JP2019151745A - Wound body of adhesive sheet with release material - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、両面に剥離材を伴う接着シートの巻回体に関する。 The present invention relates to a wound body of an adhesive sheet with a release material on both sides.
薄い層の形態で使用される接着剤は、両面にセパレータなど剥離材を伴う接着剤層ないし接着シートの形態で、提供されることがある。また、そのような剥離材付き接着シートは、当該シートの取扱い性や加工性などの観点から、長尺のシート体として作製されたうえで巻き回された形態、即ちロールの形態とされる場合がある。ロールの形態をとる剥離材付き接着シート即ち剥離材付き接着シート巻回体に関する技術については、例えば下記の特許文献1,2に記載されている。
The adhesive used in the form of a thin layer may be provided in the form of an adhesive layer or an adhesive sheet with a release material such as a separator on both sides. In addition, such an adhesive sheet with a release material is produced as a long sheet body from the viewpoint of the handleability and workability of the sheet, and is a wound form, that is, a roll form. There is. For example, the following
ロールの形態にある両面剥離材付き接着シートにおいては、従来、剥離材にシワが発生する場合がある。ロールの形態にある当該接着シートの積層構成において内径側に位置する剥離材は、外径側に位置する剥離材よりも小さな曲率半径で湾曲しているので、圧縮応力を受ける傾向にあり、従ってシワを生じやすい。これら二つの剥離材の間に位置する接着剤層ないし接着シートが厚いほど、当該積層構造中の内径側剥離材と外径側剥離材との間の曲率半径の差は大きく、従って、内径側剥離材は大きな圧縮応力を受ける傾向にあってシワを生じやすい。剥離材付き接着シート巻回体における剥離材でのシワの発生は、例えば、剥離材からの接着シートの意図しない剥がれや部分的な浮きの原因となる場合があり、好ましくない。 In an adhesive sheet with a double-sided release material in the form of a roll, wrinkles may conventionally occur in the release material. In the laminated configuration of the adhesive sheet in the form of a roll, the release material located on the inner diameter side is curved with a smaller radius of curvature than the release material located on the outer diameter side, and therefore tends to be subjected to compressive stress, and therefore Prone to wrinkles. The thicker the adhesive layer or adhesive sheet located between these two release materials, the greater the difference in radius of curvature between the inner diameter side release material and the outer diameter side release material in the laminated structure. The release material tends to be subjected to a large compressive stress and tends to wrinkle. Generation | occurrence | production of the wrinkle with the peeling material in the adhesive sheet winding body with a peeling material may cause unintentional peeling of the adhesive sheet from a peeling material, or partial floating, for example, and is unpreferable.
本発明は、以上のような事情のもとで考え出されたものであって、その目的は、剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適した剥離材付き接着シート巻回体を提供することにある。 The present invention has been conceived under the circumstances as described above, and an object thereof is to provide an adhesive sheet wound body with a release material suitable for suppressing the occurrence of wrinkles in the release material. There is.
本発明により提供される剥離材付き接着シートの巻回体は、第1剥離材と、第2剥離材と、複数の接着シートとを備える。第1剥離材は、一方向に延び、且つ、当該延び方向に直交する方向に幅を有する。複数の接着シートは、このような長尺の第1剥離材上において、当該第1剥離材の延び方向に離隔して一列に並ぶ。第2剥離材は、複数の接着シートを第1剥離材とは反対の側で覆う。このような積層構成において、隣り合う二つの接着シートの離隔距離は、当該隣り合う接着シートのそれぞれの延び方向の長さの30%〜150%であり、好ましくは40%〜120%、より好ましくは50%〜110%である。これとともに、第1剥離材の幅方向における各接着シートの長さは、10〜100mmであり、好ましくは12〜50mm、より好ましくは15〜40mmである。このような構成の本剥離材付き接着シート巻回体において、第1および第2剥離材は、それぞれ、いわゆる剥離ライナーであってもよいし、いわゆるダイシングテープであってもよい。また、本巻回体では、剥離材付き接着シートの積層構成において第2剥離材が内径側に位置し且つ第1剥離材が外径側に位置してもよいし、或いは、第1剥離材が内径側に位置し且つ第2剥離材が外径側に位置してもよい。 The wound body of the adhesive sheet with a release material provided by the present invention includes a first release material, a second release material, and a plurality of adhesive sheets. The first release material extends in one direction and has a width in a direction orthogonal to the extending direction. The plurality of adhesive sheets are arranged in a row on such a long first release material, spaced apart in the extending direction of the first release material. The second release material covers the plurality of adhesive sheets on the side opposite to the first release material. In such a laminated structure, the distance between two adjacent adhesive sheets is 30% to 150%, preferably 40% to 120%, more preferably the length of each of the adjacent adhesive sheets in the extending direction. Is 50% to 110%. At the same time, the length of each adhesive sheet in the width direction of the first release material is 10 to 100 mm, preferably 12 to 50 mm, more preferably 15 to 40 mm. In the adhesive sheet roll with the release material having such a configuration, the first and second release materials may be so-called release liners or so-called dicing tapes, respectively. In the wound body, in the laminated structure of the adhesive sheet with the release material, the second release material may be located on the inner diameter side and the first release material may be located on the outer diameter side, or the first release material May be located on the inner diameter side and the second release material may be located on the outer diameter side.
本巻回体の剥離材付き接着シートにおいては、上述のように、複数の接着シートが長尺の第1剥離材上でその延び方向に離隔して一列に並ぶ。第1剥離材と第2剥離材とに挟まれた状態で、隣り合う接着シートは離隔している。このような構成の剥離材付き接着シートがロールの形態をとる本巻回体では、第1剥離材と第2剥離材とが異なる曲率半径で湾曲し、剥離材付き接着シートの積層構造中で内径側に位置する剥離材は、外径側に位置する剥離材よりも小さな曲率半径で湾曲している。これとともに、本巻回体では、各剥離材において接着シートに接していない領域については、隣り合う接着シートの間への変形が許容されている。剥離材付き接着シートの積層構造中の内径側剥離材における接着シート非接触領域について、隣り合う接着シート間への変形が許容されているという構成は、当該内径側剥離材の受ける圧縮応力を緩和するのに適し、従って、当該剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。 In the adhesive sheet with a release material of the present wound body, as described above, a plurality of adhesive sheets are arranged in a line on the long first release material in the extending direction. Adjacent adhesive sheets are spaced apart between the first release material and the second release material. In this winding body in which the adhesive sheet with a release material having such a configuration takes the form of a roll, the first release material and the second release material are curved at different radii of curvature, and the adhesive sheet with the release material is in a laminated structure. The release material located on the inner diameter side is curved with a smaller radius of curvature than the release material located on the outer diameter side. At the same time, in the wound body, deformation between adjacent adhesive sheets is allowed for the regions that are not in contact with the adhesive sheet in each release material. The configuration that the adhesive sheet non-contact region in the inner diameter side release material in the laminated structure of the adhesive sheet with the release material is allowed to be deformed between adjacent adhesive sheets alleviates the compressive stress received by the inner diameter side release material. Therefore, it is suitable for suppressing generation of wrinkles in the release material.
