JP2020019111A

JP2020019111A - ホイールマウント

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Publication number: JP2020019111A
Application number: JP2018145817A
Authority: JP
Inventors: 裕樹阿部; Hiroki Abe
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-08-02
Filing date: 2018-08-02
Publication date: 2020-02-06
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Abstract

【課題】研削水が遠心力の影響を受けても、被研削面と研削砥石の研削面とに研削水を供給し、研削砥石の消耗を少なくする。【解決手段】ホイールマウント３４では、設置される埋め栓６１、６３を切り換えることにより、射出される研削水のエネルギーおよび落下位置を変えられる。したがって、ホイールマウント３４の回転速度に応じて射出部位を変えることにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を適正範囲に近づけることが可能となる。これにより、多くの研削水を、被研削面１ａと研削砥石との間に供給することができるので、研削砥石の冷却および研削屑の除去を、良好に実施することが可能となる。その結果、研削砥石の消耗を低減することができる。【選択図】図５

Description

本発明は、ホイールマウントに関する。

板状ワークを研削する研削装置では、たとえば特許文献１および２に開示されているように、環状に配置された研削砥石を有する研削ホイールを、スピンドルの先端のホイールマウントに装着する。スピンドルとともに回転する研削砥石を、保持テーブルに保持された板状ワークに接触させて、板状ワークを研削する。研削屑の除去および研削加工熱の除去のために、研削砥石の内周面に、研削水が供給される。

特開平７−２２３１５２号公報特開２０１５−１９６２２６号公報

上記の様に研削砥石の内周面に研削水を供給する為には、研削砥石の内周面に研削水を噴き付けるノズルを配設すると良い。しかし、板状ワークの面積が広いと、研削砥石が該板状ワークから僅かにしかはみ出ない場合もある。この場合、上記の様な研削砥石の内周面に研削水を噴き付けるノズルを配設する事が難しい。そのため、スピンドルの中心を介して、研削砥石付近に研削水を供給している。

しかし、この構成では、研削水は、研削ホイール基台に配設される供給口から供給されるので、研削水が、スピンドルの回転による遠心力によって周囲に飛び散ってしまうため、研削面の全面に行きわたりにくい。このため、研削屑および加工熱を、十分に除去することが困難である。そのため、研削砥石の消耗が大きくなる。

本発明の目的は、研削水が遠心力の影響を受けても、被研削面と研削砥石の研削面とに研削水を供給し、研削砥石の消耗を少なくすることにある。

本発明のホイールマウント（本ホイールマウント）は、スピンドルの先端に装着されるスピンドル装着面と、該スピンドル装着面の反対面であり環状に配置された研削砥石を有する研削ホイールが装着されるホイール装着面と、を有するホイールマウントであって、該スピンドル装着面の中心に形成され、該スピンドルの中心を貫通し研削水を通す供給路に接続される接続口と、該ホイール装着面の中心を中心とし、第１の半径を有する円の円周上に配設される第１の供給口と、該ホイール装着面の中心を中心とし、該第１の半径よりも大きい第２の半径を有する円の円周上に配設される第２の供給口と、該接続口と該第１の供給口とを接続するように内部に形成される第１の接続路と、該接続口と該第２の供給口とを接続するように内部に形成される第２の接続路と、該第１の接続路を遮断するための第１の埋め栓と、該第２の接続路を遮断するための第２の埋め栓と、を備え、該第１の埋め栓もしくは該第２の埋め栓を用いて、研削水を通す接続路が、該第１の接続路と該第２の接続路との間で切り換えられる。

本ホイールマウントは、該ホイール装着面の中心を中心とする、該第１の供給口が配設される第１の環状溝と、該ホイール装着面の中心を中心とする、該第２の供給口が配設される第２の環状溝と、をさらに備えてもよい。

本ホイールマウントでは、そのホイール装着面に、研削ホイールが装着される。研削ホイールは、ホイール装着面の外周側に位置する研削砥石によって、板状ワークなどの被研削物における被研削面を研削する。

