JP2018087956A - Method for producing colored cured film and method for forming pixel pattern of color filter - Google Patents
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Abstract
【課題】低温のポストベークでも、色移りし難く、耐溶剤性と基板との密着性の良好な着色硬化膜の製造方法を提供する。【解決手段】工程(1)〜(4)を含む着色硬化膜の製造方法。工程(1):基板上に、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成する工程、工程(2):工程(1)で得られた塗膜に、放射線(1)を照射する工程、工程(3):工程(2)で得られた塗膜を現像する工程、工程(4):工程(3)で得られた塗膜に放射線(2)を照射する工程、但し、放射線(1)と放射線(2)は、同一でも異なっていても良い。【選択図】なしThe present invention provides a method for producing a colored cured film which hardly undergoes color transfer even in low-temperature post-baking and has good solvent resistance and good adhesion to a substrate. A method for producing a colored cured film including steps (1) to (4). Step (1): a step of applying a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) a polymerizable compound, and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator on a substrate to form a coating film Step (2): irradiating the coating film obtained in Step (1) with radiation (1); Step (3): developing the coating film obtained in Step (2); Step (4) ): A step of irradiating the coating film obtained in step (3) with radiation (2), provided that radiation (1) and radiation (2) may be the same or different. [Selection diagram] None
Description
本発明は、着色硬化膜の製造方法及びカラーフィルタの画素パターンの形成方法に関する。 The present invention relates to a colored cured film manufacturing method and a color filter pixel pattern forming method.
カラーフィルタの製造方法としては、例えば、インクジェット方式、電着法、印刷法、フォトリソグラフィ法等が知られているが、近年ではフォトリソグラフィ法が主流となっている。フォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを製造する場合、例えば、基板上に着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成した後、所定の開口パターンを有するフォトマスクを介して放射線を露光し、次いで現像して未露光部分を溶解除去することにより、パターンを形成する方法が採用されている(特許文献1)。そして、パターン形成後は、耐熱性や耐溶剤性、基板への密着性、電気特性等の信頼性を確保するために、200〜250℃の温度で30〜60分程度ポストベークすることにより、塗膜の硬化を促進させるのが通常である。 As a method for producing a color filter, for example, an ink jet method, an electrodeposition method, a printing method, a photolithography method, and the like are known, but in recent years, a photolithography method has become mainstream. When producing a color filter by a photolithography method, for example, a colored radiation-sensitive composition is applied on a substrate to form a coating film, and then exposed to radiation through a photomask having a predetermined opening pattern, A method of forming a pattern by developing and removing unexposed portions by dissolution is employed (Patent Document 1). And after pattern formation, in order to ensure reliability, such as heat resistance and solvent resistance, adhesion to a substrate, and electrical properties, by post-baking at a temperature of 200 to 250 ° C. for about 30 to 60 minutes, It is usual to accelerate the curing of the coating film.
近年、フレキシブル表示装置が注目されており、従来のガラス基板からフレキシブルなプラスチック基板への代替が検討されている。しかしながら、プラスチック基板は一般に耐熱性が低く、200〜250℃のポストベーク温度ではプラスチック基板の伸長や収縮が起こりやすい。このようなプラスチック基板を用いる場合にはポストベークを行わないか、又はポストベークをより低い温度で行うことが考えられるが、塗膜の硬化が不十分となりやすいため、フォトリソグラフィ法により着色感放射線性着色組成物を重ね塗りしたときに、隣接する他色のパターンに色移りしたり、着色パターンの耐溶剤性や基板との密着性の低下等の問題が生ずる。 In recent years, flexible display devices have attracted attention, and replacement of a conventional glass substrate with a flexible plastic substrate has been studied. However, the plastic substrate generally has low heat resistance, and the plastic substrate tends to stretch or shrink at a post-bake temperature of 200 to 250 ° C. In the case of using such a plastic substrate, it is conceivable that post baking is not performed or post baking is performed at a lower temperature. When the coloring composition is overcoated, problems such as color transfer to the adjacent pattern of other colors, reduction in solvent resistance of the colored pattern, and adhesion to the substrate occur.
このような問題に対し、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を含有する構成単位の含有率が特定範囲内とした樹脂を含有するカラーフィルタ用感光性着色組成物を用いることにより、150℃以下の温度のポストベークでも、色移りし難く、耐溶剤性及び感度が良好な着色パターンを形成できることが報告されている(特許文献2、3)。 For such a problem, by using a photosensitive coloring composition for a color filter containing a resin in which the content of the structural unit containing an ethylenically unsaturated double bond in the side chain is within a specific range, 150 ° C. It has been reported that even after post-baking at the following temperatures, it is difficult to transfer colors and a colored pattern having good solvent resistance and sensitivity can be formed (Patent Documents 2 and 3).
本発明の課題は、ポストベークを行わないか又は低温のポストベークであっても、色移りし難く、耐溶剤性及び基板との密着性の良好な、着色硬化膜の製造方法及びカラーフィルタの画素パターンの形成方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method for producing a colored cured film and a color filter, which do not cause post-baking or are low-temperature post-baking, are difficult to transfer colors, and have good solvent resistance and adhesion to a substrate. The object is to provide a method of forming a pixel pattern.
本発明者らは、幅広い着色感放射線性組成物を用いて低温のポストベークであっても所望の着色パターンを形成可能な方法を開発すべく検討した結果、基板上に着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成し、該塗膜を露光して現像した後、特定の分光分布を有する放射線を用いたポスト露光を行うことにより、ポストベークを行わないか又は低温のポストベークであっても、色移りし難く、耐溶剤性及び基板との密着性が良好な着色パターンを形成できることを見出した。 The present inventors have studied to develop a method capable of forming a desired coloring pattern even after low-temperature post-baking using a wide range of colored radiation-sensitive compositions, and as a result, colored radiation-sensitive compositions on a substrate. After coating and forming a coating film, exposing and developing the coating film, by performing post-exposure using radiation having a specific spectral distribution, no post-baking or low-temperature post-baking Even if it exists, it discovered that a color pattern which was hard to transfer colors and had favorable solvent resistance and adhesiveness with a board | substrate could be formed.
即ち、本発明は、下記工程(1)〜(4)を含むことを特徴とする、着色硬化膜の製造方法を提供するものである。 That is, this invention provides the manufacturing method of a colored cured film characterized by including the following process (1)-(4).
本発明はまた、下記工程(1)〜(4)を含むことを特徴とする、カラーフィルタの画素パターンの形成方法を提供するものである。 The present invention also provides a method for forming a pixel pattern of a color filter, comprising the following steps (1) to (4).
本発明は更に、下記工程(1)〜(4)を含む工程により製造された着色硬化膜、該着色硬化膜(画素)を備えるカラーフィルタ、表示素子及び発光素子、並びにカラーフィルタを備える表示素子及び発光素子を提供するものである。 The present invention further includes a colored cured film produced by a process including the following steps (1) to (4), a color filter including the colored cured film (pixel), a display element and a light emitting element, and a display element including the color filter. And a light-emitting element.
工程(1):基板上に、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成する工程
工程(2):前記工程(1)で得られた塗膜に、放射線(1)を照射する工程
工程(3):前記工程(2)で得られた塗膜を現像する工程
工程(4):前記工程(3)で得られた塗膜に放射線(2)を照射する工程。
但し、放射線(1)と放射線(2)は、同一でも異なっていても良い。
Step (1): A step of applying a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) a polymerizable compound and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator on a substrate to form a coating film. Step (2): Step (3) for irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation (1) Step: Step (4) for developing the coating film obtained in the step (2) : A step of irradiating the coating film obtained in the step (3) with radiation (2).
However, the radiation (1) and the radiation (2) may be the same or different.
本発明によれば、ポストベークを行わないか又は低温のポストベークであっても、色移りし難く、耐溶剤性と基板との密着性が良好な、着色硬化膜の製造方法及びカラーフィルタの画素パターンの形成方法を提供することができる。 According to the present invention, a method for producing a colored cured film and a color filter that are difficult to transfer even when post-baking or low-temperature post-baking and that have good solvent resistance and adhesion to the substrate are provided. A method for forming a pixel pattern can be provided.
以下、本発明について詳細に説明する。
<着色硬化膜の製造方法>
本発明の着色硬化膜の製造方法は、工程(1)〜(4)を含むものである。着色硬化膜としては、表示素子や固体撮像素子に用いられる各色画素、層間絶縁膜、平坦化膜、発光層を形成するための領域を規定するバンク(隔壁)、ブラックマトリックス、スペーサー、保護膜等が挙げられる。また、表示素子としては、例えば、カラー液晶表示素子、有機EL素子、電子ペーパー等が挙げられ、固体撮像素子としては、例えば、CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等を挙げることができる。
以下、各工程について詳細に説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
<Method for producing colored cured film>
The method for producing a colored cured film of the present invention includes steps (1) to (4). Colored cured films include color pixels used in display elements and solid-state image sensors, interlayer insulating films, planarization films, banks (partitions) that define areas for forming light emitting layers, black matrices, spacers, protective films, etc. Is mentioned. Examples of the display element include a color liquid crystal display element, an organic EL element, and electronic paper. Examples of the solid-state imaging element include a CCD image sensor and a CMOS image sensor.
Hereinafter, each step will be described in detail.
−工程(1)−
工程(1)は、基板上に、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成する工程である。
(基板)
基板としては、可視光に対して透過率の高い透明基板が挙げられる。具体例としては、例えば、ホウ珪酸ガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、合成石英ガラス、ソーダライムガラス、ホワイトサファイア等のガラス基板;ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の樹脂製基板を挙げることができる。
また、基板として、発光素子が搭載された基板を用いてもよい。発光素子としては、例えば、発光ダイオード、半導体レーザ、有機EL素子等の固体発光素子が挙げられ、固体発光素子の表面は透明樹脂やシート等で被覆されていてもよい。基板としては、通常前述の透明基板が用いられ、ガラス基板でも、樹脂製基板でもよい。発光素子と基板とのボンディング形式は特に限定されず、例えば、導電性ペースト、熱伝導性シート、熱伝導性接着剤、両面テープ、半田等を適宜選択することができる。
中でも、基板としては、本発明の効果を享受しやすい点から、樹脂製基板、発光素子搭載基板が好ましい。
-Step (1)-
Step (1) forms a coating film by applying a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) a polymerizable compound, and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator on a substrate. It is a process.
(substrate)
Examples of the substrate include a transparent substrate having a high transmittance with respect to visible light. Specific examples include glass substrates such as borosilicate glass, aluminoborosilicate glass, alkali-free glass, quartz glass, synthetic quartz glass, soda lime glass, white sapphire; polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate. Examples of the resin substrate include:
Further, a substrate on which a light emitting element is mounted may be used as the substrate. As a light emitting element, solid light emitting elements, such as a light emitting diode, a semiconductor laser, and an organic EL element, are mentioned, for example, The surface of a solid light emitting element may be coat | covered with transparent resin, a sheet | seat, etc. As the substrate, the above-mentioned transparent substrate is usually used, and it may be a glass substrate or a resin substrate. The bonding type between the light emitting element and the substrate is not particularly limited, and for example, a conductive paste, a heat conductive sheet, a heat conductive adhesive, a double-sided tape, solder, or the like can be selected as appropriate.
Among these, as the substrate, a resin substrate and a light emitting element mounting substrate are preferable because the effects of the present invention can be easily obtained.
また、基板には、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理が施されていてもよく、またパネル化後の液晶駆動や有機EL発光のために、酸化インジウム、酸化錫等からなる透明電極が形成されていてもよい。更に、基板には、画素を形成する部分を区画するように遮光層(ブラックマトリックス)が形成されてもよい。遮光層としては、例えば、クロム、窒化チタニウム等の無機膜、クロム/酸化クロムの多層膜、遮光剤を分散した樹脂膜が挙げられる。また、黒色の感放射線性組成物を基板上に塗布し、フォトリソグラフィ法により所望のパターンを形成してもよい。遮光層の膜厚は、通常0.1〜0.2μmである。 Further, the substrate may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc. A transparent electrode made of indium oxide, tin oxide, or the like may be formed for liquid crystal driving or organic EL light emission. Further, a light shielding layer (black matrix) may be formed on the substrate so as to partition a portion where pixels are formed. Examples of the light shielding layer include inorganic films such as chromium and titanium nitride, multilayer films of chromium / chromium oxide, and resin films in which a light shielding agent is dispersed. Moreover, a black radiation sensitive composition may be apply | coated on a board | substrate and a desired pattern may be formed by the photolithographic method. The thickness of the light shielding layer is usually 0.1 to 0.2 μm.
