JP2012026966A - Current sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、導体の電流の大きさを測定する電流センサに関し、特に磁気検出素子を用いた電流センサに関する。 The present invention relates to a current sensor for measuring the magnitude of a current in a conductor, and more particularly to a current sensor using a magnetic detection element.
電気自動車においては、例えばリチウムイオンなどの2次電池に蓄えられた電気を用いてモータを駆動しており、このモータ駆動用の電流の大きさは、例えば電流センサにより検出される。この電流センサとして、導体の周囲に一部に切り欠き(コアギャップ)を有する磁性体コアを配置し、このコアギャップ内に磁気検出素子を配置してなるものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この電流センサにおいては、磁性体コアの中に生じた磁力線によりコアギャップに被測定電流に比例した磁界が通る。磁気検出素子がこの磁界を電圧信号に変換し、この磁気検出素子からの出力電圧を増幅回路にて増幅し、被測定電流に比例した出力電圧を発生する。 In an electric vehicle, a motor is driven using electricity stored in a secondary battery such as lithium ion, and the magnitude of the current for driving the motor is detected by, for example, a current sensor. As this current sensor, there has been proposed one in which a magnetic core having a notch (core gap) is arranged around a conductor and a magnetic detection element is arranged in the core gap (for example, a patent) Reference 1). In this current sensor, a magnetic field proportional to the current to be measured passes through the core gap due to the lines of magnetic force generated in the magnetic core. The magnetic detection element converts this magnetic field into a voltage signal, and an output voltage from the magnetic detection element is amplified by an amplifier circuit to generate an output voltage proportional to the current to be measured.
ところで、近年、電気自動車の大出力化・高性能化に伴って、取り扱う電流値が大きくなってきており、電流センサにおいて大電流時の磁気飽和を回避する必要がある。磁気飽和を回避するためには磁性体コアを大きくする必要があるが、磁性体コアを大きくすると電流センサ自体が大型化するという問題がある。このような磁性体コアを用いた電流センサの課題を解決するために、磁性体コアを用いない電流センサが提案されている(例えば、特許文献2、特許文献3参照)。 By the way, in recent years, with the increase in output and performance of electric vehicles, the current value handled has increased, and it is necessary to avoid magnetic saturation at the time of a large current in the current sensor. In order to avoid magnetic saturation, it is necessary to enlarge the magnetic core, but if the magnetic core is enlarged, there is a problem that the current sensor itself is enlarged. In order to solve the problem of such a current sensor using a magnetic core, a current sensor not using a magnetic core has been proposed (see, for example, Patent Document 2 and Patent Document 3).
特許文献2に開示されているように、電流センサにおいて、磁気検出素子に対する外部磁場の影響を抑制するために、磁性体材料で形成された磁気シールドが設けられている。磁気シールドを設けることにより、外部からの磁気干渉を抑制し、導体(バスバともいう)に流れる電流で生じる磁界を安定して検出することが可能となる。 As disclosed in Patent Document 2, in the current sensor, a magnetic shield made of a magnetic material is provided in order to suppress the influence of an external magnetic field on the magnetic detection element. By providing a magnetic shield, it is possible to suppress magnetic interference from outside and stably detect a magnetic field generated by a current flowing in a conductor (also referred to as a bus bar).
しかし、本発明者がさらに検討を行ったところ、回路に高電圧・大電流の電源線を設ける場合や、回路素子を高密度に集積する場合には、導体と他の配線等の間の静電結合等により磁気シールドでは抑制できない電磁ノイズが発生し、磁気検出素子から出力される信号(出力電圧信号)等にノイズが混入してしまうことを見出した。特に、被測定電流が流れる導体で電磁ノイズが発生すると、近傍に設けられた磁気検出素子を含む電気回路に大きく影響を与えてしまう問題がある。 However, as a result of further studies by the present inventor, when a high-voltage, large-current power supply line is provided in the circuit or when circuit elements are integrated at a high density, the static electricity between the conductor and other wirings, etc. It has been found that electromagnetic noise that cannot be suppressed by the magnetic shield occurs due to electrical coupling or the like, and noise is mixed in a signal (output voltage signal) output from the magnetic detection element. In particular, when electromagnetic noise is generated in the conductor through which the current to be measured flows, there is a problem that the electric circuit including the magnetic detection element provided in the vicinity is greatly affected.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、電磁ノイズの影響を抑制すると共に磁気検出素子からの出力信号にノイズが混入することを抑制できる電流センサを提供することを目的の一とする。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a current sensor capable of suppressing the influence of electromagnetic noise and suppressing the mixing of noise into an output signal from a magnetic detection element. .