本巻回体においては、上述のように、隣り合う接着シートの離隔距離はその各接着シートの延び方向の長さの30%以上、好ましくは40%以上、より好ましくは50%以上に、広く確保されている。このような構成は、圧縮応力を受ける内径側剥離材について有意な広さの接着シート非接触領域を確保して、隣り合う接着シート間への当該領域の変形に関して有意な変形量を実現するうえで好適であり、従って、当該内径側剥離材の受ける圧縮応力を緩和して当該剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。また、剥離材におけるシワの発生を抑制しつつ高い接着シート配置密度を実現するという観点から、隣り合う二つの接着シートの離隔距離は、当該隣り合う接着シートのそれぞれの延び方向の長さの150%以下であり、好ましくは120%以下、より好ましくは110%以下である。 In the present wound body, as described above, the distance between adjacent adhesive sheets is 30% or more, preferably 40% or more, more preferably 50% or more of the length in the extending direction of each adhesive sheet. It is secured. Such a configuration secures an adhesive sheet non-contact area having a significant width for the inner diameter side release material that receives compressive stress, and realizes a significant deformation amount with respect to deformation of the area between adjacent adhesive sheets. Therefore, it is suitable for relaxing the compressive stress received by the inner diameter side release material and suppressing the generation of wrinkles in the release material. Further, from the viewpoint of realizing a high adhesive sheet arrangement density while suppressing generation of wrinkles in the release material, the separation distance between two adjacent adhesive sheets is 150 of the length in the extending direction of the adjacent adhesive sheets. % Or less, preferably 120% or less, more preferably 110% or less.
以上のように、本発明の剥離材付き接着シート巻回体は、剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適するのである。 As described above, the adhesive sheet roll with the release material of the present invention is suitable for suppressing the generation of wrinkles in the release material.
加えて、本巻回体においては、第1剥離材の幅方向における各接着シートの長さは、10〜100mmであり、好ましくは12〜50mm、より好ましくは15〜40mmである。ロールの形態をとる剥離材付き接着シートにおいては、その接着シートのサイズが小さいほど、剥離材からの接着シートの意図しない剥がれが生じやすい。しかしながら、接着シートのそのような剥がれの原因となり得る、剥離材のシワの発生を、上述のように本巻回体は抑制するのに適する。したがって、本巻回体は、第1剥離材幅方向の長さが上記の程度に短かい小サイズの接着シートを、その意図しない剥がれを抑制しつつ提供するのに適する。 In addition, in this wound body, the length of each adhesive sheet in the width direction of the first release material is 10 to 100 mm, preferably 12 to 50 mm, and more preferably 15 to 40 mm. In the adhesive sheet with a release material in the form of a roll, the smaller the size of the adhesive sheet, the easier the unintentional peeling of the adhesive sheet from the release material occurs. However, as described above, the wound body is suitable for suppressing the generation of wrinkles of the release material that can cause such peeling of the adhesive sheet. Therefore, this wound body is suitable for providing a small-sized adhesive sheet whose length in the width direction of the first release material is as short as described above while suppressing unintended peeling.
好ましくは、第2剥離材は複数の剥離材シートを含み、各剥離材シートは、一の接着シートを第1剥離材とは反対の側で覆う。また、本構成において、隣り合う剥離材シートは、好ましくは離隔している。接着シートの片面を覆う剥離材が接着シートごとに個別に存在するというこのような構成は、剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。その理由は次のとおりである。 Preferably, the second release material includes a plurality of release material sheets, and each release material sheet covers one adhesive sheet on the side opposite to the first release material. Moreover, in this structure, the adjacent release material sheet is preferably spaced apart. Such a configuration in which the release material that covers one surface of the adhesive sheet exists individually for each adhesive sheet is suitable for suppressing the generation of wrinkles in the release material. The reason is as follows.
上記好ましい構成にある本巻回体において、剥離材付き接着シート積層構造中の内径側に第2剥離材すなわち複数の剥離材シートが位置し且つ外径側に第1剥離材が位置する場合、内径側の各剥離材シートそれ自体は外径側の第1剥離材よりも小さな曲率半径で湾曲しているものの、各剥離材シートは隣の剥離材シートからは分離しているので、隣り合う剥離材シートどうしはロール周方向において接近する変位が許容されている。このような構成は、剥離材付き接着シート積層構造中の内径側の剥離材シートが外径側の第1剥離材よりも小さな曲率半径で湾曲していることに起因して当該剥離材シートが受ける圧縮応力を、緩和するのに適し、従って、剥離材シートないし第2剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。一方、上記好ましい構成にある本巻回体において、剥離材付き接着シート積層構造中の内径側に第1剥離材が位置し且つ外径側に第2剥離材すなわち複数の剥離材シートが位置する場合、内径側の第1剥離材は外径側の剥離材シートよりも小さな曲率半径で湾曲しているものの、外径側の各剥離材シートは隣の剥離材シートからは分離しているので、隣り合う剥離材シートどうしはロール周方向において離れる変位が許容されている。このような構成は、剥離材付き接着シート積層構造中の内径側の第1剥離材が外径側の剥離材シートよりも小さな曲率半径で湾曲していることに起因して当該第1剥離材が受ける圧縮応力を、緩和するのに適し、従って、第1剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。 In the wound body in the preferred configuration, when the second release material, that is, a plurality of release material sheets are located on the inner diameter side in the adhesive sheet laminated structure with a release material, and the first release material is located on the outer diameter side, Although each release material sheet on the inner diameter side is curved with a smaller radius of curvature than the first release material on the outer diameter side, each release material sheet is separated from the adjacent release material sheet, so that it is adjacent to each other. The release material sheets are allowed to be displaced in the roll circumferential direction. Such a configuration is because the release material sheet on the inner diameter side in the adhesive sheet laminated structure with the release material is curved with a smaller radius of curvature than the first release material on the outer diameter side. It is suitable for relieving the compressive stress received, and therefore suitable for suppressing the generation of wrinkles in the release material sheet or the second release material. On the other hand, in the wound body having the above preferable configuration, the first release material is located on the inner diameter side in the adhesive sheet laminated structure with the release material, and the second release material, that is, the plurality of release material sheets are located on the outer diameter side. In this case, the first release material on the inner diameter side is curved with a smaller radius of curvature than the release material sheet on the outer diameter side, but each release material sheet on the outer diameter side is separated from the adjacent release material sheet. The adjacent release material sheets are allowed to displace in the roll circumferential direction. Such a configuration is caused by the fact that the first release material on the inner diameter side in the adhesive sheet laminated structure with the release material is curved with a smaller radius of curvature than the release material sheet on the outer diameter side. It is suitable for relieving the compressive stress received by the material, and therefore suitable for suppressing the occurrence of wrinkles in the first release material.