(塗布)
着色感放射線性組成物の塗布方法としては公知の方法を採用することができる。例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バーコート法等が挙げられ、中でも、均一な膜厚の塗膜が得られる点から、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布後、プレベークを行うことができる。プレベークは、減圧乾燥と加熱乾燥とを組み合わせて行うことができる。減圧乾燥は、通常70〜110℃の温度で1〜15分間程度であり、好ましくは80〜100℃の温度で1〜10分間である。また、塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常0.6〜8μm、好ましくは1.2〜5μmである。
(Application)
As a method for applying the colored radiation-sensitive composition, a known method can be employed. For example, a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method and the like can be mentioned. Among these, a spin coating method, A slit die coating method is preferred.
After application, pre-baking can be performed. Pre-baking can be performed by combining vacuum drying and heat drying. The drying under reduced pressure is usually at a temperature of 70 to 110 ° C. for about 1 to 15 minutes, preferably at a temperature of 80 to 100 ° C. for 1 to 10 minutes. Moreover, the thickness of a coating film is 0.6-8 micrometers normally as a film thickness after drying, Preferably it is 1.2-5 micrometers.
また、基板上に着色感放射線性組成物の塗膜を形成する他の例として、インクジェット方式を採用してもよく、例えば、特開平7−318723号公報、特開2000−310706号公報等に記載の方法を挙げることができる。この方法においては、先ず基板上に、遮光機能も兼ねた隔壁を形成し、次いでこの隔壁内に着色感放射線性組成物をインクジェット装置により吐出する。その後、プレベークを行って溶媒を蒸発させる。プレベークの方法や条件は、前述と同様である。 In addition, as another example of forming a coating film of a colored radiation-sensitive composition on a substrate, an ink jet method may be adopted. For example, in JP-A-7-318723 and JP-A-2000-310706 The described method can be mentioned. In this method, a partition having a light shielding function is first formed on a substrate, and then a colored radiation-sensitive composition is discharged into the partition by an ink jet apparatus. Thereafter, pre-baking is performed to evaporate the solvent. The prebaking method and conditions are the same as described above.
また、基板上に着色感放射線性組成物の塗膜を形成する更なる例として、ドライフィルム法を採用することが可能であり、例えば、特開平9−5991号公報等に記載の方法が挙げられる。この方法においては、フィルム状の支持体上に、着色感放射線性組成物を塗布し、プレベークを行って有機溶剤を蒸発させることにより、支持体上に着色感放射線性組成物層が形成されたドライフィルムを製造する。そして、この着色感放射線性組成物層が形成された支持体を、ラミネーターを用いて基板にラミネートする。その後、着色感放射線性組成物層を支持体から剥離し、着色感放射線性組成物層を基板に転写する。支持体上に着色感放射線性組成物を塗布する方法や、プレベークの方法及び条件は、前述と同様である。 Further, as a further example of forming a coating film of a colored radiation-sensitive composition on a substrate, a dry film method can be employed, for example, a method described in JP-A-9-5991 and the like. It is done. In this method, the colored radiation-sensitive composition layer was formed on the support by coating the colored radiation-sensitive composition on the film-like support, pre-baking, and evaporating the organic solvent. Manufacture dry film. And the support body in which this colored radiation sensitive composition layer was formed is laminated on a board | substrate using a laminator. Thereafter, the colored radiation-sensitive composition layer is peeled from the support, and the colored radiation-sensitive composition layer is transferred to the substrate. The method for applying the colored radiation-sensitive composition on the support and the prebaking method and conditions are the same as described above.
−工程(2)−
工程(2)は、工程(1)で得られた塗膜に放射線(1)を照射、すなわちプレ露光する工程である。
工程(2)は、通常、工程(1)で得られた塗膜の少なくとも一部に、所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光すればよく、また走査露光を行ってもよい。なお、フォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
放射線(1)としては、例えば、g線、h線、i線、j線等の紫外線が挙げられる。中でも、色移りの抑制、並びに耐溶剤性及び基板との密着性の改善の観点から、g線、h線及びi線を含む放射線が好ましく、g線、h線、i線及びj線を含む放射線がより好ましい。なお、分光分布において、436nmのピークがg線であり、405nmのピークがh線であり、365nmのピークがi線であり、313nmのピークがj線である。
光源としては、超高圧、高圧、中圧、低圧の各水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、可視及び紫外の各種レーザ等を使用することができる。
露光量は、通常1〜1,000mJ/cm2であるが、所望の効果を高めるには、好ましくは5〜500mJ/cm2、より好ましくは10〜100mJ/cm2、更に好ましくは30〜60mJ/cm2である。
-Step (2)-
Step (2) is a step of irradiating the coating film obtained in step (1) with radiation (1), that is, pre-exposure.
In the step (2), at least a part of the coating film obtained in the step (1) may be usually exposed through a photomask having a predetermined pattern, or scanning exposure may be performed. In addition, the pattern shape on a photomask is not specifically limited, The pattern shape according to the intended use is used.
Examples of the radiation (1) include ultraviolet rays such as g-line, h-line, i-line, and j-line. Among these, from the viewpoints of suppressing color transfer and improving solvent resistance and adhesion to a substrate, radiation including g-line, h-line and i-line is preferable, and includes g-line, h-line, i-line and j-line. Radiation is more preferred. In the spectral distribution, the peak at 436 nm is the g-line, the peak at 405 nm is the h-line, the peak at 365 nm is the i-line, and the peak at 313 nm is the j-line.
As the light source, ultrahigh pressure, high pressure, medium pressure, low pressure mercury lamps, chemical lamps, carbon arc lamps, xenon lamps, metal halide lamps, various visible and ultraviolet lasers, and the like can be used.
The exposure amount is usually 1 to 1,000 mJ / cm 2 , but in order to enhance the desired effect, it is preferably 5 to 500 mJ / cm 2 , more preferably 10 to 100 mJ / cm 2 , and still more preferably 30 to 60 mJ. / Cm 2 .
−工程(3)−
工程(3)は、工程(2)で得られた塗膜を現像する工程である。
現像は、現像液を用いて、露光後の非硬化部(ネガ型の場合には非露光部)を溶解除去する。
現像液としては、非硬化部を溶解し硬化部を溶解しないものであればいかなるものも使用することができるが、例えば、種々の有機溶媒の組み合わせ、アルカリ水溶液を用いることができる。中でも、アルカリ水溶液が好ましい。アルカリ水溶液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が挙げられる。現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤、消泡剤、界面活性剤等を適量添加することもできる。
現像方法としては、例えば、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、例えば、常温で5〜300秒間とすることができる。
なお、現像液としてアルカリ水溶液を使用した場合には、現像後、通常水で洗浄する。また、洗浄後、例えば、圧縮空気や圧縮窒素等で塗膜を風乾させることもできる。
-Step (3)-
Step (3) is a step of developing the coating film obtained in step (2).
In the development, a developing solution is used to dissolve and remove the non-cured portion after exposure (non-exposed portion in the case of a negative type).
Any developer can be used as long as it dissolves the non-cured portion and does not dissolve the cured portion. For example, a combination of various organic solvents and an alkaline aqueous solution can be used. Among these, an alkaline aqueous solution is preferable. Examples of the alkaline aqueous solution include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo- An aqueous solution of [4.3.0] -5-nonene and the like can be mentioned. For example, an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, an antifoaming agent, or a surfactant can be added to the developer.
As the development method, for example, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions can be, for example, 5 to 300 seconds at room temperature.
When an alkaline aqueous solution is used as the developer, it is usually washed with water after development. Moreover, after washing | cleaning, a coating film can also be air-dried with compressed air, compressed nitrogen, etc., for example.
−工程(4)−
工程(4)は、工程(3)で得られた塗膜に放射線(2)を照射、すなわちポスト露光する工程である。
ポスト露光の露光量は、硬化性、耐溶剤性及び基板との密着性の向上、色移り抑制、並びに基板保護の観点から、200mJ/cm2以上が好ましく、500mJ/cm2以上がより好ましく、800mJ/cm2以上が更に好ましく、1000mJ/cm2以上が更に好ましく、1500mJ/cm2以上が更に好ましく、2000mJ/cm2以上がより更に好ましい。なお、露光量は、色材の光劣化抑制の観点から、10000mJ/cm2以下が好ましく、8000mJ/cm2以下がより好ましく、6000mJ/cm2以下が更に好ましい。かかる露光量の範囲としては、好ましくは200〜10000mJ/cm2、より好ましくは500〜10000mJ/cm2、更に好ましくは800〜8000mJ/cm2、更に好ましくは1000〜8000mJ/cm2、更に好ましくは1500〜6000mJ/cm2、更に好ましくは2000〜6000mJ/cm2である。ポスト露光に用いる光源は、プレ露光と同様のものが挙げられる。
-Step (4)-
Step (4) is a step of irradiating the coating film obtained in step (3) with radiation (2), that is, post-exposure.
The exposure amount of the post-exposure is preferably 200 mJ / cm 2 or more, more preferably 500 mJ / cm 2 or more, from the viewpoints of curability, solvent resistance and adhesion to the substrate, color transfer suppression, and substrate protection. more preferably 800 mJ / cm 2 or more, more preferably 1000 mJ / cm 2 or more, more preferably 1500 mJ / cm 2 or more, 2000 mJ / cm 2 or more and further preferably more. The exposure amount, from the viewpoint of photo-degradation suppression of colorant is preferably 10000 mJ / cm 2 or less, more preferably 8000 mJ / cm 2 or less, more preferably 6000 mJ / cm 2 or less. As the range of the exposure amount is preferably 200~10000mJ / cm 2, more preferably 500~10000mJ / cm 2, more preferably 800~8000mJ / cm 2, more preferably 1000~8000mJ / cm 2, more preferably 1500~6000mJ / cm 2, more preferably from 2000~6000mJ / cm 2. Examples of the light source used for the post-exposure include the same light sources as those used for the pre-exposure.
放射線(2)としては、プレ露光で使用する放射線(1)と同一でも、異なっていてもよく、例えば、プレ露光と同様に、g線、h線及びi線を含む放射線、あるいはg線、h線、i線及びj線を含む放射線を適用することができる。具体的には、放射線(2)として次の4通りの態様が存在する。
(I)放射線(1)と同一の分光分布を持つ放射線を、放射線(1)と同一の露光量で照射する態様。
(II)放射線(1)と同一の分光分布を持つ放射線を、放射線(1)とは異なる露光量で照射する態様。
(III)放射線(1)と異なる分光分布を持つ放射線を、放射線(1)と同一の露光量で照射する態様。
(IV)放射線(1)と異なる分光分布を持つ放射線を、放射線(1)とは異なる露光量で照射する態様。
The radiation (2) may be the same as or different from the radiation (1) used in the pre-exposure. For example, as in the pre-exposure, radiation including g-line, h-line and i-line, or g-line, Radiation including h-line, i-line and j-line can be applied. Specifically, there are the following four modes as the radiation (2).
(I) A mode in which radiation having the same spectral distribution as that of the radiation (1) is irradiated with the same exposure amount as that of the radiation (1).
(II) A mode in which radiation having the same spectral distribution as that of the radiation (1) is irradiated with an exposure amount different from that of the radiation (1).
(III) A mode in which radiation having a spectral distribution different from that of the radiation (1) is irradiated with the same exposure amount as that of the radiation (1).
(IV) A mode in which radiation having a spectral distribution different from that of the radiation (1) is irradiated with an exposure amount different from that of the radiation (1).