本発明の電流センサの一態様は、電流を流すための導体と、導体に流れる電流からの誘導磁界の印加により特性が変化する磁気検出素子、及び磁気検出素子を駆動する駆動回路が形成されたセンサ基板と、駆動回路に電気的に接続された出力配線と、導体とセンサ基板との間に設けられ、非磁性材料であって且つ金属材料で形成された金属シールドと、を有し、出力配線は、信号線及び信号線を取り囲む配線シールドを有するシールド線であり、配線シールドが金属シールド及び前記センサ基板のグランドと電気的に絶縁されていることを特徴とする。この構成によれば、導体等で発生する電磁ノイズの影響を金属シールドにより抑制できると共に、配線シールドに生じるノイズがセンサ基板に及ぼす影響を抑制することができる。その結果、センサ基板から出力される信号にノイズが混入することを抑制することが可能となる。 According to one aspect of the current sensor of the present invention, a conductor for passing a current, a magnetic detection element whose characteristics are changed by application of an induced magnetic field from the current flowing through the conductor, and a drive circuit for driving the magnetic detection element are formed. A sensor board; an output wiring electrically connected to the drive circuit; and a metal shield provided between the conductor and the sensor board and made of a nonmagnetic material and made of a metal material, and outputs The wiring is a shield line having a signal line and a wiring shield surrounding the signal line, and the wiring shield is electrically insulated from the metal shield and the ground of the sensor substrate. According to this configuration, the influence of electromagnetic noise generated in the conductor or the like can be suppressed by the metal shield, and the influence of noise generated in the wiring shield on the sensor substrate can be suppressed. As a result, it is possible to prevent noise from being mixed into the signal output from the sensor substrate.
本発明の電流センサにおいて、金属シールドがセンサ基板のグランドに接地され、配線シールドがセンサ基板の外部に設けられたグランドに接地されることが好ましい。 In the current sensor of the present invention, it is preferable that the metal shield is grounded to the ground of the sensor substrate, and the wiring shield is grounded to the ground provided outside the sensor substrate.
本発明の電流センサにおいて、金属シールドがセンサ基板を包含するように設けられていることが好ましい。 In the current sensor of the present invention, it is preferable that the metal shield is provided so as to include the sensor substrate.
本発明の電流センサにおいて、金属シールドは、アルミニウム、銅及び銀から選択される少なくとも一つの金属で形成されていることが好ましい。 In the current sensor of the present invention, the metal shield is preferably formed of at least one metal selected from aluminum, copper and silver.
本発明の電流センサにおいて、磁気検出素子が磁気抵抗効果素子であることが好ましい。 In the current sensor of the present invention, the magnetic detection element is preferably a magnetoresistance effect element.
本発明の一態様によれば、電磁ノイズの影響を抑制すると共に磁気検出素子からの出力信号にノイズが混入することを抑制することができる。 According to one embodiment of the present invention, it is possible to suppress the influence of electromagnetic noise and to prevent noise from being mixed into the output signal from the magnetic detection element.
