JP2014179753A - 圧電型電気音響変換器及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】薄型・小型で高い信頼性を有し、高音質音を再生させることが可能な圧電型電気音響変換器及び電子機器を提供すること。
【解決手段】内側の空間において枠状の側壁面と底面を有するとともに上部が開口したフレーム１０と、前記フレームの内側に配されるとともに、並列に並んで配された複数の圧電アクチュエータ２と、前記圧電アクチュエータと前記フレームの前記底面との間における所定の領域に配された弾性部材１１と、を備え、前記圧電アクチュエータは、一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記一端面に対して反対側の他端面が前記フレームの側壁面から離れており、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータは、互いに、前記フレームの前記側壁面に接合する前記一端面が逆向きとなっている。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧電型電気音響変換器及び電子機器に関する。

携帯電話機等の携帯端末においては、音楽再生、ハンズフリーなどの多彩な音響機能が要求されている。また、モビリティの追求から装置の薄型・小型化が促進されている。こうした中、携帯端末に実装される電気音響変換器に対しては小型・薄型でかつ高音質への要求が高く、高音質の再生が可能な薄型電気音響変換器の開発が要求されている。一般的に、携帯端末では電気音響変換器として、磁石を用いたステータの磁気回路の作用によりボイスコイルに固定された振動膜を振動させて音波を発生させる動電型電気音響変換器が使用されている。

しかしながら、動電型電気音響変換器の音圧レベルは体積排除量に依存するため、その原理上、薄型化と音圧レベルの増大には限界がある。大音量の再生には振動振幅量の増大が必要であるが、磁気回路の駆動力を考慮した場合、磁束を確保するために、ある程度の磁石容積が必要となるため、大音量化は小型薄型化に対してトレードオフになる。また、薄型化を促進するために、ボイスコイルの細線化も考えられるが、大電流が流れる磁気回路おいては高温になる等の問題がある。このため、動電型電気音響変換器は薄型には不向きである。

これに対して、動電型に代わる薄型の電気音響変換器として、圧電型電気音響変換器がある（例えば、特許文献１〜５参照）。圧電型電気音響変換器は、圧電素子の電歪効果を利用して振動振幅を発生させるものである。圧電型電気音響変換器は、圧電素子自体が振動源になるため、薄型化に優位である。

特開２００３−１０２０９４号公報 特開２００４−３６４３３４号公報 特開２０１２−１１００１８号公報 特開２０１２−１３４５９１号公報 再公表特許第２０１０／１３７２４２号

以下の分析は、本願発明者により与えられる。

しかしながら、圧電型電気音響変換器においては、以下のような問題がある。

通常、圧電素子には圧電セラミックスが使用されるが、機械品質係数Ｑが高いため、共振周波数近傍では大きな音圧レベルが得られるものの、それ以外の帯域では音圧レベルが減衰する。すなわち、音圧周波数特性において山谷が発生し、高音質化の不可欠な設計因子である、平坦な音圧周波数特性が劣化してしまう。

また、圧電セラミックスは脆性材料であるため、特定箇所に応力が集中した場合、割れや欠けなどの破損が生じる。携帯端末においては、高い耐落下衝撃性が要求されるため、実用性の観点から問題がある。
さらに、圧電セラミックスは剛性が高いため、低域音圧レベルの再生が不利である。ここで、機械振動子の共振周波数ｆは、「ｆ∝１／Ｌ√（Ｃ／ｍ）」の関係がある。なお、Ｌは素子の長さ、ｍは重量、Ｃは剛性である。低域音圧の再生には、振動子自体の基本共振周波数の低減が必要であり、剛性が高いセラミックス材料を利用する場合、圧電セラミックスの形状を拡大させるなどの対策が必要である。圧電セラミックスは、動電型変換器に対して薄型であるものの、投影面積は拡大するため、必ずしも小型化で優位と言えない状況である。

