JP2017168248A - Copper fine particle dispersion, conductive film forming method and circuit board - Google Patents
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Abstract
【課題】 良好な印刷特性と低抵抗とを両立することができる銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板を提供する。【解決手段】 銅微粒子分散液は、中心粒子径が1nm以上100nm以下の第1銅微粒子と、中心粒子径が0.3μm以上2μm未満の第2銅微粒子と、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子に対する濃度が0.05mass%以上8mass%未満の樹脂と、溶剤と、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子を前記溶剤中で分散させる分散剤と、を有することを特徴とする。【選択図】 図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a copper fine particle dispersion, a conductive film forming method, and a circuit board capable of achieving both good printing characteristics and low resistance. A copper fine particle dispersion includes first copper fine particles having a center particle diameter of 1 nm to 100 nm, second copper fine particles having a center particle diameter of 0.3 μm to less than 2 μm, the first copper fine particles, and the first copper fine particles. 2. A resin having a concentration with respect to 2 copper fine particles of 0.05 mass% or more and less than 8 mass%, a solvent, and a dispersant for dispersing the first copper fine particles and the second copper fine particles in the solvent. . [Selection] Figure 1
Description
本件は、銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板に関する。 The present case relates to a copper fine particle dispersion, a conductive film forming method, and a circuit board.
銅微粒子を含むインクを用いた印刷によりパターンを形成し、光焼成によって導電膜を形成する技術が開示されている(例えば、特許文献1,2参照)。一方、導電性金属粒子を含むインクを用いたグラビアオフセット印刷手法が開示されている(例えば、特許文献3参照)。 A technique is disclosed in which a pattern is formed by printing using ink containing copper fine particles, and a conductive film is formed by light baking (see, for example, Patent Documents 1 and 2). On the other hand, a gravure offset printing method using ink containing conductive metal particles is disclosed (for example, see Patent Document 3).
銅微粒子を含むインクを用いてグラビアオフセット印刷しようとすると、異なる線幅のパターンを一度に印刷することが困難である。すなわち、良好な印刷特性が得られない場合がある。そこで、インクに樹脂を添加することが考えられるが、樹脂を添加しても良好な印刷特性が得られない場合がある。また、樹脂を添加することで、光焼成後に得られる導電膜の抵抗が大きくなる場合がある。 When gravure offset printing is attempted using ink containing copper fine particles, it is difficult to print patterns having different line widths at a time. That is, good printing characteristics may not be obtained. Therefore, it is conceivable to add a resin to the ink, but even if the resin is added, good printing characteristics may not be obtained. Moreover, the resistance of the electrically conductive film obtained after photobaking may become large by adding resin.
本件は上記課題に鑑みなされたものであり、良好な印刷特性と低抵抗とを両立することができる銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a copper fine particle dispersion, a method for forming a conductive film, and a circuit board that can achieve both good printing characteristics and low resistance.
本発明に係る銅微粒子分散液は、中心粒子径が1nm以上100nm以下の第1銅微粒子と、中心粒子径が0.3μm以上2μm未満の第2銅微粒子と、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子に対する濃度が0.05mass%以上8mass%未満の樹脂と、溶剤と、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子を前記溶剤中で分散させる分散剤と、を有することを特徴とする。 The copper fine particle dispersion according to the present invention includes a first copper fine particle having a center particle diameter of 1 nm to 100 nm, a second copper fine particle having a center particle diameter of 0.3 μm to less than 2 μm, the first copper fine particle, and the first 2. A resin having a concentration with respect to 2 copper fine particles of 0.05 mass% or more and less than 8 mass%, a solvent, and a dispersant for dispersing the first copper fine particles and the second copper fine particles in the solvent. .
前記樹脂は、ポリビニルピロリドン、ポリエステル樹脂、ポリビニルアルコール、テルペンフェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレア変性中極性ポリアマイド、変性ウレア、エポキシ樹脂の少なくともいずれかを含んでいてもよい。前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子の総質量に対する前記第1銅微粒子の割合は、30mass%以上70mass%以下としてもよい。前記銅微粒子分散液に対する、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子の合計の濃度は、1mass%以上85mass%以下としてもよい。 The resin may contain at least one of polyvinyl pyrrolidone, polyester resin, polyvinyl alcohol, terpene phenol resin, acrylic resin, urea-modified medium polarity polyamide, modified urea, and epoxy resin. The ratio of the first copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles may be not less than 30 mass% and not more than 70 mass%. The total concentration of the first copper fine particles and the second copper fine particles with respect to the copper fine particle dispersion may be 1 mass% or more and 85 mass% or less.
本発明に係る導電膜形成方法は、上記銅微粒子分散液の皮膜を物体表面に形成し、前記皮膜を乾燥させ、乾燥した前記皮膜に光を照射する光焼成によって導電膜を形成する、ことを特徴とする。グラビアオフセット印刷法を用いて前記銅微粒子分散液の皮膜を前記物体表面に形成してもよい。 The method for forming a conductive film according to the present invention includes forming a film of the copper fine particle dispersion on the surface of the object, drying the film, and forming the conductive film by light firing that irradiates the dried film with light. Features. A film of the copper fine particle dispersion may be formed on the object surface using a gravure offset printing method.
本発明に係る回路基板は、上記導電膜形成方法によって形成された導電膜を有する回路を基板上に備えることを特徴とする。 A circuit board according to the present invention is characterized in that a circuit having a conductive film formed by the above conductive film forming method is provided on a substrate.
