JP2016207905A - Electronic device manufacturing method, electronic device, circuit board manufacturing method, and circuit board - Google Patents
Electronic device manufacturing method, electronic device, circuit board manufacturing method, and circuit board Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016207905A JP2016207905A JP2015089853A JP2015089853A JP2016207905A JP 2016207905 A JP2016207905 A JP 2016207905A JP 2015089853 A JP2015089853 A JP 2015089853A JP 2015089853 A JP2015089853 A JP 2015089853A JP 2016207905 A JP2016207905 A JP 2016207905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- film
- substrate
- circuit pattern
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明は、スルーホールを備えた回路基板を用いた電子デバイスの製造方法に関する。 The present invention relates to an electronic device manufacturing method using a circuit board having a through hole.
スルーホールを備えた回路基板を製造する方法としては、基板に回路パターンを形成した後、回路基板に貫通孔をあけ、貫通孔内に導電材料を充填することにより導電性スルーホールを形成する方法が用いられている。 As a method of manufacturing a circuit board having a through hole, a method of forming a conductive through hole by forming a circuit pattern on a substrate, then opening a through hole in the circuit board, and filling the through hole with a conductive material Is used.
また、近年、回路パターンを印刷により形成するプリンテッドエレクトロニクスという技術分野が盛んに研究されている。例えば、特許文献1には、銅ナノ粒子を含む非導電性フィルムをインクジェットプリンタ等により堆積させ、形成したフィルムに上方から光を照射することにより、銅粒子を融合させ、導電性の回路を形成する技術が開示されている。
In recent years, a technical field called printed electronics for forming circuit patterns by printing has been actively studied. For example, in
上述の従来の方法で形成された導電性スルーホールは、回路パターンと、スルーホール内の導電材料とは別部材でできているため、接合部の強度が弱く、応力や熱などで断線に至ることがある。 Since the conductive through hole formed by the above-described conventional method is made of a member different from the circuit pattern and the conductive material in the through hole, the strength of the joint portion is weak, and disconnection occurs due to stress or heat. Sometimes.
本発明の目的は、回路基板の回路パターンとスルーホール内の導電材料を同一部材で形成することができる電子デバイスの製造方法を提供することにある。 The objective of this invention is providing the manufacturing method of the electronic device which can form the circuit material of a circuit board, and the electrically-conductive material in a through hole with the same member.
上記目的を達成するために、本発明は、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と、粒径が1μm以上である導電性マイクロサイズ粒子と、絶縁材料とが少なくとも分散された溶液、もしくは、絶縁材料層でそれぞれ被覆された導電性ナノサイズ粒子および導電性マイクロサイズ粒子が少なくとも分散された溶液を、基板の表面に所望の形状で塗布する。これにより、絶縁材料で被覆された導電性ナノサイズ粒子と導電性マイクロサイズ粒子を含む膜を形成する。一方、基板の膜とは逆側の面から所定の位置に光を照射し、光によって基板に貫通孔をあける。基板に貫通孔が形成されるに伴い、流動性を有する塗布膜の一部が貫通孔に流入し、貫通孔内を充填する。貫通孔に流入した塗布膜に光を照射することにより、貫通孔内の膜の導電性ナノサイズ粒子と導電性マイクロサイズ粒子とを焼結して導電体を形成し、貫通孔内を導電体で充填する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a solution in which conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm, conductive micro-sized particles having a particle size of 1 μm or more, and an insulating material are dispersed, Alternatively, a solution in which conductive nano-sized particles and conductive micro-sized particles respectively coated with an insulating material layer are dispersed is applied to the surface of the substrate in a desired shape. Thereby, a film containing conductive nano-sized particles and conductive micro-sized particles coated with an insulating material is formed. On the other hand, light is irradiated to a predetermined position from the surface opposite to the film of the substrate, and a through hole is formed in the substrate by the light. As the through hole is formed in the substrate, a part of the coating film having fluidity flows into the through hole and fills the through hole. By irradiating the coating film that has flowed into the through hole with light, the conductive nano-sized particles and the conductive micro-sized particles of the film in the through hole are sintered to form a conductor, and the conductor in the through hole is formed. Fill with.
本発明によれば、回路基板の回路パターンとスルーホール内の導電材料を同一部材で形成することができるため、スルーホール内の導電部と回路パターンとの接合部での断線を生じにくい。 According to the present invention, since the circuit pattern of the circuit board and the conductive material in the through hole can be formed from the same member, disconnection is hardly generated at the junction between the conductive portion in the through hole and the circuit pattern.
本発明の一実施形態の電子デバイスの製造方法について説明する。 An electronic device manufacturing method according to an embodiment of the present invention will be described.
