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JP2017065001A - Flow path member for liquid discharge head, and liquid discharge head and recording apparatus using the same - Google Patents

Flow path member for liquid discharge head, and liquid discharge head and recording apparatus using the same Download PDF

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JP2017065001A
JP2017065001A JP2015191539A JP2015191539A JP2017065001A JP 2017065001 A JP2017065001 A JP 2017065001A JP 2015191539 A JP2015191539 A JP 2015191539A JP 2015191539 A JP2015191539 A JP 2015191539A JP 2017065001 A JP2017065001 A JP 2017065001A
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liquid discharge
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liquid
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大記 小林
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

【課題】流路への接着剤の流入による吐出特性の悪化が低減された液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド用の流路部材4は、複数の吐出孔8と複数の個別流路12とマニホールド5とを有し、各々の個別流路12は、マニホールド5から吐出孔8へ至る経路の途中に設けられた加圧室10と、加圧室10とマニホールド5とを繋ぐしぼり6と、を有しており、しぼり6は、しぼり本体6aと、しぼり本体6aとマニホールド5とを繋いでおり、しぼり本体6aよりも流路抵抗が小さい供給流路6bと、を有しており、供給流路6bは、供給流路6bの内壁面に、供給流路6bの横断面が変化する段差を有している。
【選択図】図5
A flow path member for a liquid discharge head in which deterioration of discharge characteristics due to inflow of an adhesive into the flow path is reduced, and a liquid discharge head and a recording apparatus using the same are provided.
A flow path member 4 for a liquid discharge head has a plurality of discharge holes 8, a plurality of individual flow paths 12, and a manifold 5. Each of the individual flow paths 12 extends from the manifold 5 to the discharge holes 8. The pressurizing chamber 10 provided in the middle of the route to which the pressurizing chamber 10 is connected and the pressurizing chamber 10 and the manifold 5 are connected to each other. And a supply channel 6b having a channel resistance smaller than that of the squeezing body 6a. The supply channel 6b has an inner wall surface of the supply channel 6b and a cross section of the supply channel 6b. It has a step that changes.
[Selection] Figure 5

Description

本発明は、液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置に関する。   The present invention relates to a flow path member for a liquid discharge head, a liquid discharge head using the same, and a recording apparatus.

従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドに用いられる、吐出孔、加圧室および共通流路を備えている流路部材としては、流路となる孔や溝が形成された金属プレートを複数積層して接着剤で接合したものが知られている。それら金属プレートは、接着剤で接合される。金属プレートには、接合の際に、接着剤が孔や溝に流れ込むのを抑制するために、接着剤の逃がし溝が形成されている(例えば、特許文献1を参照。)。   Conventionally, as a liquid ejection head, for example, an inkjet head that performs various types of printing by ejecting a liquid onto a recording medium is known. As a flow path member having a discharge hole, a pressurizing chamber, and a common flow path used for a liquid discharge head, a plurality of metal plates having holes and grooves to be flow paths are stacked and bonded with an adhesive. Things are known. The metal plates are joined with an adhesive. In the metal plate, an adhesive relief groove is formed in order to prevent the adhesive from flowing into the hole or groove during bonding (see, for example, Patent Document 1).

特開2002−67345号公報JP 2002-67345 A

しかしながら、上述した従来の液体吐出ヘッドにおいては、金属プレートを接着剤で接合する際に、液体の流路となる金属プレートの孔や溝に接着剤が流れ込み、吐出量や吐出速度などの吐出特性を悪化させるという問題があった。   However, in the above-described conventional liquid discharge head, when the metal plate is bonded with the adhesive, the adhesive flows into the hole or groove of the metal plate that becomes the flow path of the liquid, and the discharge characteristics such as the discharge amount and the discharge speed. There was a problem of worsening.

本発明の目的は、流路への接着剤の流入による吐出特性の悪化が低減された液体吐出ヘッド用の流路部材、ならびにそれを用いた、液体吐出ヘッドおよびに記録装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a flow path member for a liquid discharge head in which deterioration of discharge characteristics due to the inflow of an adhesive into the flow path is reduced, and a liquid discharge head and a recording apparatus using the same. is there.

本発明の液体吐出ヘッド用の流路部材は、複数のプレートが接着剤層を介して積層されて構成されており、液体を吐出する複数の吐出孔と、該吐出孔の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記吐出孔に繋がっている複数の個別流路と、複数の前記個別流路が繋がっている共通流路と、を有しており、各々の前記個別流路は、該個別流路における前記共通流路から前記吐出孔へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、該加圧室と前記共通流路とを繋いでいるしぼりと、を有しており、該しぼりは、前記プレートに沿った方向に伸びるように形成されているしぼり本体と、前記プレートの積層方向に伸びるように形成されて前記共通流路と前記しぼり本体とを繋いでおり、前記しぼり本体よりも流路抵抗が小さい供給流路と、を有しており、該供給流路は、該供給流路の内壁面に、該供給流路の横断面が変化する段差を有している。   The flow path member for a liquid discharge head according to the present invention is configured by laminating a plurality of plates with an adhesive layer interposed therebetween, and corresponds to each of the plurality of discharge holes for discharging liquid and each of the discharge holes. A plurality of individual channels connected to the corresponding discharge holes, and a common channel connected to the plurality of individual channels, each of the individual channels Has a pressurizing chamber provided in the middle of a path from the common flow path to the discharge hole in the individual flow path, and a squeezing connecting the pressurizing chamber and the common flow path. The squeezing body is formed so as to extend in a direction along the plate, and the squeezing body is formed so as to extend in the stacking direction of the plates, and connects the common flow path and the squeezing body. A supply flow path having a flow path resistance smaller than that of the squeezing body. Cage, the feed passage, the inner wall surface of the supply passage has a stepped cross-section of the supply passage is changed.

本発明の液体吐出ヘッドは、前記液体吐出ヘッド用の流路部材と、前記加圧室の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記加圧室に圧力を加える、複数の加圧部と、を有する。   The liquid discharge head of the present invention is provided corresponding to each of the flow path member for the liquid discharge head and the pressurizing chamber, and each of the plurality of pressurizing members applies pressure to the corresponding pressurizing chamber. And a pressure part.

本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有する。   The recording apparatus of the present invention includes the liquid discharge head, a transport unit that transports a recording medium to the liquid discharge head, and a control unit that controls the liquid discharge head.

本発明の液体吐出ヘッド用の流路部材は、流路への接着剤の流入による吐出特性の悪化を低減できる。   The flow path member for a liquid discharge head according to the present invention can reduce deterioration of discharge characteristics due to the inflow of an adhesive into the flow path.

(a)は、本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材を含む記録装置の側面図であり、(b)は平面図である。(A) is a side view of a recording apparatus including a flow path member for a liquid discharge head according to the first embodiment of the present invention, and (b) is a plan view. 図1の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a head body that is a main part of the liquid ejection head of FIG. 1. 図2の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 図2の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。FIG. 3 is an enlarged view of a region surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 図3のV−V線に沿った縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view along the VV line of FIG. 図2〜図5に示した流路部材が有するしぼりの構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the squeezing which the flow-path member shown in FIGS. 図6のしぼりにおける供給流路の構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the supply flow path in the drawing of FIG. 図7のW−W線に沿った模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view along the WW line of FIG. 本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す図7と同様の平面図である。FIG. 9 is a plan view similar to FIG. 7 schematically showing the structure of a supply flow path in a flow path member for a liquid ejection head according to a second embodiment of the present invention. 図9のX−X線に沿った模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view along the XX line of FIG. 本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す図8と同様の縦断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view similar to FIG. 8 schematically showing the structure of a supply flow path in a flow path member for a liquid ejection head according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第4実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the supply flow path in the flow path member for liquid discharge heads concerning 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材における供給流路の構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the supply flow path in the flow path member for liquid discharge heads concerning 5th Embodiment of this invention. 図13のY−Y線に沿った模式的な縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view along the YY line of FIG.

(第1実施形態)
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材およびそれを含む液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ1(以下で単にプリンタと言うことがある)の概略の側面図であり、図1(b)は、概略の平面図である。プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pをガイドローラ82Aから搬送ローラ82Bへと搬送することにより、印刷用紙Pを液体吐出ヘッド2に対して相対的に移動させる。制御部88は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド2を制御して、記録媒体Pに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Pに液滴を着弾させて、印刷用紙Pに印刷などの記録を行なう。
(First embodiment)
FIG. 1A is a color inkjet printer 1 (hereinafter simply referred to as a printer), which is a recording apparatus including a flow path member for a liquid discharge head according to a first embodiment of the present invention and a liquid discharge head including the flow path member. 1A is a schematic side view, and FIG. 1B is a schematic plan view. The printer 1 moves the print paper P relative to the liquid ejection head 2 by transporting the print paper P as a recording medium from the guide roller 82 </ b> A to the transport roller 82 </ b> B. The control unit 88 controls the liquid ejection head 2 based on image and character data, ejects liquid toward the recording medium P, causes droplets to land on the printing paper P, and prints on the printing paper P. Record such as.

本実施形態では、液体吐出ヘッド2はプリンタ1に対して固定されており、プリンタ1はいわゆるラインプリンタとなっているが、液体吐出ヘッド2を、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Pの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタであってもよい。   In this embodiment, the liquid ejection head 2 is fixed to the printer 1 and the printer 1 is a so-called line printer. However, the liquid ejection head 2 is arranged in a direction that intersects the transport direction of the printing paper P, for example, Alternatively, a so-called serial printer that alternately moves the printing paper P by reciprocating in a substantially orthogonal direction may be used.

プリンタ1には、印刷用紙Pとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム70(以下で単にフレームと言うことがある)が固定されている。フレーム70には図示しない20個の孔が設けられており、20個の液体吐出ヘッド2がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド2の、液体を吐出する部位が印刷用紙Pに面するようになっている。液体吐出ヘッド2と印刷用紙Pとの間の距離は、例えば0.5〜20mm程度とされる。5つの液体吐出ヘッド2は、1つのヘッド群72を構成しており、プリンタ1は
、4つのヘッド群72を有している。
A flat head mounting frame 70 (hereinafter sometimes simply referred to as a frame) is fixed to the printer 1 so as to be substantially parallel to the printing paper P. The frame 70 is provided with 20 holes (not shown), and the 20 liquid discharge heads 2 are mounted in the respective hole portions, and the portion of the liquid discharge head 2 that discharges the liquid is the printing paper P. It has come to face. The distance between the liquid ejection head 2 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm. The five liquid ejection heads 2 constitute one head group 72, and the printer 1 has four head groups 72.

液体吐出ヘッド2は、図1(a)の手前から奥へ向かう方向、図1(b)の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。1つのヘッド群72内において、3つの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の2つの液体吐出ヘッド2は搬送方向に沿ってずれた位置で、3つの液体吐出ヘッド2の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド2は、各液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲が、印刷用紙Pの幅方向に(印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向に)繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Pの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。   The liquid discharge head 2 has a long and narrow shape in the direction from the front to the back in FIG. 1A and in the vertical direction in FIG. This long direction is sometimes called the longitudinal direction. Within one head group 72, the three liquid ejection heads 2 are arranged along a direction that intersects the conveyance direction of the printing paper P, for example, a substantially orthogonal direction, and the other two liquid ejection heads 2 are conveyed. One of the three liquid ejection heads 2 is arranged at a position shifted along the direction. The liquid discharge heads 2 are arranged so that the printable range of each liquid discharge head 2 is connected in the width direction of the print paper P (in the direction intersecting the conveyance direction of the print paper P) or the ends overlap. Thus, printing without gaps in the width direction of the printing paper P is possible.

