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JP2019146323A - 電源モジュール - Google Patents

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JP2019146323A JP2018026918A JP2018026918A JP2019146323A JP 2019146323 A JP2019146323 A JP 2019146323A JP 2018026918 A JP2018026918 A JP 2018026918A JP 2018026918 A JP2018026918 A JP 2018026918A JP 2019146323 A JP2019146323 A JP 2019146323A
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青木 由隆
Yoshitaka Aoki
由隆 青木
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

【課題】スイッチの遮断時に生じる過渡的な高電圧を吸収するスナバ回路を提供する。【解決手段】電源モジュール100は、第1ポリイミド基板60の一方の面に形成される第1電極53を有する第1樹脂基板110と、第2ポリイミド基板61の一方の面に形成される第2電極54を有し、第1電極と第2電極とが対向するように配置される第2樹脂基板120と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第1電極に接続される第1スイッチング素子43と、第1電極と第2電極との間に設けられ、第2電極に接続される第2スイッチング素子44と、第1電極と第2電極との間において、一端が、第1スイッチング素子の配置領域と異なる第1電極の位置に接続され、他端が、第2スイッチング素子の配置領域と異なる第2電極の位置に接続されるチップ部品と、を備える。【選択図】図6

Description

本発明は、電源モジュールに関する。
例えば、スナバ回路を有する電源モジュールがある。
WO2016/076121公報
図5に示すような回路構成を示す電源モジュールは、回路中のスイッチの遮断時に生じる過渡的な高電圧を吸収するスナバ回路を有する。スナバ回路は、例えば、チップ部品と、該チップ部品を電源端子に電気的に接続するリード電極と、を有する。電源モジュールでは、該リード電極が長くなればなるほど該リード電極のインダクタンスが大きくなる。電源モジュールにおいては、このようにインダクタンスが増大することで、回路全体が大型化され非効率化される虞があった。
本発明の電源モジュールは、第1ポリイミド基板の一方の面に形成される第1電極を有する第1樹脂基板と、第2ポリイミド基板の一方の面に形成される第2電極を有し、前記第1電極と前記第2電極とが対向するように配置される第2樹脂基板と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、前記第1電極に接続される第1スイッチング素子と、前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、前記第2電極に接続される第2スイッチング素子と、前記第1電極と前記第2電極との間において、一端が、前記第1スイッチング素子の配置領域と異なる前記第1電極の位置に接続され、他端が、前記第2スイッチング素子の配置領域と異なる前記第2電極の位置に接続されるチップ部品と、を備える。
その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄の記載、及び図面の記載等により明らかにされる。
本発明によれば、電源モジュールの回路のインダクタンスの増大を抑制するとともに電源モジュールを小型化することができる。
本実施形態に係る電源モジュールの断面図および回路図である。 電源モジュールに採用されるスイッチング素子の説明をする図である。 電源モジュールの製造方法を説明する図である。 電源モジュールの製造方法を説明する図である。 電源モジュールの回路図である。 本実施形態に係る電源モジュールを示す側面図である。 本実施形態に係る電源モジュールを示す斜視図である。 本実施形態に係る電源モジュールを示す平面図である。 他の実施形態に係る電源モジュールを概略的に示す断面図である。 他の実施形態に係る電源モジュールのリードフレーム付きキャパシタを示す斜視図である。 他の実施形態に係る電源モジュールを示す断面図である。
以下、適宜図面を参照し、本発明の実施形態に係る電源モジュールについて説明する。
===本実施形態に係る電源モジュール100===
