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JP2015230754A - X-ray tube device - Google Patents

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JP2015230754A
JP2015230754A JP2014114995A JP2014114995A JP2015230754A JP 2015230754 A JP2015230754 A JP 2015230754A JP 2014114995 A JP2014114995 A JP 2014114995A JP 2014114995 A JP2014114995 A JP 2014114995A JP 2015230754 A JP2015230754 A JP 2015230754A
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JP
Japan
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anode
ray tube
space
housing
mold member
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JP2014114995A
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Japanese (ja)
Inventor
豪 加藤
Takeshi Kato
豪 加藤
政義 宮村
Masayoshi Miyamura
政義 宮村
孝信 原
Takanobu Hara
孝信 原
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Toshiba Corp
Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray tube device capable of preventing a vacuum envelope from being broken.SOLUTION: An X-ray tube device includes: an X-ray tube 1; a structure 2; and a mold member 3. The X-ray tube 1 has a cathode 11, an anode 12, and a vacuum envelope 13. The structure 2 is positioned in a space S. The mold member 3 fully fills the vacuum envelope 13 and is filled into the space S. Then, the mold member 3 is adhered to a glass vessel 13a, a metal vessel 13b and the structure 2.

Description

本発明の実施形態は、X線管装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to an X-ray tube apparatus.

一般に、X線管はX線診断として医療または歯科用等に利用されている。この種のX線管において、真空外囲器内に陰極と陽極の陽極ターゲットとが対向して設置されている。陽極は銅製であり、陽極の陽極延出部は真空外囲器の外部に位置している。陰極及び陽極間に高電圧が印加され、陰極の電子放出源は電子を放出する。これにより、電子は陽極ターゲットに衝突し、陽極ターゲットはX線を放射する。X線管がX線を放射する際に陽極ターゲットに生じる熱は、陽極延出部を介して真空外囲器の外部に放出される。   In general, an X-ray tube is used for medical or dental use as an X-ray diagnosis. In this type of X-ray tube, a cathode and an anode target of an anode are placed opposite to each other in a vacuum envelope. The anode is made of copper, and the anode extension of the anode is located outside the vacuum envelope. A high voltage is applied between the cathode and the anode, and the cathode electron emission source emits electrons. Thereby, the electrons collide with the anode target, and the anode target emits X-rays. The heat generated in the anode target when the X-ray tube emits X-rays is released to the outside of the vacuum envelope through the anode extension.

陽極を形成する銅の熱膨張率と真空外囲器の一部を形成するガラスの熱膨張率との差は大きい。このため、真空外囲器は、ガラスだけでなく、ガラスの熱膨張率とほぼ等しい熱膨張率を有するコバール(KOV)等の金属も利用して形成されている。すなわち、真空外囲器は、ガラス容器と、金属容器とを有している。金属容器は、ガラス容器と陽極との継ぎ手として使用される。   The difference between the thermal expansion coefficient of copper forming the anode and the thermal expansion coefficient of glass forming a part of the vacuum envelope is large. For this reason, the vacuum envelope is formed using not only glass but also metal such as Kovar (KOV) having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of glass. That is, the vacuum envelope has a glass container and a metal container. The metal container is used as a joint between the glass container and the anode.

陽極延出部に伝達された熱は、X線管の周囲を満たしている絶縁油へと放出される。さらに陽極を効果的に冷却する目的で、円柱状の陽極延出部に陽極延出部の直径よりも大きいサイズのラジエータを取り付けることが考えられる。ラジエータを形成する材料としては、熱伝導性を有するが導電性の無い、アルミニウム窒化物、ベリリウム酸化物、ダイアモンドライクカーボン等の材料を用いることができる。   The heat transferred to the anode extension is released to the insulating oil filling the periphery of the X-ray tube. Further, for the purpose of effectively cooling the anode, it is conceivable to attach a radiator having a size larger than the diameter of the anode extension portion to the cylindrical anode extension portion. As a material for forming the radiator, a material such as aluminum nitride, beryllium oxide, diamond-like carbon, etc. that has thermal conductivity but is not conductive can be used.

X線管の高電圧絶縁には、上記のようにX線管を絶縁油で満たす手法以外に、X線管を電気絶縁性を有したモールド部材で埋め尽くす手法を用いることができる。モールド部材は、シリコーン等のゴム弾性を有する樹脂を利用して形成することができる。モールド部材を用いる手法は、携帯用のX線管装置に適用することができる。   For high voltage insulation of the X-ray tube, in addition to the method of filling the X-ray tube with insulating oil as described above, a method of filling the X-ray tube with an electrically insulating mold member can be used. The mold member can be formed using a resin having rubber elasticity such as silicone. The technique using a mold member can be applied to a portable X-ray tube apparatus.

モールド部材の熱伝導性の向上を図るため、シリコーンに無機物の微粒子を混合した材料を利用してモールド部材を形成することができる。さらに、シリコーンに、分子数の大きな鉛、タングステン、タンタル、ビスマス、バリウム等の物質からなる無機物の微粒子を混合した材料を利用してモールド部材を形成することができる。この場合、モールド部材をX線遮蔽に利用することができる。   In order to improve the thermal conductivity of the mold member, the mold member can be formed using a material in which inorganic fine particles are mixed with silicone. Further, the mold member can be formed using a material in which inorganic fine particles made of a substance such as lead, tungsten, tantalum, bismuth, and barium having a large number of molecules are mixed with silicone. In this case, the mold member can be used for X-ray shielding.

米国特許第7519159号明細書US Pat. No. 7,519,159 米国特許第7496178号明細書US Pat. No. 7,496,178 特開2012−201106号公報JP 2012-201106 A 特開2008−293868号公報JP 2008-293868 A

ところで、上記のように、熱伝導性やX線遮蔽能をモールド部材に持たせることを目的とし、シリコーンなどのゴム弾性を有する樹脂等の絶縁材料に無機物の微粒子を混合した混合物をモールド部材の形成に利用する場合、上記混合物の熱膨張率は、シリコーンのみの熱膨張率よりも小さくなる。シリコーンのみの熱膨張率は、270×10−6/Kである。熱伝導性やX線遮蔽能を十分に高めるためには、混合物中の無機物の微粒子の比率を高める必要があり、その場合の混合物の熱膨張率は、シリコーンの熱膨張率以下となる。一方、陽極延出部(陽極)の材質である銅の熱膨張率は16.5×10−6/Kである。 By the way, as described above, for the purpose of providing the mold member with thermal conductivity and X-ray shielding ability, a mixture obtained by mixing inorganic fine particles with an insulating material such as a resin having rubber elasticity such as silicone is used. When used for formation, the thermal expansion coefficient of the mixture is smaller than that of silicone alone. The thermal expansion coefficient of silicone alone is 270 × 10 −6 / K. In order to sufficiently increase the thermal conductivity and the X-ray shielding ability, it is necessary to increase the ratio of the inorganic fine particles in the mixture, and the thermal expansion coefficient of the mixture in that case is not more than the thermal expansion coefficient of silicone. On the other hand, the coefficient of thermal expansion of copper, which is the material of the anode extension portion (anode), is 16.5 × 10 −6 / K.