本発明の主な課題は、薄型・小型で高い信頼性を有し、高音質音を再生させることが可能な圧電型電気音響変換器及び電子機器を提供することである。

本発明の第１の視点においては、圧電型電気音響変換器において、内側の空間において枠状の側壁面と底面とを有するとともに上部が開口したフレームと、前記フレームの内側に配されるとともに、並列に並んで配された複数の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータと前記フレームの前記底面との間における所定の領域に配された弾性部材と、を備え、前記圧電アクチュエータは、一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記一端面に対して反対側の他端面が前記フレームの側壁面から離れており、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータは、互いに、前記フレームの前記側壁面に接合する前記一端面が逆向きとなっていることを特徴とする。

本発明の第２の視点においては、電子装置において、前記圧電型電気音響変換器が実装されること特徴とする。

本発明によれば、高効率で大音量の再生が可能となり、大振幅、低共振周波数、低い機械品質係数Ｑ、耐落下衝撃性を実現することができる。

本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した平面図である。 本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した図１のＸ−Ｘ´間の断面図である。 比較例に係る構成を模式的に示した断面図である。 本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の超音波帯域での周波数音圧特性を模式的に示した図である。 本発明の実施形態２に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。 本発明の実施形態３に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。 本発明の実施形態４に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。 本発明の実施形態５に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した平面図である。

［実施形態１］
本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した平面図である。図２は、本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した図１のＸ−Ｘ´間の断面図である。

実施形態１に係る圧電型電気音響変換器１は、圧電の電歪効果を利用して振動振幅を発生させる圧電型の電気音響変換器である。圧電型電気音響変換器１は、例えば、携帯電話機、スマートフォン等の携帯型の電子機器に実装される。圧電型電気音響変換器１は、主な構成部として、圧電アクチュエータ２と、フレーム１０と、弾性部材１１と、を有する。

圧電アクチュエータ２は、圧電の電歪効果を利用して振動振幅を発生させるアクチュエータである。圧電アクチュエータ２は、板状部材１２の主面上に圧電素子３が接合した構成となっている。圧電アクチュエータ２は、矩形状に形成されている。圧電アクチュエータ２は、一端面がフレーム１０の側壁面に接合（接着）し、一端面に対して反対側の他端面がフレーム１０の側壁面から離れている。圧電アクチュエータ２は、フレーム１０の側壁面に対して直角方向に延在するように配されている。複数の圧電アクチュエータ２は、並列に並んで配置されている。隣り合う圧電アクチュエータ２は、互いに、フレーム１０の側壁面に接合する一端面が逆向きとなっている。圧電アクチュエータ２は、他端部の近傍の下側の面にて、弾性部材１１を介してフレーム１０の底面に支持されている。圧電アクチュエータ２は、周波数音圧特性において、特に音圧減衰する周波数近傍に、共振周波数を充てられる。これにより、音圧補完でき、より平坦な周波数音圧特性が実現できる。なお、各圧電アクチュエータ２は、すべて同形状である必要はなく、任意の形状を選択できる。

板状部材１２は、板状の部材である。板状部材１２には、例えば、金属板を用いることができる。板状部材１２は、上方から見て矩形状に形成されている。板状部材１２は、一端面がフレーム１０の側壁面に接合（接着）し、一端面に対して反対側の他端面がフレーム１０の側壁面から離れている。板状部材１２は、主面の片側にて圧電素子３と接合（接着等でも可）している。板状部材１２は、フレーム１０の側壁面に対して直角方向に延在するように配されている。板状部材１２は、他端部の近傍の下側の面にて、弾性部材１１を介してフレーム１０の底面に支持されている。板状部材１２は、圧電素子３を支持すると同時に、電気伝導が可能であるため、圧電素子３の電極としても使用できる。板状部材１２は、リード線２２を介して端子２５と電気的に接続され、端子２５からの電気信号を圧電素子３の電極１３に印加させる役割を持つ。板状部材１２には、導電性を有し、かつ、振動板として機能する金属材料（合金等の金属系材料を含む）を用いることができ、例えば、リン青銅、ステンレス材料等を用いることができる。板状部材１２の厚さは、特に限定されないが、圧電フィルム１４への拘束を緩和させるため、圧電フィルム１４の厚さよりも薄いことが好ましい。また、各板状部材１２の厚さは、均一であってもよく、互いに異なっていてもよい。各板状部材１２の厚さが異なっていることにより、容易に所望の共振周波数に調整できるメリットも持つ。また、板状部材１２の延在方向の長さは、均一であってもよく、互いに異なっていてもよい。各板状部材１２の延在方向の長さを変えることで、複数の共振周波数の付与が可能となる。

