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JP2019045736A - Photosensitive resin composition and cured film - Google Patents

Photosensitive resin composition and cured film Download PDF

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JP2019045736A
JP2019045736A JP2017169905A JP2017169905A JP2019045736A JP 2019045736 A JP2019045736 A JP 2019045736A JP 2017169905 A JP2017169905 A JP 2017169905A JP 2017169905 A JP2017169905 A JP 2017169905A JP 2019045736 A JP2019045736 A JP 2019045736A
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JP
Japan
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compound
resin composition
photosensitive resin
ether
group
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Pending
Application number
JP2017169905A
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Japanese (ja)
Inventor
裕樹 吉川
Yuki Yoshikawa
裕樹 吉川
美沙緒 常川
Misao Tsunekawa
美沙緒 常川
彰 平野
Akira Hirano
彰 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Artience Co Ltd
Original Assignee
Toyo Ink SC Holdings Co Ltd
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Abstract

【課題】本発明は、低温硬化性にも優れ、高硬度であり、基材密着性、耐薬品性に優れる硬化膜を形成できるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物を用いた、タッチパネルに用いられるオーバーコートに適した高品質の硬化膜を提供することを目的とする。【解決手段】上記課題は、光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含む感光性樹脂組成物よって解決される。【選択図】なしThe present invention provides an alkali-developable photosensitive resin composition capable of forming a cured film having excellent low-temperature curability, high hardness, excellent substrate adhesion, and chemical resistance, and the photosensitive resin composition An object of the present invention is to provide a high-quality cured film suitable for an overcoat used for a touch panel. The object is to provide a photosensitive resin composition containing a photocationic polymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin, wherein the cationically polymerizable compound (B) is at least This is solved by a photosensitive resin composition comprising an episulfide compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound. [Selection figure] None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物及びそれを用いて形成した有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びタッチパネル用に適した硬化膜に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, an organic electroluminescent display device formed using the same, and a cured film suitable for a touch panel.

液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス装置等のディスプレイは、テレビやパソコンモニター、スマートフォン、タブレット端末用途の展開が急速に進み、現在広く使用されている。最近では、ディスプレイのフレキシブル化やウエアラブル化が進み、従来使用されてきたリジッドなガラス基板を使用せずにフレキシブル基材を使用して素子を作製するニーズが高まっているが、フレキシブル基板の多くは有機系の素材からなり耐熱性がガラス基板よりも低いため、製造工程の温度を下げる必要がある。このようなディスプレイ製造工程において、基板、回路素子等の耐熱性の問題や、さらに省エネルギー化などの観点から、絶縁膜や保護膜等の各種硬化膜形成時の加熱温度を下げることが必要とされており、加熱温度が低い製造条件であっても、硬化可能な硬化膜組成物が求められている。   BACKGROUND OF THE INVENTION Displays such as liquid crystal display devices and organic electroluminescent devices are being widely used at present, with the development of applications for TVs, personal computer monitors, smartphones, and tablet terminals rapidly advancing. Recently, with the progress of making displays flexible and wearable, there is a growing need to manufacture devices using flexible substrates without using conventional rigid glass substrates, but many of the flexible substrates It is necessary to lower the temperature of the manufacturing process because it is made of an organic material and the heat resistance is lower than that of the glass substrate. In such a display manufacturing process, it is necessary to lower the heating temperature at the time of forming various cured films such as an insulating film and a protective film from the viewpoint of heat resistance problems of substrates, circuit elements, etc. and further energy saving. There is a need for a cured film composition that can be cured even under manufacturing conditions where the heating temperature is low.

上記の低温硬化プロセスに対応した組成物として、例えば特許文献1記載のアルカリ可溶性共重合体、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、光ラジカル発生剤、1分子中にオキセタニル基を2個以上有する化合物及び酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物や、特許文献2記載のカルボキシル基含有ポリシロキサン、溶剤、二重結合及び/又は三重結合を有する化合物及び光重合開始剤を含有する樹脂組成物が提案されている。しかしこれらの組成物は、Si原子を有するガラスや窒化ケイ素基板との接着性は向上するものの、ITOやモリブデン等のSi原子を有しない基板においては、熱処理や薬品処理後の接着性が不十分であった。   As a composition corresponding to the above-mentioned low temperature curing process, for example, an alkali soluble copolymer described in Patent Document 1, a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, a photo radical generator, two or more oxetanyl groups in one molecule. Radiation-sensitive resin composition containing a compound having an acid generator and a carboxyl group-containing polysiloxane described in Patent Document 2, a solvent, a compound having a double bond and / or a triple bond, and a resin containing a photopolymerization initiator Compositions have been proposed. However, although these compositions improve the adhesion to glass having Si atoms and a silicon nitride substrate, the adhesion after heat treatment and chemical treatment is insufficient on substrates having no Si atoms such as ITO and molybdenum. Met.

特開2009−3366号公報JP, 2009-3366, A 特開2008−208342号公報JP, 2008-208342, A

本発明は、低温硬化性にも優れ、高硬度であり、基材密着性、耐薬品性に優れる硬化膜を形成できるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物、及び該感光性樹脂組成物を用いた、タッチパネルに用いられるオーバーコートに適した高品質の硬化膜及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention uses an alkali-developable photosensitive resin composition capable of forming a cured film excellent in low-temperature curability and high in hardness and excellent in substrate adhesion and chemical resistance, and the photosensitive resin composition It is an object of the present invention to provide a high quality cured film suitable for an overcoat used in a touch panel and a method for producing the same.

光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含むことにより、高硬度、高透明であり、パターン直線性、耐薬品性に優れる硬化膜の形成が可能となり、低温硬化性にも優れたものであることを見出したものである。   A photosensitive resin composition comprising a cationic photopolymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin, wherein the cationically polymerizable compound (B) is at least an episulfide compound (B1) and an episulfide By including a cationically polymerizable compound (B2) other than the compound, a cured film having high hardness and high transparency, excellent in pattern linearity and chemical resistance can be formed, and excellent in low temperature curability I found something.

すなわち、本発明は、光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含む感光性樹脂組成物に関する。   That is, the present invention is a photosensitive resin composition containing a cationic photopolymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin, wherein the cationically polymerizable compound (B) is at least an episulfide. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than an episulfide compound.

また本発明は、エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、オキセタン化合物、ビニルエーテル化合物及びエポキシ化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む上記感光性樹脂組成物に関する。   The present invention also relates to the above photosensitive resin composition, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least one selected from the group consisting of an oxetane compound, a vinyl ether compound and an epoxy compound.

また本発明は、エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、少なくともオキセタン化合物を含む上記の感光性樹脂組成物に関する。   The present invention also relates to the photosensitive resin composition as described above, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least an oxetane compound.

また本発明は、エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、少なくともオキセタン化合物及びビニルエーテル化合物を含む上記感光性樹脂組成物に関する。   The present invention also relates to the above photosensitive resin composition, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least an oxetane compound and a vinyl ether compound.

また本発明は、エピスルフィド化合物(B1)及びエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)の含有量比が、(B1):(B2)=20:80〜80:20である上記感光性樹脂組成物に関する。   In the photosensitive resin composition according to the present invention, the content ratio of the episulfide compound (B1) and the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound is (B1) :( B2) = 20: 80 to 80:20. Related to things.

また本発明は、オキセタン化合物が、下記化学式(3−5)に示される化合物又は(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートを重合してなる重合体を含む上記感光性樹脂組成物に関する。
Further, the present invention provides the above photosensitive resin composition, wherein the oxetane compound comprises a polymer represented by the following chemical formula (3-5) or a polymer obtained by polymerizing (3-ethyl oxetan-3-yl) methyl (meth) acrylate Related to things.

また本発明は、光カチオン重合開始剤(A)が、芳香族スルホニウム塩(a1)又は芳香族ヨードニウム塩(a2)を含む上記感光性樹脂組成物に関する。   The present invention also relates to the photosensitive resin composition as described above, wherein the cationic photopolymerization initiator (A) contains an aromatic sulfonium salt (a1) or an aromatic iodonium salt (a2).

また本発明は、さらに 光ラジカル重合開始剤(C)を含む上記感光性樹脂組成物に関する。   The present invention also relates to the above photosensitive resin composition further comprising a photo radical polymerization initiator (C).

また本発明は、光ラジカル重合開始剤(C)が、オキシムエステル系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤及びアセトフェノン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む上記感光性樹脂組成物に関する。   The present invention is also directed to the above photosensitivity wherein the photo radical polymerization initiator (C) contains at least one selected from the group consisting of oxime ester photopolymerization initiators, thioxanthone photopolymerization initiators and acetophenone photopolymerization initiators. It relates to a resin composition.

また本発明は、光カチオン重合開始剤(A)及び光ラジカル重合開始剤(C)の含有量比が、(A):(C)=30:70〜:80:20である上記感光性樹脂組成物に関する。   Moreover, this invention is the said photosensitive resin whose content ratio of a photocationic polymerization initiator (A) and a photoradical polymerization initiator (C) is (A) :( C) = 30: 70-: 80: 20. It relates to a composition.

また本発明は、上記感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜に関する。   Moreover, this invention relates to the cured film formed using the said photosensitive resin composition.

また本発明は、上記感光性樹脂組成物を基材上に塗布後、マスクを介して露光し、現像してパターンを形成後、加熱焼成する工程を有する硬化膜の製造方法に関する。   The present invention also relates to a method for producing a cured film, comprising the steps of applying the photosensitive resin composition onto a substrate, exposing it through a mask, developing it to form a pattern, and heating and baking it.

また本発明は、加熱焼成の温度が、100℃以下である上記硬化膜の製造方法に関する。   Moreover, this invention relates to the manufacturing method of the said cured film whose temperature of heat-firing is 100 degrees C or less.

また本発明は、層間絶縁膜又はオーバーコート膜である上記硬化膜に関する。   The present invention also relates to the above-mentioned cured film which is an interlayer insulating film or an overcoat film.

さらに本発明は、タッチパネル用である上記硬化膜に関する。   Furthermore, the present invention relates to the above-mentioned cured film for a touch panel.

本発明の感光性樹脂組成物は、高硬度、高透過率であるだけでなく、低温硬化性に優れるため、低温硬化時のパターン直線性、密着性及び耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる。また、該組成物により、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、密着性及び耐薬品性に優れる硬化膜を得ることができる。すなわち本発明の感光性樹脂組成物及び硬化膜は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置やタッチパネルに用いられる絶縁膜及びオーバーコートに適している。   The photosensitive resin composition of the present invention not only has high hardness and high transmittance, but also is excellent in low-temperature curability, so a cured film excellent in pattern linearity, adhesion and chemical resistance at low temperature curing is obtained. Can. In addition, the composition can provide a cured film having high hardness and high transmittance, and excellent in pattern linearity, adhesion, and chemical resistance. That is, the photosensitive resin composition and the cured film of the present invention are suitable for insulating films and overcoats used in organic electroluminescent display devices and touch panels.

まず、本発明の感光性樹脂組成物の各種構成成分について説明する。
なお、本願では、「(メタ)アクリロイル」、「(メタ)アクリル」、「(メタ)アクリル酸」、「(メタ)アクリレート」、又は「(メタ)アクリルアミド」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び/又はメタクリロイル」、「アクリル及び/又はメタクリル」、「アクリル酸及び/又はメタクリル酸」、「アクリレート及び/又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び/又はメタクリルアミド」を表すものとする。
First, various components of the photosensitive resin composition of the present invention will be described.
In the present application, “(meth) acryloyl”, “(meth) acrylic”, “(meth) acrylic acid”, “(meth) acrylate” or “(meth) acrylamide” are particularly described. Unless there is any, respectively, "acryloyl and / or methacryloyl", "acrylic and / or methacrylic", "acrylic acid and / or methacrylic acid", "acrylate and / or methacrylate", or "acrylamide and / or methacrylamide" It shall represent.

本発明の感光性樹脂組成物は、光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含むことを特徴とする。   The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing a cationic photopolymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin, and the cationically polymerizable compound (B) Are characterized by including at least an episulfide compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound.

<光カチオン重合開始剤(A)>
光カチオン重合開始剤(A)は、UV照射あるいは加熱によりテトラフルオロホウ酸や、ヘキサフルオロリン酸などの強酸を生じ、この強酸が後述するカチオン重合性化合物の酸素原子をプロトン化してカチオン活性種が形成され、重合反応が開始されるものであり、公知の化合物を、特に限定なく使用することができる。
<Photo cationic polymerization initiator (A)>
The photocationic polymerization initiator (A) generates strong acids such as tetrafluoroboric acid and hexafluorophosphoric acid by UV irradiation or heating, and the strong acids protonate the oxygen atom of the cationically polymerizable compound described later to form cationically active species. Is formed to initiate the polymerization reaction, and known compounds can be used without particular limitation.

光カチオン重合開始剤(A)として例えば、カチオン部分が、芳香族スルホニウム、芳香族ヨードニウム、芳香族ジアゾニウム、芳香族アンモニウム、チオキサントニウム、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄カチオン、又はチアンスレニウムであって、アニオン部分が、BF 、PF 、SbF 、又は[BX(但し、Xは、フェニル基の有する水素原子の2個以上が、フッ素原子又はトリフルオロメチル基によって置換された官能基を示す。)で構成される、芳香族スルホニウム塩(a1)、芳香族ヨードニウム塩(a2)、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族アンモニウム塩、チオキサントニウム塩、又は(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄塩等が挙げられる。
これらの光カチオン重合開始剤は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
As the photocationic polymerization initiator (A), for example, the cation moiety is aromatic sulfonium, aromatic iodonium, aromatic diazonium, aromatic ammonium, thioxanthonium, (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1 -Methylethyl) benzene] -iron cation or thiansurenium, wherein the anion moiety is BF 4 , PF 6 , SbF 6 , or [BX 4 ] (where X is a phenyl group) Aromatic sulfonium salt (a1), aromatic iodonium salt (a2), aromatic diazonium salt, each of which represents a functional group substituted by two or more hydrogen atoms by a fluorine atom or a trifluoromethyl group. , Aromatic ammonium salts, thioxanthonium salts, or (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methyl ether) And the like), and the like.
These photocationic polymerization initiators can be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as required.

(芳香族スルホニウム塩(a1))
芳香族スルホニウム塩(a1)としては、例えばビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロホスフェート、ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロアンチモネート、ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビステトラフルオロボレート、ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム テトラフルオロボレート、ジフェニル−4−(フェニルチオ)フェニルスルホニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロホスフェート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビスヘキサフルオロアンチモネート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド ビステトラフルオロボレート、ビス[4−(ジ(4−(2−ヒドロキシエトキシ))フェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
(Aromatic sulfonium salt (a1))
Examples of the aromatic sulfonium salt (a1) include bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluorophosphate, bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluoroantimonate, and bis [4- (Diphenylsulfonio) phenyl] sulfide Bis tetrafluoroborate, bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide tetrakis (pentafluorophenyl) borate, diphenyl-4- (phenylthio) phenylsulfonium hexafluorophosphate, diphenyl-4- (Phenylthio) phenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyl-4- (phenylthio) phenylsulfonium tetrafluoroborate, diphenyl-4- (pheny) (Luthio) phenylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis [4- ( Di (4- (2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluorophosphate, bis [4- (di (4- (2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bishexafluoroantimo , Bis [4- (di (4- (2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide bis tetrafluoroborate, bis [4 -(Di (4- (2-hydroxyethoxy)) phenylsulfonio) phenyl] sulfide Tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like can be used.

(芳香族ヨードニウム塩(a2))
また、芳香族ヨードニウム塩(a2)としては、例えばジフェニルヨードニウム ヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウム テトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム テトラフルオロボレート、ビス(ドデシルフェニル)ヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム ヘキサフルオロホスフェート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム ヘキサフルオロアンチモネート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム テトラフルオロボレート、4−メチルフェニル−4−(1−メチルエチル)フェニルヨードニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
(Aromatic iodonium salt (a2))
Also, as the aromatic iodonium salt (a2), for example, diphenyliodonium hexafluorophosphate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, bis (dodecylphenyl) iodonium hexafluoro Phosphate, bis (dodecylphenyl) iodonium hexafluoroantimonate, bis (dodecylphenyl) iodonium tetrafluoroborate, bis (dodecylphenyl) iodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) Phenyliodonium hexafluorophosphate, 4-methylphenyl-4- (1-) Ethylethyl) phenyliodonium hexafluoroantimonate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) phenyliodonium tetrafluoroborate, 4-methylphenyl-4- (1-methylethyl) phenyliodonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate Etc. can be used.

(芳香族ジアゾニウム塩)
また、芳香族ジアゾニウム塩としては、例えばフェニルジアゾニウム ヘキサフルオロホスフェート、フェニルジアゾニウム ヘキサフルオロアンチモネート、フェニルジアゾニウム テトラフルオロボレート、フェニルジアゾニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
(Aromatic diazonium salt)
Further, as the aromatic diazonium salt, for example, phenyldiazonium hexafluorophosphate, phenyldiazonium hexafluoroantimonate, phenyldiazonium tetrafluoroborate, phenyldiazonium tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like can be used.

(芳香族アンモニウム塩)
また、芳香族アンモニウム塩としては、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム ヘキサフルオロホスフェート、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム ヘキサフルオロアンチモネート、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム テトラフルオロボレート、1−ベンジル−2−シアノピリジニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート、1−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウム ヘキサフルオロホスフェート、1−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウムヘキサフルオロアンチモネート、1−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウム テトラフルオロボレート、1−(ナフチルメチル)−2−シアノピリジニウム テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
(Aromatic ammonium salt)
Also, as the aromatic ammonium salt, 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluorophosphate, 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluoroantimonate, 1-benzyl-2-cyanopyridinium tetrafluoroborate, 1-benzyl- 2-cyanopyridinium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, 1- (naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium hexafluorophosphate, 1- (naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium hexafluoroantimonate, 1- (naphthylmethyl)- 2-Cyanopyridinium tetrafluoroborate, 1- (naphthylmethyl) -2-cyanopyridinium tetrakis (pentafluorophenyl) borate and the like can be used.

(チオキサントニウム塩)
また、チオキサントニウム塩としては、S−ビフェニル 2−イソプロピル チオキサントニウムヘキサフルオロホスフェート等を使用することができる。
(Thioxanthonium salt)
Moreover, as thioxanthonium salt, S-biphenyl 2-isopropyl thioxanthonium hexafluorophosphate etc. can be used.

((2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄塩)
また、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄塩としては、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)ヘキサフルオロホスフェート、(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)ヘキサフルオロアンチモネート、2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)テトラフルオロボレート、2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−鉄(II)テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート等を使用することができる。
((2,4-Cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron salt)
Moreover, as (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron salt, (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -Iron (II) hexafluorophosphate, (2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron (II) hexafluoroantimonate, 2,4-cyclopentadien-1-yl ) [(1-Methylethyl) benzene] -iron (II) tetrafluoroborate, 2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -iron (II) tetrakis (pentafluorophenyl) Borate etc. can be used.

これらの中でも、芳香族スルホニウム塩(a1)又は芳香族ヨードニウム塩(a2)が残膜率及び密着性向上のために好ましく、残膜率向上の観点から、より好ましくは芳香族ヨードニウム塩(a2)である。   Among these, aromatic sulfonium salt (a1) or aromatic iodonium salt (a2) is preferable for improving the residual film rate and adhesion, and from the viewpoint of improving the residual film rate, more preferably aromatic iodonium salt (a2) It is.

