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JP2019097296A - 半導体素子の制御装置および電力変換装置 - Google Patents

半導体素子の制御装置および電力変換装置 Download PDF

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JP2019097296A JP2017224549A JP2017224549A JP2019097296A JP 2019097296 A JP2019097296 A JP 2019097296A JP 2017224549 A JP2017224549 A JP 2017224549A JP 2017224549 A JP2017224549 A JP 2017224549A JP 2019097296 A JP2019097296 A JP 2019097296A
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弘 遠藤
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Abstract

【課題】複数の半導体素子がオンオフする際に、オンオフするタイミングにばらつきが生じるのを抑制することが可能な半導体素子の制御装置および電力変換装置を提供する。【解決手段】電力変換装置100は、電源部20と、上アーム部10aおよび下アーム部10bのスイッチング素子1の駆動を制御する制御装置30と、を備える。制御装置30は、制御部3と、複数のスイッチング素子1に、入力パルス信号Pに基づいてゲート駆動信号Gsを出力する複数のゲート駆動回路4と、複数のゲート駆動回路4の入力側に接続され、入力パルス信号Pを伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線5と、を備える。【選択図】図1

Description

この発明は、ゲート駆動回路を備える半導体素子の制御装置および電力変換装置に関する。
従来、ゲート駆動回路を備える半導体素子の制御装置および電力変換装置が知られている(たとえば、特許文献1参照)。
上記特許文献1には、ゲート駆動回路を備える電圧駆動型半導体素子の制御装置が開示されている。電圧駆動型半導体素子(以下、「半導体素子」という)は、複数設けられている。そして、複数の半導体素子は、互いに直列に接続されている。また、この制御装置には、ゲート駆動回路と、複数の半導体素子のゲート端子とを接続する複数のゲート線が設けられている。そして、ゲート駆動回路は、複数の半導体素子のゲート端子の各々に、ゲート線を介して、ゲート駆動信号を入力するように構成されている。また、複数のゲート線は、互いに磁気結合されている。これにより、ゲート駆動信号が磁気結合されたゲート線を通過する際に、ゲート駆動信号のタイミングに差(ばらつき)がある場合でも、磁束が生じてゲート線に誘導起電力が生じ、ゲート駆動信号同士のタイミングの差が抑制される。この結果、複数の半導体素子のゲート端子には、タイミングのばらつきが抑制された状態のゲート駆動信号が入力される。
特開2002−204578号公報
ここで、一般的に、半導体素子の特性は、半導体素子毎にばらつきがある。たとえば、半導体素子のゲート端子にゲート駆動信号が入力された場合に、半導体素子がオンオフする際のしきい値電圧が、半導体素子毎に異なる値となる場合がある。ゲート駆動信号が立上る際または立下る際には所定の時定数で次第にゲート駆動信号の電圧値が変化するので、半導体素子のしきい値電圧が異なる場合には、ゲート駆動信号がしきい値電圧を超えるタイミングにばらつきが生じる。すなわち、半導体素子に、同一のタイミングにゲート駆動信号が入力された場合でも、半導体素子によって、オンオフするタイミングにばらつきが生じる。したがって、上記特許文献1に記載の電圧駆動型半導体素子の制御装置のように、複数の半導体素子のゲート端子に入力されるゲート駆動信号のタイミングのばらつきを抑制した場合でも、半導体素子の特性のばらつきに起因して、半導体素子がオンオフするタイミングにばらつきが生じるという不都合があった。したがって、従来、複数の半導体素子がオンオフする際に、オンオフするタイミングにばらつきが生じるのを抑制することが可能な半導体素子の制御装置および電力変換装置が望まれていた。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、複数の半導体素子がオンオフする際に、オンオフするタイミングにばらつきが生じるのを抑制することが可能な半導体素子の制御装置および電力変換装置を提供することである。
上記目的を達成するために、本願発明者が鋭意検討した結果、複数のゲート駆動回路の入力側に接続されている複数の接続線により伝達されている入力パルス信号のタイミングに、ばらつきが生じていることが判明した。この見地に基づいて、本願発明者は、半導体素子の制御装置に、複数のゲート駆動回路の入力側に接続され、入力パルス信号を伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線を備えることを見出した。
すなわち、この発明の第1の局面による半導体素子の制御装置は、ゲート端子を有し、ゲート端子に入力されるゲート信号に基づいてオンオフするとともに、互いに直列接続された電圧駆動型の複数の半導体素子に、入力パルス信号に基づいてゲート信号を出力する複数のゲート駆動回路と、複数のゲート駆動回路の入力側に接続され、入力パルス信号を伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線とを備える。