<第1の実施形態>
まず、図1(a)のように、基板10を用意する。
<First Embodiment>
First, a
つぎに、図1(b)のように、粒径(例えば、平均粒子径)が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子(以下、導電性ナノ粒子と呼ぶ)と、粒径(例えば、平均粒子径)が1μm以上である導電性マイクロサイズ粒子(以下、導電性マイクロ粒子と呼ぶ)と、絶縁材料とが溶媒に少なくとも分散された溶液、もしくは、絶縁材料層でそれぞれ被覆された導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子とが溶媒に少なくとも分散された溶液を用意する。溶媒としては、有機溶媒や水を用いることができる。この溶液を、基板10の表面に所望の形状で塗布する。塗布された溶液は、基板10上で表面が平滑になり、塗膜(膜51)を形成する。膜51内には、導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子とが分散され、導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子の周囲は絶縁材料で覆われた状態である。よって、膜51はこの段階では非導電性である。
Next, as shown in FIG. 1B, conductive nano-sized particles (hereinafter referred to as conductive nanoparticles) having a particle size (for example, average particle size) of less than 1 μm, and particle sizes (for example, average particles) Conductive nano-size particles (hereinafter referred to as conductive micro-particles) having a diameter (diameter) of 1 μm or more and conductive nanoparticles at least coated with a solution in which an insulating material is dispersed in a solvent or an insulating material layer And a solution in which conductive microparticles are at least dispersed in a solvent. As the solvent, an organic solvent or water can be used. This solution is applied to the surface of the
ここで、塗膜51は、後述する図1(c)において貫通孔内へ流入可能なように粘度が調整された液体状態で基板上に保持する。粘度は、貫通孔の大きさによって適宜選択される。例えば、使用する溶媒の種類や濃度、絶縁材料等の添加物や粘度調整材等の添加物の種類や添加量を調整する。
Here, the
つぎに、図1(c)のように、基板10の膜51とは逆側の面から所定の位置に光を照射し、光101によって基板10にスルーホール(貫通孔)70を形成する。これにより、膜51をスルーホール70内に落とし込み、スルーホール70を充填する(図1(d))。光101は、スルーホール70が形成されたら、強度を弱める。導電性ナノ粒子は、光101の照射により、その粒子を構成する材料のバルクの融点よりも低い温度で溶融し、導電性ナノ粒子の周囲の絶縁材料層は、光101の照射により蒸発するかもしくは軟化する。溶融した導電性ナノ粒子は、周囲の導電性マイクロ粒子と結合するため、導電性ナノ粒子を起点として、導電性マイクロ粒子を光照射によってバルクよりも低温で焼結することができる。よって、光101の照射により、貫通孔内の膜51の導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子とを焼結して導電体52を形成し、スルーホール70内を導電体52で充填することができる。
Next, as shown in FIG. 1C, a predetermined position is irradiated with light from the surface opposite to the
また、塗膜51の粘度調整および、焼結する光101の照射の時間管理により、スルーホール70内から塗膜51の漏出を防ぐことができる。
Moreover, leakage of the
光101の照射条件(時間や出力)は、粘度調整した溶媒や添加物(粘度調整材など)などを焼成時に乾燥させたり蒸発させることを考慮して、設定される。
Irradiation conditions (time and output) of the
なお、スルーホール70を形成する位置の基板10を、予め光101を吸収する色に着色等しておくことも可能である。これにより、容易にスルーホール70が形成できる。
It is also possible to color the
さらに、図1(c)、(d)のように、スルーホール70の周囲の膜51の所定の領域に光102を照射して、導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子とを焼結して、スルーホール70内の導電体52に連続する回路パターン50を形成する。なお、光照射後の導電性ナノ粒子は、粒子同士が結合しているが、ある程度粒子形状を保っている。
Further, as shown in FIGS. 1C and 1D, a predetermined region of the
このような工程で形成されたスルーホール70内の導電体52と、回路パターン50は、連続しており、一つの部材となる。よって、導電体52と回路パターン50の接合部の強度が強く、応力や熱などを受けても断線しにくい。
The
続いて、図1(e)のように、基板10の裏面に塗膜51を形成し、図1(f)のように光102の照射を行うことにより、図1(g)のように導電体52で充填されたスルーホール70を介して、表裏の回路パターン50が接続された回路パターンを形成することができる。
Subsequently, as shown in FIG. 1E, a
なお、ここでは、スルーホール70と導電体52を形成した後、その周囲の回路パターン50を形成しているが、この手順に限られるものではない。例えば、図1(c)において回路パターン50を形成するために、光102を所定のパターンに沿って移動させて焼結を行いながら、光102がスルーホール70を形成すべき領域に到達したならば、光強度を強めて光101として照射し、スルーホール70が形成されたならば、すぐに光強度を弱めて、光102として導電体52を形成し、その後再び光102を所定のパターンに沿って移動させる手順にすることも可能である。
Here, after the
また、図2(a)〜(f)の工程のように、スルーホール70を形成すべき領域にのみ、図2(c)、(d)のようにさらに溶液を滴下して膜51aを積層しておくことも可能である。これにより、図2(e),(f)において、光101を照射してスルーホール70を形成し、その内部を導電体52で充填した場合でも、膜51の上面がスルーホール70の直上においてくぼまず、平坦になる。
Further, as in the steps of FIGS. 2A to 2F, the
またスルーホール70を形成する光101の照射による発熱で、スルーホール70内を軟化した膜51が充填する前に膜51が焼成してしまうのを防ぐため、図3(a)〜(d)の工程のように、スルーホール70を形成する光101を照射する前に伝熱部材80を膜51に接触するように配置することができる。例えば、図3(c−1)のように、伝熱部材80を、スルーホール70を形成する領域上の膜51に接触するように搭載する。これにより、スルーホール形成領域上の膜51に発生した熱を伝熱部材80に伝導することができ、スルーホール70の形成領域上の膜51の焼成を抑制することができる。伝熱部材80としては、熱容量の大きな材料から構成された部材、例えば、アルミニウム、銅、鉄などから構成された部材を用いることができる。また伝熱部材80の大きさは、少なくともスルーホール形成領域を覆う大きさとすることが望ましい。伝熱部材80は、図3(c−2)のようにスルーホール70内が軟化した膜51で充填された後、取り外す。つまり、スルーホール70の周囲の所定領域の膜51の焼結のための光102の照射は、図3(c−4)のように、伝熱部材80を取り外した状態で行う。
Further, in order to prevent the
なお、伝熱部材80は、膜51と接合することがないよう、表面処理を施したものを用いることが好ましい。
The
また、伝熱部材80を用いずに、冷風を膜51に当てて、温度を下げ、スルーホール70内を軟化した膜51が充填する前に膜51が焼成されるのを抑制することも可能である。
