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JP2014019056A - Film roll package and method of manufacturing the same - Google Patents

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JP2014019056A
JP2014019056A JP2012159704A JP2012159704A JP2014019056A JP 2014019056 A JP2014019056 A JP 2014019056A JP 2012159704 A JP2012159704 A JP 2012159704A JP 2012159704 A JP2012159704 A JP 2012159704A JP 2014019056 A JP2014019056 A JP 2014019056A
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JP
Japan
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gas barrier
film
layer
film roll
barrier film
Prior art date
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Pending
Application number
JP2012159704A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Arita
浩了 有田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP2012159704A priority Critical patent/JP2014019056A/en
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  • Storage Of Web-Like Or Filamentary Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Packaging Of Machine Parts And Wound Products (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide means for preventing moisture from being adsorbed onto a gas barrier film with time.SOLUTION: A film roll package comprises: a film roll including a winding core and a gas barrier film wound around by the winding core; and a packaging part including a wrapping material for wrapping the film roll. The gas barrier film includes a base material and a gas barrier layer and has a water vapor permeability of 1×10g/m/day or less.

Description

本発明は、フィルムロール梱包体およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a film roll package and a manufacturing method thereof.

従来、プラスチック基板やフィルムの表面に、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ケイ素等の金属酸化物を含む薄膜(ガスバリア層)を形成したガスバリア性フィルムが、食品、医薬品等の分野で物品を包装する用途に用いられている。ガスバリア性フィルムを用いることによって、水蒸気や酸素等のガスによる物品の変質を防止することができる。   Conventionally, a gas barrier film in which a thin film (gas barrier layer) containing a metal oxide such as aluminum oxide, magnesium oxide, or silicon oxide is formed on the surface of a plastic substrate or film is used for packaging articles in the fields of food, medicine, etc. It is used for. By using the gas barrier film, it is possible to prevent alteration of the article due to gas such as water vapor or oxygen.

近年、このような水蒸気や酸素等の透過を防ぐガスバリア性フィルムが、液晶表示素子(LCD)、太陽電池(PV)、有機エレクトロルミネッセンス(EL)などの電子デバイスの分野にも利用されつつある。電子デバイスにガスバリア性フィルムを適用するためには、フレキシブル性、透明性、耐熱性等を有することが必要である。また、電子デバイスは水分等の影響を特に受けやすいことから、高いガスバリア性、例えば、ガラス基材に匹敵するガスバリア性が要求される。   In recent years, such a gas barrier film that prevents permeation of water vapor, oxygen, and the like is being used in the field of electronic devices such as liquid crystal display elements (LCD), solar cells (PV), and organic electroluminescence (EL). In order to apply a gas barrier film to an electronic device, it is necessary to have flexibility, transparency, heat resistance, and the like. In addition, since electronic devices are particularly susceptible to moisture and the like, a high gas barrier property, for example, a gas barrier property comparable to a glass substrate is required.

電子デバイスに適用されうるガスバリア性フィルムとして、例えば特許文献1には、基材シートの片面もしくは両面に、複数の層からなる積層構造を有するガスバリア性層が積層されており、前記ガスバリア性層を構成する複数の層のうち、少なくとも前記基材シートに接する側の層が、酸化炭化珪素もしくは酸化窒化炭化珪素からなる無機化合物層であることを特徴とするガスバリア性フィルムが記載されている。特許文献1に記載のガスバリア性フィルムは、ガスバリア性能が高いこと(例えば、実施例1〜6の水蒸気透過率は、0.005〜0.013g/m/dayである)から、透明タッチパネル、液晶表示素子、有機または無機EL表示素子等の電子デバイスに適用できることが記載されている。 As a gas barrier film that can be applied to an electronic device, for example, in Patent Document 1, a gas barrier layer having a laminated structure composed of a plurality of layers is laminated on one side or both sides of a base sheet. A gas barrier film is described in which at least a layer in contact with the base material sheet is an inorganic compound layer made of silicon oxycarbide or silicon oxynitride carbide among a plurality of constituent layers. Since the gas barrier film described in Patent Document 1 has high gas barrier performance (for example, the water vapor permeability of Examples 1 to 6 is 0.005 to 0.013 g / m 2 / day), a transparent touch panel, It is described that it can be applied to electronic devices such as liquid crystal display elements, organic or inorganic EL display elements.

特開2005−324406号公報JP-A-2005-324406

ガスバリア性フィルムは、通常、ガスバリア性フィルムを巻芯に巻き取ったフィルムロールの形態で製品として出荷されている。この際、電子デバイスに適用されうるガスバリア性フィルムは、高いガスバリア性を有していることから、それ自体は水分等の影響を受けにくいと考えられていた。そのため、これまでガスバリア性フィルムは、特段に保存環境等の影響については検討されてこなかった。   The gas barrier film is usually shipped as a product in the form of a film roll in which the gas barrier film is wound around a core. At this time, since the gas barrier film that can be applied to the electronic device has high gas barrier properties, it has been considered that the gas barrier film itself is hardly affected by moisture or the like. Therefore, until now, the gas barrier film has not been particularly studied for the influence of the storage environment.

しかしながら、本発明者が鋭意検討を行ったところ、驚くべきことに、高いガスバリア性を有するガスバリア性フィルムであっても、経時的にガスバリア性フィルムに水分が吸着されうることが判明した。このような水分を吸着したガスバリア性フィルムをそのまま電子デバイスに適用すると、電子デバイスの性能に悪影響を及ぼす可能性がある。   However, as a result of intensive studies by the present inventors, it has surprisingly been found that even gas barrier films having high gas barrier properties can adsorb moisture onto the gas barrier films over time. If such a gas barrier film adsorbing moisture is applied to an electronic device as it is, it may adversely affect the performance of the electronic device.

そこで本発明は、ガスバリア性フィルムに経時的に生じうる水分の吸着を防止する手段を提供する。   Therefore, the present invention provides means for preventing the adsorption of moisture that may occur over time in the gas barrier film.

本発明者は鋭意研究を行った結果、高いガスバリア性を有するガスバリア性フィルムをフィルムロールの形態とし、さらに当該フィルムロールを包装材で包装してフィルムロール梱包体とすることにより、上記課題が解決されうることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of diligent research, the present inventor has solved the above problems by forming a gas barrier film having a high gas barrier property into a film roll form and further packaging the film roll with a packaging material to form a film roll package. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明の上記課題は以下の手段により達成される。   That is, the said subject of this invention is achieved by the following means.

1.巻芯および前記巻芯に巻き取られたガスバリア性フィルムを含むフィルムロールと、前記フィルムロールを包装する包装材を含む梱包部と、を有するフィルムロール梱包体であって、前記ガスバリア性フィルムが、基材およびガスバリア層を含み、かつ、1×10−2g/m/day以下の水蒸気透過率を有する、フィルムロール梱包体;
2.前記ガスバリア性フィルムが、離型性を有する樹脂層をさらに有し、前記基材、前記ガスバリア層、および前記離型性を有する樹脂層がこの順で配置されてなる、1に記載のフィルムロール梱包体;
3.前記包装材の水蒸気透過率が、1g/m/day以下である、1または2に記載のフィルムロール梱包体;
4.前記梱包部内の露点が、10℃以下である、1〜3のいずれか1つに記載のフィルムロール梱包体;
5.前記梱包部が、2以上の包装材で包装されてなる、1〜4のいずれか1つに記載のフィルムロール梱包体;
6.吸湿材をさらに含み、前記吸湿材が、前記フィルムロールとともに包装される、1〜5のいずれか1つに記載のフィルムロール梱包体;
7.前記巻芯が、吸湿性を有する、1〜6のいずれか1つに記載のフィルムロール梱包体;
8.前記巻芯の材質が、紙である、1〜7のいずれか1つに記載のフィルムロール梱包体;
9.基材上にガスバリア層を形成して、ガスバリア性フィルムを製造する工程(1)と、前記ガスバリア性フィルムを、巻芯に巻き取り、フィルムロールを製造する工程(2)と、前記フィルムロールを包装材で包装して梱包部を形成する工程(3)と、を含む、フィルムロール梱包体の製造方法であって、前記ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率が、1×10−2g/m/day以下である、製造方法;
10.前記工程(2)の巻き取りが、巻き取り張力30〜300N/mで行われる、9に記載の製造方法;
11.前記工程(1)が、さらに前記ガスバリア性フィルムの表面に離型性を有する樹脂層を形成することを含む、9または10に記載の製造方法。
1. A film roll package including a roll and a film roll including a gas barrier film wound around the roll, and a packaging unit including a packaging material for wrapping the film roll, wherein the gas barrier film includes: A film roll package comprising a substrate and a gas barrier layer and having a water vapor transmission rate of 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less;
2. 2. The film roll according to 1, wherein the gas barrier film further has a resin layer having releasability, and the base material, the gas barrier layer, and the resin layer having releasability are arranged in this order. Packing body;
3. The film roll package according to 1 or 2, wherein the packaging material has a water vapor permeability of 1 g / m 2 / day or less;
4). The film roll package according to any one of 1 to 3, wherein the dew point in the packing part is 10 ° C. or lower;
5. The film roll package according to any one of 1 to 4, wherein the packing section is packaged with two or more packaging materials;
6). The film roll package according to any one of 1 to 5, further comprising a hygroscopic material, wherein the hygroscopic material is packaged together with the film roll;
7). The film roll package according to any one of 1 to 6, wherein the core has hygroscopicity;
8). The film roll package according to any one of 1 to 7, wherein the material of the core is paper;
9. A step (1) for producing a gas barrier film by forming a gas barrier layer on a substrate, a step (2) for producing a film roll by winding the gas barrier film around a core, and the film roll And a step (3) of forming a packing part by packaging with a packaging material, wherein the gas barrier film has a water vapor transmission rate of 1 × 10 −2 g / m 2. / Day or less, the manufacturing method;
10. The manufacturing method according to 9, wherein the winding in the step (2) is performed at a winding tension of 30 to 300 N / m;
11. The manufacturing method according to 9 or 10, wherein the step (1) further includes forming a resin layer having releasability on the surface of the gas barrier film.

本発明によれば、ガスバリア性フィルムに経時的に生じうる水分の吸着を防止することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adsorption | suction of the water | moisture content which can arise in a gas barrier film over time can be prevented.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail.

本発明の一形態によれば、巻芯および前記巻芯に巻き取られたガスバリア性フィルムを含むフィルムロールと、前記フィルムロールを包装する包装材を含む梱包部と、を有するフィルムロール梱包体が提供される。この際、前記ガスバリア性フィルムが、基材およびガスバリア層を含み、かつ、1×10−2g/m/day以下の水蒸気透過率を有することを特徴とする。 According to an aspect of the present invention, there is provided a film roll package including a core and a film roll including a gas barrier film wound around the core, and a packing unit including a packaging material for packaging the film roll. Provided. In this case, the gas barrier film includes a base material and a gas barrier layer, and has a water vapor transmission rate of 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less.

上述のように、従来、ガスバリア性フィルムは水分等の影響を受けにくいと考えられていた。しかし、ガスバリア性フィルムは、高いガスバリア性を有する場合であっても、空気中の水分が長期間をかけてガスバリア層に侵入することがあり、これを電子デバイスに適用すると悪影響を及ぼす可能性がある。   As described above, conventionally, gas barrier films have been thought to be less susceptible to moisture and the like. However, even if the gas barrier film has a high gas barrier property, moisture in the air may penetrate into the gas barrier layer over a long period of time, which may have an adverse effect when applied to an electronic device. is there.

一般的には、フィルム等に水分が吸着した場合には、当該水分は加熱乾燥等により除去することができる。しかしながら、ガスバリア性フィルムが高いガスバリア性を有すると、ガスバリア層内への水分の侵入が困難である反面、侵入した水分の離脱は困難となりうる。すなわち、水分が入りにくく、抜けにくい状態となっていると考えられる。また、ガスバリア性フィルムが基材として耐熱性がない樹脂等を含む場合には、高温で行うベーク等を適用することができない。さらに、水分の吸着状態は複数存在することが知られており(N. Hirashita et al., JJAP 32, 1787 (1993))、ウエット洗浄等で吸着する水分は容易に吸着するものの容易に脱離できるのに対して、経時で吸着した水分はより脱離しにくい安定な状態で膜に吸着することにより、容易に水分の脱離ができないと考えられる。   Generally, when moisture is adsorbed on a film or the like, the moisture can be removed by heating and drying. However, if the gas barrier film has a high gas barrier property, it is difficult to penetrate moisture into the gas barrier layer, but it may be difficult to remove the penetrated moisture. That is, it is considered that moisture is difficult to enter and difficult to escape. In addition, when the gas barrier film includes a resin having no heat resistance as a base material, baking performed at a high temperature cannot be applied. Furthermore, it is known that there are multiple moisture adsorption states (N. Hirashita et al., JJAP 32, 1787 (1993)), and moisture adsorbed by wet cleaning, etc. is easily adsorbed but easily desorbed. On the other hand, it is considered that moisture adsorbed over time cannot be easily desorbed by adsorbing to the film in a stable state that is more difficult to desorb.

したがって、ガスバリア層に一度侵入した水分を除去するためには、ベーク等の適用が可能な耐熱性の基板を用いるか、または、性能に影響を及ぼさない温度で長期間乾燥させることとなる。耐熱性の基板は一般的に高価であり、適用可能な基板の種類は限定されてしまう。また、使用前に長時間の乾燥を行うことは生産性の観点から問題がある。このような観点から、保管や輸送等においてガスバリア性フィルムに生じうる水分の吸着を事前に防止する手段が望まれる。   Therefore, in order to remove the water that has once entered the gas barrier layer, a heat-resistant substrate to which baking or the like can be applied is used, or the substrate is dried for a long time at a temperature that does not affect the performance. A heat-resistant substrate is generally expensive, and the types of applicable substrates are limited. Moreover, performing a long time drying before use has a problem from a viewpoint of productivity. From such a point of view, a means for preventing in advance the adsorption of moisture that may occur in the gas barrier film during storage or transportation is desired.

これに対し、本形態に係るフィルムロール梱包体によれば、長期間の保管や輸送等を行った場合であっても、ガスバリア性フィルムに経時的に生じうる水分の吸着を防止することができる。   On the other hand, according to the film roll package according to the present embodiment, it is possible to prevent moisture adsorption that may occur over time in the gas barrier film even when long-term storage or transportation is performed. .

<フィルムロール>
フィルムロールは、巻芯および前記巻芯に巻き取られたガスバリア性フィルムを含む。
<Film roll>
The film roll includes a core and a gas barrier film wound around the core.

[巻芯]
巻芯は、ガスバリア性フィルムを巻き取るコアとなり、巻き取られるガスバリア性フィルムのシワの発生を防止する機能等を有する。
[Core]
The winding core serves as a core for winding the gas barrier film, and has a function of preventing wrinkles of the wound gas barrier film.

用いられうる巻芯の材質としては、特に制限されないが、紙、木材、金属、樹脂、繊維強化樹脂等が挙げられる。前記金属としては、鉄、アルミニウム、銅、チタン、鉛、亜鉛、金、ニッケル、クロム、スズ、銀、パラジウム、白金等が挙げられる。前記樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、ABS樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ブタジエンゴム、ポリスチレン、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリウレタン樹脂等が挙げられる。前記繊維強化樹脂としては、ガラス繊維、炭素繊維、金属繊維、ポリイミド繊維、アラミド繊維等が挙げられる。これらのうち、巻芯の材質は、吸湿性を有するもの(紙、木材、炭素繊維等)であることが好ましく、紙であることがより好ましい。紙管は、異物の原因ともなりうる毛羽立ちの少ない、防塵処理紙管を使用することが好ましい。前記材質は単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The material of the core that can be used is not particularly limited, and examples thereof include paper, wood, metal, resin, and fiber reinforced resin. Examples of the metal include iron, aluminum, copper, titanium, lead, zinc, gold, nickel, chromium, tin, silver, palladium, and platinum. Examples of the resin include polyethylene, polypropylene, vinyl chloride, ABS resin, epoxy resin, polyester resin, butadiene rubber, polystyrene, polyimide resin, polyamide resin, polyamideimide resin, acrylic resin, vinyl chloride, polyvinylidene chloride, and polyurethane resin. Can be mentioned. Examples of the fiber reinforced resin include glass fiber, carbon fiber, metal fiber, polyimide fiber, and aramid fiber. Of these, the core material is preferably hygroscopic (paper, wood, carbon fiber, etc.), and more preferably paper. As the paper tube, it is preferable to use a dust-proof treated paper tube with less fuzz that may cause foreign matters. The said material may be used independently or may be used in combination of 2 or more type.

巻芯の形状としては、特に制限されないが、円筒状、円柱状であることが好ましい。また、前記巻芯の表面には、後述するガスバリア性フィルムの厚さに応じた段差が設けられていてもよい。前記段差を有することにより、ガスバリア性フィルムの巻き取りの際に巻ズレ、フィルムロス等の発生を防止することができる。   The shape of the core is not particularly limited, but is preferably cylindrical or columnar. Moreover, the level | step difference according to the thickness of the gas barrier film mentioned later may be provided in the surface of the said core. By having the step, it is possible to prevent the occurrence of winding deviation, film loss, and the like when the gas barrier film is wound.

巻芯の大きさ(外径)は、特に制限されないが、25〜400mmであることが好ましく、70〜300mmであることがより好ましく、150〜200mmであることがさらに好ましい。   The size (outer diameter) of the core is not particularly limited, but is preferably 25 to 400 mm, more preferably 70 to 300 mm, and further preferably 150 to 200 mm.

前記巻芯の含水率は、0.5質量%以下であることが好ましく、0.4質量%以下であることがより好ましく、0.3質量%以下であることがさらに好ましい。含水率が0.5質量%以下であると、梱包体内部の湿度が低下しうることから好ましい。なお、本明細書において、含水率の値は、カールフィッシャー法を用いた電量滴定法によって測定された値を採用するものとする。より詳細には、前記含水率は、基材を室温から200℃まで昇温した際に基材から蒸発する水分量を水分測定装置CA−200(株式会社三菱化学アナリテック製)を用いて測定した値である。   The moisture content of the core is preferably 0.5% by mass or less, more preferably 0.4% by mass or less, and further preferably 0.3% by mass or less. A moisture content of 0.5% by mass or less is preferable because the humidity inside the package can be reduced. In the present specification, a value measured by a coulometric titration method using the Karl Fischer method is adopted as the moisture content value. More specifically, the moisture content is measured using a moisture measuring device CA-200 (manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd.) as the amount of water evaporated from the substrate when the substrate is heated from room temperature to 200 ° C. It is the value.

巻芯の弾性率は、200kgf/mm以上であることが好ましく、500〜7000kgf/mmであることがより好ましく、1500〜7000kgf/mmであることがさらに好ましい。巻芯の弾性率が200kgf/mm以上であると、ガスバリア性フィルムを巻き取った際に巻芯が変形しにくくなり、周方向の残留応力が低減されてフィルム表面にシワが生じにくくなることから好ましい。なお、本明細書において、弾性率の値は、JIS K7171:2008の三点曲げ法により測定された値を採用するものとする。 Modulus of the core is preferably at 200 kgf / mm 2 or more, more preferably 500~7000kgf / mm 2, further preferably 1500~7000kgf / mm 2. When the elastic modulus of the core is 200 kgf / mm 2 or more, the core is less likely to be deformed when the gas barrier film is wound, and the residual stress in the circumferential direction is reduced and the film surface is less likely to be wrinkled. To preferred. In this specification, the value measured by the three-point bending method of JIS K7171: 2008 is adopted as the value of the elastic modulus.

巻芯の線膨張係数は、10×10−6cm/cm/℃以下であることが好ましく、5×10−6cm/cm/℃以下であることがより好ましく、2×10−6cm/cm/℃以下であることがさらに好ましい。線膨張係数が10×10−6cm/cm/℃以下であるとフィルムの巻きをズレ防止しうることから好ましい。なお、本明細書において、線膨張係数の値は、下記の方法により測定した値を採用するものとする。具体的には、EXSTAR TMA/SS6000型熱応力歪測定装置(セイコーインスツル株式会社製)を用いて、測定する基材を窒素雰囲気下で5℃/分で30〜50℃まで加熱した後、一時温度を維持する。その後、再度5℃/分で30〜150℃に加熱し、このとき、引張モード(荷重5g)で基材の寸法変化を測定する。当該値から線膨張係数が求められる。 Linear expansion coefficient of the core is preferably less 10 × 10 -6 cm / cm / ℃, more preferably not more than 5 × 10 -6 cm / cm / ℃, 2 × 10 -6 cm / More preferably, it is not more than cm / ° C. A linear expansion coefficient of 10 × 10 −6 cm / cm / ° C. or less is preferable because the film winding can be prevented from shifting. In addition, in this specification, the value measured by the following method shall be employ | adopted for the value of a linear expansion coefficient. Specifically, using EXSTAR TMA / SS6000 type thermal stress strain measuring device (manufactured by Seiko Instruments Inc.), the substrate to be measured was heated to 30-50 ° C. at 5 ° C./min in a nitrogen atmosphere, Maintain a temporary temperature. Then, it heats again to 30-150 degreeC at 5 degree-C / min, and measures the dimensional change of a base material by the tension mode (load 5g) at this time. A linear expansion coefficient is calculated | required from the said value.

