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JP2013161959A - Semiconductor integrated circuit and electronic apparatus - Google Patents

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JP2013161959A
JP2013161959A JP2012023023A JP2012023023A JP2013161959A JP 2013161959 A JP2013161959 A JP 2013161959A JP 2012023023 A JP2012023023 A JP 2012023023A JP 2012023023 A JP2012023023 A JP 2012023023A JP 2013161959 A JP2013161959 A JP 2013161959A
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Japan
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buffer cell
wiring
semiconductor integrated
buffer
integrated circuit
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JP2012023023A
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Noritaka Nishikawa
典孝 西川
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an LSI chip 10 in which inner I/O buffer cells Cec having bonding pads Pb which are positioned closer to an LSI internal circuit 10a and outer I/O buffer cells Cea having bonding pads Pa which are positioned farther from the LSI internal circuit 10a are arranged such that arrangements of the bonding pads of the I/O buffer cells are arranged in a zigzag arrangement, and which eliminate a difference in a signal delay amount and a difference in a voltage drop amount which are caused a difference in positions of the bonding pads between the inner I/O buffer cells and the outer I/O buffer cells.SOLUTION: A semiconductor integrated circuit comprises: an inner peripheral side region Rc in which bonding pads Pc of an inner I/O buffer cells Cec are arranged; an outer peripheral side area Ra in which bonding pads Pa of an outer I/O buffer cells Cea are arranged; and an intermediate region ensured between the inner peripheral side region Rc and the outer peripheral side region Ra in which interface circuits which compose signal I/O buffer cells are arranged and wiring Vw for a power source and wiring Gw for grounding are arranged.

Description

本発明は、半導体集積回路および電子機器に関し、特に、LSI内部回路に対するボンディングパッドの位置が異なる複数種類のI/Oバッファセルを有する半導体集積回路(LSIチップ)において、種類の異なるI/Oバッファセルのうちのいずれを用いるかによって生ずる信号遅延量や電圧降下量の差を無くすことができる構成に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor integrated circuit and an electronic apparatus, and more particularly to different types of I / O buffers in a semiconductor integrated circuit (LSI chip) having a plurality of types of I / O buffer cells having different bonding pad positions with respect to an LSI internal circuit. The present invention relates to a configuration capable of eliminating a difference in signal delay amount and voltage drop amount caused by which of the cells is used.

従来から、半導体集積回路(LSIチップ)には、配線の微細化及び多層化により、演算処理を行うLSI内部回路の配置領域を小さくし、しかも、LSI内部回路の規模に適した電極数を確保するため、LSI内部回路の周囲に配置される電極の配列を千鳥状配列としたものがある。   Conventionally, in semiconductor integrated circuits (LSI chips), the layout area of LSI internal circuits that perform arithmetic processing is reduced by miniaturizing wiring and multilayering, and the number of electrodes suitable for the scale of LSI internal circuits is secured. For this reason, there is a staggered arrangement of electrodes arranged around the LSI internal circuit.

図8は、このような半導体チップの一例として特許文献1に開示の半導体チップを説明する図であり、図8(a)は、この半導体チップの概略構成を示す平面図であり、図8(b)は、この半導体チップを半導体パッケージの本体(以下、パッケージ本体という。)に収容した状態を示す断面図である。   FIG. 8 is a diagram for explaining a semiconductor chip disclosed in Patent Document 1 as an example of such a semiconductor chip, and FIG. 8A is a plan view showing a schematic configuration of this semiconductor chip. b) is a cross-sectional view showing a state in which the semiconductor chip is accommodated in a main body of a semiconductor package (hereinafter referred to as a package main body).

この半導体チップ100は、演算処理を行う内部回路102と、この内部回路の周囲に沿って2列に配置された複数の電極103とを有している。ここで、内部回路102は、複数の個別回路(ユニットセル)101から構成されており、個別回路101は、トランジスタなどの基本的な回路素子を含む設計単位としての回路である。   The semiconductor chip 100 includes an internal circuit 102 that performs arithmetic processing, and a plurality of electrodes 103 that are arranged in two rows along the periphery of the internal circuit. Here, the internal circuit 102 includes a plurality of individual circuits (unit cells) 101. The individual circuit 101 is a circuit as a design unit including basic circuit elements such as transistors.

また、内部回部102の周囲に2列で配置された複数の電極103の配列パターンは、千鳥状パターンとなっており、これらの複数の電極103は、具体的には、チップ内側の列に配置されている信号入出力用電極103aと、チップ外側の列に交互に配置されている電源用電極103b及びグランド用電極103cである。   Further, the arrangement pattern of the plurality of electrodes 103 arranged in two rows around the inner turning portion 102 is a staggered pattern. Specifically, the plurality of electrodes 103 are arranged in a row inside the chip. The signal input / output electrodes 103a are arranged, and the power supply electrodes 103b and the ground electrodes 103c are alternately arranged in a column outside the chip.

このような半導体チップ100をパッケージ本体110に収容し、この半導体チップ100の電極をパッケージ本体110の端子と接続し、このパッケージ本体をパッケージ蓋部材や封止樹脂などにより密封することで、半導体チップを搭載した半導体パッケージが得られる。   Such a semiconductor chip 100 is accommodated in a package main body 110, electrodes of the semiconductor chip 100 are connected to terminals of the package main body 110, and the package main body is sealed with a package lid member, a sealing resin, or the like. Can be obtained.

ここでは、パッケージ本体110の中央部に半導体チップ100が配置され、半導体チップが配置される領域の周囲の第1の配線領域には、共通電源用リング配線111と共通グランド用リング配線112とが、共通グランド用リング配線112が共通電源用リング配線111の外側に位置するよう形成されている。また、半導体チップが配置される領域の周囲の第1の配線領域の外周側には、この第1の配線領域より高さの高い第2の配線領域が形成されており、この第2の配線領域には、入出力用のインナーリード端子113が配置されている。   Here, the semiconductor chip 100 is disposed at the center of the package body 110, and a common power ring wiring 111 and a common ground ring wiring 112 are provided in the first wiring region around the region where the semiconductor chip is disposed. The common ground ring wiring 112 is formed outside the common power supply ring wiring 111. A second wiring region having a height higher than that of the first wiring region is formed on the outer peripheral side of the first wiring region around the region where the semiconductor chip is disposed. In the region, input / output inner lead terminals 113 are arranged.

半導体チップ100の内側に配置されている信号入出力用電極103aは、配線用ワイヤ121でインナーリード113に接続され、半導体チップ100の外側に配置されている電源用電極103bは、配線用ワイヤ122でパッケージ本体110の最内側に配置されている共通電源用リング配線111に接続され,半導体チップ100の外側に配置されているグランド用電極103cは、配線用ワイヤ123で共通電源用リング配線111の外側に配置されている共通グランド用リング配線112に接続されている。   The signal input / output electrode 103 a disposed inside the semiconductor chip 100 is connected to the inner lead 113 by the wiring wire 121, and the power supply electrode 103 b disposed outside the semiconductor chip 100 is connected to the wiring wire 122. The ground electrode 103c connected to the common power supply ring wiring 111 disposed on the innermost side of the package body 110 and disposed outside the semiconductor chip 100 is connected to the common power supply ring wiring 111 by the wiring wire 123. It is connected to the common ground ring wiring 112 arranged outside.

また、LSIチップなどの半導体チップとしては、特許文献1に開示のものの他に、LSI内部回路の周囲に、該LSI内部回路を構成するユニットセルとは、別に、電極パッドを含む入出力バッファセル(I/Oバッファセル)を配置したものもある。   Further, as a semiconductor chip such as an LSI chip, in addition to the semiconductor chip disclosed in Patent Document 1, an input / output buffer cell including an electrode pad around the LSI internal circuit and separately from the unit cell constituting the LSI internal circuit. Some (I / O buffer cells) are arranged.

以下、図9〜図12を用いて、I/Oバッファセルを有する半導体チップ(LSIチップ)について説明する。なお、これらの図では、Cea1、Ceb2、Cea3、Ceb4、Cea5、Ceb6、Cea7、Ceb8はI/Oバッファセルであり、また、Pa1、Pb2、Pa3、Pb4、Pa5、Pb6、Pa7、Pb8は、ボンディングパッドであるが、説明の都合上、I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、I/OバッファセルCeとし、外側I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、外側I/OバッファセルCeaとし、内側I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、内側I/OバッファセルCebとし、外側I/Oバッファセルのボンディングパッドをまとめて説明するときは、ボンディングパッドPaとし、内側I/Oバッファセルのボンディングパッドをまとめて説明するときは、ボンディングパッドPbとする。   Hereinafter, a semiconductor chip (LSI chip) having an I / O buffer cell will be described with reference to FIGS. In these figures, Cea1, Ceb2, Cea3, Ceb4, Cea5, Ceb6, Cea7, and Ceb8 are I / O buffer cells, and Pa1, Pb2, Pa3, Pb4, Pa5, Pb6, Pa7, and Pb8 are Although it is a bonding pad, for convenience of explanation, when I / O buffer cells are collectively described, it is referred to as I / O buffer cell Ce, and when outside I / O buffer cells are collectively described, outer I / O buffer cells are described. When the inner I / O buffer cells are collectively described as the buffer cell Cea, the inner I / O buffer cell Ceb is used. When the bonding pads of the outer I / O buffer cell are described together, the bonding pad Pa is used. When collectively describing the bonding pads of the inner I / O buffer cell, the bonding pads Pb and That.

図9は、このようなI/Oバッファセルを有する半導体チップを説明する平面図であり、この半導体チップの概略構成を示している。   FIG. 9 is a plan view for explaining a semiconductor chip having such an I / O buffer cell, and shows a schematic configuration of the semiconductor chip.

図9に示す半導体チップ200は、論理回路を構成する単位となるユニットセルUcを配列してなる内部回路部(LSI内部回路)200aと、この内部回路部200aの周囲に配列され、外部の回路との間で信号の受け渡しを行うバッファ部200bとを有している。このバッファ部200bは、内部回路部200aに対する位置が異なるボンディングパッドPa及びPbを有する、設計の単位回路としての2種類のI/OバッファセルCea及びCebを含んでいる。ここで、ボンディングパッドPa及びPbはボンディングワイヤ(配線用ワイヤ)が固着される電極パッドである。   A semiconductor chip 200 shown in FIG. 9 is arranged around an internal circuit part (LSI internal circuit) 200a in which unit cells Uc serving as units constituting a logic circuit are arranged, and around the internal circuit part 200a. And a buffer unit 200b for exchanging signals with each other. The buffer unit 200b includes two types of I / O buffer cells Cea and Ceb as unit circuits of a design having bonding pads Pa and Pb that are located at different positions with respect to the internal circuit unit 200a. Here, the bonding pads Pa and Pb are electrode pads to which bonding wires (wiring wires) are fixed.

また、I/OバッファセルCeが配置されているバッファ配置領域BRには、I/OバッファセルCe毎にボンディングパッドPa及びPbが2列に配列されており、外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPaは、バッファ配置領域BRの外周側部分Raに位置し、内側I/OバッファセルCebのボンディングパッドPbは、バッファ配置領域BRの外周側部分Raと内周側部分Rcとの間の中間部分Rbに位置しており、これらのボンディングパッドPa及びPbの配列は千鳥状の配列になっている。   Further, in the buffer arrangement region BR in which the I / O buffer cell Ce is arranged, bonding pads Pa and Pb are arranged in two rows for each I / O buffer cell Ce, and the outer I / O buffer cell Cea The bonding pad Pa is located on the outer peripheral side portion Ra of the buffer arrangement region BR, and the bonding pad Pb of the inner I / O buffer cell Ceb is between the outer peripheral side portion Ra and the inner peripheral side portion Rc of the buffer arrangement region BR. Located in the middle portion Rb, the bonding pads Pa and Pb are arranged in a staggered pattern.

