JP2014188814A - 液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接触不良やショート等の不具合を防止しつつ配線部材の端子と圧力発生手段の端子とをより確実かつ強固に接続することが可能な液体噴射ヘッド、および液体噴射装置を提供する。
【解決手段】フレキシブルケーブル３９は、ソルダーレジスト５６により被覆された部分と、ソルダーレジストにより被覆されていない露出部５８とを有し、この露出部は、配線端子５３を含み、当該配線端子と圧電素子１９側の素子端子とが接続された状態における少なくとも配線空部３８の配線部材挿入側の開口よりも外側の位置まで連続し、配線空部には、当該配線空部内の素子端子と配線端子との接合部分を覆う状態で、且つ、配線空部を画成する保護基板２４とフレキシブルケーブルの露出部とが接触していない状態で、電気的な絶縁性を有する充填剤６０が充填された。
【選択図】図４

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、およびこれを備える液体噴射装置に関するものであり、特に、液体噴射ヘッドの圧力発生手段に対応した配線端子を有する配線部材を備えた液体噴射ヘッド、および液体噴射装置に関する。

圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として吐出させる液体噴射ヘッドの一種に、振動板に接合された圧電素子（圧力発生手段の一種）を変形させることで液滴を噴射させるように構成されたものがある。この液体噴射ヘッドでは、駆動電圧（駆動パルス）を印加して圧電素子を駆動させることで圧力室容積を変化させ、圧力室内に貯留された液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズルから液滴を噴射させる。

上記圧電素子は、ＣＯＦ（Chip On Film）やＴＣＰ（Tape Career Package）等の、圧電素子を駆動するＩＣを実装したフィルム状の配線部材（以下、フレキシブルケーブル）が電気的に接続され、このフレキシブルケーブルを介して駆動電圧が供給される（例えば、特許文献１参照）。圧電素子は、下電極膜、圧電体層、及び上電極膜を有しており、一般的には、一方の電極（例えば、下電極膜）を、複数の圧電素子に共通の共通素子電極とし、他方の電極（例えば、上電極膜）を、各圧電素子に個別にパターニングされた個別素子電極としている。共通素子電極と個別素子電極との間に挟まれる圧電体層は、両電極間への駆動電圧の印加により圧電歪みが生じる圧電体能動部である。

上記のフレキシブルケーブルは、例えば、ポリイミド等のベースフィルムの表面に圧電素子への駆動電圧の印加を制御する制御ＩＣが実装されると共に配線パターンや配線端子が形成され、両端部に設けられた配線端子以外の配線パターンや制御ＩＣを、絶縁性のソルダーレジストで覆った構成とされている。
上記の圧電素子は、保護基板（或いは封止板とも呼ばれる）と呼ばれるシリコン単結晶基板からなる部材に収容され、当該圧電素子の端子部は、保護基板に設けられた配線空部内に配置される。そして、フレキシブルケーブルの一端部が、配線空部に挿通されて、当該一端部に形成されている配線端子が圧電素子の対応する端子に電気的に接続される。

特開２０１１−１６７９６４号公報

ところで、この種の液体噴射ヘッドでは、小型化の要請に対応するため、当該液体噴射ヘッドを構成する各部材もそれぞれ小型化が図られている。構成部材の一つである上記の保護基板については、小型化に伴い、配線空部も当該配線空部に挿通されるフレキシブルケーブルの一端部が挿通可能な範囲で狭小な空間となっている。さらに、ノズル数の増加および高密度化に伴い、端子部を構成する各端子も高密度に配設されており、端子間の間隔が狭くなっている。したがって、配線作業時には、狭い空間内で配線端子と圧電素子の端子とを精度良く接合することが必要となる。このような場合では、一般的なフレキシブルケーブルにおいて端子以外の部分を被覆するソルダーレジストの厚さが問題となる。即ち、ソルダーレジストの厚さは例えば、０．２ｍｍ程度であるが、上記の狭小な配線空部で配線作業を行う際、ソルダーレジストが配線空部を画成する部材（保護基板）と接触して、端子同士の接合位置ずれが生じるおそれがあった。