電源モジュール100は、例えば、入力電圧または入力電流を所望の出力電圧または出力電流に変換するためのモジュールである。図5に示すように、この電源モジュール100は、直列接続された一対のスイッチング動作を行うFET43、44と、それぞれのFET43,44のソース・ドレインに接続されたダイオード45、46と、LサイドのMOSFET44のドレイン電極にリード配線56と、HサイドのFET43のソース電極にリード配線55と、が設けられている。更に、リード配線40,41の間にコンデンサ50が設けられている。コンデンサ50は、例えばスイッチの開閉に伴って生じる過渡的な高電圧を吸収するもので、例えばスナバコンデンサである。尚、リード配線40,41は、プリント基板やセラミック基板を採用した電源モジュールでは、主にCu配線であり、FETにリードがついていれば、リードも該当する。
このような電源モジュール100においては、FETとチップ部品とを接続しているリード配線が長くなればなるほど、リード配線のインダクタンスが大きくなる。リード配線のインダクタンスが大きくなると、サージ電圧による損傷のリスクが高まり、また、それに応じて電源モジュール100の耐圧を大きくしなければならない。逆に言うと、電源モジュール100を小型化するためには、該リード配線を短くする必要がある。また、チップ部品がチップコンデンサである場合、チップ部品はセラミックである。この場合、該チップ部品を実装する基板がセラミックや金属であると、チップ部品と基板ンとの熱膨張係数αの違いにより、チップ部品と電極との接続部にクラックなどが発生する。このようにクラックを生じる現象は、エポキシ樹脂の様なプリント基板でも同様である。さらに言うと、チップ部品が半田やAgペーストなどで基板に接続されると、半田やAgペーストにクラックが発生する場合がある。
本発明は、「電源モジュール」であり、その名称からも判るように、一般にパワー素子と言われるスイッチング素子が採用され、大電流が流れることによる発熱により、かなりの温度となる。つまり、低温時と高温時の温度差が大きいサイクルが繰り返される。このため、接続部にクラックを生じたり、更には半導体チップ自体にクラックを生じたりする。
尚、パワー素子とは、BIPTr、パワーMOS、IGBTなどである。また、パワー素子の材料は、Si、GaN、GaAs、SiC、更にはダイヤモンド等であり、高発熱のスイッチング素子である。
本発明は、耐熱性およびフレキシブル性を有するポリイミド樹脂に着目している。そして、二枚のポリイミド基板で、パワー素子をはさみこんだ構造とした。更に、ポリイミド基板の開口部を介してパワー素子を直接接続することで、リード配線長を短くした。また、フレキシブル性を有するため、チップ部品をポリイミド基板で挟んだとしても、お互いの応力を緩和し、接続部のクラックを抑制できるという特徴を有する。
図1(A)は、本発明の概要を説明する電源モジュール10である。図1(B)は、電源モジュール10の等価回路図である。回路素子11とチップ部品12が、二枚のポリイミド基板13、14に挟まれている。そして、ポリイミド基板13、14に設けた開口部OP1〜OP5を介して電極15〜17が形成される。回路素子11は、開口部OP1を介して電極15が、OP3を介して電極16が接続される。これにより、金属細線を採用しないため、配線長を短くできる。また、セラミックコンデンサなどのセラミック材料でなるチップ部品12は、ポリイミド基板のフレキシブル性により、電極接続の信頼性を保持できる。なお、ポリイミド基板13と電極15とで形成される基板を第1樹脂基板10aと称する。また、ポリイミド基板14と電極16,17とで形成される基板を第2樹脂基板10bと称する。
尚、図6でも説明するが、図1において、下のポリイミド基板の上側に、上のポリイミド基板の裏側に、それぞれ電極を形成し、その電極に回路素子11とチップ部品12が接続されても良い。この場合、回路素子11およびチップ部品12は半田や導電ペーストで該電極に接続される。更に、図6でも説明するが、ポリイミド基板13の上側およびポリイミド基板14の裏側に形成される電極において、チップ部品の電極が設けられる部分は、他の領域の電極よりも薄く形成される。これにより、熱膨張係数αを緩和させることができる。
ここで、図2は、回路素子11の例であり、例えば、前述したパワー素子が単品、または複数直列に接続されたものである。図2(A)、図2(B)は、BIPTrを示し、図2(C)、図2(D)は、FETを示す。他には、パワーICなどでも良い。
続いて、簡単に製造方法を説明する。まず、図3(A)のように、ポリイミド基板13を用意する。なお、この表面には接着剤20が被覆されている。また、ポリイミド材料はフレキシブル性を有するため、リング状の金属枠で、ポリイミド基板13の平坦性を保持している。
続いて、図3(B)のように、パワー素子11を基板13の上に設ける。ここでは、下の電極をドレイン電極21とし、上の電極をソース電極22、ゲート電極23とする。続いて、チップ部品12も実装される。