[ガスバリア性フィルム]
ガスバリア性フィルムは、ガスの透過を防止する機能を有する。本発明において、ガスバリア性フィルムは、水蒸気透過率が1×10−2g/m/day以下、好ましくは1×10−3g/m/day以下、より好ましくは5×10−4g/m/day以下であることを特徴とする。ガスバリア性フィルムは、基材およびガスバリア層を含む。前記ガスバリア層は、通常、基材上に配置される。また、前記ガスバリア層は、基材の両面に配置されていてもよい。なお、本明細書において、「ガス」とは、主として水蒸気を意味する。また、「水蒸気透過率」は、モコン法に従いPERMATRAN−W3/33(MOCON社製)を用いて、JIS K7129:2008(温度40℃、相対湿度(RH)90%)に基づいて測定した値を採用するものとする。
[Gas barrier film]
The gas barrier film has a function of preventing gas permeation. In the present invention, the gas barrier film has a water vapor permeability of 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less, preferably 1 × 10 −3 g / m 2 / day or less, more preferably 5 × 10 −4 g. / M 2 / day or less. The gas barrier film includes a substrate and a gas barrier layer. The gas barrier layer is usually disposed on a substrate. Moreover, the said gas barrier layer may be arrange | positioned at both surfaces of the base material. In the present specification, “gas” mainly means water vapor. The “water vapor transmission rate” is a value measured based on JIS K7129: 2008 (temperature 40 ° C., relative humidity (RH) 90%) using PERMATRAN-W3 / 33 (manufactured by MOCON) according to the Mocon method. Shall be adopted.

(基材)
基材は、ガスバリア層を保持する機能を有する。
(Base material)
The substrate has a function of holding the gas barrier layer.

本発明に係る基材は、特に限定されないが、可撓性および透過性を有する折り曲げ可能なフィルム基材であることが好ましい。   Although the base material which concerns on this invention is not specifically limited, It is preferable that it is a foldable film base material which has flexibility and permeability | transmittance.

基材の具体例としては、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体または共重合体であるポリオレフィン(PO)樹脂、環状ポリオレフィン等の非品質ポリオレフィン樹脂(APO)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレン−2,6−ナフタレート(PEN)等のポリエステル系樹脂、ナイロン−6、ナイロン−12、共重合ナイロン等のポリアミド系(PA)樹脂、ポリビニルアルコール(PVA)樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体(EVOH)等のポリビニルアルコール系樹脂、ポリイミド(pI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、ポリサルホン(PS)樹脂、ポリエーテルサルホン(PES)樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリビニルブチラート(PVB)樹脂、ポリアリレート(PAR)樹脂、エチレン四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、三フッ化塩化エチレン(PFA)、四フッ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(FEP)、フッ化ビニリデン(PVDF)、フッ化ビニル(PVF)、パーフルオロエチレン−パーフロロプロピレン−パーフロロビニルエーテル共重合体(EPA)等のフッ素系樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the substrate include polyolefin (PO) resins that are homopolymers or copolymers such as ethylene, propylene, and butene, non-quality polyolefin resins (APO) such as cyclic polyolefin, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene- Polyester resins such as 2,6-naphthalate (PEN), nylon-6, nylon-12, polyamide (PA) resins such as copolymer nylon, polyvinyl alcohol (PVA) resin, ethylene-vinyl alcohol copolymer (EVOH) ) And the like, polyimide (pI) resin, polyetherimide (PEI) resin, polysulfone (PS) resin, polyethersulfone (PES) resin, polyetheretherketone (PEEK) resin, polycarbonate (PC) Resin, Polyvinyl Butyrate (PVB) resin, polyarylate (PAR) resin, ethylene tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), ethylene trifluoride chloride (PFA), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (FEP), Examples thereof include fluorine resins such as vinylidene fluoride (PVDF), vinyl fluoride (PVF), and perfluoroethylene-perfluoropropylene-perfluorovinyl ether copolymer (EPA).

また、上記に挙げた樹脂以外にも、ラジカル反応性不飽和化合物を有するアクリレ一ト化合物よりなる樹脂組成物や、上記アクリルレート化合物とチオール基を有するメルカプト化合物よりなる樹脂組成物、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート等のオリゴマーを多官能アクリレートモノマーに溶解せしめた樹脂組成物等の光硬化性樹脂、およびこれらの混合物等を用いることも可能である。さらに、これらの樹脂の1または2種以上をラミネートコーティング等の手段によって積層させたものを樹脂基材として用いることも可能である。   In addition to the resins listed above, a resin composition comprising an acrylate compound having a radical reactive unsaturated compound, a resin composition comprising the acrylate compound and a mercapto compound having a thiol group, epoxy acrylate, It is also possible to use a photocurable resin such as a resin composition in which an oligomer such as urethane acrylate, polyester acrylate, or polyether acrylate is dissolved in a polyfunctional acrylate monomer, and a mixture thereof. Furthermore, it is also possible to use what laminated | stacked 1 or 2 or more types of these resin by means, such as a laminate coating, as a resin base material.

これらの素材は単独であるいは適宜混合されて使用することもできる。なかでもゼオネックスやゼオノア(日本ゼオン(株)製)、非品質シクロポリオレフィン樹脂フィルムのARTON(ジェイエスアール(株)製)、ポリカーボネートフィルムのピュアエース(帝人(株)製)、セルローストリアセテートフィルムのコニカミノルタタックKC4UX、KC8UX(コニカミノルタオプト(株)製)、クリアーハードコート層付ポリエチレンテレフタレートフィルム(きもと社製)などの市販品を好ましく使用することができる。   These materials can be used alone or in combination as appropriate. Among them, ZEONEX and ZEONOR (manufactured by ZEON Corporation), ARTON of non-quality cyclopolyolefin resin film (manufactured by JSR Corporation), Pure Ace of polycarbonate film (manufactured by Teijin Limited), Konica Minolta of cellulose triacetate film Commercially available products such as Tack KC4UX, KC8UX (manufactured by Konica Minolta Opto), and polyethylene terephthalate film with clear hard coat layer (manufactured by Kimoto) can be preferably used.

また、上記の樹脂フィルムを用いた基材は、未延伸フィルムであっても、延伸フィルムであってもよい。   Moreover, the base material using the resin film may be an unstretched film or a stretched film.

上記樹脂フィルムを用いた基材は、従来公知の一般的な方法により製造することができる。例えば、材料となる樹脂を押し出し機により溶融し、環状ダイやTダイにより押し出して急冷することにより、実質的に無定形で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。また、前記未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸などの公知の方法により、基材の流れ(縦軸)方向、または基材の流れ方向と直角(横軸)方向に延伸することにより延伸フィルムを製造することができる。この場合の延伸倍率は、基材の原料となる樹脂に合わせて適宜選択することできるが、縦軸方向および横軸方向にそれぞれ2倍〜10倍であることが好ましい。   The base material using the resin film can be produced by a conventionally known general method. For example, an unstretched film that is substantially amorphous and not oriented can be produced by melting a resin as a material with an extruder, extruding it with an annular die or a T-die, and quenching. In addition, the unstretched film is subjected to a known method such as uniaxial stretching, tenter-type sequential biaxial stretching, tenter-type simultaneous biaxial stretching, tubular simultaneous biaxial stretching, or the like in the flow (vertical axis) direction of the substrate or the base. A stretched film can be produced by stretching in the direction perpendicular to the flow direction of the material (horizontal axis). The draw ratio in this case can be appropriately selected according to the resin as the raw material of the substrate, but is preferably 2 to 10 times in the vertical axis direction and the horizontal axis direction, respectively.

本発明に用いる基材の厚さは、5〜500μmであることが好ましく、25〜250μmであることがより好ましい。   The thickness of the substrate used in the present invention is preferably 5 to 500 μm, and more preferably 25 to 250 μm.

また、本発明に用いる基材は透明であることが好ましい。基材が透明であると、透明な機能性フィルムとすることが可能となり、光電変換素子(太陽電池)等の電子デバイスの基板等に適用することができる。   Moreover, it is preferable that the base material used for this invention is transparent. If the substrate is transparent, it can be made a transparent functional film, and can be applied to substrates of electronic devices such as photoelectric conversion elements (solar cells).

本発明に用いる基材は、線膨張係数が50ppm/℃以下であることが好ましく、1〜50ppm/℃であることが好ましい。基材の線膨張係数が50ppm/℃以下であると、液晶表示装置(LCD)パネル等の電子デバイスに機能性バリアフィルムを適用した場合、環境温度変化等に対する色ズレの発生や基材の変形を抑制しうることから好ましい。   The substrate used in the present invention preferably has a linear expansion coefficient of 50 ppm / ° C. or less, and preferably 1 to 50 ppm / ° C. When the functional barrier film is applied to an electronic device such as a liquid crystal display (LCD) panel when the linear expansion coefficient of the base material is 50 ppm / ° C. or less, color misregistration or deformation of the base material due to environmental temperature changes, etc. Is preferable because it can be suppressed.

本発明に係る基材は、可視光(400nm〜700nm)の光透過率が80%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。光透過率が80%以上であると、液晶表示装置(LCD)パネル等の電子デバイスに機能性バリアフィルムを適用した場合、高い輝度が得られうることから好ましい。なお、本明細書において、光透過率の値は、分光光度計(可視紫外線分光光度計 UV−2500PC:株式会社島津製作所製)を用いて、ASTM D−1003規格に準拠して可視光線の入射光量に対する全透過光量を測定して算出される、可視光域における平均透過率の値を採用するものとする。   The substrate according to the present invention preferably has a visible light (400 nm to 700 nm) light transmittance of 80% or more, and more preferably 90% or more. When the light transmittance is 80% or more, when a functional barrier film is applied to an electronic device such as a liquid crystal display (LCD) panel, it is preferable because high luminance can be obtained. In this specification, the value of the light transmittance is the incidence of visible light using a spectrophotometer (visible ultraviolet spectrophotometer UV-2500PC: manufactured by Shimadzu Corporation) in accordance with ASTM D-1003 standard. The average transmittance value in the visible light range calculated by measuring the total transmitted light amount with respect to the light amount is adopted.

本発明に係る基材には、コロナ処理が施されていてもよい。   The substrate according to the present invention may be subjected to corona treatment.

また、本発明に係る基材は、適宜その他の層(中間層)を形成してもよい。例えば、基材表面へのハイブリッド層等の密着性を向上する目的でアンカーコート層(易接着層)が形成されうる。用いられうるアンカーコート剤としては特に制限されないが、単分子レベル〜ナノレベルの薄膜を形成し、層界面で分子結合を形成することによって高い接着性を得る観点から、シランカップリング剤を用いることが好ましい。この他には、樹脂等からなる応力緩和層、基材の表面を平滑化するための平滑層、基材等からのブリードアウトを防止するためのブリードアウト防止層などが設けられうる。   Moreover, the base material which concerns on this invention may form another layer (intermediate layer) suitably. For example, an anchor coat layer (an easy-adhesion layer) may be formed for the purpose of improving the adhesion of a hybrid layer or the like to the substrate surface. The anchor coating agent that can be used is not particularly limited, but a silane coupling agent is used from the viewpoint of obtaining a high adhesion by forming a thin film at a monomolecular level to a nano level and forming a molecular bond at the layer interface. Is preferred. In addition, a stress relaxation layer made of a resin or the like, a smoothing layer for smoothing the surface of the substrate, a bleedout prevention layer for preventing bleedout from the substrate or the like can be provided.

さらに、ガスバリア層のカールバランス調整やデバイス作製プロセス耐性、ハンドリング適性等を改良する目的で、基材にバックコート層が設けられてもよい。   Furthermore, a back coat layer may be provided on the substrate for the purpose of improving the curl balance of the gas barrier layer, device fabrication process resistance, handling suitability, and the like.

上記基材に中間層が設けられる場合には、通常、ガスバリア層は中間層上に配置される。   When the intermediate layer is provided on the substrate, the gas barrier layer is usually disposed on the intermediate layer.

(ガスバリア層)
ガスバリア層は、ガスバリア性フィルムにガスバリア性能を付与する機能を有する。
(Gas barrier layer)
The gas barrier layer has a function of imparting gas barrier performance to the gas barrier film.

ガスバリア層は、得られるガスバリア性フィルムの水蒸気透過率が1×10−2g/m/day以下となるものであれば、いかなるものであってもよい。 Any gas barrier layer may be used as long as the water vapor permeability of the obtained gas barrier film is 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less.

ガスバリア層の具体例としては、無機物を含む層であることが好ましい。当該無機物としては、二硫化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化スズ、酸化ガリウム、酸化インジウムスズ(ITO)、アルミニウム添加亜鉛酸化物(AZO)、亜鉛スズ複合酸化物(ZTO)、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素等が挙げられる。これらのうち、前記無機物は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素であることが好ましい。   A specific example of the gas barrier layer is preferably a layer containing an inorganic substance. Examples of the inorganic substance include zinc disulfide, aluminum oxide, indium oxide, tin oxide, gallium oxide, indium tin oxide (ITO), aluminum-added zinc oxide (AZO), zinc-tin composite oxide (ZTO), aluminum nitride, carbonized Examples thereof include silicon, silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride. Of these, the inorganic material is preferably silicon oxide, silicon nitride, or silicon oxynitride.

前記無機物は、無機前駆体が改質されて形成されたものであってもよい。前記改質は、例えば、無機前駆体に真空紫外光等のエネルギー線を照射することによって行うことができる。ただし、この場合、無機物とともに未改質の無機前駆体や副生物等を含むことがある。したがって、無機前駆体の改質により無機物を形成する場合には、ガスバリア層内に含有される成分を一義的に定めることは困難になることがある。   The inorganic material may be formed by modifying an inorganic precursor. The modification can be performed, for example, by irradiating the inorganic precursor with energy rays such as vacuum ultraviolet light. However, in this case, unmodified inorganic precursors and by-products may be contained together with the inorganic substance. Therefore, when forming an inorganic substance by modification | reformation of an inorganic precursor, it may become difficult to define uniquely the component contained in a gas barrier layer.

ガスバリア層は、単層であっても、2層以上が積層されたものであってもよい。2層以上が積層される場合には、各層は同じ成分からなるものであっても、異なる成分からなる層であってもよい。   The gas barrier layer may be a single layer or a laminate of two or more layers. When two or more layers are laminated, each layer may be composed of the same component or a layer composed of different components.

ガスバリア層が2層以上積層された構造を有する場合には、前記ガスバリア層は、無機物を含む層とともに有機物を含む層を有していてもよい。当該有機物を含む層が、無機物を含む層と接して配置されることにより、無機物を含む層に生じうる微細孔、微小なひび割れ、クラック等の欠陥を防止することができる。   When the gas barrier layer has a structure in which two or more layers are stacked, the gas barrier layer may have a layer containing an organic substance together with a layer containing an inorganic substance. When the layer containing an organic substance is disposed in contact with the layer containing an inorganic substance, defects such as micropores, minute cracks, and cracks that can occur in the layer containing the inorganic substance can be prevented.

前記有機物としては、アクリレート含有ポリマー、メタクリレート含有ポリマー等が挙げられる。   Examples of the organic material include acrylate-containing polymers and methacrylate-containing polymers.

ガスバリア層の厚さは、1nm〜10μmであることが好ましく、2nm〜1μmであることがより好ましく、5〜600nmであることがさらに好ましい。ガスバリア層が1nm以上であると、十分なガスバリア性を有しうることから好ましい。一方、ガスバリア層が10μm以下であると、ガスバリア層にクラックが生じにくくなることから好ましい。なお、ガスバリア層が、2層以上が積層されてなる場合には、その総膜厚(有機物を含む層も含む)が上記範囲内にあることが好ましい。また、ガスバリア層が両面に形成される場合には、それぞれの膜厚が上記範囲内にあることが好ましい。   The thickness of the gas barrier layer is preferably 1 nm to 10 μm, more preferably 2 nm to 1 μm, and further preferably 5 to 600 nm. It is preferable that the gas barrier layer has a thickness of 1 nm or more because sufficient gas barrier properties can be obtained. On the other hand, it is preferable that the gas barrier layer is 10 μm or less because cracks are hardly generated in the gas barrier layer. In addition, when two or more gas barrier layers are laminated, it is preferable that the total film thickness (including a layer containing an organic substance) is within the above range. Moreover, when a gas barrier layer is formed in both surfaces, it is preferable that each film thickness exists in the said range.

(保護層)
ガスバリア性フィルムには、必要に応じて保護層を設けてもよい。
(Protective layer)
You may provide a protective layer in a gas barrier film as needed.

保護層は、ガスバリア層を保護することで、ガスバリア性フィルムに高いガスバリア性を付与する機能を有する。保護層は、通常、ガスバリア層の基材とは反対の面に配置される。好ましいガスバリア性フィルムの形態は、基材、ガスバリア層、および保護層が、この順に積層された形態である。   The protective layer has a function of imparting high gas barrier properties to the gas barrier film by protecting the gas barrier layer. A protective layer is normally arrange | positioned on the surface opposite to the base material of a gas barrier layer. A preferred form of the gas barrier film is a form in which a substrate, a gas barrier layer, and a protective layer are laminated in this order.

前記保護層は、ポリシロキサンおよび/またはポリシロキサンが改質されてなる生成物を含む。   The protective layer includes polysiloxane and / or a product obtained by modifying polysiloxane.

ポリシロキサン
ポリシロキサンとしては、特に制限されず、公知のものが用いられうる。なかでも下記一般式(1)で表されるオルガノポリシロキサンを用いることが好ましい。
Polysiloxane The polysiloxane is not particularly limited, and known ones can be used. Among these, it is preferable to use an organopolysiloxane represented by the following general formula (1).

Figure 2014019056
Figure 2014019056

上記一般式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立して、C1〜C8の有機基を表す。この際、前記R〜Rの少なくとも1つは、アルコキシ基または水酸基であり、mは1以上の整数である。C1〜C8の有機基としては、特に制限されないが、γ−クロロプロピル基、3,3,3−トリフロロプロピル基等のハロゲン化アルキル基;ビニル基等のアルケニル基;フェニル基等のアリール基;γ−メタクリルオキシプロピル基等の(メタ)アクリル酸エステル基;γ−グリシドキシプロピル基等のエポキシ含有アルキル基;γ−メルカプトプロピル基等のメルカプト含有アルキル基;γ−アミノプロピル基等のアミノアルキル基;γ−イソシアネートプロピル基等のイソシアネート含有アルキル基;メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等の直鎖または分岐鎖アルキル基;シクロヘキシル基、シクロペンチル基等の脂環状アルキル基;メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基等の直鎖状または分岐状アルコキシ基;アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、バレリル基、カプロイル基等のアシル基が挙げられる。 In the said General formula (1), R < 1 > -R < 6 > represents a C1-C8 organic group each independently. At this time, at least one of the R 1 to R 6 is an alkoxy group or a hydroxyl group, and m is an integer of 1 or more. The C1-C8 organic group is not particularly limited, but is a halogenated alkyl group such as a γ-chloropropyl group or 3,3,3-trifluoropropyl group; an alkenyl group such as a vinyl group; an aryl group such as a phenyl group. A (meth) acrylic acid ester group such as γ-methacryloxypropyl group; an epoxy-containing alkyl group such as γ-glycidoxypropyl group; a mercapto-containing alkyl group such as γ-mercaptopropyl group; a γ-aminopropyl group; Aminoalkyl group; isocyanate-containing alkyl group such as γ-isocyanatopropyl group; linear or branched alkyl group such as methyl group, ethyl group, propyl group and isopropyl group; alicyclic alkyl group such as cyclohexyl group and cyclopentyl group; Linear or branched group such as ethoxy group, propyloxy group, isopropyloxy group, etc. Jo alkoxy group; an acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, valeryl group, and an acyl group such as caproyl.

上記一般式(1)で表されるオルガノポリシロキサンのうち、mが1以上、かつ、重量平均分子量(ポリスチレン換算)が1000〜20000であるオルガノポリシロキサンを用いることがより好ましい。オルガノポリシロキサンの重量平均分子量が1000以上であると、形成される保護層に亀裂が生じにくくなり、ガスバリア性を維持しうることから好ましい。一方、オルガノポリシロキサンの重量平均分子量が20000以下であると、形成される保護層が十分に硬化され、保護層として十分な硬度が得られうることから好ましい。   Of the organopolysiloxanes represented by the general formula (1), it is more preferable to use an organopolysiloxane having m of 1 or more and a weight average molecular weight (polystyrene conversion) of 1000 to 20000. It is preferable that the weight average molecular weight of the organopolysiloxane is 1000 or more because cracks are unlikely to occur in the formed protective layer and the gas barrier property can be maintained. On the other hand, when the weight average molecular weight of the organopolysiloxane is 20000 or less, the protective layer to be formed is sufficiently cured and sufficient hardness as the protective layer can be obtained.

ポリシロキサンを改質してなる生成物
ポリシロキサンを改質してなる生成物は、上述のポリシロキサンを真空紫外光等で改質して形成することができる。当該ポリシロキサンを改質してなる生成物の具体的な組成は明らかではない。
Product formed by modifying polysiloxane A product formed by modifying polysiloxane can be formed by modifying the above-described polysiloxane with vacuum ultraviolet light or the like. The specific composition of the product obtained by modifying the polysiloxane is not clear.

