JP2017228680A

JP2017228680A - 研削装置

Info

Publication number: JP2017228680A
Application number: JP2016124333A
Authority: JP
Inventors: 敦中塚; Atsushi Nakatsuka
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-06-23
Filing date: 2016-06-23
Publication date: 2017-12-28

Abstract

【課題】ワークの下面洗浄時に、洗浄部材に洗浄水が充分に行き渡るようにする。
【解決手段】円形板状ワークＷの上面Ｗａを保持し研削手段３１によって研削されたワークＷをチャックテーブル２から搬出する手段５と、ワークＷの下面Ｗｂを洗浄する手段６とを備え、洗浄手段６は、搬出手段５が保持するワークＷの下面Ｗｂに対して垂直な軸心を備える回転軸６０と、回転軸６０を回転させる手段６１と、回転軸６０の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動してワークＷを洗浄する部材６４と、洗浄部材６４を収容するケース６３と、回転手段６１によって洗浄部材６４を回転させる洗浄動作によりワークＷが回転することを防止する手段６８と、少なくともケース６３に洗浄水を供給する手段６９とを備え、ケース６３に供給された洗浄水を含む洗浄部材６４がワークＷの下面Ｗｂの外周部を洗浄する研削装置１である。
【選択図】図３

Description

本発明は、チャックテーブルが保持した円形板状ワークを研削する研削装置であって、特に、研削時にチャックテーブルに保持されていた円形板状ワークの下面をチャックテーブルから搬出する際に洗浄することができる研削装置に関する。

例えば、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成された半導体ウエーハ等の円形板状ワークは、ワークの表面に保護テープが貼着され、ワークの表面側を研削装置のチャックテーブルにより保護テープを介して吸引保持し、吸引保持されたワークの裏面に対して回転する研削砥石を降下させ押し付けて研削し、ウエーハを所定の厚みに薄化する。研削後のウエーハは、例えば、枚葉式のスピンナー洗浄装置によりワークの研削された面である裏面が洗浄されることで、裏面に残った研削屑等の異物が除去される。洗浄後のウエーハは、乾燥された後、切削ブレードを備えた切削装置等に搬送される。そして、ウエーハは切削装置により切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。

円形板状ワークの研削加工時には、研削装置のチャックテーブルに保持され保護テープが貼着されている表面側にも研削屑等が付着するため、スポンジ等からなる柔軟部材を円形板状ワークに貼着された保護テープに接触させて洗浄を行う洗浄機構が提案されている（例えば、特許文献１参照）。例えば、ワークの洗浄後にワークから保護テープを剥離して、ウエーハを切削可能な状態にする必要があり、そのため、洗浄後にワークに貼着されている保護テープの周縁部に剥離テープを貼着し、剥離テープを引っ張ることによって円形板状ワークから保護テープを剥離する。ここで、保護テープに研削屑が付着している場合には、研削屑が付着している部分に剥離テープを貼り付けてしまうと、剥離テープを引っ張ったときに研削屑だけが剥離テープにくっついてきてしまい、保護テープを剥離できないという問題がある。したがって、かかる問題を回避するために、ワークに貼着された保護テープを洗浄する必要がある。

特開２０１３−１０５８２８号公報

上記特許文献１に記載されている洗浄機構では、研削装置のチャックテーブルに保持されていたワークの被保持面中の洗浄したい箇所と洗浄機構に備える洗浄部材との接触部位に対して、洗浄水を供給しながら洗浄を行っていく。しかし、ワークの洗浄したい箇所に充分に洗浄水が届かず、洗浄機構の洗浄部材が乾燥した状態でワークに擦り付けられていくことで、洗浄部材が急速に磨耗するという問題があった。