この発明の第1の局面による半導体素子の制御装置では、上記のようにゲート駆動回路の入力側の複数の接続線を、互いに磁気結合することにより、複数の接続線により伝達される入力パルス信号の立上りおよび立下りのタイミングのばらつきを抑制することができる。その結果、入力パルス信号のタイミングのばらつきを抑制することができるので、ゲート駆動回路から出力されるゲート駆動信号のタイミングにばらつきが生じるのを抑制することができる。ここで、複数のゲート駆動回路の出力側のゲート線同士を磁気結合した場合には、ゲート抵抗の抵抗値を調整しても、磁気結合されたゲート線のインピーダンスが略同一となってしまう。これに対して、本発明では、ゲート駆動回路の入力側の複数の接続線を互いに磁気結合するので、出力側のゲート線同士を磁気結合する場合と異なり、複数のゲート駆動回路の出力側の抵抗であるゲート抵抗の抵抗値を、接続されている半導体素子の特性に対応させて調整することができる。その結果、ゲート駆動信号が出力されるタイミングのばらつきが抑制された状態で、ゲート抵抗の抵抗値を調整してゲート駆動信号の立上りの時定数または立下りの時定数を変更することにより、半導体素子がオンオフするタイミングのばらつきを抑制することができる。また、接続線で伝達される入力パルス信号の電圧値の絶対値は、ゲート線で伝達されるゲート駆動信号の電圧値の絶対値よりも小さいので、ゲート線同士を磁気結合させる場合に比べて、磁気結合させるための構成の耐圧を小さくすることができる。この結果、磁気結合させるための構成の大型化を抑制することができるので、半導体素子の制御装置の大型化を抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の制御装置において、好ましくは、複数のゲート駆動回路のゲート信号が出力される出力側に、それぞれ、配置されているとともに、ゲート端子に接続され、抵抗値が調整可能な複数のゲート抵抗をさらに備え、ゲート駆動回路は、入力側と出力側とが絶縁されている。このように構成すれば、ゲート駆動回路の入力側と出力側とが絶縁されていることにより、ゲート駆動回路の出力側のインピーダンスを入力側から独立して設定することができる。すなわち、ゲート駆動回路の入力側が磁気結合されている場合でも、ゲート抵抗の抵抗値を調整することにより、ゲート駆動回路の出力側を伝達するゲート駆動信号の時定数を調整することができる。これにより、ゲート駆動回路の出力側を伝達するゲート駆動信号の時定数を、半導体素子の特性に対応させた値に設定することができる。その結果、ゲート駆動信号が出力されるタイミングが揃えられた状態で、ゲート駆動信号の時定数をゲート抵抗の抵抗値を調整して設定することにより、半導体素子がオンオフするタイミングにばらつきが生じるのを、より一層抑制することができる。
この場合、好ましくは、複数の接続線は、複数のゲート駆動回路に入力される入力パルス信号同士のタイミング差を減少させるように互いに磁気結合されており、複数のゲート抵抗は、複数の半導体素子のオンまたはオフのタイミング差を減少させるように抵抗値が調整されている。このように構成すれば、ゲート駆動信号のタイミングが揃えられた状態で、ゲート駆動信号の時定数をゲート抵抗の抵抗値を調整して設定することにより、半導体素子がオンオフするタイミングにばらつきが生じるのを、より一層抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の制御装置において、好ましくは、複数の接続線は、入力パルス信号をゲート駆動回路に伝達する信号線と、ゲート駆動回路から入力パルス信号を戻す戻り線とを含み、複数の接続線のうちの2つの接続線の信号線同士、戻り線同士、または、信号線と戻り線とが、磁気結合されている。このように構成すれば、2つの接続線に伝達される入力パルス信号同士の立上りタイミングおよび立下りタイミングが揃うので、容易に、入力パルス信号同士のタイミングのばらつきを抑制することができる。
この場合、好ましくは、2つの接続線の信号線同士が、磁気結合されている。このように構成すれば、より確実に入力パルス信号同士のタイミングのばらつきを抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の制御装置において、好ましくは、複数の接続線は、互いに直列接続された複数の半導体素子の初段目から3以上の自然数であるn段目までの半導体素子のそれぞれに対応する接続線を含み、初段目の接続線は、次段の接続線と磁気結合されており、n段目の接続線は、前段の接続線と磁気結合されており、初段目の接続線およびn段目の接続線以外の接続線は、前段の接続線および次段の接続線の両方と磁気結合されている。このように構成すれば、前段の接続線と次段の接続線との隣り合う段の接続線同士を、磁気結合するように配線することができるので、段を越えて配線する必要がない分、互いに直列接続された複数の半導体素子が、3段以上設けられる場合でも、回路構成が複雑化するのを抑制することができる。
上記第1の局面による半導体素子の制御装置において、好ましくは、複数の接続線のうちの上アーム部を駆動させる複数のゲート駆動回路に接続されている複数の接続線同士が、互いに磁気結合されているとともに、複数の接続線のうちの下アーム部を駆動させる複数のゲート駆動回路に接続される複数の接続線同士が、互いに磁気結合されている。このように構成すれば、同時にオンオフされる上アーム部に配置された複数の半導体素子に対応する接続線同士、および、同時にオンオフされる下アーム部に配置された複数の半導体素子に対応する接続線同士の入力パルス信号のタイミングを揃えることができる。その結果、上アーム部および下アーム部を含む電力変換装置に、本発明を効果的に適用することが可能となる。
上記第1の局面による半導体素子の制御装置において、好ましくは、半導体素子は、炭化珪素を含む半導体素子からなる。ここで、炭化珪素(SiC)を含む半導体素子(スイッチング素子)のスイッチング周波数は、シリコン半導体からなるスイッチング素子のスイッチング周波数に比べて高くすることが可能である。そして、入力パルス信号のタイミングにばらつきがある場合、スイッチング周波数が比較的高い場合には、ゲート駆動信号(入力パルス信号)に対するゲート駆動信号のタイミングのばらつきの割合が大きるため、複数の半導体素子のスイッチングのタイミングのはらつきの影響が大きくなる。これに対して、本発明では、入力パルス信号同士のタイミングのばらつきを抑制することができるので、スイッチング周波数が比較的高い炭化珪素を含む半導体素子をオンオフさせる場合に、特に効果的となる。
この発明の第2の局面による電力変換装置は、ゲート端子を有し、ゲート端子に入力されるゲート信号に基づいてオンオフするとともに、互いに直列接続された電圧駆動型の複数の半導体素子と、複数の半導体素子に、入力パルス信号に基づいてゲート信号を出力する複数のゲート駆動回路と、複数のゲート駆動回路の入力側に接続され、入力パルス信号を伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線とを備える。
この発明の第2の局面による電力変換装置では、上記のように構成することにより、複数の半導体素子がオンオフする際に、オンオフするタイミングにばらつきが生じるのを抑制することが可能な電力変換装置を提供することができる。
