基、p−トリル基、α−ナフチル基、β−ナフチル基等が挙げられる。
アルコキシ基の好適な例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、及び2−エチルヘキシルオキシ基等が挙げられる。
When A e is an alkyl group or an alkoxy group, these groups may be linear or branched.
Preferable examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group. , N-octyl group, and 2-ethylhexyl group.
Preferable examples of the aryl group include phenyl group, o-tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group, α-naphthyl group and β-naphthyl group.
Preferable examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, n-propyloxy group, isopropyloxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, tert-butyloxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group. , N-heptyloxy group, n-octyloxy group, and 2-ethylhexyloxy group.

アルコキシ基、置換カルボニルオキシ基、及びオキソ基(=O)からなる群より選択される1種以上により置換される縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物において、縮合環を構成する環数は、所望する増感作用が得られる限り特に限定されない。環数は2以上が好ましく、3以上がより好ましく、3以上6以下が特に好ましく、3又は4が最も好ましい。
なお、縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物が芳香族性を有する限り、縮合多環を形成する単環は、必ずしも芳香環でなくてもよい。
In a condensed polycyclic aromatic hydrocarbon compound or a condensed polycyclic aromatic heterocyclic compound substituted by one or more selected from the group consisting of an alkoxy group, a substituted carbonyloxy group, and an oxo group (═O), The number of rings constituting the condensed ring is not particularly limited as long as the desired sensitizing action can be obtained. The number of rings is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, particularly preferably 3 or more and 6 or less, and most preferably 3 or 4.
The monocycle forming the condensed polycycle does not necessarily have to be an aromatic ring as long as the condensed polycyclic aromatic hydrocarbon compound or the condensed polycyclic aromatic heterocyclic compound has aromaticity.

縮合多環式芳香族炭化水素化合物、又は縮合多環式芳香族複素環化合物に含まれる縮合多環の好適な例としては、アセナフチレン環、フェナントレン環、アントラセン環、ナフタセン環、キサンテン環、及びチオキサンテン環が挙げられる。これらの環の中では、アントラセン環、ナフタセン環、及びチオキサンテン環が好ましい。 Preferred examples of the condensed polycyclic aromatic hydrocarbon compound or the condensed polycycle contained in the condensed polycyclic aromatic heterocyclic compound include an acenaphthylene ring, a phenanthrene ring, an anthracene ring, a naphthacene ring, a xanthene ring, and thiol. A xanthene ring is mentioned. Among these rings, anthracene ring, naphthacene ring, and thioxanthene ring are preferable.

アントラセン環を含む化合物であって増感剤(E)として好適に使用される化合物の具体例としては、9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘプチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(2−エチルヘキサノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−オクチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ノニルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−デシルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、1−メチル−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(4−エチル−ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(4−エチル−ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−エチル−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−(t−ブチル)−9,10−ビス(4−(tert−ブチル)−ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−(tert−ブチル)−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(4−(t−ブチル)−ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−(tert−ブチル)−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−ペンチル−9,10−ビス(4−(tert−ブチル)−ベンゾイルオキシ)アントラセン、及び2−ペンチル−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン等が挙げられる。 Specific examples of the compound containing an anthracene ring and preferably used as the sensitizer (E) include 9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 9 ,10-Bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene , 9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-heptylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(2 -Ethylhexanoyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-octylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-nonylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-decylcarbonyloxy)anthracene, 9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, 9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(acetyl) Oxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy) ) Anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-pentyl) Carbonyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(4- Methylbenzoyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(propionyl) Oxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene 1,1-methyl-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(n-pentylcarbonyl) Oxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(4-methyl) Benzoyloxy)anthracene, 1-methyl-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(propionyloxy) ) Anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-butyl) Carbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n -Hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(4-ethyl-benzoyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis (2-naphthoyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(n -Propylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis (Isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10 -Bis(benzoyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(4-ethyl-benzoyloxy)anthracene, 1-ethyl-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 1-(tert- Butyl)-9,1 0-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(n-butylcarbonyl) Oxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 1-(tert. -Butyl)-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 1-(t-butyl)-9,10-bis (4-(tert-butyl)-benzoyloxy)anthracene, 1-(tert-butyl)-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis( n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)- 9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(4-( t-butyl)-benzoyloxy)anthracene, 2-(tert-butyl)-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-pentyl-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene , 2-pentyl- Examples thereof include 9,10-bis(4-(tert-butyl)-benzoyloxy)anthracene and 2-pentyl-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene.

ハロゲン原子で置換されたアントラセン化合物も、増感剤(E)として好ましい。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が挙げられる。 Anthracene compounds substituted with a halogen atom are also preferable as the sensitizer (E). Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, or an iodine atom.

ハロゲン原子で置換されたアントラセン化合物であって、増感剤(E)として好ましい化合物の具体例としては、2−クロロ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、1−クロロ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、2−フルオロ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、1−フルオロ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(ベンゾイルオキシ)アントラセン、1−ブロモ−9,10−ビス(4−メチルベンゾイルオキシ)アントラセン、及び1−ブロモ−9,10−ビス(2−ナフトイルオキシ)アントラセン等が挙げられる。 Specific examples of the anthracene compound substituted with a halogen atom, which is preferable as the sensitizer (E), include 2-chloro-9,10-bis(acetyloxy)anthracene and 2-chloro-9,10-. Bis(propionyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis (N-Butylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10 -Bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, 2-chloro-9, 10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10- Bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro-9, 10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-chloro- 9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, 1-chloro-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-fluoro -9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-fluoro-9 ,10-Bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene , 2-fluoro-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(benzoyloxy) Anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, 2-fluoro-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(acetyloxy ) Anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy) Anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(n-pentylcarbonyl) Oxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(4-methyl) Benzoyloxy)anthracene, 1-fluoro-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(propionyloxy) ) Anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-butyl) Carbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n -Hexylcarbonyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis( 2-naphthoyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bi Sus(n-propylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo-9, 10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(n-pentylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(n-hexylcarbonyloxy)anthracene, 1-bromo- Examples include 9,10-bis(benzoyloxy)anthracene, 1-bromo-9,10-bis(4-methylbenzoyloxy)anthracene, and 1-bromo-9,10-bis(2-naphthoyloxy)anthracene. Be done.

