JP2019015676A - Testing socket for electric conduction and method for testing electric conduction - Google Patents
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Abstract
【課題】試験前後の取付け・取外しが容易であり、大電流を流す通電試験に適用できる通電試験用ソケット及び通電試験方法を得る。【解決手段】樹脂からなる外枠1の上面に、素子の端子が差し込まれる凹部2が形成されている。金属製の受け部3が、凹部2の内側に形成され、少なくとも一部が外枠1の外側に露出している。はんだ5が凹部2に投入される。リード4が凹部2の内部のはんだ5に電気的に接続され、外枠1の外部に延びる。【選択図】図6PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an energization test socket and an energization test method which can be easily attached and detached before and after the test and can be applied to an energization test in which a large current flows. SOLUTION: A recess 2 into which a terminal of an element is inserted is formed on an upper surface of an outer frame 1 made of resin. The metal receiving portion 3 is formed inside the recess 2, and at least a part thereof is exposed to the outside of the outer frame 1. The solder 5 is put into the recess 2. The reed 4 is electrically connected to the solder 5 inside the recess 2 and extends to the outside of the outer frame 1. [Selection diagram] Fig. 6
Description
本発明は、電力半導体素子の信頼性評価などにおいて大電流を流す通電試験に適用できる通電試験用ソケット及び通電試験方法に関する。 The present invention relates to an energization test socket and an energization test method that can be applied to an energization test in which a large current flows in the reliability evaluation of a power semiconductor element.
通電試験用ソケットは、凹部を有する外枠と、凹部の内側に形成された金属製の受け部とを有する。半導体素子の端子を通電試験用ソケットの凹部に差し込んで受け部に接触させることで通電させる。その際、一般的なソケットは端子と受け部とが点接触するものであったが、凹部の内側に低融点金属を備えることで面接触させるものがあった(例えば、特許文献1参照)。通電試験は、1つの試験項目につき同時に複数個の半導体素子、例えば5個以上について実施する。通電試験は、事前にソケットを搭載した基板/冶具を準備することで、ソケットと素子端子の取付け・取外しだけで可能となる。 The socket for energization test has an outer frame having a concave portion and a metal receiving portion formed inside the concave portion. The semiconductor element is energized by inserting the terminal of the semiconductor element into the recess of the energization test socket and bringing it into contact with the receiving portion. At that time, a general socket has a point contact between a terminal and a receiving part, but there is a type in which a low melting point metal is provided inside a recess to make a surface contact (for example, refer to Patent Document 1). The energization test is performed on a plurality of semiconductor elements, for example, five or more simultaneously for one test item. The energization test can be performed only by attaching and removing the socket and the element terminal by preparing a board / jig on which the socket is mounted in advance.
しかし、一般的なソケットは固体金属同士の点接触のみで導電させているため、接触抵抗が無視できない。このため、約5Aの大電流を流すとソケット全体の温度が上昇し、樹脂からなる外枠が焼損するという問題があった。よって、大電流を流す場合は点接触方式のソケットを使用できないため、素子端子を直接はんだ付け等によって結線する必要があった。従って、試験前後の取付け・取外しに大きく時間を要し、手作業のため実施者によって接触具合のバラツキ又は断線が発生するという問題があった。そのため、特許文献1の図1又は図2に示された面接触を可能としたソケット(電気的相互接続装置)を使用することが考えられる。しかし、信頼性評価における通電試験では、複数の被試験素子の取り換えを繰り返し行う必要がある。このため、端子の挿抜に際して内蔵のヒーターを用いる特許文献1のソケットでは、被試験素子の端子数又は個数等に応じての効率的な作業に適さないという問題があった。
However, since a general socket conducts only by point contact between solid metals, contact resistance cannot be ignored. For this reason, when a large current of about 5 A is passed, the temperature of the entire socket rises and the outer frame made of resin is burned out. Therefore, since a point contact type socket cannot be used when a large current flows, it is necessary to connect the element terminals by direct soldering or the like. Therefore, it takes a lot of time to attach / remove before and after the test, and there is a problem in that the contact condition varies or the wire breaks due to manual work. Therefore, it is conceivable to use a socket (electrical interconnect device) that enables surface contact shown in FIG. 1 or FIG. However, in an energization test in reliability evaluation, it is necessary to repeatedly replace a plurality of devices under test. For this reason, the socket of
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は試験前後の取付け・取外しが容易であり、大電流を流す通電試験に適用できる通電試験用ソケット及び通電試験方法を得るものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems. The purpose of the present invention is to facilitate mounting and dismounting before and after the test, and an energization test socket and energization test method that can be applied to an energization test in which a large current flows. Is what you get.