4つのヘッド群72は、記録用紙Pの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド2には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。1つのヘッド群72に属する液体吐出ヘッド2には、同じ色のインクが供給されるようになっており、4つのヘッド群72で4色のインクが印刷できる。各ヘッド群72から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。このようなインクを、制御部88で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。   The four head groups 72 are arranged along the conveyance direction of the recording paper P. A liquid, for example, ink is supplied to each liquid ejection head 2 from a liquid tank (not shown). The liquid discharge heads 2 belonging to one head group 72 are supplied with the same color ink, and the four head groups 72 can print four color inks. The colors of ink ejected from each head group 72 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C), and black (K). A color image can be printed by printing such ink under the control of the control unit 88.

プリンタ1に搭載されている液体吐出ヘッド2の個数は、単色で、1つの液体吐出ヘッド2で印刷可能な範囲を印刷するのなら1つでもよい。ヘッド群72に含まれる液体吐出ヘッド2の個数や、ヘッド群72の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群72の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群72を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド2を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群72を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Pの幅方向の解像度を高くしてもよい。   The number of the liquid discharge heads 2 mounted on the printer 1 may be one if it is a single color and the range that can be printed by one liquid discharge head 2 is printed. The number of liquid ejection heads 2 included in the head group 72 and the number of head groups 72 can be changed as appropriate according to the printing target and printing conditions. For example, the number of head groups 72 may be increased in order to perform multicolor printing. Also, if a plurality of head groups 72 that print in the same color are arranged and printed alternately in the transport direction, the transport speed can be increased even if the liquid ejection heads 2 having the same performance are used. Thereby, the printing area per time can be increased. Alternatively, a plurality of head groups 72 for printing in the same color may be prepared and arranged so as to be shifted in a direction crossing the transport direction, so that the resolution in the width direction of the print paper P may be increased.

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Pの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。   Further, in addition to printing colored inks, a liquid such as a coating agent may be printed for surface treatment of the printing paper P.

プリンタ1は、記録媒体である印刷用紙Pに印刷を行なう。印刷用紙Pは、給紙ローラ80Aに巻き取られた状態になっており、2つのガイドローラ82Aの間を通った後、フレーム70に搭載されている液体吐出ヘッド2の下側を通り、その後2つの搬送ローラ82Bの間を通り、最終的に回収ローラ80Bに回収される。印刷する際には、搬送ローラ82Bを回転させることで印刷用紙Pは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド2によって印刷される。回収ローラ80Bは、搬送ローラ82Bから送り出された印刷用紙Pを巻き取る。搬送速度は、例えば、75m/分とされる。各ローラは、制御部88によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。   The printer 1 performs printing on a printing paper P that is a recording medium. The printing paper P is wound around the paper feed roller 80A, passes between the two guide rollers 82A, passes through the lower side of the liquid ejection head 2 mounted on the frame 70, and thereafter It passes between the two conveying rollers 82B and is finally collected by the collecting roller 80B. When printing, the printing paper P is transported at a constant speed by rotating the transport roller 82 </ b> B and printed by the liquid ejection head 2. The collection roller 80B winds up the printing paper P sent out from the conveyance roller 82B. The conveyance speed is, for example, 75 m / min. Each roller may be controlled by the controller 88 or may be manually operated by a person.

記録媒体は、印刷用紙P以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ1は、印刷用紙Pを直接搬送する代わりに、搬送ベルトを直接搬送して、記録媒体を搬送ベルトに置いて搬送してもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを記録媒体にできる。さらに、液体吐出ヘッド2から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド2から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。   In addition to the printing paper P, the recording medium may be a roll-like cloth. Further, instead of directly transporting the printing paper P, the printer 1 may transport the transport belt directly and transport the recording medium placed on the transport belt. By doing so, sheets, cut cloth, wood, tiles and the like can be used as the recording medium. Furthermore, a wiring pattern of an electronic device may be printed by discharging a liquid containing conductive particles from the liquid discharge head 2. Still further, the chemical may be produced by discharging a predetermined amount of liquid chemical agent or liquid containing the chemical agent from the liquid discharge head 2 toward the reaction container or the like and reacting.

また、プリンタ1に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部
88が、各センサからの情報から分かるプリンタ1各部の状態に応じて、プリンタ1の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド2の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド2に加えている圧力などが、吐出される液体の、吐出量や吐出速度などの吐出特性に影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
In addition, a position sensor, a speed sensor, a temperature sensor, and the like may be attached to the printer 1, and the control unit 88 may control each part of the printer 1 according to the state of each part of the printer 1 that can be understood from information from each sensor. . For example, the temperature of the liquid discharge head 2, the temperature of the liquid in the liquid tank, the pressure applied by the liquid in the liquid tank to the liquid discharge head 2, etc. affect the discharge characteristics such as the discharge amount and discharge speed of the discharged liquid. For example, the drive signal for ejecting the liquid may be changed according to the information.

次に、液体吐出ヘッド2について説明する。図2は、図1に示された液体吐出ヘッド2の要部であるヘッド本体2aを示す平面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図であり、ヘッド本体2aの一部である。図3では、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図4は、図3と同じ位置の拡大平面図であり、図3とは別の一部の流路を省略して描いている。図5は、図3のV−V線に沿った縦断面図である。なお、図3および4において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板21の下方にあって破線で描くべき加圧室10、しぼり6および吐出孔8などを実線で描いている。   Next, the liquid discharge head 2 will be described. FIG. 2 is a plan view showing a head main body 2a which is a main part of the liquid ejection head 2 shown in FIG. FIG. 3 is an enlarged plan view of a region surrounded by a one-dot chain line in FIG. 2, and is a part of the head main body 2a. In FIG. 3, for the sake of explanation, some of the flow paths are omitted. FIG. 4 is an enlarged plan view at the same position as FIG. 3, and a part of the flow path different from FIG. 3 is omitted. FIG. 5 is a longitudinal sectional view taken along line VV in FIG. 3 and 4, in order to make the drawings easy to understand, the pressurizing chamber 10, the squeezing 6, the discharge hole 8, and the like that are to be drawn by broken lines below the piezoelectric actuator substrate 21 are drawn by solid lines.

液体吐出ヘッド2には、ヘッド本体2a以外に、ヘッド本体2aに液体を供給するリザーバや、筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体2aは、流路部材4と、加圧部である変位素子30が作り込まれている圧電アクチュエータ基板21とを含んでいる。   In addition to the head main body 2a, the liquid discharge head 2 may include a reservoir for supplying liquid to the head main body 2a and a housing. The head body 2a includes a flow path member 4 and a piezoelectric actuator substrate 21 in which a displacement element 30 that is a pressurizing unit is formed.

ヘッド本体2aを構成する流路部材4は、共通流路であるマニホールド5と、マニホールド5と繋がっている複数の加圧室10と、複数の加圧室10とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔8とを備えている。加圧室10は流路部材4の上面に開口しており、流路部材4の上面が加圧室面4−2となっている。また、流路部材4の上面は、マニホールド5の端部である開口5aを有し、この開口5aよりマニホールド5に液体が供給されるようになっている。   The flow path member 4 constituting the head body 2a includes a manifold 5 which is a common flow path, a plurality of pressurizing chambers 10 connected to the manifold 5, and a plurality of discharge holes respectively connected to the plurality of pressurizing chambers 10. 8 and. The pressurizing chamber 10 opens to the upper surface of the flow path member 4, and the upper surface of the flow path member 4 is a pressurizing chamber surface 4-2. Further, the upper surface of the flow path member 4 has an opening 5a which is an end of the manifold 5, and the liquid is supplied to the manifold 5 through the opening 5a.

また、流路部材4の上面には、変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21が接合されており、各変位素子30が加圧室10上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板21には、各変位素子30に信号を供給する信号伝達部60が接続されている。図2には、2つの信号伝達部60が圧電アクチュエータ基板21に繋がる状態が分かるように、信号伝達部60の圧電アクチュエータ基板21に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板21に電気的に接続されている、信号伝達部60に形成されている電極は、信号伝達部60の端部に、矩形状に配置されている。2つの信号伝達部60は、圧電アクチュエータ基板21の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。   In addition, a piezoelectric actuator substrate 21 including a displacement element 30 is joined to the upper surface of the flow path member 4, and each displacement element 30 is disposed on the pressurizing chamber 10. The piezoelectric actuator substrate 21 is connected to a signal transmission unit 60 that supplies a signal to each displacement element 30. In FIG. 2, the outline of the vicinity of the signal transmission unit 60 connected to the piezoelectric actuator substrate 21 is indicated by a dotted line so that the two signal transmission units 60 are connected to the piezoelectric actuator substrate 21. The electrodes formed on the signal transmission unit 60 that are electrically connected to the piezoelectric actuator substrate 21 are arranged in a rectangular shape at the end of the signal transmission unit 60. The two signal transmission parts 60 are connected so that each end comes to the center part in the short direction of the piezoelectric actuator substrate 21.

ヘッド本体2aは、平板状の流路部材4と、流路部材4上に接合された変位素子30を含む圧電アクチュエータ基板21を1つ有している。圧電アクチュエータ基板21の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材4の長手方向に沿うように流路部材4の上面に配置されている。   The head main body 2 a has one piezoelectric actuator substrate 21 including a flat plate-like channel member 4 and a displacement element 30 joined on the channel member 4. The planar shape of the piezoelectric actuator substrate 21 is rectangular, and is arranged on the upper surface of the flow path member 4 so that the long side of the rectangle is along the longitudinal direction of the flow path member 4.

流路部材4の内部には2つのマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材4の上面に開口しているマニホールド5の開口5aが形成されている。   Two manifolds 5 are formed inside the flow path member 4. The manifold 5 has an elongated shape extending from one end side in the longitudinal direction of the flow path member 4 to the other end side, and the opening of the manifold 5 that opens to the upper surface of the flow path member 4 at both ends thereof. 5a is formed.

また、マニホールド5は、少なくとも加圧室10に繋がっている領域である長手方向における中央部分において、短手方向に間隔を開けて設けられた隔壁15で仕切られている。隔壁15は、加圧室10に繋がっている領域である長手方向の中央部分においては、マニホールド5と同じ高さを有し、マニホールド5を複数の副マニホールド5bに完全に仕
切っている。このようにすることで、平面視したときに、隔壁15と重なるように、吐出孔8および吐出孔8から加圧室10に繋がっている流路を設けることができる。
The manifold 5 is partitioned by a partition wall 15 provided at an interval in the short-side direction at least in the central portion in the longitudinal direction, which is a region connected to the pressurizing chamber 10. The partition wall 15 has the same height as the manifold 5 in the central portion in the longitudinal direction, which is a region connected to the pressurizing chamber 10, and completely separates the manifold 5 into a plurality of sub-manifolds 5b. By doing so, it is possible to provide the discharge hole 8 and the flow path connected from the discharge hole 8 to the pressurizing chamber 10 so as to overlap with the partition wall 15 in a plan view.

