JP2019039426A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】気圧動力駆動を利用する測定器及び設備の体積縮小と、マイクロ化且つ静音と、導熱性能の向上と、また、すばやく散熱させることができるように、軽くて不快感の無いポータブル式アクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータであって、懸吊板１１と、外枠１２と、フレーム１３と、圧電片１４と、を含み、前記懸吊板が、第一表面１３ｂ及び第二表面１３ａを備え、且つ湾曲振動をすることができ、前記外枠が、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、前記フレームが、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、前記圧電片が、チタン酸ジコル酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比が０．１％〜２０％の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け電圧を印加することで、前記懸吊板を駆動して湾曲振動させる。
【選択図】図３

Description

本発明はアクチュエータに関するものであり、とりわけマイクロ型、超薄型、に適し、且つ静音のアクチュエータである。

現在、各分野において、例えば、医療薬品、コンピュータ科学技術、印刷、エネルギー源等の工業だけでなく、製品は全て精密化及びマイクロ化の方向に発展している。その内、マイクロポンプ、噴霧器、インクジェットヘッド、工業用印刷機等のアクチュエータを含む製品は、その技術の要である。これより、どのように新しい構造をつくり、その技術の問題を解決するかが発展に重要な内容である。

例を挙げると、医療薬品産業において、多くは気圧動力駆動を採用する測定器或いは設備を需要し、例えば、血圧計、ポータブル式、着用式の測定器或いはこれら設備は通常従来モータ及び気圧バルブを利用してその流体輸送の目的を達成する。しかし、これらの従来モータ及び流体バルブの体積には限度があり、この類いの測定器或いは設備の装置体積を縮小するのは難しく、即ち薄型化の実現は難しく、ポータブル式にすることは不可能である。これ以外に、前記従来モータ及び前記流体バルブは、騒音や散熱差の問題を生じ、使用において不便さ及び不快感をもたらす。

以上のことを鑑み、どのように上述の周知技術の不備を改善し発展させ、気圧動力駆動を利用する測定器及び設備が体積縮小と、マイクロ化且つ静音と、導熱性能を向上させ、すばやく散熱させることができるように、軽くて不快感の無いポータブル式を目的とするアクチュエータをつくるかが、現在急いで取りかからなければならない課題である。

本発明の主要目的は、アクチュエータの提供において、圧電片が懸吊板に結合する設計を備え、圧電片の高周波作動でつくられた流体波動により、設計後の流動中において圧力勾配をつくることにより、流体を高速流動させ、且つ流動進出方向の抵抗差異を通じて、流体を吸入端から排出端に伝輸し、周知技術の気圧動力駆動を利用した測定器或いは設備が抱える体積過大と、薄型化の困難と、ポータブル式化目的の不達成と、騒音と、等の不備を解決することである。

本発明のもう一つの目的は、アクチュエータの提供において、前記圧電片がグラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極を備え、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることである。その内一つの前記電極の表層は、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層であり、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができ、もう一つの前記電極は、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層であり、前記懸吊板の第一表面に取付け、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができる。このようにアクチュエータが最良の導電性で駆動できる構成は、導熱性を高めてすばやく散熱の目的を達成させることができる。

上述の目的を達成するために、本発明の広義的実施様態は、アクチュエータの提供であり、懸吊板と、外枠と、少なくとも一つのフレームと、圧電片と、を含み、前記懸吊板は、第一表面及び第二表面を備え、且つ屈折振動をすることができ、前記外枠は、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、少なくとも一つの前記フレームは、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、前記圧電片は、チタン酸ジコル酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は０．１％〜２０％の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け電圧を加えることで、前記懸吊板を駆動して屈折振動させる。