陽極延出部は、陽極延出部の端面より面積の大きなハウジングの内面に固定されている。モールド部材を形成する際、X線管がハウジングに固定された状態にて、上記混合物をハウジングの内部に充填し、加熱する。すると、上記混合物のシリコーンや無機物の微粒子はそれぞれ固有の熱膨張率により膨張し、上記混合物(シリコーン)は硬化する。これにより、真空外囲器を埋め尽くしたモールド部材が形成される。モールド部材は、ハウジングの内面、真空外囲器(ガラス容器及び金属容器)の外面、陽極延出部の外面に接着される。その後、モールド部材は冷却される。   The anode extension part is fixed to the inner surface of the housing having a larger area than the end face of the anode extension part. When forming the mold member, the mixture is filled in the housing and heated while the X-ray tube is fixed to the housing. Then, the silicone and inorganic fine particles of the mixture are expanded by a specific coefficient of thermal expansion, and the mixture (silicone) is cured. As a result, a mold member filled with the vacuum envelope is formed. The mold member is bonded to the inner surface of the housing, the outer surface of the vacuum envelope (glass container and metal container), and the outer surface of the anode extension portion. Thereafter, the mold member is cooled.

しかしながら、モールド部材の冷却時に、X線管の部材やモールド部材がそれぞれ異なる収縮率で収縮する結果、モールド部材はX線管に作用する応力を発生する。上記応力は、ガラス容器、金属容器等に作用し、X線管の使用時にX線管の温度が上昇すると軽減されるが、X線管が冷却されると再び発生することとなる。なお、真空外囲器を構成するガラス容器及び金属容器は互いに異なる熱膨張率を有しているため、熱によるX線管の膨張又は収縮により、ガラス容器及び金属容器の接続部にも応力が発生する。   However, when the mold member is cooled, the members of the X-ray tube and the mold member contract at different contraction rates. As a result, the mold member generates stress acting on the X-ray tube. The stress acts on a glass container, a metal container, and the like, and is reduced when the temperature of the X-ray tube rises when the X-ray tube is used. However, the stress is generated again when the X-ray tube is cooled. In addition, since the glass container and metal container which comprise a vacuum envelope have a mutually different coefficient of thermal expansion, stress is also applied to the connection part of a glass container and a metal container by expansion or contraction of the X-ray tube by heat. Occur.

上記のことから、モールド部材が発生する応力等は、ガラス容器及び金属容器の接続部に集中し、真空外囲器が破損する恐れがある。例えば、ガラス容器に割れが生じたり、ガラス容器及び金属容器の接続状態が解除されたりする。そして、真空外囲器が破損すると、真空外囲器の内部を真空気密に維持することができなくなる。
上述したことから、本発明の実施形態は、真空外囲器の破損を防止することができるX線管装置を提供する。
From the above, the stress or the like generated by the mold member concentrates on the connection part of the glass container and the metal container, and the vacuum envelope may be damaged. For example, the glass container is cracked or the connection state between the glass container and the metal container is released. If the vacuum envelope is damaged, the inside of the vacuum envelope cannot be maintained in a vacuum-tight state.
As described above, the embodiment of the present invention provides an X-ray tube apparatus that can prevent the vacuum envelope from being damaged.

一実施形態に係るX線管装置は、
電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝撃することによりX線を放出する陽極ターゲット及び前記陽極ターゲットに接続された陽極延出部を有した陽極と、ガラス容器並びに前記ガラス容器及び陽極に接続された金属容器を有し前記陰極及び陽極ターゲットを収納し前記陽極延出部が露出するように形成され前記陽極延出部との間に空間を形成した真空外囲器と、を有したX線管と、
前記空間に位置した構造体と、
電気絶縁性及びゴム弾性を有し、前記真空外囲器を埋め尽くし、前記空間に充填され、前記ガラス容器、金属容器及び構造体に接着されたモールド部材と、を備えている。
An X-ray tube apparatus according to one embodiment
A cathode that emits electrons, an anode target that emits X-rays by impact of electrons emitted from the cathode, an anode having an anode extension connected to the anode target, a glass container, and the glass container And a vacuum envelope having a metal container connected to the anode, containing the cathode and the anode target, and formed so as to expose the anode extension, and forming a space between the anode extension, An X-ray tube having
A structure located in the space;
And a mold member that has electrical insulation and rubber elasticity, fills the vacuum envelope, fills the space, and is bonded to the glass container, the metal container, and the structure.

図1は、一実施形態に係るX線管装置の概略構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an X-ray tube apparatus according to an embodiment. 図2は、上記実施形態に係るX線管装置の製造方法を説明するための図であり、第2ガラス容器及び金属容器の組合せ部材を陽極及び第1ガラス容器に接続する前の状態、並びに構造体を陽極延出部に取り付ける前の状態を示す断面図である。FIG. 2 is a view for explaining a method of manufacturing the X-ray tube apparatus according to the embodiment, a state before connecting the combination member of the second glass container and the metal container to the anode and the first glass container, and It is sectional drawing which shows the state before attaching a structure to an anode extension part. 図3は、図2に続く、上記実施形態に係るX線管装置の製造方法を説明するための図であり、構造体が取り付けられたX線管と隔壁部材とを収容したハウジングが鉛直に立った状態を示す断面図である。FIG. 3 is a view for explaining the manufacturing method of the X-ray tube apparatus according to the above-described embodiment following FIG. 2, in which the housing that houses the X-ray tube to which the structure is attached and the partition wall member is vertically installed. It is sectional drawing which shows the state which stood. 図4は、上記実施形態に係るX線管装置の変形例1の概略構成を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of Modification 1 of the X-ray tube apparatus according to the embodiment. 図5は、上記実施形態に係るX線管装置の変形例2の概略構成を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of Modification 2 of the X-ray tube apparatus according to the embodiment. 図6は、上記実施形態に係るX線管装置の変形例3の概略構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of Modification 3 of the X-ray tube apparatus according to the embodiment.

以下、図面を参照しながら一実施形態に係るX線管装置及びその製造方法について詳細に説明する。本実施形態において、X線管装置は固定陽極型X線管装置である。
図1に示すように、X線管装置は、X線管1と、構造体2と、モールド部材3と、ハウジング4と、隔壁部材5とを備えている。
Hereinafter, an X-ray tube apparatus and a manufacturing method thereof according to an embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In this embodiment, the X-ray tube device is a fixed anode type X-ray tube device.
As shown in FIG. 1, the X-ray tube apparatus includes an X-ray tube 1, a structure 2, a mold member 3, a housing 4, and a partition wall member 5.

X線管1は、陰極11と、陽極12と、真空外囲器13と、を有している。陰極11は、電子を放出するフィラメント(電子放出源)と、集束電極と、端子部11aと、を有している。本実施形態において、負の高電圧及びフィラメント電流が端子部11aを介して上記フィラメントに与えられる。上記集束電極には、図示しない端子部を介して負の高電圧が与えられる。   The X-ray tube 1 includes a cathode 11, an anode 12, and a vacuum envelope 13. The cathode 11 has a filament (electron emission source) that emits electrons, a focusing electrode, and a terminal portion 11a. In this embodiment, a negative high voltage and a filament current are given to the filament via the terminal portion 11a. A negative high voltage is applied to the focusing electrode via a terminal portion (not shown).