アルコキシ基で置換されたアントラセン化合物も、増感剤(E)として好ましい。
アルコキシ基で置換されたアントラセン化合物であって、増感剤(E)として好ましい化合物の具体例としては、9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ビス(n−プロピルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ブチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ペンチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−オクチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、9−メトキシアントラセン、9−エトキシアントラセン、9−(n−プロピルオキシ)アントラセン、9−(n−ブチルオキシ)アントラセン、9−(n−ペンチルオキシ)アントラセン、9−(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、9−(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、9−(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、9−(n−オクチルオキシ)アントラセン、9−(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ジメトキシアントラセン、2−メチル−9,10−ジエトキシアントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9,10−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9,10−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−メトキシアントラセン、2−メチル−9−エトキシアントラセン、2−メチル−9−(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−メチル−9−(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−メトキシアントラセン、2−エチル−9−エトキシアントラセン、2−エチル−9−(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ジメトキシアントラセン、2−クロロ−9,10−ジエトキシアントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9,10−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ジメトキシアントラセン、2−ブロモ−9,10−ジエトキシアントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9,10−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−メトキシアントラセン、2−クロロ−9−エトキシアントラセン、2−クロロ−9−(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(n−オクチルオキシ)アントラセン、2−クロロ−9−(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−メトキシアントラセン、2−ブロモ−9−エトキシアントラセン、2−ブロモ−9−(n−プロピルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−(n−ブチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−(n−ペンチルオキシ)アントラセン、2−エチル−9−(イソペンチルオキシオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−(n−ヘキシルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−(n−ヘプチルオキシ)アントラセン、2−ブロモ−9−(n−オクチルオキシ)アントラセン、及び2−ブロモ−9−(2−エチルヘキシルオキシ)アントラセン等が挙げられる。
Anthracene compounds substituted with an alkoxy group are also preferable as the sensitizer (E).
Specific examples of the anthracene compound substituted with an alkoxy group and preferable as the sensitizer (E) include 9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene and 9,10-bis(n-). Propyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-butyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-pentyloxy)anthracene, 9,10-bis(isopentyloxyoxy)anthracene, 9,10-bis(n -Hexyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-heptyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-octyloxy)anthracene, 9,10-bis(2-ethylhexyloxy)anthracene, 9-methoxyanthracene, 9-ethoxyanthracene, 9-(n-propyloxy)anthracene, 9-(n-butyloxy)anthracene, 9-(n-pentyloxy)anthracene, 9-(isopentyloxyoxy)anthracene, 9-(n-hexyl) Oxy)anthracene, 9-(n-heptyloxy)anthracene, 9-(n-octyloxy)anthracene, 9-(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-dimethoxyanthracene, 2-methyl-9. , 10-diethoxyanthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-propyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-butyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis( n-pentyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-hexyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis (N-heptyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(n-octyloxy)anthracene, 2-methyl-9,10-bis(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10- Dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-propyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-butyloxy)anthracene, 2- Ethyl-9,10-bis(n-pentyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-hexyloxy)anthracene, 2 -Ethyl-9,10-bis(n-he Butyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(n-octyloxy)anthracene, 2-ethyl-9,10-bis(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-methyl-9-methoxyanthracene, 2-methyl -9-Ethoxyanthracene, 2-methyl-9-(n-propyloxy)anthracene, 2-methyl-9-(n-butyloxy)anthracene, 2-methyl-9-(n-pentyloxy)anthracene, 2-methyl -9-(Isopentyloxyoxy)anthracene, 2-methyl-9-(n-hexyloxy)anthracene, 2-methyl-9-(n-heptyloxy)anthracene, 2-methyl-9-(n-octyloxy) ) Anthracene, 2-methyl-9-(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-methoxyanthracene, 2-ethyl-9-ethoxyanthracene, 2-ethyl-9-(n-propyloxy)anthracene, 2 -Ethyl-9-(n-butyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-(n-pentyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-ethyl-9-(n-hexyl) Oxy)anthracene, 2-ethyl-9-(n-heptyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-(n-octyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-chloro- 9,10-Dimethoxyanthracene, 2-chloro-9,10-diethoxyanthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-propyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-butyloxy) Anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-pentyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-hexyloxy) ) Anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-heptyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(n-octyloxy)anthracene, 2-chloro-9,10-bis(2-ethylhexyl) (Oxy)anthracene, 2-bromo-9,10-dimethoxyanthracene, 2-bromo-9,10-diethoxyanthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-propyloxy)anthracene, 2-bromo-9, 10-bis(n-butyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis (N-Pentyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-hexyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10- Bis(n-heptyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(n-octyloxy)anthracene, 2-bromo-9,10-bis(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-chloro-9-methoxy Anthracene, 2-chloro-9-ethoxyanthracene, 2-chloro-9-(n-propyloxy)anthracene, 2-chloro-9-(n-butyloxy)anthracene, 2-chloro-9-(n-pentyloxy) Anthracene, 2-chloro-9-(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-chloro-9-(n-hexyloxy)anthracene, 2-chloro-9-(n-heptyloxy)anthracene, 2-chloro-9- (N-octyloxy)anthracene, 2-chloro-9-(2-ethylhexyloxy)anthracene, 2-bromo-9-methoxyanthracene, 2-bromo-9-ethoxyanthracene, 2-bromo-9-(n-propyl). Oxy)anthracene, 2-bromo-9-(n-butyloxy)anthracene, 2-bromo-9-(n-pentyloxy)anthracene, 2-ethyl-9-(isopentyloxyoxy)anthracene, 2-bromo-9. -(N-Hexyloxy)anthracene, 2-bromo-9-(n-heptyloxy)anthracene, 2-bromo-9-(n-octyloxy)anthracene, and 2-bromo-9-(2-ethylhexyloxy) Anthracene and the like can be mentioned.

