JP2016221777A - 液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及びワイピング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体の消費を抑制してノズルのワイピングを確実に行うことができる液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及びワイピング方法を提供する。
【解決手段】ノズル面上に第１の方向に沿って設けられた段差によって形成された凹部１４０をインクで満たした後、ノズル２１内のインクを加圧した状態で、ワイパー１５１をノズル面に対して第２の基準方向Ｙに相対移動させることによって、ワイパー１５１が凹部１４０をワイピングした後、ノズル２１をワイピングするようにした。
【選択図】図１３

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドのワイピング方法に関する。

被噴射媒体に液体を噴射する液体噴射装置には、例えば、液体としてインクを噴射させて紙や記録シートなどの被記録媒体（被噴射媒体）に印刷を行うインクジェット式記録装置が知られている。

このようなインクジェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘッドは、ノズルからインク滴を被噴射媒体上に吐出しているため、インク滴を噴射する液体噴射面のノズル近傍にインクが付着することにより、また、付着したインクが固化することにより、例えば、インク滴の噴射方向が安定しないという問題や、インク滴が噴射されないなどの噴射不良が発生するという問題がある。

このため、ゴムなどの弾性材料で形成された板状のワイパーで液体噴射面を払拭することにより、液体噴射面に付着したインクや毛羽、埃、紙粉等をクリーニングしている。

しかしながら、ノズル面に付着したインクが乾燥によって増粘し、増粘したインクをワイパーでノズルに刷り込むことにより、ノズルの噴射不良が発生する虞がある。

このため、ワイパーによるワイピング前に、ノズルからインクを滲み出させて、にじみ出したインクによって増粘したインクを溶解させることにより増粘したインクの刷り込みを抑制したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平７−９６６０４号公報

しかしながら、ノズルからインクを流出させながらノズル面をワイピングすることで、ノズル内を正圧にして増粘したインク、紙粉及び気泡等の侵入を抑制したとしても、無駄なインクの消費が増大してしまうという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、液体の消費を抑制してノズルのワイピングを確実に行うことができる液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及びワイピング方法を提供することを目的とする。

［態様１］ 本発明の態様は、互いに交差する２つの方向を第１の方向及び第２の方向と規定した場合に、前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上であって、複数のノズルが設けられたノズル面を有する液体噴射ヘッドと、前記第１の方向に沿ったワイパーと前記ノズル面との相対移動を前記第２の方向に行って、前記ノズル面をワイピングするワイピング手段と、前記ノズル面上に前記第１の方向に沿って設けられた段差によって形成された凹部と、制御手段と、を具備し、前記制御手段は、複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから溢れた液体により前記凹部を満たすように前記液体噴射ヘッドを制御し、且つ、前記ワイパーと前記ノズル面との相対移動において、液体が満たされた前記凹部を前記ワイパーによりワイピングしてから前記ノズルをワイピングするように前記ワイピング手段を制御し、前記第１の方向に平行な仮想線に対して、前記第２の方向に射影した場合に、複数の前記ノズルが前記仮想線上に分布する範囲は、前記液体が満たされた前記凹部が仮想線上に分布する範囲に包含されることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。

かかる態様では、ノズルが設けられた範囲を包含する凹部であって、液体により満たされた凹部をワイピングしてからノズルをワイピングすることで、ノズル面に付着した増粘した液体を溶融でき、増粘した液体をノズルに刷り込むのを抑制することができる。また、液体はワイパーがノズルよりも先にワイピングする凹部の範囲のみを満たせばよいため、液体の無駄な消費量を抑制することができる。

［態様２］態様１の液体噴射ヘッドユニットにおいて、前記凹部は、前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上において、複数の前記ノズルを囲むことが好ましい。これによれば、どの位置のノズルから液体が溢れ出たとしても、段差を液体で満たすことができる。

［態様３］態様１又は２の液体噴射ヘッドユニットにおいて、複数の前記ノズルは、前記第２の方向における複数の位置に配置され、前記第２の方向において前記凹部に最も近い前記ノズルと前記凹部との前記第２の方向の距離は、前記第２の方向において最も離間する２つのノズルの前記第２の方向の距離よりも小さいことが好ましい。これによれば、凹部がノズル近くに配置されるので、ノズルから溢れ出た液体が凹部に移動し易く、凹部を液体で満たし易い。

［態様４］態様１〜３の何れかの液体噴射ヘッドユニットにおいて、複数の前記ノズルが設けられたノズルプレートと、前記ノズルプレートを囲む貫通孔が設けられた固定板と、前記ノズルプレート及び前記固定板を固定する連通板と、により前記凹部が形成されていることが好ましい。これによれば、ノズルプレートを使って凹部を形成するので、凹部とノズルとを近くに配置することができ、ノズルから溢れ出させた液体によって凹部を満たし易い。

［態様５］態様４の液体噴射ヘッドユニットにおいて、前記ノズルプレートのうちワイピングされる面は、前記凹部よりも撥液性が高いことが好ましい。これにより、凹部に液体を満たし易い。

［態様６］態様１〜５の液体噴射ヘッドユニットにおいて、複数の前記ノズルは、第１の種類の液体を噴射するノズルと、第１の種類の液体よりも表面張力の小さい第２の種類の液体を噴射するノズルと、を含み、前記凹部は、少なくとも前記第２の種類の液体により満たされることが好ましい。これによれば、表面張力の低い液体をノズルから溢れさせることで、ノズルのメニスカスを破壊し易く、液体の消費量を抑制することができる。

［態様７］態様１〜６の何れかの液体噴射ヘッドユニットにおいて、さらに液体受け板を備え、複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから液体を溢れさせた後、前記ノズル面と前記液体受け板とを近接させることにより、前記凹部を液体により満たすことが好ましい。これによれば、液体受け板によって凹部を液体で容易に満たすことができると共に、液体の無駄な消費量を抑制することができる。

［態様８］態様７の液体噴射ヘッドユニットにおいて、前記液体受け板は、前記ノズルから前記凹部に向けた方向に沿った溝を有することが好ましい。これによれば、溝を設けることで、溝に沿って液体を凹部に導き易く、液体の無駄な消費をさらに抑制することができる。

［態様９］態様１〜８の何れかの液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

かかる態様では、ノズルのワイピングを確実に行うことができると共に液体の無駄な消費を抑制した液体噴射装置を実現できる。

［態様１０］本発明の他の態様は、互いに交差する２つの方向を第１の方向及び第２の方向と規定した場合に、前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上であって、複数のノズルが形成されたノズル面をワイパーでワイピングするワイピング方法であって、前記ノズル面には、当該ノズル面上のうち前記第２の方向において複数の前記ノズルとは異なる位置であって、前記第１の方向に沿って設けられた段差によって凹部が設けられ、複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから溢れた液体により前記凹部を満たし、前記ワイパーと前記ノズル面との相対移動を前記第２の方向に行うことにより、前記凹部をワイピングしてから前記ノズルをワイピングし、前記第１の方向に平行な仮想線に対して、前記第２の方向に射影した場合に、複数の前記ノズルが前記仮想線上に分布する範囲は、前記液体が満たされた前記凹部が仮想線上に分布する範囲に包含されることを特徴とするワイピング方法にある。

かかる態様では、ノズルが設けられた範囲を包含する凹部であって、液体により満たされた凹部をワイピングしてからノズルをワイピングすることで、ノズル面に付着した増粘した液体を溶融でき、増粘した液体をノズルに刷り込むのを抑制することができる。また、液体はワイパーがノズルよりも先にワイピングする凹部の範囲のみを満たせばよいため、液体の無駄な消費量を抑制することができる。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録装置の流路構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態１に係るヘッドモジュールの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係るヘッドモジュールの平面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体及びカバーの平面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。 本発明の実施形態１に係る圧力調整手段の断面図である。 本発明の実施形態１に係る加圧手段の断面図である。 本発明の実施形態１に係るワイピング手段の平面図及び断面図である。 本発明の実施形態１に係る制御構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態１に係るワイピング方法を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係るワイピング方法の比較例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録装置の要部断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録装置の変形例を示す要部断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略構成を示す斜視図である。

本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録ヘッドモジュールが装置本体に固定されて、被噴射媒体である紙などの記録シートＳを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。

具体的には、図１に示すように、インクジェット式記録装置１は、装置本体２と、複数のヘッド本体１００を具備すると共に装置本体２に固定されたインクジェット式記録ヘッド３（以下、単に記録ヘッド３とも言う）と、記録シートＳを搬送する搬送手段４と、記録ヘッド３と相対向する記録シートＳを支持する支持部材７と、液体であるインクを記録ヘッド３に供給する液体供給手段８と、制御手段である制御装置９と、ワイピング手段（図示なし）と、を具備する。なお、本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を第１の基準方向Ｘと称する。また、記録ヘッド３のノズルが開口する面内方向において、第１の基準方向Ｘと直交する方向を第２の基準方向Ｙと称する。さらに、第１の基準方向Ｘ及び第２の基準方向Ｙに直交する方向を第３の基準方向Ｚと称する。また、第３の基準方向Ｚを含む面内において液体噴射方向側（記録シートＳ側）をＺ１側、反対側をＺ２側と称する。