陽極12は、陽極ターゲット12a及び陽極ターゲット12aに接続された陽極延出部12bを有している。陽極ターゲット12aは例えばタングステン(W)、モリブデン(Mo)等の高融点金属で形成され、陽極延出部12bは例えば銅で円柱状に形成されている。陽極延出部12bは銅合金で形成されていてもよい。陽極延出部12bは、陽極ターゲット12aを固定し、陽極ターゲット12aで発生した熱を周囲へ伝達する。本実施形態において、陽極12は接地されている。陽極ターゲット12aは、上記フィラメントから放出され上記集束電極によって集束された電子が衝撃することによりX線を放出する。   The anode 12 has an anode target 12a and an anode extension 12b connected to the anode target 12a. The anode target 12a is made of a refractory metal such as tungsten (W) or molybdenum (Mo), and the anode extension 12b is made of copper, for example, in a cylindrical shape. The anode extension part 12b may be formed of a copper alloy. The anode extension part 12b fixes the anode target 12a and transfers the heat generated in the anode target 12a to the surroundings. In the present embodiment, the anode 12 is grounded. The anode target 12a emits X-rays when electrons emitted from the filament and focused by the focusing electrode bombard.

真空外囲器13は、ガラス容器13a及び金属容器13bを有している。金属容器13bは、ガラス容器13a及び陽極12に気密に接続されている。ガラス容器13aは、例えば硼珪素ガラスを利用して形成されている。ガラス容器13aは、例えば複数のガラス部材を溶接により気密に接合し形成することができる。ガラス容器13aはX線透過性を有しているため、陽極ターゲット12aから放出されたX線はガラス容器13aを透過して真空外囲器13の外側に放出される。金属容器13bは、陽極ターゲット12a及び陽極延出部12bの少なくとも一方に気密に固定されている。ここでは、金属容器13bは、陽極ターゲット12aにろう付けにより気密に接続されている。また、金属容器13bとガラス容器13aは溶接により気密に接続されている。本実施形態において、金属容器13bは環状に形成されている。また、金属容器13bは、コバールを利用して形成されている。金属容器13bの熱膨張率は、ガラス容器13aの熱膨張率とほぼ等しい。真空外囲器13は、陰極11及び陽極ターゲット12aを収納し、陽極延出部12bが露出するように形成されている。また、真空外囲器13は、陽極延出部12bとの間に環状の空間Sを形成している。ガラス容器13aと金属容器13bとの接続部も、空間Sを形成している。   The vacuum envelope 13 has a glass container 13a and a metal container 13b. The metal container 13b is hermetically connected to the glass container 13a and the anode 12. The glass container 13a is formed using, for example, borosilicate glass. The glass container 13a can be formed by, for example, joining a plurality of glass members in an airtight manner by welding. Since the glass container 13a has X-ray permeability, X-rays emitted from the anode target 12a are transmitted through the glass container 13a and emitted to the outside of the vacuum envelope 13. The metal container 13b is airtightly fixed to at least one of the anode target 12a and the anode extension part 12b. Here, the metal container 13b is airtightly connected to the anode target 12a by brazing. Moreover, the metal container 13b and the glass container 13a are airtightly connected by welding. In the present embodiment, the metal container 13b is formed in an annular shape. The metal container 13b is formed using Kovar. The thermal expansion coefficient of the metal container 13b is substantially equal to the thermal expansion coefficient of the glass container 13a. The vacuum envelope 13 houses the cathode 11 and the anode target 12a, and is formed so that the anode extension 12b is exposed. The vacuum envelope 13 forms an annular space S between the anode extension portion 12b. A connection portion between the glass container 13a and the metal container 13b also forms a space S.

上記のように、真空外囲器13は、ガラス容器と金属容器と有し、ガラス容器と金属容器との接続部が空間Sを形成していればよく、種々変形可能である。例えば、真空外囲器13は、ガラス容器13aの一部をベリリウムで形成された他の金属容器に置き換えて形成されていてもよい。この場合、他の金属容器がX線透過窓として利用される。   As described above, the vacuum envelope 13 has a glass container and a metal container, and the connecting portion between the glass container and the metal container only needs to form the space S, and can be variously modified. For example, the vacuum envelope 13 may be formed by replacing a part of the glass container 13a with another metal container formed of beryllium. In this case, another metal container is used as the X-ray transmission window.

構造体2は、空間Sに位置している。構造体2は、円筒状に形成され、陽極延出部12bの外面に取り付けられ、陽極延出部12bに固定されている。構造体2は、陽極延出部12bの外面(外周面)に密接又は密着されている。例えば、構造体2を加熱して行う焼き嵌めを利用することにより、構造体2を陽極延出部12bの外面に密接させることができる。また、ろう付けを利用することにより、構造体2を陽極延出部12bの外面に密着させることができる。または、構造体2は、ねじ締結により陽極延出部12bに接合されていてもよい。この場合、構造体2に形成された雌ねじを陽極延出部12bに形成された雄ねじに締め付けることにより、構造体2を陽極延出部12bに連結することができる。   The structure 2 is located in the space S. The structure 2 is formed in a cylindrical shape, is attached to the outer surface of the anode extension portion 12b, and is fixed to the anode extension portion 12b. The structure 2 is closely or in close contact with the outer surface (outer peripheral surface) of the anode extension 12b. For example, the structure 2 can be brought into close contact with the outer surface of the anode extension portion 12b by using shrink fitting performed by heating the structure 2. Further, by utilizing brazing, the structure 2 can be brought into close contact with the outer surface of the anode extension portion 12b. Or the structure 2 may be joined to the anode extension part 12b by screw fastening. In this case, the structure 2 can be connected to the anode extension 12b by tightening the female screw formed on the structure 2 to the male screw formed on the anode extension 12b.

構造体2は、電気絶縁性を有する材料や、金属等の導電性を有する材料を利用して形成することができる。この実施形態において、構造体2は、電気絶縁性を有する材料として、例えば樹脂を利用して形成されている。なお、金属を利用して構造体2を形成する場合、構造体2は、陽極延出部12bを形成する材料(銅又は銅合金)の熱膨張率より小さい熱膨張率を有する金属で形成されている方が望ましい。   The structure 2 can be formed using an electrically insulating material or a conductive material such as a metal. In this embodiment, the structure 2 is formed using, for example, a resin as a material having electrical insulation. In addition, when forming the structure 2 using a metal, the structure 2 is formed with the metal which has a thermal expansion coefficient smaller than the thermal expansion coefficient of the material (copper or copper alloy) which forms the anode extension part 12b. It is desirable to have.

構造体2は、空間Sの容積を減少させるものである。構造体2とガラス容器13aとの間の隙間は1mm以下である方が望ましい。なお、上記隙間の少なくとも一部が0mmとなってもよい。   The structure 2 reduces the volume of the space S. The gap between the structure 2 and the glass container 13a is preferably 1 mm or less. Note that at least a part of the gap may be 0 mm.