そして、本ホイールマウントは、ホイール装着面における中心の比較的に近い部位に第１の供給口を備え、ホイール装着面における中心から比較的に遠い部位（外周に近い部位）に、第２の供給口を備えている。そして、本ホイールマウントでは、接続口と第１の供給口とを接続する第１の接続路と、接続口と第２の供給口とを接続する第２の接続路とのいずれかを、埋め栓によって遮断することができる。すなわち、研削水を、中心に近い第１の供給口、あるいは、中心から遠い第２の供給口のいずれか一方から射出することができる。

したがって、たとえば、本ホイールマウントの回転速度が速い場合に、中心に近い第１の供給口から研削水が射出される一方、本ホイールマウントの回転速度が遅い場合に、中心から遠い第２の供給口から研削水が射出されるように、第１および第２の埋め栓を設置することが可能となる。

すなわち、射出時における研削水のエネルギーは、本ホイールマウントの回転速度、および、ホイール装着面における研削水の射出部位によって変化する。たとえば、本ホイールマウントの回転速度が速い場合には、本ホイールマウント内にある研削水は、射出されるまでに、第１あるいは第２の接続路の壁面から強い力を受ける（研削水の受ける遠心力が強くなる）。また、この力は、研削水の射出部位がホイール装着面の中心（回転中心）から離れるほど、強くなる。

したがって、回転速度が速いほど、および、研削水の射出部位が中心から離れるほど、研削水のエネルギーが大きくなり、研削水は、射出部位から比較的に遠くまで飛翔しようとする。このため、回転速度が速いときに、研削水の射出部位が中心から離れていると、射出された研削水の落下位置が適正範囲からはずれる可能性がある。たとえば、研削水が被研削面上に落ちずに、研削砥石の側部にまで飛翔することも考えられる。この場合、一部の研削水が、研削砥石の隙間から外側に漏れ出てしまい、研削砥石と被研削面との間に供給されない可能性もある。あるいは、研削水は、大きなエネルギーによって霧状となり、冷却および洗浄効果を持たなくなるとともに、研削砥石を越えて、周囲に飛び散ってしまう可能性もある。

そこで、回転速度が速い場合には、第２の接続路を遮断し、中心に近い第１の供給口から研削水を射出することにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を適正範囲に近づけられる。このため、多くの研削水を、被研削面と研削砥石とが接触する部分に供給することが可能となる。

一方、本ホイールマウントの回転速度が遅い場合には、本ホイールマウント内にある研削水にかかる力は弱くなる。また、この力は、研削水の射出部位がホイール装着面の中心に近づくほど、弱くなる。したがって、回転速度が遅いほど、および、研削水の射出部位が中心に近いほど、研削水のエネルギーが小さくなり、研削水は、射出部位から比較的に近くに落ちようとする。このため、回転速度が遅いときに、研削水の射出部位が中心に近いと、研削水は、研削砥石に到達しにくくなる可能性がある。

そこで、回転速度が遅い場合には、第１の接続路を遮断し、中心から遠い第２の供給口から研削水を射出することにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を、適正範囲に近づけられる。このため、多くの研削水を、被研削面と研削砥石とが接触する箇所に供給することが可能となる。

このように、本ホイールマウントでは、埋め栓の設置位置を切り換えることにより、射出される研削水のエネルギーおよび落下位置を変えることが可能となる。したがって、本ホイールマウントの回転速度などの、研削水のエネルギーおよび落下位置に影響を与える変数に応じて射出部位を変えることにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を適正範囲に近づけることが可能となる。これにより、多くの研削水を、被研削面と研削砥石とが接する箇所に供給することができるので、研削砥石の冷却および研削屑の除去を、良好に実施することが可能となる。その結果、研削砥石の消耗を低減することができる。

また、本ホイールマウントは、ホイール装着面の中心を中心とする、第１の供給口が配設される第１の環状溝と、ホイール装着面の中心を中心とする、第２の供給口が配設される第２の環状溝とを備えていてもよい。

この構成では、第１および第２の供給口から射出された研削水は、それぞれ、第１および第２の環状溝によって、その内部表面を伝うように誘導されて、被研削面に落ちる。その後、研削水は、被研削面上を滑って、被研削面と研削砥石とが接する箇所に供給される。したがって、この構成では、研削水における落下位置を制御することができる。このため、研削水が外周側に流れて、研削砥石の側部に到達することを抑制することができる。