上記第2の局面による電力変換装置において、好ましくは、複数のゲート駆動回路のゲート信号が出力される出力側に、それぞれ、配置されているとともに、ゲート端子に接続され、抵抗値が調整可能な複数のゲート抵抗をさらに備え、ゲート駆動回路は、入力側と出力側とが絶縁されている。このように構成すれば、ゲート駆動信号が出力されるタイミングが揃えられた状態で、ゲート駆動信号の時定数をゲート抵抗の抵抗値を調整することに設定することにより、半導体素子がオンオフするタイミングにばらつきが生じるのを、より一層抑制することが可能な電力変換装置を提供することができる。
本発明によれば、上記のように、複数の半導体素子がオンオフする際に、オンオフするタイミングにばらつきが生じるのを抑制することができる。
本発明の第1実施形態による電力変換装置(半導体素子の制御装置)の全体構成を示す回路図である。 本発明の第1実施形態による磁気結合部の構成を説明するための模式図である。 本発明の第1実施形態による入力パルス信号の立上りを説明するための図である。 本発明の第1実施形態による入力パルス信号の立下りを説明するための図である。 本発明の第1実施形態によるゲート駆動信号の立上りを説明するための図である。 本発明の第1実施形態によるゲート駆動信号の立下りを説明するための図である。 本発明の第2実施形態による電力変換装置(半導体素子の制御装置)の全体構成を示す回路図である。 本発明の第1および第2実施形態の第1変形例による半導体素子の制御装置の全体構成を示す回路図である。 本発明の第1および第2実施形態の第2変形例による半導体素子の制御装置の全体構成を示す回路図である。 本発明の第2実施形態の第3変形例による半導体素子の制御装置の全体構成を示す回路図である。
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
[第1実施形態]
(電力変換装置の構成)
図1〜図6を参照して、第1実施形態による電力変換装置100の構成について説明する。
図1に示すように、電力変換装置100は、たとえば、上アーム部10aおよび下アーム部10bを備えるインバータ装置として構成されている。すなわち、電力変換装置100は、上アーム部10aおよび下アーム部10bを駆動させることにより、電源部20からの直流の電力を、交流の電力に変換して、出力端Oから負荷(図示せず)に電力を供給するように構成されている。
上アーム部10aおよび下アーム部10bには、それぞれ、複数のスイッチング素子1が設けられている。たとえば、第1実施形態では、上アーム部10aは、互いに直列接続された電圧駆動型の2つのスイッチング素子1aおよび1bと、スイッチング素子1aに逆並列に接続されたダイオード2aと、スイッチング素子1bに逆並列に接続されたダイオード2bとを含む。下アーム部10bは、互いに直列接続された電圧駆動型の2つのスイッチング素子1cおよび1dと、スイッチング素子1cに逆並列に接続されたダイオード2cと、スイッチング素子1dに逆並列に接続されたダイオード2dとを含む。なお、スイッチング素子1は、特許請求の範囲の「半導体素子」の一例である。
スイッチング素子1は、ゲート端子Gを有し、ゲート端子Gに入力されるゲート駆動信号Gsに基づいてオンオフするとともに、互いに直列接続されている。スイッチング素子1は、たとえば、電界効果型トランジスタ(FET)または絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)からなる。好ましくは、第1実施形態では、スイッチング素子1は、炭化珪素(SiC)を含む半導体素子(SiC−MOSFET)からなる。
具体的には、スイッチング素子1a(1b、1c、1d)には、それぞれ、ゲート端子G1(G2、G3、G4)、ドレイン端子D1(D2、D3、D4)、および、ソース端子S1(S2、S3、S4)が設けられている。なお、本願明細書では、スイッチング素子1a〜1dのゲート端子G1〜G4を、特に区別しない場合には、ゲート端子Gと記載し、ドレイン端子D1〜D4を、特に区別しない場合には、ドレイン端子Dと記載し、ソース端子S1〜S4を、特に区別しない場合には、ソース端子Sと記載している。また、スイッチング素子1がIGBTから構成されている場合には、ゲート端子G、コレクタ端子C、および、エミッタ端子Eが設けられる。以下では、スイッチング素子1が、FETから構成されている場合を説明しているが、IGBTから構成されている場合も、説明する内容と同様に構成されている。
スイッチング素子1aのソース端子S1と、スイッチング素子1bのドレイン端子D2とが接続されることにより、上アーム部10aが構成されている。また、スイッチング素子1cのソース端子S3と、スイッチング素子1dのドレイン端子D4とが接続されることにより、下アーム部10bが構成されている。
また、電力変換装置100は、電源部20と、上アーム部10aおよび下アーム部10bのスイッチング素子1の駆動を制御する制御装置30とを備える。電源部20は、正極側Peがスイッチング素子1aのドレイン端子D1に接続され、負極側Neがスイッチング素子1dのソース端子S4に接続されている。また、制御装置30は、複数のスイッチング素子1a〜1dのぞれぞれのゲート端子G1〜G4に接続されている。なお、電源部20は、図1では、直流電源として図示しているが、交流を直流に整流する整流部として構成されていてもよい。
そして、複数のスイッチング素子1は、それぞれ、ゲート端子Gに入力されるゲート駆動信号Gsに基づいてオンオフするように構成されている。なお、「オンオフ(スイッチング)」とは、ドレイン端子Dとソース端子Sとの間を導通する状態と切断する状態とを切り替える動作を意味するものとして記載している。なお、ゲート駆動信号Gsは、特許請求の範囲の「ゲート信号」の一例である。
(スイッチング素子の制御装置の構成)
図1に示すように、制御装置30は、制御部3と、複数のゲート駆動回路4と、複数の接続線5と、複数のゲート線6とを含む。制御部3は、たとえば、中央処理装置(CPU:Central Processing Unit)であり、制御プログラムに基づいて、入力パルス信号Pを生成するように構成されている。制御部3は、複数のゲート駆動回路4の入力部41に、それぞれ接続線5を介して、生成した入力パルス信号Pを入力するように構成されている。入力パルス信号Pは、たとえば、略矩形状の波形(図3および図4参照)を有する。
複数の接続線5は、スイッチング素子1aに対応するゲート駆動回路4aに接続されており、入力パルス信号P1を伝達する接続線5aと、スイッチング素子1bに対応するゲート駆動回路4bに接続されており、入力パルス信号P2を伝達する接続線5bと、スイッチング素子1cに対応するゲート駆動回路4cに接続されており、入力パルス信号P3を伝達する接続線5cと、スイッチング素子1dに対応するゲート駆動回路4dに接続されており、入力パルス信号P4を伝達する接続線5dとを含む。そして、接続線5a〜5dには、それぞれ、入力パルス信号Pをゲート駆動回路4に伝達する信号線51と、ゲート駆動回路4から入力パルス信号Pを戻す戻り線52とが設けられている。
