JP2013134015A - クリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来よりも省エネルギ可能なクリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法を提供する。
【解決手段】クリーンルーム５０を備え、クリーンルーム５０に供給されるエア風量が制御可能なクリーンルーム設備１００であって、クリーンルーム５０内の塵埃数を計測する塵埃センサ１２と、クリーンルーム５０内の温度を計測する温度センサ１３と、クリーンルーム５０にエアを供給するファン１５と、塵埃センサ１２によって計測されるクリーンルーム５０内の塵埃数と、温度センサ１３によって計測されるクリーンルーム５０内の温度と、に基づいて、クリーンルーム５０に供給する風量を決定し、決定された風量になるようにファン１５を制御する風量制御部１４と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム設備。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法に関する。

バイロジカルクリーンルームや半導体製造用クリーンルーム等のクリーンルームは、清浄な環境が要求される用途に利用されている。このようなクリーンルームの具体的な構成を図７に示す。図７に示すように、従来のクリーンルーム設備２００は、主に、作業者が作業を行うクリーンルーム５０と、クリーンルーム５０に設けられるファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１５と、ドライコイル（Ｄ／Ｃ）３と、を備えている。クリーンルーム５０内には、例えば半導体等を生産する製造装置１１が設置されている。また、クリーンルーム５０の床はメッシュ状のグレーチング２が設けられている。

そして、このような構成を有するクリーンルーム設備２００においては、図７の白抜き矢印の方向に風が通流する。この風の流れは、ファンフィルタユニット１５に備えられたファン（図示しない）によって生じるものである。具体的なエアの流れとしては、ファンフィルタユニット１５から供給される清浄で温度が制御されたエアは、製造装置１１等から発生した塵埃及び熱を、グレーチング２を通過させてクリーンルーム５０の室外に排出させる。これにより、クリーンルーム５０内は清浄に維持され、また、室内の温度が制御される。

そして、クリーンルーム５０の室外に排出された塵埃及び熱を含むエアは、ドライコイル３によって熱が除去されて冷却される。その後、依然として塵埃を含むエアは、クリーンルーム５０の外を上方に向かう。そして、ファンフィルタユニット１５に備えられるＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter；図示しない）により塵埃が除去された後、塵埃除去後のエアが再度クリーンルーム５０内に供給される。これらの制御は、図示しない制御コントローラにより行われる。このように、クリーンルーム設備２００においては、エアがクリーンルーム５０内外を循環している。しかも、クリーンルーム５０に供給されるエアは、清浄であるとともに、その温度が制御されたものである。

そして、このような技術に関連して、例えば特許文献１に記載の技術が知られている。

特許第３２７６５８７号公報

従来のクリーンルーム設備２００においては、クリーンルーム５０内に設置された製造装置１１から発生する熱や塵埃量を、設備の設置前に正確に把握することが難しい。そのため、確実に塵埃及び熱を室外に排出する観点から、ファンフィルタユニット１５により室内に供給されるエアの量が多めに設定されていることが多い。従って、所定の基準よりも清浄度が高くなるように設計されていることが多い。即ち、クリーンルーム５０内が過度に清浄になっていることが多い。

さらには、従来のクリーンルーム設備２００においては、製造装置１１の運転が停止され、塵埃及び熱の発生量が抑えられている状態でも、一定の風量でファンフィルタユニット１５が運転される。その結果、必要以上にファンフィルタユニット１５が運転している状態となっており、エネルギを無駄に消費している。また、前記した特許文献１に記載の技術においても、無駄なエネルギの消費については考慮されていない。

本発明は前記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、従来よりも省エネルギ可能なクリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法を提供することにある。

本発明者らは前記課題を解決するべく鋭意検討した結果、クリーンルーム内に存在する塵埃量及びクリーンルーム内の温度に応じてクリーンルームに供給される清浄なエアの量を変更することで前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。

本発明によれば、従来よりも省エネルギ可能なクリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法を提供することができる。