光カチオン重合開始剤(A)としては、例えば、CPI−100P、CPI−200K、CPI−101A(以上、サンアプロ(株)製)、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6990、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6992、サイラキュア光硬化開始剤UVI−6976(以上、ダウ・ケミカル日本(株)製)、アデカオプトマーSP−150、アデカオプトマーSP−152、アデカオプトマーSP−170、アデカオプトマーSP−172(以上、旭電化工業(株)製)、CI−5102、CI−2855(以上、日本曹達(株)製)、サンエイドSI−60L、サンエイドSI−80L、サンエイドSI−100L、サンエイドSI−110L、サンエイドSI−180L、サンエイドSI−110、サンエイドSI−145、サンエイドSI−150、サンエイドSI−160、サンエイドSI−180(以上、三新化学工業(株)製)、エサキュア1064、エサキュア1187(以上、ランベルティ社製)、オムニキャット432、オムニキャット440、オムニキャット445、オムニキャット550、オムニキャット650、オムニキャットBL−550(アイジーエム レジン社製)、イルガキュア250(BASF(株)製)、ロードシル フォトイニシエーター2074(RHODORSIL PHOTOINITIATOR 2074(ローディア・ジャパン(株)製)、WPI−113、WPI−116、WPI−169、WPI−170(和光純薬工業(株)製)等が市販されている。   As a photocationic polymerization initiator (A), CPI-100P, CPI-200K, CPI-101A (above, San-Apro Co., Ltd. product), thyra cure photocuring initiator UVI-6990, thyra cure photocuring initiator UVI- 6992, CYRA CURE Photo-curing initiator UVI-6976 (all, Dow Chemical Japan Ltd.), Adeka Optomer SP-150, Adeka Optomer SP-152, Adeka Optomer SP-170, Adeka Optomer SP-172 (Above, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. product), CI-5102, CI-2855 (above, Nippon Soda Co., Ltd. product), San Aid SI-60L, San Aid SI-80 L, San Aid SI-100 L, San Aid SI-110 L, San Aid SI-180L, San Aid SI-110, San Aid SI-145 San-Aid SI-150, San-Aid SI-160, San-Aid SI-180 (manufactured by Sanshin Chemical Industry Co., Ltd.), Esacure 1064, Esacure 1187 (manufactured by Lamberti, Inc.), Omni Cat 432, Omni Cat 440, Omni Cat 445, Omni Cat 550, Omni Cat 650, Omni Cat BL-550 (manufactured by ID Resin Co., Ltd.), Irgacure 250 (manufactured by BASF Corp.), Rhodesil Photoinitiator 2074 (RHODORSIL PHOTOINITIATOR 2074 (Rodia Japan Co., Ltd.) And WPI-113, WPI-116, WPI-169, WPI-170 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and the like are commercially available.

これらの中では、芳香族スルホニウム塩(a1)であるサンアプロ社製CPI―100P、CPI―101A、CPI―200K、CPI―210S、あるいは芳香族ヨードニウム塩であるBASF社製イルガキュア250、和光純薬工業社製WPI−113、WPI−116、WPI−169、WPI−170が好ましい。   Among these, aromatic sulfonium salt (a1) CPI-100P, CPI-101A, CPI-200K, CPI-210S manufactured by San-Apro, or BASF Irgacure 250 manufactured by aromatic iodonium salt, Wako Pure Chemical Industries, Ltd. Company WPI-113, WPI-116, WPI-169, WPI-170 are preferable.

光カチオン重合開始剤(A)は、感光性樹脂組成物の固形分の合計100質量%中、0.1〜30質量%の量で用いることが好ましく、残膜率、耐薬品性、透過率の観点から1〜20質量%の量で用いることがより好ましい。   The photocationic polymerization initiator (A) is preferably used in an amount of 0.1 to 30% by mass in the total 100% by mass of the solid content of the photosensitive resin composition, and the residual film ratio, chemical resistance, and transmittance It is more preferable to use in the amount of 1 to 20% by mass from the viewpoint of

<光ラジカル重合開始剤(C)>
本発明の感光性樹脂組成物には、該組成物を紫外線照射により硬化させ、フォトリソグラフィー法により塗膜を形成するために、さらに、光ラジカル重合開始剤を加えて溶剤現像型あるいはアルカリ現像型の感光性樹脂組成物の形態で調製することができる。光ラジカル重合開始剤としては従来公知のものをいずれも用いることができる。
<Photo radical polymerization initiator (C)>
In the photosensitive resin composition of the present invention, in order to cure the composition by ultraviolet irradiation and form a coating film by a photolithography method, a photo-radical polymerization initiator is further added to form a solvent developing type or an alkali developing type. It can be prepared in the form of a photosensitive resin composition of Any of conventionally known photoradical polymerization initiators can be used.

光ラジカル重合開始剤として例えば、オキシムエステル系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、又はアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤等が挙げられるが、これらに限定されない。   Examples of photo radical polymerization initiators include oxime ester photopolymerization initiators, thioxanthone photopolymerization initiators, acetophenone photopolymerization initiators, benzoin photopolymerization initiators, benzophenone photopolymerization initiators, and triazine photopolymerization initiators. And borate type photopolymerization initiators, carbazole type photopolymerization initiators, imidazole type photopolymerization initiators, and acyl phosphine oxide type photopolymerization initiators, but not limited thereto.

具体的には、例えば1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム)等のオキシムエステル系光重合開始剤、
チオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系光重合開始剤、
4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、
2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、
2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペロニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、
ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、
イミダゾール系光重合開始剤等が挙げられる。
これらの光重合開始剤は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Specifically, for example, 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) Oxime ester type photoinitiators, such as -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (o-acetyl oxime);
Thioxanthone photopolymerization initiators such as thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methyl thioxanthone, isopropyl thioxanthone, 2,4-diisopropyl thioxanthone,
4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2- Acetophenones such as benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one Photo initiator,
Acylphosphine oxide photopolymerization initiators such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide;
Benzoin photopolymerization initiators such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyl dimethyl ketal,
Benzophenone-based photopolymerization initiators such as benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, etc.
2,4,6-Trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s -Triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis (trichloro) Methyl) -6-styryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4 , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl (4'-methoxystyryl) -6-tri Triazine photoinitiators such as azine,
Borate photopolymerization initiators, carbazole photopolymerization initiators,
An imidazole type photoinitiator etc. are mentioned.
These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as required.

これらの中でも、光ラジカル重合開始剤が、オキシムエステル系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤及びアセトフェノン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことが、低温硬化性付与のために好ましく、より好ましくは、少なくとも2種を含む場合、耐薬品性に優れたものとする事ができる。   Among these, low-temperature curing is provided that the photo radical polymerization initiator contains at least one selected from the group consisting of an oxime ester photopolymerization initiator, a thioxanthone photopolymerization initiator, and an acetophenone photopolymerization initiator. In the case where it contains at least two types, it is possible to have excellent chemical resistance.

光ラジカル重合開始剤は、透過率の観点から樹脂組成物の固形分の合計100質量%中、1〜15質量%の量で用いることが好ましく、1〜10質量%の量で用いることがより好ましい。また本発明では、光カチオン重合開始剤(A)及び光ラジカル重合開始剤(C)の含有量比が、(A):(C)=30:70〜:80:20の範囲であることが、好ましい。   The radical photopolymerization initiator is preferably used in an amount of 1 to 15% by mass, and more preferably 1 to 10% by mass, in the total 100% by mass of the solid content of the resin composition from the viewpoint of transmittance. preferable. In the present invention, the content ratio of the cationic photopolymerization initiator (A) and the radical photopolymerization initiator (C) is in the range of (A) :( C) = 30: 70 to: 80: 20. ,preferable.

<増感剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’−ジエチルイソフタロフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。これらの増感剤は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。増感剤の含有量は、光カチオン重合開始剤(A)100質量部に対して、0.1〜150質量部の量で用いることができる。
<Sensitizer>
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain, as a sensitizer, α-acyloxy ester, acyl phosphine oxide, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, ethyl anthraquinone Compounds such as 4,4'-diethylisophthalophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and 4,4'-diethylaminobenzophenone can also be used in combination. These sensitizers can be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as needed. The content of the sensitizer can be used in an amount of 0.1 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photo cationic polymerization initiator (A).

<カチオン重合性化合物(B)>
本発明におけるカチオン重合性化合物は、前述の光カチオン重合開始剤(A)へのUV照射又は加熱により生じたテトラフルオロホウ酸やヘキサフルオロリン酸などの強酸と反応し、カチオン活性種を生じる化合物のことである。本発明のカチオン重合性化合物(B)は、少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含む。
<Cationically Polymerizable Compound (B)>
The cationically polymerizable compound in the present invention is a compound which reacts with a strong acid such as tetrafluoroboric acid or hexafluorophosphoric acid generated by UV irradiation or heating to the above-mentioned photocationic polymerization initiator (A) to generate cationically active species. It is The cationically polymerizable compound (B) of the present invention contains at least an episulfide compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound.

(エピスルフィド化合物(B1))
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるエピスルフィド化合物(B1)としては、公知の化合物であれば特に制限なく使用でき、エピスルフィド基を1分子中に2個以上有する多官能のものが好ましい。多官能エピスルフィド化合物としては例えば、2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)プロパン、ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)メタン、ビス(3,5−ジメチル−4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)メタン、1,6−ジ(2,3−エピチオプロポキシ)ナフタレン、1,1,1−トリス−(4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)エタン、2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)プロパン、ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)メタン、1,1,1−トリス−(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)エタン、1,5−ペンタンジオールの2,3−エピチオシクロヘキシル)エーテル、1,6−ヘキサンジオールのジ(3,4−エピチオオクチル)エーテル、1,3−ビス(β−エピチオプロピルチオ)シクロヘキサン、1,3−ビス(β−エピチオプロピルチオメチル)シクロヘキサン、ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)シクロヘキシル]メタン、2,2−ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)シクロヘキシル]プロパン、ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)シクロヘキシル]スルフィド、2,5−ビス(β−エピチオプロピルチオ)−1,4−ジチアン、2,5−ビス(β−エピチオプロピルチオエチルチオメチル)−1,4−ジチアン、1,3−ビス(β−エピチオプロピルチオ)ベンゼン、1,3−ビス(β−エピチオプロピルチオメチル)ベンゼン、ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)フェニル]メタン、2,2−ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)フェニル]プロパン、ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(β−エピチオプロピルチオ)フェニル]スルフィン、4,4−ビス(β−エピチオプロピルチオ)ビフェニル、2−(2−β−エピチオプロピルチオエチルチオ)−1,3−ビス(β−エピチオプロピルチオ)プロパン、1,2−ビス[(2−β−エピチオプロピルチオエチル)チオ]−3−(β−エピチオプロピルチオ)プロパン、テトラキス(β−エピチオプロピルチオメチル)メタン、1,1,1−トリス(β−エピチオプロピルチオメチル)プロパン、9,9−ビス{4−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]フェニル}フルオレン、9,9−ビス{4−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]−3−メチルフェニル}フルオレン、9,9−ビス{4−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]−3,5−ジメチルフェニル}フルオレン、9,9−ビス{4−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]−3−フェニルフェニル}フルオレン、9,9−ビス{6−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]−2−ナフチル}フルオレン、9,9−ビス{5−[2−(2,3−エピチオプロポキシ)エトキシ]−1−ナフチル}フルオレン等を挙げることができる。
(Episulfide compound (B1))
As the episulfide compound (B1) used in the photosensitive resin composition of the present invention, any known compound can be used without particular limitation, and a polyfunctional compound having two or more episulfide groups in one molecule is preferable. Examples of polyfunctional episulfide compounds include 2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl) propane, bis (4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl) methane, bis (3, 5-dimethyl-4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl) methane, 1,6-di (2,3-epithiopropoxy) naphthalene, 1,1,1-tris- (4- (2,3) -Epithiopropoxy) phenyl) ethane, 2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) propane, bis (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) methane, 1,1 1,1-tris- (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) ethane, 2,3-epithiocyclohexyl) ether of 1,5-pentanediol, 1,6-hexane Di (3,4-epithiooctyl) ether of sandiol, 1,3-bis (β-epithiopropylthio) cyclohexane, 1,3-bis (β-epithiopropylthiomethyl) cyclohexane, bis [4- (Β-epithiopropylthio) cyclohexyl] methane, 2,2-bis [4- (β-epithiopropylthio) cyclohexyl] propane, bis [4- (β-epithiopropylthio) cyclohexyl] sulfide, 2 ,, 5-bis (.beta.-epithiopropylthio) -1,4-dithiane, 2,5-bis (.beta.-epithiopropylthioethylthiomethyl) -1,4-dithiane, 1,3-bis (beta-epi) Thiopropylthio) benzene, 1,3-bis (β-epithiopropylthiomethyl) benzene, bis [4- (β-epithiopropylthio) phenyl] methane, 2 , 2-Bis [4- (β-epithiopropylthio) phenyl] propane, bis [4- (β-epithiopropylthio) phenyl] sulfide, bis [4- (β-epithiopropylthio) phenyl] sulfin 4,4-bis (β-epithiopropylthio) biphenyl, 2- (2-β-epithiopropylthioethylthio) -1,3-bis (β-epithiopropylthio) propane, 1,2- Bis [(2-β-epithiopropylthioethyl) thio] -3- (β-epithiopropylthio) propane, tetrakis (β-epithiopropylthiomethyl) methane, 1,1,1-tris (β- Epithiopropylthiomethyl) propane, 9,9-bis {4- [2- (2,3-epithiopropoxy) ethoxy] phenyl} fluorene, 9,9-bis {4- [2- (2,3-) The Thiopropoxy) ethoxy] -3-methylphenyl} fluorene, 9,9-bis {4- [2- (2,3-epithiopropoxy) ethoxy] -3,5-dimethylphenyl} fluorene, 9,9-bis {4- [2- (2,3-epithiopropoxy) ethoxy] -3-phenylphenyl} fluorene, 9,9-bis {6- [2- (2,3-epithiopropoxy) ethoxy] -2- Naphthyl} fluorene, 9,9-bis {5- [2- (2,3-epithiopropoxy) ethoxy] -1-naphthyl} fluorene and the like can be mentioned.

これらのエピスルフィド化合物のなかでも、高感度化・入手性の観点から2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)メタン、2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)プロパンが好ましく、透過率の観点から、2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)プロパンが好ましい。   Among these episulfide compounds, 2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl) propane and bis (3,5-dimethyl-4- (2) from the viewpoint of high sensitivity and availability. , 3-epithiopropoxy) phenyl) methane and 2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) propane are preferable, and from the viewpoint of transmittance, 2,2-bis (4- (2 (bis) Preferred is 3, 3-epithiopropoxy) cyclohexyl) propane.

エピスルフィド化合物は各種方法で製造することができる。例えば2−ヒドロキシメルカプタンの熱脱水分解、1,2−クロロチオールの弱アルカリ溶液での処理、エチレン性不飽和エーテルの硫黄又はポリスルフィドジアルキルのような化合物との処理が挙げられる。また、公知のエポキシ化合物を原料としてエポキシ基の酸素原子の全部あるいは一部を硫黄原子に置換してチイラン基含有化合物を得る方法が知られている。例示すると、J. Polym. Sci.Polym. Phys., 17, 329 (1979) に記載のエポキシ化合物とチオシアン酸塩を用いる方法や、J. Org. Chem., 26, 3467 (1961)に記載のエポキシ化合物とチオ尿素を用いる方法、特開2000−351829号公報、特開2001−342253号公報に示される方法等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。   Episulfide compounds can be produced by various methods. For example, thermal dehydration decomposition of 2-hydroxymercaptan, treatment with a weak alkaline solution of 1,2-chlorothiol, treatment with a compound such as sulfur of an ethylenically unsaturated ether or polysulfide dialkyl can be mentioned. There is also known a method of obtaining a thiirane group-containing compound by substituting a known epoxy compound as a raw material for substituting all or part of oxygen atoms of the epoxy group with sulfur atoms. For example, the method using the epoxy compound and the thiocyanate described in J. Polym. Sci. Polym. Phys., 17, 329 (1979), or the method described in J. Org. Chem., 26, 3467 (1961) Although the method of using an epoxy compound and thiourea, the method etc. which are shown by Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-351829, 2001-342253, etc. are mentioned, It is not limited to these.

(エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2))
エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)としては、オキセタン化合物、ビニルエーテル化合物、エポキシ化合物、スチレン誘導体又はジエン化合物等が挙げられる。
(Cationically Polymerizable Compound (B2) Other than Episulfide Compound)
Examples of the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound include oxetane compounds, vinyl ether compounds, epoxy compounds, styrene derivatives, diene compounds and the like.

エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)は、好ましくは、オキセタン化合物、ビニルエーテル化合物及びエポキシ化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含み、より好ましくは、少なくともオキセタン化合物を含み、さらに好ましくは、少なくともオキセタン化合物及びビニルエーテル化合物を含むことである。   The cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound preferably contains at least one selected from the group consisting of an oxetane compound, a vinyl ether compound and an epoxy compound, more preferably at least an oxetane compound, still more preferably At least an oxetane compound and a vinyl ether compound.

(オキセタン化合物)
オキセタン化合物としては、オキセタン基を有する公知の化合物を特に限定されず使用することができる。オキセタン化合物は、オキセタン基が1官能であるもの、オキセタン基が2官能であるもの、オキセタン基が3官能以上であるものが挙げられる。
(Oxetane compound)
As the oxetane compound, known compounds having an oxetane group can be used without particular limitation. Examples of the oxetane compound include one having a monofunctional oxetane group, one having a bifunctional oxetane group, and one having a trifunctional or more oxetane group.

オキセタン基が1官能であるものとしては、
(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルアクリレート(例えば、大阪有機化学工業社製OXE−10)、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメタクリレート(例えば、大阪有機化学工業社製OXE−30)、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(例えば、東亞合成社製OXT−212)、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(2−メタクリロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−{[3−(トリエトキシシリル)プロポキシ]メチル}オキセタン等が挙げられる。
As an oxetane group is monofunctional,
(3-ethyloxetan-3-yl) methyl acrylate (for example, OXE-10 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Ltd.), (3-ethyloxetan-3-yl) methyl methacrylate (for example, OXE-30 manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Ltd.) ), 3-ethyl-3-hydroxymethyl oxetane (for example, OXT-212 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (phenoxymethyl) oxetane And 3-ethyl-3- (2-methacryloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3-{[3- (triethoxysilyl) propoxy] methyl} oxetane and the like.

オキセタン基が1官能であるものの中では、好ましくは、下記式(3−1)、又は式(3−2)で表される、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、又は3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタンが好ましい。   Among those in which the oxetane group is monofunctional, preferably 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane represented by the following formula (3-1) or formula (3-2): Or 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane is preferred.

