JP2013503234A - 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 - Google Patents
導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013503234A JP2013503234A JP2012526639A JP2012526639A JP2013503234A JP 2013503234 A JP2013503234 A JP 2013503234A JP 2012526639 A JP2012526639 A JP 2012526639A JP 2012526639 A JP2012526639 A JP 2012526639A JP 2013503234 A JP2013503234 A JP 2013503234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink composition
- solvent
- conductive metal
- pattern
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 178
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 92
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 claims description 37
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 17
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 claims description 13
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 12
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical group OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trichloroethane Chemical compound ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 4
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M Lactate Chemical compound CC(O)C([O-])=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 claims description 4
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N hexadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N hexan-1-ol Chemical compound CCCCCCO ZSIAUFGUXNUGDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 claims description 4
- BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N nonane Chemical compound CCCCCCCCC BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N pentadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCC YCOZIPAWZNQLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 claims description 4
- BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IIYFAKIEWZDVMP-UHFFFAOYSA-N tridecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCC IIYFAKIEWZDVMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N undecane Chemical compound CCCCCCCCCCC RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yloxyethanol Chemical compound CC(C)OCCO HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 claims description 3
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 3
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-ol Chemical compound CCCOCC(C)O FENFUOGYJVOCRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1.C=CC1=CC=CC=C1 FACXGONDLDSNOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229960005323 phenoxyethanol Drugs 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 2
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 claims description 2
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 claims description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 229920000468 styrene butadiene styrene block copolymer Polymers 0.000 claims description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 2
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 claims 2
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 11
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 12
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 3
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 2
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 2
- GJYCVCVHRSWLNY-UHFFFAOYSA-N ortho-butylphenol Natural products CCCCC1=CC=CC=C1O GJYCVCVHRSWLNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004715 ethylene vinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene-2,5-diol Chemical compound OC(=C)CCC(O)=C RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002103 nanocoating Substances 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920003987 resole Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D11/00—Inks
- C09D11/52—Electrically conductive inks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D11/00—Inks
- C09D11/02—Printing inks
- C09D11/03—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder
- C09D11/033—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder characterised by the solvent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D11/00—Inks
- C09D11/02—Printing inks
- C09D11/03—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder
- C09D11/037—Printing inks characterised by features other than the chemical nature of the binder characterised by the pigment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D11/00—Inks
- C09D11/30—Inkjet printing inks
- C09D11/36—Inkjet printing inks based on non-aqueous solvents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/20—Conductive material dispersed in non-conductive organic material