本発明に係る銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板によれば、良好な印刷特性と低抵抗とを両立することができる。 According to the copper fine particle dispersion, the conductive film forming method and the circuit board according to the present invention, both good printing characteristics and low resistance can be achieved.
まず、実施形態に係る銅微粒子分散液が好適に対象とするグラビアオフセット印刷法を用いた導電膜形成手順について説明する。図1は、グラビアオフセット印刷機100を例示する図である。図1で例示するように、グラビアオフセット印刷機100は、凹版(グラビア版)10が載置された第1ステージ20と、被印刷物である基板30が載置された第2ステージ40と、第1ステージ20および第2ステージ40を所定の直線方向に往復動させる搬送装置50と、凹版10に圧接可能に設けられたドクターブレード60と、凹版10および基板30に圧接可能に設けられたブランケット70と、を含む。
First, the conductive film formation procedure using the gravure offset printing method which is suitable for the copper fine particle dispersion according to the embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram illustrating a gravure
グラビアオフセット印刷法においては、凹版10に銅微粒子分散液を塗布する。次に、搬送装置50によって第1ステージ20をドクターブレード60側に搬送し、ドクターブレード60を凹版10に圧接することによって、凹版10の凹部に銅微粒子分散液を充填する。搬送装置50によって第1ステージ20をさらにブランケット70側に搬送し、ブランケット70を凹版10に圧接することによって、凹版10の凹部に充填された銅微粒子分散液がブランケット70に吸われる。すなわち、凹版10の凹部に対応する印刷パターンがブランケット70に転写される。次に、搬送装置50によって第2ステージ40をブランケット70側に搬送し、ブランケット70を基板30に圧接することによって、基板30に印刷パターンの皮膜を形成する。次に、必要であれば、皮膜に対して乾燥処理を行う。皮膜の乾燥によって、銅微粒子分散液中の樹脂、溶剤および分散剤が蒸発し、銅微粒子が残る。次に、乾燥した皮膜に光を照射することによって、銅微粒子に対して焼成処理を行う。それにより、導電膜が形成される。
In the gravure offset printing method, a copper fine particle dispersion is applied to the
上記のようなグラビアオフセット印刷法においては、例えば50μm以下の高精細なラインを印刷することができるという効果が得られる。しかしながら、ブランケット70に吸われる銅微粒子分散液の量が線幅に応じて異なるため、印刷パターンに異なる線幅が含まれている場合にはそれらの線幅のパターンを一度に印刷する(一括印刷する)ことが困難である。すなわち、良好な印刷特性が得られない。例えば、いずれかの線幅のパターンではブランケット70に銅微粒子分散液が残留し、基板30に転写できない場合がある。
In the gravure offset printing method as described above, for example, an effect that a high-definition line of 50 μm or less can be printed is obtained. However, since the amount of the copper fine particle dispersion sucked into the
そこで、銅微粒子分散液に樹脂を添加することで、異なる線幅のパターンを一度に印刷することが考えられる。樹脂により銅微粒子分散液のレオロジー特性をコントロールすることでブランケット70に吸われる銅微粒子分散液の量を抑えることができるからである。さらに、ブランケット70にぬれにくい樹脂を使用することで、銅微粒子分散液がブランケット70上に残留しにくくなるからである。しかしながら、樹脂を添加しても良好な印刷特性が得られない場合があることがわかった。また、樹脂を添加することで、銅微粒子分散液を光焼成することで得られる導電膜の抵抗が大きくなる場合があることがわかった。そこで、以下の実施形態では、良好な印刷特性と低抵抗とを両立することができる銅微粒子分散液、導電膜形成方法および回路基板について説明する。
Therefore, it is conceivable to print patterns having different line widths at once by adding a resin to the copper fine particle dispersion. This is because the amount of the copper fine particle dispersion sucked into the
(実施形態)
一実施形態に係る銅微粒子分散液は、中心粒子径が1nm以上100nm以下の第1銅微粒子と、中心粒子径が0.3μm以上2μm未満の第2銅微粒子と、第1銅微粒子および第2銅微粒子に対する濃度が0.05mass%以上8mass%未満の樹脂と、溶剤と、前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子を前記溶剤中で分散させる分散剤と、を有する。
(Embodiment)
The copper fine particle dispersion according to one embodiment includes a first copper fine particle having a center particle diameter of 1 nm to 100 nm, a second copper fine particle having a center particle diameter of 0.3 μm to less than 2 μm, a first copper fine particle, and a second copper fine particle. A resin having a concentration with respect to the copper fine particles of 0.05 mass% or more and less than 8 mass%, a solvent, and a dispersant for dispersing the first copper fine particles and the second copper fine particles in the solvent.