本実施形態にかかるホイールマウントを備える研削装置の構成例を示す斜視図である。図１に示した研削装置における研削水供給システムを示す説明図である。ホイールマウントのホイール装着面を示す斜視図である。ホイールマウントにおける研削水の流路であるマウント流路を示す断面図である。図５（ａ）は、第２の埋め栓によって第２の接続路が埋められたホイールマウントを示す説明図であり、図５（ｂ）は、第１の埋め栓によって第１の接続路が埋められたホイールマウントを示す説明図である。

図１に示すように、本実施形態にかかる研削装置２は、直方体状の基台４、上方に延びる支持柱６、および、研削水を供給する研削水供給源４６を備えている。

基台４の上面前側には、チャックテーブル１２を含むチャックテーブル部８、チャックテーブル部８をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（図示せず）、および、Ｘ軸移動機構を覆う防水カバー１０が配置される。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向（前後方向）に延びる長方形状の開口５内に備えられている。Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ、および、Ｘ軸ボールネジに接続されているナット部およびＸ軸パルスモータを備えている（全て図示せず）。

Ｘ軸ガイドレールには、チャックテーブル部８のＸ軸移動テーブル１１が、スライド可能に設置されている。ナット部は、Ｘ軸移動テーブル１１の下面側に固定されている。このナット部には、Ｘ軸ボールネジが螺合されている。Ｘ軸パルスモータは、Ｘ軸ボールネジの一端部に連結されている。
Ｘ軸移動機構では、Ｘ軸パルスモータがＸ軸ボールネジを回転させることにより、Ｘ軸移動テーブル１１が、Ｘ軸ガイドレールに沿って、Ｘ軸方向に移動する。

チャックテーブル部８は、ウェーハ１（図２参照）を保持するチャックテーブル１２、および、チャックテーブル１２を保持する上記したＸ軸移動テーブル１１を含んでいる。Ｘ軸移動テーブル１１は、その上面にチャックテーブル１２が配置されており、チャックテーブル１２とともに、Ｘ軸移動機構により、Ｘ軸に沿って移動する。本実施形態では、Ｘ軸移動テーブル１１およびチャックテーブル１２は、ウェーハ１が搬入および搬出される前方の搬入出位置と、ウェーハ１が研削される後方の研削位置との間を移動する。

チャックテーブル１２は、モータ等の回転駆動源（図示せず）と連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に延びる回転軸の周りに回転する。チャックテーブル１２は、その上面中央に、ウェーハ１を吸引保持する保持面１３を有している。保持面１３は、円錐面に形成されている。この円錐面は、チャックテーブル１２の回転中心を頂点とする、極めて緩やかな傾斜を備える。保持面１３は、図示しない吸引源に連通されており、図２に示すように、ウェーハ１を、その被研削面１ａが露出するように、吸引保持する。

支持柱６は、図１に示すように、基台４の後部に立設されている。支持柱６の前面には、ウェーハ１を研削する研削手段２６、および、研削手段２６をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動機構１６が設けられている。

Ｚ軸移動機構１６は、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール１８、このＺ軸ガイドレール１８をスライドするＺ軸移動テーブル２０、Ｚ軸ガイドレール１８と平行なＺ軸ボールネジ２２、および、Ｚ軸ボールネジ２２に接続されているナット部（図示せず）およびＺ軸パルスモータ２４を備えている。

Ｚ軸移動テーブル２０は、Ｚ軸ガイドレール１８にスライド可能に設置されている。ナット部は、Ｚ軸移動テーブル２０の後面側（裏面側）に固定されている。このナット部には、Ｚ軸ボールネジ２２が螺合されている。Ｚ軸パルスモータ２４は、Ｚ軸ボールネジ２２の一端部に連結されている。
Ｚ軸移動機構１６では、Ｚ軸パルスモータ２４がＺ軸ボールネジ２２を回転させることにより、Ｚ軸移動テーブル２０が、Ｚ軸ガイドレール１８に沿って、Ｚ軸方向に移動する。