- H01B1/22—Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
- H05K1/095—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks for polymer thick films, i.e. having a permanent organic polymeric binder
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
- H10K71/611—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes using printing deposition, e.g. ink jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
- H05K1/097—Inks comprising nanoparticles and specially adapted for being sintered at low temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/01—Tools for processing; Objects used during processing
- H05K2203/0104—Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
- H05K2203/0143—Using a roller; Specific shape thereof; Providing locally adhesive portions thereon
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1275—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by other printing techniques, e.g. letterpress printing, intaglio printing, lithographic printing, offset printing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Abstract
本発明は、ロールプリンティング工程に適切に適用され、良好な導電性パターンの形成を可能にする導電性金属インク組成物およびこれを利用した導電性パターンの形成方法に関する。前記導電性金属インク組成物は、導電性金属粉末;25℃で蒸気圧が3torr以下の第1非水溶媒および25℃で蒸気圧が3torrを超過する第2非水溶媒を含む非水溶媒;および高分子コーティング性向上剤を含み、ロールプリンティング工程によって基板に印刷されて導電性パターンを形成するために用いられる。
【選択図】図1
【選択図】図1
Description
本発明は、導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法に関し、より詳しくは、ロールプリンティング工程に適用され、良好な導電性パターンの形成を可能にする導電性金属インク組成物およびこれを利用した導電性パターンの形成方法に関する。
最近、多様なフラットパネルディスプレイ素子が広く用いられている。このようなフラットパネルディスプレイ素子の製造のために、電極、配線、または電磁波遮蔽フィルタなど多様な導電性パターンを基板上に形成するようになり、このようなパターン形成のために最も広く利用されていたものがフォトリソグラフィである。
しかし、このようなフォトリソグラフィによるパターン形成のためには、感光性物質の塗布、露光、現像、および蝕刻などの多数のステップ工程が行われなければならないため、全体的な素子製造工程を複雑にし、工程の経済性も大きく低下させるようになる。
このために、最近では、インクジェットプリンティング法またはロールプリンティング法などによる導電性パターン形成方法に対する関心が増加している。特に、ロールプリンティング法の場合、インクジェットプリンティング法では形成が困難な微細な導電性パターンまで形成することができるなどの工程上の長所があり、さらに注目されている。
このために、最近では、インクジェットプリンティング法またはロールプリンティング法などによる導電性パターン形成方法に対する関心が増加している。特に、ロールプリンティング法の場合、インクジェットプリンティング法では形成が困難な微細な導電性パターンまで形成することができるなどの工程上の長所があり、さらに注目されている。
しかし、前記ロールプリンティング法によって良好な導電性パターンを形成するためには、導電性パターンの形成のための導電性インク組成物が低い初期粘度によってローラに適切に塗布されなければならず、ローラに塗布された後には所望するパターン形態で基板上に良好に転写されなければならないなど、適切な特性を有する導電性インク組成物が求められる。
しかし、ロールプリンティング法によって微細な導電性パターンを良好に形成できるようにする導電性インク組成物は、未だに適切に開発されていない実情にある。
本発明は、ロールプリンティング工程に適用され、良好な導電性パターンの形成を可能にする導電性金属インク組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、前記導電性金属インク組成物を利用することで、より微細かつ良好な導電性パターンを形成する導電性パターンの形成方法を提供することを他の目的とする。
また、本発明は、前記導電性金属インク組成物を利用することで、より微細かつ良好な導電性パターンを形成する導電性パターンの形成方法を提供することを他の目的とする。
本発明は、導電性金属粉末;25℃で蒸気圧が3torr以下の第1非水溶媒および25℃で蒸気圧が3torrを超過する第2非水溶媒を含む非水溶媒;および高分子コーティング性向上剤を含み、ロールプリンティング工程によって基板に印刷されて導電性パターンを形成するために用いられる導電性金属インク組成物を提供する。
また、本発明は、前記導電性金属インク組成物をローラに塗布するステップ;導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェを前記ローラに接触させ、前記導電性パターンに対応するインク組成物のパターンを前記ローラ上に形成するステップ;前記ローラ上のインク組成物パターンを基板上に転写するステップ;および前記基板上に転写されたパターンを焼成するステップを含む導電性パターン形成方法を提供する。
以下、発明の具体的な実施形態に係る導電性金属インク組成物およびこれを用いた導電性パターン形成方法について説明する。
発明の一実施形態より、導電性金属粉末;25℃で蒸気圧が3torr以下の第1非水溶媒および25℃で蒸気圧が3torrを超過する第2非水溶媒を含む非水溶媒;および高分子コーティング性向上剤を含み、ロールプリンティング工程によって基板に印刷されて導電性パターンを形成するために用いられる導電性金属インク組成物が提供される。
このような導電性金属インク組成物は、常温で蒸気圧が互いに異なる第1および第2非水溶媒を媒質として含む。このような第1および第2非水溶媒は、互いに異なる蒸気圧によって相違した揮発性を有し、特に、第2非水溶媒は、常温で高い蒸気圧およびこれによる高い揮発性を示す。したがって、このような第1および第2非水溶媒を含む導電性金属インク組成物は、貯蔵される間と、ロールプリンティングのためにローラに塗布されるまでは低い粘度を有し、前記第1および第2非水溶媒を含む媒質内で導電性金属粉末などの均一な組成が維持される。これにより、前記導電性金属インク組成物は、前記ローラ上に均一に塗布することが容易になる。
また、前記導電性金属インク組成物は、媒質中の第2非水溶媒の高い揮発性により、空気中に露出されれば前記第2非水溶媒が即時に揮発し始め、約数分内に粘度が大きく増加することができる。したがって、ローラ上に塗布されたインク組成物を所望するパターン形態でパターニングすることが容易になり、パターン形成後にも前記インク組成物がローラ上で流れ落ちず、良好なパターン形態を維持することができる。
これにより、前記導電性金属インク組成物を利用してロールプリンティング工程を適用すれば、基板上に所望するパターン形態をより良好に転写できるようになり、微細な導電性パターンを良好に形成できるようになる。
一方、前記導電性金属インク組成物は、高分子コーティング性向上剤を追加で含む。以下でより詳細に説明するが、前記高分子コーティング性向上剤は、インク組成物内でバインダとして作用する反面、インク組成物に粘着性を付与し、前記インク組成物がローラだけでなく導電性パターンが形成される基板にも良好に塗布または転写されるようにできる。したがって、前記導電性金属インク組成物は、このような高分子コーティング性向上剤を含むことにより、ロールプリンティング工程にさらに適用され、微細な導電性パターンを良好に形成することができる。
特に、後述するフェノール系高分子などの適切な高分子コーティング性向上剤を用いることにより、前記インク組成物をローラに良好に塗布することができ、塗布されたインク組成物上にピンホールなどのディフェクトが生じることを大きく減らすことができる。また、ローラに塗布されたインク組成物がある程度の硬い導膜としての性質と粘りのある粘着性を同時に兼ね備えるようになるため、このようなインク組成物を基板に良好に転写することができる。すなわち、基板に対して比較的低い圧力(印圧)でローラを接触させたとしても、ローラに塗布されたインク組成物をすべて基板に良好に転写することができ、インク組成物の乾燥時間も減らすことができる。さらに、インク組成物が塗布されたローラをクリシェに接触させてパターンをローラ上に形成する工程においても、前記適切な高分子コーティング性向上剤の作用により、前記インク組成物がクリシェに触れる部分でのみ選択的に除去され、所望するインク組成物パターンがローラ上に精密に形成されることができる(図1(b)参照)。これにより、前記ローラ上のインク組成物をより精密なパターン形態で基板上に良好に転写できるようになる。
