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JP2015029020A - Liquid solution for organic semiconductor layer formation, organic semiconductor layer, and organic thin film transistor - Google Patents

Liquid solution for organic semiconductor layer formation, organic semiconductor layer, and organic thin film transistor Download PDF

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JP2015029020A
JP2015029020A JP2013158163A JP2013158163A JP2015029020A JP 2015029020 A JP2015029020 A JP 2015029020A JP 2013158163 A JP2013158163 A JP 2013158163A JP 2013158163 A JP2013158163 A JP 2013158163A JP 2015029020 A JP2015029020 A JP 2015029020A
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JP
Japan
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semiconductor layer
organic semiconductor
organic
solution
thin film
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Pending
Application number
JP2013158163A
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Japanese (ja)
Inventor
敏 羽村
Satoshi Hamura
敏 羽村
貴 福田
Takashi Fukuda
貴 福田
渡辺 真人
Masato Watanabe
真人 渡辺
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Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
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Abstract

【課題】優れた塗工性を有する有機半導体層形成用溶液、および高い半導体・電気特性を有する有機薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】(A)下記一般式(1)【化1】(ここで、置換基R1およびR2は、同一でも異なっていてもよく、炭素数3〜9のアルキル基を示し、T1〜T4は、各々同一でも異なっていてもよく、酸素原子または硫黄原子を示す。)で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、および常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を含む有機半導体層形成用溶液は優れた塗工性を有しており、得られる有機半導体層は高い半導体・電気特性を発現することが可能。【選択図】 なしA solution for forming an organic semiconductor layer having excellent coatability and an organic thin film transistor having excellent semiconductor and electrical properties are provided. (A) the following general formula (1) (wherein the substituents R1 and R2 may be the same or different and represent an alkyl group having 3 to 9 carbon atoms, T1 to T4; may be the same or different and represent an oxygen atom or a sulfur atom.), (B) a surfactant, and an organic semiconductor containing an organic solvent having a boiling point of 140° C. or higher at normal pressure. The layer-forming solution has excellent coatability, and the resulting organic semiconductor layer can exhibit high semiconductor and electrical properties. [Selection figure] None

Description

有機薄膜トランジスタに代表される有機半導体デバイスは、省エネルギー、低コストおよびフレキシブルといった無機半導体デバイスにはない特徴を有することから近年注目されている。この有機半導体デバイスは、有機半導体層、基板、絶縁層、電極等の数種類の材料から構成され、中でも電荷のキャリア移動を担う有機半導体層は該デバイスの中心的な役割を有している。そして、有機半導体デバイス性能は、この有機半導体層を構成する有機材料のキャリア移動度により左右されることから、高キャリア移動度を与える有機材料の出現が所望されている。   Organic semiconductor devices typified by organic thin film transistors have attracted attention in recent years because they have features not found in inorganic semiconductor devices such as energy saving, low cost, and flexibility. This organic semiconductor device is composed of several kinds of materials such as an organic semiconductor layer, a substrate, an insulating layer, and an electrode. Among them, the organic semiconductor layer responsible for charge carrier movement has a central role of the device. And since organic-semiconductor device performance is influenced by the carrier mobility of the organic material which comprises this organic-semiconductor layer, the appearance of the organic material which gives a high carrier mobility is desired.

有機半導体層を作製する方法としては、高温真空下、有機材料を気化させて実施する真空蒸着法、有機材料を適当な溶媒に溶解させその溶液を塗布する塗布法等の方法が一般的に知られている。塗布は高温高真空条件を用いることなく印刷技術を用いても実施することができるため、経済的に好ましいプロセスと考えられており、塗工性が高く、キャリア移動度に優れた有機半導体層が望まれている。   As a method for producing an organic semiconductor layer, generally known are a vacuum deposition method in which an organic material is vaporized under a high temperature vacuum, and a coating method in which an organic material is dissolved in an appropriate solvent and applied. It has been. Since the coating can be carried out using printing technology without using high-temperature and high-vacuum conditions, it is considered to be an economically preferable process, and an organic semiconductor layer having high coating properties and excellent carrier mobility. It is desired.

塗布型有機半導体層として、ジチエノベンゾジチオフェン骨格を有する有機半導体材料を用い、ウェットプロセスで作製した有機薄膜トランジスタについて開示されている(特許文献1)。また、塗布型有機半導体層に高いキャリア輸送性を付与するため、低分子化合物とキャリア輸送性を有する高分子化合物を組み合わせた有機半導体組成物が開示されている(特許文献2)。   An organic thin film transistor manufactured by a wet process using an organic semiconductor material having a dithienobenzodithiophene skeleton as a coating type organic semiconductor layer is disclosed (Patent Document 1). Moreover, in order to provide a coating type organic semiconductor layer with high carrier transportability, an organic semiconductor composition in which a low molecular weight compound and a polymer compound having carrier transportability are combined is disclosed (Patent Document 2).

特開2012−209329号公報JP 2012-209329 A 特開2009−267372号公報JP 2009-267372 A

本発明の目的は、優れた塗工性を有する有機半導体層形成用溶液、それを用いた有機半導体層、および高い半導体・電気特性を有する有機薄膜トランジスタを提供することである。   An object of the present invention is to provide a solution for forming an organic semiconductor layer having excellent coating properties, an organic semiconductor layer using the same, and an organic thin film transistor having high semiconductor / electrical properties.

本発明者らは上記課題を解決するため鋭意検討の結果、特定の成分を用いた有機半導体層形成用溶液が優れた塗工性を有しており、さらに得られた有機半導体層を用いた有機薄膜トランジスタが、優れた半導体・電気特性を有していることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that an organic semiconductor layer forming solution using a specific component has excellent coating properties, and further uses the obtained organic semiconductor layer. The present inventors have found that an organic thin film transistor has excellent semiconductor / electrical properties and have completed the present invention.

即ち、本発明は、(A)下記一般式(1)   That is, the present invention provides (A) the following general formula (1)

Figure 2015029020
Figure 2015029020

(ここで、置換基RおよびRは、同一でも異なっていてもよく、炭素数3〜9のアルキル基を示し、T〜Tは、各々同一でも異なっていてもよく、酸素原子または硫黄原子を示す。)
で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、および有機溶媒を含む有機半導体層形成用溶液、それを用いて形成した有機半導体層、並びに有機薄膜トランジスタに関するものである。
(Wherein, the substituents R 1 and R 2 may be the same or different and each represents an alkyl group having 3 to 9 carbon atoms, and T 1 to T 4 may be the same or different, and each represents an oxygen atom. Or a sulfur atom.)
And (B) a solution for forming an organic semiconductor layer containing a surfactant and an organic solvent, an organic semiconductor layer formed using the organic semiconductor layer, and an organic thin film transistor.

以下に、本発明をより詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

本発明の有機半導体層形成用溶液は、(A)一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、および有機溶媒を含む有機半導体層形成用溶液、それを用いて形成した連続的な相分離構造を有する有機半導体層、並びに有機薄膜トランジスタに関するものである。   The organic semiconductor layer forming solution of the present invention was formed using (A) a solution for forming an organic semiconductor layer containing a heteroacene derivative represented by the general formula (1), (B) a surfactant, and an organic solvent. The present invention relates to an organic semiconductor layer having a continuous phase separation structure and an organic thin film transistor.

本発明の有機半導体層形成用溶液を構成するヘテロアセン誘導体は、一般式(1)で示される縮合環骨格を有していることを特徴とする。   The heteroacene derivative constituting the organic semiconductor layer forming solution of the present invention is characterized by having a condensed ring skeleton represented by the general formula (1).