本発明者は、磁気検出素子を用いた電流センサにおいて、導体(バスバ)に電流が流れていない状態であっても、導体と他の配線等との間に形成される静電結合により電磁ノイズが発生して、近傍に設けられた磁気検出素子に影響を及ぼすことを見出した。そして、静電結合により発生する電磁ノイズの影響を抑制するために、被測定電流が流れる導体と磁気検出素子が形成されたセンサ基板との間に金属シールドを設けることを着想した。また、本発明者がさらに詳細に検討を行ったところ、センサ基板の出力配線としてシールド線を用いる場合に、当該シールド線を金属シールドと同様にセンサ基板のグランドに接地すると、センサ基板にノイズの影響が生じる問題に直面した。この問題について鋭意検討した結果、シールド線のシールド部分(配線シールド)に生じるノイズがセンサ基板に影響を及ぼしていることを突き止め、磁気検出素子の出力配線としてシールド線を用いる際にシールド線と金属シールドを分離し、シールド線の接地場所を制御することを着想して本発明を完成するに至った。 In the current sensor using the magnetic detection element, the present inventor has found that electromagnetic noise is generated by electrostatic coupling formed between the conductor and other wirings, even when no current flows through the conductor (bus bar). Has been found to affect the magnetic sensing element provided in the vicinity. In order to suppress the influence of electromagnetic noise generated by electrostatic coupling, the inventors conceived of providing a metal shield between the conductor through which the current to be measured flows and the sensor substrate on which the magnetic detection element is formed. In addition, when the present inventor has studied in more detail, when a shield wire is used as the output wiring of the sensor substrate, if the shield wire is grounded to the ground of the sensor substrate in the same manner as the metal shield, noise will be applied to the sensor substrate. Faced with problems that would have an impact. As a result of diligent examination of this problem, it was determined that the noise generated in the shield part (wiring shield) of the shield wire had an effect on the sensor board, and when using the shield wire as the output wiring of the magnetic detection element, the shield wire and metal The present invention has been completed with the idea of separating the shield and controlling the grounding location of the shield wire.
以下、本発明の実施の形態について、図1を参照して詳細に説明する。なお、図1において、図1(A)は電流センサの上面図の模式図であり、図1(B)は図1(A)のA−B間の断面の模式図を示している。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. In FIG. 1, FIG. 1A is a schematic diagram of a top view of a current sensor, and FIG. 1B is a schematic diagram of a cross section between A and B in FIG.
図1に示す電流センサは、電流を流すための導体102と、磁気検出素子101及び磁気検出素子101を駆動する駆動回路が形成されたセンサ基板100と、センサ基板100に形成された駆動回路に電気的に接続されたシールド線104と、導体102とセンサ基板100との間に設けられた金属シールド103aとを有している。また、シールド線104は、センサ基板100の駆動回路に電気的に接続された信号線104aと、当該信号線104aを取り囲む配線シールド104bとで形成されており、配線シールド104bが金属シールド103a及びセンサ基板100のグランドと分離して電気的に絶縁されて設けられている。 The current sensor shown in FIG. 1 includes a conductor 102 for passing a current, a sensor substrate 100 on which a magnetic detection element 101 and a drive circuit for driving the magnetic detection element 101 are formed, and a drive circuit formed on the sensor substrate 100. An electrically connected shield wire 104 and a metal shield 103 a provided between the conductor 102 and the sensor substrate 100 are provided. The shield line 104 is formed of a signal line 104a electrically connected to the drive circuit of the sensor substrate 100 and a wiring shield 104b surrounding the signal line 104a. The wiring shield 104b is formed of the metal shield 103a and the sensor. The substrate 100 is provided separately from the ground and electrically insulated.
導体102は、電流センサで測定される被測定用電流が流れる部分であり、バスバと呼ばれる場合もある。導体102は、アルミニウム、銅、銅合金等を用いて形成することができる。 The conductor 102 is a portion through which a current to be measured measured by a current sensor flows, and is sometimes called a bus bar. The conductor 102 can be formed using aluminum, copper, a copper alloy, or the like.