圧電素子３は、圧電の電歪効果を利用して振動振幅を発生させる素子である。圧電素子３は、電極１３、１５間に圧電フィルム１４が挟み込まれた構造となっている。圧電素子３は、電極１３側の主面で板状部材１２に接合（接着、貼合等でも可）しており、圧電素子３の主面に対して上下方向に板状部材１２で拘束される。

電極１３、１５は、圧電フィルム１４の主面の両側に接合した導電性の部材である。電極１３、１５は、圧電フィルム１４と接合（接着、貼合等でも可）している。電極１３、１５は、上方から見て矩形状（円形でも可）に形成されている。電極１３、１５は、フレーム１０の側壁面から離れている。電極１５は、リード線２１を介して端子２４と電気的に接続されており、端子２４からの電気信号を圧電フィルム１４に印加させる役割を持つ。なお、電極１３は、板状部材１２が金属板であれば省略することができ、圧電フィルム１４と板状部材１２とを直接接合させてもよい。電極１３、１５には、導電性を有する金属材料（合金等の金属系材料を含む）が用いられ、例えば、銀箔を用いることができ、板状部材１２の材料と同様なリン青銅、ステンレス材料等を用いることができる。電極１３、１５の厚さは、特に限定されないが、圧電フィルム１４への拘束を緩和させるため、圧電フィルム１４の厚さよりも薄いことが好ましい。

圧電フィルム１４は、電極１３、１５間に介在した圧電材料よりなるフィルムである。圧電フィルム１４は、電極１３、１５と接合（接着、貼合等でも可）している。圧電フィルム１４は、上方から見て矩形状（円形でも可）に形成されている。圧電フィルム１４は、フレーム１０の側壁面から離れている。圧電フィルム１４は、電極１３、１５に電気信号が印加されることにより、電歪効果により振動を発生し、振幅運動を発生し、音波を放射する。圧電フィルム１４には、例えば、圧電セラミックス、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン及び三フッ化エチレンのコポリマー等の有機圧電材料（有機強誘電材料）を用いることができる。

フレーム１０は、圧電アクチュエータ２の板状部材１２を弾性部材１１を介して保持する部材である。フレーム１０は、内側の空間において枠状の側壁面と底面を有し、上部が開口した構成となっている。フレーム１０は、上方（図２の上側；板状部材１２の板面の上方）から見て矩形状に形成されている。フレーム１０は、内周壁面の複数の所定の位置にて弾性部材１１と接合（接着、圧入、圧接、嵌合等でも可）している。フレーム１０には、例えば、樹脂材料や、真鍮、ステンレス等を用いることができる。

弾性部材１１は、弾性を有する部材である。弾性部材１１は、圧電アクチュエータ２の板状部材１２の下側の面における他端面（フレーム１０と接合している一端面に対して反対側の端面）の近傍の部分とフレーム１０の底面との間に配されている。弾性部材１１を用いることにより、復元力と内部損失を利用することができる。弾性材料１１には、例えば、ウレタンゴム、二トリル系ゴム等の弾性を有する材料を用いることができる。

次に、本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の周波数音圧特性について、比較例と対比しながら図面を用いて説明する。図３は、比較例に係る構成を模式的に示した断面図である。図４は、本発明の実施形態１に係る圧電型電気音響変換器の超音波帯域での周波数音圧特性を模式的に示した図である。なお、図３は、図１のＸ−Ｘ´間の断面に相当する。

