JP2019051663A - バリアフィルム積層体 - Google Patents

Abstract

【課題】バリアフィルムを１８０度方向に引っ張ったときの剥離強度に優れたバリアフィルム積層体を提供する。【解決手段】第一基材層１１ａと第一基材層１１ａ上に形成された第一バリア層１４ａとを含む第一バリアフィルム１６ａと、第二基材層１１ｂと第二基材層１１ｂ上に形成された第二バリア層１４ｂとを含む第二バリアフィルム１６ｂと、接着層１５と、を備え、第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとが接着層１５を介して第一バリア層１４ａと第二バリア層１４ｂとが対向するように貼り合わされたバリアフィルム積層体１０。接着層１５が、エポキシ樹脂と、アミノ基を有する硬化剤と、を含有する接着剤から形成され、上記エポキシ樹脂が鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂を含むバリアフィルム積層体１０。【選択図】図１

Description

本発明はバリアフィルム積層体に関する。

液晶ディスプレイのバックライトユニット及びエレクトロルミネッセンス発光ユニット等の発光ユニットでは、発光体が酸素又は水蒸気等と接触して長時間が経過することにより、発光体としての性能が低下することがある。このため、これらの発光ユニットではしばしば、高分子フィルムにガスバリア層が形成されたガスバリアフィルムを接着層を介して積層したバリアフィルム積層体が、発光体の保護フィルムとして使用される（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−７６２８８号公報

上述のようなバリアフィルム積層体において、ガスバリアフィルムは、酸素又は水蒸気等が主としてバリアフィルム積層体上面（又は下面）から厚さ方向（積層方向）に侵入することを抑制するガスバリア性を有する。バリアフィルム積層体は、このガスバリアフィルムが積層されることから、ガスバリアフィルム単層の場合と比べて酸素又は水蒸気等の侵入を一層抑制することができ、仮にガスバリアフィルムの一方にピンホール等の欠陥が生じてもバリアフィルム積層体としてのガスバリア性は容易には損なわれない。

一方、バリアフィルム積層体では、酸素又は水蒸気等がバリアフィルム積層体側面から接着層を通じて面方向（積層方向と垂直な方向）に侵入することもあり、さらにガスバリアフィルムに欠陥が生じた場合には、ガスバリアフィルム積層体としてのガスバリア性が損なわれ、保護する発光体の性能を低下させる可能性がある。このため、バリアフィルム積層体では、ガスバリアフィルムのみならず接着層に高いガスバリア性を持たせることがある。これにより、接着層を通じた酸素又は水蒸気等の侵入を抑制することができ、バリアフィルムに欠陥が生じた場合でも、バリアフィルム積層体としてのガスバリア性を保持しやすくなる。

ところが、このようなガスバリア性を有する接着層を用いたバリアフィルム積層体では、バリアフィルム間の剥離強度が剥離角度によって変化し、特に一方のバリアフィルムを他方のバリアフィルムの面方向に対して平行（１８０度方向）に引っ張ったときに剥離が生じやすくなる問題があった。本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、バリアフィルムを１８０度方向に引っ張ったときの剥離強度に優れたバリアフィルム積層体を提供することを目的とする。

本発明は、第一基材層と上記第一基材層上に形成された第一バリア層とを含む第一バリアフィルムと、第二基材層と上記第二基材層上に形成された第二バリア層とを含む第二バリアフィルムと、接着層と、を備える、バリアフィルム積層体を提供する。上記バリアフィルム積層体において、上記第一バリアフィルムと上記第二バリアフィルムとが上記接着層を介して上記第一バリア層と上記第二バリア層とが対向するように貼り合わされている。また、上記第一バリア層が第一無機薄膜層と第一ガスバリア性被覆層とを含み、上記第二バリア層が第二無機薄膜層と第二ガスバリア性被覆層とを含み、上記接着層が、エポキシ樹脂と、アミノ基を有する硬化剤と、を含有する接着剤から形成され、上記エポキシ樹脂が鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂を含む。

ガスバリア性を有する接着層を用いたバリアフィルム積層体において、一方のバリアフィルムを他方のバリアフィルムの面方向に対して平行（１８０度方向）に引っ張ったときの剥離の様子を確認したところ、剥離は、接着層／バリアフィルム界面剥離、又は、接着層の凝集剥離ではなく、バリア層付近の基材層の凝集剥離であることがわかった。バリアフィルム積層体は多数の層の積層体であり、その製造時及び製造後に生じた応力が内部に蓄積されることがある。ガスバリア性を有する接着層は一般に硬い性質を有し、柔軟性が不足していることが多いことから、このような接着層を備えたバリアフィルム積層体では生じた応力の分散が難しくなるからである。その結果、基材層のバリア層付近に応力が集中し、基材層の凝集剥離が生じやすい状態になり、バリアフィルムを１８０度方向に引っ張ったときの基材層の凝集剥離となって現れたものと考えられる。基材層の凝集剥離が起こると、剥離強度が低下することがあった。特に、基材層として延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた場合、表面が層状に剥離する（表層剥離）ことから、剥離強度の低下が一層顕著となる傾向があることがわかった。

そこで、本発明者らは、接着剤に用いるエポキシ樹脂を鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂とすることにより、接着層に柔軟性を与え、バリアフィルムを１８０度方向に引っ張ったときの剥離強度の低下を抑制できることを見出した。本発明によれば、バリアフィルム積層体が上記接着剤から形成される接着層を備えることから、バリアフィルム同士を１８０度方向に引っ張ったときの剥離強度（以下、１８０度剥離強度という）に優れたバリアフィルム積層体を得ることができる。