Further, without using the
さらに、図4(a)〜(e)に示すように、基板10の上面側から貫通孔70内に流入した塗膜51は、貫通孔70内を全て充填しなくてもよい(図4(c−2)。この場合は、図4(c−3)のように基板10の表面側に形成した塗膜51を焼結して導電体52を形成後、図4(c−4)において、基板10の裏面側から形成する塗膜51の一部を、貫通孔70内に残る空間に流入させ、さらに光101,102を照射して焼結する(図4(d))。これにより、導電体52で充填された貫通孔70を介して、表裏の回路パターン50を接続した回路パターンを形成することができる。
Furthermore, as shown in FIGS. 4A to 4E, the
なお、光を照射していない膜51の領域は、焼結が生じないため、非導電性のまま残る。非導電性の膜51は、この後の工程で除去してもよい。例えば、有機溶媒等を用いて膜51を除去することが可能である。
Note that the region of the
基板10の材質としては、第1回路パターン40を支持することができ、少なくとも表面が絶縁性であり、しかも、回路パターン50の形成時の光照射に耐えることができるものであればどのような材質であってもよい。基板10が湾曲させる加工が可能な材質であればさらに望ましい。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)基板、ポリエチレンナフタレート(PEN)基板、ガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、フレキシブルプリント基板、セラミック基板、ガラス基板、表面を絶縁層で被覆した金属基板などを用いることができる。
Any material may be used for the
基板10は、光透過性基板および非光透過性基板のいずれをも用いることができる。
As the
光透過性の基板10を用いた場合には、回路パターン50の焼成のための光を図1および図2のように基板10の裏面側から照射することができる。光透過性基板10である場合には、スルーホール70を形成する観点と基板を透過した光で焼成を行う観点より、透過率は50%以上95%以下が好ましく、さらに70%以上90%以下であることが好ましい。
When the light-transmitting
非光透過性の基板を用いた場合には、図3のように回路パターン50の焼成のための光102を基板10の表面側から照射することができる。
When a non-light-transmissive substrate is used, light 102 for firing the
また、本実施形態の基板10は、フィルム状のものを用いることも可能である。
Further, the
回路パターン50を構成する導電性ナノ粒子の材料としては、Ag、Cu、Au、Pd、ITO、Pt、Feなどの導電性金属および導電性金属酸化物のうちの1つ以上を用いることができる。
As a material of the conductive nanoparticles constituting the
導電性ナノ粒子を被覆する絶縁材料としては、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、および、アクリル樹脂などの有機物、ならびに、SiO2、Al2O3、TiO2などの無機材料、また有機と無機のハイブリット材料のうちの1以上を用いることができる。また、膜51において導電性ナノ粒子および導電性マイクロ粒子を被覆する絶縁材料層の厚みは、1nm〜10000nm程度であることが好ましい。
Insulating materials for coating the conductive nanoparticles include organic materials such as styrene resin, epoxy resin, silicone resin, and acrylic resin, inorganic materials such as SiO 2 , Al 2 O 3 , and TiO 2, and organic and inorganic materials. One or more of these hybrid materials can be used. In addition, the thickness of the insulating material layer covering the conductive nanoparticles and the conductive microparticles in the
導電体52および回路パターン50は、例えば、粒径(例えば、平均粒子径)1μm〜100μmの導電性粒子を含んでいる。回路パターン50の配線幅は、10μm以上にすることができ、例えば100μm程度に形成することが可能である。回路パターン50の厚みは、1μm〜100μm程度、例えば20μm程度に形成することが可能である。また、第2回路パターン50の電気抵抗値は、10−4Ω/cm2以下であることが望ましく、特に、10−6Ω/cm2オーダー以下の低抵抗であることが望ましい。
The
図1(c)、図2(e)等の工程で照射する光の波長は、紫外、可視、赤外いずれの光であってもよいが、膜51に含まれる導電性ナノ粒子に吸収される波長を選択して用いる。導電性ナノ粒子として、Ag、Cu、Au、Pdなどを用いた場合、例えば400〜600nmの可視光を用いることができる。光を照射する所望のパターン(スルーホール70および回路パターン50)は、開口を有するマスクに光を通すことにより形成することができる。また、スルーホール70のサイズや回路パターン50の配線幅よりも小さい照射径に集光した光ビームを用い、光ビームを膜51上で所望のパターンに走査させてもよい。
The wavelength of the light irradiated in the steps of FIG. 1C, FIG. 2E, etc. may be ultraviolet, visible, or infrared light, but is absorbed by the conductive nanoparticles contained in the
本実施形態では、膜51を導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子を焼結して形成したが、本発明はこれに限られるものではなく、粒径(例えば、平均粒子径)1μm以下の導電性ナノ粒子を焼結して、スルーホール70内の導電体52と回路パターン50を形成することも可能である。粒子サイズ以外の各工程の詳細は、上述した工程と同様にする。これにより、膜厚の薄い回路パターンを形成することができる。
In this embodiment, the
<第2の実施形態>
第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の方法で形成された、スルーホール70と回路パターン50を備えた回路基板に電子部品を実装した、図5(a)〜(c)の電子デバイスを製造する方法について説明する。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, electronic components are mounted on a circuit board having a through
図5の電子デバイスは、回路パターン50(50a,50b)(第2回路パターン50とも呼ぶ)を備えた基板10と、電子部品30と、抵抗器240とを備えている。回路パターン50のうち一部50aは、基板10の一方の面に搭載され、他の部分50bは、基板10の他方の面に搭載されている。一方の面の第2回路パターン50aと他方の面の第2回路パターン50bは、スルーホール70内の導電体52により基板10の厚み方向に接続されている。
The electronic device of FIG. 5 includes a
また、基板10には、電子部品30を搭載するための領域20が設けられ、領域20内には電子部品30と電気的に接続される第1回路パターン40が配置されている。第2回路パターン50は、領域20の周縁部で第1回路パターン40に接続されている。第2回路パターン50は、領域20の外側に配置された電源60から第1回路パターン40に電流を供給する。
In addition, a
スルーホール70の導電体52と第2回路パターン50は、第1の実施の形態と同様に導電性ナノ粒子と導電性マイクロ粒子とを含んだ層によって形成されている。一方、第1回路パターン40の一部または全部は、粒径が1μm未満である導電性ナノ粒子を含んだ層によって構成されている。
The
具体的には、図5(a)、(b)のように、第2回路パターン50は、電子部品30を搭載するための領域20の両脇に配置されている。第1回路パターン40は、領域20内に少なくとも一対配置され、領域20の両脇の第2回路パターン50とそれぞれ接続されている。一対の第1回路パターン40の間には、非導電性層41が配置されている。電子部品30の電極31は、一対の第1回路パターン30に直接固着されている。