研削手段２６は、Ｚ軸移動テーブル２０の前面（表面）に取り付けられている。研削手段２６は、Ｚ軸移動機構１６のＺ軸移動テーブル２０に固定された支持構造２８、支持構造２８に固定されたスピンドルハウジング３０、スピンドルハウジング３０に保持されたスピンドル３２、スピンドル３２の下端に取り付けられたホイールマウント３４、および、ホイールマウント３４に保持された研削ホイール３６を備えている。

支持構造２８は、研削手段２６の他の部材を支持した状態で、Ｚ軸移動機構１６のＺ軸移動テーブル２０に取り付けられている。スピンドルハウジング３０は、Ｚ軸方向に延びるように支持構造２８に保持されている。スピンドル３２は、Ｚ軸方向に延びるように、スピンドルハウジング３０に回転可能に支持されている。スピンドル３２の上端側には、モータ等の回転駆動源（図示せず）が連結されている。この回転駆動源により、スピンドル３２は、Ｚ軸方向に延びる回転軸の周りに回転する。

ホイールマウント３４は、円盤状に形成されており、スピンドル３２の下端（先端）に固定されている。図２に示すように、ホイールマウント３４は、スピンドル装着面３４ａを有している。ホイールマウント３４は、スピンドル装着面３４ａを介して、スピンドル３２の先端に装着される。さらに、ホイールマウント３４は、スピンドル装着面３４ａの反対面であるホイール装着面３４ｂを有している。ホイール装着面３４ｂには、研削ホイール３６が装着される。

研削ホイール３６は、ホイールマウント３４と略同径を有するように形成されている。図２に示すように、研削ホイール３６は、ステンレス等の金属材料から形成された円環状のホイール基台（環状基台）３８を含む。ホイール基台３８の下面には、全周にわたって、環状に配置された複数の研削砥石４０が固定されている。

なお、研削装置２は、ウェーハ１の被研削面１ａおよび研削砥石４０に研削水を供給するための、研削水供給システムを備えている。図２に示すように、研削水供給システムは、研削装置２の水源である研削水供給源４６、研削水供給源４６から延びる研削水供給管４２、スピンドル３２内に形成されたスピンドル流路３３、および、ホイールマウント３４内に形成されたマウント流路３５を備えている。

研削水供給管４２は、研削水供給源４６からの研削水を、スピンドル３２のスピンドル流路３３に供給する。スピンドル流路３３は、スピンドル３２の中心を貫くように設けられている。スピンドル流路３３は、研削水供給管４２を介して供給された研削水を、ホイールマウント３４のマウント流路３５まで運ぶ。研削水は、マウント流路３５を介して、ウェーハ１の被研削面１ａおよび研削砥石４０に供給される。研削水の供給および停止は、たとえば、図示しない制御器によって制御される。

以下に、マウント流路３５を含むホイールマウント３４の構成について説明する。
図４は、図３に示したホイールマウント３４の、Ａ−Ｂ線およびＡ−Ｃ線での断面を示す。マウント流路３５は、図３および図４に示すように、スピンドル装着面３４ａに設けられた接続口５１、ホイール装着面３４ｂに設けられた第１の供給口５３、第２の供給口５５、第１の環状溝６５および第２の環状溝６７、および、ホイールマウント３４の内部に設けられた第１の接続路５７および第２の接続路５９を含んでいる。

接続口５１は、スピンドル装着面３４ａの中心に形成されており、スピンドル３２のスピンドル流路３３に接続されている。
第１の環状溝６５および第２の環状溝６７は、ホイール装着面３４ｂの中心を中心とするように、ホイール装着面３４ｂに設けられている。第２の環状溝６７の半径は、第１の環状溝６５の半径よりも長い。

第１の供給口５３は、第１の環状溝６５に配設されている。第１の供給口５３は、ホイール装着面３４ｂの中心を中心とし、第１の半径を有する円の円周上に配設されている。一方、第２の供給口５５は、第２の環状溝６７に配設されている。第２の供給口５５は、ホイール装着面３４ｂの中心を中心とし、第１の半径より大きい第２の半径を有する円の円周上に配設されている。

第１の接続路５７は、接続口５１と第１の供給口５３とを接続するように、ホイールマウント３４の内部に形成されている。第２の接続路５９は、接続口５１と第２の供給口５５とを接続するように、ホイールマウント３４の内部に形成されている。