保護層は、単層であっても、2層以上が積層されたものであってもよい。2層以上が積層される場合には、各層は同じ成分からなるものであっても、異なる成分からなるものであってもよい。   The protective layer may be a single layer or a laminate of two or more layers. When two or more layers are laminated, each layer may be composed of the same component or different components.

保護層の厚さは、所望の性能に応じて適宜に設定されうる。例えば、保護層の厚さは、50nm〜10μmであることが好ましく、100nm〜1μmであることがより好ましい。保護層の厚さが50nm以上であると、十分なガスバリア性が得られうることから好ましい。一方、保護層の厚さが10μm以下であると、高い光線透過性を実現でき、かつ、保護層の形成に際して安定した塗布を行うことができることから好ましい。   The thickness of the protective layer can be appropriately set according to the desired performance. For example, the thickness of the protective layer is preferably 50 nm to 10 μm, and more preferably 100 nm to 1 μm. It is preferable that the thickness of the protective layer is 50 nm or more because sufficient gas barrier properties can be obtained. On the other hand, it is preferable that the thickness of the protective layer is 10 μm or less because high light transmittance can be realized and stable coating can be performed when the protective layer is formed.

(離型性を有する樹脂層)
ガスバリア性フィルムには、必要に応じて離型性を有する樹脂層を設けてもよい。
(Resin layer with releasability)
The gas barrier film may be provided with a resin layer having releasability as required.

離型性を有する樹脂層は、ガスバリア性フィルムの表面からの水分の吸着を防止し、また、ガスバリア性フィルムを巻芯に巻き取る際に、ガスバリア層への傷や異物の混入を低減する機能を有する。なお、ガスバリア性フィルムの側面については、空気と接触する面積が小さいことから、空気中の水分等の影響を受けることはほとんどない。なお、本明細書において、「離型性」とは、ガスバリア性フィルムを構成するいずれかの要素と接着することができ、かつ、任意に所定のエネルギーを付与することにより剥離できることを意味する。   The releasable resin layer prevents moisture from adsorbing from the surface of the gas barrier film, and also reduces the damage to the gas barrier layer and the entry of foreign objects when the gas barrier film is wound around the core. Have In addition, about the side surface of a gas-barrier film, since the area which contacts air is small, it is hardly influenced by the water | moisture content etc. in air. In the present specification, the “release property” means that it can be adhered to any element constituting the gas barrier film and can be peeled by arbitrarily applying predetermined energy.

当該離型性を有する樹脂層は、通常、ガスバリア層の表面に貼合される。好ましいガスバリア性フィルムの形態は、基材、ガスバリア層、および離型性を有する樹脂層がこの順に積層された形態である。また、前記ガスバリア性フィルムが保護層を含む場合には、好ましいガスバリア性フィルムの形態は、基材、ガスバリア層、保護層、および離型性を有する樹脂層がこの順に積層された形態である。また、前記離型性を有する樹脂層は、基材のガスバリア層とは反対の面に配置されていてもよい。この場合には、好ましいガスバリア性フィルムの形態は、離型性を有する樹脂層、基材、およびガスバリア層がこの順に積層された形態となる。   The resin layer having the releasability is usually bonded to the surface of the gas barrier layer. A preferred form of the gas barrier film is a form in which a substrate, a gas barrier layer, and a resin layer having releasability are laminated in this order. In addition, when the gas barrier film includes a protective layer, a preferable form of the gas barrier film is a form in which a base material, a gas barrier layer, a protective layer, and a resin layer having releasability are laminated in this order. The resin layer having releasability may be disposed on the surface opposite to the gas barrier layer of the substrate. In this case, a preferable form of the gas barrier film is a form in which a releasable resin layer, a base material, and a gas barrier layer are laminated in this order.

離型性を有する樹脂層は、特に制限はないが、基板と、前記基板の片面に形成された粘着剤を含む粘着層とからなることが好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the resin layer which has mold release property, It is preferable that it consists of a board | substrate and the adhesion layer containing the adhesive formed in the single side | surface of the said board | substrate.

基板
基板は、粘着層を保持する機能を有する。
Substrate The substrate has a function of holding the adhesive layer.

用いられうる基板としては、特に制限されないが、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のポリオレフィン系フィルム;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム;ヘキサメチレンアジパミド等のポリアミド系フィルム;ポリビニルクロライド、ポリビニリデンクロライド、ポリフルオロエチレン等のハロゲン系フィルム;ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル共重合体等の酢酸ビニル;およびこれらの誘導体フィルム等が挙げられる。これらのうち、入手の容易性の観点から、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムを用いることが好ましい。   Although it does not restrict | limit especially as a board | substrate which can be used, Polyolefin-type films, such as a polyethylene film and a polypropylene film; Polyester films, such as a polyethylene terephthalate and a polybutylene terephthalate; Polyamide-type films, such as a hexamethylene adipamide; Polyvinyl chloride, Polyvinylidene And halogen-based films such as chloride and polyfluoroethylene; vinyl acetate such as polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, and ethylene vinyl acetate copolymer; and their derivative films. Among these, it is preferable to use a polyethylene film, a polypropylene film, or a polyethylene terephthalate film from the viewpoint of availability.

基板の厚さは、特に制限はされないが、10〜300μmであることが好ましく、25〜150μmであることがより好ましい。基板の厚さが10μm以上であると、取り扱いが容易となることから好ましい。一方、基板の厚さが300μm以下であると、離型性を有する樹脂層が過度に硬くならないことから好ましい。   The thickness of the substrate is not particularly limited, but is preferably 10 to 300 μm, and more preferably 25 to 150 μm. It is preferable that the thickness of the substrate is 10 μm or more because handling becomes easy. On the other hand, it is preferable that the thickness of the substrate is 300 μm or less because the resin layer having releasability does not become excessively hard.

粘着層
粘着層は粘着剤を含む。粘着剤としては特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコン系粘着剤、紫外線硬化型粘着剤、ポリオレフィン系粘着剤、エチレン酢酸ビニルコポリマー(EVA)系粘着剤などを挙げることができ、少なくとも1種を使用することができる。また、粘着剤の粘着力が1mN/cm〜2N/cmであることが好ましく、1〜200mN/cmであることがより好ましく、さらに好ましくは1〜80mN/cmである。粘着剤の粘着力が1mN/cm以上であれば、ガスバリア性フィルムと離型性を有する樹脂層との十分な密着力を得ることができ、連続搬送中での剥離が発生しなくなると共に、搬送時のロール等の接触による既に形成したガスバリア膜等に対する影響を防止することができる。粘着力が2N/cm以下であれば、樹脂材料を剥離するときに、ガスバリア膜に対し過度の力を掛けることなく、ガスバリア膜の破壊や、ガスバリア膜上への粘着剤の残留を起こすことが少ない点で好ましい。
Adhesive layer The adhesive layer contains an adhesive. The adhesive is not particularly limited, and for example, acrylic adhesive, rubber adhesive, urethane adhesive, silicone adhesive, ultraviolet curable adhesive, polyolefin adhesive, ethylene vinyl acetate copolymer (EVA) system An adhesive etc. can be mentioned and at least 1 sort (s) can be used. Moreover, it is preferable that the adhesive force of an adhesive is 1 mN / cm-2 N / cm, It is more preferable that it is 1-200 mN / cm, More preferably, it is 1-80 mN / cm. If the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive is 1 mN / cm or more, sufficient adhesion between the gas barrier film and the resin layer having releasability can be obtained, and no peeling occurs during continuous conveyance. It is possible to prevent the influence on the already formed gas barrier film or the like due to contact of the roll or the like at the time. If the adhesive force is 2 N / cm or less, when the resin material is peeled off, the gas barrier film may be destroyed or the adhesive may remain on the gas barrier film without applying excessive force to the gas barrier film. It is preferable in terms of few points.

粘着剤の粘着力は、JIS Z 0237に準拠した測定法に従って、試験板としてコーニング1737を用い、樹脂材料を試験板に圧着して20分後に測定して求めることができる。   The adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive can be determined by measuring 20 minutes after the resin material is pressure-bonded to the test plate using Corning 1737 as a test plate according to a measurement method based on JIS Z 0237.

また、粘着層の厚さとしては、0.1〜30μmであることが好ましい。粘着層の厚さが0.1μm以上であれば、ガスバリアフィルムと離型性を有する樹脂層との十分な密着力を得ることができ、連続搬送中での剥離が発生しなくなると共に、搬送時のロール等の接触によるガスバリア膜に対する影響を防止することができる。また、粘着層の厚さが30μm以下であれば、樹脂材料を剥離するときに、ガスバリア膜に対し過度の力を掛けることなく、ガスバリア膜の破壊や、ガスバリア膜上への粘着剤の過度の残留を起こすことがない。   Further, the thickness of the adhesive layer is preferably 0.1 to 30 μm. When the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is 0.1 μm or more, sufficient adhesion between the gas barrier film and the resin layer having releasability can be obtained, and peeling during continuous conveyance does not occur. It is possible to prevent the gas barrier film from being affected by the contact of the roll or the like. Further, when the thickness of the adhesive layer is 30 μm or less, when the resin material is peeled off, an excessive force is not applied to the gas barrier film, and the gas barrier film is destroyed or the adhesive on the gas barrier film is excessive. There is no residue.

アクリル系粘着剤としては、例えば、(メタ)アクリル酸エステルの単独重合体または他の共重合性モノマーとの共重合体が用いられる。さらに、これらの共重合体を構成するモノマーもしくは共重合性モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のアルキルエステル(例えば、メチルエステル、エチルエステル、ブチルエステル、2−エチルヘキシルエステル、オクチルエステル、イソノニルエステル等)、(メタ)アクリル酸のヒドロキシアルキルエステル(例えば、ヒドロキシエチルエステル、ヒドロキシブチルエステル、ヒドロキシヘキシルエステノレ)、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、無水マレイン酸、(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸Nーヒドロキシメチルアミド、(メタ)アクリル酸アルキルアミノアルキルエステル(例えば、ジメチルアミノエチノレメタクリレート、t−ブチノレアミノエチノレメタクリレート等)、酢酸ピニル、スチレン、アクリロニトリルなどが挙げられる。主要成分のモノマーとしては、通常、ホモポリマーのガラス転移点が500℃以下のアクリル酸アルキルエステルが使用される。   As the acrylic pressure-sensitive adhesive, for example, a homopolymer of (meth) acrylic acid ester or a copolymer with another copolymerizable monomer is used. Furthermore, examples of monomers or copolymerizable monomers constituting these copolymers include alkyl esters of (meth) acrylic acid (for example, methyl esters, ethyl esters, butyl esters, 2-ethylhexyl esters, octyl esters, isoforms). Nonyl esters, etc.), hydroxyalkyl esters of (meth) acrylic acid (eg, hydroxyethyl ester, hydroxybutyl ester, hydroxyhexyl ester), (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid, itaconic acid, maleic anhydride Acid, (meth) acrylic acid amide, (meth) acrylic acid N-hydroxymethylamide, (meth) acrylic acid alkylaminoalkyl ester (for example, dimethylaminoethinomethacrylate, t-butanolenoaminoethino Methacrylate), acetic pinyl, styrene, and acrylonitrile. As the monomer of the main component, an alkyl acrylate ester having a homopolymer glass transition point of 500 ° C. or lower is usually used.

アクリル系粘着剤の硬化剤としては、例えば、イソシアネート系、エポキシ系、アリジリン系硬化剤が利用できる。イソシアネート系硬化剤では、長期保存後も安定した粘着力を得ることと、より硬い粘着層とする目的で、トノレイレンジイソシアネート(TDI)等の芳香族系のタイプを好ましく用いることができる。   As the curing agent for the acrylic pressure-sensitive adhesive, for example, an isocyanate-based, epoxy-based, or alidiline-based curing agent can be used. As the isocyanate curing agent, an aromatic type such as tonoleylene diisocyanate (TDI) can be preferably used in order to obtain a stable adhesive force even after long-term storage and to form a harder adhesive layer.

ゴム系粘着剤としては、例えば、ポリイソブチレンゴム、ブチルゴムとこれらの混合物、或いは、これらゴム系粘着剤にアピエチン酸ロジンエステル、テルぺン・フェノール共重合体、テルぺン・インデン共重合体などの粘着付与剤を配合したものが用いられる。   Examples of the rubber-based pressure-sensitive adhesive include polyisobutylene rubber, butyl rubber and a mixture thereof, or these rubber-based pressure-sensitive adhesives such as apinic acid rosin ester, terpene / phenol copolymer, terpene / indene copolymer, etc. Those containing a tackifier are used.

ゴム系粘着剤のベースポリマーとしては、例えば、天然ゴム、イソプレン系ゴム、スチレン−タジエン系ゴム、再生ゴム、ポリイソブチレン系ゴム、更にはスチレン−イソプレンスチレン系ゴム、スチレンブタジエンスチレン系ゴム等が挙げられる。   Examples of the rubber-based adhesive base polymer include natural rubber, isoprene-based rubber, styrene-tadiene rubber, recycled rubber, polyisobutylene rubber, styrene-isoprene styrene rubber, styrene butadiene styrene rubber, and the like. It is done.

なかでも、ブロックゴム系粘着剤は、一般式A−B−Aで表されるブロック共重合体や一般式A−Bで表されるブロック共重合体(但し、Aはスチレン系重合体ブロック、Bはブタジエン重合体ブロック、イソプレン重合体ブロック、またはこれらを水素添加して得られるオレフィン重合体ブロックであり、以下、スチレン系熱可塑性エラストマーという)を主体に、粘着付与樹脂、軟化剤などが配合された組成物が挙げられる。   Among these, the block rubber-based pressure-sensitive adhesive is a block copolymer represented by a general formula A-B-A or a block copolymer represented by a general formula A-B (where A is a styrene-based polymer block, B is a butadiene polymer block, an isoprene polymer block, or an olefin polymer block obtained by hydrogenation of these, and includes a tackifying resin, a softener, etc. Composition.

上記ブロックゴム系粘着剤において、スチレン系重合体ブロックAは平均分子量が4,000〜120,000程度のものが好ましく、さらに10,000〜60,000程度のものがより好ましい。そのガラス転移温度は150℃以上のものが好ましい。また、ブタジエン重合体ブロック、イソプレン重合体ブロックまたはこれらを水素添加して得られるオレフィン重合体ブロックBは、平均分子量が30,000〜400,000程度のものが好ましく、さらに60,000〜200,000程度のものがより好ましい。そのガラス転移温度は−150℃以下のものが好ましい。上記A成分とB成分との好ましい質量比はA/B=5/95〜50/50であり、さらに好ましくはA/B=10/90〜30/70である。A/Bの値が、50/50を以下であると常温においてポリマーのゴム弾性が高くなり、粘着性が発現しやすくなり、5/95以上ではスチレンドメインが密になり、十分な凝集力により、所望の接着力が得られ、剥離時に粘着層がちぎれる等の不具合も生じにくくなる。   In the block rubber adhesive, the styrene polymer block A preferably has an average molecular weight of about 4,000 to 120,000, and more preferably about 10,000 to 60,000. The glass transition temperature is preferably 150 ° C. or higher. Further, the butadiene polymer block, the isoprene polymer block, or the olefin polymer block B obtained by hydrogenating them is preferably one having an average molecular weight of about 30,000 to 400,000, more preferably 60,000 to 200, About 000 is more preferable. The glass transition temperature is preferably -150 ° C or lower. A preferable mass ratio of the A component and the B component is A / B = 5/95 to 50/50, and more preferably A / B = 10/90 to 30/70. When the value of A / B is 50/50 or less, the rubber elasticity of the polymer becomes high at normal temperature, and the tackiness tends to be manifested, and when it is 5/95 or more, the styrene domain becomes dense and due to sufficient cohesive force. The desired adhesive strength can be obtained, and problems such as the tearing of the pressure-sensitive adhesive layer during peeling are less likely to occur.

さらに、上記粘着層に、ポリオレフィン系樹脂を添加することにより、剥離紙もしくは剥離フィルムからの離型性を向上することができる。このポリオレフィン系樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、エチレンαオレフィン共重合体、プロピレンαオレフィン共重合体、エチレンーエチルアクリレート共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレンメチルメタクリレート共重合体、エチレンn−ブチルアクリレート共重合体、およびこれらの混合物が挙げられる。   Furthermore, the release property from a release paper or a release film can be improved by adding a polyolefin resin to the adhesive layer. Examples of the polyolefin resin include low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, ethylene α-olefin copolymer, propylene α-olefin copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene -Vinyl acetate copolymer, ethylene methyl methacrylate copolymer, ethylene n-butyl acrylate copolymer, and mixtures thereof.

このポリオレフィン系樹脂は、低分子量分が少ないことが好ましく、具体的には、nーペンタンによる沸点乾留で抽出される低分子量分が1.0質量%未満であることが好ましい。低分子量分が少ないと、温度変化や経時変化に応じて、粘着特性に悪影響を及ぼしにくくなり、粘着力の低下が生じにくくなることから好ましい。   The polyolefin-based resin preferably has a low molecular weight, and specifically, the low molecular weight extracted by boiling boiling with n-pentane is preferably less than 1.0% by mass. When the low molecular weight component is small, it is preferable because the adhesive property is less likely to be adversely affected and the adhesive force is less likely to be lowered according to a change in temperature or a change with time.

また、上記粘着剤には、シリコンオイルを添加することにより、ポリビニルアルコールを主成分とする塗膜が設けられた白背面との親和性をさらに低下せしめることができる。このシリコンオイルはポリアルコキシシロキサン鎖を主鎖にもつ高分子化合物で、粘着層の疎水性を高め、さらに接着界面、すなわち、粘着層表面にブリードするため、粘着剤の接着力を抑制し、接着昂進現象が起き難くする働きがある。   Moreover, the affinity with the white back surface provided with the coating film which has polyvinyl alcohol as a main component can further be reduced by adding silicone oil to the said adhesive. This silicone oil is a polymer compound with a polyalkoxysiloxane chain in the main chain, which increases the hydrophobicity of the adhesive layer and further bleeds to the adhesive interface, that is, the surface of the adhesive layer. There is a function that makes it difficult for a phenomenon to occur.

上記ゴム系粘着剤に、架橋剤を添加し架橋することで粘着層とする。   A cross-linking agent is added to the rubber-based pressure-sensitive adhesive to cross-link to form a pressure-sensitive adhesive layer.

架橋剤としては、例えば、天然ゴム系粘着剤の架橋には、イオウと加硫助剤および加硫促進剤(代表的なものとして、ジブチルチオカーパメイト亜鉛など)が使用される。天然ゴムおよびカルボン酸共重合ポリイソプレンを原料とした粘着剤を室温で架橋可能な架橋剤として、ポリイソシアネート類が使用される。ブチルゴムおよび天然ゴムなどの架橋剤に耐熱性と非汚染性の特色がある架橋剤として、ポリアルキルフェノール樹脂類が使用される。ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴムおよび天然ゴムを原料とした粘着剤の架橋に有機過酸化物、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイドなどがあり、非汚染性の粘着剤が得られる。架橋助剤として、多官能メタクリルエステル類を使用する。その他紫外線架橋、電子線架橋などの架橋による粘着剤の形成がある。   As the crosslinking agent, for example, sulfur, a vulcanization aid, and a vulcanization accelerator (typically, dibutylthiocarbamate zinc, etc.) are used for crosslinking of the natural rubber-based pressure-sensitive adhesive. Polyisocyanates are used as a cross-linking agent capable of cross-linking an adhesive made from natural rubber and carboxylic acid copolymerized polyisoprene at room temperature. Polyalkylphenol resins are used as cross-linking agents that have heat-resistant and non-fouling characteristics in cross-linking agents such as butyl rubber and natural rubber. There are organic peroxides such as benzoyl peroxide and dicumyl peroxide in the crosslinking of pressure-sensitive adhesives made from butadiene rubber, styrene-butadiene rubber and natural rubber, and non-fouling pressure-sensitive adhesives can be obtained. Polyfunctional methacrylic esters are used as a crosslinking aid. There is also the formation of pressure-sensitive adhesives by crosslinking such as ultraviolet crosslinking and electron beam crosslinking.

シリコン系粘着剤としては付加反応硬化型シリコン粘着剤と縮重合硬化型シリコン粘着剤があるが、本発明では付加反応硬化型が好ましく用いられる。   Silicone adhesives include addition reaction curable silicone adhesives and condensation polymerization curable silicone adhesives. In the present invention, addition reaction curable adhesives are preferably used.

付加反応硬化型シリコン粘着剤組成物の組成としては、以下に挙げるものが好適に用いられる。   As the composition of the addition reaction curable silicone pressure-sensitive adhesive composition, those listed below are preferably used.

(A)1分子中に2個以上のアルケニル基を有するポリジオルガノシロキサン
(B)SiH基を含有するポリオルガノシロキサン
(C)制御剤
(D)白金触媒
(E)導電性微粒子。
(A) Polydiorganosiloxane having two or more alkenyl groups in one molecule (B) Polyorganosiloxane containing SiH group (C) Control agent (D) Platinum catalyst (E) Conductive fine particles.

ここで、(A)成分は、1分子中に2個以上のアルケニル基を有するポリジオルガノシロキサンであり、このようなアルケニル基含有ポリジオルガノシロキサンとしては、下記一般式(2)で示されるものが例示できる。   Here, the component (A) is a polydiorganosiloxane having two or more alkenyl groups in one molecule, and examples of such alkenyl group-containing polydiorganosiloxane include those represented by the following general formula (2). It can be illustrated.