まず、比較例に係る圧電型電気音響変換器１０１の構成について説明する。図３を参照すると、比較例に係る圧電型電気音響変換器１０１は、板状部材１１２の両端面がフレーム１１０の側壁面に接合されており、フレーム１１０の底面をなくし、弾性部材（図２の１１）の使用をやめたものである。圧電素子１０３の構成は、実施形態１の圧電素子３と同様である。

図４の超音波帯域での周波数音圧特性を参照すると、実施形態１では、超音波帯域での特定周波数で音圧レベルが高く、パラメトリックスピーカの振動子（超音波振動子）として好適である。すなわち、実施形態１では、２００００Ｈｚ（２０ｋＨｚ）以上の超音波を発振させるのに好適である。一方、比較例では、超音波帯域での特定周波数で音圧レベルが実施形態１よりも低く、パラメトリックスピーカの振動子として適していない。

実施形態１によれば、圧電型電気音響変換器は小型・薄型で高音質音の再生が可能である。実施形態１の詳細な効果は、以下の通りである。

実施形態１によれば、隣り合う圧電アクチュエータ２の支持される一端面の方向が互いに逆方向となるように配置することで、互いの圧電アクチュエータ２からの音波の干渉を防止でき、音圧を増加させることができる。

また、実施形態１によれば、振動変位が最大である端部に弾性部材１１を配置することで、弾性部材１１の反発・復元効果と慣性により振動振幅を増大させることができる。また、実施形態１によれば、落下時において、特に変位が最大化する端部で弾性部材１１により衝撃を吸収できることから、信頼性も向上する。また、実施形態１によれば、振動振幅の際に弾性部材１１による減衰効果を受けるため、機械品質係数Ｑが低減できる。

また、実施形態１によれば、圧電型電気音響変換器１は、２０ｋＨｚ以上の超音波を発振させることが可能であり、ＦＭ（Frequency Modulation）やＡＭ（amplitude modulation）変調させた超音波を発振させ、空気の非線形状態（疎密状態）を利用して、変調波を復調させ可聴音を再生する、いわゆるパラメトリックスピーカの原理に基づいて音響再生を行うことで、超音波の特徴である高い指向性を利用して音波を伝播させることができ、ユーザにしか聴こえないプライバシー音源の実現が可能となる。また、実施形態１は、高効率な超音波振動子としても有用であるため、パラメトリックスピーカの振動子としても利用が可能であることから、応用範囲が広く、工業価値は大である。

以上のように、実施形態１に係る電気音響変換器は、大振幅で、低い機械品質係数、低い基本共振周波数、耐落下衝撃性を有することから、小型・薄型で高音質音の再生が可能である。

［実施形態２］
本発明の実施形態２に係る圧電型電気音響変換器について図面を用いて説明する。図５は、本発明の実施形態２に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。

実施形態２は、実施形態１の変形例であり、板状部材１２の主面の両側に圧電素子３ａ、３ｂを接合したバイモルフ型の圧電アクチュエータ２を用いたものである。圧電アクチュエータ２における圧電素子３ａ（圧電フィルム１４ａ、電極１３ａ、１５ａ）及び板状部材１２の部分は、実施形態１の圧電アクチュエータ（図２の２）と同様であり、追加された圧電素子３ｂ（圧電フィルム１４ｂ、電極１３ｂ、１５ｂ）は、実施形態１の圧電素子（図２の３）と同様である。圧電素子３ｂの電極１５ｂは、リード線２３を介して端子２６と電気的に接続されており、端子２６からの電気信号を圧電フィルム１４ｂに印加させる役割を持つ。なお、電極１３ｂは、板状部材１２が金属板であれば省略することができ、圧電フィルム１４ｂと板状部材１２とを直接接合させてもよい。弾性部材１１は、圧電アクチュエータ２の電極１５ｂの主面における板状部材１２の他端面（フレーム１０と接合している一端面に対して反対側の端面）の近傍の部分とフレーム１０の底面との間に配されている。その他の構成は、実施形態１と同様である。