本実施形態のクリーンルーム設備を説明する図である。 本実施形態の風量制御方法を示すフローチャートである。 クリーンルーム内に存在する実際の塵埃数と、塵埃センサによって計測される計測値との関係を示すグラフである。 クリーンルームにおける、各クラスで許容される塵埃数を示す図である。 各風量パターンでの運転時の塵埃数についての計測値及び推定値の関係を示す図である。 本実施形態のクリーンルーム設備についての変更例を示す図である。 従来のクリーンルーム設備を説明する図である。

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（本実施形態）を説明する。はじめに、本実施形態のクリーンルーム設備１００及び制御コントローラ（風量制御装置）１４の構成を説明する。その後、風量制御装置１４による、クリーンルーム設備１００における風量制御方法を説明する。なお、図７を参照しながら前記した各手段と同様のものは同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

＜構成＞
まず、図１に示すように、クリーンルーム設備１００は、二つのクリーンルーム５０ａ，５０ｂを備えて構成されている。従って、クリーンルーム５０ａ，５０ｂのそれぞれにおいてファンフィルタユニット１５ａ，１５ｂを制御することで、クリーンルーム５０ａ，５０ｂに供給される風量を独立に制御可能になっている。そして、それぞれの領域で行われる風量制御の方法は同様であるため、本実施形態の説明の簡略化のために、以下の説明では単一の符号を用いて説明する。具体的には例えば、「二つのクリーンルーム５０ａ，５０ｂ」をまとめ、「クリーンルーム５０」と記載して本実施形態を説明する。

本実施形態のクリーンルーム設備１００は、図１に示すように、クリーンルーム５０（５０ａ，５０ｂ）と、２台のドライコイル３と、を備えて構成される。クリーンルーム５０には、例えば半導体の製造装置等の塵埃及び熱の発生源となる製造装置１１（１１ａ，１１ｂ）が備えられている。また、クリーンルーム５０の床として、グレーチング２が設けられている。

グレーチング２は、金属製のメッシュ状板である。グレーチング２がクリーンルーム５０の床に設けられていることにより、クリーンルーム５０からムラ無くエアを室外へ排出することができる。

ドライコイル（Ｄ／Ｃ）３は、クリーンルーム５０から排出されたエアが有する熱を除去するものである。即ち、ドライコイル３にクリーンルーム５０から排出されたエアが供給されることで、エアの温度を低下させることができる。このようなドライコイル３は、例えば熱交換器等により構成される。

また、クリーンルーム５０には、クリーンルーム５０内の塵埃数を計測する塵埃センサ１２（１２ａ，１２ｂ）と、クリーンルーム５０内の温度を計測する温度センサ１３（１３ａ，１３ｂ）と、クリーンルーム５０に清浄なエアを供給するファンフィルタユニット１５（１５ａ，１５ｂ）と、が備えられている。

さらに、クリーンルーム設備１００は、制御コントローラ（風量制御装置）１４を備えている。制御コントローラ１４は、塵埃センサ１２及び温度センサ１３により計測される塵埃数及び温度の計測結果に基づいて供給風量を決定し、当該風量となるようにファンフィルタユニット１５を制御する。また、制御コントローラ１４は、塵埃センサ１２、温度センサ１３及びファンフィルタユニット１５に対し、図示しない電気信号線を介して接続されている。

塵埃センサ１２は、例えばパーティクルカウンタ等であり、クリーンルーム５０内の塵埃数を計測する。また、温度センサ１３は、例えばサーミスタ等であり、クリーンルーム５０内の温度を計測する。いずれも、任意のものが適用可能である。制御コントローラ１４は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）等を備えて構成される。

制御コントローラ１４は、入力ユニット１４１と、シミュレーションモジュール１４２と、設定出力モジュール１４３と、を備えて構成される。

入力ユニット１４１は、前記した電気信号線を通じて、塵埃センサ１２により計測されるクリーンルーム５０内の塵埃数計測値と、温度センサ１３により計測されるクリーンルーム５０内の温度計測値とが、入力されるものである。そして、入力された各計測値は、後記するシミュレーションモジュール１４２に伝達される。