放射線(2)としては、色移りの抑制、耐溶剤性及び基板との密着性の改善の観点から、上記(III)又は(IV)の態様、即ち、放射線(1)と異なる分光分布を有することが好ましく、例えば、下記の放射線を挙げることができる。中でも、色移りの抑制、耐溶剤性及び基板との密着性の改善をより高水準で達成できる点で、(b)、(c)が好ましい。また、(A)着色剤が染料を含む場合、染料は一般に紫外線又は短波長可視光線を吸収して光分解することがあるため、短波長側に高強度の成分がより少ない放射線(c)が好ましい。
(a)放射線(1)と異なる分光分布を有する放射線であって、波長313nm(j線)におけるピーク強度が、波長365nm(i線)におけるピーク強度に対して、1/6以上1/3未満である放射線(例えば、後掲の実施例の放射線B)。
(b)放射線(1)と異なる分光分布を有する放射線であって、波長313nm(j線)におけるピーク強度が、波長365nm(i線)におけるピーク強度に対して、1/3以上である放射線(例えば、後掲の実施例の放射線C)。なお、かかる波長313nmにおけるピーク強度の上限は特に制限されないが、波長365nmにおけるピーク強度より小さいことが好ましく、より好ましくは3/4以下である。
(c)放射線(1)と異なる分光分布を有する放射線であって、波長405nm(h線)及び波長436nm(g線)を含み、波長313nm(j線)及び波長365nm(i線)におけるピーク強度が、波長405nm(h線)のピーク強度及び波長436nm(g線)のピーク強度のうち、より小さいピーク強度に対して1/4以下、好ましくは1/10以下、更に好ましくは1/20である放射線(例えば、後掲の実施例の放射線D)。なお、かかる波長313nm(j線)及び波長365nm(i線)におけるピーク強度の下限は特に制限されない。
この場合、放射線(1)は、波長365nm(i線)、波長405nm(h線)及び波長436nm(g線)を含む放射線であって、波長313nm(j線)におけるピーク強度が、波長365nm(i線)におけるピーク強度に対して1/6未満である放射線が好ましい。
The radiation (2) has a spectral distribution different from that of the above-mentioned (III) or (IV), that is, the radiation (1), from the viewpoint of suppression of color transfer, solvent resistance and improvement of adhesion to the substrate. Preferably, for example, the following radiation can be mentioned. Among these, (b) and (c) are preferable in that suppression of color transfer, solvent resistance, and improvement in adhesion to the substrate can be achieved at a higher level. In addition, when (A) the colorant contains a dye, the dye generally absorbs ultraviolet rays or short-wavelength visible light and may undergo photodecomposition, so that radiation (c) with less high-intensity components on the short-wavelength side is present. preferable.
(A) Radiation having a spectral distribution different from that of radiation (1), and the peak intensity at a wavelength of 313 nm (j line) is 1/6 or more and less than 1/3 of the peak intensity at a wavelength of 365 nm (i line) (For example, radiation B in the examples described later).
(B) Radiation having a spectral distribution different from that of radiation (1) and having a peak intensity at a wavelength of 313 nm (j-line) that is 1/3 or more of the peak intensity at a wavelength of 365 nm (i-line) ( For example, radiation C) in the examples described later. The upper limit of the peak intensity at a wavelength of 313 nm is not particularly limited, but is preferably smaller than the peak intensity at a wavelength of 365 nm, and more preferably 3/4 or less.
(C) Radiation having a spectral distribution different from that of radiation (1), including wavelength 405 nm (h line) and wavelength 436 nm (g line), and peak intensities at wavelength 313 nm (j line) and wavelength 365 nm (i line) However, the peak intensity at a wavelength of 405 nm (h line) and the peak intensity at a wavelength of 436 nm (g line) are 1/4 or less, preferably 1/10 or less, more preferably 1/20 with respect to a smaller peak intensity. Certain radiation (for example, radiation D in the examples below). The lower limit of the peak intensity at the wavelength 313 nm (j line) and the wavelength 365 nm (i line) is not particularly limited.
In this case, the radiation (1) is a radiation including a wavelength of 365 nm (i-line), a wavelength of 405 nm (h-line), and a wavelength of 436 nm (g-line), and a peak intensity at a wavelength of 313 nm (j-line) has a wavelength of 365 nm ( Radiation that is less than 1/6 of the peak intensity at i-line) is preferred.
このような分光特性を示す放射線は、例えば、上記のような分光特性を示す光源を用いるか、又は高圧水銀灯から放射された放射線に紫外線カットフィルタやバンドバスフィルタを介して得ることができる。 Radiation exhibiting such spectral characteristics can be obtained, for example, using a light source exhibiting spectral characteristics as described above, or radiation radiated from a high-pressure mercury lamp via an ultraviolet cut filter or a band-pass filter.
工程(4)においては、塗膜を加熱、すなわちポストベークしても良い。この場合、工程(3)で得られた塗膜を下記のi)又はii)に供することができる。すなわち、工程(4)においてポストベークを行う場合は、ポストベークとポスト露光を任意の順序で行うことができる。
i)加熱した後、放射線(2)を照射する。
ii)放射線(2)を照射した後、加熱する。
In the step (4), the coating film may be heated, that is, post-baked. In this case, the coating film obtained in the step (3) can be subjected to the following i) or ii). That is, when post-baking is performed in step (4), post-baking and post-exposure can be performed in an arbitrary order.
i) Radiation (2) is irradiated after heating.
ii) Heat after irradiation with radiation (2).
ポストベークは、パターニングされた塗膜を通常20〜150℃で加熱するが、硬化性、耐溶剤性及び基板との密着性の向上、色移り抑制、並びに基板保護の観点から、好ましくは40〜140℃、より好ましくは70〜130℃、更に好ましくは90〜120℃である。ポストベーク温度がこの範囲であれば、塗膜が十分硬化して耐溶剤性に優れる着色硬化膜を形成することができ、また、基板の収縮や変形が少なくなるので好ましい。更に、基板の収縮率とパターニングされた塗膜の収縮率との差が小さいので、パターニングされた塗膜が基板から剥離するおそれが小さくなる観点からも、好ましい。
加熱時間は加熱温度により適宜設定可能であるが、通常5〜120分、好ましくは10〜100分、より好ましくは15〜60分、更に好ましくは15〜40分である。
工程(4)においてポストベークを行う場合は、前述の通り、ポストベークとポスト露光を任意の順序で行うことができるが、密着性に優れる着色硬化膜を得る観点からは、ポストベークを先に行うのが好ましい。即ち、前記i)がより好ましい。
Post baking usually heats the patterned coating film at 20 to 150 ° C., but preferably 40 to 40 from the viewpoint of curability, solvent resistance and adhesion to the substrate, color transfer suppression, and substrate protection. It is 140 degreeC, More preferably, it is 70-130 degreeC, More preferably, it is 90-120 degreeC. If the post-baking temperature is within this range, a colored cured film having a sufficiently cured coating film and excellent solvent resistance can be formed, and shrinkage and deformation of the substrate are reduced, which is preferable. Furthermore, since the difference between the shrinkage ratio of the substrate and the shrinkage ratio of the patterned coating film is small, it is also preferable from the viewpoint of reducing the possibility that the patterned coating film peels from the substrate.
The heating time can be appropriately set depending on the heating temperature, but is usually 5 to 120 minutes, preferably 10 to 100 minutes, more preferably 15 to 60 minutes, and further preferably 15 to 40 minutes.
When post-baking is performed in step (4), as described above, post-baking and post-exposure can be performed in any order. From the viewpoint of obtaining a colored cured film having excellent adhesion, post-baking is performed first. Preferably it is done. That is, i) is more preferable.
このようにして、本発明の着色硬化膜の製造方法により形成された着色硬化膜を提供することができるが、着色硬化膜の膜厚は、通常0.5〜5μm、好ましくは1〜3μmである。得られた着色硬化膜は、耐溶剤性、基板との密着性が良好であり、剥がれを効果的に抑制することができる。また、着色感放射線性組成物を基板上に重ね塗りしたとしても、隣接する他色のパターンへの色移りが抑制されている。 Thus, although the colored cured film formed by the manufacturing method of the colored cured film of this invention can be provided, the film thickness of a colored cured film is 0.5-5 micrometers normally, Preferably it is 1-3 micrometers. is there. The obtained colored cured film has good solvent resistance and adhesion to the substrate, and can effectively prevent peeling. Further, even when the colored radiation-sensitive composition is overcoated on the substrate, the color transfer to the adjacent pattern of other colors is suppressed.
(着色感放射線性組成物)
次に、本発明の製造方法に用いられる着色感放射線性組成物について説明する。
着色感放射線性組成物は、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有するものであれば特に限定されず、公知のものを使用することができる。着色感放射線性組成物は、通常溶媒を配合して液状組成物として使用される。以下、着色感放射線性組成物の構成成分について説明する。
(Colored radiation-sensitive composition)
Next, the coloring radiation sensitive composition used for the manufacturing method of this invention is demonstrated.
The colored radiation-sensitive composition is not particularly limited as long as it contains (A) a colorant, (B) a polymerizable compound, and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator, and a known one may be used. it can. The colored radiation-sensitive composition is usually used as a liquid composition by blending a solvent. Hereinafter, the components of the colored radiation-sensitive composition will be described.
−(A)着色剤−
(A)着色剤としては特に限定されるものではなく、用途に応じて色彩や材質を適宜選択することが可能であり、顔料及び染料のいずれをも使用することができる。(A)着色剤は、1種又は2種以上を使用することができる。
-(A) Colorant-
(A) It is not specifically limited as a coloring agent, According to a use, it is possible to select a color and material suitably, and any of a pigment and dye can be used. (A) 1 type (s) or 2 or more types can be used for a coloring agent.
顔料としては、有機顔料及び無機顔料のいずれでもよく、有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメントに分類されている化合物を挙げることができ、具体的には特開2011−028219号公報の段落〔0014〕〜〔0016〕、特開2013−205832号公報の段落〔0028〕に記載の化合物を挙げることができる。 The pigment may be either an organic pigment or an inorganic pigment, and examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyer's and Colorists). Specific examples thereof include compounds described in paragraphs [0014] to [0016] of JP2011-028219A and paragraph [0028] of JP2013-205832.
また、無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等が挙げられる。 Examples of inorganic pigments include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide green. , Cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like.
これらの他、特表2011−523433号公報の式(Ic)で表されるブロモ化ジケトピロロピロール顔料を赤色顔料として使用することもできる。また、特開2001−081348号公報、特開2010−026334号公報、特開2010−191304号公報、特開2010−237384号公報、特開2010−237569号公報、特開2011−006602号公報、特開2011−145346号公報等に記載のレーキ顔料を挙げることができる。また、特表2012−515233号公報、特表2012−515234号公報、国際公開第2016/027798号の段落〔0019〕から〔0025〕等に記載のラクタム系顔料や、日本画像学会誌 第45巻 第4号 321−327ページ(2006)等に記載のペリレン系顔料を挙げることができる。 In addition to these, a brominated diketopyrrolopyrrole pigment represented by the formula (Ic) of JP-T-2011-523433 can also be used as a red pigment. JP-A-2001-081348, JP-A-2010-026334, JP-A-2010-191304, JP-A-2010-237384, JP-A-2010-237569, JP-A-2011-006602, Examples include lake pigments described in JP-A-2011-145346. Also, the lactam pigments described in paragraphs [0019] to [0025] of JP-T-2012-515233, JP-2012-515234, WO2016 / 027798, and Japanese Imaging Society Vol. 45 No. 4, pages 321 to 327 (2006), and the like.
このような顔料の中でもC.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド279、特表2011−523433号公報の式(Ic)で表されるブロモ化ジケトピロロピロール顔料等の赤色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン58、C.I.ピグメントグリーン59、C.I.ピグメントグリーン62、C.I.ピグメントグリーン63等の緑色顔料;
C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー16、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー79、C.I.ピグメントブルー80等の青色顔料;
C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー179、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185、C.I.ピグメントイエロー211、C.I.ピグメントイエロー215、C.I.ピグメントイエロー231等の黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ72等の橙色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29等の紫色顔料;
ペリレンブラック(C.I.ピグメントブラック31、C.I.ピグメントブラック32、BASF社製 Lumogen Black FK4280、同FK4281、Paliogen Black S0084、同L0086)、シアニンブラック、ファーストブラックHB(C.I.26150)、ラクタムブラック(BASF社製 Irgaphor Black S 0100 CF)等の黒色顔料
が好ましい。
Among these pigments, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment Red 279, red pigments such as brominated diketopyrrolopyrrole pigments represented by formula (Ic) of JP-T-2011-523433;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 58, C.I. I. Pigment green 59, C.I. I. Pigment green 62, C.I. I. Green pigments such as CI Pigment Green 63;
C. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 16, C.I. I. Pigment blue 60, C.I. I. Pigment blue 79, C.I. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 80;
C. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 129, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 179, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 185, C.I. I. Pigment yellow 211, C.I. I. Pigment yellow 215, C.I. I. Yellow pigments such as CI Pigment Yellow 231;
C. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 72;
C. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Purple pigments such as CI Pigment Violet 29;
Perylene Black (CI Pigment Black 31, CI Pigment Black 32, BASF Lumogen Black FK4280, FK4281, Palogen Black S0084, L0086), Cyanine Black, Fast Black HB (C.I.26150) Black pigments such as lactam black (Irgaphor Black S 0100 CF manufactured by BASF) are preferred.