以上説明したアントラセン化合物の中では、製造の容易さと、増感剤(E)としての性能の点から、9,10−ビス(アセチルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(プロピオニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘキサノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘプタノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−オクタノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(2−エチルヘキサノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ノナノイルオキシ)アントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、及び9,10−ジブトキシアントラセンが好ましい。 Among the above-described anthracene compounds, 9,10-bis(acetyloxy)anthracene, 9,10-bis(propionyloxy)anthracene, 9 and 10-bis(acetyloxy)anthracene are preferred from the viewpoint of ease of production and performance as the sensitizer (E). ,10-Bis(n-propylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(isopropylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(n-butylcarbonyloxy)anthracene,9,10-bis(isobutylcarbonyloxy)anthracene , 9,10-bis(n-hexanoyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-heptanoyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-octanoyloxy)anthracene, 9,10-bis(2 -Ethylhexanoyloxy)anthracene, 9,10-bis(n-nonanoyloxy)anthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, and 9,10-dibutoxyanthracene are preferred.

ナフタセン環を含む化合物であって増感剤(E)として好適に使用される化合物の具体例としては、
2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(アセチルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(プロピオニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘプチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(アセチルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(プロピオニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−プロピルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソプロピルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソブチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘキシルカルボニルオキシ)ナフタセン、及び2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘプチルボニルオキシ)ナフタセン等のアルキルカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物;
2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(ベンゾイルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(o−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(m−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(p−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(α−ナフトイルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(β−ナフトイルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(ベンゾイルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(o−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(m−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(p−トルオイルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(α−ナフトイルオキシ)ナフタセン、及び2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(β−ナフトイルオキシ)ナフタセン等のアロイルオキシ基置換ナフタセン化合物;
2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(メトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(エトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−プロピルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソプロピルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ブチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソブチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ペンチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘキシルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘプチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−オクチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(メトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(エトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−プロピルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソプロピルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ブチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソブチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ペンチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘキシルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘプチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、及び2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−オクチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン等のアルコキシカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物;並びに、
2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(フェノキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(o−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(m−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(p−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(α−ナフチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−メチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(β−ナフチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(フェノキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(o−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(m−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(p−トリルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(α−ナフチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、及び2−エチル−5,11−ジオキソ−6,12−ビス(β−ナフチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン等のアロイルオキシカルボニルオキシ基置換ナフタセン化合物が挙げられる。
Specific examples of the compound containing a naphthacene ring, which is preferably used as the sensitizer (E), include:
2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(acetyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(propionyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11- Dioxo-6,12-bis(n-propylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isopropylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6. 12-bis(n-butylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isobutylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis( n-pentylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-hexylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n- Heptylcarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(acetyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(propionyloxy)naphthacene, 2- Ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-propylcarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isopropylcarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5. 11-dioxo-6,12-bis(n-butylcarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isobutylcarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo- 6,12-bis(n-pentylcarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-hexylcarbonyloxy)naphthacene, and 2-ethyl-5,11-dioxo-6. An alkylcarbonyloxy group-substituted naphthacene compound such as 12-bis(n-heptylbonyloxy)naphthacene;
2-Methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(benzoyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(o-toluoyloxy)naphthacene, 2-methyl-5 ,11-Dioxo-6,12-bis(m-toluoyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(p-toluoyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11 -Dioxo-6,12-bis(α-naphthoyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(β-naphthoyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo -6,12-bis(benzoyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(o-toluoyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12- Bis(m-toluoyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(p-toluoyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis( aroyloxy group-substituted naphthacene compounds such as α-naphthoyloxy)naphthacene and 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(β-naphthoyloxy)naphthacene;
2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(methoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(ethoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5 11-dioxo-6,12-bis(n-propyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isopropyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11- Dioxo-6,12-bis(n-butyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isobutyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo- 6,12-bis(n-pentyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-hexyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo- 6,12-bis(n-heptyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-octyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo- 6,12-bis(methoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(ethoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis( n-Propyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isopropyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n- Butyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(isobutyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-pentyloxy) Carbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-hexyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-heptyloxy) Carbonyloxy)naphthacene, and an alkoxycarbonyloxy group-substituted naphthacene compound such as 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(n-octyloxycarbonyloxy)naphthacene;
2-Methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(phenoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(o-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl -5,11-Dioxo-6,12-bis(m-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(p-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl -5,11-Dioxo-6,12-bis(α-naphthyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-methyl-5,11-dioxo-6,12-bis(β-naphthyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl -5,11-Dioxo-6,12-bis(phenoxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(o-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5. 11-dioxo-6,12-bis(m-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(p-tolyloxycarbonyloxy)naphthacene, 2-ethyl-5. Aroyloxycarbonyl such as 11-dioxo-6,12-bis(α-naphthyloxycarbonyloxy)naphthacene and 2-ethyl-5,11-dioxo-6,12-bis(β-naphthyloxycarbonyloxy)naphthacene An oxy group-substituted naphthacene compound may be mentioned.