ゲート駆動回路4の入力部41は、たとえば、フォトカプラとして構成されている。フォトカプラは、ゲート駆動回路4の入力側と出力側との絶縁素子として機能する。すなわち、第1実施形態では、ゲート駆動回路4は、フォトカプラ(入力部41)により、入力側と出力側とが絶縁されている。詳細には、信号線51は、入力部41のフォトカプラの発光素子のアノードに接続され、戻り線52は、入力部41のフォトカプラの発光素子のカソードに接続されている。
ゲート駆動回路4は、入力部41に入力パルス信号Pが入力されることに基づいて、ゲート駆動信号Gsを出力部42から出力するように構成されている。具体的には、ゲート駆動回路4は、制御部3からの入力パルス信号P(P1、P2、P3、P4)を増幅した信号をゲート駆動信号Gs(Gs1、Gs2、Gs3、Gs4)として出力するように構成されている。また、ゲート駆動信号Gsの電圧値の絶対値は、入力パルス信号Pの電圧値の絶対値よりも大きい。
また、制御装置30には、ゲート駆動回路4のゲート駆動信号Gsが出力される出力部42に接続されるゲート線6に、それぞれ、配置されているとともに、ゲート端子Gに接続され、抵抗値Rgが調整可能な複数のゲート抵抗7が設けられている。
具体的には、複数のゲート線6は、ゲート駆動回路4aに接続されているゲート線6aと、ゲート駆動回路4bに接続されているゲート線6bと、ゲート駆動回路4cに接続されているゲート線6cと、ゲート駆動回路4dに接続されているゲート線6dとを含む。また、複数のゲート抵抗7は、ゲート線6a上に配置されているゲート抵抗7aと、ゲート線6b上に配置されているゲート抵抗7bと、ゲート線6c上に配置されているゲート抵抗7cと、ゲート線6d上に配置されているゲート抵抗7dとを含む。なお、図1では、ゲート抵抗7a〜7dは、それぞれ、1つの抵抗として図示しているが、この例に限られず、複数の抵抗の接続状態を切り替えることにより、合成した抵抗値Rgが調整されるように構成してもよいし、可変抵抗によりゲート抵抗7a〜7dを構成してもよいし、抵抗器を着脱可能に構成することにより、抵抗値Rgが調整されるように構成してもよい。
たとえば、ゲート抵抗7(7a、7b、7c、7d)は、スイッチング素子1をターンオンする際の抵抗値Rgon(Rgon1、Rgon2、Rgon3、Rgon4)と、スイッチング素子1をターンオフする際の抵抗値Rgoff(Rgoff1、Rgoff2、Rgoff3、Rgoff4)とを個別に調整可能に構成されている。たとえば、制御装置30は、ゲート抵抗7の調整が製造時またはメンテナンス時に行うことが可能に構成されている。なお、抵抗値Rgonと抵抗値Rgoffとを特に区別しない場合には、抵抗値Rgとして記載している。
〈磁気結合に関する構成〉
ここで、第1実施形態では、複数の接続線5は、互いに磁気結合されている。具体的には、複数の接続線5は、複数のゲート駆動回路4に入力される入力パルス信号P同士のタイミング差を減少させるように互いに磁気結合されている。たとえば、2つの接続線5の信号線51同士が磁気結合されている。具体的には、図1に示すように、制御装置30には、接続線5aの信号線51aと接続線5bの信号線51bとを磁気結合するための磁気結合部8aと、接続線5cの信号線51cと接続線5dの信号線51dとを磁気結合するための磁気結合部8bとが設けられている。
すなわち、第1実施形態では、複数の接続線5のうちの上アーム部10aを駆動させる複数のゲート駆動回路4aおよび4bに接続されている複数の接続線5aおよび5bが、互いに磁気結合されているとともに、複数の接続線5のうちの下アーム部10bを駆動させる複数のゲート駆動回路4cおよび4dに接続される複数の接続線5cおよび5dが、互いに磁気結合されている。
詳細には、図2に示すように、磁気結合部8aおよび8bは、それぞれ、一の接続線5a(または5c)と、他の接続線5b(または5d)とが磁性体からなるコア81に巻回されることにより形成されている。たとえば、磁気結合部8aおよび8bは、トロイダルトランス(トロイダルコアトランス)として構成されている。そして、一の接続線5a(5c)の巻回数N1と、他の接続線5b(5d)の巻回数N2とは、略同一の巻回数である。
たとえば、一の接続線5a(5c)と、他の接続線5b(5d)とは、同一の巻回方向で、コア81に巻回されている。なお、同一の巻回方向とは、巻線の巻回はじめ位置が同一方向に位置することを意味するものとする。これにより、接続線5aに、入力パルス信号P1の電流(電流値ip1)が流れた場合、コア81に磁束φ1が生じる。この場合、磁束φ1は、コア81を介して、接続線5bの巻回内側を横切る。また、接続線5bに、入力パルス信号P2の電流(電流値ip2)が流れることにより、コア81に磁束φ2が生じる。そして、磁束φ2は、コア81を介して、接続線5aの巻回内側を横切る。これにより、接続線5aおよび5bが、磁気結合部8aにおいて、磁気結合される。そして、磁束φ1が接続線5bを横切ることにより、接続線5bに誘導起電力が生じ、磁束φ2が接続線5aを横切ることにより、接続線5aに誘導起電力が生じる。以下、磁気結合部8aの構成について説明するが、磁気結合部8bの構成は、磁気結合部8aの構成と同様である。
ここで、磁気結合部8aは、ip1=ip2の時に、|φ1|=|φ2|となるように構成されている。すなわち、図3(a)に示すように、一の接続線5aに流れる電流値ip1と、他の接続線5bに流れる電流値ip2とが等しい場合には、磁束φ1と磁束φ2とが互いに打消し合い、一の接続線5aに流れる電流の電流値ip1およびタイミングt1と、他の接続線5bに流れる電流の電流値ip2およびタイミングt1とは、変化しない。なお、一の接続線5aの電圧値Vp1、および、他の接続線5bの電圧値Vp2の大きさも略等しくなり、タイミングも略同時となる。
一方、磁気結合部8aは、ip1≠ip2の時に、|φ1|≠|φ2|となるように構成されている。たとえば、図3(b)に示すように、接続線5aを伝達する入力パルス信号P1の電圧が立上るタイミングt11よりも、接続線5bを伝達する入力パルス信号P2の電圧の立上るタイミングt12の方が遅い場合、接続線5aが接続線5bよりも先に電流値ip1が大きくなるため、コア81に、|φ1−φ2|の磁束が発生する。|φ1−φ2|の磁束が接続線5bの巻回内側に生じることにより、接続線5a側に逆起電力が発生して電流値ip1の上昇が抑制される。そして、タイミングt12で電流値ip2が立ち上がるのに伴ってip1が上昇する。すなわち、タイミングt12で電流値ip1とip2の立ち上がりが略同時となり、それぞれの電流値が略等しくなる。なお、この場合、接続線5aの電圧値Vp1の大きさと接続線5bの電圧値Vp2の大きさが略等しくなる。なお、本願明細書では、「略同時」とは、スイッチング素子1のスイッチングの周期よりも小さい(十分小さい)時間差を意味するものとし、スイッチング素子1の特性に起因する時間差よりも小さく、接続線5同士を磁気結合しない場合の時間差よりも小さいものを意味する。