また、一般的に、フレキシブルケーブルのソルダーレジストの塗布範囲にはバラツキがあり、ソルダーレジストに被覆されていない部分がシリコン単結晶基板からなる保護基板に接触した場合、保護基板が導電性を有するためショートするおそれがある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接触不良やショート等の不具合を防止しつつ配線部材の端子と圧力発生手段の端子とをより確実かつ強固に接続することが可能な液体噴射ヘッド、および液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、駆動電圧が印加されることにより圧力室内の液体に圧力変動を生じさせて当該圧力室に通じるノズルから液体を噴射させる圧力発生手段と、
当該圧力発生手段を収容する基材と、
前記圧力発生手段に前記駆動電圧を供給する配線部材と、
を備え、
基材に設けられた配線空部内に前記圧力発生手段の第１の端子部が配置され、当該第１の端子部に前記配線部材の一端側の第２の端子部が電気的に接続される液体噴射ヘッドであって、
前記配線部材は、絶縁膜により被覆された第１の部分と、前記絶縁膜により被覆されていない第２の部分とを有し、
前記第２の部分は、前記第２の端子部を含み、当該第２の端子部と前記第１の端子部とが接続された状態における少なくとも前記配線空部の配線部材挿入側の開口よりも外側の位置まで連続し、
前記配線空部には、当該配線空部内の前記第１の端子部と前記第２の端子部との接合部分を覆う状態で、且つ、前記基材と前記第２の部分とが接触していない状態で、電気的な絶縁性を有する充填剤が充填されたことを特徴とする。

上記の構成によれば、配線部材において絶縁膜により被覆されていない第２の部分は、第２の端子部を含み、当該第２の端子部と前記第１の端子部とが接続された状態における少なくとも前記配線空部の配線部材挿入側の開口よりも外側の位置まで連続しているので、すなわち、配線空部に挿入される範囲に絶縁膜が設けられていないので、その分、当該挿入範囲における厚みを薄くすることができる。このため、比較的狭小な配線空部における配線作業が容易となり、また、絶縁膜が配線空部を画成する基材と接触して端子同士の接合位置ずれが生じることが抑制される。
また、配線空部には、当該配線空部内の第１の端子部と第２の端子部との接合部分を覆う状態で、且つ、基材と第２の部分とが接触していない状態で、電気的な絶縁性を有する充填剤が充填されたので、この充填剤により配線部材の姿勢が固定され、基材が導電性を有する材料からなる場合において配線部材の第２の部分が基材に接触してショートすることが防止される。また、第１の端子部と第２の端子部との接合部分が充填剤で覆われて補強されるので、より強固に接続されて接触不良等が低減される。

上記構成において、前記充填剤は、前記配線空部の前記開口よりも外側の前記第１の部分に達して前記第２の部分の全面を被覆する構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、第２の部分の全面が充填剤によって覆われるので、当該第２の部分と基材との間のショートをより確実に防止することが可能となる。

上記構成において、前記第１の端子部と前記第２の端子部とは、非導電性接着剤により接続される構成に好適である。

この構成によれば、端子間のピッチが比較的狭い構成においても端子間のショートを生じさせ難い一方で導電性接着剤等の他の接着剤やハンダ等と比較して接合力が弱い非導電性接着剤を採用した場合において、当該非導電性接着剤による端子間の接合部分が充填剤によって補強されるので、端子の高密度化に対応することができる。

上記構成において、前記基材が、シリコン単結晶基板からなる構成に好適である。

この構成によれば、基材が導電性を有するシリコン単結晶基板からなる構成では、充填剤により配線部材の動きが規制されるので、配線部材の第２の部分が基材に接触することが抑制され、その結果、第２の部分と基材との間のショートが防止される。

さらに、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。 ヘッドユニットの分解斜視図である。 ヘッドユニットの断面図である。 圧電素子の素子電極および素子電極配線部のレイアウトについて説明する模式図である。 フレキシブルケーブルの構成を説明する正面図である。 フレキシブルケーブルの構成を説明する斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式プリンター（本発明の液体噴射装置の一種）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。

まず、プリンターの概略構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面へ液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、インクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。

図２は、上記記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、ケース１５と、複数のヘッドユニット１６と、ユニット固定板１７と、ヘッドカバー１８とにより概略構成されている。
ケース１５は、内部にヘッドユニット１６や集束流路（図示せず）を収容する箱体状部材であり、上面側に針ホルダ１９が形成されている。この針ホルダ１９は、インク導入針２０を取り付けるための板状部材であり、本実施形態においてはインクカートリッジ７のインク色に対応させて８本のインク導入針２０がこの針ホルダ１９に横並びに配設されている。このインク導入針２０は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、先端部に開設された導入孔（図示せず）からインクカートリッジ７内に貯留されたインクをケース１５内の集束流路を通じてヘッドユニット１６側に導入する。

