JP2012054113A - Copper paste composition and ceramic structure - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、セラミック配線基板のメタライズ配線等を形成するのに適した銅ペースト組成物および銅ペースト組成物をセラミック焼結体に塗布して焼成したセラミック構造体に関する。 The present invention relates to a copper paste composition suitable for forming a metallized wiring or the like of a ceramic wiring board and a ceramic structure obtained by applying a copper paste composition to a ceramic sintered body and firing it.
セラミック配線基板のメタライズ配線は、通常、金属ペースト組成物により形成されている。金属ペースト組成物は、金属粉およびガラスフリットを含有し、これに樹脂バインダーや溶剤を添加して混練することにより得られる。 The metallized wiring of the ceramic wiring board is usually formed of a metal paste composition. The metal paste composition contains metal powder and glass frit, and is obtained by adding and kneading a resin binder and a solvent thereto.
金属粉としては、電気伝導性および熱伝導性に優れ、かつ安価な銅粉を用いることが多い(例えば、特許文献1参照)。また、ガラスフリットは、セラミック基板に対するメタライズ配線の密着性を向上させるものであり、従来は鉛を含有するものが採用されていたが、鉛は有害であるため、近時は鉛を含有しない非鉛ガラスフリットへの代替が進んでいる。 As the metal powder, copper powder that is excellent in electrical conductivity and thermal conductivity and inexpensive is often used (for example, see Patent Document 1). Glass frit improves the adhesion of the metallized wiring to the ceramic substrate. Conventionally, glass containing frit has been used, but lead is harmful. Replacement with lead glass frit is progressing.
ここで、銅ペースト組成物をセラミック基板に印刷塗布して焼成することによりメタライズ配線を形成する場合には、銅が酸化されて導電性が低下するのを抑制するため、非酸素雰囲気中で焼成する。
しかし、非鉛ガラスフリットを含有する銅ペースト組成物を非酸素雰囲気中で焼成すると、メタライズ配線とセラミック基板との密着性が得られ難いという問題があった。
Here, in the case of forming a metallized wiring by printing and applying a copper paste composition to a ceramic substrate and firing, firing is performed in a non-oxygen atmosphere in order to prevent copper from being oxidized and lowering its conductivity. To do.
However, when a copper paste composition containing non-lead glass frit is fired in a non-oxygen atmosphere, there is a problem that it is difficult to obtain adhesion between the metallized wiring and the ceramic substrate.
本発明の課題は、セラミック基板に対して優れた密着性を有するメタライズ配線を形成することができる銅ペースト組成物を提供することである。 An object of the present invention is to provide a copper paste composition capable of forming a metallized wiring having excellent adhesion to a ceramic substrate.
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
(1)少なくとも銅粉、非鉛ガラスフリットおよび酸化銅(I)を含有する銅ペースト組成物であって、前記銅粉は、軟化開始温度が互いに異なる第1の複数の銅粒子および第2の複数の銅粒子をそれぞれ複数含むとともに、前記第1の複数の銅粒子の軟化開始温度をT1(℃)、前記第2の複数の銅粒子の軟化開始温度をT2(℃)としたとき、T1−T2の値が200℃以上であり、前記非鉛ガラスフリットは、少なくともビスマス、ホウ素およびシリコンの各酸化物を含むとともに、軟化開始温度が400℃以下であることを特徴とする銅ペースト組成物。
(2)前記第1の複数の銅粒子の平均粒子径をD1(μm)、前記第2の複数の銅粒子の平均粒子径をD2(μm)としたとき、D1−D2の値が1.8μm以上である前記(1)記載の銅ペースト組成物。
(3)前記非鉛ガラスフリットは、ジルコニウム、クロム、アルミニウム、亜鉛およびナトリウムの各酸化物をさらに含む前記(1)または(2)記載の銅ペースト組成物。
(4)アクリル樹脂およびニトロセルロース樹脂を含む樹脂バインダーをさらに含有する前記(1)〜(3)のいずれかに記載の銅ペースト組成物。
(5)前記アクリル樹脂は、ガラス転移温度が互いに異なるとともに、いずれも(メタ)アクリル酸エステルからなるH成分とL成分とを、両成分の合計モル分率が80モル%以上となる割合で共重合させた共重合体からなり、前記H成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgh(℃)、前記L成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgl(℃)としたとき、Tghが100℃以上であるとともに、Tgh−Tglの値が50℃以上であり、前記共重合体に、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリル酸エステルおよびポリアルキレンオキサイド鎖含有(メタ)アクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種の極性官能基含有(メタ)アクリル酸エステルをさらに共重合させる前記(4)記載の銅ペースト組成物。
(6)チキソ剤をさらに含有する前記(1)〜(5)のいずれかに記載の銅ペースト組成物。
(7)前記チキソ剤は、水添ヒマシ油およびアマイドワックスを含む前記(6)記載の銅ペースト組成物。
(8)ポストファイア用である前記(1)〜(7)のいずれかに記載の銅ペースト組成物。
(9)非酸素雰囲気中、最高温度900〜1000℃で焼成される前記(1)〜(8)のいずれかに記載の銅ペースト組成物。
(10)前記(1)〜(9)のいずれかに記載の銅ペースト組成物を、セラミック焼結体に塗布して焼成し得られることを特徴とするセラミック構造体。
(11)多数個取りのセラミック配線基板である前記(10)記載のセラミック構造体。
As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has found a solution means having the following configuration, and has completed the present invention.
(1) A copper paste composition containing at least a copper powder, a lead-free glass frit and copper (I) oxide, wherein the copper powder has a plurality of first copper particles and a second plurality of copper particles having different softening start temperatures. When a plurality of copper particles are included, a softening start temperature of the first plurality of copper particles is T1 (° C.), and a softening start temperature of the second plurality of copper particles is T2 (° C.), T1 -T2 value is 200 ° C or higher, and the non-lead glass frit contains at least each oxide of bismuth, boron and silicon, and has a softening start temperature of 400 ° C or lower. .
(2) When the average particle diameter of the first plurality of copper particles is D1 (μm) and the average particle diameter of the second plurality of copper particles is D2 (μm), the value of D1-D2 is 1. The copper paste composition according to (1), which is 8 μm or more.
(3) The copper paste composition according to (1) or (2), wherein the non-lead glass frit further includes oxides of zirconium, chromium, aluminum, zinc, and sodium.
(4) The copper paste composition according to any one of (1) to (3), further including a resin binder including an acrylic resin and a nitrocellulose resin.
(5) The acrylic resin has glass transition temperatures different from each other, and both the H component and the L component made of (meth) acrylic acid ester are in a ratio such that the total molar fraction of both components is 80 mol% or more. When the glass transition temperature of the homopolymer in the H component is Tgh (° C.) and the glass transition temperature of the homopolymer in the L component is Tgl (° C.), the Tgh is 100 ° C. or higher. And the value of Tgh-Tgl is 50 ° C. or more, and the copolymer contains at least one selected from hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester and polyalkylene oxide chain-containing (meth) acrylic acid ester. The copper paste composition according to (4), wherein a polar functional group-containing (meth) acrylic acid ester is further copolymerized.
(6) The copper paste composition according to any one of (1) to (5), further including a thixotropic agent.
(7) The copper paste composition according to (6), wherein the thixotropic agent includes hydrogenated castor oil and amide wax.
(8) The copper paste composition according to any one of (1) to (7), which is for postfire.
(9) The copper paste composition according to any one of (1) to (8), which is fired at a maximum temperature of 900 to 1000 ° C. in a non-oxygen atmosphere.
(10) A ceramic structure obtained by applying the copper paste composition according to any one of (1) to (9) to a ceramic sintered body and firing it.
(11) The ceramic structure according to (10), which is a multi-piece ceramic wiring board.
本発明によれば、非酸素雰囲気中で焼成してもセラミック基板に対して優れた密着性を有するメタライズ配線を形成することができるという効果がある。しかも、非鉛ガラスフリットを用いるので、環境や人体への悪影響を低減することができる。 According to the present invention, there is an effect that a metallized wiring having excellent adhesion to a ceramic substrate can be formed even when fired in a non-oxygen atmosphere. In addition, since the lead-free glass frit is used, adverse effects on the environment and the human body can be reduced.
本発明の銅ペースト組成物は、少なくとも銅粉、非鉛ガラスフリットおよび酸化銅(I)を含有する。銅粉は、軟化開始温度が互いに異なる第1の複数の銅粒子および第2の複数の銅粒子をそれぞれ複数含んでいる。 The copper paste composition of the present invention contains at least copper powder, non-lead glass frit, and copper (I) oxide. The copper powder includes a plurality of first plurality of copper particles and a plurality of second plurality of copper particles, each having a different softening start temperature.
具体的に説明すると、第1の複数の銅粒子の軟化開始温度は、第2の複数の銅粒子の軟化開始温度より高く、第1の複数の銅粒子の軟化開始温度をT1(℃)、第2の複数の銅粒子の軟化開始温度をT2(℃)としたとき、T1−T2の値が200℃以上、好ましくは200〜300℃、より好ましくは200〜250℃である。これにより、セラミック基板に対して優れた密着性を有するメタライズ配線を形成することができる。この理由としては、以下の理由が推察される。 Specifically, the softening start temperature of the first plurality of copper particles is higher than the softening start temperature of the second plurality of copper particles, and the softening start temperature of the first plurality of copper particles is T1 (° C.), When the softening start temperature of the second plurality of copper particles is T2 (° C.), the value of T1-T2 is 200 ° C. or higher, preferably 200 to 300 ° C., more preferably 200 to 250 ° C. Thereby, a metallized wiring having excellent adhesion to the ceramic substrate can be formed. The reason for this is presumed as follows.
すなわち、銅粉の軟化開始温度を低くすると、焼成時の流動性が向上してセラミック基板に対する密着性が得られ易くなるものの、メタライズ配線の強度が低下する。強度の低いメタライズ配線では、LED等の電子部品を信頼性よく実装することはできない。一方、銅粉の軟化開始温度を高くすると、メタライズ配線に強度を付与することはできるものの、焼成時の流動性が低下し、セラミック基板に対する密着性が得られ難い。銅粉に軟化開始温度の高い第1の複数の銅粒子と軟化開始温度の低い第2の複数の銅粒子とを含ませ、かつ両者の温度差を200℃以上にすると、第1の複数の銅粒子によってメタライズ配線に強度を付与することができ、かつ第2の複数の銅粒子によってセラミック基板に対する密着性が得られ、その結果、強度を維持しつつ、セラミック基板に対して優れた密着性を有するメタライズ配線が形成される。 That is, when the softening start temperature of the copper powder is lowered, the fluidity at the time of firing is improved and adhesion to the ceramic substrate is easily obtained, but the strength of the metallized wiring is lowered. Electronic components such as LEDs cannot be mounted with high reliability using low-strength metallized wiring. On the other hand, if the softening start temperature of the copper powder is increased, strength can be imparted to the metallized wiring, but the fluidity during firing is reduced and adhesion to the ceramic substrate is difficult to obtain. When the first plurality of copper particles having a high softening start temperature and the second plurality of copper particles having a low softening start temperature are included in the copper powder, and the temperature difference between the two is 200 ° C. or more, the first plurality The copper particles can provide strength to the metallized wiring, and the second plurality of copper particles can provide adhesion to the ceramic substrate, and as a result, excellent adhesion to the ceramic substrate while maintaining strength. Is formed.