複数に分けられた部分のマニホールド5を副マニホールド5bと呼ぶことがある。本実施形態においては、マニホールド5は独立して2本設けられており、それぞれの両端部に開口5aが設けられている。また、1つのマニホールド5には、7つの隔壁15が設けられており、8つの副マニホールド5bに分けられている。副マニホールド5bの幅は、隔壁15の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド5bに多くの液体を流すことができる。   The portion of the manifold 5 divided into a plurality of parts may be referred to as a sub-manifold 5b. In the present embodiment, two manifolds 5 are provided independently, and openings 5a are provided at both ends. One manifold 5 is provided with seven partition walls 15 and divided into eight sub-manifolds 5b. The width of the sub-manifold 5b is larger than the width of the partition wall 15, so that a large amount of liquid can flow through the sub-manifold 5b.

流路部材4は、複数の加圧室10が2次元的に広がって形成されている。加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。   The flow path member 4 is formed by two-dimensionally expanding a plurality of pressurizing chambers 10. The pressurizing chamber 10 is a hollow region having a substantially rhombic or elliptical planar shape with rounded corners.

加圧室10は、しぼり6を介して1つの副マニホールド5bと繋がっている。1つの副マニホールド5bに沿うようにして、この副マニホールド5bに繋がっている加圧室10の行である加圧室行11が、副マニホールド5bの両側に1行ずつ、合計2行設けられている。したがって、1つのマニホールド5に対して、16行の加圧室11が設けられており、ヘッド本体2a全体では32行の加圧室行11が設けられている。各加圧室行11における加圧室10の長手方向の間隔は同じであり、例えば、37.5dpiの間隔となっている。   The pressurizing chamber 10 is connected to one sub-manifold 5 b through the throttle 6. Along with one sub-manifold 5b, two pressurizing chamber rows 11, which are rows of pressurizing chambers 10 connected to the sub-manifold 5b, are provided on each side of the sub-manifold 5b, for a total of two rows. Yes. Accordingly, 16 rows of pressurizing chambers 11 are provided for one manifold 5, and 32 heads of pressurizing chambers 11 are provided in the entire head body 2a. The intervals in the longitudinal direction of the pressurizing chambers 10 in the respective pressurizing chamber rows 11 are the same, for example, 37.5 dpi.

各加圧室行11の端にはダミー加圧室16の列が1列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室16は、マニホールド5とは繋がっているが、吐出孔8とは繋がっていない。また、32行の加圧室行11の外側には、ダミー加圧室16が直線状に並んだダミー加圧室行が1行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室16は、マニホールド5および吐出孔8のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室16により、端から1つ内側の加圧室10の周囲の構造(剛性)が他の加圧室10の構造(剛性)と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室10の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体21aの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体21aの幅を小さくできる。   One column of dummy pressurizing chambers 16 is provided at the end of each pressurizing chamber row 11. The dummy pressurizing chambers 16 in the dummy pressurizing chamber row are connected to the manifold 5 but are not connected to the discharge holes 8. Further, one dummy pressurizing chamber row in which dummy pressurizing chambers 16 are arranged in a straight line is provided outside the 32 pressurizing chamber rows 11. The dummy pressurizing chamber 16 in this dummy pressurizing chamber row is not connected to either the manifold 5 or the discharge hole 8. By these dummy pressurizing chambers 16, the structure (rigidity) around the pressurizing chamber 10 one inner side from the end is close to the structure (rigidity) of the other pressurizing chambers 10, so that the difference in liquid ejection characteristics can be reduced. Less. In addition, since the influence of the surrounding structure difference has a large influence on the pressurizing chambers 10 adjacent to each other in the length direction, the dummy pressurizing chambers are provided at both ends in the length direction. Since the influence in the width direction is relatively small, it is provided only on the side closer to the end of the head main body 21a. Thereby, the width | variety of the head main body 21a can be made small.

1つのマニホールド5に繋がっている加圧室10は、矩形状の圧電アクチュエータ基板21の各外辺に沿った行および列を成す格子状に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板21の外辺から、加圧室10の上に形成されている個別電極25が等距離に配置されることになるので、個別電極25を形成する際に、圧電アクチュエータ基板21に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板21と流路部材4とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子30に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、もっとも外辺に近い加圧室行11の外側にダミー加圧室16のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行11に属する加圧室10は等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25も等間隔で配置されている。加圧室行11は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室行11に対応する個別電極25の行も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。   The pressurizing chambers 10 connected to one manifold 5 are arranged in a lattice form having rows and columns along each outer side of the rectangular piezoelectric actuator substrate 21. As a result, the individual electrodes 25 formed on the pressurizing chamber 10 are arranged at equal distances from the outer side of the piezoelectric actuator substrate 21. Therefore, when forming the individual electrodes 25, the piezoelectric actuator substrate is formed. 21 can be hardly deformed. When the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path member 4 are joined, if this deformation is large, stress may be applied to the displacement element 30 near the outer side, resulting in variations in displacement characteristics. However, by reducing the deformation, The variation can be reduced. In addition, since the dummy pressurizing chamber row of the dummy pressurizing chamber 16 is provided outside the pressurizing chamber row 11 closest to the outer side, the influence of deformation can be made less susceptible. The pressurizing chambers 10 belonging to the pressurizing chamber row 11 are arranged at equal intervals, and the individual electrodes 25 corresponding to the pressurizing chamber rows 11 are also arranged at equal intervals. The pressurizing chamber rows 11 are arranged at equal intervals in the short direction, and the rows of the individual electrodes 25 corresponding to the pressurizing chamber rows 11 are also arranged at equal intervals in the short direction. Thereby, it is possible to eliminate a portion where the influence of the crosstalk becomes particularly large.

本実施形態では、加圧室10は格子状に配置したが、隣り合う加圧室列11の加圧室10が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室行11に属する加圧室10の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制でき
る。
In the present embodiment, the pressurizing chambers 10 are arranged in a lattice shape, but the pressurizing chambers 10 of adjacent pressurizing chamber rows 11 may be arranged in a staggered manner so as to be positioned between each other. In this way, since the distance between the pressurizing chambers 10 belonging to the adjacent pressurizing chamber row 11 becomes longer, crosstalk can be further suppressed.

加圧室行11をどのように並べるかによらず、流路部材4を平面視したとき、1つの加圧室行11に属する加圧室10が、隣接する加圧室行11に属する加圧室10と、液体吐出ヘッド2の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行11の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド2の幅が大きくなるので、プリンタ1に対する液体吐出ヘッド2の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド2を使用する際の、液体吐出ヘッド2の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁15の幅を副マニホールド5bよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。   Regardless of how the pressurizing chamber rows 11 are arranged, when the flow path member 4 is viewed in plan, the pressurizing chamber 10 belonging to one pressurizing chamber row 11 is added to the adjacent pressurizing chamber row 11. By arranging the pressure chamber 10 and the liquid discharge head 2 so as not to overlap in the longitudinal direction, crosstalk can be suppressed. On the other hand, when the distance between the pressurizing chamber rows 11 is increased, the width of the liquid discharge head 2 is increased, so that the accuracy of the installation angle of the liquid discharge head 2 relative to the printer 1 and the use of a plurality of liquid discharge heads 2 are increased. The influence of the relative position accuracy of the liquid discharge head 2 on the printing result is increased. Therefore, by making the width of the partition wall 15 smaller than that of the sub-manifold 5b, the influence of the accuracy on the printing result can be reduced.

1つの副マニホールド5bに繋がっている加圧室10は、2列の加圧室行11を成しており、1つの加圧室行11に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8は、1つの吐出孔行9を成している。2行の加圧室行11に属する加圧室10に繋がっている吐出孔8はそれぞれ、副マニホールド5bの異なる側に開口している。図4では隔壁15には、2行の吐出孔行9が設けられているが、それぞれの吐出孔行9に属する吐出孔8は、吐出孔8に近い側の副マニホールド5bに加圧室10を介して繋がっている。隣接する副マニホールド5bに加圧室行11を介して繋がっている吐出孔8と液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室10と吐出孔8とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド2の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。   The pressurizing chamber 10 connected to one sub-manifold 5 b forms two rows of pressurizing chamber rows 11, and the discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to one pressurizing chamber row 11 are One discharge hole row 9 is formed. The discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to the two pressurizing chamber rows 11 open to different sides of the sub-manifold 5b. In FIG. 4, two discharge hole rows 9 are provided in the partition wall 15, but the discharge holes 8 belonging to each discharge hole row 9 are connected to the sub-manifold 5 b on the side close to the discharge holes 8 in the pressurizing chamber 10. Are connected through. When the discharge hole 8 connected to the adjacent sub-manifold 5b via the pressurizing chamber row 11 and the liquid discharge head 2 are arranged so as not to overlap in the longitudinal direction, the pressurizing chamber 10 and the discharge hole 8 are connected. Since crosstalk between the flow paths can be suppressed, crosstalk can be further reduced. If the entire flow path connecting the pressurizing chamber 10 and the discharge hole 8 is arranged so as not to overlap in the longitudinal direction of the liquid discharge head 2, crosstalk can be further reduced.

1つのマニホールド5に繋がっている複数の加圧室10により加圧室群が構成されており、マニホールド5が2つあるため、加圧室群は2つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室10の配置は同じで、短手方向に平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータ基板21に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室10によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータ基板21が接合されることで閉塞されている。   A plurality of pressurizing chambers are formed by a plurality of pressurizing chambers 10 connected to one manifold 5. Since there are two manifolds 5, there are two pressurizing chamber groups. The arrangement of the pressurizing chambers 10 related to ejection in each pressurizing chamber group is the same, and is arranged at a position translated in the short direction. These pressurizing chambers 10 are arranged over almost the entire surface although there are portions where the gaps between the pressurizing chamber groups are slightly wide in the region facing the piezoelectric actuator substrate 21 on the upper surface of the flow path member 4. . That is, the pressurizing chamber group formed by these pressurizing chambers 10 occupies a region having almost the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21. Further, the opening of each pressurizing chamber 10 is closed by bonding the piezoelectric actuator substrate 21 to the upper surface of the flow path member 4.

加圧室10のしぼり6が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材4の下面の吐出孔面4−1に開口している吐出孔8に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室10から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室10の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室10は各加圧室行11内での間隔が37.5dpiになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔8は、全体で1200dpiの間隔で配置することができる。   From the corner portion of the pressurizing chamber 10 facing the corner portion to which the squeezing 6 is connected, the flow channel connected to the discharge hole 8 opened on the discharge hole surface 4-1 on the lower surface of the flow channel member 4 extends. . This flow path extends in a direction away from the pressurizing chamber 10 in a plan view. More specifically, the pressurizing chamber 10 extends away from the direction along the long diagonal line while being shifted to the left and right with respect to that direction. As a result, the discharge chambers 8 can be arranged at intervals of 1200 dpi as a whole, while the pressurization chambers 10 are arranged in a lattice pattern in which the intervals within the pressurization chamber rows 11 are 37.5 dpi.

