JP2017156017A

JP2017156017A - 定温水供給装置

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Publication number: JP2017156017A
Application number: JP2016039805A
Authority: JP
Inventors: 正臣松本; Masaomi Matsumoto; 優斉藤; Masaru Saito
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-03-02
Filing date: 2016-03-02
Publication date: 2017-09-07
Anticipated expiration: 2036-03-02
Also published as: TWI691689B; CN107150258B; TW201732205A; KR102535549B1; CN107150258A; JP6636359B2; KR20170102817A

Abstract

【課題】駆動部の破損を防止しつつ、冷却水の交換作業及びダウンタイムを大幅に削減すること。
【解決手段】定温水供給装置（１）は、加工用の水を貯留する第１貯留タンク（１１）と、第１貯留タンクの水を加工装置（３）に供給する第１流路（１２）と、第１流路内の水温を調整する水温調整手段（１６）と、駆動部冷却用の水を貯留する第２貯留タンク（２１）と、第２貯留タンクの水を駆動部（４）に供給する第２流路（２２）と、駆動部から第２貯留タンクに駆動部冷却後の水を戻す循環流路（２３）と、水温調整手段によって温度調整された水を第１流路から第２貯留タンクに供給する定温水供給流路（３１）と、第２貯留タンク内の水を外部に排水する排水流路（３２）とを備え、第１流路から第２貯留タンクに給水すると共に第２貯留タンクから排水して第２貯留タンクの水を交換する構成にした。
【選択図】図１

Description

本発明は、水供給源からの水を定温に調整して加工装置に供給する定温水供給装置に関する。

一般に研削装置や切削装置等の加工装置では、加工水やスピンドルの冷却水等の水温が一定温度に管理されている。一定温度の加工水や冷却水の供給によって、機械部品の熱膨張及び熱収縮による加工精度の悪化や、スピンドルのかじり等のように部品同士の接触によって装置自体を損傷させることを防止している。従来、加工装置に供給される水を一定温度に保つ定温水供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。定温水供給装置は、貯留タンクから加工装置に至る流路の途中に温度調整器が設けられ、温度調整器によって一定温度に調整された水が加工装置に供給される。

特開２００７−１２７３４３号公報

ところで、スピンドル等の駆動部の冷却水は、ワーク等に供給される加工水ほどの純度や温度調整が不要であるため、加工装置と定温水供給装置との間で循環させて使用される場合がある。この場合、加工水を交換せずに長期間にわたって冷却水が使用され続けると、不純物が濃縮されて配管等に汚れとして堆積し、この汚れが冷却水と共に駆動部に供給されることで、駆動部の破損を招くおそれがあった。また、駆動部の冷却水の交換時には、加工装置の稼働を停止する必要があるため、ダウンタイムが発生してしまうという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、駆動部の破損を防止しつつ、冷却水の交換作業及びダウンタイムを大幅に削減することができる定温水供給装置を提供することを目的とする。

本発明の定温水供給装置は、水供給源からの水を定温に調整して加工装置へ供給する定温水供給装置であって、水供給源から供給された加工用の水を貯留する第１貯留タンクと、該第１貯留タンクから加工装置へ水を送出する第１送出ポンプと、該第１貯留タンクから該加工装置に至る第１流路上の該第１送出ポンプよりも下流に配設され水の温度を所定温度に調整する水温調整手段と、該加工装置の駆動部冷却用の水を貯留する第２貯留タンクと、該第２貯留タンクから該加工装置へ水を送出する第２送出ポンプと、該加工装置内の駆動部冷却後の水を該第２貯留タンクへ戻して循環させる循環流路と、該第１流路上の該水温調整手段の下流で該第１流路から分岐して第２貯留タンクに連通して形成され該第２貯留タンクに該所定温度に調整された水を供給する定温水供給流路と、該第１流路から該定温水供給流路への分岐箇所に配設された第１電磁弁と、該第２貯留タンクから該加工装置に至る第２流路上の該第２送出ポンプよりも下流で該第２流路から分岐して形成され該第２貯留タンクの水を外部へ排水するための排水流路と、該第２流路から該排水流路への分岐箇所に配設された第２電磁弁と、少なくとも該第１電磁弁及び該第２電磁弁の開閉を制御する制御手段と、を備え、該制御手段は、該第２貯留タンクから排水するタイミングを管理するタイミング管理部と、該第１電磁弁及び該第２電磁弁の開閉を制御する電磁弁制御部と、を備え、所定のタイミングで、該第２電磁弁を開とし該第２貯留タンク内の水を所定量排水すると共に、該第１電磁弁を開とし該第１流路内の該水を該第２貯留タンクに所定量供給して、循環する駆動部冷却水内に侵入した不純物濃度を上昇させないことを特徴とする。