シミュレーションモジュール１４２は、入力ユニット１４１に入力された塵埃数計測値と温度計測値に基づき、クリーンルーム５０に供給される風量を決定するものである。具体的な決定方法については、＜風量制御方法＞の項目において後記する。そして、決定された風量は、後記する設定出力モジュール１４３に伝達される。

設定出力モジュール１４３は、前記のシミュレーションモジュール１４２により決定された風量となるように、ファンフィルタユニット１５を制御するものである。具体的には、設定出力モジュール１４３は、決定された風量となるように、インバータ制御されるファン（詳細は後記する）の回転速度を制御するようになっている。これにより、シミュレーションモジュール１４２で決定された風量が、クリーンルーム５０内に供給される。

ファンフィルタユニット１５は、いずれも図示しないが、クリーンルーム５０内に室外からエアを供給するためのファン、並びに、室外のエアから塵埃を除去するＨＥＰＡフィルタ等を備えて構成される。なお、本実施形態においては、ファンフィルタユニット１５に備えられるファンは、インバータ制御されるものである。即ち、ファンの回転速度を低下させることで供給風量を減少させることができる。一方、ファンの回転速度を上昇させることで、供給風量を増加させることができる。

＜風量制御方法＞
次に、前記の構成を有するクリーンルーム設備１００における、制御コントローラ１４による風量制御方法を図２〜図４を参照しながら説明する。なお、図２に示すフローは、特に指定しない限り、制御コントローラ１４のシミュレーションモジュール１４２によって行われる。

図２に、クリーンルーム５０内の塵埃数及び温度に応じて風量制御を行う際のフローを示す。はじめに、塵埃センサ１２がクリーンルーム５０内の塵埃数を計測する。そして、塵埃数についての計測値が、制御コントローラ１４の入力ユニット１４１に入力される（ステップＳ２０１）。入力ユニット１４１に入力された塵埃数（計測値）はシミュレーションモジュール１４２に伝達され、塵埃解析が行われる（ステップＳ２０２；塵埃数評価ステップ）。

ここで、塵埃解析について説明する。本実施形態においては、予め、クリーンルーム設備１００の設置後にファンフィルタユニット１５から供給されるエアについての気流解析が行われている。具体的には、気流解析によって、予め想定される風量の制御パターンの気流解析結果がデータベース（図３参照。詳細は後記する）化されている。

即ち、塵埃センサ１２により計測される塵埃数は、塵埃センサ１２の設置場所で異なる結果を示す。つまり、塵埃センサ１２の設置場所における清浄度と、クリーンルーム５０内で特に清浄な環境が要求される位置における清浄度とは、必ずしも一致しないことになる。例えば、塵埃センサ１２をファンフィルタユニット１５からのエアが直接あたらない場所に設置すれば、エアによって塵埃が排出されにくいため、計測される塵埃数は多いものになる。一方、塵埃センサ１２を、例えばファンフィルタユニット１５の直下等のエアが直接あたる場所に設置すれば、エアによって塵埃はすぐに室外に排出されるため、計測される塵埃数は少ないものになる。

また、塵埃センサ１２の設置場所が同じ場合、ファンフィルタユニット１５からのエア風量によって、計測される塵埃数が異なる。即ち、図３に示すように、エア風量が多い場合（風量パターン１）、クリーンルーム５０内の実際の塵埃数に対する、計測される塵埃数の程度（図３に示すグラフの傾き）が大きくなる。一方、エア風量が少ない場合（風量パターン２や３）、このような程度は小さくなる。
なお、図３に示すグラフは、本実施形態を説明するために簡略化して記載したものである。従って、現実には異なるグラフになる。