続いて、図3(C)のように、ポリイミド基板13に開口部OP1、OP2を形成する。ドレイン電極21に対応するポリイミド基板13と接着剤20がレーザにより取り除かれ、ドレイン電極21が露出する。また、チップ部品12の電極24に相当する部分も取り除かれて開口部OP2が形成される。
続いて、図3(D)のように、開口部OP1、OP2には、メッキ、スパッタまたはCVDなどで、電極15が形成される。これにより、第1樹脂基板10aが形成される。
続いて、図4(A)のように、パワー素子11とチップ部品12の上に、ポリイミド基板14を配置する。ここでもポリイミド基板14を固定するために、接着剤20がポリイミド基板14の一方側の全面に被覆されている。
続いて、図4(B)のように、ポリイミド基板14に開口部OP3〜OP5を開口する。OP3はゲート電極23、OP4はソース電極22そしてOP5はチップ部品12の電極25が露出される。
最後に、図4(C)のように、ゲート電極16、ソース電極17を、メッキにより形成する。ここで、メッキは、選択的に付着させてもよいし、全面メッキの後でパターニングしても良い。これにより、第2樹脂基板10bが形成される。
以上の説明からも判るように、パワー素子11、チップ部品12は、金属細線ではなく、直接真上と真下に電極が形成されるため、配線長を大幅に減らすことができる。また、チップ部品12は、フレキシブル性のある基板13、14にて固定されるため、電極クラックなどの発生を抑止できる。なお、基板13、14の間には、樹脂が設けられて封止されても良い。
続いて、図5、図6に示す電源モジュール100を説明する。この電源モジュール100は、FET43,44が2つ直列に接続され、その両端には、スナバコンデンサ50が接続されたものであり、上述したリード配線を極力短くした電源モジュールである。尚、紙面に対し、上側を基板やスイッチング素子の表側とし、下側を基板やスイッチング素子の裏側として表現する。
まず回路図を説明すると、プラス電源端子には配線40が接続され、マイナス電源端子には配線41が接続される。配線40には、ドレイン電極が接続された第1スイッチング素子(例えばFET)43が電気的に接続されている。配線41には、ソース電極が接続された第2スイッチング素子(例えばFET)44が電気的に接続されている。そして、第1スイッチング素子43のソース電極と、第2スイッチング素子44のドレイン電極とが接続され、ここから端子70が伸びている。
また、第1スイッチング素子43のドレイン電極にカソード電極、ソース電極にアノード電極が接続されて第1ダイオード45が設けられている。また、第2スイッチング素子44のドレイン電極にカソード電極、ソース電極にアノード電極が接続されて第2ダイオード46が設けられている。更には、ゲート電極は、それぞれゲート−H端子、ゲート−L端子に接続されている。また、プラス電源端子とマイナス電源端子の間にスナバコンデンサ50が接続されている。
プラス電源端子から第1スイッチング素子までを結ぶ符号40と、プラス電源端子からスナバコンデンサ50までの符号51は、リード配線に相当する。また、マイナス電源端子から第2スイッチング素子までの結ぶ符号41と、マイナス電源端子からスナバコンデンサ50までの符号52は、リード配線に相当する。更に、第1スイッチング素子43のソース電極と第2スイッチング素子44のドレイン電極の間が、符号55、56で示され、これらもリード配線に相当する。
続いて、図6を参照しながら、電源モジュール100の断面図を説明していく。
まずは、本発明の特徴であるポリイミド基板60、61がある。第1ポリイミド基板60の表側の全面には、第1電極53が被覆されている。第1ポリイミド基板60の裏側の全面には、放熱用の金属膜60aが設けられている。そして、この第1電極53の左側には、第1スイッチング素子43のドレイン電極が、右側には第1ダイオード45のカソード電極が電気的に接続されている。これらは、半田またはAgペーストで固着されている。なお、第1ポリイミド基板60と第1電極53および金属膜60aで形成される基板を第1樹脂基板110と称する。
一方、第2ポリイミド基板61の裏側の面には第2電極54が設けられ、表側の面には放熱用の金属膜61aが設けられている。そして、第2電極54左下には、第2スイッチング素子44のソース電極が固着され、右下には、第2ダイオード46のアノード電極が設けられている。そして、第1スイッチング素子43のソース電極と第2スイッチング素子44のドレイン電極との間、第1ダイオード45のアノード電極と第2ダイオード46のカソード電極との間には、中間電極70が設けられている。なお、第2ポリイミド基板61と第2電極54および金属膜61aで形成される基板を第2樹脂基板120と称する。