よって、円形板状ワークの下面を洗浄する洗浄手段を備える研削装置においては、ワークの洗浄時に、洗浄部材に洗浄水が充分に行き渡らず洗浄部材が乾燥した状態でワークに擦り付けられ洗浄が行われていくという事態が生じないようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、円形板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された円形板状ワークを研削加工する研削手段と、円形板状ワークの上面を保持し該研削手段によって研削された円形板状ワークを該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、円形板状ワークの下面を洗浄する洗浄手段と、を備える研削装置において、該洗浄手段は、該搬出手段が保持する円形板状ワークの下面に対して垂直な軸心を備える回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動して円形板状ワークを洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を収容するケースと、該洗浄部材を円形板状ワークに当接させ該回転手段によって該洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転することを防止するための回転防止手段と、少なくとも該ケースに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とを備え、該洗浄水供給手段から該ケースに供給された洗浄水を含んだ該洗浄部材が円形板状ワークの下面の外周部を洗浄する研削装置である。

前記ケースは貫通孔を有し、前記洗浄水供給手段は該貫通孔と連通し該ケースに洗浄水を供給するものとすると好ましい。

前記洗浄部材は、曲面形状の角部を備えるものとすると好ましい。

本発明に係る研削装置に備える洗浄手段は、搬出手段が保持する円形板状ワークの下面に対して垂直な軸心を備える回転軸と、回転軸を回転させる回転手段と、回転軸の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動して円形板状ワークを洗浄する洗浄部材と、洗浄部材を収容するケースと、洗浄部材を円形板状ワークに当接させ回転手段によって洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転することを防止するための回転防止手段と、少なくともケースに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とを備えている。そして、ワークの下面を洗浄する際に、洗浄水供給手段が、洗浄部材が収容されるケース内に洗浄水を供給してケース内に洗浄水を貯め、洗浄部材がケース内で洗浄水を吸い上げ洗浄部材が洗浄水を含んだ状態になることで、洗浄部材のワークとの接触部位が常に洗浄水を含み濡れた状態になるので、洗浄部材が乾燥した状態でワークに擦り付けられることがなくなり、洗浄部材が急速に磨耗してしまうことを防止することができる。

また、ケースは貫通孔を有し、洗浄水供給手段は貫通孔と連通しケースに洗浄水を供給するものとすることで、洗浄水供給手段から直にケースに対して洗浄水を供給させることで、ケース内に収容された洗浄部材が洗浄水をより多く吸い上げることができるようになり、洗浄部材のワークとの接触部位が常により多くの洗浄水を含み濡れた状態になるので、洗浄部材が乾燥した状態でワークに擦り付けられることがなくなり、洗浄部材が急速に磨耗してしまうことをより防止することができる。

さらに、洗浄部材は、曲面形状の角部を備えるものとすることで、例えば、直方状に形成されたスポンジ等の洗浄部材に比べて、ワーク洗浄時において洗浄部材の角部に集中的な力が加わることで生じる洗浄部材の角部の削れを抑制することが可能となり、洗浄中に洗浄部材の角部が削れて洗浄屑となりワークに付着してしまうことを防止できる。

研削装置の一例を模式的に示した平面図である。搬出手段の一例を示す断面図である。洗浄手段の一例を示す平面図である。洗浄手段の一例を示す縦断面図である。帯状の洗浄部材を折り曲げている状態を示す正面図である。洗浄手段に備える洗浄部材が曲面形状の角部を備えた状態を示す斜視図である。洗浄手段により円形板状ワークの下面の外周部を洗浄している状態を示す断面図である。円形板状ワークを洗浄する際に、回転防止手段が円形板状ワークの中央領域に接触してワークの回転を防止する洗浄手段の一例を示す平面図である。

図１に示す研削装置１は、円形板状ワークＷを吸引保持する複数の（図示の例では４つの）チャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持された円形板状ワークＷを研削加工する第１研削手段３０（例えば、粗研削を行う研削手段である。）及び第２研削手段３１（例えば、仕上げ研削を行う研削手段である。）と、研削された円形板状ワークＷを研磨する研磨手段３２とを備えている。複数のチャックテーブル２は、研削装置１上のターンテーブル２ａによって公転及び自転可能に支持されている。円形板状ワークＷは、例えば、その外形が平板円形状の半導体ウエーハであるが、これに限定されるものではない。