これに比べ、高分子コーティング性向上剤を用いない場合などにおいては、インク組成物の粘着性が低すぎたり、硬い導膜としての性質のみを有するようになることにより、前記ローラ上にインク組成物パターンを精密に形成できなくなったり、前記ローラ上のインク組成物を基板に良好に転写できなくなることがある。
例えば、前記高分子コーティング性向上剤を用いない場合には、インク組成物の粘着性が低すぎ、ローラ上のインク組成物の一部のみが基板に転写されることがある(図1(c)参照)。これにより、基板に転写されたインク組成物の厚さが薄くなったり、基板に形成されたパターンの一部が切れ、基板に対する良好な転写およびパターン形成が困難になることがある。参考までに、図1(c1)は、インク組成物が基板に完全に転写されずにローラに相当な量が残留する様子を示しており、図1(c2)は、インク組成物が基板に完全に転写された場合と完全に転写されなかった場合を比較して示している写真である。
また、適切な高分子コーティング性向上剤を用いない場合、前記インク組成物が硬すぎる導膜のような性質のみを有するようになり、ローラ上のインク組成物のうちでクリシェに触れる部分のみが選択的に除去されずにより広い面積が除去されたり、あるいはローラとクリシェの接触圧力によってローラに残るインク組成物パターン上にクラックが発生することがある(図1(a)参照)。これにより、ローラ上にインク組成物パターンが精密に形成されず、結局は基板上に精密なパターンを形成できなくなることがある。参考までに、図1(a1)は、ローラ上のインク組成物のうちで極めて広い面積が除去されることにより、基板上にパターンが適切に形成されなかった様子を示しており、(a2)は、ローラに残るインク組成物パターン上にクラックが発生し、基板に形成されたパターンにもクラックが発生した様子を示している。
以下、前記発明の一実施形態に係る導電性金属インク組成物について、各成分別に詳しく説明する。
先ず、前記導電性金属インク組成物は、導電性を示すための基本的成分として導電性金属粉末を含む。このような導電性金属粉末としては、電気的導電性を示すものとして知られている任意の金属粉末を用いることができ、例えば、銀(Ag)、銅(Cu)、金(Au)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、亜鉛(Zn)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、白金(Pt)、または鉛(Pb)などから選択された1種以上の金属粉末を用いることができる。前記インク組成物内で前記金属粉末が均一に分散され、前記インク組成物から形成された導電性パターンが優れていながらも均一な導電度を示すことができるようにするために、前記金属粉末はナノスケールの平均直径を有することができる。例えば、前記金属粉末は約1〜100nm、好ましくは約5〜70nm、より好ましくは約10〜50nmの平均直径を有することができる。
また、前記導電性金属粉末は、導電性金属インク組成物の全体重量(例えば、導電性金属粉末、第1および第2非水溶媒、高分子コーティング性向上剤、および選択的に界面活性剤の重量合計)に対し、約15〜30重量%、好ましくは約20〜30重量%、より好ましくは約23〜30重量%の含量で含まれることができる。前記導電性金属粉末の含量が少なすぎれば、前記インク組成物から形成された導電性パターンの導電度が十分でないことがあり、反対に大きすぎれば、インク組成物内で金属粉末の分散性が劣悪になり、前記導電性パターンの特性が劣悪になったり、インク組成物が均一に塗布され難くなことがある。
前記導電性金属インク組成物は、さらに第1および第2非水溶媒を含む。第1非水溶媒は、25℃で蒸気圧が3torr以下であり、比較的低い揮発性を示す溶媒であって、焼成前までインク組成物の分散媒として作用することができる。
このような第1非水溶媒としては、25℃で蒸気圧が3torr以下のものとして知られている任意の非水溶媒を用いることができ、例えば、25℃で蒸気圧が3torr以下のアルコール系溶媒、グリコール系溶媒、ポリオール系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエーテルエステル系溶媒、ケトン系溶媒、ヒドロカーボン系溶媒、ラクテート系溶媒、エステル系溶媒、非プロトン性スルホキシド系溶媒、またはニトリル系溶媒などの非揮発性溶媒を用いたり、これらのうちから選択された2種以上の混合溶媒を用いることもできる。このような第1非水溶媒のより具体的な例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセロール、プロピレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテル、N−メチルピロリドン、ヘキサデカン、ペンタデカン、テトラデカン、トリデカン、ドデカン、ウンデカン、デカン、DMSO、アセトニトリル、またはブチルセロソルブなどを挙げることができ、これらのうちから選択された2種以上の混合溶媒を用いることもできることは勿論である。
一方、第2非水溶媒は、25℃で蒸気圧が3torrを超過しており、高い揮発性を示す溶媒であって、上述したように、インク組成物がローラ上に塗布されるまでは第1非水溶媒と共にインク組成物の低い粘度およびローラに対する優れた塗布性を維持するが、蒸発によって除去されてインク組成物の粘度を高め、ローラ上でのパターン形成および維持が適切に行われるようにする成分である。
このような第2非水溶媒としては、25℃で蒸気圧が3torrを超過するものとして知られている任意の非水溶媒を用いることができ、例えば、25℃で蒸気圧が3torrを超過するアルコール系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエーテルエステル系溶媒、ケトン系溶媒、ヒドロカーボン系溶媒、ラクテート系溶媒、エステル系溶媒、非プロトン性スルホキシド系溶媒、またはニトリル系溶媒などの揮発性溶媒を用いたり、これらのうちから選択された2種以上の混合溶媒を用いることもできる。このような第2非水溶媒のより具体的な例としては、メタノール、エチルアルコール、プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、t−ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ノナン、オクタン、ヘプタン、ヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン、1、2−ジクルロロエタン、1、1、1−トリクロロエタン、1、1、2−トリクロロエタン、1、1、2−トリクルロロエテン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン、ベンゼン、トルエン、またはキシレンなどを挙げることができ、これらのうちから選択された2種以上の混合溶媒を用いることもできることは勿論である。
上述した第1および第2非水溶媒は、導電性金属インク組成物の全体重量(例えば、導電性金属粉末、第1および第2非水溶媒、高分子コーティング性向上剤、および選択的に界面活性剤の重量合計)に対し、それぞれ約5〜70重量%および約10〜75重量%、好ましくは約20〜50重量%および約25〜55重量%、より好ましくは約25〜48重量%および約30〜53重量%の含量で含まれることができる。
上述した第1および第2非水溶媒は、導電性金属インク組成物の全体重量(例えば、導電性金属粉末、第1および第2非水溶媒、高分子コーティング性向上剤、および選択的に界面活性剤の重量合計)に対し、それぞれ約5〜70重量%および約10〜75重量%、好ましくは約20〜50重量%および約25〜55重量%、より好ましくは約25〜48重量%および約30〜53重量%の含量で含まれることができる。
前記第1非水溶媒の含量が少なすぎたり、前記第2非水溶媒の含量が多すぎる場合、インク組成物をローラに塗布した後の乾燥速度が速くなり、基板に対する転写が困難になることがある。反対に、前記第1非水溶媒の含量が多すぎたり、前記第2非水溶媒の含量が少なすぎれば、乾燥速度が遅くなって工程時間が長くなり、インク組成物が均一に塗布されないことがある。これと反対に、上述した第1および第2非水溶媒の含量範囲が最適化される場合、前記インク組成物に対してロールプリンティング工程を適用したとき、工程時間が短縮されながらも良好な導電性パターンが形成されることができる。
一方、前記導電性金属インク組成物は、高分子コーティング性向上剤を含む。上述したように、このようなコーティング性向上剤は一種の高分子樹脂であって、インク組成物内でバインダとして作用し、インク組成物に粘着性を付与し、前記インク組成物がローラだけでなく導電性パターンが形成される基板に良好に塗布または転写されるようにする成分である。すなわち、前記導電性金属インク組成物は、このような高分子コーティング性向上剤を含むことにより、ローラに適切に塗布された後に基板に良好に転写され、ロールプリンティング工程によるさらに良好な導電性パターンの形成を可能にする。これに比べ、前記高分子コーティング性向上剤を含まない組成物を用いる場合、ロールプリンティング工程によって導電性パターンが適切に形成されなかったり、前記導電性パターンの直進性など特性が低下することがある。
このようなコーティング性向上剤としては、エポキシ系高分子、フェノール系高分子、またはアルコール系高分子などの接着性高分子を用いることができ、これらのうちから選択された2種以上の混合物を用いることもできる。このようなコーティング性向上剤のうち、エポキシ系高分子のより具体的な例としては、ビスフェノールA型エポキシ高分子、ビスフェノールF型エポキシ高分子、ノボラック型エポキシ高分子、ブロム化エポキシ高分子などの難燃性エポキシ高分子、脂肪族環を有するエポキシ高分子、ゴム変性エポキシ高分子、脂肪族ポリグリシジルエポキシ高分子、またはグリシジルアミン型エポキシ高分子などがある。また、フェノール系高分子のより具体的な例としては、ノボラック型フェノール高分子またはレゾル型フェノール高分子などがあり、アルコール系高分子としては、セルロース系高分子、ポリビニルアルコールまたはエチレンビニルアルコール高分子などを挙げることができる。その他に、エチレンビニルアセテート、ロジン系樹脂、ウレタン系高分子、アクリル系高分子、スチレン−ブタジエン−スチレン系高分子、またはポリエステル系高分子などを用いることもできる。