これは別の言い方をすると、流路部材4の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔8を投影すると、図4に示した仮想直線のRの範囲に、各マニホールド5に繋がっている16個の吐出孔8、全部で32個の吐出孔8が、1200dpiの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド5に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に1200dpiの解像度で画像が形成可能となる。また、1つのマニホールド5に繋がっている1個の吐出孔8は、仮想直線のRの範囲で600dpiの等間隔になっている。これにより、各マニホールド5に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に600dpiの解像度で2色の画像が形成可能となる。この場合、2つの液体吐出ヘッド2を用いれば、600dpiの解像度で4色の画像が形成可能となり、600dpiで印刷可能な液体吐出ヘッドを4つ用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体2aの短手
方向に並んでいる1列の加圧室列に属する加圧室10から繋がっている吐出孔8で、仮想直線のRの範囲がカバーされている。
In other words, when the discharge holes 8 are projected so as to be orthogonal to the virtual straight line parallel to the longitudinal direction of the flow path member 4, each manifold 5 is within the range of R of the virtual straight line shown in FIG. That is, 16 discharge holes 8 connected to, and a total of 32 discharge holes 8 are equally spaced by 1200 dpi. Thus, by supplying the same color ink to all the manifolds 5, an image can be formed with a resolution of 1200 dpi in the longitudinal direction as a whole. Further, one discharge hole 8 connected to one manifold 5 is equally spaced at 600 dpi within the range of R of the imaginary straight line. As a result, by supplying different colors of ink to the respective manifolds 5, it is possible to form two-color images with a resolution of 600 dpi in the longitudinal direction as a whole. In this case, if two liquid ejection heads 2 are used, an image of four colors can be formed with a resolution of 600 dpi, and printing accuracy is higher than when four liquid ejection heads capable of printing at 600 dpi are used. Can also be done easily. In addition, the range of R of the imaginary straight line is covered with the discharge holes 8 connected to the pressurizing chambers 10 belonging to the one pressurizing chamber row arranged in the short direction of the head main body 2a.

圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に対向する位置には個別電極25がそれぞれ形成されている。個別電極25は、加圧室10より一回り小さく、加圧室10とほぼ相似な形状を有している個別電極本体25aと、個別電極本体25aから引き出されている引出電極25bとを含んでおり、個別電極25は、加圧室10と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板21の上面には、共通電極用表面電極28が配置されている。共通電極用表面電極28と共通電極24とは、圧電セラミック層21bに配置されている、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。   Individual electrodes 25 are formed at positions facing the pressurizing chambers 10 on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The individual electrode 25 includes an individual electrode main body 25a that is slightly smaller than the pressurizing chamber 10 and has a shape substantially similar to the pressurizing chamber 10, and an extraction electrode 25b that is extracted from the individual electrode main body 25a. In the same manner as the pressurizing chamber 10, the individual electrode 25 constitutes an individual electrode row and an individual electrode group. A common electrode surface electrode 28 is disposed on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The common electrode surface electrode 28 and the common electrode 24 are electrically connected through a through conductor (not shown) disposed in the piezoelectric ceramic layer 21b.

吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置されているマニホールド5と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータ基板21と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔8は、1つの群として圧電アクチュエータ基板21とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板21の変位素子30を変位させることにより吐出孔8から液滴が吐出できる。   The discharge hole 8 is disposed at a position avoiding a region facing the manifold 5 disposed on the lower surface side of the flow path member 4. Further, the discharge hole 8 is disposed in a region facing the piezoelectric actuator substrate 21 on the lower surface side of the flow path member 4. These discharge holes 8 occupy a region having almost the same shape as the piezoelectric actuator substrate 21 as one group, and a droplet is discharged from the discharge hole 8 by displacing the displacement element 30 of the corresponding piezoelectric actuator substrate 21. Can be discharged.

ヘッド本体2aに含まれる流路部材4は、複数のプレートが接着剤層18を介して積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、プレート4a、プレート4b、プレート4c、プレート4d、プレート4e、プレート4f、プレート4g、プレート4h、プレート4i、プレート4j、プレート4k、プレート4mの順に積層されている。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは10〜300μm程度であることにより、孔の形成精度を高くできる。流路部材4の厚さは、500μm〜2mm程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路12およびマニホールド5を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体2aでは、加圧室10は流路部材4の上面に、マニホールド5は内部の下面側に、吐出孔8は下面にと、個別流路12を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室10を介してマニホールド5と吐出孔8とが繋がる構成を有している。   The flow path member 4 included in the head main body 2a has a laminated structure in which a plurality of plates are laminated with an adhesive layer 18 interposed therebetween. These plates are, in order from the upper surface of the flow path member 4, a plate 4a, a plate 4b, a plate 4c, a plate 4d, a plate 4e, a plate 4f, a plate 4g, a plate 4h, a plate 4i, a plate 4j, a plate 4k, and a plate 4m. They are stacked in order. A number of holes are formed in these plates. Since the thickness of each plate is about 10 to 300 μm, the hole formation accuracy can be increased. The thickness of the flow path member 4 is about 500 μm to 2 mm. Each plate is aligned and laminated so that these holes communicate with each other to form the individual flow path 12 and the manifold 5. In the head body 2a, the pressurizing chamber 10 is on the upper surface of the flow path member 4, the manifold 5 is on the inner lower surface side, and the discharge holes 8 are on the lower surface. The manifold 5 and the discharge hole 8 are connected via the pressurizing chamber 10.

各プレートに配置されている孔および溝について説明する。   The hole and groove | channel arrange | positioned at each plate are demonstrated.

流路となる孔あるいは溝には、次のようなものがある。第1に、プレート4aに形成された加圧室10となる孔である。第2に、加圧室10の一端からマニホールド5へと繋がるしぼり6を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート4b(詳細には加圧室10の入り口)からプレート4e(詳細にはマニホールド5の出口)までの各プレートに形成されている。   The following holes and grooves are used as the flow path. The first is a hole that becomes the pressurizing chamber 10 formed in the plate 4a. Secondly, there is a communication hole that forms a squeeze 6 that connects from one end of the pressurizing chamber 10 to the manifold 5. This communication hole is formed in each plate from the plate 4b (specifically, the inlet of the pressurizing chamber 10) to the plate 4e (specifically, the outlet of the manifold 5).

第3に、加圧室10のしぼり6が繋がっている端と反対の端から吐出孔8へと連通する流路を構成するディセンダ7である。ディセンダ7は、プレート4b(詳細には加圧室10の出口)からプレート4m(詳細には吐出孔8)までの各プレートに形成されている。   Third, the descender 7 constitutes a flow path that communicates with the discharge hole 8 from the end opposite to the end to which the throttle 6 of the pressurizing chamber 10 is connected. The descender 7 is formed on each plate from the plate 4b (specifically, the outlet of the pressurizing chamber 10) to the plate 4m (specifically, the discharge hole 8).

第4に、マニホールド(共通流路)5を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート4a〜プレート4jに形成されている。プレート4f〜プレート4jには、副マニホールド5bを構成するように隔壁15となる仕切り部が残るように孔が形成されている。プレート4f〜プレート4jにおける仕切り部は、ハーフエッチングした支持部(図では省略してある)でプレート4f〜プレート4jと繋がった状態にされる。   Fourthly, communication holes constituting the manifold (common flow path) 5. The communication holes are formed in the plates 4a to 4j. Holes are formed in the plates 4f to 4j so that the partition portions that become the partition walls 15 remain so as to constitute the sub-manifold 5b. The partition portions in the plates 4f to 4j are connected to the plates 4f to 4j by half-etched support portions (not shown in the drawing).

これら第1〜4の孔が相互に繋がり、マニホールド5の開口5aから吐出孔8に至る流
路を構成している。また、第1〜第3の孔によって、マニホールド5(正確には副マニホールド5b)から吐出孔8に至る個別流路12が構成されている。マニホールド5の開口5aに供給された液体は、マニホールド5、しぼり6、加圧室10、ディセンダ7を通過して吐出孔8から外部に吐出される。
These first to fourth holes are connected to each other to form a flow path from the opening 5 a of the manifold 5 to the discharge hole 8. Further, the individual flow path 12 extending from the manifold 5 (more precisely, the sub-manifold 5b) to the discharge hole 8 is constituted by the first to third holes. The liquid supplied to the opening 5 a of the manifold 5 passes through the manifold 5, the aperture 6, the pressurizing chamber 10, and the descender 7 and is discharged to the outside from the discharge hole 8.

圧電アクチュエータ基板21は、圧電体である2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板21の圧電セラミック層21aの下面から圧電セラミック層21bの上面までの厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の加圧室10を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層21a、21bは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系、NaNbO系、BaTiO系、(BiNa)NbO系、BiNaNb15系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層21aは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。 The piezoelectric actuator substrate 21 has a laminated structure composed of two piezoelectric ceramic layers 21a and 21b which are piezoelectric bodies. Each of these piezoelectric ceramic layers 21a and 21b has a thickness of about 20 μm. The thickness from the lower surface of the piezoelectric ceramic layer 21a of the piezoelectric actuator substrate 21 to the upper surface of the piezoelectric ceramic layer 21b is about 40 μm. Both of the piezoelectric ceramic layers 21 a and 21 b extend so as to straddle the plurality of pressure chambers 10. The piezoelectric ceramic layers 21a, 21b may, for example, strength with a dielectric, lead zirconate titanate (PZT), NaNbO 3 system, BaTiO 3 system, (BiNa) NbO 3 system, such as BiNaNb 5 O 15 system Made of ceramic material. The piezoelectric ceramic layer 21a functions as a vibration plate and does not necessarily have to be a piezoelectric body. Instead, other ceramic layers or metal plates that are not piezoelectric bodies may be used.

圧電アクチュエータ基板21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極24およびAu系などの金属材料からなる個別電極25を有している。共通電極24の厚さは2μm程度であり、個別電極25の厚さは、1μm程度である。   The piezoelectric actuator substrate 21 includes a common electrode 24 made of a metal material such as Ag—Pd and an individual electrode 25 made of a metal material such as Au. The common electrode 24 has a thickness of about 2 μm, and the individual electrode 25 has a thickness of about 1 μm.

個別電極25は、圧電アクチュエータ基板21の上面における各加圧室10に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極25は、平面形状が加圧室本体10aより一回り小さく、加圧室本体10aとほぼ相似な形状を有している個別電極本体25aと、個別電極本体25aから引き出されている引出電極25bとを含んでいる。引出電極25bの一端の、加圧室10と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極26が配置されている。接続電極26は例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、5〜200μm程度の厚さで形成されている。また、接続電極26は、信号伝達部60に設けられた電極と電気的に接合されている。   The individual electrodes 25 are respectively arranged at positions facing the pressurizing chambers 10 on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 21. The individual electrode 25 has a planar shape slightly smaller than that of the pressurizing chamber main body 10a and has a shape substantially similar to the pressurizing chamber main body 10a, and an extraction electrode drawn from the individual electrode main body 25a. 25b. A connection electrode 26 is disposed at a portion of one end of the extraction electrode 25 b that is extracted outside the region facing the pressurizing chamber 10. The connection electrode 26 is a conductive resin containing conductive particles such as silver particles, and is formed with a thickness of about 5 to 200 μm. Further, the connection electrode 26 is electrically joined to an electrode provided in the signal transmission unit 60.

