JP2017191108A - ガス増幅を用いた放射線検出器、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、上述したガス増幅を用いた放射線検出器では、前記絶縁部材の厚さをt1、前記貫通孔の直径をd1とした場合、t1/d1は、1.5以上であることが好ましい。
なお、ガス増幅を用いた放射線検出器は、絶縁部材の第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターンと、前記絶縁部材の前記第1の面と相対向する第2の面上に形成されるとともに、前記絶縁部材の前記第2の面から前記第1の面に向けて形成された複数の貫通孔の内壁面それぞれに形成された複数の金属層を有する第2の電極パターンとを具え、前記複数の金属層の上端部それぞれが前記第1の電極パターンの前記複数の開口部の中心部に露出している構成を有するものであってもよい。
このようなガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法では、上述したように、前記絶縁部材の厚さをt1、前記貫通孔の直径をd1とした場合、t1/d1は、1.5以上であることが望ましい。
なお、ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法は、絶縁部材の第1の面上に第1の電極層を形成するとともに、前記絶縁部材の前記第1の面と相対向する第2の面上に第2の電極層を形成する工程と、前記第1の電極層に対して第1の露光現像処理を施し、前記第1の電極層において複数の加工用開口部を形成する工程と、前記第1の電極層の前記複数の加工用開口部を介して前記絶縁部材にエネルギー線を照射する、又は感光性フォトリソグラフィを施すことによって、前記絶縁部材の厚さ方向において複数の貫通孔を形成する工程と、前記複数の貫通孔内にコンフォーマルメッキを施し、前記複数の貫通孔それぞれの内壁面に複数の金属メッキ層を形成する工程と、前記第1の電極層に対して第2の露光現像処理を施し、前記第1の電極層において前記複数の金属メッキ層それぞれを中心とし、前記複数の金属めっき層それぞれの上端部が露出するようにして円形状の複数の開口部を形成して、第1の電極パターンを形成する工程と、を有するものであってもよい。
図1は、本実施形態のガス増幅を利用した放射線検出器の概略構成を示す斜視図であり、図2は、図1に示す放射線検出器のピクセル電極周辺部分を拡大して示す断面図である。
図3は、本実施形態のガス増幅を利用した放射線検出器の概略構成を示す断面図であり、放射線検出器のピクセル電極周辺部分を拡大して示している。
第1の実施形態の放射線検出器の製造方法について説明する。図4〜図9は、本実施形態の製造方法における工程図である。
第2の実施形態の放射線検出器の製造方法について説明する。図10及び図11は、本実施形態の製造方法における工程図である。
11,21 検出パネル
12 電極板
111 絶縁部材
111H 貫通孔
112 第1の電極パターン
112A 第1の電極パターンの円形状開口部
113 第2の電極パターン
114 金属層
114A 金属層の上端部
114B 金属層の延在部
Claims (4)
- 絶縁部材の第1の面上に形成されるとともに、円形状の複数の開口部を有する第1の電極パターンと、
前記絶縁部材の前記第1の面に対して相対向する第2の面上に形成されたストリップ状の電極パターンと、前記絶縁部材の前記第2の面から前記第1の面に向けて形成された複数の貫通孔それぞれの内壁面に形成された複数の金属メッキ層と、が接続されて構成されている第2の電極パターンと、を備え、
前記複数の金属メッキ層の上端部それぞれが前記第1の電極パターンの前記複数の開口部の中心部に露出していることを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線検出器。 - 前記絶縁部材の厚さをt1、前記貫通孔の直径をd1とした場合、
t1/d1は、1.5以上であることを特徴とする、請求項1に記載のガス増幅を用いた放射線検出器。 - 絶縁部材の第1の面上に第1の電極層を形成するとともに、前記絶縁部材の前記第1の面と相対向する第2の面上に第2の電極層を形成する工程と、
前記絶縁部材に形成された第1の電極層に複数の加工用開口部を形成するとともに、前記第2の電極層からストリップ状の電極パターンを形成する工程と、
前記第1の電極層に形成された複数の加工用開口部を介して、前記絶縁部材をその厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を形成する工程と、
前記絶縁部材に形成された複数の貫通孔それぞれの内壁面に複数の金属メッキ層を形成して前記ストリップ状の電極パターンと接続することにより、第2の電極パターンを形成する工程と、
前記第1の電極層に対して露光現像処理を施し、前記第1の電極層において前記複数の金属メッキ層それぞれを中心とし、前記複数の金属メッキ層それぞれの上端部が露出するように、円形状の複数の開口部を形成することによって、第1の電極パターンを形成する工程と、
を有することを特徴とする、ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法。 - 前記絶縁部材の厚さをt1、前記貫通孔の直径をd1とした場合、
t1/d1は、1.5以上であることを特徴とする、請求項3に記載のガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法。
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