上記のナフタセン環を含む化合物の中でも、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(メトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(エトキシカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソプロピルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(イソブチルオキシカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ブチルカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ペンチルカルボニルオキシ)ナフタセン、5,11−ジオキソ−6,12−ビス(n−ヘプタノイルオキシ)ナフタセンが好ましい。 Among the compounds containing a naphthacene ring, 5,11-dioxo-6,12-bis(methoxycarbonyloxy)naphthacene, 5,11-dioxo-6,12-bis(ethoxycarbonyloxy)naphthacene, 5,11- Dioxo-6,12-bis(isopropyloxycarbonyloxy)naphthacene, 5,11-dioxo-6,12-bis(isobutyloxycarbonyloxy)naphthacene, 5,11-dioxo-6,12-bis(n-butylcarbonyl) Oxy)naphthacene, 5,11-dioxo-6,12-bis(n-pentylcarbonyloxy)naphthacene and 5,11-dioxo-6,12-bis(n-heptanoyloxy)naphthacene are preferred.

増感剤(E)として好適に使用されるチオキサンテン環を含む化合物の具体例としては、チオキサンテン−9−オン、2−メチル−9H−チオキサンテン−9−オン、2−イソプロピル−9H−チオキサンテン−9−オン、1,4−ジメチルチオキサンテン−9−オン、及び3−メチル−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イルアセテート等が挙げられる。 Specific examples of the compound containing a thioxanthene ring which is preferably used as the sensitizer (E) include thioxanthen-9-one, 2-methyl-9H-thioxanthen-9-one and 2-isopropyl-9H-. Examples thereof include thioxanthen-9-one, 1,4-dimethylthioxanthen-9-one, and 3-methyl-9-oxo-9H-thioxanthen-2-yl acetate.

増感剤(E)の含有量は、感光性樹脂組成物中の光重合開始剤(C)100質量部に対して5質量部以上60質量部以下が好ましく、15質量部以上50質量部以下がより好ましい。感光性樹脂組成物が上記範囲内で増感剤を含有すると、特に、露光による硬化反応が均一に進行し、エッジの角度が特に良好なパターン化された硬化膜を形成しやすい。 The content of the sensitizer (E) is preferably 5 parts by mass or more and 60 parts by mass or less, and 15 parts by mass or more and 50 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (C) in the photosensitive resin composition. Is more preferable. When the photosensitive resin composition contains a sensitizer within the above range, the curing reaction due to exposure particularly progresses uniformly, and it is easy to form a patterned cured film having a particularly favorable edge angle.

<有機溶剤(S)>
感光性樹脂組成物は、典型的には、塗布性の調整の目的等で有機溶剤(S)を含んでいてもよい。有機溶剤(S)としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸n−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を組合せて用いてもよい。
<Organic solvent (S)>
The photosensitive resin composition may typically contain an organic solvent (S) for the purpose of adjusting coating properties. Examples of the organic solvent (S) include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n. -Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n- Butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether, etc. ) Alkylene glycol monoalkyl ethers; (poly)alkylenes such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate. Glycol monoalkyl ether acetates; other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone; methyl 2-hydroxypropionate, Lactic acid alkyl esters such as ethyl 2-hydroxypropionate; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionic acid Ethyl, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methoxybutylacetate, 3-methyl-3-methoxybutylacetate, 3-methyl-3-methoxybutyrate. Lepropionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-pentyl formate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate. , Other esters such as methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; N-methylpyrrolidone , N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and other amides. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

有機溶剤(S)の使用量は、感光性樹脂組成物の用途に応じて適宜決定し得る。有機溶剤(S)の使用量としては、一例として、感光性樹脂組成物の固形分濃度が1質量%以上50質量%以下の範囲である量が挙げられる。 The amount of the organic solvent (S) used can be appropriately determined depending on the application of the photosensitive resin composition. The amount of the organic solvent (S) used is, for example, an amount such that the solid content concentration of the photosensitive resin composition is in the range of 1% by mass or more and 50% by mass or less.

<その他の成分>
感光性樹脂組成物には、必要に応じて、これ以外のその他の各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、分散助剤、充填剤、フィラー、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。
<Other ingredients>
The photosensitive resin composition may contain various other additives other than the above, if necessary. Specific examples include dispersion aids, fillers, fillers, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, coagulation inhibitors, thermal polymerization inhibitors, defoamers and surfactants.

感光性樹脂組成物に使用される熱重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を挙げることができる。また、消泡剤としては、シリコーン系、フッ素系等の化合物を、界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン等の化合物を、それぞれ例示できる。 Examples of the thermal polymerization inhibitor used in the photosensitive resin composition include hydroquinone and hydroquinone monoethyl ether. Examples of the defoaming agent include silicone-based and fluorine-based compounds, and examples of the surfactant include anion-based, cation-based and nonionic compounds.

<感光性樹脂組成物の調製方法>
感光性樹脂組成物は、それぞれ所望する量の上記の各成分を均一に混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が顔料等の不溶性の成分を含まない場合、感光性樹脂組成物が均一となるようフィルタを用いて濾過してもよい。
<Method for preparing photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition is prepared by uniformly mixing the desired amounts of the above components. When the prepared photosensitive resin composition does not contain an insoluble component such as a pigment, it may be filtered using a filter so that the photosensitive resin composition becomes uniform.

≪パターン化された硬化膜の製造方法≫
以上説明した感光性樹脂組成物を用いることにより、直進性及び基板への密着性に優れ、且つ断面の形状が良好であるパターン化された硬化膜を形成可能である。
具体的には、前述の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
塗布膜を、位置選択的に露光することと、
露光された前記塗布膜を現像することと、
を含む、方法によりパターン化された硬化膜が製造される。
<<Method for producing patterned cured film>>
By using the photosensitive resin composition described above, it is possible to form a patterned cured film having excellent straightness and adhesion to a substrate and having a good cross-sectional shape.
Specifically, forming a coating film by coating the above-mentioned photosensitive resin composition on a substrate,
Position-selectively exposing the coating film,
Developing the exposed coating film;
A patterned cured film is produced by the method, including:

感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法は特に限定されない。典型的には、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて、基板上に感光性樹脂組成物が塗布される。 The method of applying the photosensitive resin composition onto the substrate is not particularly limited. Typically, a photosensitive resin composition is applied onto a substrate by using a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, or a bar coater, a spinner (rotary coating device), or a non-contact type coating device such as a curtain flow coater. Is applied.