上記バリアフィルム積層体において、上記鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂はヘキサンジオールジグリシジルエーテルであることが好ましい。これにより、バリアフィルム間の優れた１８０度剥離強度を得ながら、さらに、ガスバリア性を向上させることができる。

上記接着層の形成に用いる上記接着剤における、上記エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅの上記硬化剤の含有量Ｍ_Ｃに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_Ｃ）は、質量比で、０．０５〜０．５であることが好ましい。これにより、バリアフィルム間の優れた剥離強度が得られやすくなる。

上記接着剤はアミノ基を有するシランカップリング剤をさらに含有することが好ましい。これにより、バリアフィルム間の剥離強度が向上する傾向がある。

上記接着剤における、上記エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅの上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量Ｍ_ＳＣＡに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_ＳＣＡ）は、質量比で、１．０以上であることが好ましい。これにより、バリアフィルム間の剥離強度が向上しやすくなる。

上記接着剤は、エポキシ基を有するシランカップリング剤をさらに含有することが好ましい。これにより、バリアフィルム間の剥離強度が向上する傾向がある。

上記接着層の酸素透過率は、厚さ５μｍにおいて１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが好ましい。これにより、バリアフィルム積層体のガスバリア性がさらに向上する傾向がある。

本発明によれば、バリアフィルムを１８０度方向に引っ張ったときの剥離強度に優れたバリアフィルム積層体を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体の概略断面図である。 本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体を用いて得られる波長変換シートの概略断面図である。 本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体を用いて得られるバックライトユニットの概略断面図である。 本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体を用いて得られるエレクトロルミネッセンス発光ユニットの概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。

［バリアフィルム積層体］
図１は本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体の概略断面図である。図１において、バリアフィルム積層体１０は第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂと接着層１５とを備え、第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとが接着層１５を介して貼り合わされている。

接着層１５は、エポキシ樹脂と、アミノ基を有する硬化剤と、を含有する接着剤から形成される。より具体的には、上記接着剤を一方のバリアフィルム上に塗布・乾燥し、塗膜を介して他方のバリアフィルムを貼り合わせ、これらをエージング処理することにより、塗膜中のエポキシ樹脂とその硬化剤との硬化反応を経て、接着層が形成される。言い換えると、接着層１５は、エポキシ樹脂と、アミノ基を有する硬化剤との反応物を含有する。また、上記エポキシ樹脂は鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂を含む。これにより、形成された接着層１５は柔軟性を有するものとなる。接着層１５が柔軟性を有することにより、バリアフィルム積層体の製造時及び製造後に生じた応力を分散し、応力が特定の箇所への負荷となることを抑制することができる。したがって、上記接着層１５を備えるバリアフィルム積層体１０では、バリアフィルム間の優れた１８０度剥離強度が得られる。

本明細書において、鎖状脂肪族型のエポキシ樹脂とは鎖状脂肪族炭化水素基を主骨格として有するエポキシ樹脂を指し、上記主骨格とは例えばエポキシ樹脂中のエポキシ基導入部位を除いた部分を指す。また、２官能エポキシ樹脂は官能基としてのエポキシ基を分子中に２つ有するエポキシ樹脂を指す。なお、鎖状脂肪族炭化水素基は環構造（芳香族環及び脂肪族環を含む）を有しない脂肪族炭化水素基である。

鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂は、例えば、アルキレンジアミンやアルキレンジオール等にエピクロロヒドリンを作用させて、得ることができる。この場合、得られたエポキシ樹脂中の、アルキレンジアミンのアミノ基に由来する窒素原子、又は、アルキレンジオールのヒドロキシル基に由来する酸素原子から末端のエポキシ基を含む部分がエポキシ基導入部位となる。また、アルキレンジアミンやアルキレンジオールにおけるアルキレン基に由来する部分がエポキシ樹脂の主骨格となる。

鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂としては、具体的には、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、及びジエチレングリコールジグリシジルエーテル等が挙げられる。鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂はこれらの中でも、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル又はネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルであることが好ましく、ヘキサンジオールジグリシジルエーテルであることがより好ましい。鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂がヘキサンジオールジグリシジルエーテルである場合、バリアフィルム積層体のガスバリア性が向上する傾向がある。

上記エポキシ樹脂は、本発明の効果を損なわない範囲で、鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂以外のその他のエポキシ樹脂を含むことができる。上記その他のエポキシ樹脂としては、芳香族型のエポキシ樹脂、環状脂肪族型のエポキシ樹脂、単官能エポキシ樹脂、及び３官能以上のエポキシ樹脂等が挙げられる。その他のエポキシ樹脂は３官能以上のエポキシ樹脂であることができる。エポキシ樹脂が３官能以上のエポキシ樹脂を含む場合、３官能以上のエポキシ樹脂の含有量Ｍ_ＥＭの鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅ２に対する比（Ｍ_ＥＭ／Ｍ_Ｅ２）は、不揮発分の質量比で、１．０以下であることが好ましく、０．５以下であることがより好ましく、０．３以下であることがさらに好ましい。接着剤が３官能以上のエポキシ樹脂を鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂に対して一定以下の上記含有量で含有することにより、接着層への柔軟性の付与や１８０度剥離強度の効果を損なうことなく、ガスバリア性を向上できる傾向がある。