図１は本発明のアクチュエータの吸気板と、共振片と、第一絶縁片と、導電片及び第二絶縁片と、の組合せを正面から見た分解構造見取図である。 図２は本発明のアクチュエータの吸気板と、共振片と、第一絶縁片と、導電片及び第二絶縁片と、の組合せを背面から見た分解構造見取図である。 図３は本発明のアクチュエータの圧電片及び懸吊板と、フレーム及び外枠と、の配置関係の断面構造及び局部拡大見取図である。 図４は本発明のアクチュエータの吸気板と、共振片と、第一絶縁片と、導電片及び第二絶縁片と、の組合せの断面構造見取図である。 図５Ａは図４が示すアクチュエータの作動過程構造図である 図５Ｂは図４が示すアクチュエータの作動過程構造図である 図５Ｃは図４が示すアクチュエータの作動過程構造図である 図５Ｄは図４が示すアクチュエータの作動過程構造図である 図５Ｅは図４が示すアクチュエータの作動過程構造図である

本発明の特徴と長所を体現する典型的な実施例は、後半の説明で詳細に記述する。理解しておかなければならないことは、本発明は異なる形態で様々な変化を持ち、そのすべてが本発明の範囲から逸脱せず、且つ、そのうちにおける説明及び図は本質的に説明するために使用するものであり、本発明を制限するためではない。

図１から図３を参照すると、本発明はアクチュエータ１を提供し、少なくとも一つの懸吊板１１と、少なくとも一つの外枠１２と、少なくとも一つのフレーム１３と、少なくとも一つの圧電片１４と、を包含しており、以下の実施例の前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、前記圧電片１４と、において、それらの数量全ては一つとして例を挙げて説明するが、これに限るわけではなく、前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、前記圧電片１４と、は多くの組合せとすることもできる。

図１と、図２及び図４と、を参照すると、前記アクチュエータ１は、主に前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、少なくとも一つの前記フレーム１３及び前記圧電片１４と、を含む。その内、前記懸吊板１１は、第一表面１１ｃ及び第二表面１１ｂを備え、湾曲振動することができ、前記外枠１２は、前記懸吊板１１の外側を囲むように設置され、少なくとも一つの前記フレーム１３は、前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、の間に連接し、本実施例において、各前記フレーム１３の両端点は、それぞれ前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、の間に連接して弾性支持を提供し、且つ前記フレーム１３と、前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、の間には更に少なくとも一つの空隙１５を備え、少なくとも一つの前記空隙１５は、気体の流通に用いられる。強調すべきことは、前記懸吊板１１と、前記外枠１２と、前記フレーム１３と、の形態及び数量は前述の実施例に限るわけではなく、実際の状況に基づいて変化させることができる。更に、前記外枠１２は、前記懸吊板１１の外側を囲むように設置され、且つ外向きに導電ピン１２ｃを凸設し、電気的連接に用いられるが、これに限るわけではない。

本実施例の前記懸吊板１１は、段差状の構造（図３表示）であり、即ち前記懸吊板１１の前記第二表面１１ｂには更に凸部１１ａを備え、前記凸部１１ａの構造は、円形凸起構造とすることができるが、これに限らない。前記懸吊板１１の前記凸部１１ａは、前記外枠１２の第二表面１２ａと共に平面であり、前記懸吊板１１の前記第二表面１１ｂ及び前記フレーム１３の第二表面１３ａも共に平面である。前記懸吊板１１の前記凸部１１ａ及び前記外枠１２の前記第二表面１２ａと、前記懸吊板１１の前記第二表面１１ｂ及び前記フレーム１３の前記第二表面１３ａと、の間には特定の深さを備える。前記懸吊板１１の前記第一表面１１ｃは、前記外枠１２の第一表面１２ｂ及び前記フレーム１３の第一表面１３ｂと共に均された平面構造であるが、全てこれに限るわけではない。