好ましくは、第1剥離材の幅方向において、各剥離材シートは当該剥離材シートの覆う接着シートの外方に延出している。第1剥離材の幅方向において、各剥離材シートの長さは、当該剥離材シートの覆う接着シートの長さの好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。第1剥離材の幅方向において各剥離材シートが当該剥離材シートの覆う接着シートの外方に延出するその長さは例えば0.5〜50mmである。このような構成は、剥離材付き接着シートないし第1剥離材の幅方向の設計寸法を抑えつつ接着シートを剥離材シートによって適切に被覆保護するうえで好ましい。 Preferably, in the width direction of the first release material, each release material sheet extends outward from the adhesive sheet covered by the release material sheet. In the width direction of the first release material, the length of each release material sheet is preferably 110% to 200%, more preferably 115% to 190%, more preferably the length of the adhesive sheet covered by the release material sheet. 120% to 180%. The length of each release material sheet extending outward of the adhesive sheet covered by the release material sheet in the width direction of the first release material is, for example, 0.5 to 50 mm. Such a configuration is preferable for appropriately covering and protecting the adhesive sheet with the release material sheet while suppressing the design dimension in the width direction of the adhesive sheet with the release material or the first release material.
好ましくは、第1剥離材の延び方向において、各剥離材シートは当該剥離材シートの覆う接着シートの外方に延出している。第1剥離材の延び方向において、各剥離材シートの長さは、当該剥離材シートの覆う接着シートの長さの好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。第1剥離材の延び方向において各剥離材シートが当該剥離材シートの覆う接着シートの外方に延出するその長さは例えば0.15〜40mmである。このような構成は、剥離材付き接着シートないし第1剥離材の延び方向における接着シート配置密度を確保しつつ接着シートを剥離材シートによって適切に被覆保護するうえで好ましい。 Preferably, in the extending direction of the first release material, each release material sheet extends outward from the adhesive sheet covered by the release material sheet. In the extending direction of the first release material, the length of each release material sheet is preferably 110% to 200%, more preferably 115% to 190%, more preferably the length of the adhesive sheet covered by the release material sheet. 120% to 180%. The length of each release material sheet extending outward of the adhesive sheet covered by the release material sheet in the extending direction of the first release material is, for example, 0.15 to 40 mm. Such a configuration is preferable for appropriately covering and protecting the adhesive sheet with the release material sheet while securing the adhesive sheet arrangement density in the extending direction of the release sheet with the release material or the first release material.
第2剥離材の25℃での貯蔵弾性率に対する、第1剥離材の25℃での貯蔵弾性率の比の値は、接着シートを挟むこれら第1および第2剥離材の剛性・柔軟性のバランスの観点からは、好ましくは0.2〜5、より好ましくは0.3〜3、より好ましくは0.5〜2.5である。 The ratio of the storage elastic modulus at 25 ° C. of the first release material to the storage elastic modulus at 25 ° C. of the second release material is the rigidity / flexibility of the first and second release materials sandwiching the adhesive sheet. From the viewpoint of balance, it is preferably 0.2 to 5, more preferably 0.3 to 3, and more preferably 0.5 to 2.5.
好ましくは、第1剥離材の幅方向において第2剥離材の縁端は第1剥離材の縁端よりも内方に退避している。その退避の長さは、好ましくは1〜20mm、より好ましくは1.5〜15mm、より好ましくは2〜10mmである。これら構成は、接着シートを伴いつつ第2剥離材を第1剥離材から剥離しやすくするうえで好適である。 Preferably, the edge of the second release material is retracted inward from the edge of the first release material in the width direction of the first release material. The retracted length is preferably 1 to 20 mm, more preferably 1.5 to 15 mm, and more preferably 2 to 10 mm. These configurations are suitable for easily peeling the second release material from the first release material with the adhesive sheet.
本剥離材付き接着シート巻回体の最内径は、好ましくは6インチ(15.24cm)以下、より好ましくは5インチ(12.7cm)以下である。また、本剥離材付き接着シートの最内径は例えば1インチ(2.54cm)以上である。本巻回体の剥離材付き接着シートの最内径が小さいほど、内径側の剥離材の受ける圧縮応力は大きい傾向にあるものの、本巻回体の剥離材付き接着シートは、内径側剥離材の受ける圧縮応力を緩和して当該内径側剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適した構成を、上述のように具備するものである。 The innermost diameter of the adhesive sheet roll with the release material is preferably 6 inches (15.24 cm) or less, more preferably 5 inches (12.7 cm) or less. Moreover, the innermost diameter of the adhesive sheet with the release material is, for example, 1 inch (2.54 cm) or more. Although the compressive stress received by the release material on the inner diameter side tends to be larger as the innermost diameter of the adhesive sheet with the release material of the wound body is smaller, the adhesive sheet with the release material of the wound body is The structure suitable for relieving the compressive stress received and suppressing the generation of wrinkles in the inner diameter side release material is provided as described above.
好ましくは、各接着シートにおける延び方向の長さは幅方向の長さよりも短い。このような構成は、本剥離材付き接着シート巻回体の輸送中やハンドリング時において、剥離材からの接着シートの意図しない剥離を防止するうえで、好適である。 Preferably, the length of each adhesive sheet in the extending direction is shorter than the length in the width direction. Such a configuration is suitable for preventing unintentional peeling of the adhesive sheet from the release material during transportation or handling of the wound adhesive sheet roll with the release material.
本剥離材付き接着シート巻回体において、隣り合う接着シートの離隔距離は、好ましくは1〜50mm、より好ましくは1〜30mm、より好ましくは1〜15mmである。このような構成は、剥離材付き接着シートないし第1剥離材の延び方向における接着シート配置密度を確保しつつ上述のシワ抑制効果を享受するうえで好ましい。 In the adhesive sheet roll with the release material, the separation distance between adjacent adhesive sheets is preferably 1 to 50 mm, more preferably 1 to 30 mm, and more preferably 1 to 15 mm. Such a configuration is preferable in order to enjoy the above-described wrinkle suppression effect while securing the adhesive sheet arrangement density in the extending direction of the adhesive sheet with the release material or the first release material.