実施形態２によれば、実施形態１と同様な効果を奏するとともに、バイモルフ構造とすることにより、駆動力が高まり、音圧レベルをより向上させることができる。

［実施形態３］
本発明の実施形態３に係る圧電型電気音響変換器について図面を用いて説明する。図６は、本発明の実施形態３に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。

実施形態３は、実施形態１の変形例であり、圧電アクチュエータ２では、板状部材１２の一端面（フレーム１０の側壁面と接合する端面）近傍の下側（上側でも可）の面に、補強部材１６を設けたものである。補強部材１６は、板状部材１２とフレーム１０との接合を補強するための部材である。補強部材１６は、一端が板状部材１２の一端部近傍の下側の面に接合（接着）され、他端がフレーム１０の側壁面に接合（接着）されている。その他の構成は、実施形態１と同様である。

実施形態３によれば、実施形態１と同様な効果を奏するとともに、板状部材１２の振幅発生時に梃子の原理により振幅を拡大させることでできる。

［実施形態４］
本発明の実施形態４に係る圧電型電気音響変換器について図面を用いて説明する。図７は、本発明の実施形態４に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した断面図である。

実施形態４は、実施形態２の変形例であり、圧電アクチュエータ２では、板状部材１２の一端面（フレーム１０の側壁面と接合する端面）近傍の下側（上側でも可）の面に、補強部材１６を設けたものである。補強部材１６は、板状部材１２とフレーム１０との接合を補強するための部材である。補強部材１６は、一端が板状部材１２の一端部近傍の下側の面に接合（接着）され、他端がフレーム１０の側壁面に接合（接着）されている。その他の構成は、実施形態２と同様である。

実施形態４によれば、実施形態２と同様な効果を奏するとともに、板状部材１２の振幅発生時に梃子の原理により振幅を拡大させることでできる。

［実施形態５］
本発明の実施形態５に係る圧電型電気音響変換器について図面を用いて説明する。図８は、本発明の実施形態５に係る圧電型電気音響変換器の構成を模式的に示した平面図である。

実施形態５は、実施形態１の変形例であり、上方（板状部材１２の板面の上方）から見て、圧電アクチュエータ２（圧電素子３、板状部材１２）及びフレーム１０を平行四辺形としたものである。圧電アクチュエータ２は、接合するフレーム１０の側壁面に対して斜め方向に延在するように配される。各圧電アクチュエータ２の延在方向のフレーム１０の側壁面に対する角度は、均一であってもよく、互いに異なっていてもよい。各板状部材１２の延在方向の角度を変えることで、複数の共振周波数の付与が可能となる。その他の構成は、実施形態１と同様である。なお、実施形態５は、実施形態２〜４に適用してもよい。

実施形態５によれば、実施形態１と同様な効果を奏するとともに、圧電アクチュエータ２をフレーム１０の側壁面に対して斜め方向に延在するように配置することで、基本共振周波数が低減でき、また、ストロークが伸びるため、振動振幅が増加し、音圧レベルをさらに向上させることができる。さらに、実施形態５によれば、圧電アクチュエータ２の長さを変えることなく、フレーム１０の短手方向の長さを低減することができる。