銅微粒子分散液に樹脂を添加することによって、グラビアオフセット印刷法において各線幅の印字を一度に行う(一括印刷する)ことができる。すなわち、良好な印刷特性が得られるようになる。良好な印刷特性を得るためには、樹脂濃度は高い方が好ましい。樹脂により銅微粒子分散液のレオロジー特性をコントロールすることでブランケットに吸われる銅微粒子分散液の量を抑えることができるからである。さらに、ブランケットにぬれにくい樹脂を使用することで、銅微粒子分散液がブランケット上に残留しにくくなるからである。そこで、第1銅微粒子および第2銅微粒子に対する濃度を0.05mass%以上とする。光焼成の際の蒸発量を抑えて導電膜の抵抗率を低くするためには、樹脂濃度は過度に高くないことが好ましい。そこで、第1銅微粒子および第2銅微粒子に対する濃度を8mass%未満とする。また、良好な印刷特性を得るためには、粒径の小さい銅微粒子および粒径の大きい銅微粒子を用いることが好ましい。銅微粒子分散液における銅微粒子の良好な分散安定性を得るためには、第1銅微粒子の粒径は小さいことが好ましい。さらに、光焼成により導体化を行うためには、第1銅微粒子の粒径は小さいことが好ましい。そこで、第1銅微粒子の中心粒子径を1nm以上100nm未満とする。第1銅微粒子に対して粒径の大きい第2銅微粒子を添加することで、ブランケットに吸われる銅微粒子分散液の量を抑えることができる。良好な印刷特性を得るためには、第2銅微粒子の中心粒子径は第1銅微粒子に比べて十分大きいことが好ましい。そこで、第2銅微粒子の中心粒子径を0.3μm以上とする。第2銅微粒子の中心粒子径が大き過ぎると良好な分散安定性が得られない。そこで、第2銅微粒子の中心粒子径を2μm未満とする。 By adding a resin to the copper fine particle dispersion, each line width can be printed at once (collective printing) in the gravure offset printing method. That is, good printing characteristics can be obtained. In order to obtain good printing characteristics, a higher resin concentration is preferable. This is because the amount of the copper fine particle dispersion sucked by the blanket can be suppressed by controlling the rheological characteristics of the copper fine particle dispersion with the resin. Furthermore, it is because the copper fine particle dispersion liquid is less likely to remain on the blanket by using a resin that is difficult to wet the blanket. Therefore, the concentration with respect to the first copper fine particles and the second copper fine particles is set to 0.05 mass% or more. The resin concentration is preferably not excessively high in order to reduce the evaporation amount during the light baking and to lower the resistivity of the conductive film. Therefore, the concentration with respect to the first copper fine particles and the second copper fine particles is set to less than 8 mass%. In order to obtain good printing characteristics, it is preferable to use copper fine particles having a small particle diameter and copper fine particles having a large particle diameter. In order to obtain good dispersion stability of the copper fine particles in the copper fine particle dispersion, the first copper fine particles preferably have a small particle size. Furthermore, it is preferable that the particle diameter of the first copper fine particles is small in order to make a conductor by photo-firing. Therefore, the center particle diameter of the first copper fine particles is set to 1 nm or more and less than 100 nm. By adding the second copper fine particles having a large particle diameter to the first copper fine particles, the amount of the copper fine particle dispersion sucked by the blanket can be suppressed. In order to obtain good printing characteristics, the center particle diameter of the second copper fine particles is preferably sufficiently larger than that of the first copper fine particles. Therefore, the center particle diameter of the second copper fine particles is set to 0.3 μm or more. If the center particle diameter of the second copper fine particles is too large, good dispersion stability cannot be obtained. Therefore, the center particle diameter of the second copper fine particles is set to less than 2 μm.
以下、銅微粒子分散液の他の態様について説明する。第1銅微粒子は、同一中心粒子径のものを単独で用いてもよく、2種類以上の中心粒子径を有するものを混合して用いてもよい。第2銅微粒子は、同一中心粒子径のものを単独で用いてもよく、2種類以上の中心粒子径を有するものを混合して用いてもよい。 Hereinafter, other aspects of the copper fine particle dispersion will be described. As the first copper fine particles, those having the same center particle diameter may be used alone, or those having two or more kinds of center particle diameters may be mixed and used. As the second copper fine particles, those having the same center particle diameter may be used alone, or those having two or more kinds of center particle diameters may be mixed and used.
第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計の濃度は、銅微粒子分散液に対して1mass%以上85mass%以下とすることが好ましい。合計の濃度を1mass%以上とすることで、導電膜を形成するための十分な銅微粒子量が得られる。合計の濃度を85mass%以下とすることで、第1銅微粒子および第2銅微粒子の良好な分散安定性及び印刷特性が得られる。 The total concentration of the first copper fine particles and the second copper fine particles is preferably 1 mass% or more and 85 mass% or less with respect to the copper fine particle dispersion. By setting the total concentration to 1 mass% or more, a sufficient amount of copper fine particles for forming the conductive film can be obtained. By setting the total concentration to 85 mass% or less, good dispersion stability and printing characteristics of the first copper fine particles and the second copper fine particles can be obtained.
第1銅微粒子および第2銅微粒子の総質量に対する第1銅微粒子の割合は、30mass%以上70mass%以下であることが好ましい。言い換えると、第1銅微粒子および第2銅微粒子の総質量に対する第2銅微粒子の割合は、30mass%以上70mass%以下であることが好ましい。第1銅微粒子および第2銅微粒子の総質量に対する第1銅微粒子の割合が30mass%未満であると、銅微粒子分散液に十分な粘度が得られず、グラビアオフセット用インクとして使用に耐えないおそれがあるからである。また、第1銅微粒子および第2銅微粒子の総質量に対する第1銅微粒子の割合が70mass%より大きいと、線幅によりブランケットに吸われる銅微粒子分散液の量が大きく異なるため、一括印刷することができないおそれがあるためである。すなわち、良好な印刷特性が得られないおそれがあるためである。 The ratio of the first copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles is preferably 30 mass% or more and 70 mass% or less. In other words, the ratio of the second copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles is preferably 30 mass% or more and 70 mass% or less. If the ratio of the first copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles is less than 30 mass%, the copper fine particle dispersion may not have sufficient viscosity, and may not be used as a gravure offset ink. Because there is. In addition, if the ratio of the first copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles is larger than 70 mass%, the amount of the copper fine particle dispersion sucked into the blanket varies greatly depending on the line width. It is because there is a possibility that it cannot be done. That is, good printing characteristics may not be obtained.