本発明に係る通電試験用ソケットは、素子の端子が差し込まれる凹部が上面に形成された樹脂からなる外枠と、前記凹部の内側に形成され、少なくとも一部が前記外枠の外側に露出した金属製の受け部と、前記凹部の内部に投入されるはんだと、前記凹部の内部の前記はんだに電気的に接続され、前記外枠の外部に延びるリードとを備えることを特徴とする。 The socket for energization test according to the present invention is formed on the inner surface of the outer frame made of a resin having a concave portion into which the terminal of the element is inserted on the upper surface, and at least part of the outer frame is exposed to the outside of the outer frame. It is characterized by comprising: a metal receiving portion; a solder that is put into the concave portion; and a lead that is electrically connected to the solder inside the concave portion and extends to the outside of the outer frame.
本発明では、受け部の少なくとも一部が外枠の外側に露出している。このため、外部加熱手段の熱をはんだに効率よく伝えることができる。これにより、繰返しの利用が簡易となる。 In the present invention, at least a part of the receiving portion is exposed outside the outer frame. For this reason, the heat of the external heating means can be efficiently transferred to the solder. This simplifies repeated use.
図1は、本発明の実施の形態に係る通電試験用ソケットを示す断面図である。図2は、本発明の実施の形態に係る通電試験用ソケットを示す三面図である。樹脂からなる外枠1の上面に、はんだが投入され半導体素子の端子が差し込まれる凹部2が形成されている。外枠1の樹脂は、溶融したはんだを受け入れるため、250℃耐熱仕様である。なお、250℃耐熱仕様では、従来技術で問題となる接触抵抗による発熱には耐えられない。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an energization test socket according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a three-sided view showing an energization test socket according to an embodiment of the present invention. On the upper surface of the
導電性金属からなる受け部3が凹部2の内側に形成されている。受け部3の少なくとも一部は外枠1の上面まで延在して外枠1の外側に露出している。導電性金属からなる板状のリード4が凹部2の底面から外枠1の下面を通って外枠1の外部まで延びている。
A receiving
図3は、本発明の実施の形態に係る受け部及びリードを示す三面図である。受け部3はリード4と溶接されている。なお、リード4と受け部3を一体的に形成してもよい。これにより、ソケットの製造が容易となる。
FIG. 3 is a three-side view showing the receiving part and the lead according to the embodiment of the present invention. The
図4から図6は、本発明の実施の形態に係る通電試験方法を示す断面図である。まず、図4に示すように、凹部2の内部に固体のはんだ5を投入する。次に、図5に示すように、外枠1をドライヤーで加熱してはんだ5を融点以上まで熱して溶融させる。リード4は凹部2の内部のはんだ5に電気的に接続されている。
4 to 6 are cross-sectional views showing an energization test method according to the embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 4,
次に、図6に示すように、半導体素子の端子6を凹部2に差し込み、溶融したはんだ5を自然冷却して固体化させる。これにより、半導体素子の端子6を通電試験用ソケットに取り付け、はんだ5及びリード4を介して外部に電気的に接続することができる。この状態ではんだ5及びリード4を介して半導体素子に電流を流して通電試験を行う。通電試験の後に、外枠1をドライヤーなどの外部加熱手段で加熱してはんだ5を溶融させて、半導体素子の端子6を通電試験用ソケットから取り外す。
Next, as shown in FIG. 6, the terminal 6 of the semiconductor element is inserted into the
以上説明したように、本実施の形態では、半導体素子の端子6を凹部2に差し込んで溶融したはんだ5を冷却固体させるだけで、半導体素子の端子6をソケットに固定できる。また、加熱してはんだ5を溶融させるだけで半導体素子の端子6を取り外すことができる。よって、大電流を流す場合の従来の通電試験方法のような半導体素子の端子への直接の結線作業は不要であり、試験前後の取付け・取外しが容易である。また、従来のソケットのような固体金属同士の点接触ではなく、はんだ5が半導体素子の端子6を覆って面接触するため、接触抵抗が減少する。これにより、温度上昇によるソケットの焼損を防ぐことができるため、大電流を流す通電試験に適用できる。
As described above, in the present embodiment, the terminal 6 of the semiconductor element can be fixed to the socket simply by inserting the terminal 6 of the semiconductor element into the
また、受け部3を設けることにより、溶融したはんだ5の漏洩を防止することができる。受け部3の少なくとも一部が外枠1の外側に露出しているため、外部加熱手段の熱をはんだ5に効率よく伝えることができる。これにより、繰返しの利用が簡易となる。なお、外部加熱手段は上述のドライヤーに限られず、例えばはんだごてを外枠1の外側に露出した受け部3に直接接触させて加熱してもよい。
Further, by providing the
試験用途であるため、通電試験用ソケットへの半導体素子の端子6の取り付け・取り外しを何度も繰り返す必要が有る。そのたびに一部のはんだ5が半導体素子の端子6に付着して、凹部2の内部のはんだ5が減少する。従って、一定期間ごとに凹部2の内部にはんだ5を補充する必要がある。ただし、はんだ5の減少量にはばらつきがあるため、はんだ5を多量に投与して半導体素子の端子6の取り付け時にはんだ5が溢れてしまう可能性がある。そこで、隣接する2つの凹部2の間において外枠1の上面を突出させ、はんだ5が溢れて隣接する端子6間がショートするのを防いでいる。
Since it is a test application, it is necessary to repeat the attachment / detachment of the terminal 6 of the semiconductor element to the socket for energization test many times. Each time a part of the