オキセタン基が2官能のものとしては、
4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル(例えば、宇部興産(株)製、OXBP)、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ベンゼン(例えば、宇部興産(株)製OXTP)、1,4−ビス{[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ]メチル}ベンゼン(例えば、東亞合成(株)製OXT−121)、ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル(例えば、東亞合成(株)製OXT−221)、ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル−3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(2−エチルヘキシロキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(2−フェノキシメチル)オキセタン、3,7−ビス(3−オキセタニル)−5−オキサ−ノナン、1,2−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エタン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]プロパン、エチレングリコースビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、テトラエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、1,4−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ヘキサン、ポリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、エチレンオキシド(EO)変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、プロピレンオキシド(PO)変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、PO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールF(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、東亞合成(株)製OXT−191等が挙げられる。
As an oxetane group is a bifunctional thing,
4,4'-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] biphenyl (e.g., Ube Industries, Ltd., OXBP), 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl Benzene (for example, OXTP manufactured by Ube Industries, Ltd.), 1,4-bis {[(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxy] methyl} benzene (for example, OXT-121 manufactured by Toagosei Co., Ltd.), [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether (for example, OXT-221, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether 3-ethyl-3-hydroxymethyl oxetane, 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (2-phenoxymethyl) oxetane, 3,7-bis (3-oxeta) Nil) -5-oxa-nonane, 1,2-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ethane, 1,3-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] propane, ethylene Glycose bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, triethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetraethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 1,4-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) butane, 1,6-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) hexane, polyethylene glycol bis ( 3-Ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethyleneo SID (EO) modified bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, propylene oxide (PO) modified bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO modified hydrogenated bisphenol A bis (3 -Ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO modified bisphenol F (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, Toagosei Co., Ltd. Manufactured by OXT-191.

オキセタン基が2官能であるものの中では、好ましくは、下記一般式(3−3)、一般式(3−4)、又は化学式(3−5)で表される化合物が挙げられる。とりわけ化学式(3−5)で表される化合物を用いることで、硬度、残膜率、密着性が向上するために好ましい。   Among those in which the oxetane group is bifunctional, preferably, compounds represented by the following general formula (3-3), general formula (3-4), or chemical formula (3-5) can be mentioned. In particular, the use of the compound represented by the chemical formula (3-5) is preferable because hardness, a residual film rate, and adhesion are improved.

[一般式(3−3)中、Rは、同一若しくは異なっていても良く、炭素数が1〜10の炭化水素基、炭素数が1〜10のアルコキシ基、又は炭素数が1〜10のヒドロキシアルキレン基を表す。Rは、炭素数が1〜30の2価の有機基を表す。nは1〜20の整数である。] [In general formula (3-3), R 2 may be the same or different and is a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or 1 to 10 carbon atoms] Represents a hydroxyalkylene group of R 3 represents a divalent organic group having 1 to 30 carbon atoms. n 1 is an integer of 1 to 20; ]

2の炭素数として、より好ましくは、1〜4であり、更に好ましくは、1又は2であり、特に好ましくは、1である。 The number of carbon atoms of R 2 is more preferably 1-4, still more preferably 1 or 2, and particularly preferably 1.


2は、1〜10の整数で表されるものが好ましい。

n 2 is preferably one represented by an integer from 1 to 10.

オキセタン基が3官能以上であるものとしては、
ペンタエリスリトールトリス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジトリメチロールプロパンテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、オキセタン基を含有する樹脂(例えば、特許第3783462号記載のオキセタン変性フェノールノボラック樹脂等)や前述の(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートのような(メタ)アクリルモノマーを重合させて得られる重合体が挙げられる。このような重合体は、公知の重合法を用いて得ることができる。
As an oxetane group is what is trifunctional or more,
Pentaerythritol tris (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentaerythritol tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol hexa (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol penta Kiss (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone modified di Pentaerythritol pentakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ditrimethylolpropane tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, oxe Polymerizing (meth) acrylic monomers such as resins containing tan groups (e.g., oxetane-modified phenolic novolac resins described in Japanese Patent No. 378 3462) and the aforementioned (3-ethyl oxetan-3-yl) methyl (meth) acrylate And polymers obtained by Such polymers can be obtained using known polymerization methods.

オキセタン基が3官能以上であるものなかでも、オキセタン化合物が(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートを重合してなる重合体であることが硬度・耐薬品性の観点から好ましい。   Among those having trifunctional or more oxetane groups, it is preferable from the viewpoint of hardness and chemical resistance that the oxetane compound is a polymer obtained by polymerizing (3-ethyl oxetan-3-yl) methyl (meth) acrylate. .

オキセタン化合物としては、好ましくは2官能以上であり、より好ましくは2官能であり、特に好ましくは化学式(3−5)で表される化合物である。   The oxetane compound is preferably a compound which is preferably bifunctional or more, more preferably bifunctional, and particularly preferably a compound represented by the chemical formula (3-5).

本発明の感光性樹脂組成物に用いられるオキセタン化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100質量%)として、通常0.5〜50質量%、好ましくは5〜40質量%である。オキセタン化合物の含有量が、前記の範囲にあると耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。   The content of the oxetane compound used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 50% by mass, preferably 5 to 40%, based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by mass). %. When the content of the oxetane compound is in the above range, the chemical resistance is high and an excellent coating film is obtained, which is preferable.

(ビニルエーテル化合物)
ビニルエーテル化合物としては、公知の化合物であれば特に制限なく使用できるが、炭素数3〜35のものが好ましく、例えば以下の単官能又は多官能ビニルエーテルが挙げられる。尚、上記「単官能ビニルエーテル」とはビニル基の数が1個の、「多官能ビニルエーテル」とはビニル基の数が2個以上の、それぞれビニルエーテル化合物を意味する。
単官能ビニルエーテルとしては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、t−ブチルビニルエーテル、2−エチルヘキシルビニルエーテル、n−ノニルビニルエーテル、ラウリルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルメチルビニルエーテル、4−メチルシクロヘキシルメチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、ジシクロペンテニルビニルエーテル、2−ジシクロペンテノキシエチルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、ブトキシエチルビニルエーテル、メトキシエトキシエチルビニルエーテル、エトキシエトキシエチルビニルエーテル、メトキシポリエチレングリコールビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、2−ヒドロキシプロピルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、4−ヒドロキシメチルシクロヘキシルメチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル、ポリエチレングリコールビニルエーテル、クロルエチルビニルエーテル、クロルブチルビニルエーテル、クロルエトキシエチルビニルエーテル、フェニルエチルビニルエーテル及びフェノキシポリエチレングリコールビニルエーテル、エチルオキセタンメチルビニルエーテル、ジシクロペンタジエンビニルエーテル、シクロヘキサンジメタノールビニルグリシジルエーテル、トリシクロデカンビニルエーテルアクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル、メタクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル等が挙げられる。
(Vinyl ether compound)
As the vinyl ether compound, any known compound can be used without particular limitation, but those having 3 to 35 carbon atoms are preferable, and examples thereof include the following monofunctional or polyfunctional vinyl ethers. The "monofunctional vinyl ether" means a vinyl ether compound having one vinyl group, and the "polyfunctional vinyl ether" means a vinyl ether compound having two or more vinyl groups.
Examples of monofunctional vinyl ethers include methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, t-butyl vinyl ether, 2-ethylhexyl vinyl ether, n-nonyl vinyl ether, lauryl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether, cyclohexyl methyl vinyl ether, 4-methyl Cyclohexylmethylvinylether, benzylvinylether, dicyclopentenylvinylether, 2-dicyclopentenoxyethylvinylether, methoxyethylvinylether, ethoxyethylvinylether, butoxyethylvinylether, methoxyethoxyethylvinylether, ethoxyethoxyethylvinylether, methoxypolyethylene glycol vinyl ether Tetrahydrofurfuryl vinyl ether, 2-hydroxyethyl vinyl ether, 2-hydroxypropyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, 4-hydroxymethyl cyclohexyl methyl vinyl ether, diethylene glycol monovinyl ether, polyethylene glycol vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, chlorobutyl vinyl ether, chloroethoxy Ethyl vinyl ether, phenyl ethyl vinyl ether and phenoxy polyethylene glycol vinyl ether, ethyl oxetane methyl vinyl ether, dicyclopentadiene vinyl ether, cyclohexane dimethanol vinyl glycidyl ether, tricyclodecane vinyl ether acrylic acid 2- (vinyloxyethoxy) ethyl, metha cylco Acid 2- (vinyloxy) ethyl, and the like.

多官能ビニルエーテルとしては、例えば、エチレングリコールジビニルエーテル、ジエチレングリコールジビニルエーテル、トリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、プロピレングリコールジビニルエーテル、ブチレングリコールジビニルエーテル、ヘキサンジオールジビニルエーテル、ビスフェノールAアルキレンオキサイドジビニルエーテル、ビスフェノールFアルキレンオキサイドジビニルエーテル等のジビニルエーテル類;トリメチロールエタントリビニルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、グリセリントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ジペンタエリスリトールペンタビニルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル、EO付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、PO付加トリメチロールプロパントリビニルエーテル、EO付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、PO付加ジトリメチロールプロパンテトラビニルエーテル、EO付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、PO付加ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、EO付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル及びPO付加ジペンタエリスリトールヘキサビニルエーテル等が挙げられる。
これらのビニルエーテルは、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Examples of polyfunctional vinyl ethers include ethylene glycol divinyl ether, diethylene glycol divinyl ether, triethylene glycol divinyl ether, polyethylene glycol divinyl ether, propylene glycol divinyl ether, butylene glycol divinyl ether, hexanediol divinyl ether, bisphenol A alkylene oxide divinyl ether, Divinyl ethers such as bisphenol F alkylene oxide divinyl ether; trimethylolethane trivinyl ether, trimethylolpropane trivinyl ether, ditrimethylolpropane tetravinyl ether, glycerin trivinyl ether, pentaerythritol tetravinyl ether, dipentaerythritol pentavinyl ether Ter, dipentaerythritol hexavinyl ether, EO addition trimethylolpropane trivinyl ether, PO addition trimethylolpropane trivinyl ether, EO addition ditrimethylolpropane tetravinyl ether, PO addition ditrimethylolpropane tetravinyl ether, EO addition pentaerythritol tetravinyl ether, PO addition penta Examples thereof include erythritol tetravinyl ether, EO-added dipentaerythritol hexavinyl ether, and PO-added dipentaerythritol hexavinyl ether.
These vinyl ethers can be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as needed.

これらのビニルエーテルのなかでも、高感度化・入手性の観点からジエチレングリコールジビニルエーテル、又はトリエチレングリコールジビニルエーテルが好ましく、耐薬品性の観点からエチルオキセタンメチルビニルエーテル、又はジシクロペンタジエンビニルエーテルが好ましい。   Among these vinyl ethers, diethylene glycol divinyl ether or triethylene glycol divinyl ether is preferable from the viewpoint of high sensitivity and availability, and ethyl oxetane methyl vinyl ether or dicyclopentadiene vinyl ether is preferable from the viewpoint of chemical resistance.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられるビニルエーテル化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100質量%)として、通常0.5〜30質量%、好ましくは1〜10質量%である。ビニルエーテル化合物の含有量が、前記の範囲にあると残膜率と耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。   The content of the vinyl ether compound used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 30% by mass, preferably 1 to 10% by mass, based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by mass). %. When the content of the vinyl ether compound is in the above range, the residual film rate and the chemical resistance are high and an excellent coating film is obtained, which is preferable.

(エポキシ化合物)
本発明の感光性樹脂組成物に使用されるエポキシ化合物としては、エポキシ基を有する公知の化合物を、特に限定されず使用することができる。エポキシ化合物の具体例としては、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−A型エポキシ樹脂、ビスフェノール−F型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノール−Aノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのなかでも、エポキシ化合物がフェノールノボラック型エポキシ樹脂又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂であることが残膜率、耐薬品性の観点から好ましい。また、これらのエポキシ化合物の中でも、速硬化性・耐薬品性の観点からエポキシ当量(g/eq.)が150〜250のものが好ましく、170〜220のものが特に好ましい。
(Epoxy compound)
As an epoxy compound used for the photosensitive resin composition of this invention, the well-known compound which has an epoxy group can be used without being specifically limited. Specific examples of the epoxy compound include phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, trishydroxyphenylmethane epoxy resin, dicyclopentadiene phenol epoxy resin, bisphenol-A epoxy resin, bisphenol-F epoxy resin, Examples thereof include biphenol type epoxy resin, bisphenol-A novolac type epoxy resin, naphthalene skeleton-containing epoxy resin, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin and the like. Among these, the epoxy compound is preferably a phenol novolac epoxy resin or a cresol novolac epoxy resin from the viewpoint of the residual film rate and the chemical resistance. Further, among these epoxy compounds, those having an epoxy equivalent (g / eq.) Of 150 to 250 are preferable, and those of 170 to 220 are particularly preferable, from the viewpoint of rapid curing and chemical resistance.

(フェノールノボラック型エポキシ樹脂)
フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンN−740、エピクロンN−770、エピクロンN−775(DIC(株)製)、D.E.N438(ダウ・ケミカル製)、RE−306(日本化薬(株)製)、jER152、jER154(いずれも三菱化学(株)製)等が挙げられる。
(Phenol novolac epoxy resin)
Examples of phenol novolac type epoxy resins include Epiclon N-740, Epiclon N-770, Epiclon N-775 (manufactured by DIC Corporation), D.I. E. N438 (Dow Chemical Co., Ltd.), RE-306 (Nippon Kayaku Co., Ltd.), jER152, jER154 (all are Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), etc. are mentioned.

(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンN−660、エピクロンN−665、エピクロンN−670、エピクロンN−673、エピクロンN−680、エピクロンN−695、エピクロンN−665−EXP、エピクロンN−672−EXP(いずれもDIC(株)製)、EOCN−102S、EOCN−103S、EOCN−104S(いずれも日本化薬(株)製)、UVR−6650(ユニオンカーバイド(株)製)、ESCN−195(住友化学工業(株)製)等が挙げられる。
(Cresol novolac epoxy resin)
Examples of cresol novolac type epoxy resins include Epiclon N-660, Epiclon N-665, Epiclon N-670, Epiclon N-673, Epiclon N-680, Epiclon N-695, Epiclon N-665-EXP, Epiclon N- 672-EXP (all are manufactured by DIC Corporation), EOCN-102S, EOCN-103S, EOCN-104S (all are manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UVR-6650 (manufactured by Union Carbide Corporation), ESCN- 195 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) and the like.

トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂としては、例えば、EPPN−503、EPPN−502H、EPPN−501H(いずれも日本化薬(株)製)、TACTIX−742(ダウ・ケミカル(株)製)、jER E1032H60(三菱化学(株)製)等が挙げられる。   Examples of trishydroxyphenylmethane type epoxy resins include EPPN-503, EPPN-502H, and EPPN-501H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), TACTIX-742 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), jER E1032H60. (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. product) etc. are mentioned.

ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンEXA−7200(DIC(株)製)、TACTIX−556(ダウ・ケミカル(株)製)等が挙げられる。   Examples of the dicyclopentadiene phenol type epoxy resin include Epiclon EXA-7200 (manufactured by DIC Corporation), TACTIX-556 (manufactured by Dow Chemical Corporation), and the like.

ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、jER828、jER1001(いずれも三菱化学(株)製)、UVR−6410(ユニオンカーバイド(株)製)、D.E.R−331(ダウ・ケミカル(株)製)、YD−8125(東都化成(株)製)等のビスフェノール−A型エポキシ樹脂、UVR−6490(ユニオンカーバイド社製)、YDF−8170(東都化成(株)製)等のビスフェノール−F型エポキシ樹脂等が挙げられる。   As bisphenol type epoxy resins, for example, jER 828, jER 1001 (all are manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), UVR-6410 (manufactured by Union Carbide Corporation), D.I. E. Bisphenol-A type epoxy resin such as R-331 (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), YD-8125 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), UVR-6490 (manufactured by Union Carbide), YDF-8170 (Toto Kasei And other bisphenol-F epoxy resins, etc.

ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、NC−3000、NC−3000H(いずれも日本化薬(株)製)等のビフェノール型エポキシ樹脂、jER YX−4000(三菱化学(株)製)等のビキシレノール型エポキシ樹脂、jER YL−6121(三菱化学(株)製)等が挙げられる。   Examples of the biphenol type epoxy resin include biphenol type epoxy resins such as NC-3000 and NC-3000H (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and bixylenol such as jER YX-4000 (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) Type epoxy resin, jER YL-6121 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.

ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、エピクロンN−880(DIC(株)製)、jER E157S75(三菱化学(株)製)等が挙げられる。   Examples of the bisphenol A novolac epoxy resin include Epiclon N-880 (manufactured by DIC Corporation), jER E157S75 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and the like.

ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂としては、例えば、NC−7000、NC−7300(いずれも日本化薬(株)製)、EXA−4750(DIC(株)製)等が挙げられる。   As a naphthalene frame | skeleton containing epoxy resin, NC-7000, NC-7300 (all are Nippon Kayaku Co., Ltd. product), EXA-4750 (DIC Corporation product) etc. are mentioned, for example.

脂環式エポキシ樹脂としては、例えば、セロキサイド2021P、EHPE−3150、エポリード GT401((株)ダイセル製)等が挙げられる。   Examples of the alicyclic epoxy resin include Celoxide 2021 P, EHPE-3150, and Epolide GT 401 (manufactured by Daicel Co., Ltd.).

複素環式エポキシ樹脂としては、例えば、TEPIC−L,TEPIC−H、TEPIC−S(いずれも日産化学工業(株)製)等が挙げられる。   As a heterocyclic epoxy resin, TEPIC-L, TEPIC-H, TEPIC-S (all are Nissan Chemical Industries Co., Ltd. product) etc. are mentioned, for example.

これらのエポキシ化合物は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。   These epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as needed.

本発明の感光性樹脂組成物に用いられるエポキシ化合物の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100質量%)として、通常0.5〜50質量%、好ましくは1〜40質量%である。エポキシ化合物の含有量が、前記の範囲にあると耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。   The content of the epoxy compound used in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.5 to 50% by mass, preferably 1 to 40%, based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by mass). %. When the content of the epoxy compound is in the above range, it is preferable because the chemical resistance is high and an excellent coating film can be obtained.

本発明のカチオン性重合本発明のカチオン重合性化合物(B)は、少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含み、エピスルフィド化合物(B1)及びエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)の含有量比が、(B1):(B2)=20:80〜80:20の範囲にあると硬度、密着性、耐薬品性が高く、優れた塗膜が得られるため好ましい。   Cationic Polymerization of the Present Invention The cationically polymerizable compound (B) of the present invention contains at least an episulfide compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound, and is other than the episulfide compound (B1) and the episulfide compound When the content ratio of the cationically polymerizable compound (B2) is in the range of (B1) :( B2) = 20: 80 to 80:20, the hardness, adhesion, and chemical resistance are high, and the coating film is excellent It is preferable because it can be obtained.

<アルカリ可溶性樹脂>
本発明の感光性樹脂組成物に含まれるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂等が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂は、可視光領域の400〜700nmの全波長領域において分光透過率が好ましくは80%以上、より好ましくは95%以上の透明樹脂であることが好ましい。また、アルカリ現像型感光性組成物の形態で用いる場合には、酸性置換基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性アクリル系樹脂を用いることが好ましい。また、さらに光感度を向上させるために、エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
<Alkali-soluble resin>
As alkali-soluble resin contained in the photosensitive resin composition of this invention, a thermoplastic resin etc. are mentioned, for example. The alkali-soluble resin is preferably a transparent resin having a spectral transmittance of preferably 80% or more, more preferably 95% or more, in the entire wavelength range of 400 to 700 nm in the visible light range. Moreover, when using in the form of an alkali-developable photosensitive composition, it is preferable to use an alkali-soluble acrylic resin obtained by copolymerizing an acidic substituent-containing ethylenically unsaturated monomer. Furthermore, in order to further improve the photosensitivity, an active energy ray curable resin having an ethylenically unsaturated double bond can also be used.

熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン(HDPE、LDPE)、ポリブタジエン、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。   As a thermoplastic resin, for example, acrylic resin, butyral resin, styrene-maleic acid copolymer, chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinyl acetate, polyurethane resin And polyester resins, vinyl resins, alkyd resins, polystyrene resins, polyamide resins, rubber resins, cyclized rubber resins, celluloses, polyethylene (HDPE, LDPE), polybutadiene, and polyimide resins.

酸性置換基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアクリル系アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性置換基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性置換基を有するアクリル樹脂、α−オレフィン/(無水)マレイン酸共重合体、スチレン/スチレンスルホン酸共重合体、エチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、又はイソブチレン/(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性置換基を有するアクリル樹脂、及びスチレン/スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも1種の樹脂、特に酸性置換基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。   Examples of the acrylic alkali-soluble resin obtained by copolymerizing the acidic substituent-containing ethylenically unsaturated monomer include resins having an acidic substituent such as a carboxyl group or a sulfone group. Specifically as the alkali-soluble resin, an acrylic resin having an acidic substituent, an α-olefin / (maleic anhydride) copolymer, a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer, Or isobutylene / (anhydride) maleic acid copolymer and the like. Among them, at least one resin selected from an acrylic resin having an acidic substituent and a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, particularly an acrylic resin having an acidic substituent, is preferably used because it is high in heat resistance and transparency. Be

エチレン性不飽和二重結合を有する活性エネルギー線硬化性樹脂としては、たとえば以下に示す(i)や(ii)の方法によりエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂が挙げられる。   Examples of the active energy ray-curable resin having an ethylenically unsaturated double bond include resins in which an ethylenically unsaturated double bond is introduced by the method (i) or (ii) shown below.

[方法(i)]
方法(i)としては、例えば、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖エポキシ基に、エチレン性不飽和二重結合を有する不飽和一塩基酸のカルボキシル基を付加反応させ、更に、生成した水酸基に、多塩基酸無水物を反応させ、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を導入する方法がある。このようにして得られた樹脂は、残膜率及び硬度に優れるために好ましい。
[Method (i)]
As the method (i), for example, to a side chain epoxy group of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group and one or more other monomers. A carboxyl group of an unsaturated monobasic acid having an ethylenically unsaturated double bond is added, and a polybasic acid anhydride is further reacted with the produced hydroxyl group to form an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group There is a way to introduce it. The resin thus obtained is preferable because it is excellent in residual film rate and hardness.

エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、2−グリシドキシエチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、及び3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートが挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。次工程の不飽和一塩基酸との反応性の観点で、グリシジル(メタ)アクリレートが好ましい。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, 2-glycidoxyethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate And 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylates, which may be used alone or in combination of two or more. Glycidyl (meth) acrylate is preferred from the viewpoint of the reactivity with the unsaturated monobasic acid in the next step.

不飽和一塩基酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸、(メタ)アクリル酸のα位ハロアルキル、アルコキシル、ハロゲン、ニトロ、シアノ置換体等のモノカルボン酸等が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。   Examples of unsaturated monobasic acids include (meth) acrylic acid, crotonic acid, o-, m-, p-vinylbenzoic acid, α-position haloalkyl of (meth) acrylic acid, alkoxyl, halogen, nitro, cyano-substituted, etc. Monocarboxylic acids and the like can be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more.

多塩基酸無水物としては、テトラヒドロ無水フタル酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸等が挙げられ、これらは単独で用いても、2種類以上を併用してもかまわない。カルボキシル基の数を増やす等、必要に応じて、トリメリット酸無水物等のトリカルボン酸無水物を用いたり、ピロメリット酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物を用いて、残った無水物基を加水分解したりすること等もできる。また、多塩基酸無水物として、エチレン性不飽和二重結合を有する、テトラヒドロ無水フタル酸、又は無水マレイン酸を用いると、更にエチレン性不飽和二重結合を増やすことができる。   Examples of polybasic acid anhydrides include tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride and the like, which may be used alone or in combination of two or more. I do not mind. The remaining anhydride is obtained by using tricarboxylic acid anhydride such as trimellitic acid anhydride or using tetracarboxylic acid dianhydride such as pyromellitic acid dianhydride, if necessary, such as increasing the number of carboxyl groups. It is also possible to hydrolyze the group, etc. In addition, when tetrahydrophthalic anhydride having an ethylenically unsaturated double bond, or maleic anhydride is used as a polybasic acid anhydride, the number of ethylenically unsaturated double bonds can be further increased.

方法(i)の類似の方法として、例えば、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と、他の1種類以上の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖カルボキシル基の一部に、エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を付加反応させ、エチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を導入する方法がある。   As an analogous method of the method (i), for example, a side chain of a copolymer obtained by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group and one or more other monomers. There is a method in which an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group is added to a part of the carboxyl group to introduce an ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group.

[方法(ii)]
方法(ii)としては、水酸基を有するエチレン性不飽和単量体を使用し、他のカルボキシル基を有する不飽和一塩基酸の単量体や、他の単量体とを共重合することによって得られた共重合体の側鎖水酸基に、イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体のイソシアネート基を反応させる方法がある。
[Method (ii)]
As method (ii), an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group is used, and the monomer of another unsaturated monobasic acid having a carboxyl group or the other monomer is copolymerized. There is a method of reacting the isocyanate group of the ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group with the side chain hydroxyl group of the obtained copolymer.

水酸基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−若しくは3−若しくは4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、又はシクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキルメタアクリレート類が挙げられ、これらは、単独で用いても、2種類以上を併用して用いてもかまわない。また、上記ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び/又はブチレンオキシド等を付加重合させたポリエーテルモノ(メタ)アクリレートや、ポリγ−バレロラクトン、ポリε−カプロラクトン、及び/又はポリ12−ヒドロキシステアリン酸等を付加したポリエステルモノ(メタ)アクリレートも使用できる。塗膜異物抑制の観点から、2−ヒドロキシエチルメタアクリレート、又はグリセロールメタアクリレートが好ましい。   As the ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2- or 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- or 3- or 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerol There may be mentioned hydroxyalkyl methacrylates such as (meth) acrylate or cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, which may be used alone or in combination of two or more. In addition, polyether mono (meth) acrylate obtained by addition polymerizing ethylene oxide, propylene oxide, and / or butylene oxide etc. to the above hydroxyalkyl (meth) acrylate, poly γ-valerolactone, poly ε-caprolactone, and / or Polyester mono (meth) acrylates to which poly 12-hydroxystearic acid or the like is added can also be used. 2-hydroxyethyl methacrylate or glycerol methacrylate is preferable from the viewpoint of coating foreign matter suppression.

イソシアネート基を有するエチレン性不飽和単量体としては、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、又は1,1−ビス〔メタアクリロイルオキシ〕エチルイソシアネート等が挙げられるが、これらに限定することなく、2種類以上併用することもできる。   Examples of the ethylenically unsaturated monomer having an isocyanate group include 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate or 1,1-bis [methacryloyloxy] ethyl isocyanate, but not limited thereto. Two or more types can be used in combination.

アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは、3000〜100000であり、より好ましくは5000〜50000である。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗工性が良好であり、アルカリ可溶性樹脂として使用する際には現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に未露光部分の現像性が良好である傾向にあり、好ましい。アルカリ可溶性樹脂の分子量分布[重量平均分子量/数平均分子量]は、好ましくは1.5〜6.0であり、より好ましくは、1.8〜4.0である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れるので好ましい。   The weight average molecular weight of polystyrene conversion of alkali-soluble resin becomes like this. Preferably, it is 3000-100000, More preferably, it is 5000-50000. When the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is in the above range, the coatability is good, and when it is used as the alkali-soluble resin, film reduction hardly occurs during development, and the developability of the unexposed part during development Tend to be good and are preferred. The molecular weight distribution [weight average molecular weight / number average molecular weight] of the alkali soluble resin is preferably 1.5 to 6.0, and more preferably 1.8 to 4.0. When the molecular weight distribution is in the above range, it is preferable because the developability is excellent.

アルカリ可溶性樹脂の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分を基準(100質量%)として、通常5〜90質量%、好ましくは10〜70質量%である。アルカリ可溶性樹脂の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性に優れ、現像残渣が発生し難く、また現像時に露光部の膜減りが生じ難いため好ましい。   The content of the alkali-soluble resin is usually 5 to 90% by mass, preferably 10 to 70% by mass, based on the solid content of the photosensitive resin composition (100% by mass). When the content of the alkali-soluble resin is in the above-mentioned range, it is preferable because the solubility in a developing solution is excellent, the development residue is hardly generated, and the film reduction of the exposed portion is hardly generated at the time of development.

<(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物を含んでもよい。(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物を含むことにより、より硬度に優れた塗膜を得ることができる。(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物は硬度、残膜率の観点から少なくとも3官能以上であることが好ましい。
<Radical polymerizable compound having (meth) acrylic group>
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a radically polymerizable compound having a (meth) acrylic group. By including a radically polymerizable compound having a (meth) acrylic group, a coating film having more excellent hardness can be obtained. The radically polymerizable compound having a (meth) acrylic group is preferably at least trifunctional or more from the viewpoint of hardness and a residual film rate.

(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物の具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ−ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物、ペンタエリスリトールのホモポリマーとアクリル酸の反応生成物などが挙げられる。   Specific examples of the radically polymerizable compound having a (meth) acrylic group include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and dipentamer. Erythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol hexaacrylate, reaction product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, reaction product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride And a reaction product of a homopolymer of pentaerythritol and acrylic acid.

また、酸基を有していても良く、例えば、多価アルコールと(メタ)アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ(メタ)アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物;多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類とのエステル化物等を挙げることができる。具体例としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレート又はモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、テレフタル酸等のジカルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化物;プロパン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸等のテトラカルボン酸類と、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノアクリレート又はモノヒドロキシモノメタクリレート類との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物等を挙げることができる。
これらの(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Further, it may have an acid group, for example, an esterified product of free hydroxyl group-containing poly (meth) acrylate of polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid, and dicarboxylic acid; polyvalent carboxylic acid, mono Esterified products with hydroxyalkyl (meth) acrylates can be mentioned. Specific examples thereof include monohydroxy oligo acrylate or mono hydroxy oligo methacrylates such as pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, etc., malonic acid, succinic acid, glutaric acid, terephthalic acid Carboxylic acid-containing monoesters with dicarboxylic acids such as acids; propane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid, benzene-1,2,3 Tetracarboxylic acids such as 2,4-tetracarboxylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, etc. It can be given free carboxyl group-containing oligo esterified products of monohydroxy monoacrylate or monohydroxymonocarboxylic methacrylates.
These radically polymerizable compounds having a (meth) acrylic group may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as needed.

このような(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物として市販品では、例えば、アロニックスM−400、アロニックスM−460、アロニックスM−402、アロニックスM−510、アロニックスM−520(東亜合成株式会社製)、KAYARAD T−1420、KAYARAD DPHA、KAYARAD DPCA20、KAYARAD DPCA30、KAYARAD DPCA60、KAYARAD DPCA120(日本化薬株式会社製)、ビスコート#802、ビスコート#2500、ビスコート#1000、ビスコート#1080(大阪有機化学工業株式会社)を挙げることができる。   As commercially available radically polymerizable compounds having such (meth) acrylic groups, for example, ARONIX M-400, ARONIX M-460, ARONIX M-402, ARONIX M-510, ARONIX M-520 (Toagosei Co., Ltd. ), KAYARAD T-1420, KAYARAD DPHA, KAYARAD DPCA20, KAYARAD DPCA30, KAYARAD DPCA60, KAYARAD DPCA 120 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Viscote # 802, Viscote # 2500, Viscote # 1000, Viscote # 1080 (Osaka organic chemistry) Industrial Co., Ltd.) can be mentioned.

(メタ)アクリル基を有するラジカル重合性化合物を用いる場合、含有量は、樹脂組成物の固形分の合計100質量%中、5〜80質量%の量で用いることが好ましい。この場合、5質量%よりエチレン性不飽和二重結合を有するラジカル重合性化合物が少ないと、硬度アップや耐溶剤性付与という効果が得られ難く、80質量%より多いと透過率の低下、密着性の低下が起こる場合がある。より好ましくは、10〜50質量%である。   When using the radically polymerizable compound which has a (meth) acryl group, it is preferable to use content in the quantity of 5-80 mass% in a total of 100 mass% of solid content of a resin composition. In this case, if the content of the radically polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is less than 5% by mass, the effect of increasing the hardness or imparting solvent resistance is hardly obtained, and if it is more than 80% by mass, the transmittance decreases and adhesion Sex decline may occur. More preferably, it is 10 to 50% by mass.

<溶剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、溶剤を含んでもよい。
溶剤としては、例えば、1,2,3−トリクロロプロパン、1,3−ブタンジオール、1,3−ブチレングリコール、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,4−ジオキサン、2−ヘプタノン、2−メチル−1,3−プロパンジオール、3,5,5−トリメチル−2−シクロヘキセン−1−オン、3,3,5−トリメチルシクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−1,3−ブタンジオール、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテート、3−メトキシブタノール、3−メトキシブチルアセテート、4−ヘプタノン、m−キシレン、m−ジエチルベンゼン、m−ジクロロベンゼン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、n−ブチルアルコール、n−ブチルベンゼン、n−プロピルアセテート、N−メチルピロリドン、o−キシレン、o−クロロトルエン、o−ジエチルベンゼン、o−ジクロロベンゼン、p−クロロトルエン、p−ジエチルベンゼン、sec−ブチルベンゼン、tert−ブチルベンゼン、γ―ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸n−アミル、酢酸n−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等が挙げられる。
これらの溶剤は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
<Solvent>
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a solvent.
As the solvent, for example, 1,2,3-trichloropropane, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, 2- Methyl-1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3,5-trimethylcyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-1,3-butane Diol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutanol, 3-methoxybutyl acetate, 4-heptanone, m-xylene, m-diethylbenzene, m-dibenzene Chlorobenzene, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, n-butylamine Coal, n-butylbenzene, n-propylacetate, N-methylpyrrolidone, o-xylene, o-chlorotoluene, o-diethylbenzene, o-dichlorobenzene, p-chlorotoluene, p-diethylbenzene, sec-butylbenzene, tert -Butylbenzene, γ-butyrolactone, isobutyl alcohol, isophorone, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monotertiary butyl ether, ethylene Glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl Ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, diisobutyl ketone, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoisopropyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol Monomethyl ether, cyclohexanol, cyclohexanol acetate, cyclohexanone, cyclopentanone, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether Ter, dipropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, diacetone glycol monomethyl ether, diacetone alcohol, triacetin, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, propylene glycol phenyl ether, propylene Glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether propionate, benzyl alcohol , Methyl isobutyl ketone, methyl cyclohexanol, acetic acid n- amyl acetate n- butyl, isoamyl acetate, isobutyl acetate, propyl acetate, dibasic esters, ethylene carbonate and propylene carbonate.
These solvents may be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as needed.

特に溶剤の乾燥性を考慮し、ダイコートや印刷法などにおいては、160℃以上の高沸点溶剤を含むことが好ましく、たとえば、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール(bp174℃)、1,3−ブタンジオール(bp203℃)、3−メチル−1,3−ブタンジオール(bp203℃)、2−メチル−1,3−プロパンジオール(bp213℃)、ジイソブチルケトン(bp168.1℃)、エチレングリコールモノブチルエーテル(bp171.2℃)、エチレングリコールモノヘキシルエーテル(bp208.1℃)、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(bp191.5℃)、エチレングリコールジブチルエーテル(bp203.3℃)、ジエチレングリコールモノメチルエーテル(bp194.0℃)、ジエチレングリコールモノエチルエーテル(bp202.0℃)、ジエチレングリコールジエチルエーテル(bp188.4℃)、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル(bp207.3℃)、プロピレングリコールモノブチルエーテル(bp170.2℃)、プロピレングリコールジアセテート(bp190.0℃)、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル(bp187.2℃)、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル(bp197.8℃)、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル(bp212.0℃)、ジプロピレングリコールジメチルエーテル(bp175℃)、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル(bp206.3℃)、3−エトキシプロピオン酸エチル(bp169.7℃)、3−メトキシブチルアセテート(bp172.5℃)、3−メトキシ−3−メチルブチルアセテート(bp188℃)、γ−ブチロラクトン(bp204℃)、N,N−ジメチルアセトアミド(bp166.1℃)、N−メチルピロリドン(bp202℃)、p−クロロトルエン(bp162.0℃)、o−ジエチルベンゼン(bp183.4℃)、m−ジエチルベンゼン(bp181.1℃)、p−ジエチルベンゼン(bp183.8℃)、o−ジクロロベンゼン(bp180.5℃)、m−ジクロロベンゼン(bp173.0℃)、n−ブチルベンゼン(bp183.3℃)、sec−ブチルベンゼン(bp178.3℃)、tert−ブチルベンゼン(bp169.1℃)、シクロヘキサノール(bp161.1℃)、シクロヘキシルアセテート(bp173℃)、メチルシクロヘキサノール(bp174℃)等が挙げられ、160℃以上の高沸点溶剤は溶剤の全量を基準として5〜50質量%が好ましい。
溶剤の含有量は、樹脂組成物中の固形分の合計100質量部に対して、200〜4000質量部の量で用いることができる。
In particular, in consideration of the drying property of the solvent, it is preferable to include a high boiling point solvent having a temperature of 160 ° C. or higher in a die coating or printing method, for example, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol (bp 174 ° C.), 1, 3-butanediol (bp 203 ° C), 3-methyl-1,3-butanediol (bp 203 ° C), 2-methyl-1,3-propanediol (bp 213 ° C), diisobutyl ketone (bp 168.1 ° C), ethylene glycol Monobutyl ether (bp 171.2 ° C.), ethylene glycol monohexyl ether (bp 208.1 ° C.), ethylene glycol monobutyl ether acetate (bp 191.5 ° C.), ethylene glycol dibutyl ether (bp 203.3 ° C.), diethylene glycol monomethyl ether (bp 194. 0 ° C), Glycol monoethyl ether (bp 202.0 ° C.), diethylene glycol diethyl ether (bp 188.4 ° C.), diethylene glycol monoisopropyl ether (bp 207.3 ° C.), propylene glycol monobutyl ether (bp 170.2 ° C.), propylene glycol diacetate (bp 190) .0 ° C.), dipropylene glycol monomethyl ether (bp 187.2 ° C.), dipropylene glycol monoethyl ether (bp 197.8 ° C.), dipropylene glycol monopropyl ether (bp 212.0 ° C.), dipropylene glycol dimethyl ether (bp 175 ° C.) ), Tripropylene glycol monomethyl ether (bp 206.3 ° C.), ethyl 3-ethoxypropionate (bp 169.7 ° C.), 3-methoxy Ethyl acetate (bp 172.5 ° C.), 3-methoxy-3-methylbutyl acetate (bp 188 ° C.), γ-butyrolactone (bp 204 ° C.), N, N-dimethylacetamide (bp 166.1 ° C.), N-methylpyrrolidone (bp 202) ° C), p-chlorotoluene (bp 162.0 ° C), o-diethylbenzene (bp 183.4 ° C), m-diethylbenzene (bp 181.1 ° C), p-diethylbenzene (bp 183.8 ° C), o-dichlorobenzene (bp 180) .5 ° C), m-dichlorobenzene (bp 173.0 ° C), n-butylbenzene (bp 183.3 ° C), sec-butylbenzene (bp 178.3 ° C), tert-butylbenzene (bp 169.1 ° C), cyclo Hexanol (bp 161.1 ° C), cyclohexyl acetate (b 173 ° C.), include such methylcyclohexanol (bp174 ℃), preferably high-boiling solvent or 160 ° C. 5 to 50 wt% based on the total amount of solvent.
The content of the solvent can be used in an amount of 200 to 4000 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of solid content in the resin composition.