樹脂は、特に限定されるものではないが、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、熱分解性樹脂などを用いることができる。熱可塑性樹脂としては、例えば、ビニル系のポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン系のポリスチレン、スチレン・アクリロニトリル共重合体、スチレン・ブタジエン・アクリロニトリル共重合体、ポリエチレン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリフェノール、ポリプロピレン系、ポリアセタール系、ポリエステル系、テルペン樹脂系、環化ゴム系、アルキッド樹脂系、アクリル系のポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、変性アクリル、メタクリル・スチレン共重合体、酢酸セルロース系、ポリカーボネート系、ポリエチレンテレフタレート系、ポリアミド系のポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ナイロン、ポリウレタン系、フッ素系樹脂などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。熱硬化性樹脂としては、例えば、フェノール樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル、シリコーンなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、これらは熱でなく紫外線による光反応により硬化しても構わない。分解性樹脂としては、例えば、ポリペルオキシドなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。これらの樹脂は単独で用いても、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The resin is not particularly limited, and a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a thermally decomposable resin, or the like can be used. Examples of the thermoplastic resin include vinyl-based polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, polystyrene-based polystyrene, styrene / acrylonitrile copolymer, styrene / butadiene / acrylonitrile copolymer. Polymer, polyethylene, ethylene / vinyl acetate copolymer, polyphenol, polypropylene, polyacetal, polyester, terpene resin, cyclized rubber, alkyd resin, acrylic polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, modified acrylic, Methacryl / styrene copolymer, cellulose acetate, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyamide polyamide, polyimide, polyamideimide, nylon, polyurethane, fluorine Such as butter, and the like, but not limited thereto. Examples of the thermosetting resin include, but are not limited to, phenol resin, melamine resin, epoxy resin, unsaturated polyester, and silicone. Further, they may be cured by photoreaction with ultraviolet rays instead of heat. Examples of the degradable resin include polyperoxide, but are not limited thereto. These resins may be used alone or in combination of two or more.
樹脂として、ポリビニルピロリドン、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリビニルアルコール、テルペンフェノール樹脂、アクリル樹脂、ウレア変性中極性ポリアマイド、変性ウレアなどを用いることが好ましい。これらの樹脂は比較的極性が高いため、銅微粒子及び極性分散媒になじみやすく、非極性であるブランケットになじみにくい。樹脂が銅微粒子及び極性分散媒になじみやすいことで、銅微粒子分散液のレオロジー特性を変えることができ、レオロジー特性をコントロールすることで、ブランケットに吸われる銅微粒子分散液の量を抑えることができる。また、樹脂がブランケットになじみにくいことで、銅微粒子分散液がブランケット上に残留しにくくなる。以上の理由により、これらの樹脂が良好な印刷特性を発現するものと考えられる。 As the resin, it is preferable to use polyvinyl pyrrolidone, polyester resin, epoxy resin, polyvinyl alcohol, terpene phenol resin, acrylic resin, urea-modified medium polar polyamide, modified urea or the like. Since these resins are relatively high in polarity, they are easily compatible with copper fine particles and a polar dispersion medium, and are not easily compatible with a non-polar blanket. Because the resin is easily compatible with copper fine particles and polar dispersion media, the rheological properties of the copper fine particle dispersion can be changed, and by controlling the rheological properties, the amount of copper fine particle dispersion absorbed by the blanket can be suppressed. . Further, since the resin is not easily adapted to the blanket, the copper fine particle dispersion is less likely to remain on the blanket. For these reasons, these resins are considered to exhibit good printing characteristics.
溶剤(分散媒)は、特に限定されるものではない。溶剤として、例えば、極性分散媒を用いることができる。極性分散媒として、プロトン性分散媒または非プロトン性分散媒を用いることができる。プロトン性分散媒は、1個のヒドロキシル基を有する炭素数が5以上30以下の直鎖または分岐鎖状のアルキル化合物もしくはアルケニル化合物である。このプロトン性分散媒は、1個以上10個以下のエーテル結合を有してもよく、1個以上5個以下のカルボニル基を有してもよい。炭素数を5以上とすることで、銅微粒子の分散媒中への溶出(腐食)が抑制され、良好な分散安定性が得られる。炭素数を30以下とすることで、分散媒の極性低下が抑制され、分散剤が溶解しやすくなる。 The solvent (dispersion medium) is not particularly limited. As the solvent, for example, a polar dispersion medium can be used. As the polar dispersion medium, a protic dispersion medium or an aprotic dispersion medium can be used. The protic dispersion medium is a linear or branched alkyl compound or alkenyl compound having one hydroxyl group and having 5 to 30 carbon atoms. This protic dispersion medium may have 1 to 10 ether bonds and may have 1 to 5 carbonyl groups. By setting the carbon number to 5 or more, elution (corrosion) of copper fine particles into the dispersion medium is suppressed, and good dispersion stability is obtained. By setting the number of carbon atoms to 30 or less, a decrease in the polarity of the dispersion medium is suppressed, and the dispersant is easily dissolved.