一般式(1)中、RおよびRは、同一でも異なっていてもよく、炭素数3〜9のアルキル基を示しており、特に炭素数4〜8のアルキル基であることが好ましい。RおよびRが、炭素数2以下のアルキル基である場合、ヘテロアセン誘導体の有機溶媒に対する溶解性が劣り、安定的な有機半導体層形成用溶液を調製することが困難となる。 In general formula (1), R 1 and R 2 may be the same or different and represent an alkyl group having 3 to 9 carbon atoms, and particularly preferably an alkyl group having 4 to 8 carbon atoms. When R 1 and R 2 are alkyl groups having 2 or less carbon atoms, the solubility of the heteroacene derivative in an organic solvent is poor, and it becomes difficult to prepare a stable solution for forming an organic semiconductor layer.

また、RおよびRの炭素数が10以上のアルキル基である場合、得られる有機薄膜トランジスタの半導体・電気特性が劣る。 In addition, when R 1 and R 2 are alkyl groups having 10 or more carbon atoms, the resulting organic thin film transistor has poor semiconductor and electrical characteristics.

およびRの具体例として、例えば直鎖状または分岐状のアルキル基を挙げることができ、具体的には、n−プロピル、n−ブチル基、イソブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル、2−エチルヘキシル基、n−ノニル基などを挙げることができる。 Specific examples of R 1 and R 2 include, for example, a linear or branched alkyl group. Specific examples include n-propyl, n-butyl group, isobutyl group, n-pentyl group, n- A hexyl group, n-heptyl group, n-octyl, 2-ethylhexyl group, n-nonyl group, etc. can be mentioned.

一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体中のRおよびRは、これらの例示した基のなかで、特にn−ブチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基であることが好ましい。 Among these exemplified groups, R 1 and R 2 in the heteroacene derivative represented by the general formula (1) are particularly preferably an n-butyl group, an n-hexyl group, and an n-heptyl group.

一般式(1)中、T〜Tは各々同一でも異なっていてもよく、酸素原子又は硫黄原子を示す。ここで、T〜Tがすべて硫黄原子の場合、一般式(1)は、ジチエノベンゾジチオフェン骨格を示し、全て酸素原子である場合、ジフラノベンゾジフラン骨格を示す。 In the general formula (1), T 1 to T 4 may be the same or different and each represents an oxygen atom or a sulfur atom. Here, when all of T 1 to T 4 are sulfur atoms, the general formula (1) represents a dithienobenzodithiophene skeleton, and when all of them are oxygen atoms, a difuranobenzodifuran skeleton.

一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体の具体例として、特に限定はなく、以下の化合物を挙げることができる。   Specific examples of the heteroacene derivative represented by the general formula (1) are not particularly limited, and examples thereof include the following compounds.

Figure 2015029020
Figure 2015029020

一般式(1)で示される有機ヘテロアセン誘導体の特に好ましい例として、例えば2,7−ジ(n−ブチル)ジチエノベンゾジチオフェン、2,7−ジ(n−ペンチル)ジチエノベンゾジチオフェン、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン、2,7−ジ(n−ヘプチル)ジチエノベンゾジチオフェン、2,7−ジ(n−オクチル)ジチエノベンゾジチオフェンを挙げることができる。   Particularly preferable examples of the organic heteroacene derivative represented by the general formula (1) include 2,7-di (n-butyl) dithienobenzodithiophene, 2,7-di (n-pentyl) dithienobenzodithiophene, List 2,7-di (n-hexyl) dithienobenzodithiophene, 2,7-di (n-heptyl) dithienobenzodithiophene, 2,7-di (n-octyl) dithienobenzodithiophene Can do.

本発明の有機半導体層形成用溶液を構成する成分の一つである(B)界面活性剤は、有機半導体層を形成する際、有機半導体溶液と基板の界面に作用することで、有機半導体溶液の基板へのなじみを改良する作用を有しており、塗布性能を向上させる役割を持つ化合物である。   The surfactant (B), which is one of the components constituting the organic semiconductor layer forming solution of the present invention, acts on the interface between the organic semiconductor solution and the substrate when forming the organic semiconductor layer. It is a compound that has the effect of improving the familiarity of the substrate to the substrate and has the role of improving the coating performance.

本発明で用いる界面活性剤は、上記の作用を有する化合物であれば、いかなる化合物でも使用することが可能であり、半導体・電気物性への影響を考慮して、シロキサン系の界面活性剤であることが望ましい。   The surfactant used in the present invention can be any compound as long as it has the above-described action, and is a siloxane-based surfactant in consideration of the influence on semiconductor / electrical properties. It is desirable.

本発明で用いる(B)界面活性材における好ましい例示であるシロキサン系界面活性剤は、一般式(2)または(3)で示される構造を有する化合物であることが好ましい。ここで、一般式(2)で示されるシロキサン系界面活性剤は、シロキシ基が直鎖状に結合した構造のシロキサン化合物を示しており、一般式(3)で示されるシロキサン系界面活性剤は、シロキシ基が環状構造を有しており、末端構造を有しない、環状シロキサン化合物を示している。   The siloxane-based surfactant, which is a preferred example of the (B) surfactant used in the present invention, is preferably a compound having a structure represented by the general formula (2) or (3). Here, the siloxane-based surfactant represented by the general formula (2) is a siloxane compound having a structure in which a siloxy group is linearly bonded, and the siloxane-based surfactant represented by the general formula (3) is The cyclic siloxane compound in which the siloxy group has a cyclic structure and does not have a terminal structure is shown.

一般式(2)または(3)で示されるシロキサン系界面活性剤中、R〜Rは、同一でも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子、またはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、フェニル基、ベンジル基などの炭素数1〜10の炭化水素基、トリフルオロメチル基、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロフェニル基などの炭素数1〜10のフッ素原子含有炭化水素基を示す。m、nは1〜5の整数を示しており、シロキシ基の連鎖の数を示している。 In the siloxane-based surfactant represented by the general formula (2) or (3), R 3 to R 8 may be the same or different, and are a hydrogen atom, a fluorine atom, or a methyl group, an ethyl group, a propyl group, C1-C10 hydrocarbon groups, such as isopropyl group, phenyl group, benzyl group, etc., trifluoromethyl group, trifluoroethyl group, pentafluorophenyl group, etc. . m and n represent an integer of 1 to 5, and indicate the number of chains of the siloxy group.

本発明で用いるシロキサン系界面活性剤は、一般式(2)で示される直鎖状のシロキサン化合物のみを単独で用いてもよく、または一般式(3)で示される環状のシロキサン化合物を単独で用いてもよい。また、一般式(2)で示される直鎖状のシロキサン化合物と一般式(3)で示される環状のシロキサン化合物の混合物、または一般式(2)と一般式(3)の化合物を任意の比で混合した化合物を用いてもよい。   As the siloxane-based surfactant used in the present invention, only the linear siloxane compound represented by the general formula (2) may be used alone, or the cyclic siloxane compound represented by the general formula (3) may be used alone. It may be used. Further, a mixture of the linear siloxane compound represented by the general formula (2) and the cyclic siloxane compound represented by the general formula (3), or the compound represented by the general formula (2) and the general formula (3) may be used in any ratio. You may use the compound mixed by.