<その他の成分>
本発明の感光性樹脂組成物には、その他必要に応じてシラン化合物、加熱硬化型触媒、無機酸化物微粒子、酸化防止剤、界面活性剤、貯蔵安定剤、レベリング剤、光安定剤などを使用することもできる。
<Other ingredients>
In the photosensitive resin composition of the present invention, a silane compound, a heat-curable catalyst, inorganic oxide fine particles, an antioxidant, a surfactant, a storage stabilizer, a leveling agent, a light stabilizer, etc. are used as needed. You can also

<シラン化合物>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらにシラン化合物を併用してもよい。シラン化合物を含むことでガラス基材、ITOなどとの密着性が向上するために好ましい。
<Silane compound>
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a silane compound. The inclusion of a silane compound is preferable because adhesion with a glass substrate, ITO or the like is improved.

シラン化合物としては、アミド又はウレタン骨格、イミダゾール基、イソシアネート基、ビニル基、グリシジル基、(メタ)アクリロイルオキシ基、アミノ基、ウレイド基、メルカプト基、又はスルフィド基を有するシラン化合物等が挙げられる。シラン化合物の中でも、アミド又はウレタン骨格を有するシラン化合物、より好ましくは一般式(6)で示されるシラン化合物、又はイミダゾール基を有するシラン化合物(D2)、より好ましくは化学式(7)で表されるシラン化合物が、より密着性に優れるために好ましい。   Examples of the silane compound include an amide or urethane skeleton, an imidazole group, an isocyanate group, an isocyanate group, a vinyl group, a glycidyl group, a (meth) acryloyloxy group, an amino group, a ureido group, a mercapto group, and a silane compound having a sulfide group. Among the silane compounds, a silane compound having an amide or urethane skeleton, more preferably a silane compound represented by General Formula (6), or a silane compound (D2) having an imidazole group, more preferably represented by Chemical Formula (7) Silane compounds are preferable because they are more excellent in adhesion.

[アミド又はウレタン骨格を有するシラン化合物]
シラン化合物(D1)としては、一般式(6)で示されるシラン化合物が挙げられる。

[一般式(6)中、R31は、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜30のアルアルキル基又は炭素数7〜30のアルカリール基、
Xは、炭素数1〜20のアルキレン基、炭素数6〜20のアリーレン基又は炭素数1〜20のアルコキシレン基、
32 33及びR34は、互いに独立して、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜30のアルアルキル基、炭素数7〜30のアルカリール基、置換基を有するシロキサン基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は水素原子である。]
[Silane compound having an amide or urethane skeleton]
As a silane compound (D1), the silane compound shown by General formula (6) is mentioned.

[In general formula (6), R 31 represents an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, carbon 7 to 30 aralkyl or C 7 to 30 alkaryl,
X is an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, or an alkoxylene group having 1 to 20 carbon atoms,
R 32 , R 33 and R 34 are each independently an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, an aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an aryl having 6 to 20 carbon atoms A group, an aralkyl group having 7 to 30 carbon atoms, an alkaryl group having 7 to 30 carbon atoms, a siloxane group having a substituent, a halogen atom, a hydroxy group or a hydrogen atom. ]

31が、アルキル基、アリール基、アルアルキル基、アルカリール基の場合、アミド骨格を有するシラン化合物となり、R31が、アルコキシ基、アリールオキシ基の場合、ウレタン骨格を有するシラン化合物となる。 When R 31 is an alkyl group, aryl group, aralkyl group or alkaryl group, it is a silane compound having an amide skeleton, and when R 31 is an alkoxy group or aryloxy group, it is a silane compound having a urethane skeleton.

一般式(6)で示されるシラン化合物としては、例えば(3−カルバメートエチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルトリメトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリメトキシシラン、(3−カルバメートプロピル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリメトキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートブチル)ブチルトリプロパキシシラン、(3−カルバメートブチル)プロピルメチルジエトキシシラン、(3−カルバメートペンチル)プロピルトリエトキシシラン、(3−カルバメートヘキシル)プロピルトリエトキシシラン、3−カルバメートオクチル)ペンチルトリブトキシシラン、(3−カルバメートエチル)プロピルシリルトリクロライド、(3−カルバメートエチル)プロピルトリメチルシラン、3−カルバメートエチル)プロピルジメチルシラン、3−カルバメートエチル)プロピルトリブチルシラン、3−カルバメートエチル)エチル-p-キシレントリエトキシシラン、3−カルバメートエチル)-p-フェニレントリエトキシシランなどが挙げられるが、これらに限られない。また一般式(6)で示されるシラン化合物(D1)は、その加水分解により生じるシラノール化合物であっても、それらが脱水縮合したポリオルガノシロキサン化合物でも良い。   Examples of the silane compound represented by the general formula (6) include (3-carbamate ethyl) propyltriethoxysilane, (3-carbamate ethyl) propyltrimethoxysilane, (3-carbamate ethyl) propyltripropoxysilane, (3 -Carbamate propyl) propyl triethoxysilane, (3-carbamate propyl) propyl trimethoxysilane, (3-carbamate propyl) propyl tripropoxysilane, (3-carbamate butyl) propyl triethoxysilane, (3-carbamate butyl) propyl Trimethoxysilane, (3-Carbamate butyl) propyl tripropoxysilane, (3-Carbamate butyl) butyl tripropoxysilane, (3-Carbamate butyl) propyl methyl diethoxysilane, (3-carbene Mate pentyl) propyl triethoxysilane, (3-carbamate hexyl) propyl triethoxysilane, 3- carbamate octyl) pentyl tributoxysilane, (3- carbamate ethyl) propyl silyl trichloride, (3- carbamate ethyl) propyl trimethylsilane, Examples include 3-carbamate ethyl) propyldimethylsilane, 3-carbamate ethyl) propyltributylsilane, 3-carbamate ethyl) ethyl-p-xylenetriethoxysilane, 3-carbamate ethyl) -p-phenylenetriethoxysilane and the like. It is not restricted to these. The silane compound (D1) represented by the general formula (6) may be a silanol compound produced by hydrolysis thereof or a polyorganosiloxane compound obtained by dehydration condensation of them.

一般式(6)で示されるシラン化合物は耐熱性に優れているため塗膜が黄変しにくく、また化学的にも安定であるため経時安定性に優れ、経時後も現像性が損なわれることがない。   Since the silane compound represented by the general formula (6) is excellent in heat resistance, the coating film is unlikely to turn yellow and is also chemically stable, so the stability over time is excellent, and the developability is impaired even after time There is no

[イミダゾール基を有するシラン化合物]
イミダゾール基を有するシラン化合物は、イミダゾール基を有するシラン化合物であり、一分子中に第1官能基としてイミダゾール基を、第2官能基としてアルコキシシリル基、クロロシリル基、アセトキシシリル基から選ばれる1種類以上を共に有する化合物などであり、イミダゾール環が飽和炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基を有していても良い。詳しくは、イミダゾール、2−アルキルイミダゾール、2,4−ジアルキルイミダゾール、4−ビニルイミダゾール等と3−グリドキシプロピルシラン化合物との反応物、2−エチル−4−メチルイミダゾプロピルシラン、及びこれらの塩、分子内縮合物、分子間縮合物等が挙げられる。
[Silane compound having an imidazole group]
The silane compound having an imidazole group is a silane compound having an imidazole group, and one type selected from an imidazole group as a first functional group in one molecule, an alkoxysilyl group as a second functional group, a chlorosilyl group and an acetoxysilyl group The compound is, for example, a compound having both of the above, and the imidazole ring may have a substituent such as a saturated hydrocarbon group or an unsaturated hydrocarbon group. Specifically, a reaction product of imidazole, 2-alkylimidazole, 2,4-dialkylimidazole, 4-vinylimidazole, etc. with a 3-glycdoxypropylsilane compound, 2-ethyl-4-methylimidazopropylsilane, and salts thereof And intramolecular condensates, intermolecular condensates and the like.

イミダゾール基を有するシラン化合物の中でも、より好ましくは、化学式(7)で示されるシラン化合物である。また、化学式(7)で示されるシラン化合物、又はシラン化合物の加水分解により生じるシラノール化合物であっても、シラノール化合物の脱水縮合反応により生じるポリオルガノシロキサン化合物であってもよく、これらの混合物であっても良い。
Among the silane compounds having an imidazole group, more preferred are silane compounds represented by the chemical formula (7). Further, it may be a silane compound represented by the chemical formula (7), a silanol compound produced by hydrolysis of the silane compound, or a polyorganosiloxane compound produced by dehydration condensation reaction of the silanol compound, and a mixture thereof It is good.

化学式(7)で示されるシラン化合物は、市販品としてはIM−1000(JX日鉱日石金属社製)が挙げられる。   Commercially available silane compounds represented by chemical formula (7) include IM-1000 (manufactured by JX Nippon Mining & Metals Corp.).

その他のシラン化合物としては、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、等が挙げられる。
これらのシラン化合物は、単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。
Other silane compounds include vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidone Xypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxy Silane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- ( 1,3-Dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N- (vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride, 3-ureidopropyl Triethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, etc. It is.
These silane compounds can be used alone or in combination of two or more at any ratio as required.

またシラン化合物の重量平均分子量(Mw)は、200以上5000未満であることが、現像性の点からより好ましい。シラン化合物の含有量は、樹脂組成物の固形分合計100質量%中、1質量%以上20質量%未満であることが、現像性の点からより好ましい。さらに好ましくは、1質量%以上10質量%未満である。   The weight average molecular weight (Mw) of the silane compound is more preferably 200 or more and less than 5,000 from the viewpoint of developability. The content of the silane compound is more preferably 1% by mass or more and less than 20% by mass in 100% by mass of the total solid content of the resin composition, from the viewpoint of developability. More preferably, it is 1% by mass or more and less than 10% by mass.

シラン化合物の重量平均分子量(Mw)が、200以上の場合、入手性の観点から好ましく、5000未満の場合、現像性が良好となるために好ましい。また、含有量が1質量%以上の場合、透過率と現像性が優れ、20質量%未満の場合、基材への密着性や硬度だけでなく、現像性にも優れるために好ましい。   When the weight average molecular weight (Mw) of the silane compound is 200 or more, it is preferable from the viewpoint of availability, and less than 5000 is preferable because the developability becomes good. Moreover, when content is 1 mass% or more, since it is excellent in the transmittance | permeability and developability and less than 20 mass%, since it is excellent not only in adhesiveness and hardness to a base material, and developability.

<加熱硬化型触媒>
本発明における感光性樹脂組成物は、加熱硬化型触媒を含むこともできる。
加熱硬化型触媒は、80〜200℃以上に加熱されることでエピスルフィド化合物、エポキシ樹脂に対して触媒能を発揮する化合物又は組成物である。これらは単独で、又はエポキシ樹脂のような他の樹脂に適宜分散させて配合することができる。このような加熱硬化型触媒としては、以下に示すものが挙げられる。
<Heating curing catalyst>
The photosensitive resin composition in the present invention can also contain a heat-curable catalyst.
The heat-curable catalyst is a compound or a composition that exhibits a catalytic ability with respect to an episulfide compound and an epoxy resin by being heated to 80 to 200 ° C. or more. These can be blended alone or appropriately dispersed in another resin such as an epoxy resin. Examples of such a heat-curable catalyst include the following.

ジシアンジアミド:市販品としてはjERキュアDICY7、15、20、7A(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)、オミキュアDDA10、DDA50、DDA100、DDA5、CG−325、CG−1200、CG−1400、DICYNEX325、DICY−F、DICY−M(以上はCVC Specialty Chemicals,Inc.製/商品名)等が挙げられる。
アミンアダクト体:市販品としてはアミキュアPN−23、MY−24、PN−D、MY−D、PN−H、MY−H(以上は味の素ファインテクノ(株)製/商品名)等が挙げられる。
イミダゾール:市販品としてはキュアゾール2MZ、2PZ、2PHZ、2MZ−OK、2PZ−OK、2P4MHZ、2PHZ、2E4MZ、C11Z、C17Z、2MA−OK、1B2MZ(以上は四国化成工業(株)製/商品名)、jERキュアIBMI−12、EMI−24、BMI−12(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)、ニチゴーイミダゾール2PI、2MI、2E4MI、1B2MI(以上は日本合成化学工業(株)製/商品名)等が挙げられる。また、これら化合物の官能基を適宜不活性基シアノエチル基で置換したタイプ、トリメリット酸等で造塩したタイプ、ジシアンジアミドで変性したタイプも同様に使用できる。これらの市販品としては2E4MZ−CN、2PHZ−CN、C11Z−CNS、2MZ−AZINE(以上は四国化成工業(株)製/商品名)、等が挙げられる。
尿素型アダクト系、芳香族ウレア:市販品としてはフジキュアFXR1020、1030、1081(以上は富士化成工業(株)製/商品名)、DCMU(保土谷化学工業(株)製、3−(3,4−ジクロロフェニル)−1,1−ジメチル尿素/商品名)、オミキュア24、52、94(以上はCVC Specialty Chemicals,Inc.製/商品名)等が挙げられる。
イリドタイプ系:市販品としてはエピキュアYPH−101、102、103、104、201、202、203、204、205、206、207、208、209、210(以上はジャパンエポキシレジン(株)製/商品名)が挙げられる。
p−トルエンスルホン酸の塩:市販品としてはアンカー1786B、キャタリスト2134(以上はエアープロダクツジャパン(株)製/商品名)、アデカハードナーEH−3293S((株)ADEKA製/商品名)等が挙げられる。
マイクロカプセル化潜在性硬化剤:市販品としてはノバキュアHX−3721、3722、3741、3742、3748、3613、3088、3921HP、3941HP(以上は旭化成ケミカルズ(株)製/商品名)等が挙げられる。
その他、ジアミノマレオニトリルとその誘導体、シッフベース、メラミンとその誘導体、カルボン酸エステルとジメチルヒドラジンとエポキシ化合物によって合成されるアミンイミド、アミンイミドイミダゾール系化合物等が適宜使用できる。
Dicyandiamide: As a commercial product, jER cure DICY7, 15, 20, 7A (the above is Japan Epoxy Resins Co., Ltd./trade name), Omicure DDA10, DDA50, DDA100, DDA5, CG-325, CG-1200, CG-1400 DICYNEX 325, DICY-F, DICY-M (the above are CVC Specialty Chemicals, Inc./trade name), and the like.
Amine adduct: Commercially available products include Amicure PN-23, MY-24, PN-D, MY-D, PN-H, and MY-H (the above are Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd./trade names), etc. .
Imidazole: Cuazole 2MZ, 2PZ, 2PHZ, 2MZ-OK, 2PZ-OK, 2P4 MHZ, 2PH4, 2E4MZ, C11Z, C17Z, 2MA-OK, 1B2MZ (all are manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd./trade name) , JER cure IBMI-12, EMI-24, BMI-12 (the above are made by Japan Epoxy Resins Co., Ltd. / trade name), Nichigo imidazole 2PI, 2MI, 2E4MI, 1B2MI (the above are manufactured by Japan Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. / Trade name) etc. Further, a type in which a functional group of these compounds is appropriately substituted with an inactive group cyanoethyl group, a type in which salt formation is made with trimellitic acid or the like, and a type in which dicyandiamide is modified can be used similarly. Examples of these commercially available products include 2E4MZ-CN, 2PHZ-CN, C11Z-CNS, 2MZ-AZINE (the above are manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd./trade name), and the like.
Urea-type adduct type, aromatic urea: Commercially available products Fujicure FXR 1020, 1030, 1081 (the above are made by Fuji Kasei Kogyo Co., Ltd./trade name), DCMU (Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd.), 3- (3, 4-dichlorophenyl) -1, 1-dimethylurea / trade name), Omicure 24, 52, 94 (The above are CVC Specialty Chemicals, Inc. make / brand name), etc. are mentioned.
Iridoid type: Epicure YPH-101, 102, 103, 104, 201, 202, 203, 204, 205, 206, 207, 208, 209, 210 (commercially available from Japan Epoxy Resin Co., Ltd./trade name) Can be mentioned.
Salts of p-toluenesulfonic acid: Commercially available products include Anchor 1786B, Catalyst 2134 (above, Air Products Japan Co., Ltd./trade name), Adeka Hardener EH-3293S (trade name, ADEKA / trade name), etc. It can be mentioned.
Microcapsulated latent curing agent: Examples of commercially available products include Novac HX-3721, 3272, 3741, 3742, 3748, 3613, 3088, 3921 HP, 3941 HP (all manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation / trade name).
In addition, diaminomaleonitrile and derivatives thereof, Schiff bases, melamine and derivatives thereof, amine imides synthesized by carboxylic acid ester, dimethylhydrazine and epoxy compounds, amine imide imidazole compounds, and the like can be appropriately used.

これらのなかでも、イミダゾール系化合物又はジシアンジアミド類及びこれらの変性物が、硬化性や入手性などの観点から好ましい。加熱硬化型触媒の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分合計100質量%中、好ましくは0.5〜30質量%、さらに好ましくは0.7〜15質量%である。この範囲を逸脱すると、硬化が十分に進行しないか、十分に密着性が発現しないという不具合が生じる場合がある。   Among these, imidazole compounds or dicyandiamides and modified products thereof are preferable from the viewpoint of curability and availability. The content of the heat-curable catalyst is preferably 0.5 to 30% by mass, and more preferably 0.7 to 15% by mass in 100% by mass in total of the solid content of the photosensitive resin composition. If this range is exceeded, a problem may occur that curing does not proceed sufficiently or adhesion is not sufficiently developed.

<酸無水物系硬化剤>
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに酸無水物系硬化剤を併用してもよい。酸無水物系硬化剤は、エピスルフィド化合物、エポキシ樹脂と混合することで熱硬化を促進することができる。前述の加熱硬化型触媒との違いは触媒作用がない点である。
<Acid anhydride curing agent>
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain an acid anhydride curing agent. The acid anhydride curing agent can accelerate the thermal curing by mixing with the episulfide compound and the epoxy resin. The difference from the above-mentioned thermosetting catalyst is that there is no catalytic action.

酸無水物系硬化剤としては、
無水酢酸、無水プロピオン酸、酪酸無水物、へキサン酸無水物 、酢酸プロピオン酸無水物等の脂肪族カルボン酸無水物、コハク酸無水物、マレイン酸無水物等の脂肪族ジカルボン酸無水物、シクロへキサン酸カルボン酸等の脂肪族環式カルボン酸無水物、安息香酸無水物、フタル酸無水物、等の芳香族カルボン酸無水物、ピロメリット酸無水物、トリメリット酸無水物、等の芳香族ジカルボン酸無水物等が挙げられる。
As an acid anhydride curing agent,
Aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic acid anhydride, butyric anhydride, hexanoic acid anhydride, acetic acid propionic acid anhydride, etc. Aliphatic dicarboxylic acid anhydrides such as succinic acid anhydride, maleic acid anhydride, cyclo Aromatic cyclic carboxylic acid anhydrides such as hexanoic acid carboxylic acid, aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic acid anhydride, phthalic acid anhydride etc., aromatics such as pyromellitic acid anhydride, trimellitic acid anhydride etc. Group dicarboxylic acid anhydride and the like.