このように、風量の制御パターン（風量パターン）に応じて、塵埃センサ１２により計測される塵埃数を補正することが重要である。換言すれば、塵埃センサ１２によって計測されたクリーンルーム５０内の塵埃数について、クリーンルーム５０における気流解析の結果を用いて評価することが重要である。この補正（評価）により、塵埃数についての推定値が得られる。そして、このような補正を行う際に、図３に示すデータベースが重要となる。以上説明した解析が、前記した「塵埃解析」の具体的な内容である。

そして、このように補正して得られた塵埃数（推定値）に基づき、クリーンルーム５０内が清浄であるか否かを判断する（ステップＳ２０３；塵埃数判定ステップ）。具体的には、塵埃解析によって得られた塵埃数（推定値）が、所定の範囲内にあるか否かを判定する。なお、この「所定の範囲」における上限値は、クリーンルーム５０内で許容可能な塵埃数の上限値となる。即ち、この上限値を超えると、クリーンルーム５０内は清浄度が低いと言える。

一方、「所定の範囲」における下限値は、理想的にはゼロ、即ち塵埃が存在しない状態である。しかしながら、例えば、無視できる程度の塵埃数であれば、ファンフィルタユニット１５の運転エネルギを消費してまで敢えて除去する必要はない。そこで、これらのことを考慮し、無視できる程度の塵埃数の上限値が、前記「所定の範囲」における下限値になる。

判定の結果、塵埃数の推定値が許容範囲内であれば、後記する温度解析が行われる（ステップＳ２０３のＹｅｓ方向）。一方で、塵埃数の推定値が許容範囲外であれば、ステップＳ２０３のＮｏ方向に進む。そして、塵埃数の推定値が前記した上限値よりも多い場合、クリーンルーム５０内の清浄度が低い。そのため、クリーンルーム５０に供給される清浄なエアの量を増加させるべく、新たなエア風量の設定が行われる（ステップＳ２０７；第１風量設定ステップ）。

なお、この時点では、エア風量の設定が行われるだけであって、この時点で供給されているエアの風量自体は変更されていない。即ち、設定風量は変更されるものの、通流しているエア風量は維持されている（維持するように制御される）。後記する、塵埃数の推定値が前記した下限値よりも少ない場合、並びに、ステップＳ２０９において同様である。

また、ステップＳ２０７において、塵埃数の推定値が前記した下限値よりも少ない場合には、クリーンルーム５０内の清浄度は十分に高い。そこで、クリーンルーム５０に供給される清浄なエアの量を減少させるべく、新たなエア風量の設定が行われる。そして、新たに設定された風量をクリーンルーム５０に供給した場合の塵埃数の推定値を算出する（ステップＳ２０２）。その後、得られた推定値が許容範囲内であるか否かが再び判定される（ステップＳ２０３）。そして、塵埃数（推定値）が所定範囲内になれば、ステップＳ２０４に進行する。

ステップＳ２０４における温度解析においても、基本的には、前記した塵埃解析と同様の処理が行われる。即ち、予め気流解析が行われ、風量パターンに応じたデータベースが作成される。そして、温度センサ１３により計測された温度と温度解析（ステップＳ２０４）が行われる際の風量パターンとに基づき、クリーンルーム５０内の温度が推定される。換言すれば、温度センサ１３により計測されるクリーンルーム５０内の温度について、クリーンルーム５０における気流解析の結果を用いて補正（評価）する。塵埃センサ１２と同様、温度センサ１３の設置場所や風量パターンによって計測される温度が変わりうるからである。そして、このように補正された温度の推定値を用いて、クリーンルーム５０に供給される風量が決定される。

また、ステップＳ２０４において温度解析を行う理由、換言すれば、クリーンルーム５０内の温度を把握する理由は以下の通りである。ファンフィルタユニット１５から供給される風量が減少すると、当然室外に排出される風量も減少する。その結果、室外に排出され、ドライコイル３にて熱が除去されるエア量も減少する。そのため、ドライコイル３における熱交換量が減少し、ドライコイル３でエアの温度を十分に低下させられないことになる。これにより、温度が十分に低下していないエア（即ち、所望の温度に制御されていないエア）が、クリーンルーム５０内に再び供給されることになる。