アミノ基を有する硬化剤は特に限定されず、エポキシ樹脂と混合して加熱により硬化可能なものであればよい。

上記接着剤におけるエポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅのアミノ基を有する硬化剤の含有量Ｍ_Ｃに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_Ｃ）は、不揮発分の質量比で、好ましくは１．０以下であり、より好ましくは０．０５〜０．５であり、さらに好ましくは０．２〜０．５であり、特に好ましくは０．３〜０．５である。接着剤がエポキシ樹脂とアミノ基を有する硬化剤とを上記範囲内で含有することにより、バリアフィルムの密着性がさらに得られやすくなる。

上記接着剤はさらにシランカップリング剤を含有することが好ましく、アミノ基又はエポキシ基を有するシランカップリング剤を含有することがより好ましく、アミノ基を有するシランカップリング剤を含有することがさらに好ましい。アミノ基を有するシランカップリング剤はさらに２つ以上の加水分解性官能基を有することが好ましい。エポキシ基を有するシランカップリング剤はさらに２つ以上の加水分解性官能基を有することが好ましい。

アミノ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、３-アミノプロピルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノブチルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノヘキシルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノオクチルメチルジメトキシシラン、及び、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。

エポキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。

上記接着剤がアミノ基を有するシランカップリング剤を含有する場合、上記接着剤における、エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅのアミノ基を有するシランカップリング剤の含有量Ｍ_ＳＣＡに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_ＳＣＡ）は、不揮発分の質量比で、１．０以上であることが好ましく、２．０以上であることがより好ましい。接着剤がアミノ基を有するシランカップリング剤を上記比率で含有することにより、バリアフィルムの剥離強度が向上しやすくなる。

また、上記接着剤がエポキシ基を有するシランカップリング剤を含有する場合、上記接着剤における、アミノ基を有する硬化剤の含有量Ｍ_Ｃのエポキシ基を有するシランカップリング剤の含有量Ｍ_ＳＣＥに対する比（Ｍ_Ｃ／Ｍ_ＳＣＥ）は、不揮発分の質量比で、１０．０以上であることが好ましい。接着剤がエポキシ基を有するシランカップリング剤を上記比率で含有することにより、バリアフィルムの剥離強度が向上しやすくなる。

接着層１５の酸素透過率は、厚さ５μｍにおいて、厚さ方向に、１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが好ましい。上記酸素透過率は５００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることがより好ましく、２００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることがさらに好ましい。接着層１５の酸素透過率が、１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることにより、発光ユニットに用いた場合に、仮にバリア層が欠陥を有していたとしても、欠陥周辺のダークスポットの発生を抑制しやすくなる。上記酸素透過率の下限値は特に制限されないが、例えば、０．１ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）である。

接着層１５の厚さは、０．５〜２０μｍであることが好ましく、１〜１０μｍであることがより好ましく、２〜６μｍあることがさらに好ましい。接着層１５の厚さが０．５μｍ以上であることにより、第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとの密着性が得られやすくなり、上記厚さが２０μｍ以下であることにより、ガスバリア性が得られやすくなる。

図１において、第一バリアフィルム１６ａは第一基材層１１ａと第一基材層１１ａ上に形成された第一バリア層１４ａとを含み、第二バリアフィルム１６ｂは第二基材層１１ｂと第二基材層１１ｂ上に形成された第二バリア層１４ｂとを含む。

第一基材層１１ａ及び第二基材層１１ｂは加工及び流通等における破損を抑制するための層である。第一基材層１１ａと第二基材層１１ｂとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ナイロン等のポリアミド；ポリプロピレン及びシクロオレフィンポリマー等のポリオレフィン；ポリカーボネート；並びにトリアセチルセルロース等のフィルムが挙げられるが、これらに限定されない。第一基材層１１ａ及び第二基材層１１ｂは、ポリエステルフィルム、ポリアミドフィルム又はポリオレフィンフィルムであることが好ましく、ポリエステルフィルム又はポリアミドフィルムであることがより好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリエチレンナフタレートフィルムであることがさらに好ましい。また、第一基材層１１ａ及び第二基材層１１ｂは二軸延伸されていることが好ましい。第一基材層１１ａと第二基材層１１ｂは同じであっても異なっていてもよい。第一基材層１１ａ又は第二基材層１１ｂが延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムである場合、第一バリアフィルム１６ａ又は第二バリアフィルム１６ｂを１８０度方向に引っ張ったとき、第一基材層１１ａ又は第二基材層１１ｂの表面が層状に剥離する（表層剥離）ことがあるが、本実施形態に係るバリアフィルム積層体１０は上記接着層１５を備えることから、１８０度剥離強度の低下が生じることなく、延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムがその機能を十分に発揮することができる。

第一基材層１１ａ及び第二基材層１１ｂの厚さは、特に制限されないが、３μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。

第一基材層１１ａ及び第二基材層１１ｂ上にそれぞれ第一バリア層１４ａ及び第二バリア層１４ｂが、必要に応じてアンカーコート層（図示しない）を介して、形成されている。アンカーコート層としてはポリエステル樹脂等が挙げられ、アンカーコート層の厚さは０．０１〜１μｍ程度である。

第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとは第一バリア層１４ａと第二バリア層１４ｂとが対向するように貼り合わされている。これにより、より優れたガスバリア性を得ることができ、また、第一バリア層１４ａ及び第二バリア層１４ｂを外力から保護できることから、より安定したガスバリア性を得ることができる。