Figure 2014019056
Figure 2014019056

一般式(2)において、Rは炭素数1〜10の1価炭化水素基であり、Xはアルケニル基含有の有機基である。aは0〜3の整数で1が好ましく、mは0以上であるが、a=0の場合、mは2以上であり、mおよびnは、それぞれ100≦m+n≦20,000を満足する数であり、pは2以上である。 In the general formula (2), R 7 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and X is an alkenyl group-containing organic group. a is an integer of 0 to 3, preferably 1, and m is 0 or more, but when a = 0, m is 2 or more, and m and n are numbers satisfying 100 ≦ m + n ≦ 20,000, respectively. And p is 2 or more.

は炭素数1〜10の1価炭化水素基であり、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などのアルキル基、シクロヘキシル基などのシクロアルキル基、フェニル基、トリル基などのアリール基などが挙げられるが、特にメチル基、フェニル基が好ましい。 R 7 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, specifically, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group, a cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, a phenyl group, or tolyl. An aryl group such as a group is exemplified, and a methyl group and a phenyl group are particularly preferable.

Xはアルケニル基含有の有機基で炭素数2〜10のものが好ましく、具体的にはピニル基、アリル基、ヘキセニル基、オクテニル基、アクリロイルプロピル基、アクリロイルメチル基、メタクリロイルプロピル基、シクロヘキセニルエチル基、ピニルオキシプロピル基等が挙げられるが、特にビニル基、ヘキセニル基などが好ましい。   X is an alkenyl group-containing organic group, preferably having 2 to 10 carbon atoms, specifically pinyl group, allyl group, hexenyl group, octenyl group, acryloylpropyl group, acryloylmethyl group, methacryloylpropyl group, cyclohexenylethyl group. Group, pinyloxypropyl group, and the like, among which vinyl group and hexenyl group are particularly preferable.

このポリジオルガノシロキサンの性状は、オイル状、生ゴム状であればよく、(A)成分の粘度は、250℃において100mPa・s以上、特に1,000mPa・s以上が好ましい。なお、上限としては、特に限定されないが、他成分との混合の容易さから、重合度が20,000以下となるように選定することが好ましい。また、(A)成分は1種を単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   The polydiorganosiloxane may be in the form of oil or raw rubber, and the viscosity of the component (A) is preferably 100 mPa · s or more, particularly 1,000 mPa · s or more at 250 ° C. The upper limit is not particularly limited, but is preferably selected so that the degree of polymerization is 20,000 or less because of easy mixing with other components. Moreover, (A) component may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

(B)成分であるSiH基を含有するポリオルガノシロキサンは架橋剤であり、1分子中にケイ素原子に結合した水素原子を少なくとも2個、好ましくは3個以上有するオルガノヒドロポリシロキサンで、直鎖状、分岐状、環状のものなどを使用することができる。   The polyorganosiloxane containing SiH groups as the component (B) is a crosslinking agent, and is an organohydropolysiloxane having at least 2, preferably 3 or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule. , Branched, annular, etc. can be used.

(B)成分としては、下記一般式(3)で表される化合物を挙げることができるが、これらのものには限定されない。   (B) As a component, although the compound represented by following General formula (3) can be mentioned, it is not limited to these.

Figure 2014019056
Figure 2014019056

一般式(3)において、Rは炭素数1〜6の脂肪族不飽和結合を含有しない1価炭化水素基である。bは0〜3の整数、x、yはそれぞれ整数であり、このオルガノヒドロポリシロキサンの250℃における粘度が1〜5,000mPa・sとなる数を示す。 In the general formula (3), R 8 is a monovalent hydrocarbon group not containing an aliphatic unsaturated bond having 1 to 6 carbon atoms. b is an integer of 0 to 3, and x and y are integers, respectively, and indicate the number at which the viscosity of this organohydropolysiloxane at 250 ° C. is 1 to 5,000 mPa · s.

このオルガノヒドロポリシロキサンの250℃における粘度は、1〜5,000mPa・s、特に5〜1000mPa・Sであることが好ましく、また2種以上の混合物でもよい。   The viscosity of this organohydropolysiloxane at 250 ° C. is preferably 1 to 5,000 mPa · s, particularly preferably 5 to 1000 mPa · S, and may be a mixture of two or more.

付加反応による架橋は、(A)成分と架橋剤の(B)成分の間で生じ、硬化後の粘着層のゲル分率は架橋成分の割合によって決まる(B)成分の使用量は、(A)成分中のアルケニル基に対する(B)成分中のSiH基のモル比が0.5〜20、特に0.8〜15の範囲となるように配合することが好ましい。0.5以上であれば、架橋密度が保たれ、これにともない保持力を得ることができる。一方で、20以下であれば、粘着力およびタックが得られる。   Crosslinking by addition reaction occurs between the component (A) and the component (B) of the crosslinking agent, and the gel fraction of the adhesive layer after curing is determined by the proportion of the crosslinking component. It is preferable to blend so that the molar ratio of the SiH group in the component (B) to the alkenyl group in the component) is in the range of 0.5 to 20, particularly 0.8 to 15. If it is 0.5 or more, the crosslinking density is maintained, and a holding force can be obtained accordingly. On the other hand, if it is 20 or less, adhesive force and tack can be obtained.

また、耐熱保持力などの耐熱性や溶剤浸透抑制などの耐溶媒性を向上させるためには、組成物中の架橋成分の割合を増やせばよいが、過剰に増やすと粘着力の低下や膜の柔軟性が低下するなどの影響が発生する場合がある。このような点から、(A)/(B)成分の配合質量比は20/80〜80/20とすればよく、特に45/55〜70/30とすることが好ましい。(A)成分の配合割合が20/80以上であれば、粘着力、タックなどの十分な粘着特性を得ることができ、また、80/20以下であれば十分な耐熱性が得られる。   In addition, in order to improve the heat resistance such as heat resistance and solvent resistance such as suppression of solvent penetration, the proportion of the cross-linking component in the composition may be increased. There may be effects such as reduced flexibility. From such a point, the blending mass ratio of the component (A) / (B) may be 20/80 to 80/20, and is particularly preferably 45/55 to 70/30. If the blending ratio of component (A) is 20/80 or more, sufficient adhesive properties such as adhesive strength and tack can be obtained, and if it is 80/20 or less, sufficient heat resistance is obtained.

(C)成分は付加反応制御剤であり、シリコン粘着剤組成物を調合し、基材に塗工する際、加熱硬化の以前に処理液が増粘やゲル化をおこさないようにするために添加するものである。   Component (C) is an addition reaction control agent, so that when a silicone pressure-sensitive adhesive composition is prepared and applied to a substrate, the treatment liquid does not thicken or gel before heat curing. It is to be added.

(C)成分の具体例としては、3ーメチル−1−ブチン−3−オール、3−メチル−1−ぺンチン−3−オール、3,5−ジメチル−1ーヘキシン−3−オール、1−エチニルシクロヘキサノール、3ーメチル−3−トリメチルシロキシ−1−ブチン、3−メチル−3−トリメチルシロキシ−1−ぺンチン、3,5−ジメチル−3−トリメチルシロキシ−1ーヘキシン、1−エチニル−1−トリメチルシロキシシクロヘキサン、ピス(2,2−ジメチル−3−ブチノキシ)ジメチルシラン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラピニルシクロテトラシロキサン、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ジビニルジシロキサンなどが挙げられる。   Specific examples of the component (C) include 3-methyl-1-butyn-3-ol, 3-methyl-1-pentyn-3-ol, 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol, and 1-ethynyl. Cyclohexanol, 3-methyl-3-trimethylsiloxy-1-butyne, 3-methyl-3-trimethylsiloxy-1-pentyne, 3,5-dimethyl-3-trimethylsiloxy-1-hexyne, 1-ethynyl-1-trimethyl Siloxycyclohexane, pis (2,2-dimethyl-3-butynoxy) dimethylsilane, 1,3,5,7-tetramethyl-1,3,5,7-tetrapinylcyclotetrasiloxane, 1,1,3 Examples include 3-tetramethyl-1,3-divinyldisiloxane.

(C)成分の配合量は、(A)及び(B)成分の合計100質量部に対して0〜5.0質量部の範囲であることが好ましく、特に0.05〜2.0質量部が好ましい。上記範囲にあると硬化性の低下が抑制されうる。   The amount of component (C) is preferably in the range of 0 to 5.0 parts by weight, particularly 0.05 to 2.0 parts by weight, based on a total of 100 parts by weight of components (A) and (B). Is preferred. When it is in the above range, a decrease in curability can be suppressed.

(D)成分は白金系触媒であり、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とアルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン化合物との反応物、塩化白金酸とビニル基含有シロキサンとの反応物などが挙げられる。   Component (D) is a platinum catalyst, containing chloroplatinic acid, an alcohol solution of chloroplatinic acid, a reaction product of chloroplatinic acid and alcohol, a reaction product of chloroplatinic acid and an olefin compound, and containing chloroplatinic acid and a vinyl group A reaction product with siloxane can be used.

(D)成分の添加量は、(A)および(B)成分の合計量に対し、白金分として1〜5,000ppm、特に5〜2,000ppmとすることが好ましい。1ppm以上であれば、十分な硬化性が得られ、架橋密度も高く、保持力を維持することができる。   The amount of component (D) added is preferably 1 to 5,000 ppm, more preferably 5 to 2,000 ppm in terms of platinum relative to the total amount of components (A) and (B). If it is 1 ppm or more, sufficient curability is obtained, the crosslinking density is high, and the holding power can be maintained.

上述の粘着剤を含む粘着層には、添加剤として、安定剤、紫外線吸収剤、難燃剤、帯電防止剤を含有させることもできる。   The pressure-sensitive adhesive layer containing the above-mentioned pressure-sensitive adhesive can contain a stabilizer, an ultraviolet absorber, a flame retardant, and an antistatic agent as additives.

例えば、上記帯電防止剤としては、特に制限されないが、アルキルトリメチルアンモニウム塩等の第4級アンモニウムイオンを含むものが用いられうる。粘着層が帯電防止剤を含む場合には、離型性を有する樹脂層が帯電防止機能を発現し、本発明に係るフィルムロールに適用した場合には、取り扱い性が向上することから好ましい。   For example, the antistatic agent is not particularly limited, and those containing a quaternary ammonium ion such as an alkyltrimethylammonium salt can be used. In the case where the adhesive layer contains an antistatic agent, the resin layer having releasability exhibits an antistatic function, and when applied to the film roll according to the present invention, it is preferable because the handleability is improved.

また、粘着層には、再剥離性を付与させるため、あるいは粘着力を低く安定に維持するために、それらの成分が相手基材に移行しない程度に、ワックス等の有機樹脂、シリコン、フッ素等の低表面エネルギーを有する成分を添加してもよい。例えば、ワックス等の有機樹脂では、高級脂肪酸エステルや低分子のフタル酸エステルを用いてもよい。   In addition, in order to impart removability to the adhesive layer or to keep the adhesive force low and stable, an organic resin such as wax, silicon, fluorine, etc. A component having a low surface energy may be added. For example, in an organic resin such as wax, a higher fatty acid ester or a low molecular weight phthalate ester may be used.

また、本形態に係るフィルムロールの長さは、幅が20〜400cmであることが好ましく、50〜250cmであることがより好ましい。また、長さが20〜10000mであることが好ましく、100〜4000mであることがより好ましい。フィルムロールの長さが上記範囲内であると、生産性が高くなることから好ましい。   Moreover, as for the length of the film roll which concerns on this form, it is preferable that width | variety is 20-400 cm, and it is more preferable that it is 50-250 cm. Moreover, it is preferable that it is 20-10000m in length, and it is more preferable that it is 100-4000m. It is preferable that the length of the film roll is within the above range because productivity is increased.

<梱包部>
梱包部は、フィルムロールを包装する機能を有する。梱包部が、フィルムロールを包装することにより、ガスバリア性フィルムが空気中の水分と接触する機会を低減し、ガスバリア性フィルムに経時的に生じうる水分の吸着を防止することができる。なお、本明細書において、「包装」とは、少なくとも外気と接しないように包装することを意味する。
<Packing part>
The packaging unit has a function of packaging the film roll. By packaging the film roll by the packaging unit, the chance that the gas barrier film comes into contact with moisture in the air can be reduced, and adsorption of moisture that may occur over time in the gas barrier film can be prevented. In this specification, “packaging” means packaging so as not to come into contact with outside air.

梱包部は、包装材を含む。   The packaging unit includes a packaging material.

[包装材]
包装材は、空気中の水分の透過を防止する機能を有する。
[Packaging materials]
The packaging material has a function of preventing permeation of moisture in the air.

用いられうる包装材の材質としては、特に制限されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタラートなどの樹脂材料や紙、ガラス、アルミニウムや鉄、ステンレス鋼(SUS)などの金属などが挙げられる。これらのうち、包装材としては、軽量化の観点から樹脂材料、紙が好ましい。また防湿性の観点から防湿処理がされた樹脂材料、紙がさらに好ましい。防湿処理がされた樹脂材料や紙とは、アルミニウム箔をラミネートしたものや、アルミニウムや酸化ケイ素蒸着を施されたものを示す。   The material of the packaging material that can be used is not particularly limited, and examples thereof include resin materials such as polyethylene, polypropylene, and polyethylene terephthalate, and metals such as paper, glass, aluminum, iron, and stainless steel (SUS). Among these, as the packaging material, a resin material and paper are preferable from the viewpoint of weight reduction. Further, from the viewpoint of moisture resistance, a resin material and paper that have been moisture-proofed are more preferable. The resin material and paper subjected to moisture-proof treatment indicate those obtained by laminating aluminum foil or those subjected to vapor deposition of aluminum or silicon oxide.

前記包装材は、2以上の包装材が包装された構成を有していてもよい。この場合、各包装材の材質は、同じものであってもよいし、異なるものであってもよい。2以上の包装材で包装された場合には、より空気中の水分の透過が抑制されうる。   The packaging material may have a configuration in which two or more packaging materials are packaged. In this case, the material of each packaging material may be the same or different. When packaged with two or more packaging materials, the permeation of moisture in the air can be further suppressed.

前記包装材の水蒸気透過率は、1g/m/day以下であることが好ましい。 The packaging material preferably has a water vapor permeability of 1 g / m 2 / day or less.

フィルムロールを梱包部で梱包することの利点として、空気中の水分の透過を防止する点とともに、梱包部の内部の水分量を低く保持できる点も挙げられる。   Advantages of packing the film roll in the packing part include that the moisture content in the air can be prevented and that the moisture content inside the packing part can be kept low.

梱包部内の雰囲気は、不活性ガス(窒素ガス、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガス)雰囲気下、または真空雰囲気下であることが好ましい。   The atmosphere in the packing part is preferably an inert gas (a rare gas such as nitrogen gas, helium, neon, argon, krypton, or xenon) atmosphere or a vacuum atmosphere.

また、梱包部の内部の露点は、10℃以下であることが好ましく、5℃以下であることがより好ましい。なお、本明細書において「露点」とは、市販された露点計を用いて測定したものを採用するものとする。また当該露点は、温度と相対湿度から算出した値を用いることもできる。   Moreover, it is preferable that it is 10 degrees C or less, and, as for the dew point inside a packing part, it is more preferable that it is 5 degrees C or less. In the present specification, “dew point” is measured using a commercially available dew point meter. The dew point can also be a value calculated from temperature and relative humidity.

<吸湿材>
フィルムロール梱包体は、吸湿材をさらに含んでいてもよい。この場合、吸湿材は、フィルムロールとともに包装される。吸湿剤は、包装部内に存在しうる水分を吸収する機能を有する。
<Hygroscopic material>
The film roll package may further include a hygroscopic material. In this case, the hygroscopic material is packaged together with the film roll. The hygroscopic agent has a function of absorbing moisture that may be present in the packaging part.

用いられうる吸湿材としては、特に制限されないが、粘土、ゼオライト、シリカゲル、塩化カルシウム、塩化亜鉛、硫酸カルシウム、モンモリロン石、酸化アルミニウム、活性炭、ケインウ土、酸化バリウム、酸化カルシウム、臭化カルシウム、塩素酸マグネシウム、硫酸銅、モレキュラーシーブ、五酸化二リン等が挙げられる。これらのうち、粘土、ゼオライト、シリカゲルを用いることが好ましい。   The hygroscopic material that can be used is not particularly limited, but clay, zeolite, silica gel, calcium chloride, zinc chloride, calcium sulfate, montmorillonite, aluminum oxide, activated carbon, barn clay, barium oxide, calcium oxide, calcium bromide, chlorine Examples thereof include magnesium acid, copper sulfate, molecular sieve, and phosphorous pentoxide. Of these, clay, zeolite, and silica gel are preferably used.

本形態に係るフィルムロール梱包体によれば、長期間の保管や輸送等を行った場合であってもガスバリア性フィルムに経時的に生じうる水分の吸着を防止することができる。前記長期間としては、より詳細には、好ましくは2ヶ月以上、より好ましくは3ヶ月以上、さらに好ましくは6ヶ月以上である。   According to the film roll package according to this embodiment, it is possible to prevent the adsorption of moisture that may occur over time in the gas barrier film even when storage or transportation for a long period of time is performed. More specifically, the long period is preferably 2 months or longer, more preferably 3 months or longer, and even more preferably 6 months or longer.

フィルムロール梱包体のガスバリア性フィルムは、梱包部を開封し、巻き取られたガスバリア性フィルムをロールから引き出して使用することができる。この際、ガスバリア性フィルムに離型性を有する樹脂層が貼付されている場合には、手で剥がす、インラインで離型性樹脂フィルムを巻き取り剥離する等を行うことにより剥離することができる。なお、ガスバリア性フィルムに微量の水分が付着していると考えられる等の場合には、必要に応じて加熱等を行い、水分を除去してもよい。   The gas barrier film of the film roll package can be used by opening the packing portion and pulling out the wound gas barrier film from the roll. At this time, when a resin layer having releasability is attached to the gas barrier film, it can be removed by peeling off by hand, winding up and peeling off the releasable resin film in-line. In addition, when it is considered that a very small amount of moisture is attached to the gas barrier film, the moisture may be removed by heating or the like as necessary.

<フィルムロール梱包体の製造方法>
本発明の一形態によれば、基材上にガスバリア層を形成して、ガスバリア性フィルムを製造する工程(1)と、前記ガスバリア性フィルムを、巻芯に巻き取り、フィルムロールを製造する工程(2)と、前記フィルムロールを包装材で包装して梱包部を形成する工程(3)と、を含む、フィルムロール梱包体の製造方法が提供される。この際、前記ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率が、1×10−2g/m/day以下であることを特徴とする。
<Method for producing film roll package>
According to one aspect of the present invention, a step (1) of producing a gas barrier film by forming a gas barrier layer on a substrate, and a step of producing a film roll by winding the gas barrier film around a core. (2) and the manufacturing method of a film roll package body including the process (3) which wraps the said film roll with a packaging material and forms a packaging part are provided. At this time, the water vapor permeability of the gas barrier film is 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less.

[工程(1)]
工程(1)は、基材上にガスバリア層を形成して、ガスバリア性フィルムを製造する工程である。
[Step (1)]
Step (1) is a step of producing a gas barrier film by forming a gas barrier layer on a substrate.

(ガスバリア層の形成)
ガスバリア性フィルムの製造方法としては、ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率が1×10−2g/m/day以下となるものであれば特に制限されない。当該ガスバリア性フィルムの製造方法としては、乾式製膜法および湿式製膜法が挙げられる。
(Formation of gas barrier layer)
The method for producing the gas barrier film is not particularly limited as long as the water vapor permeability of the gas barrier film is 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less. Examples of the method for producing the gas barrier film include a dry film forming method and a wet film forming method.

乾式製膜法
乾式製膜法としては、物理気相成長法および化学気相成長法が挙げられる。物理気相成長法とは、気相中で物質の表面に物理的手法により目的とする物質の薄膜を堆積する方法をいい、蒸着法(抵抗加熱法、電子ビーム蒸着法、分子線エピタキシー法)、イオンプレーティング法、スパッタ法等が挙げられる。一方、化学気相成長法(化学蒸着法、CVD法)とは、基材上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、基板表面または気相における化学反応により膜を堆積させる方法をいい、熱CVD法、触媒化学気相成長法、光CVD法、真空プラズマCVD法、大気圧プラズマCVD法等が挙げられる。これらのうち、スパッタ法、真空プラズマCVD法、大気圧プラズマCVD法を用いることが好ましく、大気圧プラズマCVD法を用いることがより好ましい。
Dry film forming method Examples of the dry film forming method include physical vapor deposition and chemical vapor deposition. The physical vapor deposition method is a method in which a thin film of a target substance is deposited on the surface of the substance by a physical method in a gas phase, and a vapor deposition method (resistance heating method, electron beam vapor deposition method, molecular beam epitaxy method). , Ion plating method, sputtering method and the like. On the other hand, the chemical vapor deposition method (chemical vapor deposition method, CVD method) is a method in which a source gas containing a target thin film component is supplied onto a base material and a film is deposited by a chemical reaction on the substrate surface or in the gas phase. This method includes a thermal CVD method, a catalytic chemical vapor deposition method, a photo CVD method, a vacuum plasma CVD method, and an atmospheric pressure plasma CVD method. Of these, the sputtering method, the vacuum plasma CVD method, and the atmospheric pressure plasma CVD method are preferably used, and the atmospheric pressure plasma CVD method is more preferably used.

