JP2015175422A - 案内レール、転がり軸受案内装置 - Google Patents

Abstract

【課題】案内レールの温度上昇又は低下を十分に防止し、案内レールの精度の低下を防ぐことができる転がり軸受案内装置用の案内レール、及び当該案内レールを備えた転がり軸受案内装置を提供する。
【解決手段】転がり軸受案内装置用の案内レール（２）が、温度調整用の熱媒体の流路を有するものとする。該流路は、転がり軸受の進行方向に案内レール本体（２ａ）を貫通して形成された熱媒管（８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ）により構成され、該熱媒管は、有底溝（７ａ、７ｂ）に収容され、該有底溝は熱媒管に接触した蓋部材（９ａ、９ｂ）によって覆われる。
【選択図】図１

Description

本発明は、案内レールとスライダと転動体とを備え、各種ロボット、搬送装置、半導体製造装置などに用いられる転がり軸受案内装置に用いる案内レール及び転がり軸受案内装置に関する。

従来、転がり軸受案内装置として、直線状に延びる案内レールを有する直動案内装置と、曲線状の案内レールを有する曲線運動案内装置が知られている。

直動案内装置は、例えば、直線状の案内レールと、その案内レールを跨いで案内レールの長手方向に相対移動可能に跨嵌したスライダとからなり、そのスライダは、スライダ本体と、スライダの滑走時に前方又は後方となるスライダ本体の両端部に配置されたエンドキャップとを備えており、多数の転動体がスライダ内に形成された戻り路を循環しながら案内レールとスライダ本体との間の転動路を転動することにより、案内レールとスライダとの滑らかな相対移動を実現する。

曲線運動案内装置は、リング状その他の曲線状の案内レールと、曲線状の案内レール上を滑走可能に構成されたスライダと、転動体とからなる。

このような転がり軸受案内装置においては、温度の上昇により案内レールの精度が低下し、スライダも含め、軸受案内装置全体の機能低下が引き起こされることがある。

そこで、発生した熱を付帯する金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を防止し、機能低下を防ぐ直動案内装置がある（例えば、特許文献１）。

特開２００６−２８８１８８号公報

しかしながら、上記先行技術においては、温度条件によっては、案内レールの温度上昇又は温度低下を十分に防止することはできず、案内レールの精度の低下を防ぐことはできなかった。

このような課題に鑑みて、本発明は、案内レールの温度上昇又は低下を十分に防止し、案内レールの精度の低下を防ぐことができる転がり軸受案内装置用の案内レール、及び当該案内レールを備えた転がり軸受案内装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明では、
温度調整用の熱媒体の流路を有することを特徴とする転がり軸受案内装置用の案内レールを提供する。

好ましくは、前記流路は、転がり軸受の進行方向に案内レール全長にわたって設けてある。

また、好ましくは、前記流路は、熱媒管により形成されている。

また、好ましくは、前記熱媒管は、転がり軸受の進行方向に案内レール本体を貫通して形成された有底溝に収容されている。

また、好ましくは、前記有底溝は、前記熱媒管に接触した蓋部材によって覆われている。

また、好ましくは、全体形状が四角柱状をしており、
転がり軸受の進行方向に延びる角部にそれぞれ形成された一対の角部転動溝と、
転がり軸受の進行方向に延びる側部にそれぞれ形成された一対の側部転動溝と、を有し、
前記有底溝は、前記角部転動溝と前記側部転動溝との間に形成されている。

また、好ましくは、前記熱媒管は、案内レール本体に形成された貫通孔に収容されている。

また、上記課題を解決するために本発明では、
上記案内レールを備えたことを特徴とする転がり軸受案内装置を提供する。

好ましくは、前記熱媒体を循環させる循環装置を有する。

また、好ましくは、前記流路を２以上有し、前記熱媒体は、近接する前記流路の間で、互いに反対向きに循環する。

また、好ましくは、前記熱媒体は、熱伝導グリースである。

本発明によれば、案内レールの温度上昇又は低下を防止し、案内レールの精度の低下を防ぐことができる転がり軸受案内装置用の案内レール、及び当該案内レールを備えた転がり軸受案内装置を提供することができる。