第一バリアフィルム１６ａは第一バリア層１４ａを２つ以上含んでいてもよく、第二バリアフィルム１６ｂは第二バリア層１４ｂを２つ以上含んでいてもよい。第一バリアフィルム１６ａが第一バリア層１４ａを２つ以上含む場合、複数の第一バリア層１４ａの構成は同じであってもよく、異なっていてもよい。上記第二バリアフィルム１６ｂが第二バリア層１４ｂを２つ以上含む場合、複数の第二バリア層１４ｂの構成は同じであってもよく、異なっていてもよい。上記バリアフィルム積層体１０を発光ユニットに用いる場合、バリアフィルム積層体１０は第一バリアフィルム１６ａが発光体層と接するように配置される。バリアフィルム積層体１０が第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとを重ねたバリアフィルム積層体であることにより、発光ユニットに用いた場合に、外力による発光体層の破損を抑制し、且つ、ガスバリア性を向上させることができる。

第一バリア層１４ａは第一無機薄膜層１２ａと第一ガスバリア性被覆層１３ａとを含み、第一基材層１１ａ上に第一無機薄膜層１２ａと第一ガスバリア性被覆層１３ａとがこの順に積層されている。第二バリア層１４ｂは第二無機薄膜層１２ｂと第二ガスバリア性被覆層１３ｂとを含み、第二基材層１１ｂ上に第二無機薄膜層１２ｂと第二ガスバリア性被覆層１３ｂとがこの順に積層されている。

第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂは無機化合物を含み、金属酸化物を含むことが好ましい。上記金属酸化物としては、例えば、アルミニウム、銅、銀、イットリウム、タンタル、ケイ素、マグネシウム等の金属の酸化物が挙げられる。金属酸化物は、安価でバリア性能に優れることから、酸化ケイ素（ＳｉＯ_ｘ、ｘは１．０〜２．０）であることが好ましい。ｘが１．０以上であると、良好なガスバリア性が得られやすい傾向がある。

第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂの形成方法は真空成膜であることが好ましい。真空成膜としては、物理気相成長法及び化学気相成長法が挙げられる。物理気相成長法としては、例えば、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等が挙げられる。また、化学気相成長法としては、例えば、熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等が挙げられる。製造コストの観点から、第一無機薄膜層１２ａ又は第二無機薄膜層１２ｂは蒸着法で形成された無機蒸着膜層であることが好ましい。

第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂの厚さは、１０〜３００ｎｍであることが好ましく、２０〜１００ｎｍであることがより好ましい。第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂの厚さが１０ｎｍ以上であることにより、均一な膜が得られやすく、ガスバリア性が得られやすくなる傾向がある。一方、第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂの厚さが３００ｎｍ以下であることにより、第一無機薄膜層１２ａ及び第二無機薄膜層１２ｂに柔軟性を保持させることができ、成膜後に折り曲げ、引張等の外力により、亀裂等が生じにくくなる傾向がある。

第一ガスバリア性被覆層１３ａ及び第二ガスバリア性被覆層１３ｂは下記式（１）で表わされる金属アルコキシド及びその加水分解物からなる群より選択される少なくとも１種を含む組成物から形成されることが好ましい。
Ｍ（ＯＲ^１）_ｍ（Ｒ^２）_ｎ−ｍ ・・・（１）

上記式（１）中、Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ独立に炭素数１〜８の１価の有機基であり、メチル基、エチル基等のアルキル基であることが好ましい。ＭはＳｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ等のｎ価の金属原子を示す。ｍは１〜ｎの整数である。金属アルコキシドとしては、例えば、テトラエトキシシラン［Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４］、トリイソプロポキシアルミニウム［Ａｌ（Ｏ−ｉｓｏ−Ｃ_３Ｈ_７）_３］等が挙げられる。金属アルコキシドは、加水分解後、水系の溶媒中において比較的安定であることから、テトラエトキシシラン又はトリイソプロポキシアルミニウムであることが好ましい。金属アルコキシドの加水分解物としては、例えば、テトラエトキシシランの加水分解物であるケイ酸（Ｓｉ（ＯＨ）_４）、及び、トリプロポキシアルミニウムの加水分解物である水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）_３）等が挙げられる。これらは、１種だけでなく、複数種を組み合わせて使用することもできる。上記組成物における金属アルコキシド及びその加水分解物の含有量は、例えば、１０〜９０質量％である。

上記組成物はさらに水酸基含有高分子化合物を含んでいてもよい。水酸基含有高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン及びデンプン等の水溶性高分子が挙げられる。水酸基含有高分子化合物はバリア性の観点からポリビニルアルコールであることが好ましい。これらは、１種だけでなく、複数種を組み合わせて使用することもできる。上記組成物における水酸基含有高分子化合物の含有量は、例えば、１０〜９０質量％である。

第一ガスバリア性被覆層１３ａ及び第二ガスバリア性被覆層１３ｂの厚さは、５０〜１０００ｎｍであることが好ましく、１００〜５００ｎｍであることがより好ましい。第一ガスバリア性被覆層１３ａ及び第二ガスバリア性被覆層１３ｂの厚さが５０ｎｍ以上であると、より十分なガスバリア性を得ることができる傾向があり、１０００ｎｍ以下であると、十分な柔軟性を保持できる傾向がある。