磁気結合部8aにより、接続線5aを伝達する入力パルス信号P1の電流が立上るタイミングと、接続線5bを伝達する入力パルス信号P2の電流が立上るタイミングとの差が小さくなる。その結果、ゲート駆動回路4aに入力パルス信号P1がスイッチング素子1aのゲート端子G1に入力されるタイミングと、ゲート駆動回路4bに入力パルス信号P2がスイッチング素子1bのゲート端子G2に入力されるタイミングとのばらつきが抑制された状態(タイミングが略同時)となる。
また、図4に示すように、接続線5aを伝達する入力パルス信号P1の電圧が立下るタイミングt21および接続線5bを伝達する入力パルス信号P2の電圧が立下るタイミングt22がばらついた場合についても、同様の原理により、電流値ip1とip2の立下りタイミングのばらつきが抑制される。
なお、磁気結合部8aを設けずに接続線5aと5bとを磁気結合しない場合には、接続線5aでは、タイミングt11で電流値ip1が上昇する。また、磁気結合部8bを設けずに接続線5aと5bとが磁気結合しない場合には、接続線5bでは、タイミングt21よりも遅いタイミングであるタイミングt22に、電流値ip2が下降する。
〈ゲート抵抗の構成〉
第1実施形態では、図5および図6に示すように、複数のゲート抵抗7は、複数のスイッチング素子1のオン(ターンオン)またはオフ(ターンオフ)のタイミング差(t31−t32)(t51−t52)を減少させるように抵抗値Rgが調整されている。たとえば、ゲート抵抗7a、7b、7c、および、7dは、それぞれ、対応するスイッチング素子1a〜1dの特性に対応させて、抵抗値Rgon1、Rgon2、Rgon3、Rgon4、Rgoff1、Rgoff2、Rgoff3、および、Rgoff4が調整されている。
ここで、複数のスイッチング素子1は、それぞれ、特性に個体差がある。具体的には、図5に示すように、スイッチング素子1がターンオンするしきい値(Vthon1、Vthon2)、または、図6に示すように、スイッチング素子1がターンオフするしきい値(Vthoff1、Vthoff2)には、ばらつきがある。
図5に示すように、スイッチング素子1aがターンオンするためのしきい値Vthon1が、スイッチング素子1bがターンオンするためのしきい値Vthon2よりも高い値の場合がある。この場合、スイッチング素子1aのゲート端子G1に入力されるゲート駆動信号Gs1の立上りの時定数と、スイッチング素子1bのゲート端子G2に入力されるゲート駆動信号Gs2の立上りの時定数とが共に、時定数τ1で等しい場合には、スイッチング素子1aがスイッチングする時点t31と、スイッチング素子1bがスイッチングする時点t32とが異なるタイミングとなる。すなわち、図5(a)に示すように、スイッチング素子1aのしきい値Vthon1と、スイッチング素子1bのしきい値Vthon2とが異なる場合で、ゲート抵抗7aの抵抗値Rgon1と、ゲート抵抗7bの抵抗値Rgon2とが等しい場合には、スイッチングのタイミングにばらつきが生じる。なお、ゲート駆動信号Gsの時定数は、ゲート抵抗7の抵抗値Rgと、スイッチング素子1のゲート容量により定まる。
このような場合、図5(b)に示すように、ゲート抵抗7bの抵抗値Rgon2が、ゲート抵抗7aの抵抗値Rgon1よりも大きくなるように調整されることにより、ゲート端子G1に入力されるゲート駆動信号Gs1の時定数τ1よりも、ゲート端子G2に入力されるゲート駆動信号Gs2の時定数τ12が大きくなる。これにより、スイッチング素子1aがスイッチングする時点と、スイッチング素子1bがスイッチングする時点との差が減じられて、時点t41に略同時にスイッチングすることが可能となる。
図6に示すように、スイッチング素子1aがターンオフするためのしきい値Vthoff1が、スイッチング素子1bがターンオフするためのしきい値Vthoff2よりも低い値の場合がある。この場合、スイッチング素子1aのゲート端子G1に入力されるゲート駆動信号Gs1の立下りの時定数と、スイッチング素子1bのゲート端子G2に入力されるゲート駆動信号Gs2の立下りの時定数とが共に、時定数τ11で等しい場合には、スイッチング素子1aがスイッチングする時点t51と、スイッチング素子1bがスイッチングする時点t52とが異なるタイミングとなる。すなわち、図6(a)に示すように、スイッチング素子1aのしきい値Vthoff1と、スイッチング素子1bのしきい値Vthoff2とが異なる場合で、ゲート抵抗7aの抵抗値Rgoff1と、ゲート抵抗7bの抵抗値Rgoff2とが等しい場合には、スイッチングのタイミングにばらつきが生じる。
このような場合、図6(b)に示すように、ゲート抵抗7bの抵抗値Rgoff2を、ゲート抵抗7aの抵抗値Rgoff1よりも大きくすることにより、ゲート端子G1に入力されるゲート駆動信号Gs1の時定数τ11よりも、ゲート端子G2に入力されるゲート駆動信号Gs2の時定数τ12が大きくなる。これにより、スイッチング素子1aがスイッチングする時点と、スイッチング素子1bがスイッチングする時点との差が減じられて、時点t61に略同時にスイッチングすることが可能となる。
(電力変換装置の動作)
次に、第1実施形態による電力変換装置100(スイッチング素子1の制御装置30)の動作について説明する。例として、スイッチング素子1aおよび1bがターンオンおよびターンオフする場合について説明する。
まず、図1に示すように、制御装置30の制御部3から入力パルス信号P1およびP2が出力される。入力パルス信号P1は、接続線5aを伝達し、入力パルス信号P2は、接続線5bを伝達する。ここで、図2に示すように、磁気結合部8aにより、接続線5aと5bとが磁気結合されており、入力パルス信号P1の立上りのタイミングと、入力パルス信号P2の立上りのタイミングとの、タイミング差が減じられる(図3(b)参照)とともに、入力パルス信号P1の立下りのタイミングと、入力パルス信号P2の立下りのタイミングとの、タイミング差が減じられる(図4参照)。
そして、ゲート駆動回路4aの入力部41に、入力パルス信号P1が、ゲート駆動回路4bの入力部41に、入力パルス信号P2が、略同時に入力される。そして、ゲート駆動回路4aの出力部42から、ゲート駆動信号Gs1が、ゲート駆動回路4bの出力部42に、ゲート駆動信号Gs2が、略同時に出力される。