(A)着色剤として顔料を使用する場合、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法又はこれらの組み合わせにより精製して使用することもできる。また、顔料は、所望により、その粒子表面を樹脂で改質して使用してもよい。また、有機顔料は、いわゆるソルトミリングにより、一次粒子を微細化して使用することができる。ソルトミリングの方法としては、例えば、特開平8−179111号公報に開示されている方法を採用することができる。また、公知の分散剤及び分散助剤から選ばれる少なくとも1種を更に含有させることもできる。 (A) When a pigment is used as the colorant, it can be purified by a recrystallization method, a reprecipitation method, a solvent washing method, a sublimation method, a vacuum heating method, or a combination thereof. Moreover, the pigment surface may be used by modifying the particle surface with a resin if desired. Further, the organic pigment can be used by refining primary particles by so-called salt milling. As a salt milling method, for example, a method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 8-179111 can be employed. Moreover, at least 1 sort (s) chosen from a well-known dispersing agent and a dispersing aid can further be contained.
染料としては、各種の油溶性染料、直接染料、酸性染料、金属錯体染料等の中から適宜選択することができ、例えば、下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付されているものを挙げることができる。 The dye can be appropriately selected from various oil-soluble dyes, direct dyes, acid dyes, metal complex dyes, and the like, and for example, the following color index (CI) names are given. Things can be mentioned.
C.I.ソルベントイエロー4、C.I.ソルベントイエロー14、C.I.ソルベントイエロー15、C.I.ソルベントイエロー24、C.I.ソルベントイエロー82、C.I.ソルベントイエロー88、C.I.ソルベントイエロー94、C.I.ソルベントイエロー98、C.I.ソルベントイエロー162、C.I.ソルベントイエロー179;
C.I.ソルベントレッド45、C.I.ソルベントレッド49;
C.I.ソルベントオレンジ2、C.I.ソルベントオレンジ7、C.I.ソルベントオレンジ11、C.I.ソルベントオレンジ15、C.I.ソルベントオレンジ26、C.I.ソルベントオレンジ56;
C.I.ソルベントブルー35、C.I.ソルベントブルー37、C.I.ソルベントブルー59、C.I.ソルベントブルー67;
C. I. Solvent Yellow 4, C.I. I. Solvent Yellow 14, C.I. I. Solvent Yellow 15, C.I. I. Solvent Yellow 24, C.I. I. Solvent Yellow 82, C.I. I. Solvent Yellow 88, C.I. I. Solvent Yellow 94, C.I. I. Solvent Yellow 98, C.I. I. Solvent Yellow 162, C.I. I. Solvent yellow 179;
C. I. Solvent Red 45, C.I. I. Solvent red 49;
C. I. Solvent Orange 2, C.I. I. Solvent Orange 7, C.I. I. Solvent Orange 11, C.I. I. Solvent Orange 15, C.I. I. Solvent Orange 26, C.I. I. Solvent orange 56;
C. I. Solvent Blue 35, C.I. I. Solvent Blue 37, C.I. I. Solvent Blue 59, C.I. I. Solvent blue 67;
C.I.アシッドイエロー17、C.I.アシッドイエロー29、C.I.アシッドイエロー40、C.I.アシッドイエロー76;
C.I.アシッドレッド91、C.I.アシッドレッド92、C.I.アシッドレッド97、C.I.アシッドレッド114、C.I.アシッドレッド138、C.I.アシッドレッド151;
C.I.アシッドオレンジ51、C.I.アシッドオレンジ63;
C.I.アシッドブルー80、C.I.アシッドブルー83、C.I.アシッドブルー90;
C.I.アシッドグリーン9、C.I.アシッドグリーン16、C.I.アシッドグリーン25、C.I.アシッドグリーン27。
C. I. Acid Yellow 17, C.I. I. Acid Yellow 29, C.I. I. Acid Yellow 40, C.I. I. Acid Yellow 76;
C. I. Acid Red 91, C.I. I. Acid Red 92, C.I. I. Acid Red 97, C.I. I. Acid Red 114, C.I. I. Acid Red 138, C.I. I. Acid Red 151;
C. I. Acid Orange 51, C.I. I. Acid Orange 63;
C. I. Acid Blue 80, C.I. I. Acid Blue 83, C.I. I. Acid Blue 90;
C. I. Acid Green 9, C.I. I. Acid Green 16, C.I. I. Acid Green 25, C.I. I. Acid Green 27.
これらの他、特開2012−214718号公報の段落〔0120〕に記載の式(I−1)で表されるシアニン染料を使用することもできる。 In addition to these, a cyanine dye represented by the formula (I-1) described in paragraph [0120] of JP2012-214718A can also be used.
(A)着色剤の含有量は、着色感放射線性組成物の固形分中に、通常5〜70質量%、好ましくは10〜60質量%である。ここでいう固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。また、着色剤が顔料と染料の両方を含む場合、顔料の含有割合は着色剤全体の25質量%以上であることが好ましく、35質量%以上であることがより好ましい。 (A) Content of a coloring agent is 5-70 mass% normally in solid content of a coloring radiation sensitive composition, Preferably it is 10-60 mass%. Solid content here is components other than the solvent mentioned later. Moreover, when a coloring agent contains both a pigment and dye, it is preferable that the content rate of a pigment is 25 mass% or more of the whole coloring agent, and it is more preferable that it is 35 mass% or more.
−(B)重合性化合物−
本明細書において「重合性化合物」とは、2個以上の重合可能な基を有する化合物をいう。重合可能な基としては、例えば、エチレン性不飽和基、オキシラニル基、オキセタニル基、N−アルコキシメチルアミノ基等を挙げることができる。(B)重合性化合物としては、2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物、又は2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物が好ましい。(B)重合性化合物は、1種又は2種以上を使用することができる。
-(B) Polymerizable compound-
In the present specification, the “polymerizable compound” refers to a compound having two or more polymerizable groups. Examples of the polymerizable group include an ethylenically unsaturated group, an oxiranyl group, an oxetanyl group, and an N-alkoxymethylamino group. (B) The polymerizable compound is preferably a compound having two or more (meth) acryloyl groups or a compound having two or more N-alkoxymethylamino groups. (B) 1 type (s) or 2 or more types can be used for a polymeric compound.
2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物〔多官能(メタ)アクリレート〕、カプロラクトン変性された多官能(メタ)アクリレート、アルキレンオキサイド変性された多官能(メタ)アクリレート、水酸基を有する(メタ)アクリレートと多官能イソシアネートとの反応物〔多官能ウレタン(メタ)アクリレート〕、水酸基を有する(メタ)アクリレートと酸無水物との反応物〔カルボキシル基を有する多官能(メタ)アクリレート〕等を挙げることができる。多官能(メタ)アクリレートの具体例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有する多官能(メタ)アクリレートの具体例としては、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレートと無水こはく酸との反応物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートと無水こはく酸との反応物等を挙げることができる。 As the compound having two or more (meth) acryloyl groups, a reaction product of an aliphatic polyhydroxy compound and (meth) acrylic acid [polyfunctional (meth) acrylate], a caprolactone-modified polyfunctional (meth) acrylate, Alkylene oxide-modified polyfunctional (meth) acrylate, reaction product of (meth) acrylate having hydroxyl group and polyfunctional isocyanate [polyfunctional urethane (meth) acrylate], (meth) acrylate having hydroxyl group and acid anhydride A reaction product [polyfunctional (meth) acrylate having a carboxyl group] and the like can be mentioned. Specific examples of the polyfunctional (meth) acrylate include trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and the like. Specific examples of the polyfunctional (meth) acrylate having a carboxyl group include a reaction product of pentaerythritol triacrylate and succinic anhydride, a reaction product of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic anhydride, and the like. .
また、2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物としては、例えば、メラミン構造、ベンゾグアナミン構造、ウレア構造を有する化合物等を挙げることができる。なお、メラミン構造、ベンゾグアナミン構造とは、1以上のトリアジン環又はフェニル置換トリアジン環を基本骨格として有する化学構造をいい、メラミン、ベンゾグアナミン又はそれらの縮合物をも含む概念である。2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物の具体例としては、N,N,N’,N’,N’’,N’’−ヘキサ(アルコキシメチル)メラミン、N,N,N’,N’−テトラ(アルコキシメチル)ベンゾグアナミン、N,N,N’,N’−テトラ(アルコキシメチル)グリコールウリル等を挙げることができる。 Examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include compounds having a melamine structure, a benzoguanamine structure, and a urea structure. The melamine structure and the benzoguanamine structure refer to a chemical structure having one or more triazine rings or phenyl-substituted triazine rings as a basic skeleton, and is a concept including melamine, benzoguanamine or a condensate thereof. Specific examples of the compound having two or more N-alkoxymethylamino groups include N, N, N ′, N ′, N ″, N ″ -hexa (alkoxymethyl) melamine, N, N, N ′. , N′-tetra (alkoxymethyl) benzoguanamine, N, N, N ′, N′-tetra (alkoxymethyl) glycoluril and the like.
(B)重合性化合物の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常10〜1,000質量部、好ましくは20〜700質量部である。 (B) Content of a polymeric compound is 10-1,000 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 20-700 mass parts.
−(C)感放射線性重合開始剤−
(C)感放射線性重合開始剤は、放射線の露光により、(B)重合性化合物の硬化反応を開始し得る活性種を発生する化合物である。(C)感放射線性重合開始剤は、1種又は2種以上を使用することができる。
-(C) Radiation sensitive polymerization initiator-
(C) The radiation-sensitive polymerization initiator is a compound that generates an active species capable of initiating a curing reaction of the polymerizable compound (B) by exposure to radiation. (C) 1 type (s) or 2 or more types can be used for a radiation sensitive polymerization initiator.
(C)感放射線性重合開始剤としては、例えば、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物又はイミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。
なお、(C)感放射線性重合開始剤は、公知の増感剤や水素供与体と併用することができる。
(C) Examples of the radiation sensitive polymerization initiator include thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, and benzophenone compounds. , Α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, and the like.
In addition, (C) radiation sensitive polymerization initiator can be used together with a well-known sensitizer and a hydrogen donor.
(C)感放射線性重合開始剤の含有量は、(B)重合性化合物100質量部に対して、通常0.01〜120質量部、好ましくは1〜100質量部である。 (C) Content of a radiation sensitive polymerization initiator is 0.01-120 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (B) polymeric compounds, Preferably it is 1-100 mass parts.
−(D)感放射線性酸発生剤−
(D)感放射線性酸発生剤は、放射線の露光により、酸を発生する化合物である。(D)感放射線性酸発生剤は、1種又は2種以上を使用することができる。
-(D) Radiation sensitive acid generator-
(D) A radiation-sensitive acid generator is a compound that generates an acid upon exposure to radiation. (D) 1 type (s) or 2 or more types can be used for a radiation sensitive acid generator.
(D)感放射線性酸発生剤としては、波長300nm以上、好ましくは波長300〜450nmの光に感応して酸を発生する化合物が好ましいが、その化学構造が制限されるものではない。また、波長300nm以上の光に直接感応しない感放射線性酸発生剤についても、増感剤と併用することによって波長300nm以上の光に感応し、酸を発生する化合物であれば、増感剤と組み合わせて好ましく用いることができる。 (D) The radiation-sensitive acid generator is preferably a compound that generates an acid in response to light having a wavelength of 300 nm or more, preferably 300 to 450 nm, but its chemical structure is not limited. In addition, a radiation-sensitive acid generator that does not directly respond to light having a wavelength of 300 nm or more can be used as a sensitizer as long as it is a compound that reacts with light having a wavelength of 300 nm or more and generates an acid when used in combination with a sensitizer. It can be preferably used in combination.
(D)感放射線性酸発生剤の例としては、トリクロロメチル−s−トリアジン類、スルホニウム塩やヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、オキシムスルホネート化合物等を挙げることができる。これらの中でも、トリアジン類を用いることが好ましい。(D)感放射線性酸発生剤は、1種又は2種以上を組み合わせて使用することができる。トリクロロメチル−s−トリアジン類、ジアリールヨードニウム塩類、トリアリールスルホニウム塩類、第四級アンモニウム塩類、及びジアゾメタン誘導体の具体例としては、特開2011−221494号公報の段落番号〔0083〕〜〔0088〕に記載の化合物が例示できる。 (D) Examples of the radiation sensitive acid generator include trichloromethyl-s-triazines, sulfonium salts and iodonium salts, quaternary ammonium salts, diazomethane compounds, imide sulfonate compounds, oxime sulfonate compounds, and the like. . Among these, it is preferable to use triazines. (D) A radiation sensitive acid generator can be used 1 type or in combination of 2 or more types. Specific examples of trichloromethyl-s-triazines, diaryliodonium salts, triarylsulfonium salts, quaternary ammonium salts, and diazomethane derivatives include paragraphs [0083] to [0088] of JP2011-221494A. The compounds described can be exemplified.