T1としては、500〜600℃であるのが好ましく、530〜570℃であるのがより好ましい。T2としては、270〜370℃であるのが好ましく、300〜340℃であるのがより好ましい。T1,T2は、第1,第2の複数の銅粒子の各々の平均粒子径または第1,第2の複数の銅粒子の製造時の反応条件、還元剤もしくは脱酸材等を変えることによって任意に調整することができる。本実施形態において、複数の銅粒子の軟化開始温度とは、TMA(Thermomechanical Analysis,熱機械分析)によって測定される値であり、複数の銅粒子によって作製された測定用タブレットに一定の荷重を掛けることによって測定される熱収縮開始温度のことである。TMAは、例えば還元雰囲気または窒素ガス150ml/min雰囲気において昇温しつつ測定用タブレットに一定の荷重を掛けて行なわれる。TMAにおける昇温速度は、例えば10℃/分である。測定用タブレットは、例えば、複数の銅粒子およびワックスを含む混合物に10ton/cm2のプレスを行なうことによって、直径5mm、高さ10mmの円柱形状に成形されたものである。 As T1, it is preferable that it is 500-600 degreeC, and it is more preferable that it is 530-570 degreeC. As T2, it is preferable that it is 270-370 degreeC, and it is more preferable that it is 300-340 degreeC. T1 and T2 are obtained by changing the average particle diameter of each of the first and second plurality of copper particles or the reaction conditions, the reducing agent, the deoxidizing material, etc. during the production of the first and second plurality of copper particles. It can be adjusted arbitrarily. In the present embodiment, the softening start temperature of a plurality of copper particles is a value measured by TMA (Thermomechanical Analysis), and a constant load is applied to a measurement tablet made of a plurality of copper particles. It is the thermal shrinkage start temperature measured by this. TMA is performed, for example, by applying a certain load to the measurement tablet while raising the temperature in a reducing atmosphere or an atmosphere of nitrogen gas of 150 ml / min. The temperature rising rate in TMA is, for example, 10 ° C./min. The tablet for measurement is formed into a cylindrical shape having a diameter of 5 mm and a height of 10 mm, for example, by pressing a mixture containing a plurality of copper particles and wax at 10 ton / cm 2 .
また、第1の複数の銅粒子および第2の複数の銅粒子は、その平均粒子径を互いに異ならせるのが好ましい。具体的には、第1の複数の銅粒子の平均粒子径を第2の複数の銅粒子の平均粒子径より大きくするのが好ましい。これにより、軟化開始温度が高く平均粒子径が大きい第1の複数の銅粒子によってメタライズ配線に強度を付与することができる。また、軟化開始温度が低く平均粒子径が小さい第2の複数の銅粒子は、第1の複数の銅粒子の間に隙間なく充填されるようになり、この状態で溶融されるので、緻密なメタライズ配線を形成することができる。 Moreover, it is preferable that the first plurality of copper particles and the second plurality of copper particles have different average particle diameters. Specifically, it is preferable that the average particle diameter of the first plurality of copper particles is larger than the average particle diameter of the second plurality of copper particles. Thereby, intensity | strength can be provided to metallization wiring by the 1st some copper particle with a high softening start temperature and a large average particle diameter. In addition, the second plurality of copper particles having a low softening start temperature and a small average particle diameter are filled with no gap between the first plurality of copper particles, and are melted in this state. Metallized wiring can be formed.
より具体的に説明すると、第1の複数の銅粒子の平均粒子径を第2の複数の銅粒子の平均粒子径より大きくすると、第1の複数の銅粒子の周囲に第2の複数の銅粒子が存在し易くなり、その結果、上述した第1,第2の複数の銅粒子を含むことによる効果が得られ易くなるとともに、メタライズ配線のバルク強度も向上する。また、第1,第2の複数の銅粒子が最密充填構造を形成し易く、それによりメタライズ配線が低抵抗化されるとともに、ボイドの発生も抑制することができる。これにより、後述するめっき工程でのめっき薬剤がメタライズ配線中に浸入し、含有するガラスをケミカルアタックすることに起因する密着性の低下を抑制する効果も期待できる。 More specifically, when the average particle diameter of the first plurality of copper particles is larger than the average particle diameter of the second plurality of copper particles, the second plurality of copper particles around the first plurality of copper particles. As a result, it becomes easier to obtain the effect of including the first and second copper particles described above, and the bulk strength of the metallized wiring is improved. Further, the first and second plurality of copper particles can easily form a close-packed structure, thereby reducing the resistance of the metallized wiring and suppressing the generation of voids. Thereby, the effect which suppresses the fall of the adhesion resulting from the plating chemical | medical agent in the metal-plating wiring invading into a metallizing wiring mentioned later, and chemically attacking the glass to contain can also be anticipated.
特に、第1の複数の銅粒子の平均粒子径をD1(μm)、第2の複数の銅粒子の平均粒子径をD2(μm)としたとき、D1−D2の値が1.8μm以上であるのが好ましく、1.8〜2.0μmであるのがより好ましい。これにより、上述した第1,第2の複数の銅粒子の平均粒子径を互いに異ならせることによる効果をより向上させることができる。 In particular, when the average particle diameter of the first plurality of copper particles is D1 (μm) and the average particle diameter of the second plurality of copper particles is D2 (μm), the value of D1-D2 is 1.8 μm or more. It is preferable that it is 1.8 to 2.0 μm. Thereby, the effect by making the average particle diameter of the 1st, 2nd some copper particle mentioned above different from each other can be improved more.
第1の複数の銅粒子の平均粒子径としては、2〜5μmであるのが好ましく、2〜3μmであるのがより好ましい。第2の複数の銅粒子の平均粒子径としては、0.1〜1μmであるのが好ましく、0.1〜0.7μmであるのがより好ましい。 The average particle diameter of the first plurality of copper particles is preferably 2 to 5 μm, and more preferably 2 to 3 μm. The average particle diameter of the second plurality of copper particles is preferably 0.1 to 1 μm, and more preferably 0.1 to 0.7 μm.
第1の複数の銅粒子の割合は、第2の複数の銅粒子の割合より多いのが好ましい。具体的には、質量比で、第1の複数の銅粒子:第2の複数の銅粒子=9:1〜6:4であるのが好ましく、9:1〜7:3であるのがより好ましい。これにより、第1の複数の銅粒子の周囲に第2の複数の銅粒子が存在し易くなり、その結果、上述した第1,第2の複数の銅粒子を含むことによる効果が得られ易くなる。 The ratio of the first plurality of copper particles is preferably greater than the ratio of the second plurality of copper particles. Specifically, by mass ratio, the first plurality of copper particles: the second plurality of copper particles is preferably 9: 1 to 6: 4, and more preferably 9: 1 to 7: 3. preferable. Accordingly, the second plurality of copper particles are likely to be present around the first plurality of copper particles, and as a result, the effect of including the first and second plurality of copper particles is easily obtained. Become.
一方、非鉛ガラスフリットは、少なくともビスマス(Bi)、ホウ素(B)およびシリコン(Si)の各酸化物(Bi2O3,B2O3,SiO2)を含むものであり、いわゆるホウケイ酸ビスマス(Bi2O3−B2O3−SiO2)系ガラスである。Bi2O3,B2O3,SiO2は、いずれもガラスの骨格をなすものである。特にBi2O3は、ガラスの軟化開始温度を低下させる効果があり、セラミック基板との密着性を向上させる効果がある。また、B2O3は、ガラスの軟化開始温度を低下させる効果と、ガラスを安定化させる効果とがある。SiO2は、めっき薬剤等に対するガラスの耐薬品性や耐水性を向上させる効果がある。 On the other hand, the lead-free glass frit contains at least each oxide (Bi 2 O 3 , B 2 O 3 , SiO 2 ) of bismuth (Bi), boron (B), and silicon (Si). Bismuth (Bi 2 O 3 —B 2 O 3 —SiO 2 ) -based glass. Bi 2 O 3 , B 2 O 3 , and SiO 2 are all glass skeletons. In particular, Bi 2 O 3 has the effect of lowering the glass softening start temperature and the effect of improving the adhesion to the ceramic substrate. B 2 O 3 has the effect of lowering the softening start temperature of the glass and the effect of stabilizing the glass. SiO 2 has the effect of improving the chemical resistance and water resistance of the glass against plating agents and the like.
非鉛ガラスフリットは、酸化物換算で、Bi2O3を50〜94質量%、B2O3を5〜30質量%、SiO2を1〜50質量%、の割合で含むのが好ましい。この割合は、XRF(蛍光X線分析)およびICP(Inductively Coupled Plasma)分析で測定して得られる値である。 Lead-free glass frit, in terms of oxide, the Bi 2 O 3 50 to 94 wt%, the B 2 O 3 5 to 30 wt%, a SiO 2 1 to 50% by weight, that a proportion of the preferred. This ratio is a value obtained by measurement by XRF (fluorescent X-ray analysis) and ICP (Inductively Coupled Plasma) analysis.
また、非鉛ガラスフリットは、ジルコニウム(Zr)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、亜鉛(Zn)およびナトリウム(Na)の各酸化物(ZrO2,Cr2O3,Al2O3,ZnO,Na2O)をさらに含むのが好ましい。各酸化物のうち、ZrO2およびAl2O3は、耐薬品性を向上させる効果がある。Cr2O3,ZnOおよびNa2Oは、セラミック基板に対する密着性を向上させる効果がある。したがって、非鉛ガラスフリットが、これらの酸化物をさらに含むと、セラミック基板に対するメタライズ配線の密着性および耐薬品性が向上する。 Further, the lead-free glass frit includes zirconium (Zr), chromium (Cr), aluminum (Al), zinc (Zn), and sodium (Na) oxides (ZrO 2 , Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , It is preferable to further contain ZnO, Na 2 O). Of these oxides, ZrO 2 and Al 2 O 3 have the effect of improving chemical resistance. Cr 2 O 3 , ZnO and Na 2 O have the effect of improving the adhesion to the ceramic substrate. Therefore, when the lead-free glass frit further contains these oxides, the adhesion and chemical resistance of the metallized wiring to the ceramic substrate are improved.
非鉛ガラスフリットがZrO2,Cr2O3,Al2O3,ZnO,Na2Oをさらに含む場合には、非鉛ガラスフリットは、酸化物換算で、Bi2O3を50〜93.1質量%、B2O3を5〜30質量%、SiO2を1〜50質量%の割合で含み、さらにZrO2を0.1〜10質量%、Cr2O3を0.1〜3質量%、Al2O3を0.1〜10質量%、ZnOを0.1〜10質量%、Na2Oを0.5〜10質量%の割合で含むのが好ましい。 When the lead-free glass frit further contains ZrO 2 , Cr 2 O 3 , Al 2 O 3 , ZnO, and Na 2 O, the lead-free glass frit contains 50 to 93. Bi 2 O 3 in terms of oxide. 1 wt%, the B 2 O 3 5 to 30 wt%, the SiO 2 comprises in a proportion of 1 to 50 mass%, further ZrO 2 0.1 to 10 wt%, the Cr 2 O 3 0.1 to 3 It is preferable to contain 0.1% by mass to 10% by mass of Al 2 O 3 , 0.1 to 10% by mass of ZnO, and 0.5 to 10% by mass of Na 2 O.
非鉛ガラスフリットとしては、酸化物換算で、Bi2O3を80質量%、B2O3を15質量%、SiO2を2質量%、ZrO2を0.7質量%、Cr2O3を0.6質量%、Al2O3を0.3質量%、ZnOを0.1質量%、およびNa2Oを1.3質量%の割合で含むものが好適である。この組成を有する非鉛ガラスフリットは、後述する実施例で使用したGF1に相当する。 As the lead-free glass frit, in terms of oxide, Bi 2 O 3 is 80 mass%, B 2 O 3 is 15 mass%, SiO 2 is 2 mass%, ZrO 2 is 0.7 mass%, Cr 2 O 3 Is preferably 0.6% by mass, Al 2 O 3 0.3% by mass, ZnO 0.1% by mass, and Na 2 O 1.3% by mass. The lead-free glass frit having this composition corresponds to GF1 used in Examples described later.
非鉛ガラスフリットの軟化開始温度としては、400℃以下、好ましくは300〜400℃、より好ましくは340〜400℃である。これにより、銅粉およびセラミック基板に対する濡れ性が向上し、非鉛ガラスフリットが銅粉およびセラミック基板に対して十分に浸透するようになるので、セラミック基板に対するメタライズ配線の密着性を向上させることができる。非鉛ガラスフリットの軟化開始温度は、非鉛ガラスフリットの組成や平均粒子径を変えることによって任意に調整することができる。 The softening start temperature of the lead-free glass frit is 400 ° C. or lower, preferably 300 to 400 ° C., more preferably 340 to 400 ° C. As a result, the wettability to the copper powder and the ceramic substrate is improved, and the lead-free glass frit sufficiently penetrates into the copper powder and the ceramic substrate, so that the adhesion of the metallized wiring to the ceramic substrate can be improved. it can. The softening start temperature of the lead-free glass frit can be arbitrarily adjusted by changing the composition and average particle diameter of the lead-free glass frit.
非鉛ガラスフリットの割合は、銅粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、1〜10質量部であるのがより好ましい。非鉛ガラスフリットの平均粒子径としては、0.5〜5μmであるのが好ましい。 The ratio of the lead-free glass frit is preferably 1 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the copper powder. The average particle size of the non-lead glass frit is preferably 0.5 to 5 μm.