詳細は後述するが、個別電極25には、制御部88から信号伝達部60を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。   Although details will be described later, a drive signal is supplied from the control unit 88 to the individual electrode 25 through the signal transmission unit 60. The drive signal is supplied in a constant cycle in synchronization with the conveyance speed of the print medium P.

共通電極24は、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極24は、圧電アクチュエータ基板21に対向する領域内のすべての加圧室10を覆うように延在している。共通電極24は、圧電セラミック層21b上に個別電極44からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極28に、圧電セラミック層21bを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極24は、共通電極用表面電28を介して接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極28は、個別電極25と同様に、制御部88と直接あるいは間接的に接続されている。   The common electrode 24 is formed over substantially the entire surface in the region between the piezoelectric ceramic layer 21b and the piezoelectric ceramic layer 21a. That is, the common electrode 24 extends so as to cover all the pressurizing chambers 10 in the region facing the piezoelectric actuator substrate 21. The common electrode 24 is connected to the common electrode surface electrode 28 formed on the piezoelectric ceramic layer 21b so as to avoid the electrode group composed of the individual electrodes 44 via a through conductor formed through the piezoelectric ceramic layer 21b. It is connected. Further, the common electrode 24 is grounded via the common electrode surface electricity 28 and is held at the ground potential. Similar to the individual electrode 25, the common electrode surface electrode 28 is directly or indirectly connected to the control unit 88.

圧電セラミック層21bの個別電極25と共通電極24とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極25に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子30となっている。より具体的には、個別電極25を共通電極24と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部88により個別電極25を共通電極24に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないた
め、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21aは加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
A portion sandwiched between the individual electrode 25 and the common electrode 24 of the piezoelectric ceramic layer 21b is polarized in the thickness direction, and becomes a displacement element 30 having a unimorph structure that is displaced when a voltage is applied to the individual electrode 25. Yes. More specifically, when an electric field is applied in the polarization direction to the piezoelectric ceramic layer 21b by setting the individual electrode 25 to a potential different from that of the common electrode 24, an active portion where the applied electric field is distorted by the piezoelectric effect. Work as. In this configuration, when the control unit 88 sets the individual electrode 25 to a predetermined positive or negative potential with respect to the common electrode 24 so that the electric field and the polarization are in the same direction, the portion sandwiched between the electrodes of the piezoelectric ceramic layer 21b. (Active part) contracts in the surface direction. On the other hand, the piezoelectric ceramic layer 21a, which is an inactive layer, is not affected by an electric field, so that it does not spontaneously shrink and tries to restrict deformation of the active portion. As a result, there is a difference in strain in the polarization direction between the piezoelectric ceramic layer 21a and the piezoelectric ceramic layer 21b, and the piezoelectric ceramic layer 21a is deformed so as to be convex toward the pressurizing chamber 10 (unimorph deformation).

続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部88からの制御でドライバICなどを介して、個別電極25に供給される駆動信号により、変位素子30が駆動(変位)させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。   Next, the liquid discharge operation will be described. The displacement element 30 is driven (displaced) by a drive signal supplied to the individual electrode 25 through a driver IC or the like under the control of the control unit 88. In the present embodiment, liquid can be ejected by various driving signals. Here, a so-called strike driving method will be described.

あらかじめ個別電極25を共通電極24より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に個別電極25を共通電極24と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極25が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、21bが元の(平らな)形状に戻り(始め)、加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。これにより、加圧室10内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室10内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室10の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室10の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室10の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極25を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ7内を伝搬し、吐出孔8から液体を吐出させる。   The individual electrode 25 is set to a potential higher than the common electrode 24 (hereinafter referred to as a high potential) in advance, and the individual electrode 25 is once set to the same potential as the common electrode 24 (hereinafter referred to as a low potential) each time there is a discharge request, and then a predetermined potential is set. At this timing, the potential is set again. Thereby, the piezoelectric ceramic layers 21a and 21b return to the original (flat) shape at the timing when the individual electrode 25 becomes low potential (beginning), and the volume of the pressurizing chamber 10 is in the initial state (the potentials of both electrodes are different) Increase compared to the state). As a result, a negative pressure is applied to the liquid in the pressurizing chamber 10. Then, the liquid in the pressurizing chamber 10 starts to vibrate with the natural vibration period. Specifically, first, the volume of the pressurizing chamber 10 begins to increase, and the negative pressure gradually decreases. Next, the volume of the pressurizing chamber 10 becomes maximum and the pressure becomes almost zero. Next, the volume of the pressurizing chamber 10 begins to decrease, and the pressure increases. Thereafter, the individual electrode 25 is set to a high potential at a timing at which the pressure becomes substantially maximum. Then, the first applied vibration overlaps with the next applied vibration, and a larger pressure is applied to the liquid. This pressure propagates through the descender 7 to discharge the liquid from the discharge hole 8.

つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極25に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室10の液体の固有振動周期の半分の時間であるAL(Acoustic Length)とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室10の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室10の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板21の物性や、加圧室10に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
In other words, a droplet can be ejected by supplying a pulse driving signal that is a low potential for a certain period with the high potential as a reference to the individual electrode 25. If this pulse width is AL (Acoustic Length), which is half the time of the natural vibration period of the liquid in the pressurizing chamber 10, in principle, the discharge speed and discharge amount of the liquid can be maximized. The natural vibration period of the liquid in the pressurizing chamber 10 is greatly affected by the physical properties of the liquid and the shape of the pressurizing chamber 10, but besides that, the physical properties of the piezoelectric actuator substrate 21 and the flow path connected to the pressurizing chamber 10 Also affected by the characteristics of.

なお、パルス幅は、吐出される液滴を1つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、0.5AL〜1.5AL程度の値にされる。また、パルス幅は、ALから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにALから外れた値にされる。   Note that the pulse width is actually set to a value of about 0.5 AL to 1.5 AL because there are other factors to consider, such as combining the ejected droplets into one. Further, since the discharge amount can be reduced by setting the pulse width to a value outside of AL, the pulse width is set to a value outside of AL in order to reduce the discharge amount.

次に、本実施形態の流路部材4が有するしぼり6について、図5〜図8を用いて説明する。図5は、図3のV−V線に沿った縦断面図であり、マニホールド5(副マニホールド5b)から吐出孔8に至る個別流路12の構造を模式的に示している。図6は、個別流路12が有するしぼり6の構造を模式的に示す平面図である。図7は、図6のしぼり6が有する供給流路6bの構造を模式的に示す部分的な平面図である。図8は、図7のW−W線に沿った模式的な縦断面図である。   Next, the aperture 6 included in the flow path member 4 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a longitudinal sectional view taken along the line VV in FIG. 3 and schematically shows the structure of the individual flow path 12 extending from the manifold 5 (sub-manifold 5 b) to the discharge hole 8. FIG. 6 is a plan view schematically showing the structure of the aperture 6 included in the individual flow path 12. FIG. 7 is a partial plan view schematically showing the structure of the supply flow path 6b included in the aperture 6 of FIG. FIG. 8 is a schematic longitudinal sectional view taken along line WW in FIG.

しぼり6は、マニホールド5(正確には副マニホールド5b)と加圧室10とを繋いでいる流路であり、引き打ちでは、加圧室10に加わった圧力を反射して吐出する圧力を高くする役目を担う部分であり、高く、精度の良い流路抵抗が求められる。また、しぼり6の流路抵抗が低下すると、1つの個別流路12(正確には加圧室10)で発生した圧力波が、マニホールド5を介して他の個別流路12に伝達されて、クロストークによる吐出特性の悪化が生じ、しぼり6の流路抵抗が高すぎると、マニホールド5から個別流路12への液体の供給量が低下する。このため、しぼり6は、引き打ち以外の吐出方法であっても、比較的高く、精度の良い流路抵抗が求められる。   The squeezing 6 is a flow path that connects the manifold 5 (more precisely, the sub-manifold 5b) and the pressurizing chamber 10, and in striking, the pressure applied to the pressurizing chamber 10 is reflected and discharged is increased. It is a part that plays a role to perform, and high and accurate flow path resistance is required. When the flow path resistance of the squeezing 6 is reduced, the pressure wave generated in one individual flow path 12 (more precisely, the pressurizing chamber 10) is transmitted to the other individual flow path 12 via the manifold 5, If the discharge characteristics deteriorate due to the crosstalk and the flow path resistance of the throttle 6 is too high, the amount of liquid supplied from the manifold 5 to the individual flow path 12 decreases. For this reason, the squeezing 6 is required to have a relatively high and accurate flow path resistance even if it is a discharge method other than drawing.

しぼり6は、しぼり本体6aと、供給流路6bと、排出流路6cとによって構成されている。しぼり本体6aは、プレート4cに沿った方向(プレート4cの両主面に沿った方向)に伸びている部分である。しぼり本体6aは、他のプレートよりも厚さが薄いプレート4cに配置されているため流路の高さ(プレートの積層方向における寸法)が小さく、流路の幅も狭いため、個別流路12の他の部分と比較して横断面の面積が小さい。すなわち、しぼり本体6aは、流路抵抗が高く、しぼり6の流路抵抗を決定づける部分である。また、しぼり本体6aは、図6に示すように、流路の幅が特に狭い直線状の部分と、その両端に設けられた、供給流路6bおよび排出流路6cに接続される部分である、比較的幅の広い部分とを有している。   The squeezing 6 is constituted by a squeezing main body 6a, a supply channel 6b, and a discharge channel 6c. The squeezing main body 6a is a portion extending in a direction along the plate 4c (a direction along both main surfaces of the plate 4c). Since the squeezing body 6a is disposed on the plate 4c having a smaller thickness than the other plates, the height of the flow path (the dimension in the plate stacking direction) is small, and the width of the flow path is also narrow. Compared with other portions, the cross-sectional area is small. That is, the restriction body 6 a is a part that has a high flow resistance and determines the flow resistance of the restriction 6. Further, as shown in FIG. 6, the squeezing body 6a is a linear portion having a particularly narrow channel width, and a portion connected to the supply channel 6b and the discharge channel 6c provided at both ends thereof. And a relatively wide portion.

排出流路6cは、プレート4cに配置されてプレートの積層方向に伸びており、しぼり本体6aと加圧室10とを繋いでいる流路である。排出流路6cは、横断面の面積がしぼり本体6aよりも大きく、流路抵抗がしぼり本体6aよりも小さい。   The discharge flow path 6 c is a flow path that is disposed on the plate 4 c and extends in the plate stacking direction, and connects the narrowing body 6 a and the pressurizing chamber 10. The discharge flow path 6c has a cross-sectional area larger than that of the squeezed main body 6a and a flow path resistance smaller than that of the squeezed main body 6a.