次いで、塗布膜を必要に応じて乾燥させる。乾燥方法は、特に限定されない。乾燥方法としては、例えば、(1)ホットプレートにて80℃以上120℃以下、好ましくは90℃以上100℃以下の温度にて60秒以上120秒以下の間乾燥させる方法、(2)室温にて数時間から数日間放置する方法、(3)温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間から数時間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。 Next, the coating film is dried if necessary. The drying method is not particularly limited. As a drying method, for example, (1) a method of drying at a temperature of 80° C. or higher and 120° C. or lower, preferably 90° C. or higher and 100° C. or lower for 60 seconds or more and 120 seconds or less on a hot plate, (2) room temperature And leaving it in a warm air heater or infrared heater for several tens of minutes to several hours to remove the solvent.

次いで、塗布膜に対して硬化膜のパターンの形状に合わせて位置選択的に露光を行う。典型的には、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射することにより、塗布膜を部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば10mJ/cm以上2000mJ/cm以下程度が好ましい。 Next, the coating film is position-selectively exposed according to the shape of the pattern of the cured film. Typically, the coating film is partially exposed by irradiating an active energy ray such as ultraviolet rays or excimer laser light through a negative mask. The energy dose for irradiation varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 10 mJ/cm 2 or more and 2000 mJ/cm 2 or less.

次いで、露光された塗布膜を、現像液により現像することによって、パターン化された硬化膜を形成する。現像方法は、特に限定されず、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。 Next, the exposed coating film is developed with a developing solution to form a patterned cured film. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spray method or the like can be used. Examples of the developer include organic solvents such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions of sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, quaternary ammonium salts and the like.

現像後、必要に応じて、パターン化された硬化膜に対して200℃以上250℃以下程度の温度でポストベークを行われてもよい。 After development, if necessary, the patterned cured film may be post-baked at a temperature of 200° C. or higher and 250° C. or lower.

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

〔実施例1〜28、及び比較例1〜13〕
実施例、及び比較例においてアルカリ可溶性樹脂(A)((A)成分)としては、以下の方法に従って合成されたカルド樹脂を用いた。
まず、500mL四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量235)235g、テトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール100mg、及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
[Examples 1-28 and Comparative Examples 1-13]
In Examples and Comparative Examples, a cardo resin synthesized according to the following method was used as the alkali-soluble resin (A) (component (A)).
First, in a 500 mL four-necked flask, 235 g of a bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), tetramethylammonium chloride 110 mg, 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol 100 mg, and acrylic acid 72.0 g. Was charged, and the mixture was heated and dissolved at 90 to 100° C. while blowing air at a rate of 25 mL/min. Next, the temperature of the solution was gradually increased in a cloudy state and heated to 120° C. to completely dissolve the solution. At this time, the solution gradually became transparent and viscous, but the stirring was continued as it was. During this period, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until it was less than 1.0 mgKOH/g. It took 12 hours for the acid value to reach the target value. Then, the mixture was cooled to room temperature to obtain a bisphenolfluorene type epoxy acrylate represented by the following formula, which was colorless and transparent and solid.

Figure 2020086317
Figure 2020086317

次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gに3−メトキシブチルアセテート600gを加えて溶解した後、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物80.5g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、カルド樹脂を得た。酸無水物基の消失はIRスペクトルにより確認した。 Next, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added to and dissolved in 307.0 g of the above-obtained bisphenolfluorene-type epoxy acrylate, and then 80.5 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were added. The mixture was mixed, and the temperature was gradually raised to react at 110 to 115° C. for 4 hours. After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90° C. for 6 hours to obtain a cardo resin. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum.

実施例、及び比較例において光重合性モノマー(B)((B)成分)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを用いた。 In the examples and comparative examples, dipentaerythritol hexaacrylate was used as the photopolymerizable monomer (B) (component (B)).

実施例、及び比較例において、光重合開始剤(C)((C)成分)として、以下説明する化合物を用いた。実施例、及び比較例において、前述の式(C1)で表されるオキシムエステル化合物である光重合開始剤(C−I)として、下記CI1及びCI2を用いた。

Figure 2020086317
In the examples and comparative examples, the compounds described below were used as the photopolymerization initiator (C) (component (C)). In Examples and Comparative Examples, the following CI1 and CI2 were used as the photopolymerization initiator (CI) which is the oxime ester compound represented by the above formula (C1).
Figure 2020086317

実施例、及び比較例において、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)としてのオキシムエステル化合物として、下記CII1〜CII5を用いた。

Figure 2020086317
In Examples and Comparative Examples, the following CII1 to CII5 were used as the oxime ester compound as a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (CI).
Figure 2020086317

実施例、及び比較例において、光重合開始剤(C−II)としてのアミノケトン系化合物として、以下のCII6を用いた。
CII6:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン
In Examples and Comparative Examples, the following CII6 was used as the aminoketone compound as the photopolymerization initiator (C-II).
CII6: 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butan-1-one