この構成によれば、第１貯留タンク内の加工用の水が第１流路の途中で水温調整手段によって所定温度に調整され、温度調整後の加工用の水の一部が定温水供給流路を通じて第２貯留タンクに供給される。一方で、第２貯留タンク内の駆動部冷却用の水が第２流路を通じて加工装置の駆動部に供給され、循環流路を通じて第２貯留タンクに戻されると共に駆動部冷却用の水の一部が排水流路を通じて排水される。すなわち、第２貯留タンク内の駆動部冷却用の水が排水される一方で、第１貯留タンクから加工用の水が第２貯留タンクに供給されるため、第２貯留タンク内の水が自動的に入れ替えられている。水が入れ替わりながら第２貯留タンクと加工装置の駆動部との間で駆動部冷却用の水が循環されるため、不純物濃度が上昇することがなく、不純物が堆積した汚れの供給によって駆動部が破損することがない。また、装置を稼働し続けた状態で第２貯留タンク内の水が自動的に入れ替わるため、駆動部冷却用の水の交換作業が不要になると共に、ダウンタイムを大幅に削減することができる。さらに、第２貯留タンクには、排水量と略同量の温度調整後の加工用の水が供給されるため、駆動部冷却用の水の温度変化が少なく、温度変化による機械トラブルを防止できる。また、単一の水温調整手段によって２系統の水を調整できるため、部品点数を減らしてコストを削減することができる。

また、本発明の定温水供給装置において、該第２貯留タンクから該加工装置に至る第２流路上の該第２送出ポンプよりも下流に配設され水を所定温度に冷却する冷却手段を備える。

本発明によれば、第２貯留タンク内の駆動部冷却用の水が排水される一方で、第１貯留タンクから加工用の定温水が第２貯留タンクに供給されるため、第２貯留タンク内の水が自動的に入れ替えられている。よって、駆動部の破損を防止しつつ、冷却水の交換作業及びダウンタイムを大幅に削減することができる。

本実施の形態の定温水供給装置の模式図である。本実施の形態の定温水供給装置による水の供給動作の説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の定温水供給装置について説明する。図１は、本実施の形態の定温水供給装置の模式図である。なお、以下の説明では、切削装置又は研削装置等の加工装置に定温水供給装置が設けられる構成を例示するが、この構成に限定されない。定温水供給装置は、スピンドル等の駆動部を備えた他の加工装置に備えられてもよい。

図１に示すように、定温水供給装置１は、水供給源２からの水を定温に調整して加工装置３に供給するものであり、加工用の水を供給する第１系統１０と駆動部冷却用の水を供給する第２系統２０と備えている。第１系統１０では、加工装置３のノズル（不図示）等に加工用の水が供給されて加工箇所が冷却及び洗浄される。供給後の加工用の水は加工装置３のウォータケース（不図示）等を介して外部に排水される。加工用の水は加工対象のワーク等にも吹き付けられるため、加工精度に影響が生じないように一定温度に調整されている。

第２系統２０では、スピンドル、チャックテーブルやスピンナーテーブルの軸モータ等の駆動部４内に駆動部冷却用の水が供給されて、これら駆動部４で発生する熱が冷却される。駆動部冷却用の水は、駆動部４を冷却すればよいため、加工用の水のような純度や温度調整が不要であり、定温水供給装置１と加工装置３の間で循環されている。このように、加工装置３の稼働時には、水供給源２からの水が第１系統１０を通じて加工装置３に供給され続けると共に、第２系統２０で水が循環して駆動部４で発生する熱を冷却し続けている。