本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置を示す斜視図である。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レール本体を示す斜視図である。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の温度調整機構を構成する部材を示す斜視図である。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レールの組立てを示す斜視図である。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の温度調整機構を示す拡大断面図である。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の熱媒体の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レールの側面と断面、（ｂ）は案内レールの上面、（ｃ）は案内レールの側面と断面、（ｄ）は案内レールの端面を示している。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の熱媒体の別の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レールの側面と断面、（ｂ）は案内レールの上面、（ｃ）は案内レールの側面と断面、（ｄ）は案内レールの端面を示している。 本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置の熱媒体の更に別の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レールの側面と断面、（ｂ）は案内レールの上面、（ｃ）は案内レールの側面と断面、（ｄ）は案内レールの端面を示している。 本願の第２実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レールを示す図である。（ａ）は案内レールの端面、（ｂ）は案内レールの端部の断面を示している。 本願の第３実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レールを示す図である。（ａ）は案内レールの端面、（ｂ）は案内レールの端部の断面を示している。 本願の第４実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レールの温度調整機構を示す拡大断面図である。

（第１実施形態）
本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１を図１ないし図８を参照しつつ説明する。図１は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１を示す斜視図である。

図１に示すように、転がり軸受案内装置１は、細長い四角柱状の案内レール２と、案内レール２を跨いで、案内レール２の長手方向に相対移動可能に跨嵌したスライダ３とから構成されている。転がり軸受案内装置１はあらゆる向きに取り付けることが可能であるため、本願においては、図１に示すように、転がり軸受案内装置１の案内レール２の長手方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向に対して垂直で、図１において上下となる方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向の双方に対して垂直な方向をＺ軸方向として説明する。また、本願においては、図１の上側を転がり軸受案内装置１の上側、図１の下側を転がり軸受案内装置１の下側として説明する。

案内レール２は、主要部を構成する金属製の案内レール本体２ａと、案内レール２の下部に配置された温度調整機構６ａ、６ｂとからなる。案内レール本体２ａには、Ｘ軸方向に延びる断面略円弧状の角部転動溝４ａ、４ｂ及び側部転動溝５ａ、５ｂが形成されている。側部転動溝５ａ、５ｂの底部には逃げ溝が形成されている。案内レール２は、用途に応じて長さを適宜選択することができる。案内レール２には、Ｙ軸方向に貫通した取付穴が複数形成されていても良い。

温度調整機構６ａ、６ｂは、Ｘ軸に垂直な断面が逆Ｕ字型をして案内レール本体２ａをＸ軸方向に貫通した有底溝７ａ、７ｂと、有底溝７ａ、７ｂ内に収容された熱媒管８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄと、有底溝７ａ、７ｂの開放部を覆う蓋部材９ａ、９ｂと、によって構成されている。案内レール２の温度調整は、熱媒管８ａないし８ｄの両端部に、熱媒体を循環させる循環装置を接続することで行うことができる。案内レール２を冷却する場合には熱媒管８ａないし８ｄに冷却剤を循環させ、案内レール２を加熱する場合には熱媒管８ａないし８ｄに加温剤を循環させる。

スライダ３は、金属製のスライダ本体３ａと、滑走時に先頭又は後尾となるスライダ本体３ａの面に取り付けられたエンドキャップ１０ａ、１０ｂと、エンドキャップ１０ａ、１０ｂを介してスライダ本体３ａに取り付けられたサイドシール１１ａ、１１ｂと、から構成されている。

図２は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の案内レール２の主要部を構成する案内レール本体２ａを示す斜視図である。

案内レール本体２ａの下部に形成された有底溝７ａの互いに対向する内側面の下端近傍には、それぞれ、Ｘ軸方向に延びる係止溝１２ａ、１２ｂが形成されている。また、有底溝７ｂの互いに対向する内側面の下端近傍には、それぞれ、Ｘ軸方向に延びる係止溝１２ｃ、１２ｄが形成されている。