これらの具体的な例に属する物質として、当業界で常用化された物質などを前記コーティング性向上剤として用いることができる。
前記インク組成物がこのようなコーティング性向上剤を含むことにより、このようなインク組成物は、ローラに対する優れた塗布性および基板に対する良好な転写性などを示すことができ、ロールプリンティング工程に適用されることができ、基板上により微細な導電性パターンを良好に形成できるようになる。
前記高分子コーティング性向上剤は、導電性金属インク組成物の全体重量(例えば、導電性金属粉末、第1および第2非水溶媒、高分子コーティング性向上剤、および選択的に界面活性剤の重量合計)に対し、約0.1〜5重量%、好ましくは約1〜4重量%、より好ましくは約2〜3重量%の含量で含まれることができる。前記コーティング性向上剤の含量が少なすぎれば、インク組成物の塗布性や転写性が十分でないことがあり、反対に多すぎれば、前記インク組成物から形成された導電性パターンの導電度が十分でないことがある。これとは異なり、前記高分子コーティング性向上剤の含量範囲が最適化されることにより、ロールプリンティング工程において、より微細ながらも優れた導電度を示す導電性パターンを良好に形成できるようになる。
上述した導電性金属インク組成物は、上述した各構成成分の他にも、界面活性剤をさらに含むこともできる。このような界面活性剤がさらに含まれることにより、前記インク組成物をローラに塗布するとき、ディウェッティングまたはピンホール発生をさらに抑制することができる。これにより、ローラ上にインク組成物を良好に塗布し、より精密でありながらも良好な導電性パターンを形成できるようになる。
このような界面活性剤としては、以前から導電性金属インク組成物として通用されていたシリコン系界面活性剤、例えば、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤を用いることができ、その他の多様な界面活性剤を特別な制限なく用いることができる。
このような界面活性剤は、導電性金属インク組成物の全体重量(例えば、導電性金属粉末、第1および第2非水溶媒、高分子コーティング性向上剤、および界面活性剤の重量合計)に対して約0.01〜4重量%、好ましくは約1〜4重量%、より好ましくは約2〜3重量%の含量で含まれることができる。このような含量で界面活性剤を含むことにより、さらに良好にインク組成物をローラ上に塗布することができる。
上述した発明の一実施形態に係る導電性金属インク組成物は、約10cPs以下、好ましくは約7cPs、より好ましくは約5cPs以下の初期粘度を有することができる。このとき、初期粘度とは、前記導電性金属インク組成物の最初の製造時からロールプリンティング工程のためのローラに塗布されるまでの粘度を包括して意味することができる。より具体的に、前記初期粘度とは、前記導電性金属インク組成物の最初の製造時からローラに塗布される前に保管中であるときの粘度(すなわち、ローラに塗布するために空気に露出させる前までの粘度)、あるいは塗布される直前の粘度を意味することができる。前記導電性金属インク組成物は、第1および第2非水溶媒を含むことによってこのような低い初期粘度を有することができ、これによってローラに対する優れた塗布性を示すことができる。また、前記ローラに対する塗布後には、揮発性が高い第2非水溶媒の蒸発によってローラ上で粘度が高くなることができ、これによってローラ上で良好にパターンが形成および維持され、基板上に良好にパターンを転写させることができる。
したがって、前記導電性金属インク組成物を利用してロールプリンティング工程を適用することにより、基板上により微細な導電性パターンを良好に形成することができるようになる。特に、前記導電性金属インク組成物を利用して後述するロールプリンティング工程を適用すれば、以前に適用されていたインクジェットプリンティング法などによっては形成されることができなかった微細な導電性パターン、例えば、約3〜80μm、好ましくは約3〜40μmの線幅を有する導電性パターンを良好に形成できるようになる。特に、前記インク組成物およびロールプリンティング工程を利用することにより、約3〜10μmの線幅、および約3〜10μmの線間隔を有する微細な線幅/線間隔の導電性パターンまで良好に形成することができるようになる。
これにより、前記導電性金属インク組成物は、ロールプリンティング工程によって基板、例えば、ガラス基板などに印刷して導電性パターンを形成するために好ましく適用されることができ、具体的に、フラットパネルディスプレイ素子の電極パターンなどを形成するために極めて好ましく適用されることができる。特に、前記導電性金属インク組成物およびロールプリンティング工程を利用することにより、さらに微細な電極パターンの良好な形成が可能になるため、フラットパネルディスプレイ素子の可視性向上または大面積化などに大きく寄与できるようになる。
発明の他の実施形態よれば、上述した導電性金属インク組成物を用いた導電性パターンの形成方法が提供される。このような導電性パターンの形成方法は、上述した導電性金属インク組成物をローラに塗布するステップ;導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェを前記ローラに接触させ、前記導電性パターンに対応するインク組成物のパターンを前記ローラ上に形成するステップ;前記ローラ上のインク組成物パターンを基板上に転写するステップ;および前記基板上に転写されたパターンを焼成するステップを含むことができる。
このような導電性パターンの形成方法において、前記クリシェとは、ローラ上に塗布されたインク組成物を所望する導電性パターン形態でパターニングするために用いられる一種の凹凸板を意味する。このために、前記クリシェ上には、前記導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されることができる。
一方、添付の図面を参照しながら、前記発明の他の実施形態に係る導電性パターン形成方法を各ステップ別に説明すれば次のとおりである。図2は、ロールプリンティング工程による導電性パターンの形成過程を概略的に示す図である。
先ず、上述した導電性金属インク組成物を形成する。このために各成分を混合した後、撹拌または震盪することにより、均一なインク組成物を形成することができる。また、不純物をとり除いて導電性パターンが均一に形成されるようにするために、前記インク組成物をろ過するステップをさらに行うこともできる。
続いて、前記導電性金属インク組成物22をローラ20に塗布する。このとき、前記ローラ20の外面はブランケット21で覆われることができ、このようなブランケット21はポリジメチルシロキサン(PDMS)で形成されることができる。このようなPDMSは、他の高分子材料に比べて粘弾性、変形特性、または転写性に優れており、前記ブランケット21で適切に用いられることができる。前記導電性金属インク組成物22は、供給装置の吐出口10から吐出されて前記ブランケット21上に塗布されることができ、このときから第2非水溶媒が蒸発し始めながら、前記インク組成物22の粘度が速い速度で増加し始める。
前記インク組成物22をブランケット21上に塗布した後には、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェを前記ローラに接触させ、前記導電性パターンに対応するインク組成物のパターンを前記ローラ上に形成する。
すなわち、前記クリシェ30は、インク組成物22が塗布されたブランケット21に接触し、導電性パターン形成に必要のないインク部分32を選択的にとり除く役割をし、その結果、前記ローラ上に所望する導電性パターンに対応するインク組成物のパターンが形成されることができる。このために、前記クリシェ30は、ブランケット21と接触する面に、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成された形態を帯びるようになり、これによってクリシェ30の突出部31だけがブランケット21上のインク組成物22と接触し、導電性パターンの形成に必要のないインク部分32を前記突出部31に転写させてとり除くことができる。
前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した後には、このようなインク組成物のパターンを基板上に転写する。このために、インク組成物のパターンが形成されたローラのブランケット21を基板40に接触させることができ、その結果、前記インク組成物のパターンが基板40に転写され、基板40上に所定のパターン41を形成することができる。
このようなパターン転写後には焼成工程を行うことにより、基板上に導電性パターンを形成することができる。このような焼成工程は、形成しようとする導電性パターンの種類に応じて適切な条件で行われることができ、例えば、前記導電性パターンがフラットパネルディスプレイ素子の電極パターンなどで形成される場合、前記焼成工程は約400〜600℃で約5〜50分間に渡って行われることができ、例えば、約400〜480℃で10〜40分間に渡って行われることができる。
上述したロールプリンティング工程を利用した導電性パターン形成方法により、以前に適用されていたフォトリソグラフィ工程などに比べ、極めて簡単かつ迅速な工程で基板上に導電性パターンを形成することができるだけでなく、以前のインクジェットプリンティング工程によって形成され得なかったより微細な導電性パターン、例えば、約3〜80μm、好ましくは約3〜40μmの線幅を有する導電性パターンを良好に形成できるようになる。特に、前記導電性パターン形成方法により、約3〜10μmの線幅、および約3〜10μmの線間隔を有する微細な線幅/線間隔の導電性パターンまで良好に形成できるようになる。
したがって、上述した発明の実施形態に係るインク組成物および導電性パターン形成方法を適用することにより、優れた導電度を示す微細な導電性パターン、例えば、フラットパネルディスプレイ素子の電極パターンなどを良好に形成することができ、これは微細な電極パターンの良好な形成を可能にし、フラットパネルディスプレイ素子の可視向上または大面積化などに大きく寄与することができる。