磁気検出素子101は、導体102に流れる電流からの誘導磁界の印加により特性が変化する素子(磁気センサ)であり、センサ基板100上に形成されている。電流センサでは、磁気検出素子101の特性変化に基づいて電流の大きさを測定することができる。また、磁気検出素子101は、センサ基板100に形成された駆動回路によって駆動され、磁気検出素子101から出力された信号は駆動回路に電気的に接続された出力配線(シールド線104)を介して外部に出力することができる。 The magnetic detection element 101 is an element (magnetic sensor) whose characteristics are changed by application of an induced magnetic field from a current flowing through the conductor 102, and is formed on the sensor substrate 100. In the current sensor, the magnitude of the current can be measured based on the characteristic change of the magnetic detection element 101. The magnetic detection element 101 is driven by a drive circuit formed on the sensor substrate 100, and a signal output from the magnetic detection element 101 is output via an output wiring (shield line 104) electrically connected to the drive circuit. Can be output externally.
また、磁気検出素子101は、少なくともある一方向に対して選択的に磁場感度を有し、当該一方向と異なる他の一方向に対して磁場感度を有さない又は非常に磁場感度が低いものを用いることが好ましい。この場合、導体102に電流が流れたときに発生する磁界の方向が、磁気検出素子101において感度方向(ある一方向)と一致するように、導体102と磁気検出素子101の設ける位置を制御する。磁気検出素子101としては、導体102に流れる電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化するTMR素子(トンネル型磁気抵抗効果素子)やGMR素子(巨大効果素子)等の磁気抵抗効果素子、ホール素子やホールIC等の磁気センサを用いることができる。なお、図1に示す磁気検出素子101は、磁気センサと当該磁気センサを駆動するための周辺回路を含んだ構成となっている。 Further, the magnetic detection element 101 has a magnetic field sensitivity selectively in at least one direction and does not have a magnetic field sensitivity in another direction different from the one direction or has a very low magnetic field sensitivity. Is preferably used. In this case, the positions where the conductor 102 and the magnetic detection element 101 are provided are controlled so that the direction of the magnetic field generated when a current flows through the conductor 102 matches the sensitivity direction (one direction) in the magnetic detection element 101. . As the magnetic detection element 101, a magnetoresistive effect element such as a TMR element (tunnel type magnetoresistive effect element) or a GMR element (giant effect element) whose resistance value is changed by application of an induced magnetic field from a current flowing in the conductor 102, a hole Magnetic sensors such as elements and Hall ICs can be used. The magnetic detection element 101 shown in FIG. 1 includes a magnetic sensor and a peripheral circuit for driving the magnetic sensor.
金属シールド103aは、外部で発生した電磁ノイズが磁気検出素子101に及ぼす影響を低減する電磁シールドであり、金属材料を用いて形成する。また、導体102に電流が流れた際に発生する磁界の変化を磁気検出素子101が検出するために、金属シールド103aは非磁性材料で形成する。例えば、アルミニウム、銅、銀等を用いて金属シールド103aを形成することが好ましい。 The metal shield 103a is an electromagnetic shield that reduces the influence of externally generated electromagnetic noise on the magnetic detection element 101, and is formed using a metal material. Further, in order for the magnetic detection element 101 to detect a change in the magnetic field generated when a current flows through the conductor 102, the metal shield 103a is formed of a nonmagnetic material. For example, the metal shield 103a is preferably formed using aluminum, copper, silver, or the like.
また、金属シールドは、導体102とセンサ基板100の間だけでなく、導体102が設けられた面と反対側の面側にも金属シールド103bを設け、金属シールド103a及び103bでセンサ基板100を包含する構成とすることが好ましい。これにより、センサ基板100に対する電磁ノイズの影響を効果的に抑制することが可能となる。 Further, the metal shield is provided not only between the conductor 102 and the sensor substrate 100 but also on the surface opposite to the surface on which the conductor 102 is provided, and includes the sensor substrate 100 with the metal shields 103a and 103b. It is preferable to adopt a configuration to do so. Thereby, the influence of electromagnetic noise on the sensor substrate 100 can be effectively suppressed.