記録ヘッド３は、複数のヘッド本体１００と、複数のヘッド本体１００を保持する保持部材２００と、を具備する。

複数のヘッド本体１００は、搬送方向である第１の基準方向Ｘに交差する方向、本実施形態では、第１の基準方向Ｘに直交する第２の基準方向Ｙに並設されて保持部材２００に固定されている。なお、本実施形態では、複数のヘッド本体１００は、第２の基準方向Ｙの直線上に並設されている。すなわち、複数のヘッド本体１００は、第１の基準方向Ｘにずれて配置されていない。これにより、記録ヘッド３の第１の方向の幅を狭くして小型化を図ることができる。

また、保持部材２００は、複数のヘッド本体１００のノズルが記録シートＳ側に向くように、複数のヘッド本体１００を保持するものである。また、本実施形態では、保持部材２００には、詳しくは後述するが、ヘッド本体１００にインクを供給する流路、圧力を調整する圧力調整手段、流路の開閉を行う開閉弁及びインクを加圧する加圧手段等が設けられている。すなわち、本実施形態では、保持部材２００は、流路を構成する流路部材としても機能する。もちろん、保持部材２００は、ヘッド本体１００の保持のみを行い、保持部材２００にさらに流路を有する流路部材等を設けるようにしてもよい。そして、このような保持部材２００が一体化された複数のヘッド本体１００は、装置本体２に固定されている。

搬送手段４は、記録シートＳを記録ヘッド３に対して、第１の基準方向Ｘに搬送する。搬送手段４は、例えば、記録ヘッド３に対して記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘの両側に設けられた第１の搬送ローラー５と、第２の搬送ローラー６とを具備する。

このような第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６とによって、記録シートＳを搬送する。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段４は、搬送ローラーに限定されず、ベルトやドラム等であってもよい。

支持部材７は、搬送手段４によって搬送される記録シートＳを、記録ヘッド３に相対向する位置で支持する。支持部材７は、例えば、第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６との間に、記録ヘッド３に相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなる。

なお、支持部材７には、搬送された記録シートＳを支持部材７上で吸着する吸着手段が設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。例えば、搬送手段４がベルトやドラムである場合、支持部材７は、ベルト上やドラム上で記録シートＳを、記録ヘッド３に相対向する位置で支持する。

また、記録ヘッド３の各ヘッド本体１００には、インクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段を有する液体供給手段８がインクを供給可能に接続されている。また、液体供給手段８は、本実施形態では、記録ヘッド３とは異なる装置本体２に固定されており、液体供給手段８からのインクは、チューブ等の供給管８ａを介して記録ヘッド３に供給されている。なお、液体供給手段８からのインクは、保持部材２００や流路部材等を介さずに直接、ヘッド本体１００に供給するようにしてもよい。また、液体供給手段８は、記録ヘッド３とは異なる位置に固定したものに限定されず、例えば、インクカートリッジ等の液体供給手段を記録ヘッド３上に保持させて、液体供給手段から保持部材２００、流路部材又は記録ヘッド等に直接インクを供給するようにしてもよい。

このようなインクジェット式記録装置１では、第１の搬送ローラー５によって記録シートＳが搬送され、記録ヘッド３によって支持部材７上で支持された記録シートＳに印刷が実行される。印刷された記録シートＳは、第２の搬送ローラー６によって搬送される。また、図示しないワイピング手段がヘッド本体１００のノズル面をワイピングする場合には、ワイピング手段がヘッド本体１００のノズル面に相対向する位置まで移動するか、又は、記録ヘッド３がワイピング手段の設けられた位置まで移動するなどして行われる。

ここで、本実施形態のインクジェット式記録装置１の流路構成について図２を参照して説明する。なお、図２は、本実施形態のインクジェット式記録装置の流路構成を示すブロック図である。

図２に示すように、上述したインクジェット式記録装置１では、液体供給手段８からのインクが供給管８ａを介して記録ヘッド３に供給される。

ここで、液体供給手段８は、液体であるインクを貯留するインクタンク等の液体貯留手段８０１と、液体貯留手段８０１のインクを記録ヘッド３に向かって圧送する第１圧送手段８０２と、第１圧送手段８０２と液体貯留手段８０１との間に設けられて第１圧送手段８０２からのインクの逆流を抑制する逆止弁８０３と、を具備する。

第１圧送手段８０２は、液体貯留手段８０１に貯留されたインクを逆止弁８０３によって逆流させることなく、記録ヘッド３に供給する。このような第１圧送手段８０２としては、例えば、液体貯留手段８０１を外部から押圧する押圧手段や、加圧ポンプ等が挙げられる。なお、第１圧送手段８０２として、記録ヘッド３と液体貯留手段８０１との鉛直方向の相対位置を調整して発生する水頭圧差を用いるようにしてもよい。

記録ヘッド３は、複数のヘッド本体１００と、複数のヘッド本体１００を保持する保持部材２００と、を具備する。また、保持部材２００には、液体供給手段８からヘッド本体１００にインクを供給する流路が設けられており、この流路の途中には、液体供給手段８から供給されたインクの圧力を調整する圧力調整手段２０１と、圧力調整手段２０１よりも下流のヘッド本体１００側に設けられて流路を開閉する開閉弁２０２と、開閉弁２０２よりも下流側に設けられてインクを加圧する加圧手段２０３と、が設けられている。

圧力調整手段２０１は、詳しくは後述するが、下流側の流路が負圧になることで開弁する圧力調整弁からなる。圧力調整手段２０１を設けることで、ヘッド本体１００に第１圧送手段８０２による圧送されたインクが常にヘッド本体１００に供給されるのを抑制して、ヘッド本体１００のノズルからインクが漏出するのを抑制することができる。

加圧手段２０３は、所望のタイミングで流路内のインクを加圧する。また、開閉弁２０２は、加圧手段２０３の加圧時に流路を閉弁することで、インクが上流側である圧力調整手段２０１側に逆流するのを抑制して、加圧手段２０３によって加圧されたインクがヘッド本体１００に供給されるようにする。ちなみに、詳しくは後述するが、圧力調整手段２０１は、一部が可撓性を有するフィルムで形成されているため、加圧手段２０３によるインクの加圧時にインクが圧力調整手段２０１側に逆流すると、圧力調整手段２０１のフィルムが撓み変形することで加圧手段２０３による圧力が吸収されてしまう。このため、加圧手段２０３が加圧する際には、開閉弁２０２を閉弁することで、圧力調整手段２０１のフィルムの変形による圧力吸収を抑制して、加圧したインクをヘッド本体１００に効率よく供給することができる。

ここで、本実施形態の記録ヘッド３についてさらに図３及び図４を参照して詳細に説明する。なお、図３は、本発明の実施形態１に係るヘッドモジュールを示す分解斜視図であり、図４は、ヘッドモジュールのノズル面側の平面図である。

図示するように、本実施形態の記録ヘッド３は、複数のヘッド本体１００と、複数のヘッド本体１００を保持する保持部材２００と、を具備する。

ヘッド本体１００は、ノズル２１が設けられたノズル面を第３の基準方向ＺのＺ１側に有する。このようなヘッド本体１００は、保持部材２００の記録シートＳに相対向する面側、すなわち、第３の基準方向Ｚの記録シートＳ側であるＺ１側に固定されている。そして、複数のヘッド本体１００は、記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘに直交する第２の基準方向Ｙに直線上に並設されて保持部材２００に固定されている。すなわち、複数のヘッド本体１００は、第１の基準方向Ｘにずれて配置されていない。これにより、記録ヘッド３の第１の基準方向Ｘの幅を狭くして、記録ヘッド３の小型化を図ることができる。もちろん、第２の基準方向Ｙに並設されたヘッド本体１００を第１の基準方向Ｘにずらして配置するようにしてもよいが、ヘッド本体１００を第１の基準方向Ｘに大きくずらすと、保持部材２００等の第１の基準方向Ｘの幅が大きくなってしまう。このように記録ヘッド３の第１の基準方向Ｘの幅が大きくなると、インクジェット式記録装置１における第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６との第１の基準方向Ｘにおける距離が遠くなり、記録シートＳの姿勢の固定が困難になる。また、記録ヘッド３及びインクジェット式記録装置１が大型化してしまう。本実施形態では、記録ヘッド３の第１の基準方向Ｘにおける幅を狭くすることで、第１の搬送ローラー５と第２の搬送ローラー６との第１の基準方向Ｘにおける距離を短くして、記録シートＳの姿勢の固定を容易にし、印刷品質を向上することができると共にインクジェット式記録装置１の小型化を図ることができる。