バリアフィルム積層体１０は、光散乱機能を発揮させるために、第二バリアフィルム１６ｂ側の表面にさらにコーティング層（図示しない）を備えていてもよい。バリアフィルム積層体１０がコーティング層を備えることにより、光散乱機能以外にも、干渉縞（モアレ）防止機能及び反射防止機能等を得ることができる。

バリアフィルム積層体１０は、酸素や水蒸気等と接触することにより劣化し得る発光体の保護フィルム（発光体保護フィルム）として好適に用いることができる。上記発光体としては、量子ドット等の蛍光体、エレクトロルミネッセンス発光体等が挙げられる。

本実施形態に係るバリアフィルム積層体の製造方法について説明する。まず、第一バリアフィルム１６ａ及び第二バリアフィルム１６ｂが準備される。第一バリアフィルム１６ａ及び第二バリアフィルム１６ｂの作製方法は上述のとおりである。次に、上記接着剤が、第一バリアフィルム１６ａの第一バリア層１４ａ側（又は第二バリアフィルム１６ｂの第二バリア層１４ｂ側）の面上に塗布され、塗膜が形成される。接着剤の塗布方法としては、リバースグラビア塗工方法等が挙げられる。上記塗膜は、必要に応じて、乾燥されてもよい。乾燥温度は７０〜１３０℃程度であり、乾燥時間は１０〜６０秒間程度である。その後、第一バリアフィルム１６ａと第二バリアフィルム１６ｂとが上記塗膜を介して第一バリア層１４ａと第二バリア層１４ｂとが対向するように貼り合わせられる。貼り合わせ後、上記塗膜を加熱硬化させることにより、上記塗膜が接着層１５となり、バリアフィルム積層体１０を製造することができる。上記塗膜を硬化させるための加熱（エージング）温度は例えば４０〜６０℃であり、加熱時間は例えば１〜４日間である。

［波長変換シート］
図２は本発明の一実施形態に係るバリアフィルム積層体を用いて得られる波長変換シートの概略断面図である。波長変換シートは液晶ディスプレイ用バックライトユニットの光源からの光の一部の波長を変換可能なシートである。図２に示すように、波長変換シート２０は、上述したバリアフィルム積層体１０と、上記バリアフィルム積層体１０上に形成された蛍光体層２１と、上記蛍光体層２１上に設けられた別のバリアフィルム積層体１０と、を備えて概略構成されている。波長変換シート２０は、２つのバリアフィルム積層体１０の間に、蛍光体層２１が包み込まれた（すなわち、封止された）構造を有する。波長変換シート２０において、バックライトユニットの光源側に配置される一方のバリアフィルム積層体には、上述したバリアフィルム積層体１０とは異なる保護フィルムが用いられてもよい。また、波長変換シート２０は必ずしも光源側に保護フィルムを備えていなくてもよい。すなわち、波長変換シート２０は、バリアフィルム積層体１０と、上記バリアフィルム積層体１０の上記第一バリアフィルム１６ａ上に形成された蛍光体層２１と、を備えるものであってもよい。

蛍光体層２１は樹脂及び蛍光体を含む。蛍光体層２１の厚さは数十〜数百μｍである。上記樹脂としては、例えば、光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を使用することができる。蛍光体層２１は、量子ドットからなる２種類の蛍光体を含むことが好ましい。また、蛍光体層２１は、１種類の蛍光体を含む蛍光体層と別の種類の蛍光体を含む蛍光体層が２層以上積層されたものであってもよい。２種類の蛍光体には、励起波長が同一のものが選択される。励起波長は、バックライトユニットの光源が照射する光の波長に基づいて選択される。２種類の蛍光体の蛍光色は相互に異なる。光源に青色発光ダイオード（青色ＬＥＤ）を用いる場合、各蛍光色は、赤色及び緑色である。各蛍光の波長、及び光源が照射する光の波長は、カラーフィルタの分光特性に基づき選択される。蛍光のピーク波長は、例えば、赤色で６１０ｎｍであり、緑色で５５０ｎｍである。

次に、蛍光体の粒子構造を説明する。蛍光体としては、特に発光効率の良いコア・シェル型量子ドットが好適に用いられる。コア・シェル型量子ドットは、発光部としての半導体結晶コアが保護膜としてのシェルにより被覆されたものである。例えば、コアにはセレン化カドミウム（ＣｄＳｅ）、シェルには硫化亜鉛（ＺｎＳ）が使用可能である。ＣｄＳｅの粒子の表面欠陥がバンドギャップの大きいＺｎＳにより被覆されることで量子収率が向上する。また、蛍光体は、コアが第一シェル及び第二シェルにより二重に被覆されたものであってもよい。この場合、コアにはＣｄＳｅ、第一シェルにはセレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）、第二シェルにはＺｎＳが使用可能である。

蛍光体層２１は、蛍光体をすべて単一の層に分散させた単層構成を有していてもよく、各蛍光体を複数の層に別々に分散させ、これらを積層させた多層構成を有していてもよい。

次に、波長変換シート２０の製造方法について図２を参照しながら説明する。蛍光体層２１の形成方法としては、特に限定されず、例えば、特表２０１３−５４４０１８号明細書に記載される方法が挙げられる。バインダー樹脂に蛍光体を分散させ、調製した蛍光体分散液をバリアフィルム積層体１０の第一バリアフィルム１６ａ側の面上に塗布した後、塗布面に別のバリアフィルム積層体１０を貼り合わせ、蛍光体層２１を硬化することにより、波長変換シート２０を製造することができる。