また、第1電極53の右端は、チップ部品50の電極51が設けられる領域であり、該領域は他の領域の電極よりも薄く形成されている。第2電極54の右端は、チップ部品50の電極52が設けられる領域であり、該領域も同様に薄く形成されている。この薄くした電極の領域は、更なる熱膨張係数αの不一致を解消するものである。また、金属の厚みを薄くすることで、フレキシブル性を増加させている。これにより、チップ部品50の接続部のクラックを抑止できる。
また、第1スイッチング素子43の左端には、ゲート電極があり、ここからゲートリード80が外側に延在しており、その部分の中間電極70は、厚みが薄く形成されている。ここは、第1スイッチング素子43、特にゲート電極と中間電極70との間のスペースを、リードの厚みよりも厚く確保し、リードと中間電極70との接触を防止している。
また、第2スイッチング素子44の左端には、ゲート電極があり、ここからゲートリード81が外側に延在しており、その部分の第2電極54は、厚みが薄く形成されている。ここも、第2スイッチング素子44、特にゲート電極と第2電極54との間のスペースを、リードの厚みよりも厚く確保し、リードと第2電極54との接触を防止している。
最後に、前述したように、チップ部品50は、第1電極53と第2電極54との間、特に電極の膜厚が他よりも薄く形成した部分に設けられる。ここは、半田、Agなどの導電ペーストなどで固定されている。これらの固着剤は、クラックなどで接続不良を起こしやすいが、電極を薄くすることで、電極も含めたポリイミド基板のフレキシブル性を確保しやすいため、チップ部品の接続不良を抑止することができる。
尚、第1、第2ポリイミド基板60、61と、第1電極53、第2電極54は、夫々のスイッチング素子43,44の電極に対応する部分、チップ部品50の電極51、52に対応する部分に開口部をそれぞれ設けて、Cuメッキなどで電気的に固定しても良い。更に、第1ポリイミド基板60と第2ポリイミド基板61との間は、絶縁性樹脂で封止されても良い。
続いて、図7、図8を用いて、再度、外形を上から簡単に説明する。符号61は、矩形の第2ポリイミド基板で、図7では、この表面に、一回り小さく放熱用の金属膜61aが設けられている。ここは、例えば放熱フィンが取り付けられるエリアである。尚、金属膜60aも同様である。第2ポリイミド基板61の裏側の面は、一回り小さく被覆された第2電極54が設けられ、上長辺S1の左側に、マイナス電源端子としてリード板54aが延出している。また、第1ポリイミド基板60の表側の面にも、第1電極53が第1ポリイミド基板60よりも一周り小さく被覆され、上長辺S1の右に、プラス電源端子としてリード板53aで延出している。
また、3つの丸の部分は、第2スイッチング素子44のソース電極Sで、2つの丸の部分は、第2ダイオード46のアノード電極Aであり、それぞれ第2電極54と接続されている。その下の、中間電極70は、第2ポリイミド基板61の下長辺S2の斜め左下側に延出している。
一方、符号G−Lは、第2スイッチング素子44のゲート電極と接続された、リードである。これは、第2ポリイミド基板61の左短辺S3から外に延出している。
符号60は、下側に設けられた第1ポリイミド基板で、表側の面に第1電極53が一回り小さく被覆されている。この第1電極53と中間電極70の間には、図6で説明したように、第1スイッチング素子43と第1ダイオード45が電気的に接続されて設けられている。第1スイッチング素子43および第1ダイオード45の配置および形状は、第2スイッチング素子44および第2ダイオード46と同じである。尚、G−Hは、第1スイッチング素子43のゲート電極と接続されたゲートリードである。
最後に、チップ部品50であるが、直方体の形状で、上面とその角部を含む4側面に電極52が設けられ、下面とその角部を含む4側面に電極51が設けられている。尚、4側面に設けられた電極51,52は、お互いに離間して、絶縁が確保されている。そして、この電極51,52は、それぞれ第1電極53、第2電極54と電気的に接続されている。
===その他の実施形態に係る電源モジュール===
図9、図10、図11を参照しつつ、他の実施形態に係る電源モジュールについて、以下説明する。図9は、電源モジュール200を概略的に示す断面図である。図6は、リードフレーム付きキャパシタを概略的に示す斜視図である。図11は、他の実施形態に係る電源モジュール300を概略的に示す断面図である。
図9に示すように、電源モジュール200に取り付けられた電子部品250は、スナバコンデンサのチップ部品251と、一端がチップ部品251の一方の端部に接続され、他端が第1電極112に接続され第1リード電極252と、一端がチップ部品251の他方の端部に接続され、他端が第2電極122に接続される第2リード電極253と、を含んで形成される。第1リード電極252および第2リード電極253と、チップ部品251、第1電極112および第2電極122と、は例えば半田で接続されている