本発明で用いる一般式(2)で示されるシロキサン系界面活性剤としては特に制限はなく、例えばジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン、ドデカメチルペンタシロキサン等、およびこれら化合物の一部の置換基がフッ素原子に置き換わった化合物が挙げられ、その中でもヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルトリシロキサン等が好ましい。一般式(3)で示されるシロキサン系界面活性剤としては、特に制限はなく、例えばテトラメチルシクロジシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン等、およびこれら化合物の一部の置換基がフッ素原子に置き換わった化合物を挙げられ、その中でもヘキサメチルシクロトリシロキサン等が好ましい。   The siloxane-based surfactant represented by the general formula (2) used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include disiloxane, hexamethyldisiloxane, octamethyltrisiloxane, decamethyltetrasiloxane, dodecamethylpentasiloxane, and the like. Examples include compounds in which a part of the substituents of these compounds are replaced with fluorine atoms, among which hexamethyldisiloxane, octamethyltrisiloxane and the like are preferable. The siloxane-based surfactant represented by the general formula (3) is not particularly limited, and examples thereof include tetramethylcyclodisiloxane, hexamethylcyclotrisiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane, decamethylcyclopentasiloxane, and these compounds. And compounds in which some of the substituents are replaced with fluorine atoms. Among them, hexamethylcyclotrisiloxane and the like are preferable.

本発明の有機半導体層形成用溶液の構成成分として用いる(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒は、一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体、および後述する(D)高分子化合物を溶解することが可能な有機溶媒であれば如何なる有機溶媒を使用してもよい。140℃以上の沸点を有する有機溶媒を用いることで、有機半導体層形成用溶液を塗布する際の溶媒の乾燥速度を容易にコントロールすることが可能となり、良質の結晶膜を形成することが可能となる。   (C) The organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure used as a component of the organic semiconductor layer forming solution of the present invention is a heteroacene derivative represented by the general formula (1) and a polymer (D) described later. Any organic solvent that can dissolve the compound may be used. By using an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher, it becomes possible to easily control the drying rate of the solvent when applying the organic semiconductor layer forming solution, and to form a high-quality crystal film. Become.

また、本発明の有機半導体層形成用溶液の構成成分として用いる(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を、(C−1)低沸点溶媒と、(C−2)高沸点溶媒に分類し、(C−1)低沸点溶媒と(C−2)高沸点溶媒を組み合わせて使用することが可能である。なお、本発明では、(C−1)低沸点溶媒とは、常圧での沸点が140℃以上200℃未満、(C−2)高沸点溶媒とは、常圧での沸点が200℃以上の有機溶媒を示す。   Further, (C) an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure, which is used as a constituent of the organic semiconductor layer forming solution of the present invention, (C-1) a low boiling point solvent, and (C-2) a high boiling point It is possible to use a combination of (C-1) a low boiling point solvent and (C-2) a high boiling point solvent. In the present invention, (C-1) a low boiling point solvent has a boiling point of 140 ° C. or more and less than 200 ° C. at normal pressure, and (C-2) a high boiling point solvent has a boiling point of 200 ° C. or more at normal pressure. The organic solvent is shown.

(C−1)低沸点溶媒と(C−2)高沸点溶媒を組み合わせて用いることにより、基板への塗布性能と結晶膜の生成制御の調整を行うことが可能である。   By using a combination of (C-1) a low-boiling solvent and (C-2) a high-boiling solvent, it is possible to adjust the coating performance on the substrate and the production control of the crystal film.

本発明で用いることが可能な常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒として、特に制限はなく、例えばキシレン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、イソプロピルベンゼン、アニソール、シクロヘキサノン、メシチレン、1,2,4−トリメチルベンゼン、3−メトキシブチルアセテート、1,3−ジクロロベンゼン、シクロヘキサノールアセテート、1,4−ジクロロベンゼン、デカン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、1,2−ジクロロベンゼン、2,6−ジメチルアニソール、デカリン、ジプロピレングリコールジアセテート、酢酸フェニル、2,3−ジメチルアニソール等の(C−1)低沸点溶媒が挙げられ、3,4−ジメチルアニソール、ジプロピレングリコールメチル−n−プロピルエーテル、ペンチルベンゼン、テトラリン、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ドデカン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、1,4−ブタンジオールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、シクロヘキシルベンゼン、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート、1,3ブチレングリコールジアセテート、デカヒドロナフトール等の(C−2)高沸点溶媒が挙げられる。その中でも(C−1)低沸点溶媒としてはキシレン、イソプロピルベンゼン、アニソール、シクロヘキサノン、メシチレン、1,2−ジクロロベンゼン等が好ましく、(C−2)高沸点溶媒としては3,4−ジメチルアニソール、ペンチルベンゼン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、デカヒドロナフトール等が好ましい。   The organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher that can be used in the present invention is not particularly limited. For example, xylene, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, isopropylbenzene Anisole, cyclohexanone, mesitylene, 1,2,4-trimethylbenzene, 3-methoxybutyl acetate, 1,3-dichlorobenzene, cyclohexanol acetate, 1,4-dichlorobenzene, decane, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,2 -(C-1) low boiling point solubility of dichlorobenzene, 2,6-dimethylanisole, decalin, dipropylene glycol diacetate, phenyl acetate, 2,3-dimethylanisole, etc. 3,4-dimethylanisole, dipropylene glycol methyl-n-propyl ether, pentylbenzene, tetralin, dipropylene glycol methyl ether acetate, dodecane, diethylene glycol monoethyl ether acetate, 1,4-butanediol diacetate, (C-2) high boiling point solvents such as 1,3-butylene glycol diacetate, cyclohexylbenzene, diethylene glycol monobutyl ether acetate, 1,6-hexanediol diacetate, 1,3 butylene glycol diacetate, decahydronaphthol . Among them, (C-1) as the low-boiling solvent is preferably xylene, isopropylbenzene, anisole, cyclohexanone, mesitylene, 1,2-dichlorobenzene, etc. (C-2) as the high-boiling solvent, 3,4-dimethylanisole, Pentylbenzene, tetralin, cyclohexylbenzene, decahydronaphthol and the like are preferable.

なお、本発明で用いる有機溶媒は、1種類の有機溶媒の単独使用、若しくは沸点、極性、溶解度パラメーターなど性質の異なる有機溶剤を2種類以上混合して使用することも可能である。   As the organic solvent used in the present invention, one kind of organic solvent can be used alone, or two or more kinds of organic solvents having different properties such as boiling point, polarity and solubility parameter can be used.

本発明の有機半導体層形成用溶液を用いて、効率よく高い半導体・電気特性を得るためには、有機半導体層形成用溶液に(D)高分子化合物を含有することが好ましい。有機半導体層形成用溶液に(D)高分子化合物を含有することで、連続的な相分離構造を形成し、生成する有機半導体結晶膜の結晶グレインが大きくなるため、高い半導体。電気特性を有することが可能となる。   In order to efficiently obtain high semiconductor / electrical characteristics using the organic semiconductor layer forming solution of the present invention, it is preferable that the organic semiconductor layer forming solution contains (D) a polymer compound. By containing (D) the polymer compound in the organic semiconductor layer forming solution, a continuous phase separation structure is formed, and the crystal grain of the organic semiconductor crystal film to be formed becomes large, so that the semiconductor is high. It becomes possible to have electrical characteristics.

(D)高分子化合物として、有機半導体層を形成可能な化合物であれば特に制限はなく、有機半導体層形成用溶液は優れた塗工性を発現することができることから、GPCで測定した重量平均分子量(Mw)が50,000〜2,000,000の範囲にあることが好ましく、100,000〜2,000,000の範囲にあることが更に好ましい。   (D) The polymer compound is not particularly limited as long as it is a compound capable of forming an organic semiconductor layer, and the organic semiconductor layer forming solution can exhibit excellent coating properties. The molecular weight (Mw) is preferably in the range of 50,000 to 2,000,000, and more preferably in the range of 100,000 to 2,000,000.

また、本発明で用いる(D)高分子化合物は、JIS R3257記載の方法に従って測定した水の接触角が70°以上の特徴を有する高分子化合物を用いることが好ましい。   Further, as the polymer compound (D) used in the present invention, it is preferable to use a polymer compound having a characteristic that the contact angle of water measured according to the method described in JIS R3257 is 70 ° or more.