また、LSI内部回路200aの配置領域CRとバッファ配置領域BRとの間には、電源用配線Vwと接地用配線GwとがLSI内部回路200aを囲むように配置されている。   Further, between the arrangement area CR of the LSI internal circuit 200a and the buffer arrangement area BR, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are arranged so as to surround the LSI internal circuit 200a.

図10は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を説明する図であり、I/Oバッファセルとボンディングパッドとの位置関係を示している。   FIG. 10 is a diagram for explaining a detailed configuration of a part (B section) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and shows the positional relationship between the I / O buffer cell and the bonding pad.

この半導体チップ200では、バッファ配置領域BRに配置されている外側I/OバッファセルCea及び内側I/OバッファセルCebには、それぞれボンディングパッドPa及びPbが設けられており、外側I/OバッファセルCea1、Cea3、Cea5、Cea7に対応するボンディングパッドPa1、Pa3、Pa5、Pa7は、バッファ配置領域BRの外周側部分Raに配置され、内側I/OバッファセルCeb2、Ceb4、Ceb6、Ceb8に対応するボンディングパッドPb2、Pb4、Pb6、Pb8は、バッファ配置領域BRの中間部分Rbに配置されている。   In this semiconductor chip 200, the outer I / O buffer cell Cea and the inner I / O buffer cell Ceb arranged in the buffer arrangement region BR are provided with bonding pads Pa and Pb, respectively. Bonding pads Pa1, Pa3, Pa5, Pa7 corresponding to the cells Cea1, Cea3, Cea5, Cea7 are arranged on the outer peripheral portion Ra of the buffer arrangement area BR, and correspond to the inner I / O buffer cells Ceb2, Ceb4, Ceb6, Ceb8. The bonding pads Pb2, Pb4, Pb6, and Pb8 to be performed are arranged in the intermediate portion Rb of the buffer arrangement region BR.

図11は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を説明する図であり、電源用配線及び接地用配線とボンディングパッドとの位置関係を示している。   FIG. 11 is a diagram for explaining a detailed configuration of a part (B section) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and shows the positional relationship between the power supply wiring and ground wiring and the bonding pads.

この半導体チップ200では、I/OバッファセルCea1、Ceb6は電源用I/Oバッファセルであり、I/OバッファセルCea3、Ceb8は接地用I/Oバッファセルであり、I/OバッファセルCea1、Ceb6に対応するボンディングパッドPa1、Pb6は電源用配線Vwに接続され、I/OバッファセルCea3、Ceb8に対応するボンディングパッドPa3、Pb8は接地用配線Gwに接続されている。   In this semiconductor chip 200, the I / O buffer cells Cea1 and Ceb6 are power I / O buffer cells, the I / O buffer cells Cea3 and Ceb8 are ground I / O buffer cells, and the I / O buffer cell Cea1. The bonding pads Pa1 and Pb6 corresponding to Ceb6 are connected to the power supply wiring Vw, and the bonding pads Pa3 and Pb8 corresponding to the I / O buffer cells Cea3 and Ceb8 are connected to the ground wiring Gw.

また、その他のI/OバッファセルCeb2、Ceb4、Cea5、Cea7は信号用I/Oバッファセルであり、これらの信号用I/Oバッファセルに対応するボンディングパッドPb2、Pb4、Pa5、Pa7はLSI内部回路200aと外部の回路との間で信号の受け渡しを行うためのボンディングパッドである。   The other I / O buffer cells Ceb2, Ceb4, Cea5, and Cea7 are signal I / O buffer cells, and bonding pads Pb2, Pb4, Pa5, and Pa7 corresponding to these signal I / O buffer cells are LSIs. This is a bonding pad for transferring a signal between the internal circuit 200a and an external circuit.

図12は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を示す図であり、信号用I/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとインターフェイス用回路(入出力回路)との位置関係を示している。従って、図12では、電源用配線及び接地用配線は、回路の接続関係を説明するために便宜的に示したものであり、実際の位置を示すものではなく、その実際の位置は、図11に示すとおりである。   FIG. 12 is a diagram showing a detailed configuration of a part (part B) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and positions of bonding pads and interface circuits (input / output circuits) in the signal I / O buffer cell. Showing the relationship. Accordingly, in FIG. 12, the power supply wiring and the ground wiring are shown for convenience in explaining the connection relation of the circuit, and do not show the actual positions. The actual positions are shown in FIG. As shown in

この半導体チップ200では、信号用I/OバッファセルCeb2、Cea5は、半導体チップ200のLSI内部回路200aで得られた信号を外部の回路に出力するための出力用I/Oバッファセルであり、これらの出力用I/OバッファセルCeb2、Cea5はそれぞれ、LSI内部回路200aからの信号を増幅したり変換したりインターフェイス回路Fb2、Fa5を有している。また、信号用I/OバッファセルCeb4、Cea7は、外部の回路からの信号をチップ200のLSI内部回路200aに入力する入力用I/Oバッファセルであり、これらの入力用I/OバッファセルCeb4、Cea7はそれぞれ、LSIチップ200の外部に出力する信号を増幅したり変換したりインターフェイス回路Fb4、Fa7を有している。   In this semiconductor chip 200, signal I / O buffer cells Ceb2 and Cea5 are output I / O buffer cells for outputting signals obtained by the LSI internal circuit 200a of the semiconductor chip 200 to an external circuit. These output I / O buffer cells Ceb2 and Cea5 have interface circuits Fb2 and Fa5, respectively, for amplifying and converting signals from the LSI internal circuit 200a. The signal I / O buffer cells Ceb4 and Cea7 are input I / O buffer cells for inputting signals from external circuits to the LSI internal circuit 200a of the chip 200, and these input I / O buffer cells. Ceb4 and Cea7 have interface circuits Fb4 and Fa7, respectively, for amplifying and converting signals output to the outside of the LSI chip 200.

また、各I/OバッファセルCea1、Ceb2、Cea3、Ceb4、Cea5、Ceb6、Cea7、Ceb8は、対応するボンディングパッドPa1、Pb2、Pa3、Pb4、Pa5、Pb6、Pa7、Pb8に印加された静電ノイズがLSI内部回路200aを破壊しないように半導体チップ200外部に逃がす保護回路Da1、Db2、Da3、Db4、Da5、Db6、Da7、Db8を有しており、これらの保護回路は、各I/Oバッファセル毎にバッファ配置領域BRの外周側部分Raに配置されており、対応するI/Oバッファセルのボンディングパッドに接続されている。なお、これらの保護回路は電源用配線Vw及び接地用配線Gwに接続されている。   In addition, each I / O buffer cell Cea1, Ceb2, Cea3, Ceb4, Cea5, Ceb6, Cea7, Ceb8 is electrostatically applied to the corresponding bonding pads Pa1, Pb2, Pa3, Pb4, Pa5, Pb6, Pa7, Pb8. The protection circuits Da1, Db2, Da3, Db4, Da5, Db6, Da7, Db8 are provided to prevent the noise from destroying the LSI internal circuit 200a. Each buffer cell is arranged at the outer peripheral side portion Ra of the buffer arrangement region BR and is connected to the bonding pad of the corresponding I / O buffer cell. These protection circuits are connected to the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw.

このような構成の半導体チップ200についても、図8に示す半導体チップ100と同様、この半導体チップ200を、例えば図8(b)に示すようなパッケージ本体に収容し、各ボンディングパッドをパッケージ本体の配線や端子に接続し、パッケージ本体を密封することにより、半導体チップを搭載した半導体パッケージが得られる。   Also for the semiconductor chip 200 having such a configuration, like the semiconductor chip 100 shown in FIG. 8, the semiconductor chip 200 is accommodated in a package body as shown in FIG. 8B, for example, and each bonding pad is attached to the package body. A semiconductor package on which a semiconductor chip is mounted is obtained by connecting to wiring and terminals and sealing the package body.

この際、半導体チップのボンディングパッドとパッケージ本体の端子との接続は以下のように行われる。例えば、信号用I/OバッファセルCeb2、Ceb4、Cea5、Cea7のボンディングパッドPb2、Pb4、Pa5、Pa7は、ボンディングワイヤによりパッケージ本体の入出力用のインナーリード端子113に接続される。また、電源用バッファセルCea1、Ceb6のボンディングパッドPa1、Pb6が、ボンディングワイヤにより共通電源用リング配線111に接続され、接地用バッファセルCea3、Ceb8のボンディングパッドPa3、Pb8が、ボンディングワイヤにより共通接地用リング配線112に接続される。   At this time, the bonding pads of the semiconductor chip and the terminals of the package body are connected as follows. For example, the bonding pads Pb2, Pb4, Pa5, Pa7 of the signal I / O buffer cells Ceb2, Ceb4, Cea5, Cea7 are connected to the input / output inner lead terminals 113 of the package body by bonding wires. Further, the bonding pads Pa1 and Pb6 of the power supply buffer cells Cea1 and Ceb6 are connected to the common power supply ring wiring 111 by bonding wires, and the bonding pads Pa3 and Pb8 of the grounding buffer cells Cea3 and Ceb8 are connected to the common ground by bonding wires. The ring wiring 112 is connected.

特開平11−87399号公報JP 11-87399 A

しかしながら、近年、LSIの微細化、低消費電力化と、LSIの大規模化、高速化などに伴って、LSI内部での配線抵抗に起因する電圧降下(IRドロップ)による回路の誤動作を防止するための設計が非常に難しくなってきている状況にある。   However, in recent years, with the miniaturization and low power consumption of LSIs, and the increase in scale and speed of LSIs, circuit malfunction due to voltage drop (IR drop) caused by wiring resistance inside the LSI is prevented. Because of this, the design is becoming very difficult.

例えば、図9〜12に示す半導体集積回路(LSIチップ)200では、I/Oバッファセルのボンディングパッドを、半導体チップ200のバッファ配置領域BRの外周側部分Raと中間部分Rbとに分けて千鳥状に配置しており、このため、バッファ配置領域BRの外周側部分RaにボンディングパッドPa1、Pa3、Pa5、Pa7が配置されている外側I/OバッファセルCea1、Cea3、Cea5、Cea7と、ボンディングパッドPb2、Pb4、Pb6、Pb8がバッファ配置領域BRの中間部分Rbに配置されている内側I/OバッファセルCeb2、Ceb4、Ceb6、Ceb8とでは、対応するそれぞれのボンディングパッドからLSI内部回路までの距離が異なる。   For example, in the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 200 shown in FIGS. 9 to 12, the bonding pads of the I / O buffer cell are divided into the outer peripheral side portion Ra and the intermediate portion Rb of the buffer arrangement region BR of the semiconductor chip 200. For this reason, the outer I / O buffer cells Cea1, Cea3, Cea5, Cea7 in which the bonding pads Pa1, Pa3, Pa5, Pa7 are arranged on the outer peripheral side portion Ra of the buffer arrangement region BR, and bonding In the inner I / O buffer cells Ceb2, Ceb4, Ceb6, and Ceb8 in which the pads Pb2, Pb4, Pb6, and Pb8 are arranged in the intermediate portion Rb of the buffer arrangement region BR, the corresponding bonding pads to the LSI internal circuit The distance is different.