実施例、及び比較例において、着色剤(D)((D)成分)として、下記のD1及びD2を用いた。なお、後述する表1に記載される着色剤(D)の量は、分散液の量ではなく、分散液中の固形分量(顔料及び分散剤の量)である。
D1:カーボンブラック分散液(カーボンブラック含有量20質量%、分散剤含有量5質量%)
D2:有機顔料混合分散液(C.I.ピグメントブルー15:6/C.I.ピグメントバイオレット23/C.I.ピグメントレッド256=40質量%/20質量%/40質量%、固形分濃度15質量%)
In Examples and Comparative Examples, the following D1 and D2 were used as the coloring agent (D) (component (D)). In addition, the amount of the colorant (D) described in Table 1 described later is not the amount of the dispersion liquid but the solid content amount (the amount of the pigment and the dispersant) in the dispersion liquid.
D1: Carbon black dispersion (carbon black content 20% by mass, dispersant content 5% by mass)
D2: Organic pigment mixed dispersion (CI Pigment Blue 15:6/CI Pigment Violet 23/CI Pigment Red 256=40% by mass/20% by mass/40% by mass, solid content concentration 15) mass%)

それぞれ表1に記載の量の、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、表1に記載の種類の光重合開始剤(C)、及び表1に記載の種類の着色剤(D)と、シランカップリング剤((3−フェニルアミノプロピル)トリメトキシシラン)0.2質量部と、界面活性剤0.5質量部とを、固形分濃度が15質量%となるように有機溶剤(S)中に均一に溶解、分散させて、各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を得た。有機溶剤(S)としては、3−メトキシブチルアセテート15質量%とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート85質量%とからなる混合溶剤を用いた。 The amounts of the alkali-soluble resin (A), the photopolymerizable monomer (B), the photopolymerization initiator (C) of the type shown in Table 1, and the colorant of the type shown in Table 1 ( D), 0.2 parts by mass of a silane coupling agent ((3-phenylaminopropyl)trimethoxysilane), and 0.5 parts by mass of a surfactant, and organic so that the solid content concentration becomes 15% by mass. The photosensitive resin composition of each Example and Comparative Example was obtained by uniformly dissolving and dispersing in a solvent (S). As the organic solvent (S), a mixed solvent of 15% by mass of 3-methoxybutyl acetate and 85% by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was used.

各実施例、及び比較例の感光性樹脂組成物を、ガラス基板(100mm×100mm)上にスピンコーターを用いて塗布し、90℃で120秒間プリベークを行い、膜厚1.0μmの塗膜を形成した。次いで、プロキシミティ露光装置(製品名:TME−150RTO、株式会社トプコン製)を使用し、露光ギャップを50μmとして、幅6μmのラインパターンの形成されたネガマスクを介して、塗膜に紫外線を照射した。露光量は、20,40,60mJ/cmの3段階とした。露光後の塗膜を、26℃の0.04質量%KOH水溶液で40秒間現像後、230℃にて30分間ポストベークを行うことにより、ラインパターンを形成した。 The photosensitive resin compositions of Examples and Comparative Examples were applied onto a glass substrate (100 mm×100 mm) using a spin coater, prebaked at 90° C. for 120 seconds, and a coating film having a thickness of 1.0 μm was formed. Formed. Next, using a proximity exposure device (product name: TME-150RTO, manufactured by Topcon Co., Ltd.), the exposure gap was set to 50 μm, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through a negative mask in which a line pattern having a width of 6 μm was formed. .. The exposure amount was set to three levels of 20 , 40 and 60 mJ/cm 2 . The exposed coating film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26° C. for 40 seconds, and post-baked at 230° C. for 30 minutes to form a line pattern.

<直進性評価>
形成されたラインパターンのエッジのがたつきを光学顕微鏡により観察し、パターン直進性を評価した。がたつきがない場合を「○」、がたつきがある場合を「不良」として評価した。
<Straightness evaluation>
The rattling of the edges of the formed line pattern was observed with an optical microscope to evaluate the straightness of the pattern. The case where there was no rattling was evaluated as “◯”, and the case where there was rattling was evaluated as “poor”.

<密着性評価>
形成されたラインパターンの剥離の有無を光学顕微鏡により観察し、パターン密着性を評価した。剥離が観察されなかった場合を「○」、剥離が観察された場合を「×」として評価した。
<Adhesion evaluation>
The presence or absence of peeling of the formed line pattern was observed with an optical microscope to evaluate the pattern adhesion. The case where peeling was not observed was evaluated as “◯”, and the case where peeling was observed was evaluated as “x”.

<テーパー角>
40mJ/cmの露光により形成されたラインパターンにおけるライン部10の幅方向の断面について、図1に示すように基板90aとライン部10の側面のなす角度θを計測して、テーパー角を評価した。
なお、図1に示されるような台形形状の場合、θは0度超90度未満であり、順テーパー形状である。また、図2に示されるような逆台形形状の場合、θは90度超180度未満であり、逆テーパー形状である。
図1及び図2では、基板90aと感光性樹脂組成物硬化物パターンのライン部10の接する面を基準面とし、基準面の平行線と、ライン側面のなす角度をθとして表現しているが、上記θと同じである。
テーパー角(パターン断面形状)について、以下の基準に従い評価した。
◎:測定角度θが、70度以上85度以下
○:測定角度θが、86度以上90度以下
△:測定角度θが、91度以上100度以下
×:測定角度θが101度以上
××:測定角度θが69℃以下
<Taper angle>
As shown in FIG. 1, the taper angle is evaluated by measuring the angle θ formed between the substrate 90a and the side surface of the line portion 10 in the cross section in the width direction of the line portion 10 in the line pattern formed by the exposure of 40 mJ/cm 2 . did.
In the case of the trapezoidal shape as shown in FIG. 1, θ is more than 0 degrees and less than 90 degrees, which is a forward taper shape. Further, in the case of the inverted trapezoidal shape as shown in FIG. 2, θ is more than 90 degrees and less than 180 degrees, which is an inverse taper shape.
In FIGS. 1 and 2, the surface where the substrate 90a and the line portion 10 of the cured pattern of the photosensitive resin composition are in contact is used as a reference surface, and the angle between the parallel line of the reference surface and the side surface of the line is expressed as θ. , The same as the above θ.
The taper angle (pattern cross-sectional shape) was evaluated according to the following criteria.
⊚: Measurement angle θ is 70 degrees or more and 85 degrees or less ○: Measurement angle θ is 86 degrees or more and 90 degrees or less Δ: Measurement angle θ is 91 degrees or more and 100 degrees or less ×: Measurement angle θ is 101 degrees or more XX : Measurement angle θ is 69°C or less