ここで、水の接触角が70°以上の高分子化合物とは、シート化またはフィルム化した高分子化合物の水の接触角が70°以上を示す高分子化合物を示す。水の接触角とは、高分子化合物のシートまたはフィルムの表面に水を滴下して形成した液滴の成す角度を示しており、水の接触角の測定は、一般に公知の固体表面の接触角の測定方法に従って測定することが可能であり、本発明で用いる高分子化合物の水の接触角は、有機半導体層形成用溶液を調製した場合、一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体と高分子化合物の連続的な相分離構造が形成され得られる有機薄膜トランジスタの電気特性に優れることから、JIS R3257した値が70°以上であることが好ましい。   Here, the polymer compound having a water contact angle of 70 ° or more refers to a polymer compound having a water contact angle of 70 ° or more of the polymer compound formed into a sheet or film. The contact angle of water indicates the angle formed by droplets formed by dropping water on the surface of a polymer compound sheet or film. The measurement of the contact angle of water is generally performed by measuring the contact angle of a known solid surface. The contact angle of water of the polymer compound used in the present invention with the heteroacene derivative represented by the general formula (1) and the polymer when the organic semiconductor layer forming solution is prepared It is preferable that the value obtained by JIS R3257 is 70 ° or more because the organic thin film transistor from which a continuous phase separation structure of the compound can be formed is excellent.

本発明で用いることが可能な高分子化合物の具体的な例として、例えばポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ(1−ビニルナフタレン)、ポリ(2−ビニルナフタレン)、ポリ(スチレン−block−ブタジエン−block−スチレン)、ポリ(スチレン−block−イソプレン−block−スチレン)、ポリ(ビニルトルエン)、ポリ(スチレン−co−2,4−ジメチルスチレン)、ポリ(クロロスチレン)、ポリ(スチレン−co−α−メチルスチレン)、ポリ(スチレン−co−ブタジエン)、ポリ(エチレン−co−ノルボルネン)、ポリカルバゾール、ポリトリアリールアミン、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジメチルトリアリールアミン)またはポリ(N−ビニルカルバゾール)等が挙げることができ、好ましくはポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)を挙げることができる。     Specific examples of the polymer compound that can be used in the present invention include, for example, polystyrene, poly (α-methylstyrene), poly (4-methylstyrene), poly (1-vinylnaphthalene), and poly (2-vinyl). Naphthalene), poly (styrene-block-butadiene-block-styrene), poly (styrene-block-isoprene-block-styrene), poly (vinyltoluene), poly (styrene-co-2,4-dimethylstyrene), poly (Chlorostyrene), poly (styrene-co-α-methylstyrene), poly (styrene-co-butadiene), poly (ethylene-co-norbornene), polycarbazole, polytriarylamine, poly (9,9-dioctyl) Fluorene-co-dimethyltriarylamine) or poly (N-vinyl) Lucarbazole) and the like, preferably polystyrene and poly (α-methylstyrene).

なお、本発明で用いる高分子化合物は、1種類の高分子化合物を単独で使用、または2種類以上の高分子化合物の混合物として使用することが可能である。更に、異なる分子量の高分子化合物を混合して使用することも可能である。   As the polymer compound used in the present invention, one kind of polymer compound can be used alone, or a mixture of two or more kinds of polymer compounds can be used. Furthermore, it is also possible to use a mixture of polymer compounds having different molecular weights.

本発明の有機半導体層形成用溶液は、(A)一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、および(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒または、(A)一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒、および好ましく用いることができる(D)高分子化合物を混合、溶解することで調製する。   The organic semiconductor layer forming solution of the present invention comprises (A) a heteroacene derivative represented by the general formula (1), (B) a surfactant, and (C) an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure, (A) a heteroacene derivative represented by general formula (1), (B) a surfactant, (C) an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure, and (D) a polymer compound that can be preferably used Prepare by mixing and dissolving.

有機半導体層形成用溶液を調製する方法について、特に制限はなく、有機半導体層形成用溶液の構成成分を有機溶媒に溶解することが可能な方法であれば、如何なる方法を用いてもよい。   The method for preparing the organic semiconductor layer forming solution is not particularly limited, and any method may be used as long as it can dissolve the components of the organic semiconductor layer forming solution in an organic solvent.

有機半導体層形成用溶液を調製する順番として、例えば(A)成分を(B)成分と(C)成分の混合液に溶解する方法、(A)成分を(B)成分、(C)成分と(D)成分の混合液に溶解する方法、(A)成分と(B)成分の混合物を(C)成分と(D)成分の混合液に溶解する方法、(A)成分と(B)成分の混合物を(C)成分溶液に溶解する方法、(A)成分、(B)成分と(D)成分の混合物を(C)成分溶液に溶解する方法、(A)成分と(D)成分の混合物を(B)成分と(C)成分の混合液に溶解する方法、(B)成分と(D)成分の混合物を(A)成分と(C)成分の混合液に溶解する方法、(B)成分を(A)成分、(C)成分と(D)成分の混合液に溶解する方法、(B)成分を(A)成分と(B)成分と(C)成分の溶液に溶解する方法、(B)成分を(A)成分、(B)成分と(D)成分の溶液に溶解する方法、(A)成分と(C)成分の溶液に(B)成分を溶解させる方法、(A)成分、(C)成分と(D)成分の溶液に(B)成分を溶解させる方法などを挙げることができる。   As an order for preparing the organic semiconductor layer forming solution, for example, a method of dissolving the component (A) in a mixed solution of the component (B) and the component (C), the component (A) as the component (B), and the component (C) (D) Method of dissolving in component mixture, (A) Method of dissolving mixture of component and (B) component in mixture of component (C) and (D), component (A) and component (B) Of (C) component solution, (A) component, (B) component and (D) mixture solution in (C) component solution, (A) component and (D) component A method of dissolving the mixture in the mixture of component (B) and component (C), a method of dissolving the mixture of component (B) and component (D) in the mixture of component (A) and component (C), (B ) Component is dissolved in the mixture of component (A), component (C) and component (D), component (B) is composed of component (A), component (B) and component (C). The method of dissolving in the liquid, the method of dissolving the component (B) in the solution of the component (A), the component (B) and the component (D), the component (B) in the solution of the component (A) and the component (C) And a method of dissolving the component (B) in the solution of the component (A), the component (C) and the component (D).

有機半導体層形成用溶液を調製する際の温度として、0〜100℃の温度範囲で行うことが好ましく、10〜80℃の温度範囲で行うことが更に好ましい。また、有機半導体層形成用溶液を調製する時間は、1分〜2日間で溶解することが好ましい。   The temperature for preparing the organic semiconductor layer forming solution is preferably 0 to 100 ° C., more preferably 10 to 80 ° C. The time for preparing the organic semiconductor layer forming solution is preferably 1 minute to 2 days.

本発明で用いる(B)界面活性剤は、界面活性剤の効果が得られることから(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒に対して、0.1重量%以上の濃度で用いることが好ましい。また、有機半導体を有機溶媒に効率よく溶解するために(B)界面活性剤は50重量%以下の濃度で使用することが好ましい。   Since the surfactant (B) used in the present invention has the effect of a surfactant, (C) the organic solvent having a boiling point at normal pressure of 140 ° C. or higher is at a concentration of 0.1% by weight or higher. It is preferable to use it. In order to efficiently dissolve the organic semiconductor in the organic solvent, the surfactant (B) is preferably used at a concentration of 50% by weight or less.