このため、上記I/Oバッファセルを信号用I/Oバッファセルとして用いたとき、ボンディングパッドPaがバッファ配置領域BRの外周側部分Raに配置されている外側I/OバッファセルCeaの場合と、ボンディングパッドPbがバッファ配置領域BRの中間部分Rbに配置されている内側I/OバッファセルCebの場合とで、信号の伝達時間や立ち上がり時間などに差が生じる可能性がある。   Therefore, when the I / O buffer cell is used as a signal I / O buffer cell, the bonding pad Pa is an outer I / O buffer cell Cea arranged in the outer peripheral portion Ra of the buffer arrangement region BR. There is a possibility that a difference in signal transmission time, rise time, and the like occurs in the case of the inner I / O buffer cell Ceb in which the bonding pad Pb is arranged in the intermediate portion Rb of the buffer arrangement region BR.

また、電源用I/Oバッファセルとして、対応するボンディングパッドから、LSI内部回路200aの周囲に設けられている電源用配線Vw及び接地用配線Gwまでの距離(配線抵抗)が大きい外側I/Oバッファセルを使用した場合、IRドロップ値が大きくなり、設計制約を満足した回路設計をすることができない可能性がある。   Further, as a power I / O buffer cell, the outer I / O having a large distance (wiring resistance) from the corresponding bonding pad to the power wiring Vw and the ground wiring Gw provided around the LSI internal circuit 200a. When the buffer cell is used, the IR drop value becomes large, and there is a possibility that the circuit design satisfying the design constraint cannot be performed.

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、使用するI/Oバッファセルにおけるボンディングパッドの位置に拘わらず、つまり、ボンディングパッドの位置がLSI内部回路に近いI/Oバッファセルを用いても、あるいはボンディングパッドの位置がLSI内部回路から遠いI/Oバッファセルを用いても、安定した電源電圧の供給と信号の入出力を行うことができる、高速または大電流での動作が可能な半導体集積回路及びこのような半導体集積回路を搭載した電子機器を得ることを目的とする。   The present invention has been made in order to solve such problems. Regardless of the position of the bonding pad in the I / O buffer cell to be used, that is, the position of the bonding pad is close to the LSI internal circuit. High-speed or large current that can supply stable power supply voltage and input / output signals even when using O-buffer cells or using I / O buffer cells whose bonding pads are far from the LSI internal circuit An object of the present invention is to obtain a semiconductor integrated circuit capable of operating in the above and an electronic device equipped with such a semiconductor integrated circuit.

本発明に係る半導体集積回路は、論理回路を構成する内部回路部と、該内部回路部と外部の回路との間で信号の受け渡しを行うバッファ部とを有する半導体集積回路であって、該バッファ部は、電極パッドを有する設計の単位回路として、該電極パッドが該内部回路部に近い内側領域に配置されている内側バッファセルと、該電極パッドが該内部回路部から遠い外側領域に配置されている外側バッファセルとを含み、該内側バッファセル及び該外側バッファセルは、信号の入力あるいは信号の出力を行う入出力回路が、該内側領域と該外側領域との間の中間領域に形成されるよう構成されており、そのことにより上記目的が達成される。   A semiconductor integrated circuit according to the present invention is a semiconductor integrated circuit having an internal circuit section constituting a logic circuit, and a buffer section for transferring signals between the internal circuit section and an external circuit. The unit is designed as a unit circuit having an electrode pad, the inner buffer cell in which the electrode pad is disposed in the inner region near the inner circuit unit, and the electrode pad is disposed in the outer region far from the inner circuit unit. An input / output circuit for inputting a signal or outputting a signal is formed in an intermediate region between the inner region and the outer region. Thus, the above object can be achieved.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内部回路部の周囲に沿って配置された電源用配線及び接地用配線を備え、該電源用配線及び該接地用配線は、前記内側バッファセルの電極パッドの配置領域である内側領域と、前記外側バッファセルの電極パッドの配置領域である外側領域との間に位置するよう、前記中間領域内に配置されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit, the present invention further includes a power supply wiring and a grounding wiring arranged along the periphery of the internal circuit portion, and the power supply wiring and the grounding wiring are electrode pads of the inner buffer cell. It is preferable that it is arranged in the intermediate region so as to be located between the inner region which is the arrangement region of the outer buffer cell and the outer region which is the arrangement region of the electrode pads of the outer buffer cell.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内部回路部の周囲に沿って配置された電源用配線及び接地用配線を備え、該電源用配線及び該接地用配線は、前記内部回路部の配置領域と、前記内側バッファセルの電極パッドの配置領域である内側領域との間に位置するよう、該内側領域より該内部回路部に近い領域に配置されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, the power supply wiring and the grounding wiring are arranged along the periphery of the internal circuit portion, and the power supply wiring and the grounding wiring are arranged in the arrangement region of the internal circuit portion. And an inner region that is an arrangement region of the electrode pads of the inner buffer cell, and is preferably disposed in a region closer to the internal circuit portion than the inner region.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記電源用配線及び前記接地用配線は、単層の導電性層をパターニングして形成してなり、隣接するよう配置されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, it is preferable that the power supply wiring and the ground wiring are formed by patterning a single conductive layer and are arranged adjacent to each other.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記電源用配線と前記接地用配線とは、2層の導電性層をそれぞれパターニングしてなり、上下に重なるよう立体的に配置されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, it is preferable that the power supply wiring and the ground wiring are three-dimensionally arranged so as to overlap each other by patterning two conductive layers.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内側バッファセル及び前記外側バッファセルはそれぞれ、対応する電極パッドの下側の領域に形成され、該電極パッドに印加された静電ノイズから前記内部回路部を保護する保護回路を有することが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor integrated circuit, each of the inner buffer cell and the outer buffer cell is formed in a region below a corresponding electrode pad, and the internal circuit portion is detected from electrostatic noise applied to the electrode pad. It is preferable to have a protection circuit that protects.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記入出力回路は、前記電源用配線及び前記接地用配線により駆動電源が供給されるようこれらの配線に接続されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the aspect of the invention, it is preferable that the input / output circuit is connected to the power supply wiring and the ground wiring so that driving power is supplied to the wiring.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内側領域に配置された複数の内側バッファセルの電極パッドと、前記外側領域に配置された複数の外側バッファセルの電極パッドとの配列パターンは、千鳥状配列パターンとなっていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, the arrangement pattern of the electrode pads of the plurality of inner buffer cells arranged in the inner region and the electrode pads of the plurality of outer buffer cells arranged in the outer region is staggered. An array pattern is preferred.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内部回路部は、前記論理回路を構成する単位回路である基本セルを配列してなるものであることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, it is preferable that the internal circuit portion is formed by arranging basic cells that are unit circuits constituting the logic circuit.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内側バッファセルの入出力回路から前記内部回路部への信号配線は、該内側バッファセルに隣接する外側バッファセルを経由するよう形成されていることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, the signal wiring from the input / output circuit of the inner buffer cell to the internal circuit section is preferably formed so as to pass through the outer buffer cell adjacent to the inner buffer cell. .

本発明は、上記半導体集積回路において、前記複数の内側バッファセルのうちの、前記電源用配線に電源を供給する電源用バッファセルから該電源用配線への配線は、該電源用バッファセルに隣接する外側バッファセルを経由するよう形成されていることが好ましい。   According to the present invention, in the semiconductor integrated circuit, a wiring from the power buffer cell that supplies power to the power wiring among the plurality of inner buffer cells to the power wiring is adjacent to the power buffer cell. The outer buffer cell is preferably formed so as to pass through.

本発明は、上記半導体集積回路において、前記内部回路部への信号の入出力は、全て前記外側バッファセルにより行われ、前記電源用配線への電源の供給及び前記接地用配線の接地電位の設定は、全て前記外側バッファセルにより行われるよう構成したものであることが好ましい。   In the semiconductor integrated circuit according to the present invention, input / output of signals to / from the internal circuit unit is all performed by the outer buffer cell, and power supply to the power supply wiring and setting of a ground potential of the ground wiring are performed. Are preferably configured to be performed by the outer buffer cell.

本発明に係る電子機器は、上述した本発明に係る半導体集積回路を備えたものであり、そのことにより上記目的が達成される。   An electronic apparatus according to the present invention includes the above-described semiconductor integrated circuit according to the present invention, whereby the above-described object is achieved.

次に作用について説明する。   Next, the operation will be described.

本発明においては、半導体集積回路において、内部回路部と外部の回路との間のバッファ部を構成する、電極パッドを有する設計の単位回路として、電極パッドが該内部回路部に近い内側領域に配置されている内側バッファセルと、電極パッドが該内部回路部から遠い外側領域に配置されている外側バッファセルとを備え、内側バッファセル及び外側バッファセルを、信号の入力あるいは信号の出力を行う入出力回路が、上記内側領域と上記外側領域との間の中間領域に形成されるよう構成したので、内側バッファセル及び外側バッファセルにおける入出力回路から内部回路部までの距離が実質的に等しくなり、内側バッファセルと外側バッファセルとでボンディングパッドの位置が異なることによる信号遅延量の差を無くすことができる。   In the present invention, in a semiconductor integrated circuit, as a unit circuit of a design having an electrode pad that constitutes a buffer portion between an internal circuit portion and an external circuit, the electrode pad is disposed in an inner region near the internal circuit portion. An inner buffer cell, and an outer buffer cell in which an electrode pad is disposed in an outer region far from the inner circuit portion. The inner buffer cell and the outer buffer cell are connected to each other for input of signals or output of signals. Since the output circuit is formed in an intermediate region between the inner region and the outer region, the distance from the input / output circuit to the internal circuit portion in the inner buffer cell and the outer buffer cell is substantially equal. The difference in signal delay due to the position of the bonding pad between the inner buffer cell and the outer buffer cell can be eliminated.

これにより、使用するバッファセルのボンディングパッドの位置に拘わらず、安定した信号の入出力を行うことが可能となり、バッファセルを用いたバッファ部の設計の自由度が高くなる。   This makes it possible to perform stable signal input / output regardless of the position of the bonding pad of the buffer cell to be used, and increases the degree of freedom in designing the buffer unit using the buffer cell.

また、本発明においては、信号の入力あるいは信号の出力を行う入出力回路を、内側バッファセルの電極パッドが配置される内側領域と、外側バッファセルの電極パッドが配置される外側領域との間に配置しているので、ウエハテストのプロービングや半導体チップをパッケージへ組み込む際のワイヤボンディングにより、電極パッド下へのダメージをあまり考慮する必要がなくなる。   In the present invention, the input / output circuit for inputting or outputting signals is provided between the inner region where the electrode pads of the inner buffer cells are arranged and the outer region where the electrode pads of the outer buffer cells are arranged. Therefore, it is not necessary to consider much damage under the electrode pad by wafer test probing or wire bonding when a semiconductor chip is incorporated into a package.