モールド部材3は、電気絶縁性及びゴム弾性を有する材料を利用して形成されている。モールド部材3は、真空外囲器13を埋め尽くし、空間Sに充填されている。モールド部材3は、ガラス容器13a、金属容器13b、構造体2及び陽極延出部12bに接着されている。   The mold member 3 is formed using a material having electrical insulation and rubber elasticity. The mold member 3 fills the space S by filling up the vacuum envelope 13. The mold member 3 is bonded to the glass container 13a, the metal container 13b, the structure 2, and the anode extension part 12b.

モールド部材3は、熱硬化型の樹脂等をベースとする材料を利用して形成することができる。本実施形態において、モールド部材3の熱伝導性及びX線遮蔽能の向上を図るため、モールド部材3は、シリコーンに無機物の微粒子を混合した材料を利用して形成されている。上記無機物の微粒子としては、シリコーンより熱伝導率の高い微粒子や、X線遮蔽能を有する微粒子を挙げることができる。   The mold member 3 can be formed using a material based on a thermosetting resin or the like. In this embodiment, in order to improve the thermal conductivity and X-ray shielding ability of the mold member 3, the mold member 3 is formed using a material in which inorganic fine particles are mixed with silicone. Examples of the inorganic fine particles include fine particles having higher thermal conductivity than silicone and fine particles having X-ray shielding ability.

上記のように、構造体2を利用して空間Sの容積を減少させているため、構造体2を利用しない場合と比べ、真空外囲器13の外側からガラス容器13a及び金属容器13bの接続部に作用する応力は緩和される。 Since the volume of the space S is reduced using the structure 2 as described above, the glass container 13a and the metal container 13b are connected from the outside of the vacuum envelope 13 as compared to the case where the structure 2 is not used. The stress acting on the part is relaxed.

ハウジング4は、固定部材4a、ハウジング本体4b及び蓋部4cを有し、X線管1、構造体2及びモールド部材3を取り囲んでいる。蓋部4cは、ハウジング本体4bに形成された開口(注入口)を閉塞している。なお、ハウジング4は、必要に応じて蓋部4cを利用すればよい。   The housing 4 includes a fixing member 4a, a housing main body 4b, and a lid portion 4c, and surrounds the X-ray tube 1, the structure 2 and the mold member 3. The lid 4c closes an opening (injection port) formed in the housing body 4b. Note that the housing 4 may use the lid 4c as necessary.

固定部材4aは、空間Sを維持している。固定部材4aは固定面4sを含んでいる。固定面4sは、陽極延出部12bの端部が固定され、陽極延出部12bの端面より大きい面積を有している。固定部材4aは板状に形成されている。この実施形態において、固定部材4aは円盤状に形成されている。固定部材4aは、熱伝導性及び電気絶縁性を有する材料として、例えば電気絶縁性のセラミックスを利用して形成されている。
なお、本実施形態のように陽極12が接地されている場合、固定部材4aは、熱伝導性及び導電性を有する材料として、例えばアルミニウムやアルミニウム合金を利用して形成されていてもよい。
The fixing member 4a maintains the space S. The fixing member 4a includes a fixing surface 4s. The fixed surface 4s has an area larger than the end surface of the anode extension part 12b, with the end part of the anode extension part 12b fixed. The fixing member 4a is formed in a plate shape. In this embodiment, the fixing member 4a is formed in a disk shape. The fixing member 4a is formed using, for example, electrically insulating ceramics as a material having thermal conductivity and electrical insulation.
When the anode 12 is grounded as in the present embodiment, the fixing member 4a may be formed using, for example, aluminum or an aluminum alloy as a material having thermal conductivity and conductivity.

ハウジング本体4bは、筒の一端が閉塞された形状である有底筒状に形成されている。ハウジング本体4bの他端は固定部材4aで閉塞されている。ハウジング本体4bは、固定部材4aと異なる材料を利用して形成可能である。本実施形態において、ハウジング本体4bは、樹脂で形成されている。なお、ハウジング本体4bは、X線透過性を有する金属や、X線遮蔽能を有する金属で形成することも可能である。後者の場合、ハウジング本体4bは、少なくとも開口であるX線放射口を有している。上記X線放射口は、例えばX線透過性を有するX線透過窓で閉塞されていてもよい。   The housing body 4b is formed in a bottomed cylindrical shape having a shape in which one end of the cylinder is closed. The other end of the housing body 4b is closed with a fixing member 4a. The housing body 4b can be formed using a material different from that of the fixing member 4a. In the present embodiment, the housing body 4b is made of resin. The housing body 4b can also be formed of a metal having X-ray permeability or a metal having X-ray shielding ability. In the latter case, the housing body 4b has at least an X-ray emission port that is an opening. The X-ray emission port may be closed by an X-ray transmission window having X-ray transparency, for example.

上記のように、本実施形態において、シリコーンにX線遮蔽能を有する無機物の微粒子を混合した材料を利用してモールド部材3が形成されている。このため、X線管装置は、隔壁部材5を備えている。隔壁部材5は、枠状(例えば、環状)に形成され、X線管1(真空外囲器13)とハウジング4との間に位置している。例えば、隔壁部材5は、それぞれ真空外囲器13の外面とハウジング4の内面とに密接している。ここでは、隔壁部材5は、ハウジング4の内面に密着し、真空外囲器13の外面密接している。
本実施形態において、隔壁部材5は、電気絶縁材料である樹脂で形成されている。X線管装置の耐電圧特性に支障がない場合、隔壁部材5は、導電材料で形成されていてもよい。
As described above, in this embodiment, the mold member 3 is formed using a material in which inorganic fine particles having X-ray shielding ability are mixed with silicone. For this reason, the X-ray tube apparatus includes a partition member 5. The partition member 5 is formed in a frame shape (for example, an annular shape), and is located between the X-ray tube 1 (vacuum envelope 13) and the housing 4. For example, the partition member 5 is in close contact with the outer surface of the vacuum envelope 13 and the inner surface of the housing 4. Here, the partition member 5 is in close contact with the inner surface of the housing 4 and in close contact with the outer surface of the vacuum envelope 13.
In the present embodiment, the partition member 5 is formed of a resin that is an electrically insulating material. When there is no hindrance to the withstand voltage characteristics of the X-ray tube apparatus, the partition member 5 may be formed of a conductive material.

また、隔壁部材5は、所望のX線を取り出すための領域を囲んでいる。隔壁部材5は、X線管1(真空外囲器13)とハウジング4との間にモールド部材3が充填されない空間(X線が遮蔽されない空間、又はX線量を減衰させない空間)を形成するためのものである。言うまでもないが、モールド部材3は、隔壁部材5、真空外囲器13及びハウジング4で囲まれた空間には形成されていない。
上記のように、X線管装置は形成されている。
The partition member 5 surrounds a region for extracting desired X-rays. The partition member 5 forms a space (a space where the X-ray is not shielded or a space where the X-ray dose is not attenuated) between the X-ray tube 1 (vacuum envelope 13) and the housing 4 that is not filled with the mold member 3. belongs to. Needless to say, the mold member 3 is not formed in the space surrounded by the partition wall member 5, the vacuum envelope 13 and the housing 4.
As described above, the X-ray tube apparatus is formed.