酸化銅(I)は、亜酸化銅(Cu2O)であり、通常、粉末の状態で銅ペースト組成物に含有される。ここで、上述した非鉛ガラスフリットは、非酸素雰囲気中で焼成するとセラミック基板に対する密着性が発現し難い傾向にある。酸化銅(I)を含有する銅ペースト組成物を非酸素雰囲気中で焼成すると、焼成時に微量の酸素が酸化銅(I)から焼成雰囲気中に導入されるので、非酸素雰囲気中で焼成しても非鉛ガラスフリットがセラミック基板に対して密着性を発現するようになる。 Copper (I) oxide is cuprous oxide (Cu 2 O) and is usually contained in the copper paste composition in a powder state. Here, the above-mentioned non-lead glass frit tends to hardly exhibit adhesion to the ceramic substrate when fired in a non-oxygen atmosphere. When a copper paste composition containing copper oxide (I) is fired in a non-oxygen atmosphere, a small amount of oxygen is introduced from the copper oxide (I) into the fire atmosphere during firing. In addition, the non-lead glass frit exhibits adhesion to the ceramic substrate.
酸化銅(I)の割合は、銅粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、5〜15質量部であるのがより好ましい。酸化銅(I)の形態が粉末である場合の平均粒子径としては、1〜5μmであるのが好ましい。 The ratio of copper oxide (I) is preferably 1 to 20 parts by mass and more preferably 5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the copper powder. The average particle diameter when the form of copper oxide (I) is powder is preferably 1 to 5 μm.
銅ペースト組成物は、カップリング剤をさらに含有するのが好ましい。カップリング剤は上述した銅粉と酸素とが接触するのを低減する効果を奏する。それゆえ、銅ペースト組成物がカップリング剤を含有すると、銅粉が酸化されるのを抑制することができる。 The copper paste composition preferably further contains a coupling agent. The coupling agent has an effect of reducing the contact between the copper powder and oxygen described above. Therefore, when a copper paste composition contains a coupling agent, it can suppress that copper powder is oxidized.
カップリング剤としては、例えばビニルメトキシシラン,ビニルエトキシシラン,ビニルトリクロルシラン,クロロプロピルトリメトキシシラン,アミノプロピルトリメトキシシラン,アミノプロピルトリエトキシシラン,N−(アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン,N−(アミノエチル)アミノプロピルメチルジメトキシシラン,グリシドキシプロピルトリメトキシシラン,グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン,グリシドキシプロピルトリエトキシシラン,p−スチリルトリメトキシシラン,(3,4エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン,メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン,メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン,メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン,メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン,アクリロキシプロピルトリメトキシシラン,メルカプトプロピルトリメトキシシラン,メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン,ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド,イソシアネートプロピルトリエトキシシラン,テトラメトキシシラン,テトラエトキシシラン,メチルトリメトキシシラン,メチルトリエトキシシラン,ジメチルトリエトキシシラン,フェニルトリエトキシシラン,ヘキサメチルジシラザン,ヘキシルトリメトキシシラン,デシルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤;テトライソプロピルチタネート,イソプロピルトリイソステアロイルチタネート,イソプロピルトリオクタノイルチタネート,イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート,イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート,イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート,テトラノルマルブチルチタネート,ブチルチタネートダイマー,テトラ(2−エチルヘキシル)チタネート,テトラメチルチタネート,チタンアセチルアセトネート,チタンテトラアセチルアセトネート,チタンエチルアセトアセテート,チタンオクタンジオレート,テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート,テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート,ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート,ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート,チタンラクテート,チタントリエタノールアミネート,ポリヒドロキシチタンステアレート等のチタンカップリング剤;ジルコニウムノルマルプロピレート,ジルコニウムノルマルブチレート,ジルコニウムモノアセチルアセトネート,ジルコニウムビスアセチルアセトネート,ジルコニウムテトラアセチルアセトネート,ジルコニウムモノエチルアセトアセテート,ジルコニウムアセテート,ジルコニウムアセチルアセトネートビスエチルアセトアセテート,ジルコニウムモノステアレート等のジルコニウムカップリング剤;アルミニウムイソプロピレート,モノsec−ブトキシアルミニウムジイソプロピレート,アルミニウムsec−ブチレート,アルミニウムエチレート,エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート,アルミニウムトリス(エチルアセトアセテート),アルキルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート,アルミニウムモノアセチルアセトネートビス(エチルアセトアセテート),アルミニウムトリス(アセチルアセトネート),アルミニウムモノイソプロポキシモノオレオキシエチルアセトアセテート,環状アルミニウムオキサイドイソプロピレート,環状アルミニウムオキサイドオクチレート,環状アルミニウムオキサイドステアレート等のアルミニウムカップリング剤等が挙げられ、これらは1種または2種以上を混合して用いてもよい。カップリング剤の割合は、銅粉100質量部に対して0.1〜5質量部程度が適当である。 As the coupling agent, for example, vinylmethoxysilane, vinylethoxysilane, vinyltrichlorosilane, chloropropyltrimethoxysilane, aminopropyltrimethoxysilane, aminopropyltriethoxysilane, N- (aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, N -(Aminoethyl) aminopropylmethyldimethoxysilane, glycidoxypropyltrimethoxysilane, glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, (3,4 epoxy cyclohexyl) Ethyltrimethoxysilane, methacryloxypropyltrimethoxysilane, methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, methacrylate Roxypropyltriethoxysilane, acryloxypropyltrimethoxysilane, mercaptopropyltrimethoxysilane, mercaptopropylmethyldimethoxysilane, bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, isocyanatepropyltriethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, methyl Silane coupling agents such as trimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyltriethoxysilane, phenyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, hexyltrimethoxysilane, decyltrimethoxysilane; tetraisopropyl titanate, isopropyltriisostearoyl titanate, Isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyl dimethacrylisostearoyl titanate , Isopropyl isostearoyl diacryl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetranormal butyl titanate, butyl titanate dimer, tetra (2-ethylhexyl) titanate, tetramethyl titanate, titanium acetylacetonate, titanium tetraacetylacetonate, titanium Ethyl acetoacetate, titanium octanediolate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphite) titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (ditridecyl) phosphite titanate, bis (dioctyl pyrophosphate) oxyacetate Titanate, bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate, titanium lactate, titanium triethanolate Titanium coupling agents such as minates and polyhydroxy titanium stearates; zirconium normal propyrate, zirconium normal butyrate, zirconium monoacetylacetonate, zirconium bisacetylacetonate, zirconium tetraacetylacetonate, zirconium monoethylacetoacetate, zirconium acetate , Zirconium coupling agents such as zirconium acetylacetonate bisethylacetoacetate and zirconium monostearate; aluminum isopropylate, monosec-butoxyaluminum diisopropylate, aluminum sec-butyrate, aluminum ethylate, ethylacetoacetate aluminum diisopropylate , Aluminum tris (ethyl acetoacetate ), Alkyl acetoacetate aluminum diisopropylate, aluminum monoacetylacetonate bis (ethylacetoacetate), aluminum tris (acetylacetonate), aluminum monoisopropoxymonooroxyethylacetoacetate, cyclic aluminum oxide isopropylate, cyclic aluminum oxide Examples thereof include aluminum coupling agents such as octylate and cyclic aluminum oxide stearate, and these may be used alone or in combination. About 0.1-5 mass parts is suitable for the ratio of a coupling agent with respect to 100 mass parts of copper powder.
銅ペースト組成物は、樹脂バインダーをさらに含有するのが好ましい。樹脂バインダーとしては、アクリル樹脂およびニトロセルロース樹脂を含むものが好ましい。これにより、銅ペースト組成物に適度なチキソ性が付与されるので、銅ペースト組成物を微細な配線パターンでセラミック基板に印刷塗布することが可能になり、かつ均一な線幅でメタライズ配線を形成することができる。 The copper paste composition preferably further contains a resin binder. As a resin binder, what contains an acrylic resin and a nitrocellulose resin is preferable. As a result, moderate thixotropy is imparted to the copper paste composition, so that the copper paste composition can be printed and applied to a ceramic substrate with a fine wiring pattern, and metallized wiring can be formed with a uniform line width. can do.
アクリル樹脂は、ガラス転移温度が互いに異なるとともに、いずれも(メタ)アクリル酸エステルからなるH成分とL成分とを後述する割合で共重合させた(メタ)アクリル酸エステル共重合体(以下、「共重合体P」と言う。)からなるのが好ましい。(メタ)アクリル酸エステルとは、アクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルを意味する。(メタ)アクリル酸エステル共重合体とは、アクリル酸エステルの共重合体、メタアクリル酸エステルの共重合体、またはアクリル酸エステルとメタアクリル酸エステルとの共重合体を意味する。 The acrylic resin has a glass transition temperature different from each other, and both are (meth) acrylic acid ester copolymers obtained by copolymerizing an H component and a L component made of (meth) acrylic acid ester at a ratio described later (hereinafter, “ It is preferably referred to as "copolymer P". (Meth) acrylic acid ester means acrylic acid ester or methacrylic acid ester. The (meth) acrylic acid ester copolymer means a copolymer of acrylic acid ester, a copolymer of methacrylic acid ester, or a copolymer of acrylic acid ester and methacrylic acid ester.
共重合体Pは、H成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgh(℃)、L成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgl(℃)としたとき、Tghが100℃以上、好ましくは100〜120℃、より好ましくは100〜110℃であるとともに、Tgh−Tglの値が50℃以上であるのが好ましい。また、銅ペースト組成物のレオロジーを制御し易くする上で、Tgh−Tglの値は250℃以下であるのが好ましく、150℃以下であるのがより好ましく、100℃以下であるのがさらに好ましい。Tglとしては、10〜60℃程度が適当である。 In the copolymer P, when the glass transition temperature of the homopolymer in the H component is Tgh (° C.) and the glass transition temperature of the homopolymer in the L component is Tgl (° C.), the Tgh is 100 ° C. or higher, preferably 100 to 120 It is preferable that it is 100 degreeC, More preferably, it is 100-110 degreeC, and the value of Tgh-Tgl is 50 degreeC or more. In order to easily control the rheology of the copper paste composition, the value of Tgh-Tgl is preferably 250 ° C. or less, more preferably 150 ° C. or less, and further preferably 100 ° C. or less. . As Tgl, about 10-60 degreeC is suitable.
H成分としては、例えばアダマンチルアクリレート(Tgh=153℃),ジメチルアダマンチルアクリレート(Tgh=106℃),ビフェニルアクリレート(Tgh=110℃),シアノブチルアクリレート(Tgh=111〜123℃),シアノヘプチルアクリレート(Tgh=116℃),シアノメチルアクリレート(Tgh=160℃)等のアクリレート類;メチルメタクリレート(Tgh=105℃),アクリロニトリルメタクリレート(Tgh=110℃),アダマンチルメタクリレート(Tgh=141℃),ジメチルアダマンチルメタクリレート(Tgh=196℃),tert−ブチルメタクリレート(Tgh=118℃),シアノメチルフェニルメタクリレート(Tgh=128℃),シアノフェニルメタクリレート(Tgh=155℃),ジメチルブチルメタクリレート(Tgh=108℃),イソボニルメタクリレート(Tgh=110℃),メトキシカルボニルフェニルメタクリレート(Tgh=106℃),フェニルメタクリレート(Tgh=110℃),トリメチルシクロヘキシルメタクリレート(Tgh=125℃),キシレニルメタクリレート(Tgh=125〜167℃)等のメタクリレート類が挙げられる。熱分解性の観点からは、メタクリレートが好ましい。コスト面の観点からは、メチルメタクリレートが好ましい。 Examples of the H component include adamantyl acrylate (Tgh = 153 ° C.), dimethyladamantyl acrylate (Tgh = 106 ° C.), biphenyl acrylate (Tgh = 110 ° C.), cyanobutyl acrylate (Tgh = 111 to 123 ° C.), cyanoheptyl acrylate ( Acrylates such as Tgh = 116 ° C. and cyanomethyl acrylate (Tgh = 160 ° C.); methyl methacrylate (Tgh = 105 ° C.), acrylonitrile methacrylate (Tgh = 110 ° C.), adamantyl methacrylate (Tgh = 141 ° C.), dimethyl adamantyl methacrylate (Tgh = 196 ° C.), tert-butyl methacrylate (Tgh = 118 ° C.), cyanomethylphenyl methacrylate (Tgh = 128 ° C.), cyanophenyl methacrylate Tgh = 155 ° C.), dimethylbutyl methacrylate (Tgh = 108 ° C.), isobornyl methacrylate (Tgh = 110 ° C.), methoxycarbonylphenyl methacrylate (Tgh = 106 ° C.), phenyl methacrylate (Tgh = 110 ° C.), trimethylcyclohexyl methacrylate ( And methacrylates such as Tgh = 125 ° C. and xylenyl methacrylate (Tgh = 125 to 167 ° C.). From the viewpoint of thermal decomposability, methacrylate is preferred. From the viewpoint of cost, methyl methacrylate is preferable.