図1は、本発明の一の実施形態に係る剥離材付き接着シート巻回体であるロールXを表す。ロールXは、剥離材付き接着シート10の巻回体である。図2は、剥離材付き接着シート10の部分平面図であり、図3は、剥離材付き接着シート10の部分断面図である。
FIG. 1 shows a roll X that is a wound adhesive sheet roll with a release material according to an embodiment of the present invention. The roll X is a wound body of the adhesive sheet with a
剥離材付き接着シート10は、長尺の剥離材11と、複数の剥離材12と、複数の接着シート13とを備える。剥離材11は、各接着シート13の一方の面を覆うための要素であり、一方向に延び、且つ、その延び方向F(図2および図3に示す)に直交する方向に幅を有する。複数の接着シート13は、このような長尺の剥離材11上において、延び方向Fに離隔して一列に並ぶ。各剥離材12は、一の接着シート13を剥離材11とは反対の側で覆うための剥離材シートである。本実施形態では、剥離材付き接着シート10は、その積層構造中で剥離材12が剥離材11よりも内径側に位置するロールの形態をとる。すなわち、本実施形態では、剥離材付き接着シート10は、当該シートの積層構造中で剥離材12が剥離材11よりも内径側に位置する態様ないし方向で、巻き芯Cに巻き付けられている。
The adhesive sheet with
剥離材付き接着シート10における剥離材11,12は、接着シート13の使用にあたって接着シート13から剥離されうる。このような剥離材11および/または剥離材12は、例えばセパレータである。セパレータとしては、例えば、接着シート13の密着することとなる表面に例えばコロナ処理とその後の剥離処理とが施された樹脂フィルムや紙材を用いることができる。セパレータ用の樹脂フィルムをなすための樹脂材料としては、例えば、ポリオレフィンおよびポリエステルが挙げられる。ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン−ブテン共重合体、およびエチレン−ヘキセン共重合体が挙げられる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、およびポリブチレンテレフタレート(PBT)が挙げられる。セパレータ用の樹脂フィルムは、無延伸フィルムであってもよいし、一軸延伸フィルムであってもよいし、二軸延伸フィルムであってもよい。上記の剥離処理のための剥離処理剤としては、例えば、シリコーン系剥離処理剤、長鎖アルキル系剥離処理剤、フッ素系剥離処理剤、および硫化モリブデン剥離処理が挙げられる。セパレータとしての剥離材11,12は、それぞれ、一種類の材料からなってもよいし、二種類以上の材料からなってもよい。セパレータとしての剥離材11,12は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。
The
セパレータとしての各剥離材12は、当該剥離材12とともに接着シート13をピックアップ機構が認識およびピックアップする際などに利用されるアライメント用のマークないし着色部を有してもよい。
Each
剥離材12は、基材と粘着剤層との積層構造を有するダイシングテープであってもよい。剥離材12がダイシングテープである場合、各剥離材12は、例えば円盤形状を有し、その粘着剤層の側で接着シート13に接して当該接着シート13を覆う。
The
剥離材11,12の厚さは、それぞれ、例えば25〜200μmである。剥離材11,12は、同じ厚さを有してもよいし、異なる厚さを有してもよい。
Each of the
各接着シート13から各剥離材12を剥離するのに要する剥離力は、接着シート13から剥離材11を剥離するのに要する剥離力よりも大きく設定されてもよいし、或いは小さく設定されてもよい。剥離力に関する当該大小関係およびその差の大きさについては、ロールXないしその剥離材付き接着シート10の使用態様に応じて適宜に設定される。
The peel force required to peel each
剥離材11,12の25℃での貯蔵弾性率は、それぞれ、好ましくは1000Pa以上、より好ましくは1500Pa以上、より好ましくは2000Pa以上である。剥離材12の25℃での貯蔵弾性率に対する、剥離材11の25℃での貯蔵弾性率の比の値は、接着シート13を剥離材11,12の剛性・柔軟性のバランスの観点からは、好ましくは0.2〜5、より好ましくは0.3〜3、より好ましくは0.5〜2.5である。また、剥離材11(本実施形態では外径側剥離材)の25℃での貯蔵弾性率は、好ましくは、剥離材12(本実施形態では内径側剥離材)の25℃での貯蔵弾性率よりも小さい。この場合、剥離材12の25℃での貯蔵弾性率に対する、剥離材11の25℃での貯蔵弾性率の比の値は、好ましくは0.5〜1、より好ましくは0.7〜0.99、より好ましくは0.8〜0.98である。25℃での貯蔵弾性率については、動的粘弾性測定装置(商品名「RSA III」,TA Instruments社製)を使用して行う動的粘弾性測定に基づき求めることができる。本測定においては、測定対象物たる試料片のサイズを長さ30mm×幅10mmとし、試料片保持用チャックのチャック間距離を20mmとし、測定モードを引張りモードとし、測定温度範囲を−30℃〜100℃とし、周波数を1Hzとし、歪みを0.1%とし、昇温速度を5℃/分とする。
The storage elastic modulus at 25 ° C. of the
剥離材11,12の幅、即ち幅方向Wの長さは、それぞれ、例えば5〜100mmである。好ましくは、幅方向Wにおいて、剥離材12の縁端は剥離材11の縁端よりも内方に退避している。その退避の長さd1は、好ましくは0.5〜20mm、より好ましくは1〜20mm、より好ましくは1〜15mm、より好ましくは1.5〜15mm、より好ましくは2〜10mmである。
The width of the
剥離材付き接着シート10における接着シート13は、シート状の粘着剤であり、本実施形態では、熱硬化性樹脂と例えばバインダー成分としての熱可塑性樹脂とを含む組成を有してもよいし、硬化剤と反応して結合を生じ得る熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を含む組成を有してもよい。このような接着シート13は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。
The
接着シート13が、熱硬化性樹脂を熱可塑性樹脂とともに含む場合、当該熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、および熱硬化性ポリイミド樹脂が挙げられる。接着シート13は、一種類の熱硬化性樹脂を含有してもよいし、二種類以上の熱硬化性樹脂を含有してもよい。被着体の腐食原因となる可能性を有するイオン性不純物等の含有量が少ない傾向にあるという理由からは、接着シート13に含まれる熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。
When the
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、およびテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂などの二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂としては、ヒダントイン型エポキシ樹脂、トリスグリシジルイソシアヌレート型エポキシ樹脂、およびグリシジルアミン型エポキシ樹脂も挙げられる。接着シート13は、一種類のエポキシ樹脂を含有してもよいし、二種類以上のエポキシ樹脂を含有してもよい。
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, and biphenyl type epoxy. Bifunctional and polyfunctional resins such as resins, naphthalene type epoxy resins, fluorene type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, orthocresol novolac type epoxy resins, trishydroxyphenylmethane type epoxy resins, and tetraphenylolethane type epoxy resins An epoxy resin is mentioned. Examples of the epoxy resin include hydantoin type epoxy resin, trisglycidyl isocyanurate type epoxy resin, and glycidylamine type epoxy resin. The
エポキシ樹脂の硬化剤として作用しうるフェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、および、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレンが挙げられる。ノボラック型フェノール樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、tert-ブチルフェノールノボラック樹脂、およびノニルフェノールノボラック樹脂が挙げられる。接着シート13は、一種類のフェノール樹脂を含有してもよいし、二種類以上のフェノール樹脂を含有してもよい。
Examples of the phenol resin that can act as a curing agent for the epoxy resin include novolac-type phenol resins, resol-type phenol resins, and polyoxystyrenes such as polyparaoxystyrene. Examples of the novolak type phenol resin include phenol novolak resin, phenol aralkyl resin, cresol novolak resin, tert-butylphenol novolak resin, and nonylphenol novolak resin. The
接着シート13において、エポキシ樹脂とフェノール樹脂との硬化反応を充分に進行させるという観点からは、フェノール樹脂は、エポキシ樹脂成分中のエポキシ基1当量当たり、当該フェノール樹脂中の水酸基が好ましくは0.5〜2.0当量、より好ましくは0.8〜1.2当量となる量で、含まれる。