また、本発明においては、上記半導体集積回路において、電源用配線及び接地用配線を、内側バッファセルの電極パッドの配置領域である内側領域と、外側バッファセルの電極パッドの配置領域である外側領域との間に位置するよう配置しているので、内側バッファセル及び外側バッファセルにおける電極パッドから電源用配線及び接地用配線までの距離が実質的に等しくなり、内側バッファセルと外側バッファセルとでボンディングパッドの位置が異なることによる電圧降下量の差を無くすことができる。   According to the present invention, in the semiconductor integrated circuit, the power supply wiring and the ground wiring are arranged in an inner region that is an electrode pad arrangement region of the inner buffer cell and an outer region that is an electrode pad arrangement region of the outer buffer cell. The distance from the electrode pad to the power supply wiring and the ground wiring in the inner buffer cell and the outer buffer cell is substantially equal, and the inner buffer cell and the outer buffer cell Differences in voltage drop due to different bonding pad positions can be eliminated.

特に、内側バッファセルを用いた場合の配線抵抗と、外側バッファセルを用いた場合の配線抵抗とが実質的に同一になっていることから、外側バッファセルを多く使用した場合のバッファ部での配線抵抗の増大を回避でき、また、外側バッファセルを多く使用した場合と内側バッファセルを多く使用した場合とで、配線経路の違いによる信号の伝達時間や立ち上がり時間の大きな差が生ずるのを回避できる。   In particular, the wiring resistance when the inner buffer cell is used is substantially the same as the wiring resistance when the outer buffer cell is used. Increase in wiring resistance can be avoided, and avoidance of large differences in signal transmission time and rise time due to differences in wiring path between when many outer buffer cells are used and when many inner buffer cells are used it can.

これにより、使用するバッファセルのボンディングパッドの位置に拘わらず、安定した電源電圧の供給を行うことが可能となり、バッファセルを用いたバッファ部の設計の自由度が高くなる。   Accordingly, it is possible to supply a stable power supply voltage regardless of the position of the bonding pad of the buffer cell to be used, and the degree of freedom in designing the buffer unit using the buffer cell is increased.

また、本発明においては、内側バッファセル及び外側バッファセルでは、対応する電極パッドの下側の領域に、該電極パッドに印加された静電ノイズから内部回路部を保護する保護回路を配置しているので、外部から静電ノイズなどが加わった際には電極パッド直下の保護回路が直ぐに動作し、内部回路部への悪影響、つまり内部回路部を構成する半導体素子の破壊などを素早く防ぐことができる。   In the present invention, in the inner buffer cell and the outer buffer cell, a protection circuit that protects the internal circuit portion from electrostatic noise applied to the electrode pad is disposed in a region below the corresponding electrode pad. Therefore, when electrostatic noise or the like is applied from the outside, the protection circuit immediately below the electrode pad operates immediately, and it is possible to quickly prevent adverse effects on the internal circuit part, that is, destruction of the semiconductor elements constituting the internal circuit part. it can.

また、ウエハテスト時のプロービングやワイヤボンディングの際に電極パッド下へのダメージが多少あった場合でも、この保護回路は内部回路部の動作には関係ないものであるので、内部回路部での信号処理に影響しない。   Even if there is some damage under the electrode pad during probing or wire bonding during wafer test, this protection circuit is not related to the operation of the internal circuit part. Does not affect processing.

また、本発明においては、内側領域に配置された複数の内側バッファセルの電極パッドと、外側領域に配置された複数の外側バッファセルの電極パッドとがなす配列パターンを千鳥状配列パターンとしているので、内側バッファセルの電極パッドと外側バッファセルの電極パッドとの干渉を回避して、これらの電極パッドの配列ピッチを狭めることができ、これにより、内部回路部の周りに配置される電極数を増大させることができる。   In the present invention, the array pattern formed by the electrode pads of the plurality of inner buffer cells arranged in the inner region and the electrode pads of the plurality of outer buffer cells arranged in the outer region is a staggered arrangement pattern. By avoiding interference between the electrode pads of the inner buffer cell and the electrode pads of the outer buffer cell, the arrangement pitch of these electrode pads can be narrowed, thereby reducing the number of electrodes arranged around the internal circuit portion. Can be increased.

以上のように、本発明によれば、半導体集積回路において、内部回路部と外部の回路との間のバッファ部を構成する、電極パッドを有する設計の単位回路として、電極パッドが内部回路部に近い内側領域に配置されている内側バッファセルと、電極パッドが内部回路部から遠い外側領域に配置されている外側バッファセルとを備え、内側バッファセル及び該外側バッファセルを、その信号の入力あるいは信号の出力を行う入出力回路が、該内側領域と該外側領域との間の中間領域に形成されるよう構成したので、使用するバッファセルにおける電極パッドの位置に拘わらず、つまり、ボンディングパッドの位置が内部回路部に近い内側バッファセルを用いても、あるいはボンディングパッドの位置が内部回路部から遠い外側バッファセルを用いても、安定した電源電圧の供給と信号の入出力を行うことができる、高速または大電流での動作が可能な半導体集積回路及びこのような半導体集積回路を搭載した電子機器を実現することができる。   As described above, according to the present invention, in a semiconductor integrated circuit, as a unit circuit of a design having an electrode pad that constitutes a buffer unit between an internal circuit unit and an external circuit, the electrode pad is formed in the internal circuit unit. An inner buffer cell disposed in a near inner region and an outer buffer cell in which an electrode pad is disposed in an outer region far from the internal circuit portion, and the inner buffer cell and the outer buffer cell are connected to the signal input or Since the input / output circuit for outputting a signal is formed in an intermediate region between the inner region and the outer region, regardless of the position of the electrode pad in the buffer cell to be used, that is, the bonding pad Even if the inner buffer cell is located close to the internal circuit, or the outer buffer cell where the bonding pad is far from the internal circuit is used. However, it is possible to realize a semiconductor integrated circuit capable of supplying a stable power supply voltage and inputting / outputting a signal and capable of operating at a high speed or a large current and an electronic device equipped with such a semiconductor integrated circuit. it can.

図1は、本発明の実施形態1による半導体集積回路(半導体チップ)を説明する平面図であり、該半導体チップとしてのLSIチップの概略構成を示している。FIG. 1 is a plan view for explaining a semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a schematic configuration of an LSI chip as the semiconductor chip. 図2は、本発明の実施形態1による半導体集積回路(半導体チップ)の一部(図1のA部)を示す図であり、半導体チップのI/OバッファセルとこのI/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとの位置関係を示している。FIG. 2 is a diagram showing a part (part A of FIG. 1) of the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) according to Embodiment 1 of the present invention. In the I / O buffer cell of the semiconductor chip and the I / O buffer cell, The positional relationship with the bonding pad is shown. 図3は、本発明の実施形態1による半導体集積回路(半導体チップ)の一部(図1のA部)を示す図であり、電源用配線及び接地用配線とI/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとの位置関係を示している。FIG. 3 is a diagram showing a part of the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) (part A of FIG. 1) according to Embodiment 1 of the present invention, and includes a power supply wiring, a ground wiring, and a bonding pad in the I / O buffer cell. The positional relationship is shown. 図4は、本発明の実施形態1による半導体集積回路(半導体チップ)の一部(図1のA部)を示す図であり、信号用I/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとインターフェイス用回路との位置関係を示している。FIG. 4 is a view showing a part of the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) (part A in FIG. 1) according to the first embodiment of the present invention, and shows the bonding pad and interface circuit in the signal I / O buffer cell. The positional relationship is shown. 図5は、本発明の実施形態2による半導体集積回路(半導体チップ)を説明する平面図であり、該半導体チップとしてのLSIチップの概略構成を示している。FIG. 5 is a plan view for explaining a semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) according to Embodiment 2 of the present invention, and shows a schematic configuration of an LSI chip as the semiconductor chip. 図6は、本発明の実施形態2による半導体集積回路(半導体チップ)の一部(図5のA1部)を示す図であり、電源用配線及び接地用配線とI/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとの位置関係を示している。FIG. 6 is a view showing a part of the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) (part A1 in FIG. 5) according to Embodiment 2 of the present invention, and includes a power supply line, a ground line, and a bonding pad in the I / O buffer cell. The positional relationship is shown. 図7は、本発明の実施形態3による電子機器を説明する図である。FIG. 7 is a diagram for explaining an electronic apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. 図8は、特許文献1に開示の半導体チップを説明する図であり、図8(a)は、この半導体チップの概略構成を示す平面図であり、図8(b)は、この半導体チップをパッケージ本体に収容した状態を示す断面図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a semiconductor chip disclosed in Patent Document 1. FIG. 8A is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor chip. FIG. 8B is a diagram illustrating the semiconductor chip. It is sectional drawing which shows the state accommodated in the package main body. 図9は、従来のI/Oバッファセルを有する半導体チップを説明する図であり、この半導体チップの概略構成を示す平面図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a semiconductor chip having a conventional I / O buffer cell, and is a plan view showing a schematic configuration of the semiconductor chip. 図10は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を示す図であり、I/Oバッファセルとボンディングパッドとの位置関係を示している。FIG. 10 is a diagram showing a detailed configuration of a part (B section) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and shows the positional relationship between the I / O buffer cells and the bonding pads. 図11は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を示す図であり、電源用配線及び接地用配線とボンディングパッドとの位置関係を示している。FIG. 11 is a diagram showing a detailed configuration of a part (part B) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and shows the positional relationship between the power supply wiring and ground wiring and the bonding pads. 図12は、図9に示す半導体チップ200の一部(B部)の詳細な構成を示す図であり、信号用I/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとインターフェイス用回路との位置関係を示している。FIG. 12 is a diagram showing a detailed configuration of a part (B section) of the semiconductor chip 200 shown in FIG. 9, and shows the positional relationship between the bonding pad and the interface circuit in the signal I / O buffer cell. .

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1〜図4は、本発明の実施形態1による半導体集積回路を説明する図である。
(Embodiment 1)
1 to 4 are diagrams for explaining a semiconductor integrated circuit according to Embodiment 1 of the present invention.

なお、これらの図では、Cea1、Cec2、Cea3、Cec4、Cea5、Cec6、Cea7、Cec8はI/Oバッファセルであり、また、Pa1、Pc2、Pa3、Pc4、Pa5、Pc6、Pa7、Pc8は、ボンディングパッドであるが、説明の都合上、I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、I/OバッファセルCeとし、外側I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、外側I/OバッファセルCeaとし、内側I/Oバッファセルをまとめて説明するときは、内側I/OバッファセルCecとし、外側I/Oバッファセルのボンディングパッドをまとめて説明するときは、ボンディングパッドPaとし、内側I/Oバッファセルのボンディングパッドをまとめて説明するときは、ボンディングパッドPcとする。   In these drawings, Cea1, Cec2, Cea3, Cec4, Cea5, Cec6, Cea7, and Cec8 are I / O buffer cells, and Pa1, Pc2, Pa3, Pc4, Pa5, Pc6, Pa7, and Pc8 are Although it is a bonding pad, for convenience of explanation, when I / O buffer cells are collectively described, it is referred to as I / O buffer cell Ce, and when outside I / O buffer cells are collectively described, outer I / O buffer cells are described. When the inner I / O buffer cells are collectively described as the buffer cell Cea, the inner I / O buffer cell Cec is used. When the bonding pads of the outer I / O buffer cell are collectively described, the bonding pad Pa is used. When collectively describing the bonding pads of the inner I / O buffer cell, the bonding pads Pc and That.

以下、本実施形態1について詳しく説明する。   Hereinafter, the first embodiment will be described in detail.