このようなプロトン性分散媒としては、例えば、3−メトキシ−3−メチルブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテ ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノ−tert−ブチルエーテル、2−オクタノール等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Examples of such a protic dispersion medium include 3-methoxy-3-methylbutanol, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, and dipropylene. Examples include, but are not limited to, glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol mono-tert-butyl ether, and 2-octanol. It is not a thing.
プロトン性分散媒は、2個以上6個以下のヒドロキシル基を有する炭素数が2以上30以下の直鎖または分岐鎖状のアルキル化合物もしくはアルケニル化合物であってもよい。このプロトン性分散媒は、1個以上10個以下のエーテル結合を有してもよく、1個以上5個以下のカルボニル基を有してもよい。 The protic dispersion medium may be a linear or branched alkyl compound or alkenyl compound having 2 to 6 hydroxyl groups and 2 to 30 carbon atoms. This protic dispersion medium may have 1 to 10 ether bonds and may have 1 to 5 carbonyl groups.
このようなプロトン性分散媒としては、例えば、2−メチルペンタン−2,4−ジオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,5−ペンタンジオール、ジエチレ ングリコール、トリエチレングリコール、グリセリン、ソルビトール等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Examples of such a protic dispersion medium include 2-methylpentane-2,4-diol, ethylene glycol, propylene glycol, 1,5-pentanediol, polyethylene glycol, triethylene glycol, glycerin, sorbitol and the like. However, it is not limited to these.
比誘電率が30以上の非プロトン性極性分散媒としては、例えば、プロピレンカーボネート、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、ヘキサメチルフォスフォラミド、N−メチルピロリドン、N−エチルピロリドン、ニトロベンゼン、N、N−ジエチルホルムアミド、N、N−ジメチルアセトアミド、フルフラール、γ−ブチロラクトン、エチレンスルファイト、スルホラン、ジメチルスルホキシド、スクシノニトリル、エチレンカーボネート等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Examples of the aprotic polar dispersion medium having a relative dielectric constant of 30 or more include propylene carbonate, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, hexamethylphosphoramide, N-methylpyrrolidone, N-ethylpyrrolidone, and nitrobenzene. , N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, furfural, γ-butyrolactone, ethylene sulfite, sulfolane, dimethyl sulfoxide, succinonitrile, ethylene carbonate and the like, but are not limited thereto. .
これらの極性分散媒は、1種類を単独で用いても、2種類以上を適宜混合して用いてもよい。 These polar dispersion media may be used alone or in combination of two or more.
分散剤は、特に限定されるものではない。分散剤として、例えば、少なくとも1個以上の酸性官能基を有する分子量200以上100000以下の化合物またはその塩を用いることができる。分散剤の酸性官能基は、酸性、すなわち、プロトン供与性を有する官能基であり、例えば、リン酸基、ホスホン酸基、スルホン酸基、硫酸基、カルボキシル基などである。 The dispersant is not particularly limited. As the dispersant, for example, a compound having at least one acidic functional group and a molecular weight of 200 or more and 100,000 or less or a salt thereof can be used. The acidic functional group of the dispersant is a functional group having acidity, that is, a proton donating property, such as a phosphoric acid group, a phosphonic acid group, a sulfonic acid group, a sulfuric acid group, and a carboxyl group.
これらの分散剤を使用する場合、1種類を単独で用いても、2種類以上を適宜混合して用いてもよい。分散剤の濃度は、例えば、銅微粒子分散液に対して0.5mass%以上50mass%以下である。分散剤の濃度を0.5mass%以上とすることで、十分な分散効果が得られる。分散剤の濃度を50mass%以下とすることで、銅微粒子分散液を印刷法に用いた場合に、良好な印刷特性が得られる。 When these dispersants are used, one kind may be used alone, or two or more kinds may be appropriately mixed and used. The concentration of the dispersant is, for example, 0.5 mass% or more and 50 mass% or less with respect to the copper fine particle dispersion. A sufficient dispersion effect can be obtained by setting the concentration of the dispersant to 0.5 mass% or more. By setting the concentration of the dispersant to 50 mass% or less, good printing characteristics can be obtained when the copper fine particle dispersion is used in the printing method.
これらの銅微粒子分散液には、用途に応じてレベリング剤、表面調整剤、消泡剤、防食剤、光焼成調整剤などを、分散安定性を損なわない範囲で適宜加えることができる。 A leveling agent, a surface conditioner, an antifoaming agent, an anticorrosive agent, a light baking conditioner, and the like can be appropriately added to these copper fine particle dispersions as long as the dispersion stability is not impaired.