ところで、一般に駆動部冷却用の水を長期間にわたって循環して使用し続けると、不純物が濃縮されて汚れとして流路等に堆積するおそれがある。そこで、本実施の形態の定温水供給装置１では、第２系統２０を循環する駆動部冷却用の水の一部を排水すると共に第１系統１０の加工用の水の一部を第２系統２０に供給して、第２系統２０内の水を自動的に入れ換えるようにしている。これにより、不純物の濃縮を抑えることができ、さらに加工装置３を稼働させた状態で第２系統２０内の水が入れ替わるため、ダウンタイムを大幅に削減することが可能になっている。

また、加工装置３の初期稼働時に駆動部冷却用の水が冷たすぎると、各駆動部４の軸受等が収縮して回転軸がかじってしまう可能性がある。通常は、加工前に駆動部４のアイドリング時の発熱で、駆動部冷却用の水を一定温度まで上昇させて加工中のかじりを抑えているが、初期稼働時の立ち上がりが遅くなる。そこで、本実施の形態では、第１系統１０で所定温度に温度調整された加工用の水を第２系統２０に供給するようにしている。これにより、第２系統２０内の駆動部冷却用の水が冷たくなり過ぎることがなく、初期稼働時の立ち上がりを早めている。

以下、本実施の形態の定温水供給装置１の第１系統１０及び第２系統２０の詳細構成について説明する。第１系統１０には、第１貯留タンク１１から加工装置３に至る第１流路１２が設けられている。第１流路１２上には、上流から下流に向かって第１貯留タンク１１、第１送出ポンプ１４、第１圧力検出手段１５、水温調整手段１６、第１フィルタ１７が順に設けられている。第１貯留タンク１１には水供給源２から供給された加工用の水が貯留されており、第１貯留タンク１１内の水は第１送出ポンプ１４によって第１貯留タンク１１から加工装置３に送出されている。

第１送出ポンプ１４の送出圧は第１圧力検出手段１５によって検出され、第１圧力検出手段１５の検出結果に応じて第１送出ポンプ１４の送出圧が調整されている。第１流路１２上の第１送出ポンプ１４の下流では、水温調整手段１６によって水の温度が所定温度に調整される。水温調整手段１６は、チラー等の第１冷却手段１８とヒータ等の加熱手段１９とから成り、第１冷却手段１８の冷却と加熱手段１９の加熱を組み合わせて水が所定温度に調整される。所定温度になった水（定温水）は第１フィルタ１７を通過して、加工用の水として加工装置３内のノズルに供給される。

第２系統２０には、第２貯留タンク２１から加工装置３の駆動部４に至る第２流路２２と、加工装置３の駆動部４から第２貯留タンク２１に至る循環流路２３とが設けられている。第２流路２２上には、上流から下流に向かって第２貯留タンク２１、第２送出ポンプ２４、第２圧力検出手段２５、第２冷却手段（冷却手段）２６、第２フィルタ２７が設けられている。第２貯留タンク２１には加工装置３の駆動部冷却用の水が貯留されており、第２貯留タンク２１内の水は第２送出ポンプ２４によって第２貯留タンク２１から加工装置３の駆動部４に送出されている。

第２送出ポンプ２４の送出圧は第２圧力検出手段２５によって検出され、第２圧力検出手段２５の検出結果に応じて第２送出ポンプ２４の送出圧が調整されている。第２流路２２上の第２送出ポンプ２４の下流では、チラー等の第２冷却手段２６によって水の温度が所定温度に冷却される。所定温度に冷却された水は第２フィルタ２７を通過して、駆動部冷却用の水として加工装置３内の駆動部４に供給される。また、駆動部冷却後の水は、循環流路２３を通じて第２貯留タンク２１内に戻されて、第２貯留タンク２１と駆動部４との間で循環されている。

また、第１系統１０には、水温調整手段１６の下流で第１流路１２から分岐して第２貯留タンク２１に連通する定温水供給流路３１が設けられ、定温水供給流路３１を通じて第１流路１２から第２貯留タンク２１に所定温度に調整された水が供給される。第２系統２０には、第２送出ポンプ２４の下流で第２流路２２から分岐して第２貯留タンク２１の水を外部へ排水する排水流路３２が設けられている。第１流路１２から定温水供給流路３１への分岐箇所には、第２貯留タンク２１への給水用の第１電磁弁３３が配設され、第２流路２２から排水流路３２への分岐箇所には、第２貯留タンク２１の排水用の第２電磁弁３４が配設されている。