なお、本実施形態では、保持部材２００に４個のヘッド本体１００を固定するようにしたが、ヘッド本体１００の数は１個であってもよく、２個以上の複数個であってもよい。

ここで、このような記録ヘッド３に搭載されるヘッド本体１００の一例についてさらに詳細に説明する。

図３及び図４に示すように、本実施形態のヘッド本体１００は、複数のヘッドチップ１１０と、複数のヘッドチップ１１０を保持するホルダー１２０と、ヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａ側に設けられた固定板であるカバー１３０と、を具備する。

ヘッドチップ１１０は、第３の基準方向ＺのＺ１側にノズル２１が設けられた第１ノズル面２０ａを有する。また、複数のヘッドチップ１１０のＺ２側が、ホルダー１２０のＺ１側の面に接着されている。

ホルダー１２０は、Ｚ１側に溝状の空間を形成する保持部１２１を有する。保持部１２１は、ホルダー１２０のＺ１側の面に、第２の基準方向Ｙに亘って連続して設けられることで、第２の基準方向Ｙの両側面に開口して設けられている。また、ホルダー１２０の保持部１２１の第１の基準方向Ｘの両側には、足部１２２が形成されている。

このような保持部１２１内に、複数のヘッドチップ１１０が接着剤等によって固定されている。なお、ホルダー１２０の図示しない内部には、ヘッドチップ１１０にインクを供給する流路等が設けられている。このようなホルダー１２０は、複数の部材が第３の基準方向Ｚに積層されて構成されていてもよい。

また、ホルダー１２０の保持部１２１内には、複数のヘッドチップ１１０が、第２の基準方向Ｙに並設されて接着されている。本実施形態では１つのホルダー１２０に６個のヘッドチップ１１０が接着されている。もちろん、１つのホルダー１２０に固定するヘッドチップ１１０の数は特にこれに限定されず、１つのホルダー１２０に対してヘッドチップ１１０が１個であっても、また、２個以上の複数であってもよい。ちなみに、１つのヘッド本体１００に対して複数のヘッドチップ１１０を設けてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１００に対して１つのヘッドチップ１１０のみにノズル列を複数列設けて多列化する場合に比べて歩留まりを向上することができる。

なお、本実施形態の複数のヘッドチップ１１０は、第１ノズル面２０ａの面内方向において、記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘに対してノズル列が傾斜するように固定されている。すなわち、第１の基準方向Ｘに対して、ノズル列を構成するノズル２１の並設方向である第４の基準方向Ｘａが傾斜する方向となっている。つまり、ノズル２１は、第４の基準方向Ｘａと、第４の基準方向Ｘａに交差する第２の基準方向Ｙとで規定される平面上に、第４の基準方向Ｘａに沿って複数のノズル２１が分布されている。このため、本実施形態では、第４の基準方向Ｘａが第１の方向に相当し、第２の基準方向Ｙが第２の方向に相当する。また、第４の基準方向Ｘａと第２の基準方向Ｙとで規定される平面を第１ノズル面２０ａと称する。さらに、本実施形態では、ヘッド本体１００は、複数のヘッドチップ１１０を第２の基準方向Ｙに並設しており、第２の基準方向Ｙで隣り合うヘッドチップ１１０のノズル２１の少なくとも一部同士を第１の基準方向Ｘで重なる位置で配置することができる。よって、記録ヘッド３の第２の基準方向Ｙに亘って同様の間隔で並設されたノズル２１を形成することができる。

カバー１３０は、固定板に相当するものであり、金属等の板状部材からなる。カバー１３０は、ヘッド本体１００の第１ノズル面２０ａ側、すなわち、ヘッド本体１００の第３の基準方向ＺのＺ１側に設けられている。

カバー１３０は、平板状の部材を折り曲げることで形成されたものであり、第１ノズル面２０ａ側に設けられたベース部１３１と、ベース部１３１の第２の基準方向Ｙの両端部が第３の基準方向ＺのＺ２側に屈曲して設けられた折り曲げ部１３２と、を具備する。

ベース部１３１は、図３に示すように、ホルダー１２０の第３の基準方向ＺのＺ１側の面、すなわち、足部１２２のＺ１側の端面に接着剤を介して接合されている。

また、ベース部１３１には、各ヘッドチップ１１０のノズル２１を露出するための貫通孔である露出開口部１３４が設けられている。本実施形態では、露出開口部１３４は、ヘッドチップ１１０毎に独立して開口するように設けられている。すなわち、本実施形態のヘッド本体１００は、６個のヘッドチップ１１０を有するため、ベース部１３１には６個の独立した露出開口部１３４が設けられている。もちろん、ヘッドチップ１１０の構成等によっては、複数のヘッドチップ１１０で構成されるヘッド本体群に対して１つの共通する露出開口部１３４を設けるようにしてもよい。このようなベース部１３１によって、ホルダー１２０の保持部１２１のＺ１側が覆われている。本実施形態では、ベース部１３１のＺ１側の面を第２ノズル面１３５と称する。すなわち、ヘッド本体１００のノズル面は、ヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａと、カバー１３０の第２ノズル面１３５とを含むものである。

また、折り曲げ部１３２は、ベース部１３１の第２の基準方向Ｙの両端部に設けられており、保持部１２１の第２の基準方向Ｙの側面に開口する開口面積を覆う大きさで形成されている。このような折り曲げ部１３２は、ホルダー１２０の第２の基準方向Ｙの側面に接着剤を介して接合されている。これにより、保持部１２１の第２の基準方向Ｙの側面への開口は、折り曲げ部１３２によって覆われて封止されている。

すなわち、ホルダー１２０とカバー１３０とは、第１の基準方向Ｘの両側では足部１２２の第３の基準方向Ｚの端面とベース部１３１とが接着剤により接着され、第２の基準方向Ｙの両側では保持部１２１の開口する側面と折り曲げ部１３２とが接着剤により接着されることで、ホルダー１２０とカバー１３０との間の空間である保持部１２１内にヘッドチップ１１０が配置されている。

このように、本実施形態では、ホルダー１２０の第２の基準方向Ｙの両側には、カバー１３０に折り曲げ部１３２を設けることで、カバー１３０とホルダー１２０とを接着するようにしたため、ホルダー１２０の第２の基準方向Ｙの両側には、カバー１３０のベース部１３１と接着するための足部が不要となる。このため、第２の基準方向Ｙにヘッド本体１００を並設した際に、互いに隣り合うヘッド本体１００の間側に足部が存在しないことから、第２の基準方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００の間隔を狭くすることができる。これにより、第２の基準方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００のヘッドチップ１１０同士を近接して設けることができ、隣り合うインクジェット式記録ヘッドの各ヘッドチップ１１０に設けられたノズル２１を第２の基準方向Ｙに近接して設けることができ、第２の基準方向Ｙで隣り合うヘッド本体１００のノズル２１同士を第１の基準方向Ｘで重なる位置に配置することが可能となる。このため、複数のヘッド本体１００を第２の基準方向Ｙに延びる直線上に並設することができ、記録ヘッド３の第１の基準方向Ｘの幅を小さくすることができる。

このような本実施形態のヘッド本体１００は、図４に示すように、ノズル面側から平面視した際に、略平行四辺形となる形状を有する。これは、上述したように、各ヘッドチップ１１０のノズル列を構成するノズル２１の並設方向である第４の基準方向Ｘａが、記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘに対して傾斜して設けられており、このノズル列の傾斜する方向である第４の基準方向Ｘａと同じようにヘッド本体１００の外形を略平行四辺形となるように形成したからである。もちろん、ヘッド本体１００の第１ノズル面２０ａ側から平面視した際の形状は、略平行四辺形に限定されず、矩形状や台形状、多角形状等であってもよい。

このようにヘッド本体１００を複数配置して記録ヘッド３とすることにより、製造上の歩留まり、加工の容易さ、固定板であるカバー１３０の平面の平面出しの容易化などの効果を奏する。

以下、ヘッド本体１００のヘッドチップ１１０の一例についてさらに図５〜図７を参照して説明する。なお、図５は、本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図であり、図６は、ヘッド本体及びカバーの要部平面図であり、図７は、ヘッド本体の第２の基準方向Ｙの断面図である。

図示するように、本実施形態のヘッドチップ１１０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５、ケース４０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