上記X線管装置の動作では、電子ビームが陽極ターゲット12aに衝突し、陽極ターゲット12aはX線を発生させる。X線は、真空外囲器13及びハウジング4を透過してハウジング4の外部に放射される。陽極ターゲット12aで発生した熱は、陽極延出部12bを伝導し、X線管1の外部に放出される。本実施形態において、上記熱は、少なくとも固定部材4aを介してX線管1の外部に放出される。   In the operation of the X-ray tube apparatus, the electron beam collides with the anode target 12a, and the anode target 12a generates X-rays. X-rays pass through the vacuum envelope 13 and the housing 4 and are emitted to the outside of the housing 4. The heat generated in the anode target 12 a is conducted through the anode extension portion 12 b and released to the outside of the X-ray tube 1. In the present embodiment, the heat is released to the outside of the X-ray tube 1 through at least the fixing member 4a.

例えば、X線管装置が絶縁油(冷却液)に浸っている場合、固定部材4aに伝達された熱は、絶縁油に伝達され、ひいては外気に放射される。X線管装置が電気絶縁性の樹脂モールド部材で埋め尽くされている場合、固定部材4aに伝達された熱は、樹脂モールド部材に伝達され、ひいては外気に放射される。X線管装置が外気にさらされている場合、固定部材4aに伝達された熱は、外気に放射される。何れの場合であっても、固定部材4aに電気絶縁性の材料又は導電性の材料で形成されたラジエータを取り付けることにより、X線管1からX線管1の外部への熱の移動を促進することができる。例えば、ラジエータは、熱伝導特性及び耐電圧特性に優れたセラミックスを利用して形成することができる。   For example, when the X-ray tube apparatus is immersed in insulating oil (coolant), the heat transmitted to the fixing member 4a is transmitted to the insulating oil and is radiated to the outside air. When the X-ray tube device is filled with an electrically insulating resin mold member, the heat transmitted to the fixing member 4a is transmitted to the resin mold member and is radiated to the outside. When the X-ray tube device is exposed to the outside air, the heat transferred to the fixing member 4a is radiated to the outside air. In any case, heat transfer from the X-ray tube 1 to the outside of the X-ray tube 1 is promoted by attaching a radiator formed of an electrically insulating material or a conductive material to the fixing member 4a. can do. For example, the radiator can be formed using ceramics having excellent heat conduction characteristics and withstand voltage characteristics.

次に、本実施形態に係るX線管装置の製造方法について説明する。
図2に示すように、X線管装置の製造が開始すると、まず、陰極11と、陽極12と、第1ガラス容器13a1と、第2ガラス容器13a2と、金属容器13bと、を用意する。続いて、第2ガラス容器13a2と金属容器13bとを気密に接続した組合せ部材を形成し、その後、金属容器13bを陽極ターゲット12aにろう付けする。なお、上記ろう付けを妨げないため、構造体2と陽極延出部12bとは別部材で形成される。また、溶接により、第1ガラス容器13a1と、第2ガラス容器13a2とを気密に接続する。なお、第1ガラス容器13a1及び第2ガラス容器13a2を、金属部材等を介して間接に接続してもよい。これにより、陰極11と、陽極12と、真空外囲器13とが一体となったX線管1が形成される。次いで、構造体2を用意し、構造体2を陽極延出部12bの外面に取り付ける。
Next, a method for manufacturing the X-ray tube apparatus according to this embodiment will be described.
As shown in FIG. 2, when the manufacture of the X-ray tube apparatus is started, first, a cathode 11, an anode 12, a first glass container 13a1, a second glass container 13a2, and a metal container 13b are prepared. Subsequently, a combination member in which the second glass container 13a2 and the metal container 13b are hermetically connected is formed, and then the metal container 13b is brazed to the anode target 12a. In addition, in order not to prevent the brazing, the structure 2 and the anode extension portion 12b are formed as separate members. Moreover, the 1st glass container 13a1 and the 2nd glass container 13a2 are connected airtightly by welding. In addition, you may connect the 1st glass container 13a1 and the 2nd glass container 13a2 indirectly through a metal member etc. As a result, the X-ray tube 1 in which the cathode 11, the anode 12, and the vacuum envelope 13 are integrated is formed. Next, the structure 2 is prepared, and the structure 2 is attached to the outer surface of the anode extension portion 12b.

図3に示すように、続いて、陽極延出部12bの端部を固定部材4aに固定し、隔壁部材5をハウジング本体4bの内面に密着する。その後、固定部材4aとハウジング本体4bとを接続する。これにより、構造体2が取り付けられたX線管1及び隔壁部材5を収容し、蓋部4cが形成されていないハウジング4が形成される。   As shown in FIG. 3, subsequently, the end of the anode extension portion 12b is fixed to the fixing member 4a, and the partition member 5 is brought into close contact with the inner surface of the housing body 4b. Thereafter, the fixing member 4a and the housing body 4b are connected. Thereby, the X-ray tube 1 to which the structure 2 is attached and the partition member 5 are accommodated, and the housing 4 in which the lid portion 4c is not formed is formed.

次いで、真空チャンバ内にハウジング4を搬入し、ハウジング4を鉛直に立てる。この状態では、陰極11の方が陽極12より鉛直上方に位置している。その後、真空チャンバ内を真空排気する。そして、真空雰囲気中において、ハウジング本体4bの開口(注入口)から、シリコーンに無機物の微粒子を混合した熱硬化型の材料を、ハウジング4の内部に充填する。空間Sにも上記材料は良好に充填される。   Next, the housing 4 is carried into the vacuum chamber, and the housing 4 is set up vertically. In this state, the cathode 11 is positioned vertically above the anode 12. Thereafter, the inside of the vacuum chamber is evacuated. In a vacuum atmosphere, the inside of the housing 4 is filled with a thermosetting material in which inorganic fine particles are mixed with silicone through the opening (injection port) of the housing body 4b. The material is satisfactorily filled in the space S as well.

続いて、ハウジング4の内部に充填された材料を加熱し、硬化させる。これにより、上記材料を利用することにより、真空外囲器13を埋め尽くしたモールド部材3が形成される。モールド部材3は、X線管1、構造体2、固定部材4a、ハウジング本体4b及び隔壁部材5に接着される。モールド部材3は、ガラス容器13aと金属容器13bとの接続部にも接着される。その後、ハウジング本体4bの開口を蓋部4cで閉塞する。   Subsequently, the material filled in the housing 4 is heated and cured. Thereby, the mold member 3 in which the vacuum envelope 13 is completely filled is formed by using the above material. The mold member 3 is bonded to the X-ray tube 1, the structure 2, the fixing member 4 a, the housing body 4 b and the partition member 5. The mold member 3 is also bonded to the connecting portion between the glass container 13a and the metal container 13b. Thereafter, the opening of the housing body 4b is closed by the lid portion 4c.