図３は本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の温度調整機構６ａ、６ｂを構成する部材を示す斜視図である。熱媒管８、蓋部材９、熱伝導グリース１３を示している。

熱媒管８は、温度調整機構６ａ、６ｂをそれぞれ構成する熱媒管８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄとなる部材である。熱媒管８は、案内レール２と略同じ長さを有し、有底溝７ａ、７ｂに収容可能に細長く形成された円筒状の部材である。また、熱媒管８の内周面には、両端部から所定の範囲にわたって、熱媒体を循環させる機器を接続するための雌ネジ加工が施された雌ネジ部１４が形成されている。熱媒管８は、熱伝導性の高い材料で形成することが好ましい。例えば、熱媒管８は、銅から形成される。

蓋部材９は、温度調整機構６ａ、６ｂをそれぞれ構成する蓋部材９ａ、９ｂとなる部材である。蓋部材９は長細い板状をしており、長手方向に延びる両側面には、長手方向に延びる凸部１５ａ、１５ｂが全長にわたって形成されている。また、熱媒管８に接触する面には、熱媒管８の外周面に密着するように円弧状に凹んだ凹部１６が全長にわたって形成されている。蓋部材９は、転がり軸受案内装置１が使用される温度条件に応じて、金属や樹脂などの材料を用いることができる。

本実施形態においては、熱媒体として、熱伝導グリース１３を用いている。熱伝導グリース１３は、シリコンを主成分とするものが好ましい。ただし、熱媒体は、これに限らず、熱伝導の優れたものであればその他のものを用いることもできる。熱媒管８の材料を銅として、案内レール２の材料を一般的に用いられる構造用炭素鋼、ステンレス鋼などとした場合、熱媒管８は案内レール２より熱膨張率が高くなる。そのため、スライダ３が移動することによって発生する熱により、熱媒管８が膨張と収縮を繰り返し、熱媒管８が破損するおそれがある。しかし、シリコーンを主成分とする熱伝導グリース１３を用いた場合、熱電動グリース１３がクッションとなり、熱媒管８が破損するのを防ぐ作用があるため好ましい。

図４は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の案内レール２の組立てを示す図である。

案内レール２は次のように組み立てられる。案内レール本体２ａを形成した後、有底溝７ａ内に熱媒管８ａ及び８ｂを入れ、蓋部材９ａの凹部１６を熱媒管８ｂ側に向け、凸部１５ａ、１５ｂ（図３参照）を有底溝７ａに形成された係止溝１２ａ、１２ｂに嵌め込む。これと同様に、有底溝７ｂ内に熱媒管８ｃ及び８ｄを入れ、蓋部材９ｂの凹部１６を熱媒管８ｄ側に向け、凸部１５ａ、１５ｂを有底溝７ｂに形成された形成溝１２ｃ、１２ｄに嵌め込む。これにより、案内レール２が組み立てられる。

図５は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の温度調整機構６ａを示す拡大断面図である。温度調整機構６ａを、Ｘ軸と垂直な面で切断した断面を示している。なお、以下、温度調整機構６ａについて説明するが、温度調整機構６ｂも同様の構成をしている。

有底溝７ａと熱媒管８ａ、８ｂとはなるべく密着させた方が効率的に熱を交換することができる。したがって、本実施形態においては、有底溝７ａの底部を曲面とし、有底溝７ａと熱媒管８ａとが接触する面積を広くして、温度調整効果を高めている。また、熱媒管８ｂについては、有底溝７ａと直接接してはいないが、蓋部材９ａに形成した凹部１６により蓋部材９ａとの接触面積を広くすることで、熱媒管８ｂが蓋部材９ａを介して案内レール本体２ａとの間で熱を交換する構成とすることで、温度調整効果を高めている。なお、本実施形態の構成においては、製造を容易なものとしつつ温度調整効果の高い構成としてるが、更に温度調整効果を高めるためには、有底溝７ａと熱媒管８ａ、８ｂとがより密着する構成とすることもできる。例えば、有底溝７ａの底部と蓋部材９ａの熱媒管８ｂ側の面を平面にして熱媒管８ａを角筒としても良いし、有底溝７ａの側面を熱媒管８ａ、８ｂの外周面に接触する曲面状に形成しても良い。