研削装置１の前部側（−Ｙ方向側）には、加工前の円形板状ワークＷを収容する第１カセット４０と、加工後の円形板状ワークＷを収容する第２カセット４１とを備えている。そして、第１カセット４０及び第２カセット４１の近傍には、第１カセット４０からの加工前の円形板状ワークＷの取り出し及び第２カセット４１への加工後の円形板状ワークＷの収容を行うロボット４２が配設されている。ロボット４２は、円形板状ワークＷを吸引保持するハンド部４２０と、ハンド部４２０に連結され屈曲可能なアーム部４２１と、ハンド部４２０及びアーム部４２１をＸ軸方向に移動させる駆動手段４２２とを備えている。

ハンド部４２０の可動領域には、カメラ４３１によって撮像された円形板状ワークＷの画像データを基に、加工前の円形板状ワークＷを所定の位置に位置あわせする仮置きテーブル４３が配設されている。

第１研削手段３０の前方側（−Ｙ方向側）は、加工前の円形板状ワークＷをチャックテーブル２に載置したり、加工後の円形板状ワークＷを次の工程に移送するためにチャックテーブル２から取り出したりする領域である搬出入領域４４となっている。搬出入領域４４の近傍には、仮置きテーブル４３から搬出入領域４４に位置するチャックテーブル２への円形板状ワークＷの搬入を行う搬入手段４５と、搬出入領域４４に位置するチャックテーブル２からの円形板状ワークＷの搬出を行う搬出手段５とが配設されている。

搬入手段４５は、Ｙ軸方向に延びる直動軸４５０と、直動軸４５０の側面をＹ軸方向に自在にスライド移動可能であり円形板状ワークＷを吸引保持できる吸引パッド４５１とを備えている。

図２に示す円形板状ワークＷの被加工面である上面Ｗａを保持し研磨手段３２によって研磨された円形板状ワークＷをチャックテーブル２から搬出する搬出手段５は、例えば、図１に示す搬出入領域４４において水平方向に旋回可能なアーム部５０と、アーム部５０の先端に配設され円形板状ワークＷを吸引保持する保持パッド５１とを備えている。保持パッド５１は、ポーラス部材からなり円形板状ワークＷを吸引する吸引面５１ａを備えており、吸引面５１ａは図示しない吸引源に連通している。そして、吸引源が吸引を行うことで生み出された吸引力が、吸引面５１ａに伝達されることで、搬出手段５は吸引面５１ａで円形板状ワークＷを吸引保持する。なお、搬出手段５は、本実施形態における構成に限定されるものではない。例えば、円形板状ワークＷが、ワークの上面Ｗａの外周部分だけを環状の補強部として残し、その内側だけを研削したウエーハ等である場合には、搬出手段５は、補強部の外周部を側面側から支持することで、円形板状ワークを保持できるように構成されていてもよい（例えば、特許文献１に記載されている保持機構１０を備える搬出手段５等である）。

図１に示すように、搬出手段５による円形板状ワークＷの搬出経路には、保持パッド５１によって吸引保持された図２に示す円形板状ワークＷの下面Ｗｂ、すなわちチャックテーブル２によって吸引保持されていた被保持面を洗浄する洗浄手段６を備えている。また、洗浄手段６の近傍には、円形板状ワークＷの上面Ｗａ側を洗浄し乾燥する洗浄乾燥手段７が配設されている。なお、洗浄手段６の配設位置は、搬出手段５による円形板状ワークＷの搬出経路の下方であれば、図示の位置には限定されない。

図３に示す洗浄手段６は、搬出手段５が保持する円形板状ワークＷの下面Ｗｂに対して垂直な軸心を備える回転軸６０を備えている。すなわち、回転軸６０の軸心はＺ軸方向に延在している。図４に示すように、回転軸６０の下端側には、回転軸６０を回転させる回転手段６１が接続されている。回転手段６１は、例えば、サーボモータやパルスモータであるが、無端状の駆動ベルト等からなる回転プーリー手段等であってもよい。

図３、図４に示すように回転軸６０の上端側には、洗浄部材保持部６２が固定されている。洗浄部材保持部６２は、回転軸６０に固定された平板状の基部６２０と、基部６２０と一体的に形成され基部６２０から例えば水平に少なくとも３方向に均等な角度（例えば１２０度）で放射状に延びる３枚の略長方形状の平板部６２１とを備えている。そして、回転軸６０の軸中心の延長線上に、基部６２０の中心が位置している。