以下、大気圧プラズマCVD法を例に挙げて説明する。   Hereinafter, the atmospheric pressure plasma CVD method will be described as an example.

大気圧プラズマCVD法は、大気圧近傍で分解ガスにプラズマを照射すると発生する、高密度で活性な荷電粒子や活性ラジカル等を利用してガスバリア層を形成する方法である。前記荷電粒子や活性ラジカル等は、無機物前駆体(以下、大気圧プラズマCVD法に用いる無機物前駆体を「第1の無機物前駆体」とも称する)と非常に速い化学反応を起こすことで、当該第1の無機物前駆体等を短時間で熱力学的に安定な化合物(無機物)に変換することができる。大気圧プラズマCVD法では、減圧環境にする必要がないことから、生産性に優れる。また、プラズマ密度が高いことから製膜速度が速い。さらに、分解ガスの平均自由行程が非常に短いことから、均質な膜が得られる。なお、本明細書において、「大気圧近傍」とは、通常、20〜110kPa、好ましくは93〜104kPaの圧力を意味する。   The atmospheric pressure plasma CVD method is a method of forming a gas barrier layer using charged particles, active radicals, and the like that are generated with high density and generated when a decomposition gas is irradiated with plasma near atmospheric pressure. The charged particles, active radicals, and the like cause a very fast chemical reaction with an inorganic precursor (hereinafter, the inorganic precursor used in the atmospheric pressure plasma CVD method is also referred to as “first inorganic precursor”). 1 inorganic substance precursor etc. can be converted into a thermodynamically stable compound (inorganic substance) in a short time. The atmospheric pressure plasma CVD method is excellent in productivity because it is not necessary to use a reduced pressure environment. Moreover, since the plasma density is high, the film forming speed is high. Furthermore, since the mean free path of the cracked gas is very short, a homogeneous film can be obtained. In the present specification, “near atmospheric pressure” usually means a pressure of 20 to 110 kPa, preferably 93 to 104 kPa.

用いられうる第1の無機物前駆体としては、特に制限されないが、有機金属化合物が挙げられる。当該有機金属化合物としては、シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等のケイ素化合物;チタンメトキシド、チタンエトキシド、チタンイソプロポキシド等のチタン化合物;ジルコニウム−n−プロポキシド、ジルコニウム−n−ブトキシド、ジルコニウム−t−ブトキシド等のジルコニウム化合物;アルミニウムエトキシド、アルミニウムトリイソプロポキシド等のアルミニウム化合物;ジボラン、塩化ホウ素、ボラン−THF錯体等のホウ素化合物;テトラエチルスズ、テトラメチルスズ等のスズ化合物等が挙げられる。これらの第1の無機前駆体は単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。   Although it does not restrict | limit especially as a 1st inorganic substance precursor which can be used, An organometallic compound is mentioned. Examples of the organometallic compound include silicon compounds such as silane, tetramethoxysilane, and tetraethoxysilane; titanium compounds such as titanium methoxide, titanium ethoxide, and titanium isopropoxide; zirconium-n-propoxide, zirconium-n-butoxide. Zirconium compounds such as zirconium-t-butoxide; aluminum compounds such as aluminum ethoxide and aluminum triisopropoxide; boron compounds such as diborane, boron chloride and borane-THF complex; tin compounds such as tetraethyltin and tetramethyltin Is mentioned. These first inorganic precursors may be used alone or in admixture of two or more.

用いられうる分解ガスとしては、特に制限されないが、水素ガス、メタンガス、アセチレンガス、一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス、アンモニアガス、亜酸化窒素ガス、酸化窒素ガス、二酸化窒素ガス、酸素ガス、水蒸気、フッ素ガス、フッ化水素ガス、トリフルオロアルコールガス、トリフルオロトルエンガス、硫化水素ガス、二酸化硫黄ガス、二硫化炭素ガス、塩素ガス、ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、クリプトンガス、キセノンガス、およびラドンガス等が挙げられる。これらの分解ガスは単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。   The cracked gas that can be used is not particularly limited, but hydrogen gas, methane gas, acetylene gas, carbon monoxide gas, carbon dioxide gas, nitrogen gas, ammonia gas, nitrous oxide gas, nitrogen oxide gas, nitrogen dioxide gas, oxygen Gas, water vapor, fluorine gas, hydrogen fluoride gas, trifluoroalcohol gas, trifluorotoluene gas, hydrogen sulfide gas, sulfur dioxide gas, carbon disulfide gas, chlorine gas, helium gas, neon gas, argon gas, krypton gas, xenon Gas, radon gas, etc. are mentioned. These cracked gases may be used alone or in combination of two or more.

プラズマの発生方法としては、特に制限されないが、国際公開第2007/026545号パンフレットにも記載のように、異なる周波数の電界(第1の高周波電界および第2の高周波電界)を形成する方法を用いることが好ましい。より詳細には、第1の高周波電界の周波数をω1、強度をV1とし、第2の高周波電界の周波数をω2、強度をV2、出力密度をS2とし、さらに放電開始電解の強度をIV(1/2Vp−p)とした場合に、以下の(1)〜(3)の条件:
(1)ω1<ω2
(2)V1≧IV>V2またはV1>IV≧V2
(3)S2≧1W/cm
の少なくとも1つを満たすことが好ましい。第1の高周波電界は分解ガスのプラズマを発生させる機能を有し、第2の高周波電界はプラズマ密度に寄与しうる。よって、このような条件でプラズマを発生させることにより、例えば、窒素ガス等の放電開始電界強度が高い分解ガスであっても、放電を発生させることができる。また、高密度で安定なプラズマ状態を維持することができ、高性能な薄膜を形成することができる。
A method of generating plasma is not particularly limited, but a method of forming electric fields of different frequencies (first high frequency electric field and second high frequency electric field) is used as described in the pamphlet of International Publication No. 2007/026545. It is preferable. More specifically, the frequency of the first high-frequency electric field is ω1, the intensity is V1, the frequency of the second high-frequency electric field is ω2, the intensity is V2, the output density is S2, and the intensity of the discharge start electrolysis is IV (1 / 2Vp-p), the following conditions (1) to (3):
(1) ω1 <ω2
(2) V1 ≧ IV> V2 or V1> IV ≧ V2
(3) S2 ≧ 1 W / cm 2
It is preferable to satisfy at least one of the following. The first high-frequency electric field has a function of generating plasma of decomposition gas, and the second high-frequency electric field can contribute to the plasma density. Therefore, by generating plasma under such conditions, it is possible to generate a discharge even with a cracked gas having a high discharge starting electric field strength such as nitrogen gas. In addition, a high-density and stable plasma state can be maintained, and a high-performance thin film can be formed.

前記第1の高周波電界の周波数ω1は、1kHz以上であることが好ましく、1〜200kHzであることがより好ましい。   The frequency ω1 of the first high-frequency electric field is preferably 1 kHz or more, and more preferably 1 to 200 kHz.

前記第2の高周波電解の周波数ω2は、800kHz以上であることが好ましく、800kHz〜200MHzであることがより好ましい。   The frequency ω2 of the second high frequency electrolysis is preferably 800 kHz or more, and more preferably 800 kHz to 200 MHz.

前記第1または第2の高周波電界の電界波形は、連続波であっても、パルス波であってもよい。   The electric field waveform of the first or second high frequency electric field may be a continuous wave or a pulse wave.

湿式製膜法
湿式製膜法とは、塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥させることにより製膜する、いわゆる塗布法をいう。
Wet film-forming method The wet film-forming method refers to a so-called coating method in which a coating liquid is applied and the resulting coating film is dried to form a film.

当該塗布法としては、特に制限されず、公知の方法を用いることができる。なかでも無機物前駆体(以下、塗布法に用いる無機物前駆体を「第2の無機物前駆体」とも称する)を含む塗布液(以下、「第1の塗布液」とも称する)を基板上に塗布、乾燥させた後、得られた塗膜に真空紫外線を照射して第2の無機物前駆体を無機物に改質する方法であることが好ましい。   The coating method is not particularly limited, and a known method can be used. Among them, a coating liquid (hereinafter also referred to as “first coating liquid”) containing an inorganic precursor (hereinafter, the inorganic precursor used in the coating method is also referred to as “second inorganic precursor”) is applied onto the substrate. After drying, it is preferable that the obtained coating film is irradiated with vacuum ultraviolet rays to modify the second inorganic precursor into an inorganic substance.

第2の無機物前駆体としては、ポリシラザンを用いることが好ましい。ポリシラザンとは、その構造内にSi−N、Si−H、N−H等の結合を有するポリマーであり、SiO、Si、およびこれらの中間固溶体SiO等の無機前駆体として機能する。 As the second inorganic precursor, polysilazane is preferably used. Polysilazane is a polymer having a bond such as Si—N, Si—H, or N—H in its structure, and is an inorganic precursor such as SiO 2 , Si 3 N 4 , or an intermediate solid solution thereof such as SiO x N y. Function as.

前記ポリシラザンは、特に制限されないが、後述する改質処理を行うことを考慮すると、比較的低温でセラミック化してシリカに変性する化合物であることが好ましく、例えば、特開平8−112879号公報に記載の下記の一般式(4)で表される単位からなる主骨格を有する化合物であることが好ましい。   The polysilazane is not particularly limited, but it is preferable that the polysilazane is a compound that is converted to silica by being ceramicized at a relatively low temperature in consideration of performing a modification treatment described later. For example, it is described in JP-A-8-112879. It is preferable that it is a compound which has the main frame | skeleton which consists of a unit represented by following General formula (4).

Figure 2014019056
Figure 2014019056

上記一般式(4)において、R、R10、およびR11は、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルシリル基、アルキルアミノ基、またはアルコキシ基を表す。 In the general formula (4), R 9 , R 10 , and R 11 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an alkylsilyl group, an alkylamino group, or an alkoxy group. Represents a group.

ポリシラザンは、得られるガスバリア層の緻密性の観点から、R、R10、およびR11のすべてが水素原子であるパーヒドロポリシラザン(以下、「PHPS」とも称する)であることが特に好ましい。 The polysilazane is particularly preferably perhydropolysilazane (hereinafter also referred to as “PHPS”) in which all of R 9 , R 10 , and R 11 are hydrogen atoms, from the viewpoint of the denseness of the resulting gas barrier layer.

パーヒドロポリシラザンは直鎖構造と6員環および8員環を中心とする環構造が存在した構造と推定されている。その分子量は数平均分子量(Mn)で約600〜2000程度(ポリスチレン換算)であり、液体または固体の物質でありうる(分子量によって異なる)。当該パーヒドロポリシラザンは、市販品を使用してもよく、当該市販品としては、アクアミカ NN120、NN110、NAX120、NAX110、NL120A、NL110A、NL150A、NP110、NP140(AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)等が挙げられる。   Perhydropolysilazane is presumed to have a linear structure and a ring structure centered on 6- and 8-membered rings. Its molecular weight is about 600 to 2000 (polystyrene conversion) in terms of number average molecular weight (Mn), and can be a liquid or solid substance (depending on the molecular weight). As the perhydropolysilazane, a commercially available product may be used. Examples of the commercially available product include Aquamica NN120, NN110, NAX120, NAX110, NL120A, NL110A, NL150A, NP110, NP140 (manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) and the like. Can be mentioned.

低温でセラミック化するポリシラザンの別の例としては、上記一般式で表されるポリシラザンにケイ素アルコキシドを反応させて得られるケイ素アルコキシド付加ポリシラザン(例えば、特開平5−238827号公報)、グリシドールを反応させて得られるグリシドール付加ポリシラザン(例えば、特開平6−122852号公報)、アルコールを反応させて得られるアルコール付加ポリシラザン(例えば、特開平6−240208号公報)、金属カルボン酸塩を反応させて得られる金属カルボン酸塩付加ポリシラザン(例えば、特開平6−299118号公報)、金属を含むアセチルアセトナート錯体を反応させて得られるアセチルアセトナート錯体付加ポリシラザン(例えば、特開平6−306329号公報)、金属微粒子を添加して得られる金属微粒子添加ポリシラザン(例えば、特開平7−196986号公報)等が挙げられる。   As another example of the polysilazane that is ceramicized at a low temperature, a silicon alkoxide-added polysilazane obtained by reacting a polysilazane represented by the above general formula with a silicon alkoxide (for example, JP-A-5-238827), glycidol is reacted. Glycidol-added polysilazane (for example, JP-A-6-122852) obtained by reaction, alcohol-added polysilazane (for example, JP-A-6-240208) obtained by reacting alcohol, and metal carboxylate Metal silicic acid salt-added polysilazane (for example, JP-A-6-299118), acetylacetonate complex-added polysilazane (for example, JP-A-6-306329) obtained by reacting a metal-containing acetylacetonate complex, metal Add fine particles Are fine metal particles added polysilazane (e.g., JP-A-7-196986 JP), and the like.

第1の塗布液中のポリシラザンの含有量は、所望のガスバリア層の膜厚や塗布液のポットライフ等によっても異なるが、塗布液の全量に対して、0.2質量%〜35質量%であることが好ましい。   The content of polysilazane in the first coating liquid varies depending on the desired film thickness of the gas barrier layer, the pot life of the coating liquid, etc., but is 0.2% by mass to 35% by mass with respect to the total amount of the coating liquid. Preferably there is.

第1の塗布液には、さらに溶媒、アミン触媒、および金属触媒を含んでいてもよい。   The first coating liquid may further contain a solvent, an amine catalyst, and a metal catalyst.

前記溶媒としては、ポリシラザンと反応するものでなければ特に制限はなく、公知の溶媒が用いられうる。具体的には、脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、ハロゲン化炭化水素等の炭化水素系溶媒;脂肪族エーテル、脂環式エーテル等のエーテル系溶媒が挙げられる。より詳細には、炭化水素溶媒としては、ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、キシレン、ソルベッソ、ターベン、塩化メチレン、トリクロロエタン等が挙げられる。また、エーテル系溶媒としては、ジブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらの溶媒は単独で、または2種以上を混合して用いられうる。   The solvent is not particularly limited as long as it does not react with polysilazane, and a known solvent can be used. Specific examples include hydrocarbon solvents such as aliphatic hydrocarbons, alicyclic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, and halogenated hydrocarbons; ether solvents such as aliphatic ethers and alicyclic ethers. More specifically, examples of the hydrocarbon solvent include pentane, hexane, cyclohexane, toluene, xylene, solvesso, turben, methylene chloride, trichloroethane, and the like. Examples of ether solvents include dibutyl ether, dioxane, and tetrahydrofuran. These solvents can be used alone or in admixture of two or more.

前記アミン触媒および金属は、後述する改質処理において、ポリシラザンの酸化ケイ素化合物への転化を促進しうる。   The amine catalyst and the metal can promote the conversion of polysilazane to a silicon oxide compound in the modification treatment described later.

用いられうるアミン触媒としては、特に制限されないが、N,N−ジメチルエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、3−モルホリノプロピルアミン、N,N,N’,N’−テトラメチル−1,3−ジアミノプロパン、N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサンが挙げられる。   The amine catalyst that can be used is not particularly limited, but N, N-dimethylethanolamine, N, N-diethylethanolamine, triethanolamine, triethylamine, 3-morpholinopropylamine, N, N, N ′, N ′. -Tetramethyl-1,3-diaminopropane, N, N, N ', N'-tetramethyl-1,6-diaminohexane.

また、用いられうる金属触媒としては、特に制限されないが、白金アセチルアセトナート等の白金化合物、プロピオン酸パラジウム等のパラジウム化合物、ロジウムアセチルアセトナート等のロジウム化合物が挙げられる。   The metal catalyst that can be used is not particularly limited, and examples thereof include platinum compounds such as platinum acetylacetonate, palladium compounds such as palladium propionate, and rhodium compounds such as rhodium acetylacetonate.

アミン触媒および金属触媒は、ポリシラザンに対して、0.1〜10質量%含むことが好ましい。特にアミン触媒については、塗布性の向上および反応の時間の短縮の観点から、ポリシラザンに対して、0.5〜5質量%含むことがより好ましい。   It is preferable to contain 0.1-10 mass% of an amine catalyst and a metal catalyst with respect to polysilazane. Especially about an amine catalyst, it is more preferable to contain 0.5-5 mass% with respect to polysilazane from a viewpoint of improvement of applicability | paintability and shortening of reaction time.

上記第1の塗布液を基材上に塗布、乾燥することによって、塗膜が得られる。   A coating film is obtained by apply | coating and drying the said 1st coating liquid on a base material.

第1の塗布液の塗布方法としては、適宜公知の方法が採用されうる。塗布方法としては、例えば、スピンコート法、ロールコート法、フローコート法、インクジェット法、スプレーコート法、プリント法、ディップコート法、流延成膜法、バーコート法、グラビア印刷法が挙げられる。   As a coating method of the first coating solution, a known method can be adopted as appropriate. Examples of the coating method include spin coating, roll coating, flow coating, ink jet, spray coating, printing, dip coating, casting film formation, bar coating, and gravure printing.

第1の塗布液の塗布量は、特に制限されないが、ガスバリア層の厚さを考慮して適宜調節されうる。   The coating amount of the first coating liquid is not particularly limited, but can be appropriately adjusted in consideration of the thickness of the gas barrier layer.

第1の塗布液を塗布した後は、乾燥させることにより塗膜が得られる。当該乾燥によって、塗膜中に含有される有機溶媒を除去することができる。この際、塗膜に含有される有機溶媒は、すべてを乾燥させてもよいが、一部残存させていてもよい。一部の有機溶媒を残存させる場合であっても、好適なガスバリア層が得られうる。なお、残存する溶媒は後述する真空紫外線照射時等で除去されうる。   After apply | coating a 1st coating liquid, a coating film is obtained by making it dry. By the drying, the organic solvent contained in the coating film can be removed. At this time, all of the organic solvent contained in the coating film may be dried or may be partially left. Even when a part of the organic solvent is left, a suitable gas barrier layer can be obtained. The remaining solvent can be removed at the time of vacuum ultraviolet irradiation described later.

塗膜の乾燥温度は、適用する基材によっても異なるが、50〜200℃であることが好ましい。例えば、ガラス転位温度(Tg)が70℃のポリエチレンテレフタレート基材を基材として用いる場合には、乾燥温度は、熱による基材の変形等を考慮して150℃以下に設定することが好ましい。上記温度は、ホットプレート、オーブン、ファーネスなどを使用することによって設定されうる。乾燥時間は短時間に設定することが好ましく、例えば、乾燥温度が150℃である場合には30分以内に設定することが好ましい。また、乾燥雰囲気は、大気雰囲気下、窒素雰囲気下、アルゴン雰囲気下、真空雰囲気下、酸素濃度をコントロールした減圧雰囲気下等のいずれの条件であってもよい。   Although the drying temperature of a coating film changes also with the base material to apply, it is preferable that it is 50-200 degreeC. For example, when a polyethylene terephthalate substrate having a glass transition temperature (Tg) of 70 ° C. is used as the substrate, the drying temperature is preferably set to 150 ° C. or less in consideration of deformation of the substrate due to heat. The temperature can be set by using a hot plate, oven, furnace or the like. The drying time is preferably set to a short time. For example, when the drying temperature is 150 ° C., the drying time is preferably set within 30 minutes. The drying atmosphere may be any condition such as an air atmosphere, a nitrogen atmosphere, an argon atmosphere, a vacuum atmosphere, or a reduced pressure atmosphere with a controlled oxygen concentration.

また、均一な塗膜を得る観点から、アニールを行ってもよい。   Moreover, you may anneal from a viewpoint of obtaining a uniform coating film.

アニール温度は、特に制限されないが、60〜200℃であることが好ましく、70〜160℃であることがより好ましい。当該アニール温度は、一定であっても、段階的に変化させても、連続的に温度を変化(昇温および/または降温)させてもよい。   The annealing temperature is not particularly limited, but is preferably 60 to 200 ° C, and more preferably 70 to 160 ° C. The annealing temperature may be constant, may be changed stepwise, or may be continuously changed (temperature increase and / or temperature decrease).

アニール時間は、特に制限されないが、5秒〜24時間であることが好ましく、10秒〜2時間であることがより好ましい。   The annealing time is not particularly limited, but is preferably 5 seconds to 24 hours, and more preferably 10 seconds to 2 hours.

得られた塗膜に真空紫外光を照射することにより、塗膜を構成するポリシラザンが無機物に改質される。ここで、ポリシラザンの改質とは、ポリシラザンが、酸化ケイ素化合物および/または酸窒化ケイ素化合物へ転化することを意味する。なお、本明細書において「真空紫外光」とは、10〜200nmの波長を有する電磁波を含む紫外光を意味し、好ましくは100〜200nm、より好ましくは100〜195nmである。   By irradiating the obtained coating film with vacuum ultraviolet light, the polysilazane constituting the coating film is modified into an inorganic substance. Here, the modification of polysilazane means that polysilazane is converted into a silicon oxide compound and / or a silicon oxynitride compound. In this specification, “vacuum ultraviolet light” means ultraviolet light including electromagnetic waves having a wavelength of 10 to 200 nm, preferably 100 to 200 nm, and more preferably 100 to 195 nm.