本実施例の前記圧電片１４は、この平らである前記懸吊板１１の前記第一表面１１ｃに取付けられるが、これに限るわけではない。もう一つのこれらの実施例において、前記懸吊板１１の形態も両面が平らな板状の正方形構造とすることができるが、これに限るわけではなく、実際の施作状況に基づいて変化させることができる。これらの実施例において、前記懸吊板１１と、前記フレーム１３及び前記外枠１２と、は一体成型構造であり、例えばステンレス材質に限らず、金属板により構成できる。又もう一つのこれらの実施例において、前記圧電片１４の長さは、前記懸吊板１１の長さより短い。又更にもう一つのこれらの実施例において、前記圧電片１４の長さは前記懸吊板１１の長さと等しく、且つ同様に設計は前記懸吊板１１と相対応した正方形板状の構造であるが、これに限るわけではない。又、本実施例の前記圧電片１４は、チタン酸ジコル酸鉛（Ｌｅａｄ Ｚｉｒｃｏｎａｔｅ Ｔｉｔａｎａｔｅ，ＰＺＴ）系列の圧電粉末がグラフェン（Ｇｒａｐｈｅｎｅ）をドーピングすることで作製され、前記グラフェンの重量比０．１％〜２０％の間でドーピングを行うのが一番望ましく、前記チタン酸ジコル酸鉛の優良な圧電特性を通じて、前記懸吊板１１に最良の圧電駆動効果をもたらすことができる。本実施例の前記圧電片１４は、グラフェン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極１４ａと、１４ｂと、を備え、二つの前記電極１４ａと、１４ｂと、は抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができる。その内の前記電極１４ａの表層は、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層１４ｃであり、導熱性を高めてすばやく散熱を達成させることができ、もう一つの前記電極１４ｂは、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層１４ｄであり、前記懸吊板１１の第一表面１１ｃに取付け、抵抗を下げて電荷の移動速度を上げ、導熱性を高めてすやばく散熱を達成させることができる。前記電極１４ａ、１４ｂは電圧を加えることで前記懸吊板１１を駆動して湾曲振動させる。

図１と、図２と、を参照すると、本発明の前記アクチュエータ１は、更に吸気板１６と、共振片１７と、絶縁片１８ａと、絶縁片１８ｂと、導電片１９と、等の構造を含み、その内、前記懸吊板１１は、前記共振片１７に対応して設置され、前記吸気板１６と、前記共振片１７と、前記外枠１２と、前記絶縁片１８ａと、前記導電片１９及びもう一つの前記絶縁片１８ｂと、の順に積重ねって設置される。その完成した組立ての断面図は図４に示す。

図１と、図２と、を参照すると、図１が示すように、本実施例において、前記吸気板１６は、少なくとも一つの吸気孔１６ａを備え、その内前記吸気孔１６ａの数量は四個が一番望ましいが、これに限るわけではない。前記吸気孔１６ａは、前記吸気板１６を貫通し、気体を装置外から大気圧の作用に順応させ、少なくとも一つの前記吸気孔１６ａから流入させる。図２が示すように、前記吸気板１６上には少なくとも一つの合流排気孔１６ｂを備え、前記合流排気孔１６ｂの中心交流所には中心凹部１６ｃを備え、且つ前記中心凹部１６ｃは、前記合流排気孔１６ｂと連通している。前記吸気板１６は、グラフィンをドーピングして合成した塗料を塗布した第一表面１６ｄを備え、導熱性を高めてすばやく散熱をすることができ、且つ前記第一表面１６ｄの少なくとも一つの前記吸気孔１６ａに対応して少なくとも一つの前記合流排気孔１６ｂを設置する。これより、少なくとも一つの前記吸気孔１６ａから進入する前記合流排気孔１６ｂの気体を導き、合流させて前記中心凹部１６ｃに集めることができ、気体伝送を実現する。本実施例において、前記吸気板１６は、複合した前記吸気孔１６ａと、前記合流排気孔１６ｂ及び前記中心凹部１６ｃと、を備え、且つ前記中心凹部１６ｃで合流気体を形成する合流チャンバに対応し、気体を一時的に貯蔵する。これらの実施例において、前記吸気板１６の材質はステンレスとすることができるが、これに限らない。これらの実施例において、前記中心凹部１６ｃにより構成される前記合流チャンバの深さは、前記合流排気孔１６ｂの深さと同じであるが、これに限るわけではない。前記共振片１７は可撓性材質で構成されるが、これに限るわけではなく、且つ前記共振片１７上には中空孔１７ｃを備え、前記中空孔１７ｃは、前記吸気板１６の前記中心凹部１６ｃに対応して設置され、気体を流通させる。これらの実施例において、前記共振片１７は銅材質で構成されるが、これに限るわけではない。