電子部品250をより具体的に説明すると、電子部品250が第1電極112に接続されている状態において、第1リード電極252は、チップ部品251の一方の電極端部251aから略水平に延出し、第1電極112に向かうにしたがって下に傾斜するように形成されている。同様に、第2リード電極253は、チップ部品251の他方の電極端部251bから略水平に延出し、第2電極122に向かうにしたがって上に傾斜するように形成されている。これにより、第1樹脂基板110および第2樹脂基板120に熱的変性などによる微小な変化が生じても、該熱的変性などに応じて第1リード電極252および第2リード電極253が撓むため、半田の亀裂の発生を抑制できる。
さらに、図10に示すように、第1リード電極252および第2リード電極253は、面的に広がりを有する電極で形成されている。これにより、第1リード電極252および第2リード電極253のインダクタンスを小さくすることができる。さらに、第1リード電極252および第2リード電極253は、第1電極112または第2電極122に向かう方向に弾性力を有することが好ましい。これにより、半田の割れをより抑制することができる。またリード252、253の間隔を、電極112、122の間隔よりも大きくしておけば、リード252,253に突っ張るテンションが発生し、仮固定できる。
図11に示すように、電源モジュール300における電子部品350は、チップ部品351と、一端がチップ部品351の一方の電極端部351aに接続され、他端が第3電極113に接続される第3リード電極352と、一端がチップ部品351の他方の電極端部351bに接続され、他端が第4電極123に接続される第4リード電極353と、を含んで形成される。第3リード電極352および第4リード電極353と、チップ部品351、第3電極113および第4電極123と、は例えば半田で接続されている。また、第3リード電極352および第4リード電極353は、ビア301を介して第1電極112または第2電極122と接続される。
このような電子部品350を用いる場合は、例えば、チップ部品351を第1樹脂基板110と第2樹脂基板120とで直接挟み込むように配置できない場合や、第1樹脂基板110および第2樹脂基板120に第1ポリイミド基板111および第2ポリイミド基板121が設けられておらずチップ部品351を第1樹脂基板110と第2樹脂基板120とで直接挟み込むように配置できない場合などである。第3リード電極352は、チップ部品351の一方の電極端部351aから延出し、第4リード電極353は、チップ部品351の他方の電極端部351bから延出して形成されている。これにより、第1樹脂基板110および第2樹脂基板120に熱的変性などによる微小な変化が生じても、該熱的変性などに応じて第3リード電極352および第4リード電極353が撓むため、半田の亀裂の発生を抑制できる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれに限定されない。上述した各部材の素材、形状、及び配置は、本発明を実施するための実施形態に過ぎず、発明の趣旨を逸脱しない限り、様々な変更を行うことができる。
10,100,200,300 電源モジュール
10a,110 第1樹脂基板
10b,120 第2樹脂基板
13,14 ポリイミド基板
60,111 第1ポリイミド基板
61,121 第2ポリイミド基板
43,44 スイッチング素子
50,250,350 セラミックコンデンサ
53,112 第1電極
54,122 第2電極
11 回路素子
43,130 第1スイッチング素子
44,140 第2スイッチング素子
251,351 チップ部品
252 第1リード電極
253 第2リード電極
113 第3電極
123 第4電極
352第3リード電極
353 第4リード電極
70,190 中間電極

Claims (13)

  1. ポリイミド基板から成る第1樹脂基板と、
    前記第1樹脂基板と対向配置されたポリイミド樹脂からなる第2樹脂基板と、
    前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板との間に設けられたスイッチング素子と、
    前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板との間に設けられたセラミックコンデンサと、
    を有し、
    前記スイッチング素子と前記セラミックコンデンサは、前記第1樹脂基板および前記第2樹脂基板に設けられた開口部を介して設けられた電極に接続される
    ことを特徴とする電源モジュール。
  2. 前記電極は、メッキにより形成される請求項1に記載の電源モジュール。
  3. 第1ポリイミド基板の一方の面に形成される第1電極を有する第1樹脂基板と、