図1は本発明の実施形態1による半導体集積回路を説明する平面図であり、この半導体集積回路である半導体チップ(LSIチップ)の概略構造を示している。図2は、図1に示す半導体チップ10の一部(A部)の詳細な構成を示す図であり、I/Oバッファセルとボンディングパッドとの位置関係を示している。   FIG. 1 is a plan view for explaining a semiconductor integrated circuit according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a schematic structure of a semiconductor chip (LSI chip) which is the semiconductor integrated circuit. FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of a part (part A) of the semiconductor chip 10 shown in FIG. 1, and shows the positional relationship between the I / O buffer cells and the bonding pads.

この実施形態1による半導体チップ(LSIチップ)10は、論理回路を構成する単位となる基本セルUcを配列してなる内部回路部(LSI内部回路)10aと、該LSI内部回路10aと外部の回路(図示せず)との間で信号の受け渡しを行うバッファ部10bとを有している。   The semiconductor chip (LSI chip) 10 according to the first embodiment includes an internal circuit unit (LSI internal circuit) 10a in which basic cells Uc serving as units constituting a logic circuit are arranged, and the LSI internal circuit 10a and external circuits. (Not shown) and a buffer unit 10b for exchanging signals with it.

このバッファ部10bは、ボンディングワイヤが接続される電極パッド(ボンディングパッド)を有する設計の単位回路、つまりI/OバッファセルCeとして、ボンディングパッドPcがLSI内部回路10aに近い近傍位置に配置されている複数の内側I/OバッファセルCecと、ボンディングパッドPaがLSI内部回路10aから遠い遠方位置に配置されている複数の外側I/OバッファセルCeaとを含んでいる。   The buffer unit 10b is a unit circuit having an electrode pad (bonding pad) to which a bonding wire is connected, that is, an I / O buffer cell Ce, and the bonding pad Pc is disposed in the vicinity of the LSI internal circuit 10a. A plurality of inner I / O buffer cells Cec, and a plurality of outer I / O buffer cells Cea in which the bonding pad Pa is located far from the LSI internal circuit 10a.

図1のA部分(図2参照)について説明すると、これらのI/Oバッファセルが配置されているバッファ配置領域BRには、例えば、I/OバッファセルCea1、Cec2、Cea3、Cec4、Cea5、Cec6、Cea7、Cec8毎にボンディングパッドPa1、Pc2、Pa3、Pc4、Pa5、Pc6、Pa7、Pc8が千鳥状に配列されている。   Referring to part A of FIG. 1 (see FIG. 2), for example, the I / O buffer cells Cea1, Cec2, Cea3, Cec4, Cea5 are arranged in the buffer arrangement region BR in which these I / O buffer cells are arranged. Bonding pads Pa1, Pc2, Pa3, Pc4, Pa5, Pc6, Pa7, and Pc8 are arranged in a staggered manner for each of Cec6, Cea7, and Cec8.

つまり、この半導体チップ10のバッファ配置領域BRに配置されているI/OバッファセルCea1、Ceb2、Cea3、Ceb4、Cea5、Ceb6、Cea7、Ceb8には、それぞれボンディングパッドPa1、Pc2、Pa3、Pc4、Pa5、Pc6、Pa7、Pc8が設けられており、外側I/OバッファセルCea1、Cea3、Cea5、Cea7に対応するボンディングパッドPa1、Pa3、Pa5、Pa7は、バッファ配置領域BRの外周側部分(外側領域)Raに配置され、内側I/OバッファセルCec2、Cec4、Cec6、Cec8に対応するボンディングパッドPc2、Pc4、Pc6、Pc8は、バッファ配置領域BRの内周側部分(内側領域)Rcに配置されている。   That is, the I / O buffer cells Cea1, Ceb2, Cea3, Ceb4, Cea5, Ceb6, Cea7, and Ceb8 arranged in the buffer arrangement region BR of the semiconductor chip 10 have bonding pads Pa1, Pc2, Pa3, Pc4, Pa5, Pc6, Pa7, and Pc8 are provided, and bonding pads Pa1, Pa3, Pa5, and Pa7 corresponding to the outer I / O buffer cells Cea1, Cea3, Cea5, and Cea7 are outer peripheral side portions (outside of the buffer arrangement region BR). The bonding pads Pc2, Pc4, Pc6, and Pc8 corresponding to the inner I / O buffer cells Cec2, Cec4, Cec6, and Cec8 are arranged in the inner peripheral side portion (inner region) Rc of the buffer arrangement region BR. Has been.

また、図1に示すように、バッファ配置領域BRの外周側部分Raと内周側部分Rcとの間に確保したスペースである中間部分(中間領域)RB上には、電源用配線Vwと接地用配線GwとがLSI内部回路10aを囲むように環状に配置されている。なお、図2では、これらの電源用配線Vw及び接地用配線Gwは示していない。   Further, as shown in FIG. 1, on the intermediate portion (intermediate region) RB which is a space secured between the outer peripheral portion Ra and the inner peripheral portion Rc of the buffer arrangement region BR, the power supply wiring Vw and the ground The wiring line Gw is annularly arranged so as to surround the LSI internal circuit 10a. In FIG. 2, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are not shown.

ここで、電源用配線Vw及び接地用配線Gwは、単層の導電性層をパターニングして形成してなり、互いに隣接するよう配置されている。ただし、電源用配線Vw及び接地用配線Gwは、2層の導電性層をそれぞれパターニングしてなり、上下に重なるよう立体的に配置したものでもよい。   Here, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are formed by patterning a single conductive layer, and are disposed adjacent to each other. However, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw may be formed by patterning two conductive layers, and three-dimensionally arranged so as to overlap each other.

図3は、図1に示す半導体チップ10の一部(A部)の詳細な構成を示す図であり、電源用配線及び接地用配線とボンディングパッドとの位置関係を示している。   FIG. 3 is a diagram showing a detailed configuration of a part (part A) of the semiconductor chip 10 shown in FIG. 1, and shows the positional relationship between the power supply wiring and ground wiring and the bonding pads.

この半導体チップ10では、例えば、外側I/OバッファセルCea1及び内側I/OバッファセルCec6は電源用バッファセルであり、外側I/OバッファセルCea3及び内側I/OバッファセルCec8は接地用バッファセルであり、I/OバッファセルCea1、Cec6に対応するボンディングパッドPa1、Pc6は電源用配線Vwに接続され、I/OバッファセルCea3、Cec8に対応するボンディングパッドPa3、Pc8は接地用配線Gwに接続されている。   In this semiconductor chip 10, for example, the outer I / O buffer cell Cea1 and the inner I / O buffer cell Cec6 are power supply buffer cells, and the outer I / O buffer cell Cea3 and the inner I / O buffer cell Cec8 are ground buffers. The bonding pads Pa1 and Pc6 corresponding to the I / O buffer cells Cea1 and Cec6 are connected to the power supply wiring Vw, and the bonding pads Pa3 and Pc8 corresponding to the I / O buffer cells Cea3 and Cec8 are connected to the ground wiring Gw. It is connected to the.

また、内側I/OバッファセルCec2、Cec4及び外側I/OバッファセルCea5、Cea7は信号用I/Oバッファセルであり、これらの信号用I/Oバッファセルに対応するボンディングパッドPc2、Pc4、Pa5、Pa7はLSI内部回路10aと外部の回路(図示せず)との間で信号の受け渡しを行うためのボンディングパッドである。   The inner I / O buffer cells Cec2 and Cec4 and the outer I / O buffer cells Cea5 and Cea7 are signal I / O buffer cells, and bonding pads Pc2, Pc4, Pa5 and Pa7 are bonding pads for passing signals between the LSI internal circuit 10a and an external circuit (not shown).

図4は、図1に示す半導体チップ10の一部(A部)の詳細な構成を示す図であり、信号用I/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとインターフェイス用回路との位置関係を示している。従って、図4では、電源用配線及び接地用配線は、回路の接続関係を説明するために便宜的に示したものであり、実際の位置を示すものではなく、その実際の位置は、図3に示すとおりである。   FIG. 4 is a diagram showing a detailed configuration of a part (part A) of the semiconductor chip 10 shown in FIG. 1, and shows the positional relationship between the bonding pad and the interface circuit in the signal I / O buffer cell. . Therefore, in FIG. 4, the power supply wiring and the ground wiring are shown for convenience in explaining the connection relation of the circuit, and do not show the actual positions. The actual positions are shown in FIG. As shown in

この半導体チップ10では、例えば、信号用I/OバッファセルCec4、Cea7は、半導体チップ10のLSI内部回路10aで得られた信号を外部の回路に出力するための出力用I/Oバッファセルであり、これらの出力用I/OバッファセルCeb4、Cea7はそれぞれ、LSI内部回路10aからの信号を増幅したり変換したりするインターフェイス回路Fc4、Fa7を有している。また、信号用I/OバッファセルCec2、Cea5は、外部の回路からの信号をチップ10のLSI内部回路10aに入力する入力用I/Oバッファセルであり、これらの入力用I/OバッファセルCec2、Cea5はそれぞれ、LSI内部回路10aに入力する信号を増幅したり変換したりするインターフェイス回路Fc2、Fa5を有している。これらのインターフェイス回路Fc2、Fc4、Fa5、Fa7は、電源用配線Vw及び接地用配線Gwにより駆動電源が供給されるようこれらの配線に接続されている。   In this semiconductor chip 10, for example, signal I / O buffer cells Cec4 and Cea7 are output I / O buffer cells for outputting signals obtained by the LSI internal circuit 10a of the semiconductor chip 10 to an external circuit. These output I / O buffer cells Ceb4 and Cea7 have interface circuits Fc4 and Fa7 for amplifying and converting signals from the LSI internal circuit 10a, respectively. The signal I / O buffer cells Cec2 and Cea5 are input I / O buffer cells for inputting a signal from an external circuit to the LSI internal circuit 10a of the chip 10, and these input I / O buffer cells. Each of Cec2 and Cea5 has interface circuits Fc2 and Fa5 for amplifying and converting a signal input to the LSI internal circuit 10a. These interface circuits Fc2, Fc4, Fa5, and Fa7 are connected to these wirings so that driving power is supplied by the power wiring Vw and the ground wiring Gw.

ここでは、内側I/OバッファセルCec2、Cec4のインターフェイス回路Fc2、Fc4からLSI内部回路10aへの信号配線は、内側I/Oバッファセルに隣接する外側I/OバッファセルCea1、Cea3を経由したものとしている。また、外側I/OバッファセルCea5、Cea7のボンディングパッドPa5、Pa7とLSI内部回路10aとの間の信号配線は、これらの外側I/Oバッファセル内に配置される。従って、各信号用I/OバッファセルとLSI内部回路との間の配線が全て外側I/Oバッファセルを経由したものとなる。   Here, the signal wiring from the interface circuits Fc2 and Fc4 of the inner I / O buffer cells Cec2 and Cec4 to the LSI internal circuit 10a passes through the outer I / O buffer cells Cea1 and Cea3 adjacent to the inner I / O buffer cell. It is supposed to be. Further, signal wirings between the bonding pads Pa5 and Pa7 of the outer I / O buffer cells Cea5 and Cea7 and the LSI internal circuit 10a are arranged in these outer I / O buffer cells. Accordingly, all the wirings between the signal I / O buffer cells and the LSI internal circuit go through the outer I / O buffer cells.