本実施例において、図１と、図２及び図４と、が示すように、本実施例の前記絶縁片１８ａと、前記導電片１９及びもう一つの前記絶縁片１８ｂと、はこの順に対応して前記外枠１２下に設置され、且つその形態はほとんど前記外枠１２の形態に対応している。これらの実施例において、前記絶縁片１８ａ、１８ｂは絶縁材質で構成され、プラスチックに限るわけではないが、絶縁効果を提供する。もう一つのこれらの実施例において、前記導電片１９は、導電材質で構成され、金属材質に限るわけではないが、電導効果を提供する。本実施例において、前記導電片１９上には導電ピン１９ａも設置され、電導効果を実現し、上述の前記導電ピン１２ｃが前記圧電片１４の前記電極１４ａと電気的に連接することで、前記導電ピン１９ａは前記圧電片１４の前記電極１４ｂと電気的に連接するが、これに限るわけではない。

本実施例において、図４が示すように、前記吸気板１６と、前記共振片１７と、前記外枠１２と、前記絶縁片１８ａと、前記導電片１９及びもう一つの前記絶縁片１８ｂと、の順の積重なりは、流体を輸送するこができる装置を形成する。前記共振片１７と、前記外枠１２と、の間には隙間ｈが形成され、本実施例において、前記共振片１７及び前記外枠１２の周縁の間の隙間ｈ中に、導電性接着剤に限らない填充材質を埋込み、前記共振片１７と、前記懸吊板１１の前記凸部１１ａと、の間に前記隙間ｈの深さを維持させることで、気流を導き、更に迅速に流動させることができ、且つ前記懸吊板１１の前記凸部１１ａは、前記共振片１７と適度な距離を保持し、お互いの接触干渉を減少させるので、騒音の発生を減少させる。もう一方の実施例において、前記外枠１２の高さを高くすることにより、それと、前記共振片１７と、を組立てる時に隙間を増加させるが、これに限るわけではない。

図１及び図２と、図４と、を参照すると、本実施例において、前記吸気板１６と、前記共振片１７と、前記外枠１２と、が順に対応して組立てられた後、前記共振片１７は可動部１７ａ及び固定部１７ｂを備え、前記可動部１７ａは、その上の前記吸気板１６と共同に合流気体のチャンバを形成し、且つ前記共振片１７は、前記懸吊板１１と、前記フレーム１３と、前記外枠１２と、の間にさらに第一チャンバ１０を形成し、空気を一時的に貯蔵するために用いる。前記第一チャンバ１０は、前記共振片１７の前記中空孔１７ｃを通り、前記吸気板１６の前記中心凹部１６ｃのチャンバと連通し、且つ前記第一チャンバ１０の両側は、前記フレーム１３の間の前記空隙１５により流体通路と連通している。