図示するように、ヘッドチップ１１０を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。なお、本実施形態では、この圧力発生室１２が並設される方向は、第４の基準方向Ｘａと一致する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第４の基準方向Ｘａに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第４の基準方向Ｘａに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第５の基準方向Ｙａと称する。なお、本実施形態では、第４の基準方向Ｘａ及び第５の基準方向Ｙａに直交する方向は、第３の基準方向Ｚと一致する。また、本実施形態のヘッドチップ１１０は、ノズル２１の並設方向である第４の基準方向Ｘａが、記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘに対して傾斜した方向となるように記録ヘッド３に搭載される。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第５の基準方向Ｙａの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、図５に示すように、流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口する第３の基準方向Ｚの一方面であるＺ１側が第１ノズル面２０ａとなっている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。

また、連通板１５には、マニホールド９５の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の基準方向Ｚに貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の基準方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して第３の基準方向Ｚの途中まで設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の基準方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体であるインクを噴射するものが第４の基準方向Ｘａに並設され、この第４の基準方向Ｘａに並設されたノズル２１の列が第５の基準方向Ｙａに２列形成されている。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板が形成されている。また、振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、第３の基準方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極と駆動ＩＣ等の駆動回路９７を実装した配線基板９８とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド９５を画成するケース４０が固定されている。ケース４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース４０と流路形成基板１０及び保護基板３０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、この第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態のマニホールド９５が構成されている。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成されている。また、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド９５に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド９５の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。

また、固定板であるカバー１３０は、このコンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側、すなわち、Ｚ１側の面に接合されている。すなわち、カバー１３０のベース部１３１に設けられた貫通孔である露出開口部１３４は、ノズルプレート２０の面積よりも広い開口面積を有し、露出開口部１３４内でノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａを露出する。もちろん、カバー１３０は、これに限定されず、例えば、カバー１３０の露出開口部１３４をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とし、カバー１３０をノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａに当接又は接着するようにしてもよい。もちろん、カバー１３０の露出開口部１３４をノズルプレート２０の外形よりも小さな開口面積とした場合であっても、カバー１３０と第１ノズル面２０ａとが接しないように設けるようにしてもよい。そして、連通板１５には、ノズルプレート２０とカバー１３０とが固定されていることになる。なお、本実施形態のカバー１３０は、連通板１５にコンプライアンス基板４５を介して固定されている。このため、カバー１３０が連通板１５に固定されているとは、両者の間にコンプライアンス基板４５等の他の部材が介在して固定されているものも、また、カバー１３０が連通板１５に直接固定されているものも含むものである。ちなみに、コンプライアンス基板４５は、連通板１５のノズルプレート２０側に固定するものに限定されず、例えば、コンプライアンス基板４５をマニホールド９５に対して連通板１５とは反対側、すなわち、ケース４０側に設けるようにしてもよく、コンプライアンス基板４５をマニホールド９５の連通板１５側とは交差する側面に設けるようにしてもよい。また、ノズルプレート２０についても同様に、ノズルプレート２０が連通板１５に固定されているとは、ノズルプレート２０が連通板１５に直接固定されているものも、両者の間に他の部材が介在して固定されているものも含むものである。

このように、ノズルプレート２０とカバー１３０とが連通板１５に固定されることで、ヘッド本体１００のＺ１側の面であるノズル面には、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａとカバー１３０の第２ノズル面１３５との間に段差が形成され、この段差によって凹部１４０が形成されている。すなわち、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａと、カバー１３０の第２ノズル面１３５とは、第３の基準方向Ｚにおいて異なる位置に設けられることで、両者の間に段差が設けられている。つまり、段差とは、第３の基準方向Ｚにおいて異なる位置に設けられた２つの面で形成されたもののことを言う。本実施形態では、カバー１３０の第２ノズル面１３５が、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａよりもＺ１側に突出して設けられることで段差が形成されている。このようにカバー１３０をノズルプレート２０よりも記録シートＳ側に突出して設けることで、記録シートＳがノズルプレート２０に接触し難くなり、記録シートＳがノズルプレート２０に接触することによるノズルプレート２０の変形及び剥離を抑制することができる。なお、本実施形態のノズル面は、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａ及びカバー１３０の第２ノズル面１３５を含むものである。ちなみに、第１ノズル面２０ａと第２ノズル面１３５とが第３の基準方向Ｚに同じ位置で設けられていたとしても、例えば、第１ノズル面２０ａと第２ノズル面１３５との間で連通板１５の表面が露出されている場合には、第１ノズル面２０ａ及び第２ノズル面１３５と連通板１５の表面との間に段差が形成されていることになる。つまり、第１ノズル面２０ａと第２ノズル面１３５との間に設けられた連通板１５等の部材の表面もノズル面に含まれる。このようなノズル面に設けられた段差によって凹部１４０が形成されている。ちなみに、凹部１４０とは、２つの面によって形成された角状のものであっても、また、３つの面によって形成された断面が矩形状となる溝状のものであってもよい。本実施形態では、詳しくは後述するが、第１ノズル面２０ａと第２ノズル面１３５との間に、ノズルプレート２０とカバー１３０と連通板１５とによって凹部２５が形成され、この凹部２５内に充填剤２６が充填されることで、充填剤２６の表面にスロープ状の凹部１４０が形成されていることになる。なお、凹部２５内に充填剤２６が充填されていない場合には、凹部２５が、段差によって形成された凹部となる。つまり、段差によって形成された凹部とは、ノズルプレート２０とカバー１３０と連通板１５とによって形成された凹部２５であっても、また、凹部２５内に充填された充填剤２６の表面に形成されたスロープ状の凹みであってもよい。また、本実施形態では、ノズルプレート２０毎に露出開口部１３４を設けると共に、ノズルプレート２０及び露出開口部１３４は第３の基準方向Ｚから平面視した際に第４の基準方向Ｘａに傾斜した平行四辺形を有する。したがって、ノズルプレート２０とカバー１３０との間の凹部１４０は、ノズル２１の並設方向である第４の基準方向Ｘａに沿って設けられている。また、本実施形態では、凹部１４０は、ノズルプレート２０の周囲に亘って連続して設けられている。つまり、凹部１４０は、第４の基準方向Ｘａ及び第２の基準方向Ｙで規定される平面上において、複数のノズル２１を囲んで設けられている。さらに、本実施形態では、第２の方向である第２の基準方向Ｙにおいて、凹部１４０に最も近いノズル２１と凹部１４０、すなわち、ノズルプレート２０の縁との距離ｌ_１は、第２の基準方向Ｙにおいて最も離間する２つのノズル２１の距離ｌ_２よりも小さい。これにより、詳しくは後述するが、ノズル２１から溢れさせたインクが、凹部１４０に伝わり易く、凹部１４０をインクで満たし易い。

また、ノズルプレート２０とカバー１３０との間には凹部２５が形成されている。すなわち、カバー１３０の露出開口部１３４はノズルプレート２０よりも大きな開口を有するため、連通板１５の表面には、ノズルプレート２０の外周縁部とカバー１３０の露出開口部１３４の内周縁部との間に凹部２５が形成されている。つまり、凹部２５は、ノズルプレート２０と、カバー１３０と、ノズルプレート２０及びカバー１３０が固定される連通板１５とによって規定されている。そして、この凹部２５内には、充填剤２６が充填されている。充填剤２６は、ノズルプレート２０側では第１ノズル面２０ａよりもＺ２側に低い位置で、且つカバー１３０側でカバー１３０のＺ１側の表面よりもＺ２側に低い位置となるようにスロープ状に形成されている。これにより、ノズル面には、充填剤２６の表面にスロープ状の凹部１４０が形成されていることになる。すなわち、凹部２５内に設けられた充填剤２６のＺ１側の表面は、ヘッド本体１００のノズル面の一部を構成する。このように充填剤２６の高さを規定することで、カバー１３０のＺ１側の表面及びノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａをワイパーで払拭した際に、ワイパーが充填剤２６に接触して、充填剤２６の剥離による異物の発生などを抑制することができる。もちろん、凹部２５内には充填剤２６が充填されていなくてもよい。このようにノズルプレート２０の外周縁部によって凹部２５を設けるということは、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａの表面積を減少させて、ノズル２１と凹部１４０とを近くに配置することができることになる。したがって、詳しくは後述するが、段差によって形成された凹部２５内に設けられた充填剤２６の表面の凹部１４０をノズル２１から溢れ出させたインクによって満たし易い。なお、充填剤２６は、体液耐性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、接着剤やモールド材などの樹脂材料を用いることができる。また、充填剤２６は、カバー１３０をコンプライアンス基板４５に接着する接着剤の一部であってもよい。このような充填剤２６は、樹脂材料で形成されているため、その表面には、インクが滞留し易い。特に、ノズルプレート２０のＺ１側の表面やカバー１３０のＺ１側の表面にインクが付着し難くなるようにインクに対して撥液性を有する撥液膜を設けた場合、ノズルプレート２０及びカバー１３０の表面に付着したインクが充填剤２６の表面に移動して滞留し易い。つまり、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａは、凹部２５又は凹部２５に充填された充填剤２６の表面、すなわち、凹部１４０の内面よりも撥液性が高い。