In the
接着シート13における熱硬化性樹脂の含有割合は、接着シート13において熱硬化型接着剤としての機能を適切に発現させるという観点からは、好ましくは5〜60質量%、より好ましくは10〜50質量%である。
The content of the thermosetting resin in the
接着シート13に含まれる熱可塑性樹脂としては、例えば、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、6-ナイロンや6,6-ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、PETやPBT等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、およびフッ素樹脂が挙げられる。接着シート13は、一種類の熱可塑性樹脂を含有してもよいし、二種類以上の熱可塑性樹脂を含有してもよい。接着シート13に含まれる熱可塑性樹脂としては、イオン性不純物が少なく且つ耐熱性が高いために接着シート13による接合信頼性を確保しやすいという理由から、アクリル樹脂が好ましい。
Examples of the thermoplastic resin contained in the
接着シート13が熱可塑性樹脂としてアクリル樹脂を含有する場合の当該アクリル樹脂は、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多く含む。「(メタ)アクリル」は、「アクリル」および/または「メタクリル」を意味するものとする。
When the
アクリル樹脂のモノマーユニットをなすための(メタ)アクリル酸エステル、即ち、アクリル樹脂の構成モノマーである(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、および(メタ)アクリル酸アリールエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、s-ブチルエステル、t-ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、2-エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル(即ちラウリルエステル)、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸フェニルおよび(メタ)アクリル酸ベンジルが挙げられる。アクリル樹脂の構成モノマーとして、一種類の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよいし、二種類以上の(メタ)アクリル酸エステルが用いられてもよい。また、アクリル樹脂は、それを形成するための原料モノマーを重合して得ることができる。重合手法としては、例えば、溶液重合、乳化重合、塊状重合、および懸濁重合が挙げられる。 Examples of (meth) acrylic acid ester for forming an acrylic resin monomer unit, that is, (meth) acrylic acid ester that is a constituent monomer of acrylic resin, include (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid cyclohexane. Examples include alkyl esters and (meth) acrylic acid aryl esters. Examples of (meth) acrylic acid alkyl esters include (meth) acrylic acid methyl ester, ethyl ester, propyl ester, isopropyl ester, butyl ester, isobutyl ester, s-butyl ester, t-butyl ester, pentyl ester, Pentyl ester, hexyl ester, heptyl ester, octyl ester, 2-ethylhexyl ester, isooctyl ester, nonyl ester, decyl ester, isodecyl ester, undecyl ester, dodecyl ester (ie lauryl ester), tridecyl ester, tetradecyl ester , Hexadecyl ester, octadecyl ester, and eicosyl ester. Examples of (meth) acrylic acid cycloalkyl ester include cyclopentyl ester and cyclohexyl ester of (meth) acrylic acid. Examples of the (meth) acrylic acid aryl ester include phenyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate. As a constituent monomer of the acrylic resin, one kind of (meth) acrylic acid ester may be used, or two or more kinds of (meth) acrylic acid esters may be used. The acrylic resin can be obtained by polymerizing raw material monomers for forming the acrylic resin. Examples of the polymerization technique include solution polymerization, emulsion polymerization, bulk polymerization, and suspension polymerization.
アクリル樹脂は、例えばその凝集力や耐熱性の改質のために、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な一種類の又は二種類以上の他のモノマーを構成モノマーとしてもよい。そのようなモノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルが挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、(メタ)アクリル酸カルボキシエチル、(メタ)アクリル酸カルボキシペンチル、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8-ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10-ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12-ヒドロキシラウリル、および(メタ)アクリル酸(4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチルが挙げられる。エポキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジルおよび(メタ)アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、および(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。 The acrylic resin may contain, as a constituent monomer, one or two or more other monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid ester, for example, in order to improve cohesive strength and heat resistance. Examples of such monomers include carboxy group-containing monomers, acid anhydride monomers, hydroxy group-containing monomers, epoxy group-containing monomers, sulfonic acid group-containing monomers, phosphate group-containing monomers, acrylamide, and acrylonitrile. Examples of the carboxy group-containing monomer include acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl (meth) acrylate, carboxypentyl (meth) acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid. Examples of the acid anhydride monomer include maleic anhydride and itaconic anhydride. Examples of the hydroxy group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, ( Examples include 8-hydroxyoctyl (meth) acrylate, 10-hydroxydecyl (meth) acrylate, 12-hydroxylauryl (meth) acrylate, and (4-hydroxymethylcyclohexyl) methyl (meth) acrylate. Examples of the epoxy group-containing monomer include glycidyl (meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate. Examples of the sulfonic acid group-containing monomer include styrene sulfonic acid, allyl sulfonic acid, 2- (meth) acrylamide-2-methylpropane sulfonic acid, (meth) acrylamide propane sulfonic acid, and (meth) acryloyloxynaphthalene sulfonic acid. Can be mentioned. Examples of the phosphate group-containing monomer include 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate.