供給流路6bは、プレート4dからプレート4eに渡って、プレートの積層方向に伸びており、マニホールド5(副マニホールド5b)としぼり本体6aとを繋いでいる流路である。供給流路6bは、横断面の面積がしぼり本体6aよりも大きく、流路抵抗がしぼり本体6aよりも小さい。また、供給流路6bは、プレート4eに配置された第1供給流路6b1と、プレート4dに配置された第2供給流路6b2とを有している。すなわち、供給流路6bは、マニホールド5側に位置する第1供給流路6b1と、しぼり本体6a側に位置する第2供給流路6b2と、によって構成されている。第1供給流路6b1および第2供給流路6b2は、どちらも横断面の形状が円形である。そして、第1供給流路6b1の横断面の面積が、第2供給流路6b2の横断面の面積よりも大きくされており、供給流路6bの内壁面における第1供給流路6b1と第2供給流路6b2との境目に、横断面の面積が変化する段差6dを有している。プレートの積層方向から平面視したときに、第2供給流路6b2は第1供給流路6b1の中央に位置しており、第2供給流路6b2の周囲を囲むように段差6dが形成されている。   The supply flow path 6b extends from the plate 4d to the plate 4e in the plate stacking direction, and is a flow path that connects the manifold 5 (sub-manifold 5b) and the narrow body 6a. The supply flow path 6b has a cross-sectional area larger than that of the squeezed main body 6a and a flow path resistance smaller than that of the squeezed main body 6a. The supply flow path 6b includes a first supply flow path 6b1 disposed on the plate 4e and a second supply flow path 6b2 disposed on the plate 4d. That is, the supply flow path 6b includes a first supply flow path 6b1 positioned on the manifold 5 side and a second supply flow path 6b2 positioned on the side of the narrowing body 6a. Both the first supply channel 6b1 and the second supply channel 6b2 have a circular cross-sectional shape. And the area of the cross section of the 1st supply flow path 6b1 is made larger than the area of the cross section of the 2nd supply flow path 6b2, and the 1st supply flow path 6b1 and 2nd in the inner wall surface of the supply flow path 6b At the boundary with the supply flow path 6b2, there is a step 6d in which the cross-sectional area changes. When viewed in plan from the plate stacking direction, the second supply channel 6b2 is located at the center of the first supply channel 6b1, and a step 6d is formed so as to surround the second supply channel 6b2. Yes.

このように、本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、複数のプレート4a〜4mが接着剤層(図示せず)を介して積層されて構成されている。また、本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、液体を吐出する複数の吐出孔8と、吐出孔8の各々に対応して設けられており、各々が対応する吐出孔8に繋がっている複数の個別流路12と、複数の個別流路12が繋がっている共通流路(マニホールド5)と、を有している。各々の個別流路12は、個別流路12におけるマニホールド5(正確には副マニホールド5b)から吐出孔8へ至る経路の途中に設けられた加圧室10と、加圧室10とマニホールド5とを繋いでいるしぼり6と、を有している。しぼり6は、しぼり本体6aと、供給流路6bと、を有している。しぼり本体6aは、プレートに沿った方向に伸びるように形成されている。供給流路6bは、プレートの積層方向に伸びるように形成されてマニホールド5としぼり本体6aとを繋いでおり、しぼり本体6aよりも流路抵抗が小さい。また、供給流路6bは、供給流路6bの内壁面に、供給流路6bの横断面が変化する段差6dを有している。このような構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、マニホールド5(副マニホールド5b)の内壁面に付着した接着剤がしぼり本体6aに流入して吐出特性を悪化させることを低減できる。   As described above, the flow path member for the liquid ejection head according to the present embodiment is configured by laminating the plurality of plates 4a to 4m via the adhesive layer (not shown). Further, the flow path member for the liquid discharge head of the present embodiment is provided corresponding to each of the plurality of discharge holes 8 for discharging liquid and the discharge holes 8, and each is connected to the corresponding discharge hole 8. A plurality of individual flow paths 12 and a common flow path (manifold 5) to which the plurality of individual flow paths 12 are connected. Each individual flow path 12 includes a pressurizing chamber 10 provided in the middle of a path from the manifold 5 (more precisely, the sub-manifold 5b) to the discharge hole 8 in the individual flow path 12, and the pressurizing chamber 10 and the manifold 5 And a squeeze 6 that connects the two. The squeezing 6 has a squeezing main body 6a and a supply flow path 6b. The squeezing body 6a is formed so as to extend in a direction along the plate. The supply channel 6b is formed so as to extend in the stacking direction of the plates, and connects the manifold 5 and the squeezing body 6a, and has a channel resistance smaller than that of the squeezing body 6a. Further, the supply flow path 6b has a step 6d on the inner wall surface of the supply flow path 6b where the cross section of the supply flow path 6b changes. The flow path member for the liquid discharge head of the present embodiment having such a configuration is that the adhesive adhered to the inner wall surface of the manifold 5 (sub-manifold 5b) flows into the squeezed main body 6a and deteriorates the discharge characteristics. Can be reduced.

流路部材4の作製において、プレート4a〜4mを、接着剤層を介して積層する際に、接着剤が、プレート4a〜4mの間の全面に行き渡るだけの量がないと、接着されない部分が生じることになる。接着剤が、プレート4a〜4mの間の全面に行き渡った状態で、接着のために加圧すると、接着剤の一部は、流路の中に流れこむことになる。よって、接着剤の流入を防止するために、流路となる孔や溝の周囲に接着剤の逃がし溝を配置することが行われている。   In the production of the flow path member 4, when the plates 4 a to 4 m are laminated through the adhesive layer, if the amount of the adhesive does not reach the entire surface between the plates 4 a to 4 m, there is a portion that is not bonded. Will occur. When pressure is applied for bonding in a state where the adhesive is spread over the entire surface between the plates 4a to 4m, a part of the adhesive flows into the flow path. Therefore, in order to prevent the inflow of the adhesive, an adhesive relief groove is disposed around the hole or groove serving as the flow path.

プレート4eの吐出孔面4−1側の表面における供給流路6bの周囲は、マニホールド5の内壁面であり他のプレートと接合される部分ではない。しかしならがら、接着剤の塗布にけるパターンニングは、接着不良の原因となると共に、製造工程および工数の大幅な増加をともなうため、現実的ではなく行われない。よって、プレート4eの吐出孔面4−1側の表面における供給流路6bの周囲も接着剤の塗布領域となる。さらに、プレート4eの吐出孔面4−1側の表面における供給流路6bの周囲は、マニホールド5の内壁面であり他のプレートと接合される部分ではないため、プレート同士が押し当てられることによる接着剤の移動は生じないが、接着剤を硬化させるために加熱したときに、硬化前に接着剤の粘度が低下して接着剤の流動が生じ、接着剤が供給流路6bに流入することがあることが、発明者らの検討により明らかになった。   The periphery of the supply flow path 6b on the surface on the discharge hole surface 4-1 side of the plate 4e is the inner wall surface of the manifold 5 and is not a portion to be joined to another plate. However, patterning in the application of the adhesive is not practical because it causes adhesion failure and significantly increases the number of manufacturing steps and man-hours. Therefore, the periphery of the supply flow path 6b on the surface on the discharge hole surface 4-1 side of the plate 4e is also an adhesive application region. Furthermore, since the periphery of the supply flow path 6b on the surface on the discharge hole surface 4-1 side of the plate 4e is the inner wall surface of the manifold 5 and not a portion to be joined to other plates, the plates are pressed against each other. The adhesive does not move, but when heated to cure the adhesive, the viscosity of the adhesive decreases before curing, causing the adhesive to flow, and the adhesive flows into the supply channel 6b. It became clear by the inventors' examination.

前述したように、しぼり本体6aの流路抵抗は吐出特性に大きな影響を与えるため、接着剤のしぼり本体6aへの流入は吐出特性を大きく悪化させる。また、しぼり本体6aは、他の部分よりも横断面の面積が小さいため、しぼり本体6aへの接着剤の流入は、流路の遮断を生じやすく、致命的な不具合につながる恐れがある。   As described above, since the flow path resistance of the squeezing main body 6a has a great influence on the discharge characteristics, the inflow of the adhesive into the squeezing main body 6a greatly deteriorates the discharge characteristics. Further, since the main body 6a has a smaller cross-sectional area than other parts, the inflow of the adhesive to the main body 6a tends to block the flow path, which may lead to a fatal problem.

供給流路6bへの接着剤の流入を防止する方法の1つとして、プレート4eの吐出孔面4−1側の表面における供給流路6bの周囲に、接着剤の逃がし溝を設けることが考えられる。しかしながら、この方法では、逃がし溝にエアーがトラップされて、エアーの排出の妨げになるという問題があることが発明者らの検討により明らかになった。また、複数の個別流路12から漏洩した圧力波が逃がし溝で反射されて吐出特性に悪影響を及ぼすという問題もあった。   As one method of preventing the adhesive from flowing into the supply flow path 6b, it is considered to provide an adhesive relief groove around the supply flow path 6b on the surface on the discharge hole surface 4-1 side of the plate 4e. It is done. However, the inventors have found that this method has a problem that air is trapped in the escape groove and hinders air discharge. There is also a problem that pressure waves leaking from the plurality of individual flow paths 12 are reflected by the escape grooves and adversely affect the discharge characteristics.

上述した構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド用の流路部材は、マニホールド5から第1供給流路6b1へ流入した接着剤を、段差6d(正確には、段差6dにおけるマニホールド5(副マニホールド5b)面した内壁面(吐出孔面4−1と平行な内壁面)であり、特にその端部)でトラップすることができるので、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止し、吐出特性の悪化を防止することができる。このため、プレート4eの吐出孔面4−1側の表面における供給流路6bの周囲に接着剤の逃がし溝を設ける必要が無く、マニホールド5の内壁面における供給流路6bの周囲を逃がし溝の非形成領域とすることができる。これにより、マニホールド5の内壁面における供給流路6bの周囲に逃がし溝を形成することによる前述した不具合の発生を防止することが出来る。   The flow path member for the liquid discharge head according to the present embodiment having the above-described configuration causes the adhesive flowing into the first supply flow path 6b1 from the manifold 5 to flow into the step 6d (more precisely, the manifold 5 (sub-manifold at the step 6d). 5b) Since it can be trapped by the facing inner wall surface (inner wall surface parallel to the discharge hole surface 4-1, particularly its end), it prevents the adhesive from flowing into the squeezing body 6a and discharge characteristics. Can be prevented. For this reason, there is no need to provide an adhesive relief groove around the supply flow path 6b on the surface on the discharge hole surface 4-1 side of the plate 4e, and there is no escape groove around the supply flow path 6b on the inner wall surface of the manifold 5. It can be a non-forming region. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of the above-mentioned problems due to the formation of the escape groove around the supply flow path 6b on the inner wall surface of the manifold 5.

また、本実施形態では、第2供給流路6b2の横断面の面積が、第1供給流路6b1の横断面の面積よりも小さく、供給流路6bは、マニホールド5(共通流路)側からしぼり本体6a側へ向かうときに、段差6dを境にして横断面の面積が小さくなる。このため、マニホールド5から供給流路6bへの液体の流入をスムーズにできるとともに、段差6dによって接着剤を確実にトラップすることが出来る。   In the present embodiment, the area of the cross section of the second supply flow path 6b2 is smaller than the area of the cross section of the first supply flow path 6b1, and the supply flow path 6b is from the manifold 5 (common flow path) side. When heading toward the squeezed main body 6a, the area of the cross section becomes smaller with the step 6d as a boundary. For this reason, the flow of liquid from the manifold 5 to the supply flow path 6b can be made smooth, and the adhesive can be reliably trapped by the step 6d.