また、各I/OバッファセルCea1、Cec2、Cea3、Cec4、Cea5、Cec6、Cea7、Cec8は、対応するボンディングパッドPa1、Pc2、Pa3、Pc4、Pa5、Pc6、Pa7、Pc8に印加された静電ノイズがLSI内部回路10aを破壊しないように半導体チップ10の外部に逃がす保護回路Da1、Dc2、Da3、Dc4、Da5、Dc6、Da7、Dc8を有しており、これらの保護回路は、各I/OバッファセルCea1、Cec2、Cea3、Cec4、Cea5、Cec6、Cea7、Cec8のボンディングパッドの直下の領域に配置されており、対応するI/Oバッファセルのボンディングパッドに接続されている。なお、これらの保護回路は電源用配線Vw及び接地用配線Gwに接続されている。   In addition, each I / O buffer cell Cea1, Cec2, Cea3, Cec4, Cea5, Cec6, Cea7, Cec8 is electrostatically applied to the corresponding bonding pads Pa1, Pc2, Pa3, Pc4, Pa5, Pc6, Pa7, Pc8. Protection circuits Da1, Dc2, Da3, Dc4, Da5, Dc6, Da7, and Dc8 are provided to prevent the noise from destroying the LSI internal circuit 10a. The O buffer cells Cea1, Cec2, Cea3, Cec4, Cea5, Cec6, Cea7, and Cec8 are arranged in regions immediately below the bonding pads of the corresponding I / O buffer cells. These protection circuits are connected to the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw.

このような構成の半導体チップ10についても、図8に示す半導体チップ100と同様、この半導体チップ10を、例えば図8(b)に示すようなパッケージ本体に収容し、各ボンディングパッドをパッケージ本体の配線や端子に接続し、パッケージ蓋部材や封止樹脂により密封することにより、半導体チップを搭載した半導体パッケージを得ることができる。   For the semiconductor chip 10 having such a configuration, like the semiconductor chip 100 shown in FIG. 8, the semiconductor chip 10 is accommodated in, for example, a package body as shown in FIG. A semiconductor package on which a semiconductor chip is mounted can be obtained by connecting to wiring and terminals and sealing with a package lid member or a sealing resin.

この際、半導体チップのボンディングパッドとパッケージ本体の端子との接続は以下のように行われる。例えば、信号用I/OバッファセルCec2、Cec4、Cea5、Cea7のボンディングパッドPc2、Pc4、Pa5、Pa7は、配線用ワイヤによりパッケージ本体の入出力用のインナーリード端子113に接続される。また、電源用バッファセルCea1、Ceb6のボンディングパッドPa1、Pc6のいずれかあるいはその両方が、配線用ワイヤにより共通電源用リング配線111に接続され、接地用バッファセルCea3、Cec8のボンディングパッドPa3、Pc8のいずれかあるいはその両方が、配線用ワイヤにより共通接地用リング配線112に接続される。   At this time, the bonding pads of the semiconductor chip and the terminals of the package body are connected as follows. For example, the bonding pads Pc2, Pc4, Pa5, and Pa7 of the signal I / O buffer cells Cec2, Cec4, Cea5, and Cea7 are connected to the input / output inner lead terminals 113 of the package main body by wiring wires. In addition, one or both of the bonding pads Pa1 and Pc6 of the power supply buffer cells Cea1 and Ceb6 are connected to the common power supply ring wiring 111 by wiring wires, and the bonding pads Pa3 and Pc8 of the grounding buffer cells Cea3 and Cec8 are connected. Either or both of these are connected to the common ground ring wiring 112 by a wiring wire.

次に作用効果について説明する。   Next, the function and effect will be described.

本実施形態1では、半導体集積回路10において、内部回路LSI(内部回路部)10aと外部の回路との間のバッファ部10bを構成する、ボンディングパッドを有する設計の単位回路として、ボンディングパッドPcがLSI内部回路10aに近い内周側部分Rcに配置されている内側I/OバッファセルCecと、ボンディングパッドPaがLSI内部回路10aから遠い外周側部分Raに配置されている外側I/OバッファセルCeaとを備え、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaを、信号の入力あるいは信号の出力を行うインターフェイス回路が、内周側部分Rcと外周側部分Raとの間に確保したスペースである中間部分Rbに形成されるよう構成しているので、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaのそれぞれにおけるインターフェイス回路からLSI内部回路までの距離が実質的に同一となり、内側I/Oバッファセルと外側I/Oバッファセルとでボンディングパッドの位置が異なることによる信号遅延量の差を無くすことができる。   In the first embodiment, in the semiconductor integrated circuit 10, a bonding pad Pc is used as a unit circuit having a bonding pad that constitutes a buffer unit 10b between an internal circuit LSI (internal circuit unit) 10a and an external circuit. An inner I / O buffer cell Cec disposed in the inner peripheral portion Rc close to the LSI internal circuit 10a and an outer I / O buffer cell in which the bonding pad Pa is disposed in the outer peripheral portion Ra far from the LSI internal circuit 10a. And an interface circuit for inputting or outputting signals between the inner peripheral portion Rc and the outer peripheral portion Ra. The inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea are secured between the inner peripheral portion Rc and the outer peripheral portion Ra. The intermediate I / O buffer cell Cec and the intermediate I / O buffer cell Signals resulting from the fact that the distance from the interface circuit to the LSI internal circuit in each of the outer I / O buffer cells Cea is substantially the same, and the bonding pad positions are different between the inner I / O buffer cell and the outer I / O buffer cell. The difference in delay amount can be eliminated.

また、電源用配線Vw及び接地用配線Gwを、内側I/OバッファセルCecのボンディングパッドPcの配置領域である内周側部分Rcと、外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPaの配置領域である外周側部分Raとの間に位置するよう配置しているので、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaにおけるそれぞれのボンディングパッドPc、Paから電源用配線Vw及び接地用配線Gwまでの距離が実質的に等しくなり、内側I/OバッファセルCecと外側I/OバッファセルCeaとでボンディングパッドの位置が異なることによる電圧降下量の差を無くすことができる。   Further, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are arranged with the inner peripheral portion Rc, which is the arrangement area of the bonding pad Pc of the inner I / O buffer cell Cec, and the arrangement area of the bonding pad Pa, of the outer I / O buffer cell Cea. Are arranged so as to be positioned between the outer peripheral side portion Ra and the power supply wiring Vw and grounding from the respective bonding pads Pc and Pa in the inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea. The distances to the wiring Gw are substantially equal, and the difference in voltage drop due to the bonding pad position being different between the inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea can be eliminated.

これにより、使用するバッファセルのボンディングパッドの位置に拘わらず、安定した信号の入出力、及び安定した電源電圧の供給を行うことが可能となり、I/OバッファセルCeを用いたバッファ部10bの設計の自由度が高くなる。   This makes it possible to perform stable signal input / output and supply of a stable power supply voltage regardless of the position of the bonding pad of the buffer cell to be used, and the buffer unit 10b using the I / O buffer cell Ce. Increased design freedom.

また、本実施形態では、信号の入力あるいは信号の出力を行うインターフェイス回路Fc2、Fc4、Fa5、Fa7を、内側I/OバッファセルCecのボンディングパッドPcが配置される内周側部分Rcと、外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPaが配置される外周側部分Raとの間に配置しているので、ウエハテストのプロービングやパッケージへ組み込む際のワイヤボンディングにより、ボンディングパッド下へのダメージをあまり考慮する必要がなくなる。   In the present embodiment, the interface circuits Fc2, Fc4, Fa5, and Fa7 for inputting or outputting signals are divided into an inner peripheral portion Rc where the bonding pad Pc of the inner I / O buffer cell Cec is disposed, and an outer portion. Since it is disposed between the I / O buffer cell Cea and the outer peripheral side portion Ra where the bonding pad Pa is disposed, the damage under the bonding pad is less caused by probing of the wafer test or wire bonding when incorporating into the package. No need to consider.

また、本実施形態では、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaでは、対応するボンディングパッドの下側の領域に、該ボンディングパッドに印加された静電ノイズからLSI内部回路10aを保護する保護回路を配置しているので、外部から静電ノイズなどが加わった際にはボンディングパッド直下の保護回路が直ぐに動作し、LSI内部回路10aへの悪影響、つまりLSI内部回路10aを構成する半導体素子の破壊などを素早く防ぐことができる。   In the present embodiment, in the inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea, the LSI internal circuit 10a is formed in the region below the corresponding bonding pad from the electrostatic noise applied to the bonding pad. Since a protection circuit for protecting the circuit is arranged, when electrostatic noise or the like is applied from the outside, the protection circuit immediately below the bonding pad operates immediately, and adversely affects the LSI internal circuit 10a, that is, configures the LSI internal circuit 10a. It is possible to quickly prevent the destruction of the semiconductor element to be performed.

また、ウエハテスト時のプロービングやワイヤボンディングの際に電極パッド下へのダメージが多少あった場合でも、この保護回路はLSI内部回路10aの動作には関係ないものであるので、LSI内部回路での信号処理に影響しない。   Even if there is some damage under the electrode pad during probing or wire bonding during the wafer test, this protection circuit is not related to the operation of the LSI internal circuit 10a. Does not affect signal processing.

また、本実施形態では、内周側部分Rcに配置された複数の内側I/OバッファセルCecのボンディングパッドPcと、外周側部分Raに配置された複数の外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPaとがなす配列パターンを千鳥状配列パターンとしているので、内側I/OバッファセルCecのボンディングパッドPcと外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPaとの干渉を回避して、これらのボンディングパッドの配列ピッチを狭めることができ、これにより、LSI内部回路10aの周りに配置される電極数(ボンディングパッドの数)を増大させることができる。   In the present embodiment, the bonding pads Pc of the plurality of inner I / O buffer cells Cec disposed in the inner peripheral portion Rc and the bonding of the plurality of outer I / O buffer cells Cea disposed in the outer peripheral portion Ra. Since the arrangement pattern formed by the pads Pa is a staggered arrangement pattern, interference between the bonding pad Pc of the inner I / O buffer cell Cec and the bonding pad Pa of the outer I / O buffer cell Cea is avoided, and the bonding is performed. The arrangement pitch of the pads can be narrowed, whereby the number of electrodes (number of bonding pads) arranged around the LSI internal circuit 10a can be increased.

さらには、この実施形態1のLSIチップ10では、内側I/OバッファセルCecを用いた場合の配線抵抗と、外側I/OバッファセルCeaを用いた場合の配線抵抗とが実質的に同一になっているので、外側I/OバッファセルCeaを多く使用した場合のバッファ部10bでの配線抵抗の増大を回避でき、また、外側I/OバッファセルCeaを使用した場合と内側I/OバッファセルCecを使用した場合とで、配線経路の違いによる信号の伝達時間や立ち上がり時間の差が生ずるのを回避できる。   Furthermore, in the LSI chip 10 of the first embodiment, the wiring resistance when the inner I / O buffer cell Cec is used and the wiring resistance when the outer I / O buffer cell Cea are used are substantially the same. Therefore, it is possible to avoid an increase in wiring resistance in the buffer unit 10b when many outside I / O buffer cells Cea are used, and when the outside I / O buffer cells Cea are used and inside I / O buffers. It is possible to avoid the occurrence of a difference in signal transmission time and rise time due to a difference in wiring path between the case where the cell Cec is used.