より具体的には、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロ無水フタル酸、3−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、4−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、3−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、4−メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチル−3,6 エンドメチレン−1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸3,3’ ,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸ニ無水物を好ましく使用することができる。   More specifically, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 3-methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 4 -Methyl-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3-methylhexahydrophthalic anhydride, 4-methylhexahydrophthalic anhydride, methyl-3,6 endomethylene-1,2 It is preferable to use 3,3,6-tetrahydrophthalic anhydride 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid dianhydride.

市販品としては、
リカシッドTH、リカシッドHT−1A、リカシッドHH、リカシッドMH−700、リカシッドMH−700G、リカシッドMH(いずれも新日本(株)製)、HN−2200、HN−2000、HN−5500、無水メチルハイミック酸(MHAC−P)(いずれも日立化成(株)製)、
YH−306、YH−307(いずれも三菱化学(株)製)
等が挙げられる。
As a commercial item,
RIKACID TH, RIKACID HT-1A, RIKACID HH, RIKACID MH-700, RIKACID MH-700 G, RIKACID MH (all from Nippon Nippon Co., Ltd.), HN-2200, HN-2000, HN-5500, anhydrous methyl hymic Acid (MHAC-P) (all are manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.),
YH-306, YH-307 (both from Mitsubishi Chemical Corporation)
Etc.

酸無水物系硬化剤は、エピスルフィド化合物(B1)又は、エポキシ化合物の固形分の合計100質量%中、0.1〜40質量%の量で用いることが好ましく、耐薬品性の観点から5〜30質量%の量で用いることがより好ましい。   The acid anhydride curing agent is preferably used in an amount of 0.1 to 40% by mass in the total 100% by mass of the solid content of the episulfide compound (B1) or the epoxy compound, and it is 5 to 5 from the viewpoint of chemical resistance. More preferably, it is used in an amount of 30% by weight.

<無機酸化物微粒子>
本発明の感光性樹脂組成物は無機酸化物微粒子を用いることができる。無機酸化物微粒子としては、得られる硬化性組成物の硬化被膜の無色性の観点から、ケイ素、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン及びセリウムよりなる群から選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物粒子であることが好ましい。なかでも透過率の観点から、ケイ素、ジルコニウム、チタニウム又はアルミニウムの酸化物粒子が好ましく、とくにケイ素の酸化物粒子が好ましい。
<Inorganic oxide fine particles>
Inorganic oxide fine particles can be used for the photosensitive resin composition of the present invention. The inorganic oxide fine particles are at least one element selected from the group consisting of silicon, aluminum, zirconium, titanium, zinc, indium, tin, antimony and cerium from the viewpoint of the colorlessness of the cured film of the curable composition obtained. It is preferable that it is an oxide particle of Among them, oxide particles of silicon, zirconium, titanium or aluminum are preferable from the viewpoint of transmittance, and oxide particles of silicon are particularly preferable.

無機酸化物微粒子は、分散液中あるいは塗布液中で、分散安定化を図るために、あるいはアルカリ可溶性成分との親和性、結合性を高めるために、プラズマ放電処理やコロナ放電処理のような物理的表面処理、界面活性剤やカップリング剤等による化学的表面処理がなされていても良い。   The inorganic oxide fine particles can be physically dispersed, such as plasma discharge treatment or corona discharge treatment, in the dispersion liquid or in the coating liquid, in order to achieve dispersion stabilization or to enhance the affinity and bondability with the alkali-soluble component. Chemical surface treatment may be carried out with a chemical surface treatment, a surfactant, a coupling agent or the like.

酸化物粒子の平均一次粒子径は、1nm〜1000nmが好ましく、3nm〜100nmがさらに好ましく、5nm〜30nmが特に好ましい。平均一次粒子径が1000nmを超えると、硬化物としたときの透明性が低下したり、被膜としたときの表面状態が悪化する傾向がある。また、粒子の分散性を改良するために各種の界面活性剤やアミン類を添加してもよい。   1 nm-1000 nm are preferable, as for the average primary particle diameter of oxide particle, 3 nm-100 nm are more preferable, and 5 nm-30 nm are especially preferable. When the average primary particle diameter exceeds 1000 nm, the transparency of the cured product tends to decrease, and the surface state of the film tends to deteriorate. In addition, various surfactants and amines may be added to improve the dispersibility of the particles.

無機酸化物微粒子の平均一次粒子径は、たとえばBET法を用いて測定される。具体的には、BET法にて得られた無機酸化物微粒子の比表面積を得、無機酸化物の比重を用いて体積と表面積の比を算出し、粒子を真球であると仮定して、これらの比から粒子径を求め、平均一次粒子径とする方法がある。   The average primary particle size of the inorganic oxide fine particles is measured, for example, using the BET method. Specifically, the specific surface area of the inorganic oxide fine particles obtained by the BET method is obtained, the ratio of the volume to the surface area is calculated using the specific gravity of the inorganic oxide, and the particles are assumed to be true spheres, There is a method of obtaining the particle diameter from these ratios and setting it as an average primary particle diameter.

無機酸化物粒子は、有機溶媒分散物として用いるのが好ましい。有機溶媒分散物として用いる場合、他の成分との相溶性、分散性の観点から、分散媒は、有機溶剤が好ましい。このような有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール等のアルコール類; アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類; 酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、γ − ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類; エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のエーテル類; ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類; ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N − メチルピロリドン等のアミド類を挙げることができる。中でも、メタノール、イソプロパノール、ブタノール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、トルエン、キシレンが好ましい。   The inorganic oxide particles are preferably used as an organic solvent dispersion. When used as an organic solvent dispersion, the dispersion medium is preferably an organic solvent from the viewpoint of compatibility with other components and dispersibility. Examples of such an organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol and octanol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, γ-butyrolactone Esters such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; Ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and diethylene glycol monobutyl ether; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; Dimethylformamide, dimethylacetamide, Amides such as N-methyl pyrrolidone can be mentioned. Among them, methanol, isopropanol, butanol, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, toluene and xylene are preferable.

ケイ素の酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製PMA−ST、PMA−ST−MS、IPA−ST、IPA−ST−MS、IPA−ST−L、IPA−ST−ZL、IPA−ST−UP、EG−ST、NPC−ST−30、MEK−ST、MEK−ST−L、MIBK−ST、NBA−ST、XBA−ST、DMAC−ST、ST−UP、ST−OUP、ST−20、ST−40、ST−C、ST−N、ST−O、ST−50、ST−OL、MEK―AC―2140C、PGM−AC−2140Y、MIBK−AC−2140Z、MEK−EC−2130Y等、触媒化成工業(株)製中空シリカCS60−IPA等を挙げることができる。また粉体シリカとしては、日本アエロジル(株)製アエロジル130、アエロジル300、アエロジル380、アエロジルTT600、アエロジルOX50、旭硝子(株)製シルデックスH31、H32、H51、H52、H121、H122、日本シリカ工業(株)製E220A、E220、富士シリシア(株)製SYLYSIA470、日本板硝子(株)製SGフレ−ク等を挙げることができる。   As a commercial item marketed as a fine oxide particle dispersion of silicon, Nissan Chemical Industries, Ltd. PMA-ST, PMA-ST-MS, IPA-ST, IPA-ST-MS, IPA-ST-L, IPA -ST-ZL, IPA-ST-UP, EG-ST, NPC-ST-30, MEK-ST, MEK-ST-L, MIBK-ST, NBA-ST, XBA-ST, DMAC-ST, ST-UP , ST-OUP, ST-20, ST-40, ST-C, ST-N, ST-O, ST-50, ST-OL, MEK-AC-2140C, PGM-AC-2140Y, MIBK-AC-2140Z And MEK-EC-2130Y, etc., Catalysts and Chemicals Industries Ltd. hollow silica CS60-IPA etc. can be mentioned. As powder silica, Aerosil 130 manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., Aerosil 300, Aerosil 380, Aerosil TT600, Aerosil OX50, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. Sildex H31, H32, H51, H52, H52, H121, H122, Nippon Silica Industries E220A and E220 manufactured by Co., Ltd., SYLYSIA 470 manufactured by Fuji Silysia Co., Ltd., SG flake manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., and the like.

アルミニウムの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製アルミナゾル−100、アルミナゾル−200、アルミナゾル−520、住友大阪セメント(株)製AS−150I、AS−150Tが挙げられる。   Commercial products of aluminum oxide fine particle dispersion include alumina sol-100, alumina sol-200, alumina sol-520 manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., AS-150I manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd., and AS-150T manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. It can be mentioned.

ジルコニアの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、日産化学工業(株)製ZR−40BL、ZR−30BS、ZR−30AL、ZR−30AH等、住友大阪セメント(株)製HXU−110JCを挙げることができる。その他、ジルコニアの酸化物微粒子分散液は特許4692630号公報記載の方法等で得ることができる。   Commercially available products as zirconia fine particle oxide dispersions include Nissan Chemical Industries, Ltd. ZR-40BL, ZR-30BS, ZR-30AL, ZR-30AH, etc., Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. HXU-110JC. Can be mentioned. In addition, the oxide particle dispersion liquid of zirconia can be obtained by the method described in Japanese Patent No. 469 2630 or the like.

チタニウムの酸化物微粒子分散体として市販されている商品としては、シーアイ化成(株)製 ナノテック、堺化学工業(株)製 D−962を挙げることができる。その他、チタニウムの酸化物微粒子分散液は特許4692630号公報等記載の方法で得ることができる。   As a commercial item marketed as a titanium oxide fine particle dispersion, Nanotech manufactured by CI Kasei Co., Ltd. and D-962 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. can be mentioned. In addition, titanium oxide fine particle dispersion can be obtained by the method described in Japanese Patent No. 469 2630 and the like.

その他、亜鉛等の酸化物微粒子分散体の市販品としては、シーアイ化成(株)製ナノテック等を挙げることができる。   In addition, as a commercial item of oxide fine particle dispersions, such as zinc, Nanotech etc. made by CI Kasei Co., Ltd. can be mentioned.

無機酸化物微粒子を含む場合、含有量は、感光性樹脂組成物における固形分合計100質量%中、10〜80質量%が好ましく、20〜70質量%がさらに好ましい。添加量が10質量%以上であれば、硬度・耐酸性向上の効果が高く、一方で80質量%以下である場合、現像性、透過率にも優れたものとすることができる。   When the inorganic oxide fine particles are contained, the content is preferably 10 to 80% by mass, and more preferably 20 to 70% by mass in 100% by mass of the total solid content in the photosensitive resin composition. When the addition amount is 10% by mass or more, the effect of improving the hardness and acid resistance is high, and when it is 80% by mass or less, excellent developability and transmittance can be obtained.

<酸化防止剤>
本発明の樹脂組成物には酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤は、加熱工程を経ることによる黄変等による透過率の低下を抑制することができる。そのため、酸化防止剤を含むことで、加熱工程時の黄変を防止し、透過率の高い塗膜を得る事ができる。
<Antioxidant>
The resin composition of the present invention can contain an antioxidant. An antioxidant can suppress the fall of the transmittance | permeability by yellowing etc. by passing through a heating process. Therefore, yellowing at the time of a heating process can be prevented by containing an antioxidant, and the coating film with high transmittance | permeability can be obtained.

本発明における「酸化防止剤」とは、紫外線吸収機能、ラジカル補足機能、又は、過酸化物分解機能を有する化合物であればよく、具体的には、酸化防止剤としてヒンダードフェノール系、ヒンダードアミン系、リン系、イオウ系、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、ヒドロキシルアミン系、サルチル酸エステル系、及びトリアジン系の化合物があげられ、公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤等が使用できる。これらの酸化防止剤の中でも、塗膜の透過率と感度の両立の観点から、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及びイオウ系酸化防止剤が好ましい。フェノール系のなかでも特に、立体障害性の高いヒンダードフェノール系酸化防止剤がより好ましい。   In the present invention, the "antioxidant" may be a compound having an ultraviolet absorbing function, a radical trapping function, or a peroxide decomposing function, and specifically, hindered phenol type or hindered amine type as an antioxidant. And phosphorus, sulfur, benzotriazole, benzophenone, hydroxylamine, salicylic acid ester, and triazine compounds, and known ultraviolet light absorbers, antioxidants and the like can be used. Among these antioxidants, phenol-based antioxidants, phosphorus-based antioxidants and sulfur-based antioxidants are preferable from the viewpoint of achieving both the transmittance of the coating film and the sensitivity. Among phenol-based ones, hindered phenol-based antioxidants having high steric hindrance are particularly preferable.

[フェノール系酸化防止剤]
例えば、2,6−ジ−t−ブチル−4−エチルフェノール、2,4−ビス−(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、2,2−チオ−ジエチレンビス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、N,N’−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ−ヒドロシンナミド)、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、トリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレート、2,6−ジ−t−ブチルフェノール、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、2,6−ジ−t−ブチル−4−メトキシフェノール、トリエチレングリコール−ビス{3−(3−t−ブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、1,6−ヘキサンジオール−ビス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、ペンタエリスリチル−テトラキス{3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート}、オクタデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)ベンゼンなどが挙げられ、単独又は2種以上を使用してもよい。
[Phenolic antioxidant]
For example, 2,6-di-tert-butyl-4-ethylphenol, 2,4-bis- (n-octylthio) -6- (4-hydroxy-3,5-di-tert-butylanilino) -1,3. 5-triazine, 2,2-thio-diethylene bis {3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, N, N'-hexamethylene bis (3,5-di- t-Butyl-4-hydroxy-hydrocinnamide), 3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzylphosphonate-diethyl ester, tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -Isocyanurate, 2,6-di-tert-butylphenol, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 2,6-di-tert-butyl-4-methoxyphenol, triethylene glycol Bis {3- (3-t-butyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, 1,6-hexanediol-bis {3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) Propionate}, pentaerythrityl-tetrakis {3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate}, octadecyl-3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) Propionate, 1,3,5-trimethyl-2,4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) benzene, etc. may be mentioned, and may be used alone or in combination of two or more. .

なかでも、2,4−ビス−(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、N,N’−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ−ヒドロシンナミド)、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジルフォスフォネート−ジエチルエステル、及びトリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレートからなる群から選ばれるヒンダードフェノール系酸化防止剤は、光硬化性の面から好ましい。   Among them, 2,4-bis- (n-octylthio) -6- (4-hydroxy-3,5-di-t-butylanilino) -1,3,5-triazine, pentaerythritol tetrakis [3- (3, 3, 5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], N, N'-hexamethylenebis (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxy-hydrocinnamide), 3,5-di-tert- Hindered phenolic antioxidants selected from the group consisting of butyl-4-hydroxybenzyl phosphonate-diethyl ester and tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -isocyanurate are It is preferable from the viewpoint of photocurability.

[リン系酸化防止剤]
リン系酸化防止剤としては、市販されているものを使用できるが、トリス[2,4−ジ−(tert)−ブチルフェニル]ホスフィントリス[2−[[2,4,8,10−テトラキス(1,1−ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2−[(4,6,9,11−テトラ−tert−ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン−2−イル)オキシ]エチル]アミン、亜りん酸エチルビス(2,4−ジtert−ブチル−6−メチルフェニル) が挙げられ、 これらからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物であることが好ましく、これらは1種又は2種以上を使用することができる。
[Phosphorus antioxidant]
As a phosphorus antioxidant, although what is marketed can be used, tris [2,4-di- (tert) -butylphenyl] phosphine tris [2-[[2,4,8,10-tetrakis ( 1,1-Dimethylethyl) dibenzo [d, f] [1,3,2] dioxaphosphepin-6-yl] oxy] ethyl] amine, tris [2-[(4,6,9,11- Tetra-tert-butyldibenzo [d, f] [1,3,2] dioxaphosphepin-2-yl) oxy] ethyl] amine, ethyl phosphite bis (2,4-ditert-butyl-6-) Methylphenyl) is mentioned, It is preferable that it is at least 1 sort (s) of compound selected from the group which consists of these, and 1 or 2 types can be used for these.

[イオウ系酸化防止剤]
イオウ系酸化防止剤は分子中にイオウを含む酸化防止剤である。このような含イオウ系酸化防止剤としては市販されているものを使用できるが、3,3’−チオジプロパン酸ジオクタデシル、ジミリスチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジパルミチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル−3,3’−チオジプロピオネート、4,4’−チオビス−3−メチル−6−tert−ブチルフェノール、チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]が挙げられ、これらからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物であることが好ましく、これらは1種又は2種以上を使用することができる。
[Sulfur-based antioxidants]
Sulfur-based antioxidants are antioxidants that contain sulfur in the molecule. As such sulfur-containing antioxidants, commercially available ones can be used, but dioctadecyl 3,3'-thiodipropanoate, dimyristyl-3,3'-thiodipropionate, dipalmityl-3,3'- Thiodipropionate, distearyl-3,3′-thiodipropionate, 4,4′-thiobis-3-methyl-6-tert-butylphenol, thiodiethylenebis [3- (3,5-di-tert- Butyl 4-hydroxyphenyl) propionate] is preferable and it is preferable that it is at least 1 type of compound chosen from the group which consists of these, and 1 type or 2 types or more can be used for these.

これらの酸化防止剤は、1種を単独で、又は必要に応じて任意の比率で2種以上混合して用いることができる。   These antioxidants can be used alone or in combination of two or more at an arbitrary ratio as required.

酸化防止剤の含有量は、樹脂組成物の固形分合計100質量%中、0.1質量%以上4質量%未満であることが好ましい。0.1質量%より少ない場合は、酸化防止剤が不足するため黄変防止効果が得られにくく、4質量%より多い場合には紫外線露光時に発生するラジカルを補足してしまうため、感光性樹脂組成物の硬化が不十分となることがある。   The content of the antioxidant is preferably 0.1% by mass or more and less than 4% by mass in 100% by mass of the total solid content of the resin composition. If the amount is less than 0.1% by mass, the effect of preventing yellowing is difficult to obtain because the antioxidant is insufficient, and if it is more than 4% by mass, radicals generated at the time of ultraviolet light exposure are captured. Curing of the composition may be insufficient.

<貯蔵安定剤>
貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの4級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸及びそのメチルエーテル、t−ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィン、トリフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、樹脂組成物の合計100質量%中、0.1〜5質量%の量で用いることができる。
<Storage stabilizer>
Examples of storage stabilizers include quaternary ammonium chlorides such as benzyltrimethyl chloride and diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid and their methyl ethers, organics such as t-butylpyrocatechol, triethylphosphine and triphenylphosphine Phosphine, phosphite and the like can be mentioned. The storage stabilizer can be used in an amount of 0.1 to 5% by mass in the total 100% by mass of the resin composition.

<レベリング剤>
本発明の感光性樹脂組成物には、透明基板上での組成物のレベリング性をよくするため、レベリング剤を添加することが好ましい。レベリング剤としては、主鎖にポリエーテル構造又はポリエステル構造を有するジメチルシロキサンが好ましい。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、東レ・ダウコーニング社製FZ−2122、ビックケミー社製BYK−330などが挙げられる。主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、ビックケミー社製BYK−310、BYK−370などが挙げられる。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンと、主鎖にポリエステル構造を有するジメチルシロキサンとは、併用することもできる。レベリング剤の含有量は通常、樹脂組成物の合計100質量%中、0.003〜0.5質量%用いることが好ましい。
<Leveling agent>
It is preferable to add a leveling agent to the photosensitive resin composition of the present invention in order to improve the leveling property of the composition on a transparent substrate. As the leveling agent, dimethylsiloxane having a polyether structure or a polyester structure in its main chain is preferred. Specific examples of dimethylsiloxane having a polyether structure in the main chain include FZ-2122 manufactured by Toray Dow Corning, BYK-330 manufactured by BYK Chemie, and the like. As a specific example of dimethylsiloxane which has a polyester structure in a principal chain, BYK-310 by BYK-Chemie company, BYK-370, etc. are mentioned. The dimethylsiloxane having a polyether structure in the main chain and the dimethylsiloxane having a polyester structure in the main chain can also be used in combination. In general, the content of the leveling agent is preferably 0.003 to 0.5% by mass in 100% by mass of the total of the resin composition.