なお、ケース４０には、マニホールド９５に連通して各マニホールド９５にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板９８が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッドチップ１１０では、インクを噴射する際に、液体供給手段８から導入路４４を介してインクを取り込み、マニホールド９５からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路９７からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。

ここで、保持部材２００に設けられた圧力調整手段２０１の一例について図８を参照して説明する。なお、図８は、本実施形態の圧力調整手段を示す断面図である。

図８に示すように、圧力調整手段２０１は、液体供給手段８とヘッド本体１００とを連通する流路の途中に設けられて当該流路を開閉するバルブである。具体的には、本実施形態の圧力調整手段２０１は、弁座２１０と弁体２２０とを具備する。

弁座２１０には、液体供給手段８に供給管８ａを介して接続される収容室２１１と、収容室２１１に連通口２１２を介して連通すると共に、ヘッド本体１００に連通する第１圧力調整室２１３と、が設けられている。

収容室２１１は、弁座２１０の一方面に形成された凹部を蓋部材２１４で封止することで形成されている。また、弁座２１０には、収容室２１１と液体供給手段８とを連通する流入口２１５が設けられている。

第１圧力調整室２１３は、弁座２１０の収容室２１１とは反対側の側面に開口する凹形状を有する。また、弁座２１０の第１圧力調整室２１３が開口する面には、フィルム２１６が貼付されており、第１圧力調整室２１３の開口はフィルム２１６によって封止されている。また、第１圧力調整室２１３には、流出路２１７の一端が連通しており、流出路２１７の他端は、ヘッド本体１００側と接続されている。

ここで、フィルム２１６は、液体に対して耐性を有する可撓性材料を用いることができる。また、フィルム２１６としては、水分透過率や液酸素や窒素等のガス透過率の低い材料を用いるのが好ましい。このようなフィルム２１６の材料としては、例えば、高密度ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに、塩化ビニリデン（サラン）をコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートした構成が挙げられる。また、他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。

このようなフィルム２１６の第１圧力調整室２１３の壁面の一部を構成する部分は、ダイヤフラム２１６ａとなっている。また、ダイヤフラム２１６ａの第１圧力調整室２１３側の面には、受圧板２１８が設けられている。受圧板２１８は、ダイヤフラム２１６ａよりも小さな外形の円盤形状を有する。このような受圧板２１８は、連通口２１２を開閉する弁体２２０が直接フィルム２１６に当接するのを避けるために設けられたものであり、ダイヤフラム２１６ａよりも剛性の高い材料、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。

第１圧力調整室２１３の底面、すなわち、弁座２１０のダイヤフラム２１６ａに相対向する壁面には、厚さ方向に貫通して第１圧力調整室２１３と収容室２１１とを連通する連通口２１２が設けられている。収容室２１１からのインクは、連通口２１２を介して第１圧力調整室２１３に流入される。

連通口２１２には、弁体２２０が挿通されている。弁体２２０は、連通口２１２に挿通された軸部２２１及び軸部２２１の収容室２１１内の端部に設けられたフランジ部２２２と、フランジ部２２２に固定されたシール部材２２３と、を具備する。

軸部２２１は、連通口２１２よりも若干小さな外径を有し、圧力調整室５１３内の一端部が受圧板２１８の中央部に当接する。また、軸部２２１の受圧板２１８に当接するのとは反対側の他端部は、収容室２１１内に配置されており、収容室２１１内の他端部には、フランジ部２２２が一体的に形成されている。

フランジ部２２２は、円形の板状部材からなる。また、フランジ部２２２には、ゴム又はエラストマー等の弾性材料で形成されたシール部材２２３が固定されている。シール部材２２３が弁座２１０に当接することで連通口２１２を閉弁する。

このような弁体２２０のフランジ部２２２と収容室２１１を画成する蓋部材２１４との間には、コイルバネ２２５が介装されており、コイルバネ２２５の付勢力によって弁体２２０は軸部２２１の軸方向を移動軸方向として第１圧力調整室２１３側に付勢されている。

ここで弁体２２０に働く力には、フィルム２１６の反力と、第１圧力調整室２１３のインク圧を受けて受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとに働く力と、コイルバネ２２５の付勢力と、インクの供給圧を受けて弁体２２０に働く力と、がある。

フィルム２１６の反力とは、撓み変形したダイヤフラム２１６ａが元の形状に復元しようとする力である。ダイヤフラム２１６ａの変形量、すなわち、撓み量が大きいほど、フィルム２１６の反力は大きくなる。このようなフィルム２１６の反力は受圧板２１８を介して軸部２２１に伝達される。

第１圧力調整室２１３のインク圧を受けて受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとに働く力とは、インク圧を受ける受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとの受圧面積とインク圧との積で表される。第１圧力調整室２１３内の液体が流出路２１７から下流に流されて、第１圧力調整室２１３内のインクが減少すると、インク圧と大気圧との差圧が大きくなり、受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとに働く力は大きくなる。この受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとに働く力は、軸部２２１を介して弁体２２０に開弁方向の力として働く。

コイルバネ２２５の付勢力は、弁体２２０を閉弁方向に付勢する力である。このように、本実施形態では、弁体２２０は、コイルバネ２２５によって、第１圧力調整室２１３のインクの圧力によって受圧板２１８とダイヤフラム２１６ａとに働く力とは反対向きの力を受圧板２１８に与えるので、受圧板２１８を弁体２２０が開弁位置に達するまで変位させるためには、コイルバネ２２５の付勢力に相当する分だけ、第１圧力調整室２１３内のインクをより低い圧力まで減圧させる必要がある（動作圧）。

そして、このような圧力調整手段２０１では、第１圧力調整室２１３内のインクが下流に流されて第１圧力調整室２１３内が大気圧よりも負圧に減圧されることで、図８（ｂ）に示すように、ダイヤフラム２１６ａが第１圧力調整室２１３の底面側に移動し、受圧板２１８が弁体２２０をコイルバネ２２５の付勢力に抗して押圧することで弁体２２０のシール部材２２３と弁座２１０との間に隙間が生じて、連通口２１２が開口、すなわち開弁する。また、この開弁によって収容室２１１から第１圧力調整室２１３内にインクが供給されることで、第１圧力調整室２１３内の減圧が解消されると、図８（ａ）に示すように、ダイヤフラム２１６ａがコイルバネ２２５の付勢力によって元の位置に戻り、閉弁する。

このような圧力調整手段２０１を記録ヘッド３に設けることで、液体供給手段８の第１圧送手段８０２から圧送されたインクを所定の圧力でヘッド本体１００に供給することができる。すなわち、圧力調整手段２０１によって、ヘッド本体１００がインクを消費した分だけインクを供給することができる。これにより、ヘッド本体１００内のインクを負圧に維持して、ノズル２１のインクのメニスカスを形成し、ノズル２１からのインクが溢れ出すのを抑制することができる。

また、保持部材２００に設けられた加圧手段２０３の一例について図９を参照して説明する。なお、図９は、本実施形態の加圧手段を示す断面図である。

図９に示すように、加圧手段２０３は、圧力調整手段２０１と、ヘッド本体１００のマニホールド９５とに接続された第２圧力調整室２３０と、第２圧力調整室２３０に弾性材料で形成されたシート状の壁部２３１を介して区画された加圧室２３２と、を具備する。

第２圧力調整室２３０には、圧力調整手段２０１が開閉弁２０２を介して接続されており、圧力調整手段２０１から供給されたインクが一時的に貯留される。また、第２圧力調整室２３０は、ヘッド本体１００のマニホールド９５に連通しており、第２圧力調整室２３０に一時的に貯留されたインクはヘッド本体１００に供給される。

加圧室２３２には、外部と連通する大気開放路２３３が連通されており、加圧室２３２は大気開放路２３３を介して外部と連通、すなわち、大気開放されている。また、大気開放路２３３には、大気開放路２３３を開閉する大気開放用開閉弁２３４が設けられており、大気開放用開閉弁２３４によって加圧室２３２の大気開放が制御される。

また、加圧室２３２には、空気等の気体を加圧室２３２に圧送する第２圧送手段２３５が接続されている。大気開放用開閉弁２３４が大気開放路２３３を閉弁した状態で第２圧送手段２３５が加圧室２３２に気体を圧送することで、加圧室２３２内の気体が加圧される。そして、このように加圧室２３２を加圧することで、壁部２３１が第２圧力調整室２３０側に向かって変形し、壁部２３１によって第２圧力調整室２３０の容積が減少することによって、第２圧力調整室２３０内のインクが加圧される。また、第２圧送手段２３５による加圧室２３２の加圧を停止し、大気開放用開閉弁２３４を開弁することで、加圧室２３２内の気体が外部に排出されて、加圧室２３２内の気体の圧力が低下する。これにより、壁部２３１が弾性力によって元の姿勢に戻り、第２圧力調整室２３０の容積が元に戻り、第２圧力調整室２３０内のインクの加圧が解除される。