なお、プレートの積層方向から平面視したときに、第2供給流路6b2の周囲を囲むように段差6dが形成されているのが望ましく、これにより接着剤を確実にトラップすることが出来る。また、段差の高さは、50μm以上であることが望ましく、100μm以上であることが更に望ましい。   In addition, it is desirable that the step 6d is formed so as to surround the second supply channel 6b2 when viewed in plan from the plate stacking direction, so that the adhesive can be reliably trapped. Further, the height of the step is desirably 50 μm or more, and more desirably 100 μm or more.

また、本実施形態では、第1供給流路6b1はプレート4eに設けられており、第2供給流路6b2はプレート4dに設けられている。すなわち、供給流路6bにおける段差6dよりもマニホールド5(共通流路)側は、1つのプレートに設けられた貫通孔によって構成されており、供給流路6bにおける段差6dよりもしぼり本体6a側は、他のプレートに設けられた貫通孔によって構成されている。これにより、供給流路6bの内壁面に段
差6dを容易に形成することが出来る。但し、この構成に限定されるものではなく、供給流路6bを1つのプレート内に設けても構わない。この場合には、例えば、1つのプレートにハーフエッチングによって凹部を形成した後に、この凹部内に貫通孔を形成することにより、供給流路6bの横断面を変化させる段差を、供給流路6bの内壁面に形成することができる。
In the present embodiment, the first supply channel 6b1 is provided in the plate 4e, and the second supply channel 6b2 is provided in the plate 4d. That is, the manifold 5 (common flow path) side from the step 6d in the supply flow path 6b is configured by a through hole provided in one plate, and the squeezing main body 6a side from the step 6d in the supply flow path 6b is It is constituted by a through hole provided in another plate. Thereby, the level | step difference 6d can be easily formed in the inner wall face of the supply flow path 6b. However, it is not limited to this structure, You may provide the supply flow path 6b in one plate. In this case, for example, after forming a recess in one plate by half-etching, by forming a through hole in the recess, a step that changes the cross section of the supply channel 6b is formed in the supply channel 6b. It can be formed on the inner wall surface.

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図9および図10を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第1実施形態の流路部材4と異なる点について説明し、重複する説明を省略する(同様の構成要素には同様の参照符号を付す)。図9は、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材4における供給流路6bの構造を模式的に示す図7と同様の平面図である。図10は、図9のX−X線に沿った模式的な縦断面図である。
(Second Embodiment)
Next, a flow path member for a liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, in this embodiment, a different point from the flow-path member 4 of 1st Embodiment mentioned above is demonstrated, and the overlapping description is abbreviate | omitted (a similar referential mark is attached | subjected to the same component). FIG. 9 is a plan view similar to FIG. 7 schematically showing the structure of the supply flow path 6b in the flow path member 4 for the liquid ejection head according to the second embodiment of the present invention. 10 is a schematic longitudinal sectional view taken along line XX in FIG.

本実施形態の流路部材4は、図9および図10に示すように、凹部6fを更に有している。それ以外の構成は第1実施形態の流路部材4と同じである。凹部6fは、段差6dにおけるマニホールド5(共通流路)に面した内壁面(吐出孔面4−1と平行な内壁面)に設けられている。本実施形態の流路部材4は、凹部6fを有していることから、段差6dの高さを低く抑えつつ、凹部6fによって接着剤を確実にトラップすることができる。   As shown in FIGS. 9 and 10, the flow path member 4 of the present embodiment further has a recess 6 f. Other configurations are the same as those of the flow path member 4 of the first embodiment. The recess 6f is provided on an inner wall surface (an inner wall surface parallel to the discharge hole surface 4-1) facing the manifold 5 (common flow path) in the step 6d. Since the flow path member 4 of the present embodiment has the recess 6f, the adhesive can be reliably trapped by the recess 6f while suppressing the height of the step 6d to be low.

また、本実施形態では、供給流路6bをマニホールド5側(吐出孔面4−1側)から見たときに、段差6dよりもしぼり本体6a側における流路(第2供給流路6b2)の周囲を、間隔を開けて取り囲むように、凹部6fが設けられている。これにより、接着剤が、どの方向から第2供給流路6b2へ向けて流れてきても、凹部6fによって確実に接着剤をトラップすることが出来る。なお、凹部6fの幅は、50μm以上であることが望ましい。また、凹部6fの深さは、プレート4eの深さの40%以上60%以下とするのが望ましい。   Further, in the present embodiment, when the supply flow path 6b is viewed from the manifold 5 side (discharge hole surface 4-1 side), the flow path (second supply flow path 6b2) on the side of the main body 6a that is narrower than the step 6d. A recess 6f is provided so as to surround the periphery with a gap. As a result, the adhesive can be reliably trapped by the recess 6f regardless of which direction the adhesive flows toward the second supply channel 6b2. The width of the recess 6f is desirably 50 μm or more. The depth of the recess 6f is preferably 40% or more and 60% or less of the depth of the plate 4e.

(第3実施形態)
次に、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図11を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第1実施形態の流路部材4と異なる点について説明し、重複する説明を省略する(同様の構成要素には同様の参照符号を付す)。図11は、本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材6における供給流路6bの構造を模式的に示す図8と同様の縦断面図である。
(Third embodiment)
Next, a flow path member for a liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, in this embodiment, a different point from the flow-path member 4 of 1st Embodiment mentioned above is demonstrated, and the overlapping description is abbreviate | omitted (a similar referential mark is attached | subjected to the same component). FIG. 11 is a longitudinal sectional view similar to FIG. 8 schematically showing the structure of the supply flow path 6b in the flow path member 6 for a liquid ejection head according to the third embodiment of the present invention.

本実施形態では、図11に示すように、第2供給流路6b2の横断面の面積が第1供給流路6b1の横断面の面積よりも大きい。すなわち、供給流路6bは、マニホールド5(共通流路)側からしぼり本体6a側へ向かうときに、段差6dを境にして横断面の面積が大きくなる。このような構成を有する流路部材4においても、段差6d(正確には、段差6dにおけるしぼり本体6aに面した内壁面(加圧室面4−2と平行な内壁面)であり、特にその端部)に接着剤がトラップされるため、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止することが出来る。   In the present embodiment, as shown in FIG. 11, the area of the cross section of the second supply channel 6b2 is larger than the area of the cross section of the first supply channel 6b1. That is, the supply flow path 6b has a larger cross-sectional area at the step 6d as a boundary when moving from the manifold 5 (common flow path) side to the squeezing main body 6a side. Also in the flow path member 4 having such a configuration, the step 6d (more precisely, the inner wall surface (the inner wall surface parallel to the pressure chamber surface 4-2) facing the squeezing main body 6a in the step 6d) Since the adhesive is trapped at the end), the adhesive can be prevented from flowing into the main body 6a.

また、供給流路6bのマニホールド5側(第1供給流路6b1)の横断面の面積が小さいため、他の個別流路12で発生してマニホールド5内へ伝達された圧力波を第1供給流路6b1との境界部で反射することが出来るので、クロストークによる吐出特性の悪化を低減することが出来る。   Further, since the area of the cross section of the supply channel 6b on the manifold 5 side (first supply channel 6b1) is small, the pressure wave generated in the other individual channels 12 and transmitted into the manifold 5 is supplied to the first supply channel 6b. Since it can reflect in the boundary part with the flow path 6b1, the deterioration of the discharge characteristic by crosstalk can be reduced.

(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図12を用
いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第1実施形態の流路部材4と異なる点について説明し、重複する説明を省略する(同様の構成要素には同様の参照符号を付す)。図12は、本発明の第4実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材6における供給流路6bの構造を模式的に示す平面図であり、プレート4a〜4mの積層方向から平面視した状態を示している。
(Fourth embodiment)
Next, a flow path member for a liquid ejection head according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, in this embodiment, a different point from the flow-path member 4 of 1st Embodiment mentioned above is demonstrated, and the overlapping description is abbreviate | omitted (a similar referential mark is attached | subjected to the same component). FIG. 12 is a plan view schematically showing the structure of the supply flow path 6b in the flow path member 6 for a liquid ejection head according to the fourth embodiment of the present invention, as viewed in plan from the stacking direction of the plates 4a to 4m. Indicates the state.

本実施形態では、図12に示すように、第1供給流路6b1の横断面の面積と、第2供給流路6b2の横断面の面積とが等しいが、第1供給流路6b1の横断面は、7つの角を有する星形のような形状を有しており、第2供給流路6b2の横断面は、円形状の形状を有している。それにより、供給流路6bの内壁面における第1供給流路6b1と第2供給流路6b2との境界に段差が形成されている。すなわち、供給流路6bは、マニホールド5(共通流路)側からしぼり本体6a側へ向かうときに、段差6dを境にして横断面の形状が変化する。このような構成を有する流路部材4においても、段差(正確には、図12の第1供給流路6b1が第2供給流路6b2からはみ出した部分におけるマニホールド5側の表面と、図12の第2供給流路6b2が第1供給流路6b1からはみ出した部分におけるしぼり本体6a側の表面であり、特にそれらの表面の端部)に接着剤がトラップされるので、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止することが出来る。   In the present embodiment, as shown in FIG. 12, the cross-sectional area of the first supply flow path 6b1 and the cross-sectional area of the second supply flow path 6b2 are equal, but the cross-section of the first supply flow path 6b1 Has a star-like shape with seven corners, and the cross section of the second supply channel 6b2 has a circular shape. Thereby, a step is formed at the boundary between the first supply channel 6b1 and the second supply channel 6b2 on the inner wall surface of the supply channel 6b. That is, the shape of the cross section of the supply flow path 6b changes from the manifold 5 (common flow path) side toward the squeezed main body 6a side with the step 6d as a boundary. Also in the flow path member 4 having such a configuration, a step (to be exact, the surface on the manifold 5 side in the portion where the first supply flow path 6b1 of FIG. 12 protrudes from the second supply flow path 6b2 and the surface of FIG. Adhesive is trapped at the surface of the main body 6a side of the second supply flow path 6b2 that protrudes from the first supply flow path 6b1, and the adhesive is trapped particularly at the end of the surface of the second supply flow path 6b2. Inflow of the agent can be prevented.

また、本実施形態では、第1供給流路6b1の横断面が多くの角を有する形状であるため、第1供給流路6b1の横断面の角にもある程度の接着剤がトラップされるため、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止する効果を高めることが出来る。   In the present embodiment, since the cross section of the first supply flow path 6b1 has many corners, a certain amount of adhesive is trapped at the corner of the cross section of the first supply flow path 6b1. The effect of preventing the adhesive from flowing into the squeezed main body 6a can be enhanced.