(D)感放射線性酸発生剤の含有量は、(C)感放射線性重合開始剤100質量部に対して、10〜100質量部が好ましく、30〜80質量部がより好ましい。 (D) As for content of a radiation sensitive acid generator, 10-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of (C) radiation sensitive polymerization initiators, and 30-80 mass parts is more preferable.
−バインダー樹脂−
着色感放射線性組成物には、バインダー樹脂を含有することができる。バインダー樹脂は特に限定されるものではないが、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する樹脂であることが好ましい。中でも、カルボキシル基を有する重合体(以下、「カルボキシル基含有重合体」とも称する。)が好ましく、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和単量体(b1)」とも称する。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「不飽和単量体(b2)」とも称する。)との共重合体がより好ましく、不飽和単量体(b1)と含酸素飽和ヘテロ環基を有するエチレン性不飽和単量体との共重合体が更に好ましい。含酸素飽和ヘテロ環基としては、例えば、環を構成する原子数が3〜7個の環状エーテル基が挙げられ、その具体例としては、オキシラニル基、オキセタニル基、テトラヒドロフラニル基、3,4−エポキシシクロヘキシル基、テトラヒドロピラニル基等を挙げることができる。
-Binder resin-
The colored radiation-sensitive composition can contain a binder resin. The binder resin is not particularly limited, but is preferably a resin having an acidic functional group such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Among them, a polymer having a carboxyl group (hereinafter also referred to as “carboxyl group-containing polymer”) is preferable, and an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter referred to as “unsaturated monomer ( b1) ") and other copolymerizable ethylenically unsaturated monomers (hereinafter also referred to as" unsaturated monomer (b2) ") are more preferred. More preferred is a copolymer of the monomer (b1) and an ethylenically unsaturated monomer having an oxygen-containing saturated heterocyclic group. Examples of the oxygen-containing saturated heterocyclic group include cyclic ether groups having 3 to 7 atoms constituting the ring, and specific examples thereof include oxiranyl group, oxetanyl group, tetrahydrofuranyl group, 3,4- Examples thereof include an epoxycyclohexyl group and a tetrahydropyranyl group.
不飽和単量体(b1)としては、例えば、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、p−ビニル安息香酸等を挙げることができる。
不飽和単量体(b1)は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
Examples of the unsaturated monomer (b1) include (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], and ω-carboxypolycaprolactone mono (meth). Examples thereof include acrylate and p-vinylbenzoic acid.
An unsaturated monomer (b1) can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.
また、不飽和単量体(b2)としては、例えば、
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドの如きN−置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、アセナフチレンの如き芳香族ビニル化合物;
Moreover, as an unsaturated monomer (b2), for example,
N-substituted maleimides such as N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, p-hydroxystyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, p-vinylbenzylglycidyl ether, acenaphthylene;
メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ポリエチレングルコール(重合度2〜10)メチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリプロピレングルコール(重合度2〜10)メチルエーテル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(重合度2〜10)モノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(重合度2〜10)モノ(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレートの如き(メタ)アクリル酸エステル;
グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、特開2013−203955号公報の段落〔0076〕〜〔0080〕に記載の化合物、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、3−〔(メタ)アクリロイルオキシメチル〕−3−エチルオキセタンの如き含酸素飽和ヘテロ環基を有する(メタ)アクリレート
シクロヘキシルビニルエーテル、イソボルニルビニルエーテル、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルビニルエーテル、ペンタシクロペンタデカニルビニルエーテル、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタンの如きビニルエーテル;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
不飽和単量体(b2)は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
Methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, polyethylene Glycol (degree of polymerization 2-10) methyl ether (meth) acrylate, polypropylene glycol (degree of polymerization 2-10) methyl ether (meth) acrylate, polyethylene glycol (degree of polymerization 2-10) mono (meth) acrylate, polypropylene glycol (degree of polymerization 2 to 10) mono (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6] decan-8-yl (meth) acrylate, Jishikurope Thenyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl such phenyl (meth) acrylate (meth) acrylic acid ester;
Glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, compounds described in paragraphs [0076] to [0080] of JP2013-203955, 3-[(meth) acryloyloxymethyl] oxetane , (Meth) acrylate cyclohexyl vinyl ether, isobornyl vinyl ether, tricyclo [5.2.1.0 2,6 having an oxygen-containing saturated heterocyclic group such as 3-[(meth) acryloyloxymethyl] -3-ethyloxetane. ] Vinyl ethers such as decan-8-yl vinyl ether, pentacyclopentadecanyl vinyl ether, 3- (vinyloxymethyl) -3-ethyloxetane;
Examples thereof include a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
An unsaturated monomer (b2) can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.
バインダー樹脂の酸価は、好ましくは10〜200mgKOH/g、より好ましくは30〜270mgKOH/g、更に好ましくは50〜250mgKOH/gである。ここで、「酸価」とは、バインダー樹脂の固形分1gを中和するのに必要なKOHのmg数を表す。
本発明において、バインダー樹脂は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
また、バインダー樹脂は、重量平均分子量(Mw)が、通常1,000〜100,000、好ましくは3,000〜50,000である。更に、バインダー樹脂の重量平均分子量(Mw)と、数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)は、好ましくは1.0〜5.0、より好ましくは1.0〜3.0である。ここでいう、Mw、Mnは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量、数平均分子量をいう。
The acid value of the binder resin is preferably 10 to 200 mgKOH / g, more preferably 30 to 270 mgKOH / g, and still more preferably 50 to 250 mgKOH / g. Here, the “acid value” represents the number of mg of KOH required to neutralize 1 g of the solid content of the binder resin.
In this invention, binder resin can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.
The binder resin has a weight average molecular weight (Mw) of usually 1,000 to 100,000, preferably 3,000 to 50,000. Furthermore, the ratio (Mw / Mn) of the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the binder resin is preferably 1.0 to 5.0, more preferably 1.0 to 3.0. is there. Here, Mw and Mn are polystyrene-reduced weight average molecular weight and number average molecular weight measured by gel permeation chromatography (elution solvent: tetrahydrofuran).
バインダー樹脂の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常10〜1,000質量部、好ましくは20〜500質量部である。 Content of binder resin is 10-1,000 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 mass parts.
−溶媒−
溶媒としては、着色感放射線性組成物を構成する各成分を分散又は溶解し、且つこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。溶媒は、1種又は2種以上を使用することができる。
-Solvent-
The solvent may be appropriately selected and used as long as each component constituting the colored radiation-sensitive composition is dispersed or dissolved and does not react with these components and has appropriate volatility. it can. 1 type (s) or 2 or more types can be used for a solvent.
溶媒としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル;乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル;エタノール、プロパノール、2−エチルヘキサノール、シクロヘキサノール等の(シクロ)アルキルアルコール;ジアセトンアルコール等のケトアルコール;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;テトラヒドロフラン等の環状エーテル;メチルエチルケトン等のケトン;プロピレングリコールジアセテート等のジアセテート;3−メトキシプロピオン酸メチル等のアルコキシカルボン酸エステル;酢酸エチル等の脂肪酸アルキルエステル;トルエン等の芳香族炭化水素;N,N−ジメチルホルムアミド等のアミド;ラクタム等を挙げることができる。中でも、(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル、
(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが好ましい。
Examples of the solvent include (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether; lactic acid alkyl esters such as ethyl lactate; (ethanol, propanol, 2-ethylhexanol, cyclohexanol and the like ( Cyclo) alkyl alcohols; keto alcohols such as diacetone alcohol; (poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; cyclic ethers such as tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone; propylene glycol Diacetates such as diacetate; Alkoxycals such as methyl 3-methoxypropionate Phosphate esters; fatty acid alkyl esters such as ethyl acetate, aromatic such as toluene hydrocarbons; N, N-amides such as dimethylformamide; can be exemplified lactam. Among them, (poly) alkylene glycol monoalkyl ether,
(Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetate is preferred.
溶媒の含有量は特に限定されるものではないが、着色感放射線性組成物から溶媒を除いた各成分の合計濃度が、5〜50質量%となる量が好ましく、10〜40質量%となる量が更に好ましい。 The content of the solvent is not particularly limited, but the total concentration of each component excluding the solvent from the colored radiation-sensitive composition is preferably 5 to 50% by mass, and preferably 10 to 40% by mass. A more preferred amount.
−添加剤−
本発明の着色感放射線性組成物は、必要に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。
添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;マロン酸、アジピン酸、アミノエタノール、アミノプロパノール、アミノプロパンジオール等の残渣改善剤;こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の現像性改善剤等を挙げることができる。
-Additives-
The colored radiation-sensitive composition of the present invention can contain various additives as necessary.
Examples of additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylates); surfactants such as fluorosurfactants and silicone surfactants; vinyl Adhesion promoters such as trimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-t) -Butylphenol), antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol; ultraviolet light such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenones Absorbent; Anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate; Malonic acid, adipic acid, amino Residue improvers such as ethanol, aminopropanol, aminopropanediol; developability improvers such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, etc. it can.
本発明の着色感放射線性組成物は、適宜の方法により調製することができる。例えば、(A)〜(C)成分を、溶媒や任意的に加えられる他の成分と共に、ビーズミル、ロールミル等を用いて混合・分散することにより調製することができる。 The colored radiation-sensitive composition of the present invention can be prepared by an appropriate method. For example, the components (A) to (C) can be prepared by mixing and dispersing together with a solvent and other components optionally added using a bead mill, a roll mill or the like.
<カラーフィルタの画素パターンの形成方法>
本発明のカラーフィルタの画素パターンの形成方法は、前述の本発明の着色硬化膜の製造方法と同様に、工程(1)〜(4)を含むものである。例えば、赤色、緑色及び青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを製造するには、先ず赤色の感放射線性着色組成物を用いて工程(1)〜(4)に供することにより赤色の画素パターンを形成し、次いで緑色の感放射線性着色組成物を用いて、赤色の画素パターンが形成された基板に対して工程(1)〜(4)に供することにより緑色の画素パターンを形成し、そして青色の感放射線性着色組成物を用いて、赤色及び緑色の画素パターンが形成された基板に対して工程(1)〜(4)に供することにより緑色の画素パターンを形成する。なお、各色の画素パターンを基板上に形成する順序は、前述の例に限定されず、適宜変更することができる。また、工程(1)〜(4)の具体的態様、及び着色感放射線性着色組成物の具体的態様は、前述の着色硬化膜の製造方法において説明したとおりである。
<Method for forming pixel pattern of color filter>
The method for forming the pixel pattern of the color filter of the present invention includes steps (1) to (4), as in the method for producing a colored cured film of the present invention. For example, in order to manufacture a color filter in which a pixel array of three primary colors of red, green, and blue is arranged on a substrate, first, it is subjected to steps (1) to (4) using a red radiation-sensitive colored composition. A red pixel pattern is then formed, and then a green pixel pattern is obtained by subjecting the substrate on which the red pixel pattern is formed to steps (1) to (4) using a green radiation-sensitive colored composition. And using the blue radiation-sensitive coloring composition, the green pixel pattern is formed by subjecting the substrate on which the red and green pixel patterns are formed to steps (1) to (4). . Note that the order in which the pixel patterns of the respective colors are formed on the substrate is not limited to the above example, and can be changed as appropriate. Moreover, the specific aspect of process (1)-(4) and the specific aspect of a colored radiation-sensitive coloring composition are as having demonstrated in the manufacturing method of the above-mentioned colored cured film.
また、カラーフィルタを構成する画素パターンは、赤色、緑色及び青色に限られるものではなく、黄色、マゼンダ色及びシアン色を三原色とする画素パターンとしてもよい。また、三原色の画素に対応する着色パターンに加えて、第4の着色パターンや第5の着色パターンを形成することもできる。例えば、特表2005−523465号公報等に開示されているように、赤色、緑色及び青色の三原色の画素に対応する着色パターンに加え、表色範囲を広げるための第4の画素(黄色画素)や第5の画素(シアン画素)を配置することができる。 The pixel pattern constituting the color filter is not limited to red, green, and blue, but may be a pixel pattern having three primary colors of yellow, magenta, and cyan. In addition to the coloring patterns corresponding to the pixels of the three primary colors, a fourth coloring pattern and a fifth coloring pattern can also be formed. For example, as disclosed in JP-T-2005-523465, etc., a fourth pixel (yellow pixel) for expanding the color specification range in addition to the coloring patterns corresponding to the three primary color pixels of red, green, and blue And a fifth pixel (cyan pixel) can be arranged.