このようなことを防止し、クリーンルーム５０内を所定の温度範囲に維持するために、ステップＳ２０４において温度解析が行われる。温度解析の後、その時点で設定されている風量のエアをクリーンルーム５０に供給した場合、クリーンルーム５０内の温度（推定値）が所定範囲内になるか否かを判定する（ステップＳ２０５；温度判定ステップ）。判定の結果、温度（推定値）が所定範囲内の場合（ステップＳ２０５のＹｅｓ方向）、ステップＳ２０７にて新たに設定されたエア風量となるように、設定出力モジュール１４３がファンフィルタユニット１５を制御する（ステップＳ２０６）。これにより、ファンフィルタユニット１５からは、新たな風量でエアが供給される。ちなみに、ステップＳ２０７を経なかった場合は、その時点で通流しているエア風量が維持される（維持するように制御される）。

ただし、温度解析の結果、クリーンルーム５０内の温度（推定値）が所定範囲内から外れる場合（ステップＳ２０５のＮｏ方向）、特に、温度が所定範囲よりも高い場合（ステップＳ２０８のＹｅｓ方向）には、クリーンルーム５０に供給されるエアを増加させることが重要となる。エア風量を増加、即ち、ドライコイル３に供給されるエア風量を増加させることで熱交換効率を向上させ、クリーンルーム５０に供給されるエアの温度を所定範囲内におさめることができる。

そこで、クリーンルーム５０に供給される清浄なエアの量を増加させるべく、新たなエア風量の設定が行われる（ステップＳ２０９；第２風量設定ステップ）。そして、新たなエア風量で温度解析を再び行い（ステップＳ２０４）、温度が所定範囲内になるまで、ステップＳ２０８、Ｓ２０９及びＳ２０４が繰り返される。

なお、温度が所定範囲よりも低い場合には、クリーンルーム５０の清浄度を維持するために必要な温度であるため、風量の減少制御は行われない（ステップＳ２０８のＮｏ方向）。もし、風量を減少させてしまうと、クリーンルーム５０内の塵埃数が増加し、清浄度が低下する可能性があるからである。従って、このような場合には、その時点で設定されている風量が維持される（維持するように制御される；ステップＳ２０６；エア風量制御ステップ）。

以上のようにして、クリーンルーム１００における風量が制御される。

ここで、前記した「塵埃解析」について、別の観点から説明する。

図４に、各清浄度（クラス）における、塵埃数の範囲を規定するグラフを示す。このグラフに記載の塵埃数に関する数値は、ＪＩＳ Ｂ９９２０で規定されているものである。なお、図４においては、説明の便宜上、各クラスの数字が大きくなるほど、各クラスの名称が右上に記載されるように示している。

清浄度（クラス）に関して、例えば、クラス２の清浄度が要求されるクリーンルームにおいては、１ｍ^３あたり、粒径０．１μｍの塵埃が１０個以上１００個以下となることが要求される。同様に、クラス４では１０００個以上１００００個以下、クラス６では１０００００以上１００００００個以下が許容される塵埃数となる。即ち、各クラスの末尾の数字が小さいほど、より清浄度の高いクリーンルームとなる。

この点を踏まえ、クリーンルーム５０の清浄度がクラス４である場合を例に、本実施形態の風量制御方法を図５を参照しながら説明する。なお、図５における「風量パターン１」、「風量パターン２」及び「風量パターン３」は、それぞれ、前記した図３における「風量パターン１」、「風量パターン２」及び「風量パターン３」に相当する。即ち、風量パターン１における風量が最も多く、次いで風量パターン２における風量、風量パターン３における風量の順で少なくなる。また、図４に示す領域（各直線で区切られる領域）と図５に示す領域（各直線で区切られる領域）とは対応している。