［バックライトユニット］
上記波長変換シート２０を用いることにより、バックライトユニットが得られる。図３は、上記バリアフィルム積層体を用いて得られるバックライトユニットの概略断面図である。図３において、バックライトユニット３０は光源３２と上記波長変換シート２０とを備え、上記蛍光体層２１を挟んで上記光源３２側とその反対側とに上記バリアフィルム積層体１０が配置される。詳細には、バックライトユニット３０において、波長変換シート２０のバリアフィルム積層体１０の表面上に導光板３４及び反射板３６がこの順で配置されており、光源３２は上記導光板３４の側方（導光板３４の面方向）に配置されている。

導光板３４及び反射板３６は、光源３２から照射された光を効率的に反射し、導くものであり、公知の材料が使用される。導光板３４としては、例えば、アクリル、ポリカーボネート、及びシクロオレフィンフィルム等が使用される。光源３２には、例えば、青色発光ダイオード素子が複数個設けられている。この発光ダイオード素子は、紫色発光ダイオード、又はさらに低波長の発光ダイオードであってもよい。光源３２から照射された光は、導光板３４（Ｄ１方向）に入射した後、反射及び屈折等を伴って蛍光体層２１（Ｄ２方向）に入射する。蛍光体層２１を通過した光は、蛍光体層２１を通過する前の光に蛍光体層２１で発生した黄色光が混ざることで、白色光となる。

［エレクトロルミネッセンス発光ユニット］
図４は、上記バリアフィルム積層体を用いて得られるエレクトロルミネッセンス発光ユニットの概略断面図である。本実施形態に係るエレクトロルミネッセンス発光ユニット５０は、エレクトロルミネッセンス発光体層５６と、バリアフィルム積層体１０とを備える。エレクトロルミネッセンス発光ユニット５０は、例えば、透明電極層５４と、該透明電極層５４上に設けられたエレクトロルミネッセンス発光体層５６と、該エレクトロルミネッセンス発光体層５６上の設けられた誘電体層５８と、該誘電体層５８上に設けられた背面電極層６０を含む電極要素を、上記バリアフィルム積層体１０及び保護フィルム６２で挟持するとともに密封することにより得られる。エレクトロルミネッセンス発光体層５６は上記バリアフィルム積層体１０の第一バリアフィルム１６ａ上に形成される。

以下に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。

［バリアフィルム積層体の作製］
（実施例１）
アクリルポリオールとトリレンジイソシアネートとを、アクリルポリオールのＯＨ基の数に対してトリレンジイソシアネートのＮＣＯ基の数が等量となるように混合し、全固形分が５質量％になるよう酢酸エチルで希釈した。希釈後の混合液に、さらにβ−（３，４エポキシシクロヘキシル）トリメトキシシランを、全固形分に対して５質量％となるように添加し、これらを混合することでアンカーコート層組成物を作製した。

二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（第一基材層、厚さ：２５μｍ）の一方の面上に、上記アンカーコート層組成物をバーコート法により塗布し、１００℃１分間乾燥硬化させることにより、厚さ５０ｎｍのアンカーコート層を形成した。

電子ビーム加熱式の真空蒸着装置を用いて、酸化珪素材料（ＳｉＯ、キヤノンオプトロン株式会社製）を１．５×１０^−２Ｐａの圧力下で電子ビーム加熱によって蒸発させ、上記アンカーコート層上に厚さ３０ｎｍのＳｉＯ_ｘ膜（第一無機薄膜層）を形成した。なお、蒸着における加速電圧は４０ｋＶであり、エミッション電流は０．２Ａであった。

次に、テトラエトキシシラン１０．４質量部と塩酸（濃度：０．１Ｎ）８９．６質量部とを混合して、混合液を３０分間撹拌し、テトラエトキシシランの加水分解溶液を得た。一方、ポリビニルアルコールを水／イソプロピルアルコールの混合溶媒（水／イソプロピルアルコール（質量比）＝９０：１０）中に溶解させ、３質量％のポリビニルアルコール溶液を得た。テトラエトキシシランの加水分解溶液６０質量部とポリビニルアルコール溶液４０質量部とを混合し、ガスバリア性被覆層組成物を得た。

第一無機薄膜層上に、上記ガスバリア性被覆層組成物を塗布、乾燥することにより、３００ｎｍの厚さを有する第一ガスバリア性被覆層を形成した。さらに、上記第一ガスバリア性被覆層上に、上記と同様にして、厚さ３０ｎｍの別の第一無機薄膜層を形成し、上記別の第一無機薄膜層上に、厚さ３００ｎｍの別の第一ガスバリア性被覆層を形成した。上記のようにして、第一基材層、アンカーコート層、第一無機薄膜層、第一ガスバリア性被覆層、第一無機薄膜層、及び第一ガスバリア性被覆層がこの順に積層されてなる第一バリアフィルムを得た。

二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（第二基材層、厚さ：２５μｍ）の一方の面上に、上記アンカーコート層組成物をバーコート法により塗布し、１００℃１分間乾燥硬化させることにより、厚さ５０ｎｍのアンカーコート層を形成した。

電子ビーム加熱式の真空蒸着装置を用いて、酸化珪素材料（ＳｉＯ、キヤノンオプトロン株式会社製）を１．５×１０^−２Ｐａの圧力下で電子ビーム加熱によって蒸発させ、上記アンカーコート層上に厚さ３０ｎｍのＳｉＯ_ｘ膜（第二無機薄膜層）を形成した。なお、蒸着における加速電圧は４０ｋＶであり、エミッション電流は０．２Ａであった。