定温水供給装置１には、少なくとも第１電磁弁３３及び第２電磁弁３４の開閉を制御する制御手段４１が設けられている。制御手段４１には、第２貯留タンク２１からの排水タイミングを管理するタイミング管理部４２と、第１電磁弁３３及び第２電磁弁３４の開閉を制御する電磁弁制御部４３とが設けられている。なお、制御手段４１は各種処理を実行するプロセッサやメモリ等によって構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、タイミング管理や開閉制御を実行するためのプログラム等が記憶されている。

このように構成された定温水供給装置１では、所定のタイミングで、第２電磁弁３４が開かれて第２貯留タンク２１内の水が所定量だけ排水されると共に、第１電磁弁３３が開かれて第１流路１２内の水が第２貯留タンク２１に所定量だけ供給される。第２貯留タンク２１内の水が所定量ずつ入れ替わりながら、第２貯留タンク２１と加工装置３の駆動部４との間で水が循環されている。よって、第２貯留タンク２１と駆動部４とで循環する水の不純物濃度の上昇が抑えられると共に、第２貯留タンク２１内の駆動部冷却用の水の交換作業が自動的に実施される。

図２を参照して、定温水供給装置による水の供給動作について説明する。図２は、本実施の形態の定温水供給装置による水の供給動作の説明図である。なお、図２Ａは第１流路から第２貯留タンク２１への給水を停止した給水停止状態、図２Ｂは第１流路から第２貯留タンク２１に給水した給水状態をそれぞれ示している。

図２Ａに示すように、第２貯留タンク２１への給水停止状態では、タイミング管理部４２からの指示に応じて、電磁弁制御部４３によって定温水供給流路３１の第１電磁弁３３及び排水流路３２の第２電磁弁３４が閉じられている。これにより、第１流路１２から第２貯留タンク２１への給水が停止されると共に、第２貯留タンク２１から外部への排水が停止される。この第２貯留タンク２１への給水停止状態では、水供給源２から第１貯留タンク１１に加工用の水が供給され、第１貯留タンク１１内の水が第１送出ポンプ１４の送出圧によって第１流路１２内に送り出される。

第１流路１２内の水は、水温調整手段１６を通過することで所定温度に調整される。第１流路１２内の水温が所定温度以上の場合には、水温調整手段１６の第１冷却手段１８によって所定温度まで冷却される。また、第１流路１２内の水温が所定温度より低い場合には、水温調整手段１６の加熱手段１９によって所定温度まで加熱される。そして、所定温度の水は第１フィルタ１７によって異物が取り除かれた状態で加工装置３のノズルからワークの加工点に向けて噴射される。この加工用の水は、加工装置３のウォータケース等を介して外部に排出される。

一方、第２貯留タンク２１内の水は第２送出ポンプ２４の送出圧によって第２流路２２内に送り出される。第２流路２２内の水は第２冷却手段２６を通過することで所定温度まで冷却される。第２流路２２内の水温が所定温度以上の場合には、第２冷却手段２６によって所定温度以下まで冷却される。また、第２流路２２内の水温が所定温度より低い場合には、第２冷却手段２６で冷却されることなく通過する。そして、冷却後の水は第２フィルタ２７によって異物が取り除かれた状態で加工装置３の駆動部４に供給される。駆動部冷却後の水は循環流路２３を通じて第２貯留タンク２１に戻される。

このように、加工装置３には、第１流路１２を通じて所定温度に調整された加工用の水が供給されるため、ワークの加工時の加工精度の低下が抑えられている。また、加工装置３の駆動部４には、第２流路２２を通じて所定温度以下に冷却された駆動部冷却用の水が供給されるため、駆動部４から熱を奪って駆動部４の焼き付き等が抑えられている。また、駆動部冷却後の水は熱を吸収して温まるが、第２貯留タンク２１に戻された後に再び第２流路２２内で所定温度以下に冷却されることで、再び駆動部冷却用の水として再利用されている。

図２Ｂに示すように、第２貯留タンク２１への給水状態では、タイミング管理部４２からの指示に応じて、電磁弁制御部４３によって定温水供給流路３１の第１電磁弁３３及び排水流路３２の第２電磁弁３４が開かれている。これにより、第１流路１２から第２貯留タンク２１への給水が開始されると共に、第２貯留タンク２１から外部への排水が開始される。この第２貯留タンク２１への給水状態では、第１貯留タンク１１から第１送出ポンプ１４によって加工用の水が送出されると、水温調整手段１６を通過した所定温度の水が第１流路１２の途中部分で定温水供給流路３１によって分流される。