また、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、ホイールマウント３４は、研削水の流れを止める第１の埋め栓６１および第２の埋め栓６３を有している。第１の埋め栓６１は、第１の接続路５７を遮断する。第２の埋め栓６３は、第２の接続路５９を遮断する。
本実施形態では、第１の埋め栓６１および第２の埋め栓６３のいずれか一方が、研削装置２を用いた研削処理を実施する作業者によって、第１の接続路５７あるいは第２の接続路５９に設置される。

また、図３に示すように、ホイールマウント３４のホイール装着面３４ｂには、最外周に設けられた研削ホイール取付ネジ穴７１、および、それよりも内周側に設けられたホイールマウント取付穴７３が設けられている。
研削ホイール取付ネジ穴７１は、ホイールマウント３４に研削ホイール３６のホイール基台３８をネジ止めするために用いられる。ホイールマウント取付穴７３は、スピンドル３２にホイールマウント３４をネジ止めするために用いられる。

ここで、上記のような構成を有する研削装置２における研削処理について説明する。まず、搬入出位置において、ウェーハ１が、図１に示したチャックテーブル１２の保持面１３に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面１３に伝達されることにより、保持面１３が、ウェーハ１を、ウェーハ１の被研削面１ａが露出するように吸引保持する。

その後、チャックテーブル１２を保持するＸ軸移動テーブル１１が、Ｘ軸移動機構によって、研削手段２６の下まで、Ｘ軸方向に沿って移動する。そして、研削手段２６の研削ホイール３６とチャックテーブル１２に保持されたウェーハ１との、Ｘ軸方向における位置合わせがなされる。この位置合わせは、たとえば、研削ホイール３６の回転中心がウェーハ１の回転中心に対して所定の距離だけずれて、研削砥石４０の回転軌跡がウェーハ１の回転中心を通るように行われる。なお、保持面１３が、研削砥石４０の下面である研削面と平行になるように、チャックテーブル１２の傾きがあらかじめ調整されている。これにより、ウェーハ１の被研削面１ａが、研削砥石４０の研削面と平行になる。

研削ホイール３６とウェーハ１との位置合わせが行われた後、図示しない回転駆動源により、スピンドル３２が回転駆動される。これに伴って、研削ホイール３６が、たとえば、上方からみて反時計周りに回転する。また、ウェーハ１を保持したチャックテーブル１２も、図示しない回転駆動源により、上方からみて反時計周りに回転する。

その後、研削手段２６が、Ｚ軸移動機構１６により下方に送られ、これに伴って研削ホイール３６も降下する。そして、研削砥石４０がウェーハ１の被研削面１ａに当接することで、研削加工が行われる。研削装置２では、研削砥石４０およびウェーハ１の双方が回転するので、研削砥石４０が、ウェーハ１の全面を研削加工することができる。

また、研削装置２では、研削加工の際、上記の研削水供給システムによって、ウェーハ１の被研削面１ａおよび研削砥石４０に、研削水が供給される。研削水の供給量は、たとえば、４リットル／分である。以下に、研削装置２における研削水の供給動作について説明する。

研削水は、図２に示した研削水供給源４６に蓄積されている。研削加工が開始されると、図示しない制御器が、研削水供給源４６の研削水を、研削水供給管４２に流し始める。研削水は、研削水供給管４２を介して、スピンドル３２のスピンドル流路３３に供給される。スピンドル流路３３に供給された研削水は、図４に示したホイールマウント３４のマウント流路３５の接続口５１に運ばれる。

ホイールマウント３４では、接続口５１に運ばれた水は、第１の接続路５７および第２の接続路５９のいずれかを介して、第１の供給口５３および第２の供給口５５のいずれかから、ウェーハ１の被研削面１ａに向かって射出される。

ここで、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、マウント流路３５には、作業者によって、第１の埋め栓６１あるいは第２の埋め栓６３が設置されている。作業者は、たとえば、ホイールマウント３４の回転速度を高速に設定する場合、図５（ａ）に示すように、第２の接続路５９に第２の埋め栓６３を設置する。これにより、第２の接続路５９が遮断されるため、研削水が第２の接続路５９を通過することが困難となる。したがって、スピンドル３２から供給された研削水は、第１の接続路５７を介して、第１の供給口５３から射出される。