金属シールド103bを設ける場合は、金属シールド103aと103bを電気的に接続して等電位とすればよい。例えば、金属シールド103a上にセンサ基板100を配置し、当該センサ基板100を覆う筐体に金属シールド103bを形成することができる。この場合、金属シールド103bは金属シールド103aと同一の材料で形成してもよいし、異なる材料で形成してもよい。金属シールド103a、103bは、センサ基板100のグランドに接地する構成としてもよいし、フローティング状態としてもよい。 When the metal shield 103b is provided, the metal shields 103a and 103b may be electrically connected to be equipotential. For example, the sensor substrate 100 can be disposed on the metal shield 103a, and the metal shield 103b can be formed in a housing that covers the sensor substrate 100. In this case, the metal shield 103b may be formed of the same material as the metal shield 103a or may be formed of a different material. The metal shields 103a and 103b may be configured to be grounded to the ground of the sensor substrate 100, or may be in a floating state.
シールド線104は、センサ基板100からの信号を出力するための出力配線として機能し、センサ基板100に形成された駆動回路に電気的に接続される信号線104aと、当該信号線104aとの間に誘電体等を挟んで信号線104aを取り囲む配線シールド104bとで形成することができる。 The shield line 104 functions as an output wiring for outputting a signal from the sensor substrate 100, and is connected between the signal line 104a electrically connected to the drive circuit formed on the sensor substrate 100 and the signal line 104a. And a wiring shield 104b surrounding the signal line 104a with a dielectric or the like interposed therebetween.
本実施の形態では、配線シールド104bと金属シールド103a、103bを同じ場所(例えば、センサ基板100)のグランドに接地させるのではなく、配線シールド104bと金属シールド103a、103bを分離して電気的に絶縁させる。好ましくは、配線シールド104bをセンサ基板100の外部に設けられたグランドに接地し、金属シールド103a、103bをセンサ基板100のグランドに接地する。これにより、導体102等で発生する電磁ノイズの影響を抑制すると共に、配線シールド104bに生じるノイズがセンサ基板100に及ぼす影響を抑制することができる。その結果、センサ基板100から出力される信号にノイズが混入することを抑制することが可能となる。 In this embodiment, the wiring shield 104b and the metal shields 103a and 103b are not grounded to the ground at the same place (for example, the sensor substrate 100), but the wiring shield 104b and the metal shields 103a and 103b are separated and electrically connected. Insulate. Preferably, the wiring shield 104b is grounded to a ground provided outside the sensor substrate 100, and the metal shields 103a and 103b are grounded to the ground of the sensor substrate 100. Thereby, the influence of electromagnetic noise generated in the conductor 102 and the like can be suppressed, and the influence of noise generated in the wiring shield 104b on the sensor substrate 100 can be suppressed. As a result, it is possible to prevent noise from being mixed into the signal output from the sensor substrate 100.
また、上記図1で示した電流センサにおいて、磁性体材料から形成される磁気シールドを設けてもよい。この場合、図2に示すように、磁気シールド200は、金属シールド103a、103b及び導体102を包含するように外側に設ける。これにより、磁気シールド200を用いてセンサ基板100に形成された磁気検出素子101と駆動回路に作用する外部からの磁気干渉を抑制すると共に、金属シールド103a、103bを用いて電磁ノイズによる影響を抑制することができる。 In the current sensor shown in FIG. 1, a magnetic shield made of a magnetic material may be provided. In this case, as shown in FIG. 2, the magnetic shield 200 is provided outside so as to include the metal shields 103 a and 103 b and the conductor 102. As a result, the magnetic detection element 101 formed on the sensor substrate 100 using the magnetic shield 200 and the external magnetic interference acting on the drive circuit are suppressed, and the influence of electromagnetic noise is suppressed using the metal shields 103a and 103b. can do.
以下、本発明の実施例に関して説明するが、本発明はこの実施例によりなんら制限されるものではない。 Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.