第二無機薄膜層上に、上記ガスバリア性被覆層組成物を塗布、乾燥することにより、３００ｎｍの厚さを有する第二ガスバリア性被覆層を形成した。上記のようにして、第二基材層、アンカーコート層、第二無機薄膜層、及び第二ガスバリア性被覆層がこの順に積層されてなる第二バリアフィルムを得た。

２官能の鎖状脂肪族型のエポキシ樹脂系主剤（ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、三菱化学株式会社製、商品名：ＹＥＤ−２１６、不揮発分：１００質量％）５質量部、アミノ基を有する硬化剤（三菱ガス化学株式会社製、商品名：Ｃ−９３、不揮発分：６５質量％）１６質量部、及び、アミノ基を有するシランカップリング剤（Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、信越化学工業株式会社製、商品名：ＫＢＭ−６０２）１質量部をメタノール２３質量部及び酢酸エチル４７質量部からなる溶媒中に溶解し、接着剤を調製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

得られた第一バリアフィルムの第一ガスバリア性被覆層の表面上に、上記接着剤をリバースグラビア装置を用いて塗布後８２℃で１分間乾燥し、接着剤の塗布面と第二ガスバリア性被覆層とが対向するように第二バリアフィルムを貼り合わせ、５０℃２日間エージングを行った。上記のようにして、第一バリアフィルムと第二バリアフィルムとを５μｍの厚さを有する接着層を介して貼り合せ、バリアフィルム積層体を作製した。

（実施例２）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤の配合量を５質量部から１質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例３）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤の含有量を、５質量部から２．５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例４）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤を、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（株式会社ＡＤＥＫＡ製、商品名：ＥＤ−５２３Ｔ、不揮発分：１００質量％）に変更したこと以外は、実施例３と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例５）
接着剤の調製において、アミノ基を有するシランカップリング剤を、３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業株式会社製、商品名：ＫＢＭ−９０３）に変更したこと以外は、実施例３と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例６）
接着剤の調製において、アミノ基を有するシランカップリング剤を、エポキシ基を有するシランカップリング剤（３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、信越化学工業株式会社製、商品名：ＫＢＭ−４０２）に変更したこと以外は、実施例３と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例７）
接着剤の調製において、アミノ基を有するシランカップリング剤の配合量を、１質量部から０．１質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例８）
接着剤の調製において、アミノ基を有するシランカップリング剤の配合量を、１質量部から０．０５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例９）
接着剤の調製において、アミノ基を有するシランカップリング剤を配合しなかったこと以外は、実施例３と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（実施例１０）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤を、ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（三菱化学株式会社製、商品名：ＹＥＤ−２１６、不揮発分：１００質量％）４質量部、及び、多官能エポキシ樹脂（三菱ガス化学株式会社製、商品名：Ｍ−１００、不揮発分：１００質量％）１質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表１にまとめて示す。

（比較例１）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤を、多官能エポキシ樹脂（三菱ガス化学株式会社製、商品名：Ｍ−１００、不揮発分：１００質量％）５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表２にまとめて示す。

（比較例２）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤を、２官能の芳香族型のエポキシ樹脂（レゾルシノールジグリシジルエーテル、ナガセケムテックス株式会社製、商品名：ＥＸ−２０１、不揮発分：１００質量％）５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表２にまとめて示す。

（比較例３）
接着剤の調製において、エポキシ樹脂系主剤を、２官能の環状脂肪族型のエポキシ樹脂（３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル ３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、株式会社ダイセル製、商品名：セロキサイド２０２１Ｐ、不揮発分：１００質量％）５質量部に変更したこと以外は、実施例１と同様にしてバリアフィルム積層体を作製した。接着剤の組成を表２にまとめて示す。

［接着層の評価］
（酸素透過率）
実施例及び比較例で用いられた接着剤を厚さ７０μｍのＣＰＰ（無延伸ポリプロピレンフィルム）上に塗布し、上記接着剤の塗布面に、厚さ７０μｍのＣＰＰを貼り合せ、５０℃で２日間エージングを行った。上記のようにして、厚さ７０μｍのＣＰＰ、厚さ５μｍの接着層、及び厚さ７０μｍのＣＰＰがこの順に積層されてなる、酸素透過率測定用サンプル（積層体）を得た。得られたサンプルを差圧式ガス透過率測定装置（ＧＴＲテック株式会社製、ＧＴＲ-３０Ｘ）内に配置し、ＪＩＳ Ｋ７１２６−１（附属書１）に記載の方法に従って、温度４０℃、相対湿度０％の環境下で試験ガスを酸素とし、差圧１０１ｋＰａ（１ａｔｍ）で差圧法にて上記サンプルの酸素透過率を測定した。酸素透過率の測定結果を表１及び表２に示す。なお、上記測定方法では、接着剤にて貼り合わせられたフィルムとして、接着層より高い酸素透過率（例えば、１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）より高い酸素透過率）を有するフィルムを用いることにより、積層体の酸素透過率を接着層の酸素透過率とみなすことができる。すなわち、上記測定方法では、接着剤にて貼り合わせられたフィルムとして、酸素透過率２５００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）であるＣＰＰを用いていることから、２５００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下のサンプルの酸素透過率の測定結果は、接着層の酸素透過率とみなすことができる。