図５の風量パターン２（○）では、クリーンルーム５０内の塵埃数が１０００個／ｍ^３以上１００００個／ｍ^３以下であり、クラス４の基準を満たしている。換言すれば、クリーンルーム設備１００運転時の風量パターン２は、図４におけるクラス４の領域に含まれる。

しかしながら、図５の風量パターン１（□）では、クラス４の領域から外れている。即ち、塵埃数の計測値は風量パターン２の場合とほぼ同じであるが、前記した塵埃解析の結果得られた推定値は約３００〜６００であり、クラス４の基準を満たしていない。換言すれば、クラス４の清浄度は十分に満たされ、さらに清浄度の高いクラス３の清浄度になっていることを表している。

そこで、このような場合には、クリーンルーム５０に要求されるクラス４の清浄度を過度に満たしているものと考え、クリーンルーム５０に供給される風量を少なくする制御を行う。これにより、クリーンルーム５０内の塵埃は、風量変更前と比べて緩やかに室外に排出されることになる。従って、クリーンルーム５０内に残存する塵埃数が増加する。ただし、増加しても依然として高い清浄度を有しているため（具体的には、クラス３がクラス４に下がる）、高い清浄度を維持しつつも、供給風量減少に伴う省エネルギ化を図ることができる。

さらに、図５の風量パターン３（△）でも、クラス４の領域から外れている。即ち、塵埃数の計測値は風量パターン１や風量パターン２の場合とほぼ同じであるが、前記した塵埃解析の結果得られた推定値は約６００００〜８００００であり、クラス４の基準を満たしていない。そこで、このような場合には、クリーンルーム設備１００に要求されるクラス４の清浄度を満たしていないとして、クリーンルーム５０に供給される風量を多くする制御を行う。これにより、クリーンルーム５０内の塵埃が速やかに室外に排出され、クリーンルーム５０内の塵埃数が低下する。その結果、クリーンルーム５０の清浄度が改善し、要求されるクラス４の基準を満たすようになる。

＜効果＞
前記した風量制御方法によれば、塵埃数及び温度に応じて風量が制御されるため、例えば製造装置１１が停止して塵埃が発生しない場合（外乱が小さい状態）には、ファンフィルタユニット１５でのファンの回転速度を低下させる。これにより、ファンフィルタユニット１５の運転エネルギを抑制することができる。即ち、省エネルギ化が図られる。また、ファンの回転速度を低下させて供給する風量を減少させた場合でも、クリーンルーム５０内は清浄に維持される。

＜変形例＞
以上、本実施形態のクリーンルーム設備、風量制御装置及び風量制御方法を説明したが、本実施形態は前記の内容に限られず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更して実施可能である。

例えば、図面を参照しながら説明した実施形態ではクリーンルーム５０が２つ（５０ａ，５０ｂ）が設けられる構成としているが、１つのみであってもよく、３つ以上であってもよい。また、前記したように、クリーンルームが複数設けられる場合、各クリーンルーム内に供給される風量は独立して制御可能である。さらに、１つのクリーンルームを複数の領域に分け、当該複数の領域のそれぞれについて風量制御を行ってもよい。

また、前記した例では、風量パターンを３つのみ挙げているが、風量パターンは２つであってもよく、４つ以上であってもよい。また、このような段階的に風量が変化するものに限られず、連続的に風量が変化するものであってもよい。

また、前記した実施形態では、ファンフィルタユニット１５から清浄なエアがクリーンルーム５０に供給される。しかしながら、例えば、図６に示すような、パッケージエアコン（Package Air Conditioner）ＰＡＣ１，ＰＡＣ２，ＰＡＣ３から清浄なエアが供給されるクリーンルーム設備１１０としてもよい。この場合、設置されるパッケージエアコンの台数は３台に限られず、２台以下、或いは４台以上であってもよい。