そして、図5(b)に示すように、ゲート駆動信号Gs1は、スイッチング素子1aのゲート容量および抵抗値Rgon1に対応した時定数τ1により、電圧値が次第に大きくなる(立上る)。また、ゲート駆動信号Gs2は、スイッチング素子1bのゲート容量および抵抗値Rgon2に対応した時定数τ2により、電圧値が次第に大きくなる(立上る)。ここで、抵抗値Rgon1および抵抗値Rgon2は、スイッチング素子1aおよび1bが略同時にターンオンする値に設定されており、スイッチング素子1aおよび1bが略同時のタイミングt41にターンオンする。
そして、図6(b)に示すように、ゲート駆動信号Gs1は、スイッチング素子1aのゲート容量および抵抗値Rgoff1に対応した時定数τ11により、電圧値が次第に小さくなる(立下る)。また、ゲート駆動信号Gs2は、スイッチング素子1bのゲート容量および抵抗値Rgoff2に対応した時定数τ12により、電圧値が次第に小さくなる(立下る)。ここで、抵抗値Rgoff1および抵抗値Rgoff2は、スイッチング素子1aおよび1bが略同時にターンオフする値に設定されており、スイッチング素子1aおよび1bが略同時のタイミングt61にターンオフする。これにより、電力変換装置100では、スイッチング素子1aおよび1bが略同時に、ターンオンおよびターンオフされる。
[第1実施形態の効果]
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第1実施形態では、上記のように、ゲート駆動回路4の入力側の複数の接続線5を、互いに磁気結合することにより、複数の接続線5により伝達される入力パルス信号Pの立上りおよび立下りのタイミングのばらつきを抑制することができる。その結果、入力パルス信号Pのタイミングのばらつきを抑制することができるので、ゲート駆動回路4から出力されるゲート駆動信号Gsのタイミングにばらつきが生じるのを抑制することができる。これにより、出力側のゲート線6同士を磁気結合する場合と異なり、複数のゲート駆動回路4の出力側の抵抗であるゲート抵抗7の抵抗値Rgを、接続されているスイッチング素子1の特性に対応させて調整することができる。その結果、ゲート駆動信号Gsが出力されるタイミングのばらつきが抑制された状態で、ゲート抵抗の抵抗値を調整してゲート駆動信号Gsの立上りの時定数または立下りの時定数を変更することにより、スイッチング素子1がオンオフするタイミングのばらつきが生じるのを抑制することができる。また、接続線5で伝達される入力パルス信号Pの電圧値Vpの絶対値は、ゲート線6で伝達されるゲート駆動信号Gsの電圧値の絶対値よりも小さいので、ゲート線6同士を磁気結合させる場合に比べて、磁気結合させるための構成(磁気結合部8)の耐圧を小さくすることができる。この結果、磁気結合させるための構成(磁気結合部8)の大型化を抑制することができるので、スイッチング素子1の制御装置30の大型化を抑制することができる。
また、第1実施形態では、複数のゲート駆動回路4のゲート駆動信号Gsを、出力される出力側に、それぞれ、配置する。そして、制御装置30に、ゲート端子Gに接続され、抵抗値Rgが調整可能な複数のゲート抵抗7を設けて、ゲート駆動回路4の入力側と出力側とを絶縁する。これにより、ゲート駆動回路4の入力側と出力側とが絶縁されていることにより、ゲート駆動回路4の出力側のインピーダンスを入力側から独立して設定することができる。すなわち、ゲート駆動回路4の入力側が磁気結合されている場合でも、ゲート抵抗7の抵抗値Rgを調整することにより、ゲート駆動回路4の出力側を伝達するゲート駆動信号Gsの時定数を調整することができる。これにより、ゲート駆動回路4の出力側を伝達するゲート駆動信号Gsの時定数を、スイッチング素子1の特性に対応させた値に設定することができる。その結果、ゲート駆動信号Gsが出力されるタイミングが揃えられた状態で、ゲート駆動信号Gsの時定数をゲート抵抗7の抵抗値Rgを調整して設定することにより、スイッチング素子1がオンオフするタイミングにばらつきが生じるのを、より一層抑制することができる。
また、第1実施形態では、複数の接続線5を、複数のゲート駆動回路4に入力される入力パルス信号P同士のタイミング差を減少させるように互いに磁気結合し、複数のゲート抵抗7を、複数のスイッチング素子1のオンまたはオフのタイミング差を減少させるように抵抗値Rgが調整可能に構成する。これにより、ゲート駆動信号Gsのタイミングが揃えられた状態で、ゲート駆動信号Gsの時定数をゲート抵抗7の抵抗値Rgを調整して設定することにより、スイッチング素子1がオンオフするタイミングにばらつきが生じるのを、より一層抑制することができる。
また、第1実施形態では、複数の接続線5を、入力パルス信号Pをゲート駆動回路4に伝達する信号線51同士が、磁気結合されるように構成する。これにより、2つの接続線5に伝達される入力パルス信号P同士の立上りタイミングおよび立下りタイミングが揃うので、容易に、入力パルス信号P同士のタイミングのばらつきを抑制することができる。
また、第1実施形態では、複数の接続線5のうちの上アーム部10aを駆動させる複数のゲート駆動回路4に接続されている複数の接続線5同士を、互いに磁気結合するとともに、複数の接続線5のうちの下アーム部10bを駆動させる複数のゲート駆動回路4に接続される複数の接続線5同士を、互いに磁気結合する。これにより、同時にオンオフされる上アーム部10aに配置された複数のスイッチング素子1に対応する接続線5同士、および、同時にオンオフされる下アーム部10bに配置された複数のスイッチング素子1に対応する接続線5同士の入力パルス信号Pのタイミングを揃えることができる。その結果、上アーム部10aおよび下アーム部10bを含む電力変換装置100に、本発明を効果的に適用することが可能となる。
また、第1実施形態では、スイッチング素子1を、炭化珪素を含む半導体素子から構成する。これにより、入力パルス信号P同士のタイミングのばらつきを抑制することができるので、スイッチング周波数が比較的高い炭化珪素を含む半導体素子(SiC−MOSFET)をオンオフさせる場合に、特に効果的となる。
[第2実施形態]
次に、図7を参照して、第2実施形態の電力変換装置200の構成について説明する。第2実施形態による電力変換装置200では、上アーム部210aおよび下アーム部210bのそれぞれに、互いに直列接続された3以上の自然数n個のスイッチング素子1が設けられている。なお、上記第1実施形態と同一の構成については、図中において同じ符号を付して図示し、その説明を省略する。