第１の供給口５３から射出された研削水は、図５（ａ）に矢印Ｓによって示すように、第１の環状溝６５によって、その内部表面を伝うように誘導されて、ウェーハ１の被研削面１ａに落ちる。その後、研削水は、被研削面１ａ上を滑って、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給される。

一方、ホイールマウント３４の回転速度を低速に設定する場合、作業者は、図５（ｂ）に示すように、第１の接続路５７に第１の埋め栓６１を設置する。これにより、第１の接続路５７が遮断されるため、研削水が第１の接続路５７を通過することが困難となる。したがって、スピンドル３２から供給された研削水は、第２の接続路５９を介して、第２の供給口５５から射出される。

第２の供給口５５から射出された研削水は、図５（ｂ）に矢印Ｌによって示すように、第２の環状溝６７によって、その内部表面を伝うように誘導されて、ウェーハ１の被研削面１ａに落ちる。その後、研削水は、被研削面１ａ上を滑って、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給される。

以上のように、本実施形態では、ホイールマウント３４のホイール装着面３４ｂに装着された研削ホイール３６は、ホイール装着面３４ｂの外周側に位置する研削砥石４０によって、ウェーハ１における被研削面１ａを研削する。

そして、ホイールマウント３４は、ホイール装着面３４ｂにおける中心の比較的に近い部位に第１の供給口５３を備え、ホイール装着面３４ｂにおける中心から比較的に遠い部位（外周に近い部位）に、第２の供給口５５を備え、ホイールマウント３４では、接続口５１と第１の供給口５３とを接続する第１の接続路５７と、接続口５１と第２の供給口５５とを接続する第２の接続路５９とのいずれかを、第１の埋め栓６１あるいは第２の埋め栓６３によって遮断することができるため、研削水を、中心に近い第１の供給口５３、あるいは、中心から遠い第２の供給口５５のいずれか一方から射出することができる。

したがって、たとえば、ホイールマウント３４の回転速度が速い場合に、中心に近い第１の供給口５３から研削水が射出される一方、ホイールマウント３４の回転速度が遅い場合に、中心から遠い第２の供給口５５から研削水が射出されるように、第１および第２の埋め栓を設置することが可能となる。

すなわち、射出時における研削水のエネルギーは、ホイールマウント３４の回転速度、および、ホイール装着面３４ｂにおける研削水の射出部位によって変化する。たとえば、ホイールマウント３４の回転速度が速い場合には、ホイールマウント３４内にある研削水は、射出されるまでに、第１の接続路５７あるいは第２の接続路５９の壁面から、強い力を受ける（研削水の受ける遠心力が強くなる）。また、この力は、研削水の射出部位がホイール装着面３４ｂの中心（回転中心）から離れるほど、強くなる。

したがって、ホイールマウント３４の回転速度が速いほど、および、研削水の射出部位が中心から離れるほど、研削水のエネルギーが大きくなり、研削水は、射出部位から比較的に遠くまで飛翔しようとする。このため、回転速度が速いときに、研削水の射出部位が中心から離れていると、射出された研削水の落下位置が適正範囲からはずれる可能性がある。たとえば、研削水が被研削面１ａ上に落ちずに、研削砥石４０の側部にまで飛翔することも考えられる。この場合、一部の研削水が、研削砥石４０の隙間から外側に漏れ出てしまい、研削砥石４０と被研削面１ａとの間に供給されない可能性もある。あるいは、研削水は、大きなエネルギーによって霧状となり、冷却および洗浄効果を持たなくなるとともに、研削砥石４０を越えて、周囲に飛び散ってしまう可能性もある。

そこで、回転速度が速い場合には、第２の接続路５９を遮断し、中心に近い第１の供給口５３から研削水を射出することにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を適正範囲に近づけられる。このため、多くの研削水を、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給することが可能となる。

一方、ホイールマウント３４の回転速度が遅い場合には、ホイールマウント３４内にある研削水にかかる力は弱くなる。また、この力は、研削水の射出部位がホイール装着面３４ｂの中心に近づくほど、弱くなる。したがって、回転速度が遅いほど、および、研削水の射出部位が中心に近いほど、研削水のエネルギーが小さくなり、研削水は、射出部位から比較的に近くに落ちようとする。このため、回転速度が遅いときに、研削水の射出部位が中心に近いと、研削水は、研削砥石４０に到達しにくくなる可能性がある。