(A)一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体と好ましく用いる(D)高分子化合物の混合組成比は、一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体と高分子化合物との合計100質量部に対して、一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体の含有割合が、5〜95質量部の範囲であることが好ましく、30〜70質量部の範囲であることが更に好ましい。   (A) The mixed composition ratio of the heteroacene derivative represented by the general formula (1) and the polymer compound (D) preferably used is 100 parts by mass in total of the heteroacene derivative represented by the general formula (1) and the polymer compound. In addition, the content ratio of the heteroacene derivative represented by the general formula (1) is preferably in the range of 5 to 95 parts by mass, and more preferably in the range of 30 to 70 parts by mass.

本発明の有機半導体層形成用溶液の(A)一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体の濃度が0.01〜20.0重量%の範囲であると、取り扱いの容易さ、有機半導体層を形成する際の効率に優れる。また、有機半導体層形成用溶液の粘度が0.3〜100mPa・sの範囲であると、好適な塗工性を発現する。   When the concentration of the heteroacene derivative represented by the general formula (1) in the solution for forming an organic semiconductor layer of the present invention is in the range of 0.01 to 20.0% by weight, the organic semiconductor layer is easily handled. Excellent efficiency in forming. Moreover, suitable coating property is expressed as the viscosity of the solution for organic-semiconductor layer formation is the range of 0.3-100 mPa * s.

本発明の有機半導体層形成用溶液を用いて、有機半導体層を形成する方法について、有機半導体層を形成可能な方法であれば、有機半導体層形成用溶液の塗布方法に特に制限はなく、例えばドロップキャスト、スピンコート、キャストコート、インクジェット、スリットコート等の方法により有機半導体層を形成することが可能である。   The method for forming the organic semiconductor layer using the organic semiconductor layer forming solution of the present invention is not particularly limited as long as the organic semiconductor layer can be formed as long as the organic semiconductor layer can be formed. The organic semiconductor layer can be formed by methods such as drop casting, spin coating, cast coating, ink jetting, and slit coating.

特に、ドロップキャストやスピンコートにより、高キャリア移動度を有する有機半導体層を容易に形成することが可能である。また、スクリーン印刷、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷などの印刷技術を用いても有機半導体層を形成することが可能である。   In particular, an organic semiconductor layer having high carrier mobility can be easily formed by drop casting or spin coating. The organic semiconductor layer can also be formed by using a printing technique such as screen printing, inkjet printing, flexographic printing, or gravure printing.

本発明の有機半導体層形成用溶液を塗布後、常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を乾燥除去することにより有機半導体層を形成することが可能である。   After applying the organic semiconductor layer forming solution of the present invention, an organic semiconductor layer can be formed by drying and removing an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure.

塗布した有機半導体層から常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を乾燥除去する際、乾燥する条件に制限はなく、例えば、常圧下、もしくは減圧下で常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒の乾燥除去を行うことが可能である。   When an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at atmospheric pressure is dried and removed from the applied organic semiconductor layer, there are no restrictions on the drying conditions. For example, the boiling point at atmospheric pressure or normal pressure is 140 ° C. or higher. It is possible to remove the organic solvent by drying.

塗布した有機半導体層から常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を乾燥除去する温度に制限はなく、例えば、10〜150℃の温度範囲で行うと、効率よく塗布した有機半導体層から有機溶媒を乾燥除去することができ、有機半導体層を形成することが可能である。   There is no limit to the temperature at which the organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at atmospheric pressure is dried and removed from the coated organic semiconductor layer. The solvent can be removed by drying, and an organic semiconductor layer can be formed.

塗布した有機半導体層から常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を乾燥除去する際、除去する常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒の気化速度を調節することで、一般式(1)で示されるヘテロアセン誘導体の結晶成長を制御することが可能である。   When the organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure is dried and removed from the applied organic semiconductor layer, the vaporization rate of the organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure to be removed is adjusted by the general formula ( It is possible to control the crystal growth of the heteroacene derivative represented by 1).

本発明の有機半導体層形成用溶液により形成される有機半導体層の膜厚に制限はなく、1nm〜1μmの範囲であることが好ましく、10〜300nmの範囲であることが更に好ましい。   There is no restriction | limiting in the film thickness of the organic-semiconductor layer formed with the solution for organic-semiconductor-layer formation of this invention, It is preferable that it is the range of 1 nm-1 micrometer, and it is still more preferable that it is the range of 10-300 nm.

また、得られる有機半導体層は、有機半導体層を形成後、40〜150℃でアニール処理を行ってもよい。   Further, the obtained organic semiconductor layer may be annealed at 40 to 150 ° C. after the organic semiconductor layer is formed.

本発明の有機半導体層形成用溶液より形成される有機半導体層は、有機半導体デバイス、特に有機薄膜トランジスタの有機半導体層として使用することが可能である。   The organic semiconductor layer formed from the organic semiconductor layer forming solution of the present invention can be used as an organic semiconductor layer of an organic semiconductor device, particularly an organic thin film transistor.

有機薄膜トランジスタは、基板上に、ソース電極およびドレイン電極を付設した有機半導体層とゲート電極とを絶縁層を介し積層することにより得ることができ、該有機半導体層に本発明の有機半導体層形成用溶液により形成した有機半導体層を用いることにより、有機薄膜トランジスタとすることが可能である。   The organic thin film transistor can be obtained by laminating an organic semiconductor layer provided with a source electrode and a drain electrode on a substrate and a gate electrode through an insulating layer, and the organic semiconductor layer is formed on the organic semiconductor layer according to the present invention. An organic thin film transistor can be formed by using an organic semiconductor layer formed from a solution.

図1に一般的な有機薄膜トランジスタの断面形状による構造を示す。ここで、(A)は、ボトムゲート−トップコンタクト型、(B)は、ボトムゲート−ボトムコンタクト型、(C)は、トップゲート−トップコンタクト型、(D)は、トップゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタであり、1は有機半導体層、2は基板、3はゲート電極、4はゲート絶縁層、5はソース電極、6はドレイン電極を示し、本発明の有機半導体層形成用溶液より形成される有機半導体層は、いずれの有機薄膜トランジスタにも適用することが可能である。   FIG. 1 shows a structure of a general organic thin film transistor by a sectional shape. Here, (A) is a bottom gate-top contact type, (B) is a bottom gate-bottom contact type, (C) is a top gate-top contact type, and (D) is a top gate-bottom contact type. 1 is an organic semiconductor layer, 2 is a substrate, 3 is a gate electrode, 4 is a gate insulating layer, 5 is a source electrode, 6 is a drain electrode, and is formed from the organic semiconductor layer forming solution of the present invention. The organic semiconductor layer to be applied can be applied to any organic thin film transistor.

基板の具体例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、環状ポリオレフィン、フッ素化環状ポリオレフィン、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ポリ(ジイソプロピルフマレート)、ポリ(ジエチルフマレート)、ポリ(ジイソプロピルマレエート)、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、セルローストリアセテート等のプラスチック基板;ガラス、石英、酸化アルミニウム、シリコン、ハイドープシリコン、酸化シリコン、二酸化タンタル、五酸化タンタル、インジウム錫酸化物等の無機材料基板;金、銅、クロム、チタン、アルミニウム等の金属基板、等を挙げることができる。なお、ハイドープシリコンを基板に用いた場合、その基板はゲート電極を兼ねることができる。   Specific examples of the substrate include, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polymethyl methacrylate, polymethyl acrylate, polyethylene, polypropylene, polystyrene, cyclic polyolefin, fluorinated cyclic polyolefin, polyimide, polycarbonate, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol, poly ( Plastic substrates such as diisopropyl fumarate), poly (diethyl fumarate), poly (diisopropyl maleate), polyethersulfone, polyphenylene sulfide, cellulose triacetate; glass, quartz, aluminum oxide, silicon, highly doped silicon, silicon oxide, silicon dioxide Inorganic material substrates such as tantalum, tantalum pentoxide, indium tin oxide; gold, copper, chromium, titanium, aluminum Metal substrate, such as a beam, or the like can be mentioned. When highly doped silicon is used for the substrate, the substrate can also serve as the gate electrode.