以下、テーパー角θの技術的意義について、補足する。テーパー角θは、マスクパターンに対する忠実性を確保する意味で、90度が望ましい。
感光性樹脂組成物を用いて形成されたブラックマトリクスを画像表示パネルに組み込む場合には、ブラックマトリクスに接して液晶が配置されることがある。液晶の分子配向は、電圧により制御される。この分子配向の制御により、偏光板を含む光学系において、光線透過率がドラスティックに変化する。その結果、画像表示パネルに、文字、画像等が表示される。
ブラックマトリクスに接して液晶が配置される場合、ブラックマトリクスのパターン境界部では、境界段差の影響を受けて、液晶配向挙動がパターン平坦部(上記のライン部、又はスペース部に相当)とは異なる挙動を示す。これは光学現象としては、パターン平坦部において光線透過率が0%であっても、パターン境界部では光線が透過してしまい、パターン境界部での光滲み、又は光漏れとして観察され、画像表示パネル並びに画像表示装置としてふさわしくない。
この光滲み現象は、ブラックマトリクスパターンのテーパー角θが、90度超の時に顕著であり、ラインテーパー角θが90度以下であることにより軽減される。画像表示パネル並びに画像表示装置として駆動試験を行うと、テーパー角θとしては85度以下が特に適切である。なお、70度未満では光透過領域が狭くなり(図1において、ライン部10以外のスペース部が狭くなることに相当)、光量が減少するため、画像表示パネル並びに画像表示装置としてふさわしくない。
従って、液晶表示パネル並びに液晶表示装置としては、ラインテーパー角θは90度以下が望ましく、70度以上85度以下が最も望ましい。
The technical significance of the taper angle θ will be supplemented below. The taper angle θ is preferably 90 degrees to ensure fidelity to the mask pattern.
When a black matrix formed using a photosensitive resin composition is incorporated into an image display panel, liquid crystal may be arranged in contact with the black matrix. The molecular orientation of the liquid crystal is controlled by the voltage. By controlling this molecular orientation, the light transmittance changes drastically in the optical system including the polarizing plate. As a result, characters, images, etc. are displayed on the image display panel.
When the liquid crystal is arranged in contact with the black matrix, the liquid crystal alignment behavior at the pattern boundary portion of the black matrix is different from that of the pattern flat portion (corresponding to the above line portion or space portion) due to the influence of the boundary step. Shows the behavior. As an optical phenomenon, even if the light transmittance is 0% at the pattern flat portion, the light ray is transmitted at the pattern boundary portion, and it is observed as light bleeding or light leakage at the pattern boundary portion. Not suitable as a panel or image display device.
This light bleeding phenomenon is remarkable when the taper angle θ of the black matrix pattern is more than 90 degrees, and is reduced when the line taper angle θ is 90 degrees or less. When a drive test is performed on the image display panel and the image display device, the taper angle θ is particularly suitable to be 85 degrees or less. If the angle is less than 70 degrees, the light transmission region becomes narrow (corresponding to narrowing of the space other than the line portion 10 in FIG. 1) and the amount of light decreases, which is not suitable as an image display panel or an image display device.
Therefore, for the liquid crystal display panel and the liquid crystal display device, the line taper angle θ is preferably 90 degrees or less, and most preferably 70 degrees or more and 85 degrees or less.

Figure 2020086317
Figure 2020086317

表1によれば、アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)とともに、前述の式(C1)で表される構造のオキシムエステル化合物である光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを、それぞれ所定の比率で含む実施例の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン化された硬化膜は、直進性及び基板への密着性に優れ、断面形状も良好であることが分かる。
他方、光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)とのいずれか一方しか含まないか、光重合開始剤(C−I)と、光重合開始剤(C−II)とをそれぞれ所定の比率で含まない比較例の感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン化された硬化膜は、良好な直進性と、良好な基板への密着性とを両立できず、断面形状も不良であった。
According to Table 1, an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (CI) which is an oxime ester compound having a structure represented by the above formula (C1) , A photopolymerization initiator (C-I) and a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-I) in a predetermined ratio, respectively, were used to form a patterned resin composition. It can be seen that the cured film has excellent straightness and adhesion to the substrate, and has a good cross-sectional shape.
On the other hand, either the photopolymerization initiator (C-I) or the photopolymerization initiator (C-II) is not contained, or the photopolymerization initiator (C-I) and the photopolymerization initiator (C-) are contained. The patterned cured film formed by using the photosensitive resin composition of Comparative Example not containing II) and II in a predetermined ratio can have both good straightness and good adhesion to a substrate. The cross-sectional shape was also poor.