ポリシラザンの改質処理、すなわち、ポリシラザンの置換反応による酸化ケイ素および/または酸窒化ケイ素の形成には、通常、450℃以上の高温が必要であり、加熱による改質処理は、樹脂フィルムを基材に用いる場合には適用が困難である。そこで、より低温で改質処理をすることができる真空紫外光の照射による改質が適用される。真空紫外光をポリシラザンに照射すると、ポリシラザンがシラノールを経由することなく直接酸化されることから(光量子プロセスと呼ばれる光子の作用)、当該酸化過程において体積変化が少なく、高密度で欠陥の少ない酸化ケイ素膜および/または酸窒化ケイ素膜が得られうる。また、真空紫外光では、反応雰囲気中に存在する酸素等から高い酸化能力を有するオゾンや活性酸素が生成され、当該オゾンや活性酸素によってもポリシラザンの改質処理を行うことができる。その結果、より緻密な酸化ケイ素膜および/または酸窒化ケイ素膜が得られうる。したがって、真空紫外光の照射によりポリシラザンが改質されて得られるガスバリア層は、高いバリア性を有しうる。   Polysilazane modification treatment, that is, formation of silicon oxide and / or silicon oxynitride by substitution reaction of polysilazane usually requires a high temperature of 450 ° C. or more, and the modification treatment by heating is based on a resin film. It is difficult to apply it to Thus, modification by irradiation with vacuum ultraviolet light that can be modified at a lower temperature is applied. When polysilazane is irradiated with vacuum ultraviolet light, polysilazane is directly oxidized without passing through silanol (photon process called photon process). Films and / or silicon oxynitride films can be obtained. Further, in vacuum ultraviolet light, ozone or active oxygen having high oxidation ability is generated from oxygen or the like present in the reaction atmosphere, and polysilazane reforming treatment can be performed by the ozone or active oxygen. As a result, a denser silicon oxide film and / or silicon oxynitride film can be obtained. Therefore, the gas barrier layer obtained by modifying polysilazane by irradiation with vacuum ultraviolet light can have high barrier properties.

真空紫外光の光源としては、特に限定されず、公知のものが使用されうる。例えば、低圧水銀ランプ、エキシマランプ、アマルガムランプ等が挙げられる。これらのうち、エキシマランプ、特にキセノン(Xe)エキシマランプを用いることが好ましい。   The light source of the vacuum ultraviolet light is not particularly limited, and a known light source can be used. For example, a low pressure mercury lamp, an excimer lamp, an amalgam lamp, etc. are mentioned. Of these, it is preferable to use an excimer lamp, particularly a xenon (Xe) excimer lamp.

前記キセノンエキシマランプ等の希ガスエキシマランプは、真空紫外線を照射できる。Xe、Kr、Ar、Ne等の希ガスの原子は最外殻電子が閉殻となっており、化学的に非常に不活性であることから不活性ガスと呼ばれる。しかし、放電等によりエネルギーを得た希ガス(励起原子)は、他の原子と結合して分子を形成することができる。例えば、希ガスがキセノンの場合には、
e+Xe→Xe
Xe+2Xe→Xe +Xe
Xe →Xe+Xe+hν(172nm)
となる。この際、励起されたエキシマ分子であるXe が基底状態に遷移するとき、172nmのエキシマ光(真空紫外光)が発光する。上記エキシマランプは前記エキシマ光を利用する。前記エキシマ光を発生させる方法としては、例えば、誘電体バリア放電を用いる方法および無電極電界放電を用いる方法が挙げられる。なお、誘電体バリア放電とは、両電極間に誘電体(エキシマランプの場合は透明石英)を介してガス空間を配し、電極に数10kHzの高周波高電圧を印加した場合に、ガス空間に生じる雷に似た非常に細いmicro dischargeと呼ばれる放電である。また、無電極電界放電とは、容量性結合による無電極電界放電であり、別名RF放電とも呼ばれる。具体的には、誘電体バリア放電と同様にランプや電極等が配置され、前記電極に数MHzの高周波電圧を印加した場合に得られる空間的・時間的に一様な放電である。
A rare gas excimer lamp such as the xenon excimer lamp can irradiate vacuum ultraviolet rays. A rare gas atom such as Xe, Kr, Ar, Ne or the like is called an inert gas because the outermost electrons are closed and are chemically very inert. However, noble gases (excited atoms) that have gained energy by discharge or the like can be combined with other atoms to form molecules. For example, when the rare gas is xenon,
e + Xe → Xe *
Xe * + 2Xe → Xe 2 * + Xe
Xe 2 * → Xe + Xe + hν (172 nm)
It becomes. At this time, when the excited excimer molecule Xe 2 * transitions to the ground state, excimer light (vacuum ultraviolet light) of 172 nm emits light. The excimer lamp uses the excimer light. Examples of the method for generating the excimer light include a method using dielectric barrier discharge and a method using electrodeless field discharge. Dielectric barrier discharge means that a gas space is disposed between both electrodes via a dielectric (transparent quartz in the case of an excimer lamp), and a high frequency high voltage of several tens of kHz is applied to the electrode. It is a very thin discharge called micro discharge similar to the lightning that occurs. The electrodeless field discharge is an electrodeless field discharge due to capacitive coupling, and is also called an RF discharge. Specifically, this is a spatially and temporally uniform discharge obtained when a lamp, an electrode, and the like are arranged in the same manner as the dielectric barrier discharge and a high frequency voltage of several MHz is applied to the electrode.

エキシマランプは、エキシマ光が一つの波長に集中し、必要な光以外がほとんど放射されない点に特徴を有し、効率性が高い。また、余分な光が放射されないことから、対象物の温度を低く保つことができる。さらに、始動・再始動に時間を要さないことから、瞬時に点灯点滅が可能となる。特に、Xeエキシマランプは、波長の短い172nmの真空紫外光を単一波長で放射することから、発光効率に優れている。当該Xeエキシマランプは、172nmと波長が短く、エネルギーが高いことから、有機化合物の結合の切断能が高いことが知られている。また、Xeエキシマランプは、酸素の吸収係数が大きいため、微量な酸素であっても効率よく活性酸素やオゾンを発生させることができる。したがって、例えば、波長185nmの真空紫外光を発する低圧水銀ランプと対比すると、Xeエキシマランプは、高い有機化合物の結合切断能を有し、活性酸素やオゾンを効率的に発生させることができ、低温かつ短時間でポリシラザンの改質処理をすることができる。また、Xeエキシマランプは、光の発生効率が高いため、低電力で瞬時に点灯点滅が可能であり、単一の波長を発光できる。そのため、高スループットに伴うプロセス時間の短縮や設備面積の縮小等の経済的観点、および熱によるダメージを受けやすい基材を用いたガスバリア性フィルムへの適用等の観点からも好ましい。   The excimer lamp is characterized in that the excimer light is concentrated at one wavelength, and only the necessary light is hardly emitted, and is highly efficient. Moreover, since excess light is not radiated | emitted, the temperature of a target object can be kept low. Further, since no time is required for starting and restarting, lighting and blinking can be performed instantaneously. In particular, the Xe excimer lamp is excellent in luminous efficiency because it emits short wavelength 172 nm vacuum ultraviolet light at a single wavelength. Since the Xe excimer lamp has a short wavelength of 172 nm and a high energy, it is known that the bond breaking ability of organic compounds is high. In addition, since the Xe excimer lamp has a large oxygen absorption coefficient, it can efficiently generate active oxygen and ozone even with a very small amount of oxygen. Therefore, for example, in contrast to a low-pressure mercury lamp that emits vacuum ultraviolet light having a wavelength of 185 nm, the Xe excimer lamp has a high bond breaking ability of organic compounds, can efficiently generate active oxygen and ozone, and has a low temperature. In addition, the polysilazane can be modified in a short time. In addition, since the Xe excimer lamp has high light generation efficiency, it can be turned on and off instantaneously with low power and can emit a single wavelength. Therefore, it is preferable also from the viewpoint of application to a gas barrier film using a base material that is easily damaged by heat, such as a reduction in process time and a reduction in equipment area associated with high throughput.

このように、エキシマランプは光の発生効率が高いため、低電力で点灯させることができ、また、照射対象物の表面温度の上昇を抑制することができる。また、内部まで侵入する光子の数も増加するため改質膜厚の増加および/または膜質の高密度化が可能である。   Thus, since the excimer lamp has high light generation efficiency, it can be turned on with low power, and an increase in the surface temperature of the irradiation object can be suppressed. In addition, since the number of photons penetrating into the interior increases, the modified film thickness can be increased and / or the film quality can be increased.

真空紫外光照射の条件は、一般的に、照射強度と照射時間の積で表される積算光量を指標として転化反応を検討するが、酸化シリコンのように組成は同一であっても、様々な構造形態をとる材料を用いる場合には、照射強度の絶対値が重要になることもある。   The conditions of vacuum ultraviolet light irradiation are generally examined for the conversion reaction using the integrated light amount represented by the product of irradiation intensity and irradiation time as an index, but there are various conditions even if the composition is the same as in silicon oxide. When using a material having a structural form, the absolute value of the irradiation intensity may be important.

真空紫外線照射の照射強度は、使用する基材やポリシラザン層の組成、濃度等によっても異なるが、1mW/cm〜100kW/cmであることが好ましく、1mW/cm〜10W/cmであることがより好ましい。 The irradiation intensity of the vacuum ultraviolet radiation, the composition of the base material and the polysilazane layer used, varies depending on the concentration and the like, it is preferably from 1mW / cm 2 ~100kW / cm 2 , at 1mW / cm 2 ~10W / cm 2 More preferably.

真空紫外光照射の時間は、使用する基材やポリシラザン層の組成、濃度等によっても異なるが、0.1秒〜10分であることが好ましく、0.5秒〜3分であることがより好ましい。   Although the time of vacuum ultraviolet light irradiation changes also with the composition, density | concentration, etc. of a base material to be used or a polysilazane layer, it is preferable that it is 0.1 second-10 minutes, and it is more preferable that it is 0.5 second-3 minutes. preferable.

真空紫外光の積算光量は、特に制限されないが、1000〜10000mJ/cmであることが好ましく、1000〜5000mJ/cmであることがより好ましい。真空紫外光の積算光量が1000mJ/cm以上であると、十分な改質が行われることにより高いバリア性が得られうることから好ましい。一方、真空紫外光の積算光量が10000mJ/cm以下であると、基材が変形することなく平滑性の高いガスバリア層が形成されうることから好ましい。 Integrated light quantity of vacuum ultraviolet light is not particularly limited, is preferably from 1000~10000mJ / cm 2, more preferably 1000~5000mJ / cm 2. It is preferable that the accumulated amount of vacuum ultraviolet light is 1000 mJ / cm 2 or more because high barrier properties can be obtained by sufficient modification. On the other hand, when the cumulative amount of vacuum ultraviolet light is 10,000 mJ / cm 2 or less, it is preferable because a gas barrier layer having high smoothness can be formed without deformation of the substrate.

また、真空紫外光の照射温度は、適用する基材によっても異なり、当業者によって適宜決定されうる。真空紫外光の照射温度は、50〜200℃であることが好ましく、80〜150℃であることがより好ましい。照射温度が上記範囲内であると、基材の変形や強度の劣化等が生じにくく、基材の特性が損なわれないことから好ましい。   Moreover, the irradiation temperature of vacuum ultraviolet light changes with base materials to apply, and can be suitably determined by those skilled in the art. The irradiation temperature of the vacuum ultraviolet light is preferably 50 to 200 ° C, and more preferably 80 to 150 ° C. It is preferable for the irradiation temperature to be within the above-mentioned range since deformation of the base material, deterioration of strength, etc. are unlikely to occur and the characteristics of the base material are not impaired.

さらに、真空紫外光の照射雰囲気は、特に制限されないが、活性酸素やオゾンを発生させて効率的に改質を行う観点から酸素を含む雰囲気下で行うことが好ましい。真空紫外照射の酸素濃度は300〜10000ppm(0.03〜1%)であることが好ましく、500〜5000ppmであることがより好ましい。酸素濃度が300ppm以上であると、改質効率が高くなることから好ましい。一方、酸素濃度が10000ppm以下であると、大気と酸素との置換時間が短縮されうることから好ましい。   Furthermore, the irradiation atmosphere of the vacuum ultraviolet light is not particularly limited, but it is preferably performed in an atmosphere containing oxygen from the viewpoint of generating active oxygen and ozone and efficiently modifying. The oxygen concentration in the vacuum ultraviolet irradiation is preferably 300 to 10,000 ppm (0.03 to 1%), more preferably 500 to 5000 ppm. It is preferable that the oxygen concentration is 300 ppm or more because the reforming efficiency becomes high. On the other hand, when the oxygen concentration is 10,000 ppm or less, the substitution time between the atmosphere and oxygen can be shortened, which is preferable.

紫外線照射の対象となる塗膜は、塗布時に酸素および微量の水分が混入し、さらには基材や隣接層等にも吸着酸素や吸着水が存在しうる。当該酸素等を利用すれば、照射庫内に新たに酸素を導入しなくとも、改質処理を行う活性酸素やオゾンの発生に要する酸素源は十分でありうる。また、Xeエキシマランプのような172nmの真空紫外線は酸素により吸収されるため、塗膜に到達する真空紫外線量が減少する場合があることから、真空紫外線の照射時には、酸素濃度を低く設定し、真空紫外線が効率よく塗膜まで到達できる条件とすることが好ましい。   The coating film to be irradiated with ultraviolet rays is mixed with oxygen and a small amount of moisture at the time of application, and adsorbed oxygen and adsorbed water may also exist in the base material and adjacent layers. If oxygen or the like is used, the oxygen source required for generation of active oxygen or ozone for performing the reforming process may be sufficient without newly introducing oxygen into the irradiation chamber. In addition, since 172 nm vacuum ultraviolet rays such as Xe excimer lamps are absorbed by oxygen, the amount of vacuum ultraviolet rays reaching the coating film may decrease. Therefore, when irradiating vacuum ultraviolet rays, the oxygen concentration is set low, It is preferable that the vacuum ultraviolet rays can reach the coating film efficiently.

真空紫外光の照射雰囲気中の酸素以外のガスは、乾燥不活性ガスであることが好ましく、コストの観点から、乾燥窒素ガスであることがより好ましい。なお、酸素濃度は、照射庫内へ導入する酸素ガス、不活性ガス等のガス流量を計測し、流量比を変えることで調整することができる。   The gas other than oxygen in the atmosphere irradiated with vacuum ultraviolet light is preferably a dry inert gas, and more preferably a dry nitrogen gas from the viewpoint of cost. The oxygen concentration can be adjusted by measuring the flow rate of oxygen gas, inert gas, or the like introduced into the irradiation chamber and changing the flow rate ratio.

発生させた真空紫外光は、照射効率向上と均一な照射を達成する観点から、発生源からの真空紫外光を反射板で反射させてから改質前のポリシラザン層に照射してもよい。また、真空紫外光の照射は、バッチ処理にも連続処理にも適用可能であり、使用する基材の形状によって適宜選定されうる。例えば、基材が長尺フィルム状である場合には、これを搬送させながら連続的に真空紫外光を照射して改質を行うことが好ましい。   From the viewpoint of improving the irradiation efficiency and achieving uniform irradiation, the generated vacuum ultraviolet light may be applied to the polysilazane layer before modification after reflecting the vacuum ultraviolet light from the generation source with a reflector. Moreover, the irradiation of vacuum ultraviolet light can be applied to both batch processing and continuous processing, and can be appropriately selected depending on the shape of the substrate to be used. For example, when the substrate is in the form of a long film, it is preferable to perform the modification by continuously irradiating the vacuum ultraviolet light while transporting the substrate.

上述の改質処理によって得られるガスバリア層の膜厚や密度等は、塗布条件や真空紫外光照射の条件等を適宜選択することにより制御することができる。例えば、真空紫外光の照射方法を、連続照射、複数回に分割した照射、複数回の照射が短時間な、いわゆるパルス照射等から適宜選択することで、ガスバリア層の膜厚や密度等が制御されうる。   The film thickness, density, and the like of the gas barrier layer obtained by the above-described modification treatment can be controlled by appropriately selecting application conditions, vacuum ultraviolet light irradiation conditions, and the like. For example, the film thickness and density of the gas barrier layer can be controlled by appropriately selecting the irradiation method of vacuum ultraviolet light from continuous irradiation, irradiation divided into a plurality of times, and so-called pulsed irradiation, etc. in which the plurality of times of irradiation is short. Can be done.

改質処理の程度については、形成された機能性無機層をXPS表面分析することによって、ケイ素(Si)原子、窒素(N)原子、酸素(O)原子等の各原子組成比を求めることで確認できる。   As for the degree of the modification treatment, the formed functional inorganic layer is subjected to XPS surface analysis to obtain each atomic composition ratio of silicon (Si) atoms, nitrogen (N) atoms, oxygen (O) atoms, etc. I can confirm.

(保護層の形成)
保護層は、上記で得られたガスバリア層上に、ポリシロキサンを含む塗布液(以下、「第2の塗布液」とも称する)を塗布、乾燥して形成することができる。
(Formation of protective layer)
The protective layer can be formed by applying and drying a coating liquid containing polysiloxane (hereinafter also referred to as “second coating liquid”) on the gas barrier layer obtained above.

前記ポリシロキサンは、上述したものと同様のものが用いられうることから、ここでは説明を省略する。   Since the polysiloxane may be the same as described above, the description thereof is omitted here.

第2の塗布液には、さらに溶媒や適宜公知の成分を含んでいてもよい。   The second coating liquid may further contain a solvent and appropriately known components.

前記溶媒としては、特に制限されないが、水、アルコール系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、エーテル系溶媒、ケトン系溶媒、エステル系溶媒等が挙げられる。アルコール系溶媒としては、メタノール、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、sec−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、n−ヘキシルアルコール、n−オクチルアルコール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレンモノメチルエーテルアセテート、ジアセトンアルコール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピルセロソルブ、ブチルセロソルブ等が挙げられる。芳香族炭化水素系溶媒としては、トルエン、キシレン等が挙げられる。エーテル系溶媒としては、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン等が挙げられる。ケトン系溶媒としては、シクロヘキサノン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等が挙げられる。エステル系溶媒としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸エトキシエチル等が挙げられる。これらの他、ジクロロエタン、酢酸等の溶媒を用いてもよい。これらの溶媒は、単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。   Examples of the solvent include, but are not limited to, water, alcohol solvents, aromatic hydrocarbon solvents, ether solvents, ketone solvents, ester solvents, and the like. Examples of alcohol solvents include methanol, ethanol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butyl alcohol, sec-butyl alcohol, tert-butyl alcohol, n-hexyl alcohol, n-octyl alcohol, ethylene glycol, diethylene glycol, and triethylene. Examples include glycol, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene monomethyl ether acetate, diacetone alcohol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, propyl cellosolve, and butyl cellosolve. Examples of the aromatic hydrocarbon solvent include toluene and xylene. Examples of ether solvents include tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,2-dimethoxyethane and the like. Examples of the ketone solvent include cyclohexanone, acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone. Examples of the ester solvent include methyl acetate, ethyl acetate, ethoxyethyl acetate and the like. In addition to these, solvents such as dichloroethane and acetic acid may be used. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

前記公知の成分としては、アミノシラン化合物、エポキシシラン化合物、コロイダルシリカ、および硬化触媒が挙げられる。   Examples of the known components include aminosilane compounds, epoxysilane compounds, colloidal silica, and curing catalysts.

上記第2の塗布液をガスバリア層に塗布、乾燥することによって、保護層が得られる。   A protective layer is obtained by applying the second coating liquid to the gas barrier layer and drying it.

第2の塗布液の塗布方法としては、従来公知の適切な湿式コーティング法が採用されうる。具体的には、スピンコート、ディッピング、ローラーブレード、スプレー法等が挙げられる。   As the coating method of the second coating solution, a conventionally known appropriate wet coating method can be employed. Specific examples include spin coating, dipping, roller blades, and spraying methods.

第2の塗布液の塗布量は、特に制限されないが、保護層の厚さを考慮して適宜調節されうる。   The coating amount of the second coating solution is not particularly limited, but can be appropriately adjusted in consideration of the thickness of the protective layer.

第2の塗布液を塗布した後は、乾燥させることにより保護層が得られる。当該乾燥によって、塗膜中に含有される有機溶媒を除去することができる。この際、塗膜に含有される有機溶媒は、すべてを乾燥させてもよいが、一部残存させていてもよい。一部の有機溶媒を残存させる場合であっても、好適な保護層が得られうる。乾燥方法は、上述のガスバリア層の形成における湿式製膜法と同様の方法が適用されうる。   After applying the second coating solution, the protective layer is obtained by drying. By the drying, the organic solvent contained in the coating film can be removed. At this time, all of the organic solvent contained in the coating film may be dried or may be partially left. Even when a part of the organic solvent is left, a suitable protective layer can be obtained. As the drying method, a method similar to the wet film forming method in the formation of the gas barrier layer described above can be applied.