上記のように、本実施形態において、真空雰囲気中でモールド部材3を形成したが、これに限定されるものではない。空間Sに上記材料を充填することができればよく、大気中でモールド部材3を形成してもよい。   As mentioned above, in this embodiment, although the mold member 3 was formed in the vacuum atmosphere, it is not limited to this. The mold member 3 may be formed in the atmosphere as long as the material can be filled into the space S.

ここで、モールド部材3は、硬化した後に常温まで冷却されるが、この冷却により収縮することで、X線管に作用する応力を発生することになる。しかしながら、構造体2で空間Sの容積を減少させた分、上記応力は緩和される。例えば、ガラス容器13a及び金属容器13bの接続部への応力の集中は緩和される。
これにより、X線管装置の製造は終了する。
Here, the mold member 3 is cooled to room temperature after being cured, but contracts due to this cooling, thereby generating stress acting on the X-ray tube. However, the stress is relieved as the volume of the space S is reduced by the structure 2. For example, the concentration of stress on the connection portion between the glass container 13a and the metal container 13b is alleviated.
Thereby, the manufacture of the X-ray tube apparatus is completed.

上記のように構成された一実施形態に係るX線管装置及びその製造方法によれば、X線管装置は、X線管1、構造体2及びモールド部材3を備えている。X線管1は、陰極11と、陽極12と、真空外囲器13と、を有している。真空外囲器13は、陽極延出部12bとの間に空間Sを形成している。
構造体2は、空間Sに位置し、空間Sの容積を減少させている。モールド部材3は、電気絶縁性及びゴム弾性を有し、真空外囲器13を埋め尽くしている。モールド部材3は、空間Sに充填され、少なくともガラス容器13a、金属容器13b及び構造体2に接着されている。
According to the X-ray tube apparatus and the manufacturing method thereof according to the embodiment configured as described above, the X-ray tube apparatus includes the X-ray tube 1, the structure 2, and the mold member 3. The X-ray tube 1 includes a cathode 11, an anode 12, and a vacuum envelope 13. The vacuum envelope 13 forms a space S between itself and the anode extension 12b.
The structure 2 is located in the space S and reduces the volume of the space S. The mold member 3 has electrical insulation and rubber elasticity, and fills the vacuum envelope 13. The mold member 3 is filled in the space S and bonded to at least the glass container 13a, the metal container 13b, and the structure 2.

構造体2を利用することにより、構造体2を利用しない場合と比べ、真空外囲器13の外側からガラス容器13a及び金属容器13bの接続部に作用する応力を緩和する(弱める)ことができる。すなわち、モールド部材3の冷却時に、モールド部材3は上記接続部に作用する応力を発生するが、構造体2で空間Sの容積を減少させた分、モールド部材3が上記接続部に作用する応力を緩和することができる。また、X線管装置を使用する度に、モールド部材3は膨張及び収縮するが、この場合も、上記接続部に作用する応力を緩和することができる。このため、真空外囲器13の破損を防止することができる。例えば、ガラス容器13aの割れや、ガラス容器13aと金属容器13bとの接続状態の解除の発生を防止することができる。   By using the structure 2, compared to the case where the structure 2 is not used, the stress acting on the connection portion of the glass container 13 a and the metal container 13 b from the outside of the vacuum envelope 13 can be relaxed (weakened). . That is, when the mold member 3 is cooled, the mold member 3 generates a stress that acts on the connection portion. However, the stress that the mold member 3 acts on the connection portion corresponding to the reduction of the volume of the space S in the structure 2. Can be relaxed. Further, each time the X-ray tube device is used, the mold member 3 expands and contracts, but in this case as well, the stress acting on the connecting portion can be relaxed. For this reason, damage to the vacuum envelope 13 can be prevented. For example, generation | occurrence | production of the crack of the glass container 13a and cancellation | release of the connection state of the glass container 13a and the metal container 13b can be prevented.

また、X線管装置は、ハウジング4と、隔壁部材5とをさらに備えている。このため、ハウジング4及び隔壁部材5を、モールド部材3の永久型枠として利用することができる。なお、モールド部材3は、ハウジング4及び隔壁部材5に永久接着される。
さらに、X線管装置が隔壁部材5を利用することにより、X線管1とハウジング4との間にモールド部材3が充填されない空間を形成することができる。このため、上記のように、シリコーンにX線遮蔽能を有する無機物の微粒子を混合した材料等を利用してモールド部材3を形成することができる。これにより、ハウジング4の外側に、鉛等の有害物質を利用して形成されたX線遮蔽部材を配置すること無く、X線管装置を利用することができる。又は、ハウジング4の外側にX線遮蔽部材を配置する場合であっても、X線遮蔽部材に使用する鉛等の有害物質の使用量を削減することができる。
上記のことから、真空外囲器13の破損を防止することができるX線管装置及びその製造方法を得ることができる。
The X-ray tube apparatus further includes a housing 4 and a partition member 5. For this reason, the housing 4 and the partition member 5 can be used as a permanent mold of the mold member 3. The mold member 3 is permanently bonded to the housing 4 and the partition member 5.
Furthermore, when the X-ray tube apparatus uses the partition member 5, a space in which the mold member 3 is not filled can be formed between the X-ray tube 1 and the housing 4. Therefore, as described above, the mold member 3 can be formed using a material in which inorganic fine particles having X-ray shielding ability are mixed with silicone. Thereby, the X-ray tube device can be used without disposing an X-ray shielding member formed using a harmful substance such as lead outside the housing 4. Or even when it is a case where an X-ray shielding member is arrange | positioned outside the housing 4, the usage-amount of harmful substances, such as lead used for an X-ray shielding member, can be reduced.
From the above, it is possible to obtain an X-ray tube apparatus that can prevent the vacuum envelope 13 from being damaged and a method for manufacturing the same.

本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上記実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although the embodiment of the present invention has been described, the above embodiment is presented as an example, and is not intended to limit the scope of the invention. The novel embodiment can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. The above-described embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and equivalents thereof.

例えば、構造体2は、空間Sに位置し、空間Sの容積を縮小するものであればよい。構造体2は、陽極延出部12bに取り付けられていなくともよい。
陽極延出部12bを固定部材4aに固定する手段としては、ねじ結合を利用することが望ましい。この場合、陽極延出部12bの端部と、固定部材4aとに直にねじ加工を施したり、スタッドボルトを利用したりすることにより、ねじ結合を行うことができる。なお、陽極延出部12bの端面と固定面4sとの密着度を高めるための層を、陽極延出部12bの端面と固定面4sとの間に介在させてもよい。
For example, the structure 2 may be any structure that is located in the space S and reduces the volume of the space S. The structure 2 may not be attached to the anode extension part 12b.
As means for fixing the anode extending portion 12b to the fixing member 4a, it is desirable to use screw coupling. In this case, screw connection can be performed by directly threading the end portion of the anode extension portion 12b and the fixing member 4a or using a stud bolt. Note that a layer for increasing the degree of adhesion between the end surface of the anode extension portion 12b and the fixed surface 4s may be interposed between the end surface of the anode extension portion 12b and the fixing surface 4s.