Specifically, as shown in FIGS. 5A and 5B, the
第2回路パターン50の厚さは、図5(b)のように、第1回路パターン40の厚さよりも大きい。本実施形態では、微細な配線が必要な、電子部品30を搭載する領域20内のみを第1回路パターン40で形成し、領域20の外側は厚膜の第2回路パターン50によって構成することにより、電子部品30への大きな電流の供給を可能にしている。
The thickness of the
第1回路パターン40は、導電性ナノ粒子は、粒径0.01μm〜1μmの導電性粒子を含んでいる。第1回路パターン40(焼結された部分)の配線幅は、例えば1μm以上にすることが可能である。第1回路パターン40の厚みは、10nm〜10μm程度に形成することが可能である。また、第1回路パターン40の電気抵抗値は、10−4Ω/cm2以下であることが望ましく、特に、10−6Ω/cm2オーダー以下の低抵抗であることが望ましい。
In the
第2回路パターン50の導電性粒子の粒径および配線幅等は、第1の実施形態の回路パターン50と同様であるので説明を省略する。
Since the particle size and wiring width of the conductive particles of the
製造方法について説明する。まず、基板10を用意する。ここでは基板10として透明基板を用いる。
A manufacturing method will be described. First, the
つぎに、導電性ナノ粒子と、導電性マイクロ粒子と、絶縁材料とが溶媒に分散された溶液、もしくは、絶縁材料の層で被覆された導電性ナノ粒子および導電性マイクロ粒子が溶媒に分散された溶液を、図1(a),(b)のように基板10の一方の面に塗布して、膜51を形成し、第1の実施形態で説明した図1(c)、(d)の工程により、第2回路パターン50aと、スルーホール70と、それを充填する導電体52を形成する。
Next, a solution in which conductive nanoparticles, conductive microparticles, and an insulating material are dispersed in a solvent, or conductive nanoparticles and conductive microparticles coated with a layer of an insulating material are dispersed in the solvent. 1 (a) and 1 (b) is applied to one surface of the
光を照射していない膜51の領域は、焼結が生じないため、非導電性のまま残る。なお、焼結されない非導電性の膜51の領域は、残存させたままでもよいし、図5(a)のように、除去してもよい。
The region of the
なお、第2回路パターン50aを形成するべき領域のみに、印刷手法等を用いて、膜51を形成し、膜51の全体に光を照射することにより、第2回路パターン50aを形成することもできる。
The
つぎに、基板10の他方の面に、第1の実施形態の図1(a),(b)の工程により、膜51を形成し、光を照射して焼結し、第2回路パターン50bを基板10の他方の面に形成する。このとき第2回路パターン50bをスルーホール70の位置を覆うように形成することにより、一方の面の第2回路パターン50aと、他方の面の第2回路パターン50bとをスルーホール70内の導電体52により結合することができる。
Next, the
なお、抵抗器240を形成すべき領域は、第2回路パターン50aの途中に間隙を設ける。
In the region where the
つぎに、基板10に第1の回路パターン40と抵抗器240を形成する工程を、図6および図7を用いて説明する。
Next, a process of forming the
上述の工程により、第2回路パターン50(50a,50b)およびスルーホール70と導電体52が図5(a),(b)の形状に形成された基板10が形成される(図6(a)、図7(a))。第1回路パターン40および抵抗器240の抵抗体膜140を形成するため、導電性ナノ粒子と、絶縁材料とが溶媒に分散された溶液、もしくは、上記絶縁材料の層で被覆された上記導電性ナノ粒子が溶媒に分散された溶液を用意する。導電性ナノ粒子および絶縁材料は、第1の実施形態と同じものを用いることができる。
Through the above-described steps, the
図6(b)、図7(b)のように、上記溶液を、基板10表面の領域20内と、抵抗器240を形成すべき第2回路パターン50の間隙とにそれぞれ塗布する。塗布された溶液は、図6(c)、図7(c)のように、基板10上で表面が平滑になり、塗膜(膜41、141)をそれぞれ形成する。膜41、141の端部はそれぞれ、第2回路パターン50の端部と重なるようにする。必要に応じて膜41、141を加熱し、乾燥させる。膜41、141内には、導電性ナノ粒子が分散され、導電性ナノ粒子の周囲は絶縁材料で覆われた状態である。
As shown in FIGS. 6B and 7B, the above solution is applied to the inside of the
続いて、図6(d)のように、電子部品30を膜41の所定の位置に位置合わせして搭載し、図6(e)のように、電子部品30の電極31を膜41に密着させる。
Subsequently, as shown in FIG. 6D, the
つぎに、図6(f)、図7(d)のように、膜41、141にそれぞれ所望のパターンで光を照射し、光によって導電性ナノ粒子を焼結する。これにより、領域20には、図6(g)のように一対の第1回路パターン40を形成し、抵抗器240を形成すべき間隙には、図7(e)のように抵抗体膜140を形成する。
Next, as shown in FIGS. 6 (f) and 7 (d), the
膜41に照射する光は、図6(f)のように基板10の裏面側から照射を行うが、膜141に照射する光は、図7(d)のように基板10の表面側から照射してよいし、裏面側から照射してもよい。
The light irradiating the
照射する光の波長は、膜41、141に含まれる導電性ナノ粒子に吸収される波長であって、基板10での吸収が少ない波長を選択して用いる。照射する光は、紫外、可視、赤外いずれの光であってもよい。例えば導電性ナノ粒子として、Ag、Cu、Au、Pdなどを用いた場合、400〜600nmの可視光を用いることができる。
The wavelength of the light to be irradiated is a wavelength that is absorbed by the conductive nanoparticles contained in the
膜41に照射する光の照射パターンは、膜41の電子部品30の電極31が当接された領域を含む。搭載された電子部品30の電極31の位置を確認し、その電極位置を基準として照射パターンを決定することができるため、回路パターンと電子部品との位置ずれを抑制することができる。光は、第2回路パターン50と連続した第1回路パターン40を形成するため、第2回路パターン50と重なる領域にも照射することが望ましい。光照射により、導電性ナノ粒子は、その粒子を構成する材料のバルクの融点よりも低い温度で溶融する。導電性ナノ粒子の周囲の絶縁材料層は、光照射により蒸発するかもしくは軟化する。そのため、溶融した導電性ナノ粒子は、隣接する粒子と直接融合するか、もしくは、軟化した絶縁材料層と突き破って隣接する粒子と融合する。これにより、導電性ナノ粒子同士を焼結することができ、光照射した領域が、電気導電性の第1回路パターン40となる。なお、光照射後の導電性ナノ粒子は、粒子同士が結合しているが、ある程度粒子形状を保っている。つまり、導電性ナノサイズ粒子層には、導電性ナノ粒子の粒子形状の一部が残っている。
The irradiation pattern of the light applied to the
一方、抵抗体膜140については、図7(e)の工程により、抵抗値を測定し、抵抗値が予め定めた範囲よりも大きい場合には、図7(f)により抵抗体膜140の縁に光を照射し、抵抗体膜140を広げ、抵抗体膜140を追加形成する。一方、抵抗値が予め定めた範囲より小さい場合には、光を照射して、抵抗体膜140をトリミングして除去する。これにより、抵抗値を予め定めた範囲に入るように調整することができる。
On the other hand, for the
この後、未焼結の膜41、141を除去してもよい。
Thereafter, the
また、基板10の他方側の面にも同様に、一対の第1回路パターン40を形成した後、電子部品30を搭載し、第1回路パターン40と接続する。
Similarly, after the pair of