    第2ポリイミド基板の一方の面に形成される第2電極を有し、前記第1電極と前記第2電極とが対向するように配置される第2樹脂基板と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、前記第1電極に接続される第1スイッチング素子と、
    前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ、前記第2電極に接続される第2スイッチング素子と、
    前記第1電極と前記第2電極との間において、一端が、前記第1スイッチング素子の配置領域と異なる前記第1電極の位置に接続され、他端が、前記第2スイッチング素子の配置領域と異なる前記第2電極の位置に接続されるチップ部品と、
    を備えることを特徴とする電源モジュール。
  4. 前記チップ部品は、前記第1樹脂基板と前記第2樹脂基板とで挟まれた空間に固着されている
    ことを特徴とする請求項3に記載の電源モジュール。
  5. 前記第1電極および前記第2電極における前記チップ部品が固着されている部分は、前記第1電極および前記第2電極における前記チップ部品が固着されていない部分よりも厚みが薄くなるように形成されている
    ことを特徴とする請求項4に記載の電源モジュール。
  6. 前記第1ポリイミド基板および前記第2ポリイミド基板は、厚みが10〜50μmのシート状に形成され、
    前記第1電極および前記第2電極は、厚みが10〜50μmとなるように形成される
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項5の何れか一項に記載の電源モジュール。
  7. 前記チップ部品は、前記第1電極および前記第2電極における一方の端辺から他方の端辺に複数個が並列に設けられている
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項6の何れか一項に記載の電源モジュール。
  8. 前記チップ部品は、チップコンデンサ、チップ抵抗、チップソレノイドまたはリードレス型のセラミックコンデンサのうち少なくとも何れかである
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項7の何れか一項に記載の電源モジュール。
  9. 前記第1スイッチング素子は、前記第2スイッチング素子よりも前記第1電極の近くに設けられ、
    前記第1スイッチング素子と前記第2スイッチング素子との間に設けられ、前記第1スイッチング素子および前記第2スイッチング素子と電気的に接続される板形状または薄層を形成する金属電極をさらに備える
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項8の何れか一項に記載の電源モジュール。
  10. 前記第1樹脂基板と、前記第2樹脂基板と、の間において、前記第1スイッチング素子と前記第2スイッチング素子とを封止する絶縁性樹脂を有する
    ことを特徴とする請求項3乃至請求項9の何れか一項に記載の電源モジュール。
  11. 前記チップ部品は、チップと、第1リード電極と、第2リード電極と、を含んで形成され、
    前記第1リード電極は、一端が前記チップ部品の一方の端部に接続され、他端が前記第1電極に接続され、
    前記第2リード電極は、一端が前記チップ部品の他方の端部に接続され、他端が前記第2電極に接続される
    ことを特徴とする請求項3に記載の電源モジュール。
  12. 前記第1ポリイミド基板の他方の面に形成される第3電極と、
    前記第2ポリイミド基板の他方の面に形成される第4電極と、
    をさらに備え、
    前記チップ部品は、チップと、第3リード電極と、第4リード電極と、を含んで形成され、
    前記第3リード電極は、一端が前記チップ部品の一方の端部に接続され、他端が第3電極に接続され、
    前記第4リード電極は、一端が前記チップ部品の一方の端部に接続され、他端が第4電極に接続される
    ことを特徴とする請求項3に記載の電源モジュール。
  13. 前記第1電極に接続され、第1電圧を供給する第1電源端子と、
    前記第2電極に接続され、前記第1電圧よりも低い第2電圧を供給する第2電源端子と、
    前記第1電源端子と前記第2電源端子との間に配置される中間電極と、
    をさらに備え、
    前記第1スイッチング素子は、前記第1電極に接続される第1電極と、前記中間電極に接続される第2電極と、前記第1電極および前記第2電極に流れる電流の大きさを制御する第1制御電極と、を有し、
    前記第2スイッチング素子は、前記第2電極に接続される第3電極と、前記中間電極に接続される第4電極と、前記第3電極および前記第4電極に流れる電流の大きさを制御する第2制御電極と、を有する
    ことを特徴とする請求項3に記載の電源モジュール
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