陽極12は接地されていてもよいが、陽極12に高電圧印加を印加し、陽極12を高電位に設定してもよい。
モールド部材3を形成する際、ハウジング4等を鉛直に立てた状態で行ったが、ハウジング4等の姿勢はこれに限定されるものではなく、種々変形可能である。
Although the anode 12 may be grounded, a high voltage application may be applied to the anode 12 to set the anode 12 to a high potential.
When forming the mold member 3, the housing 4 and the like are standing vertically, but the posture of the housing 4 and the like is not limited to this, and various modifications can be made.

X線管装置は、ハウジング4よりサイズが大きくハウジング4等を収容する他のハウジングをさらに備えていてもよい。この場合、ハウジング4と他のハウジングとの間の空間には、絶縁油(冷却液)又は電気絶縁性の樹脂モールド部材が充填されていてもよい。例えば、X線管装置は、モノブロックまたはモノタンク等と呼ばれるX線管装置であってもよい。
(上記実施形態の変形例1)
図4に示すX線管装置は、一般にモノブロックまたはモノタンク等と呼ばれる高電圧発生器と一体化された一体型固定陽極型X線管装置である。X線管装置は、例えば図1に示した部材の他、高電圧発生器20、絶縁油30、ハウジング40、低圧用ケーブル50、高圧用ケーブル60、フィラメント用ケーブル70、X線遮蔽材80、及びラジエータ90を備えている。ここでは、X線管1の陽極12に高電圧が印加される。固定部材4aは、熱伝導性及び電気絶縁性を有している。
The X-ray tube apparatus may further include another housing that is larger than the housing 4 and accommodates the housing 4 and the like. In this case, the space between the housing 4 and another housing may be filled with insulating oil (cooling liquid) or an electrically insulating resin mold member. For example, the X-ray tube device may be an X-ray tube device called a monoblock or a mono tank.
(Modification 1 of the above embodiment)
The X-ray tube apparatus shown in FIG. 4 is an integrated fixed anode X-ray tube apparatus integrated with a high voltage generator generally called a monoblock or a monotank. The X-ray tube device includes, for example, the members shown in FIG. And a radiator 90. Here, a high voltage is applied to the anode 12 of the X-ray tube 1. The fixing member 4a has thermal conductivity and electrical insulation.

ハウジング40は、図1に示したハウジング4等と、高電圧発生器2とを収容している。X線管1から放射されるX線は、ハウジング4を透過した後、ハウジング40の放射窓41を透過してハウジング40の外部に取り出される。ここでは、ハウジング40は、導電材料により形成され、接地電位に固定されている。なお、図示しないが、ハウジング4の外壁には、例えば多数のフィン状のヒートシンクである放熱板が取り付けられていてもよい。   The housing 40 accommodates the housing 4 shown in FIG. 1 and the high voltage generator 2. X-rays radiated from the X-ray tube 1 pass through the housing 4, pass through the radiation window 41 of the housing 40, and are taken out of the housing 40. Here, the housing 40 is formed of a conductive material and is fixed to the ground potential. In addition, although not shown in figure, the heat sink which is many fin-shaped heat sinks may be attached to the outer wall of the housing 4, for example.

また、ハウジング40の内面には、X線遮蔽材80が取り付けられている。上述したように、モールド部材3はX線遮蔽能を有するため、X線遮蔽材80に使用する鉛等の有害物質の使用量を削減することができる。又は、X線管装置は、X線遮蔽材80を利用すること無しに形成することもできる。   An X-ray shielding material 80 is attached to the inner surface of the housing 40. As described above, since the mold member 3 has X-ray shielding ability, the amount of harmful substances such as lead used for the X-ray shielding material 80 can be reduced. Alternatively, the X-ray tube device can be formed without using the X-ray shielding material 80.

ラジエータ90は、固定部材4aに取り付けられている。ラジエータ90は、例えば熱伝導特性及び耐電圧特性に優れたセラミックスを利用して形成することができる。ラジエータ90は、複数枚の円盤状のフィンを有している。ラジエータ90は、耐電圧を有することから、ハウジング40との絶縁距離を低減することができる。ラジエータ90のサイズを大きくし、絶縁油30との接触面積を大きくすることができるため、冷却効率の増大を図ることができる。   The radiator 90 is attached to the fixing member 4a. The radiator 90 can be formed using, for example, ceramics having excellent heat conduction characteristics and withstand voltage characteristics. The radiator 90 has a plurality of disc-shaped fins. Since the radiator 90 has a withstand voltage, the insulation distance from the housing 40 can be reduced. Since the size of the radiator 90 can be increased and the contact area with the insulating oil 30 can be increased, the cooling efficiency can be increased.

高電圧発生器20は、例えば、高圧トランス、フィラメント用トランスを備え、低圧用ケーブル50を通した低圧の交流入力から高電圧を生成する。また、高電圧発生器20は、高圧用ケーブル60を通して陽極12に所望の高電圧を供給し、フィラメント用ケーブル70を通して陰極11側に所要の電圧及び電流を供給する。   The high voltage generator 20 includes, for example, a high voltage transformer and a filament transformer, and generates a high voltage from a low voltage AC input through the low voltage cable 50. The high voltage generator 20 supplies a desired high voltage to the anode 12 through the high voltage cable 60 and supplies a required voltage and current to the cathode 11 side through the filament cable 70.

絶縁油30は、ハウジング4と、高電圧発生器20と、ハウジング40との間の空間に充填されている。なお、ハウジング4と、高電圧発生器20と、ハウジング40との間の空間には、絶縁油30の替わりに、電気絶縁性の樹脂モールド部材が充填されていてもよい。   The insulating oil 30 is filled in a space between the housing 4, the high voltage generator 20, and the housing 40. The space between the housing 4, the high voltage generator 20, and the housing 40 may be filled with an electrically insulating resin mold member instead of the insulating oil 30.

また、X線管装置は、ハウジング4無しに形成されていてもよい。
(上記実施形態の変形例2)
例えば、図5に示すように、図示したX線管装置は、ハウジング4及び隔壁部材5を除いた点以外、図1に示したX線管装置と同様に形成されている。モールド部材3を形成する際は、ハウジング4及び隔壁部材5の替わりに、型枠(冶具)を利用することができる。この場合、モールド部材3は型枠に接着し得る。しかしながら、X線管装置は、構造体2を備えている。このため、モールド部材3がガラス容器13a及び金属容器13bの接続部に作用する応力を緩和することができる。
Further, the X-ray tube device may be formed without the housing 4.
(Modification 2 of the above embodiment)
For example, as shown in FIG. 5, the illustrated X-ray tube device is formed in the same manner as the X-ray tube device shown in FIG. 1 except that the housing 4 and the partition wall member 5 are excluded. When forming the mold member 3, a mold (a jig) can be used instead of the housing 4 and the partition wall member 5. In this case, the mold member 3 can be bonded to the mold. However, the X-ray tube apparatus includes the structure 2. For this reason, the stress which the mold member 3 acts on the connection part of the glass container 13a and the metal container 13b can be relieved.