このようにして形成された画素パターンの膜厚は、通常0.5〜5μm、好ましくは1〜3μmである。得られた画素パターンは、耐溶剤性、基板との密着性が良好であり、また端部の断面が矩形又はテーパー形状であるため、剥がれを効果的に抑制することができる。また、着色感放射線性組成物を基板上に重ね塗りしたとしても、隣接する他色のパターンへの色移りを十分に抑制することができる。 The film thickness of the pixel pattern thus formed is usually 0.5 to 5 μm, preferably 1 to 3 μm. The obtained pixel pattern has good solvent resistance and adhesion to the substrate, and has a rectangular or tapered cross-section at the end, so that peeling can be effectively suppressed. Further, even if the colored radiation-sensitive composition is overcoated on the substrate, the color transfer to the adjacent other color pattern can be sufficiently suppressed.
また、画素パターン上には、表示素子の表示特性を高めるために、更に保護膜を設けてもよい。保護膜としては、硬化性組成物から形成される有機膜、SiNx膜及びSiOx膜等の無機膜、有機無機ハイブリッド膜等を挙げることができる。なお、保護膜を形成方法としては、例えば、特開平4−53879号公報、特開平6−192389号公報、特開平3−188153号公報、特開平4−53879号公報、特開平6−192389号公報、特開平8−183819号公報、特開2006−195420号公報、特開2008−208342号公報等に記載の方法が挙げられる。 Further, a protective film may be further provided on the pixel pattern in order to improve display characteristics of the display element. Examples of the protective film include organic films formed from curable compositions, inorganic films such as SiNx films and SiOx films, and organic-inorganic hybrid films. As a method for forming the protective film, for example, JP-A-4-53879, JP-A-6-192389, JP-A-3-188153, JP-A-4-53879, JP-A-6-192389. Examples thereof include methods described in JP-A-8-183819, JP-A 2006-195420, JP-A 2008-208342, and the like.
本発明の製造方法は、例えば、カラー液晶表示素子用カラーフィルタ、固体撮像素子の色分解用カラーフィルタ、有機EL素子用カラーフィルタ、電子ペーパー用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフィルタの製造に好適である。例えば、本発明の製造方法により形成された着色硬化膜(画素)を備えるカラーフィルタをはじめ、該カラーフィルタを備える表示素子及び発光素子、更には本発明の製造方法により形成された着色硬化膜(例えば、層間絶縁膜、平坦化膜、発光層を形成するための領域を規定するバンク(隔壁)、ブラックマトリックス、スペーサー又は保護膜を備える表示素子や発光素子を提供することができる。また、本発明は、発光素子搭載基板を備える照明装置も提供することができる。 The manufacturing method of the present invention is used for manufacturing various color filters including, for example, color filters for color liquid crystal display elements, color filters for color separation of solid-state imaging elements, color filters for organic EL elements, and color filters for electronic paper. Is preferred. For example, a color filter including a colored cured film (pixel) formed by the manufacturing method of the present invention, a display element and a light emitting element including the color filter, and a colored cured film formed by the manufacturing method of the present invention ( For example, a display element or a light-emitting element including an interlayer insulating film, a planarization film, a bank (partition wall) that defines a region for forming a light-emitting layer, a black matrix, a spacer, or a protective film can be provided. The invention can also provide an illumination device including a light emitting element mounting substrate.
カラー液晶表示素子は、例えば、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)が配置された駆動用基板と、本実施の形態のカラーフィルタが設けられた別の基板とが、液晶層を介して対向する構造とすることができる。また、カラー液晶表示素子は、薄膜トランジスタ(TFT)が配置された駆動用基板の表面上に本実施の形態のカラーフィルタを形成した基板と、ITO(Indium Tin Oxide:錫をドープした酸化インジュウム)電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造とすることもできる。 カラー液晶表示素子は、バックライトユニットを具備する。バックライトユニットとしては、例えば、冷陰極蛍光管(CCFL:Cold Cathode Fluorescent Lamp)等の蛍光管と、散乱板とが組み合わされた構造のものを用いることができる。また、白色LEDを光源とするバックライトユニットを用いることもできる。カラー液晶表示素子には、TN(Twisted Nematic)型、STN(Super Twisted Nematic)型、IPS(In−Planes Switching)型、VA(Vertical Alignment)型、OCB(Optically Compensated Birefringence)型等の適宜の液晶モードが適用できる。 The color liquid crystal display element has, for example, a structure in which a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed and another substrate on which the color filter of this embodiment is provided face each other through a liquid crystal layer. It can be. The color liquid crystal display element includes a substrate in which the color filter of this embodiment is formed on the surface of a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed, and an ITO (Indium Tin Oxide) electrode. It is also possible to adopt a structure in which the substrate on which the film is formed faces the liquid crystal layer. The color liquid crystal display element includes a backlight unit. As the backlight unit, for example, a structure in which a fluorescent tube such as a cold cathode fluorescent lamp (CCFL) and a scattering plate are combined can be used. A backlight unit using a white LED as a light source can also be used. The color liquid crystal display element includes a TN (twisted nematic) type, an STN (super twisted nematic) type, an IPS (in-plane switching) type, a VA (vertical alignment) type liquid crystal, an OCB (optically compatible liquid crystal type), and the like. Mode can be applied.
有機EL素子は、適宜の構造を採ることが可能であり、例えば、特開平11−307242号公報に開示されている構造を挙げることができる。また、電子ペーパーも、適宜の構造を採ることが可能であり、例えば、特開2007−41169号公報に開示されている構造を挙げることができる。 The organic EL element can take an appropriate structure, and examples thereof include a structure disclosed in JP-A-11-307242. Also, electronic paper can adopt an appropriate structure, and examples thereof include a structure disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-41169.
以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。但し、本発明は下記実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
<バインダー樹脂の合成>
合成例1
特開2013−203955号公報の合成例6に記載の方法に従って、下記構造単位を有する樹脂を含む溶液を得た。次いでプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて固形分濃度が40質量%となるように調整して、バインダー樹脂(X−1)溶液を得た。
<Synthesis of binder resin>
Synthesis example 1
According to the method described in Synthesis Example 6 of JP2013-203955A, a solution containing a resin having the following structural units was obtained. Subsequently, it adjusted so that solid content concentration might be 40 mass% using propylene glycol monomethyl ether acetate, and the binder resin (X-1) solution was obtained.
<顔料分散液の調製>
顔料分散液調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド269を9.6質量部及びC.I.ピグメントイエロー139を2.4質量部、分散剤としてBYK−LPN21116(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度40質量%)を13.0質量部、バインダー樹脂としてバインダー樹脂(X−1)(固形分濃度40質量%)を10.0質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを57.0質量部及びプロピレングリコールモノエチルエーテルを8.0質量部用いて、ビーズミルにより混合・分散して赤色の顔料分散液(r−1)を調製した。
<Preparation of pigment dispersion>
Preparation of pigment dispersion 1
(A) C.I. I. 9.6 parts by mass of CI Pigment Red 269 I. Pigment Yellow 139 2.4 parts by mass, BYK-LPN21116 (manufactured by BYK) (solid content concentration 40% by mass) as a dispersant, 13.0 parts by mass, binder resin (X-1) (solid) Using a bead mill to mix and disperse red using 10.0 parts by weight of 40% by weight) and 57.0 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate and 8.0 parts by weight of propylene glycol monoethyl ether as a solvent. A pigment dispersion (r-1) was prepared.
顔料分散液調製例2〜11
顔料分散液調製例1において、各成分の種類及び量を表1に示すように変更した以外は顔料分散液調製例1と同様にして、赤色の顔料分散液(r−2)〜(r−4)、緑色の顔料分散液(g−1)〜(g−3)、青色の顔料分散液(b−1)及び黒色の顔料分散液(bk−1)〜(bk−3)を調製した。
Pigment dispersion preparation examples 2 to 11
In the pigment dispersion preparation example 1, red pigment dispersions (r-2) to (r-) were prepared in the same manner as in the pigment dispersion preparation example 1, except that the types and amounts of the respective components were changed as shown in Table 1. 4) Green pigment dispersions (g-1) to (g-3), blue pigment dispersions (b-1) and black pigment dispersions (bk-1) to (bk-3) were prepared. .
表1において、各成分は次の通りである。
・PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・PGEE :プロピレングリコールモノエチルエーテル
・シアニン染料−1:特開2012−214718号公報の段落〔0120〕に記載されている「式(I−1)で表される塩」(シアニン染料)
・ラクタム系顔料:Irgaphor(登録商標)Black S0100 CF(BASF社製)
In Table 1, each component is as follows.
-PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate-PGEE: Propylene glycol monoethyl ether-Cyanine dye-1: "Represented by formula (I-1)" described in paragraph [0120] of JP2012-214718A Salt "(cyanine dye)
Lactam pigment: Irgaphor (registered trademark) Black S0100 CF (manufactured by BASF)
<着色組成物の調製>
着色組成物調製例1
顔料分散液(r−1)を542.5質量部、バインダー樹脂(X−1)溶液(固形分濃度40質量%)を37.6質量部、(B)重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬株式会社製。ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物)を18.4質量部、(C)感放射線性重合開始剤としてイルガキュア369(BASF社製。2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン)を0.7質量部及びNCI−930(株式会社ADEKA社製)を5.5質量部、フッ素系界面活性剤としてメガファックF−554(DIC株式会社製)を0.3質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを99.2質量部、3−メトキシブチルアセテートを253.5質量部及びDPMAを42.3質量部を混合して、赤色の着色組成物(RS−1)を調製した。
<Preparation of coloring composition>
Coloring composition preparation example 1
542.5 parts by mass of the pigment dispersion (r-1), 37.6 parts by mass of the binder resin (X-1) solution (solid content concentration 40% by mass), (B) KAYARAD DPHA (Nipponization) as the polymerizable compound Made by Yakuhin Co., Ltd. 18.4 parts by mass of a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate), (C) Irgacure 369 (manufactured by BASF Corp., 2-benzyl-2-dimethyl) as a radiation sensitive polymerization initiator Amino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one) 0.7 parts by mass and NCI-930 (manufactured by ADEKA Co., Ltd.) 5.5 parts by mass, Megafac F as a fluorosurfactant -554 (manufactured by DIC Corporation) is 0.3 parts by mass, and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent is 99. 2 parts by mass, 253.5 parts by mass of 3-methoxybutyl acetate and 42.3 parts by mass of DPMA were mixed to prepare a red colored composition (RS-1).
着色組成物調製例2〜18
着色組成物調製例1において、各成分の種類及び量を表2に示すように変更した以外は着色組成物調製例1と同様にして、赤色の着色組成物(RS−2)〜(RS−8)、緑色の着色組成物(GS−1)〜(GS−6)、青色の着色組成物(BS−1)及び黒色の着色組成物(BKS−1)〜(BKS−3)を調製した。
Coloring composition preparation examples 2 to 18
In the colored composition preparation example 1, the red colored compositions (RS-2) to (RS-) were the same as the colored composition preparation example 1 except that the types and amounts of the respective components were changed as shown in Table 2. 8) Green coloring compositions (GS-1) to (GS-6), blue coloring compositions (BS-1), and black coloring compositions (BKS-1) to (BKS-3) were prepared. .
表2において、各成分は次の通りである。
・B−1 :KAYARAD DPHA(日本化薬株式会社製)
・C−1 :イルガキュア369(BASF社製)
・C−2 :NCI−930(株式会社ADEKA社製)
・D−1 :2-[2-(4-メトキシフェニル-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン(和光純薬工業株式会社製)
・D−2 :2-(3,4-メチレンジオキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン(和光純薬工業株式会社製)
・X−2 :メガファックF−554(DIC株式会社製)
・MBA :3−メトキシブチルアセテート
・DPMA:ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート
In Table 2, each component is as follows.
-B-1: KAYARAD DPHA (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
C-1: Irgacure 369 (manufactured by BASF)
C-2: NCI-930 (manufactured by ADEKA Corporation)
D-1: 2- [2- (4-methoxyphenyl-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
D-2: 2- (3,4-methylenedioxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
・ X-2: Megafuck F-554 (manufactured by DIC Corporation)
MBA: 3-methoxybutyl acetate DPMA: Dipropylene glycol methyl ether acetate
本実施例において使用する放射線は、表3に記載のとおりである。 The radiation used in this example is as shown in Table 3.