また、ケース１５の底面側には、４つのヘッドユニット１６が、主走査方向に横並びに位置決めされた状態で各ヘッドユニット１６に対応した４つの開口部１７′を有する金属製のユニット固定板１７に接合されると共に、同じく各ヘッドユニット１６に対応する４つの開口部１８′が開設された金属製のヘッドカバー１８によって固定される。

図３は、ヘッドユニット１６（記録ヘッド３よりも狭義の液体噴射ヘッド。）の構成を示す分解斜視図であり、図４は、ヘッドユニット１６の断面図である。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。さらに図５は、圧電素子３５の素子端子部の構成を説明する平面図である。
本実施形態におけるヘッドユニット１６は、ノズルプレート２２、流路基板２３、保護基板（保護基板）２４、及び、コンプライアンス基板２５等から構成され、これらの部材を積層した状態でユニットケース２６に取り付けられている。

ノズルプレート２２（ノズル形成部材の一種）は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２７を列状に開設した板状の部材である。本実施形態では、３６０ｄｐｉに対応するピッチで３６０個のノズル２７を列設することでノズル列（ノズル群の一種）が構成されている。本実施形態においては、当該ノズルプレート２２に２つのノズル列が形成されている。

流路基板２３は、その上面（保護基板２４側の面）に二酸化シリコンからなる極薄い弾性膜３０が熱酸化によって形成されている。この流路基板２３には、図４に示すように、異方性エッチング処理によって複数の隔壁で区画された圧力室３１が各ノズル２７に対応して複数形成されている。この流路基板２３における圧力室３１の列の外側には、共通液室３２の一部を区画する連通空部３３が形成されている。この連通空部３３は、インク供給路３４を介して各圧力室３１と連通している。

流路基板２３の上面の弾性膜３０上には、金属製の下電極膜（共通素子電極４６）と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層（図示せず）と、金属からなる上電極膜（個別素子電極４７）とを順次積層することで形成された圧電素子３５（圧力発生手段の一種）が圧力室３１毎に形成されている。この圧電素子３５は、所謂撓みモードの圧電素子であり、圧力室３１の上部を覆うように形成されている。本実施形態において、２列のノズル列に対応して２列の圧電素子列が、ノズル列方向で見て圧電素子３５が互い違いとなる状態でノズル列に直交する方向に並設されている。なお、下電極膜が個別素子電極４７で、上電極膜が共通素子電極４６である構成を採用することもできる。

圧電素子３５の各素子電極４７，４６からは、それぞれ電極配線部（端子部）４８，４９が弾性膜３０上における各圧電素子列の間の中央領域に延出されている（図５参照）。これらの電極配線部の電極端子に相当する部分に、フレキシブルケーブル３９の一端側配線端子５３（第２の端子部の一種）が電気的に接続される。そして、各圧電素子３５は、フレキシブルケーブル３９を通じて個別素子電極および共通素子電極間に駆動電圧が印加されることにより変形するように構成されている。本実施形態において、上記弾性膜３０、各電極４６，４７を含む圧電素子３５、及び圧電素子３５の各電極に導通する電極配線部４８，４９が、アクチュエーターユニットに相当する。なお、電極配線部やフレキシブルケーブル３９の詳細については後述する。

上記圧電素子３５が形成された流路基板２３上には、厚さ方向に貫通した貫通空部３６を有する保護基板２４（保護基板）が配置される。この保護基板２４は、流路基板２３やノズルプレート２２と同様にシリコン単結晶基板を用いて作製されている。また、この保護基板２４における貫通空部３６は、流路基板２３の連通空部３３と連通して共通液室３２の一部を区画する。また、保護基板２４には、圧電素子３５に対向する領域に当該圧電素子３５の駆動を阻害しない程度の大きさの収容空部３７が形成されている。さらに、保護基板２４において、隣り合う圧電素子列の間には、基板厚さ方向を貫通した配線空部３８が形成されている。この配線空部３８内には、平面視において、圧電素子３５の個別素子電極端子４８や共通素子電極端子５１（図５）等が配置される。この配線空部３８は、平面視においてノズル列方向に長尺な長方形状の開口を有する空部であり、当該開口部にフレキシブルケーブル３９の一端部が挿通されて、アクチュエーターユニットの素子電極端子と接続される。