L成分としては、Tgh−Tglの値が50℃以上である限り、H成分で例示したアクリレート類およびメタクリレート類から選ぶことができる。L成分においても、熱分解性の観点からはメタクリレートが好ましく、コスト面の観点からは、汎用系のメタクリレートであるブチルメタクリレート(Tgl=20℃)またはイソブチルメタクリレート(Tgl=48℃)等が好ましい。 The L component can be selected from the acrylates and methacrylates exemplified for the H component as long as the Tgh-Tgl value is 50 ° C. or higher. Also in the L component, methacrylate is preferable from the viewpoint of thermal decomposability, and butyl methacrylate (Tgl = 20 ° C.) or isobutyl methacrylate (Tgl = 48 ° C.), which is a general-purpose methacrylate, is preferable from the viewpoint of cost.
上述したH成分およびL成分は、これらを共重合させた共重合体Pに対して、H成分およびL成分の合計モル分率が80モル%以上となる割合で共重合させるのが好ましい。すなわち、共重合体Pを構成するモノマー単位の全モル数をPm、共重合体Pを構成するH成分モノマー単位のモル数をHm、共重合体Pを構成するL成分モノマー単位のモル数をLmとしたとき、(Hm+Lm)/Pm≧0.8を満たすような共重合組成比率にするのが好ましい。 It is preferable to copolymerize the H component and the L component described above with respect to the copolymer P obtained by copolymerizing them in such a ratio that the total molar fraction of the H component and the L component is 80 mol% or more. That is, the total number of moles of monomer units constituting the copolymer P is Pm, the number of moles of H component monomer units constituting the copolymer P is Hm, and the number of moles of L component monomer units constituting the copolymer P is It is preferable to set the copolymer composition ratio so that (Hm + Lm) /Pm≧0.8 when Lm is satisfied.
H成分およびL成分の各比率は、特に限定されるものではなく、所望とする銅ペースト組成物のレオロジーに合わせて適宜選択すればよい。銅ペースト組成物のレオロジーは、H成分が多い場合には弾性的性質が支配的になり、L成分が多い場合には粘性的性質が支配的になる傾向にある。粘弾性バランスの観点からは、HmとLmとのモル比は、Hm:Lm=7:3〜3:7であるのが好ましく、6:4〜4:6であるのがより好ましい。 Each ratio of the H component and the L component is not particularly limited, and may be appropriately selected according to the desired rheology of the copper paste composition. The rheology of the copper paste composition tends to be dominated by elastic properties when the H component is large, and by viscous properties when the L component is large. From the viewpoint of viscoelastic balance, the molar ratio of Hm to Lm is preferably Hm: Lm = 7: 3 to 3: 7, and more preferably 6: 4 to 4: 6.
また、共重合体Pに、極性官能基含有(メタ)アクリル酸エステルをさらに共重合させるのが好ましい。これにより、樹脂バインダーの熱分解性を向上させることができるとともに、銅ペースト組成物に適度な粘度およびチキソ性を付与することができ、かつ粘度の経時安定性を維持することができる。 Moreover, it is preferable that the copolymer P is further copolymerized with a polar functional group-containing (meth) acrylic acid ester. As a result, the thermal decomposability of the resin binder can be improved, an appropriate viscosity and thixotropy can be imparted to the copper paste composition, and the viscosity stability over time can be maintained.
極性官能基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリル酸エステルおよびポリアルキレンオキサイド鎖含有(メタ)アクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種であるのが好ましい。 The polar functional group-containing (meth) acrylic acid ester is preferably at least one selected from a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester and a polyalkylene oxide chain-containing (meth) acrylic acid ester.
ヒドロキシル基含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えばヒドロキシエチルアクリレート,ヒドロキシエチルメタクリレート,ヒドロキシブチルアクリレート,ヒドロキシブチルメタクリレート,ヒドロキシプロピルアクリレート,ヒドロキシプロピルメタクリレート,ジヒドロキシエチルアクリレート,ジヒドロキシエチルメタクリレート,ジヒドロキシプロピルアクリレート,ジヒドロキシプロピルメタクリレート,ジヒドロキシブチルアクリレート,ジヒドロキシブチルメタクリレート,(ポリ)エチレングリコールモノアクリレート,(ポリ)エチレングリコールモノメタクリレート,ジエチレングリコールモノアクリレート,ジエチレングリコールモノメタクリレート,グリセリンモノアクリレート,グリセリンモノメタクリレート等が挙げられる。 Examples of hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid esters include hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxybutyl acrylate, hydroxybutyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, dihydroxyethyl acrylate, dihydroxyethyl methacrylate, dihydroxypropyl acrylate, dihydroxy Propyl methacrylate, dihydroxybutyl acrylate, dihydroxybutyl methacrylate, (poly) ethylene glycol monoacrylate, (poly) ethylene glycol monomethacrylate, diethylene glycol monoacrylate, diethylene glycol monomethacrylate, glycerin monoacrylate, glycerin monometa Relate and the like.
ポリアルキレンオキサイド鎖含有(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えばポリメチレンオキサイドモノアクリレート,ポリメチレンオキサイドモノメタクリレート,ポリエチレンオキサイドモノアクリレート,ポリエチレンオキサイドモノメタクリレート,ポリプロピレンオキサイドモノアクリレート,ポリプロピレンオキサイドモノメタクリレート等が挙げられる。 Examples of the polyalkylene oxide chain-containing (meth) acrylic acid ester include polymethylene oxide monoacrylate, polymethylene oxide monomethacrylate, polyethylene oxide monoacrylate, polyethylene oxide monomethacrylate, polypropylene oxide monoacrylate, and polypropylene oxide monomethacrylate. .
例示したヒドロキシル基含有(メタ)アクリル酸エステルおよびポリアルキレンオキサイド鎖含有(メタ)アクリル酸エステルの末端は、例えば水酸基末端にしたもの、またはメチル基、エチル基等のアルキル基でアルコキシ基末端にしたものが好適に使用される。具体例を挙げると、メトキシ(ポリ)エチレングリコールモノメタクリレート等が挙げられる。極性官能基含有(メタ)アクリル酸エステルの割合は、Pmに対して20モル%以下とするのが好ましい。 The end of the exemplified hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester and polyalkylene oxide chain-containing (meth) acrylate ester is, for example, terminated with a hydroxyl group, or terminated with an alkoxy group such as a methyl group or an ethyl group. Those are preferably used. Specific examples include methoxy (poly) ethylene glycol monomethacrylate and the like. The proportion of the polar functional group-containing (meth) acrylic acid ester is preferably 20 mol% or less with respect to Pm.
上述した共重合体Pは、例えば溶液重合、懸濁重合、乳化重合等により製造することができ、取扱が容易であるという観点からは、溶液重合が好ましい。共重合体Pのより詳細な説明については、例えば特開2008−202041号公報等に記載されている。 The copolymer P described above can be produced by, for example, solution polymerization, suspension polymerization, emulsion polymerization, and the like, and solution polymerization is preferable from the viewpoint of easy handling. A more detailed description of the copolymer P is described in, for example, JP 2008-202041 A.
一方、樹脂バインダーが、上述したアクリル樹脂とともに、ニトロセルロース樹脂を含む場合には、スクリーン印刷等の印刷性に適した粘度やチキソ性等に表される銅ペースト組成物のレオロジー特性をさらに向上させることができる。 On the other hand, when the resin binder contains a nitrocellulose resin together with the acrylic resin described above, the rheological properties of the copper paste composition represented by the viscosity and thixotropy suitable for printability such as screen printing are further improved. be able to.
ニトロセルロース樹脂は、通常、天然セルロースの水酸基を硝酸エステル化して得られるが、そのときの置換度(硝化度)または重合度によって後述する溶剤に対する溶解性や粘度が変わるため、溶剤に合わせてニトロセルロース樹脂の選定を行うのが望ましい。ニトロセルロース樹脂の割合は、アクリル樹脂およびニトロセルロース樹脂の総量に対して1〜20質量%であるのが好ましく、5〜15質量%であるのがより好ましい。 The nitrocellulose resin is usually obtained by esterifying the hydroxyl group of natural cellulose with nitric acid ester. However, the solubility and viscosity in the solvent described later depend on the degree of substitution (nitrification degree) or the degree of polymerization at that time. It is desirable to select a cellulose resin. The ratio of the nitrocellulose resin is preferably 1 to 20% by mass and more preferably 5 to 15% by mass with respect to the total amount of the acrylic resin and the nitrocellulose resin.
上述したアクリル樹脂およびニトロセルロース樹脂以外の樹脂バインダーとしては、例えばアクリル系、ポリビニルアセタール系、セルロース系、ポリビニルアルコール系、ポリ酢酸ビニル系、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンカーボネート系等の重合体が挙げられ、これらは1種または2種以上を混合して用いてもよい。また、これらの重合体は一種のモノマーの単独重合体であってもよいし、異なる種類のモノマーの共重合体であってもよい。 Examples of the resin binder other than the acrylic resin and nitrocellulose resin described above include polymers such as acrylic, polyvinyl acetal, cellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl acetate, polyvinyl chloride, and polypropylene carbonate. You may use these 1 type or in mixture of 2 or more types. These polymers may be homopolymers of one kind of monomer or may be copolymers of different kinds of monomers.
アクリル系の重合体を構成するモノマーとしては、例えばメチルアクリレート,メチルメタクリレート,エチルアクリレート,エチルメタクリレート,n−プロピルアクリレート,n−プロピルメタアクリレート,イソプロピルアクリレート,イソプロピルメタクリレート,n−ブチルアクリレート,n−ブチルメタクリレート,イソブチルアクリレート,イソブチルメタクリレート,tert−ブチルアクリレート,tert−ブチルメタクリレート,シクロヘキシルアクリレート,シクロヘキシルメタクリレート,2−エチルヘキシルアクリレート,2−エチルヘキシルメタクリレート,イソノニルアクリレート,イソノニルメタクリレート,イソデシルアクリレート,イソデシルメタクリレート等が挙げられる。 Examples of the monomer constituting the acrylic polymer include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl acrylate, and n-butyl. Methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, isononyl acrylate, isononyl methacrylate, isodecyl acrylate, isodecyl methacrylate, etc. Is mentioned.
これらアクリル酸エステルまたはメタクリル酸アルキルエステルを主鎖とする共重合体には、例えばカルボン酸基,アルキレンオキサイド基,水酸基,グリシジル基,アミノ基またはアミド基を有するモノマーが共重合成分として含まれているものを好適に用いることができる。また、これらアクリル酸エステルやメタクリル酸アルキルエステルを主鎖とする共重合体には、他の共重合可能なアクリロニトリル,スチレン,エチレン,酢酸ビニル,n−ビニルピロリドン等を共重合させてもよい。 These copolymers having an acrylic ester or an alkyl methacrylate as the main chain include, for example, a monomer having a carboxylic acid group, an alkylene oxide group, a hydroxyl group, a glycidyl group, an amino group or an amide group as a copolymerization component. Can be used suitably. Further, other copolymerizable acrylonitrile, styrene, ethylene, vinyl acetate, n-vinylpyrrolidone, and the like may be copolymerized with the copolymer having the acrylic acid ester or methacrylic acid alkyl ester as the main chain.