なお、放射線(A)の分光分布を図1に、放射線(B)の分光分布を図2に、放射線(C)の分光分布を図3に、放射線(D)の分光分布を図4に、ぞれぞれ示す。図1において、波長313nm、365nm、405nm及び436nmの光相対強度は、それぞれ16.19、100.00、78.96及び91.48である。図2において、波長313nm、365nm、405nm及び436nmの光相対強度は、それぞれ23.06、100.00、78.72及び90.83である。図3において、波長313nm、365nm、405nm及び436nmの光相対強度は、それぞれ44.10、100.00、71.64及び81.44である。図4において、波長313nm、365nm、405nm及び436nmの光相対強度は、それぞれ0.00、0.01、69.14及び79.24である。
したがって、放射線(A)の波長313nmにおけるピーク強度は波長365nmにおけるピーク強度の1/6未満であり、放射線(B)の波長313nmにおけるピーク強度は波長365nmにおけるピーク強度の1/6以上1/3未満であり、放射線(C)の波長313nmにおけるピーク強度は波長365nmにおけるピーク強度の1/3以上である。また、放射線(D)は405nm(h線)及び436nm(g線)の各波長を含み、313nm及び365nmにおけるピーク強度が、h線のピーク強度及びg線のピーク強度のうち、より小さいピーク強度に対して1/20以下である放射線である。
The spectral distribution of radiation (A) is shown in FIG. 1, the spectral distribution of radiation (B) is shown in FIG. 2, the spectral distribution of radiation (C) is shown in FIG. 3, and the spectral distribution of radiation (D) is shown in FIG. Show each one. In FIG. 1, the relative light intensities at wavelengths of 313 nm, 365 nm, 405 nm, and 436 nm are 16.19, 100.00, 78.96, and 91.48, respectively. In FIG. 2, the relative light intensities at wavelengths of 313 nm, 365 nm, 405 nm, and 436 nm are 23.06, 100.00, 78.72, and 90.83, respectively. In FIG. 3, the relative light intensities at wavelengths of 313 nm, 365 nm, 405 nm, and 436 nm are 44.10, 100.00, 71.64, and 81.44, respectively. In FIG. 4, the relative light intensities at wavelengths of 313 nm, 365 nm, 405 nm, and 436 nm are 0.00, 0.01, 69.14, and 79.24, respectively.
Therefore, the peak intensity at a wavelength of 313 nm of the radiation (A) is less than 1/6 of the peak intensity at a wavelength of 365 nm, and the peak intensity at a wavelength of 313 nm of the radiation (B) is 1/6 or more of the peak intensity at a wavelength of 365 nm. The peak intensity at a wavelength of 313 nm of radiation (C) is 1/3 or more of the peak intensity at a wavelength of 365 nm. The radiation (D) includes wavelengths of 405 nm (h line) and 436 nm (g line), and the peak intensity at 313 nm and 365 nm is smaller than the peak intensity of h line and the peak intensity of g line. The radiation is 1/20 or less.
<着色硬化膜の製造及び評価>
実施例A−1
第1の着色組成物として着色組成物(RS−1)を、基板であるテイジンテトロンフィルムHB(帝人デュポンフィルム株式会社製。ポリエチレンテレフタレートフィルム。厚み25μm)上にスリットダイコーターを用いて塗布した後、80℃のホットプレートで10分間プレベークを行って膜厚2.0μmの塗膜を形成した。室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に放射線(A)を40mJ/cm2の露光量で露光した。その後、23℃の0.45質量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出することにより90秒間シャワー現像を行い、続いて超純水で洗浄し、風乾した。次いで、風乾後の塗膜を、100℃のクリーンオーブン内で20分間ポストベークを行い、室温に冷却した後、放射線(B)を1,000mJ/cm2の露光量で露光した。これにより、第1の着色組成物から形成された着色硬化膜(縦30μm×横30μm)が縦10行×横10列で形成されたアイランドパターン(計100個の着色硬化膜)を作製した。同様の操作を行って、3枚の基板を作製した。
<Production and evaluation of colored cured film>
Example A-1
After applying the coloring composition (RS-1) as a first coloring composition on a substrate, a Teijin Tetron film HB (manufactured by Teijin DuPont Films Ltd., polyethylene terephthalate film, thickness 25 μm) using a slit die coater. The film was pre-baked for 10 minutes on a hot plate at 80 ° C. to form a coating film having a thickness of 2.0 μm. After cooling to room temperature, the coating film was exposed to radiation (A) at an exposure dose of 40 mJ / cm 2 through a photomask using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, a developer composed of a 0.45 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. is discharged at a development pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm) to perform shower development for 90 seconds, followed by washing with ultrapure water. Air dried. Next, the air-dried coating film was post-baked for 20 minutes in a clean oven at 100 ° C., cooled to room temperature, and then exposed to radiation (B) at an exposure dose of 1,000 mJ / cm 2 . As a result, island patterns (total 100 colored cured films) in which colored cured films (length 30 μm × width 30 μm) formed from the first colored composition were formed in length 10 rows × width 10 columns were produced. The same operation was performed to produce three substrates.
耐溶剤性の評価
第2の着色組成物として着色組成物(GS−1)を、一枚目の基板上にスリットダイコーターを用いて、膜厚2.0μmとなるように塗布した。
基板を光学顕微鏡で観察し、第1の着色組成物から形成されたアイランドパターンが溶解していない場合を「○」、溶解している場合を「×」として評価した。結果を表4に示す。
Evaluation of Solvent Resistance A colored composition (GS-1) was applied as a second colored composition on the first substrate using a slit die coater so as to have a film thickness of 2.0 μm.
When the board | substrate was observed with the optical microscope and the island pattern formed from the 1st coloring composition did not melt | dissolve, it evaluated as "(circle)" and the case where it melt | dissolved was evaluated as "*". The results are shown in Table 4.
密着性の評価
第2の着色組成物として着色組成物(GS−1)を、二枚目の基板上にスリットダイコーターを用いて塗布した後、80℃のホットプレートで10分間プレベークを行って膜厚2.0μmの塗膜を形成した。室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に放射線(A)を40mJ/cm2の露光量で露光した。その後、23℃の0.45質量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出することにより90秒間シャワー現像を行った。その後、基板を超純水で洗浄し、風乾した後、100℃のクリーンオーブン内で20分間ポストベークを行った。これにより、前記アイランドパターン(計100個の着色硬化膜)の隣に、第2の着色組成物から形成された着色硬化膜のアイランドパターン(形状は前記第1の着色組成物のアイランドパターンと同じ)を形成した。この際、第1の着色組成物から形成されたアイランドパターンと第2の着色組成物から形成されたアイランドパターンの位置関係は、重なり合わずに30um間隔以内で隣接するか、重なり幅が3um以内となる範囲内とした。
基板を光学顕微鏡で観察し、基板上に残っている第1の着色組成物から形成されたアイランドパターンの数を数えた。95個以上の場合を「○」、90〜94個の場合を「△」、89個以下の場合を「×」として評価した。その結果を表4に示す。基板上に残っているアイランドパターンの数が多いほど、密着性が良好であると言える。
Evaluation of adhesion After applying a colored composition (GS-1) as a second colored composition on a second substrate using a slit die coater, pre-baking was performed on a hot plate at 80 ° C. for 10 minutes. A coating film having a thickness of 2.0 μm was formed. After cooling to room temperature, the coating film was exposed to radiation (A) at an exposure dose of 40 mJ / cm 2 through a photomask using a high-pressure mercury lamp. Then, shower development was performed for 90 seconds by discharging a developer composed of a 0.45 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a development pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm). Thereafter, the substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and then post-baked in a clean oven at 100 ° C. for 20 minutes. Thereby, next to the island pattern (100 colored cured films in total), the island pattern of the colored cured film formed from the second colored composition (the shape is the same as the island pattern of the first colored composition). ) Was formed. At this time, the positional relationship between the island pattern formed from the first colored composition and the island pattern formed from the second colored composition is adjacent to each other within 30 μm without overlapping, or the overlapping width is within 3 μm. Within the range.
The substrate was observed with an optical microscope, and the number of island patterns formed from the first coloring composition remaining on the substrate was counted. The case of 95 or more was evaluated as “◯”, the case of 90 to 94 was evaluated as “Δ”, and the case of 89 or less was evaluated as “×”. The results are shown in Table 4. It can be said that the greater the number of island patterns remaining on the substrate, the better the adhesion.
色移りの評価
三枚目の基板上に形成されたアイランドパターンについて、カラーアナライザー(大塚電子株式会社製MCPD2000)を用い、C光源、2度視野にて、CIE表色系における色度座標値(x,y)及び刺激値(Y)を測定した。
第2の着色組成物として着色組成物(GS−1)を、前記三枚目の基板上にスリットダイコーターを用いて塗布した後、80℃のホットプレートで10分間プレベークを行って膜厚2.0μmの塗膜を形成した。室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に放射線(A)を40mJ/cm2の露光量で露光した。その後、23℃の0.45質量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出することにより90秒間シャワー現像を行った。その後、基板を超純水で洗浄し、風乾した後、100℃のクリーンオーブン内で20分間ポストベークを行った。これにより、前記アイランドパターン(計100個の着色硬化膜)の隣に、第2の着色組成物から形成された着色硬化膜を形成した。パターン形状とパターンの位置関係は前記「密着性の評価」と同様である。
基板上の第1の着色組成物から形成されたアイランドパターンについて、第2の着色組成物から形成されたアイランドパターンが重なっていない部分を、カラーアナライザー(大塚電子株式会社製MCPD2000)を用い、C光源、2度視野にて、CIE表色系における色度座標値(x,y)及び刺激値(Y)を測定し、第2の着色組成物を用いて着色硬化膜を形成する前後での色変化、即ちΔE* abを求めた。ΔE* abが1.0未満の場合を「○」、1.0以上3.0未満の場合を「△」、3.0以上の場合を「×」として評価し、その結果を表4に示す。なおΔE* abが小さいほど、色移りが抑制されていると言える。
Evaluation of color transfer For the island pattern formed on the third substrate, a color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) was used to measure the chromaticity coordinate value ( x, y) and the stimulus value (Y) were measured.
After coating a coloring composition (GS-1) as a second coloring composition on the third substrate using a slit die coater, pre-baking is performed for 10 minutes on a hot plate at 80 ° C. to obtain a film thickness of 2 A coating film of 0.0 μm was formed. After cooling to room temperature, the coating film was exposed to radiation (A) at an exposure dose of 40 mJ / cm 2 through a photomask using a high-pressure mercury lamp. Then, shower development was performed for 90 seconds by discharging a developer composed of a 0.45 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a development pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm). Thereafter, the substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and then post-baked in a clean oven at 100 ° C. for 20 minutes. Thereby, the colored cured film formed from the second colored composition was formed next to the island pattern (total of 100 colored cured films). The positional relationship between the pattern shape and the pattern is the same as in the above “evaluation of adhesion”.
About the island pattern formed from the 1st coloring composition on a board | substrate, using the color analyzer (MCPD2000 by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the part which the island pattern formed from the 2nd coloring composition does not overlap, C The chromaticity coordinate value (x, y) and the stimulus value (Y) in the CIE color system are measured with a light source and a 2-degree visual field, and before and after forming a colored cured film using the second colored composition. The color change, ie ΔE * ab, was determined. The case where ΔE * ab is less than 1.0 is evaluated as “◯”, the case where 1.0 or more and less than 3.0 is evaluated as “Δ”, and the case where 3.0 or more is evaluated as “×”. Show. It can be said that the smaller the ΔE * ab is, the more the color transfer is suppressed.
