JP2017113753A - 洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一の実施形態に係る洗浄装置100の構成を模式的に説明する図である。洗浄装置100は、亜硝酸塩の水溶液からなる洗浄液11(以下において単に「洗浄液11」ということがある。)を貯留する溶液タンク10と、洗浄液11を被洗浄体1の表面に付着させる適用手段20と、250nm以下、好ましくは210nm以上240nm以下の波長領域にピークを有する紫外線を出射する紫外発光ダイオード31、31、…から発せられた紫外線を被洗浄体1の表面に照射する紫外線光源30と、被洗浄体1の表面から洗浄液を水で洗い流す水洗浄手段40と、溶液を回収する回収手段50とを有している。洗浄装置100は、被洗浄体1を支持する支持台2をさらに有している。
図2は、本発明の一の実施形態に係る洗浄方法S10(以下において単に「洗浄方法S10」ということがある。)を説明するフローチャートである。洗浄方法S10は、上記説明した洗浄装置100を用いて、被洗浄体1を洗浄する方法である。洗浄方法S10は、適用工程S1と、照射工程S2と、水洗工程S3とをこの順に有する。
2 支持台
10 溶液タンク
11 洗浄液
20 適用手段
21、42 ノズル
22、43、53 配管
23、44 ポンプ
30 紫外線光源
31 紫外発光ダイオード(紫外LED)
32 基板
40 水洗浄手段
41 水タンク
50 回収手段
51 トレイ
52 回収タンク
Claims (6)
- (a)硝酸イオン及び/又は亜硝酸イオンが溶解した水溶液からなる洗浄液を、有機汚れ又は有機−無機複合汚れが表面に付着した被洗浄体の表面に付着させる工程と、
(b)前記工程(a)の後に、又は、前記工程(a)を行いながら、前記被洗浄体の表面に付着する前記洗浄液に250nm以下の波長を有する紫外線を照射する工程と、を含み、
前記紫外線の照射によって発生したヒドロキシルラジカルの作用によって前記有機汚れ又は有機−無機複合汚れを分解して前記被洗浄体の表面から除去することを特徴とする、被洗浄体の洗浄方法。 - (c)前記工程(b)の後に、前記被洗浄体の表面から前記洗浄液を水で洗い流す工程
をさらに有する、請求項1に記載の洗浄方法。 - 硝酸イオン及び/又は亜硝酸イオンが溶解した水溶液からなる洗浄液を貯留する、溶液タンクと、
前記洗浄液を被洗浄体の表面に付着させる、適用手段と、
前記被洗浄体の表面に付着する前記洗浄液に、発光波長250nm以下の紫外発光ダイオードから発せられた紫外線を照射する、紫外線光源と
を有することを特徴とする、洗浄装置。 - 前記被洗浄体の表面から前記洗浄液を水で洗い流す、水洗浄手段をさらに有する、請求項3に記載の洗浄装置。
- 硝酸イオン及び/又は亜硝酸イオンが溶解した水溶液からなることを特徴とする、請求項1又は2に記載された洗浄方法用洗浄液。
- 硝酸イオン及び/又は亜硝酸イオンが溶解した水溶液からなり、水で希釈することによって請求項5に記載の洗浄液を調製するために用いられる、洗浄原液。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017068180A JP2017113753A (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 洗浄方法および洗浄装置 |
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JP2017113753A true JP2017113753A (ja) | 2017-06-29 |
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