上述において、抵抗器240を形成する膜141は、第1の回路パターン40を形成する膜41と同じ塗布液で、同様のタイミングで形成したが、抵抗器240を形成する膜141は、第2回路パターン50a、導電体52を形成する膜51と同じ塗布液で、膜51を形成するタイミングで形成することもできる。つまり、抵抗器240を形成する膜141を構成する塗布液には導電性マイクロ粒子を含有させることができる。
In the above description, the
また、膜141を形成する塗布液には、目標とする抵抗値、抵抗体膜の厚みに応じて、導電性マイクロ粒子の量を調整したり、絶縁体材料を量を調整したりすることもできる。膜141を形成用の塗布液に導電性マイクロ粒子を含有させた場合、抵抗体膜140は、導電性マイクロ粒子と導電性ナノ粒子の粒子形状の一部が残る状態で形成される。
In addition, in the coating solution for forming the
また、抵抗器240を形成する膜141を形成する塗布液において、導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子と共に分散される絶縁材料、あるいは、導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子を被覆する絶縁材料は、導電性ナノ粒子および導電性マイクロ粒子を焼結させる光照射時に、蒸発するが、完全に蒸発させず、部分的に抵抗膜中に残してもよい。絶縁材料の一部が抵抗膜中に残ることにより、その分抵抗値は大きいものとなる。つまり、導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子と共に分散される絶縁材料、あるいは、導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子を被覆する絶縁材料の、抵抗膜中への残留量を調整して、抵抗値を調整することができる。
In addition, in the coating solution for forming the
また、抵抗器240を形成する膜141を形成する塗布液には、導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子と共に、酸化インジウム、酸化銅、酸化銀、Cr、Cなどから構成される粉体、粒子を分散して、抵抗値を調整することができる。これら紛体、粒子を分散することにより抵抗体膜140は焼結した導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子中にこれら粉体、粒子が介在する状態となり、部分的に導電性ナノ粒子や導電性マイクロ粒子の焼結を阻害して、分散しないものと比較して抵抗体膜140の抵抗は高くなる。これら粉体、粒子は、ナノサイズ、マイクロサイズのものを用いることができる。
In addition, the coating liquid for forming the
以上の工程により、図5(a)〜(c)の第2回路パターン50と、導電体50が充填されたスルーホール70と、所望のパターンの微細な第1回路パターン40と、抵抗体膜140とを備えた電子デバイスを、塗布と光照射という簡単な工程で同時に形成できる。これらは、光焼結により一体に連結されているため、断線しにくい。また、抵抗体膜140の抵抗値を光照射により増減することができ、所望の抵抗値の抵抗器を容易に形成することができる。よって、低抵抗の厚膜の第2回路パターン50から大きな電流を第1回路パターン40を介して電子部品30に供給することができるとともに、抵抗器240により、電子部品30に過大な電流が流れるのを防止できる。
Through the above steps, the
また、導電性ナノ粒子は、焼結時に溶融するため、電子部品30の電極31とも結合し、第1回路パターン40と電極31とを固着することができる。すなわち、電極31はバンプ等を用いることなく、第1回路パターン40と直接接合される。この製造方法は、電子部品30を搭載した状態で光照射を行うため、搭載後の電極31の位置を基準としたパターンで光照射を行うことができる。そのため電子部品30の電極31と第1回路パターン40との接合は確実に高い精度で得られる。
In addition, since the conductive nanoparticles are melted during the sintering, the conductive nanoparticles are also bonded to the
なお、第1回路パターン40と電極31とを固着強度を高めるため、電子部品を加熱しながら光照射することや、圧力をかけながら光照射とすることが好ましい。
In order to increase the fixing strength of the
上述の、図6(b)、図7(b)の工程において、導電性ナノ粒子と絶縁材料とが溶媒に分散された溶液、もしくは、絶縁材料の層で被覆された上記導電性ナノ粒子が溶媒に分散された溶液を基板10上に塗布する際に、印刷手法を用いて膜41,141を形成してもよい。印刷手法としては、インクジェット印刷やフレキソ印刷、グラビアオフセット印刷、スクリーン印刷等を用いることができる。この場合、図6(d)、図7(d)の工程では、印刷により形成した膜41,141の全体に光を照射して焼結して、第1回路パターン40および抵抗膜140を形成することができる。なお、抵抗体膜140は、厚さ方向の一部のみが焼結されるように照射光強度を調整して照射し、抵抗値の調整は、厚さ方向に抵抗体膜140を広げることにより行うこともできる。この方法は、第1回路パターン40および抵抗体膜140の周囲に非導電性の膜41が形成されないという利点がある。
6B and 7B, the conductive nanoparticles and the insulating material dispersed in a solvent, or the conductive nanoparticles coated with a layer of the insulating material are used. When the solution dispersed in the solvent is applied onto the
基板10を図5(b)、(c)のように湾曲させる場合には、最初の光照射工程(図1(c)、図2(e))の前までに基板10を湾曲させておくことが好ましい。これにより、第2回路パターン40の断線や線細りを防ぐことができる。特に、抵抗体膜140は、焼結工程後に湾曲工程を実施すると、伸縮することで抵抗膜の抵抗値が変化してしまい、保護回路としての役割が低減するが、湾曲工程後に焼結工程を実施することにより、所望の抵抗値を得ることができる。
When the
このとき、導電性ナノ粒子を含む膜41の形成は、湾曲工程の前でも湾曲工程の後でもよい。膜41が形成された状態で基板10を湾曲させる場合には、膜41自体にクラックが生じる可能性があるが、光照射により溶融した導電性ナノ粒子が隣接粒子と融合し、この融合過程で膜41のクラックは消失するため、クラックのない第1回路パターン40を形成することができる。
At this time, the
なお、第2の実施形態では、光透過性の基板10を用いて、膜41の裏面側から光を照射したが、基板10として非光透過性の基板10を用いて、膜41および膜141の上面から光を照射することもできる。その場合においては、膜41に光を照射して第1回路パターン40を形成した後に、第1回路パターン40上にバンプ42やはんだボール等を必要に応じて搭載し、電子部品30を、その電極31が第1回路パターン40上に一致するように位置合わせして搭載する。バンプ等を配置した場合には、バンプの位置が電子部品30の電極31の位置と一致するように位置合わせする。その後、加熱または超音波を照射して、電子部品30の電極31を第1回路パターン40とを接続し、電子部品30を固定する。
In the second embodiment, light is irradiated from the back side of the
本実施形態によれば、種々の電子部品を高密度に基板10に搭載しつつ、少ない製造工程で一括して、スルーホールを含む回路形成と電子部品の実装を行い、電子デバイスを製造できる。しかも、光照射により、回路パターンを容易に変更できるため、設計変更にも容易に対応することができる。
According to the present embodiment, while various electronic components are mounted on the
<第3の実施形態>
第3の実施形態の電子デバイス製造方法について図8を用いて説明する。
<Third Embodiment>
An electronic device manufacturing method according to the third embodiment will be described with reference to FIG.