ユニットケース２６は、インク導入口４０に連通してインク導入針２０側から導入されたインクを共通液室３２側に供給するためのインク導入路４２が形成されると共に、可撓部４１に対向する領域にこの可撓部４１の膨張を許容する凹部４３が形成された部材である。このユニットケース２６の中心部には、厚さ方向に貫通した空部４４が開設されており、この空部４４内にフレキシブルケーブル３９が挿通される。

そして、これらのノズルプレート２２、流路基板２３、保護基板２４、コンプライアンス基板２５、及び、ユニットケース２６は、接着剤や熱溶着フィルム等を間に配置して積層した状態で加熱することで相互に接合される。

以上のように構成されたヘッドユニット１６は、インクカートリッジ７からのインクを、インク導入路４２を通じてインク導入口４０から共通液室３２側に取り込み、共通液室３２からノズル２７に至るインク流路（液体流路の一種）をインクで満たす。そして、フレキシブルケーブル３９からの駆動電圧を圧電素子３５に印加してこの圧電素子３５を撓み変形させることによって、対応する圧力室３１内のインクに圧力変動を生じさせ、このインクの圧力変動を利用してノズル２７からインクを噴射させる。

図５は、圧電素子３５の素子電極および当該素子電極から延びる素子電極配線部のレイアウトを説明する模式図である。なお、同図において、濃いハッチングで示す部分は個別素子電極４７およびこれに導通する個別素子電極配線部４８であり、薄いハッチングで示す部分は共通素子電極４６およびこれに導通する共通素子電極配線部４９である。また、同図では、縦方向がノズル列設方向（圧電素子列設方向）であり、ノズル列２列分に対応する構成が図示されている。本実施形態において、電極膜の材料としては、白金又は金が用いられる。

本実施形態においては、圧力室３１の一部を区画する弾性膜３０上に各圧電素子３５に共通な共通素子電極４６（４６ａ，４６ｂ）が、ノズル列方向に沿って同方向に長尺な平面視矩形状に連続的に形成され、その上に圧電体層（図示せず）、個別素子電極４７（４７ａ，４７ｂ）が順次積層されて圧電素子３５毎にパターニングされている。個別素子電極４７の長手方向の寸法は、共通素子電極４６の短尺方向の幅よりも長くなっている。また、個別素子電極４７の幅方向（短尺方向）の寸法は、圧電素子３５の幅と同程度に揃えられている。隣り合うノズル列の間には、各個別素子電極４７に対応して当該電極４７に導通する平面視短冊状の個別素子電極端子４８（第１の端子部の一種）が形成されている。この個別素子電極端子４８の長尺方向の寸法は、隣の共通素子電極４６に接触しない程度の長さに設定されている。また、個別素子電極端子４８の幅方向（短尺方向）の寸法は、個別素子電極４７の幅の寸法に揃えられている。そして、一方（図において左側）のノズル列に対応する個別素子電極端子４８ａと、他方（図において右側）のノズル列に対応する個別素子電極端子４８ｂとは、ノズル列方向において互い違いに並ぶように一定の間隔で列状に配置されている。

また、各共通素子電極４６ａ，４６ｂのノズル列方向両側には、共通素子電極部４９がそれぞれ形成されている。共通素子電極部４９は、ノズル列方向に直交する方向に沿って各ノズル列に対応する各共通素子電極４６ａ，４６ｂに渡って延びており、これらの共通素子電極４６ａ，４６ｂに共通な電極配線部となっている。また、この共通素子電極部４９は、枝電極部５０を通じて各共通素子電極４６と導通している。また、この共通素子電極部４９において、個別素子電極端子４８の列設方向両側に位置する部分、即ち、図５において破線の円で囲まれた部分が、フレキシブルケーブルの一端側配線端子５３と接合される共通素子電極端子５１（第１の端子部の一種）である。