実施例A−2〜A−12
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表4に記載の着色組成物を用いた以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。ただし、実施例A−12のみ、100℃で20分間ポストベークを行った後の露光に用いる放射線を、1,000mJ/cm2の放射線(B)ではなく、3,000mJ/cm2の放射線(A)とした。その結果を表4に示す。
なお、第1の着色組成物として黒色の着色組成物(BKS−1)〜(BKS−3)を用いる場合については、色移りの評価はΔE* abではなく光学濃度の変化量で評価した。すなわち、前記刺激値(Y)(%)を光学濃度=−log10(Y/100)に換算し、第2の着色組成物を用いて着色硬化膜を形成した前後での光学濃度の変化量を求めることで色移りの評価を行った。変化量が3.0%未満の場合を「○」、3.0%以上5.0%未満の場合を「△」、5.0%以上の場合を「×」として評価し、その結果を表4に示す。なお、光学濃度の変化量が小さいほど、色移りが抑制されていると言える。後述の各実施例及び比較例においても、第1の着色組成物として黒色の着色組成物(BKS−1)〜(BKS−3)を用いる場合についての色移りの評価は同様に行うものとする。
Examples A-2 to A-12
In Example A-1, solvent resistance and adhesion were obtained in the same manner as in Example A-1, except that the colored compositions described in Table 4 were used as the first colored composition and the second colored composition. And color transfer was evaluated. However, only in Example A-12, the radiation used for the exposure after post-baking at 100 ° C. for 20 minutes was not radiation of 1,000 mJ / cm 2 (B) but radiation of 3000 mJ / cm 2 ( A). The results are shown in Table 4.
In addition, about the case where the black coloring composition (BKS-1)-(BKS-3) is used as a 1st coloring composition, the evaluation of color migration was evaluated not with (DELTA ) E * ab but with the variation | change_quantity of optical density. That is, the stimulus value (Y) (%) is converted into optical density = −log 10 (Y / 100), and the amount of change in optical density before and after the colored cured film is formed using the second colored composition. Was evaluated for color transfer. When the amount of change is less than 3.0%, it is evaluated as “O”, when it is 3.0% or more and less than 5.0%, “△”, and when it is 5.0% or more, it is evaluated as “X”. Table 4 shows. In addition, it can be said that color transfer is suppressed, so that the variation | change_quantity of optical density is small. Also in each of the examples and comparative examples described later, the evaluation of the color transfer in the case where the black colored compositions (BKS-1) to (BKS-3) are used as the first colored composition is similarly performed. .
実施例B−1〜B−11
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表5に記載の着色組成物を用い、放射線(B)に代えて放射線(C)を照射した以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表5に示す。
Examples B-1 to B-11
In Example A-1, Example 1 was used except that the colored composition described in Table 5 was used as the first colored composition and the second colored composition, and the radiation (C) was applied instead of the radiation (B). In the same manner as A-1, solvent resistance, adhesion and color transfer were evaluated. The results are shown in Table 5.
参考例C−1〜C−11
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表6に記載の着色組成物を用い、第1の着色組成物のポストベークを60℃のクリーンオーブン内で20分間行った以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表6に示す。
Reference examples C-1 to C-11
In Example A-1, the colored compositions described in Table 6 were used as the first colored composition and the second colored composition, and the first colored composition was post-baked in a clean oven at 60 ° C. for 20 hours. The solvent resistance, adhesion and color transfer were evaluated in the same manner as in Example A-1, except that the measurement was performed for a minute. The results are shown in Table 6.
参考例D−1〜D−11
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表7に記載の着色組成物を用い、第1の着色組成物のポストベークを160℃のクリーンオーブン内で20分間行った以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性及び密着性の評価を行った。なお、第1の着色組成物のポストベーク時に基板が過剰に変形し、第2の着色組成物が塗布できなくなることを防ぐため、第1の着色組成物のポストベークは、基板を金属製型枠で固定して実施した。その結果を表7に示す。なお、参考例D−1〜D−11はいずれも密着性の評価結果が「×」であったことから、色移りの評価は行わなかった。
Reference examples D-1 to D-11
In Example A-1, the coloring composition described in Table 7 was used as the first coloring composition and the second coloring composition, and the first coloring composition was post-baked in a clean oven at 160 ° C. for 20 hours. The solvent resistance and adhesion were evaluated in the same manner as in Example A-1, except that the measurement was performed for a minute. In order to prevent the substrate from being excessively deformed during post-baking of the first colored composition and the second colored composition cannot be applied, the post-baking of the first colored composition is performed by forming the substrate into a metal mold. The test was carried out with a frame. The results are shown in Table 7. In all of Reference Examples D-1 to D-11, the evaluation result of adhesion was “x”, and therefore, the evaluation of color migration was not performed.
比較例E−1〜E−11
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表8に記載の着色組成物を用い、放射線(B)の露光を行わなかった以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性の評価を行った。その結果を表8に示す。なお、比較例E−10以外はいずれも耐溶剤性の評価結果が「×」であったことから、密着性及び色移りの評価は行わなかった。
Comparative Examples E-1 to E-11
In Example A-1, Example 1 was used except that the colored composition described in Table 8 was used as the first colored composition and the second colored composition, and radiation (B) was not exposed. Similarly, solvent resistance was evaluated. The results are shown in Table 8. In addition, since evaluation results of solvent resistance were “x” in all cases except for Comparative Example E-10, evaluation of adhesion and color transfer was not performed.
実施例F−1
第1の着色組成物として着色組成物(RS−1)を、基板であるポリエチレンテレフタレートフィルム(テイジンテトロンフィルムHB、帝人デュポンフィルム株式会社製、厚み25μm)上にスリットダイコーターを用いて塗布した後、80℃のホットプレートで10分間プレベークを行って膜厚2.0μmの塗膜を形成した。室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に放射線(A)を40mJ/cm2の露光量で露光した。その後、23℃の0.45質量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出することにより90秒間シャワー現像を行い、続いて超純水で洗浄し、風乾した。次いで、風乾後の塗膜を、放射線(B)を1,000mJ/cm2の露光量で露光した後、100℃のクリーンオーブン内で20分間ポストベークを行った。これにより、第1の着色組成物から形成された着色硬化膜(縦30μm×横30μm)が縦10行×横10列で形成されたアイランドパターン(計100個の着色硬化膜)を作製した。同様の操作を行って、3枚の基板を作製した。
次に、第2の着色組成物として着色組成物(GS−1)を用い、実施例A−1と同様にして耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表9に示す。
Example F-1
After applying the colored composition (RS-1) as a first colored composition on a polyethylene terephthalate film (Teijin Tetron Film HB, manufactured by Teijin DuPont Films, Inc., thickness 25 μm) as a substrate using a slit die coater. The film was pre-baked for 10 minutes on a hot plate at 80 ° C. to form a coating film having a thickness of 2.0 μm. After cooling to room temperature, the coating film was exposed to radiation (A) at an exposure dose of 40 mJ / cm 2 through a photomask using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, a developer composed of a 0.45 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. is discharged at a development pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm) to perform shower development for 90 seconds, followed by washing with ultrapure water. Air dried. Next, the air-dried coating film was exposed to radiation (B) at an exposure amount of 1,000 mJ / cm 2 and then post-baked in a clean oven at 100 ° C. for 20 minutes. As a result, island patterns (total 100 colored cured films) in which colored cured films (length 30 μm × width 30 μm) formed from the first colored composition were formed in length 10 rows × width 10 columns were produced. The same operation was performed to produce three substrates.
Next, using the colored composition (GS-1) as the second colored composition, the solvent resistance, adhesion and color transfer were evaluated in the same manner as in Example A-1. The results are shown in Table 9.
実施例F−2〜F−11
実施例F−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表9に記載の着色組成物を用いた以外は実施例F−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表9に示す。
Examples F-2 to F-11
In Example F-1, solvent resistance and adhesion were obtained in the same manner as in Example F-1, except that the colored compositions described in Table 9 were used as the first colored composition and the second colored composition. And color transfer was evaluated. The results are shown in Table 9.
実施例G−1〜G−11
実施例A−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表10に記載の着色組成物を用い、放射線(B)の露光量を2,000mJ/cm2に代えた以外は実施例A−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表10に示す。
Examples G-1 to G-11
In Example A-1, the coloring composition described in Table 10 was used as the first coloring composition and the second coloring composition, and the exposure dose of radiation (B) was changed to 2,000 mJ / cm 2. Were evaluated for solvent resistance, adhesion and color transfer in the same manner as in Example A-1. The results are shown in Table 10.
実施例H
実施例B−1において、基板として特開2015−232641号公報の段落〔0301〕〜〔0302〕に記載の方法に従って得られる「有機EL素子1(EL−1)」を用いた以外は実施例B−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果、いずれも評価は「○」であった。
Example H
In Example B-1, except that “organic EL element 1 (EL-1)” obtained according to the method described in paragraphs [0301] to [0302] of JP-A-2015-232641 was used as the substrate. In the same manner as B-1, solvent resistance, adhesion and color transfer were evaluated. As a result, all were evaluated as “◯”.
実施例J−1〜J−7
実施例F−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表11に記載の着色組成物を用い、放射線(B)に代えて放射線(D)を照射した以外は実施例F−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表11に示す。
Examples J-1 to J-7
In Example F-1, the colored composition described in Table 11 was used as the first colored composition and the second colored composition, and the radiation (D) was used instead of the radiation (B). In the same manner as in F-1, solvent resistance, adhesion, and color transfer were evaluated. The results are shown in Table 11.
着色組成物調製例19〜22
着色組成物調製例1において、各成分の種類及び量を表12に示すように変更した以外は着色組成物調製例1と同様にして、青色の着色組成物(BS−2)及び黒色の着色組成物(BKS−4)〜(BKS−6)を調製した。
Colored Composition Preparation Examples 19-22
In the colored composition preparation example 1, the blue colored composition (BS-2) and the black coloration were the same as the colored composition preparation example 1 except that the types and amounts of the respective components were changed as shown in Table 12. Compositions (BKS-4) to (BKS-6) were prepared.
実施例J−8〜J−11
実施例F−1において、第1の着色組成物及び第2の着色組成物として表13に記載の着色組成物を用い、放射線(B)に代えて放射線(D)を照射した以外は実施例F−1と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果を表13に示す。
Examples J-8 to J-11
In Example F-1, the colored composition described in Table 13 was used as the first colored composition and the second colored composition, and the radiation (D) was used instead of the radiation (B). In the same manner as in F-1, solvent resistance, adhesion, and color transfer were evaluated. The results are shown in Table 13.
実施例K
実施例J−4において、放射線(D)に代えて放射線(B)を照射した以外は実施例J−4と同様にして、耐溶剤性、密着性及び色移りの評価を行った。その結果、耐溶剤性、密着性及び色移りはいずれも「○」であった。ただし、分光分布測定によると、着色組成物(RS−8)から形成された着色硬化膜は放射線(B)の照射後に退色したことが判明した。この結果からは、着色組成物(RS−8)に含まれていたシアニン染料−1が放射線(B)の照射により分解した可能性が考えられる。
Example K
In Example J-4, the solvent resistance, adhesion and color transfer were evaluated in the same manner as in Example J-4 except that the radiation (B) was applied instead of the radiation (D). As a result, the solvent resistance, adhesion and color transfer were all “◯”. However, the spectral distribution measurement revealed that the colored cured film formed from the colored composition (RS-8) faded after irradiation with the radiation (B). From this result, there is a possibility that cyanine dye-1 contained in the colored composition (RS-8) was decomposed by irradiation with radiation (B).
Claims (9)
工程(1):基板上に、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成する工程
工程(2):前記工程(1)で得られた塗膜に、放射線(1)を照射する工程
工程(3):前記工程(2)で得られた塗膜を現像する工程
工程(4):前記工程(3)で得られた塗膜に放射線(2)を照射する工程。
但し、放射線(1)と放射線(2)は、同一でも異なっていても良い。 The manufacturing method of a colored cured film characterized by including the following process (1)-(4).
Step (1): A step of applying a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) a polymerizable compound and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator on a substrate to form a coating film. Step (2): Step (3) for irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation (1) Step: Step (4) for developing the coating film obtained in the step (2) : A step of irradiating the coating film obtained in the step (3) with radiation (2).
However, the radiation (1) and the radiation (2) may be the same or different.
工程(1):基板上に、(A)着色剤、(B)重合性化合物及び(C)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物を塗布して塗膜を形成する工程
工程(2):前記工程(1)で得られた塗膜に、放射線(1)を照射する工程
工程(3):前記工程(2)で得られた塗膜を現像する工程
工程(4):前記工程(3)で得られた塗膜に放射線(2)を照射する工程
但し、放射線(1)と放射線(2)は、同一でも異なっていても良い。 A method for forming a pixel pattern of a color filter, comprising the following steps (1) to (4):
Step (1): A step of applying a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) a polymerizable compound and (C) a radiation-sensitive polymerization initiator on a substrate to form a coating film. Step (2): Step (3) for irradiating the coating film obtained in the step (1) with radiation (1) Step: Step (4) for developing the coating film obtained in the step (2) : Step of irradiating the coating film obtained in the step (3) with radiation (2) However, the radiation (1) and the radiation (2) may be the same or different.
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