モールド部材3は、X線遮蔽能を有していなくともよい。
(上記実施形態の変形例3)
図6に示すように、X線管装置は、X線遮蔽能を有していないモールド部材3で形成され、隔壁部材5無しに形成されている点以外、図1に示したX線管装置と同様に形成されている。なお、図6に示したX線管装置は、ハウジング4無しに形成されていてもよい。
The mold member 3 may not have the X-ray shielding ability.
(Modification 3 of the above embodiment)
As shown in FIG. 6, the X-ray tube apparatus is formed of a mold member 3 that does not have an X-ray shielding ability and is formed without a partition member 5. It is formed in the same way. The X-ray tube apparatus shown in FIG. 6 may be formed without the housing 4.

上述した実施形態は、上述したX線管装置及びその製造方法に限定されるものではなく、各種のX線管装置及びその製造方法に適用可能である。   The above-described embodiments are not limited to the above-described X-ray tube apparatus and manufacturing method thereof, and can be applied to various X-ray tube apparatuses and manufacturing methods thereof.

1…X線管、2…構造体、3…モールド部材、4…ハウジング、4a…固定部材、4s…固定面、11…陰極、12…陽極、12a…陽極ターゲット、12b…陽極延出部、13…真空外囲器、13a…ガラス容器、13b…金属容器、S…空間   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... X-ray tube, 2 ... Structure, 3 ... Mold member, 4 ... Housing, 4a ... Fixed member, 4s ... Fixed surface, 11 ... Cathode, 12 ... Anode, 12a ... Anode target, 12b ... Anode extension part, 13 ... Vacuum envelope, 13a ... Glass container, 13b ... Metal container, S ... Space

Claims (7)

電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝撃することによりX線を放出する陽極ターゲット及び前記陽極ターゲットに接続された陽極延出部を有した陽極と、ガラス容器並びに前記ガラス容器及び陽極に接続された金属容器を有し前記陰極及び陽極ターゲットを収納し前記陽極延出部が露出するように形成され前記陽極延出部との間に空間を形成した真空外囲器と、を有したX線管と、
前記空間に位置した構造体と、
電気絶縁性及びゴム弾性を有し、前記真空外囲器を埋め尽くし、前記空間に充填され、前記ガラス容器、金属容器及び構造体に接着されたモールド部材と、を備えているX線管装置。
A cathode that emits electrons, an anode target that emits X-rays by impact of electrons emitted from the cathode, an anode having an anode extension connected to the anode target, a glass container, and the glass container And a vacuum envelope having a metal container connected to the anode, containing the cathode and the anode target, and formed so as to expose the anode extension, and forming a space between the anode extension, An X-ray tube having
A structure located in the space;
An X-ray tube device having an electrical insulating property and rubber elasticity, filling the vacuum envelope, filling the space, and a mold member bonded to the glass container, metal container, and structure .
前記陽極延出部は、円柱状に形成され、
前記空間は、環状であり、
前記構造体は、円筒状に形成され、前記陽極延出部の外面に取り付けられている請求項1に記載のX線管装置。
The anode extension is formed in a columnar shape,
The space is annular;
The X-ray tube apparatus according to claim 1, wherein the structure is formed in a cylindrical shape and attached to an outer surface of the anode extension portion.
前記構造体は、電気絶縁性を有する樹脂で形成されている請求項1に記載のX線管装置。   The X-ray tube apparatus according to claim 1, wherein the structure is made of an electrically insulating resin. 前記陽極延出部は、銅又は銅合金で形成され、
前記構造体は、前記陽極延出部の外面に密接又は密着され、前記陽極延出部を形成する材料の熱膨張率より小さい熱膨張率を有する金属で形成されている請求項1に記載のX線管装置。
The anode extension is formed of copper or a copper alloy,
The said structure is closely or closely_contact | adhered to the outer surface of the said anode extension part, and is formed with the metal which has a thermal expansion coefficient smaller than the thermal expansion coefficient of the material which forms the said anode extension part. X-ray tube device.
前記陽極延出部の端部が固定され前記陽極延出部の端面より面積の大きい固定面を含み前記空間を維持した固定部材を有し、前記X線管、構造体及びモールド部材を取り囲んだハウジングをさらに備えている請求項1に記載のX線管装置。   An end portion of the anode extension portion is fixed, and includes a fixing member including a fixing surface having a larger area than the end surface of the anode extension portion and maintaining the space, and surrounds the X-ray tube, the structure, and the mold member The X-ray tube apparatus according to claim 1, further comprising a housing. 前記陽極に高電圧が印加され、
前記固定部材は、熱伝導性及び電気絶縁性を有している請求項5に記載のX線管装置。
A high voltage is applied to the anode;
The X-ray tube apparatus according to claim 5, wherein the fixing member has thermal conductivity and electrical insulation.
前記陽極は接地され、
前記固定部材は、熱伝導性を有している請求項5に記載のX線管装置。
The anode is grounded;
The X-ray tube apparatus according to claim 5, wherein the fixing member has thermal conductivity.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017026140A1 (en) * 2015-08-10 2017-02-16 東芝電子管デバイス株式会社 X-ray tube, x-ray tube device, and method for manufacturing x-ray tube
WO2019217055A1 (en) * 2018-05-10 2019-11-14 Moxtek, Inc. X-ray source
CN111554556A (en) * 2020-05-18 2020-08-18 上海联影医疗科技有限公司 X-ray tube and medical imaging apparatus
WO2024125309A1 (en) * 2022-12-16 2024-06-20 北京大学 X-ray tube for irradiation and x-ray source for irradiation thereof, and irradiation device
WO2024154219A1 (en) * 2023-01-17 2024-07-25 株式会社アールエフ X-ray generation device

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017026140A1 (en) * 2015-08-10 2017-02-16 東芝電子管デバイス株式会社 X-ray tube, x-ray tube device, and method for manufacturing x-ray tube
US10636613B2 (en) 2015-08-10 2020-04-28 Canon Electron Tubes & Devices Co., Ltd. X-ray tube, X-ray tube device, and method of manufacturing X-ray tube device
WO2019217055A1 (en) * 2018-05-10 2019-11-14 Moxtek, Inc. X-ray source
US10964507B2 (en) 2018-05-10 2021-03-30 Moxtek, Inc. X-ray source voltage shield
US11195687B2 (en) 2018-05-10 2021-12-07 Moxtek, Inc. X-ray source voltage shield
US11545333B2 (en) 2018-05-10 2023-01-03 Moxtek, Inc. X-ray source voltage shield
CN111554556A (en) * 2020-05-18 2020-08-18 上海联影医疗科技有限公司 X-ray tube and medical imaging apparatus
CN111554556B (en) * 2020-05-18 2023-06-27 上海联影医疗科技股份有限公司 X-ray tube and medical imaging apparatus
WO2024125309A1 (en) * 2022-12-16 2024-06-20 北京大学 X-ray tube for irradiation and x-ray source for irradiation thereof, and irradiation device
WO2024154219A1 (en) * 2023-01-17 2024-07-25 株式会社アールエフ X-ray generation device

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