接着シート13が、熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を含む組成を有する場合、当該熱可塑性樹脂としては、例えば、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂を用いることができる。この熱硬化性官能基含有アクリル樹脂をなすためのアクリル樹脂は、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多く含む。そのような(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、接着シート13に含有されるアクリル樹脂の構成モノマーとして上記したのと同様の(メタ)アクリル酸エステルを用いることができる。一方、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂をなすための熱硬化性官能基としては、例えば、グリシジル基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、およびイソシアネート基が挙げられる。これらのうち、グリシジル基およびカルボキシ基を好適に用いることができる。すなわち、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂としては、グリシジル基含有アクリル樹脂やカルボキシ基含有アクリル樹脂を好適に用いることができる。また、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂における熱硬化性官能基の種類に応じて、それと反応を生じうる硬化剤が選択される。熱硬化性官能基含有アクリル樹脂の熱硬化性官能基がグリシジル基である場合、硬化剤としては、エポキシ樹脂用硬化剤として上記したのと同様のフェノール樹脂を用いることができる。
When the
被着体間接着用に硬化される前の接着シート13について、ある程度の架橋度を実現するためには、例えば、接着シート13に含まれる上述の樹脂成分の分子鎖末端の官能基等と反応して結合を生じうる多官能性化合物を架橋剤として接着シート形成用樹脂組成物に配合しておくのが好ましい。このような構成は、接着シート13について、高温下での接着特性を向上させるうえで、また、耐熱性の改善を図るうえで、好適である。そのような架橋剤としては、例えばポリイソシアネート化合物が挙げられる。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、p-フェニレンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、および、多価アルコールとジイソシアネートの付加物が挙げられる。接着シート形成用樹脂組成物における架橋剤含有量は、当該架橋剤と反応して結合を生じうる上記官能基を有する樹脂100質量部に対し、例えば0.05〜7質量部である。また、接着シート13中の架橋剤としては、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物をポリイソシアネート化合物と併用してもよい。
In order to achieve a certain degree of cross-linking with respect to the
接着シート13は、フィラーを含有してもよい。接着シート13へのフィラーの配合は、接着シート13の貯蔵弾性率や、降伏点強度、破断伸度などの物性を調整するうえで好ましい。フィラーの形状は、例えば球状、針状、またはフレーク状であり、フィラーとしては、無機フィラーおよび有機フィラーが挙げられる。無機フィラーの構成材料としては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ホウ酸アルミニウムウィスカ、窒化ホウ素、結晶質シリカ、および非晶質シリカが挙げられる。無機フィラーの構成材料としては、アルミニウム、金、銀、銅、ニッケル等の単体金属や、合金、アモルファスカーボン、グラファイトなども挙げられる。接着シート13が無機フィラーを含有する場合の当該無機フィラーの含有量は、例えば10質量%以上である。有機フィラーの構成材料としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、およびポリエステルイミドが挙げられる。接着シート13が有機フィラーを含有する場合の当該有機フィラーの含有量は、例えば2質量%以上である。接着シート13は、一種類のフィラーを含有してもよいし、二種類以上のフィラーを含有してもよい。接着シート13がフィラーを含有する場合の当該フィラーの平均粒径は、好ましくは0.005〜10μm、より好ましくは0.05〜1μmである。当該フィラーの平均粒径が0.005μm以上であるという構成は、接着シート13において、半導体チップ等の被着体に対する高い濡れ性や接着性を実現するうえで好適である。当該フィラーの平均粒径が10μm以下であるという構成は、接着シート13において充分なフィラー添加効果を得るとともに耐熱性を確保するうえで好適である。フィラーの平均粒径は、例えば、光度式の粒度分布計(商品名「LA−910」,株式会社堀場製作所製)を使用して求めることができる。
The
接着シート13は、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。当該他の成分としては、例えば、難燃剤、シランカップリング剤、およびイオントラップ剤が挙げられる。難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、および臭素化エポキシ樹脂が挙げられる。シランカップリング剤としては、例えば、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、およびγ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシランが挙げられる。イオントラップ剤としては、例えば、ハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス、含水酸化アンチモン(例えば東亜合成株式会社製の「IXE-300」)、特定構造のリン酸ジルコニウム(例えば東亜合成株式会社製の「IXE-100」)、ケイ酸マグネシウム(例えば協和化学工業株式会社製の「キョーワード600」)、およびケイ酸アルミニウム(例えば協和化学工業株式会社製の「キョーワード700」)を挙げることができる。金属イオンとの間で錯体を形成し得る化合物もイオントラップ剤として使用することができる。そのような化合物としては、例えば、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、およびビピリジル系化合物が挙げられる。これらのうち、金属イオンとの間で形成される錯体の安定性の観点からはトリアゾール系化合物が好ましい。そのようなトリアゾール系化合物としては、例えば、1,2,3-ベンゾトリアゾール、1-{N,N-ビス(2-エチルヘキシル)アミノメチル}ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3-t-ブチル-5-メチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、6-(2-ベンゾトリアゾリル)-4-t-オクチル-6'-t-ブチル-4'-メチル-2,2'-メチレンビスフェノール、1-(2',3'-ヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾール、1-(1,2-ジカルボキシジエチル)ベンゾトリアゾール、1-(2-エチルヘキシルアミノメチル)ベンゾトリアゾール、2,4-ジ-t-ペンチル-6-{(H-ベンゾトリアゾール-1-イル)メチル}フェノール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)-2H-ベンゾトリアゾール、C7-C9-アルキル-3-[3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-5-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシフェニル]プロピオンエーテル、オクチル-3-[3-t-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネート、2-エチルヘキシル-3-[3-t-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネート、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-6-(1-メチル-1-フェニルエチル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-t-ブチルフェノール、2-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-オクチルフェニル)-ベンゾトリアゾール、2-(3-t-ブチル-2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルフェニル)-5-クロロ-ベンゾトリアゾール、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ジ(1,1-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、2,2'-メチレンビス[6-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール]、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ビス(α,α-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、および、メチル-3-[3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-5-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル]プロピオネートが挙げられる。また、キノール化合物や、ヒドロキシアントラキノン化合物、ポリフェノール化合物などの所定の水酸基含有化合物も、イオントラップ剤として使用することができる。そのような水酸基含有化合物としては、具体的には、1,2-ベンゼンジオール、アリザリン、アントラルフィン、タンニン、没食子酸、没食子酸メチル、ピロガロールなどが挙げられる。以上のような他の成分としては、一種類の成分を用いてもよいし、二種類以上の成分を用いてもよい。