上記のように配合された銅微粒子分散液において、分散剤が酸性官能基を有し、分散媒が極性分散媒であれば、分散剤は分散媒との相溶性を有する。さらに、分散媒がプロトン性分散媒である場合、プロトン供与性を有するので、分散媒分子間で水素結合を形成し、分散剤の酸性官能基と相互作用を及ぼす。分散媒が非プロトン性極性分散媒である場合、プロトン供与性を有しないが、比誘電率が30以上と高いため、分散剤の酸性官能基はプロトン(H+)を解離できる。 In the copper fine particle dispersion liquid formulated as described above, if the dispersant has an acidic functional group and the dispersion medium is a polar dispersion medium, the dispersant has compatibility with the dispersion medium. Furthermore, when the dispersion medium is a protic dispersion medium, it has a proton donating property, so that a hydrogen bond is formed between the dispersion medium molecules and interacts with the acidic functional group of the dispersant. When the dispersion medium is an aprotic polar dispersion medium, it has no proton donating property, but has a high relative dielectric constant of 30 or more, so that the acidic functional group of the dispersant can dissociate protons (H + ).
銅微粒子は、分散剤分子で表面が覆われるので、分散剤と分散媒の静電的相互作用によって分散媒中に分散される。銅微粒子は、粒子径が小さいので、分散剤と分散媒の静電的相互作用が大きければ凝集が防がれ、凝集しなければ、沈降せず、銅微粒子分散液の分散安定性が高くなる。 Since the surface of the copper fine particles is covered with the dispersant molecules, the copper fine particles are dispersed in the dispersion medium by electrostatic interaction between the dispersant and the dispersion medium. Since the copper fine particles have a small particle size, aggregation is prevented if the electrostatic interaction between the dispersant and the dispersion medium is large, and if the particles do not aggregate, they do not settle and the dispersion stability of the copper fine particle dispersion becomes high. .
プロトン性分散媒は、エーテル結合やカルボニル基を有する場合、極性が大きくなるので、分散剤との相溶性が高くなり、銅微粒子分散液の分散安定性が高くなる。 When the protic dispersion medium has an ether bond or a carbonyl group, the polarity increases, so that the compatibility with the dispersant increases, and the dispersion stability of the copper fine particle dispersion increases.
続いて、再度図1を参照しつつ、本実施形態に係る導電膜形成方法について説明する。凹版10として、例えば、ガラス板上の感光性樹脂を露光、現像および洗浄により形成した凹版、ガラス板、金属板、金属ロール等をケミカルエッチングおよびレーザーエッチングにより形成した凹版などを用いることができる。その他、公知慣用の凹版を凹版10として用いることができる。ブランケット70として、例えば、シリコーンゴム層、PET層、スポンジ層等の層構造を有するシートを用いることができる。これらのシートは、例えば、ブランケット胴と称される剛性のある円筒に巻きつけた状態で使用される。基板30として、ポリイミド、ガラス、ポリカーボネート、PET、PEN、シクロオレフィンポリマー、金属板、などを用いることができる。
Subsequently, the conductive film forming method according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 1 again. As the
まず、上記図1の説明に従って、基板30に印刷パターンの皮膜を形成する。次に、皮膜に対して乾燥処理を行う。皮膜の乾燥によって、銅微粒子分散液中の樹脂、溶剤および分散剤が蒸発し、銅微粒子が残る。皮膜の乾燥時間は、例えば、100℃空気雰囲気下において30分程度で完了する。皮膜の乾燥時間を短縮するために、皮膜に空気流あるいは窒素流を当ててもよい。
First, a printed pattern film is formed on the
次に、乾燥した皮膜に光を照射することによって、銅微粒子に対して焼成処理を行う。光の照射による焼成(光焼成)において、銅微粒子の表面酸化皮膜の還元と、銅微粒子の焼結とが起きる。銅微粒子は、焼結において互いに溶融し、基板30に溶着する。光焼成は、例えば、大気下かつ室温で行われる。光焼成に用いられる光源は、例えば、キセノンランプである。光源にレーザー装置を用いてもよい。光源から照射される光のエネルギー範囲は、例えば、0.1J/cm2以上、100J/cm2以下である。照射時間は、例えば、0.1ms以上、100ms以下である。照射回数は、1回でも複数回の多段照射でもよい。光焼成された皮膜は、導電性を有するようになる。これにより、印刷パターンの導電膜が形成される。形成された導電膜の形態は、連続した皮膜である。導電膜の抵抗率は、例えば、2μΩ・cm〜9μΩ・cmである。
Next, the copper fine particles are fired by irradiating the dried film with light. In firing by light irradiation (photo-firing), reduction of the surface oxide film of the copper fine particles and sintering of the copper fine particles occur. The copper fine particles are melted together in the sintering and welded to the
続いて、この導電膜形成方法を用いて製造される回路基板について説明する。この回路基板は、回路を基板上に有する。基板は、ポリイミド、ガラス等の絶縁物を板状に成形したものであり、例えば、フレキシブル基板又はリジッド基板である。基板は、シリコンウエハ等、半導体から成るものであってもよい。基板は、耐熱性向上、傷防止、光学特性向上のためのハードコート層あるいはプライマー層を塗布したものであってもよい。回路は、この導電膜形成方法によって形成された導電膜を有する。導電膜は、例えば、回路素子間を電気的に接続する導線を構成する。導電膜は、回路素子又はその一部、例えば、コイル、キャパシターの電極等を構成してもよい。 Then, the circuit board manufactured using this electrically conductive film formation method is demonstrated. The circuit board has a circuit on the board. A board | substrate shape | molds insulators, such as a polyimide and glass, in plate shape, for example, is a flexible substrate or a rigid board | substrate. The substrate may be made of a semiconductor such as a silicon wafer. The substrate may be one coated with a hard coat layer or primer layer for improving heat resistance, preventing scratches and improving optical properties. The circuit has a conductive film formed by this conductive film forming method. The conductive film constitutes, for example, a conductive wire that electrically connects circuit elements. The conductive film may constitute a circuit element or a part thereof, for example, a coil, a capacitor electrode, or the like.