なお、第２圧力調整室２３０内のインクを加圧する際には、開閉弁２０２によって圧力調整手段２０１側にインクが流れないようにする。これは、例えば、圧力調整手段２０１側にインクが流れると、圧力調整手段２０１のフィルム２１６が撓み変形して圧力吸収してしまうからである。すなわち、加圧手段２０３によってインクを加圧する際に、圧力調整手段２０１側へのインクの流れ出しを抑制することで、ヘッド本体１００側に加圧手段２０３によって加圧したインクを効率よく送ることができる。

さらに、インクジェット式記録装置１に搭載されてヘッド本体１００のノズル面をワイピングするワイピング手段の一例について図１０を参照して説明する。なお、図１０は、ワイピング手段を示すヘッドモジュールのノズル面側からの平面図及び要部断面図である。

図１０に示すように、ワイピング手段１５０は、本実施形態では、ゴムやエラストマー等の弾性部材で形成された板状部材からなるワイパー１５１と、ワイパー１５１が固定されたワイパーベース部１５２と、を具備する。

ワイパーベース部１５２は、ヘッド本体１００のノズル面に対向する位置に移動可能に設けられている。また、ワイパーベース部１５２は、図示しない駆動モーター等の駆動手段によって第２の基準方向Ｙに移動可能に設けられている。

ワイパー１５１は、先端が自由端となるように、基端部側がワイパーベース部１５２に固定されている。また、ワイパー１５１の面方向が沿った方向が第３の基準方向Ｘａである。そして、ワイパー１５１の自由端となる先端がノズル面に向かって突出するように配置されている。このようなワイパー１５１は、第４の基準方向Ｘａの長さが、ノズル２１が並設されたノズル列の長さよりも長い。これにより、ワイパー１５１は、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａとカバー１３０の第２ノズル面１３５との全面を払拭することが可能である。

このようなワイピング手段１５０では、ワイパー１５１がヘッド本体１００に対して相対的に第２の基準方向Ｙに移動することにより、ワイパー１５１の先端がカバー１３０の第２ノズル面１３５及びノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａを払拭する。また、本実施形態では、１つのワイパー１５１によって、複数、本実施形態では４個のヘッド本体１００を払拭するようになっている。これにより、部品点数を減少させてコストを低減することができる。もちろん、ワイパー１５１をヘッド本体１００毎、又は２個以上のヘッド本体１００のグループ毎に設けるようにしてもよい。

また、インクジェット式記録装置１の制御装置９の一例について、図１１を参照して説明する。なお、図１１は、本実施形態の記録装置の制御構成を示すブロック図である。

図１１に示すように、制御装置９は、印刷制御手段９０１、印刷位置制御手段９０２、ワイピング制御手段９０３及び加圧制御手段９０４を具備する。

印刷制御手段９０１は、ヘッド本体１００の印刷動作を制御し、例えば、印刷信号の入力に伴って圧電アクチュエーター３００に駆動パルスを印加して、ヘッド本体１００からインクを噴射させる。

印刷位置制御手段９０２は、搬送手段４を制御して、記録シートＳのヘッド本体１００に対する相対位置を制御する。

ワイピング制御手段９０３は、印刷制御手段９０１の印刷後や印刷前、吸引手段（図示なし）によってノズル２１からインクと共に気泡を吸引した吸引動作後などの所望のタイミングで、ワイピング手段１５０を制御して、ヘッド本体１００のノズル面をワイパー１５１によってワイピングする。

加圧制御手段９０４は、ワイピング手段１５０によるワイピング時において、開閉弁２０２を閉弁させると共に加圧手段２０３を制御してインクを加圧して、加圧したインクをヘッド本体１００に供給する。

そして、制御装置９は、加圧制御手段９０４によってヘッド本体１００に加圧したインクを供給すると共に、ワイピング制御手段９０３によってヘッド本体１００のノズル面をワイパー１５１でワイピングする。このとき、加圧制御手段９０４は、ヘッド本体１００のノズル２１から溢れ出たインクによって少なくとも段差によって形成された充填剤２６の表面の凹部１４０のノズル２１に第２の基準方向Ｙで相対する範囲を満たすまで、加圧手段２０３を制御する。すなわち、図６に示すように、第４の基準方向Ｘａに平行な仮想線ｖに対して、第２の基準方向Ｙに射影した場合に、複数のノズル２１が仮想線ｖに分布する範囲ｗは、インクが満たされた凹部１４０が仮想線ｖ上に分布する範囲ｗに包含されている。つまり、第４の基準方向Ｘａに平行な仮想線ｖを、第４の基準方向Ｘａに沿って設けられた凹部１４０とすると、第２の基準方向Ｙにノズル２１を射影した際に凹部１４０の少なくともノズル２１が分布される範囲ｗにインクが満たされればよい。言い換えると、複数のノズル２１は、凹部１４０のインクが満たされた範囲に第２の方向Ｙで相対する。本実施形態では、凹部１４０がノズル２１の２列を囲むように設けられているため、凹部１４０の全周に亘ってインクが満たされるようにしている。これにより、凹部１４０の範囲ｗが確実にインクで満たされる。そして、ワイピング制御手段９０３は、インクが満たされた凹部１４０をワイパー１５１でワイピングしてから、ノズル２１をワイピングするようにワイピング手段１５０を制御する。なお、ノズル２１からインクを溢れさせると、上述したように第１ノズル面２０ａは、凹部１４０の内面を形成する充填剤２６の表面に比べて撥液性が高いため、第１ノズル面２０ａから充填剤２６の表面、すなわち、凹部１４０に移動し易い。また、凹部１４０、すなわち、充填剤２６の表面はスロープ状に凹んでいるため、インクが毛細管力によって凹部１４０に沿って充填剤２６の表面に充填され易い。ちなみに、加圧制御手段９０４が、加圧手段２０３を制御して、ノズル２１からインクを溢れさせる圧力は、全てのノズル２１からインクを溢れさせる圧力であってもよく、また、一部のノズル２１からインクを溢れさせる圧力であってもよい。いずれにしても少なくとも凹部１４０の範囲ｗがインクで満たされるようにノズル２１からインクを溢れさせればよい。このように、少なくとも凹部１４０の範囲ｗをインクで満たすことで、第１ノズル面２０ａの全てを溢れたインクで満たすのに比べて、インクの無駄な消費量を抑制することができる。また、本実施形態では、凹部１４０が複数のノズル２１を囲んで設けられているため、何れのノズル２１からインクを溢れさせても凹部１４０にインクを満たすことができる。つまり、ノズル２１から第１の基準方向Ｘに向かってインクが流れたとしても、ノズル２１の第１の基準方向Ｘに設けられた凹部１４０を伝って範囲ｗにインクを満たすことができる。さらに、本実施形態では、第２の基準方向Ｙで隣り合うノズル列のノズル２１の距離ｌ_２よりも、凹部１４０とノズル２１との第２の基準方向Ｙの距離ｌ_１が小さい。したがって、ノズル２１の近くに凹部１４０が配置されるので、ノズル２１から溢れたインクが凹部１４０を満たしやすい。

このような制御装置９によって、ノズル面をワイピング手段１５０でワイピングするワイピング方法について、図１２を参照して説明する。なお、図１２は、記録ヘッド及びワイピング手段の要部断面図である。

図１２（ａ）に示すように、制御装置９の加圧制御手段９０４は、開閉弁２０２及び加圧手段２０３を制御して、ノズル２１からインクを溢れさせて凹部１４０の少なくとも範囲ｗ（図６参照）をインク４００で満たす。なお、異物４０１は、ヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａやカバー１３０の第２ノズル面１３５だけでなく、凹部１４０に設けられた充填剤２６の表面にも付着し易い。このような異物４０１は、例えば、印刷時に発生したインクミストが第１ノズル面２０ａ及び第２ノズル面１３５等に付着し、また、第１ノズル面２０ａ及び第２ノズル面１３５は撥液処理されていることから第１ノズル面２０ａ及び第２ノズル面１３５に付着したインクが充填剤２６の表面に移動し、充填剤２６の表面でインクが乾燥することで増粘して形成される。本実施形態では、ノズル２１からインクを溢れさせて凹部１４０をインクで満たすことで、異物４０１をインク４００で溶解することができる。