カルボン酸基を有するモノマーとしては、例えばアクリル酸,メタクリル酸,マレイン酸,イタコン酸,フマル酸等が挙げられ、アルキレンオキサイド基を有するモノマーとしては、例えばメチレンオキサイド,エチレンオキサイド,プロピレンオキサイド等が挙げられ、水酸基を有するモノマーとしては、例えば2−ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシエチルメタクリレート,2−ヒドロキシブチルアクリレート,2−ヒドロキシブチルメタクリレート,ジエチレングリコールモノアクリレート,ジエチレングリコールモノメタクリレート,グリセリンモノアクリレート,グリセリンモノメタクリレート,トリメチロールプロパントリアクリレート,トリメチロールプロパントリメタクリレート等が挙げられ、グリシジル基を有するモノマーとしては、例えばグリシジルアクリレート,グリシジルメタクリレート等が挙げられ、アミノ基またはアミド基を有するモノマーとしては、例えばジメチルアミノエチルアクリレート,ジメチルアミノエチルメタクリレート,ジエチルアミノエチルアクリレート,ジエチルアミノエチルメタクリレート,N−tert−ブチルアミノエチルアクリレート,N−tert−ブチルアミノエチルメタクリレート,アクリルアミド,シクロヘキシルアクリルアミド,シクロヘキシルメタクリルアミド,N−メチロールアクリルアミド,ジアセトンアクリルアミド等が挙げられる。 Examples of the monomer having a carboxylic acid group include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, itaconic acid, and fumaric acid. Examples of the monomer having an alkylene oxide group include methylene oxide, ethylene oxide, and propylene oxide. Examples of the monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, diethylene glycol monoacrylate, diethylene glycol monomethacrylate, glycerin monoacrylate, glycerin monomethacrylate, Trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, etc. Examples of the monomer to be used include glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, and examples of the monomer having an amino group or an amide group include dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, N-tert- Examples include butylaminoethyl acrylate, N-tert-butylaminoethyl methacrylate, acrylamide, cyclohexyl acrylamide, cyclohexyl methacrylamide, N-methylol acrylamide, and diacetone acrylamide.
ポリビニルアセタール系の重合体としては、例えばポリビニルブチラール,ポリビニルエチラール,ポリビニルプロピラール,ポリビニルオクチラール,ポリビニルフェニラール、またはこれらの誘導体等が挙げられる。 Examples of the polyvinyl acetal polymer include polyvinyl butyral, polyvinyl ethylal, polyvinyl propylal, polyvinyl octylal, polyvinyl phenylal, and derivatives thereof.
セルロース系の重合体としては、例えばメチルセルロース,エチルセルロース,カルボキシメチルセルロース,ヒドロキシプロピルセルロース,ヒドロキシプロピルメチルセルロース,酢酸セルロース等が挙げられる。 Examples of the cellulose polymer include methyl cellulose, ethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, hydroxypropyl methyl cellulose, and cellulose acetate.
樹脂バインダーの重量平均分子量としては、2万〜10万であるのが好ましい。これにより、スクリーン印刷等の印刷性に適した粘度、チキソ性または曳糸性を銅ペースト組成物に付与することができる。樹脂バインダーの割合は、銅粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、1〜10質量部であるのがより好ましい。 The weight average molecular weight of the resin binder is preferably 20,000 to 100,000. Thereby, the viscosity, thixotropy, or stringiness suitable for printability, such as screen printing, can be provided to a copper paste composition. The ratio of the resin binder is preferably 1 to 20 parts by mass and more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the copper powder.
なお、銅ペースト組成物における樹脂バインダーの組成および組成比については、例えばGC−Mass(ガスクロマトグラフ質量分析)またはNMR(核磁気共鳴分析)等を用いることにより測定可能である。また、上述したTghおよびTglについては、それぞれの原料モノマーから重合したホモポリマーについて、DSC(示差熱走査熱量計)等を用いることにより測定可能である。また、TghおよびTglは、DSC等の測定装置で実測する他に、Foxの式;1/Tg=w1/Tg1+w2/Tg2・・・(式中、w1,Tg1およびw2,Tg2は、各ホモポリマー成分1,2の重量分率およびガラス転移温度を示す。)を利用して計算することによっても求めることができる。 In addition, about the composition and composition ratio of the resin binder in a copper paste composition, it can measure by using GC-Mass (gas chromatograph mass spectrometry) or NMR (nuclear magnetic resonance analysis) etc., for example. Further, the above Tgh and Tgl can be measured by using a DSC (differential thermal scanning calorimeter) or the like for a homopolymer polymerized from each raw material monomer. Further, Tgh and Tgl are measured by a measuring device such as DSC, Fox's formula; 1 / Tg = w1 / Tg1 + w2 / Tg2 (wherein w1, Tg1 and w2, Tg2 are homopolymers) The weight fraction of components 1 and 2 and the glass transition temperature are shown.).
銅ペースト組成物は、溶剤をさらに含有するのが好ましい。溶剤としては、高沸点溶剤が好適であり、該高沸点溶剤としては、例えばテルピネオール,ジヒドロテルピネオール,エチルカルビトール,ブチルカルビトール,カルビトールアセテート,ブチルカルビトールアセテート,ジイソプロピルケトン,メチルセルソルブアセテート,セルソルブアセテート,ブチルセルソルブ,ブチルセルソルブアセテート,シクロヘキサノン,シクロヘキサノール,イソホロン,シプロピレングリコール,プロピレングリコールモノメチルエーテル,プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート,ブチルカルビトールメチル−3−ヒドロキシヘキサノエート,トリメチルペンタンジオールモノイソブチレート,パイン油,ミネラルスピリット等が挙げられ、これらは1種または2種以上を混合して用いてもよい。 The copper paste composition preferably further contains a solvent. As the solvent, a high boiling point solvent is suitable. Examples of the high boiling point solvent include terpineol, dihydroterpineol, ethyl carbitol, butyl carbitol, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, diisopropyl ketone, methyl cellosolve acetate, Cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, isophorone, cypropylene glycol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, butyl carbitol methyl-3-hydroxyhexanoate, trimethylpentanediol Monoisobutyrate, pine oil, mineral spirit, etc. are mentioned, and these are used alone or in combination of two or more. It may be.
溶剤の選択は重要であり、上述した樹脂バインダーとの相溶性によって銅ペースト組成物のレオロジカルな性質が左右される。一般には、樹脂バインダーと溶剤とのSP値(Solubility Parameter;溶解度パラメーター)の相違が大きいほど、銅ペースト組成物は高粘度化または高チキソ化する傾向にある。また、樹脂バインダーの溶剤に対する溶解性が高いと、取扱が容易になるとともに、銅ペースト組成物の粘度の経時安定性が維持され易くなる。溶剤の割合は、銅粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、10〜20質量部であるのがより好ましい。 The selection of the solvent is important, and the rheological properties of the copper paste composition depend on the compatibility with the above-described resin binder. In general, as the difference in SP value (solubility parameter) between the resin binder and the solvent increases, the copper paste composition tends to increase in viscosity or increase in thixotropy. Moreover, when the solubility with respect to the solvent of a resin binder is high, while handling becomes easy, it becomes easy to maintain the temporal stability of the viscosity of a copper paste composition. It is preferable that the ratio of a solvent is 1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of copper powder, and it is more preferable that it is 10-20 mass parts.
銅ペースト組成物は、チキソ剤をさらに含有するのが好ましい。チキソ剤としては、例えば水添ヒマシ油、アマイドワックス、酸化ポリエチレン系、多糖類脂肪族エステル系等が挙げられ、これらは1種または2種以上を混合して用いてもよい。 The copper paste composition preferably further contains a thixotropic agent. Examples of the thixotropic agent include hydrogenated castor oil, amide wax, oxidized polyethylene, polysaccharide aliphatic ester, and the like. These may be used alone or in combination.
例示したチキソ剤のうち、特に水添ヒマシ油およびアマイドワックスを含むものが好ましい。これにより、銅ペースト組成物に適度なチキソ性が付与されるので、銅ペースト組成物を微細な配線パターンでセラミック基板に印刷塗布することが可能になり、かつ均一な線幅でメタライズ配線を形成することができる。 Of the exemplified thixotropic agents, those containing hydrogenated castor oil and amide wax are particularly preferred. As a result, moderate thixotropy is imparted to the copper paste composition, so that the copper paste composition can be printed and applied to a ceramic substrate with a fine wiring pattern, and metallized wiring can be formed with a uniform line width. can do.
チキソ剤の割合は、銅粉100質量部に対して0.1〜5質量部であるのが好ましく、0.1〜2質量部であるのがより好ましい。チキソ剤として水添ヒマシ油およびアマイドワックスを含む場合には、水添ヒマシ油とアマイドワックスとの割合は、質量比で、水添ヒマシ油:アマイドワックス=9:1〜1:9であるのが好ましく、9:1〜5:5であるのがより好ましく、8:2〜6:4であるのがさらに好ましい。 The ratio of the thixotropic agent is preferably 0.1 to 5 parts by mass, more preferably 0.1 to 2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the copper powder. When hydrogenated castor oil and amide wax are included as a thixotropic agent, the ratio of hydrogenated castor oil and amide wax is, by mass ratio, hydrogenated castor oil: amide wax = 9: 1 to 1: 9. Is preferable, 9: 1 to 5: 5 is more preferable, and 8: 2 to 6: 4 is more preferable.
銅ペースト組成物には、可塑剤または滑剤を添加してもよい。可塑剤または滑剤としては、例えばジメチルフタレート,ジブチルフタレート,ジ−2−エチルヘキシルフタレート,ジヘプチルフタレート,ジ−n−オクチルフタレート,ジイソノニルフタレート,ジイソデシルフタレート,ブチルベンジルフタレート,エチルフタリルエチルグリコレート,ブチルフタリルブチルグリコレート等のフタル酸エステル系;ジ−2−エチルヘキシルアジペート,ジブチルジグリコールアジペート等の脂肪族エステル系;ジエチレングリコール,トリエチレングリコール,ポリエチレングリコール,ジエチレングリコールメチルエーテル,トリエチレングリコールメチルエーテル,ジエチレングリコールエチルエーテル,ジエチレングリコール−n−ブチルエーテル,トリエチレングリコール−n−ブチルエーテル,エチレングリコールフェニルエーテル,エチレングリコール−n−アセテート,ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル,ジエチレングリコールモノビニルエーテル等のエチレングリコール系;ジプロピレングリコール,トリプロピレングリコール,ポリプロピレングリコール,ジプロピレングリコールメチルエーテル,トリプロピレングリコールメチルエーテル,ジプロピレングリコールモノエチルエーテル,ジプロピレングリコール−n−ブチルエーテル,トリプロピレングリコール−n−ブチルエーテル,プロピレングリコールフェニルエーテル,エチレングリコールベンジルエーテル,エチレングリコールイソアミルエーテル等のプロピレングリコール系;グリセリン,ジグリセリン,ポリグリセリン等のグリセリン系等が挙げられる。可塑剤または滑剤の割合は、銅粉100質量部に対して0.1〜10質量部程度が適当である。 A plasticizer or a lubricant may be added to the copper paste composition. Examples of plasticizers or lubricants include dimethyl phthalate, dibutyl phthalate, di-2-ethylhexyl phthalate, diheptyl phthalate, di-n-octyl phthalate, diisononyl phthalate, diisodecyl phthalate, butyl benzyl phthalate, ethyl phthalyl ethyl glycolate, butyl Phthalates such as phthalylbutyl glycolate; Aliphatic esters such as di-2-ethylhexyl adipate and dibutyl diglycol adipate; Diethylene glycol, triethylene glycol, polyethylene glycol, diethylene glycol methyl ether, triethylene glycol methyl ether, diethylene glycol Ethyl ether, diethylene glycol-n-butyl ether, triethylene glycol-n-butyl ether Ethylene glycols such as ethylene glycol phenyl ether, ethylene glycol n-acetate, diethylene glycol monohexyl ether, diethylene glycol monovinyl ether; dipropylene glycol, tripropylene glycol, polypropylene glycol, dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether , Dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol-n-butyl ether, tripropylene glycol-n-butyl ether, propylene glycol phenyl ether, ethylene glycol benzyl ether, ethylene glycol isoamyl ether, and the like; glycerin, diglycerin, poly Glycerin type such as glycerin And the like. About 0.1-10 mass parts is suitable for the ratio of a plasticizer or a lubricant with respect to 100 mass parts of copper powder.