The
接着シート13の厚さは、例えば5〜300μmであり、接着シート13に求められる接着用途に応じて適宜に設定される。
The thickness of the
複数の接着シート13は、上述のように、長尺の剥離材11上において延び方向Fに離隔して一列に並ぶ。各接着シート13について、延び方向Fの長さL1は、例えば3〜80mmであり、好ましくは4〜40mm、より好ましくは5〜30mmである。各接着シート13について、幅方向Wの長さL2は、10〜100mmであり、好ましくは12〜50mm、より好ましくは15〜40mmである。各接着シート13における長さL1は、好ましくは、長さL2よりも短い。
As described above, the plurality of
延び方向Fにおいて、隣り合う接着シート13の離隔距離Dは、好ましくは1〜50mm、より好ましくは2〜30mm、より好ましくは3〜20mmである。すべての離隔距離Dが同一であってもよいし、そうでなくてもよい。また、延び方向Fにおいて、隣り合う二つの接着シート13の離隔距離Dは、当該隣り合う接着シート13のそれぞれの長さL1の30%〜150%であり、好ましくは40%〜120%、より好ましくは50%〜110%である。
In the extending direction F, the separation distance D between the adjacent
剥離材シートとしての各剥離材12は、延び方向Fにおいて、当該剥離材12の覆う接着シート13の外方に延出している。延び方向Fにおいて、各剥離材12の長さは、当該剥離材12の覆う接着シート13の長さL1の、好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。延び方向Fにおいて各剥離材材12が当該剥離材12の覆う接着シート13の外方に延出するその長さは例えば0.15〜40mmである。
Each
剥離材シートとしての各剥離材12は、幅方向Wにおいて、当該剥離材12の覆う接着シート13の外方に延出している。幅方向Wにおいて、各剥離材12の長さは、当該剥離材12の覆う接着シート13の長さL2の、好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。幅方向Wにおいて各剥離材材12が当該剥離材12の覆う接着シート13の外方に延出するその長さd2は例えば0.5〜50mmである。
Each
以上のような構成の剥離材付き接着シート10については、例えば次のようにして製造することができる。まず、接着シート13形成用の接着剤組成物を長尺の剥離材11上に塗布して長尺の接着剤層を形成した後、当該接着剤層上にこれに沿って長尺の所定のセパレータ(第1セパレータ)を積層する。次に、第1セパレータの側から剥離材11に至るまで加工刃を突入させる打抜き加工により、剥離材11上に所定形状の各接着シート13を形成する。次に、形成された接着シート13を剥離材11上に残しつつ、第1セパレータと接着シート13間の接着剤層材料部とを剥離材11上から取り除く。次に、長尺の剥離材11上において離隔して並ぶ複数の接着シート13を覆うように当該複数の接着シート13上に別の長尺のセパレータ(第2セパレータ)を積層する。次に、当該第2セパレータに対する打抜き加工により、所定形状の剥離材12を形成し、剥離材12間の第2セパレータ材料部の除去を行う。例えば以上のようにして、剥離材付き接着シート10を製造することができる。
About the
このようにして製造される剥離材付き接着シート10が、上述のように、巻き芯Cに巻き付けられてロールXをなす。巻き芯Cの直径、即ち、ロールXの最内径Rは、好ましくは6インチ(15.24cm)以下、より好ましくは5インチ(12.7cm)以下である。また、ロールXの最内径Rは例えば1インチ(2.54cm)以上である。巻き芯Cの構成材料としては、例えば、プラスチック材料や紙材が挙げられる。巻き芯C用のプラスチック材料としては、例えば、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体(ABS)、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、およびエチレン−酢酸ビニル共重合体が挙げられる。
The
ロールXないし剥離材付き接着シート10は、例えば、半導体装置の製造過程において次のようにして使用される。まず、ロールXから剥離材付き接着シート10を所定の速度で繰り出しつつ、長尺の剥離材11上で搬送される状態にある所定の剥離材12付き接着シート13から、ピックアップ機構によるピックアップの直前に剥離材11が剥離される。剥離材11の剥離された剥離材12付き接着シート13は、ピックアップ機構によってピックアップされる。次に、半導体チップの所定面に対して剥離材12付き接着シート13がその接着シート13側にて貼り付けられる。次に、半導体チップ上の接着シート13から剥離材12が剥離される。次に、接着シート13を伴う半導体チップが所定の実装基板に接合される。その後、実装基板と半導体チップとの間において必要に応じて接着シート13が熱硬化され、これによって実装基板に対して半導体チップが接合される。半導体装置の製造過程においては例えば以上のようにして、ロールXないし剥離材付き接着シート10は使用される。
The roll X or the
以上のようなロールXの剥離材付き接着シート10においては、上述のように、複数の接着シート13が長尺の剥離材11上でその延び方向に離隔して一列に並ぶ。このような構成の剥離材付き接着シート10のロールXにおいて、本実施形態では、剥離材11と剥離材12とが異なる曲率半径で湾曲し、剥離材付き接着シート10の積層構造中で内径側に位置する剥離材12は、外径側に位置する剥離材11よりも小さな曲率半径で湾曲している。これとともに、ロールXでは、剥離材11,12において接着シート13に接していない領域については、隣り合う接着シート13の間への変形が許容されている。剥離材付き接着シート10の積層構造中の内径側の剥離材12における接着シート非接触領域について、隣り合う接着シート13間への変形が許容されているという構成は、内径側の剥離材12の受ける圧縮応力を緩和するのに適し、従って、剥離材12におけるシワの発生を抑制するのに適する。
In the
また、ロールXにおいては、上述のように、隣り合う接着シート13の離隔距離Dはその各接着シート13の長さL1(延び方向Fの長さ)の30%以上、好ましくは40%以上、より好ましくは50%以上に、広く確保されている。このような構成は、圧縮応力を受ける内径側の剥離材12について有意な広さの接着シート非接触領域を確保して、隣り合う接着シート13間への当該領域の変形に関して有意な変形量を実現するうえで好適であり、従って、剥離材12の受ける圧縮応力を緩和して剥離材12におけるシワの発生を抑制するのに適する。また、隣り合う二つの接着シート13の離隔距離Dは、上述のように、当該隣り合う接着シート13のそれぞれの長さL1(延び方向Fの長さ)の150%以下であり、好ましくは120%以下、より好ましくは110%以下である。このような構成は、剥離材12におけるシワの発生を抑制しつつ高い接着シート配置密度を実現するのに好適である。
Further, in the roll X, as described above, the separation distance D between the adjacent
加えて、本実施形態では、内径側の剥離材シートとしての剥離材12それ自体は、外径側の剥離材11よりも小さな曲率半径で湾曲しているものの、各剥離材12は隣の剥離材12からは分離しているので、隣り合う剥離材12どうしはロールXの周方向において接近する変位が許容されている。このような構成は、剥離材付き接着シート10積層構造中の内径側の剥離材12が外径側の剥離材11よりも小さな曲率半径で湾曲していることに起因して当該剥離材12が受ける圧縮応力を、緩和するのに適し、従って、剥離材12におけるシワの発生を抑制するのに適する。一方、ロールXにおける剥離材付き接着シート10の巻き回し方向が本実施形態のそれとは逆である場合であっても、シワ抑制効果を得ることが可能である。剥離材付き接着シート10の積層構造中の内径側に剥離材11が位置し且つ外径側に剥離材12が位置するように剥離材付き接着シート10が巻き回されている場合、内径側の剥離材11は外径側の剥離材12よりも小さな曲率半径で湾曲しているものの、外径側の各剥離材12は隣の剥離材12からは分離しているので、隣り合う剥離材12どうしはロール周方向において離れる変位が許容されている。このような構成は、剥離材付き接着シート10の積層構造中の内径側の剥離材11が外径側の剥離材12よりも小さな曲率半径で湾曲していることに起因して当該剥離材11が受ける圧縮応力を、緩和するのに適し、従って、剥離材11におけるシワの発生を抑制するのに適するのである。
In addition, in this embodiment, although the
以上のように、ロールX、即ち、剥離材付き接着シート10の巻回体は、その剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適する。
As described above, the roll X, that is, the wound body of the adhesive sheet with a
このようなロールXにおいて、剥離材付き接着シート10ないし剥離材11,12の幅方向Wにおける各接着シート13の長さL2は、上述のように、10〜100mmであり、好ましくは12〜50mm、より好ましくは15〜40mmである。ロールの形態をとる剥離材付き接着シートにおいては、その接着シートのサイズが小さいほど、剥離材からの接着シートの意図しない剥がれが生じやすい。しかしながら、接着シート13についてそのような剥がれの原因となり得る、剥離材のシワの発生を、上述のようにロールXは抑制するのに適する。したがって、ロールXは、幅方向Wの長さL2が上記の程度に短かい小サイズの接着シート13を、その意図しない剥がれを抑制しつつ提供するのに適する。
In such a roll X, the length L2 of each
上述のように、剥離材11の幅方向Wにおいて、各剥離材12はそれの覆う接着シート13の外方に延出し、当該幅方向Wにおいて、各剥離材12の長さは、それの覆う接着シート13の長さL2の、好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。このような構成は、剥離材付き接着シート10の幅方向の設計寸法を抑えつつ接着シート13を剥離材12によって適切に被覆保護するうえで好ましい。
As described above, in the width direction W of the