図６は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の熱伝導グリース１３の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レール２の側面と断面、（ｂ）は案内レール２の上面、（ｃ）は案内レール２の（ａ）とは反対側の側面と断面、（ｄ）は案内レール２の端面を示し、図６全体として案内レール２の展開図を構成している。図６において、矢印は、参照符号の矢印を除き、熱伝導グリース１３の流れを示している。

本第１実施形態に係る転がり軸受案内装置１の温度調整機構６ａ、６ｂは、様々な熱伝導グリース１３の流し方を採用することが可能である。図６に示す熱伝導グリース１３の流し方の例では、熱媒管８ａないし８ｄの内部を同じ向きに熱伝導グリース１３を流している。熱伝導グリース１３は、熱媒管８ａないし８ｄに流入すると、熱媒管８ａないし８ｄを介して案内レール本体２ａと熱を交換するため、熱伝導グリース１３の温度は流出側に近づくにつれて案内レール本体２ａの温度に近くなる。したがって、この流し方の場合、案内レール２の一方の端部側が他方の端部側に比べて温度調整効果が高くなるため、案内レール２の一方の端部側と他方の端部側とで温度変化に違いが生じている場合に有効である。

図７は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受装置１の熱伝導グリース１３の別の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レール２の側面と断面、（ｂ）は案内レール２の上面、（ｃ）は案内レール２の（ａ）とは反対側の側面と断面、（ｄ）は案内レール２の端面を示し、図７全体として案内レール２の展開図を構成している。図７において、矢印は、参照符号の矢印を除き、熱伝導グリース１３の流れを示している。

図７に示す熱伝導グリース１３の流し方の例では、熱媒管８ａと８ｂにおいて同じ向きに熱伝導グリース１３を流し、熱媒管８ｃと８ｄにおいては熱媒管８ａと８ｂとは反対向きに熱伝導グリース１３を流している。この流し方においては、図６に示す流し方に比して、案内レール２の全体をより均一に温度調整することができる。しかし、案内レール２の両端部付近では、案内レール２の両側において温度調整効果に差が生じることとなる。つまり、図７（ａ）の上側に示す案内レール２の端部付近は熱伝導グリース１３が流出する側に配置されているため、温度調整効果が比較的高くないのに対し、図７（ｃ）の上側に示す案内レール２の端部付近は熱伝導グリース１３が流入する側に配置されているため、温度調整効果が高い。このことは、図７（ａ）、図７（ｃ）の下側に示す案内レール２の端部付近においても同様である。

図８は、本願の第１実施形態に係る転がり軸受装置１の熱伝導グリース１３の更に別の流し方を示す模式図である。（ａ）は案内レール２の側面と断面、（ｂ）は案内レール２の上面、（ｃ）は案内レール２の（ａ）とは反対側の側面と断面、（ｄ）は案内レール２の端面を示し、図８全体として案内レール２の展開図の一部を構成している。図８において、矢印は、参照符号の矢印を除き、熱伝導グリース１３の流れを示している。

図８に示す熱伝導グリース１３の流し方の例では、熱媒管８ａと８ｄにおいて同じ向きに熱伝導グリース１３を流し、熱媒管８ｂと８ｃにおいては熱媒管８ａ、８ｄとは反対向きに熱伝導グリース１３を流している。この流し方は、図６ないし図８に示す熱伝導グリース１３の流し方の中では、案内レール２の全体に最も均一に温度調整をすることができる。したがって、案内レール２の各部において温度変化の大きさの違いが小さいときには、この図８の流し方が有効である。