第3の実施形態では、電子部品30(30−a、30−b)として上面と下面の両方に電極31を備えたものを用いる。電子部品30−aを上下から2枚の基板10−1、10−2で挟む構成とする。さらに、基板10−1の下にもう一枚基板10−3を配置し、基板10−1、10−3の間にも電子部品30−bを挟み込む構成とする。また、基板10−1,10−2,10−3は、いずれも光透過性のものを用いる。
In the third embodiment, an electronic component 30 (30-a, 30-b) having an
第2の実施形態と同様に、基板10−1の一方の面に、第2回路パターン50−1aと、スルーホール70と、第1回路パターン40−1aと、抵抗体膜140を形成し、他方の面に、第2回路パターン50−1bと、第1回路パターン40−1bとを形成する。そして、基板10−1の第1回路パターン40−1aと電子部品30−aの下面の電極31−1とを固着する。基板10−1の第1回路パターン40−1bと電子部品30−bの上面の電極31−2とを固着する。
Similarly to the second embodiment, the second circuit pattern 50-1a, the through
一方、もう一枚の透明基板10−2に、膜41−2を形成する。基板10−2を、電子部品30−aの上に、膜41−2が上面の電極31−2に接するように搭載する。そして、もう1枚の基板10−2の裏面(上面)側から上側の膜41−2に所定のパターンで光を照射する。これにより、電子部品30の上面の電極31−2に接続された第1回路パターン40−2を形成する。同時に、第1回路パターン40−2と電子部品30の上面の電極31−2とを固着する。
On the other hand, the film 41-2 is formed on the other transparent substrate 10-2. The substrate 10-2 is mounted on the electronic component 30-a so that the film 41-2 is in contact with the electrode 31-2 on the upper surface. Then, light is irradiated in a predetermined pattern from the back surface (upper surface) side of the other substrate 10-2 to the upper film 41-2. Thereby, the first circuit pattern 40-2 connected to the electrode 31-2 on the upper surface of the
さらに、透明基板10−3に、膜41−3を形成する。基板10−3を、電子部品30−bの下に、膜41−3が下面の電極31−1に接するように搭載する。そして、基板10−3の裏面(下面)側から上側の膜41−3に所定のパターンで光を照射する。これにより、電子部品30−bの下面の電極31−1に接続された第1回路パターン40−3を形成する。同時に、第1回路パターン40−3と電子部品30の下面の電極31−1とを固着する。
Further, a film 41-3 is formed on the transparent substrate 10-3. The substrate 10-3 is mounted under the electronic component 30-b so that the film 41-3 is in contact with the electrode 31-1 on the lower surface. Then, the upper film 41-3 is irradiated with light in a predetermined pattern from the back surface (lower surface) side of the substrate 10-3. Thereby, the first circuit pattern 40-3 connected to the electrode 31-1 on the lower surface of the electronic component 30-b is formed. At the same time, the first circuit pattern 40-3 and the electrode 31-1 on the lower surface of the
これにより、3枚の透明基板10−1,10−2、10−3の間に、電子部品30−a、30−bを挟み込んだ電子デバイスを製造することができる。 Thereby, an electronic device in which the electronic components 30-a and 30-b are sandwiched between the three transparent substrates 10-1, 10-2, and 10-3 can be manufactured.
なお、電子部品30の上下の電極31を基板10−1,10−2、10−3と接続した順番は、上記順番に限られるものではなく、位置精度が高く要求される側から先に接続することが望ましい。
Note that the order in which the upper and
なお、図8の構成では、透明基板10−1に形成した第2回路パターン50−1と、透明基板10−2に形成した第2回路パターン50−2を上下導通部50−4により、上下方向に連結している。同様に、透明基板10−1に形成した第2回路パターン50−1と、透明基板10−3に形成した第2回路パターン50−3を上下導通部50−5により、上下方向に連結している。上下導通部50−4,5は、第2回路パターン50−1、50−2、50−3となる塗膜を形成した後、基板10−1,10−2、10−3を重ね合わせて、第2回路パターン50−1と50−2および50−3とが接触した状態で光を照射して焼結することにより第2回路パターン50−1,50−2、50−3の形成と同時に形成することができる。 In the configuration of FIG. 8, the second circuit pattern 50-1 formed on the transparent substrate 10-1 and the second circuit pattern 50-2 formed on the transparent substrate 10-2 are vertically Linked in the direction. Similarly, the second circuit pattern 50-1 formed on the transparent substrate 10-1 and the second circuit pattern 50-3 formed on the transparent substrate 10-3 are connected in the vertical direction by the vertical conduction portion 50-5. Yes. The upper and lower conductive portions 50-4, 5 are formed by overlapping the substrates 10-1, 10-2, 10-3 after forming a coating film to be the second circuit patterns 50-1, 50-2, 50-3. The second circuit patterns 50-1, 50-2, and 50-3 are formed in contact with the second circuit patterns 50-1, 50-2, and 50-3 by sintering with light irradiation. They can be formed simultaneously.
本実施形態によれば、種々の電子部品を高密度に基板10に搭載しつつ、少ない製造工程で一括して実装して、電子デバイスを製造できる。しかも、光照射により、回路パターンを容易に変更できるため、設計変更にも容易に対応することができる。
According to this embodiment, it is possible to manufacture an electronic device by mounting various electronic components on the
上述のように本実施形態によれば、抵抗器の製造方法も提供される。すなわち、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と絶縁材料とが分散された溶液、もしくは、絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子が分散された溶液を、基板表面に所望の形状で塗布し、膜を形成する第1工程と、前記膜の一部に所定のパターンで光を照射し、前記光によって導電性ナノサイズ粒子を焼結し、前記所定のパターンの導電性ナノサイズ粒子層である抵抗体膜を形成する第2工程とを有する抵抗器の製造方法である。 As described above, according to this embodiment, a method for manufacturing a resistor is also provided. That is, a solution in which conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm and an insulating material are dispersed, or a solution in which the conductive nano-sized particles coated with an insulating material layer are dispersed is desired on the substrate surface. A first step of forming a film by applying the light in a shape, and irradiating a part of the film with light in a predetermined pattern to sinter the conductive nano-sized particles with the light, thereby conducting the conductive in the predetermined pattern And a second step of forming a resistor film that is a nano-sized particle layer.