また、ファンフィルタユニット１５には、前記のようにインバータ制御されるファンが備えられているが、インバータ制御されるファンに代えて、通常のファン及びダンパを備えてもよい。このような場合には、ダンパの開度によって、供給される風量が制御可能である。

１２（１２ａ，１２ｂ） 塵埃センサ
１３（１３ａ，１３ｂ） 温度センサ
１４ 制御コントローラ（風量制御装置、風量制御部）
１５（１５ａ，１５ｂ） ファンフィルタユニット（ＦＦＵ；ファン）
５０（５０ａ，５０ｂ） クリーンルーム
１００ クリーンルーム設備

Claims (6)

1. クリーンルームを備え、前記クリーンルームに供給されるエア風量が制御可能なクリーンルーム設備であって、
   前記クリーンルーム内の塵埃数を計測する塵埃センサと、
   前記クリーンルーム内の温度を計測する温度センサと、
   前記クリーンルームにエアを供給するファンと、
   前記塵埃センサによって計測される前記クリーンルーム内の塵埃数と、前記温度センサによって計測される前記クリーンルーム内の温度と、に基づいて、前記クリーンルームに供給する風量を決定し、決定された風量になるように前記ファンを制御する風量制御部と、
   を備える
   ことを特徴とする、クリーンルーム設備。
2. 前記風量制御部は、
   前記塵埃センサによって計測された前記クリーンルーム内の塵埃数について、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて評価し、
   前記温度センサによって計測された前記クリーンルーム内の温度について、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて評価し、
   評価された塵埃数及び温度に基づいて、前記クリーンルームに供給する風量を決定し、決定された風量になるように前記ファンを制御する
   ことを特徴とする、請求項１に記載のクリーンルーム設備。
3. クリーンルームに供給するエア風量を制御する風量制御装置であって、
   前記クリーンルーム内の塵埃数と、前記クリーンルーム内の温度と、に基づいて、前記クリーンルームに供給する風量を決定し、
   決定された風量になるように、前記クリーンルームに供給されるエア風量を制御する
   ことを特徴とする、風量制御装置。
4. 前記クリーンルーム内の塵埃数について、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて評価し、
   前記クリーンルーム内の温度について、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて評価し、
   評価された塵埃数及び温度に基づいて、前記クリーンルームに供給されるエア風量を制御する
   ことを特徴とする、請求項３に記載の風量制御装置。
5. クリーンルームに供給するエア風量を風量制御装置が制御する方法であって、
   前記クリーンルーム内の塵埃数を評価する塵埃数評価ステップと、
   前記塵埃数評価ステップにおいて評価された前記クリーンルーム内の塵埃数が所定範囲内にあるか否かを判定する塵埃数判定ステップと、
   前記塵埃数判定ステップにおいて、塵埃数が所定範囲内の場合には設定風量を維持し、塵埃数が所定範囲の上限値よりも多い場合には設定風量を増加させ、塵埃数が所定範囲の下限値よりも少ない場合には設定風量を減少させる第１風量設定ステップと、
   前記第１風量設定ステップにおいて設定された風量で前記クリーンルームにエアを供給した場合に、前記クリーンルーム内の温度が所定範囲内になるか否かを判定する温度判定ステップと、
   前記温度範囲判定ステップにおいて、前記クリーンルームの温度が所定範囲の上限値よりも高くなる場合には設定風量を増加させ、前記クリーンルームの温度が所定範囲内或いは所定範囲の下限値よりも低くなる場合には設定風量を維持する第２風量設定ステップと、
   前記クリーンルームに供給するエアの風量を、前記第２風量設定ステップを経て最終的に設定された風量にする制御を行うエア風量制御ステップと、
   を有する
   ことを特徴とする、風量制御方法。
6. 前記塵埃数評価ステップにおける塵埃数の評価は、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて行われ、
   前記温度範囲判定ステップにおいて判定される温度は、前記クリーンルームにおける気流解析の結果を用いて得られた温度である
   ことを特徴とする、請求項５に記載の風量制御方法。

Images