上述したように、本発明によれば、ロールプリンティング工程に適用され、微細な導電性パターンを良好に形成できるようにする導電性金属インク組成物が提供される。
したがって、前記導電性金属インク組成物を用いたロールプリンティング工程により、より微細な導電性パターン、例えば、フラットパネルディスプレイ素子の微細電極パターンなどを良好に形成することができる。
したがって、前記導電性金属インク組成物を用いたロールプリンティング工程により、より微細な導電性パターン、例えば、フラットパネルディスプレイ素子の微細電極パターンなどを良好に形成することができる。
以下、発明の具体的な実施例を参照しながら、発明の作用および効果をより詳述する。ただし、このような実施例は発明の例示として提示されたものに過ぎず、これによって発明の権利範囲が定められることはない。
実施例1:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
平均直径50nmの銀ナノ粒子5g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)10g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)5g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)4.84g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15g、フェノール系高分子の一種であるブチルフェノールアルデヒドノボラック樹脂0.1g、およびウレタン系高分子の一種であるポリウレタンジオール0.06gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.8cPsであると確認された。
前記インク組成物をローラのPDMSブランケットに塗布した後、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェと前記ブランケットを接触させ、前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した。この後、このようなローラをガラス基板に接触させ、前記ガラス基板上にパターンを形成した。これを400℃熱の焼成炉で30分間に渡って焼成して導電性パターンを形成した。
平均直径50nmの銀ナノ粒子5g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)10g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)5g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)4.84g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15g、フェノール系高分子の一種であるブチルフェノールアルデヒドノボラック樹脂0.1g、およびウレタン系高分子の一種であるポリウレタンジオール0.06gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.8cPsであると確認された。
前記インク組成物をローラのPDMSブランケットに塗布した後、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェと前記ブランケットを接触させ、前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した。この後、このようなローラをガラス基板に接触させ、前記ガラス基板上にパターンを形成した。これを400℃熱の焼成炉で30分間に渡って焼成して導電性パターンを形成した。
実施例2:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)2g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)12.5g、フェノール系高分子であるブチルフェノールアルデヒドノボラック樹脂0.5gを用い、ウレタン系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.06cPsであると確認された。
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)2g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)12.5g、フェノール系高分子であるブチルフェノールアルデヒドノボラック樹脂0.5gを用い、ウレタン系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.06cPsであると確認された。
実施例3:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧1.50torr)2g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)8g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)9.9g、ウレタン系高分子の一種であるポリウレタンジオール0.1gを用い、フェノール系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.33cPsであると確認された。
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧1.50torr)2g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)8g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)9.9g、ウレタン系高分子の一種であるポリウレタンジオール0.1gを用い、フェノール系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.33cPsであると確認された。
実施例4:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
銀ナノ粒子6g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)1.2g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)3.0g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)9.3g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15g、フェノール系高分子0.5gを用い、ウレタン系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.78cPsであると確認された。
銀ナノ粒子6g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)1.2g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)3.0g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)9.3g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15g、フェノール系高分子0.5gを用い、ウレタン系高分子は用いないことを除いては、実施例1と同じ方法によってインク組成物および導電性パターンを形成した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.78cPsであると確認された。
実施例5:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
平均直径70nmの銀ナノ粒子7.6g、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル(25℃で蒸気圧4.26torr)11.4g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)10.2g、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.02torr)2.0g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.2g、およびロジン系高分子の一種である水素化されたロジンのグリセロールエステル(分子量700)0.3gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.65cPsであると確認された。
平均直径70nmの銀ナノ粒子7.6g、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル(25℃で蒸気圧4.26torr)11.4g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)10.2g、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.02torr)2.0g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.2g、およびロジン系高分子の一種である水素化されたロジンのグリセロールエステル(分子量700)0.3gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.65cPsであると確認された。
前記インク組成物をローラのPDMSブランケットに塗布した後、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェと前記ブランケットを接触させ、前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した。この後、このようなローラをガラス基板に接触させ、前記ガラス基板上にパターンを形成した。これを450℃熱の焼成炉で10分間に渡って焼成して導電性パターンを形成した。