第１流路１２を直進した水は加工装置３のノズルから加工点に向けて噴射され、加工装置３のウォータケース等を介して外部に排出される。定温水供給流路３１に流れ込んだ水は第２貯留タンク２１に供給され、第２貯留タンク２１において駆動部冷却用の水として貯留される。このとき、定温水供給流路３１内の水は水温調整手段１６によって所定温度に調整されているため、第２貯留タンク２１に貯留されていた水の温度が大幅に変化することがない。なお、第１電磁弁３３が開かれることで水圧が低下しても、第１送出ポンプ１４の送出圧が十分に高いため、加工装置３まで加工用の水を送出することが可能になっている。

一方、第２貯留タンク２１から第２送出ポンプ２４によって駆動部冷却用の水が送出されると、第２流路２２の途中部分で排水流路３２によって分流される。第２流路２２を直進した水は、第２冷却手段２６によって所定温度以下に冷却されて加工装置３の駆動部４に供給され、さらに循環流路２３を通じて第２貯留タンク２１に戻される。排水流路３２に流れ込んだ水は外部に排水され、第２貯留タンク２１と駆動部４との間で循環中に不純物が濃縮する前に水量が減らされている。このように、定温水供給流路３１から第２貯留タンク２１に給水された分だけ、第２貯留タンク２１から排水流路３２を通じて排水されている。

第２貯留タンク２１の水が少しずつ入れ替わって不純物の濃度の上昇が抑えられるため、不純物が堆積した汚れが駆動部４に供給されることがなく、駆動部４の破損が防止される。また、加工装置３を稼働させた状態で第２貯留タンク２１内の水が自動的に入れ替わるため、第２貯留タンク２１内の水の交換作業を低減すると共に装置停止によるダウンタイムを削減することができる。この場合、２４時間で第２貯留タンク２１内の水が入れ替わるように、第２貯留タンク２１への給水タイミングと第２貯留タンク２１からの排水タイミングとが制御されることが好ましい。

上記したように第２貯留タンク２１には定温水供給流路３１から所定温度の水が供給されるため、第２貯留タンク２１内の水が低くなり過ぎることがない。第２流路２２内の水温が極端に低下しないため、加工装置３の初期稼働前の空回り時間（アイドリング時間）を短くしても、軸受の収縮等に起因した駆動部４の回転軸のかじり等の不具合が生じることがない。よって、加工装置３の初期稼働時の立ち上がりを早くすることができる。なお、第２電磁弁３４が開かれることで水圧が低下しても、第２送出ポンプ２４の送出圧が十分に高いため、駆動部４まで冷却用の水を送出することが可能になっている。

以上のように、本実施の形態の定温水供給装置１では、第２貯留タンク２１内の駆動部冷却用の水が排水される一方で、第１貯留タンク１１から加工用の水が第２貯留タンク２１に供給されるため、第２貯留タンク２１内の水が自動的に入れ替えられている。水が入れ替わりながら第２貯留タンク２１と加工装置の駆動部４との間で駆動部冷却用の水が循環されるため、不純物濃度が上昇することがなく、不純物が堆積した汚れの供給によって駆動部４が破損することがない。また、装置を稼働し続けた状態で第２貯留タンク２１内の水が自動的に入れ替わるため、駆動部冷却用の水の交換作業が不要になると共に、ダウンタイムを大幅に削減することができる。さらに、第２貯留タンク２１には、排水量と略同量の温度調整後の加工用の水が供給されるため、駆動部冷却用の水の温度変化が少なく、温度変化による機械トラブルを防止できる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態において、第１流路１２の水が水温調整手段１６によって所定温度に調整され、第２流路２２の水が第２冷却手段２６によって所定温度以下に調整される構成にしたが、この構成に限定されない。例えば、第２流路２２内では水温調整しないように第２流路２２に第２冷却手段２６を設けなくてもよい。第２流路２２内の水は駆動部４から熱を奪って温められるが、第１流路１２から所定温度の水が第２貯留タンク２１に給水されるため、第２流路２２内の水が高温になり過ぎることがなく、駆動部４を冷却し続けることができる。このように、単一の水温調整手段１６で第１流路１２及び第２流路２２の２系統に所定温度の水を供給することができるため、部品点数を少なくしてコストを低減することができる。