図7に示すように、第2実施形態では、電力変換装置200は、互いに直列接続された3以上の自然数n個のスイッチング素子1が設けられている上アーム部210a、および、n個のスイッチング素子1が設けられている下アーム部210bと、スイッチング素子1の制御装置230とを備える。なお、制御装置230は、特許請求の範囲の「半導体素子の制御装置」の一例である。また、図7では、下アーム部210bは、上アーム部210aと同様に構成されているため、詳細な図示を省略している。
制御装置230は、制御部203と、nの2倍の数のゲート駆動回路4と、nの2倍の本数の接続線205と、nの2倍の本数のゲート線206と、nの2倍の個数のゲート抵抗207とを含む。なお、図7では、上アーム部210aに対応するn個のゲート駆動回路4と、n本の接続線205と、n本のゲート線206の一部のみを記載し、その他の図示を省略している。
ここで、n本の接続線205は、互いに直列接続された複数のスイッチング素子1の初段目から3以上の自然数であるn段目までのスイッチング素子1のそれぞれに対応して設けられている。ここで、初段目(図7のNo.1)のスイッチング素子1とは、たとえば、電源部20の正極側Peに接続されているスイッチング素子1である。また、n段目(図7のNo.n)のスイッチング素子1とは、たとえば、出力端Oに接続されているスイッチング素子1である。初段目のスイッチング素子1を駆動させるゲート駆動回路4に入力パルス信号Pを伝達する接続線205を、初段目の接続線205とし、n段目のスイッチング素子1を駆動させるゲート駆動回路4に入力パルス信号Pを伝達する接続線205を、n段目の接続線205とする。
そして、第2実施形態では、初段目の接続線205は、次段(No.2)の接続線205と磁気結合されており、n段目の接続線205は、前段(No.n−1)の接続線205と磁気結合されている。たとえば、初段目の接続線205の信号線51と、次段(No.2)の接続線205の信号線51とが、磁気結合部208により磁気結合されている。これにより、初段目の接続線205を伝達する入力パルス信号Pのタイミングと、次段目の接続線205を伝達する入力パルス信号Pのタイミングとの差が小さくなる(略等しくなる)とともに、n段目の接続線205を伝達する入力パルス信号Pのタイミングと、n−1段目の接続線205を伝達する入力パルス信号Pのタイミングとの差が小さくなる(略等しくなる)。
また、第2実施形態では、初段目の接続線205およびn段目の接続線205以外の接続線205は、前段の接続線205および次段の接続線205の両方と磁気結合されている。たとえば、2段目(次段:No.2)の接続線205の信号線51は、初段目の接続線205の信号線51と、一の磁気結合部208である磁気結合部208aにより磁気結合されているとともに、3段目の接続線205の信号線51と、他の磁気結合部208である磁気結合部208bにより、磁気結合されている。これにより、初段目からn段目までの複数の接続線205に伝達される入力パルス信号Pのタイミングのばらつきが小さくなる。好ましくは、初段目からn段目までの複数の接続線205に伝達される入力パルス信号Pのタイミングが略等しくなる。
また、n個のゲート抵抗207は、接続されているスイッチング素子1の特性に対応して、それぞれ、抵抗値Rgが調整されている。そして、n個のゲート駆動回路204は、それぞれ、n本のゲート線206を介して、スイッチング素子1のゲート端子Gに、ゲート駆動信号Gsを入力することにより、n個のスイッチング素子1を略同時にオンオフするように構成されている。なお、下アーム部210bを駆動させるための制御装置230の構成は、上記した上アーム部210aを駆動させるための構成と同様である。また、第2実施形態のその他の構成は、第1実施形態の構成と同様である。
[第2実施形態の効果]
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
第2実施形態では、上記のように、制御装置230に、互いに直列接続された複数のスイッチング素子1の初段目から3以上の自然数であるn段目までのスイッチング素子1のそれぞれに対応する接続線205を設ける。そして、初段目の接続線205を、次段の接続線205と磁気結合させる。また、n段目の接続線205を、前段の接続線205と磁気結合させる。また、初段目の接続線205およびn段目の接続線205以外の接続線205を、前段の接続線205および次段の接続線205の両方と磁気結合させる。これにより、前段の接続線205と次段の接続線205との隣り合う段の接続線205同士を、磁気結合するように配線することができるので、段を越えて配線する必要がない分、互いに直列接続された複数のスイッチング素子1が、3段以上設けられる場合でも、回路構成が複雑化するのを抑制することができる。なお、第2実施形態のその他の効果は、第1実施形態の効果と同様である。
[変形例]
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
たとえば、上記実施形態では、電力変換装置を、インバータ装置として構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、電力変換装置を、コンバータ装置として構成してもよいし、チョッパ装置として構成してもよい。
また、上記実施形態では、半導体素子を、SiC−MOSFETまたはIGBTから構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、半導体素子は電圧駆動型の半導体素子であればよく、SiC−MOSFETまたはIGBT以外の電圧駆動型の半導体素子を用いてもよい。
また、上記実施形態では、スイッチング素子をターンオンする際のゲート抵抗の抵抗値(Rgon)およびスイッチング素子をターンオフする際のゲート抵抗の抵抗値(Rgoff)の両方を個別に調整可能に、制御装置を構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御装置を、スイッチング素子をターンオンおよびターンオフする際の共通のゲート抵抗の抵抗値を調整可能に構成してもよいし、抵抗値Rgonまたは抵抗値Rgoffのいずれか一方のみを調整可能に構成してもよい。
また、上記実施形態では、ゲート駆動回路の入力側と出力側とを絶縁するために、フォトカプラを用いる例を示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、フォトカプラ以外の絶縁素子により、ゲート駆動回路の入力側と出力側とを絶縁してもよい。たとえば、絶縁トランス(パルストランス)により、ゲート駆動回路の入力側と出力側とを絶縁してもよい。