なお、本出願において図面参照符号を付している場合は、それらは、専ら理解を助けるためのものであり、図示の態様に限定することを意図するものではない。

また、本発明の全開示（請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。

（付記）
本発明の第１の視点においては、圧電型電気音響変換器において、内側の空間において枠状の側壁面と底面とを有するとともに上部が開口したフレームと、前記フレームの内側に配されるとともに、並列に並んで配された複数の圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータと前記フレームの前記底面との間における所定の領域に配された弾性部材と、を備え、前記圧電アクチュエータは、一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記一端面に対して反対側の他端面が前記フレームの側壁面から離れており、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータは、互いに、前記フレームの前記側壁面に接合する前記一端面が逆向きとなっていることを特徴とする。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、前記弾性部材は、前記圧電アクチュエータにおける前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、前記圧電アクチュエータは、前記一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記他端面が前記フレームの側壁面から離れた板状部材と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に対する反対側の面に接合した圧電素子と、を備え、前記弾性部材は、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、前記圧電アクチュエータは、前記一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記他端面が前記フレームの側壁面から離れた板状部材と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に対する反対側の面に接合した第１圧電素子と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に接合した第２圧電素子と、を備え、前記弾性部材は、前記第２圧電素子における前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、一端が前記板状部材の前記一端部近傍の面に接合されるとともに、他端が前記フレームの前記側壁面に接合される補強部材を備えることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向の長さは、互いに異なることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の厚さは、互いに異なることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、前記圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向は、前記フレームの前記側壁面に対して直角又は所定角度に設定されていることが好ましい。

本発明の前記圧電型電気音響変換器において、隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向は、互いに異なることが好ましい。

本発明の第２の視点においては、電子装置において、前記圧電型電気音響変換器が実装されること特徴とする。

１、１０１ 圧電型電気音響変換器
２、１０２ 圧電アクチュエータ
３、３ａ、３ｂ、１０３ 圧電素子
１０、１１０ フレーム
１１ 弾性部材
１２、１１２ 板状部材
１３、１３ａ、１３ｂ、１１３ 電極
１４、１４ａ、１４ｂ、１１４ 圧電フィルム
１５、１５ａ、１５ａ、１１５ 電極
１６ 補強部材
２１、２２、２３ リード線
２４、２５、２６ 端子

Claims (10)

1. 内側の空間において枠状の側壁面と底面とを有するとともに上部が開口したフレームと、
   前記フレームの内側に配されるとともに、並列に並んで配された複数の圧電アクチュエータと、
   前記圧電アクチュエータと前記フレームの前記底面との間における所定の領域に配された弾性部材と、
   を備え、
   前記圧電アクチュエータは、一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記一端面に対して反対側の他端面が前記フレームの側壁面から離れており、
   隣り合う前記複数の圧電アクチュエータは、互いに、前記フレームの前記側壁面に接合する前記一端面が逆向きとなっていることを特徴とする圧電型電気音響変換器。
2. 前記弾性部材は、前記圧電アクチュエータにおける前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることを特徴とする請求項１記載の圧電型電気音響変換器。
3. 前記圧電アクチュエータは、前記一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記他端面が前記フレームの側壁面から離れた板状部材と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に対する反対側の面に接合した圧電素子と、を備え、
   前記弾性部材は、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電型電気音響変換器。
4. 前記圧電アクチュエータは、前記一端面が前記フレームの前記側壁面に接合するとともに、前記他端面が前記フレームの側壁面から離れた板状部材と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に対する反対側の面に接合した第１圧電素子と、前記板状部材における前記フレームの前記底面と対向する面に接合した第２圧電素子と、を備え、
   前記弾性部材は、前記第２圧電素子における前記フレームの前記底面と対向する面のうち前記他端面の近傍の部分と前記フレームの前記底面との間に配されることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電型電気音響変換器。
5. 一端が前記板状部材の前記一端部近傍の面に接合されるとともに、他端が前記フレームの前記側壁面に接合される補強部材を備えることを特徴とする請求項３又は４記載の圧電型電気音響変換器。
6. 隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向の長さは、互いに異なることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一に記載の圧電型電気音響変換器。
7. 隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の厚さは、互いに異なることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか一に記載の圧電型電気音響変換器。
8. 前記圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向は、前記フレームの前記側壁面に対して直角又は所定角度に設定されていることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか一に記載の圧電型電気音響変換器。
9. 隣り合う前記複数の圧電アクチュエータにおける前記板状部材の延在方向は、互いに異なることを特徴とする請求項３乃至７のいずれか一に記載の圧電型電気音響変換器。
10. 請求項１乃至９のいずれか一に記載の圧電型電気音響変換器が実装されること特徴とする電子装置。

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