３枚の平板部６２１の各先端部分上面には、ボルト等の止め具で略直方体状のケース６３がそれぞれ１つずつ固定されている。ケース６３は、例えば、略長方形状の底板６３ａと、６３ａの四辺から＋Ｚ方向に立設される４枚の側板６３ｂとからなり上部が開口している。

ケース６３に収容され円形板状ワークＷを洗浄する洗浄部材６４は、例えば、スポンジのような柔軟な部材を直方体状に形成したものであり、気泡が互いに連通している構造を有する連泡スポンジを用いると好ましいが、各泡が単独の室になっている単泡スポンジを用いてもよい。スポンジの具体例としては、ポリウレタンを発泡成形して作られるスポンジ（例えば、アイオン社製、ソフラススポンジ）、ＰＶＡスポンジ（例えば、アイオン社製、ベルイータースポンジ）等である。

洗浄部材６４は、例えば、ケース６３の底板６３ａに、適宜の接着剤等によって貼着されるか、または交換容易性を考慮しネジにより固定されることで、ケース６３内に固定される。ケース６３内に収容された洗浄部材６４は、図４に示すように、洗浄部材６４の上部がケース６３の内部から露出しており、洗浄部材６４の上面が円形板状ワークＷの下面Ｗｂに接触する洗浄面になる。ケース６３は、例えば、洗浄部材６４が収容された状態において、ケース６３の各側板６３ｂと洗浄部材６４との間に所定の隙間Ｖが設けられる程度の容積を備えていると好ましい。

洗浄部材６４の形状や、洗浄部材６４の洗浄部材保持部６２への固定の仕方は上記のような形態に限定されるものではない。例えば、図５に示すように帯状に形成された洗浄部材６４Ａを、洗浄部材６４Ａの両端を中央に向かって矢印Ｒ方向に折り曲げるようにして、図６に示すように、平板部６２１に巻き付けて固定するものとしてもよい。この場合には、例えば、ケース６３には、側板６３ｂから平板部６２１を挿し込む挿入口が設けられており、平板部６２１がケース６３に挿し込まれることで、平板部６２１に固定される。洗浄部材６４Ａは、このようにケース６３に挿し込まれた状態の平板部６２１の先端部分にまき付けられて固定される。例えば、洗浄部材６４Ａを平板部６２１に巻きつける際には、平板部６２１とケース６３の底板６３ａとの間に、洗浄部材６４Ａの洗浄面高さ調整用のスペーサー６３０を配設するものとしてもよい。スペーサー６３０は、例えば、洗浄部材６４Ａの厚み等に合わせて決められた所定の高さを備える長方形状の平板であり、固定ネジ６３１を螺入させる図示しないネジ孔が設けられている。例えば、平板部６２１にも固定ネジ６３１を螺入させる図示しないネジ孔が設けられており、スペーサー６３０のネジ孔と平板部６２１のネジ孔とを一致させた状態で、固定ネジ６３１を両者のネジ孔に螺入させることで、平板部６２１とケース６３の底板６３ａとの間にスペーサー６３０が固定される。そして、スペーサー６３０は、スペーサー６３０の高さの分だけ洗浄部材６４Ａの高さ位置をかさ上げして調整することができる。なお、例えば、図４に示す洗浄部材６４を、予め角部を削って角部を曲面形状に形成し、ケース６３の底板６３ａに、適宜の接着剤等によって貼着するものとしてもよいが、帯状の洗浄部材６４Ａを上記のように巻きつけて平板部６２１に固定する方が、より簡単に洗浄部材に曲面形状を形成できるため好ましい。

図３，４に示すように、洗浄部材保持部６２の上方には、洗浄部材６４を円形板状ワークＷに当接させ回転手段６１によって洗浄部材６４を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークＷが回転することを防止するための回転防止手段６８が配設されている。回転防止手段６８は、例えば、略直方体状に形成されたスポンジ等の回転防止部材６８０と、回転防止部材６８０が固定される固定板６８１とを備えている。固定板６８１は、平板状の基部６８１ａと、基部６８１ａと一体的に形成され基部６８１ａから例えば水平に少なくとも３方向に均等な角度（例えば１２０度）で放射状に延びる３枚の平板部６８１ｂとからなる。平板部６８１ｂは、例えば先端部分６８１ｃが平面視扇型形状に形成されており、この先端部分６８１ｃの中心領域に、回転防止部材６８０が適宜の接着剤またはボルト等によって固定されている。