［バリアフィルム積層体の評価］
（１８０度剥離強度及び剥離態様）
実施例及び比較例で得られたバリアフィルム積層体を幅１ｃｍの短冊状にカットし、バリアフィルム積層体の第一バリアフィルム側をガラス板上に固定した。固定された短冊状のバリアフィルム積層体の第二バリアフィルムを、テンシロン引張試験機（オリエンテック社製）を用いて、ガラス板に対して平行（１８０度）な方向に、３００ｍｍ／分の速度で、第一バリアフィルムから引き剥がし、剥離に要した強度（１８０度剥離強度）を測定した。上記強度は、温度２３℃湿度６５％ＲＨの環境下で測定した。さらに、第一バリアフィルム及び第二バリアフィルムの剥離面を目視及び顕微鏡観察にて観察し、剥離の態様を評価した。１８０度剥離強度及び剥離面の測定結果を表１及び表２に示す。

（９０度剥離強度及び剥離態様）
実施例及び比較例で得られたバリアフィルム積層体を幅１ｃｍの短冊状にカットし、バリアフィルム積層体の第一バリアフィルム側をガラス板上に固定した。固定された短冊状のバリアフィルム積層体の第二バリアフィルムを、テンシロン引張試験機（オリエンテック社製）を用いて、ガラス板に対して垂直（９０度）な方向に、３００ｍｍ／分の速度で、第一バリアフィルムから引き剥がし、剥離に要した強度（９０度剥離強度）を測定した。上記強度は、温度２３℃湿度６５％ＲＨの環境下で測定した。さらに、第一バリアフィルム及び第二バリアフィルムの剥離面を目視及び顕微鏡観察にて観察し、剥離の態様を評価した。９０度剥離強度及び剥離面の測定結果を表１及び表２に示す。

実施例１〜１０及び比較例１〜３のバリアフィルム積層体ではいずれも、ガラス板に固定された第一バリアフィルムに対して垂直（９０度）な方向に第二バリアフィルムを引き剥がしたときには良好な剥離強度が得られた。また、実施例１〜１０のバリアフィルム積層体では、ガラス板に固定された第一バリアフィルムに対して平行（１８０度）な方向に第二バリアフィルムを剥がしたときにも同様に良好な剥離強度が得られた。実施例１〜１０のバリアフィルム積層体の１８０度剥離面を見ると、接着層の凝集剥離が確認された。一方、比較例１では、ガラス板に固定された第一バリアフィルムに対して平行（１８０度）な方向に第二バリアフィルムを剥がしたときにも同様に良好な剥離強度が得られなかった。比較例１〜３のバリアフィルム積層体の剥離面を見ると、バリア層近傍の基材層が層状に剥離していることが確認された。このような評価結果が得られた理由としては、エポキシ樹脂として鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂のみを用いたことにより接着層が硬くなり、バリアフィルム積層体の製造時及び製造後に生じた応力が基材層に集中したこと等が考えられる。なお、実施例５では、接着剤を塗布前に数時間放置したとき白濁が観察されたが、剥離強度には影響がなかった。

１０…バリアフィルム積層体、１１ａ…第一基材層、１１ｂ…第二基材層、１２ａ…第一無機薄膜層、１２ｂ…第二無機薄膜層、１３ａ…第一ガスバリア性被覆層、１３ｂ…第二ガスバリア性被覆層、１４ａ…第一バリア層、１４ｂ…第二バリア層、１５…接着層、１６ａ…第一バリアフィルム、１６ｂ…第二バリアフィルム、２０…波長変換シート、２１…蛍光体層、３０…バックライトユニット、５０…エレクトロルミネッセンス発光ユニット。

Claims (7)

1. 第一基材層と前記第一基材層上に形成された第一バリア層とを含む第一バリアフィルムと、
   第二基材層と前記第二基材層上に形成された第二バリア層とを含む第二バリアフィルムと、
   接着層と、
   を備え、
   前記第一バリアフィルムと前記第二バリアフィルムとが前記接着層を介して前記第一バリア層と前記第二バリア層とが対向するように貼り合わされており、
   前記第一バリア層が第一無機薄膜層と第一ガスバリア性被覆層とを含み、
   前記第二バリア層が第二無機薄膜層と第二ガスバリア性被覆層とを含み、
   前記接着層が、エポキシ樹脂と、アミノ基を有する硬化剤と、を含有する接着剤から形成され、前記エポキシ樹脂が鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂を含む、バリアフィルム積層体。
2. 前記鎖状脂肪族型の２官能エポキシ樹脂はヘキサンジオールジグリシジルエーテルである、請求項１に記載のバリアフィルム積層体。
3. 前記接着剤における、前記エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅの前記硬化剤の含有量Ｍ_Ｃに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_Ｃ）が、質量比で、０．０５〜０．５である、請求項１又は２に記載のバリアフィルム積層体。
4. 前記接着剤が、アミノ基を有するシランカップリング剤をさらに含有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリアフィルム積層体。
5. 前記接着剤における、前記エポキシ樹脂の含有量Ｍ_Ｅの前記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量Ｍ_ＳＣＡに対する比（Ｍ_Ｅ／Ｍ_ＳＣＡ）が、質量比で、１．０以上である、請求項４に記載のバリアフィルム積層体。
6. 前記接着剤が、エポキシ基を有するシランカップリング剤をさらに含有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のバリアフィルム積層体。
7. 前記接着層の酸素透過率は、厚さ５μｍにおいて１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のバリアフィルム積層体。

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