図６ないし図８を用いて熱伝導グリース１３の流し方を説明したが、熱伝導グリース１３の流し方はこれらに限らず、使用状況に応じてあらゆる流し方を採用することができる。

（第２実施形態）
図９は、本願の第２実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レール２２を示す図である。（ａ）は案内レール２２の端面、（ｂ）は案内レール２２の端部の断面を示している。本第２実施形態は、上記第１実施形態に対して温度調整機構のみが異なるため、重複する説明は省略し、以下、本第２実施形態の温度調整機構２６ａ、２６ｂについて説明する。

本第２実施形態に係る案内レール２２は、案内レール本体２２ａと、温度調整機構２６ａ、２６ｂとから構成されている。

案内レール本体２２ａは、長手方向に延びる断面略円弧状の角部転動溝２４ａ、２４ｂ及び側部転動溝２５ａ、２５ｂを備えている。

温度調整機構２６ａは、側部転動溝２５ａの近傍で案内レール本体２２ａの長手方向に貫通した貫通孔２７ａと、貫通孔２７ａ内に収容された熱媒管２８ａとから構成されている。これと同様に、温度調整機構２６ｂも、案内レール本体２２ａの長さ方向に貫通した貫通孔２７ｂと、貫通孔２７ｂ内に収容された熱媒管２８ｂとから構成されている。

熱媒管２８ａ、２８ｂの端部付近の内周面には雌ネジ加工が施されており、熱媒体を循環させる機器を接続するための継手２２０を螺合することができる。図９（ｂ）は案内レール２２を長手方向に切断した断面であり、熱媒管２８ａの端部に継手２２０を螺合した状態を示している。

（第３実施形態）
図１０は、本願の第３実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レール３２を示す図である。（ａ）は案内レール３２の端面、（ｂ）は案内レール３２の端部の断面を示している。本第３実施形態は、上記第１実施形態に対して温度調整機構のみが異なるため、重複する説明は省略し、以下、本第３実施形態の温度調整機構３６ａ、３６ｂについて説明する。

本第３実施形態に係る案内レール３２は、案内レール本体３２ａと、温度調整機構３６ａ、３６ｂとから構成されている。

案内レール本体３２ａは、長手方向に延びる断面略円弧状の角部転動溝３４ａ、３４ｂ及び側部転動溝３５ａ、３５ｂを備えている。

温度調整機構３６ａは、角部転動溝３４ａと側部転動溝３５ａとの間に形成された有底溝３７ａと、有底溝３７ａの内部に収容された熱媒管３８ａとから構成されている。また、温度調整機構３６ｂは、角部転動溝３４ｂと側部転動溝３５ｂとの間に形成された有底溝３７ｂと、有底溝３７ｂの内部に収容された熱媒管３８ｂとから構成されている。

熱媒管３８ａ、３８ｂの端部内周面には雌ネジ加工が施されており、熱媒体を循環させる機器を接続するための継手３２０を螺合することができる。図１０（ｂ）は案内レール３２を長手方向に切断した断面であり、熱媒管３８ａの端部に継手３２０を螺合した状態を示している。

（第４実施形態）
図１１は、本願の第４実施形態に係る転がり軸受案内装置の案内レールの温度調整機構を示す拡大断面図である。本第４実施形態は、上記第１実施形態に対して温度調整機構の蓋部材の構成のみが異なるため、重複する説明は省略し、以下、本第４実施形態の蓋部材４９ａについて説明する。

本第４実施形態に係る蓋部材４９ａは、上下２つの部材に分かれて形成されている。熱媒管４８ｂ側に配置された熱伝導部材４２１は、熱伝導性の高い材料、例えば、アルミ、銅などから形成されている。

一方、熱媒管４８ａとは反対側に配置された断熱部材４２２は、断熱性の高い材料から形成されている。断熱部材４２２の材料としては、発泡系断熱材として、防水性のあるウレタンフォーム、耐熱性を有するフェノールフォーム、軽量で耐水性のあるポリスチレンフォーム、難燃焼性を有するＥＰＳ（ビーズ法ポリスチレン）、防水性と難燃焼性を有し発塵しない発泡ゴム（ＦＥＦ）、耐圧縮性を有するＸＰＳ（押し出し法ポリスチレン）などを用いることができる。