また、上記した実施の形態において、第２貯留タンク２１への給水タイミングと第２貯留タンク２１からの排水タイミングが同時に実施されたが、この構成に限定されない。第２貯留タンク２１に所定量以上の水が貯留されていれば、第２貯留タンク２１への給水タイミングと第２貯留タンク２１からの排水タイミングが前後してもよい。

また、上記した実施の形態において、第１フィルタ１７の下流で第１流路１２から定温水供給流路３１が分岐して形成される構成にしたが、この構成に限定されない。定温水供給流路３１は水温調整手段１６の下流で第１流路１２から分岐して形成されていればよく、例えば、定温水供給流路３１は第１フィルタ１７の上流で第１流路１２から分岐して形成されてもよい。

また、上記した実施の形態において、第２送出ポンプ２４と第２冷却手段２６の間で第２流路２２から排水流路３２が分岐して形成される構成にしたが、この構成に限定されない。排水流路３２は第２送出ポンプ２４の下流で第２流路２２から分岐して形成されていればよく、例えば排水流路３２は循環流路２３から分岐して形成されてもよい。

また、上記した実施の形態において、駆動部４として、スピンドル、チャックテーブルやスピンナーテーブルの軸モータを例示したが、この構成に限定されない。駆動部４は、加工装置３の稼働に伴って発熱する駆動部位であれば、特に限定されない。

以上説明したように、本発明は、駆動部の破損を防止しつつ、冷却水の交換作業及びダウンタイムを大幅に削減することができるという効果を有し、特に、切削装置や研削装置等の加工装置に加工水及び冷却水を供給する定温水供給装置に有用である。

１定温水供給装置
２水供給源
３加工装置
４駆動部
１１第１貯留タンク
１２第１流路
１４第１送出ポンプ
１６水温調整手段
２１第２貯留タンク
２２第２流路
２３循環流路
２４第２送出ポンプ
２６第２冷却手段（冷却手段）
３１定温水供給流路
３２排水流路
３３第１電磁弁
３４第２電磁弁
４１制御手段
４２タイミング管理部
４３電磁弁制御部

Claims

水供給源からの水を定温に調整して加工装置へ供給する定温水供給装置であって、
水供給源から供給された加工用の水を貯留する第１貯留タンクと、該第１貯留タンクから加工装置へ水を送出する第１送出ポンプと、該第１貯留タンクから該加工装置に至る第１流路上の該第１送出ポンプよりも下流に配設され水の温度を所定温度に調整する水温調整手段と、該加工装置の駆動部冷却用の水を貯留する第２貯留タンクと、該第２貯留タンクから該加工装置へ水を送出する第２送出ポンプと、該加工装置内の駆動部冷却後の水を該第２貯留タンクへ戻して循環させる循環流路と、該第１流路上の該水温調整手段の下流で該第１流路から分岐して第２貯留タンクに連通して形成され該第２貯留タンクに該所定温度に調整された水を供給する定温水供給流路と、該第１流路から該定温水供給流路への分岐箇所に配設された第１電磁弁と、該第２貯留タンクから該加工装置に至る第２流路上の該第２送出ポンプよりも下流で該第２流路から分岐して形成され該第２貯留タンクの水を外部へ排水するための排水流路と、該第２流路から該排水流路への分岐箇所に配設された第２電磁弁と、少なくとも該第１電磁弁及び該第２電磁弁の開閉を制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、該第２貯留タンクから排水するタイミングを管理するタイミング管理部と、該第１電磁弁及び該第２電磁弁の開閉を制御する電磁弁制御部と、を備え、
所定のタイミングで、該第２電磁弁を開とし該第２貯留タンク内の水を所定量排水すると共に、該第１電磁弁を開とし該第１流路内の該水を該第２貯留タンクに所定量供給して、循環する駆動部冷却水内に侵入した不純物濃度を上昇させないことを特徴とする定温水供給装置。
該第２貯留タンクから該加工装置に至る第２流路上の該第２送出ポンプよりも下流に配設され水を所定温度に冷却する冷却手段を備える、請求項１記載の定温水供給装置。