図1に示すように、導体102上に金属シールド103aを介して磁気検出素子101及び駆動回路が設けられたセンサ基板100を形成した。また、センサ基板100の上方面(導体102が設けられた面と反対側の面)側にも金属シールド103bを設け、センサ基板100を金属シールドで包含する構造とした。また、センサ基板100の駆動回路に電気的に接続されたシールド線104の配線シールド104bをセンサ基板100の外部に設けられたグランドに接地した。なお、各構成について、具体的に以下の材料を用いた。 As shown in FIG. 1, a sensor substrate 100 provided with a magnetic detection element 101 and a drive circuit was formed on a conductor 102 via a metal shield 103a. In addition, a metal shield 103b is also provided on the upper surface (the surface opposite to the surface on which the conductor 102 is provided) of the sensor substrate 100, and the sensor substrate 100 is covered with the metal shield. Further, the wiring shield 104 b of the shield wire 104 that is electrically connected to the drive circuit of the sensor substrate 100 is grounded to a ground provided outside the sensor substrate 100. For each configuration, the following materials were specifically used.
導体102:表面に5μmの錫めっきがなされた銅
磁気検出素子101:磁気抵抗素子(GMR)
金属シールド103a、103b:厚さ0.3mmの銅板
配線シールド104b:銅
Conductor 102: Copper with 5 μm tin plating on the surface Magnetic sensing element 101: Magnetoresistive element (GMR)
Metal shields 103a and 103b: 0.3 mm thick copper plate Wiring shield 104b: Copper
(比較例)
上記実施例と同様に、導体102上に金属シールド103aを介して磁気検出素子101が形成されたセンサ基板100を設け、センサ基板100の上方側にも金属シールド103bを設けてセンサ基板100を金属シールドで覆う構造とした。なお、比較例では、シールド線の配線シールドと金属シールドをセンサ基板100のグランドに接地した。つまり、実施例と比較例では、シールド線の配線シールドの接地場所が異なっている。
(Comparative example)
Similar to the above embodiment, the sensor substrate 100 having the magnetic detection element 101 formed on the conductor 102 via the metal shield 103a is provided, and the metal shield 103b is also provided on the upper side of the sensor substrate 100 to make the sensor substrate 100 a metal. The structure is covered with a shield. In the comparative example, the shield of the shield wire and the metal shield were grounded to the ground of the sensor substrate 100. That is, the grounding place of the wiring shield of the shield wire is different between the example and the comparative example.
(評価)
次に、実施例と比較例の電流センサにおいて、導体102に電流を流した際に、磁気検出素子101から出力される出力電圧(信号線104aの出力電圧)を測定した。測定結果を図3に示す。
(Evaluation)
Next, in the current sensors of the example and the comparative example, the output voltage (output voltage of the signal line 104a) output from the magnetic detection element 101 when current was passed through the conductor 102 was measured. The measurement results are shown in FIG.
図3中のcが比較例であり、シールド線104の配線シールド104bと金属シールド103a、103bがセンサ基板100のGNDに接地された状態である。bおよびaが本発明の実施例であり、bが金属シールド103a、103bがセンサ基板100のGNDに接地されている。aは、金属シールド103a、103bがフロート状態での結果を示している。なお、図3においては、図を見やすくするため、それぞれの出力信号の電圧値を0.2Vずつ、ずらして表示している。 3 is a comparative example, in which the wiring shield 104b of the shield wire 104 and the metal shields 103a and 103b are grounded to the GND of the sensor substrate 100. FIG. b and a are embodiments of the present invention, b is a metal shield 103a, 103b is grounded to the GND of the sensor substrate 100. a shows the result when the metal shields 103a and 103b are floated. In FIG. 3, the voltage values of the respective output signals are displayed by being shifted by 0.2 V in order to make the drawing easier to see.