このように得られたポリシロキサンを含む保護層は、さらに真空紫外光照射を行ってもよい。真空紫外光照射を行うことによってポリシロキサンが改質され、ポリシロキサンを改質してなる生成物となる。真空紫外光照射は、上述のガスバリア層の形成における湿式製膜法と同様の方法が適用され、照射条件は、所望とする性能に応じて適宜設定されうる。   The protective layer containing polysiloxane thus obtained may be further irradiated with vacuum ultraviolet light. By performing the vacuum ultraviolet light irradiation, the polysiloxane is modified to obtain a product obtained by modifying the polysiloxane. For the vacuum ultraviolet light irradiation, the same method as the wet film forming method in the formation of the gas barrier layer described above is applied, and the irradiation conditions can be appropriately set according to the desired performance.

本発明では、工程(2)において製造したガスバリア性フィルムを巻き芯に巻き取る前に、離型性を有する樹脂層をガスバリア性フィルム表面に設けてもよい。   In the present invention, a resin layer having releasability may be provided on the surface of the gas barrier film before the gas barrier film produced in the step (2) is wound around the core.

ガスバリア性フィルムの表面に離型性を有する樹脂層を設ける方法としては、従来公知の方法が用いることができる。具体的にはロールラミネーター、真空ラミネーター、共押し出し、巻き取り軸で巻き取りと同時に巻きいれるなどが挙げられる。   As a method of providing a resin layer having releasability on the surface of the gas barrier film, a conventionally known method can be used. Specific examples include a roll laminator, a vacuum laminator, co-extrusion, and winding with a winding shaft at the same time as winding.

[工程(2)]
工程(2)は、工程(1)で製造したガスバリア性フィルムを、巻芯に巻き取り、フィルムロールを製造する工程である。
[Step (2)]
Step (2) is a step of winding the gas barrier film produced in step (1) around a core to produce a film roll.

巻芯は、上述したものと同様のものが用いられうることから、ここでは説明を省略する。   Since the same core as that described above can be used, the description thereof is omitted here.

ガスバリア性フィルムを巻き取る方法としては、特に制限されず、公知の方法が用いられうる。具体的には、巻芯を基点としてフィルムを巻き取る方法が挙げられる。   The method for winding the gas barrier film is not particularly limited, and a known method can be used. Specifically, a method of winding the film from the winding core is used.

ガスバリア性フィルムを巻き取る際の巻き取り張力は、20〜350N/mであることが好ましく、30〜300N/mであることがより好ましく、40〜300N/mであることがさらに好ましい。巻き取り張力が20N/m以上であると、巻ズレによるガスバリア性の低下およびガスバリアフィルムの保存性の劣化を防止できることから好ましい。一方、巻き取り張力が350N/m以下であると、巻き締りによるガスバリア性の低下およびガスバリアフィルムの保存性の劣化を防止できることから好ましい。   The winding tension at the time of winding the gas barrier film is preferably 20 to 350 N / m, more preferably 30 to 300 N / m, and still more preferably 40 to 300 N / m. When the winding tension is 20 N / m or more, it is preferable because a decrease in gas barrier properties due to winding deviation and a deterioration in storage stability of the gas barrier film can be prevented. On the other hand, when the winding tension is 350 N / m or less, it is preferable because it is possible to prevent the gas barrier property from being lowered and the storage stability of the gas barrier film from being deteriorated due to winding.

[工程(3)]
工程(3)は、工程(2)で製造したフィルムロールを包装材で包装して梱包部を形成する工程である。
[Step (3)]
Step (3) is a step of wrapping the film roll manufactured in step (2) with a packaging material to form a packing part.

包装材は、上述したものと同様のものが用いられうることから、ここでは説明を省略する。   Since the same packaging material as that described above can be used, the description thereof is omitted here.

フィルムロールを包装する方法としては、特に制限されず、公知の方法が用いられうる。例えば、包装材が熱可塑性樹脂である場合には、フィルムロール、および任意の材料(吸湿剤等)を包装材で覆った後、包装材の一部(開口部)を加熱し、圧力を印加した後、冷却して、密封する方法(ヒートシールによる包装方法)が挙げられる。   The method for packaging the film roll is not particularly limited, and a known method can be used. For example, when the packaging material is a thermoplastic resin, the film roll and any material (such as a hygroscopic agent) are covered with the packaging material, and then a part of the packaging material (opening) is heated and pressure is applied. Then, a method of cooling and sealing (a packaging method by heat sealing) is mentioned.

包装材でフィルムロール等を包装する前には、脱気、または不活性ガスの置換を行うことが好ましい。脱気や不活性ガスの置換を行うことにより、形成された梱包部の内部環境(露点等)を調整することができる。   Before packaging a film roll or the like with a packaging material, it is preferable to perform deaeration or replacement with an inert gas. By performing deaeration or replacement with an inert gas, the internal environment (dew point, etc.) of the formed packing part can be adjusted.

2以上の包装材を包装する場合には、包装材ごとにヒートシールによる包装方法等を繰り返すことにより梱包部を形成することができる。   When packaging two or more packaging materials, a packaging part can be formed by repeating the packaging method by heat seal etc. for every packaging material.

<フィルムロール梱包体の適用>
本発明の一実施形態によれば、上述のフィルムロール梱包体、または上述の方法によって製造されたフィルムロール梱包体に含まれるガスバリア性フィルムを含む電子デバイスが提供される。
<Application of film roll packaging>
According to one embodiment of the present invention, an electronic device including a gas barrier film included in the film roll package described above or the film roll package manufactured by the method described above is provided.

この際、前記ガスバリア性フィルムは、上述のように、フィルムロール梱包体の開封、ガスバリア性フィルムの切り取り、離型性を有する樹脂層の剥離等を行うことにより準備することができる。   At this time, the gas barrier film can be prepared by opening the film roll package, cutting off the gas barrier film, peeling the resin layer having releasability, and the like as described above.

[電子デバイス]
電子デバイスとしては、特に制限されず、ガスバリア性フィルムが適用されうる公知の電子デバイス本体が挙げられる。例えば、太陽電池(PV)、液晶表示素子(LCD)、有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子等が挙げられる。以下、有機EL素子を例に挙げて説明する。
[Electronic device]
The electronic device is not particularly limited, and includes a known electronic device body to which a gas barrier film can be applied. For example, a solar cell (PV), a liquid crystal display element (LCD), an organic electroluminescence (EL) element, etc. are mentioned. Hereinafter, an organic EL element will be described as an example.

(有機EL素子)
有機EL素子は、特に制限されないが、通常、下記の層構成を有しうる。
(Organic EL device)
The organic EL element is not particularly limited, but can usually have the following layer structure.

(1)陽極/発光層/陰極
(2)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
(3)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
(4)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
(5)陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極
(6)陽極/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極。
(1) Anode / light emitting layer / cathode (2) Anode / hole transport layer / light emitting layer / cathode (3) Anode / light emitting layer / electron transport layer / cathode (4) Anode / hole transport layer / light emitting layer / electron Transport layer / cathode (5) Anode / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode (6) Anode / anode buffer layer (hole injection layer) / hole transport layer / light emitting layer / Electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode.

上記各層構成に用いられる層は、従来から用いられる各層を各種用いることができる。   Various layers conventionally used can be used for the layers used in the above-mentioned respective layer configurations.

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「部」または「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量部」または「質量%」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, although the display of "part" or "%" is used in an Example, unless otherwise indicated, "mass part" or "mass%" is represented.

<フィルムロール梱包体の製造>
(実施例1)
クリアハードコート(CHC)層付ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム(CHC層の厚さ:6μm、PET層の厚さ:125μm、株式会社きもと製)上に、下記条件で第1のガスバリア層および第2のガスバリア層を形成し、第2のガスバリア層上に離型性を有する樹脂材料NBO−0424(帯電防止剤を含むアクリル系粘着剤、藤森工業株式会社製)をラミネートしロール状に巻き取った。そのときの巻き取り張力は、150N/mとし、巻芯はクリーンコアS100(材質:紙、三協紙業株式会社製)を用いた。次に、巻き取ったフィルムロールをバリア袋であるMZ−TB(ポリエチレンテレフタラート(PET)/二軸延伸ナイロン(ONY)/ポリエチレン(PE)、水蒸気透過率:0.15g/m/day、膜厚:87μm、株式会社マルアイ製)に入れ、吸湿剤であるケアドライCT−100(大江化学工業株式会社製)を入れた後、脱気処理を行い、バリア袋の入れ口をヒートシールにて閉じ、包装を行い、フィルムロール梱包体を製造した。
<Manufacture of film roll packaging>
Example 1
On a polyethylene terephthalate (PET) film with a clear hard coat (CHC) layer (CHC layer thickness: 6 μm, PET layer thickness: 125 μm, manufactured by Kimoto Co., Ltd.), the first gas barrier layer and 2 gas barrier layer is formed, and a resin material NBO-0424 (acrylic adhesive containing an antistatic agent, manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. containing an antistatic agent) having a releasability is laminated on the second gas barrier layer and wound up in a roll shape It was. The winding tension at that time was 150 N / m, and the core was clean core S100 (material: paper, Sankyo Paper Industry Co., Ltd.). Next, the wound film roll is MZ-TB which is a barrier bag (polyethylene terephthalate (PET) / biaxially stretched nylon (ONY) / polyethylene (PE), water vapor transmission rate: 0.15 g / m 2 / day), Thickness: 87 μm, manufactured by Maruai Co., Ltd., and hygroscopic care dry CT-100 (manufactured by Oe Chemical Co., Ltd.), deaeration treatment, and the barrier bag inlet is heat sealed The film roll package was manufactured by closing and packaging.

[第1のガスバリア層の形成]
大気圧プラズマ製膜装置(特開2008−56967号公報の図3に記載のロール・トゥ・ロール形態の大気圧プラズマCVD装置)を用いて、大気圧プラズマ法により以下の薄膜形成条件で酸化ケイ素(SiO)の第1のガスバリア層(50nm)を形成した。
[Formation of first gas barrier layer]
Using an atmospheric pressure plasma film forming apparatus (a roll-to-roll type atmospheric pressure plasma CVD apparatus shown in FIG. 3 of Japanese Patent Laid-Open No. 2008-56967), silicon oxide is formed under the following thin film formation conditions by an atmospheric pressure plasma method. A first gas barrier layer (50 nm) of (SiO 2 ) was formed.

[混合ガスの組成]
放電ガス:窒素ガス(94.9体積%)
ガスバリア層形成ガス:テトラエトキシシラン(0.1体積%)
添加ガス:酸素ガス(5.0体積%)
[製膜条件]
(第1電極)
電源:PHF−6k(株式会社ハイデン研究所製)
周波数:100kHz(連続モード)
出力密度:10W/m
電極温度:120℃
(第2電極)
電源:CF−5000−13M(パール工業株式会社製)
周波数:13.56MHz
出力密度:10W/m
電極温度:90℃
[第2のガスバリア層の形成]
上記方法で形成した第1のガスバリア層上に、第2のガスバリア層を以下の方法にて形成した。なお、得られた第2のガスバリア層の膜厚は300nmであった。
[Composition of mixed gas]
Discharge gas: Nitrogen gas (94.9% by volume)
Gas barrier layer forming gas: tetraethoxysilane (0.1% by volume)
Additive gas: Oxygen gas (5.0% by volume)
[Film forming conditions]
(First electrode)
Power supply: PHF-6k (manufactured by HEIDEN Laboratory)
Frequency: 100 kHz (continuous mode)
Output density: 10 W / m 2
Electrode temperature: 120 ° C
(Second electrode)
Power supply: CF-5000-13M (manufactured by Pearl Industry Co., Ltd.)
Frequency: 13.56MHz
Output density: 10 W / m 2
Electrode temperature: 90 ° C
[Formation of second gas barrier layer]
On the 1st gas barrier layer formed by the said method, the 2nd gas barrier layer was formed with the following method. The film thickness of the obtained second gas barrier layer was 300 nm.

(塗布)
20質量%の無触媒のパーヒドロポリシラザンを含むジブチルエーテル溶液(アクアミカ NN120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、5質量%(固形分)のアミン触媒(N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサン)を含む、パーヒドロポリシラザンの20質量%ジブチルエーテル溶液(アクアミカ NAX120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、を混合し、第1の塗布液1を調製した。得られた第1の塗布液1は、アミン触媒が1質量%(固形分)であった。
(Application)
Dibutyl ether solution containing 20% by mass of non-catalytic perhydropolysilazane (Aquamica NN120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) and 5% by mass (solid content) of amine catalyst (N, N, N ′, N And a 20 mass% dibutyl ether solution of perhydropolysilazane (Aquamica NAX120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) containing '-tetramethyl-1,6-diaminohexane), and the first coating solution 1 was prepared. In the obtained first coating liquid 1, the amine catalyst was 1% by mass (solid content).

次に、第1のガスバリア層上に、前記第1の塗布液1を、ダイコーターを用いて塗布し、80℃で3分間乾燥させて、ポリシラザン含有層を形成した。当該ポリシラザン含有層は、完全に固形化していない。   Next, the first coating solution 1 was applied onto the first gas barrier layer using a die coater and dried at 80 ° C. for 3 minutes to form a polysilazane-containing layer. The polysilazane-containing layer is not completely solidified.

(真空紫外光の照射)
ポリシラザン層の形成に引き続いて、連続的に、真空紫外光の照射装置により真空紫外光の照射(エキシマ照射)およびガスの噴射を行った。エキシマランプは、キセノンエキシマ照射装置MODEL:MEUTH−1−400(株式会社エム・ディ・コム製)を用いて、波長172nm、積算光量3J/cm、酸素濃度0.1%以下の条件で行った。
(Vacuum ultraviolet light irradiation)
Subsequent to the formation of the polysilazane layer, vacuum ultraviolet light irradiation (excimer irradiation) and gas injection were continuously performed by a vacuum ultraviolet light irradiation device. The excimer lamp is used under the conditions of a wavelength of 172 nm, an integrated light quantity of 3 J / cm 2 , and an oxygen concentration of 0.1% or less using a xenon excimer irradiation apparatus MODEL: METH-1-400 (manufactured by M.D.Com). It was.

得られたガスバリア性フィルムについて、PERMATRAN−W3/33(MOCON社製)を用い、JIS K7129:2008(温度40℃、相対湿度(RH)90%)に準拠して水蒸気透過率の測定を行ったところ、水蒸気透過率は、1×10−2g/m/day未満であった。 About the obtained gas-barrier film, the water-vapor-permeation rate was measured based on JISK7129: 2008 (temperature 40 degreeC, relative humidity (RH) 90%) using PERMATRAN-W3 / 33 (made by MOCON). However, the water vapor transmission rate was less than 1 × 10 −2 g / m 2 / day.

(実施例2)
樹脂材料をサニテクトPAC3−50THK(ポリオレフィン系粘着剤、株式会社サンエー化研製)に変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 2)
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the resin material was changed to Sanitect PAC3-50THK (polyolefin adhesive, manufactured by Sanei Kaken Co., Ltd.).

(実施例3)
巻き取り張力を40N/mに変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 3)
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the winding tension was changed to 40 N / m.

(実施例4)
巻き取り張力を300N/mに変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
Example 4
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the winding tension was changed to 300 N / m.

(実施例5)
離型性を有する樹脂層を設けず、巻き取り張力を20N/mに変更し、かつ、包装材としてポリエチレンフィルム(水蒸気透過率:10g/m/day、膜厚:50μm、製品名:MZ-PE、株式会社マルアイ製)に変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 5)
A resin layer having releasability is not provided, the winding tension is changed to 20 N / m, and a polyethylene film (water vapor transmission rate: 10 g / m 2 / day, film thickness: 50 μm, product name: MZ as a packaging material) A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the change was made to -PE, manufactured by Maruai Co., Ltd.

(実施例6)
離型性を有する樹脂層を設けず、包装材としてポリエチレンフィルムを用いて脱気処理をせずにフィルムロール全体を覆うように包装したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 6)
A film is formed in the same manner as in Example 1 except that a resin layer having releasability is not provided and a polyethylene film is used as a packaging material so that the entire film roll is covered without being deaerated. A roll package was produced.

(実施例7)
巻き取り張力を20N/mに変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 7)
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the winding tension was changed to 20 N / m.

(実施例8)
巻き取り張力を310N/mに変更したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 8)
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the winding tension was changed to 310 N / m.

(実施例9)
離型性を有する樹脂層を形成しなかったことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
Example 9
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that the resin layer having releasability was not formed.

(実施例10)
包装材としてポリエチレンフィルムを用いて脱気処理をせずフィルムロール全体を覆うように包装したことを除いては、実施例1と同様の方法でフィルムロール梱包体を製造した。
(Example 10)
A film roll package was produced in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene film was used as the packaging material and the film roll was covered so as not to be deaerated.

(実施例11)
クリアハードコート(CHC)層付ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム(CHC層の厚さ:6μm、PET層の厚さ:125μm、株式会社きもと製)上に、下記条件で第1のガスバリア層、第2のガスバリア層、および保護層を形成し、保護層上に離型性を有する樹脂材料NBO−0424(帯電防止剤を含むアクリル系粘着剤、藤森工業株式会社製)をラミネートしロール状に巻き取った。そのときの巻き取り張力は、150N/mとし、巻芯はクリーンコアS100(材質:紙、三協紙業株式会社製)を用いた。次に、巻き取ったフィルムロールをバリア袋であるMZ−TB(PET/ONY/PE、水蒸気透過率:0.15g/m/day、膜厚:87μm、株式会社マルアイ製)に入れ、脱気処理を行いバリア袋の入れ口をヒートシールにて閉じ、包装を行った。さらにバリア袋であるMZ−AL(PET/アルミニウム/ONY/PE、水蒸気透過率:0.1g/m/day、膜厚:94μm、株式会社マルアイ製)に入れ、脱気処理を行い、バリア袋の入れ口をヒートシールにて閉じ、包装を行うことで、フィルムロール梱包体を製造した。
(Example 11)
On a polyethylene terephthalate (PET) film with a clear hard coat (CHC) layer (CHC layer thickness: 6 μm, PET layer thickness: 125 μm, manufactured by Kimoto Co., Ltd.), the first gas barrier layer, 2 gas barrier layer and protective layer are formed, and a resin material NBO-0424 (acrylic adhesive containing an antistatic agent, manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. containing an antistatic agent) having release properties is laminated on the protective layer and wound into a roll I took it. The winding tension at that time was 150 N / m, and the core was clean core S100 (material: paper, Sankyo Paper Industry Co., Ltd.). Next, the wound film roll is placed in MZ-TB (PET / ONY / PE, water vapor transmission rate: 0.15 g / m 2 / day, film thickness: 87 μm, manufactured by Maruai Co., Ltd.) which is a barrier bag, and removed. The barrier bag was closed by heat sealing and packaging was performed. Furthermore, it puts into MZ-AL which is a barrier bag (PET / aluminum / ONY / PE, water vapor transmission rate: 0.1 g / m 2 / day, film thickness: 94 μm, manufactured by Maruai Co., Ltd.), deaeration treatment, and barrier A film roll package was manufactured by closing the bag slot with heat sealing and packaging.

[第1のガスバリア層の形成]
(塗布)
20質量%の無触媒のパーヒドロポリシラザンを含むジブチルエーテル溶液(アクアミカ NN120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、5質量%(固形分)のアミン触媒(N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサン)を含む、パーヒドロポリシラザンの20質量%ジブチルエーテル溶液(アクアミカ NAX120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、を混合し、さらに総固形分が5質量%となるようにジブチルエーテルで希釈して第1の塗布液2を調製した。得られた第1の塗布液2は、アミン触媒が1質量%(固形分)であった。
[Formation of first gas barrier layer]
(Application)
Dibutyl ether solution containing 20% by mass of non-catalytic perhydropolysilazane (Aquamica NN120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) and 5% by mass (solid content) of amine catalyst (N, N, N ′, N And 20% by mass dibutyl ether solution of perhydropolysilazane (Aquamica NAX120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) containing '-tetramethyl-1,6-diaminohexane) A first coating solution 2 was prepared by diluting with dibutyl ether so as to be 5% by mass. In the obtained first coating liquid 2, the amine catalyst was 1% by mass (solid content).

次に、基材上に、前記第1の塗布液2を、ダイコーターを用いて塗布し、80℃で3分間乾燥させて、ポリシラザン含有層を形成した。当該ポリシラザン含有層は、完全に固形化していない。   Next, the said 1st coating liquid 2 was apply | coated using the die-coater on the base material, and it was made to dry at 80 degreeC for 3 minute (s), and the polysilazane content layer was formed. The polysilazane-containing layer is not completely solidified.

(真空紫外光の照射)
ポリシラザン層の形成に引き続いて、連続的に、真空紫外光の照射装置により真空紫外光の照射(エキシマ照射)およびガスの噴射を行った。エキシマランプは、キセノンエキシマ照射装置MODEL:MEUTH−1−400(株式会社エム・ディ・コム製)を用いて、波長172nm、積算光量3J/cm、酸素濃度0.1%以下の条件で行った。なお、得られた第2のガスバリア層の膜厚は150nmであった。
(Vacuum ultraviolet light irradiation)
Subsequent to the formation of the polysilazane layer, vacuum ultraviolet light irradiation (excimer irradiation) and gas injection were continuously performed by a vacuum ultraviolet light irradiation device. The excimer lamp is used under the conditions of a wavelength of 172 nm, an integrated light quantity of 3 J / cm 2 , and an oxygen concentration of 0.1% or less using a xenon excimer irradiation apparatus MODEL: METH-1-400 (manufactured by M.D.Com). It was. The film thickness of the obtained second gas barrier layer was 150 nm.