(実施例)
以下、上記実施形態に係る銅微粒子分散液の印刷特性について実験を行った(サンプル1〜16および比較サンプル1〜6)。具体的には、グラビアオフセット印刷法を用いて、異なる複数の線幅について一括印刷1,2を行った。その後、乾燥および光焼成によって導電膜を形成した。一括印刷1では、10μmから50μmの間で10μm間隔の線幅を用いた。一括印刷2では、7μmの線幅と、10μmから100μmの間で約10μm間隔の線幅とを用いた。
(Example)
Hereinafter, an experiment was performed on the printing characteristics of the copper fine particle dispersion according to the embodiment (Samples 1 to 16 and Comparative Samples 1 to 6). Specifically, batch printing 1 and 2 were performed for a plurality of different line widths using the gravure offset printing method. Then, the electrically conductive film was formed by drying and light baking. In batch printing 1, a line width of 10 μm between 10 μm and 50 μm was used. In batch printing 2, a line width of 7 μm and a line width of about 10 μm between 10 μm and 100 μm were used.
第1銅微粒子の粒径範囲を表1および表2に示す。また、第2銅微粒子の中心粒子径を表1および表2に示す。また、第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計の質量に対する、第1銅微粒子の第2銅微粒子の各割合を表1および表2に示す。また、銅微粒子分散液に含まれる樹脂の種類、および第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計の質量に対する樹脂の濃度(mass%)を表1および表2に示す。また、一括印刷1,2の結果を表1および表2に示す。また、乾燥および光焼成によって形成された導電膜の抵抗試験の結果を表1および表2に示す。 Tables 1 and 2 show the particle size ranges of the first copper fine particles. Tables 1 and 2 show the center particle diameters of the second copper fine particles. Tables 1 and 2 show the ratios of the second copper fine particles of the first copper fine particles to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles. Tables 1 and 2 show the types of resins contained in the copper fine particle dispersion and the resin concentration (mass%) relative to the total mass of the first copper fine particles and the second copper fine particles. The results of batch printing 1 and 2 are shown in Tables 1 and 2. Tables 1 and 2 show the results of resistance tests of the conductive films formed by drying and light baking.
なお、PVP2500は、重量平均分子量が約2500の試薬ポリビニルピロリドンである。VYLON220は、東洋紡製の非晶性ポリエステル樹脂(100%もの)であって、約3000の数平均分子量を有する。PVP K90は、重量平均分子量が約360000の試薬ポリビニルピロリドンである。PVAは、試薬ポリビニルアルコールであって、約2000の分子量を有する。PSK125は、ヤスハラケミカル製YSポリスターK125であって、重量平均分子量が約650のテルペンフェノール樹脂である。XZ#7157は、東栄化成製アクリナールであって、アクリル樹脂である。BYK−430は、ビックケミー製のウレア変性中極性ポリアマイドである。BYK−410は、ビックケミー製の変性ウレアである。YX8100BH30は、三菱化学製の重量平均分子量が約38000のエポキシ樹脂である。
サンプル10,11以外において、銅微粒子分散液における第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計の濃度は、約80mass%である。サンプル10,11においては、銅微粒子分散液における第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計の濃度は、約85mass%である。銅微粒子分散液の他の組成は、以下のとおりである。
溶剤:銅微粒子及び分散剤の合計重量の残部のうち20mass%をγ−ブチロラクトン、80mass%をトリプロピレングリコールモノメチルエーテル。
分散剤:ビックケミー社製DISPERBYK−111、第1銅微粒子および第2銅微粒子の合計濃度に対して4mass%。
In samples other than
Solvent: 20% by mass of γ-butyrolactone and 80% by mass of tripropylene glycol monomethyl ether in the balance of the total weight of the copper fine particles and the dispersant.
Dispersing agent: 4 mass% with respect to the total concentration of DISPERBYK-111 manufactured by Big Chemie, the first copper fine particles and the second copper fine particles.