いずれの条件においても配線で発生するノイズは周期的なスパイク状に発生し、0.3−0.4Vp−p程度である。比較例と本発明の実施例で大きな違いが見られるのは、センサの出力そのものであるベースラインの揺らぎに差が見られる。図3中の比較例の出力において、点線で囲われた部分では特に大きな揺らぎが見られている。一方、実施例においては、前述のようなベースラインの揺らぎは見られない。 Under any condition, noise generated in the wiring is generated in a periodic spike shape and is about 0.3-0.4 Vp-p. The major difference between the comparative example and the embodiment of the present invention is that there is a difference in the fluctuation of the baseline, which is the output of the sensor itself. In the output of the comparative example in FIG. 3, particularly large fluctuations are observed in the portion surrounded by the dotted line. On the other hand, in the embodiment, the baseline fluctuation as described above is not observed.
このベースラインの揺らぎは、磁気検出素子101を含むセンサ基板100に電磁ノイズの影響を与えたために発生している。比較例では、シールド線104の配線シールド104bと金属シールド103a、103bと同電位であるため、シールド線104で受けた電磁ノイズが、磁気検出素子101を含むセンサ基板100に影響を与えることになる。一方で、実施例では、シールド線104の配線シールド104bと金属シールド103a、103bとを電気的に分離させているため、シールド線104で受けた電磁ノイズが、磁気検出素子101を含むセンサ基板100に影響を与えることを抑制することができる。 This baseline fluctuation is caused by the influence of electromagnetic noise on the sensor substrate 100 including the magnetic detection element 101. In the comparative example, since the wiring shield 104b of the shield wire 104 and the metal shields 103a and 103b have the same potential, electromagnetic noise received by the shield wire 104 affects the sensor substrate 100 including the magnetic detection element 101. . On the other hand, in the embodiment, since the wiring shield 104 b of the shield wire 104 and the metal shields 103 a and 103 b are electrically separated, the electromagnetic noise received by the shield wire 104 causes the sensor substrate 100 including the magnetic detection element 101. It is possible to suppress the influence on
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することができる。また、上記実施の形態における材料、電流センサの配置位置、厚さ、大きさ、製法などは適宜変更して実施することが可能である。その他、本発明は、本発明の範囲を逸脱しないで適宜変更して実施することができる。 The present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented with various modifications. In addition, the material, the arrangement position of the current sensor, the thickness, the size, the manufacturing method, and the like in the above embodiment can be changed as appropriate. In addition, the present invention can be implemented with appropriate modifications without departing from the scope of the present invention.
本発明は、電気自動車等において電流の大きさを検出する電流センサに適用することが可能である。 The present invention can be applied to a current sensor that detects the magnitude of current in an electric vehicle or the like.
100 センサ基板
101 磁気検出素子
102 導体
103a 金属シールド
103b 金属シールド
104 シールド線
104a 信号線
104b 配線シールド
200 磁気シールド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Sensor board 101 Magnetic detection element 102 Conductor 103a Metal shield 103b Metal shield 104 Shield wire 104a Signal line 104b Wiring shield 200 Magnetic shield
Claims (5)
前記導体に流れる電流からの誘導磁界の印加により特性が変化する磁気検出素子、及び前記磁気検出素子を駆動する駆動回路が形成されたセンサ基板と、
前記駆動回路に電気的に接続された出力配線と、
前記導体と前記センサ基板との間に設けられ、非磁性材料であって且つ金属材料で形成された金属シールドと、を有し、
前記出力配線は、信号線及び前記信号線を取り囲む配線シールドを有するシールド線であり、前記配線シールドが前記金属シールド及び前記センサ基板のグランドと電気的に絶縁されていることを特徴とする電流センサ。 A conductor for passing current;
A magnetic sensing element whose characteristics are changed by application of an induced magnetic field from a current flowing through the conductor, and a sensor substrate on which a driving circuit for driving the magnetic sensing element is formed;
An output wiring electrically connected to the drive circuit;
A metal shield provided between the conductor and the sensor substrate and made of a nonmagnetic material and a metal material;
The output wiring is a shield line having a signal line and a wiring shield surrounding the signal line, and the wiring shield is electrically insulated from the metal shield and the ground of the sensor board. .
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