Claims (9)

アルカリ可溶性樹脂(A)と、光重合性モノマー(B)と、光重合開始剤(C)とを含む、感光性樹脂組成物であって
前記光重合開始剤(C)が、下記式(C1):
Figure 2020086317
(式(C1)中、X01は、下記式(C1−1):
Figure 2020086317
で表される構造において、芳香族環上に結合する水素原子のうち、t2+t3個の水素原子を除いた基であり、X02及びX03は、それぞれ独立に1価の有機基であり、X04及びX05は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、t0〜t3は、それぞれ独立に、0又は1であり、t2及びt3の少なくとも一方は1であり、
式(C1−1)中、X06は、カルバゾール環中の窒素原子にC−N結合で結合する1価の有機基であり、t4及びt5は、それぞれ独立に0又は1であり、t4及びt5の少なくとも一方は1である。)
で表される光重合開始剤(C−I)と、前記光重合開始剤(C−I)以外の他の光重合開始剤(C−II)とを含み、
前記光重合開始剤(C)の質量における、前記光重合開始剤(C−I)の質量の比率が、20質量%以上95質量%以下である、感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition comprising an alkali-soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C), wherein the photopolymerization initiator (C) has the following formula (C1). ):
Figure 2020086317
(In formula (C1), X 01 is the following formula (C1-1):
Figure 2020086317
In the structure represented by, a hydrogen atom bonded to the aromatic ring, excluding t2+t3 hydrogen atoms, X 02 and X 03 are each independently a monovalent organic group, 04 and X 05 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent, and t0 to t3 are Each independently, 0 or 1, at least one of t2 and t3 is 1,
In formula (C1-1), X 06 is a monovalent organic group bonded to the nitrogen atom in the carbazole ring by a C—N bond, t4 and t5 are each independently 0 or 1, and t4 and At least one of t5 is 1. )
And a photopolymerization initiator (C-II) other than the photopolymerization initiator (C-I),
The photosensitive resin composition, wherein the mass ratio of the photopolymerization initiator (C-I) to the mass of the photopolymerization initiator (C) is 20% by mass or more and 95% by mass or less.
前記光重合開始剤(C−II)が、オキシムエステル化合物、及び/又はアミノケトン系化合物である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (C-II) is an oxime ester compound and/or an aminoketone compound. 前記光重合開始剤(C)が、前記光重合開始剤(C−II)として、前記オキシムエステル化合物、及び前記アミノケトン系化合物を含む、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein the photopolymerization initiator (C) contains the oxime ester compound and the aminoketone compound as the photopolymerization initiator (C-II). 前記光重合開始剤(C−II)としての前記オキシムエステル化合物が、下記式(C2):
Figure 2020086317
(式(C2)中、Rc1は、1価の有機基であり、Rc2は、下記式(C2−1)〜(C2−3):
Figure 2020086317
のいずれか1つで表される基であり、Rc3は、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数1以上11以下のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基であり、
式(C2−1)中、Rc4は、1価の有機基、アミノ基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基からなる群より選択される基であり、AはS又はOであり、n2は、0以上4以下の整数であり、
式(C2−2)中、Rc5及びRc6は、それぞれ独立に1価の有機基であり、
式(C2−3)中、Rc7は、水素原子、ニトロ基又は1価の有機基であり、Rc8及びRc9は、それぞれ、置換基を有してもよい鎖状アルキル基、置換基を有してもよい環状有機基、又は水素原子であり、Rc8とRc9とは相互に結合して環を形成してもよく、n3は0以上4以下の整数である。)
で表される化合物である、請求項2又は3に記載の感光性樹脂組成物。
The oxime ester compound as the photopolymerization initiator (C-II) has the following formula (C2):
Figure 2020086317
(In the formula (C2), R c1 represents a monovalent organic group, and R c2 represents the following formulas (C2-1) to (C2-3):
Figure 2020086317
R c3 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. And
In formula (C2-1), R c4 is a group selected from the group consisting of a monovalent organic group, an amino group, a halogen, a nitro group, and a cyano group, A is S or O, and n2 is , An integer between 0 and 4 inclusive,
In formula (C2-2), R c5 and R c6 are each independently a monovalent organic group,
In formula (C2-3), R c7 is a hydrogen atom, a nitro group or a monovalent organic group, and R c8 and R c9 are each a chain alkyl group which may have a substituent or a substituent. Is a cyclic organic group which may have a hydrogen atom, R c8 and R c9 may be bonded to each other to form a ring, and n3 is an integer of 0 or more and 4 or less. )
The photosensitive resin composition according to claim 2, which is a compound represented by:
前記Rc1が、下記式(C2a)又は(C2b):
Figure 2020086317
(式(C2a)及び(C2b)中、Rc10及びRc11はそれぞれ1価の有機基であり、n4は0以上4以下の整数であり、Rc10及びRc11がベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、Rc10とRc11とが互いに結合して環を形成してもよく、n5は1以下8以下の整数であり、n6は1以上5以下の整数であり、n7は0以上(n6+3)以下の整数であり、Rc12は1価の有機基である。)
で表される基である、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
R c1 is the following formula (C2a) or (C2b):
Figure 2020086317
(In formulas (C2a) and (C2b), R c10 and R c11 are each a monovalent organic group, n4 is an integer of 0 or more and 4 or less, and R c10 and R c11 are adjacent positions on the benzene ring. When present in, R c10 and R c11 may combine with each other to form a ring, n5 is an integer of 1 or less and 8 or less, n6 is an integer of 1 or more and 5 or less, and n7 is 0 or more. It is an integer of (n6+3) or less, and R c12 is a monovalent organic group.)
The photosensitive resin composition according to claim 4, which is a group represented by:
さらに、着色剤(D)を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 Furthermore, the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-5 containing a coloring agent (D). 前記着色剤(D)が、遮光剤(D1)である、請求項6に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 6, wherein the colorant (D) is a light shielding agent (D1). 請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成することと、
前記塗布膜を、位置選択的に露光することと、
露光された前記塗布膜を現像することと、
を含む、パターン化された硬化膜の製造方法。
Forming a coating film by applying the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7 onto a substrate;
Exposing the coating film position-selectively,
Developing the exposed coating film;
A method for producing a patterned cured film, comprising:
請求項1〜7のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる、パターン化された硬化膜。 A patterned cured film comprising a cured product of the photosensitive resin composition according to claim 1.
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