このように、加圧手段２０３によってインクを加圧した状態で、ノズル面をワイパー１５１によってワイピングする。具体的には、図１２（ｂ）に示すように、ワイピング制御手段９０３は、ワイピング手段１５０を制御して、ワイパー１５１をカバー１３０の第２ノズル面１３５に当接させて、第２の基準方向Ｙに向かって、すなわち、凹部１４０に向かって移動させる。これにより、第２ノズル面１３５がワイピングされる。

また、ワイパー１５１を第２の基準方向Ｙに移動させることで、図１２（ｃ）に示すように、充填剤２６の表面の異物４０１が溶解したインク４００をワイパー１５１でワイピングする。そして、さらにワイパー１５１を第２の基準方向Ｙに移動させることで、ワイパー１５１でノズル２１をワイピングする。このとき、ワイパー１５１には、異物４０１が直接付着せず、異物４０１が溶解したインク４００が付着しているため、インク４００が付着したワイパー１５１によってノズル２１をワイピングしても、異物４０１をワイパー１５１によってノズル２１に刷り込むことがなく、異物４０１のノズル２１内への侵入を抑制することができる。また、溶解したインク４００が付着したワイパー１５１により、ヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａをワイピングするので、第１ノズル面２０ａに付着した異物を溶解してワイピングすることができる。

これに対して、例えば、図１３（ａ）に示すように、充填剤２６の表面に付着した異物４０１を直接ワイパー１５１によってワイピングすると、加圧手段２０３がノズル２１内のインクを加圧していたとしても、図１３（ｂ）に示すように、ワイパー１５１に付着した異物４０１、特に増粘したインクをノズル２１に刷り込んでしまう。このように異物４０１をノズル２１に刷り込むと、ノズル２１の目詰まりが発生し、インクの噴射不良が発生してしまう。

つまり、本実施形態では、凹部１４０に付着した異物４０１を、ノズル２１から溢れさせたインクによって溶融して、凹部１４０のインクと共にワイパー１５１でヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａをワイピングする。これにより、ヘッドチップ１１０の第１ノズル面２０ａや凹部１４０の異物４０１をノズル２１に刷り込むのを抑制することができ、ノズル２１の目詰まり、インク重量の減少、インクの着弾位置ずれ等の噴射不良を抑制することができる。また、本実施形態では、ノズル２１から溢れさせたインクで第１ノズル面２０ａの全てを満たすのではなく、凹部１４０の少なくとも範囲ｗをインクで満たせば良いため、インクの無駄な消費量を抑制することができる。

なお、凹部１４０は、ワイパー１５１の移動方向である第２の基準方向Ｙにおいて、ノズル２１をワイピングした後にも存在するが、ノズル２１をワイピングした後の凹部１４０に付着した異物４０１がワイパー１５１に付着したとしても、ワイパー１５１は、次の第１ノズル面２０ａをワイピングする前に、インクが満たされた凹部１４０をワイピングした際に溶解する。したがって、ワイパー１５１によって、複数の第１ノズル面２０ａを連続してワイピングしても、異物４０１のノズル２１への刷り込みは抑制することができる。

ちなみに、ワイパー１５１によってノズル２１を払拭した後は、ノズル２１のメニスカスを形成するために、加圧手段２０３によるインクの加圧を停止し、ノズル２１からインク滴の予備吐出、所謂フラッシングを行わせることで、ノズル２１のインクのメニスカスを良好に形成することができる。

以上説明したように、本実施形態のインクジェット式記録装置１では、凹部１４０をインクで満たした後、ノズル２１内のインクを加圧した状態で、ワイパー１５１をノズル面に対して第２の基準方向Ｙに相対移動させることによって、ワイパー１５１が凹部１４０をワイピングした後、ノズル２１をワイピングするようにした。このため、第１ノズル面２０ａや凹部１４０に付着した増粘したインクなどの異物４０１がインクによって溶解し、異物４０１をノズル２１に刷り込むのを抑制して、ノズル２１の異物４０１による目詰まりやインク重量の減少、インクの着弾位置ずれ等の噴射不良を抑制することができる。また、凹部１４０を満たすインクは、少なくとも範囲ｗを満たせばよいため、ノズル面の全面、又は第１ノズル面２０ａの全面に亘ってインクを満たす場合に比べて、インクの消費量を抑制することができる。また、本実施形態のワイピング方法では、加圧手段２０３による加圧を比較的低い加圧で行えば良いため、加圧手段２０３として小型のものを用いることができ、小型化及び低コスト化を行うことができる。

なお、本実施形態では、インクジェット式記録装置１には、記録ヘッド３と、液体供給手段８と、制御装置９と、ワイピング手段１５０と、が設けられているが、本願発明は、記録ヘッド３と、制御手段である制御装置９と、ワイピング手段１５０と、を具備する液体噴射ヘッドユニットであるインクジェット式記録ヘッドユニットに適用することができるものである。すなわち、記録ヘッド３、制御装置９及びワイピング手段１５０を有するものをインクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）と称する。

また、本実施形態では、特に言及していないが、例えば、第４の基準方向Ｘａに並設された複数のノズル２１が、第１の種類のインク（液体）を噴射するノズルと、第１の種類のインク（液体）よりも表面張力の小さい第２の種類のインク（液体）を噴射するノズルとに分類される場合には、凹部１４０は、少なくとも第２の種類のインクによって満たす方が好ましい。これは、第２の種類のインクの表面張力が第１の種類のインクに比べて表面張力が小さいことから、ノズル２１のインクのメニスカスを第２の種類のインクの方が壊しやすく、ノズル２１からインクを容易に溢れさせて凹部１４０を満たし易いからである。また、第２の種類のインクを用いた方が、ノズル２１のインクのメニスカスを破壊し易いため、インクの無駄な消費量をさらに抑制することもできる。

（実施形態２）
図１４は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１４（ａ）に示すように、本実施形態のヘッド本体１００の第１ノズル面２０ａに第３の基準方向Ｚで対向する位置には、液体受け板１６０が設けられている。液体受け板１６０は、板状の部材からなり、第３の基準方向Ｚに移動可能に設けられており、所望のタイミングで、第１ノズル面２０ａに近接する位置に配置される。

そして、本実施形態では、ワイピング手段１５０によりノズル面をワイピングする前に凹部１４０をインクで満たす際に、図１４（ｂ）に示すように、液体受け板１６０を第１ノズル面２０ａに近接させてからノズル２１からインクを溢れ出させる。これにより、第１ノズル面２０ａと液体受け板１６０との間でインクが広がり、インクを凹部１４０まで容易に移動させることができる。なお、液体受け板１６０の表面は、撥液処理されていれば、凹部１４０に向かってインクが移動し易い。

なお、液体受け板１６０は、板状の部材に限定されず、例えば、メッシュ状の所謂、フィルター等であってもよい。

また、液体受け板１６０は、第１ノズル面２０ａに対向する面が平坦面であるが、特にこれに限定されず、例えば、ノズル２１から溢れ出たインクをより凹部１４０に導くように、溝を有するものであってもよい。このような例を図１５に示す。なお、図１５は、液体受け板の変形例を示す記録ヘッドの要部断面図である。

図１５に示すように、液体受け板１６０には、第１ノズル面２０ａに相対向する面に、ノズル２１から凹部１４０に向かう溝１６１が設けられている。このように液体受け板１６０に溝１６１を設けることで、ノズル２１から溢れ出たインクは溝１６１内を毛細管現象によって移動し、凹部１４０に容易に導かれて、凹部１４０を満たすことができる。これにより、よりインクの消費量を抑制することが可能である。

（実施形態３）
図１６は、本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１６に示すように、ノズルプレート２０には、ノズル２１の内面とノズルプレート２０の外周縁部の凹部１４０側の側面とを連通する連通流路２２が設けられている。連通流路２２は、ノズルプレート２０の厚さの途中に設けられており、第１ノズル面２０ａに形成されていない。そして、連通流路２２は、凹部２５の充填剤２６の表面よりもＺ１側に開口している。

このようにノズルプレート２０に連通流路２２を設けることで、加圧手段２０３によってインクを加圧した際に、ノズル２１内のインクを連通流路２２を介して凹部１４０に供給することができる。したがって、少ないインク消費量で凹部１４０にインクを確実に満たすことができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１〜３では、制御装置９は、ワイパー１５１によるノズル面のワイピング時に、加圧手段２０３を制御して、ノズル２１からインクを溢れさせるか、又は連通流路２２から凹部１４０にインクを供給するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、圧力調整手段２０１の閉弁を強制的に解除する開弁手段を設け、第１圧送手段８０２によって加圧されたインクをヘッド本体１００に供給することで、ノズル２１からインクを溢れさせるか、又は、連通流路２２から凹部１４０にインクを供給するようにしてもよい。すなわち、記録ヘッド３には、加圧手段２０３が設けられていなくてもよい。もちろん、加圧手段２０３と第１圧送手段８０２との両方を用いるようにしてもよい。