(分析)
表1および表2の一括印刷2の欄で空欄になっているものは、一括印刷1のみを行い一括印刷2については行っていないことを示す。一括印刷1,2の欄の数値範囲は、良好な印字が得られた線幅の範囲を示す。良好な印字とは、ブランケット70に銅微粒子分散液が残留しなかったことを意味する。例えば、10−50は、10μmから50μmの各線幅について良好な印字が得られたことを示す。「×」は、いずれの線幅においても良好な印字が得られなかったことを示す。この線幅の範囲が広いほど、印刷特性が良好であることになる。表1および表2の抵抗の欄の○は、東レデュポン社製ポリイミドKapton150ENA基板上において光焼成でμΩ・cmオーダーの抵抗が得られたことを意味する。
(analysis)
A blank in the batch printing 2 column of Tables 1 and 2 indicates that only batch printing 1 is performed and batch printing 2 is not performed. The numerical range in the column of batch printing 1 and 2 indicates the range of the line width at which good printing was obtained. Good printing means that the copper fine particle dispersion did not remain in the
表2に示すように、比較サンプル1においては、良好な抵抗率が得られたものの、良好な印刷特性は得られなかった。これは、銅微粒子分散液に樹脂を含ませなかったからであると考えられる。次に、比較サンプル2においても、良好な抵抗率が得られたものの、良好な印刷特性は得られなかった。これは、銅微粒子分散液に第2銅微粒子を含ませなかったからであると考えられる。次に、比較サンプル3においても、良好な抵抗率が得られたものの、良好な印刷特性は得られなかった。これは、銅微粒子分散液に第1銅微粒子を含ませなかったからであると考えられる。次に、比較サンプル4においては、良好な印刷特性が得られたものの、光焼成の際に吹き飛んでしまい、抵抗率を測定できなかった。これは、光焼成において瞬間的に熱がかかった際に多量の樹脂が分解気化したからであると考えられる。次に、比較サンプル5においては、銅微粒子分散液において銅微粒子を分散させることができなかった。これは、粒径の大きい第2銅微粒子の量が多くなったからであると考えられる。次に、比較サンプル6の銅微粒子分散液においては、良好な印刷特性が得られたものの、光焼成により抵抗が下がらず、μΩ・cmオーダーの抵抗が得られなかった。これは、樹脂量が多いため光焼成により分解しきれず残存したものと考えられる。 As shown in Table 2, in Comparative Sample 1, good resistivity was obtained, but good printing characteristics were not obtained. This is presumably because the copper fine particle dispersion did not contain a resin. Next, in Comparative Sample 2, although good resistivity was obtained, good printing characteristics were not obtained. This is presumably because the copper fine particle dispersion did not contain the second copper fine particles. Next, in Comparative Sample 3, although good resistivity was obtained, good printing characteristics were not obtained. This is presumably because the first copper fine particles were not included in the copper fine particle dispersion. Next, in Comparative Sample 4, although good printing characteristics were obtained, the resistivity was not measured because it was blown off during light firing. This is presumably because a large amount of resin decomposed and vaporized when heat was instantaneously applied during photo-baking. Next, in Comparative Sample 5, the copper fine particles could not be dispersed in the copper fine particle dispersion. This is presumably because the amount of the second copper fine particles having a large particle size has increased. Next, in the copper fine particle dispersion of Comparative Sample 6, although good printing characteristics were obtained, the resistance was not lowered by light baking, and a resistance of μΩ · cm order was not obtained. This is thought to be due to the large amount of resin that could not be decomposed by light baking and remained.
これらに対し、いずれのサンプルにおいても、良好な印刷特性および良好な抵抗率が得られた。まず、中心粒子径が0.3μm以上2μm未満の第2銅微粒子と、樹脂とを銅微粒子分散液に含ませたことで、良好な印刷特性が得られたものと考えられる。さらに、第1銅微粒子および第2銅微粒子に対する樹脂濃度を0.05mass%以上8mass%未満としたことで、良好な抵抗率が得られたものと考えられる。 On the other hand, in any sample, good printing characteristics and good resistivity were obtained. First, it is considered that good printing characteristics were obtained by including the second copper fine particles having a center particle size of 0.3 μm or more and less than 2 μm and the resin in the copper fine particle dispersion. Furthermore, it is considered that a favorable resistivity was obtained by setting the resin concentration with respect to the first copper fine particles and the second copper fine particles to 0.05 mass% or more and less than 8 mass%.
さらに、各サンプルにおいて、メッシュパターンにて抵抗を評価した。サンプル2,4,9〜12については、特に良好な結果が得られた。表3にその結果示す。基材として、ハードコートPET(ポリエチレンテレフタレート)基材(東山フィルム社製MKZ−GPMP)を用い、メッシュパターンは、グラビアオフセット印刷により、7μm幅、厚さ約1μmのラインをスペース間隔300μmになるように形成した。表3の7μmメッシュ抵抗は、印刷し、光焼成したメッシュパターンに銅板を間1cm2になるように押し当て、その間の抵抗をテスターにて測定して得た値である。表3に示すように、樹脂としてPVP2500及びPSK125を用いた場合は、他の樹脂を用いた場合と比較して、特に良好な結果が得られた。これらの樹脂は、他のサンプルの樹脂に比べ光焼成時に分解しやすいものと考えられる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.
Claims (7)
中心粒子径が0.3μm以上2μm未満の第2銅微粒子と、
前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子に対する濃度が0.05mass%以上8mass%未満の樹脂と、
溶剤と、
前記第1銅微粒子および前記第2銅微粒子を前記溶剤中で分散させる分散剤と、を有することを特徴とする銅微粒子分散液。 A first copper fine particle having a center particle diameter of 1 nm or more and 100 nm or less;
Cupric fine particles having a center particle diameter of 0.3 μm or more and less than 2 μm;
A resin having a concentration with respect to the first copper fine particles and the second copper fine particles of 0.05 mass% or more and less than 8 mass%;
Solvent,
A copper fine particle dispersion comprising: a dispersant for dispersing the first copper fine particles and the second copper fine particles in the solvent.
前記皮膜を乾燥させ、
乾燥した前記皮膜に光を照射する光焼成によって導電膜を形成する、ことを特徴とする導電膜形成方法。 A film of the copper fine particle dispersion according to any one of claims 1 to 4 is formed on an object surface,
Drying the coating,
A method of forming a conductive film, comprising forming a conductive film by light baking that irradiates the dried film with light.
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