上述のように、剥離材11の延び方向Fにおいて、各剥離材12はそれの覆う接着シート13の外方に延出し、当該延び方向Fにおいて、各剥離材12の長さは、それの覆う接着シート13の長さL1の、好ましくは110%〜200%、より好ましくは115%〜190%、より好ましくは120%〜180%である。このような構成は、剥離材付き接着シート10ないし剥離材11の延び方向Fにおける接着シート配置密度を確保しつつ接着シート13を剥離材12によって適切に被覆保護するうえで好ましい。
As described above, in the extending direction F of the
上述のように、剥離材12の25℃での貯蔵弾性率に対する、剥離材11の25℃での貯蔵弾性率の比の値は、好ましくは0.5〜1、より好ましくは0.7〜0.99、より好ましくは0.8〜0.98である。このような構成は、上述の剥離材付き接着シート10において外径側に位置する剥離材11と内径側に位置する剥離材12とについてシワの発生を抑制するうえで好適である。
As described above, the ratio of the storage elastic modulus at 25 ° C. of the
上述のように、剥離材11の幅方向Wにおいて剥離材12の縁端は剥離材11の縁端よりも内方に退避している。その退避の長d1さは、好ましくは0.5〜20mm、より好ましくは1〜20mm、より好ましくは1〜15mm、より好ましくは1.5〜15mm、より好ましくは2〜10mmである。これら構成は、接着シート13を伴いつつ剥離材12を剥離材11から剥離しやすくするうえで好適である。
As described above, the edge of the
剥離材付き接着シート10ロールXの最内径は、好ましくは6インチ(15.24cm)以下、より好ましくは5インチ(12.7cm)以下である。また、剥離材付き接着シート10の最内径は例えば1インチ(2.54cm)以上である。ロールXの剥離材付き接着シート10の最内径が小さいほど、内径側の剥離材の受ける圧縮応力は大きい傾向にあるものの、ロールXの剥離材付き接着シート10は、内径側剥離材の受ける圧縮応力を緩和して当該内径側剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適した構成を、上述のように具備するものである。
The innermost diameter of the
上述のように、各接着シート13において、上記延び方向Fの長さL1は上記幅方向Wの長さL2よりも短い。このような構成は、ロールXないし剥離材付き接着シート10の輸送中やハンドリング時において、剥離材11,12からの接着シート13の意図しない剥離を防止するうえで、好適である。
As described above, in each
上述のように、剥離材付き接着シート10ないしロールXにおいて、隣り合う接着シート13の離隔距離は、好ましくは1〜50mm、より好ましくは1〜30mm、より好ましくは1〜15mmである。このような構成は、剥離材付き接着シート10ないし剥離材11の延び方向における接着シート配置密度を確保しつつ上述のシワ抑制効果を享受するうえで好ましい。
As described above, in the adhesive sheet with
図4は、接着シート13について形状(平面視形状)のバリエーションを表す。接着シート13の平面視形状は、図4(a)に示すように正方形であってもよい。接着シート13は、図4(b)に示すように、上記幅方向Wの両端に位置する三角形状とその間の矩形とが合した形状を有してもよい。接着シート13は、図4(c)に示すように、上記幅方向Wの両端に位置する台形形状とその間の矩形とが合した形状を有してもよい。また、図4(d)に示すように、接着シート13の平面視形状は円形であってもよい。
FIG. 4 shows variations of the shape (planar shape) of the
図5および図6は、剥離材付き接着シート10の変形例である剥離材付き接着シート10Aを表す。
5 and 6 show an adhesive sheet with a
剥離材付き接着シート10Aは、長尺の剥離材11と、長尺の剥離材12Aと、複数の接着シート13とを備える。剥離材付き接着シート10Aは、剥離材シートとしての複数の剥離材12に代えて長尺の剥離材12Aを備える点において、上述の剥離材付き接着シート10と異なる。剥離材付き接着シート10Aにおける剥離材12Aは、各接着シート13を剥離材11とは反対の側で覆うための要素であり、剥離材11と同様に一方向に延びる。図1に示すロールXの形態において、剥離材付き接着シート10Aは、その積層構造中で剥離材12Aが剥離材11よりも内径側に位置するロールの形態をとる。剥離材12Aに関し、構成材料、厚さ、幅方向Wの長さ、幅方向Wにおける接着シート13に対する相対長さ、25℃での貯蔵弾性率、当該貯蔵弾性率に対する剥離材11の25℃での貯蔵弾性率の比の値、および、剥離材11縁端から内方への退避の長さについては、剥離材12に関して上述したのと同様である。また、剥離材付き接着シート10Aに関する他の構成については、剥離材付き接着シート10に関して上述したのと同様である。
The adhesive sheet with a
剥離材付き接着シート10Aにおいては、複数の接着シート13が長尺の剥離材11上でその延び方向に離隔して一列に並ぶ。剥離材11と剥離材12Aとに挟まれた状態で、隣り合う接着シート13は離隔している。このような構成の剥離材付き接着シート10AのロールXでは、剥離材11と剥離材12Aとが異なる曲率半径で湾曲し、剥離材付き接着シート10Aの積層構造中で内径側に位置する剥離材12Aは、外径側に位置する剥離材11よりも小さな曲率半径で湾曲している。これとともに、ロールXでは、剥離材11,12Aにおいて接着シート13に接していない領域については、隣り合う接着シート13の間への変形が許容されている。剥離材付き接着シート10Aの積層構造中の内径側剥離材12Aにおける接着シート非接触領域について、隣り合う接着シート13間への変形が許容されているという構成は、内径側の剥離材12Aの受ける圧縮応力を緩和するのに適し、従って、当該剥離材12Aにおけるシワの発生を抑制するのに適する。
In the
剥離材付き接着シート10Aにおいては、剥離材付き接着シート10におけるのと同様に、隣り合う接着シート13の離隔距離Dがその各接着シート13の延び方向Fの長さL1の30%以上、好ましくは40%以上、より好ましくは50%以上に、広く確保されている。このような構成は、圧縮応力を受ける内径側の剥離材12Aについて有意な広さの接着シート非接触領域を確保して、隣り合う接着シート13間への当該領域の変形に関して有意な変形量を実現するうえで好適であり、従って、内径側の剥離材12Aの受ける圧縮応力を緩和して当該剥離材12Aにおけるシワの発生を抑制するのに適する。このような構成は、剥離材12Aにおけるシワの発生を抑制しつつ高い接着シート配置密度を実現するのに好適である。
In the
以上のように、本発明の剥離材付き接着シート10AロールXは、剥離材におけるシワの発生を抑制するのに適するのである。
As described above, the release sheet-attached
加えて、剥離材付き接着シート10Aにおいては、剥離材付き接着シート10におけるのと同様に、剥離材11の幅方向における各接着シート13の長さは、10〜100mmであり、好ましくは12〜50mm、より好ましくは15〜40mmである。ロールの形態をとる剥離材付き接着シートにおいては、その接着シートのサイズが小さいほど、剥離材からの接着シートの意図しない剥がれが生じやすい。しかしながら、接着シート13についてそのような剥がれの原因となり得る、剥離材のシワの発生を、剥離材付き接着シート10AのロールXは抑制するのに適する。したがって、当該ロールXは、幅方向Wの長さが上記の程度に短かい小サイズの接着シート13を、その意図しない剥がれを抑制しつつ提供するのに適する。
In addition, in the
X ロール(剥離材付き接着シートの巻回体)
10,10A 剥離材付き接着シート
11 剥離材(第1剥離材)
12,12A 剥離材(第2剥離材)
13 接着シート
L1,L2 長さ
D 離隔距離
F 延び方向
W 幅方向
X roll (winding body of adhesive sheet with release material)
10, 10A Adhesive sheet with
12, 12A Release material (second release material)
13 Adhesive sheets L1, L2 Length D Separation distance F Extension direction W Width direction
Claims (12)
前記第1剥離材上において当該第1剥離材の延び方向に離隔して一列に並び、且つ、前記幅の方向におけるそれぞれの長さが10〜100mmである、複数の接着シートと、
前記複数の接着シートを前記第1剥離材とは反対の側で覆う第2剥離材とを備え、
隣り合う二つの接着シートの離隔距離は、当該隣り合う接着シートのそれぞれの前記延び方向の長さの30%〜150%である、剥離材付き接着シートの巻回体。 A long first release material extending in one direction and having a width in a direction perpendicular to the extending direction;
A plurality of adhesive sheets that are spaced apart in the extending direction of the first release material and arranged in a row on the first release material, and each length in the width direction is 10 to 100 mm; and
A second release material that covers the plurality of adhesive sheets on the side opposite to the first release material;
The distance between two adjacent adhesive sheets is a wound body of the adhesive sheet with a release material, which is 30% to 150% of the length in the extending direction of each of the adjacent adhesive sheets.
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