実施例6:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
平均直径30nmの銀ナノ粒子6.8g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)0.5g、エチレングリコールモノプロピルエーテル(25℃で蒸気圧1.30torr)10.3g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)10.3g、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.02torr)1.1g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.2g、およびアクリル系高分子の一種であるベンジルメタクリレート−スチレン−グリシジルメタクリレート−ブチルメタクリレート共重合体0.2gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.72cPsであると確認された。
平均直径30nmの銀ナノ粒子6.8g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)0.5g、エチレングリコールモノプロピルエーテル(25℃で蒸気圧1.30torr)10.3g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)10.3g、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.02torr)1.1g、ポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.2g、およびアクリル系高分子の一種であるベンジルメタクリレート−スチレン−グリシジルメタクリレート−ブチルメタクリレート共重合体0.2gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、3.72cPsであると確認された。
前記インク組成物をローラのPDMSブランケットに塗布した後、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェと前記ブランケットを接触させ、前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した。この後、このようなローラをガラス基板に接触させ、前記ガラス基板上にパターンを形成した。これを450℃熱の焼成炉で10分間に渡って焼成して導電性パターンを形成した。
比較例1:導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成
平均直径50nmの銀ナノ粒子5g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)10g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)5g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)4.84g、およびポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.9cPsであると確認された。
平均直径50nmの銀ナノ粒子5g、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(25℃で蒸気圧3.8torr)10g、エチルアルコール(25℃で蒸気圧59.3torr)5g、エチレングリコールモノブチルエーテル(25℃で蒸気圧0.80torr)4.84g、およびポリジメチルシロキサン系界面活性剤0.15gを混合し、12時間に渡って震盪した。この後、1μmのフィルタでろ過してインク組成物を製造した。後述する方法により、このようなインク組成物の初期粘度を測定した結果、2.9cPsであると確認された。
前記インク組成物をローラのPDMSブランケットに塗布した後、所望する導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェと前記ブランケットを接触させ、前記ローラ上にインク組成物のパターンを形成した。この後、このようなローラをガラス基板に接触させ、前記ガラス基板上にパターンを形成した。これを450℃熱の焼成炉で10分間に渡って焼成して導電性パターンを形成した。
実験例1:導電性金属インク組成物の初期粘度測定
上述したように製造された実施例1〜6および比較例1の組成物の初期粘度は、各組成物の製造後にブルックフィールド粘度計を用いて測定された。各組成物の初期粘度は、上述した各実施例および比較例に表示されたとおりである。
上述したように製造された実施例1〜6および比較例1の組成物の初期粘度は、各組成物の製造後にブルックフィールド粘度計を用いて測定された。各組成物の初期粘度は、上述した各実施例および比較例に表示されたとおりである。
実験例2:導電性パターンの特性評価
先ず、実施例1〜6および比較例1でそれぞれ形成された導電性パターンの比抵抗を測定する方法により、各導電性パターンの導電度を評価した。比抵抗は面抵抗をMitsubishi chemicalのMCP−T600である4point probeで測定し、厚さをalpha stepで測定した後、2つの値の乗算から求めた。このような比抵抗測定の結果を下記の表1に示した。
先ず、実施例1〜6および比較例1でそれぞれ形成された導電性パターンの比抵抗を測定する方法により、各導電性パターンの導電度を評価した。比抵抗は面抵抗をMitsubishi chemicalのMCP−T600である4point probeで測定し、厚さをalpha stepで測定した後、2つの値の乗算から求めた。このような比抵抗測定の結果を下記の表1に示した。
また、実施例1で形成した導電性パターンの光学顕微鏡写真を撮影して図3に示した。このとき、前記光学顕微鏡としては、Nikon社のEclipse 90iを用いた。図3を参照すれば、実施例のインク組成物を用いて約10μmの微細な線幅を有する導電性パターンが良好に形成されることが確認される。これに比べ、高分子コーティング性向上剤を用いない比較例1の組成物を用いて同じ線幅の導電性パターンを形成する場合、図1(c)に示すように、ローラ上のインク組成物パターンが基板上に適切に転写されず、形成されたパターンの比抵抗およびこれによる導電性を測定することができず、線高さも適切に測定することが不可能であった。
さらに、実施例1〜6および比較例1でそれぞれ形成された導電性パターンの光学顕微鏡観察によって各導電性パターンの高さ(線高さ)を測定し、その結果を下記の表1に示した。
表1を参照すれば、比抵抗および線高測定結果により、実施例1〜6のインク組成物を用いることで、ロールプリンティング工程によって微細線幅の導電性パターンが良好に形成され、このような導電性パターンは優れた導電性を示すことが確認される。
Claims (15)
- 導電性金属粉末;
25℃で蒸気圧が3torr以下の第1非水溶媒および25℃で蒸気圧が3torrを超過する第2非水溶媒を含む非水溶媒;および
高分子コーティング性向上剤
を含み、
ロールプリンティング工程によって基板に印刷されて導電性パターンを形成するために用いられる、導電性金属インク組成物。 - フラットパネルディスプレイ素子の電極を形成するために用いられる、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 前記導電性金属粉末は、銀(Ag)、銅(Cu)、金(Au)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、亜鉛(Zn)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、白金(Pt)、および鉛(Pb)からなるグループより選択された1種以上の金属粉末である、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 前記導電性金属粉末は1〜100nmの平均直径を有する、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 第1非水溶媒は、25℃で蒸気圧が3torr以下のアルコール系溶媒、グリコール系溶媒、ポリオール系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエーテルエステル系溶媒、ケトン系溶媒、ヒドロカーボン系溶媒、ラクテート系溶媒、エステル系溶媒、非プロトン性スルホキシド系溶媒、およびニトリル系溶媒からなるグループより選択された1種以上の非揮発性溶媒を含む、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 第1非水溶媒は、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセロール、プロピレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテル、N−メチルピロリドン、ヘキサデカン、ペンタデカン、テトラデカン、トリデカン、ドデカン、ウンデカン、デカン、DMSO、アセトニトリル、およびブチルセロソルブからなるグループより選択された1種以上の非揮発性溶媒を含む、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 第2非水溶媒は、25℃で蒸気圧が3torrを超過するアルコール系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエーテルエステル系溶媒、ケトン系溶媒、ヒドロカーボン系溶媒、ラクテート系溶媒、エステル系溶媒、非プロトン性スルホキシド系溶媒、およびニトリル系溶媒からなるグループより選択された1種以上の揮発性溶媒を含む、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 第2非水溶媒は、メタノール、エチルアルコール、プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、t−ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ノナン、オクタン、ヘプタン、ヘキサン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン、1、2−ジクルロロエタン、1、1、1−トリクロロエタン、1、1、2−トリクロロエタン、1、1、2−トリクルロロエテン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン、ベンゼン、トルエンおよびキシレンからなるグループより選択された1種以上の揮発性溶媒を含む、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 前記高分子コーティング性向上剤は、エポキシ系高分子、フェノール系高分子、アルコール系高分子、ウレタン系高分子、エチレンビニルアセテート、ロジン系樹脂、アクリル系高分子、スチレン−ブタジエン−スチレン系高分子、およびポリエステル系高分子からなるグループより選択された1種以上の接着性高分子である、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 10cPs以下の初期粘度を有する、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。