図１と、図２と、図４と、図５Ａ至図５Ｅと、を参照すると、前記圧電片１４は、電圧作動を受け、前記フレーム１３を支点にして垂直方向の往復式振動をする。図５Ａが示すように、前記圧電片１４が電圧作動を受け下向きに振動する時、前記共振片１７は、軽くて薄い片状構造なので、前記圧電片１４が振動する時、前記共振片１７も連れて共振し、垂直の往復式振動をする。即ち前記共振片１７は、前記中心凹部１６ｃに対応する部分も連れて湾曲振動し、変形する。前記中心凹部１６ｃに対応する部分は、前記共振片１７の前記可動部１７ａであり、前記圧電片１４が下向きに湾曲振動をする時、前記中心凹部１６ｃに対応する前記共振片１７の前記可動部１７ａは、気体の導入及び圧縮と、前記圧電片１４の振動の帯動と、より、前記圧電片１４が湾曲振動するにつれて変形する。一方で気体は、前記吸気板１６上の少なくとも一つの前記吸気孔１６ａから進入し、少なくとも一つの前記合流排気孔１６ｂを通り、中央の前記中心凹部１６ｃに集められ、再度前記共振片１７上で前記中心凹部１６ｃと対応して設置される前記中空孔１７ｃを経由し、前記第一チャンバ１０中に流入される。その後、前記圧電片１４の振動の帯動より、前記共振片１７も連れて共振し垂直の往復式運動をする。図５Ｂが示すように、この時、前記共振片１７の前記可動部１７ａも連れて下方向に振動し、前記懸吊板１１の前記凸部１１ａ上に抵触するように張付けられ、前記懸吊板１１の前記凸部１１ａ以外の区域と、前記共振片１７の両側の前記固定部１７ｂと、の間の前記合流チャンバ間の距離を小さくさせない。この前記共振片１７の変形により、前記第一チャンバ１０の体積を圧縮し、前記第一チャンバ１０中の流通空間を閉じ、その内の気体を両側に押して流動させ、前記圧電片１４の前記フレーム１３の間の前記空隙１５を通り、下方向に通り抜けるように流動させる。その後、図５Ｃが示すように、前記共振片１７の前記可動部１７ａは、上方向に湾曲振動して変形し、初期の位置に戻り、且つ前記圧電片１４は、電圧駆動して上方向に振動し、同様に前記第一チャンバ１０の体積を圧縮するが、前記懸吊板１１が上方向に上がるので、前記第一チャンバ１０内の気体は、両側方向に流動され、気体は持続的に前記吸気板１６上の少なくとも一つの前記吸気孔１６ａから進入し、再度前記中心凹部１６ｃが形成したチャンバ中に流入される。その後、図５Ｄが示すように、前記共振片１７は、前記懸吊板１１の上方向に昇る振動を受け上方向に共振する。この時、前記共振片１７の前記可動部１７ａもつれて上方向に振動し、気体を緩やかに持続的に前記吸気板１６上の少なくとも一つの前記吸気孔１６ａから進入させ、再度前記中心凹部１６ｃが形成した前記合流チャンバ中に流入させる。最後、図５Ｅが示すように、前記共振片１７の前記可動部１７ａも初期位置に戻る。この実施例の様態から分かるように、前記共振片１７は、垂直の往復式振動をする時、それと、前記外枠１２と、の間の前期隙間ｈより垂直移動の最大距離を増加させることができる。言い換えると、前記二つの構造の間に前記隙間ｈを設置し、前記共振片１７に共振時更に大幅な上下移動をさせることができる。なので、この前記流体アクチュエータ１３の流動設計を通じて圧力勾配をつくり、気体を高速流動させ、流動進出方向の抵抗の差異により、気体を吸入端部から排出端部に送り、空気輸送作業を完成させる。たとえ前記排出端部に気圧が有る状態でも、持続的に気体を前記流体通路に押す能力を有し、静音効果ももたらす。このように図５Ａ至図５Ｅの作動を繰返し、外から内方向への気体伝送をつくることができる。

以上により、本発明の提供するアクチュエータは、圧電片の高周波作動でつくられた流体波動が、設計後の流動中において圧力勾配をつくることにより、流体を高速流動させ、且つ流動進出方向の抵抗の差異を通じて、流体を吸入端から排出端に伝輸し、流体を高速流動させ、継続的に伝送させることで、流体を迅速的に伝送することができる。且つ同時に、静音効果をもたらし、更にアクチュエータの体積を小さく及び薄型化にできるので、軽くて便利なポータブル式の目的を達成させる。これ以外に、本発明は、吸気板の表面において、圧電板の電極にチタン酸ジコル酸鉛とグラフェンのドーピングで合成した塗料を塗布することで、最良の散熱と、圧電効果と、をもたらす。なので、本発明は、産業の価値を有し、法に基づいて申請を提出する。

本発明に属する技術分野において通常の知識を有する者であればさまざまな工夫と修飾が可能であるが、それらはいずれも本発明の特許請求の範囲が求める保護を逸脱するものではない。

