JP2018509764A5 - ワークピース保持・加熱装置 - Google Patents

Description

第１の実施態様により、ワークピースを保持して加熱するための装置が開示される。このワークピース保持・加熱装置は、頂面、底面、並びに該頂面及び底面の間を延びる側壁を備えるプラテンと、第１の平面に配置される主ヒーターと、第２の平面に配置される第１の縁部ヒーターと、を備え、前記第２の平面は、前記第１の平面よりも前記頂面により近い。特定の実施態様において、第１の縁部ヒーターはプラテンの中に埋め込むことができる。他の実施態様において、第１の縁部ヒーターはプラテンの外面に取り付けられる。

第２の実施態様により、ワークピースを保持して加熱するための装置が開示される。このワークピース保持・加熱装置は、頂面、底面、並びに該頂面及び底面の間を延びる側壁を備えるプラテンであって、該側壁は、前記頂面に平行な第１の水平環状リング部分を備える、プラテンと、主ヒーターと、前記第１の水平環状リング部分に配置される第１の縁部ヒーターと、を備える。

図５は、プラテン５００内に配置される主ヒーター２１１を含む図３の実施形態の変形を示す。本実施形態において、プラテン５００は、各々が水平環状リング部分を創生する複数のノッチを有する。プラテン５００の側壁５０１は、先細部分５０２を有することができる。側壁５０１は、第１のノッチ５０３を有することができ、第１のノッチは、第１の水平環状リング部分５０４及び第１の垂直な壁５０５を創生する。さらに、側壁５０１は、第２のノッチ５０６を有することができ、第２のノッチは、第２の水平環状リング部分５０７及び第２の垂直な壁５０８を創生する。第２の垂直な壁５０８は、第２の水平環状リング部分５０７とプラテン５００の底面との間に延びる。もちろん、追加の水平環状リング部分を創生する追加のノッチも含めることができる。第１の水平環状リング部分５０４の上には、第１の縁部ヒーター５２０を配置することができる。第２の水平環状リング部分５０７の上には、第２の縁部ヒーター５２５を配置することができる。上述のように、プラテン５００の外縁により近い第１の水平環状リング部分５０４は、プラテン５００の外縁から更に先に配置される第２の水平環状リング部分５０７７よりも、頂面により近く配置される。追加の水平環状リング部分がある場合、各々は、その隣接部分よりも、頂面から少し先であろう。例えば、第１の水平環状リング部分５０４は、頂面より下に１〜２ｍｍに配置することができ、一方、第２の水平環状リング部分５０７は、プラテン５００の頂面より下に３〜４ｍｍに配置することができる。第１の縁部ヒーター５２０及び第２の縁部ヒーター５２５は、３〜１０ｍｍの幅とすることができる。

Claims (15)

1. 頂面、底面、並びに該頂面及び底面の間を延びる側壁を備えるプラテンと、
   第１の平面に配置される主ヒーターと、
   前記第１の平面よりも前記頂面により近い第２の平面に配置される第１の縁部ヒーターと、
   を備える、ワークピース保持・加熱装置。
2. 前記第１の平面、前記第２の平面及び前記頂面は、互いに平行である、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
3. 前記主ヒーターは、前記プラテンの前記底面に取り付けられる、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
4. 前記主ヒーターは、前記プラテンに埋設される、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
5. 前記第１の縁部ヒーターは、前記プラテンに埋め込まれる、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
6. 前記第１の縁部ヒーターは、前記プラテンの外面に取り付けられる、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
7. 前記第１の平面及び前記第２の平面と異なる第３の平面に配置される第２の縁部ヒーターを更に備え、
   前記頂面、前記第１の平面、前記第２の平面及び前記第３の平面は、全て平行である、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
8. 前記主ヒーター及び前記第１の縁部ヒーターは、独立に制御される、請求項１記載のワークピース保持・加熱装置。
9. 頂面、底面、並びに該頂面及び底面の間を延びる側壁を備えるプラテンであって、該側壁は、前記頂面に平行な第１の水平環状リング部分を備える、プラテンと、
   主ヒーターと、
   前記第１の水平環状リング部分に配置される第１の縁部ヒーターと、
   を備える、ワークピース保持・加熱装置。
10. 前記第１の縁部ヒーターはリング形状である、請求項９記載のワークピース保持・加熱装置。
11. 前記側壁は、前記頂面に平行な第２の水平環状リング部分を備え、
    前記ワークピース保持・加熱装置は、前記第２の水平環状リング部分に配置される第２の縁部ヒーターを更に備える、
    請求項９記載のワークピース保持・加熱装置。
12. 前記側壁は、
    前記頂面と前記第１の水平環状リング部分との間を延びる先細の部分と、
    前記第１の水平環状リング部分と前記底面との間を延びる垂直部分と、
    を更に備える、請求項９記載のワークピース保持・加熱装置。
13. 頂面、底面、並びに該頂面及び底面の間を延びる先細の側壁を備えるプラテンと、
    主ヒーターと、
    前記先細の側壁に平行に配置される縁部ヒーターと、
    を備える、ワークピース保持・加熱装置。
14. 前記縁部ヒーターは、前記先細の側壁に配置される、請求項１３記載のワークピース保持・加熱装置。
15. 前記縁部ヒーターは、前記プラテンに埋め込まれる、請求項１３記載のワークピース保持・加熱装置。