固定板６８１の内部には、少なくともケース６３に洗浄水を供給する洗浄水供給手段６９に連通する通水路６８１ｄが形成されている。通水路６８１ｄは、例えば、基部６８１ａの内部から３枚の平板部６８１ｂの内部に向かって３方向に延びており、基部６８１ａにおいて各端が合流して一体になっている。平板部６８１ｂの内部に延びる通水路６８１ｄは、平板部６８１ｂの内部において二股に分岐して延び、平板部６８１ｂの先端部分６８１ｃの上面に開口する噴出口６８１ｅに連通している。噴出口６８１ｅは、先端部分６８１ｃの両側辺に沿って整列して複数（図３においては、４つずつ整列しており、計８つ）設けられている。なお、噴出口６８１ｅは平板部６８１ｂの先端部分６８１ｃの側面に開口しているものとしてもよい。

洗浄水供給手段６９は、洗浄水を基部６８１ａの内部に形成された通水路６８１ｄへ流入させる。この洗浄水は平板部６８１ｂの内部において二股に分流され、平板部６８１ｂの先端部分６８１ｃの上面に開口する噴出口６８１ｅへと到達し、噴出口６８１ｅから各平板部６８１ｂの外側に向かって噴出し、各平板部６８１ｂの隣に位置している状態のケース６３の内部に洗浄水を供給する。

図３、４に示すように、固定板６８１の下面側には、固定板６８１を支持する支持柱６８２が接続されており、支持柱６８２は、回転軸６０を囲うように配設されている。図４に示すように、支持柱６８２には、エアシリンダ６８３が接続されている。エアシリンダ６８３は、内部に図示しないピストンを備え基端側（−Ｚ方向側）に底のある有底円筒状のシリンダチューブ６８３ａと、シリンダチューブ６８３ａに挿入され一端がピストンに取り付けられたピストンロッド６８３ｂとを備える。ピストンロッド６８３ｂのもう一端は、支持柱６８２に固定されている。シリンダチューブ６８３ａにエアが供給（または、排出）されシリンダチューブ６８３ａの内部の圧力が変化することで、ピストンロッド６８３ｂがＺ軸方向に移動する。支持柱６８２は、エアシリンダ６８３により支持柱６８２が上下動することで、固定板６８１が洗浄部材保持部６２に対して相対的に上下動する。

以下に、図１〜７を用いて、研削装置１において、洗浄手段６により円形板状ワークＷを洗浄する場合の、研削装置１の各構成の動作について説明する。

図１に示す円形板状ワークＷは、第１研削手段３０及び第２研削手段３１によって研削されてから研磨手段３２による研磨加工が行われた後、ターンテーブル２ａの回転によって搬出入領域４４に移動し、搬出手段５によって加工後の円形板状ワークＷが保持される。すなわち、保持パッド５１が旋回移動し、図２に示す保持パッド５１の吸引面５１ａの中心が円形板状ワークＷの上面Ｗａの中心に略合致するように、円形板状ワークＷの上方に位置付けられる。さらに、保持パッド５１が−Ｚ方向へと降下し、保持パッド５１の吸引面５１ａを円形板状ワークＷの上面Ｗａに接触させる。さらに、図示しない吸引源が吸引することで生み出された吸引力が吸引面５１ａへと伝達されることで、搬出手段５が円形板状ワークＷの上面Ｗａを吸引保持する。

加工後の円形板状ワークＷが保持パッド５１によって保持されると、図１に示したアーム部５０のＹ軸方向の移動及び旋回により、円形板状ワークＷが、搬出経路に位置する図３に示す洗浄手段６の洗浄部材保持部６２及び回転防止手段６８の直上に移動し、そこで停止する。このとき、搬出手段５に保持された円形板状ワークＷの位置は、その中心が洗浄手段６の回転軸６０と略一致するワーク洗浄位置となる。