本第４実施形態によれば、熱媒管４８ｂが熱伝導部材４２１を介して案内レール本体４２ａと効率的に熱交換しつつ、断熱部材４２２によって、熱媒体が外気や案内レール４２を固定するテーブル等との間で熱交換をしてしまい案内レール本体４２ａとの熱交換が妨げられることを防ぐことができる。

以上、本願発明の説明のため具体的な実施形態を示したが、本発明はこれに限られず、種々の変更・改良が可能である。

例えば、熱媒管を設けず、案内レールに孔部を形成して、該孔部を熱媒体の流路としてもよい。

また、熱媒体の流路は、案内レールの延在方向に延在するものに限られず、例えば、延在方向に対して傾斜していても、延在方向に対して垂直方向に設けられても良い。

また、流路は、案内レールの端部から端部まで延びるものに限られず、例えば、案内レールの中間部から端部まで延びていても、案内レールの中間部から中間部まで延びていても良い。

以上のように、本発明によれば、案内レールの温度上昇又は低下を防止し、案内レールの精度の低下を防ぐことができる転がり軸受案内装置用の案内レール、及び当該案内レールを備えた転がり軸受案内装置を提供することができる。

１ 転がり軸受案内装置
２、２２、３２ 案内レール
２ａ、２２ａ、３２ａ、４２ａ 案内レール本体
３ スライダ
３ａ スライダ本体
４ａ、４ｂ、２４ａ、２４ｂ、３４ａ、３４ｂ 角部転動溝
５ａ、５ｂ、２５ａ、２５ｂ、３５ａ、３５ｂ 側部転動溝
６ａ、６ｂ、２６ａ、２６ｂ、３６ａ、３６ｂ 温度調整機構
７ａ、７ｂ、３７ａ、３７ｂ 有底溝
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、２８ａ、２８ｂ、３８ａ、３８ｂ、４８ａ、４８ｂ 熱媒管
９ａ、９ｂ、４９ａ 蓋部材
１０ａ、１０ｂ エンドキャップ
１１ａ、１１ｂ サイドシール
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、４１２ａ、４１２ｂ 係止溝
１３ 熱伝導グリース
１４ 雌ネジ部
１５ａ、１５ｂ 凸部
１６ 凹部
２７ａ、２７ｂ 貫通孔
２２０、３２０ 継手
４２１ 熱伝導部材
４２２ 断熱部材

Claims (11)

1. 温度調整用の熱媒体の流路を有することを特徴とする転がり軸受案内装置用の案内レール。
2. 前記流路は、転がり軸受の進行方向に案内レール全長にわたって設けてあることを特徴とする請求項１に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
3. 前記流路は、熱媒管により形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
4. 前記熱媒管は、転がり軸受の進行方向に案内レール本体を貫通して形成された有底溝に収容されていることを特徴とする請求項３に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
5. 前記有底溝は、前記熱媒管に接触した蓋部材によって覆われていることを特徴とする請求項４に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
6. 全体形状が四角柱状をしており、
   転がり軸受の進行方向に延びる角部にそれぞれ形成された一対の角部転動溝と、
   転がり軸受の進行方向に延びる側部にそれぞれ形成された一対の側部転動溝と、を有し、
   前記有底溝は、前記角部転動溝と前記側部転動溝との間に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
7. 前記熱媒管は、案内レール本体に形成された貫通孔に収容されていることを特徴とする請求項３に記載の転がり軸受案内装置用の案内レール。
8. 請求項１ないし７のいずれか一項に記載の案内レールを備えることを特徴とする転がり軸受案内装置。
9. さらに、前記熱媒体を循環させる循環装置を備えることを特徴とする請求項８に記載の転がり軸受案内装置。
10. 前記流路を２以上有し、
    前記熱媒体は、近接する前記流路の間で、互いに反対向きに循環することを特徴とする請求項９に記載の転がり軸受案内装置。
11. 前記熱媒体は、熱伝導グリースであることを特徴とする請求項９又は１０に記載の転がり軸受案内装置。

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