[第2のガスバリア層の形成]
(塗布)
20質量%の無触媒のパーヒドロポリシラザンを含むジブチルエーテル溶液(アクアミカ NN120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、5質量%(固形分)のアミン触媒(N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ジアミノヘキサン)を含む、パーヒドロポリシラザンの20質量%ジブチルエーテル溶液(アクアミカ NAX120−20:AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社製)と、を混合し、さらに総固形分が1.7質量%となるようにジブチルエーテルで希釈して第1の塗布液3を調製した。得られた第1の塗布液3は、アミン触媒が1質量%(固形分)であった。
[Formation of second gas barrier layer]
(Application)
Dibutyl ether solution containing 20% by mass of non-catalytic perhydropolysilazane (Aquamica NN120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) and 5% by mass (solid content) of amine catalyst (N, N, N ′, N And 20% by mass dibutyl ether solution of perhydropolysilazane (Aquamica NAX120-20: manufactured by AZ Electronic Materials Co., Ltd.) containing '-tetramethyl-1,6-diaminohexane) A first coating solution 3 was prepared by diluting with dibutyl ether to 1.7% by mass. In the obtained first coating liquid 3, the amine catalyst was 1% by mass (solid content).

次に、基材上に、前記第1の塗布液3を、ダイコーターを用いて塗布し、80℃で3分間乾燥させて、ポリシラザン含有層を形成した。当該ポリシラザン含有層は、完全に固形化していない。   Next, the said 1st coating liquid 3 was apply | coated using the die-coater on the base material, and it was made to dry at 80 degreeC for 3 minute (s), and the polysilazane content layer was formed. The polysilazane-containing layer is not completely solidified.

(真空紫外光の照射)
ポリシラザン層の形成に引き続いて、連続的に、真空紫外光の照射装置により真空紫外光の照射(エキシマ照射)およびガスの噴射を行った。エキシマランプは、キセノンエキシマ照射装置MODEL:MEUTH−1−400(株式会社エム・ディ・コム製)を用いて、波長172nm、積算光量3J/cm、酸素濃度0.1%以下の条件で行った。なお、得られた第2のガスバリア層の膜厚は50nmであった。
(Vacuum ultraviolet light irradiation)
Subsequent to the formation of the polysilazane layer, vacuum ultraviolet light irradiation (excimer irradiation) and gas injection were continuously performed by a vacuum ultraviolet light irradiation device. The excimer lamp is used under the conditions of a wavelength of 172 nm, an integrated light quantity of 3 J / cm 2 , and an oxygen concentration of 0.1% or less using a xenon excimer irradiation apparatus MODEL: METH-1-400 (manufactured by M.D.Com). It was. The film thickness of the obtained second gas barrier layer was 50 nm.

[保護層の形成]
上記方法で形成した第2のガスバリア層上に、保護層を以下の方法にて形成した。なお、得られた保護層の膜厚は500nmであった。
[Formation of protective layer]
A protective layer was formed on the second gas barrier layer formed by the above method by the following method. In addition, the film thickness of the obtained protective layer was 500 nm.

(塗布)
オルガノポリシロキサン(グラスカHPC7003:JSR株式会社製)のジブチルエーテル溶液を、総固形分が10質量%となるまでブタノールで希釈し、第2の塗布液を調製した。
(Application)
A dibutyl ether solution of organopolysiloxane (Glaska HPC7003: manufactured by JSR Corporation) was diluted with butanol until the total solid content was 10% by mass to prepare a second coating solution.

次に、第2のガスバリア層上に、前記第2の塗布液を、ダイコーターを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥させて、ポリシロキサン含有層を形成した。当該ポリシロキサン含有層は、完全に固形化していない。   Next, the second coating solution was applied onto the second gas barrier layer using a die coater and dried at 120 ° C. for 2 minutes to form a polysiloxane-containing layer. The polysiloxane-containing layer is not completely solidified.

(真空紫外光の照射)
ポリシロキサン含有層の形成に引き続いて、連続的に、真空紫外光の照射装置により真空紫外光の照射(エキシマ照射)およびガスの噴射を行った。エキシマランプは、キセノンエキシマ照射装置MODEL:MEUTH−1−400(株式会社エム・ディ・コム製)を用いて、波長172nm、積算光量1J/cm、酸素濃度0.1%以下の条件で行った。
(Vacuum ultraviolet light irradiation)
Subsequent to the formation of the polysiloxane-containing layer, vacuum ultraviolet light irradiation (excimer irradiation) and gas injection were continuously performed by a vacuum ultraviolet light irradiation device. An excimer lamp is used under the conditions of a wavelength of 172 nm, an integrated light quantity of 1 J / cm 2 , and an oxygen concentration of 0.1% or less using a xenon excimer irradiation apparatus MODEL: METH-1-400 (manufactured by M.D.Com). It was.

得られたガスバリア性フィルムについて、PERMATRAN−W3/33(MOCON社製)を用い、JIS K7129:2008(温度40℃、相対湿度(RH)90%)に準拠して水蒸気透過率の測定を行ったところ、水蒸気透過率は、1×10−2g/m/day未満であった。 About the obtained gas-barrier film, the water-vapor-permeation rate was measured based on JISK7129: 2008 (temperature 40 degreeC, relative humidity (RH) 90%) using PERMATRAN-W3 / 33 (made by MOCON). However, the water vapor transmission rate was less than 1 × 10 −2 g / m 2 / day.

(比較例1)
離型性を有する樹脂層を形成せず、包装材で包装しなかったことを除いては、実施例6と同様の方法でフィルムロールを製造した。
(Comparative Example 1)
A film roll was produced in the same manner as in Example 6 except that the resin layer having releasability was not formed and the resin layer was not packaged with a packaging material.

(比較例2)
巻き取り張力を400N/mに変更したことを除いては、比較例1と同様の方法でフィルムロールを製造した。
(Comparative Example 2)
A film roll was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the winding tension was changed to 400 N / m.

(比較例3)
巻き取り張力を20N/mに変更したことを除いては、比較例1と同様の方法でフィルムロールを製造した。
(Comparative Example 3)
A film roll was produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the winding tension was changed to 20 N / m.

(比較例4)
クリアハードコート(CHC)層付ポリエチレンテレフタラート(PET)フィルム(CHC層の厚さ:6μm、PET層の厚さ:125μm、株式会社きもと製)上に、下記条件で第1のガスバリア層を形成し、第1のガスバリア層上に離型性を有する樹脂材料NBO−0424(帯電防止剤を含むアクリル系粘着剤、藤森工業株式会社製)をラミネートしロール状に巻き取った。そのときの巻き取り張力は、150N/mとし、巻芯はクリーンコアS100(材質:紙、三協紙業株式会社製)を用いた。次に、巻き取ったフィルムロールをバリア袋であるMZ−TB(PET/ONY/PE、水蒸気透過率:0.15g/m/day、膜厚:87μm、株式会社マルアイ製)に入れ、脱気処理を行いバリア袋の入れ口をヒートシールにて閉じ、包装を行った。さらにバリア袋であるMZ−AL(PET/Al/ONY/PE、水蒸気透過率:0.1g/m/day、膜厚:94μm、株式会社マルアイ製)に入れ、脱気処理を行い、バリア袋の入れ口をヒートシールにて閉じ、包装を行うことで、フィルムロール梱包体を製造した。
(Comparative Example 4)
A first gas barrier layer is formed on a polyethylene terephthalate (PET) film with a clear hard coat (CHC) layer (CHC layer thickness: 6 μm, PET layer thickness: 125 μm, manufactured by Kimoto Co., Ltd.) under the following conditions. Then, a resin material NBO-0424 (an acrylic pressure-sensitive adhesive containing an antistatic agent, manufactured by Fujimori Kogyo Co., Ltd. containing an antistatic agent) having releasability was laminated on the first gas barrier layer and wound into a roll. The winding tension at that time was 150 N / m, and the core was clean core S100 (material: paper, Sankyo Paper Industry Co., Ltd.). Next, the wound film roll is placed in MZ-TB (PET / ONY / PE, water vapor transmission rate: 0.15 g / m 2 / day, film thickness: 87 μm, manufactured by Maruai Co., Ltd.) which is a barrier bag, and removed. The barrier bag was closed by heat sealing and packaging was performed. Further, it is put into a barrier bag MZ-AL (PET / Al / ONY / PE, water vapor transmission rate: 0.1 g / m 2 / day, film thickness: 94 μm, manufactured by Maruai Co., Ltd.), deaeration treatment, and barrier A film roll package was manufactured by closing the bag slot with heat sealing and packaging.

[第1のガスバリア層の形成]
(スパッタ法)
基材をスパッタ装置にセットし、1×10−4Pa台まで真空脱気した。真空槽内を90℃にした後、放電ガスとしてアルゴンを分圧で0.1Pa、反応ガスとして酸素ガスを分圧で0.008Pa導入した。雰囲気圧力、温度が安定化したところで、スパッタ電力2W/cmで放電を開始し、Siターゲット上にプラズマを発生させてスパッタリングプロセスを開始した。プロセスが安定したところでシャッターを開いてスパッタを開始し、厚さ100nmの窒化ケイ素からなるガスバリア層を形成した。
[Formation of first gas barrier layer]
(Sputtering method)
The base material was set in a sputtering apparatus and vacuum deaerated up to 1 × 10 −4 Pa level. After the inside of the vacuum chamber was set to 90 ° C., argon was introduced as a discharge gas at a partial pressure of 0.1 Pa, and oxygen gas was introduced as a reaction gas at a partial pressure of 0.008 Pa. When the atmospheric pressure and temperature were stabilized, discharge was started at a sputtering power of 2 W / cm 2 and plasma was generated on the Si target to start the sputtering process. When the process was stabilized, the shutter was opened and sputtering was started to form a gas barrier layer made of silicon nitride having a thickness of 100 nm.

得られたガスバリア性フィルムについて、PERMATRAN−W3/33(MOCON社製)を用い、JIS K7129:2008(温度40℃、相対湿度(RH)90%)に準拠して水蒸気透過率の測定を行ったところ、水蒸気透過率は、8×10−2g/m/dayであった。 About the obtained gas-barrier film, the water-vapor-permeation rate was measured based on JISK7129: 2008 (temperature 40 degreeC, relative humidity (RH) 90%) using PERMATRAN-W3 / 33 (made by MOCON). The water vapor transmission rate was 8 × 10 −2 g / m 2 / day.

実施例1〜11および比較例1〜4で製造した各フィルムロール梱包体の組成を下記表1に示す。   The composition of each film roll package manufactured in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 4 is shown in Table 1 below.

Figure 2014019056
Figure 2014019056

<フィルムロール梱包体の性能評価>
(有機EL素子の評価)
実施例1〜11および比較例1〜4で製造したフィルムロール梱包体を30℃、80%RHで6ヶ月保存した後、梱包部からフィルムロールを取り出し、巻き取られたガスバリア性フィルムの一部を切り取った。このようにして得られたガスバリア性フィルム(保存6ヶ月後のガスバリア性フィルム)と、製造直後のガスバリア性フィルムとを用いて有機EL素子を作製し、その評価をした。
<Performance evaluation of film roll package>
(Evaluation of organic EL elements)
After the film roll package manufactured in Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 4 was stored at 30 ° C. and 80% RH for 6 months, the film roll was taken out from the packing portion and part of the wound gas barrier film Cut out. An organic EL device was prepared and evaluated using the gas barrier film (gas barrier film after 6 months of storage) thus obtained and the gas barrier film immediately after production.

有機EL素子の作製
ガスバリア性フィルムのガスバリア層(または保護層)上にITOによる画素電極を形成し、前記画素電極上に、垂直ポリイミド配向層を形成した。
Production of Organic EL Element A pixel electrode made of ITO was formed on the gas barrier layer (or protective layer) of the gas barrier film, and a vertical polyimide alignment layer was formed on the pixel electrode.

他方、ガスバリア性フィルムのガスバリア層(または保護層)上に共通電極を形成し、前記共通電極上に垂直ポリイミド配向層を形成した。   On the other hand, a common electrode was formed on the gas barrier layer (or protective layer) of the gas barrier film, and a vertical polyimide alignment layer was formed on the common electrode.

上記で得られた2つのフィルムを、電極層どうし(ポリイミド配向層どうし)が対面するよう対向させ、スペーサビーズを用いて両基板の間隔を一定に保ちながら位置を合わせて液晶注入用の開口部を残すように周囲を封止剤で封止した。次いで、開口部からVA用液晶MLC−6610(メルク株式会社製)を互いのポリイミド配向層間に注入し、開口部を封止して簡易の有機EL素子を作製した。   The two films obtained above are opposed so that the electrode layers (polyimide alignment layers) face each other, and the positions of the two substrates are kept constant by using spacer beads, and an opening for liquid crystal injection The periphery was sealed with a sealant so as to leave Next, VA liquid crystal MLC-6610 (manufactured by Merck & Co., Inc.) was injected from the opening between the polyimide alignment layers, and the opening was sealed to produce a simple organic EL device.

[有機EL素子の評価]
作製した有機EL素子のそれぞれについて、黒点の評価を行った。
[Evaluation of organic EL elements]
The black spots were evaluated for each of the produced organic EL elements.

具体的には、試料に1mA/cmの電流を印加し発光させ、100倍のマイクロスコープMS−804(株式会社モリテックス製)およびレンズMP−ZE25−200(株式会社モリテックス製)を用いて、パネルの一部分を拡大し、黒点(DS)の状況を調べた。製造直後のガスバリア性フィルムおよび保存6ヶ月後のガスバリア性フィルムの評価は、それぞれ下記の基準に従い評価した。 Specifically, a current of 1 mA / cm 2 was applied to the sample to emit light, and a 100-fold microscope MS-804 (Mortex Co., Ltd.) and lens MP-ZE25-200 (Mortex Co., Ltd.) were used. A part of the panel was enlarged, and the situation of black spots (DS) was examined. The gas barrier film immediately after production and the gas barrier film after 6 months of storage were evaluated according to the following criteria.

(製造直後)
◎:黒点の発生面積が0.1%未満である
○:黒点の発生面積が0.1%以上、0.5%未満である
△:黒点の発生面積が0.5%以上、2.0%未満である
×:黒点の発生面積が2.0%以上である。
(Immediately after manufacture)
A: Black spot generation area is less than 0.1% B: Black spot generation area is 0.1% or more and less than 0.5% Δ: Black spot generation area is 0.5% or more, 2.0 X: The area where black spots are generated is 2.0% or more.

(保存6ヶ月後のガスバリア性フィルム)
◎:製造直後と比較して黒点の発生面積増加量が0.1%未満である
○:製造直後と比較して黒点の発生面積増加量が0.1%以上、0.3%未満である
△:製造直後と比較して黒点の発生面積増加量が0.3%以上、1.0%未満である
×:製造直後と比較して黒点の発生面積増加量が1.0%以上である。
(Gas barrier film after 6 months storage)
A: The amount of increase in the black spot generation area is less than 0.1% compared to immediately after the manufacture. ○: The amount of increase in the black spot generation area is 0.1% or more and less than 0.3% compared to that immediately after the manufacture. Δ: The amount of increase in black spot generation area is 0.3% or more and less than 1.0% compared to immediately after production. ×: The amount of increase in black spot generation area is 1.0% or more compared to immediately after production. .

得られた結果を下記表2に示す。   The obtained results are shown in Table 2 below.

Figure 2014019056
Figure 2014019056

比較例1〜4の結果から、ガスバリア性フィルムは、長期間保管すると、水分の影響を受けることが分かった。   From the results of Comparative Examples 1 to 4, it was found that the gas barrier film was affected by moisture when stored for a long period of time.

そして、実施例1〜11の結果から、フィルムロールを梱包体とすることにより、長期間保管したガスバリア性フィルムを使用しても、有機EL素子の性能にほとんど影響を及ぼさないことが分かった。   And from the result of Examples 1-11, even if it used the gas-barrier film stored for a long time by using a film roll as a package, it turned out that it has little influence on the performance of an organic EL element.

また、実施例1および2、並びに実施例1および10の結果から、適用する離型性を有する樹脂材料や包装の形態によって、ガスバリア性フィルムの水分に対する影響が異なることが分かった。   Moreover, it turned out that the influence with respect to the water | moisture content of a gas barrier film changes with the resin material which has the release property to be applied, and the form of packaging from the result of Example 1 and 2 and Example 1 and 10.

なお、実施例1〜11で製造したフィルムロール梱包体を、船便にて日本およびロサンゼルス間の往復輸送を行った後、上記と同様にして有機EL素子の評価を行ったところ、上記表2と同等の結果が得られた。一方、比較例1〜4で製造したフィルムロール梱包体を、船便にて日本およびロサンゼルス間の往復輸送を行った後、上記と同様にして有機EL素子の評価を行うと、前記表2の保存6ヶ月後のガスバリア性フィルムを使用した場合よりも明らかに製造直後と比較した黒点の発生面積増加量が増大した。上記結果から、ガスバリア性フィルムが空気中の水分の影響を受けたと考えられる。   In addition, when the film roll package manufactured in Examples 1 to 11 was transported back and forth between Japan and Los Angeles by sea, the organic EL device was evaluated in the same manner as described above. Equivalent results were obtained. On the other hand, when the film roll package manufactured in Comparative Examples 1 to 4 was transported back and forth between Japan and Los Angeles by sea, and the organic EL device was evaluated in the same manner as described above, the preservation of Table 2 was performed. Obviously, the amount of increase in the black spot generation area compared with the case immediately after production increased more than when the gas barrier film after 6 months was used. From the above results, it is considered that the gas barrier film was affected by moisture in the air.

Claims (11)

巻芯および前記巻芯に巻き取られたガスバリア性フィルムを含むフィルムロールと、
前記フィルムロールを包装する包装材を含む梱包部と、
を有するフィルムロール梱包体であって、
前記ガスバリア性フィルムが、基材およびガスバリア層を含み、かつ、1×10−2g/m/day以下の水蒸気透過率を有する、フィルムロール梱包体。
A film roll comprising a core and a gas barrier film wound around the core;
A packaging unit including a packaging material for packaging the film roll;
A film roll package comprising:
The film roll packaging body in which the gas barrier film includes a base material and a gas barrier layer and has a water vapor transmission rate of 1 × 10 −2 g / m 2 / day or less.
前記ガスバリア性フィルムが、離型性を有する樹脂層をさらに有し、前記基材、前記ガスバリア層、および前記離型性を有する樹脂層がこの順で配置されてなる、請求項1に記載のフィルムロール梱包体。   2. The gas barrier film according to claim 1, wherein the gas barrier film further includes a resin layer having releasability, and the base material, the gas barrier layer, and the resin layer having releasability are arranged in this order. Film roll package. 前記包装材の水蒸気透過率が、1g/m/day以下である、請求項1または2に記載のフィルムロール梱包体。 The film roll package of Claim 1 or 2 whose water vapor permeability of the said packaging material is 1 g / m < 2 > / day or less. 前記梱包部内の露点が、10℃以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のフィルムロール梱包体。   The film roll package of any one of Claims 1-3 whose dew point in the said packaging part is 10 degrees C or less. 前記梱包部が、2以上の包装材で包装されてなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載のフィルムロール梱包体。   The film roll package according to any one of claims 1 to 4, wherein the packing part is packaged with two or more packaging materials. 吸湿材をさらに含み、前記吸湿材が、前記フィルムロールとともに包装される、請求項1〜5のいずれか1項に記載のフィルムロール梱包体。   The film roll package according to any one of claims 1 to 5, further comprising a hygroscopic material, wherein the hygroscopic material is packaged together with the film roll. 前記巻芯が、吸湿性を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載のフィルムロール梱包体。   The film roll package according to claim 1, wherein the core has hygroscopicity. 前記巻芯の材質が、紙である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のフィルムロール梱包体。   The film roll package according to any one of claims 1 to 7, wherein a material of the core is paper. 基材上にガスバリア層を形成して、ガスバリア性フィルムを製造する工程(1)と、
前記ガスバリア性フィルムを、巻芯に巻き取り、フィルムロールを製造する工程(2)と、
前記フィルムロールを包装材で包装して梱包部を形成する工程(3)と、
を含む、フィルムロール梱包体の製造方法であって、
前記ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率が、1×10−2g/m/day以下である、製造方法。
Forming a gas barrier layer on the substrate to produce a gas barrier film (1);
Step (2) of winding the gas barrier film around a core to produce a film roll;
A step (3) of wrapping the film roll with a packaging material to form a packing portion;
A method for producing a film roll package comprising:
The manufacturing method whose water vapor transmission rate of the said gas-barrier film is 1 * 10 <-2 > g / m < 2 > / day or less.
前記工程(2)の巻き取りが、巻き取り張力30〜300N/mで行われる、請求項9に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 9, wherein the winding in the step (2) is performed at a winding tension of 30 to 300 N / m. 前記工程(1)が、さらに前記ガスバリア性フィルムの表面に離型性を有する樹脂層を形成することを含む、請求項9または10に記載の製造方法。   The manufacturing method according to claim 9 or 10, wherein the step (1) further includes forming a resin layer having releasability on the surface of the gas barrier film.
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