図４に示すエアシリンダ６８３により、支持柱６８２がＺ軸方向に移動して、固定板６８１上に固定されている回転防止部材６８０の高さ位置と洗浄部材保持部６２上に固定されている洗浄部材６４との相対的な高さ位置の調整が行われる。円形板状ワークＷがワーク洗浄位置に位置した状態で、保持パッド５１が下降することにより、図７に示すように、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に洗浄部材６４を接触させる。また、回転防止部材６８０を円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に接触させる。このとき、回転防止部材６８０の上面は、洗浄部材６４の上面よりも若干高い位置にあり、回転防止部材６８０は、洗浄部材６４よりも強く円形板状ワークＷを押圧する。このようにして、回転防止部材６８０が円形板状ワークＷの回転を摩擦力により阻止する。

図３，７に示すように、洗浄部材６４及び回転防止部材６８０を円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に接触させた時は、洗浄部材６４と回転防止部材６８０とが重ならない位置に位置している。そして、図３に示すように、回転手段６１が洗浄部材保持部６２を矢印Ｐ方向に回転させることで、回転軸６０の回転にともない洗浄部材保持部６２に固定された洗浄部材６４が円形板状ワークＷの周方向に沿って移動し、下面Ｗｂの外周部を洗浄する。具体的には、洗浄手段６は、１つの洗浄部材６４を両側に位置する２つの回転防止部材６８０に衝突しない範囲で回転させてから停止させる。そして、今度は、回転手段６１が矢印Ｐ方向とは反対の方向に向かって洗浄部材保持部６２を回転させる。このようにして、洗浄部材６４が円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に接触した状態で回転することにより、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部のうち、回転防止部材６８０が接触している箇所以外の領域が洗浄される。洗浄中は、回転手段６１が洗浄部材６４を回転させることによって円形板状ワークＷが回転するのを回転防止手段６８が防止するため、洗浄を確実に行うことができる。

次いで、回転防止手段６８を下降させることにより回転防止部材６８０と円形板状ワークＷの下面Ｗｂとの接触状態を解除した後、洗浄部材保持部６２を所定の角度回転させる。そうすると、円形板状ワークＷの下面Ｗｂが回転防止部材６８０と接触していないため、洗浄部材６４とともに円形板状ワークＷも所定の角度回転する。このようにして、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部中の回転防止部材６８０が先の洗浄において接触していた箇所を、回転防止部材６８０からずらし、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部中、先の洗浄において回転防止部材６８０が接触していたため未洗浄となっている領域を露出させる。

次いで、再び回転防止部材６８０を上昇させて円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に接触させ、先と同様に回転手段６１が洗浄部材保持部６２を回転させて、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部全周を洗浄部材６４により洗浄する。

洗浄部材６４により円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部を洗浄している際には、図３に示す洗浄水供給手段６９が、洗浄水を基部６８１ａの内部に形成された通水路６８１ｄへ流入させる。この洗浄水は平板部６８１ｂの内部において二股に分流され、図７に示すように、平板部６８１ｂの先端部分６８１ｃの上面に開口する噴出口６８１ｅから外側に向かって噴出し、各平板部６８１ｂの隣に位置している状態のケース６３の内部、例えば、洗浄部材６４とのケース６３の側壁６３ｂとの隙間Ｖに向かって放物線を描くように流入していく。なお、先端部分６８１ｃの上面に開口する噴出口６８１ｅは、先端部分６８１ｃの上面に対して所定の角度だけ先端部分６８１ｃの外側方向に向かって傾斜するように形成されていてもよい。

図３に示すように、ワーク洗浄中において、回転手段６１は、１つの洗浄部材６４を両側に位置する２つの回転防止部材６８０に衝突しない範囲で往復移動するように回転させるため、ケース６３のより近くに位置する片方の回転防止部材６８０に形成されている噴出口６８１ｅから、常時ケース６３に対して洗浄水が供給された状態になる。また、図７に示すように、ケース６３の高さ位置と噴出口６８１ｅが形成されている回転防止部材６８０との高さ位置とが近い位置にあるため、噴出口６８１ｅから噴射された洗浄水がケース６３に供給されやすくなっている。