ゲート電極の具体例としては、例えば、アルミニウム、金、銀、銅、ハイドープシリコン、スズ酸化物、酸化インジウム、インジウムスズ酸化物、酸化モリブデン、クロム、チタン、タンタル、クロム、グラフェン、カーボンナノチューブ等の無機材料;ドープされた導電性高分子(例えばPEDOT−PSS)等の有機材料を挙げることができる。   Specific examples of the gate electrode include, for example, aluminum, gold, silver, copper, highly doped silicon, tin oxide, indium oxide, indium tin oxide, molybdenum oxide, chromium, titanium, tantalum, chromium, graphene, carbon nanotube, etc. And inorganic materials such as doped conductive polymers (eg, PEDOT-PSS).

ゲート絶縁層の具体例としては、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化チタン、二酸化タンタル、五酸化タンタル、インジウム錫酸化物、酸化スズ、酸化バナジウム、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマス等の無機材料基板;ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、ポリ(ジイソプロピルフマレート)、ポリ(ジエチルフマレート)、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、環状ポリオレフィン、フッ素化環状ポリオレフィン等のプラスチック材料を挙げることができる。また、これらのゲート絶縁層の表面は、例えばオクタデシルトリクロロシラン、デシルトリクロロシラン、デシルトリメトキシシラン、オクチルトリクロロシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、β−フェネチルトリクロロシラン、β−フェネチルトリメトキシシラン、フェニルトリクロロシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のシラン類;ヘキサメチルジシラザン等のシリルアミン類で修飾処理したものであっても使用することができる。   Specific examples of the gate insulating layer include, for example, silicon oxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, titanium oxide, tantalum dioxide, tantalum pentoxide, indium tin oxide, tin oxide, vanadium oxide, barium titanate, titanate. Inorganic material substrates such as bismuth; polymethyl methacrylate, polymethyl acrylate, polyimide, polycarbonate, polyvinyl phenol, polyvinyl alcohol, poly (diisopropyl fumarate), poly (diethyl fumarate), polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyether sulfone, Examples thereof include plastic materials such as cyclic polyolefin and fluorinated cyclic polyolefin. The surfaces of these gate insulating layers are, for example, octadecyltrichlorosilane, decyltrichlorosilane, decyltrimethoxysilane, octyltrichlorosilane, octadecyltrimethoxysilane, β-phenethyltrichlorosilane, β-phenethyltrimethoxysilane, phenyltrichlorosilane. Silanes such as phenyltrimethoxysilane and phenyltriethoxysilane; and those modified with silylamines such as hexamethyldisilazane can also be used.

一般的にゲート絶縁層の表面処理を行うことにより、有機半導体層を構成する材料の結晶粒径の増大および分子配向の向上が起こるため、キャリア移動度および電流オン・オフ比の向上、並びに閾値電圧の低下という好ましい結果が得られる。   Generally, the surface treatment of the gate insulating layer increases the crystal grain size and molecular orientation of the material constituting the organic semiconductor layer, so that the carrier mobility and current on / off ratio are improved, and the threshold value is increased. A favorable result is obtained that the voltage is reduced.

ソース電極およびドレイン電極の材料としては、ゲート電極と同様の材料を用いることができ、ゲート電極の材料と同じであっても異なっていてもよく、異種材料を積層してもよい。また、キャリアの注入効率を上げるために、これらの電極材料に表面処理を実施することもできる。例えば、ベンゼンチオール、ペンタフルオロベンゼンチオールを挙げることができる。   As a material of the source electrode and the drain electrode, the same material as that of the gate electrode can be used, and the material may be the same as or different from the material of the gate electrode, or different materials may be stacked. In order to increase the carrier injection efficiency, surface treatment can be performed on these electrode materials. Examples thereof include benzene thiol and pentafluorobenzene thiol.

そして、有機半導体層として、本発明の有機半導体層形成用溶液よりなる有機半導体層とする際には、例えばスピンコート、キャストコート、インクジェット、スリットコート等のドロップキャスト法;ブレードコート;ディップコート、スクリーン印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、等の方法を用いることが可能であり、中でも容易に効率よく有機半導体層とすることが可能となることから、スピンコート、キャストコート、インクジェット等のドロップキャスト法であることが好ましく、特にインクジェットであることが好ましい。また、その際の有機半導体層の膜厚に制限はなく、好ましくは1nm〜1μm、特に好ましくは10〜300nmである。   When the organic semiconductor layer is formed of the organic semiconductor layer forming solution of the present invention as the organic semiconductor layer, for example, a drop casting method such as spin coating, cast coating, ink jet, slit coating, blade coating, dip coating, It is possible to use methods such as screen printing, gravure printing, flexographic printing, etc. Among them, since it becomes possible to easily and efficiently form an organic semiconductor layer, drop casting methods such as spin coating, cast coating, ink jet, etc. It is preferable that it is, and it is especially preferable that it is an inkjet. Moreover, there is no restriction | limiting in the film thickness of the organic-semiconductor layer in that case, Preferably it is 1 nm-1 micrometer, Most preferably, it is 10-300 nm.

本発明の有機半導体層形成用溶液およびそれよりなる有機半導体層は、電子ペーパー、有機ELディスプレイ、液晶ディスプレイ、ICタグ(RFIDタグ)、センサー用等のトランジスタの有機半導体層用途;有機ELディスプレイ材料;有機半導体レーザー材料;有機薄膜太陽電池材料;フォトニック結晶材料等の電子材料に利用することができる。   The organic semiconductor layer forming solution of the present invention and the organic semiconductor layer comprising the same are used for organic semiconductor layers of transistors such as electronic paper, organic EL display, liquid crystal display, IC tag (RFID tag), and sensor; organic EL display material An organic semiconductor laser material; an organic thin film solar cell material; and an electronic material such as a photonic crystal material.

本発明により、塗工性の改良された有機半導体層形成用溶液を得ることができ、キャリア移動度、電流オン・オフに代表される優れた半導体・電気特性を発現する有機薄膜トランジスタを効率よく製造することが可能となる。   According to the present invention, a solution for forming an organic semiconductor layer with improved coatability can be obtained, and an organic thin film transistor exhibiting excellent semiconductor / electrical characteristics represented by carrier mobility and current on / off can be efficiently produced. It becomes possible to do.

以下実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例により限定されるものではない。   The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to these examples.

実施例中、高分子化合物の水の接触角は、対応する高分子化合物のシートを用い、JIS R3257記載の方法に従って測定を行った。半導体・電気物性の測定は、半導体パラメータアナライザー(ケースレー社製4200SCS)を用い、実施例に記載のドレイン電圧(Vd)、ゲート電圧(Vg)にて測定を行った。   In the examples, the water contact angle of the polymer compound was measured according to the method described in JIS R3257 using the corresponding polymer compound sheet. The semiconductor / electrical properties were measured using a semiconductor parameter analyzer (4200SCS manufactured by Keithley) at the drain voltage (Vd) and gate voltage (Vg) described in the examples.