銅ペースト組成物には、分散剤を添加してもよい。分散剤としては、例えばポリオキシエチレングリコール,ポリオキシプロピレングリコール,ポリオキシエチレンアルキルエーテル,ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル,グリセリン脂肪酸部分エステル,ソルビタン脂肪酸部分エステル,ペンタエリスリトール脂肪酸部分エステル,ポリオキシエチレンソルビタン酸脂肪部分エステル,ポリオキシエチレンアルキルエーテルカルボキシレート,脂肪酸アルカノールアミド,ポリオキシアルキレンアルキルアミン,アルキルジアルキルアミンオキシド等の非イオン性界面活性剤;アルキルアミン塩,ジアルキルアミン塩,第4級アンモニウム塩等の陽イオン性界面活性剤;エーテルカルボン酸塩,ジアルキルスルホこはく酸塩,アルカンスルホン酸塩,アルキルベンゼンスルホン酸塩,アルキルナフタレンスルホン酸塩,ポリオキシエチレンアルキルスルホフェニルエーテル塩,アルキル燐酸エステル塩,ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸エステル塩,脂肪酸アルキルエステルの硫酸エステル塩,アルキル硫酸エステル塩,ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩,脂肪酸モノグリセリド硫酸エステル塩,アシル化アミノ酸塩等の陰イオン性界面活性剤;ベタイン型両性界面活性剤,アミノ酸型両性界面活性剤等の両性界面活性剤;ポリビニルアルコール,デンプン,デンプン誘導体,カルボキシメチルセルロース,メチルセルロース,ヒドロキシエチルセルロース等のセルロース誘導体,ポリアクリル酸ソーダ等の高分子型乳化分散剤等が挙げられる。分散剤の割合は、銅粉100質量部に対して固形分換算で0.1〜1質量部程度が適当である。 A dispersant may be added to the copper paste composition. Examples of the dispersant include polyoxyethylene glycol, polyoxypropylene glycol, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene alkyl phenyl ether, glycerin fatty acid partial ester, sorbitan fatty acid partial ester, pentaerythritol fatty acid partial ester, polyoxyethylene sorbitan acid Nonionic surfactants such as fatty partial esters, polyoxyethylene alkyl ether carboxylates, fatty acid alkanolamides, polyoxyalkylene alkylamines, alkyldialkylamine oxides; alkylamine salts, dialkylamine salts, quaternary ammonium salts, etc. Cationic surfactants; ether carboxylates, dialkyl sulfosuccinates, alkane sulfonates, alkyl benzene sulfonic acids , Alkyl naphthalene sulfonate, polyoxyethylene alkyl sulfophenyl ether salt, alkyl phosphate ester salt, polyoxyethylene alkyl ether phosphate ester salt, fatty acid alkyl ester sulfate ester, alkyl sulfate ester salt, polyoxyethylene alkyl ether sulfate ester Anionic surfactants such as salts, fatty acid monoglyceride sulfates, acylated amino acid salts; amphoteric surfactants such as betaine amphoteric surfactants and amino acid amphoteric surfactants; polyvinyl alcohol, starch, starch derivatives, carboxy Examples thereof include cellulose derivatives such as methylcellulose, methylcellulose, and hydroxyethylcellulose, and polymer-type emulsifying dispersants such as sodium polyacrylate. About 0.1-1 mass part is suitable for the ratio of a dispersing agent in conversion of solid content with respect to 100 mass parts of copper powder.
上述した本発明にかかる銅ペースト組成物は、セラミック配線基板のメタライズ配線等を形成するのに適したものである。ここで、メタライズ配線は、所定の配線パターンでセラミック基板上に位置精度よく形成されることが要求される。この要求は、1枚のセラミック配線基板からLED等の電子部品を実装した実装基板を多数製造する多数個取りのセラミック配線基板において顕著である。 The copper paste composition according to the present invention described above is suitable for forming a metallized wiring or the like of a ceramic wiring board. Here, the metallized wiring is required to be formed on the ceramic substrate with a predetermined wiring pattern with high positional accuracy. This requirement is remarkable in a multi-piece ceramic wiring board that manufactures a large number of mounting boards on which electronic components such as LEDs are mounted from one ceramic wiring board.
メタライズ配線の形成は、通常、コファイア(co−fired)方式か、ポストファイア(post−fired)方式のいずれかにより行われる。コファイア方式は、セラミックグリーンシート上に銅ペースト組成物を印刷塗布し、これらを同時焼成してセラミック基板上にメタライズ配線を形成するものである。コファイア方式によれば、同時焼成することにより、セラミック配線基板を効率よく得ることができるものの、焼成時において、セラミックグリーンシートの収縮バラツキにより、セラミック配線基板上に形成されるメタライズ配線に位置ズレが発生し易い。 The metallized wiring is usually formed by either a co-fired method or a post-fired method. In the cofire method, a copper paste composition is printed and applied onto a ceramic green sheet, and these are simultaneously fired to form a metallized wiring on a ceramic substrate. According to the cofire method, a ceramic wiring board can be efficiently obtained by simultaneous firing, but the metallized wiring formed on the ceramic wiring board is misaligned due to shrinkage variation of the ceramic green sheet during firing. It is easy to generate.
一方、ポストファイア方式は、予めセラミックグリーンシートを焼成してセラミック焼結体であるセラミック基板を得、このセラミック基板上に銅ペースト組成物を印刷塗布して焼成することにより、セラミック基板上にメタライズ配線を形成するものである。したがって、ポストファイア方式によれば、一度焼成して収縮したセラミック基板上に、銅ペーストを印刷塗布して形成することにより、焼成時における収縮バラツキによる位置ずれを抑制することができ、メタライズ配線を所定の配線パターンでセラミック基板上に位置精度よく形成することができる。本発明にかかる銅ペースト組成物は、このポストファイア用の銅ペースト組成物として好適に用いることができるものである。 On the other hand, in the post-fire method, the ceramic green sheet is fired in advance to obtain a ceramic substrate that is a ceramic sintered body, and the copper paste composition is printed on the ceramic substrate and fired, and then metallized on the ceramic substrate. A wiring is formed. Therefore, according to the postfire method, by forming the copper paste on the ceramic substrate once fired and shrunk, it is possible to suppress misalignment due to shrinkage variation at the time of firing. It can be formed on the ceramic substrate with a predetermined wiring pattern with high positional accuracy. The copper paste composition according to the present invention can be suitably used as this copper paste composition for postfire.
ポストファイア方式について、より具体的に説明すると、まず、セラミックグリーンシートを作製する。セラミックグリーンシートの作製は、まず、原料粉に対して所望により焼結助剤を添加して混合し、混合物を得る。原料粉としては、例えばセラミック粉、ガラスフリット等が挙げられる。 The post-fire method will be described more specifically. First, a ceramic green sheet is produced. In producing the ceramic green sheet, first, if necessary, a sintering aid is added to the raw material powder and mixed to obtain a mixture. Examples of the raw material powder include ceramic powder and glass frit.
セラミック粉としては、例えば金属酸化物粒子、非金属酸化物粒子、非酸化物粒子等が挙げられる。セラミック粉の具体例としては、Li,K,Mg,B,Al,Si,Cu,Ca,Br,Ba,Zn,Cd,Ga,In,ランタノイド,アクチノイド,Ti,Zr,Hf,Bi,V,Nb,Ta,W,Mn,Fe,Co,Ni等の元素の炭化物、窒化物、ホウ化物、硫化物等が挙げられる。 Examples of the ceramic powder include metal oxide particles, nonmetal oxide particles, and nonoxide particles. Specific examples of the ceramic powder include Li, K, Mg, B, Al, Si, Cu, Ca, Br, Ba, Zn, Cd, Ga, In, lanthanoid, actinoid, Ti, Zr, Hf, Bi, V, Examples thereof include carbides, nitrides, borides, sulfides, and the like of elements such as Nb, Ta, W, Mn, Fe, Co, and Ni.
セラミック粉の他の例としては、SiO2,Al2O3,ZrO2およびTiO2から選ばれる少なくとも1種とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物等が挙げられる。セラミック粉のさらに他の例としては、ZnO,MgO,MgAl2O4,ZnAl2O4,MgSiO3,Mg2SiO4,Zn2SiO4,Zn2TiO4,SrTiO3,CaTiO3,MgTiO3,BaTiO3,CaMgSi2O6,SrAl2Si2O8,BaAl2Si2O8,CaAl2Si2O8,Mg2Al4Si5O18,Zn2Al4Si5O18,AlN,Si3N4,SiC,Al2O3およびSiO2から選ばれる少なくとも1種を含む複合酸化物、すなわちスピネル,ムライト,コージェライト等が挙げられる。セラミック粉の平均粒子径としては、1〜10μm程度が適当である。 Other examples of the ceramic powder include composite oxides of at least one selected from SiO 2 , Al 2 O 3 , ZrO 2 and TiO 2 and an alkaline earth metal oxide. Other examples of the ceramic powder include ZnO, MgO, MgAl 2 O 4 , ZnAl 2 O 4 , MgSiO 3 , Mg 2 SiO 4 , Zn 2 SiO 4 , Zn 2 TiO 4 , SrTiO 3 , CaTiO 3 , MgTiO 3. , BaTiO 3 , CaMgSi 2 O 6 , SrAl 2 Si 2 O 8 , BaAl 2 Si 2 O 8 , CaAl 2 Si 2 O 8 , Mg 2 Al 4 Si 5 O 18 , Zn 2 Al 4 Si 5 O 18 , AlN, Examples thereof include composite oxides containing at least one selected from Si 3 N 4 , SiC, Al 2 O 3 and SiO 2 , that is, spinel, mullite, cordierite and the like. The average particle size of the ceramic powder is suitably about 1 to 10 μm.
ガラスフリットを構成するガラスとしては、例えばSiO2−B2O3系ガラス,SiO2−B2O3−Al2O3系ガラス,SiO2−B2O3−Al2O3−MO系ガラス(式中、Mは、Ca、Sr、Mg、BaまたはZnを示す。),SiO2−Al2O3−M1O−M2O系ガラス(式中、M1およびM2は、それぞれ同一または異なるものであって、Ca、Sr、Mg、BaまたはZnを示す。),SiO2−B2O3−Al2O3−M1O−M2O系ガラス(式中、M1およびM2は、上記と同じである。),SiO2−B2O3−M3 2O系ガラス(式中、M3は、Li、NaまたはKを示す。),SiO2−B2O3−Al2O3−M3 2O系ガラス(式中、M3は、上記と同じである。),Pb系ガラス,Bi系ガラス等が挙げられる。 Examples of the glass constituting the glass frit include SiO 2 —B 2 O 3 glass, SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 glass, and SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —MO. Glass (wherein M represents Ca, Sr, Mg, Ba or Zn), SiO 2 —Al 2 O 3 —M 1 O—M 2 O glass (wherein M 1 and M 2 are Each of them is the same or different and represents Ca, Sr, Mg, Ba or Zn.), SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —M 1 O—M 2 O-based glass (wherein M 1 and M 2 are the same as above.), SiO 2 —B 2 O 3 —M 3 2 O glass (wherein M 3 represents Li, Na or K), SiO 2 —B 2 O 3 -Al 2 O 3 -M 3 2 O -based glass (where, M 3 are the same as above.), Pb-based glass, Bi-based glass and the like It is.
また、ガラスの他の例としては、アルカリ金属酸化物,アルカリ土類金属酸化物および希土類酸化物から選ばれる少なくとも1種を含有するガラス等が挙げられる。例示したこれらのガラスは、焼成処理することによって非晶質ガラスとなるものを含む。また、例示したこれらのガラスは、焼成処理することによって、リチウムシリケート,クォーツ,クリストバライト,コージェライト,ムライト,アノーサイト,セルジアン,スピネル,ガーナイト,ウイレマイト,ドロマイト,またはペタライトの結晶を析出する結晶化ガラスを含んでもよく、これらの置換誘導体の結晶を析出する結晶化ガラスを含んでもよい。ガラスフリットの平均粒子径としては、1〜5μm程度が適当である。 Other examples of the glass include glass containing at least one selected from alkali metal oxides, alkaline earth metal oxides, and rare earth oxides. These exemplified glasses include those that become amorphous glass by firing treatment. In addition, these exemplified glasses are crystallized glass that precipitates lithium silicate, quartz, cristobalite, cordierite, mullite, anorthite, serdian, spinel, garnite, willemite, dolomite, or petalite by firing. It may also contain crystallized glass that precipitates crystals of these substituted derivatives. The average particle size of the glass frit is suitably about 1 to 5 μm.
焼結助剤としては、例えばB2O3,ZnO,MnO2,アルカリ金属酸化物,アルカリ土類金属酸化物,希土類金属酸化物等が挙げられる。 Examples of the sintering aid include B 2 O 3 , ZnO, MnO 2 , alkali metal oxides, alkaline earth metal oxides, and rare earth metal oxides.