そこで、回転速度が遅い場合には、第１の接続路５７を遮断し、中心から遠い第２の供給口５５から研削水を射出することにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を、適正範囲に近づけられる。このため、多くの研削水を、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給することが可能となる。

このように、ホイールマウント３４では、設置される埋め栓６１、６３を切り換えることにより、射出される研削水のエネルギーおよび落下位置を変えることが可能となる。したがって、ホイールマウント３４の回転速度などの、研削水のエネルギーおよび落下位置に影響を与える変数に応じて射出部位を変えることにより、研削水のエネルギーおよび落下位置を適正範囲に近づけることが可能となる。これにより、多くの研削水を、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給することができるので、研削砥石４０の冷却および研削屑の除去を、良好に実施することが可能となる。その結果、研削砥石４０の消耗を低減することができる。

また、ホイールマウント３４は、ホイール装着面３４ｂの中心を中心とする、第１の供給口５３が配設される第１の環状溝６５と、ホイール装着面３４ｂの中心を中心とする、第２の供給口５５が配設される第２の環状溝６７とを備えている。これにより、第１の供給口５３および第２の供給口５５から射出された研削水は、それぞれ、第１の環状溝６５および第２の環状溝６７によって、その内部表面を伝うように誘導されて、被研削面１ａに落ちる。その後、研削水は、被研削面１ａ上を滑って、被研削面１ａと研削砥石４０との間に供給される。したがって、この構成では、研削水における落下位置を制御することができる。このため、研削水が外周側に流れて、研削砥石４０の側部に到達することを抑制することができる。

１：ウェーハ、１ａ：被研削面、
２：研削装置、４：基台、６：支持柱、
８：チャックテーブル部、１２：チャックテーブル、１３：保持面、
１６：Ｚ軸移動機構、１８：Ｚ軸ガイドレール、２０：Ｚ軸移動テーブル、
２２：Ｚ軸ボールネジ、２４：Ｚ軸パルスモータ、
２６：研削手段、２８：支持構造、３０：スピンドルハウジング、３２：スピンドル、
３３：スピンドル流路、
３４：ホイールマウント、３４ａ：スピンドル装着面、３４ｂ：ホイール装着面、
３５：マウント流路、
３６：研削ホイール、３８：ホイール基台、４０：研削砥石、
５１：接続口、５３：第１の供給口、５５：第２の供給口、５７：第１の接続路、
５９：第２の接続路、６１：第１の埋め栓、６３：第２の埋め栓、６５：第１の環状溝、６７：第２の環状溝、７１：研削ホイール取付ネジ穴、７３：ホイールマウント取付穴

Claims

スピンドルの先端に装着されるスピンドル装着面と、該スピンドル装着面の反対面であり環状に配置された研削砥石を有する研削ホイールが装着されるホイール装着面と、を有するホイールマウントであって、
該スピンドル装着面の中心に形成され、該スピンドルの中心を貫通し研削水を通す供給路に接続される接続口と、
該ホイール装着面の中心を中心とし、第１の半径を有する円の円周上に配設される第１の供給口と、
該ホイール装着面の中心を中心とし、該第１の半径よりも大きい第２の半径を有する円の円周上に配設される第２の供給口と、
該接続口と該第１の供給口とを接続するように内部に形成される第１の接続路と、
該接続口と該第２の供給口とを接続するように内部に形成される第２の接続路と、
該第１の接続路を遮断するための第１の埋め栓と、
該第２の接続路を遮断するための第２の埋め栓と、を備え、
該第１の埋め栓もしくは該第２の埋め栓を用いて、研削水を通す接続路が、該第１の接続路と該第２の接続路との間で切り換えられる、ホイールマウント。
該ホイール装着面の中心を中心とする、該第１の供給口が配設される第１の環状溝と、
該ホイール装着面の中心を中心とする、該第２の供給口が配設される第２の環状溝と、
をさらに備える、請求項１記載のホイールマウン卜。