レベリング剤として特に好ましいものとしては、分子内に疎水基と親水基を有するいわゆる界面活性剤の一種で、親水基を有しながらも水に対する溶解性が小さく、着色組成物に添加した場合、その表面張力低下能が低いという特徴を有し、さらに表面張力低下能が低いにも拘らずガラス板への濡れ性が良好なものが有用であり、泡立ちによる塗膜の欠陥が出現しない添加量において十分に帯電性を抑止できるものが好ましく使用できる。このような好ましい特性を有するレベリング剤として、ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンが好ましく使用できる。ポリアルキレンオキサイド単位としては、ポリエチレンオキサイド単位、ポリプロピレンオキサイド単位があり、ジメチルポリシロキサンは、ポリエチレンオキサイド単位とポリプロピレンオキサイド単位とを共に有していてもよい。   Particularly preferred as a leveling agent is a kind of so-called surfactant having a hydrophobic group and a hydrophilic group in the molecule, which has a low solubility in water while having a hydrophilic group, and when it is added to a coloring composition, It is characterized by low surface tension reduction ability, and in addition to low surface tension reduction ability, it is useful that the wettability to the glass plate is good, and the addition amount at which defects of the coating film due to foaming do not appear. Those which can sufficiently suppress the chargeability can be preferably used. As a leveling agent which has such a preferable characteristic, dimethylpolysiloxane which has a polyalkylene oxide unit can use it preferably. The polyalkylene oxide unit may be a polyethylene oxide unit or a polypropylene oxide unit, and the dimethylpolysiloxane may have both a polyethylene oxide unit and a polypropylene oxide unit.

また、ポリアルキレンオキサイド単位のジメチルポリシロキサンとの結合形態は、ポリアルキレンオキサイド単位がジメチルポリシロキサンの繰り返し単位中に結合したペンダント型、ジメチルポリシロキサンの末端に結合した末端変性型、ジメチルポリシロキサンと交互に繰り返し結合した直鎖状のブロックコポリマー型のいずれであってもよい。ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンは、東レ・ダウコーニング株式会社から市販されており、例えば、FZ−2110、FZ−2122、FZ−2130、FZ−2166、FZ−2191、FZ−2203、FZ−2207が挙げられるが、これらに限定されるものではない。   In addition, the bonding form of the polyalkylene oxide unit to dimethylpolysiloxane is a pendent type in which the polyalkylene oxide unit is bonded to a repeating unit of dimethylpolysiloxane, a terminal-modified type bonded to the terminal of dimethylpolysiloxane, and dimethylpolysiloxane It may be any of linear block copolymer types alternately and repeatedly bonded. Dimethylpolysiloxanes having polyalkylene oxide units are commercially available from Toray Dow Corning Co., Ltd., for example, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2130, FZ-2166, FZ-2191, FZ-2203, FZ-2203. -2-207, but not limited thereto.

レベリング剤には、アニオン性、カチオン性、ノニオン性、又は両性の界面活性剤を補助的に加えることも可能である。界面活性剤は、2種以上混合して使用しても構わない。
レベリング剤に補助的に加えるアニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどが挙げられる。
The leveling agent may be supplemented with an anionic, cationic, nonionic or amphoteric surfactant. The surfactant may be used as a mixture of two or more.
Examples of anionic surfactants to be added to leveling agents include polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecyl benzene sulfonate, alkali salt of styrene-acrylic acid copolymer, sodium alkyl naphthalene sulfonate, alkyl diphenyl ether disulfonic acid Sodium lauryl sulfate monoethanolamine, lauryl sulfate triethanolamine, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearic acid, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer, polyoxyethylene alkyl ether phosphoric acid Ester etc. are mentioned.

レベリング剤に補助的に加えるカオチン性界面活性剤としては、アルキル4級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。レベリング剤に補助的に加えるノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの;アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコーン系の界面活性剤が挙げられる。   Examples of the cationic surfactant added to the leveling agent include alkyl quaternary ammonium salts and ethylene oxide adducts thereof. As a nonionic surfactant which is added to the leveling agent as auxiliaries, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphate, polyoxyethylene sorbitan monostearate And alkylbetaines such as alkyldimethylaminoacetic acid betaines; amphoteric surfactants such as alkylimidazolines; and fluorine-based and silicone-based surfactants.

<樹脂組成物の製法>
本発明の感光性樹脂組成物は、光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)、アルカリ可溶性樹脂、及び必要に応じて、光ラジカル重合開始剤、溶剤、加熱硬化型触媒、無機酸化物微粒子、シラン化合物、酸化防止剤、レベリング剤、その他の成分等を攪拌・混合して得ることが出来る。本発明の感光性樹脂組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、5μm以上の粗大粒子、好ましくは1μm以上の粗大粒子、さらに好ましくは0.5μm以上の粗大粒子及び混入した塵、異物の除去を行うことが好ましい。
<Manufacturing method of resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a photocationic polymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B), an alkali-soluble resin, and, if necessary, a photoradical polymerization initiator, a solvent, a thermosetting catalyst, Inorganic oxide fine particles, a silane compound, an antioxidant, a leveling agent, other components, etc. can be obtained by stirring and mixing. The photosensitive resin composition of the present invention can be coarse particles of 5 μm or more, preferably coarse particles of 1 μm or more, more preferably coarse particles of 0.5 μm or more, by means of centrifugation, sintered filter, membrane filter, etc. It is preferable to remove the mixed dust and foreign matter.

<硬化膜>
本発明の硬化膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、ガラス基材、ITO上、モリブデン上、その他の金属膜上、有機膜上に、スピンコートなどの回転塗布、ダイコートなどの流延塗布、ロールコートによる塗布、ロール転写法による塗布などにより形成することができる。本発明の硬化膜は、高硬度、高透過率であり、パターン直線性、密着性、耐薬品性に優れるため、特にタッチパネルに用いられるオーバーコートに適している。
<Cured film>
The cured film of the present invention can be formed by spin coating such as spin coating, die coating, etc. on the glass substrate, ITO, molybdenum, other metal films, organic films, using the photosensitive resin composition of the present invention. It can be formed by cast coating, coating by roll coating, coating by a roll transfer method, or the like. The cured film of the present invention has high hardness and high transmittance, and is excellent in pattern linearity, adhesion, and chemical resistance, so it is particularly suitable for an overcoat used for a touch panel.

オーバーコートは例えば、タッチパネルに用いられる金属配線保護膜用途、タッチセンサーのX電極−Y電極間を絶縁するための絶縁膜用途等に用いられており、いずれで使用されても良い。   The overcoat is used, for example, in applications of metal wiring protective films used for touch panels, applications of insulating films for insulating between X electrodes and Y electrodes of touch sensors, and the like, and may be used in any way.

硬化膜は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて、印刷法又はフォトリソグラフィー法により、製造することができ、フォトリソグラフィー法を用いることが好ましい。   A cured film can be manufactured by the printing method or the photolithographic method using the photosensitive resin composition of this invention, and it is preferable to use the photolithographic method.

フォトリソグラフィー法により製造する場合、例えば感光性樹脂組成物を基材上に塗布後、マスクを介して露光し、現像してパターンを形成後、加熱焼成する工程により硬化膜を製造することができる。   In the case of manufacturing by a photolithography method, for example, after a photosensitive resin composition is applied on a substrate, it is exposed through a mask, developed, a pattern is formed, and a cured film can be manufactured by a process of heating and baking. .

硬化膜を形成する場合、まず、ガラス基材、ITO膜、モリブデン、その他の金属膜、有機膜などの基材上に、感光性樹脂組成物をスプレーコートやスピンコート、スリットコート、ロールコート等の塗布方法により塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させて、塗布膜を形成する。次いで、この塗布膜にマスクを介して超高圧水銀ランプを用いて露光したのち、溶剤又はアルカリ現像液を用いて浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して現像し、塗膜の未露光部を溶解除去し、所望のパターンを形成後、加熱焼成することにより硬化膜を形成することができる。   In the case of forming a cured film, first, a photosensitive resin composition is spray-coated, spin-coated, slit-coated, roll-coated, etc. on a substrate such as a glass substrate, ITO film, molybdenum, other metal film, or organic film. After coating by the coating method, prebaking is performed to evaporate the solvent to form a coating film. Next, the coated film is exposed to light using a super high pressure mercury lamp through a mask, and then it is immersed in a solvent or an alkaline developer, or is developed by spraying a developer by spraying, etc. A cured film can be formed by dissolving and removing the exposed portion and forming a desired pattern, followed by heating and baking.

現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム等の水溶液が使用され、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。   In the development, an aqueous solution of sodium carbonate, sodium hydroxide or the like is used as an alkali developing solution, and an organic alkali such as dimethylbenzylamine or triethanolamine can also be used. Moreover, an antifoamer and surfactant can also be added to a developing solution.

現像処理方法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。   As a developing method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a paddle (liquid buildup) developing method or the like can be applied.

加熱焼成温度については、200℃を超える温度での高温焼成工程を経て、得られる場合が多く、高温焼成工程は塗膜の熱硬化を促進するため、200℃以下での低温焼成で得られる塗膜に比べて、耐薬品性等が優れたものとなる。しかし、本発明の感光性樹脂組成物は、高温焼成を必要とせず、100℃以下の低温焼成であっても、耐薬品性等の必要特性に優れた硬化膜を得ることができる。そのため、有機エレクトロルミネッセンス表示装置や、タッチパネルの構成に耐熱性の低いフィルムが含まれるなどして低温焼成が必要となる場合にも、100℃以下の低温で、優れた硬化膜を得ることが可能である。
ただし、加熱焼成温度が80℃未満である場合は、十分な耐薬品性等が得られないため、80℃以上で加熱焼成することが好ましい。
The heating and baking temperature is often obtained through a high temperature baking process at a temperature exceeding 200 ° C., and the high temperature baking process is a coating obtained by low temperature baking at 200 ° C. or less to promote thermal curing of the coating. Chemical resistance and the like are superior to films. However, the photosensitive resin composition of the present invention does not require high temperature baking, and can obtain a cured film excellent in necessary characteristics such as chemical resistance even when baking at a low temperature of 100 ° C. or less. Therefore, an excellent cured film can be obtained at a low temperature of 100 ° C. or less even when low-temperature baking is required because the structure of an organic electroluminescent display device or a touch panel includes a film with low heat resistance. It is.
However, when the heating and firing temperature is less than 80 ° C., sufficient chemical resistance and the like can not be obtained, so it is preferable to perform heating and firing at 80 ° C. or higher.

以下に、実施例により本発明を説明する。なお、実施例中の「部」及び「%」とは、それぞれ「質量部」及び「質量%」を表す。また、「PGMEA」とはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを意味する。実施例に先立ち、樹脂の重量平均分子量、及び酸価の測定方法について説明する。   The invention will now be described by way of example. In addition, "part" and "%" in an Example respectively represent "mass part" and "mass%." Also, "PGMEA" means propylene glycol monomethyl ether acetate. Prior to the examples, methods for measuring the weight average molecular weight of the resin and the acid value will be described.

(樹脂の重量平均分子量)
樹脂の重量平均分子量(Mw)は、TSKgelカラム(東ソー社製)を用い、RI検出器を装備したGPC(東ソー社製、HLC−8120GPC)で、展開溶媒にTHFを用いて測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)である。
(Weight average molecular weight of resin)
The weight average molecular weight (Mw) of the resin was measured using a TSK gel column (manufactured by Tosoh Corporation) and a GPC equipped with a RI detector (HLC-8120GPC manufactured by Tosoh Corporation), using polystyrene as the developing solvent and polystyrene conversion It is a weight average molecular weight (Mw).

(酸価)
樹脂溶液0.5〜1gに、アセトン80ml及び水10mlを加えて攪拌して均一に溶解させ、0.1mol/LのKOH水溶液を滴定液として、自動滴定装置(「COM−555」平沼産業製)を用いて滴定し、樹脂溶液の酸価を測定した。そして、樹脂溶液の酸価と樹脂溶液の固形分濃度から、樹脂の固形分あたりの酸価を算出した。
(Acid number)
80 ml of acetone and 10 ml of water are added to 0.5 to 1 g of the resin solution, and the mixture is stirred and uniformly dissolved, using a 0.1 mol / L KOH aqueous solution as a titration solution, an automatic titrator ("COM-555" manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) ) And the acid value of the resin solution was measured. And the acid value per solid content of resin was computed from the acid value of resin solution, and solid content concentration of resin solution.

続いて、アルカリ可溶性樹脂溶液、及びオキセタン化合物の製造方法について説明する。   Then, the manufacturing method of an alkali-soluble resin solution and an oxetane compound is demonstrated.

<アルカリ可溶性樹脂溶液の製造方法>
(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1))
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、撹拌装置を取り付けた反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら120℃に加熱して、同温度で滴下管より
スチレン 5.2部
グリシジルメタクリレート 35.5部
ジシクロペンタニルメタクリレート 41.0部
アゾビスイソブチロニトリル 1.0部
の混合物を2.5時間かけて滴下し重合反応を行った。次にフラスコ内を空気置換し、
アクリル酸 17.0部
トリスジメチルアミノメチルフェノール 0.3部
ハイドロキノン 0.3部
を投入し、120℃で5時間反応を続け固形分酸価=0.8となったところで反応を終了し、重量平均分子量が約12,000(GPCによる測定)の樹脂溶液を得た。さらに、
テトラヒドロ無水フタル酸 30.4部
トリエチルアミン 0.5部
を加え120℃で4時間反応させ、不揮発分が40%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して樹脂溶液(F−1)を調製した。
<Method of Producing Alkali-Soluble Resin Solution>
(Alkali-soluble resin solution (F-1))
Add 100 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate to a reaction vessel equipped with a separable 4-neck flask, a thermometer, a condenser, a nitrogen gas inlet pipe, and a stirrer, and heat it at 120 ° C while injecting nitrogen gas into the vessel. From the dropping tube at temperature, a mixture of styrene 5.2 parts glycidyl methacrylate 35.5 parts dicyclopentanyl methacrylate 41.0 parts azobisisobutyronitrile 1.0 part is added dropwise over 2.5 hours to carry out a polymerization reaction The Next, replace the inside of the flask with air,
Acrylic acid 17.0 parts Trisdimethylaminomethylphenol 0.3 parts Hydroquinone 0.3 parts is added, and the reaction is continued for 5 hours at 120 ° C. When the acid value of the solid content reaches 0.8, the reaction is completed and the weight is A resin solution having an average molecular weight of about 12,000 (measured by GPC) was obtained. further,
Tetrahydrophthalic anhydride 30.4 parts 0.5 part of triethylamine is added and reacted at 120 ° C for 4 hours, and propylene glycol monomethyl ether acetate is added so that the nonvolatile content becomes 40% to prepare a resin solution (F-1) did.

(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−2))
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管及び撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン196部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、
n−ブチルメタクリレート 37.2部
2−ヒドロキシエチルメタクリレート 12.9部
メタクリル酸 12.0部
パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート
(東亞合成株式会社製「アロニックスM110」)20.7部
2,2’−アゾビスイソブチロニトリル 1.1部
の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量%になるようにメトキシプロピルアセテートを添加してアクリル樹脂溶液(F−2)を調製した。重量平均分子量(Mw)は26,000であった。
(Alkali-soluble resin solution (F-2))
196 parts of cyclohexanone is charged into a reaction vessel in which a thermometer, a cooling pipe, a nitrogen gas introduction pipe, a dropping pipe and a stirrer are attached to a separable four-necked flask, the temperature is raised to 80 ° C., and the inside of the reaction vessel is purged with nitrogen and then dropped. From the tube
n-Butyl methacrylate 37.2 parts 2-Hydroxyethyl methacrylate 12.9 parts Methacrylic acid 12.0 parts Paracumyl phenol ethylene oxide modified acrylate (Toon Gosei Co., Ltd. "ALONIX M110") 20.7 parts 2,2'- A mixture of 1.1 parts of azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for 3 hours to obtain a solution of acrylic resin. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution is sampled, dried by heating at 180 ° C. for 20 minutes, non-volatile content is measured, and methoxypropyl acetate is made so that non-volatile content is 20% by mass in the resin solution synthesized above. Were added to prepare an acrylic resin solution (F-2). The weight average molecular weight (Mw) was 26,000.

(アルカリ可溶性樹脂溶液(F−3))
セパラブル4口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管及び撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン207部を仕込み、80℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、
メタクリル酸 20.0部
パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート
(東亜合成社製アロニックスM110) 20.0部
メタクリル酸メチル 45.0部
2−ヒドロキシエチルメタクリレート 8.5部
2,2'−アゾビスイソブチロニトリル 1.33部
の混合物を2時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間反応を継続し、共重合体樹脂溶液を得た。次に得られた共重合体溶液全量に対して、窒素ガスを停止し乾燥空気を1時間注入しながら攪拌したのちに、室温まで冷却した後、
2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート
(昭和電工社製カレンズMOI) 6.5部
ラウリン酸ジブチル錫 0.08部
シクロヘキサノン 26.0部
の混合物を70℃で3時間かけて滴下した。滴下終了後、更に1時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。室温まで冷却した後、樹脂溶液約2部をサンプリングして180℃、20分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が20質量%になるようにシクロヘキサノンを添加してアクリル樹脂溶液(F−3)を調製した。重量平均分子量(Mw)は18,000であった。
(Alkali-soluble resin solution (F-3))
Charge 207 parts of cyclohexanone into a reaction vessel in which a thermometer, a cooling pipe, a nitrogen gas introduction pipe, a dropping pipe and a stirrer are attached to a separable four-necked flask, raise the temperature to 80 ° C, replace the inside of the reaction vessel with nitrogen, and drop From the tube
Methacrylic acid 20.0 parts Paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (Alonix M110 manufactured by TOAGOSEI CO., LTD.) 20.0 parts methyl methacrylate 45.0 parts 2-hydroxyethyl methacrylate 8.5 parts 2,2'-azobisisobutyric acid A mixture of 1.33 parts of ronitrile was added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for 3 hours to obtain a copolymer resin solution. Next, with respect to the total amount of the obtained copolymer solution, after stopping nitrogen gas and stirring while pouring dry air for 1 hour, after cooling to room temperature,
A mixture of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (Kalores MOI manufactured by Showa Denko K. K.) 6.5 parts dibutyltin laurate 0.08 parts cyclohexanone 26.0 parts was dropped at 70 ° C over 3 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued for 1 hour to obtain a solution of acrylic resin. After cooling to room temperature, approximately 2 parts of the resin solution is sampled, dried by heating at 180 ° C. for 20 minutes, non-volatile content is measured, and cyclohexanone is added to the previously synthesized resin solution so that the non-volatile content is 20% by mass. Thus, an acrylic resin solution (F-3) was prepared. The weight average molecular weight (Mw) was 18,000.