つまり、従来、電源用I/Oバッファセルについては、内側I/Oバッファセルに比べて外側I/Oバッファセルを用いた方が配線抵抗がより大きくなっていた。そのため、外側I/Oバッファセルを多く使用した場合、バッファ部での抵抗値が大きくなってしまい、LSIチップ全体のIRドロップに大きな影響を与え、設計制約を満足した回路設計ができない場合があった。また、信号用I/Oバッファセルについては、外側I/Oバッファセルを用いた場合と内側I/Oバッファセルを用いた場合とでは配線経路に違いがあるため、信号の伝達時間や立ち上がり時間などに差が生じていたが、この実施形態1のLSIチップでは、上記のような配線経路に違いが生じても、配線抵抗の差は生じないので、このような問題は解決されている。   In other words, conventionally, for the power I / O buffer cell, the wiring resistance is higher when the outer I / O buffer cell is used than when the inner I / O buffer cell is used. For this reason, when many outside I / O buffer cells are used, the resistance value in the buffer section becomes large, greatly affecting the IR drop of the entire LSI chip, and circuit design that satisfies the design constraints may not be possible. It was. As for the signal I / O buffer cell, there is a difference in the wiring path between the case where the outer I / O buffer cell is used and the case where the inner I / O buffer cell is used. However, in the LSI chip of the first embodiment, such a problem is solved because there is no difference in wiring resistance even if there is a difference in the wiring path as described above.

このように本実施形態1による半導体集積回路(半導体チップ)10では、論理回路を構成するLSI内部回路10aと、該LSI内部回路10aと外部の回路との間で信号の受け渡しを行うバッファ部10bとを備え、該バッファ部10bを構成するI/OバッファセルCeとして、ボンディングパッドPcの位置がLSI内部回路10aに近い内側I/OバッファセルCecと、ボンディングパッドPaの位置がLSI内部回路10aから遠い外側I/OバッファセルCeaとを、これらのI/OバッファセルCec、CeaのボンディングパッドPc、Paの配列が千鳥状配列となり、かつ内側I/OバッファセルCecのボンディングパッドの配置領域と外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドの配置領域の間にスペース(中間領域)Rbが確保されるよう交互に配列し、信号用I/Oバッファセルでは、確保したスペースに内部とのインターフェイス回路を配置したので、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaのボンディングパッドPc及びPaの配列を千鳥状配列とした場合でも、ボンディングパッドからLSI内部回路10aまでの配線経路における配線抵抗の違いを気にすることなく、LSIチップにおける端子(パッケージ本体の電極やリード)の配置を決めることが可能となる。   As described above, in the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) 10 according to the first embodiment, the LSI internal circuit 10a constituting the logic circuit, and the buffer unit 10b for exchanging signals between the LSI internal circuit 10a and the external circuit. As the I / O buffer cell Ce constituting the buffer unit 10b, the position of the bonding pad Pc is close to the LSI internal circuit 10a, and the position of the bonding pad Pa is the LSI internal circuit 10a. The outer I / O buffer cell Cea far from the I / O buffer cell Cec, the bonding pads Pc, Pa of the Cea are arranged in a staggered arrangement, and the bonding pad arrangement region of the inner I / O buffer cell Cec And a space between the bonding pads of the outer I / O buffer cell Cea (Intermediate region) Rb is alternately arranged so as to be secured, and in the signal I / O buffer cell, since the interface circuit with the inside is arranged in the secured space, the inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O Even when the bonding pads Pc and Pa of the buffer cell Cea are arranged in a staggered pattern, the terminals (package body) in the LSI chip can be used without worrying about the wiring resistance difference in the wiring path from the bonding pad to the LSI internal circuit 10a. The arrangement of the electrodes and leads) can be determined.

従って、LSIチップにおける端子配置を変更した場合でも、バッファ部での電圧降下量の変化を再検討する必要がなく、不要に開発期間が延びることを防止する効果がある。   Therefore, even when the terminal arrangement in the LSI chip is changed, there is no need to reexamine the change in the voltage drop amount in the buffer unit, and there is an effect of preventing the development period from being unnecessarily extended.

なお、上記実施形態1では、半導体集積回路として、電源用配線Vw及び接地用配線Gwをバッファ配置領域BG内の中間部分Rbに配置したものを示したが、電源用配線Vw及び接地用配線Gwはバッファ配置領域BGとLSI内部回路10aとの間に配置してよく、このような構成の半導体集積回路(LSIチップ)を、以下、実施形態2として説明する。
(実施形態2)
図5は、本発明の実施形態2による半導体集積回路(半導体チップ)を説明する平面図であり、該半導体チップとしてのLSIチップの概略構成を示している。
In the first embodiment, as the semiconductor integrated circuit, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are arranged in the intermediate portion Rb in the buffer arrangement region BG. However, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw are shown. May be arranged between the buffer arrangement region BG and the LSI internal circuit 10a, and a semiconductor integrated circuit (LSI chip) having such a configuration will be described below as a second embodiment.
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a plan view for explaining a semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) according to Embodiment 2 of the present invention, and shows a schematic configuration of an LSI chip as the semiconductor chip.

図6は、本発明の実施形態2による半導体集積回路(半導体チップ)の一部(図5のA1部)を示す図であり、電源用配線及び接地用配線とI/Oバッファセルにおけるボンディングパッドとの位置関係を示している。   FIG. 6 is a view showing a part of the semiconductor integrated circuit (semiconductor chip) (part A1 in FIG. 5) according to Embodiment 2 of the present invention, and includes a power supply line, a ground line, and a bonding pad in the I / O buffer cell. The positional relationship is shown.

この実施形態2の半導体集積回路(LSIチップ)20は、実施形態1の半導体集積回路(LSIチップ)10における、電源用配線Vw及び接地用配線Gwをバッファ配置領域BR内の中間部分Rbに配置した構成に代えて、電源用配線Vw及び接地用配線Gwをバッファ配置領域BRとLSI内部回路10aの配置領域CRとの間に配置した構成を備えたものであり、また、この実施形態2では、外側I/OバッファセルCea1及び内側I/OバッファセルCec2を電源用I/Oバッファセルとし、外側I/OバッファセルCea7及び内側I/OバッファセルCec8を接地用I/Oバッファセルとしている。   In the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 20 according to the second embodiment, the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw in the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 10 according to the first embodiment are arranged in the intermediate portion Rb in the buffer arrangement region BR. Instead of the configuration described above, the power supply wiring Vw and the grounding wiring Gw are provided between the buffer arrangement region BR and the arrangement region CR of the LSI internal circuit 10a. The outer I / O buffer cell Cea1 and the inner I / O buffer cell Cec2 are power I / O buffer cells, and the outer I / O buffer cell Cea7 and the inner I / O buffer cell Cec8 are ground I / O buffer cells. Yes.

従って、外側I/OバッファセルCea1のボンディングパッドPa1はこのI/OバッファセルCea1により電源用配線Vwに接続され、内側I/OバッファセルCec2のボンディングパッドPc2は、これに隣接する外側I/OバッファセルCea1を経由して電源用配線Vwに接続されている。   Accordingly, the bonding pad Pa1 of the outer I / O buffer cell Cea1 is connected to the power supply wiring Vw by the I / O buffer cell Cea1, and the bonding pad Pc2 of the inner I / O buffer cell Cec2 is connected to the outer I / O buffer cell Cec1. It is connected to the power supply wiring Vw via the O buffer cell Cea1.

また、外側I/OバッファセルCea7のボンディングパッドPa7はこのI/OバッファセルCea7により接地用配線Gwに接続され、内側I/OバッファセルCec8のボンディングパッドPc8は、これに隣接する外側I/OバッファセルCea7を経由して接地用配線Gwに接続されている。   The bonding pad Pa7 of the outer I / O buffer cell Cea7 is connected to the ground wiring Gw by the I / O buffer cell Cea7, and the bonding pad Pc8 of the inner I / O buffer cell Cec8 is connected to the outer I / O buffer cell Cec7. It is connected to the ground wiring Gw via the O buffer cell Cea7.

また、この実施形態2の半導体集積回路(LSIチップ)20では、外側I/OバッファセルCea3,Cea5及び内側I/OバッファセルCec4、Cec6は、信号用I/Oバッファセルとしている。但し、図6では、インターフェイス回路は示していない。   In the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 20 of the second embodiment, the outer I / O buffer cells Cea3 and Cea5 and the inner I / O buffer cells Cec4 and Cec6 are signal I / O buffer cells. However, the interface circuit is not shown in FIG.

このように本実施形態2では、電源用I/Oバッファセルから電源用配線Vwへの電源の供給は、図6に示すように、内側I/OバッファセルCec2からの電源供給も外側I/OバッファセルCea1からの電源供給についても、外側I/Oバッファセルを経由して行われることとなる。   As described above, in the second embodiment, power is supplied from the power I / O buffer cell to the power supply wiring Vw as shown in FIG. 6, as is the power supply from the inner I / O buffer cell Cec2. The power supply from the O buffer cell Cea1 is also performed via the outer I / O buffer cell.

本実施形態2による半導体集積回路(LSIチップ)20におけるその他の構成は、実施形態1における半導体集積回路(LSIチップ)10と同一である。   Other configurations of the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 20 according to the second embodiment are the same as those of the semiconductor integrated circuit (LSI chip) 10 according to the first embodiment.

このような構成の実施形態2においても、内側I/OバッファセルCec及び外側I/OバッファセルCeaにおけるボンディングパッドから電源用配線Vw及び接地用配線Gwまでの距離が実質的に等しくなり、内側I/OバッファセルCecと外側I/OバッファセルCeaとでボンディングパッドの位置が異なることによる電圧降下量の差を無くすことができる。   Also in the second embodiment having such a configuration, the distances from the bonding pads to the power supply wiring Vw and the ground wiring Gw in the inner I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea are substantially equal, It is possible to eliminate the difference in the amount of voltage drop caused by the bonding pad position being different between the I / O buffer cell Cec and the outer I / O buffer cell Cea.

さらに、上記実施形態1及び2では、特に説明しなかったが、上記実施形態1及び2の半導体集積回路(LSIチップ)は、携帯電話やコンピュータなどの電子情報機器、さらに、マイクロコンピュータなどを搭載した家電機器などの電子機器に用いられている半導体集積回路として用いることができ、実施形態3として、実施形態1あるいは実施形態2の半導体集積回路を搭載した電子機器について説明する。
(実施形態3)
図7は、本発明の実施形態3による電子機器を説明する図である。
Further, although not specifically described in the first and second embodiments, the semiconductor integrated circuit (LSI chip) of the first and second embodiments includes an electronic information device such as a mobile phone or a computer, and a microcomputer. The third embodiment will be described as an electronic device in which the semiconductor integrated circuit according to the first embodiment or the second embodiment is mounted as a semiconductor integrated circuit used in an electronic device such as a home appliance.
(Embodiment 3)
FIG. 7 is a diagram for explaining an electronic apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.

図7に示す本実施形態3による電子機器90は、本発明の実施形態1及び2のLSIチップ10及び20の少なくとも1つを、この電子機器90を構成する以下の各部の少なくとも1つに搭載したものである。   The electronic device 90 according to the third embodiment shown in FIG. 7 has at least one of the LSI chips 10 and 20 according to the first and second embodiments of the present invention mounted on at least one of the following components constituting the electronic device 90. It is a thing.