実施例1
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にヘキサメチルジシロキサンのテトラリン溶液(10wt%)(沸点207℃)3.0g、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
空気下、直径2インチのヒ素でn型にハイドープしたシリコン基板(セミテック製、抵抗値;0.001〜0.004Ω、表面に200nmのシリコン酸化膜付き)上に、上述の方法で調製した有機半導体層形成用溶液0.5mlを滴下してスピンコート(300rpm×3秒、2000rpm×100秒)を行い、膜厚40nmの有機半導体層を作製した。
(有機薄膜トランジスタの作製)
上述の方法で作製した有機半導体層に、チャネル長20μm、チャネル幅1000μmのシャドウマスクを置き、金を真空蒸着することで電極を形成し、ボトムゲートトップコンタクト型の有機薄膜トランジスタ(図1における1:有機半導体層、2:シリコン基板、3:金ゲート電極、4:シリコン酸化膜ゲート絶縁層、5:金ソース電極、6:金ドレイン電極に相当)を作製した。
(半導体・電気物性の測定)
作製した有機薄膜の電気物性をドレイン電圧(Vd=−50V)で、ゲート電圧(Vg)を+10〜−60Vまで1V刻みで走査し、伝達特性の評価を行った。正孔の移動度は1.54cm/V・s、電流オン・オフ比は2.3×10であった。
Example 1
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, add 3.0 g of hexamethyldisiloxane tetralin solution (10 wt%) (boiling point 207 ° C.) and 61 mg of 2,7-di (n-hexyl) dithienobenzodithiophene to a 10 ml sample tube and heat to 50 ° C. Thus, an organic semiconductor layer forming solution was prepared.
(Production of organic semiconductor layer)
Organic prepared by the above-described method on a silicon substrate n-type highly doped with arsenic having a diameter of 2 inches under air (semi-tech, resistance value: 0.001 to 0.004Ω, with a 200 nm silicon oxide film on the surface) 0.5 ml of the semiconductor layer forming solution was dropped and spin coating (300 rpm × 3 seconds, 2000 rpm × 100 seconds) was performed to produce an organic semiconductor layer having a thickness of 40 nm.
(Production of organic thin film transistor)
A shadow mask having a channel length of 20 μm and a channel width of 1000 μm is placed on the organic semiconductor layer manufactured by the above-described method, and an electrode is formed by vacuum deposition of gold to form a bottom gate top contact type organic thin film transistor (1: in FIG. 1). Organic semiconductor layer, 2: silicon substrate, 3: gold gate electrode, 4: silicon oxide gate insulating layer, 5: gold source electrode, 6: equivalent to gold drain electrode).
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
The electrical properties of the produced organic thin film were scanned with a drain voltage (Vd = -50V) and a gate voltage (Vg) from +10 to -60V in increments of 1V to evaluate the transfer characteristics. The hole mobility was 1.54 cm 2 / V · s, and the current on / off ratio was 2.3 × 10 7 .

実施例2
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にオクタメチルトリシロキサンのメシチレン溶液(20wt%)(沸点165℃)3.0g、2,7−ジ(n−オクチル)ジチエノベンゾジチオフェン61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により、有機半導体層の作製を行った。
(有機薄膜トランジスタの作製)
実施例1と同様の方法により、有機薄膜トランジスタの作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で、得られた有機薄膜トランジスタの電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は1.76cm/V・s、電流オン・オフ比は2.8×10であった。
Example 2
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, add 3.0 g of octamethyltrisiloxane mesitylene solution (20 wt%) (boiling point 165 ° C.) and 61 mg of 2,7-di (n-octyl) dithienobenzodithiophene to a 10 ml sample tube and heat to 50 ° C. Thus, an organic semiconductor layer forming solution was prepared.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Production of organic thin film transistor)
An organic thin film transistor was produced by the same method as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties of the obtained organic thin film transistor were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 1.76 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 2.8 from the transfer characteristics. × 10 7

実施例3
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にヘキサメチルシクロトリシロキサンのテトラリン溶液(30wt%)(沸点207℃)3.0g、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層を作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は1.62cm/V・s、電流オン・オフ比は2.1×10であった。
Example 3
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, add 3.0 g of hexamethylcyclotrisiloxane tetralin solution (30 wt%) (boiling point 207 ° C.) and 61 mg of 2,7-di (n-hexyl) dithienobenzodithiophene to a 10 ml sample tube at 50 ° C. The solution for forming an organic semiconductor layer was prepared by dissolving by heating.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced by the same method as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 1.62 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 2.1 × 10 7 from the transfer characteristics.

実施例4
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にオクタメチルトリシロキサンのテトラリン溶液(1wt%)(沸点207℃)3.0g、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリ(α−メチルスチレン)(Mw850,000、水の接触角88°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は2.02cm/V・s、電流オン・オフ比は3.1×10であった。
Example 4
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, in a 10 ml sample tube, 3.0 g of tetramethyl solution of octamethyltrisiloxane (1 wt%) (boiling point 207 ° C.), 2,7-di (n-hexyl) dithienobenzodithiophene 61 mg, and poly (α-methyl) A solution for forming an organic semiconductor layer was prepared by adding 61 mg of styrene) (Mw 850,000, water contact angle 88 °) and heating to 50 ° C. to dissolve.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 2.02 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 3.1 × 10 7 from the transfer characteristics.

実施例5
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にヘキサメチルシクロトリシロキサンのテトラリン溶液(1wt%)(沸点207℃)3.0g、2,7−ジ(n−オクチル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリ(α−メチルスチレン)(Mw850,000、水の接触角88°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で有機半導体層の電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は2.51cm/V・s、電流オン・オフ比は2.5×10であった。
Example 5
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, a 10 ml sample tube was charged with hexamethylcyclotrisiloxane tetralin solution (1 wt%) (bp 207 ° C.) 3.0 g, 2,7-di (n-octyl) dithienobenzodithiophene 61 mg, and poly (α- A solution for forming an organic semiconductor layer was prepared by adding 61 mg of methylstyrene (Mw 850,000, water contact angle 88 °) and heating to 50 ° C. to dissolve.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties of the organic semiconductor layer were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 2.51 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 2.5 × 10 7 from the transfer characteristics. Met.

実施例6
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にオクタメチルシクロテトラシロキサンのメシチレン(沸点165°)とジメチルアニソール(沸点200℃)の8:2混合溶液(1wt%)3.0g、2,7−ジ(n−ブチル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリスチレン(Mw900,000、水の接触角84°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で有機半導体層の電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は2.03cm/V・s、電流オン・オフ比は2.8×10であった。
Example 6
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
In a 10 ml sample tube under air, 3.0 g of an 8: 2 mixed solution (1 wt%) of mesitylene (boiling point 165 °) and dimethylanisole (boiling point 200 ° C.) of octamethylcyclotetrasiloxane, 2,7-di (n-butyl) ) 61 mg of dithienobenzodithiophene and 61 mg of polystyrene (Mw 900,000, water contact angle 84 °) were added and heated to 50 ° C. to prepare a solution for forming an organic semiconductor layer.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties of the organic semiconductor layer were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 2.03 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 2.8 × 10 7 from the transfer characteristics. Met.

実施例7
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にオクタメチルトリシロキサンのメシチレン(165)とデカヒドロナフトール(沸点230℃)の9:1混合溶液(1wt%)3.0g、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリ(α−メチルスチレン)(Mw850,000、水の接触角88°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で有機半導体層の電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は2.51cm/V・s、電流オン・オフ比は4.1×10であった。
Example 7
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
In a 10 ml sample tube under air, 3.0 g of a 9: 1 mixed solution (1 wt%) of mesitylene (165) and decahydronaphthol (boiling point 230 ° C.) of octamethyltrisiloxane, 2,7-di (n-hexyl) di Add 61 mg of thienobenzodithiophene and 61 mg of poly (α-methylstyrene) (Mw 850,000, water contact angle 88 °), and heat to 50 ° C. to dissolve it. went.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties of the organic semiconductor layer were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 2.51 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 4.1 × 10 7 from the transfer characteristics. Met.