<オキセタン化合物の製造方法>
(オキセタン化合物溶液(B2−A))
ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応槽に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部を仕込み、窒素気流下で90℃に昇温し、滴下槽から、(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルメタクリレート100部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート48部及び2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3部を予め均一に混合した混合液を2時間かけて滴下し、その後2時間、90℃を保ち反応させた。室温に冷却後、固形分が20%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈し、3官能以上オキセタン化合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(B2−A)を得た。
<Method for producing oxetane compound>
(Oxetane compound solution (B2-A))
In a reaction vessel equipped with a gas introduction pipe, a condenser, a stirring blade, and a thermometer, 100 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate is charged, and the temperature is raised to 90 ° C. under a nitrogen stream. A mixed solution in which 100 parts of 3-yl) methyl methacrylate, 48 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate and 3 parts of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) are uniformly mixed in advance is added dropwise over 2 hours, Then, the temperature was maintained at 90 ° C. for 2 hours for reaction. After cooling to room temperature, it was diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the solid content was 20%, to obtain a propylene glycol monomethyl ether acetate solution (B2-A) of a trifunctional or higher functional oxetane compound.

[実施例1]
(感光性樹脂組成物(R−1))
下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、1μmのフィルタで濾過して、樹脂組成物(R−1)を得た。
Irg.250 : 1.60部
(ヨードニウム,(4−メチルフェニル)[4−(2メチルプロピル)フェニル] −ヘキサフルオロフォスフェート:「イルガキュア250」(BASF社製))
B1−A : 5.00部
(2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)プロパン)
OXE−01 : 0.80部
(1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム:「イルガキュアOXE−01」(BASF社製))
OXT−221 : 5.00部
(ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル:「アロンオキセタンOXT−221」(東亞合成社製))
アルカリ可溶性樹脂溶液(F−1) :39.90部
レベリング剤 BYK−330 : 1.00部
(ポリエーテル構造含有ジメチルシロキサンのPGMEA溶液(固型分1%に調整):「BYK−330」(ビックケミー社製))
PGMEA :46.70部
Example 1
(Photosensitive resin composition (R-1))
After stirring and mixing the mixture of the following composition so that it might become uniform, it filtered with a 1 micrometer filter, and obtained resin composition (R-1).
Irg. 250: 1.60 parts (Iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2 methylpropyl) phenyl] hexafluorophosphate: "IRGACURE 250" (manufactured by BASF))
B1-A: 5.00 parts (2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) propane)
OXE-01: 0.80 parts (1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)] 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) Phenyl-2- (o-benzoyl oxime: “IRGACURE OXE-01” (manufactured by BASF))
OXT-221: 5.00 parts (Di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether: "Aron oxetane OXT-221" (manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
Alkali-soluble resin solution (F-1): 39.90 parts Leveling agent BYK-330: 1.00 parts (Polyether structure-containing dimethylsiloxane in PGMEA solution (adjusted to 1% of solid content): "BYK-330" ( Made by Big Chemie)
PGMEA: 46.70 parts

[実施例2〜26、比較例1〜5]
(感光性組成物(R−2〜31))
以下、表1〜表4に示すように組成及び配合量(質量部)を変更した以外は、感光性樹脂組成物(R−1)と同様にして感光性樹脂組成物(R−2〜31)を得た。
[Examples 2 to 26, Comparative Examples 1 to 5]
(Photosensitive composition (R-2 to 31))
Hereinafter, a photosensitive resin composition (R-2 to 31) is prepared in the same manner as the photosensitive resin composition (R-1) except that the composition and the blending amount (parts by mass) are changed as shown in Tables 1 to 4. Got).

表1〜表4の略語を下記に記す。   The abbreviations in Tables 1 to 4 are described below.

<光カチオン重合開始剤(A)>
[芳香族スルホニウム塩(a1)]
・CPI−100P:「CPI−100P」(サンアプロ社製);トリアリールスルホニウム・PF塩の50%プロピレンカーボネート溶液
[芳香族ヨードニウム塩(a2)]
・Irg250:「イルガキュア250」(BASF社製);ヨードニウム,(4−メチルフェニル)[4−(2メチルプロピル)フェニル] −ヘキサフルオロフォスフェート(1−)の75%プロピレンカーボネート溶液
[芳香族ジアゾニウム塩]
・4−ニトロベンゼンジアゾニウムテトラフルオロボレート
<Photo cationic polymerization initiator (A)>
[Aromatic sulfonium salt (a1)]
· CPI-100P: (manufactured by San-Apro Ltd.) "CPI-100P"; 50% propylene carbonate solution of triarylsulfonium · PF 6 salt [aromatic iodonium salt (a2)]
Irg 250: “IRGACURE 250” (manufactured by BASF AG); 75% propylene carbonate solution of iodonium, (4-methylphenyl) [4- (2 methylpropyl) phenyl] hexafluorophosphate (1-) [aromatic diazonium salt]
・ 4-nitrobenzene diazonium tetrafluoroborate

<光ラジカル重合開始剤(C)>
[オキシムエステル系]
・OXE−01:「イルガキュアOXE−01」(BASF社製);1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)]
[アセトフェノン系]
・Irg.369E:「イルガキュア369E」(BASF社製);2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
[チオキサントン系]
・DETX−S:「カヤキュアDETX−S」(日本化薬社製);2,4−ジエチルチオキサントン
[アシルフォスフィンオキサイド系]
・IrgTPO:「イルガキュアTPO」(BASF社製);2−4−6−トリメチルベンゾイル-ジフェニル−フォスフィンオキサイド
<Photo radical polymerization initiator (C)>
[Oxime ester type]
OXE-01: "IRGACURE OXE-01" (manufactured by BASF AG); 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyloxime)]
[Acetophenone series]
Irg. 369 E: “IRGACURE 369 E” (manufactured by BASF AG); 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one [thioxanthone system]
-DETX-S: "Kayacure DETX-S" (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.); 2,4-diethylthioxanthone [acyl phosphine oxide type]
-IrgTPO: "IRGACURE TPO" (manufactured by BASF); 2-4-6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide

<カチオン重合性化合物(B)>
[エピスルフィド化合物(B1)]
・B1−A:2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)シクロヘキシル)プロパン
・B1−B:ビス(3,5−ジメチル−4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)メタン
・B1−C:2,2−ビス(4−(2,3−エピチオプロポキシ)フェニル)プロパン
[オキセタン化合物]
・OXT−221:「アロンオキセタンOXT−221」(東亞合成社製):ジ[1−エチル(3−オキセタニル)]メチルエーテル(2官能オキセタン化合物:式(3−5)に該当)
・OXBP:「OXBP」(宇部興産社製);4,4’−ビス[(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシメチル]ビフェニル(2官能オキセタン化合物:式(3−4)に該当)
・B2−A:上述3官能以上オキセタン化合物
[ビニルエーテル化合物]
・DVE−3:「DVE−3」(BASF社製);トリエチレングリコールジビニルエーテル
[エポキシ化合物]
・jER152:「jER152」(三菱化学社製);フェノールノボラック型エポキシ樹脂
<Cationically Polymerizable Compound (B)>
[Episulfide compound (B1)]
B1-A: 2,2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) cyclohexyl) propane B1-B: bis (3,5-dimethyl-4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl ) Methane · B 1 -C: 2, 2-bis (4- (2,3-epithiopropoxy) phenyl) propane [oxetane compound]
-OXT-221: "Aron oxetane OXT-221" (manufactured by Toagosei Co., Ltd.): di [1-ethyl (3-oxetanyl)] methyl ether (difunctional oxetane compound: corresponding to formula (3-5))
-OXBP: "OXBP" (manufactured by Ube Industries, Ltd.); 4,4'-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxymethyl] biphenyl (corresponding to bifunctional oxetane compound: Formula (3-4))
-B2-A: The above trifunctional or higher functional oxetane compound [vinyl ether compound]
-DVE-3: "DVE-3" (manufactured by BASF Corporation); triethylene glycol divinyl ether [epoxy compound]
・ JER152: “jER152” (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.); Phenolic novolac epoxy resin

<レベリング剤>
・BYK−330:「BYK−330」(ビックケミー社製);ポリエーテル構造含有ジメチルシロキサンのPGMEA溶液(固型分1%に調整)
<溶剤>
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
<Leveling agent>
-BYK-330: "BYK-330" (manufactured by Bick Chemie Co., Ltd.); PGMEA solution of dimethylsiloxane containing polyether structure (adjusted to 1% solid content)
<Solvent>
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate

<感光性樹脂組成物の評価>
得られた感光性樹脂組成物について、以下に示す評価方法で評価した。結果を表5に示す。
<Evaluation of photosensitive resin composition>
The obtained photosensitive resin composition was evaluated by the evaluation method shown below. The results are shown in Table 5.

[鉛筆硬度]
得られた感光性樹脂組成物を、100mm×100mm、0.7mm厚のガラス基板(コーニング社製ガラス イーグル2000)に、スピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート(アズワン社製「EC−1200N(商品名)」)を用いて95℃で2分間プリベークした。その後、超高圧水銀ランプを用いて、照度20mW/cm、露光量200mJ/cmで紫外線露光を行った。塗布基板を95℃で60分加熱、放冷して膜厚が2.0μmの硬化膜を得た。膜厚は、アルバック社製の触針式膜厚計DECTAC−3で測定した。
得られた膜厚2.0μmの硬化膜について、「JIS K5600−5−4(1999)」に準拠して鉛筆硬度を測定した。 この値が4H以上の硬度の場合、表面硬度は良好といえる。硬度が3Hの場合は、実用可能な最低限の硬度、2H以下は実用には適さない硬度である。
○;鉛筆硬度が、4H以上
△;鉛筆硬度が、3H
×;鉛筆硬度が、2H以下
[Pencil hardness]
The obtained photosensitive resin composition is applied to a glass substrate (Glass Eagle 2000 manufactured by Corning Co., Ltd.) of 100 mm × 100 mm and 0.7 mm thickness using a spin coater, and a hot plate (“EC-1200 N (manufactured by As One Corporation) Pre-baked at 95 ° C. for 2 minutes using the trade name). Thereafter, ultraviolet exposure was performed with an illuminance of 20 mW / cm 2 and an exposure amount of 200 mJ / cm 2 using an extra-high pressure mercury lamp. The coated substrate was heated at 95 ° C. for 60 minutes and allowed to cool to obtain a cured film having a thickness of 2.0 μm. The film thickness was measured by a stylus type film thickness meter DECTAC-3 manufactured by ULVAC.
The pencil hardness of the obtained cured film having a thickness of 2.0 μm was measured in accordance with “JIS K5600-5-4 (1999)”. When this value is a hardness of 4H or more, the surface hardness can be said to be good. When the hardness is 3H, the minimum practical hardness is 2H or less is not suitable for practical use.
○; Pencil hardness is 4H or more △; Pencil hardness is 3H
×; Pencil hardness is 2H or less

[密着性(ITOとの密着性)]
表面にITOをスパッタリングしたガラス基板(「0007(商品名)」、ジオマテック製;以下、「ITO基板」)上に、鉛筆硬度評価と同様にして膜厚2.0μmの硬化膜を形成し、JIS「K5600−5−6(1999年4月20日制定)」に準じてITOと硬化膜の接着性を評価した。ガラス基板上のITO表面に、カッターナイフでガラス板の素地に到達するように、直交する縦横11本ずつの平行な直線を1mm間隔で引いて、1mm×1mmのマス目を100個作製した。切られた硬化膜表面にセロハン粘着テープ(幅=18mm、粘着力=3.7N/10mm)を張り付け、消しゴム(JIS S6050合格品)で擦って密着させ、テープの一端を持ち、板に直角を保ち瞬間的に剥離した際のマス目の残存数を目視によって評価した。マス目の剥離面積により以下のように判定し、3以上を合格とした。
5:剥離面積=0%
4:剥離面積=0%を超え、5%未満
3:剥離面積=5%以上、15%未満
2:剥離面積=15%以上、35%未満
1:剥離面積=35%以上、65%未満
0:剥離面積=65%以上
[Adhesion (adhesion to ITO)]
A cured film with a film thickness of 2.0 μm is formed on a glass substrate (“0007 (trade name)” manufactured by Geomatec; hereinafter “ITO substrate”) sputtered with ITO on the surface in the same manner as pencil hardness evaluation. The adhesiveness of ITO and a cured film was evaluated according to "K5600-5-6 (established on April 20, 1999)". In order to reach the substrate of the glass plate with a cutter knife, on the ITO surface on the glass substrate, parallel straight lines of 11 vertical and 11 horizontal were drawn at intervals of 1 mm to produce 100 squares of 1 mm × 1 mm. Attach a cellophane adhesive tape (width = 18 mm, adhesive force = 3.7 N / 10 mm) to the surface of the cured film that has been cut, rub with an eraser (JIS S 6050 pass product) to make a close contact, hold one end of the tape, and make a right angle to the plate The remaining number of squares at the time of holding instantaneously was evaluated by visual observation. It judged as follows by the peeling area of a square, and made 3 or more the pass.
5: Peeling area = 0%
4: Peeling area = more than 0%, less than 5% 3: Peeling area = 5% or more, less than 15% 2: Peeling area = 15% or more, less than 35% 1: Peeling area = 35% or more, less than 65% 0 : Peeling area = 65% or more

[密着性(金属との密着性)]
表面に銅が蒸着された基板上にスピンコートし、上記ITOとの密着性評価と同条件にて作製された硬化膜についても、ITOとの密着性と同様にして金属との密着性の評価を行った。
[Adhesiveness (adhesion to metal)]
For a cured film spin-coated on a substrate with copper deposited on the surface and produced under the same conditions as the above adhesion evaluation with ITO, evaluation of adhesion with metal is carried out in the same manner as adhesion with ITO. Did.

[耐薬品性(耐酸性)]
ITO密着性評価で作製した硬化膜を有するITO基板を、HCl/HNO/HO=18/4/78(質量比)で混合した35℃の水溶液に80秒間処理した。処理後の基板について、ITO密着性評価と同様にして密着性の評価を行った。
[Chemical resistance (acid resistance)]
The ITO substrate having the cured film prepared in the ITO adhesion evaluation was treated for 80 seconds in a 35 ° C. aqueous solution mixed with HCl / HNO 3 / H 2 O = 18/4/78 (mass ratio). The adhesion of the treated substrate was evaluated in the same manner as the ITO adhesion evaluation.

[耐薬品性(耐アルカリ性)]
ITO密着性評価で作製した、硬化膜を有するITO基板を、モノエタノールアミン/ジエチレングリコールモノブチルエーテル=30/70(質量比)で混合した60℃の溶液に5分間処理した。処理後の基板について、ITO密着性評価と同様にして密着性の評価を行った。
[Chemical resistance (alkali resistance)]
The ITO substrate having a cured film, which was prepared in the ITO adhesion evaluation, was treated for 5 minutes in a 60 ° C. solution mixed with monoethanolamine / diethylene glycol monobutyl ether = 30/70 (mass ratio). The adhesion of the treated substrate was evaluated in the same manner as the ITO adhesion evaluation.

表5に示すように、光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含む感光性樹脂組成物により、加熱焼成温度が、100℃以下の低温の場合にも硬化性に優れ、高硬度であり、密着性、耐薬品性に優れていた。   As shown in Table 5, a photosensitive resin composition containing a cationic photopolymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin, wherein the cationically polymerizable compound (B) is at least The photosensitive resin composition containing the episulfide compound (B1) and the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound has excellent curability and high hardness even at a low temperature of 100 ° C. or lower. , Adhesion and chemical resistance were excellent.

以上の結果より、本願の感光性樹脂組成物により、硬化性に優れ、高硬度であり、密着性、耐薬品性にも優れた塗膜を得ることができ、該塗膜は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置用やタッチパネルに用いられる絶縁膜、オーバーコートに適した高品質の硬化膜である事が確認できた。   From the above results, the photosensitive resin composition of the present invention can provide a coating having excellent curability, high hardness, and excellent adhesion and chemical resistance, and the coating has organic electroluminescence. It was confirmed that the insulating film used for display devices and touch panels, and a high-quality cured film suitable for overcoating.

Claims (15)

光カチオン重合開始剤(A)、カチオン重合性化合物(B)及びアルカリ可溶性樹脂、を含有する感光性樹脂組成物であって、
カチオン重合性化合物(B)が少なくとも、エピスルフィド化合物(B1)とエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)とを含む感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition comprising a cationic photopolymerization initiator (A), a cationically polymerizable compound (B) and an alkali-soluble resin,
The photosensitive resin composition in which a cationically polymerizable compound (B) contains at least an episulfide compound (B1) and a cationically polymerizable compound (B2) other than an episulfide compound.
エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、オキセタン化合物、ビニルエーテル化合物及びエポキシ化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least one selected from the group consisting of an oxetane compound, a vinyl ether compound and an epoxy compound. エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、少なくともオキセタン化合物を含む請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least an oxetane compound. エピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)が、少なくともオキセタン化合物及びビニルエーテル化合物を含む請求項1〜3いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound contains at least an oxetane compound and a vinyl ether compound. エピスルフィド化合物(B1)及びエピスルフィド化合物以外のカチオン重合性化合物(B2)の含有量比が、(B1):(B2)=20:80〜80:20である請求項1〜4いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The content ratio of the episulfide compound (B1) and the cationically polymerizable compound (B2) other than the episulfide compound is (B1) :( B2) = 20: 80 to 80:20. Photosensitive resin composition as described. オキセタン化合物が、下記化学式(3−5)に示される化合物又は(3−エチルオキセタン−3−イル)メチル(メタ)アクリレートを重合してなる重合体を含む請求項2〜5いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
The oxetane compound includes a compound represented by the following chemical formula (3-5) or a polymer obtained by polymerizing (3-ethyl oxetan-3-yl) methyl (meth) acrylate Photosensitive resin composition as described.
光カチオン重合開始剤(A)が、芳香族スルホニウム塩(a1)又は芳香族ヨードニウム塩(a2)を含む請求項1〜6いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the photocationic polymerization initiator (A) contains an aromatic sulfonium salt (a1) or an aromatic iodonium salt (a2). さらに 光ラジカル重合開始剤(C)を含む請求項1〜7いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7, further comprising a photo radical polymerization initiator (C). 光ラジカル重合開始剤(C)が、オキシムエステル系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤及びアセトフェノン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む請求項8に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitivity according to claim 8, wherein the photoradical polymerization initiator (C) contains at least one selected from the group consisting of oxime ester photopolymerization initiators, thioxanthone photopolymerization initiators and acetophenone photopolymerization initiators. Resin composition. 光カチオン重合開始剤(A)及び光ラジカル重合開始剤(C)の含有量比が、(A):(C)=30:70〜:80:20である請求項8又は9に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitivity according to claim 8 or 9, wherein the content ratio of the photocationic polymerization initiator (A) and the photoradical polymerization initiator (C) is (A): (C) = 30: 70 to: 80: 20. Resin composition. 請求項1〜10いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化膜。 The cured film formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-10. 請求項1〜10いずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を基材上に塗布後、マスクを介して露光し、現像してパターンを形成後、加熱焼成する工程を有する硬化膜の製造方法。 After apply | coating the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-10 on a base material, exposing through a mask, developing and forming a pattern, manufacture of the cured film which has the process of heat-baking Method. 加熱焼成の温度が、100℃以下である請求項12に記載の硬化膜の製造方法。 The method for producing a cured film according to claim 12, wherein the temperature of heating and firing is 100 ° C or less. 層間絶縁膜又はオーバーコート膜である請求項11に記載の硬化膜。 The cured film according to claim 11, which is an interlayer insulating film or an overcoat film. タッチパネル用である請求項11に記載の硬化膜。 The cured film according to claim 11, which is for a touch panel.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111123648A (en) * 2019-12-24 2020-05-08 阜阳欣奕华材料科技有限公司 Low-temperature curing type photosensitive resin composition, quantum dot color film and display device

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