図６は、フレキシブルケーブル３９（本発明における配線部材の一種）の構成を説明する正面図、図７は、フレキシブルケーブル３９の構成を説明する斜視図である。本発明に係るフレキシブルケーブル３９は、ポリイミド等の矩形状のベースフィルムの一方の面に圧電素子３５への駆動電圧の印加を制御する制御ＩＣ５２が実装されると共に、この制御ＩＣ５２に接続される電極配線５５のパターンが形成されている。また、フレキシブルケーブル３９の一端部（図６における下端部）には、一端側配線端子５３が、アクチュエーターユニットの各素子電極端子４８，５１に対応して複数列設され、他端部（図６における上端部）には、プリンター本体側からの信号を中継する基板（図示せず）の基板端子部に接続される他端側配線端子５４が複数列設されている。そして、フレキシブルケーブル３９において、配線端子５３，５４以外の配線パターンや制御ＩＣ５２の表面は、ソルダーソルダーレジスト５６（本発明における絶縁膜に相当）で覆われている。このソルダーレジスト５６で覆われた部分は、本発明における第１の部分に相当する。このソルダーレジスト５６は、絶縁性樹脂からなる被覆膜である。なお、図６および図７においてハッチングで示す部分が、ソルダーレジスト５６で被覆された範囲を示す。

アクチュエーターユニットへの配線作業時において、フレキシブルケーブル３９の一端部は、配線端子形成領域と配線パターン形成領域との間に仮想的に設定された折り曲げ線ＢＬ１（図６参照）から配線端子や配線パターン等が形成されている一方の面とは反対側の他方の面側に向けて略直角に屈曲された状態とされる（図３、図４、および図７参照）。この状態では、一端側配線端子５３が形成された部分が、アクチュエーターユニットへの取り付け時にアクチュエーターユニット側の各素子電極端子４８，５１に対向する。フレキシブルケーブル３９の一側配線端子部５３と、アクチュエーターユニット側の対応する素子電極端子４８，５１とは、例えば、非導電性接着剤（ＮＣＰ：Non-Conductive Paste）或いはこれをシート状にしたものにより電気的に接続され、フレキシブルケーブル３９がアクチュエーターユニットに取り付けられる。この非導電性接着剤は、導電性粒子を含まないため、隣り合う端子間の間隔が比較的狭い構成においても隣接端子間のショートを防止しつつ素子側端子と配線側端子との接合が可能である。このため、端子の高密度化に対応することができる。フレキシブルケーブル３９の一端部は、ユニットケース２６の空部４４および保護基板２４の配線空部３８に挿通され、一端側配線端子５３は、アクチュエーターユニット側の対応する素子電極端子４８，５１に接続される。

ここで、本実施形態における記録ヘッド３では小型化の要請に対応するため、各ヘッドユニット１６も各々小型化が図られている。このため、ヘッドユニット１６を構成する各部材も小型化が図られている。構成部材の一つである保護基板２４については、小型化に伴い、配線空部３８も当該配線空部３８に挿通されるフレキシブルケーブル３９の一端部が挿通可能な範囲で可及的に狭小な空間となっている。さらに、ノズル数の増加および高密度化に伴い、端子部を構成する各端子も高密度に配設されており、端子間の間隔が狭くなっている。したがって、配線作業時には、狭小な空間内で配線端子５３と素子電極端子４８，５１とを精度良く接合することが必要となる。このような場合では、一般的なＣＯＦ等のフレキシブルケーブルにおいて端子以外の部分を被覆するソルダーレジストの厚さが配線作業性等に影響を及ぼす。即ち、ソルダーレジストの厚さは例えば、０．２ｍｍ程度であるが、上記の比較的狭小な配線空部で配線作業を行う際、ソルダーレジストが配線空部を画成する部材（本実施形態においては、保護基板２４）と接触して、端子同士の接合位置ずれが生じるおそれがあった。

上記の点に鑑み、本発明に係る記録ヘッド３では、フレキシブルケーブル３９の一端部の配線端子５３を含む範囲に、ソルダーレジスト５６で被覆されていない露出部５８（本発明における第２の部分に相当）が設けられている。この露出部５８は、配線端子５３と素子電極端子４８，５１とが接続された状態で、少なくとも保護基板２４における配線空部３８の上部開口（フレキシブルケーブルが挿入される側の開口）よりも外側の位置まで設けられている。すなわち、この露出部５８とソルダーレジスト５６との境界（図６におけるＢＬ２）は、保護基板２４における配線空部３８の上部開口よりも外側（フレキシブルケーブルの他端側）に位置するように構成されている。より具体的には、フレキシブルケーブル３９の一端側の折り曲げ線ＢＬ１から露出部５８とソルダーレジスト５６との境界線ＢＬ２までの距離ｄは、ソルダーレジスト５６の塗布バラツキを考慮しつつ少なくとも保護基板２４の高さＨ（図４参照）よりも長く設定されている。この構成によれば、フレキシブルケーブル３９において配線空部３８に挿入される範囲にソルダーレジスト３６が設けられていないので、当該挿入範囲の厚みを薄くすることができる。これにより、比較的狭小な配線空部３８における配線作業が容易となり、また、ソルダーレジスト３９が配線空部を画成する部材（保護基板２４）と接触して端子同士の接合位置ずれが生じることが抑制される。