上述のようにして得た混合物に、樹脂バインダー、可塑剤等の添加剤、溶剤等を加えてスラリーを得る。セラミックグリーンシートの樹脂バインダーとしては、例えばアクリル系、ポリビニルアセタール系、セルロース系、ポリビニルアルコール系、ポリ酢酸ビニル系、ポリ塩化ビニルまたはポリプロピレンカーボネート系等の重合体を用いることができ、これらは銅ペースト組成物において例示したものと同じものが挙げられる。樹脂バインダーの割合は、原料粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、5〜15質量部であるのがより好ましい。 A slurry is obtained by adding an additive such as a resin binder and a plasticizer, a solvent, and the like to the mixture obtained as described above. As the resin binder of the ceramic green sheet, for example, polymers such as acrylic, polyvinyl acetal, cellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl acetate, polyvinyl chloride, or polypropylene carbonate can be used. The same thing as what was illustrated in the composition is mentioned. The ratio of the resin binder is preferably 1 to 20 parts by mass and more preferably 5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the raw material powder.
可塑剤としては、銅ペースト組成物において例示したものと同じ可塑剤の他、フタル酸ジブチル等が挙げられる。可塑剤の割合は、原料粉100質量部に対して1〜20質量部であるのが好ましく、1〜10質量部であるのがより好ましい。 As a plasticizer, dibutyl phthalate etc. other than the plasticizer same as what was illustrated in the copper paste composition are mentioned. The proportion of the plasticizer is preferably 1 to 20 parts by mass and more preferably 1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the raw material powder.
溶剤としては、例えばトルエン等が好適であるが、本発明はこれに限定されるものではない。溶剤の割合は、原料粉100質量部に対して50〜150質量部程度が適当である。 As the solvent, for example, toluene is suitable, but the present invention is not limited to this. About 50-150 mass parts is suitable for the ratio of a solvent with respect to 100 mass parts of raw material powders.
次いで、得られたスラリーを、例えばドクターブレード法、圧延法、プレス法等の成形法によって所定の厚さに成形し、70〜100℃の雰囲気温度で1時間程度かけて乾燥し、セラミックグリーンシートを得る。セラミックグリーンシートの厚さは、特に限定されるものではなく、用途に応じて所望の厚さに調製すればよい。また、セラミックグリーンシートは、その複数枚を積層してセラミックグリーンシート積層体としてもよい。 Next, the obtained slurry is formed into a predetermined thickness by a forming method such as a doctor blade method, a rolling method, or a press method, and dried at an ambient temperature of 70 to 100 ° C. for about 1 hour. Get. The thickness of the ceramic green sheet is not particularly limited, and may be adjusted to a desired thickness according to the application. The ceramic green sheets may be laminated to form a ceramic green sheet laminate.
次いで、得られたセラミックグリーンシートを、例えばAl2O3系セッター等に載置し、窒素−水素−水蒸気等の混合雰囲気の焼成炉内において、所定の温度プロファイルで脱バインダーする。その後、最高温度1500〜1600℃で焼成を行い、セラミック基板を得る。 Next, the obtained ceramic green sheet is placed on, for example, an Al 2 O 3 setter or the like, and debindered with a predetermined temperature profile in a firing furnace having a mixed atmosphere such as nitrogen-hydrogen-steam. Thereafter, firing is performed at a maximum temperature of 1500 to 1600 ° C. to obtain a ceramic substrate.
得られたセラミック基板上に銅ペースト組成物を所定の配線パターンで印刷塗布する。印刷は、例えばスクリーン印刷法等が好適である。次いで、70〜90℃の雰囲気温度で1時間程度かけて乾燥した後、セラミック基板を、例えばAl2O3系セッター等に載置し、非酸素雰囲気中の焼成炉内において、所定の温度プロファイルで脱バインダーする。 A copper paste composition is printed and applied in a predetermined wiring pattern on the obtained ceramic substrate. For example, a screen printing method or the like is suitable for printing. Next, after drying for about 1 hour at an ambient temperature of 70 to 90 ° C., the ceramic substrate is placed on, for example, an Al 2 O 3 setter or the like, and a predetermined temperature profile is set in a firing furnace in a non-oxygen atmosphere. Remove the binder.
非酸素雰囲気としては、酸素が実質存在しない雰囲気である限り、特に限定されるものではなく、例えば窒素雰囲気、窒素−水素の混合雰囲気、窒素−水蒸気の混合雰囲気等が挙げられる。 The non-oxygen atmosphere is not particularly limited as long as the atmosphere is substantially free of oxygen, and examples thereof include a nitrogen atmosphere, a nitrogen-hydrogen mixed atmosphere, and a nitrogen-water vapor mixed atmosphere.
その後、最高温度900〜1000℃で焼成を行い、セラミック基板上にメタライズ配線が形成されたセラミック配線基板を得る。焼成の最高温度が900℃未満であると、銅粒子やガラス成分の焼結が不十分となり、メタライズ配線の密着強度の低下やメタライズ配線中にボイドが多発し、めっき工程でのめっき薬剤がメタライズ配線中に浸入し、含有するガラスをケミカルアタックすることに起因する密着性の低下を招くおそれがある。また、焼成の最高温度が1000℃を超えると、銅やガラスが過焼結され、メタライズ配線の変形を招くおそれがある。また、メタライズ配線とセラミック基板との界面付近において、密着に寄与するガラス成分が軟化しすぎて流出し、密着性が低下するおそれもある。メタライズ配線の厚さやパターンについては、特に限定されるものではなく、用途に応じて所望の厚さおよびパターンに形成すればよい。 Thereafter, firing is performed at a maximum temperature of 900 to 1000 ° C. to obtain a ceramic wiring substrate in which metallized wiring is formed on the ceramic substrate. When the maximum firing temperature is less than 900 ° C., the sintering of copper particles and glass components becomes insufficient, the adhesion strength of the metallized wiring decreases, and voids occur frequently in the metallized wiring, and the plating agent in the plating process is metallized. There is a possibility that the adhesiveness may be lowered due to penetration into the wiring and chemical attack of the contained glass. Moreover, when the maximum temperature of baking exceeds 1000 degreeC, copper and glass will be oversintered and there exists a possibility of causing a deformation | transformation of metallized wiring. Further, in the vicinity of the interface between the metallized wiring and the ceramic substrate, the glass component contributing to the adhesion may be excessively softened and flow out, and the adhesion may be lowered. The thickness and pattern of the metallized wiring are not particularly limited, and may be formed in a desired thickness and pattern depending on the application.
得られたセラミック配線基板のメタライズ配線は、上述の通り、銅を含有する。この銅が酸化されるのを抑制する上で、メタライズ配線には、めっき層を形成するのが好ましい。めっき層の形成法としては、例えば電解めっき法、無電解めっき法等が挙げられる。めっき層の層構成や厚さとしては、特に限定されるものではなく、所望の層構成および厚さを採用することができる。具体例を挙げると、厚さ1〜2μm程度のニッケル(Ni)めっき層と、厚さ0.1〜1μm程度の金(Au)めっき層とをこの順にメタライズ配線上に形成してなる2層構成のめっき層等が挙げられる。なお、一般的にガラス成分および銅粒子の耐酸性および耐アルカリ性は十分ではないため、可能な限り、中性付近での薬液を使用するとともに、めっき工程時間も短縮する工夫を行うことで密着性の低下をより抑制することが可能となる。 The metallized wiring of the obtained ceramic wiring board contains copper as described above. In order to suppress the oxidation of copper, it is preferable to form a plating layer on the metallized wiring. Examples of the method for forming the plating layer include an electrolytic plating method and an electroless plating method. The layer configuration and thickness of the plating layer are not particularly limited, and a desired layer configuration and thickness can be adopted. As a specific example, two layers formed by forming a nickel (Ni) plating layer having a thickness of about 1 to 2 μm and a gold (Au) plating layer having a thickness of about 0.1 to 1 μm on the metallized wiring in this order. Examples thereof include a plating layer having a structure. In general, since the acid resistance and alkali resistance of glass components and copper particles are not sufficient, adhesion should be achieved by using a chemical solution near neutrality as much as possible and by reducing the plating process time. It is possible to further suppress the decrease in the above.
以下、実施例を挙げて本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to a following example.
[実施例1〜21および比較例1〜14]
<セラミック配線基板の作製>
(セラミック基板の作製)
まず、セラミック基板を作製した。セラミック基板の作製に使用した材料は、次の通りである。
原料粉:SiO2−B2O3−Al2O3−CaO−ZnO系ガラスからなる平均粒子径3.5μmのガラスフリットを用いた。
樹脂バインダー:重量平均分子量40万のアクリル系重合体を用いた。
可塑剤:フタル酸ジブチルを用いた。
溶剤:トルエンを用いた。
[Examples 1 to 21 and Comparative Examples 1 to 14]
<Production of ceramic wiring board>
(Production of ceramic substrate)
First, a ceramic substrate was produced. The materials used for the production of the ceramic substrate are as follows.
Raw material powder: A glass frit made of SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —CaO—ZnO glass having an average particle diameter of 3.5 μm was used.
Resin binder: An acrylic polymer having a weight average molecular weight of 400,000 was used.
Plasticizer: Dibutyl phthalate was used.
Solvent: Toluene was used.
原料粉100質量部に対して、樹脂バインダーを11質量部、可塑剤を5質量部、および溶剤を80質量部の割合で添加し、ボールミルで36時間混合してスラリーを得た。このスラリーをドクターブレード法で成形し、温風乾燥炉を用いて80℃で1時間乾燥させ、厚さ300μmのセラミックグリーンシートを得た。 11 parts by mass of a resin binder, 5 parts by mass of a plasticizer, and 80 parts by mass of a solvent were added to 100 parts by mass of the raw material powder, and mixed by a ball mill for 36 hours to obtain a slurry. This slurry was molded by a doctor blade method and dried at 80 ° C. for 1 hour using a warm air drying furnace to obtain a ceramic green sheet having a thickness of 300 μm.
このセラミックグリーンシートをAl2O3系セッターに載置し、窒素−水素−水蒸気の混合雰囲気の焼成炉内において、所定の温度プロファイルで脱バインダーした。その後、最高温度1500〜1600℃で焼成を行い、厚さ250μmのセラミック基板を得た。 This ceramic green sheet was placed on an Al 2 O 3 setter and debindered with a predetermined temperature profile in a firing furnace in a nitrogen-hydrogen-water vapor mixed atmosphere. Thereafter, firing was performed at a maximum temperature of 1500 to 1600 ° C. to obtain a ceramic substrate having a thickness of 250 μm.
(銅ペースト組成物の調製)
次に、銅ペースト組成物を調製した。銅ペースト組成物の調製に使用した材料は、次の通りである。
(Preparation of copper paste composition)
Next, a copper paste composition was prepared. The materials used for the preparation of the copper paste composition are as follows.
銅粉:表1に示すCu1〜Cu4を用いた。なお、表1中、T1は第1の複数の銅粒子の軟化開始温度、T2は第2の複数の銅粒子の軟化開始温度をそれぞれ示している。複数の銅粒子の軟化開始温度とは、TMA(Thermomechanical Analysis,熱機械分析)によって測定される値であり、複数の銅粒子によって作製された測定用タブレットに一定の荷重を掛けることによって測定される熱収縮開始温度のことである。TMAは、例えば還元雰囲気または窒素ガス150ml/min雰囲気において昇温しつつ測定用タブレットに一定の荷重を掛けて行なわれる。TMAにおける昇温速度は、例えば10℃/分である。測定用タブレットは、例えば、複数の銅粒子およびワックスを含む混合物に10ton/cm2のプレスを行なうことによって、直径5mm、高さ10mmの円柱形状に成形されたものである。また、D1は第1の複数の銅粒子の平均粒子径、D2は第2の複数の銅粒子の平均粒子径をそれぞれ示している。
非鉛ガラスフリット:表2に示すGF1〜GF15を用いた。
酸化銅(I):平均粒子径2.5μmの粉末の酸化銅(I)を用いた。
樹脂バインダー:表3に示すRB1〜RB13を用いた。
Resin binder: RB1 to RB13 shown in Table 3 were used.