また、本実施の形態によれば、湾曲した基板を有する回路基板の製造方法も提供される。すなわち、第1工程では、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と絶縁材料とが分散された溶液、もしくは、絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子が分散された溶液を、基板表面に所望の形状で塗布し、前記絶縁材料で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子を含む膜を形成する。第2工程では、前記膜に所定のパターンで光を照射し、前記光によって導電性ナノサイズ粒子を焼結し、前記所定のパターンの導電性ナノサイズ粒子層である第1回路パターンを形成する。前記第1工程の前、もしくは、前記第1工程の後であって第2工程の前に、前記基板を湾曲させる工程をさらに行う。 Moreover, according to this Embodiment, the manufacturing method of the circuit board which has a curved board | substrate is also provided. That is, in the first step, a solution in which conductive nanosize particles having a particle diameter of less than 1 μm and an insulating material are dispersed, or a solution in which the conductive nanosize particles coated with an insulating material layer are dispersed is used. Then, it is applied to the substrate surface in a desired shape to form a film containing the conductive nano-sized particles coated with the insulating material. In the second step, the film is irradiated with light in a predetermined pattern, and the conductive nanosize particles are sintered by the light to form a first circuit pattern that is a conductive nanosize particle layer of the predetermined pattern. . A step of bending the substrate is further performed before the first step or after the first step and before the second step.
本実施形態の電子デバイスは、電子部品を基板に搭載したデバイスであればどのようなものでも適用可能である。例えば、自動車のインストルメント・パネル(計器表示盤)やゲーム機の表示部等に適用できる。また、基板を湾曲させることができるため、ウエアラブル(体に装着可能な)な電子デバイス(メガネ、時計、ディスプレイ、医療機器等)や、湾曲したディスプレイに適用可能である。 As the electronic device of the present embodiment, any device can be applied as long as the electronic component is mounted on a substrate. For example, the present invention can be applied to an instrument panel (instrument display panel) of a car or a display unit of a game machine. In addition, since the substrate can be curved, it can be applied to wearable electronic devices (glasses, watches, displays, medical devices, etc.) and curved displays.
10・・・基板、20・・・電子部品搭載のための領域、30・・・電子部品、40・・・第1回路パターン、41・・・膜、42・・・バンプ、50・・・第2回路パターン、60・・・電源、80・・・伝熱部材
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記基板に設けた貫通孔内を導電体で充填する第2工程とを有し、
前記第2工程は、
前記基板の前記膜とは逆側の面から所定の位置に光を照射し、前記光によって前記基板に前記貫通孔をあけ、前記貫通孔に前記膜の一部を流入させて前記貫通孔を前記膜で充填する第2−1工程と、
光照射により、前記貫通孔内の前記膜の導電性ナノサイズ粒子と導電性マイクロサイズ粒子とを焼結して前記導電体を形成する第2−2工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 The conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm, the conductive micro-sized particles having a particle size of 1 μm or more, and the conductive material respectively coated with a solution in which an insulating material is dispersed or an insulating material layer The conductive nanosize particles and the conductive microsize particles coated with the insulating material by applying a solution in which the conductive nanosize particles and the conductive microsize particles are dispersed in a desired shape to the surface of the substrate. A first step of forming a film containing
A second step of filling a through hole provided in the substrate with a conductor,
The second step includes
The substrate is irradiated with light at a predetermined position from the surface opposite to the film, the through-hole is formed in the substrate by the light, and a part of the film is caused to flow into the through-hole to form the through-hole. 2-1 step of filling with the film;
An electronic device comprising: a second step 2-2 for forming the conductor by sintering conductive nano-sized particles and conductive micro-sized particles of the film in the through hole by light irradiation. Manufacturing method.
前記貫通孔の周囲の前記膜の所定の領域に光を照射して、前記導電性ナノサイズ粒子と導電性マイクロサイズ粒子とを焼結して、前記貫通孔内の前記導電体に連続する回路パターンを形成する第3工程をさらに有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 A method of manufacturing an electronic device according to claim 1,
A circuit continuous to the conductor in the through hole by irradiating a predetermined region of the film around the through hole with light to sinter the conductive nano-sized particles and the conductive micro-sized particles. An electronic device manufacturing method, further comprising a third step of forming a pattern.
前記基板は、光透過性であり、前記第3工程は、前記基板の前記膜とは逆側の面から前記基板を通して前記膜に光を照射することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 A method for manufacturing an electronic device according to claim 2,
The substrate is light transmissive, and in the third step, the film is irradiated with light from the surface of the substrate opposite to the film through the substrate.
前記基板上の電子部品を搭載すべき領域に、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と絶縁材料とが少なくとも分散された溶液、もしくは、絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子が少なくとも分散された溶液を、前記基板表面に所望の形状で塗布し、前記絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子を含む膜を形成する第4工程と、
前記第4工程で形成した膜に、前記膜に所定のパターンで光を照射し、前記光によって導電性ナノサイズ粒子を焼結し、前記所定のパターンの導電性ナノサイズ粒子層である第1回路パターンを形成する第5工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 A method for manufacturing an electronic device according to claim 2,
The conductive nanosize coated with an insulating material layer or a solution in which conductive nanosize particles having a particle size of less than 1 μm and an insulating material are dispersed in a region where the electronic component on the substrate is to be mounted A fourth step of applying a solution in which particles are at least dispersed to the surface of the substrate in a desired shape to form a film containing the conductive nano-sized particles coated with the insulating material layer;
The film formed in the fourth step is irradiated with light in a predetermined pattern on the film, the conductive nanosize particles are sintered by the light, and the conductive nanosize particle layer having the predetermined pattern is the first layer And a fifth step of forming a circuit pattern.
前記基板上の電子部品を搭載すべき領域に、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と絶縁材料とが分散された溶液、もしくは、絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子が分散された溶液を、基板表面に所望の形状で塗布し、前記絶縁材料層で被覆された前記導電性ナノサイズ粒子を含む膜を形成する第4工程と、
前記第4工程で形成した膜に、電子部品をその電極が前記膜に接触するように搭載し、前記基板の前記膜とは逆側から前記膜に所定のパターンで光を照射し、前記光によって導電性ナノサイズ粒子を焼結し、前記所定のパターンの導電性ナノサイズ粒子を焼結した層を形成することにより、前記電子部品の電極に接続された第1回路パターンを形成するとともに、前記第1回路パターンと前記電子部品の電極とを固着する第5工程とを有することを特徴とする電子デバイスの製造方法。 A method for manufacturing an electronic device according to claim 2,
A solution in which conductive nano-sized particles having a particle diameter of less than 1 μm and an insulating material are dispersed in the region on which the electronic component is to be mounted, or the conductive nano-sized particles coated with an insulating material layer A solution in which is dispersed in a desired shape on a substrate surface to form a film containing the conductive nano-sized particles coated with the insulating material layer;
The electronic component is mounted on the film formed in the fourth step so that the electrode is in contact with the film, and the film is irradiated with light in a predetermined pattern from the side opposite to the film of the substrate, and the light And forming a first circuit pattern connected to the electrodes of the electronic component by forming a layer obtained by sintering the conductive nanosize particles of the predetermined pattern and sintering the conductive nanosize particles of the predetermined pattern, An electronic device manufacturing method comprising: a fifth step of fixing the first circuit pattern and the electrode of the electronic component.