また、上述した実施形態１〜３では、ワイピング手段１５０として、板状の弾性部材で形成されたワイパー１５１を用いるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、ワイパー１５１は、スポンジ等の発泡樹脂材料や不織布等の布材料であってもよい。

さらに、上述した実施形態１〜３では、カバー１３０とノズルプレート２０とは直接接合されていないが、特にこれに限定されず、例えば、ノズルプレート２０の第１ノズル面２０ａにカバー１３０が直接、接合されていてもよい。この場合であっても、第１ノズル面２０ａと第２ノズル面１３５との間には段差によってカバー１３０の側面と第１ノズル面２０ａとの２つの面で形成された角部状の凹部が形成され、凹部にはインクが滞留し易く、滞留したインクが増粘して異物４０１となりやすい。

また、上述した実施形態１〜３では、ヘッドチップ１１０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、コンプライアンス基板４５、ケース４０等の複数の部材を備えるとしたが、第１ノズル面２０ａに設けられたノズル２１から液体を噴射するために、当該ノズル２１と連通した圧力発生室１２に圧力を発生させる圧力発生手段と、当該圧力発生手段が設けられ、所定の方向に沿って並設された複数の圧力発生室１２とを少なくとも備えていればよい。

また、上述した実施形態１〜３では、ノズル面に設けられた凹部２５に充填剤２６を充填するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、充填剤２６を充填しなくてもよい。このように凹部２５を設けることで、凹部２５内に貯留したインクが記録シートＳに付着するのを抑制することができる。また、凹部２５に毛細管力によってインクを貯留することができる。

また、上述した実施形態１〜３では、記録ヘッド３には、複数のヘッド本体１００が設けられているが、１つの記録ヘッド３が有するヘッド本体１００の数は特にこれに限定されず、１つであっても、２つ以上の複数であってもよい。また、ヘッド本体１００が有するヘッドチップ１１０の数も上述したものに限定されず、１つであっても、また２つ以上の複数であってもよい。

さらに、上述した実施形態１〜３では、ヘッドチップ１１０のノズル２１の並設方向が、搬送方向である第１の基準方向Ｘに直交する第２の基準方向Ｙに対して傾斜した方向となるように配置するようにしたが、ノズル２１の並設方向が搬送方向である第１の基準方向Ｘと同じ方向となるようにしてもよく、また、ノズル２１の並設方向が第２の基準方向Ｙと同じ方向になるようにしてもよい。さらに、ノズル２１は、列状に設けられているものに限定されるものではなく、ノズル２１をマトリックス状に配置するようにしてもよい。すなわち、ノズル２１は、ノズル面に複数形成されていれば、その配置は特に限定されるものではない。さらに、上述した実施形態１〜３では、ホルダー１２０が第１ノズル面２０ａに垂直な第３の基準方向Ｚから平面視した際に、略平行四辺形状となるようにしたが、特にこれに限定されず、矩形状、台形形状、多角形状等であってもよい。

さらに、上述した実施形態１〜３では、インクジェット式記録装置１として、記録ヘッド３が装置本体２に固定されて、記録シートＳを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置を例示したが、特にこれに限定されず、記録ヘッド３を記録シートＳの搬送方向である第１の基準方向Ｘとは交差する方向、例えば、第２の基準方向Ｙに移動するキャリッジに搭載して、記録ヘッド３を搬送方向とは交差する方向に移動しながら印刷を行う、所謂シリアル型記録装置にも本発明を適用することができる。また、記録ヘッド３に対して記録シートＳを搬送する構成に限定されず、記録シートＳに対して記録ヘッド３を移動させる構成により印刷を行ってもよく、記録シートＳを記録ヘッド３に対して相対的に搬送すればよい。

また、上述した実施形態１〜３では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、第３の基準方向Ｚに積層された圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、圧電アクチュエーター３００は、例えば、成膜及びリソグラフィー法によって形成された薄膜型や、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型等であってもよい。また、圧電アクチュエーター３００は、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型を使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を噴射するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル２１から液滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを有する液体噴射ヘッドユニットや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置にも適用できる。

１ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ３ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ４ 搬送手段、 ５ 第１の搬送ローラー、 ６ 第２の搬送ローラー、 ７ 支持部材、 ８ 液体供給手段、 ９ 制御装置、 １０ 流路形成基板、 ２０ ノズルプレート、 ２０ａ 第１ノズル面、 ２１ ノズル、 ２２ 連通流路、 ２５ 凹部、 ２６ 充填剤、 ３０ 保護基板、 ４０ ケース、 ４５ コンプライアンス基板、 ９０ リード電極、 ９５ マニホールド、 ９７ 駆動回路、 ９８ 配線基板、 １００ ヘッド本体、 １１０ ヘッドチップ、 １２０ ホルダー、 １２１ 保持部、 １２２ 足部、 １３０ カバー（固定板）、 １３１ ベース部、 １３２ 折り曲げ部、 １３５ 第２ノズル面、 １４０ 凹部、 １５０ ワイピング手段、 １５１ ワイパー、 １６０ 液体受け板、 １６１ 溝、 ２００ 保持部材、 ２０１ 圧力調整手段、 ２０２ 開閉弁、 ２０３ 加圧手段、 ３００ 圧電アクチュエーター、 ｖ 仮想線、 ｗ 範囲、 Ｘ 第１の基準方向、 Ｘａ 第４の基準方向（第１の方向）、 Ｙ 第２の基準方向（第２の方向）、 Ｙａ 第５の基準方向

Claims (10)

1. 互いに交差する２つの方向を第１の方向及び第２の方向と規定した場合に、
   前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上であって、複数のノズルが設けられたノズル面を有する液体噴射ヘッドと、
   前記第１の方向に沿ったワイパーと前記ノズル面との相対移動を前記第２の方向に行って、前記ノズル面をワイピングするワイピング手段と、
   前記ノズル面上に前記第１の方向に沿って設けられた段差によって形成された凹部と、
   制御手段と、
   を具備し、
   前記制御手段は、
   複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから溢れた液体により前記凹部を満たすように前記液体噴射ヘッドを制御し、且つ、
   前記ワイパーと前記ノズル面との相対移動において、液体が満たされた前記凹部を前記ワイパーによりワイピングしてから前記ノズルをワイピングするように前記ワイピング手段を制御し、
   前記第１の方向に平行な仮想線に対して、前記第２の方向に射影した場合に、複数の前記ノズルが前記仮想線上に分布する範囲は、前記液体が満たされた前記凹部が仮想線上に分布する範囲に包含されることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
2. 前記凹部は、前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上において、複数の前記ノズルを囲むことを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
3. 複数の前記ノズルは、前記第２の方向における複数の位置に配置され、
   前記第２の方向において前記凹部に最も近い前記ノズルと前記凹部との前記第２の方向の距離は、前記第２の方向において最も離間する２つのノズルの前記第２の方向の距離よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドユニット。
4. 複数の前記ノズルが設けられたノズルプレートと、前記ノズルプレートを囲む貫通孔が設けられた固定板と、前記ノズルプレート及び前記固定板を固定する連通板と、により前記凹部が形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
5. 前記ノズルプレートのうちワイピングされる面は、前記凹部よりも撥液性が高いことを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッドユニット。
6. 複数の前記ノズルは、第１の種類の液体を噴射するノズルと、第１の種類の液体よりも表面張力の小さい第２の種類の液体を噴射するノズルと、を含み、
   前記凹部は、少なくとも前記第２の種類の液体により満たされることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
7. さらに液体受け板を備え、
   複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから液体を溢れさせた後、
   前記ノズル面と前記液体受け板とを近接させることにより、前記凹部を液体により満たすことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
8. 前記液体受け板は、前記ノズルから前記凹部に向けた方向に沿った溝を有することを特徴とする請求項７記載の液体噴射ヘッドユニット。
9. 請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
10. 互いに交差する２つの方向を第１の方向及び第２の方向と規定した場合に、
    前記第１の方向及び前記第２の方向で規定される平面上であって、複数のノズルが形成されたノズル面をワイパーでワイピングするワイピング方法であって、
    前記ノズル面には、当該ノズル面上のうち前記第２の方向において複数の前記ノズルとは異なる位置であって、前記第１の方向に沿って設けられた段差によって凹部が設けられ、
    複数の前記ノズルのうち、少なくとも１つのノズルから溢れた液体により前記凹部を満たし、
    前記ワイパーと前記ノズル面との相対移動を前記第２の方向に行うことにより、前記凹部をワイピングしてから前記ノズルをワイピングし、
    前記第１の方向に平行な仮想線に対して、前記第２の方向に射影した場合に、複数の前記ノズルが前記仮想線上に分布する範囲は、前記液体が満たされた前記凹部が仮想線上に分布する範囲に包含されることを特徴とするワイピング方法。

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