表3中、組成の欄において、MMAはメチルメタクリレート、BMAはブチルメタクリレート、MPEGMAはメトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート、NCはニトロセルロース樹脂、PEGMAはポリエチレングリコールモノメタクリレート、GLMAはグリセリンモノメタクリレート、2HEMAは2−ヒドロキシエチルメタクリレート、MAAはメタクリル酸、IBMAはイソブチルメタクリレート、EMAはエチルメタクリレート、2EHMAは2−エチルヘキシルメタクリレートをそれぞれ示す。 In Table 3, in the column of composition, MMA is methyl methacrylate, BMA is butyl methacrylate, MPEGMA is methoxypolyethylene glycol monomethacrylate, NC is nitrocellulose resin, PEGMA is polyethylene glycol monomethacrylate, GLMA is glycerin monomethacrylate, 2HEMA is 2- Hydroxyethyl methacrylate, MAA is methacrylic acid, IBMA is isobutyl methacrylate, EMA is ethyl methacrylate, and 2EHMA is 2-ethylhexyl methacrylate.
また、組成の欄において、「−co−」は共重合体組成(copolymer)を示し、数値は構成比率(モル比)を示す。ガラス転移温度は、H成分のガラス転移温度をTgh、L成分のガラス転移温度をTglとして記載した。TghおよびTglは、それぞれの原料モノマーから重合したホモポリマーについて、DSCを用いて測定した値である。H成分およびL成分は、式:(Hm+Lm)/Pm≧0.8を満たすものを記載した。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。 In the composition column, “-co-” indicates a copolymer composition, and the numerical value indicates a constituent ratio (molar ratio). Regarding the glass transition temperature, the glass transition temperature of the H component was described as Tgh, and the glass transition temperature of the L component was described as Tgl. Tgh and Tgl are values measured using DSC for homopolymers polymerized from the respective raw material monomers. The H component and the L component are described as satisfying the formula: (Hm + Lm) /Pm≧0.8. The weight average molecular weight is a value obtained by measuring by gel permeation chromatography (GPC) and converting the obtained measurement value to polystyrene.
溶剤:テルピネオールとブチルカルビトールアセテートとを質量比で5:5の割合で混合した混合溶剤を用いた。
チキソ剤:表4に示すTA1〜TA5を用いた。
Thixo drugs: TA1 to TA5 shown in Table 4 were used.
上述した銅粉、非鉛ガラスフリット、樹脂バインダーおよびチキソ剤を、表5,6に示す組み合わせで用いて銅ペースト組成物を調製した。具体的には、銅粉100質量部に対して、非鉛ガラスフリットを5質量部、酸化銅(I)を10質量部、アクリル樹脂(樹脂バインダー)を5質量部、ニトロセルロース樹脂(樹脂バインダー)を0.5質量部、溶剤を15質量部、およびチキソ剤を0.8質量部の割合でそれぞれ混合した。その後、銅粉および樹脂バインダー等の凝集体が目視で観察されなくなるまで3本ロールミルで混合し、銅ペースト組成物を得た。 A copper paste composition was prepared using the above-described copper powder, non-lead glass frit, resin binder and thixotropic agent in combinations shown in Tables 5 and 6. Specifically, 5 parts by mass of non-lead glass frit, 10 parts by mass of copper oxide (I), 5 parts by mass of acrylic resin (resin binder), nitrocellulose resin (resin binder) with respect to 100 parts by mass of copper powder 0.5 parts by mass, 15 parts by mass of solvent, and 0.8 parts by mass of thixotropic agent. Then, it mixed with the 3 roll mill until aggregates, such as copper powder and a resin binder, were no longer observed visually, and obtained the copper paste composition.
(セラミック配線基板の作製)
上記で得たセラミック基板および銅ペースト組成物を用いてセラミック配線基板を作製した。まず、上記で得たセラミック基板上に銅ペースト組成物を所定の配線パターンA,Bでスクリーン印刷法により印刷塗布した。配線パターンA,Bは、次の通りである。
(Production of ceramic wiring board)
A ceramic wiring substrate was produced using the ceramic substrate and copper paste composition obtained above. First, the copper paste composition was printed on the ceramic substrate obtained above by a screen printing method using predetermined wiring patterns A and B. The wiring patterns A and B are as follows.
配線パターンA:焼成後の目標設計値を下記の値とした配線パターンである。
形状:1mm×1mmの正方形
膜厚:12μm
Wiring pattern A: A wiring pattern having the following target design values after firing.
Shape: 1mm x 1mm square Film thickness: 12μm
配線パターンB:焼成後の目標設計値を下記の値とした微細な配線パターンである。
線幅:50μm
膜厚:12μm
Wiring pattern B: A fine wiring pattern with the target design value after firing set to the following values.
Line width: 50 μm
Film thickness: 12μm
次いで、温風乾燥炉を用いて80℃で1時間乾燥させた後、セラミック基板をAl2O3系セッターに載置し、非酸素雰囲気中の焼成炉内において、所定の温度プロファイルで脱バインダーした。非酸素雰囲気としては、窒素−水蒸気の混合雰囲気を採用した。その後、最高温度950℃で焼成を行い、セラミック配線基板を得た。 Next, after drying at 80 ° C. for 1 hour using a hot air drying furnace, the ceramic substrate is placed on an Al 2 O 3 setter, and the binder is removed at a predetermined temperature profile in a firing furnace in a non-oxygen atmosphere. did. As the non-oxygen atmosphere, a mixed atmosphere of nitrogen and water vapor was employed. Thereafter, firing was performed at a maximum temperature of 950 ° C. to obtain a ceramic wiring board.
得られたセラミック配線基板のメタライズ配線には、常法によりめっき層を形成した。めっき層には、厚さ1.5μmのNiめっき層と、厚さ0.2μmのAuめっき層とをこの順にメタライズ配線上に形成してなる2層構成のめっき層を採用した。 A plating layer was formed by a conventional method on the metallized wiring of the obtained ceramic wiring board. As the plating layer, a two-layer plating layer formed by forming a Ni plating layer having a thickness of 1.5 μm and an Au plating layer having a thickness of 0.2 μm on the metallized wiring in this order was employed.
<評価>
得られたセラミック配線基板について、密着強度および配線線幅を評価した。各評価方法を以下に示すとともに、その結果を表5,6に併せて示す。
<Evaluation>
The obtained ceramic wiring board was evaluated for adhesion strength and wiring line width. Each evaluation method is shown below, and the results are also shown in Tables 5 and 6.
(密着強度)
密着強度は、配線パターンAのメタライズ配線が形成されたセラミック配線基板を用いて評価した。具体的には、鉛フリー半田を使用して180°引張試験を実施することにより、配線パターンAのメタライズ配線と、セラミック基板との密着強度を測定した。試験条件は、次の通りである。
引張試験機:(株)エー・アンド・デイ製の「STA−1150」
引っ張り速度:5mm/分
鉛フリー半田:厚さ2〜3mm
測定回数:3回
なお、表1中の値は、n=3の平均値である。
(Adhesion strength)
The adhesion strength was evaluated using a ceramic wiring board on which the metallized wiring of the wiring pattern A was formed. Specifically, the adhesion strength between the metallized wiring of wiring pattern A and the ceramic substrate was measured by conducting a 180 ° tensile test using lead-free solder. The test conditions are as follows.
Tensile tester: “STA-1150” manufactured by A & D Co., Ltd.
Pulling speed: 5mm / min Lead-free solder: Thickness 2-3mm
Number of measurements: 3 times The values in Table 1 are average values of n = 3.
評価条件は、次のように設定した。
◎:密着強度が3kgf/mm2以上であった。
○:密着強度が2kgf/mm2以上3kgf/mm2未満であった。
×:密着強度が2kgf/mm2未満であった。
Evaluation conditions were set as follows.
A: Adhesive strength was 3 kgf / mm 2 or more.
○: Adhesion strength was 2 kgf / mm 2 or more and less than 3 kgf / mm 2 .
X: The adhesion strength was less than 2 kgf / mm 2 .
(配線線幅)
配線線幅は、配線パターンBのメタライズ配線が形成されたセラミック配線基板を用いて評価した。具体的には、めっき層を形成した配線パターンBのメタライズ配線の線幅を、形状測定顕微鏡((株)キーエンス製の「VK8510」)で計測した。計測は、任意に選定した5箇所で行い、その平均値を表1に示した。メタライズ配線のめっき層を含んだ目標設計値は、線幅50±5μmである。
(Wiring line width)
The wiring line width was evaluated using a ceramic wiring board on which the metallized wiring of the wiring pattern B was formed. Specifically, the line width of the metallized wiring of the wiring pattern B on which the plating layer was formed was measured with a shape measuring microscope (“VK8510” manufactured by Keyence Corporation). The measurement was performed at five arbitrarily selected locations, and the average values are shown in Table 1. The target design value including the plating layer of the metallized wiring is a line width of 50 ± 5 μm.
表5,6から明らかなように、実施例1〜21では、非酸素雰囲気中で焼成してもセラミック基板に対して優れた密着性を有するメタライズ配線が形成されているのがわかる。非鉛ガラスフリットがZrO2,Cr2O3,Al2O3,ZnO,Na2Oをさらに含む実施例1〜12,16〜21では、特に優れた密着強度を示した。また、実施例1〜15では、均一な線幅でメタライズ配線を形成できており、良好な微細印刷性を示した。 As is apparent from Tables 5 and 6, in Examples 1 to 21, it can be seen that metallized wiring having excellent adhesion to the ceramic substrate is formed even when fired in a non-oxygen atmosphere. Lead-free glass frit is ZrO 2, Cr 2 O 3, Al 2 O 3, ZnO, In Example 1~12,16~21 further comprising a Na 2 O, exhibited particularly excellent adhesion strength. Moreover, in Examples 1-15, the metallized wiring was able to be formed with the uniform line width, and the favorable fine printability was shown.
一方、T1−T2の値が200℃未満の比較例1〜3、および非鉛ガラスフリットの軟化開始温度が400℃を超える比較例4〜14は、いずれも密着強度に劣る結果を示した。 On the other hand, Comparative Examples 1 to 3 in which the value of T1-T2 is less than 200 ° C. and Comparative Examples 4 to 14 in which the softening start temperature of the lead-free glass frit exceeds 400 ° C. all showed inferior adhesion strength.
Claims (11)
前記銅粉は、軟化開始温度が互いに異なる第1の複数の銅粒子および第2の複数の銅粒子を含むとともに、前記第1の複数の銅粒子の軟化開始温度をT1(℃)、前記第2の複数の銅粒子の軟化開始温度をT2(℃)としたとき、T1−T2の値が200℃以上であり、
前記非鉛ガラスフリットは、少なくともビスマス、ホウ素およびシリコンの各酸化物を含むとともに、軟化開始温度が400℃以下であることを特徴とする銅ペースト組成物。 A copper paste composition containing at least copper powder, non-lead glass frit and copper (I) oxide,
The copper powder includes a first plurality of copper particles and a second plurality of copper particles having different softening start temperatures from each other, and the softening start temperature of the first plurality of copper particles is T1 (° C.). When the softening start temperature of the plurality of copper particles 2 is T2 (° C), the value of T1-T2 is 200 ° C or higher,
The lead-free glass frit contains at least bismuth, boron, and silicon oxides, and has a softening start temperature of 400 ° C. or lower.
前記H成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgh(℃)、前記L成分におけるホモポリマーのガラス転移温度をTgl(℃)としたとき、Tghが100℃以上であるとともに、Tgh−Tglの値が50℃以上であり、
前記共重合体に、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリル酸エステルおよびポリアルキレンオキサイド鎖含有(メタ)アクリル酸エステルから選ばれる少なくとも1種の極性官能基含有(メタ)アクリル酸エステルをさらに共重合させる請求項4記載の銅ペースト組成物。 The acrylic resins have different glass transition temperatures and are copolymerized with a H component and a L component each made of (meth) acrylic acid ester in a proportion such that the total molar fraction of both components is 80 mol% or more. Made of a copolymer,
When the glass transition temperature of the homopolymer in the H component is Tgh (° C.) and the glass transition temperature of the homopolymer in the L component is Tgl (° C.), the Tgh is 100 ° C. or more, and the value of Tgh−Tgl is 50 ° C or higher,
Claims wherein the copolymer is further copolymerized with at least one polar functional group-containing (meth) acrylate selected from a hydroxyl group-containing (meth) acrylate and a polyalkylene oxide chain-containing (meth) acrylate. Item 5. The copper paste composition according to Item 4.
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