１ アクチュエータ
１０ 第一チャンバ
１１ 懸吊板
１１ａ 凸部
１１ｂ 第二表面
１１ｃ 第一表面
１２ 外枠
１２ａ 第二表面
１２ｂ 第一表面
１２ｃ 導電ピン
１３ フレーム
１３ａ 第二表面
１３ｂ 第一表面
１４ 圧電片
１４ａ、１４ｂ 電極
１４ｃ 導熱層
１４ｄ ペースト層
１５ 空隙
１６ 吸気板
１６ａ 吸気孔
１６ｂ 合流排気孔
１６ｃ 中心凹部
１６ｄ 第一表面
１７ 共振片
１７ａ 可動部
１７ｂ 固定部
１７ｃ 中空孔
１８ａ、１８ｂ 絶縁片
１９ 導電片
１９ａ 導電ピン
ｈ 隙間

Claims (7)

1. アクチュエータであって、懸吊板と、外枠と、少なくとも一つのフレームと、圧電片と、を含み、
   前記懸吊板が、第一表面及び第二表面を備え、且つ湾曲振動をすることができ、
   前記外枠が、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、
   少なくとも一つの前記フレームが、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、
   前記圧電片が、チタン酸ジコル酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は０．１％〜２０％の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け、電圧を印加することで、前記懸吊板を駆動して屈折振動させることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記圧電片が、グラフェンン材をドーピングして合成した銀パラジウム合金の二つの電極を備え、その内の一つの記電極の表層が、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布した導熱層であり、もう一つの前記電極が、グラフェン材をドーピングして合成したエポキシ樹脂を塗布したペースト層であり、前記懸吊板の第一表面に取付けられていることを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 更に、吸気板と、共振片と、を含み、
   前記吸気板が、前記懸吊板の第二表面側に設置され、少なくとも一つの吸気孔と、少なくとも一つの合流排気孔と、合流を構成するチャンバと、中心凹部と、を備え、その内の少なくとも一つの前記吸気孔が気流を導入し、前記合流排気孔が前記吸気孔に対応し、且つ前記吸気孔の気流を導き、前記中心凹部が構成する前記合流チャンバに合流させ、
   前記共振片が、前記吸気板と、前記懸吊板と、の間に設置され、前記合流チャンバに対応する中空孔を備え、且つ前記中空孔の周囲が可動部であり、
   その内、前記共振片と、前記懸吊板と、前記フレームと、前記外枠と、の間に第一チャンバを形成する隙間を備え、前記圧電片を駆動し前記懸吊板を湾曲振動させる時、気流を前記吸気板の少なくとも一つの前記吸気孔から導入し、少なくとも一つの前記合流排気孔を経由して前記中心凹部に集め、再度前記共振片の前記中空孔を流れ、前記第一チャンバ内に進入させ、前記懸吊板と、前記共振片の可動部が共振することで、気流を伝送することを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記吸気板が、第一表面を備え、前記第一表面が、グラフェン材をドーピングして合成した塗料を塗布されていることを特徴とする、請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記懸吊板が正方形であり、凸部を備えることを特徴とする、請求項３に記載のアクチュエータ。
6. 前記アクチュエータが更に、導電片と、第一絶縁片及び第二絶縁片と、を含み、その内の前記吸気板と、前記共振片と、前記外枠と、前記第一絶縁片と、前記導電片及び前記第二絶縁片と、の順に積重ねって設置されることを特徴とする、請求項３に記載のアクチュエータ。
7. アクチュエータであって、少なくとも一つの懸吊板と、少なくとも一つの外枠と、少なくとも一つのフレームと、少なくとも一つの圧電片と、を含み、
   少なくとも一つの前記懸吊板が、第一表面及び第二表面を備え、且つ湾曲振動をすることができ、
   少なくとも一つの前記外枠が、前記懸吊板の外側を囲むように設置され、
   少なくとも一つの前記フレームが、前記懸吊板と、前記外枠と、の間に連接し、弾性支持を提供し、
   少なくとも一つの前記圧電片が、チタン酸ジコル酸鉛系列の圧電粉末がグラフェンをドーピングすることで作製され、且つ前記グラフェンの重量比は０．１％〜２０％の間であり、前記懸吊板の前記第一表面に取付け電圧を印加することで、前記懸吊板を駆動して湾曲振動させる、アクチュエータである。