- 全体導電性金属インク組成物の重量に対し、
導電性金属粉末の15〜30重量%;
第1非水溶媒の5〜70重量%;
第2非水溶媒の10〜75重量%;および
高分子コーティング性向上剤の0.1〜5重量%を含む、請求項1に記載の導電性金属インク組成物。 - 界面活性剤の0.01〜4重量%をさらに含む、請求項11に記載の導電性金属インク組成物。
- 請求項1〜12のうちのいずれか一項に記載の導電性金属インク組成物をローラに塗布するステップ;
導電性パターンに対応するパターンが陰刻で形成されたクリシェを前記ローラに接触させ、前記導電性パターンに対応するインク組成物のパターンを前記ローラ上に形成するステップ;
前記ローラ上のインク組成物パターンを基板上に転写するステップ;および
前記基板上に転写されたパターンを焼成するステップを含む、導電性パターン形成方法。 - 前記導電性パターンはフラットパネルディスプレイ素子の電極パターンである、請求項13に記載の導電性パターン形成方法。
- 前記導電性パターンは3〜10μmの線幅を有する、請求項13または14に記載の導電性パターン形成方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2009-0080374 | 2009-08-28 | ||
KR20090080374 | 2009-08-28 | ||
KR1020100081972A KR101221780B1 (ko) | 2009-08-28 | 2010-08-24 | 전도성 금속 잉크 조성물 및 전도성 패턴의 형성 방법 |
PCT/KR2010/005652 WO2011025229A2 (ko) | 2009-08-28 | 2010-08-24 | 전도성 금속 잉크 조성물 및 전도성 패턴의 형성 방법 |
KR10-2010-0081972 | 2010-08-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013503234A true JP2013503234A (ja) | 2013-01-31 |
Family
ID=43931816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012526639A Pending JP2013503234A (ja) | 2009-08-28 | 2010-08-24 | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8883046B2 (ja) |
JP (1) | JP2013503234A (ja) |
KR (1) | KR101221780B1 (ja) |
CN (1) | CN102482522A (ja) |
TW (1) | TWI506101B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013541602A (ja) * | 2010-08-27 | 2013-11-14 | エルジー・ケム・リミテッド | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 |
WO2015012264A1 (ja) * | 2013-07-23 | 2015-01-29 | 旭化成株式会社 | 銅及び/又は銅酸化物分散体、並びに該分散体を用いて形成された導電膜 |
JP2015159277A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-09-03 | パナソニック株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
JP2019096442A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | ナガセケムテックス株式会社 | 金属パターンを備える基材の製造方法および金属インク |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101093075B1 (ko) * | 2011-04-04 | 2011-12-13 | 한국기계연구원 | 패턴 인쇄 장치 |
WO2012138139A2 (ko) * | 2011-04-05 | 2012-10-11 | 주식회사 엘지화학 | 인쇄 조성물 및 이를 이용한 인쇄 방법 |
WO2012138138A2 (ko) * | 2011-04-05 | 2012-10-11 | 주식회사 엘지화학 | 인쇄 조성물 및 이를 이용한 인쇄 방법 |
KR101410518B1 (ko) * | 2012-04-20 | 2014-07-04 | 주식회사 엘지화학 | 도전성 패턴 형성용 기재 및 이를 이용하여 형성된 도전성 패턴 |
WO2013180534A1 (ko) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | 주식회사 엘지화학 | 클리쉐 및 이를 포함하는 인쇄 장치 |
KR101974191B1 (ko) * | 2012-11-29 | 2019-04-30 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그 형성방법 |
CN103897503A (zh) * | 2012-12-31 | 2014-07-02 | 中原工学院 | 柔性或薄膜太阳能电池用eva涂料及其制备方法 |
KR101633157B1 (ko) * | 2013-06-18 | 2016-06-23 | 주식회사 엘지화학 | 점착 시트의 제조방법 및 상기 방법으로 제조된 점착 시트 |
JP2016131078A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜の製造方法 |
CN109552711B (zh) * | 2017-09-26 | 2021-06-01 | 北京梦之墨科技有限公司 | 一种利用液态金属进行产品包装的方法 |
KR102402322B1 (ko) * | 2021-07-12 | 2022-05-26 | 한국과학기술연구원 | 페이스트 제조 방법 및 이를 활용한 신축성 전극 제조 방법 |
WO2023104849A1 (en) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | Ferro Gmbh | Environmentally friendly medium for ceramic colours for indirect decoration of glass, porcelain, bone china, enamel, and ceramics |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005126608A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Mitsumura Printing Co Ltd | 精密パターニング用インキ組成物 |
JP2008045035A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Az Electronic Materials Kk | 印刷用硬化性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法 |
WO2008111484A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Dic Corporation | 凸版反転印刷用導電性インキ |
JP2009138030A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Dic Corp | ニッケルインキの製造方法、ニッケルインキパターンの形成方法、及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4853036A (en) | 1986-11-25 | 1989-08-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink for ink-jet recording and ink-jet recording process using the same |
JP2005158295A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | プラズマディスプレイパネルの電極形成用インキおよびそれを用いたプラズマディスプレイパネルの電極基板の製造方法 |
US7189768B2 (en) | 2003-11-25 | 2007-03-13 | 3M Innovative Properties Company | Solution containing surface-modified nanoparticles |