前記第2回路パターンの一部または全部と前記スルーホールの導電体は、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と、粒径が1μm以上である導電性マイクロサイズ粒子とを焼結した材料を含むことを特徴とする電子デバイス。 A substrate, a region provided on the substrate for mounting an electronic component, a first circuit pattern disposed in the region and electrically connected to the electronic component, and connected to the first circuit pattern A second circuit pattern for supplying a current to the first circuit pattern from the outside of the region; a through hole filled with a conductor continuous with the second circuit pattern; An electronic component connected to one circuit pattern,
A part or all of the second circuit pattern and the conductor of the through hole are obtained by sintering conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm and conductive micro-sized particles having a particle size of 1 μm or more. An electronic device comprising a material.
前記基板に設けられた貫通孔内を導電体で充填する第2工程とを有し、
前記第2工程は、
前記基板の前記膜とは逆側の面から所定の位置に光を照射し、前記光によって基板に貫通孔をあけ、前記貫通孔に前記膜の一部を流入させて前記貫通孔を前記膜で充填する第2−1工程と、
光照射により、前記貫通孔内の前記膜の導電性ナノサイズ粒子と導電性マイクロサイズ粒子とを焼結して前記導電体を形成する第2−2工程とを有することを特徴とする回路基板の製造方法。 The conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm, the conductive micro-sized particles having a particle size of 1 μm or more, and the conductive material respectively coated with a solution in which an insulating material is dispersed or an insulating material layer The conductive nanosize particles and the conductive microsize particles coated with the insulating material by applying a solution in which the conductive nanosize particles and the conductive microsize particles are dispersed in a desired shape to the surface of the substrate. A first step of forming a film containing
A second step of filling a through hole provided in the substrate with a conductor,
The second step includes
The substrate is irradiated with light from a surface on the opposite side to the film, a through hole is formed in the substrate by the light, a part of the film is caused to flow into the through hole, and the through hole is formed in the film. 2-1 step of filling with,
A circuit board comprising: a step 2-2 for sintering the conductive nano-sized particles and the conductive micro-sized particles of the film in the through hole to form the conductor by light irradiation. Manufacturing method.
前記第2回路パターンの一部または全部と前記スルーホールの導電体は、粒径が1μm未満である導電性ナノサイズ粒子と、粒径が1μm以上である導電性マイクロサイズ粒子とを焼結した材料を含むことを特徴とする回路基板。 A substrate, a region provided on the substrate for mounting an electronic component, a first circuit pattern disposed in the region and electrically connected to the electronic component, and connected to the first circuit pattern A second circuit pattern for supplying current to the first circuit pattern from the outside of the region, and a through hole filled with a conductor continuous with the second circuit pattern,
A part or all of the second circuit pattern and the conductor of the through hole are obtained by sintering conductive nano-sized particles having a particle size of less than 1 μm and conductive micro-sized particles having a particle size of 1 μm or more. A circuit board comprising a material.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015089853A JP2016207905A (en) | 2015-04-24 | 2015-04-24 | Electronic device manufacturing method, electronic device, circuit board manufacturing method, and circuit board |
PCT/JP2016/059240 WO2016170902A1 (en) | 2015-04-24 | 2016-03-23 | Electronic device production method, electronic device, circuit board production method, and circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015089853A JP2016207905A (en) | 2015-04-24 | 2015-04-24 | Electronic device manufacturing method, electronic device, circuit board manufacturing method, and circuit board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016207905A true JP2016207905A (en) | 2016-12-08 |
Family
ID=57144444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015089853A Pending JP2016207905A (en) | 2015-04-24 | 2015-04-24 | Electronic device manufacturing method, electronic device, circuit board manufacturing method, and circuit board |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016207905A (en) |
WO (1) | WO2016170902A1 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7075785B2 (en) | 2018-03-08 | 2022-05-26 | スタンレー電気株式会社 | Circuit boards, electronic circuit devices, and methods for manufacturing circuit boards |
JP7137354B2 (en) * | 2018-05-17 | 2022-09-14 | スタンレー電気株式会社 | Multilayer circuit board and manufacturing method thereof |
WO2024237008A1 (en) * | 2023-05-15 | 2024-11-21 | 株式会社ダイセル | Structure manufacturing method and structure |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3715337B2 (en) * | 1994-11-17 | 2005-11-09 | シャープ株式会社 | How to create an electrical circuit |
US7820232B2 (en) * | 2003-05-16 | 2010-10-26 | Harima Chemicals, Inc. | Method for forming fine copper particle sintered product type of electric conductor having fine shape, and process for forming copper fine wiring and thin copper film by applying said method |
JP2007281253A (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Nippon Foil Mfg Co Ltd | Circuit board, multilayer circuit board using the same, module and connector structure |
JP2008060509A (en) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Seiko Epson Corp | Wiring forming method, droplet discharge device and circuit module |
-
2015
- 2015-04-24 JP JP2015089853A patent/JP2016207905A/en active Pending
-
2016
- 2016-03-23 WO PCT/JP2016/059240 patent/WO2016170902A1/en active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016170902A1 (en) | 2016-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6491032B2 (en) | Manufacturing method of resistor and resistor | |
JP6473361B2 (en) | Electronic device manufacturing method and electronic device | |
JP7075785B2 (en) | Circuit boards, electronic circuit devices, and methods for manufacturing circuit boards | |
JP6630053B2 (en) | Electronic device manufacturing method | |
US10312223B2 (en) | Semiconductor light-emitting device and method for producing the same | |
JP5281551B2 (en) | Capacitive input device | |
WO2016170902A1 (en) | Electronic device production method, electronic device, circuit board production method, and circuit board | |
JP6771346B2 (en) | Manufacturing method of electronic device and electronic device | |
JP2006269984A (en) | Method for baking metallic particle for mutually fusing metallic particle by high-frequency electromagnetic-wave irradiation and electronic part and material for baking metallic particle manufactured by using its method | |
WO2016170901A1 (en) | Method for producing circuit board, method for producing electronic device, and electronic device | |
JP7137354B2 (en) | Multilayer circuit board and manufacturing method thereof | |
US10912201B2 (en) | Electronic device and production method thereof | |
JP2020039002A (en) | Electronic device | |
JP2014013819A (en) | Conductive pattern formation substrate | |
JP2013062283A (en) | Wiring board and method for manufacturing the same |