実施例8
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にオクタメチルトリシロキサンのテトラリン溶液(1wt%)(沸点207℃)3.0g、2,7−ジ(n−オクチル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリ(2−ビニルナフタレン)(Mw100,000、水の接触角93°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行った。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は2.13cm/V・s、電流オン・オフ比は3.0×10であった。
Example 8
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, a tetralin solution of octamethyltrisiloxane (1 wt%) (boiling point 207 ° C.) 3.0 g, 2,7-di (n-octyl) dithienobenzodithiophene 61 mg, and poly (2-vinyl) in a 10 ml sample tube A solution for forming an organic semiconductor layer was prepared by adding 61 mg of naphthalene (Mw 100,000, contact angle of water 93 °) and heating to 50 ° C. to dissolve.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced in the same manner as in Example 1.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 2.13 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 3.0 × 10 7 from the transfer characteristics.

比較例1
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にテトラリン3.0g、2,7−ジ(n−オクチル)ジチエノベンゾジチオフェン61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行ったが、界面活性剤を用いなかったことから基板上を有機半導体層形成用溶液がはじいてしまい、製膜をすることができなかった。
Comparative Example 1
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Preparation of a solution for forming an organic semiconductor layer by adding 3.0 g of tetralin and 61 mg of 2,7-di (n-octyl) dithienobenzodithiophene to a 10 ml sample tube in air and heating to 50 ° C. to dissolve. Went.
(Production of organic semiconductor layer)
The organic semiconductor layer was produced by the same method as in Example 1, but since the surfactant was not used, the organic semiconductor layer forming solution repelled on the substrate, and the film could not be formed. .

比較例2
(有機半導体層形成用溶液の調製)
メシチレンの代わりにトルエン(沸点111℃)を用いた以外は、実施例2と同様の方法により有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層を作製したが、常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を用いなかったことから、得られた有機半導体層の表面に針状結晶の析出が見られ、均一な結晶膜の生成を行うことができなかった。
(半導体・電気物性の測定)
上述の有機半導体層の結晶膜部位を実施例1と同様の方法で電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は0.34cm/V・s、電流オン・オフ比は2.7×10であり、半導体・電気特性に劣るものであった。
Comparative Example 2
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
A solution for forming an organic semiconductor layer was prepared in the same manner as in Example 2 except that toluene (boiling point 111 ° C.) was used instead of mesitylene.
(Production of organic semiconductor layer)
An organic semiconductor layer was produced by the same method as in Example 1, but since an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure was not used, acicular crystals were deposited on the surface of the obtained organic semiconductor layer. As a result, a uniform crystal film could not be produced.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the physical properties of the crystalline semiconductor portion of the organic semiconductor layer were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 0.34 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was It was 2.7 × 10 6 and was inferior in semiconductor / electrical characteristics.

比較例3
(有機半導体層形成用溶液の調製)
空気下、10mlサンプル管にテトラリン3.0g、2,7−ジ(n−ヘキシル)ジチエノベンゾジチオフェン61mg、およびポリ(α−メチルスチレン)(Mw850,000、水の接触角88°)61mgを加え、50℃に加熱して溶解させることで、有機半導体層形成用溶液の調製を行った。
(有機半導体層の作製)
実施例1と同様の方法により有機半導体層の作製を行ったが、界面活性剤を用いなかったことから、得られた有機半導体層の表面に針状結晶の析出が見られ、均一な結晶膜の生成を行うことができなかった。
(半導体・電気物性の測定)
実施例1と同様の方法で電気物性評価をおこなったところ、その伝達特性から正孔移動度は0.53cm/V・s、電流オン・オフ比は2.8×10であり、半導体・電気特性に劣るものであった。
Comparative Example 3
(Preparation of organic semiconductor layer forming solution)
Under air, 3.0 g of tetralin, 61 mg of 2,7-di (n-hexyl) dithienobenzodithiophene, and 61 mg of poly (α-methylstyrene) (Mw 850,000, water contact angle 88 °) in a 10 ml sample tube And heated to 50 ° C. for dissolution to prepare an organic semiconductor layer forming solution.
(Production of organic semiconductor layer)
Although the organic semiconductor layer was produced by the same method as in Example 1, since a surfactant was not used, acicular crystals were precipitated on the surface of the obtained organic semiconductor layer, and a uniform crystal film was obtained. Could not be generated.
(Measurement of semiconductor and electrical properties)
When the electrical properties were evaluated in the same manner as in Example 1, the hole mobility was 0.53 cm 2 / V · s and the current on / off ratio was 2.8 × 10 6 from the transfer characteristics.・ Inferior electrical characteristics.

;有機薄膜トランジスタの断面形状による構造を示す図である。; It is a figure which shows the structure by the cross-sectional shape of an organic thin-film transistor.

(A):ボトムゲート−トップコンタクト型有機薄膜トランジスタ
(B):ボトムゲート−ボトムコンタクト型有機薄膜トランジスタ
(C):トップゲート−トップコンタクト型有機薄膜トランジスタ
(D):トップゲート−ボトムコンタクト型有機薄膜トランジスタ
1:有機半導体層
2:基板
3:ゲート電極
4:ゲート絶縁層
5:ソース電極
6:ドレイン電極
(A): Bottom gate-top contact type organic thin film transistor (B): Bottom gate-bottom contact type organic thin film transistor (C): Top gate-top contact type organic thin film transistor (D): Top gate-bottom contact type organic thin film transistor 1: Organic semiconductor layer 2: Substrate 3: Gate electrode 4: Gate insulating layer 5: Source electrode 6: Drain electrode

Claims (6)

(A)下記一般式(1)
Figure 2015029020
(ここで、RおよびRは、同一でも異なっていてもよく、炭素数3〜9のアルキル基を示し、T〜Tは、各々同一でも異なっていてもよく、酸素原子または硫黄原子を示す。)
で示されるヘテロアセン誘導体、(B)界面活性剤、および(C)常圧での沸点が140℃以上の有機溶媒を含むことを特徴とする有機半導体層形成用溶液。
(A) The following general formula (1)
Figure 2015029020
(Here, R 1 and R 2 may be the same or different and each represents an alkyl group having 3 to 9 carbon atoms, and T 1 to T 4 may be the same or different, and each represents an oxygen atom or sulfur. Indicates an atom.)
(B) a surfactant, and (C) an organic solvent having a boiling point of 140 ° C. or higher at normal pressure.
(B)界面活性剤がシロキサン系界面活性剤であることを特徴とする請求項1に記載の有機半導体層形成用溶液。   (B) Surfactant is a siloxane type surfactant, The solution for organic-semiconductor layer formation of Claim 1 characterized by the above-mentioned. (B)界面活性剤が、下記一般式(2)または(3)
Figure 2015029020
(ここで、R〜Rは、同一でも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子、炭素数1〜10の炭化水素基、炭素数1〜10のフッ素原子を含む炭化水素基を示す。m、nは、1〜5の整数を示す。)
で示されるシロキサン化合物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機半導体層形成用溶液。
(B) The surfactant is represented by the following general formula (2) or (3)
Figure 2015029020
(Here, R 3 to R 8 may be the same or different and each represents a hydrogen atom, a fluorine atom, a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, or a hydrocarbon group containing a fluorine atom having 1 to 10 carbon atoms. M and n are each an integer of 1 to 5.)
The solution for forming an organic semiconductor layer according to claim 1, wherein the solution is a siloxane compound represented by the formula:
さらに(D)高分子化合物を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに有機半導体層形成用溶液   The solution for forming an organic semiconductor layer according to any one of claims 1 to 3, further comprising (D) a polymer compound. 請求項1〜4のいずれかに記載の有機半導体層形成用溶液により形成されることを特徴とする有機半導体層。   It forms with the solution for organic-semiconductor-layer formation in any one of Claims 1-4, The organic-semiconductor layer characterized by the above-mentioned. 請求項5に記載の有機半導体層含むことを特徴とする有機薄膜トランジスタ。   An organic thin film transistor comprising the organic semiconductor layer according to claim 5.
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