KR100602811B1 (ko) | 2004-08-21 | 2006-07-19 | 학교법인연세대학교 | 잉크젯 프린터용 전도성 잉크 조성물, 잉크젯 프린팅에의한 금속패턴 형성 방법 및 이에 의해 제조된 인쇄회로기판 |
JP4961665B2 (ja) | 2004-11-16 | 2012-06-27 | 日立化成工業株式会社 | 絶縁体インク、印刷配線板及び多層印刷配線板 |
EP1850368B2 (en) * | 2005-02-15 | 2021-04-21 | Pioneer Corporation | Film forming composition and organic electroluminescent device |
KR100727451B1 (ko) * | 2005-04-26 | 2007-06-13 | 주식회사 잉크테크 | 금속 잉크 조성물 |
JP4964152B2 (ja) | 2005-03-04 | 2012-06-27 | インクテック カンパニー リミテッド | 導電性インク組成物及びこの製造方法 |
JP4754273B2 (ja) | 2005-06-06 | 2011-08-24 | 日立マクセル株式会社 | インクジェット用導電性インク、導電性パターンおよび導電体 |
KR101222947B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2013-01-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 인쇄용 용제, 및 그를 이용한 인쇄용 패턴 조성물 및 패턴 형성방법 |
JPWO2007097249A1 (ja) | 2006-02-20 | 2009-07-09 | ダイセル化学工業株式会社 | 多孔性フィルム及び多孔性フィルムを用いた積層体 |
KR100895192B1 (ko) | 2006-09-29 | 2009-04-24 | 주식회사 엘지화학 | 도전배선 형성용 페이스트에 사용되는 유기 은 착화합물 |
US20100021704A1 (en) | 2006-09-29 | 2010-01-28 | Sung-Ho Yoon | Organic silver complex compound used in paste for conductive pattern forming |
KR101232179B1 (ko) | 2006-12-04 | 2013-02-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 패턴의 제조장치 및 방법 |
KR20080088712A (ko) * | 2007-03-30 | 2008-10-06 | 삼성전자주식회사 | 전도성 잉크 조성물 및 이를 이용한 전도성 패턴의 형성방법 |
US9340684B2 (en) * | 2010-05-10 | 2016-05-17 | Lg Chem, Ltd. | Conductive metal ink composition, and method for forming a conductive pattern |
-
2010
- 2010-08-24 JP JP2012526639A patent/JP2013503234A/ja active Pending
- 2010-08-24 US US13/392,831 patent/US8883046B2/en active Active
- 2010-08-24 KR KR1020100081972A patent/KR101221780B1/ko active Active
- 2010-08-24 CN CN201080038429XA patent/CN102482522A/zh active Pending
- 2010-08-26 TW TW099128667A patent/TWI506101B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005126608A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Mitsumura Printing Co Ltd | 精密パターニング用インキ組成物 |
JP2008045035A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Az Electronic Materials Kk | 印刷用硬化性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法 |
WO2008111484A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Dic Corporation | 凸版反転印刷用導電性インキ |
JP2009138030A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Dic Corp | ニッケルインキの製造方法、ニッケルインキパターンの形成方法、及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013541602A (ja) * | 2010-08-27 | 2013-11-14 | エルジー・ケム・リミテッド | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 |
WO2015012264A1 (ja) * | 2013-07-23 | 2015-01-29 | 旭化成株式会社 | 銅及び/又は銅酸化物分散体、並びに該分散体を用いて形成された導電膜 |
US10424648B2 (en) | 2013-07-23 | 2019-09-24 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Copper and/or copper oxide dispersion, and electroconductive film formed using dispersion |
JP2015159277A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-09-03 | パナソニック株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
JP2019096442A (ja) * | 2017-11-21 | 2019-06-20 | ナガセケムテックス株式会社 | 金属パターンを備える基材の製造方法および金属インク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120207918A1 (en) | 2012-08-16 |
TWI506101B (zh) | 2015-11-01 |
KR20110023776A (ko) | 2011-03-08 |
TW201134895A (en) | 2011-10-16 |
KR101221780B1 (ko) | 2013-01-11 |
CN102482522A (zh) | 2012-05-30 |
US8883046B2 (en) | 2014-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013503234A (ja) | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 | |
JP5388150B2 (ja) | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 | |
JP5788003B2 (ja) | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 | |
JP5701379B2 (ja) | 導電性金属インク組成物および導電性パターンの形成方法 | |
US9449733B2 (en) | Conductive ink composition, printing method using the same and conductive pattern manufactured by the same | |
US20050176849A1 (en) | Ink jet printable thick film compositions and processes | |
JP6187944B2 (ja) | 印刷方法 | |
CN102576582A (zh) | 透明导电层图案的形成方法 | |
TW201220325A (en) | Conductive paste for offset printing | |
TWI462977B (zh) | 印刷組成物及使用其之印刷方法 | |
CN103582681A (zh) | 用于印刷的组合物和使用该组合物的印刷方法 | |
WO2011025229A2 (ko) | 전도성 금속 잉크 조성물 및 전도성 패턴의 형성 방법 | |
US20140186525A1 (en) | Conductive metal ink composition and method for forming a conductive pattern | |
KR20150126743A (ko) | 오프셋 인쇄용 도전성 페이스트 조성물 및 제조방법과 재생방법 | |
JP5458828B2 (ja) | 導電性ペースト組成物及び該組成物を用いた電極の製造方法 | |
JP6112647B2 (ja) | リフトオフ法用レジスト剤及び導体パターンの作製方法 | |
WO2011025228A2 (ko) | 전도성 금속 잉크 조성물 및 전도성 패턴의 형성 방법 | |
JP2009170910A (ja) | 導電性パターン及びその形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131009 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140107 |