ケース６３の内部に到達した洗浄水は、例えば連泡スポンジからなる洗浄部材６４によって吸い上げられ、洗浄部材６４の全体に広範囲にわたって染み込んでいく。したがって、洗浄部材６４の円形板状ワークＷの下面Ｗｂとの接触部位である洗浄部材６４の上面は、常に多くの洗浄水を含み濡れた状態になるので、洗浄部材６４が乾燥した状態でワークＷに擦り付けられることがなくなり、洗浄部材６４が急速に磨耗してしまうことがなくなる。

例えば、洗浄部材６４により多くの洗浄水を含ませるために、図７のケース６３に破線で示す貫通孔６３ｄを形成してもよい。貫通孔６３ｄは、例えば、ケース６３の底板６３ａを厚み方向に貫通して形成されている。また、この場合は、洗浄部材保持部６２の平板部６２１の厚み方向にも、洗浄水を通水させる通水路を設けて、貫通孔６３ｄ、この平板部６２１に形成された通水路、及び洗浄水供給手段６９を連通させる。ワークＷの洗浄時に、ケース６３の外部からケース６３に対して洗浄水を供給すると共に、洗浄水供給手段６９から貫通孔６３ｄを経てケース６３に対して洗浄水を供給させることで、ケース６３内に収容された洗浄部材６４が洗浄水をより多く吸い上げることができるようになるため、洗浄部材６４が乾燥した状態でワークＷに擦り付けられることがよりなくなり、洗浄部材６４が急速に磨耗してしまうことがなくなる。

さらに、例えば、洗浄部材６４として単泡スポンジを使用する場合には、図７の洗浄部材６４に一点鎖線で示す連通孔６４ｄを形成してもよい。連通孔６４ｄは、例えば、洗浄部材６４の底面から洗浄部材６４の内部に至るように形成されており、ケース６３の貫通孔６３ｄに連通している。単泡スポンジは洗浄水を吸い上げ難いが、連通孔６４ｄを形成することで、ワークＷの洗浄時に、ケース６３の外部からケース６３に対して洗浄水を供給すると共に、洗浄水供給手段６９から貫通孔６３ｄ及び連通孔６４ｄを経て洗浄部材６４に対して洗浄水を供給させることで、洗浄部材６４が乾燥した状態でワークＷに擦り付けられるおそれがより低減され、洗浄部材６４が急速に磨耗してしまうことがなくなる。

なお、本発明に係る研削装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている研削装置１の各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

例えば、研削装置１は、図８に示す洗浄手段６Ａを備えるものとしてもよい。洗浄手段６Ａは、図３に示す洗浄手段６の構成の一部、すなわち、回転防止手段６８を回転防止手段６８Ａに変更したものであり、回転防止手段６８と回転防止手段８６Ａとの構成の違い以外については、洗浄手段６と洗浄手段６Ａとは同様に構成されている。図８に示す洗浄手段６Ａは、図３に示す洗浄手段６と同様に、洗浄部材保持部６２を備えており、洗浄部材保持部６２は、模式的に示す回転軸６０及び回転手段６１により回転可能となっている。また、洗浄部材保持部６２の平板部６２１には、ケース６３が固定されており、ケース６３には洗浄部材６４が収容されている。

洗浄部材保持部６２の上方には、洗浄部材６４を円形板状ワークＷに当接させ回転手段６１によって洗浄部材６４を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークＷが回転することを防止するための回転防止手段６８Ａが配設されている。回転防止手段６８Ａは、例えば、円形板状に形成されたスポンジ等の回転防止部材６８０Ａと、回転防止部材６８０Ａが固定される固定板６８１Ａとを備えている。固定板６８１Ａは、円形板状に形成されており、その中央領域に、回転防止部材６８０Ａが適宜の接着剤またはボルト等によって固定されている。固定板６８１Ａの下面側には、支持柱６８２が接続されており、支持柱６８２は、回転軸６０を囲うように配設されている。支持柱６８２には、エアシリンダ６８３が接続されており、エアシリンダ６８３により支持柱６８２が上下動することで、固定板６８１Ａが洗浄部材保持部６２に対して相対的に上下動する。