また、上記実施形態では、2つの接続線の信号線同士を磁気結合させる例を示したが、本発明はこれに限られない。図8の第1変形例の制御装置330のように、2つの接続線305のうちの一の接続線305の信号線351と、他の接続線305の戻り線352とを、磁気結合部308により、磁気結合するように構成してもよい。この場合、信号線351の磁気結合部308のコアに対する巻回方向と、戻り線352の磁気結合部308のコアに対する巻回方向とは反対方向にすることにより、上記実施形態と同一の作用効果を奏する。また、図9の第2変形例の制御装置430のように、2つの接続線405のうちの一の接続線405の戻り線452と、他の接続線405の戻り線452とを、磁気結合部408により、磁気結合するように構成してもよい。
また、上記第2実施形態では、3以上の自然数n段の接続線を設ける場合に、隣り合う接続線(前段の接続線および次段の接続線)と磁気結合するように、制御装置を構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図10の第3変形例の電力変換装置500の制御装置530のように、初段(No.1)の接続線505aの信号線551aと、初段以外の接続線505bの各々の信号線551bとが、磁気結合分508により磁気結合されるように構成されていてもよい。すなわち、一の接続線505aが、他の複数の接続線505b全てと磁気結合されていてもよい。なお、制御装置の配線の複雑化を抑制する観点からは、第3変形例の構成よりも第2実施形態の構成の方が好ましい。
また、上記実施形態では、磁気結合部を、トロイダルコアトランスにより構成する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、磁気結合部を、Rコアトランス等のトロイダルコアトランス以外の構造により構成してもよい。
1、1a、1b、1c、1d スイッチング素子(半導体素子)
4 ゲート駆動回路
5、5a、5b、5c、5d、205、305、405、505a、505b 接続線
7、7a、7b、7c、7d、207 ゲート抵抗
10a、210a 上アーム部
10b、210b 下アーム部
30、230、330、430、530 制御装置(半導体素子の制御装置)
51、351、451、551a、551b 信号線
52、352、452 戻り線
100、200、500 電力変換装置
G、G1、G2、G3、G4 ゲート端子
Gs、Gs1、Gs2、Gs3、Gs4 ゲート駆動信号(ゲート信号)
P、P1、P2、P3、P4 入力パルス信号
Rg、Rgon、Rgon1、Rgon2、Rgon3、Rgon4、Rgoff、Rgoff1、Rgoff2、Rgoff3、Rgoff4 抵抗値

Claims (10)

  1. ゲート端子を有し、前記ゲート端子に入力されるゲート信号に基づいてオンオフするとともに、互いに直列接続された電圧駆動型の複数の半導体素子に、入力パルス信号に基づいて前記ゲート信号を出力する複数のゲート駆動回路と、
    前記複数のゲート駆動回路の入力側に接続され、前記入力パルス信号を伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線とを備える、半導体素子の制御装置。
  2. 前記複数のゲート駆動回路の前記ゲート信号が出力される出力側に、それぞれ、配置されているとともに、前記ゲート端子に接続され、抵抗値が調整可能な複数のゲート抵抗をさらに備え、
    前記ゲート駆動回路は、前記入力側と前記出力側とが絶縁されている、請求項1に記載の半導体素子の制御装置。
  3. 前記複数の接続線は、前記複数のゲート駆動回路に入力される前記入力パルス信号同士のタイミング差を減少させるように互いに磁気結合されており、
    前記複数のゲート抵抗は、前記複数の半導体素子のオンまたはオフのタイミング差を減少させるように前記抵抗値が調整されている、請求項2に記載の半導体素子の制御装置。
  4. 前記複数の接続線は、前記入力パルス信号を前記ゲート駆動回路に伝達する信号線と、前記ゲート駆動回路から前記入力パルス信号を戻す戻り線とを含み、
    前記複数の接続線のうちの2つの前記接続線の前記信号線同士、前記戻り線同士、または、前記信号線と前記戻り線とが、磁気結合されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体素子の制御装置。
  5. 前記2つの接続線の前記信号線同士が、磁気結合されている、請求項4に記載の半導体素子の制御装置。
  6. 前記複数の接続線は、互いに直列接続された前記複数の半導体素子の初段目から3以上の自然数であるn段目までの前記半導体素子のそれぞれに対応する前記接続線を含み、
    初段目の前記接続線は、次段の前記接続線と磁気結合されており、n段目の前記接続線は、前段の前記接続線と磁気結合されており、前記初段目の接続線および前記n段目の接続線以外の前記接続線は、前段の前記接続線および次段の前記接続線の両方と磁気結合されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体素子の制御装置。
  7. 前記複数の接続線のうちの上アーム部を駆動させる前記複数のゲート駆動回路に接続されている前記複数の接続線同士が、互いに磁気結合されているとともに、前記複数の接続線のうちの下アーム部を駆動させる前記複数のゲート駆動回路に接続される前記複数の接続線同士が、互いに磁気結合されている、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体素子の制御装置。
  8. 前記半導体素子は、炭化珪素を含む半導体素子からなる、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体素子の制御装置。
  9. ゲート端子を有し、前記ゲート端子に入力されるゲート信号に基づいてオンオフするとともに、互いに直列接続された電圧駆動型の複数の半導体素子と、
    前記複数の半導体素子に、入力パルス信号に基づいて前記ゲート信号を出力する複数のゲート駆動回路と、
    前記複数のゲート駆動回路の入力側に接続され、前記入力パルス信号を伝達するとともに、互いに磁気結合されている複数の接続線とを備える、電力変換装置。
  10. 前記複数のゲート駆動回路の前記ゲート信号が出力される出力側に、それぞれ、配置されているとともに、前記ゲート端子に接続され、抵抗値が調整可能な複数のゲート抵抗をさらに備え、
    前記ゲート駆動回路は、前記入力側と前記出力側とが絶縁されている、請求項9の電力変換装置。
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