図7は、本発明の実施の形態に係る通電試験方法の変形例を示す断面図である。ソケットのリード4を通電試験装置、又はその冶具の一部を構成する配線基板7などとはんだ8により接合することで、凹部2の内側と通電試験装置が電気的に接続される。このようにソケットを事前に通電試験装置又は配線基板7に接続しておくことで、試験前後には半導体素子の取付け・取外しのみとなるので簡易かつ短時間で通電試験を実施できる。ただし、はんだ8の融点は、ソケットの凹部2に投入したはんだ5の融点よりも高い。このため、外部加熱手段による加熱の際に、凹部2に投入したはんだ5のみを溶融させることができる。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a modification of the energization test method according to the embodiment of the present invention. By connecting the
なお、凹部2へ投入する導電性金属は、はんだ5に限らず、ある一定の高温で溶融し、100℃程度で固体となる接合材であればよい。例えばインジウム等で代用可能である。また、本実施の形態では半導体素子の端子が2つであり、それに合わせて凹部2とリード4が2つの場合を例として挙げたが、凹部2とリード4の数を増やすことで端子が2つより多い半導体素子にも対応することができる。
In addition, the conductive metal thrown into the
1 外枠、2 凹部、3 受け部、4 リード、5 はんだ、6 端子、7 通電試験装置の配線基板、8 はんだ 1 outer frame, 2 recess, 3 receiving part, 4 lead, 5 solder, 6 terminals, 7 circuit board for current test device, 8 solder
Claims (5)
前記凹部の内側に形成され、少なくとも一部が前記外枠の外側に露出した金属製の受け部と、
前記凹部の内部に投入されるはんだと、
前記凹部の内部の前記はんだに電気的に接続され、前記外枠の外部に延びるリードとを備えることを特徴とする通電試験用ソケット。 An outer frame made of resin in which a recess into which the terminal of the element is inserted is formed on the upper surface;
A metal receiving portion formed on the inside of the recess and at least a portion of which is exposed to the outside of the outer frame;
Solder to be put into the recess,
An electrical test socket, comprising: a lead electrically connected to the solder inside the recess and extending to the outside of the outer frame.
隣接する前記凹部の間において前記外枠の前記上面が突出していることを特徴とする請求項1に記載の通電試験用ソケット。 A plurality of the recesses and the leads are formed,
The socket for energization testing according to claim 1, wherein the upper surface of the outer frame protrudes between the adjacent recesses.
前記凹部の内部に第1の接合材を投入し、前記外枠を外部加熱手段で加熱して前記第1の接合材を溶融させる工程と、
素子の端子を前記凹部に差し込み、溶融した前記第1の接合材を冷却して固体化させて、前記素子の端子を前記通電試験用ソケットに取り付ける工程と、
前記第1の接合材及び前記リードを介して前記素子に電流を流して通電試験を行う工程と、
前記通電試験の後に、前記外枠をドライヤーで加熱して前記第1の接合材を溶融させて、前記素子の端子を前記通電試験用ソケットから取り外す工程とを備えることを特徴とする通電試験方法。 An outer frame made of a resin having a recess formed on the upper surface, a metal receiving portion formed inside the recess and exposed at least partially outside the outer frame, and connected to the recess, the outer frame Preparing a current test socket comprising a lead extending outside
Charging the first bonding material into the recess, heating the outer frame with an external heating means, and melting the first bonding material;
Inserting the terminal of the element into the recess, cooling and solidifying the melted first bonding material, and attaching the terminal of the element to the current test socket;
Conducting an energization test by passing a current through the element through the first bonding material and the lead;
And a step of heating the outer frame with a drier after the energization test to melt the first bonding material and detaching the terminal of the element from the energization test socket. .
前記通電試験において、前記通電試験装置から前記第1の接合材及び前記リードを介して前記素子に電流を流し、
前記第2の接合材の融点は前記第1の接合材の融点よりも高いことを特徴とする請求項4に記載の通電試験方法。 A step of joining the lead of the electricity test socket to the electricity test device with a second joining material;
In the current test, a current is passed from the current test device to the element through the first bonding material and the lead,
The energization test method according to claim 4, wherein the melting point of the second bonding material is higher than the melting point of the first bonding material.
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