ここで、電子機器90は、操作者による情報入力を行うための入力操作部90aと、入力操作部90aから入力された入力情報を記録する記録メディアなどのメモリ部92と、この入力情報を液晶表示画面などの表示画面上に表示する液晶表示装置などの表示部93と、この入力情報を用いた通信処理を行う送受信装置などの通信部94と、この入力情報を印刷(印字)して出力(プリントアウト)する画像出力部95とのうちの少なくともいずれかを有している。   Here, the electronic device 90 includes an input operation unit 90a for inputting information by the operator, a memory unit 92 such as a recording medium for recording the input information input from the input operation unit 90a, and the input information as liquid crystal. A display unit 93 such as a liquid crystal display device that is displayed on a display screen such as a display screen, a communication unit 94 such as a transmission / reception device that performs communication processing using the input information, and prints and outputs the input information. It has at least one of the image output part 95 to (print out).

また、この電子情報機器90は、被写体の撮影を行う撮像部91を有していてもよく、この場合は、記録メディアなどのメモリ部92が、撮像部91により得られた画像データを記録用に所定の信号処理した後にデータ記録し、上記表示部93が、この画像データに対して表示用に所定の信号処理を施した後に液晶表示画面などの表示画面上に表示し、通信部94が、この画像データに対して通信用に所定の信号処理を施した後にこの画像データに対する通信処理を行い、画像出力部95がこの画像データを印刷(印字)して出力(プリントアウト)するようにしてもよい。   In addition, the electronic information device 90 may include an imaging unit 91 that captures an image of a subject. In this case, a memory unit 92 such as a recording medium records image data obtained by the imaging unit 91 for recording. Data is recorded after predetermined signal processing, and the display unit 93 performs predetermined signal processing for display on the image data and displays it on a display screen such as a liquid crystal display screen. Then, after performing predetermined signal processing for communication on the image data, communication processing is performed on the image data, and the image output unit 95 prints (prints) and outputs (prints out) the image data. May be.

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。   As mentioned above, although this invention has been illustrated using preferable embodiment of this invention, this invention should not be limited and limited to this embodiment. It is understood that the scope of the present invention should be construed only by the claims. It is understood that those skilled in the art can implement an equivalent range based on the description of the present invention and the common general technical knowledge from the description of specific preferred embodiments of the present invention. Patents, patent applications, and documents cited herein should be incorporated by reference in their entirety, as if the contents themselves were specifically described herein. Understood.

本発明は、LSI内部回路のバッファ部を構成する単位設計回路として、能動回路及びボンディングパッドを含むI/Oバッファセルを備え、I/Oバッファセルのボンディングパッドの配列を千鳥状配列とした半導体集積回路、およびこのような半導体集積回路を搭載した電子機器の分野において、使用するボンディングパッドの位置、つまり使用するI/Oバッファセルに拘わらず、安定した電源電圧の供給と信号の入出力を行うことができるものであり、高速または大電流での動作が要求される半導体集積回路及びこのような半導体集積回路を搭載した電子機器として極めて有用なものを実現できるものである。   The present invention includes a semiconductor having an I / O buffer cell including an active circuit and bonding pads as a unit design circuit constituting a buffer section of an LSI internal circuit, and the bonding pads of the I / O buffer cells being arranged in a staggered arrangement. In the field of integrated circuits and electronic devices equipped with such semiconductor integrated circuits, stable power supply voltage supply and signal input / output are possible regardless of the position of the bonding pad used, that is, the I / O buffer cell used. Therefore, it is possible to realize a semiconductor integrated circuit that is required to operate at a high speed or with a large current and an electronic device equipped with such a semiconductor integrated circuit.

10、20 半導体集積回路(LSIチップ)
10a LSI内部回路
10b バッファ部
90 電子情報機器
91 撮像部
92 メモリ部
93 表示部
94 通信部
95 画像出力部
BR バッファ配置領域
Ce I/Oバッファセル
Cea、Cea1、Cea3、Cea5、Cea7 外側I/Oバッファセル
Cec、Cec2、Cec4、Cec6、Cec8 内側I/Oバッファセル
CR 内部回路配置領域
Da1、Db2、Da3、Db4、Da5、Db6、Da7、Db8 保護回路
Fa5、Fa7、Fb2、Fb4 インターフェイス回路(入出力回路)
Gw 接地用配線
Pa、Pb、Pa1、Pb2、Pa3、Pb4、Pa5、Pb6、Pa7、Pb8 ボンディングパッド(電極パッド)
Ra 外周側部分(外側領域)
Rb 中間部分(中間領域)
Rc 内周側部分(内側領域)
Uc 基本セル
Vw 電源用配線
10, 20 Semiconductor integrated circuit (LSI chip)
10a LSI internal circuit 10b Buffer unit 90 Electronic information device 91 Imaging unit 92 Memory unit 93 Display unit 94 Communication unit 95 Image output unit BR buffer arrangement area Ce I / O buffer cells Cea, Cea1, Cea3, Cea5, Cea7 Outer I / O Buffer cell Cec, Cec2, Cec4, Cec6, Cec8 Inside I / O buffer cell CR Internal circuit layout area Da1, Db2, Da3, Db4, Da5, Db6, Da7, Db8 protection circuit Fa5, Fa7, Fb2, Fb4 interface circuit (input Output circuit)
Gw Grounding wiring Pa, Pb, Pa1, Pb2, Pa3, Pb4, Pa5, Pb6, Pa7, Pb8 Bonding pads (electrode pads)
Ra Outer peripheral part (outer area)
Rb middle part (middle region)
Rc Inner peripheral part (inner area)
Uc Basic cell Vw Power supply wiring

Claims (13)

論理回路を構成する内部回路部と、該内部回路部と外部の回路との間で信号の受け渡しを行うバッファ部とを有する半導体集積回路であって、
該バッファ部は、電極パッドを有する設計の単位回路として、該電極パッドが該内部回路部に近い内側領域に配置されている内側バッファセルと、該電極パッドが該内部回路部から遠い外側領域に配置されている外側バッファセルとを含み、
該内側バッファセル及び該外側バッファセルは、信号の入力あるいは信号の出力を行う入出力回路が、該内側領域と該外側領域との間の中間領域に形成されるよう構成されている、半導体集積回路。
A semiconductor integrated circuit having an internal circuit part constituting a logic circuit and a buffer part for transferring a signal between the internal circuit part and an external circuit,
The buffer unit is designed as a unit circuit having an electrode pad, an inner buffer cell in which the electrode pad is disposed in an inner region near the internal circuit unit, and an outer region in which the electrode pad is far from the internal circuit unit. An outer buffer cell being disposed,
The inner buffer cell and the outer buffer cell are configured such that an input / output circuit for inputting or outputting a signal is formed in an intermediate region between the inner region and the outer region. circuit.
請求項1に記載の半導体集積回路において、
前記内部回路部の周囲に沿って配置された電源用配線及び接地用配線を備え、
該電源用配線及び該接地用配線は、
前記内側バッファセルの電極パッドの配置領域である内側領域と、前記外側バッファセルの電極パッドの配置領域である外側領域との間に位置するよう、前記中間領域内に配置されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1,
Power supply wiring and grounding wiring arranged along the periphery of the internal circuit section,
The power supply wiring and the grounding wiring are:
A semiconductor integrated circuit disposed in the intermediate region so as to be positioned between an inner region that is an electrode pad region of the inner buffer cell and an outer region that is an electrode pad region of the outer buffer cell. circuit.
請求項1に記載の半導体集積回路において、
前記内部回路部の周囲に沿って配置された電源用配線及び接地用配線を備え、
該電源用配線及び該接地用配線は、
前記内部回路部の配置領域と、前記内側バッファセルの電極パッドの配置領域である内側領域との間に位置するよう、該内側領域より該内部回路部に近い領域に配置されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 1,
Power supply wiring and grounding wiring arranged along the periphery of the internal circuit section,
The power supply wiring and the grounding wiring are:
Semiconductor integrated circuit disposed in a region closer to the internal circuit portion than the inner region so as to be positioned between the inner circuit region and the inner region that is the electrode pad arrangement region of the inner buffer cell circuit.
請求項2または請求項3に記載の半導体集積回路において、
前記電源用配線及び前記接地用配線は、単層の導電性層をパターニングして形成してなり、隣接するよう配置されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 2 or claim 3,
The power supply wiring and the ground wiring are formed by patterning a single conductive layer, and are disposed adjacent to each other.
請求項2または請求項3に記載の半導体集積回路において、
前記電源用配線と前記接地用配線とは、2層の導電性層をそれぞれパターニングしてなり、上下に重なるよう立体的に配置されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 2 or claim 3,
The power supply wiring and the ground wiring are formed by patterning two conductive layers, and are three-dimensionally arranged so as to overlap each other.
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記内側バッファセル及び前記外側バッファセルはそれぞれ、対応する電極パッドの下側の領域に形成され、該電極パッドに印加された静電ノイズから前記内部回路部を保護する保護回路を有する、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 5,
Each of the inner buffer cell and the outer buffer cell is formed in a region below the corresponding electrode pad, and includes a protection circuit that protects the internal circuit portion from electrostatic noise applied to the electrode pad. circuit.
請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記入出力回路は、前記電源用配線及び前記接地用配線により駆動電源が供給されるようこれらの配線に接続されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 2 to 6,
The input / output circuit is a semiconductor integrated circuit connected to these wirings so that driving power is supplied by the power wiring and the ground wiring.
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記内側領域に配置された複数の内側バッファセルの電極パッドと、前記外側領域に配置された複数の外側バッファセルの電極パッドとの配列パターンは、千鳥状配列パターンとなっている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 7,
A semiconductor integrated circuit in which an arrangement pattern of electrode pads of a plurality of inner buffer cells arranged in the inner area and an electrode pad of a plurality of outer buffer cells arranged in the outer area is a staggered arrangement pattern .
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記内部回路部は、前記論理回路を構成する単位回路である基本セルを配列してなるものである、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 8,
The internal circuit unit is a semiconductor integrated circuit formed by arranging basic cells that are unit circuits constituting the logic circuit.
請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記内側バッファセルの入出力回路から前記内部回路部への信号配線は、該内側バッファセルに隣接する外側バッファセルを経由するよう形成されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 8,
The signal wiring from the input / output circuit of the inner buffer cell to the internal circuit unit is formed so as to pass through the outer buffer cell adjacent to the inner buffer cell.
請求項3に記載の半導体集積回路において、
前記複数の内側バッファセルのうちの、前記電源用配線に電源を供給する電源用バッファセルから該電源用配線への配線は、該電源用バッファセルに隣接する外側バッファセルを経由するよう形成されている、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 3,
Of the plurality of inner buffer cells, the wiring from the power supply buffer cell that supplies power to the power supply wiring to the power supply wiring is formed so as to pass through the outer buffer cell adjacent to the power supply buffer cell. A semiconductor integrated circuit.
請求項1から請求項9、及び請求項11のいずれか1項に記載の半導体集積回路において、
前記内部回路部への信号の入出力は、全て前記外側バッファセルにより行われ、
前記電源用配線への電源の供給及び前記接地用配線の接地電位の設定は、全て前記外側バッファセルにより行われるよう構成した、半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 9 and claim 11,
Input / output of signals to / from the internal circuit unit is all performed by the outer buffer cell,
A semiconductor integrated circuit configured such that the supply of power to the power wiring and the setting of the ground potential of the ground wiring are all performed by the outer buffer cell.
請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の半導体集積回路を備えた電子機器。   An electronic apparatus comprising the semiconductor integrated circuit according to any one of claims 1 to 12.
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CN113838815A (en) * 2021-09-23 2021-12-24 西安紫光国芯半导体有限公司 Substrate and chip assembly

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