なお、図12においては、第1供給流路6b1の横断面の断面積と、第2供給流路6b2の横断面の断面積と、が等しい場合を示したがこれに限定されるものではない。第1供給流路6b1の横断面の面積と第2供給流路6b2の横断面の面積とを異ならせ、それにより段差の高さを高くすることにより、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止する効果を更に高めることが出来る。   FIG. 12 shows the case where the cross-sectional area of the first supply channel 6b1 is equal to the cross-sectional area of the second supply channel 6b2, but the present invention is not limited to this. . The area of the cross section of the first supply flow path 6b1 is different from the area of the cross section of the second supply flow path 6b2, thereby increasing the height of the step, thereby allowing the adhesive to flow into the squeezing body 6a. The effect of preventing can be further enhanced.

(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材について、図13および図14を用いて説明する。なお、本実施形態においては、前述した第1実施形態の流路部材4と異なる点について説明し、重複する説明を省略する(同様の構成要素には同様の参照符号を付す)。図13は、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッド用の流路部材4における供給流路6bの構造を模式的に示す平面図であり、プレート4a〜4mの積層方向から平面視した状態を示している。図14は、図13のY−Y線に沿った模式的な縦断面図である。
(Fifth embodiment)
Next, a flow path member for a liquid discharge head according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, in this embodiment, a different point from the flow-path member 4 of 1st Embodiment mentioned above is demonstrated, and the overlapping description is abbreviate | omitted (a similar referential mark is attached | subjected to the same component). FIG. 13 is a plan view schematically showing the structure of the supply flow path 6b in the flow path member 4 for the liquid ejection head according to the second embodiment of the present invention, as viewed in plan from the stacking direction of the plates 4a to 4m. Indicates the state. 14 is a schematic longitudinal sectional view taken along line YY of FIG.

本実施形態では、図13および図14に示すように、第1供給流路6b1の横断面および第2供給流路6b2の横断面は、ともに円形状であり、横断面の面積も等しいが、プレート4a〜4mの積層方向から平面視したときに、第1供給流路6b1の横断面の面積重心c1の位置と、第2供給流路6b2の横断面の面積重心c2の位置と、が異なっている。そして、これにより、供給流路6bの内壁面における第1供給流路6b1と第2供給流路6b2との境界に段差6dが形成されている。すなわち、供給流路6bは、マニホールド5(共通流路)側からしぼり本体6a側へ向かうときに、段差6dを境にして横断面の面積重心の位置が変化する。このような構成を有する流路部材4においても、段差(正確には、図13の第1供給流路6b1が第2供給流路6b2からはみ出した部分におけるマニホールド5側の表面と、図13の第2供給流路6b2が第1供給流路6b1からはみ出した部分におけるしぼり本体6a側の表面であり、特にそれらの表面の端部)に接着剤がトラップされるので、しぼり本体6aへの接着剤の流入を防止することが出来る。   In the present embodiment, as shown in FIG. 13 and FIG. 14, the cross section of the first supply flow path 6b1 and the cross section of the second supply flow path 6b2 are both circular and have the same cross-sectional area. When viewed in plan from the stacking direction of the plates 4a to 4m, the position of the center of gravity c1 of the cross section of the first supply channel 6b1 is different from the position of the center of gravity c2 of the cross section of the second supply channel 6b2. ing. As a result, a step 6d is formed at the boundary between the first supply channel 6b1 and the second supply channel 6b2 on the inner wall surface of the supply channel 6b. That is, when the supply flow path 6b moves from the manifold 5 (common flow path) side to the squeezing main body 6a side, the position of the center of gravity of the area of the cross section changes at the step 6d. Also in the flow path member 4 having such a configuration, a step (to be precise, the surface on the manifold 5 side in the portion where the first supply flow path 6b1 of FIG. 13 protrudes from the second supply flow path 6b2 and the surface of FIG. Adhesive is trapped at the surface of the main body 6a side of the second supply flow path 6b2 that protrudes from the first supply flow path 6b1, and the adhesive is trapped particularly at the end of the surface of the second supply flow path 6b2. Inflow of the agent can be prevented.

なお、実際に作製された流路部材4において、段差6dを境にして横断面の面積重心の位置が変化することを、確認するのは困難である。そこで、実際の流路部材4において確認する場合には、図14に示すような1つの縦断面を観察し、その断面において、段差6dを境にして流路の中央の位置が変化することを確認すれば良い。   In the actually produced flow path member 4, it is difficult to confirm that the position of the center of gravity of the area of the cross section changes with the step 6d as a boundary. Therefore, when confirming in the actual flow path member 4, one vertical cross section as shown in FIG. 14 is observed, and in the cross section, the center position of the flow path changes with the step 6d as a boundary. Check it.

1・・・カラーインクジェットプリンタ
2・・・液体吐出ヘッド
2a・・・ヘッド本体
4・・・流路部材
4a〜4m・・・(流路部材の)プレート
4−1・・・吐出孔面
4−2・・・加圧室面
5・・・マニホールド(共通流路)
5a・・・(マニホールドの)開口
5b・・・副マニホールド
6・・・しぼり
6a・・しぼり本体
6b・・供給流路
6c・・排出流路
6d・・段差
6f・・凹部
7・・・ディセンダ
8・・・吐出孔
9・・・吐出孔行
10・・・加圧室
11・・・加圧室行
12・・・個別流路
15・・・隔壁
16・・・ダミー加圧室
21・・・圧電アクチュエータ基板
21a・・・圧電セラミック層(振動板)
21b・・・圧電セラミック層
24・・・共通電極
25・・・個別電極
25a・・・個別電極本体
25b・・・引出電極
26・・・接続電極
28・・・共通電極用表面電極
30・・・変位素子
60・・・信号伝達部
70・・・ヘッド搭載フレーム
72・・・ヘッド群
80A・・・給紙ローラ
80B・・・回収ローラ
82A・・・ガイドローラ
82B・・・搬送ローラ
88・・・制御部
P・・・印刷用紙
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color inkjet printer 2 ... Liquid discharge head 2a ... Head main body 4 ... Flow path member 4a-4m ... (of flow path member) 4-1 ... Discharge hole surface 4 -2 ... Pressure chamber surface 5 ... Manifold (common flow path)
5a ... (manifold) opening 5b ... sub-manifold 6 ... squeezing 6a ... squeezing body 6b ... supply channel 6c ... discharge channel 6d ... step 6f ... recess 7 ... descender 8 ... Discharge hole 9 ... Discharge hole row 10 ... Pressure chamber 11 ... Pressure chamber row 12 ... Individual flow path 15 ... Partition wall 16 ... Dummy pressurization chamber 21. ..Piezoelectric actuator substrate 21a ... piezoelectric ceramic layer
21b ... Piezoelectric ceramic layer 24 ... Common electrode 25 ... Individual electrode 25a ... Individual electrode body 25b ... Extraction electrode 26 ... Connection electrode 28 ... Surface electrode for common electrode 30 ... -Displacement element 60 ... Signal transmission unit 70 ... Head mounting frame 72 ... Head group 80A ... Paper feed roller 80B ... Collection roller 82A ... Guide roller 82B ... Conveying roller 88 ..Control unit P: Printing paper

Claims (10)

複数のプレートが接着剤層を介して積層されて構成されており、
液体を吐出する複数の吐出孔と、
該吐出孔の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記吐出孔に繋がっている複数の個別流路と、
複数の前記個別流路が繋がっている共通流路と、
を有しており、
各々の前記個別流路は、該個別流路における前記共通流路から前記吐出孔へ至る経路の途中に設けられた加圧室と、該加圧室と前記共通流路とを繋いでいるしぼりと、を有しており、
該しぼりは、前記プレートに沿った方向に伸びるように形成されているしぼり本体と、前記プレートの積層方向に伸びるように形成されて前記共通流路と前記しぼり本体とを繋いでおり、前記しぼり本体よりも流路抵抗が小さい供給流路と、を有しており、
該供給流路は、該供給流路の内壁面に、該供給流路の横断面が変化する段差を有している、
ことを特徴とする、液体吐出ヘッド用の流路部材。
A plurality of plates are laminated via an adhesive layer,
A plurality of discharge holes for discharging liquid;
A plurality of individual flow paths provided corresponding to each of the discharge holes, each connected to the corresponding discharge hole;
A common flow path in which a plurality of the individual flow paths are connected;
Have
Each of the individual flow paths is a pressure chamber provided in the middle of the path from the common flow path to the discharge hole in the individual flow path, and a squeezing connecting the pressure chamber and the common flow path. And
The squeezing is formed so as to extend in a direction along the plate, and the squeezing is formed so as to extend in the stacking direction of the plates, and connects the common flow path and the squeezing main body. A supply channel having a smaller channel resistance than the main body,
The supply flow path has a step on the inner wall surface of the supply flow path where the cross section of the supply flow path changes.
A flow path member for a liquid discharge head.
前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の面積が小さくなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   2. The liquid discharge head for a liquid ejection head according to claim 1, wherein the supply flow path has a smaller cross-sectional area with the step as a boundary when the supply flow path moves from the common flow path side to the narrowing body side. Channel member. 前記段差における前記共通流路に面した前記内壁面に、凹部が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   The flow path member for a liquid discharge head according to claim 2, wherein a recess is provided in the inner wall surface of the step facing the common flow path. 前記供給流路を前記共通流路側から見たときに、前記段差よりも前記しぼり本体側における流路の周囲を、間隔を開けて取り囲むように、前記凹部が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   When the supply flow channel is viewed from the common flow channel side, the concave portion is provided so as to surround the flow channel on the side of the squeezing main body with a gap from the step. The flow path member for a liquid discharge head according to claim 3. 前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の面積が大きくなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   2. The liquid discharge head for a liquid ejection head according to claim 1, wherein the supply flow path has an area of the cross section that increases from the common flow path side toward the narrowing body side with the step as a boundary. Channel member. 前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の形状が変化することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   6. The shape of the transverse section changes at the step as a boundary when the supply flow channel is directed from the common flow channel side to the narrowing body side. 6. A flow path member for a liquid discharge head as described. 前記供給流路は、前記共通流路側から前記しぼり本体側へ向かうときに、前記段差を境にして前記横断面の面積重心の位置が変化することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   The position of the center of gravity of the cross section of the cross section changes with the step as a boundary when the supply flow path is directed from the common flow path side to the narrowing body side. A flow path member for a liquid discharge head according to any one of the above. 前記供給流路における前記段差よりも前記共通流路側は、1つの前記プレートに設けられた貫通孔によって構成されており、前記供給流路における前記段差よりも前記しぼり本体側は、他の前記プレートに設けられた貫通孔によって構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材。   The common flow path side of the step in the supply flow path is configured by a through hole provided in one of the plates, and the squeezing main body side of the supply flow path is the other plate. The flow path member for a liquid discharge head according to claim 1, wherein the flow path member is formed by a through hole provided in the liquid discharge head. 請求項1〜8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用の流路部材と、
前記加圧室の各々に対応して設けられており、各々が対応する前記加圧室に圧力を加える、複数の加圧部と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
A flow path member for a liquid discharge head according to any one of claims 1 to 8,
A plurality of pressurizing sections, each of which is provided corresponding to each of the pressurizing chambers, each applying pressure to the corresponding pressurizing chamber;
A liquid discharge head comprising:
請求項9に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を有することを特徴とする記録装置。   A recording apparatus comprising: the liquid discharge head according to claim 9; a transport unit that transports a recording medium to the liquid discharge head; and a control unit that controls the liquid discharge head.
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