固定板６８１Ａには、ボルト６８１Ｂによって複数の洗浄水ノズル６８１Ｃが固定されている。洗浄水ノズル６８１Ｃは、例えば、固定板６８１Ａから水平に少なくとも３方向に均等な角度（例えば１２０度）で放射状に延在している。洗浄水ノズル６８１Ｃの外側面には、噴出口６８１Ｆが洗浄水ノズル６８１Ｃの延在方向に沿って整列して複数（図８においては、５つずつ整列しており、計１０つ）設けられている。各洗浄水ノズル６８１Ｃには、少なくともケース６３に洗浄水を供給する洗浄水供給手段６９が連通しており、洗浄水供給手段６９から供給された洗浄水は、噴出口６８１Ｆから洗浄水ノズル６８１Ｃの両脇方向に向かって噴出し、各洗浄水ノズル６８１Ｃの隣に位置している状態のケース６３の内部に供給される。

洗浄手段６Ａにより円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部を洗浄する場合には、回転防止部材６８０Ａを、図２に示す保持パッド５１により上面Ｗａを保持された円形板状ワークＷの下面Ｗｂの中央領域に接触させて、円形板状ワークＷの回転を摩擦力により阻止する。また、洗浄部材６４が円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部に接触した状態で回転することにより、円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部が洗浄される。

洗浄部材６４により円形板状ワークＷの下面Ｗｂの外周部を洗浄している際には、洗浄水供給手段６９が、洗浄水を洗浄水ノズル６８１Ｃへ流入させる。この洗浄水は、洗浄水ノズル６８１Ｃの内部を通り、噴出口６８１Ｆから外側に向かって噴出し、洗浄水ノズル６８１Ｃの隣に位置している状態のケース６３の内部に向かって放物線を描くように流入していく。

１：研削装置
２：チャックテーブル２ａ：ターンテーブル
３０：第１研削手段３１：第２研削手段３２：研磨手段
４０：第１カセット４１：第２カセット
４２：ロボット４２０：ハンド部４２１：アーム部４２２：駆動手段
４３：仮置きテーブル４４：搬出入領域４５：搬入手段４５０：直動軸
４５１：吸引パッド
５：搬出手段５０：アーム部５１：保持パッド５１ａ：吸引面
６：洗浄手段６０：回転軸６１：回転手段
６２：洗浄部材保持部６２０：基部６２１：平板部
６３：ケース６３ａ：ケースの底板６３ｂ：ケースの側板６３ｄ：貫通孔
６４：洗浄部材６４ｄ：連通孔６４Ａ：帯状の洗浄部材６３０：スペーサー
６３１：固定ネジ
６８：回転防止手段６８０：回転防止部材６８１：固定板６８１ａ：基部
６８１ｂ：平板部６８１ｃ：平板部の先端部分６８１ｄ：通水路６８１ｅ：噴出口
６８３：エアシリンダ
Ｗ：円形板状ワークＷａ：ワークの上面Ｗｂ：ワークの下面
６Ａ：洗浄手段６８Ａ：回転防止手段６８０Ａ：回転防止部材６８１Ａ：固定板
６８１Ｃ：洗浄水ノズル６８１Ｆ：噴出口

Claims

円形板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された円形板状ワークを研削加工する研削手段と、円形板状ワークの上面を保持し該研削手段によって研削された円形板状ワークを該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、円形板状ワークの下面を洗浄する洗浄手段と、を備える研削装置において、
該洗浄手段は、該搬出手段が保持する円形板状ワークの下面に対して垂直な軸心を備える回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動して円形板状ワークを洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を収容するケースと、該洗浄部材を円形板状ワークに当接させ該回転手段によって該洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転することを防止するための回転防止手段と、少なくとも該ケースに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とを備え、
該洗浄水供給手段から該ケースに供給された洗浄水を含んだ該洗浄部材が円形板状ワークの下面の外周部を洗浄する研削装置。
前記ケースは貫通孔を有し、
前記洗浄水供給手段は該貫通孔と連通し該ケースに洗浄水を供給する請求項１に記載の研削装置。
前記洗浄部材は、曲面形状の角部を備える請求項１または２に記載の研削装置。