しかしながら、実際に圧電素子３５を駆動する際に、フレキシブルケーブル３９の露出部５８が、導電性を有する保護基板２４に接触した場合、両者間でショートする可能性がある。このため、本発明に係る記録ヘッド３では、配線空部３８に、当該配線空部３８内の少なくとも配線端子５３と素子電極端子４８，５１との接合部分を覆う状態で、且つ、保護基板２４と露出部５８とが接触しない状態で、絶縁性の充填剤６０が充填されている。本実施形態においては、配線空部３８の内部全てが充填剤６０によって埋められている。この充填剤６０としては、接着剤等の非導電性の樹脂が用いられる。この充填剤６０によりフレキシブルケーブル３９の姿勢が固定されるので、フレキシブルケーブル３９の露出部５８がシリコン単結晶基板からなる保護基板２４に接触してショートすることが防止される。また、配線端子部５３と素子電極端子４８，５１との接合部分が充填剤６０で覆われて補強されるので、接触不良等が低減される。なお、露出部５８と保護基板２４との間のショートをより確実に防止する上では、充填剤６０を配線空部３８の開口よりもさらに上方（フレキシブルケーブル３９の他端部側）まで膨隆させてソルダーレジスト５６まで達して露出部５８を全て当該充填剤６０で被覆することが望ましい。

なお、上記実施形態では、本発明に係る圧力発生手段として、圧電素子３５を例示したがこれには限られない。例えば、発熱素子や静電アクチュエーターなどの他のアクチュエーターの端子部と配線端子部を接合する構成においても本発明は好適である。
また、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、導電性を有する構造体で囲まれた配線空部内で配線部材の配線端子と圧力発生手段の素子端子とが配線される構成の他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，３…記録ヘッド，１６…ヘッドユニット，２３…流路基板，２４…保護基板，２７…ノズル，３０…弾性体膜，３１…圧力室，３５…圧電素子，３９…フレキシブルケーブル，４６…共通素子電極，４７…個別素子電極，４８…個別素子電極端子，４９…共通素子電極部，５１…共通素子電極端子，５２…制御ＩＣ，５３…一端側配線端子，５４…他端側配線端子，５５…電極配線，５６…ソルダーレジスト，５８…露出部，６０…充填剤

Claims (5)

1. 駆動電圧が印加されることにより圧力室内の液体に圧力変動を生じさせて当該圧力室に通じるノズルから液体を噴射させる圧力発生手段と、
   当該圧力発生手段を収容する基材と、
   前記圧力発生手段に前記駆動電圧を供給する配線部材と、
   を備え、
   基材に設けられた配線空部内に前記圧力発生手段の第１の端子部が配置され、当該第１の端子部に前記配線部材の一端側の第２の端子部が電気的に接続される液体噴射ヘッドであって、
   前記配線部材は、絶縁膜により被覆された第１の部分と、前記絶縁膜により被覆されていない第２の部分とを有し、
   前記第２の部分は、前記第２の端子部を含み、当該第２の端子部と前記第１の端子部とが接続された状態における少なくとも前記配線空部の配線部材挿入側の開口よりも外側の位置まで連続し、
   前記配線空部には、当該配線空部内の前記第１の端子部と前記第２の端子部との接合部分を覆う状態で、且つ、前記基材と前記第２の部分とが接触していない状態で、電気的な絶縁性を有する充填剤が充填されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記充填剤は、前記配線空部の前記開口よりも外側の前記第１の部分に達して前記第２の部分の全面を被覆したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第１の端子部と前記第２の端子部とは、非導電性接着剤により接続されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記基材は、シリコン単結晶基板からなることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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